JP6506552B2 - Chip electronic parts inspection and sorting device - Google Patents

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Description

本発明は、大量のチップ電子部品の電気的特性を高速かつ連続的に検査するために用いられるチップ電子部品検査選別装置の改良に関する。   The present invention relates to the improvement of a chip electronic component inspection and sorting apparatus used to inspect the electrical characteristics of a large amount of chip electronic components at high speed and continuously.

携帯電話、スマートフォン、液晶テレビ、電子ゲーム機などの小型電気製品の生産量の増加に伴い、このような電気製品に組み込まれる微小なチップ電子部品の生産量が著しく増加している。チップ電子部品の大部分は、絶縁材料から形成されている本体部と、本体部の対向する両端面のそれぞれに備えられている電極から形成されている。このような構成のチップ電子部品の例としては、チップキャパシタ(チップコンデンサとも呼ばれる)、チップ抵抗器(チップバリスタを含む)、およびチップインダクタを挙げることができる。   With the increase in the production of small electronic products such as mobile phones, smart phones, liquid crystal televisions, electronic game machines, etc., the production of micro chip electronic components to be incorporated into such electric products has significantly increased. Most parts of the chip electronic component are formed of a main body portion formed of an insulating material and electrodes provided on opposite end surfaces of the main body portion. Examples of chip electronic components having such a configuration include chip capacitors (also called chip capacitors), chip resistors (including chip varistors), and chip inductors.

近年、チップ電子部品が組み込まれる電気製品のさらなる小型化そして電気製品に組み込まれるチップ電子部品の数の増加に応じて、チップ電子部品は極端に小さくなってきている。例えば、チップキャパシタについては近年、極めて小さなサイズ(例、0402チップと呼ばれる、0.2mm×0.2mm×0.4mmのサイズ)のキャパシタが一般的に用いられるようになっている。このような微小のチップ電子部品は、大量生産により、一ロットが数万個〜数十万個という単位で生産されている。   In recent years, chip electronic components have become extremely small with the further miniaturization of electrical products into which chip electronic components are incorporated and with the increase in the number of chip electronic components incorporated into electrical products. For example, for chip capacitors, capacitors of very small size (for example, a size of 0.2 mm × 0.2 mm × 0.4 mm called 0402 chip) have generally been used in recent years. Such minute chip electronic components are mass-produced in units of tens of thousands to hundreds of thousands of one lot.

チップ電子部品が組み込まれる電気製品では、チップ電子部品の欠陥に起因する電気製品の不良品率を下げるため、大量に製造されるチップ電子部品について全数検査が行なわれるのが一般的である。例えば、チップキャパシタについては、その全数について、静電容量や漏れ電流等の電気的特性の検査が行われる。   In an electronic product in which chip electronic components are incorporated, it is common practice to conduct 100% inspection of chip electronic components manufactured in large quantities in order to reduce the defective product rate of the electronic products caused by defects in the chip electronic components. For example, with regard to chip capacitors, inspection of electrical characteristics such as electrostatic capacity and leakage current is performed for all the chip capacitors.

従って、大量のチップ電子部品の電気的特性の検査は高速に行なう必要があり、その高速検査を自動的に行なうための装置として、近年では、多数の透孔が形成された搬送円盤(チップ電子部品仮保持板)を備えたチップ電子部品の電気的特性の検査と選別のための自動化装置(すなわち、チップ電子部品検査選別装置)が一般的に用いられている。この搬送円盤には通常、検査対象のチップ電子部品を一時的に収容保持する多数の透孔が円周に沿って三列以上の複数列にて並べられた状態で形成されている。そして、このチップ電子部品検査選別装置の使用に際しては、回転状態にある搬送円盤の透孔にチップ電子部品を一時的に収容保持させた後、その搬送円盤に保持されているチップ電子部品に、該搬送円盤の回転経路に沿って複数組付設されている固定電極端子と可動電極端子からなる一対の電極端子セット(検査用接触子)をチップ電子部品の各電極に接触させて当該チップ電子部品の所定の電気的特性を測定し、次いで、その測定結果に基づき、チップ電子部品を搬送円盤の透孔から、所定の容器(分類容器)に収容されるように排出させて選別(あるいは分類)する作業が実施される。   Therefore, it is necessary to inspect the electrical characteristics of a large number of chip electronic components at high speed, and in recent years, as an apparatus for automatically performing the high speed inspection, a transport disk (chip electronics in which a large number of through holes are formed) 2. Description of the Related Art An automated apparatus (i.e., chip electronic component inspection and sorting apparatus) for inspection and sorting of the electrical characteristics of chip electronic components provided with component temporary holding plates) is generally used. Usually, a large number of through-holes for temporarily storing and holding chip electronic components to be inspected are formed in the transport disk in a row of three or more rows along the circumference. When the chip electronic component inspection and sorting apparatus is used, the chip electronic components are temporarily accommodated and held in the through holes of the rotating transfer disk, and then the chip electronic components are held by the transfer disk. A pair of electrode terminal sets (contacts for inspection) consisting of a plurality of fixed electrode terminals and movable electrode terminals assembled along a rotational path of the transfer disk are brought into contact with the electrodes of the chip electronic component to make the chip electronic component The electrical characteristics of the chip are measured, and then based on the measurement results, the chip electronic component is discharged from the through hole of the transfer disk so as to be accommodated in a predetermined container (classification container) for sorting (or classification) Work is carried out.

すなわち、自動化された最近のチップ電子部品の検査選別装置は、基台、基台に回転可能に軸支されたチップ電子部品搬送円盤(但し、該チップ電子部品搬送円盤には、対向する端面のそれぞれに電極を有するチップ電子部品を一時的に収容することのできる透孔が円周に沿って三列以上形成されている)、そして該搬送円盤の回転経路に沿って順に設けられた、該搬送円盤の透孔にチップ電子部品を供給収容させるチップ電子部品供給収容部(供給収容域)、チップ電子部品の電気的特性の検査を行うチップ電子部品電気的特性検査部(検査域)、そして検査済みのチップ電子部品を検査結果に基づいて分類するチップ電子部品分類部(分類域)を含むチップ電子部品検査選別装置と云うことができる。   That is, the recent automated inspection and sorting apparatus for chip electronic components has a base, a chip electronic component transfer disk rotatably supported rotatably on the base (however, the chip electronic component transfer disk has an opposing end face Three or more rows of through holes, each capable of temporarily accommodating chip electronic components having an electrode, are formed along the circumference), and provided in order along the rotation path of the transfer disc A chip electronic component supply storage section (supply storage area) for supplying and storing a chip electronic component in a through hole of a transfer disk, a chip electronic component electric characteristic inspection section (inspection area) for inspecting the electrical characteristics of the chip electronic component, It can be said to be a chip electronic component inspection and sorting apparatus that includes a chip electronic component classification unit (classification area) that classifies inspected chip electronic components based on inspection results.

例えば、チップキャパシタの静電容量の検査を行う場合には、電気的特性検査部にて、チップ電子部品検査選別装置に備えられた検査器(電気的特性測定装置)から検査用電極端子を介して、チップキャパシタに所定の周波数を持つ検査用電圧が印加される。そして、この検査用電圧の印加によりチップキャパシタにて発生する電流の電流値を検査器で検出し、この検出電流値と検査用電圧の電圧値とに基づき、検査対象のチップキャパシタの静電容量の検査が行なわれる。   For example, in the case of inspecting the capacitance of the chip capacitor, the electrical characteristic inspection unit may use an inspection device (electrical characteristic measuring device) provided in the chip electronic component inspection and sorting device via an inspection electrode terminal. Then, a test voltage having a predetermined frequency is applied to the chip capacitor. Then, the tester detects the current value of the current generated in the chip capacitor by the application of the test voltage, and based on the detected current value and the voltage value of the test voltage, the capacitance of the chip capacitor to be tested is The examination of

チップ電子部品検査選別装置の例としては、特許文献1に記載されている装置を挙げることができる。すなわち、特許文献1には、上述の構成のチップ電子部品検査選別装置を用いて、それぞれ同一の規格に基づいて所定の同一の電気的特性を示すように製造された検査対象のチップ電子部品を、搬送円盤に互いに近接して複数列配置された透孔の各々に一時的に収容保持させ、次いでチップ電子部品のそれぞれに検査器を電気的に接続した後、該検査器からそれぞれのチップ電子部品に検査用電圧を印加し、この検査用電圧の印加により各チップ電子部品にて発生する電流値を検査器により検出する工程を含むチップ電子部品の電気的特性を連続的に検査するためのチップ電子部品検査選別装置が記載されている。   As an example of the chip electronic component inspection and sorting apparatus, an apparatus described in Patent Document 1 can be mentioned. That is, in Patent Document 1, a chip electronic component to be inspected manufactured so as to exhibit predetermined identical electrical characteristics based on the same standard using the chip electronic component inspection and sorting apparatus having the above-described configuration. After temporarily storing and holding each of the through holes arranged in a plurality of rows close to each other on the transport disk and then electrically connecting the tester to each of the chip electronic components, the respective chip electronics from the tester In order to continuously inspect the electrical characteristics of the chip electronic component, including the step of applying a test voltage to the component and detecting the current value generated in each chip electronic component by the application of the test voltage by the tester. A chip electronic component inspection and sorting apparatus is described.

