KR102390690B1 - 진공 펌프 스크류 로터 - Google Patents

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토마스 드라이페르트
디르크 쉴러
볼프강 기에브만스
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라이볼트 게엠베하
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Abstract

본 발명은 로터 샤프트 상에 적어도 2 개의 헬리컬 디스플레이서 요소(10, 12)를 포함하는 진공 펌프 스크류 로터에 관한 것이다. 상기 적어도 2 개의 디스플레이서 요소(10, 12)는 상이한 피치를 갖지만, 각 디스플레이서 요소의 피치는 일정하다. 또한, 디스플레이서 요소 각각은 헬리컬 리세스를 가지며, 각각은 그것의 전체 길이에 걸쳐 동일성을 유지되는 윤곽을 갖는다. 이로써, 흡입측 디스플레이서 요소(10)는 비대칭 윤곽을 갖는 리세스를 가지며, 압력측 디스플레이서 요소(12)는 대칭 윤곽을 갖는 리세스를 갖는다.

Description

진공 펌프 스크류 로터
본 발명은 진공 펌프 스크류 로터에 관한 것이다.
스크류 진공 펌프는 하우징에 의해 형성된 펌핑 챔버 내에 배열된 2 개의 로터를 포함한다. 로터 요소들은 헬리컬 윤곽을 가지며 가스 운반을 위해 반대 방향(opposite senses)으로 회전한다. 높은 내부 응축(condensation), 즉 펌프의 입구와 출구 사이의 체적 비율을 달성하기 위해, 헬리컬 윤곽이 가변 피치를 갖는 것이 공지되어 있다. 입구측 또는 흡입측에서는 피치가 크고, 권선마다 형성되는 챔버들의 체적도 또한 크다. 출구측 또는 압력측에서는, 작은 피치가 존재하고, 또한 권선마다 작은 챔버 체적이 존재하도록, 출구의 방향으로 피치가 감소한다. 가변 피치를 제공하는 것에 의해서, 낮은 입구 압력을 갖는 저 동력 입력을 실현하고 동시에 펌프의 저 열 응력을 실현할 수 있다. 가변 피치를 제공하려면, 복잡하고 따라서 고비용인 제조 공정이 필요하다. 특히, 권선, 즉 헬리컬 리세스의 밀링 또는 선삭(lathing)과 같은 제조 스테이지들은 여러 개의 계속적인 작업 단계들에서 수행되어야 한다.
본 발명의 목적은 저 동력 입력을 가지며 저 열 응력을 겪는 펌프 내에서 저렴한 방식으로 제조될 수 있는 진공 펌프 스크류 로터를 제공하는 것이다. 또한, 본 발명의 목적은 대응하는 스크류 진공 펌프 및 적절한 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명에 따르면, 상기 목적은 청구항 1에 따른 진공 펌프 스크류 로터, 청구항 12에 따른 진공 펌프 및 청구항 17에 따른 제조 방법에 의해 달성된다.
본 발명의 진공 펌프 스크류 로터는 로터 샤프트 상에 배열된 적어도 2 개의 헬리컬 디스플레이서 요소(displacer element)를 포함한다. 디스플레이서 요소들에 의해 로터 요소가 형성된다. 본 발명에 따르면, 적어도 2 개의 디스플레이서 요소는 상이한 피치를 가지며, 각각의 디스플레이서 요소에 대해, 피치는 일정하다. 본 발명의 진공 펌프 스크류 로터는, 예를 들어, 2 개의 디스플레이서 요소를 포함하며, 제 1 흡입측 디스플레이서 요소는 보다 큰 일정한 피치를 가지며, 제 2 압력측 디스플레이서 요소는 보다 작은 일정한 피치를 갖는다. 본 발명에 따르면, 각각 일정한 피치를 갖는 복수의 디스플레이서 요소를 제공하는 것에 의해서, 제조 공정이 상당히 단순화된다.
