KR102376171B1 - 비저항치 조정 장치 및 비저항치 조정 방법 - Google Patents

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Abstract

비(比)저항치의 조정 대상인 액체에, 상기 액체의 비저항치를 조정하기 위한 조정 가스를 용해시켜, 상기 액체에 상기 조정 가스가 용해된 처리 액체를 생성하는 가스 용해 장치와, 상기 가스 용해 장치로부터 배출된 상기 처리 액체가 공급되는 버퍼 탱크를 구비하는 비저항치 조정 장치.

Description

비저항치 조정 장치 및 비저항치 조정 방법
본 발명은 액체의 비(比)저항치를 조정하는 비저항치 조정 장치 및 비저항치 조정 방법에 관한 것이다.
반도체 또는 액정의 제조 공정에서는, 초순수(超純水)를 사용하여 기판을 세정한다. 이 경우, 초순수의 비저항치가 높으면, 정전기가 발생한다. 이에 따라, 절연 파괴되거나, 또는 미립자가 재부착하여, 제품 수율에 현저하게 악영향을 미치게 한다. 이러한 문제를 해결하기 위해, 소수성(疎水性)의 중공사막(中空絲膜) 모듈을 사용한 기술이 제안되어 있다. 이 기술은, 중공사막 모듈을 사용하여 초순수 중에 탄산 가스 또는 암모니아 가스 등의 가스를 용해시킨다. 그러면, 해리(解離) 평형에 의해 이온이 발생하고, 이 발생한 이온에 의해 초순수의 비저항치가 저하한 처리수가 생성된다.
또한, 기판의 세정, 다이싱 등의 공정에서는, 초순수의 유동 변동이 심하다. 그래서, 특허문헌 1에서는, 유량이 변동해도 비저항치를 안정시키는 비저항치 조정 장치가 제안되어 있다. 특허문헌 1에 기재된 비저항치 조정 장치는, 소류량의 고농도 가스 부가 초순수를 생성하는 중공사막 모듈과, 대류량의 초순수를 통과시키는 바이패스관로를 구비한다. 그리고, 중공사막 모듈에서 생성된 고농도 가스 부가 초순수와 바이패스관로를 통과한 초순수를 합류시켜, 기판을 세정하기 위한 처리수를 생성한다.
일본국 특허 제3951385호 공보
그런데, 초순수에 용해한 가스는, 다음과 같이 식(1) 및 식(2)의 2단계로 해리(이온화)한다. 또한, 이하의 식은, 가스로서 탄산 가스를 사용한 것을 나타내고 있다.
H2O+CO2＝H++HCO3 - … (1)
HCO3 -＝H++CO3 - … (2)
그러나, 초순수에 용해한 가스는, 서서히 해리가 진행되어 간다. 예를 들면, 특허문헌 1에 기재된 비저항치 조정 장치를 사용했을 경우, 중공사막 모듈에 있어서 초순수에 가스를 용해하는 단계에서 식(1)의 이온화는 거의 종료되지만, 식(2)의 이온화에는 시간이 걸린다. 이 때문에, 비저항치 조정 장치의 하류측에 배치되는 배관 중, 비저항치 조정 장치의 근방에서 계측한 처리수의 비저항치와, 비저항치 조정 장치로부터 수 m 하류측에서 계측한 처리수의 비저항치에, 어긋남(괴리)이 생겨 버리는 문제가 있다.
또한, 처리수 중의 이온 농도에 불균일이 생김으로써, 비저항치가 치우쳐 버리는 문제도 있다. 예를 들면, 특허문헌 1에 기재된 비저항치 조정 장치를 사용했을 경우, 초순수와 가스 부가 초순수를 합류시키지만, 초순수와 가스 부가 초순수의 혼합 상태에 의해, 초순수 중의 이온 농도의 불균일이 발생한다.
이들 2개의 문제는, 비저항치의 조정치인 비저항 조정치가 높을수록 현저하게 나타나는 경향이 있다.