従来使用されているチップ電子部品検査選別装置では、搬送円盤の円周に沿って設けられている複数列の透孔に収容されたチップ電子部品の内の搬送円盤の半径方向に沿って並んだチップ電子部品の両端部の電極のそれぞれに固定電極端子と可動電極端子とからなる検査用電極端子セットを同時に接触させた状態にて、各チップ電子部品に順次電流(あるいは電圧)を付与することにより各チップ電子部品の電気的特性を検査(測定)している。この複数個のチップ電子部品への順次の電流の印加と検査値の取り出しは検査器(例、静電容量測定器)を用いて行われるが、検査選別装置の構造の簡素化が必要であることから、各チップ電子部品への電流の印加と検査値の取り出しのための検査器は検査用電極端子セットの各々に全数用意されるのではなく、通常は、2〜4組の複数組である検査用電極端子セットに対して一組の検査器が用意される。そして、それらの複数組の検査用電極端子セットと検査器とは接続切替器(リレースイッチ手段)を介して接続され、各チップ電子部品と検査器との接続は、このリレースイッチ手段を利用して高速に順次切り換えるようにされている。   In the conventionally used chip electronic component inspection and sorting apparatus, the chip electronic components accommodated in a plurality of rows of through holes provided along the circumference of the carrier disk are arranged along the radial direction of the carrier disk. A current (or voltage) is sequentially applied to each chip electronic component in a state where an inspection electrode terminal set consisting of a fixed electrode terminal and a movable electrode terminal is simultaneously brought into contact with each of the electrodes at both ends of the chip electronic component. The electrical characteristics of each chip electronic component are inspected (measured) by The sequential application of current to the plurality of chip electronic components and the extraction of the inspection value are performed using a tester (for example, a capacitance measuring device), but simplification of the structure of the inspection sorting apparatus is necessary. Therefore, testers for applying current to each chip electronic component and extracting test values are not prepared for each of the test electrode terminal sets, but usually, plural sets of 2 to 4 sets are used. A set of testers is provided for a certain test electrode terminal set. Then, the plurality of sets of inspection electrode terminal sets and the inspection device are connected via a connection switching device (relay switch means), and the connection between each chip electronic component and the inspection device utilizes the relay switch means. Switching at high speed sequentially.

WO2014/010623A1WO 2014/010623 A1

特許文献1には具体的には記載されていないが、従来使用されているチップ電子部品検査選別装置では、切替器(リレースイッチ手段)として、安定的な切替が可能な水銀リレースイッチが一般的に用いられている。ただし、前述のように近年測定対象とされているチップ電子部品は非常に微小であるため、検査用電極端子セットのサイズも非常に小型化されているのに対して、水銀リレースイッチはその体積が相対的にはるかに大きいことから、水銀リレースイッチを検査用電極端子セットに近接した位置に配置することはできない。このため水銀リレースイッチは、検査用電極端子セットの固定電極端子と可動電極端子の各々から離れた位置に配置され、それぞれが、検査用電流印加用のケーブルと検査値取り出し用のケーブルとからなる同軸ケーブルによって接続されているのが一般的である。   Although not specifically described in Patent Document 1, in the conventionally used chip electronic component inspection and sorting apparatus, a mercury relay switch capable of stable switching is generally used as a switch (relay switch means). Used in However, as described above, since the chip electronic components to be measured in recent years are extremely small, the size of the inspection electrode terminal set is also extremely miniaturized, whereas the mercury relay switch has its volume Is relatively large, the mercury relay switch can not be placed close to the test electrode terminal set. For this reason, the mercury relay switch is disposed at a position away from each of the fixed electrode terminal and the movable electrode terminal of the inspection electrode terminal set, and each comprises a cable for applying a test current and a cable for extracting an inspection value. It is common to be connected by a coaxial cable.

従来のチップ電子部品検査選別装置で電気的特性測定用検査器と検査用電極端子セットとの接続切替手段として利用されている水銀リレースイッチは信頼性の高い接続切替(スイッチング)が可能であるところから、優れた接続切替手段と云えるが、機械的な接続切替手段であるため使用寿命が充分でないこと、接続切替の高速化に限界があること、そして水銀を用いていることに起因する環境へのリスクなどの問題がある。   A mercury relay switch used as a connection switching means between a tester for measuring electrical characteristics and an inspection electrode terminal set in a conventional chip electronic component inspection and sorting device is capable of highly reliable connection switching (switching) From this point of view, it can be said that it is an excellent connection switching means, but because it is a mechanical connection switching means, the service life is not sufficient, the speed of connection switching is limited, and the environment caused by using mercury. And other problems such as

このため、本発明の発明者は、水銀リレースイッチに代わる接続切替手段を探索した。そして、その結果として、半導体スイッチ素子の一つであるMOS FETを用いることにより、水銀を用いることなく、高速な接続切替が可能となり、かつ使用寿命の延長も実現することを見いだした。   For this reason, the inventor of the present invention searched for connection switching means to replace the mercury relay switch. And as a result, it turned out that high-speed connection switching becomes possible without using mercury, and extension of a use life is also realized by using MOS FET which is one of the semiconductor switch elements.

しかしながら、さらなる研究の結果、接続切替手段として水銀リレースイッチの代わりにMOS FET(とその駆動回路)を用いると、電気的特性の測定結果の精度が低下することも判明した。例えば、従来のチップ電子部品検査選別装置(接続切替手段として水銀リレースイッチを用い、この水銀リレースイッチを検査用電極端子セットと約1メートルの同軸ケーブルにより接続している)を用いて、静電容量が1pFのキャパシタ(コンデンサ)の静電容量(Cp)と損失係数(Df)を測定し、それらの標準偏差を求めると、Cpの標準偏差は、約0.000250pF、そしてDfの標準偏差は約0.000043となる。これに対して、同じ長さの同軸ケーブルにより検査用電極端子セットとMOS FETを含む切替手段とを接続して、同じく静電容量が1pFのキャパシタの静電容量と損失係数を測定し、それらの標準偏差を求めたところ、Cpの標準偏差は、約0.000455pF、そしてDfの標準偏差は約0.000082となり、静電容量の標準偏差と損失係数の標準偏差はいずれも約2倍と増大することから、測定データの精度が低下することが分かる。   However, as a result of further research, it has also been found that using MOS FET (and its drive circuit) instead of the mercury relay switch as the connection switching means reduces the accuracy of the measurement result of the electrical characteristics. For example, using a conventional chip electronic component inspection and sorting apparatus (a mercury relay switch is used as a connection switching means, and the mercury relay switch is connected to a test electrode terminal set by a coaxial cable of about 1 meter), electrostatic Measuring the capacitance (Cp) and loss factor (Df) of a capacitor (capacitance) with a capacitance of 1 pF and determining their standard deviation, the standard deviation of Cp is about 0.0025050 pF, and the standard deviation of Df is It will be about 0.000043. On the other hand, the test electrode terminal set and the switching means including the MOS FET are connected by a coaxial cable of the same length, and the capacitance and loss coefficient of the capacitor having a capacitance of 1 pF are also measured. The standard deviation of Cp is about 0.000455 pF, and the standard deviation of Df is about 0.000082, and the standard deviation of capacitance and the standard deviation of loss coefficient are both about twice. From the increase, it can be seen that the accuracy of the measurement data is reduced.