본 발명에 따르면, 각각의 디스플레이서 요소는 그것의 전체 길이를 따라 동일한 윤곽을 갖는 적어도 하나의 헬리컬 리세스를 포함한다. 바람직하게는, 상기 윤곽들은 각각의 디스플레이서 요소마다 상이하다. 따라서, 각각의 디스플레이서 요소는 일정한 피치 및 균일한 윤곽을 포함하는 것이 바람직하다. 그 결과, 제조가 상당히 촉진되어 생산 비용이 대폭 감소될 수 있다.
흡입력을 보다 향상시키기 위해, 흡입측 디스플레이서 요소, 즉 펌핑 방향으로 볼 때 첫번째 디스플레이서 요소의 윤곽은 비대칭이다. 윤곽 또는 프로파일의 비대칭 형상에 의해, 누설 표면, 소위 블로우 홀(blow holes)이 바람직하게는 완전히 제거되거나 또는 적어도 보다 작은 단면을 갖는 방식으로 플랭크(flanks)가 설계될 수 있다. 특히 유용한 비대칭 프로파일은 소위 "큄비 프로파일(Quimby profile)"이다. 이러한 프로파일은 제조하기가 비교적 어렵더라도 연속적 블로우 홀이 없다는 장점이 있다. 단락 회로는 인접한 두 개의 챔버 사이에만 존재한다. 프로파일이, 상이한 프로파일 플랭크를 갖는 비대칭 프로파일이므로, 2 개의 플랭크가 그들의 비대칭으로 인해 2 개의 상이한 작업 단계에서 생산되어야 하기 때문에, 그 제조는 적어도 2 개의 작업 단계를 필요로 한다.
압력측 디스플레이서 요소, 특히 펌핑 방향으로 볼 때 마지막 디스플레이서 요소에는 대칭 윤곽이 제공된다. 대칭 윤곽은 특히 제조가 보다 단순화될 것이라는 장점을 갖는다. 특히, 대칭 윤곽을 갖는 양쪽 플랭크는 회전식 엔드 밀 또는 회전식 사이드 밀링 커터를 사용하여 하나의 작업 단계에서 생산될 수 있다. 이러한 유형의 대칭 프로파일들은 작은 블로우 홀들만을 포함하지만, 이들은 연속적으로 제공되며, 즉 2 개의 인접 챔버 사이에만 제공되지는 않는다. 블로우 홀의 크기는 피치가 감소함에 따라 감소한다. 따라서, 특히 압력측 디스플레이서 요소에 대해 그러한 대칭 프로파일이 제공될 수 있는데, 그 이유는, 바람직한 실시형태에 따르면, 압력측 디스플레이서 요소는 흡입측 디스플레이서 요소보다 더 작은 피치, 바람직하게는 흡입측 디스플레이서 요소와 압력측 디스플레이서 요소 사이에 배열된 디스플레이서 요소보다 더 작은 피치를 갖기 때문이다. 이러한 대칭 프로파일은 누설 기밀성이 다소 낮지만, 그들의 제조가 확실히 간단하다는 장점이 있다. 특히 간단한 엔드 밀 또는 사이드 밀링 커터를 사용하여 단일 작업 단계에서 대칭 프로파일을 생산할 수 있다. 그로 인해 비용이 크게 절감된다. 특히 유용한 대칭 프로파일 파일은 소위 "사이클로이드 프로파일(cycloidal profile)"이다.
이러한 디스플레이서 요소를 적어도 2 개 설치하면 대응하는 스크류 진공 펌프가 낮은 입구 압력을 생성할 수 있으며, 동시에 동력 입력이 낮을 수 있다. 또한, 열 응력이 낮다. 일정한 피치 및 균일한 윤곽을 갖는, 본 발명에 따라 설계된 적어도 2 개의 디스플레이서 요소를 진공 펌프에 배치하면, 가변 피치를 갖는 디스플레이서 요소를 갖는 진공 펌프에서와 동일한 결과가 실질적으로 양산될 것이다. 높은 특정 체적 비율(high specific volume ratios)의 경우에, 로터에 따라 3 개 또는 4 개의 디스플레이서 요소가 제공될 수 있다.