그래서, 이들 2개의 문제를 해결하는 수단으로서, 비저항치 조정 장치의 하류측에 배치되는 배관을 길게 하여, 처리수가 당해 배관 내를 흐르고 있을 동안에 자연 혼합 및 해리를 행하게 하는 것을 생각할 수 있다.
그러나, 당해 배관을 길게 하면, (1) 배관 압손이 높아지고, (2) 긴 배관을 수납하는 스페이스가 필요해지고, (3) 배관 길이에 한계가 있기 때문에 비저항치의 어긋남 및 편차가 완전히 수속(收束)하지 않는 등의 문제가 발생한다.
그래서, 본 발명은, 규모의 확대를 억제하면서, 처리수의 비저항치의 어긋남 및 편차의 쌍방을 억제할 수 있는 비저항치 조정 장치 및 비저항치 조정 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일측면에 따른 비저항치 조정 장치는, 비저항치의 조정 대상인 액체에, 액체의 비저항치를 조정하기 위한 조정 가스를 용해시켜, 액체에 조정 가스가 용해된 처리 액체를 생성하는 가스 용해 장치와, 가스 용해 장치로부터 배출된 처리 액체가 공급되는 버퍼 탱크를 구비한다.
이 비저항치 조정 장치에서는, 가스 용해 장치에 있어서, 액체에 조정 가스가 용해된 처리 액체가 생성되고, 이 생성된 처리 액체가 버퍼 탱크에 공급된다. 처리 액체가 버퍼 탱크에 공급되면, 처리 액체의 유로가 급격하게 확대됨으로써 처리 액체의 유속이 급격하게 저하한다. 이에 따라, 버퍼 탱크에 공급된 처리 액체는, 버퍼 탱크 내에서 대류함으로써 해리가 촉진된다. 또한, 버퍼 탱크에 공급된 처리 액체는, 버퍼 탱크 내에서 난류(亂流)가 되어 교반됨으로써 이온 농도의 균일화가 촉진된다. 그 결과, 처리 액체의 비저항치의 어긋남 및 편차의 쌍방이 억제된다. 게다가, 버퍼 탱크 대신에 긴 배관을 사용할 경우에 비해, 처리 액체의 압손을 작게 할 수 있고, 더욱이는, 장치 규모를 작게 할 수 있다.
버퍼 탱크는, 원통 형상의 용기여도 된다. 이 비저항치 조정 장치에서는, 버퍼 탱크가 원통 형상의 용기이기 때문에, 버퍼 탱크에 공급된 처리 액체를, 버퍼 탱크의 내주면(內周面)을 따라 대류시킬 수 있다. 이에 따라, 버퍼 탱크 내에 있어서의 처리 액체의 대류 시간을 충분히 확보할 수 있음과 함께 교반 효과를 향상시킬 수 있다.
버퍼 탱크는, 처리 액체가 공급되는 공급구와, 처리 액체를 배출하는 배출구를 갖고, 공급구와 배출구는, 서로 다른 선상(線上)을 향해 있어도 된다. 이 비저항치 조정 장치에서는, 버퍼 탱크의 공급구와 배출구가 서로 다른 선상을 향해 있기 때문에, 버퍼 탱크 내에서 큰 난류가 일어남과 함께, 공급구로부터 배출구로의 경로가 복잡화된다. 이에 따라, 처리 액체의 대류 및 교반을 촉진시킬 수 있다.
공급구 및 배출구는, 버퍼 탱크의 상하 방향으로 연장되는 중심축선으로부터 벗어난 위치를 향해 있어도 된다. 이 비저항치 조정 장치에서는, 버퍼 탱크의 공급구와 배출구가 버퍼 탱크의 중심축선으로부터 벗어난 방향을 향해 있기 때문에, 버퍼 탱크 내에 있어서, 버퍼 탱크의 중심축선 주위에 처리 액체를 선회시킬 수 있다. 이에 따라, 버퍼 탱크 내에 있어서의 처리 액체의 대류 시간을 충분히 확보할 수 있음과 함께 교반 효과를 향상시킬 수 있다.