本発明の発明者は、上記の測定結果を考慮し、接続切替手段としてMOS FETを用いた場合に発生する静電容量の標準偏差と損失係数の標準偏差のそれぞれの増加の原因の探索のための研究を行った。そして、その研究過程において、検査用電極端子セットと接続切替手段とを結ぶ同軸ケーブルの長さの影響を調べたところ、図15にグラフとして示すように、接続切替手段としてMOS FETを用いた場合に見られる静電容量と損失係数のそれぞれの標準偏差は、同軸ケーブルの長さと強い相関があり、同軸ケーブルの長さを0メートルにした場合(すなわち、同軸ケーブルを用いない場合)には、接続切替手段としてMOS FETを水銀リレースイッチの代わりに用いても、静電容量と損失係数のいずれの標準偏差についても殆ど差が現れないことを見いだした。   The inventor of the present invention considers the above measurement results and searches for causes of increase in each of the standard deviation of capacitance and the standard deviation of loss coefficient generated when a MOS FET is used as a connection switching means. Research was conducted. Then, when the influence of the length of the coaxial cable connecting the test electrode terminal set and the connection switching means was examined in the research process, as shown in FIG. 15 as a graph, the case of using the MOS FET as the connection switching means The standard deviation of each of the capacitances and loss coefficients found in has a strong correlation with the length of the coaxial cable, and when the length of the coaxial cable is 0 meter (ie, when the coaxial cable is not used), It has been found that even if MOS FETs are used instead of mercury relay switches as connection switching means, almost no difference appears in any of the standard deviations of capacitance and loss coefficient.

本発明者は、上記の新たな知見に基づき、接続切替手段としてMOS FETを用いながら、水銀リレースイッチの使用の場合と劣らない高い精度の測定データが得られる接続切替手段のチップ電子部品検査選別装置への設置方法をさらに検討した。そして、その検討の結果、MOS FETを筐体に収容し、このMOS FETを収容した筐体を、検査用電極端子セットの固定電極端子と可動電極端子のそれぞれに隣接配置した上で、筐体に収容されたMOS FET(とその駆動回路)を固定電極端子と可動電極端子にコネクタを介して直接接続させることにより、MOS FETと検査用電極端子セットとを結ぶ同軸ケーブルの使用を回避することができること、そしてその結果、チップ電子部品検査選別装置において電気的特性測定用検査器と検査用電極端子セットとの接続切替手段として、MOS FETが実用上の問題を伴うことなく使用できることを見い出し、本発明に到達した。   Based on the above new findings, the inventor of the present invention uses the FET as the connection switching means, and the chip electronic component inspection and sorting of the connection switching means can obtain measurement data with high accuracy comparable to the case of using a mercury relay switch. The installation method to the device was further examined. Then, as a result of the examination, the MOS FET is accommodated in a housing, and the housing accommodating the MOS FET is disposed adjacent to each of the fixed electrode terminal and the movable electrode terminal of the inspection electrode terminal set, By directly connecting the MOS FET (and its drive circuit) accommodated in the fixed electrode terminal and the movable electrode terminal through the connector, the use of a coaxial cable connecting the MOS FET and the inspection electrode terminal set is avoided , And as a result, it has been found that a MOS FET can be used in a chip electronic component inspection and sorting apparatus as a connection switching means between a tester for measuring electrical characteristics and an inspection electrode terminal set without causing any practical problems, The present invention has been reached.

従って、本発明は、基台、基台に回転可能に軸支されたチップ電子部品搬送円盤、但し、該チップ電子部品搬送円盤には、対向する端面のそれぞれに電極を有するチップ電子部品を一時的に収容することのできる複数の透孔がその円周に沿って複数列形成されている、そして該搬送円盤の回転経路に沿って順に設けられた、該搬送円盤の透孔にチップ電子部品を供給し収容させるチップ電子部品供給収容部、チップ電子部品の電気的特性の検査を行う固定電極端子と可動電極端子とからなる検査用電極端子セットが複数組備えられた電気的特性検査部、そして検査済みのチップ電子部品を検査結果に基づいて分類する分類部を含み、上記の固定電極端子と可動電極端子のそれぞれにはリレースイッチ手段を介して電気的特性検査器が接続されているチップ電子部品検査選別装置であって、上記リレースイッチ手段として筐体に収容したMOS FETを用い、このMOS FET(とその駆動回路)を収容した筐体を、上記検査用電極端子セットの固定電極端子と可動電極端子のそれぞれに隣接配置し、該固定電極端子と該可動電極端子に上記MOS FETをコネクタを介して接続させたことを特徴とするチップ電子部品検査選別装置にある。   Therefore, according to the present invention, a chip electronic component transfer disk rotatably supported on the base, the chip electronic component transfer disk temporarily having a chip electronic component having an electrode on each of the opposing end surfaces. A plurality of through holes which can be accommodated in a plurality of rows are formed along the circumference thereof, and chip electronic components are provided in the through holes of the transfer disc, which are sequentially provided along the rotational path of the transfer disc A chip electronic component supply / storage unit for supplying and storing a plurality of sets of test electrode terminal sets each including a fixed electrode terminal for testing the electric characteristics of the chip electronic component and a movable electrode terminal; Then, a classification unit for classifying the inspected chip electronic components based on the inspection results is included, and an electrical characteristic tester is connected to each of the fixed electrode terminal and the movable electrode terminal through relay switch means. A chip electronic component inspection and sorting apparatus, using the MOS FET housed in the housing as the relay switch means, and fixing the inspection electrode terminal set to the housing housing the MOS FET (and its drive circuit) The chip electronic component inspection and sorting apparatus is characterized in that the MOS FET is connected to the fixed electrode terminal and the movable electrode terminal through a connector, which is disposed adjacent to the electrode terminal and the movable electrode terminal.

本発明のチップ電子部品検査選別装置において、上記コネクタは筐体の端面に備えられていることが好ましく、また上記MOS FETは、ON抵抗が500mΩ以下、OFF容量が20pF以下のMOS FETであることが好ましい。   In the chip electronic component inspection and sorting apparatus according to the present invention, the connector is preferably provided on the end face of the housing, and the MOS FET is a MOS FET having an ON resistance of 500 mΩ or less and an OFF capacity of 20 pF or less. Is preferred.

本発明のチップ電子部品検査選別装置では、検査用電極端子セットと電気的特性検査器との接続手段として水銀リレースイッチの代わりに半導体スイッチ素子であるMOS FETとその駆動回路を用いるため、水銀リレースイッチの使用により発生する問題、すなわち、不充分な使用寿命、接続切替の高速化の限界、そして水銀を用いることによる環境へのリスクが回避できる。   In the chip electronic component inspection and sorting apparatus according to the present invention, the mercury relay is used as the semiconductor switch element MOS FET and its drive circuit instead of the mercury relay switch as a connection means between the inspection electrode terminal set and the electrical property inspector. The problems caused by the use of switches, namely the insufficient service life, the limit of speeding up of connection switching and the risk to the environment by using mercury can be avoided.