달성 가능한 입구 압력을 감소시키고 및/또는 동력 입력 및/또는 열 응력을 감소시키기 위해, 특히 바람직한 실시형태에 따르면, 압력측 디스플레이서 요소, 즉 펌핑 방향으로 볼 때 마지막 디스플레이서 요소는 많은 수의 권선을 포함한다. 많은 수의 권선으로 인해 스크류 로터와 하우징 사이에 더 큰 갭이 허용될 수 있지만 성능은 동일하게 유지될 것이다. 본 명세서에서의 갭은 0.1 내지 0.3 mm의 범위의 콜드 갭 폭(cold gap width)을 가질 수 있다. 많은 수의 출구 권선 및 압력측 디스플레이서 요소의 많은 수의 권선의 각각은 생산시 비용이 저렴한데, 그 이유는, 본 발명에 따르면, 이 디스플레이서 요소는 일정한 피치를 가지며, 특히 대칭 윤곽을 가지기 때문이다. 이로써 간단하고 저렴한 생산 공정이 가능해지므로 많은 수의 권선을 설비할 수 있게 된다. 바람직하게는, 이러한 압력측 디스플레이서 요소 또는 마지막 디스플레이서 요소는 8 개 초과, 특히 10 개 초과, 특히 바람직하게는 12 개 초과의 권선을 포함한다. 대칭 프로파일을 사용하면, 특히 바람직한 실시형태에서, 밀링 커터를 사용하여, 프로파일의 양쪽 플랭크를 동시에 절단할 수 있다는 이점을 갖는다. 이 공정에서 밀링 커터는 각각의 반대편 플랭크에 의해 추가로 지지되므로, 공정 동안 밀링 커터의 변형이나 편향 및 그 결과로 야기되는 부정확성을 방지할 수 있다.
제조비를 더욱 감소시키기 위해, 디스플레이서 요소와 로터 샤프트가 단일 피스(one piece)로 형성되는 것이 특히 바람직하다.
또 다른 바람직한 실시형태에 따르면, 인접한 디스플레이서 요소들 사이의 피치 변화는 불균일 또는 갑작스러운 방식으로 제공된다. 선택적으로, 2 개의 디스플레이서 요소는 길이 방향으로 서로로부터 소정 간격을 두고 배치되며, 2 개의 디스플레이서 요소 사이에는 툴 런아웃 구역(a tool run-out zone)으로 작용하는 주변 원통 챔버(a surrounding cylindrical chamber)가 형성된다. 이것은, 단일 피스형 구성(a one-pieced configuration)의 로터에서 특히 유익한데, 그 이유는, 이 영역에서, 헬리컬 라인(helical line)을 생성하는 툴(tool)이 간단한 방식으로 인출될 수 있기 때문이다. 디스플레이서 요소들이 독립적으로 제조되고 그 후에 샤프트 상에 장착되는 경우, 툴 런아웃 구역의 설비, 특히 그러한 링 형상의 원통 영역의 설비는 필요하지 않을 것이다.
본 발명의 바람직한 실시형태에 따르면, 피치 변경이 있는 두 개의 인접한 디스플레이서 요소 사이에 툴 런아웃 구역이 제공되지 않는다. 피치 변경 영역에서, 바람직하게는 양측 플랭크가 툴을 인출할 수 있도록 보이드(void) 또는 리세스를 포함한다. 이러한 보이드는 보이드 또는 리세스가 국부적이고 크기가 상당히 제한되기 때문에 펌프의 압축 성능에 주목할 만한 영향을 미치지 않는다.
