KR102391849B1 - Chip electronic component inspection sorting device - Google Patents
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Abstract
(요약) 종래의 칩 전자 부품 검사 선별 장치에서 사용되고 있는 검사용 전극 단자와 검사기의 접속 전환 시스템을 대신하는 신규한 접속 전환 시스템을 제공한다.
(해결 수단) 칩 전자 부품 검사 선별 장치의 고정 전극 단자와 가동 전극 단자로 이루어지는 검사용 전극 단자 세트와 검사기의 접속 전환 시스템의 릴레이 스위치 수단으로서, 케이스에 수용된 MOS FET 를 사용하고, 이 MOS FET 를 수용한 케이스를, 검사용 고정 전극 단자와 가동 전극 단자 각각에 인접 배치하고, 고정 전극 단자와 가동 전극 단자에 MOS FET 를 커넥터를 개재하여 접속시킨다.(Summary) A novel connection switching system is provided in place of the connection switching system between an inspection electrode terminal and an inspection machine used in a conventional chip electronic component inspection and sorting device.
(Solution) A MOS FET housed in a case is used as a relay switch means of a connection switching system between an inspection electrode terminal set consisting of a fixed electrode terminal and a movable electrode terminal of a chip electronic component inspection and sorting device, and a tester, and the MOS FET is The housed case is disposed adjacent to each of the fixed electrode terminal for inspection and the movable electrode terminal, and a MOS FET is connected to the fixed electrode terminal and the movable electrode terminal via a connector.
Description
본 발명은 대량의 칩 전자 부품의 전기적 특성을 고속이면서 연속적으로 검사하기 위해서 사용되는 칩 전자 부품 검사 선별 장치의 개량에 관한 것이다.[0001] The present invention relates to an improvement of a chip electronic component inspection and sorting device used for high-speed and continuous inspection of electrical characteristics of a large number of chip electronic components.
휴대 전화, 스마트폰, 액정 텔레비전, 전자 게임기 등의 소형 전기 제품의 생산량 증가에 수반하여, 이와 같은 전기 제품에 장착되는 미소한 칩 전자 부품의 생산량이 현저하게 증가하고 있다. 칩 전자 부품의 대부분은, 절연 재료로 형성되어 있는 본체부와, 본체부의 대향하는 양 단면의 각각에 구비되어 있는 전극으로 형성되어 있다. 이와 같은 구성의 칩 전자 부품의 예로는, 칩 커패시터 (칩 콘덴서라고도 불린다), 칩 저항기 (칩 배리스터를 포함한다), 및 칩 인덕터를 예로 들 수 있다.BACKGROUND ART With the increase in production of small electric products such as cellular phones, smart phones, liquid crystal televisions, and electronic game machines, the production of micro-chip electronic components mounted on such electric products is remarkably increased. Most of the chip electronic components are formed of a main body made of an insulating material and electrodes provided on opposite end surfaces of the main body. Examples of the chip electronic component having such a configuration include a chip capacitor (also called a chip capacitor), a chip resistor (including a chip varistor), and a chip inductor.
최근, 칩 전자 부품이 장착되는 전기 제품의 추가적인 소형화 그리고 전기 제품에 장착되는 칩 전자 부품의 수의 증가에 따라, 칩 전자 부품은 극단적으로 작아지고 있다. 예를 들어, 칩 커패시터에 대해서는, 최근 매우 작은 사이즈 (예, 0402 칩이라고 불리는 0.2 ㎜ × 0.2 ㎜ × 0.4 ㎜ 의 사이즈) 의 커패시터가 일반적으로 사용되게 되었다. 이와 같은 미소한 칩 전자 부품은, 대량 생산에 의해, 1 로트가 수만 개 ∼ 수십만 개라는 단위로 생산되고 있다.In recent years, with the further miniaturization of electrical products on which chip electronic components are mounted and the increase in the number of chip electronic components mounted on electrical products, chip electronic components are becoming extremely small. For example, for chip capacitors, recently, capacitors having a very small size (eg, a size of 0.2 mm × 0.2 mm × 0.4 mm called 0402 chip) have come to be generally used. Such microchip electronic components are mass-produced in units of tens of thousands to hundreds of thousands of pieces per lot.
칩 전자 부품이 장착되는 전기 제품에서는, 칩 전자 부품의 결함에서 기인되는 전기 제품의 불량품률을 낮추기 위해, 대량으로 제조되는 칩 전자 부품에 대해 전수 점사가 실시되는 것이 일반적이다. 예를 들어, 칩 커패시터에 대해서는, 그 전체 수에 대해 정전 용량이나 누설 전류 등의 전기적 특성의 검사가 실시된다.In electrical products to which chip electronic components are mounted, in order to reduce the defective rate of electrical products resulting from defects in the chip electronic components, it is common to perform total burst scanning on chip electronic components manufactured in large quantities. For example, electrical characteristics, such as electrostatic capacitance and leakage current, are tested for the total number of chip capacitors.
따라서, 대량의 칩 전자 부품의 전기적 특성의 검사는 고속으로 실시할 필요가 있고, 그 고속 검사를 자동적으로 실시하기 위한 장치로서, 최근에는, 다수의 투공이 형성된 반송 원반 (칩 전자 부품 임시 유지판) 을 구비한 칩 전자 부품의 전기적 특성의 검사와 선별을 위한 자동화 장치 (즉, 칩 전자 부품 검사 선별 장치) 가 일반적으로 사용되고 있다. 이 반송 원반에는 통상적으로 검사 대상인 칩 전자 부품을 일시적으로 수용 유지하는 다수의 투공이 원주를 따라 3 열 이상의 복수 열로 나열된 상태로 형성되어 있다. 그리고, 이 칩 전자 부품 검사 선별 장치의 사용에 있어서는, 회전 상태에 있는 반송 원반의 투공에 칩 전자 부품을 일시적으로 수용 유지시킨 후, 그 반송 원반에 유지되어 있는 칩 전자 부품에, 그 반송 원반의 회전 경로를 따라 복수 세트 부설되어 있는 고정 전극 단자와 가동 전극 단자로 이루어지는 1 쌍의 전극 단자 세트 (검사용 접촉자) 를 칩 전자 부품의 각 전극에 접촉시켜 당해 칩 전자 부품의 소정의 전기적 특성을 측정하고, 이어서, 그 측정 결과에 기초하여, 칩 전자 부품을 반송 원반의 투공으로부터, 소정의 용기 (분류 용기) 에 수용되도록 배출시켜 선별 (혹은 분류) 하는 작업이 실시된다.Therefore, it is necessary to perform the inspection of the electrical characteristics of a large number of chip electronic components at high speed, and as a device for automatically performing the high-speed inspection, in recent years, a conveyance disk (chip electronic component temporary holding plate) having a large number of perforations formed therein is required. ), an automated apparatus (ie, chip electronic component inspection and selection apparatus) for inspection and selection of electrical characteristics of chip electronic components is generally used. In this conveyance disk, a plurality of perforations for temporarily receiving and holding the chip electronic component to be inspected are usually formed in a state in which three or more rows are arranged in a plurality of rows along the circumference. And, in the use of this chip electronic component inspection and sorting apparatus, after temporarily receiving and holding a chip electronic component in the hole of the conveyance disk in a rotating state, in the chip electronic component hold|maintained by the conveyance disk, the conveyance disk A pair of electrode terminal sets (inspection contact) comprising a plurality of sets of fixed electrode terminals and movable electrode terminals laid along a rotation path are brought into contact with each electrode of the chip electronic component, and predetermined electrical characteristics of the chip electronic component are measured. Then, based on the measurement result, the operation of sorting (or sorting) the chip electronic component by discharging it from the hole of the conveyance disc so as to be accommodated in a predetermined container (sorting container) is performed.
즉, 자동화된 최근의 칩 전자 부품의 검사 선별 장치는, 기대, 기대에 회전 가능하게 축 지지된 칩 전자 부품 반송 원반 (단, 그 칩 전자 부품 반송 원반에는, 대향하는 단면 각각에 전극을 갖는 칩 전자 부품을 일시적으로 수용할 수 있는 투공이 원주를 따라 3 열 이상 형성되어 있다), 그리고 그 반송 원반의 회전 경로를 따라 순서대로 형성된, 그 반송 원반의 투공에 칩 전자 부품을 공급 수용시키는 칩 전자 부품 공급 수용부 (공급 수용역), 칩 전자 부품의 전기적 특성의 검사를 실시하는 칩 전자 부품 전기적 특성 검사부 (검사역), 그리고 검사가 완료된 칩 전자 부품을 검사 결과에 기초하여 분류하는 칩 전자 부품 분류부 (분류역) 를 포함하는 칩 전자 부품 검사 선별 장치라고 할 수 있다.That is, the recent automated chip electronic component inspection and sorting apparatus is a base and a chip electronic component conveyance disk rotatably supported on the base (however, in the chip electronic component conveyance disk, a chip having an electrode on each of its opposing end surfaces) Three or more rows of perforations capable of temporarily accommodating electronic components are formed along the circumference), and chip electronics for supplying and accommodating chip electronic components in the perforations of the conveying disk, which are sequentially formed along the rotation path of the conveying disk A component supply receiving unit (supply receiving area), a chip electronic component electrical property inspection unit (inspection area) that inspects the electrical characteristics of chip electronic components, and a chip electronic component classification that classifies the tested chip electronic components based on the inspection results It can be said that it is a chip electronic component inspection and sorting apparatus including a part (classification area).