공급구와 배출구는, 버퍼 탱크의 상하 방향에 있어서 다른 위치에 배치되어 있어도 된다. 이 비저항치 조정 장치에서는, 버퍼 탱크의 공급구와 배출구가 상하 방향에 있어서 다른 위치에 배치되어 있기 때문에, 버퍼 탱크 내에 있어서의 처리 액체의 대류 시간을 충분히 확보할 수 있다.
배출구는, 공급구보다도 상방에 배치되어 있어도 된다. 이 비저항치 조정 장치에서는, 배출구가 공급구보다도 상방에 배치되기 때문에, 처리 액체에 포함되는 기포를 조속히 배출할 수 있다.
공급구는, 버퍼 탱크의 상부에 형성되어 있어도 된다. 이 비저항치 조정 장치에서는, 공급구가 버퍼 탱크의 상부에 형성되어 있기 때문에, 공급구로부터 버퍼 탱크에 공급되는 처리 액체에 의해, 버퍼 탱크에 저장되어 있는 처리 액체를 교반할 수 있다.
그런데, 본 발명자들의 실험의 결과, 상기 식(2)의 이온화가 충분히 행해질 때까지는, 7∼12초 정도 필요하다는 지견을 얻었다. 그래서, 버퍼 탱크의 용량은, 처리 액체가 7∼12초로 채워지는 용량이어도 된다. 이 비저항치 조정 장치에서는, 버퍼 탱크의 용량이, 처리 액체가 7∼12초로 채워지는 용량, 즉, 처리 액체의 유량의 7∼12초분에 상당하는 용량이기 때문에, 버퍼 탱크가 대형화하는 것을 억제하면서, 버퍼 탱크 내에 있어서 처리 액체를 충분히 해리시킬 수 있다.
버퍼 탱크로부터 처리 액체가 배출되는 처리 액체 배출관과, 처리 액체 배출관에 장착되어 처리 액체를 송출하는 펌프와, 처리 액체 배출관의 펌프보다도 하류측에 장착되어 처리 액체 배출관을 개폐하는 개폐 밸브와, 처리 액체 배출관에 있어서의 펌프와 개폐 밸브 사이로부터 분기(分岐)되어, 처리 액체 배출관을 흐르는 처리 액체를 버퍼 탱크로 되돌리는 순환 배관을 더 구비해도 된다. 이 비저항치 조정 장치에서는, 개폐 밸브를 열면, 처리 액체 배출관으로부터 유스 포인트로 처리 액체를 공급할 수 있지만, 개폐 밸브를 닫으면, 버퍼 탱크로부터 처리 액체 배출관으로 배출된 처리 액체를 순환 배관으로부터 버퍼 탱크로 되돌릴 수 있다. 이 때문에, 유스 포인트에서 처리 액체가 필요하지 않을 때에는, 개폐 밸브를 닫아 둠으로써, 버퍼 탱크, 처리 액체 배출관, 및 순환 배관에서 처리 액체를 순환시킬 수 있다. 이에 따라, 처리 액체의 해리 및 이온 농도의 균일화가 더욱 촉진되기 때문에, 처리 액체의 비저항치의 어긋남 및 편차를 더욱 억제할 수 있다.
그런데, 기판을 세정하는 세정기 등에서는, 빈번히 유량 변동이 일어나기 때문에, 유동 변경에 수반하는 비저항치의 편차의 문제도 발생한다. 또한, 유량을 변화시키면, 처리 액체의 비저항치가 안정될 때까지 다소 시간이 걸린다. 이에 대하여, 이 비저항치 조정 장치에서는, 유스 포인트에는 버퍼 탱크에 저장되어 있는 처리 액체를 공급하기 때문에, 항상 가스 용해 장치에서 처리 액체를 생성할 필요는 없고, 버퍼 탱크에 저장되어 있는 처리 액체가 적어졌을 때에, 가스 용해 장치에서 처리 액체를 생성하면 된다. 이 때문에, 가스 용해 장치에 공급하는 액체의 유량을 일정하게 할 수 있다. 이에 따라, 유스 포인트에서의 유량 변동이나 사용 유량에 영향을 받지 않고, 처리 액체의 비저항치를 안정시킬 수 있다.