본 발명의 진공 펌프 스크류 로터는 특히 복수의 디스플레이서 요소를 포함한다. 이것들은 매번 동일한 직경 또는 상이한 직경을 가질 수 있다. 이와 관련하여, 압력측 디스플레이서 요소는 흡입측 디스플레이서 요소보다 작은 직경을 갖는 것이 바람직하다.
로터 샤프트로부터 독립적으로 생산된 디스플레이서 요소의 경우에, 디스플레이서 요소는 샤프트 상에, 예를 들면 압력 끼워맞춤에 의해서, 장착될 것이다. 본원에서, 디스플레이서 요소들의 서로에 대한 각도 위치(angular position)를 고정하기 위한 다월 핀(dowel pin)과 같은 요소를 제공하는 것이 바람직하다.
특히, 스크류 로터의 단일 피스형 디자인의 경우 뿐만 아니라 다중 피스형 디자인(multi-pieced design)의 경우에도, 알루미늄 또는 알루미늄 합금으로 스크류 로터를 제조하는 것이 바람직하다. 알루미늄 또는 알루미늄 합금, 특히 AlSi7Mg 또는 AlSi17Cu4Mg로부터 로터를 제조하는 것이 특히 바람직하다. 상기 합금은 팽창 계수를 감소시키기 위해 15% 초과의 실리콘 비율을 갖는 것이 바람직하다.
본 발명의 또 다른 바람직한 실시형태에 따르면, 사용된 알루미늄은 보다 낮은 팽창 계수를 갖는다. 상기 재료는 18*10-6/K 미만의 팽창 계수를 갖는 것이 바람직하다. 더욱 바람직한 실시형태에 따르면, 디스플레이서 요소의 표면이 코팅되고, 특히 마모 및/또는 부식에 대항한 코팅이 제공된다. 본원에서, 적용 분야에 따라 양극 코팅(anodic coating) 또는 다른 적절한 코팅이 바람직하게 제공된다.
본 발명은 또한 스크류 진공 펌프에 관한 것이다. 이 펌프는 위에서 설명한 두 개의 서로 맞물린 진공 펌프 스크류 로터를 포함한다. 2 개의 스크류 로터는 펌프 하우징에 의해 형성된 흡입 챔버 내에 배치된다. 통상적으로, 2 개의 스크류 로터 중 하나는 예를 들어 전기 모터와 같은 구동 수단에 연결된다. 2 개의 스크류 로터는 특히 로터 샤프트 상에 배열된 기어 휠(toothed wheels)을 통해 서로 연결될 수 있다. 이러한 방식으로, 반대 방향으로 회전하는 스크류 로터의 동기화가 특히 이루어진다. 특히 바람직한 실시형태에 따르면, 스크류 로터의 본 발명의 설계로 인하여 스크류 진공 펌프의 내부 압축이 적어도 2, 특히 적어도 4 인 것을 달성하는 것이 가능하다. 이러한 높은 내부 압축비는 각각의 일정한 피치를 갖는 2 개의 로터의 설계로 인해 그리고 특히 압력측 디스플레이서 요소의 높은 권선 수로 인해 가능하다. 특히, 이것은, 압력측 디스플레이서 요소의 영역에서 큰 갭이 허용되더라도 가능하다. 큰 갭은 특히 열 응력이 압력측 디스플레이서 요소를 가로질러 보다 균등하게 분배될 것이라는 장점을 갖는다. 특히, 대응하는 디스플레이서 요소의 열 응력이 회피될 것이며, 따라서 디스플레이서 요소가 하우징의 내부면에 접촉할 위험을 피할 수 있다. 이와 관련한 다른 양상은 스크류 로터가 하우징보다 낮은 팽창 계수를 갖는다는 점에 있다. 특히, 하우징의 팽창 계수는 스크류 로터의 팽창 계수보다 적어도 5%, 특히 바람직하게는 10% 더 크다.