예를 들어, 칩 커패시터의 정전 용량의 검사를 실시하는 경우에는, 전기적 특성 검사부에서, 칩 전자 부품 검사 선별 장치에 구비된 검사기 (전기적 특성 측정 장치) 로부터 검사용 전극 단자를 통하여, 칩 커패시터에 소정의 주파수를 갖는 검사용 전압이 인가된다. 그리고, 이 검사용 전압의 인가에 의해 칩 커패시터에서 발생하는 전류의 전류값을 검사기로 검출하고, 이 검출 전류값과 검사용 전압의 전압값에 기초하여, 검사 대상인 칩 커패시터의 정전 용량의 검사가 실시된다.For example, in the case of testing the capacitance of the chip capacitor, in the electrical characteristic inspection unit, a predetermined value is applied to the chip capacitor from an inspection machine (electrical characteristic measuring device) provided in the chip electronic component inspection and sorting device through the electrode terminal for inspection. A test voltage having a frequency of is applied. Then, the tester detects the current value of the current generated in the chip capacitor by the application of the test voltage, and based on the detected current value and the voltage value of the test voltage, the test of the capacitance of the chip capacitor to be inspected is performed. is carried out
칩 전자 부품 검사 선별 장치의 예로는, 특허문헌 1 에 기재되어 있는 장치를 들 수 있다. 즉, 특허문헌 1 에는, 상기 서술한 구성의 칩 전자 부품 검사 선별 장치를 사용하고, 각각 동일한 규격에 기초하여 소정의 동일한 전기적 특성을 나타내도록 제조된 검사 대상인 칩 전자 부품을, 반송 원반에 서로 근접하게 복수 열 배치된 투공의 각각에 일시적으로 수용 유지시키고, 이어서 칩 전자 부품 각각에 검사기를 전기적으로 접속한 후, 그 검사기로부터 각각의 칩 전자 부품에 검사용 전압을 인가하고, 이 검사용 전압의 인가에 의해 각 칩 전자 부품에서 발생하는 전류값을 검사기에 의해 검출하는 공정을 포함하는 칩 전자 부품의 전기적 특성을 연속적으로 검사하기 위한 칩 전자 부품 검사 선별 장치가 기재되어 있다.As an example of a chip electronic component inspection and sorting apparatus, the apparatus described in patent document 1 is mentioned. That is, in Patent Document 1, using the chip electronic component inspection and sorting apparatus having the above-described configuration, the chip electronic components to be inspected, each manufactured based on the same standard and exhibiting predetermined and identical electrical characteristics, are brought close to each other on the conveyance disc. Temporarily accommodated and held in each of the through holes arranged in a plurality of rows and then electrically connected to each of the chip electronic components, and then a voltage for inspection is applied from the inspection machine to each chip electronic component, A chip electronic component inspection and sorting apparatus for continuously inspecting electrical characteristics of a chip electronic component including a step of detecting a current value generated in each chip electronic component by application by an inspection machine is disclosed.
종래 사용되고 있는 칩 전자 부품 검사 선별 장치에서는, 반송 원반의 원주를 따라 형성되어 있는 복수 열의 투공에 수용된 칩 전자 부품 내의 반송 원반의 반경 방향을 따라 나열된 칩 전자 부품의 양단부의 전극 각각에 고정 전극 단자와 가동 전극 단자로 이루어지는 검사용 전극 단자 세트를 동시에 접촉시킨 상태에서, 각 칩 전자 부품에 순차적으로 전류 (혹은 전압) 를 부여함으로써 각 칩 전자 부품의 전기적 특성을 검사 (측정) 하고 있다. 이 복수 개의 칩 전자 부품에 대한 순차적인 전류의 인가와 검사값의 취출은 검사기 (예, 정전 용량 측정기) 를 사용하여 실시되지만, 검사 선별 장치의 구조의 간소화가 필요한 점에서, 각 칩 전자 부품으로의 전류의 인가와 검사값의 취출을 위한 검사기는 검사용 전극 단자 세트의 각각에 전수 준비되는 것이 아니라, 통상적으로는 2 ∼ 4 세트의 복수 세트인 검사용 전극 단자 세트에 대해 1 세트의 검사기가 준비된다. 그리고, 그들 복수 세트의 검사용 전극 단자 세트와 검사기는 접속 전환기 (릴레이 스위치 수단) 를 개재하여 접속되고, 각 칩 전자 부품과 검사기의 접속은, 이 릴레이 스위치 수단을 이용하여 고속으로 순차적으로 전환되도록 되어 있다.In the conventionally used chip electronic component inspection and sorting apparatus, fixed electrode terminals are provided on each electrode of both ends of the chip electronic component arranged along the radial direction of the conveying disk in the chip electronic component accommodated in a plurality of rows of through holes formed along the circumference of the conveying disk; Electrical characteristics of each chip electronic component are inspected (measured) by sequentially applying a current (or voltage) to each chip electronic component in a state where a set of electrode terminals for inspection made of movable electrode terminals are brought into contact at the same time. The sequential application of current to the plurality of chip electronic components and the extraction of inspection values are performed using a tester (eg, a capacitance measuring instrument), but since it is necessary to simplify the structure of the inspection and sorting device, each chip electronic component is used. The tester for application of current and extraction of test values is not prepared for each set of test electrode terminals, but one set of testers is usually provided for a plurality of sets of test electrode terminal sets of 2 to 4 sets. Ready. Then, the plurality of sets of test electrode terminal sets and the tester are connected via a connection switching device (relay switch means), and the connection between each chip electronic component and the tester is sequentially switched at high speed using this relay switch means. has been
특허문헌 1 에는 구체적으로는 기재되어 있지 않지만, 종래 사용되고 있는 칩 전자 부품 검사 선별 장치에서는, 전환기 (릴레이 스위치 수단) 로서, 안정적인 전환이 가능한 수은 릴레이 스위치가 일반적으로 사용되고 있다. 단, 전술한 바와 같이 최근 측정 대상이 되고 있는 칩 전자 부품은 매우 미소하기 때문에, 검사용 전극 단자 세트의 사이즈도 매우 소형화되어 있는 데에 반해, 수은 릴레이 스위치는 그 체적이 상대적으로 훨씬 크기 때문에, 수은 릴레이 스위치를 검사용 전극 단자 세트에 근접한 위치에 배치할 수는 없다. 이 때문에 수은 릴레이 스위치는, 검사용 전극 단자 세트의 고정 전극 단자와 가동 전극 단자의 각각으로부터 떨어진 위치에 배치되고, 각각이, 검사용 전류 인가용 케이블과 검사값 취출용 케이블로 이루어지는 동축 케이블에 의해 접속되어 있는 것이 일반적이다.Although it is not specifically described in patent document 1, in the chip|tip electronic component inspection and sorting apparatus used conventionally, the mercury relay switch which can stably switch is generally used as a switching device (relay switch means). However, as described above, since the chip electronic components that are being measured recently are very small, the size of the electrode terminal set for inspection is also very miniaturized, whereas the mercury relay switch has a relatively large volume, A mercury relay switch cannot be placed in close proximity to a set of electrode terminals for inspection. For this reason, the mercury relay switch is arranged at a position away from each of the fixed electrode terminal and the movable electrode terminal of the test electrode terminal set, and each is a coaxial cable composed of a test current application cable and an inspection value extraction cable. It is usually connected.
종래의 칩 전자 부품 검사 선별 장치에서 전기적 특성 측정용 검사기와 검사용 전극 단자 세트의 접속 전환 수단으로서 이용되고 있는 수은 릴레이 스위치는 신뢰성이 높은 접속 전환 (스위칭) 이 가능하기 때문에, 우수한 접속 전환 수단이라고 할 수 있지만, 기계적인 접속 전환 수단이기 때문에 사용 수명이 충분하지 않은 것, 접속 전환의 고속화에 한계가 있는 것, 그리고 수은을 사용하고 있는 것에서 기인되는 환경에 대한 리스크 등의 문제가 있다.The mercury relay switch used as a connection switching means between the electrical property measurement tester and the test electrode terminal set in the conventional chip electronic component inspection and sorting device is an excellent connection switching means because it enables reliable connection switching (switching). However, since it is a mechanical connection switching means, there are problems such as an insufficient service life, a limit in speeding up connection switching, and environmental risks resulting from the use of mercury.