さらに、本発明のチップ電子部品検査選別装置では、チップ電子部品の電気的特性測定のための電気的特性検査具と検査用電極端子セットとの接続作業が極めて容易となり、また検査用電極端子セットの設置そして修理等の作業が簡素化されるとの利点もある。すなわち、従来のチップ電子部品検査選別装置において、例えば三セットの電極端子セットと三セットの水銀リレースイッチとを同軸ケーブルで接続する場合には、各セットの固定電極端子と可動電極端子のそれぞれと三セットの水銀リレースイッチとを接続する同軸ケーブルは合計6本となる。そして、電極端子セットに不具合が発生した場合には、同軸ケーブルを電極セットから一旦取り外し、修理あるいは交換を行う必要があり、煩雑な作業が必要となる。また、前述のように電極端子セットはそのサイズが小さいため、一組の電極端子セットから同軸ケーブルを取り外す際には、それに隣接する電極端子セットからも同軸ケーブルを取り外すことが必要となることも多く、このため電極端子セットの交換や修理の作業は更に煩雑になる傾向がある。なお、このような煩雑な作業は当然、選別機への検査用電極端子セットの組み込みと同軸ケーブルの接続の際にも必要となる。本発明のチップ電子部品検査選別装置では、検査用電極端子セットと接続切替手段(電極端子セットと検査器との電気的接続を切り替える手段)との接続に同軸ケーブルを用いる必要がないため、上述の煩雑な作業が不必要となるため、チップ電子部品検査選別装置の組立作業や修理作業が極めて簡単となるとの利点もある。   Furthermore, in the chip electronic component inspection and sorting apparatus of the present invention, the connection operation between the electrical property inspection tool and the inspection electrode terminal set for measuring the electric characteristics of the chip electronic component is extremely easy, and the inspection electrode terminal set There is also the advantage that the work of installation and repair is simplified. That is, in the conventional chip electronic component inspection and sorting apparatus, when, for example, three sets of electrode terminal sets and three sets of mercury relay switches are connected by coaxial cables, the fixed electrode terminals and movable electrode terminals of each set are respectively connected There are a total of six coaxial cables connecting the three sets of mercury relay switches. And when a malfunction generate | occur | produces in an electrode terminal set, it is necessary to once remove a coaxial cable from an electrode set, to repair or replace, and a complicated operation | work is needed. Further, as described above, since the electrode terminal set is small in size, when removing the coaxial cable from a set of electrode terminal sets, it may be necessary to also remove the coaxial cable from the electrode terminal set adjacent thereto. Because of this, the work of replacing and repairing the electrode terminal set tends to be more complicated. Such complicated work is, of course, also required when incorporating the test electrode terminal set into the sorting machine and connecting the coaxial cable. In the chip electronic component inspection and sorting apparatus according to the present invention, it is not necessary to use a coaxial cable to connect the inspection electrode terminal set and the connection switching means (means for switching the electrical connection between the electrode terminal set and the tester). There is also an advantage that the assembly operation and the repair operation of the chip electronic component inspection and sorting apparatus become extremely easy because the complicated operation of the device is unnecessary.

検査対象のチップ電子部品の構成をチップキャパシタを例として示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the chip | tip electronic component of test object by making a chip capacitor into an example. チップ電子部品検査選別装置の全体構成の例を示す正面図である。It is a front view which shows the example of the whole structure of a chip | tip electronic component test | inspection sorting apparatus. チップ電子部品検査選別装置のチップ電子部品搬送円盤と該搬送円盤の回転経路にその回転方向に沿って順に配置されたチップ電子部品供給収容部(供給収容域)、チップ電子部品電気的特性検査部(検査域)そしてチップ電子部品分類部(分類域)とを示す。A chip electronic component transfer disk of a chip electronic component inspection and sorting device, a chip electronic component supply storage unit (supply storage area) arranged in order along the rotation direction in the rotation path of the transfer disk, a chip electronic component electrical characteristic inspection unit (Inspection area) and a chip electronic component classification unit (classification area) are shown. チップ電子部品搬送円盤の正面図、そして搬送円盤とその背後の支持構造との断面図である。It is a front view of a chip electronic parts conveyance disk, and a sectional view of a conveyance disk and a support structure behind it. チップ電子部品供給収容部の正面図と側面図を示す。なお、破線は、チップ電子部品供給収容部の内部構造を示すために描き加えてある。The front view and side view of a chip | tip electronic component supply accommodating part are shown. The broken lines are drawn to indicate the internal structure of the chip electronic component supply and storage unit. チップ電子部品供給収容部に備えられているバケットの内部構造を示す図であり、(a)はバケットの内部構造を示す正面図で、(b)はバケットの側面断面図である。なお、後者のバケットの側面断面図には、搬送円盤と搬送円盤の背後に備えられているベース板(基準台)の側面の断面も示されている。It is a figure which shows the internal structure of the bucket with which the chip electronic component supply accommodating part is equipped, (a) is a front view which shows the internal structure of a bucket, (b) is a side sectional view of a bucket. In addition, the side cross-sectional view of the latter bucket also shows the cross-section of the side surface of the transfer disk and the base plate (reference base) provided behind the transfer disk. チップ電子部品供給収容部での搬送円盤の透孔へのチップ電子部品の供給と収容の状態を示す断面図であり、搬送円盤上に円周に沿って円弧状に並んで配置されている透孔にチップ電子部品が収容され、搬送されている状態を示す図である。矢印は、搬送円盤の回転方向(透孔の移動方向)を示す。FIG. 17 is a cross-sectional view showing the state of supply and storage of chip electronic components to the through hole of the transfer disk in the chip electronic component supply and storage unit, and is arranged along the circumference of the transfer disk along a circular arc; It is a figure which shows the state in which the chip electronic component is accommodated in a hole and is conveyed. The arrows indicate the rotation direction of the transport disc (moving direction of the through hole). 搬送円盤の透孔に収容されたチップ電子部品の電気的特性を検査部にて検査する状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state which test | inspects the electrical property of the chip electronic component accommodated in the through-hole of the conveyance disc in an inspection part. 搬送円盤の透孔に収容され、検査部での検査が終了したチップ電子部品を分類部で排出している状態を示す図である。It is a figure which shows the state which is accommodated in the through-hole of a conveyance disc, and is discharging | emitting by the classification | category part the chip electronic component which the test | inspection by the test | inspection part completed. 公知のチップ電子部品で切替手段として利用されている水銀リレーを含む配線系統を示す回路図である。FIG. 6 is a circuit diagram showing a wiring system including a mercury relay used as a switching means in a known chip electronic component. 本発明のチップ電子部品で切替手段として用い筐体に収容したMOS FETを含む配線系統の例を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the example of the wiring system containing MOS FET accommodated in the housing | casing used as a switching means with the chip electronic component of this invention. 本発明のチップ電子部品で用いられるMOS FETを収容した筐体(コネクタ付き)と検査用電極セットとの組み合わせを示す概略図である。It is the schematic which shows the combination of the housing | casing (with a connector) which accommodated MOS FET used by the chip electronic component of this invention, and the electrode set for a test | inspection. 図12に示した筐体(MOS FETを収容している)が検査用電極セットに組み付けられた状態を示す概略図である。It is the schematic which shows the state which the housing | casing (it accommodated MOS FET) shown in FIG. 12 was assembled | attached to the electrode set for a test | inspection. 図13に示した筐体(MOS FETを収容している)が組み付けられている検査用電極セットを用いてチップ電子部品の検査を行っている状態を示す概略図である。It is the schematic which shows the state which is test | inspecting a chip | tip electronic component using the electrode set for a test | inspection with which the housing | casing (it accommodates MOS FET) shown in FIG. 13 is assembled | attached. チップ電子部品検査選別装置におけるMOS FETと検査用電極端子セットとを結ぶ同軸ケーブルの長さと電気的特性測定値の精度(標準偏差で表示)との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the length (displayed by standard deviation) of the length of the coaxial cable connecting the MOS FET and the test electrode terminal set in the chip electronic component inspection and sorting device and the electrical characteristic measurement value.

以下に、本発明のチップ電子部品検査選別装置の代表的な構成について、添付図面の図1〜図14を参照しながら説明する。なお、これまでに記載した説明から明らかなように、本発明は、公知のチップ電子部品検査選別装置の接続切替手段(リレースイッチ)を含む接続切替構造に関する改良であるところから、まず公知のチップ電子部品検査選別装置の代表的な構成について説明する。   Hereinafter, representative configurations of the chip electronic component inspection and sorting apparatus of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 14 of the accompanying drawings. As is apparent from the description described above, the present invention is an improvement on the connection switching structure including the connection switching means (relay switch) of the known chip electronic component inspection and sorting apparatus. A typical configuration of the electronic component inspection and sorting apparatus will be described.

図1は、検査対象のチップ電子部品を、チップキャパシタを例にしてその構成を示す斜視図であり、チップ電子部品(チップキャパシタ)19は、誘電体からなるキャパシタ本体21とその両端に対向して設けられた一対の電極22a、22bから構成されている。通常のチップキャパシタ19は、誘電体としてセラミックを用いたチップセラミックキャパシタである。なお、通常のチップ電子部品の電極の表面には、チップ電子部品の各種基板への実装のためのはんだ層が付設されている。   FIG. 1 is a perspective view showing the configuration of a chip electronic component to be inspected, taking a chip capacitor as an example, and a chip electronic component (chip capacitor) 19 is opposed to the capacitor body 21 made of dielectric and both ends thereof. It is comprised from a pair of electrodes 22a and 22b provided. An ordinary chip capacitor 19 is a chip ceramic capacitor using ceramic as a dielectric. A solder layer for mounting the chip electronic component on various substrates is attached to the surface of the electrode of the normal chip electronic component.