본원에서 하우징은 스크류 로터의 재료에서 실리콘의 비율보다 작은 비율의 실리콘을 갖는 알루미늄 합금으로 제조되는 것이 바람직하다. 이는 스크류 로터에 비해 하우징의 더 큰 열팽창을 보장한다. 이에 의해, 작동시, 즉 열 응력이 증가함에 따라, 갭이 더 작아질 수는 있지만, 항상 디스플레이서 요소의 외부면과 펌핑 챔버의 내부면 사이에 충분한 갭이 존재할 것이다.
본 발명은 또한 상술한 바와 같은 스크류 로터의 제조 방법에 관한 것이다. 본원에서의 제조는 특히 디스플레이서 요소와 로터 샤프트가 단일 피스로 형성되는 방식으로 수행된다. 첫 번째 단계에서 스크류 로터용 본체(base body)가 생산될 것이다. 디스플레이서 요소를 생산하기 위한 헬리컬 리세스들이 엔드 밀 또는 사이드 밀링 커터에 의해 생성된다. 각각의 디스플레이서 요소에서 피치 및 특히 헬리컬 리세스들의 윤곽이 상이하기 때문에, 디스플레이서 요소에 따라 이것이 별도의 단계로 수행된다.
대칭 윤곽을 갖는 디스플레이서 요소의 경우, 단일 툴을 사용하여, 특히 단일 작업 단계에서 리세스가 생성되는 것이 바람직하다. 또한, 바람직하게는 양쪽 플랭크가 하나의 작업 단계에서 생성될 수 있도록 툴이 리세스의 외부 윤곽을 재생하는 것이 바람직하다. 비대칭 요소의 경우, 두 개의 상이한 툴로 플랭크들을 처리하여야 한다.
특히 단일 피스로 제조된 스크류 로터에서, 헬리컬 리세스를 생성하기 전에 툴 런아웃 구역이 생성되는 것이 바람직하다. 이러한 링 형상의 원통 리세스는 밀링 또는 선삭(lathing)에 의해 제조될 수 있다.
특히 바람직한 실시형태에 따르면, 그러한 툴 런아웃 구역은 제공되지 않는다. 대신에, 인접한 디스플레이서 요소의 플랭크에 리세스 또는 보이드가 제공된다. 이 경우 밀링 툴을 인출할 때 보이드 또는 리세스가 생성될 것이다.
사용되는 본체는 특히 원통 형상으로 설계되며, 단일 본체로부터, 로터 샤프트가, 선택적으로 샤프트 이후에 샤프트 저널과 함께, 특히 디스플레이서 요소와 함께 생산될 수 있다. 반-완성 제품으로서 형성되고 이미 리세스 및/또는 베어링 핀을 포함하고 있는 본체를 사용하는 것도 가능하다. 본체는 예를 들어, 주조 공정에 의해 생산될 수 있다.
바람직한 실시형태 및 첨부 도면을 참조하여 하기에서 본 발명을 보다 상세히 설명할 것이다.
도 1은 진공 펌프 스크류 로터의 바람직한 제 1 실시형태의 개략적인 평면도를 도시하고,
도 2는 진공 펌프 스크류 로터의 바람직한 제 2 실시형태의 개략적인 평면도를 도시하고,
도 3은 비대칭 프로파일을 갖는 디스플레이서 요소의 개략적인 단면도를 도시하며,
도 4는 대칭 프로파일을 갖는 디스플레이서 요소의 개략적인 단면도를 도시하고,
도 5는 스크류 진공 펌프의 개략 단면도를 도시한다.
진공 펌프 스크류 로터의 바람직한 제 1 실시형태에 따르면, 로터는 2 개의 디스플레이서 요소(10, 12)를 포함한다. 제 1 흡입측 디스플레이서 요소(10)는 약 10 - 150 mm/회전(revolution)의 큰 피치를 갖는다. 피치는 전체 디스플레이서 요소(10)를 따라 일정하다. 헬리컬 리세스의 윤곽 또한 일정하다. 제 2 압력측 디스플레이서 요소(12)도 역시 그 길이를 따라 일정한 피치 및 리세스의 일정한 윤곽을 갖는다. 또한, 압력측 디스플레이서 요소(12)의 피치는 10 - 30 mm/회전의 범위 인 것이 바람직하다. 2 개의 디스플레이서 요소 사이에는 링 형상의 원통 리세스(14)가 제공된다. 상기 리세스는 도 1에 도시된 스크류 로터의 단일 피스 디자인에 비추어 툴 런아웃 구역(tool run-out zone)을 실현하는 목적을 갖는다.