이 때문에, 본 발명의 발명자는, 수은 릴레이 스위치를 대신할 접속 전환 수단을 탐색하였다. 그리고, 그 결과로서, 반도체 스위치 소자 중 하나인 MOS FET 를 사용함으로써, 수은을 사용하지 않고, 고속의 접속 전환이 가능해지고, 또한 사용 수명의 연장도 실현되는 것을 알아내었다.For this reason, the inventor of this invention searched for the connection switching means which will replace the mercury relay switch. And as a result, by using MOS FET which is one of the semiconductor switch elements, it discovered that high-speed connection switching was attained without using mercury, and extension of the service life was also implement|achieved.
그러나, 추가적인 연구 결과, 접속 전환 수단으로서 수은 릴레이 스위치 대신에 MOS FET (와 그 구동 회로) 를 사용하면, 전기적 특성의 측정 결과의 정밀도가 저하되는 것도 판명되었다. 예를 들어, 종래의 칩 전자 부품 검사 선별 장치 (접속 전환 수단으로서 수은 릴레이 스위치를 사용하고, 이 수은 릴레이 스위치를 검사용 전극 단자 세트와 약 1 미터의 동축 케이블에 의해 접속시키고 있다) 를 사용하여, 정전 용량이 1 pF 인 커패시터 (콘덴서) 의 정전 용량 (Cp) 과 손실 계수 (Df) 를 측정하고, 그것들의 표준 편차를 구하면, Cp 의 표준 편차는 약 0.000250 pF, 그리고 Df 의 표준 편차는 약 0.000043 이 된다. 이에 대하여, 동일한 길이의 동축 케이블에 의해 검사용 전극 단자 세트와 MOS FET 를 포함하는 전환 수단을 접속시키고, 동일하게 정전 용량이 1 pF 인 커패시터의 정전 용량과 손실 계수를 측정하여, 그것들의 표준 편차를 구한 결과, Cp 의 표준 편차는 약 O.000455 pF, 그리고 Df 의 표준 편차는 약 0.000082 가 되어, 정전 용량의 표준 편차와 손실 계수의 표준 편차는 모두 약 2 배로 증대되기 때문에, 측정 데이터의 정밀도가 저하되는 것을 알 수 있다.However, as a result of further research, it was also found that when a MOS FET (and its driving circuit) was used instead of the mercury relay switch as the connection switching means, the accuracy of the measurement result of the electrical characteristics was lowered. For example, using a conventional chip electronic component inspection and sorting device (a mercury relay switch is used as a connection switching means, and this mercury relay switch is connected to a set of electrode terminals for inspection by a coaxial cable of about 1 meter) , measure the capacitance (Cp) and loss factor (Df) of a capacitor (capacitor) with a capacitance of 1 pF, and find their standard deviation, the standard deviation of Cp is about 0.000250 pF, and the standard deviation of Df is about It becomes 0.000043. On the other hand, the electrode terminal set for inspection and the switching means including the MOS FET are connected by a coaxial cable of the same length, and the capacitance and loss factor of the capacitor having a capacitance of 1 pF are measured similarly, and their standard deviation As a result of finding , the standard deviation of Cp is about 0.0000455 pF, and the standard deviation of Df is about 0.000082. Since both the standard deviation of the capacitance and the standard deviation of the loss factor are approximately doubled, the precision of the measurement data is can be seen to decrease.
본 발명의 발명자는, 상기 측정 결과를 고려하여, 접속 전환 수단으로서 MOS FET 를 사용한 경우에 발생하는 정전 용량의 표준 편차와 손실 계수의 표준 편차 각각의 증가 원인의 탐색을 위한 연구를 실시하였다. 그리고, 그 연구 과정에 있어서, 검사용 전극 단자 세트와 접속 전환 수단을 연결하는 동축 케이블의 길이의 영향을 조사한 결과, 도 15 에 그래프로서 나타내는 바와 같이, 접속 전환 수단으로서 MOS FET 를 사용한 경우에 보여지는 정전 용량과 손실 계수 각각의 표준 편차는 동축 케이블의 길이와 강한 상관이 있고, 동축 케이블의 길이를 0 미터로 한 경우 (즉, 동축 케이블을 사용하지 않은 경우) 에는, 접속 전환 수단으로서 MOS FET 를 수은 릴레이 스위치 대신에 사용해도, 정전 용량과 손실 계수의 어느 표준 편차에 대해서도 거의 차이가 나타나지 않는 것을 알아내었다.The inventor of the present invention conducted research for the cause of the increase in the standard deviation of the electrostatic capacity and the standard deviation of the loss coefficient, which occur when a MOS FET is used as the connection switching means in consideration of the above measurement results. And, in the course of the study, as a result of investigating the effect of the length of the coaxial cable connecting the electrode terminal set for inspection and the connection switching means, as shown as a graph in FIG. Each standard deviation of the loss capacitance and loss coefficient has a strong correlation with the length of the coaxial cable, and when the length of the coaxial cable is set to 0 meters (that is, when a coaxial cable is not used), MOS FETs as a connection switching means It was found that using in place of the mercury relay switch showed little difference for any standard deviation of capacitance and dissipation factor.
본 발명자는, 상기 새로운 지견에 기초하여, 접속 전환 수단으로서 MOS FET 를 사용하면서, 수은 릴레이 스위치 사용의 경우와 뒤떨어지지 않는 높은 정밀도의 측정 데이터가 얻어지는 접속 전환 수단의 칩 전자 부품 검사 선별 장치에 대한 설치 방법을 더욱 검토하였다. 그리고, 그 검토 결과, MOS FET 를 케이스에 수용하고, 이 MOS FET 를 수용한 케이스를, 검사용 전극 단자 세트의 고정 전극 단자와 가동 전극 단자 각각에 인접 배치한 다음에, 케이스에 수용된 MOS FET (와 그 구동 회로) 를 고정 전극 단자와 가동 전극 단자에 커넥터를 개재하여 직접 접속시킴으로써, MOS FET 와 검사용 전극 단자 세트를 연결하는 동축 케이블의 사용을 회피할 수 있는 것, 그리고 그 결과, 칩 전자 부품 검사 선별 장치에 있어서 전기적 특성 측정용 검사기와 검사용 전극 단자 세트의 접속 전환 수단으로서, MOS FET 를 실용상의 문제를 수반하지 않고 사용할 수 있는 것을 알아내어, 본 발명에 도달하였다.The present inventors, based on the above new knowledge, use a MOS FET as a connection switching means, while obtaining high-accuracy measurement data that is not inferior to that in the case of using a mercury relay switch. The installation method was further reviewed. Then, as a result of the examination, the MOS FET was housed in a case, the case accommodating the MOS FET was placed adjacent to each of the fixed electrode terminal and the movable electrode terminal of the test electrode terminal set, and then the MOS FET ( and its driving circuit) are directly connected to the fixed electrode terminal and the movable electrode terminal through a connector, so that the use of a coaxial cable connecting the MOS FET and the test electrode terminal set can be avoided, and as a result, the chip electronics The present invention was reached by discovering that a MOS FET can be used as a connection switching means between a tester for electrical property measurement and an electrode terminal set for test in a parts test and sorting device without any practical problems.