図2は、チップ電子部品検査選別装置の構成例を示す正面図であり、図3は、チップ電子部品検査選別装置のチップ電子部品搬送円盤と該搬送円盤の回転経路にその回転方向に沿って順に配置されたチップ電子部品供給収容部(供給収容域)、チップ電子部品電気的特性検査部(検査域)そしてチップ電子部品分類部(分類域)とを示す。図2のチップ電子部品検査選別装置は、搬送円盤にその円周に沿って多数の透孔が6列に並べられた配置の装置である。なお、図3の搬送円盤は、図示の簡略化のために、搬送円盤を、その円周に沿った多数の透孔が3列に並べられた構成にて示している。図4の(a)は、図3に示されたチップ電子部品搬送円盤の正面図であり、そして図4の(b)は、搬送円盤とその背後の支持構造とを示す断面図である。   FIG. 2 is a front view showing a configuration example of a chip electronic component inspection and sorting apparatus, and FIG. 3 is a chip electronic component conveyance disk of the chip electronic component inspection and sorting apparatus and a rotation path of the conveyance disk along the rotation direction. The chip electronic component supply storage unit (supply storage area), the chip electronic component electrical characteristic inspection unit (inspection area), and the chip electronic component classification unit (classification area) arranged in order are shown. The chip electronic component inspection and sorting apparatus shown in FIG. 2 is an apparatus in which a large number of through holes are arranged in six rows along the circumference of a transport disk. In addition, the conveyance disk of FIG. 3 has shown the conveyance disk in the structure which many through-holes along the circumference were put in order in 3 rows for simplification of illustration. FIG. 4A is a front view of the chip electronic component transfer disk shown in FIG. 3, and FIG. 4B is a cross-sectional view showing the transfer disk and the support structure behind it.

図2に示すチップ電子部品検査選別装置10では、円盤状材料の表面上にチップ電子部品(例、チップキャパシタ)を一時的に収容することができる多数の透孔11aが円周に沿って並んだ配置にて形成されたチップ電子部品搬送円盤(以下、単に搬送円盤と云うことがある)11が円盤の平面に沿った回転が可能なように、基台41に軸支されている。搬送円盤11の回転経路には、図3に示されているように、チップ電子部品の供給収容部(供給収容域)101、チップ電子部品の電気的特性の検査部(検査域)102、そしてチップ電子部品の分類部(分類域)103が設定されている。検査部102では、搬送円盤11の各列の各透孔11aの両開口部に近接した位置に電気的特性測定用の電極端子が備えられている。電極端子には、検査器14a、14bが電気的に接続され、そして検査器に検査処理に関する信号を供給するように検査器に電気的に接続されている制御器15が備えられている。なお、検査対象のチップ電子部品はホッパ47に入れられ、チップ電子部品供給口31からバケット(図5、6参照)を介して、搬送円盤11の透孔に供給される。   In the chip electronic component inspection and sorting apparatus 10 shown in FIG. 2, a large number of through holes 11a capable of temporarily accommodating chip electronic components (for example, chip capacitors) on the surface of a disk-shaped material are arranged along the circumference. A chip electronic component transfer disk (hereinafter may be simply referred to as a transfer disk) 11 formed in an oval arrangement is pivotally supported by the base 41 so as to be able to rotate along the plane of the disk. In the rotation path of the transfer disk 11, as shown in FIG. 3, the supply and storage unit (supply and storage area) 101 of the chip electronic component, the inspection unit (inspection area) 102 of the electrical characteristics of the chip electronic component, and A classification unit (classification area) 103 of the chip electronic component is set. In the inspection unit 102, electrode terminals for measuring electrical characteristics are provided at positions adjacent to both openings of the through holes 11a in each row of the transport disk 11. The electrode terminals are provided with a controller 15 electrically connected to the testers 14a, 14b and electrically connected to the tester so as to supply a signal related to the testing process to the tester. The chip electronic component to be inspected is placed in the hopper 47 and supplied from the chip electronic component supply port 31 to the through hole of the transfer disk 11 via the bucket (see FIGS. 5 and 6).

チップ電子部品搬送円盤11の透孔11aは通常、搬送円盤の表面に、複数の同心円上で、この同心円を等分割した位置に配置される。   The through holes 11a of the chip electronic component transfer disk 11 are usually arranged on the surface of the transfer disk at positions where the concentric circles are equally divided on a plurality of concentric circles.

図2に示されている装置10では、搬送円盤11の中心と周縁との間にて半径方向に並ぶ合計で6個の透孔が設けられていて、それぞれの透孔に収容された合計6個のチップ電子部品毎に、チップ電子部品の電気的特性の検査が行なわれる。搬送円盤11の中心と周縁との間にて直径方向に並ぶ透孔の数は、3〜20個の範囲内にあることが好ましく、3〜12個の範囲内にあることが更に好ましい。   In the apparatus 10 shown in FIG. 2, a total of six through holes arranged in the radial direction between the center and the peripheral edge of the transfer disk 11 are provided, and the total of six holes accommodated in the respective through holes are provided. An inspection of the electrical characteristics of the chip electronics is carried out for each chip electronics. The number of through holes arranged in the diametrical direction between the center and the peripheral edge of the transport disk 11 is preferably in the range of 3 to 20, and more preferably in the range of 3 to 12.

搬送円盤11は、基台41に、例えばベース板(基準台)45、そして中心軸42を介して回転可能に設置(固定)されていて、その背面側に配設された回転駆動装置43を作動させることにより、中心軸42の周囲を間欠的に回転する。   The transport disk 11 is rotatably installed (fixed) on the base 41 via, for example, a base plate (reference platform) 45 and a central axis 42, and the rotary drive 43 disposed on the back side is By operating, it rotates around the central axis 42 intermittently.

搬送円盤11の透孔11aには、チップ電子部品供給収容部101にて、検査対象のチップ電子部品が、その電気的特性を検査するため、一時的に収容される。   The chip electronic component to be inspected is temporarily accommodated in the through hole 11 a of the transport disk 11 in the chip electronic component supply and storage unit 101 in order to inspect the electrical characteristics thereof.

チップ電子部品供給収容部101の詳しい構成は、図5と図6に示されている。チップ電子部品供給収容部101はバケット部とも呼ばれ、外部からチップ電子部品供給口31より供給されるチップ電子部品をバケット32を介して搬送円盤11の透孔11aに収容させるための領域である。図5と図6において、バケット32は、搬送円盤11に設けられた3列(図3と同様に簡略化のために3列として示した)の透孔群にチップ電子部品を供給するための構成としてチップ電子部品を3列にて円弧状に下降させるための3列の溝が仕切り壁33により分離され、形成されている。チップ電子部品供給口31より供給され、バケット32の内部で仕切り壁33に沿って下降したチップ電子部品は、バケット32の底部付近にて、ベース板(基準台)45に形成されている気体吸引通路45aを介して搬送円盤11の透孔11aにもたらされる強い吸引力により透孔11aに吸引収容される。なお、このチップ電子部品の搬送円盤11の透孔11aへの吸引収容は通常、搬送円盤を一旦静止状態にして行われる。   The detailed configuration of the chip electronic component supply and storage unit 101 is shown in FIG. 5 and FIG. The chip electronic component supply storage section 101 is also called a bucket section, and is an area for storing chip electronic components supplied from the outside through the chip electronic component supply port 31 in the through holes 11 a of the transport disk 11 via the buckets 32. . In FIG. 5 and FIG. 6, the buckets 32 are for supplying chip electronic components to three rows (shown as three rows for simplification as in FIG. 3) provided on the transport disk 11. As a configuration, three rows of grooves for lowering the chip electronic component in three rows in an arc shape are separated and formed by the partition wall 33. The chip electronic components supplied from the chip electronic component supply port 31 and lowered along the partition wall 33 inside the bucket 32 are gas suction formed in the base plate (reference base) 45 near the bottom of the bucket 32 The suction force is applied to the through hole 11a by the strong suction force exerted on the through hole 11a of the transport disk 11 through the passage 45a. The suction and storage of the chip electronic component in the through hole 11a of the transfer disk 11 is usually performed with the transfer disk once in a stationary state.