버퍼 탱크는, 순환 배관으로부터 처리 액체가 공급되는 순환구를 갖고, 순환구는, 버퍼 탱크의 상부에 형성되어 있어도 된다. 이 비저항치 조정 장치에서는, 순환구가 버퍼 탱크의 상부에 형성되어 있기 때문에, 순환구로부터 버퍼 탱크에 공급되는 처리 액체에 의해, 버퍼 탱크에 저장되어 있는 처리 액체를 교반할 수 있다.
가스 용해 장치는, 액체가 공급되는 액상측 영역과 조정 가스가 공급되는 기상측 영역이 중공사막에 의해 나눠져 있으며, 중공사막을 투과한 조정 가스를 액체에 용해시켜 고농도 가스 부가 액체를 생성하는 중공사막 모듈과, 액체가 공급되는 액체 공급관과, 액체 공급관을 분기하는 분기부를 개재(介在)하여 액체 공급관에 연통(連通)되어, 중공사막 모듈에 액체를 공급하는 모듈 공급관과, 중공사막 모듈로부터 고농도 가스 부가 액체가 배출되는 모듈 배출관과, 분기부를 개재하여 액체 공급관에 연통되어, 중공사막 모듈을 바이패스하는 바이패스관과, 모듈 배출관과 바이패스관을 합류시키는 합류부를 개재하여 모듈 배출관 및 바이패스관과 연통되는 액체 배출관을 구비해도 된다. 이 비저항치 조정 장치에서는, 가스 용해 장치에 공급된 액체는, 중공사막 모듈에 공급되는 액체와 중공사막 모듈을 바이패스하는 액체로 분배된다. 중공사막 모듈에서는, 중공사막을 투과한 조정 가스가 액체에 용해되어, 액체에 조정 가스가 용해한 고농도 가스 부가 액체가 생성된다. 그리고, 중공사막 모듈에서 생성된 고농도 가스 부가 액체와 중공사막 모듈을 바이패스한 액체가 합류함으로써, 처리 액체가 생성된다. 이에 따라, 가스 용해 장치에 공급되는 액체의 유량이 변동해도, 처리 액체의 비저항치를 안정시킬 수 있다.
액체를 버퍼 탱크에 공급하는 제1 조정용 배관과, 고농도 가스 부가 액체를 버퍼 탱크에 공급하는 제2 조정용 배관과, 버퍼 탱크 내의 처리액의 비저항치를 계측하는 비저항치 센서를 더 구비해도 된다. 이 비저항치 조정 장치에서는, 비저항치 센서의 계측 결과에 의거하여 제1 조정용 배관 또는 제2 조정용 배관으로부터 액체 또는 고농도 가스 부가 액체를 버퍼 탱크에 공급함으로써, 버퍼 탱크에 저장되어 있는 처리 액체의 비저항치를 조정할 수 있다. 또한, 버퍼 탱크에 액체 또는 고농도 가스 부가 액체를 공급해도, 개폐 밸브를 닫아, 버퍼 탱크, 처리 액체 배출관, 및 순환 배관에서 처리 액체를 순환시킴으로써, 버퍼 탱크에 저장되어 있는 처리 액체의 해리 및 이온 농도의 균일화를 촉진할 수 있다.
본 발명의 일 측면에 따른 비저항치 조정 방법은, 비저항치의 조정 대상인 액체에, 액체의 비저항치를 조정하기 위한 조정 가스를 용해시켜, 액체에 조정 가스가 용해된 처리 액체를 생성하고, 생성된 처리 액체를 버퍼 탱크에 공급한다.