따라서, 본 발명은, 기대, 기대에 회전 가능하게 축 지지된 칩 전자 부품 반송 원반, 단, 그 칩 전자 부품 반송 원반에는, 대향하는 단면 각각에 전극을 갖는 칩 전자 부품을 일시적으로 수용할 수 있는 복수의 투공이 그 원주를 따라 복수 열 형성되어 있다, 그리고 그 반송 원반의 회전 경로에 따라 순서대로 형성된, 그 반송 원반의 투공에 칩 전자 부품을 공급하여 수용시키는 칩 전자 부품 공급 수용부, 칩 전자 부품의 전기적 특성의 검사를 실시하는 고정 전극 단자와 가동 전극 단자로 이루어지는 검사용 전극 단자 세트가 복수 세트 구비된 전기적 특성 검사부, 그리고 검사가 완료된 칩 전자 부품을 검사 결과에 기초하여 분류하는 분류부를 포함하고, 상기 고정 전극 단자와 가동 전극 단자 각각에는 릴레이 스위치 수단을 개재하여 전기적 특성 검사기가 접속되어 있는 칩 전자 부품 검사 선별 장치로서, 상기 릴레이 스위치 수단으로서 케이스에 수용된 MOS FET 를 사용하고, 이 MOS FET (와 그 구동 회로) 를 수용한 케이스를, 상기 검사용 전극 단자 세트의 고정 전극 단자와 가동 전극 단자 각각에 인접 배치하고, 그 고정 전극 단자와 그 가동 전극 단자에 상기 MOS FET 를 커넥터를 개재하여 접속시킨 것을 특징으로 하는 칩 전자 부품 검사 선별 장치이다.Accordingly, the present invention relates to a base and a chip electronic component conveyance disc rotatably supported on the base, provided that the chip electronic component conveying disc can temporarily accommodate a chip electronic component having an electrode on each of its opposite end surfaces. A plurality of perforations are formed in a plurality of rows along the circumference thereof, and are sequentially formed along the rotational path of the conveyance disk, and a chip electronic component supply receiving unit for supplying and accommodating chip electronic components in the through holes of the conveying disk; Includes an electrical property inspection unit having a plurality of sets of electrode terminal sets for inspection comprising fixed electrode terminals and movable electrode terminals for inspecting electrical characteristics of components, and a classification unit for classifying chip electronic components that have been inspected based on inspection results and an electrical characteristic tester connected to each of the fixed electrode terminal and the movable electrode terminal via a relay switch means, wherein a MOS FET housed in a case is used as the relay switch means, and the MOS FET (and its driving circuit) are disposed adjacent to each of the fixed electrode terminal and the movable electrode terminal of the test electrode terminal set, and the MOS FET is connected to the fixed electrode terminal and the movable electrode terminal via a connector. It is a chip electronic component inspection and sorting apparatus characterized by being connected.
본 발명의 칩 전자 부품 검사 선별 장치에 있어서, 상기 커넥터는 케이스의 단면에 구비되어 있는 것이 바람직하고, 또 상기 MOS FET 는, ON 저항이 50O mΩ 이하, OFF 용량이 20 pF 이하인 MOS FET 인 것이 바람직하다.In the chip electronic component inspection and sorting device of the present invention, the connector is preferably provided on the end face of the case, and the MOS FET is preferably a MOS FET having an ON resistance of 500 mΩ or less and an OFF capacitance of 20 pF or less. Do.
본 발명의 칩 전자 부품 검사 선별 장치에서는, 검사용 전극 단자 세트와 전기적 특성 검사기의 접속 수단으로서 수은 릴레이 스위치 대신에 반도체 스위치 소자인 M0S FET 와 그 구동 회로를 사용하기 때문에, 수은 릴레이 스위치의 사용에 의해 발생하는 문제, 즉, 불충분한 사용 수명, 접속 전환의 고속화의 한계, 그리고 수은을 사용하는 것에 의한 환경에 대한 리스크를 회피할 수 있다.In the chip electronic component inspection and sorting device of the present invention, a semiconductor switch element MOS FET and its driving circuit are used instead of the mercury relay switch as a connection means between the electrode terminal set for inspection and the electrical characteristic tester, so the use of the mercury relay switch It is possible to avoid the problems caused by the use of mercury, namely, insufficient service life, the limitation of speeding up connection switching, and the risk to the environment due to the use of mercury.
또한, 본 발명의 칩 전자 부품 검사 선별 장치에서는, 칩 전자 부품의 전기적 특성 측정을 위한 전기적 특성 검사구와 검사용 전극 단자 세트의 접속 작업이 매우 용이해지고, 또한 검사용 전극 단자 세트의 설치 그리고 수리 등의 작업이 간소된다는 이점도 있다. 즉, 종래의 칩 전자 부품 검사 선별 장치에 있어서, 예를 들어 3 세트의 전극 단자 세트와 3 세트의 수은 릴레이 스위치를 동축 케이블로 접속하는 경우에는, 각 세트의 고정 전극 단자와 가동 전극 단자 각각과 3 세트의 수은 릴레이 스위치를 접속하는 동축 케이블은 합계 6 개가 된다. 그리고, 전극 단자 세트에 문제가 발생한 경우에는, 동축 케이블을 전극 세트로부터 일단 제거하고, 수리 혹은 교환을 실시할 필요가 있어, 번잡한 작업이 필요해진다. 또, 전술한 바와 같이 전극 단자 세트는 그 사이즈가 작기 때문에, 1 쌍의 전극 단자 세트로부터 동축 케이블을 제거할 때에는, 거기에 인접하는 전극 단자 세트로부터도 동축 케이블을 제거하는 것이 필요해지는 경우도 많아, 이 때문에 전극 단자 세트의 교환이나 수리의 작업은 더욱 번잡해지는 경향이 있다. 또한, 이와 같은 번잡한 작업은 당연히 선별기로의 검사용 전극 단자 세트의 장착과 동축 케이블의 접속시에도 필요해진다. 본 발명의 칩 전자 부품 검사 선별 장치에서는, 검사용 전극 단자 세트와 접속 전환 수단 (전극 단자 세트와 검사기의 전기적 접속을 전환하는 수단) 의 접속에 동축 케이블을 사용할 필요가 없기 때문에, 상기 서술한 번잡한 작업이 불필요해지므로, 칩 전자 부품 검사 선별 장치의 조립 작업이나 수리 작업이 매우 간단해진다는 이점도 있다.In addition, in the chip electronic component inspection and sorting apparatus of the present invention, the connection operation of the electrical property inspection tool for measuring the electrical characteristics of the chip electronic component and the electrode terminal set for inspection becomes very easy, and the installation and repair of the electrode terminal set for inspection, etc. There is also the advantage of simplifying the operation of That is, in the conventional chip electronic component inspection and sorting apparatus, for example, when three sets of electrode terminal sets and three sets of mercury relay switches are connected with a coaxial cable, each set of fixed electrode terminals and movable electrode terminals The total number of coaxial cables connecting 3 sets of mercury relay switches is 6 pieces. And when a problem arises in an electrode terminal set, once a coaxial cable is removed from an electrode set, it is necessary to repair or replace, and complicated operation|work is required. Further, since the electrode terminal set is small in size as described above, when removing the coaxial cable from a pair of electrode terminal sets, it is often necessary to remove the coaxial cable also from the electrode terminal set adjacent thereto. , for this reason, the operation of replacing or repairing the electrode terminal set tends to be more complicated. In addition, such a complicated operation is, of course, also required at the time of mounting the electrode terminal set for inspection to the selector and connecting the coaxial cable. In the chip electronic component inspection and sorting apparatus of the present invention, since it is not necessary to use a coaxial cable to connect the electrode terminal set for inspection and the connection switching means (means for switching the electrical connection between the electrode terminal set and the inspection machine), it is not necessary to use a coaxial cable. Since one operation becomes unnecessary, there is also an advantage that the assembly operation and repair operation of the chip electronic component inspection and sorting device become very simple.
도 1 은 검사 대상인 칩 전자 부품의 구성을 칩 커패시터를 예로 들어 나타내는 사시도.
도 2 는 칩 전자 부품 검사 선별 장치의 전체 구성의 예를 나타내는 정면도.
도 3 은 칩 전자 부품 검사 선별 장치의 칩 전자 부품 반송 원반과 그 반송 원반의 회전 경로에 그 회전 방향을 따라 순서대로 배치된 칩 전자 부품 공급 수용부 (공급 수용역), 칩 전자 부품 전기적 특성 검사부 (검사역) 그리고 칩 전자 부품 분류부 (분류역) 를 나타내는 도면.
도 4 는 칩 전자 부품 반송 원반의 정면도, 그리고 반송 원반과 그 배후의 지지 구조의 단면도.
도 5 는 칩 전자 부품 공급 수용부의 정면도와 측면도를 나타내는 도면. 또한, 파선은, 칩 전자 부품 공급 수용부의 내부 구조를 나타내기 위해 추가적으로 그려져 있다.
도 6 은 칩 전자 부품 공급 수용부에 구비되어 있는 버킷의 내부 구조를 나타내는 도면으로, (a) 는 버킷의 내부 구조를 나타내는 정면도이고, (b) 는 버킷의 측면 단면도. 또한, 후자의 버킷의 측면 단면도에는, 반송 원반과 반송 원반의 배후에 구비되어 있는 베이스판 (기준대) 의 측면의 단면도 나타나 있다.
도 7 은 칩 전자 부품 공급 수용부에서의 반송 원반의 투공으로의 칩 전자 부품의 공급과 수용 상태를 나타내는 단면도이고, 반송 원반 상에 원주를 따라 원호상으로 나란히 배치되어 있는 투공에 칩 전자 부품이 수용되고, 반송되고 있는 상태를 나타내는 도면. 화살표는, 반송 원반의 회전 방향 (투공의 이동 방향) 을 나타낸다.