図7は、チップ電子部品が搬送円盤11の透孔11aへ吸引収容される状態を示す。すなわち、バケット32の底部付近に集積されたチップ電子部品19は、ベース板(基準台)45に形成されている気体吸引通路45aを介して搬送円盤11の透孔11aにもたらされる強い吸引力により透孔11aに吸引収容される。なお、このバケット32の底部付近に集積されたチップ電子部品19の透孔11aへの吸引収容に際しては、バケット32の底部付近に外部から空気を吹き込んで気流を生成させ、チップ電子部品19を攪拌状態で浮遊させることが、チップ電子部品の吸引収容を円滑に進めるために好ましい。このようなバケット32の底部付近への外部からの空気の吹き込みは、例えば、図6に図示されている空気吹出37を利用して行うことができる。   FIG. 7 shows a state in which the chip electronic component is sucked and stored in the through hole 11 a of the transfer disk 11. That is, the chip electronic components 19 accumulated near the bottom of the bucket 32 are attracted to the through holes 11 a of the transfer disk 11 through the gas suction passage 45 a formed in the base plate (reference base) 45. Suction is accommodated in the through hole 11a. When the chip electronic component 19 accumulated near the bottom of the bucket 32 is sucked and stored in the through hole 11a, air is blown from the outside into the vicinity of the bottom of the bucket 32 to generate an air flow to stir the chip electronic component 19. It is preferable to float in a state in order to smoothly advance suction and storage of the chip electronic components. Such blowing of air from the outside into the vicinity of the bottom of the bucket 32 can be performed, for example, using the air blow 37 illustrated in FIG.

上述のように、チップ電子部品搬送円盤11の裏側あるいは装置の後方側(図7にて右側)には、ベース板45が配設されている。ベース板45には、それぞれ搬送円盤11の側の表面にて開口する複数の気体吸引通路45aが形成されている。各々の気体吸引通路は、透孔に強い吸引力を供給する気体吸引装置46に接続されている。気体吸引装置46を作動させると、気体吸引通路45a内の気体が強い吸引力にて吸引され、搬送円盤11とベース板45との間に形成されている間隙が減圧状態になる。   As described above, the base plate 45 is disposed on the back side of the chip electronic component transfer disk 11 or on the rear side (right side in FIG. 7) of the apparatus. The base plate 45 is formed with a plurality of gas suction passages 45 a which are opened at the surface on the side of the transport disk 11. Each gas suction passage is connected to a gas suction device 46 for supplying a strong suction force to the through hole. When the gas suction device 46 is operated, the gas in the gas suction passage 45a is sucked by a strong suction force, and the gap formed between the transport disk 11 and the base plate 45 is in a reduced pressure state.

搬送円盤11を、図7に記入した矢印が示す方向に間欠的に回転させながら、チップ電子部品をチップ電子部品供給口31とバケット32を介して搬送円盤の表面に供給し、気体吸引装置46を作動させて搬送円盤11とベース板45との間の間隙を減圧状態にすると、搬送円盤11の透孔11aの各々にチップ電子部品19が吸引収容される。   The chip electronic component is supplied to the surface of the transfer disk through the chip electronic component supply port 31 and the bucket 32 while intermittently rotating the transfer disk 11 in the direction indicated by the arrow in FIG. When the gap between the transfer disk 11 and the base plate 45 is decompressed, the chip electronic component 19 is sucked and stored in each of the through holes 11 a of the transfer disk 11.

上記の搬送円盤11の間欠的な回転移動により、搬送円盤11の透孔11aに収容されたチップ電子部品19は次いで、図2及び図3に示されている検査部102に送られる。なお、搬送円盤11とベース板45との間の間隙は、チップ電子部品19の透孔11a内への収容が完了した後は、搬送円盤11が回転して、透孔11aに収容されたチップ電子部品19が検査部102に移動し、さらに分類部103に到達するまでは弱い減圧状態とされる。このため、チップ電子部品供給収容部101にて搬送円盤11の透孔11aに収容されたチップ電子部品19は、搬送円盤11のその後の回転により、検査部102を経由して分類部103に到達するまで、透孔11aから脱落することはない。   The chip electronic component 19 accommodated in the through hole 11 a of the transfer disk 11 is then sent to the inspection unit 102 shown in FIGS. 2 and 3 by the intermittent rotational movement of the transfer disk 11 described above. In addition, after the storage of the chip electronic component 19 in the through hole 11a is completed, the transfer disc 11 is rotated and the chip accommodated in the through hole 11a is in the gap between the transfer disc 11 and the base plate 45. Until the electronic component 19 moves to the inspection unit 102 and reaches the classification unit 103, a weak pressure reduction state is established. Therefore, the chip electronic component 19 accommodated in the through hole 11 a of the transfer disk 11 in the chip electronic component supply and storage unit 101 reaches the classification unit 103 through the inspection unit 102 by the subsequent rotation of the transfer disk 11. Until it does, it does not drop out of the through-hole 11a.

検査部には、図8に示すように、チップ電子部品を、その電気的特性の検査器に電気的に接続するため、搬送円盤11の透孔11aの両開口部に近接した位置に、それぞれ対として構成された12aと13aとの組み合わせ(前者が固定電極端子で後者が可動電極端子、以下同じ)、12bと13bとの組み合わせ、12cと13cとの組み合わせ、12dと13dとの組み合わせ、12eと13eとの組み合わせ、そして12fと13fとの組み合わせが配置されている。   In the inspection section, as shown in FIG. 8, in order to electrically connect the chip electronic component to the tester of the electrical characteristics, each of the inspection sections is located at a position close to both openings of the through hole 11a of the transport disk 11. A combination of 12a and 13a configured as a pair (the former is a fixed electrode terminal and the latter is a movable electrode terminal, the same applies hereinafter), a combination of 12b and 13b, a combination of 12c and 13c, a combination of 12d and 13d, 12e And 13e, and 12f and 13f.

上記のように一方の電極端子(12a、他)は、その周囲に配設された電気的に絶縁性の筒体を介して、ベース板45に固定されている。電極端子及びベース板45の搬送円盤側の表面は通常、研磨加工などにより平滑な平面とされている。他方の電極端子(13a、他)は可動電極であって、電極端子支持板53に前進後退が可能なように支持されている。   As described above, one of the electrode terminals (12a, etc.) is fixed to the base plate 45 via an electrically insulating cylinder disposed around the electrode terminal (12a, etc.). The surfaces of the electrode terminals and the transport disk side of the base plate 45 are usually made smooth and flat by polishing or the like. The other electrode terminal (13a, etc.) is a movable electrode, and is supported by the electrode terminal support plate 53 so as to be capable of advancing and retreating.

電極端子支持板53を搬送円盤11の側に移動させることにより、電極端子支持板53に支持された可動電極端子(13a、他)もまた、搬送円盤11の側に移動する。この可動電極端子(13a、他)の移動により、チップ電子部品は、対とされている電極端子(12a、13a、他)の間に挟まれて接触状態となる。このため、チップ電子部品の電極22aは電極端子(12a、他)に電気的に接続され、そして電極22bは電極端子(13a、他)に電気的に接続される。これにより、チップ電子部品は、対となった電極端子(12a、13a、他)を介して、検査器に電気的に接続される。   By moving the electrode terminal support plate 53 to the side of the transport disk 11, the movable electrode terminals (13 a, etc.) supported by the electrode terminal support plate 53 also move to the side of the transport disk 11. By the movement of the movable electrode terminal (13a, etc.), the chip electronic component is sandwiched between the paired electrode terminals (12a, 13a, etc.) to be in a contact state. Therefore, the electrode 22a of the chip electronic component is electrically connected to the electrode terminal (12a, etc.), and the electrode 22b is electrically connected to the electrode terminal (13a, etc.). As a result, the chip electronic component is electrically connected to the tester through the pair of electrode terminals (12a, 13a, etc.).

なお、対とされている電極端子が配置される搬送円盤の各透孔の両開口部に「近接した位置」とは、各透孔にチップ電子部品が収容されたときに、各電極端子が各チップ電子部品の電極に電気的に接続される位置、あるいは電極端子が移動可能な構成とされている場合には、電極端子を移動させることによりチップ電子部品の電極に電気的に接続させることが可能な位置を意味する。   Note that the “position close to” both openings of each through hole of the transfer disk in which the paired electrode terminals are arranged means that each electrode terminal is located when the chip electronic component is accommodated in each through hole. When the position electrically connected to the electrode of each chip electronic component or the electrode terminal is configured to be movable, the electrode terminal is moved to electrically connect to the electrode of the chip electronic component Means a possible position.