이 비저항치 조정 방법에서는, 액체에 조정 가스가 용해된 처리 액체가 생성되고, 이 생성된 처리 액체가 버퍼 탱크에 공급된다. 처리 액체가 버퍼 탱크에 공급되면, 처리 액체의 유로가 급격하게 확대됨으로써 처리 액체의 유속이 급격하게 저하한다. 이에 따라, 버퍼 탱크에 공급된 처리 액체는, 버퍼 탱크 내에서 대류함으로써 해리가 촉진된다. 또한, 버퍼 탱크에 공급된 처리 액체는, 버퍼 탱크 내에서 난류가 되어 교반됨으로써 이온 농도의 균일화가 촉진된다. 그 결과, 처리 액체의 비저항치의 어긋남 및 편차의 쌍방이 억제된다. 게다가, 버퍼 탱크 대신에 긴 배관에 처리 액체를 흘릴 경우에 비해, 처리 액체의 압손을 작게 할 수 있고, 더욱이는, 장치 규모를 작게 할 수 있다.
본 발명에 의하면, 규모의 확대를 억제하면서, 처리수의 비저항치의 어긋남 및 편차를 억제할 수 있다.
도 1은 제1 실시형태의 비저항치 조정 장치의 모식도.
도 2는 가스 용해 장치의 모식도.
도 3의 (a) 및 도 3의 (b)는, 버퍼 탱크에 있어서의 공급구 및 배출구의 배치예를 나타내는 도면.
도 4는 제2 실시형태의 비저항치 조정 장치의 모식도.
도 5는 버퍼 탱크에 있어서의 공급구 및 배출구의 배치예를 나타내는 도면.
도 6은 제3 실시형태의 비저항치 조정 장치의 모식도.
도 7은 버퍼 탱크에 있어서의 공급구 및 배출구의 배치예를 나타내는 도면.
도 8은 제4 실시형태의 비저항치 조정 장치의 모식도.
도 9는 비교예의 비저항치 조정 장치의 모식도.
도 10은 실시예 1의 계측 결과를 나타내는 도면.
도 11은 비교예 1의 계측 결과를 나타내는 도면.
도 12는 실시예 2의 유량이 2.0[L／min]일 경우의 계측 결과를 나타내는 도면.
도 13은 실시예 2의 유량이 1.0[L／min]일 경우의 계측 결과를 나타내는 도면.
도 14는 실시예 2의 유량이 0.2[L／min]일 경우의 계측 결과를 나타내는 도면.
도 15는 실시예 3의 유량이 2.0[L／min]일 경우의 계측 결과를 나타내는 도면.
도 16은 실시예 3의 유량이 1.0[L／min]일 경우의 계측 결과를 나타내는 도면.
도 17은 실시예 3의 유량이 0.2[L／min]일 경우의 계측 결과를 나타내는 도면.
도 18은 실시예 4의 버퍼 탱크의 용량이 150[cc]일 경우의 계측 결과를 나타내는 도면.
도 19는 실시예 4의 버퍼 탱크의 용량이 300[cc]일 경우의 계측 결과를 나타내는 도면.
도 20은 실시예 4의 버퍼 탱크의 용량이 400[cc]일 경우의 계측 결과를 나타내는 도면.
도 21은 실시예 4의 버퍼 탱크의 용량이 500[cc]일 경우의 계측 결과를 나타내는 도면.
도 22는 실시예 4의 버퍼 탱크의 용량이 700[cc]일 경우의 계측 결과를 나타내는 도면.
도 23은 실시예 5의 액체의 유량이 1.0[L／min]일 경우의 계측 결과를 나타내는 도면.
도 24는 실시예 5의 액체의 유량이 0.2[L／min]일 경우의 계측 결과를 나타내는 도면.
이하, 도면을 참조하여, 실시형태의 비저항치 조정 장치 및 비저항치 조정 방법에 대해서 상세하게 설명한다. 또한, 전체 도면 중, 동일 또는 상당 부분에는 동일 부호를 붙여, 중복되는 설명을 생략한다.