또한, 단일 피스 스크류 로터는 2 개의 베어링 시트(16)와 샤프트 단부(18)를 포함한다. 샤프트 단부(18)에는 예를 들면 구동을 위한 기어 휠이 연결된다.
도 2에 도시된 바람직한 제 2 실시형태에 있어서, 2 개의 디스플레이서 요소(10, 12)는 개별적으로 제조되고, 그 다음 그들을 위에 대고 누르는 것에 의해서 로터 샤프트(20) 상에 고정된다. 이러한 제조 방법은 다소 더 복잡할 수 있지만, 툴 런아웃을 위한 2 개의 인접한 디스플레이서 요소(10, 12) 사이의 원통 거리(14)에 대한 필요성이 제거된다. 베어링 시트(16) 및 샤프트 단부(18)는 디스플레이서 요소의 일체형 구성요소들(integral components)일 수 있다. 대안적으로, 연속 샤프트(20)가 또한 디스플레이서 요소(10, 12)와 상이한 다른 재료로 제조될 수 있다.
도 3은 비대칭 프로파일(예를 들어, 큄비 프로파일)의 개략적인 횡방향 도면이다. 도시된 비대칭 프로파일은 소위 "큄비 프로파일(Quimby profile)"이다. 이 단면도는, 서로 맞물리고 길이 방향이 도면의 평면에 대해 수직으로 연장하는 2 개의 스크류 로터를 도시한다. 로터들이 반대방향으로 회전하는 것이 2 개의 화살표(15)로 표시되어 있다. 디스플레이서 요소들의 길이 방향 축에 수직으로 연장되는 평면(17)에 대하여, 각각의 로터에서 2 개의 플랭크(10, 21)의 프로파일은 상이하다. 따라서, 서로 반대쪽의 플랭크(19, 21)는 서로 독립적으로 제조하여야 한다. 그러나, 이러한 이유로 인해 다소 더 복잡하고 어려운 제조시에, 관통 블로우 홀(throughgoing blowhole)이 존재하지 않고 인접한 두 개의 챔버 사이에 단락 회로만 존재한다는 이점이 있다.
이러한 대칭 프로파일은 바람직하게는 흡입측 디스플레이서 요소(10)에 제공된다.
도 4의 개략적인 횡방향 도면은 역시 반대 방향으로 회전(화살표 15)하는 각기 2 개의 스크류 로터 및 2 개의 디스플레이서 요소의 단면도를 도시한다. 대칭축(17)에 관하여, 플랭크(23)는 각각의 디스플레이서 요소에서 대칭 디자인을 갖는다. 도 4에 도시된 대칭으로 설계된 윤곽의 바람직한 실시형태에서는, 사이클로이드 프로파일이 사용된다.
도 4에 도시된 대칭 프로파일은 압력측 디스플레이서 요소(12) 내에 제공되는 것이 바람직하다.
도 5에 도시된 추가의 실시형태는 또 다시 단일 피스 디자인을 갖는다. 예를 들면 엔드 밀과 같은 툴의 인출을 위해, 디스플레이서 요소(12)의 플랭크에는 리세스 또는 보이드가 제공된다.