そして、検査部102では、搬送円盤11の直径方向に一列に並ぶように収容配置された6個のチップ電子部品19a、19b、19c、19d、19e、19fのそれぞれについて、所定の電気的特性が検査される。   The inspection unit 102 has predetermined electrical characteristics for each of the six chip electronic components 19a, 19b, 19c, 19d, 19e, and 19f housed and arranged in a line in the diameter direction of the transport disk 11. It is inspected.

電気的特性が検査されたチップ電子部品は引き続き、搬送円盤11の間欠的な回転移動により、図2及び図3に示すチップ電子部品の分類部103に送られる。   The chip electronic components whose electrical characteristics have been inspected are subsequently sent to the chip electronic component classification unit 103 shown in FIG. 2 and FIG. 3 by the intermittent rotational movement of the carrier disk 11.

図9に示すように、分類部103には、搬送円盤11の表側あるいは装置の前面側(図9では左側)に、複数個の透孔61aが形成されたチューブ支持カバー61が配設されている。チューブ支持カバー61の透孔61aの各々には、チップ電子部品19aの排出通路を構成するチューブ62が接続されている。なお、図2では、チューブ支持カバー61の透孔61aの各々に接続されるチューブ62のうちの一部のチューブのみが示されている。   As shown in FIG. 9, the classification unit 103 is provided with a tube support cover 61 having a plurality of through holes 61a formed on the front side of the transport disc 11 or on the front side of the apparatus (left side in FIG. 9). There is. To each of the through holes 61 a of the tube support cover 61, a tube 62 which constitutes a discharge passage of the chip electronic component 19 a is connected. In FIG. 2, only a part of the tubes 62 connected to each of the through holes 61 a of the tube support cover 61 is shown.

また、搬送円盤11の裏側あるいは装置の後方側(図9にて右側)に配置されているベース板45には、分類部103の領域にて、それぞれ搬送円盤11の側の表面にて開口する複数の気体供給通路45bが形成されている。各々の気体供給通路45bは、加圧気体供給装置63に接続されている。   Further, the base plate 45 disposed on the back side of the transport disc 11 or on the rear side of the apparatus (right side in FIG. 9) opens in the surface of the transport disc 11 in the region of the classification unit 103 A plurality of gas supply passages 45b are formed. Each gas supply passage 45 b is connected to the pressurized gas supply device 63.

加圧気体供給装置63を作動させると、気体供給通路45bに加圧気体が供給され、搬送円盤11の透孔11aに収容されているチップ電子部品19aに加圧気体が噴射される。これにより、チップ電子部品は、チューブ62に排出される。   When the pressurized gas supply device 63 is operated, the pressurized gas is supplied to the gas supply passage 45 b, and the pressurized gas is jetted to the chip electronic component 19 a accommodated in the through hole 11 a of the transfer disk 11. Thus, the chip electronic components are discharged to the tube 62.

チップ電子部品19aは、例えば、図2に示すチューブ支持カバー61に形成された複数個の透孔61aのうち、最も外周側にある合計で10個の透孔61aを通過する。この10個の透孔61aは、それぞれチューブ62を介してチップ電子部品収容容器64に接続されている。   The chip electronic component 19a passes, for example, a total of ten through holes 61a located on the outermost side among a plurality of through holes 61a formed in the tube support cover 61 shown in FIG. The ten through holes 61 a are connected to the chip electronic component storage container 64 via the tubes 62 respectively.

従って、分類部103にて透孔より排出されたチップ電子部品は、チューブ支持カバー61の10個の透孔61aに接続された合計10本のチューブ62の何れかを介して、検査の結果判明した電気的特性に基づいて、予め決められたチップ電子部品収容容器64に収容される。   Therefore, the chip electronic components discharged from the through holes by the classification unit 103 are inspected as a result of inspection through any of the ten tubes 62 connected to the ten through holes 61 a of the tube support cover 61. Based on the determined electrical characteristics, it is accommodated in a predetermined chip electronic component accommodating container 64.

次に、本発明のチップ電子部品検査選別装置で用いられるリレー手段(切替器)について説明するが、その前に公知のチップ電子部品検査選別装置における水銀リレーの配置について説明する。   Next, the relay means (switch) used in the chip electronic component inspection and sorting apparatus of the present invention will be described, but before that, the arrangement of the mercury relay in the known chip electronic component inspection and sorting apparatus will be described.

チップ電子部品検査選別装置における水銀リレーの配置については、特許文献1の記載と図7とから概略を理解できるが、本願明細書の添付図面の図10に更に詳しい構成を示す。図10は、四端子法による固定電極端子12a、12b、12cと可動電極端子13a、13b、13cとの合計三組の組み合わせがそれぞれ水銀リレースイッチ20を介して検査器14aに電気的に接続可能にされているシステムを示す回路図である。検査器14aには、チップ電子部品19a、19b、19cのそれぞれに接触する各電極端子に水銀リレースイッチ20を介して電気的に接続している四つの端子(Hcur、Hpot、Lcur、Lpot)が備えられている。   The arrangement of the mercury relay in the chip electronic component inspection and sorting apparatus can be roughly understood from the description of Patent Document 1 and FIG. 7, but a more detailed configuration is shown in FIG. 10 of the accompanying drawings of the present specification. In FIG. 10, combinations of three combinations of fixed electrode terminals 12a, 12b, 12c and movable electrode terminals 13a, 13b, 13c according to the four-terminal method can be electrically connected to the tester 14a through the mercury relay switch 20 respectively. FIG. 1 is a circuit diagram showing a system being implemented. The inspection device 14a has four terminals (Hcur, Hpot, Lcur, Lpot) electrically connected to the respective electrode terminals in contact with the chip electronic components 19a, 19b, 19c via the mercury relay switch 20. It is equipped.

各々の水銀リレースイッチ20は、検査器14aならびに制御器15から送信される指示に従って、検査器14aと各電極端子との電気的な接続の切替を行なう。図10からは、水銀リレースイッチ20のチップ電子部品検査選別装置内における配置に関する情報は得られないが、前述のように、水銀リレースイッチはそのサイズが大きいことから、その位置は電極端子の近くではなく、電極端子セットから離れた検査器14aの近傍に配置して、同軸ケーブルにて各電極端子と水銀リレースイッチとを接続するのが一般的である。   Each mercury relay switch 20 switches the electrical connection between the tester 14a and each electrode terminal in accordance with an instruction transmitted from the tester 14a and the controller 15. Although information on the arrangement of the mercury relay switch 20 in the chip electronic component inspection and sorting apparatus can not be obtained from FIG. 10, as described above, the mercury relay switch is located near the electrode terminal because its size is large. Instead, it is general to place each electrode terminal and the mercury relay switch by a coaxial cable by arranging the sensor in the vicinity of the inspection device 14a separated from the electrode terminal set.

次に、本発明で利用する筐体に収容したMOS FETとその配置について図11〜図14を参照して説明する。   Next, the MOS FETs housed in the case used in the present invention and the arrangement thereof will be described with reference to FIGS.

図11からは、筐体23に収容されたMOS FET24が、その一方の端部で検査器14aに接続され、他方の端部で筐体23の外部に突き出たコネクタ(電極端子との接続用コネクタ)25と接続しているのが理解できる。なお、コネクタは、筐体の端面に設けた凹部に付設してもよい。   From FIG. 11, the MOS FET 24 housed in the housing 23 is connected to the tester 14 a at one end thereof, and a connector (for connection to the electrode terminal) protruded to the outside of the housing 23 at the other end It can be understood that the connector 25 is connected. The connector may be attached to a recess provided on the end face of the housing.

MOS FETは、半導体スイッチ素子に分類されるリレースイッチであり、その構造や特性は既に知られている。本発明のチップ電子部品検査選別装置の切替器(リレースイッチ)として用いるMOS FETとしては、ON抵抗が500mΩ以下、OFF容量が20pF以下のMOS FETが好ましい。   A MOS FET is a relay switch classified as a semiconductor switch element, and its structure and characteristics are already known. As a MOS FET used as a switch (relay switch) of the chip electronic component inspection and sorting apparatus of the present invention, a MOS FET having an ON resistance of 500 mΩ or less and an OFF capacity of 20 pF or less is preferable.