도 8 은 반송 원반의 투공에 수용된 칩 전자 부품의 전기적 특성을 검사부에서 검사하는 상태를 나타내는 단면도.
도 9 는 반송 원반의 투공에 수용되고, 검사부에서의 검사가 종료된 칩 전자 부품을 분류부에서 배출하고 있는 상태를 나타내는 도면.
도 10 은 공지된 칩 전자 부품에서 전환 수단으로서 이용되고 있는 수은 릴레이를 포함하는 배선 계통을 나타내는 회로도.
도 11 은 본 발명의 칩 전자 부품에서 전환 수단으로서 사용하여 케이스에 수용된 M0S FET 를 포함하는 배선 계통의 예를 나타내는 회로도.
도 12 는 본 발명의 칩 전자 부품에서 사용되는 MOS FET 를 수용한 케이스 (커넥터 장착) 와 검사용 전극 세트의 조합을 나타내는 개략도.
도 13 은 도 12 에 나타낸 케이스 (MOS FET 를 수용하고 있다) 가 검사용 전극 세트에 장착된 상태를 나타내는 개략도.
도 14 는 도 13 에 나타낸 케이스 (MOS FET 를 수용하고 있다) 가 장착되어 있는 검사용 전극 세트를 사용하여 칩 전자 부품의 검사를 실시하고 있는 상태를 나타내는 개략도.
도 15 는 칩 전자 부품 검사 선별 장치에 있어서의 MOS FET 와 검사용 전극 단자 세트를 연결하는 동축 케이블의 길이와 전기적 특성 측정값의 정밀도 (표준 편차로 표시) 의 관계를 나타내는 그래프.1 is a perspective view illustrating a configuration of a chip electronic component to be inspected using a chip capacitor as an example;
Fig. 2 is a front view showing an example of the overall configuration of a chip electronic component inspection and sorting device;
3 is a chip electronic component conveyance disk of the chip electronic component inspection and sorting device, a chip electronic component supply receiving unit (supply receiving area), and a chip electronic component electrical characteristic inspection unit arranged sequentially along the rotational direction in the rotation path of the conveying disk; (Inspection area) and a diagram showing a chip electronic component classification unit (classification area).
Fig. 4 is a front view of the chip electronic component conveyance disc, and a cross-sectional view of the conveying disc and a support structure behind it;
5 is a view showing a front view and a side view of a chip electronic component supply receiving unit. In addition, the broken line is additionally drawn to indicate the internal structure of the chip electronic component supply receiving unit.
6 is a view showing the internal structure of a bucket provided in a chip electronic component supply receiving unit, (a) is a front view showing the internal structure of the bucket, (b) is a side cross-sectional view of the bucket. Moreover, the cross-sectional view of the side surface of the conveyance master and the base plate (standard stand) provided behind the conveyance master and the back of the conveyance master is shown in the sectional side surface sectional drawing of the latter bucket.
Fig. 7 is a cross-sectional view showing the supply and accommodation state of the chip electronic component through the hole of the transfer disk in the chip electronic component supply receiving section, and the chip electronic component is placed in the hole arranged in an arc along the circumference on the transfer disk. A drawing showing the state of being accommodated and conveyed. An arrow indicates the rotational direction of the conveyance disk (the movement direction of the hole).
Fig. 8 is a cross-sectional view showing a state in which an inspection unit inspects electrical characteristics of a chip electronic component accommodated in a hole in a conveyance disk;
Fig. 9 is a view showing a state in which the chip electronic component accommodated in the hole of the conveying disk and the inspection by the inspection unit is completed is discharged from the sorting unit;
Fig. 10 is a circuit diagram showing a wiring system including a mercury relay used as a switching means in a known chip electronic component;
Fig. 11 is a circuit diagram showing an example of a wiring system including MOS FETs housed in a case and used as switching means in the chip electronic component of the present invention;
Fig. 12 is a schematic diagram showing a combination of a case (with connector) for accommodating a MOS FET used in a chip electronic component of the present invention and a test electrode set;
Fig. 13 is a schematic view showing a state in which the case (accommodating a MOS FET) shown in Fig. 12 is mounted on a test electrode set;
Fig. 14 is a schematic diagram showing a state in which the chip electronic component is inspected using the inspection electrode set to which the case (which houses the MOS FET) shown in Fig. 13 is mounted;
Fig. 15 is a graph showing the relationship between the length of a coaxial cable connecting a MOS FET and an electrode terminal set for inspection in a chip electronic component inspection and sorting device, and the precision (expressed in standard deviation) of electrical characteristic measurement values;
이하에, 본 발명의 칩 전자 부품 검사 선별 장치의 대표적인 구성에 대하여, 첨부 도면인 도 1 ∼ 도 14 를 참조하면서 설명한다. 또한, 지금까지 기재한 설명으로부터 명백한 바와 같이, 본 발명은, 공지된 칩 전자 부품 검사 선별 장치의 접속 전환 수단 (릴레이 스위치) 을 포함하는 접속 전환 구조에 관한 개량이기 때문에, 먼저 공지된 칩 전자 부품 검사 선별 장치의 대표적인 구성에 대해 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the typical structure of the chip|tip electronic component inspection and sorting apparatus of this invention is demonstrated, referring FIGS. 1-14 which are accompanying drawings. Moreover, since this invention is an improvement regarding the connection switching structure containing the connection switching means (relay switch) of a well-known chip electronic component inspection and sorting apparatus, since it is clear from the description given so far, it is a well-known chip electronic component first. A typical configuration of the test screening device will be described.
도 1 은, 검사 대상인 칩 전자 부품을, 칩 커패시터를 예로 들어 그 구성을 나타내는 사시도이고, 칩 전자 부품 (칩 커패시터) (19) 은, 유전체로 이루어지는 커패시터 본체 (21) 와 그 양단에 대향하여 형성된 1 쌍의 전극 (22a, 22b) 으로 구성되어 있다. 통상의 칩 커패시터 (19) 는, 유전체로서 세라믹을 사용한 칩 세라믹 커패시터이다. 또한, 통상의 칩 전자 부품의 전극 표면에는, 칩 전자 부품의 각종 기판으로의 실장을 위한 땜납층이 부설되어 있다.1 is a perspective view showing the configuration of a chip electronic component to be inspected using a chip capacitor as an example, wherein a chip electronic component (chip capacitor) 19 is formed opposite to a
도 2 는, 칩 전자 부품 검사 선별 장치의 구성예를 나타내는 정면도이고, 도 3 은, 칩 전자 부품 검사 선별 장치의 칩 전자 부품 반송 원반과 그 반송 원반의 회전 경로에 그 회전 방향을 따라 순서대로 배치된 칩 전자 부품 공급 수용부 (공급 수용역), 칩 전자 부품 전기적 특성 검사부 (검사역) 그리고 칩 전자 부품 분류부 (분류역) 를 나타낸다. 도 2 의 칩 전자 부품 검사 선별 장치는, 반송 원반에 그 원주를 따라 다수의 투공이 6 열로 나열된 배치의 장치이다. 또한, 도 3 의 반송 원반은, 도시의 간략화를 위해서, 반송 원반을, 그 원주를 따라 다수의 투공이 3 열로 나열된 구성으로 나타내고 있다. 도 4 의 (a) 는, 도 3 에 나타낸 칩 전자 부품 반송 원반의 정면도이고, 그리고 도 4 의 (b) 는, 반송 원반과 그 배후의 지지 구조를 나타내는 단면도이다.Fig. 2 is a front view showing a configuration example of a chip electronic component inspection and sorting apparatus, and Fig. 3 is a chip electronic component conveyance disk of the chip electronic component inspection and selection apparatus and a rotation path of the conveyance disk are sequentially arranged along the rotational direction. Indicates the chip electronic component supply receiving section (supply receiving area), the chip electronic component electrical characteristic inspection section (inspection area), and the chip electronic component classification section (sorting area). The chip electronic component inspection and sorting apparatus of FIG. 2 is an apparatus of arrangement|positioning in which many perforation|holes were arranged in 6 rows along the circumference on a conveyance disk. In addition, for the simplification of illustration, the conveyance master of FIG. 3 has shown the conveyance master by the structure in which many through-holes were arranged in 3 rows along the circumference|surroundings. Fig.4 (a) is a front view of the chip electronic component conveyance master shown in FIG. 3, (b) is sectional drawing which shows the conveyance master and the support structure behind it.