[제1 실시형태]
도 1은, 제1 실시형태의 비저항치 조정 장치의 모식도이다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태의 비저항치 조정 장치(1)는, 가스 용해 장치(2)와, 버퍼 탱크(3)와, 처리 액체 배출관(4)을 구비한다.
가스 용해 장치(2)는, 비저항치의 조정 대상인 액체(L)에, 액체(L)의 비저항치를 조정하기 위한 조정 가스(G)를 용해시켜, 액체(L)에 조정 가스(G)가 용해된 처리 액체(L2)를 생성한다.
도 2는, 가스 용해 장치의 모식도이다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 가스 용해 장치(2)는, 중공사막 모듈(11)과, 가스 공급관(12)과, 액체 공급관(13)과, 모듈 공급관(14)과, 모듈 배출관(15)과, 바이패스관(16)과, 액체 배출관(17)과, 조정 밸브(18)를 구비한다.
중공사막 모듈(11)은, 비저항치의 조정 대상인 액체(L)에, 액체(L)의 비저항치를 조정하기 위한 조정 가스(G)를 용해시킨다. 액체(L)로서 사용하는 액체는, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 반도체, 액정 등을 세정하기 위한 초순수로 할 수 있다. 통상, 초순수의 비저항치는, 17.5[MΩ·cm] 이상 18.2[MΩ·cm]의 범위이다. 조정 가스(G)로서 사용하는 가스는, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 탄산 가스 또는 암모니아 가스로 할 수 있다. 중공사막 모듈(11)은, 복수개의 중공사막(21)과, 이들 중공사막(21)을 내부에 수용하는 하우징(22)을 구비한다.
중공사막(21)은, 기체는 투과하지만 액체는 투과하지 않는 중공사 형상의 막이다. 중공사막(21)의 소재, 막 형상, 막 형태 등은, 특별히 제한되지 않는다. 하우징(22)은, 중공사막(21)을 내부에 수용하는 밀폐 용기이다.
중공사막 모듈(11)의 하우징(22) 내의 영역은, 중공사막(21)에 의해, 액상측 영역과 기상측 영역으로 나뉜다. 액상측 영역은, 중공사막 모듈(11)의 하우징(22) 내의 영역 중, 액체(L)가 공급되는 영역이다. 기상측 영역은, 중공사막 모듈(11)의 하우징(22) 내의 영역 중, 조정 가스(G)가 공급되는 영역이다. 중공사막 모듈(11)의 종류로서는, 내부 관류형 및 외부 관류형이 있다. 본 실시형태에서는, 내부 관류형 및 외부 관류형 중 어느 것이어도 된다. 외부 관류형의 중공사막 모듈(11)에서는, 중공사막(21)의 내측(내표면측)이 기상측 영역이 되고, 중공사막(21)의 외측(외표면측)이 액상측 영역이 된다. 내부 관류형의 중공사막 모듈(11)에서는, 중공사막(21)의 내측(내표면측)이 액상측 영역이 되고, 중공사막(21)의 외측(외표면측)이 기상측 영역이 된다.
그리고, 중공사막 모듈(11)은, 중공사막(21)을 투과한 조정 가스(G)를 액체(L)에 용해시켜, 액체(L)에 조정 가스(G)가 용해한 고농도 가스 부가 액체(L1)를 생성한다. 이때, 예를 들면, 중공사막 모듈(11)에 공급하는 조정 가스(G)의 가스압을 일정하게 하고, 중공사막 모듈(11)에 공급하는 액체(L)의 유량을 조정함으로써, 고농도 가스 부가 액체(L1)로서, 액체(L)에 조정 가스(G)가 포화 상태로 용해된 조정 가스 포화 액체를 생성하는 것이 바람직하다. 중공사막 모듈(11)에 공급하는 액체(L)의 유량은, 조정 밸브(18)에 의해 조정할 수 있다. 또한, 가스 용해 장치(2)에서는, 중공사막 모듈(11)에 의해 고농도 가스 부가 액체(L1)를 생성한 단계에서, 상기 식(1)의 이온화는 거의 종료된다.