또한, 2 개 초과의 디스플레이서 요소를 제공하는 것이 가능하다. 이들은 선택적으로 상이한 헤드 직경과 대응하는 푸트(foot) 직경을 가질 수 있다. 여기서, 입구의 영역에서 더 큰 흡입 용량을 실현하고 및/또는 체적 비율을 증가시키도록, 보다 큰 헤드 직경을 갖는 디스플레이서 요소가 입구에, 즉 흡입측에 배열되는 것이 바람직하다. 또한 상술한 실시형태들의 조합이 가능하다. 예를 들어, 2 개 또는 그 초과의 디스플레이서 요소가 샤프트와 하나의 피스로 생산될 수 있거나, 또는 추가 디스플레이서 요소가 샤프트와 독립적으로 생산되어 샤프트 상에 장착될 수 있다.
진공 펌프(도 5)의 개략적인 단면도는 하우징(22) 내에서 펌핑 챔버(24) 내에 배열된 2 개의 진공 펌프 스크류 로터(26)를 도시한다. 2 개의 로터는 베어링(28)을 통해 하우징 내에 지지된다. 2 개의 샤프트 단부(18)에는 각각의 기어 휠(32)이 연결된다. 기어 휠들은 서로 맞물리며, 따라서 2 개의 샤프트의 동기화를 보장한다. 2 개의 기어 휠(32) 중 하나는 예를 들어, 전기 모터와 같은 구동 수단에 결합된다.
도 5에서 볼 수 있는 바와 같이, 가스의 흡입 유입(suctional intake)은 화살표(34)로 표시된 바와 같이 흡입측 디스플레이서 요소(10)의 영역에서 발생한다. 가스의 배출은 그에 대응하여, 화살표(36)로 표시된 바와 같은, 제 2 압력측 디스플레이서 요소(12)의 단부에서 발생한다.

Claims (23)

  1. 진공 펌프 스크류 로터로서,
    로터 샤프트 상에 배열된 적어도 2 개의 헬리컬 디스플레이서 요소(10, 12)를 포함하고, 상기 적어도 2 개의 디스플레이서 요소(10, 12)는 서로 상이한 피치를 갖고, 각각의 디스플레이서 요소에 대해 상기 피치는 일정하며,
    상기 디스플레이서 요소(10, 12)는 각각 적어도 하나의 헬리컬 리세스를 포함하고, 각각의 리세스는 전체 길이에 걸쳐 균일한 윤곽을 가지는,
    상기 진공 펌프 스크류 로터에 있어서,
    흡입측 디스플레이서 요소(10)가 비대칭 윤곽을 갖고,
    압력측 디스플레이서 요소(12)가 대칭 윤곽을 갖는 것을 특징으로 하는
    진공 펌프 스크류 로터.
  2. 제 1 항에 있어서,
    각각의 헬리컬 디스플레이서 요소를 포함하는 적어도 2 개의 로터 요소가 제공되는 것을 특징으로 하는
    진공 펌프 스크류 로터.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 압력측 디스플레이서 요소(12)는 8 개 초과의 권선을 포함하는 것을 특징으로 하는
    진공 펌프 스크류 로터.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 압력측 디스플레이서 요소는 단일 나사형을 갖는 것을 특징으로 하는
    진공 펌프 스크류 로터.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 로터 샤프트 및 상기 디스플레이서 요소(10, 12)는 단일 피스 디자인을 갖는 것을 특징으로 하는
    진공 펌프 스크류 로터.
  6. 제 1 항에 있어서,
    2 개의 인접한 디스플레이서 요소(10, 12) 사이의 피치 변경부에서 적어도 하나의 피치는 불균일한 것을 특징으로 하는
    진공 펌프 스크류 로터.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 흡입측 디스플레이서 요소(10)의 프로파일은 적어도 플랭크 중 하나에 블로우 홀이 없는 것을 특징으로 하는
    진공 펌프 스크류 로터.
  8. 제 1 항에 있어서,
    2 개의 디스플레이서 요소(10, 12) 사이에서 피치 변경부에 툴 런아웃 구역(a tool run-out zone)이 제공되는 것을 특징으로 하는
    진공 펌프 스크류 로터.