図12から明らかなように、MOS FETを収容している筐体23が、図の左側の端面に、検査器に接続する同軸ケーブルを備え、右側端面にはコネクタ25が備えている。コネクタ25のそれぞれは、電極端子ユニット(一体化された電極端子セットであって、この図では可動電極端子ユニットが示されている)26の各電極端子との電気的な接続が可能なように構成されている。   As apparent from FIG. 12, the housing 23 accommodating the MOS FET is provided with a coaxial cable connected to the tester at the left end face of the figure, and the connector 25 is provided at the right end face. Each of the connectors 25 can be electrically connected to each electrode terminal of an electrode terminal unit (an integrated electrode terminal set, the movable electrode terminal unit being shown in this figure) 26 It is configured.

図13に、図12に示したMOS FETを収容している筐体23と電極端子ユニット(可動電極端子ユニット)26がコネクタを介して接続された状態を示す。この可動電極端子ユニット26は、6個の電極端子を備えており、従って、同じく6個の固定電極端子を備えた対応する固定電極端子ユニットと組み合わされて、MOS FET24を利用する接続切替メカニズムにより6個のチップ電子部品の電気的特性を高速にて順次測定することができる。   FIG. 13 shows a state in which the housing 23 accommodating the MOS FET shown in FIG. 12 and the electrode terminal unit (movable electrode terminal unit) 26 are connected via a connector. This movable electrode terminal unit 26 comprises six electrode terminals and is thus combined with a corresponding fixed electrode terminal unit also having six fixed electrode terminals, by means of a connection switching mechanism utilizing the MOS FET 24. Electrical characteristics of six chip electronic components can be measured sequentially at high speed.

図14は、図13に示したMOS FETを収容している筐体23と可動電極端子ユニットとがコネクタを介して接続されたユニット(可動電極端子側ユニット)が、同様にMOS FETを収容している筐体23と固定電極端子ユニットとがコネクタを介して接続されたユニット(固定電極端子側ユニット)とが搬送円盤11に収容されたチップ電子部品19の電気的特性の測定のために、チップ電子部品19に電極端子にて接触した状態を表す概略図である。   In FIG. 14, a unit (movable electrode terminal side unit) in which the housing 23 housing the MOS FET shown in FIG. 13 and the movable electrode terminal unit are connected via a connector similarly houses the MOS FET. For measurement of the electrical characteristics of the chip electronic component 19 in which the housing 23 and the unit (fixed electrode terminal side unit) in which the fixed electrode terminal unit is connected via the connector (fixed electrode terminal side unit) are accommodated in the transport disk 11, FIG. 10 is a schematic view showing a state in which the chip electronic component 19 is in contact with an electrode terminal.

なお、本明細書では、チップ電子部品検査選別装置の構成の説明を、特許文献1に記載されているチップ電子部品搬送円盤が垂直方向に配置されて作動する装置を例にして説明したが、本発明のチップ電子部品検査選別装置は、チップ電子部品搬送円盤が基台に傾斜した状態で軸支されている装置であってもよいことは勿論である。   In this specification, the description of the configuration of the chip electronic component inspection and sorting apparatus has been described using an example in which the chip electronic component transport disk described in Patent Document 1 is disposed in the vertical direction and operates. Of course, the chip electronic component inspection and sorting apparatus according to the present invention may be an apparatus in which a chip electronic component transport disk is pivotally supported on a base in an inclined state.

10 チップ電子部品検査選別装置
11 チップ電子部品搬送円盤
11a 透孔
12a、12b、12c、12d、12e、12f 固定電極端子
13a、13b、13c、13d、13e、13f 可動電極端子
14a、14b 検査器
15 制御器
19 チップ電子部品(チップキャパシタ)
19a、19b、19c チップ電子部品(チップキャパシタ)
19d、19e、19f チップ電子部品(チップキャパシタ)
20 水銀リレースイッチ
21 キャパシタ本体
22a、22b 電極
23 筐体(電極端子接続用)
24 MOS FET
25 コネクタ
26 電極端子ユニット(可動電極端子ユニット)
31 チップ電子部品供給口
32 バケット
33 仕切り壁
41 基台
42 中心軸
43 回転駆動装置
45 ベース板(基準台)
101 チップ電子部品供給収容部(供給収容域)
102 チップ電子部品電気的特性検査部(検査域)
103 チップ電子部品電子部品分類部(分類域)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 chip | tip electronic component inspection sorting apparatus 11 chip | tip electronic component conveyance disk 11a through-hole 12a, 12b, 12c, 12d, 12e, 12f fixed electrode terminal 13a, 13b, 13c, 13d, 13e, 13f movable electrode terminal 14a, 14b inspection device 15 Controller 19 chip electronic components (chip capacitor)
19a, 19b, 19c Chip electronic components (chip capacitors)
19d, 19e, 19f chip electronic components (chip capacitors)
20 mercury relay switch 21 capacitor body 22a, 22b electrode 23 case (for electrode terminal connection)
24 MOS FET
25 connector 26 electrode terminal unit (movable electrode terminal unit)
31 chip electronic component supply port 32 bucket 33 partition wall 41 base 42 central axis 43 rotary drive unit 45 base plate (reference base)
101 chip electronic parts supply storage unit (supply storage area)
102 Chip Electronic Component Electrical Characteristic Inspection Department (Inspection Area)
103 Chip Electronic Component Classification Department (Classification Area)

Claims (2)

基台、基台に回転可能に軸支されたチップ電子部品搬送円盤、但し、該チップ電子部品搬送円盤には、対向する端面のそれぞれに電極を有するチップ電子部品を一時的に収容することのできる複数の透孔がその円周に沿って複数列形成されている、そして該搬送円盤の回転経路に沿って順に設けられた、該搬送円盤の透孔にチップ電子部品を供給し収容させるチップ電子部品供給収容部、チップ電子部品の電気的特性の検査を行う固定電極端子と可動電極端子とからなる検査用電極端子セットが複数組備えられた電気的特性検査部、そして検査済みのチップ電子部品を検査結果に基づいて分類する分類部を含み、上記の固定電極端子と可動電極端子のそれぞれにリレースイッチ手段を介して電気的特性検査器が接続されているチップ電子部品検査選別装置であって、上記リレースイッチ手段として、ON抵抗が500mΩ以下であって、OFF容量が20pF以下であるMOS FETを、該MOS FETの出力回路に接続するコネクタが備える筐体に収容し、そして該コネクタに上記検査用電極端子セットの固定電極端子と可動電極端子のそれぞれを抜き差し可能に接続し、上記筐体を固定電極端子と可動電極端子のそれぞれに隣接配置させたことを特徴とするチップ電子部品検査選別装置。 A base, a chip electronic component transfer disk rotatably supported on the base, provided that the chip electronic component transfer disk temporarily accommodates a chip electronic component having an electrode on each of the opposing end faces. A plurality of through holes which can be formed in a plurality of rows along its circumference, and a chip for supplying and containing chip electronic components in the through holes of the transfer disk, provided in order along the rotation path of the transfer disk Electronic component supply / accommodation unit, electrical characteristic inspection unit provided with plural sets of inspection electrode terminal sets consisting of fixed electrode terminals for inspecting the electrical characteristics of chip electronic components and movable electrode terminals, and inspected chip electronics includes a classification unit for classifying on the basis of parts on the test result, the chip electronic component electrical property test device via a relay switch means, each of said fixed electrode terminal and the movable electrode terminals are connected A査選another device, as the relay switch means, there is ON resistance 500mΩ or less, the MOS FET OFF capacitance is less than 20 pF, housed in a housing connector provided to connect to the output circuit of the MOS FET Each of the fixed electrode terminal and the movable electrode terminal of the inspection electrode terminal set is removably connected to the connector, and the casing is disposed adjacent to each of the fixed electrode terminal and the movable electrode terminal. Chip electronic parts inspection and sorting equipment. 上記コネクタが筐体の端面に備えられている請求項1に記載のチップ電子部品検査選別装置。

The chip electronic component inspection and sorting apparatus according to claim 1, wherein the connector is provided on an end surface of the housing.

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