도 2 에 나타내는 칩 전자 부품 검사 선별 장치 (10) 에서는, 원반상 재료의 표면 상에 칩 전자 부품 (예, 칩 커패시터) 을 일시적으로 수용할 수 있는 다수의 투공 (11a) 이 원주를 따라 나열된 배치로 형성된 칩 전자 부품 반송 원반 (이하, 간단히 반송 원반이라고 하는 경우가 있다) (11) 이 원반의 평면을 따른 회전이 가능하도록, 기대 (41) 에 축 지지되어 있다. 반송 원반 (11) 의 회전 경로에는, 도 3 에 나타내고 있는 바와 같이, 칩 전자 부품의 공급 수용부 (공급 수용역) (101), 칩 전자 부품의 전기적 특성의 검사부 (검사역) (102), 그리고 칩 전자 부품의 분류부 (분류역) (103) 가 설정되어 있다. 검사부 (102) 에서는, 반송 원반 (11) 의 각 열의 각 투공 (11a) 의 양 개구부에 근접한 위치에 전기적 특성 측정용의 전극 단자가 구비되어 있다. 전극 단자에는, 검사기 (14a, 14b) 가 전기적으로 접속되고, 그리고 검사기에 검사 처리에 관한 신호를 공급하도록 검사기에 전기적으로 접속되어 있는 제어기 (15) 가 구비되어 있다. 또한, 검사 대상인 칩 전자 부품은 호퍼 (47) 에 넣어지고, 칩 전자 부품 공급구 (31) 로부터 버킷 (도 5, 6 참조) 을 통하여, 반송 원반 (11) 의 투공에 공급된다.In the chip electronic component inspection and sorting
칩 전자 부품 반송 원반 (11) 의 투공 (11a) 은 통상, 반송 원반의 표면에, 복수의 동심원 상에서, 이 동심원을 등분할한 위치에 배치된다.The through
도 2 에 나타내고 있는 장치 (10) 에서는, 반송 원반 (11) 의 중심과 둘레 가장자리 사이에서 반경 방향으로 나열되는 합계로 6 개의 투공이 형성되어 있고, 각각의 투공에 수용된 합계 6 개의 칩 전자 부품마다, 칩 전자 부품의 전기적 특성의 검사가 실시된다. 반송 원반 (11) 의 중심과 둘레 가장자리 사이에서 직경 방향으로 나열되는 투공의 수는 3 ∼ 20 개의 범위 내에 있는 것이 바람직하고, 3 ∼ 12 개의 범위 내에 있는 것이 더욱 바람직하다.In the
반송 원반 (11) 은, 기대 (41) 에, 예를 들어 베이스판 (기준대) (45), 그리고 중심축 (42) 을 개재하여 회전 가능하게 설치 (고정) 되어 있고, 그 배면측에 배치 형성된 회전 구동 장치 (43) 를 작동시킴으로써, 중심축 (42) 의 주위를 간헐 적으로 회전한다.The
반송 원반 (11) 의 투공 (11a) 에는, 칩 전자 부품 공급 수용부 (101) 에서, 검사 대상인 칩 전자 부품이, 그 전기적 특성을 검사하기 위해 일시적으로 수용된다.The chip electronic component to be inspected is temporarily accommodated in the through
칩 전자 부품 공급 수용부 (101) 의 상세한 구성은, 도 5 와 도 6 에 나타내고 있다. 칩 전자 부품 공급 수용부 (101) 는 버킷부라고도 불리고, 외부로부터 칩 전자 부품 공급구 (31) 로부터 공급되는 칩 전자 부품을 버킷 (32) 을 통하여 반송 원반 (11) 의 투공 (11a) 에 수용시키기 위한 영역이다. 도 5 와 도 6 에 있어서, 버킷 (32) 은, 반송 원반 (11) 에 형성된 3 열 (도 3 과 동일하게 간락화를 위해서 3 열로 나타내었다) 의 투공군에 칩 전자 부품을 공급하기 위한 구성으로서 칩 전자 부품을 3 열로 원호상으로 하강시키기 위한 3 열의 홈이 구획벽 (33) 에 의해 분리되어, 형성되어 있다. 칩 전자 부품 공급구 (31) 로부터 공급되고, 버킷 (32) 의 내부에서 구획벽 (33) 을 따라 하강한 칩 전자 부품은, 버킷 (32) 의 바닥부 부근에서, 베이스판 (기준대) (45) 에 형성되어 있는 기체 흡인 통로 (45a) 를 통하여 반송 원반 (11) 의 투공 (11a) 에서 발생되는 강한 흡인력에 의해 투공 (11a) 에 흡인 수용된다. 또한, 이 칩 전자 부품의 반송 원반 (11) 의 투공 (11a) 으로의 흡인 수용은, 통상 반송 원반을 일단 정지 상태로 하여 실시된다.The detailed structure of the chip electronic component
도 7 은, 칩 전자 부품이 반송 원반 (11) 의 투공 (11a) 으로 흡인 수용되는 상태를 나타낸다. 즉, 버킷 (32) 의 바닥부 부근에 집적된 칩 전자 부품 (19) 은, 베이스판 (기준대) (45) 에 형성되어 있는 기체 흡인 통로 (45a) 를 통하여 반송 원반 (11) 의 투공 (11a) 에서 발생되는 강한 흡인력에 의해 투공 (11a) 에 흡인 수용된다. 또한, 이 버킷 (32) 의 바닥부 부근에 집적된 칩 전자 부품 (19) 의 투공 (11a) 으로의 흡인 수용시에는, 버킷 (32) 의 바닥부 부근에 외부로부터 공기를 불어 넣어 기류를 생성시키고, 칩 전자 부품 (19) 을 교반 상태로 부유시키는 것이, 칩 전자 부품의 흡인 수용을 원활하게 진행시키기 위해 바람직하다. 이와 같은 버킷 (32) 의 바닥부 부근에 외부로부터 공기를 불어 넣는 것은, 예를 들어, 도 6 에 도시되어 있는 공기 취출 (37) 을 이용하여 실시할 수 있다.7 : shows the state in which a chip electronic component is sucked-in by the through-
상기 서술한 바와 같이, 칩 전자 부품 반송 원반 (11) 의 이측 혹은 장치의 후방측 (도 7 에서 우측) 에는, 베이스판 (45) 이 배치 형성되어 있다. 베이스판 (45) 에는, 각각 반송 원반 (11) 측의 표면에서 개구되는 복수의 기체 흡인 통로 (45a) 가 형성되어 있다. 각각의 기체 흡인 통로는, 투공에 강한 흡인력을 공급하는 기체 흡인 장치 (46) 에 접속되어 있다. 기체 흡인 장치 (46) 를 작동시키면, 기체 흡인 통로 (45a) 내의 기체가 강한 흡인력으로 흡인되어, 반송 원반 (11) 과 베이스판 (45) 사이에 형성되어 있는 간극이 감압 상태가 된다.As mentioned above, the
반송 원반 (11) 을, 도 7 에 기입한 화살표가 나타내는 방향으로 간헐적으로 회전시키면서, 칩 전자 부품을 칩 전자 부품 공급구 (31) 와 버킷 (32) 을 통하여 반송 원반의 표면에 공급하고, 기체 흡인 장치 (46) 를 작동시켜 반송 원반 (11) 과 베이스판 (45) 사이의 간극을 감압 상태로 하면, 반송 원반 (11) 의 투공 (11a) 각각에 칩 전자 부품 (19) 이 흡인 수용된다.While intermittently rotating the
상기 반송 원반 (11) 의 간헐적인 회전 이동에 의해, 반송 원반 (11) 의 투공 (11a) 에 수용된 칩 전자 부품 (19) 은, 이어서, 도 2 및 도 3 에 나타나 있는 검사부 (102) 로 보내진다. 또한, 반송 원반 (11) 과 베이스판 (45) 사이의 간극은, 칩 전자 부품 (19) 의 투공 (11a) 내로의 수용이 완료된 후에는, 반송 원반 (11) 이 회전하여, 투공 (11a) 에 수용된 칩 전자 부품 (19) 이 검사부 (102) 로 이동하고, 또한 분류부 (103) 에 도달할 때까지는 약한 감압 상태가 된다. 이 때문에, 칩 전자 부품 공급 수용부 (101) 에서 반송 원반 (11) 의 투공 (11a) 에 수용된 칩 전자 부품 (19) 은, 반송 원반 (11) 의 그 후의 회전에 의해, 검사부 (102) 를 경유하여 분류부 (103) 에 도달할 때까지, 투공 (11a) 으로부터 탈락되는 경우는 없다.By the intermittent rotational movement of the
검사부에는, 도 8 에 나타내는 바와 같이, 칩 전자 부품을, 그 전기적 특성의 검사기에 전기적으로 접속시키기 위해, 반송 원반 (11) 의 투공 (11a) 의 양 개구부에 근접한 위치에, 각각 쌍으로 구성된 12a 와 13a 의 조합 (전자가 고정 전극 단자이고 후자가 가동 전극 단자, 이하 동일), 12b 와 13b 의 조합, 12c 와 13c 의 조합, 12d 와 13d 의 조합, 12e 와 13e 의 조합, 그리고 12f 와 13f 의 조합이 배치되어 있다.In the inspection section, as shown in Fig. 8 , in order to electrically connect the chip electronic component to the inspection machine having the electrical characteristics thereof, at positions adjacent to both openings of the through
상기와 같이 일방의 전극 단자 (12a, 그 외) 는, 그 주위에 배치 형성된 전기적으로 절연성의 통체를 개재하여 베이스판 (45) 에 고정되어 있다. 전극 단자 및 베이스판 (45) 의 반송 원반측의 표면은 통상, 연마 가공 등에 의해 평활한 평면으로 되어 있다. 타방의 전극 단자 (13a, 그 외) 는 가동 전극으로서, 전극 단자 지지판 (53) 에 전진 후퇴가 가능하도록 지지되어 있다.As mentioned above, one