  9. 제 1 항에 있어서,
    2 개의 디스플레이서 요소(10, 12) 사이에 있어서의 피치 변경부에서, 디스플레이서 요소들(10, 12)의 플랭크중 적어도 하나에 보이드가 제공되는 것을 특징으로 하는
    진공 펌프 스크류 로터.
  10. 제 1 항에 있어서,
    전체 진공 펌프 스크류 로터는 알루미늄 또는 알루미늄 합금으로 제조되는 것을 특징으로 하는
    진공 펌프 스크류 로터.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 알루미늄은 18 * 10-6/K 미만의 팽창 계수를 가지며, 적어도 15%의 고 실리콘 비율이 제공되는 것을 특징으로 하는
    진공 펌프 스크류 로터.
  12. 스크류 진공 펌프에 있어서,
    제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 기재된 2 개의 상호 맞물린 스크류 로터와,
    상기 스크류 로터들을 둘러싸는 하우징(22)과,
    2 개의 스크류 로터에 연결된 구동 수단을 포함하는
    스크류 진공 펌프.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 스크류 진공 펌프의 내부 압축비는 적어도 2인 것을 특징으로 하는
    스크류 진공 펌프.
  14. 제 12 에 있어서,
    상기 스크류 로터는 하우징(22)보다 낮은 팽창 계수를 가지며, 상기 하우징(22)의 팽창 계수는 상기 스크류 로터의 팽창 계수보다 5% 더 큰 것을 특징으로 하는
    스크류 진공 펌프.
  15. 제 12 항에 있어서,
    상기 하우징(22)은 알루미늄 또는 알루미늄 합금으로 제조되는 것을 특징으로 하는
    스크류 진공 펌프.
  16. 제 12 항에 있어서,
    상기 압력측 디스플레이서 요소와 상기 하우징 사이에 갭이 배치되고, 상기 갭은 0.05mm 내지 0.5mm 범위의 높이를 갖는 것을 특징으로 하는
    스크류 진공 펌프.
  17. 제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 기재된 스크류 로터를 제조하는 방법에 있어서,
    스크류 로터의 본체를 제공하는 단계와,
    형상 커터(form cutter) 또는 연삭 스크류를 사용하여 제 1 디스플레이서 요소의 헬리컬 리세스를 생성하는 단계와,
    추가 형상 커터 또는 연삭 스크류를 사용하여 추가 디스플레이서 요소의 추가 헬리컬 리세스를 생성하는 단계를 포함하는
    스크류 로터의 제조 방법.
  18. 제 17 항에 있어서,
    대칭 프로파일을 갖는 디스플레이서 요소들의 제조는 단일 툴의 사용에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는
    스크류 로터의 제조 방법.
  19. 제 17 에 있어서,
    상기 헬리컬 리세스를 생성하기 전에, 인접한 디스플레이서 요소들 사이에, 원형 원통 리세스가 툴 런아웃 구역으로서 생성되는 것을 특징으로 하는
    스크류 로터의 제조 방법.
  20. 제 17 항에 있어서,
    2 개의 인접한 디스플레이서 요소 사이에서, 툴의 인출을 위해 적어도 하나의 플랭크에 리세스가 생성되는 것을 특징으로 하는
    스크류 로터의 제조 방법.
  21. 제 17 항에 있어서,
    상기 헬리컬 리세스를 생성하기 위해, 헬리컬 리세스의 외부 윤곽을 재현하는 툴을 각각의 디스플레이서 요소에 대해 사용하는 것을 특징으로 하는
    스크류 로터의 제조 방법.
  22. 제 17 항에 있어서,
    상기 본체는 원통인 것을 특징으로 하는
    스크류 로터의 제조 방법.
  23. 제 17 항에 있어서,
    상기 본체는 이미 예비 형성된 리세스 및/또는 베어링 핀을 갖는 반-완성 제품으로서 형성되는 것을 특징으로 하는
    스크류 로터의 제조 방법.
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