하우징(22)에는, 가스 공급구(23)와, 액체 공급구(24)와, 액체 배출구(25)가 형성되어 있다. 가스 공급구(23)는, 기상측 영역에 조정 가스(G)를 공급하기 위해 하우징(22)에 형성된 개구이다. 액체 공급구(24)는, 액상측 영역에 액체(L)를 공급하기 위해 하우징(22)에 형성된 개구이다. 액체 배출구(25)는, 액상측 영역으로부터 고농도 가스 부가 액체(L1)를 배출하기 위해 하우징(22)에 형성된 개구이다. 이 때문에, 가스 공급구(23)는, 기상측 영역에 연통되고, 액체 공급구(24) 및 액체 배출구(25)는, 액상측 영역에 연통된다. 가스 공급구(23), 액체 공급구(24), 및 액체 배출구(25)의 위치는 특별히 한정되지 않는다.
가스 공급관(12)은, 내주측에 유로가 형성된 관상(管狀)의 부재이다. 가스 공급관(12)은, 가스 공급구(23)에 접속되어 있다. 가스 공급관(12)은, 중공사막 모듈(11)의 기상측 영역에 연통되어 있으며, 중공사막 모듈(11)의 기상측 영역에 조정 가스(G)를 공급한다.
가스 공급관(12)에는, 압력 조정 밸브(19)와, 압력계(P1)가 접속되어 있다. 압력 조정 밸브(19)는, 가스 공급관(12)을 흐르는 조정 가스(G)의 가스압을 조정한다. 즉, 기상측 영역에 있어서의 조정 가스(G)의 가스압은, 압력 조정 밸브(19)에 의해 조정된다. 압력 조정 밸브(19)로서는, 주지(周知)의 다양한 압력 조정 밸브를 채용할 수 있다. 압력계(P1)는, 가스 공급관(12)을 흐르는 조정 가스(G)의 가스압을 계측한다. 압력계(P1)는, 가스 공급관(12)에 있어서의 압력 조정 밸브(19)의 하류측, 즉, 가스 공급관(12)에 있어서의 압력 조정 밸브(19)의 기상측 영역측에 접속되어 있다. 압력계(P1)로서는, 주지의 다양한 압력계를 채용할 수 있고, 예를 들면, 다이어프램 밸브를 채용할 수 있다. 그리고, 비저항치 조정 장치(1)를 제어하는 제어부(도시 생략)는, 가스 공급관(12)을 흐르는 조정 가스(G)의 가스압, 즉, 기상측 영역에 있어서의 조정 가스(G)의 가스압이, 소정치(또는 소정 범위 내)가 되도록, 압력계(P1)로 계측한 조정 가스(G)의 가스압에 의거하여 압력 조정 밸브(19)를 제어한다.
또한, 본 실시형태에서는, 중공사막 모듈(11)의 기상측 영역으로부터 조정 가스(G)가 배출되지 않는 것으로서 설명하지만, 중공사막 모듈(11)의 기상측 영역으로부터 조정 가스(G)가 배출되는 것으로 해도 된다. 이 경우, 중공사막 모듈(11)의 하우징(22)에, 기상측 영역으로부터 조정 가스(G)를 배출하기 위한 개구인 가스 배출구(도시 생략)를 형성한다. 그리고, 이 가스 배출구에, 중공사막 모듈(11)의 기상측 영역으로부터 조정 가스(G)가 배출되는 가스 배출관(도시 생략)을 접속한다. 가스 배출관은, 내주측에 유로가 형성된 관상의 부재이다.