전극 단자 지지판 (53) 을 반송 원반 (11) 측에 이동시킴으로써, 전극 단자 지지판 (53) 에 지지된 가동 전극 단자 (13a, 그 외) 도 또한, 반송 원반 (11) 측으로 이동한다. 이 가동 전극 단자 (13a, 그 외) 의 이동에 의해, 칩 전자 부품은, 쌍으로 되어 있는 전극 단자 (12a, 13a, 그 외) 사이에 협지되어 접촉 상태가 된다. 이 때문에, 칩 전자 부품의 전극 (22a) 은 전극 단자 (12a, 그 외) 에 전기적으로 접속되고, 그리고 전극 (22b) 은 전극 단자 (13a, 그 외) 에 전기적으로 접속된다. 이로써, 칩 전자 부품은, 쌍으로 된 전극 단자 (12, 13a, 그 외) 를 개재하여, 검사기에 전기적으로 접속된다.By moving the electrode
또한, 쌍으로 되어 있는 전극 단자가 배치되는 반송 원반의 각 투공의 양 개구부에 「근접한 위치」란, 각 투공에 칩 전자 부품이 수용되었을 때, 각 전극 단자가 각 칩 전자 부품의 전극에 전기적으로 접속되는 위치, 혹은 전극 단자가 이동 가능한 구성으로 되어 있는 경우에는, 전극 단자를 이동시킴으로써 칩 전자 부품의 전극에 전기적으로 접속시키는 것이 가능한 위치를 의미한다.In addition, when a chip electronic component is accommodated in each hole, the "position adjacent" to both openings of each through hole of the conveyance disk in which the paired electrode terminals are arranged means that each electrode terminal is electrically connected to the electrode of each chip electronic component. When the position to be connected or the electrode terminal is configured to be movable, it means a position that can be electrically connected to the electrode of the chip electronic component by moving the electrode terminal.
그리고, 검사부 (102) 에서는, 반송 원반 (11) 의 직경 방향으로 일렬로 나열되도록 수용 배치된 6 개의 칩 전자 부품 (19a, 19b, 19c, 19d, 19e, 19f) 각각에 대하여 소정의 전기적 특성이 검사된다.Then, in the
전기적 특성이 검사된 칩 전자 부품은 이어서, 반송 원반 (11) 의 간헐적인 회전 이동에 의해, 도 2 및 도 3 에 나타내는 칩 전자 부품의 분류부 (103) 에 보내진다.The chip electronic component whose electrical characteristics were inspected is then sent to the chip electronic
도 9 에 나타내는 바와 같이, 분류부 (103) 에는, 반송 원반 (11) 의 표측 혹은 장치의 전면측 (도 9 에서는 좌측) 에, 복수 개의 투공 (61a) 이 형성된 튜브 지지 커버 (61) 가 배치 형성되어 있다. 튜브 지지 커버 (61) 의 투공 (61a) 각각에는, 칩 전자 부품 (19a) 의 배출 통로를 구성하는 튜브 (62) 가 접속되어 있다. 또한, 도 2 에서는, 튜브 지지 커버 (61) 의 투공 (61a) 각각에 접속되는 튜브 (62) 중 일부의 튜브만이 나타나 있다.As shown in FIG. 9, the
또, 반송 원반 (11) 의 이측 혹은 장치의 후방측 (도 9 에서 우측) 에 배치되어 있는 베이스판 (45) 에는, 분류부 (103) 의 영역에서, 각각 반송 원반 (11) 측의 표면에서 개구되는 복수의 기체 공급 통로 (45b) 가 형성되어 있다. 각각의 기체 공급 통로 (45b) 는, 가압 기체 공급 장치 (63) 에 접속되어 있다.Further, on the
가압 기체 공급 장치 (63) 를 작동시키면, 기체 공급 통로 (45b) 에 가압 기체가 공급되고, 반송 원반 (11) 의 투공 (11a) 에 수용되어 있는 칩 전자 부품 (19a) 에 가압 기체가 분사된다. 이로써, 칩 전자 부품은, 튜브 (62) 로 배출된다.When the pressurized
칩 전자 부품 (19a) 은, 예를 들어, 도 2 에 나타내는 튜브 지지 커버 (61) 에 형성된 복수 개의 투공 (61a) 중, 가장 외주측에 있는 합계로 10 개의 투공 (61a) 을 통과한다. 이 10 개의 투공 (61a) 은, 각각 튜브 (62) 를 개재하여 칩 전자 부품 수용 용기 (64) 에 접속되어 있다.The chip
따라서, 분류부 (103) 에서 투공으로부터 배출된 칩 전자 부품은, 튜브 지지 커버 (61) 의 10 개의 투공 (61a) 에 접속된 합계 10 개의 튜브 (62) 중 어느 것을 통하여, 검사 결과 판명된 전기적 특성에 기초하여, 미리 정해진 칩 전자 부품 수용 용기 (64) 에 수용된다.Therefore, the electronic component of the chip discharged from the hole in the
다음으로, 본 발명의 칩 전자 부품 검사 선별 장치에서 사용되는 릴레이 수단 (전환기) 에 대해 설명하지만, 그 전에 공지된 칩 전자 부품 검사 선별 장치에 있어서의 수은 릴레이의 배치에 대해 설명한다.Next, although the relay means (switching device) used by the chip electronic component inspection and sorting apparatus of this invention is demonstrated, arrangement|positioning of the mercury relay in the previously well-known chip electronic component inspection and selection apparatus is demonstrated.
칩 전자 부품 검사 선별 장치에 있어서의 수은 릴레이의 배치에 대해서는, 특허문헌 1 의 기재와 도 7 로부터 개략을 이해할 수 있지만, 본원 명세서의 첨부 도면인 도 10 에 더욱 자세한 구성을 나타낸다. 도 10 은, 사단자법에 의한 고정 전극 단자 (12a, 12b, 12c) 와 가동 전극 단자 (13a, 13b, 13c) 의 합계 3 세트의 조합이 각각 수은 릴레이 스위치 (20) 를 개재하여 검사기 (14a) 에 전기적으로 접속 가능하게 되어 있는 시스템을 나타내는 회로도이다. 검사기 (14a) 에는, 칩 전자 부품 (19a, 19b, 19c) 의 각각에 접촉되는 각 전극 단자에 수은 릴레이 스위치 (20) 를 개재하여 전기적으로 접속되어 있는 4 개의 단자 (Hcur, Hpot, Lcur, Lpot) 가 구비되어 있다.About arrangement of the mercury relay in a chip electronic component inspection and sorting apparatus, although outline can be understood from description of patent document 1 and FIG. 7, a more detailed structure is shown in FIG. 10 which is an accompanying drawing of this specification. In Fig. 10, a combination of three sets of fixed
각각의 수은 릴레이 스위치 (20) 는, 검사기 (14a) 그리고 제어기 (15) 로부터 송신되는 지시에 따라, 검사기 (14a) 와 각 전극 단자의 전기적인 접속의 전환을 실시한다. 도 10 으로부터는, 수은 릴레이 스위치 (20) 의 칩 전자 부품 검사 선별 장치 내에 있어서의 배치에 관한 정보는 얻어지지 않지만, 전술한 바와 같이, 수은 릴레이 스위치는 그 사이즈가 크기 때문에, 그 위치는 전극 단자의 근처가 아니고, 전극 단자 세트로부터 떨어진 검사기 (14a) 의 근방에 배치하고, 동축 케이블에서 각 전극 단자와 수은 릴레이 스위치를 접속하는 것이 일반적이다.Each
다음으로, 본 발명에서 이용하는 케이스에 수용된 MOS FET 와 그 배치에 대해 도 11 ∼ 도 14 를 참조하여 설명한다.Next, the MOS FET accommodated in the case used in the present invention and its arrangement will be described with reference to Figs.
도 11 로부터는, 케이스 (23) 에 수용된 MOS FET (24) 가, 그 일방의 단부에서 검사기 (14a) 에 접속되고, 타방의 단부에서 케이스 (23) 의 외부로 돌출된 커넥터 (전극 단자와의 접속용 커넥터) (25) 와 접속되어 있는 것을 이해할 수 있다. 또한, 커넥터는, 케이스의 단면에 형성한 오목부에 부설해도 된다.11, the
MOS FET 는, 반도체 스위치 소자로 분류되는 릴레이 스위치이고, 그 구조나 특성은 이미 알려져 있다. 본 발명의 칩 전자 부품 검사 선별 장치의 전환기 (릴레이 스위치) 로서 사용하는 MOS FET 로는, ON 저항이 500 mΩ 이하, OFF 용량이 20 pF 이하인 MOS FET 가 바람직하다.MOS FET is a relay switch classified into a semiconductor switch element, and the structure and characteristic are already known. As a MOS FET used as a switching device (relay switch) of the chip electronic component inspection and sorting device of the present invention, a MOS FET having an ON resistance of 500 mΩ or less and an OFF capacity of 20 pF or less is preferable.
도 12 로부터 명백한 바와 같이, MOS FET 를 수용하고 있는 케이스 (23) 가, 도면의 좌측 단면에, 검사기에 접속하는 동축 케이블을 구비하고, 우측 단면에는 커넥터 (25) 가 구비되어 있다. 커넥터 (25) 의 각각은, 전극 단자 유닛 (일체화된 전극 단자 세트로서, 이 도면에서는 가동 전극 단자 유닛이 나타나 있다) (26) 의 각 전극 단자와의 전기적인 접속이 가능하도록 구성되어 있다.As is clear from Fig. 12, the
도 13 에, 도 12 에 나타낸 MOS FET 를 수용하고 있는 케이스 (23) 와 전극 단자 유닛 (가동 전극 단자 유닛) (26) 이 커넥터를 개재하여 접속된 상태를 나타낸다. 이 가동 전극 단자 유닛 (26) 은, 6 개의 전극 단자를 구비하고 있고, 따라서 동일하게 6 개의 고정 전극 단자를 구비한 대응하는 고정 전극 단자 유닛과 조합되어, MOS FET (24) 를 이용하는 접속 전환 메커니즘에 의해 6 개의 칩 전자 부품의 전기적 특성을 고속으로 순차 측정할 수 있다.Fig. 13 shows a state in which a
도 14 는, 도 13 에 나타낸 MOS FET 를 수용하고 있는 케이스 (23) 와 가동 전극 단자 유닛이 커넥터를 개재하여 접속된 유닛 (가동 전극 단자측 유닛) 이, 동일하게 MOS FET 를 수용하고 있는 케이스 (23) 와 고정 전극 단자 유닛이 커넥터를 개재하여 접속된 유닛 (고정 전극 단자측 유닛) 이 반송 원반 (11) 에 수용된 칩 전자 부품 (19) 의 전기적 특성의 측정을 위해서, 칩 전자 부품 (19) 에 전극 단자에서 접촉된 상태를 나타내는 개략도이다.14 is a case in which the
또한, 본 명세서에서는, 칩 전자 부품 검사 선별 장치의 구성의 설명을, 특허문헌 1 에 기재되어 있는 칩 전자 부품 반송 원반이 수직 방향으로 배치되어 작동하는 장치를 예로 들어 설명했지만, 본 발명의 칩 전자 부품 검사 선별 장치는, 칩 전자 부품 반송 원반이 기대에 경사진 상태로 축 지지되어 있는 장치여도 되는 것은 물론이다.In addition, in this specification, although description of the structure of a chip electronic component inspection and sorting apparatus was demonstrated taking as an example the apparatus which the chip electronic component conveyance disk described in patent document 1 is arrange|positioned in a vertical direction and operates, the chip electronic component of this invention It goes without saying that the component inspection and sorting apparatus may be an apparatus in which the chip electronic component conveyance master is pivotally supported in a state inclined to the base.
10 : 칩 전자 부품 검사 선별 장치
11 : 칩 전자 부품 반송 원반
11a : 투공
12a, 12b, 12c, 12d, 12e, 12f : 고정 전극 단자
13a, 13b, 13c, 13d, 13e, 13f : 가동 전극 단자
14a, 14b : 검사기
15 : 제어기
19 : 칩 전자 부품 (칩 커패시터)
19a, 19b, 19c : 칩 전자 부품 (칩 커패시터)
19d, 19e, 19f : 칩 전자 부품 (칩 커패시터)
20 : 수은 릴레이 스위치
21 : 커패시터 본체
22a, 22b : 전극
23 : 케이스 (전극 단자 접속용)
24 : MOS FET
25 : 커넥터
26 : 전극 단자 유닛 (가동 전극 단자 유닛)
31 : 칩 전자 부품 공급구
32 : 버킷
33 : 구획벽
41 : 기대
42 : 중심축
43 : 회전 구동 장치
45 : 베이스판 (기준대)
101 : 칩 전자 부품 공급 수용부 (공급 수용역)
102 : 칩 전자 부품 전기적 특성 검사부 (검사역)
103 : 칩 전자 부품 전자 부품 분류부 (분류역)10: chip electronic component inspection and sorting device
11: chip electronic component conveyance disk
11a: hole
12a, 12b, 12c, 12d, 12e, 12f: fixed electrode terminals
13a, 13b, 13c, 13d, 13e, 13f: movable electrode terminals
14a, 14b: checker
15: controller
19: chip electronic components (chip capacitors)
19a, 19b, 19c: Chip Electronic Components (Chip Capacitors)
19d, 19e, 19f: Chip Electronic Components (Chip Capacitors)
20: mercury relay switch
21: capacitor body
22a, 22b: electrode
23: Case (for electrode terminal connection)
24: MOS FET
25 : connector
26: electrode terminal unit (movable electrode terminal unit)
31: chip electronic component supply port
32 : Bucket
33: partition wall
41 : Expectation
42: central axis
43: rotary drive device
45: base plate (standard stand)
101: chip electronic component supply receiving unit (supply receiving area)
102: chip electronic component electrical characteristic inspection unit (inspection station)
103: chip electronic component electronic component classification unit (classification area)
Claims (3)
상기 릴레이 스위치 수단으로서, 케이스에 수용된 ON 저항이 500 mΩ 이하이고, OFF 용량이 20 pF 이하인 MOS FET 를 사용하는 것; 상기 케이스에는 상기 MOS FET 의 출력 회로에 접속하는 커넥터가 구비되어 있는 것; 상기 커넥터에는 상기 검사용 전극 단자 세트의 고정 전극 단자와 가동 전극 단자 각각이 빼거나 꽂는 것이 가능하게 접속되어 있는 것; 그리고 상기 케이스를 고정 전극 단자와 상기 가동 전극 단자 각각에 인접 배치시킨 것을 특징으로 하는 칩 전자 부품 검사 선별 장치.A base and a chip electronic component conveyance disc rotatably supported on the base, wherein the chip electronic component conveying disc has a plurality of through holes capable of temporarily accommodating a chip electronic component having electrodes on opposite end surfaces, respectively, on the circumference thereof. The chip electronic component conveyance disk, which is formed in a plurality of rows, and the chip electronic component supply receiving unit for supplying and accommodating the chip electronic component in the through holes of the conveying disk formed sequentially along the rotation path of the conveying disk, the chip electronic component Includes an electrical property inspection unit provided with a plurality of sets of electrode terminal sets for inspection comprising fixed electrode terminals and movable electrode terminals for inspecting electrical characteristics of components, and a classification unit for classifying electronic components on the basis of inspection results and an electrical characteristic tester connected to each of the fixed electrode terminal and the movable electrode terminal via a relay switch means,
using, as the relay switch means, a MOS FET having an ON resistance of 500 mΩ or less and an OFF capacitance of 20 pF or less, accommodated in a case; the case being provided with a connector for connecting to the output circuit of the MOS FET; a fixed electrode terminal and a movable electrode terminal of the test electrode terminal set are respectively connected to the connector so that they can be removed or inserted; and the case is disposed adjacent to each of the fixed electrode terminal and the movable electrode terminal.
상기 커넥터가 케이스의 단면에 구비되어 있는, 칩 전자 부품 검사 선별 장치.The method of claim 1,
The connector is provided on the end face of the case, chip electronic component inspection and sorting device.
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