액체 공급관(13)은, 내주측에 유로가 형성된 관상의 부재이다. 액체 공급관(13)에는, 비저항치 조정 장치(1)에 공급되는 액체(L)의 전량(全量)이 공급된다. 액체 공급관(13)은, 분기부(A)에 의해, 모듈 공급관(14)과 바이패스관(16)으로 분기되어 있다. 즉, 분기부(A)의 상류측에는, 액체 공급관(13)이 접속되어 있고, 분기부(A)의 하류측에는, 모듈 공급관(14)과 바이패스관(16)이 접속되어 있다. 그리고, 분기부(A)는, 액체 공급관(13)을 흐르는 액체(L)를, 모듈 공급관(14)과 바이패스관(16)으로 분기하여 배출한다.
모듈 공급관(14)은, 내주측에 유로가 형성된 관상의 부재이다. 모듈 공급관(14)은, 분기부(A)를 개재하여 액체 공급관(13)에 연통되어, 액체(L)를 중공사막 모듈(11)에 공급한다. 모듈 공급관(14)은, 중공사막 모듈(11)의 상류측에 배치되어, 중공사막 모듈(11)의 액체 공급구(24)에 접속되어 있다. 모듈 공급관(14)은, 중공사막 모듈(11)의 액상측 영역에 연통되어 있으며, 중공사막 모듈(11)의 액상 영역에 액체(L)를 공급한다.
모듈 배출관(15)은, 내주측에 유로가 형성된 관상의 부재이다. 모듈 배출관(15)은, 중공사막 모듈(11)로부터 고농도 가스 부가 액체(L1)가 배출되어, 합류부(B)를 개재하여 액체 배출관(17)에 연통되어 있다. 모듈 배출관(15)은, 중공사막 모듈(11)의 하류측에 배치되어, 중공사막 모듈(11)의 액체 배출구(25)에 접속되어 있다. 모듈 배출관(15)은, 중공사막 모듈(11)의 액상측 영역에 연통되어 있으며, 중공사막 모듈(11)의 액상측 영역으로부터 고농도 가스 부가 액체(L1)가 배출된다.
바이패스관(16)은, 내주측에 유로가 형성된 관상의 부재이다. 바이패스관(16)은, 분기부(A)를 개재하여 액체 공급관(13)에 연통되어 있다. 바이패스관(16)은, 중공사막 모듈(11)을 바이패스하고 있다. 이 때문에, 바이패스관(16)을 흐르는 액체(L)는, 중공사막 모듈(11)에 공급되지 않고, 중공사막 모듈(11)을 바이패스한다. 바이패스관(16)은, 합류부(B)에 의해 모듈 배출관(15)과 합류되어 있다.
합류부(B)의 상류측에는, 모듈 배출관(15)과 바이패스관(16)이 접속되어 있고, 합류부(B)의 하류측에는, 액체 배출관(17)이 접속되어 있다. 그리고, 합류부(B)는, 모듈 배출관(15)을 흐르는 고농도 가스 부가 액체(L1)와 바이패스관(16)을 흐르는 액체(L)를 합류시킨다. 그리고, 합류부(B)는, 액체(L)와 고농도 가스 부가 액체(L1)가 합류하여 이루어지는 처리 액체(L2)를, 액체 배출관(17)에 배출한다.
액체 배출관(17)은, 내주측에 유로가 형성된 관상의 부재이다. 액체 배출관(17)은, 합류부(B)에 접속되어 있고, 액체 배출관(17)은, 합류부(B)를 개재하여 모듈 배출관(15) 및 바이패스관(16)과 연통되어 있고, 합류부(B)로부터 처리 액체(L2)가 배출된다.
조정 밸브(18)는, 모듈 배출관(15)의 유로를 개폐하는 밸브이다. 조정 밸브(18)는, 모듈 배출관(15)의 유로를 개폐함으로써, 모듈 배출관(15)을 흐르는 고농도 가스 부가 액체(L1)와 바이패스관(16)을 흐르는 액체(L)와의 비율을 조정한다. 즉, 조정 밸브(18)에 의해 상기 비율을 조정함으로써, 처리 액체(L2)의 비저항치를 조정할 수 있다. 이 경우, 조정 가스(G)가 포화 상태로 액체(L)에 용해된 고농도 가스 부가 액체(L1)가 생성되도록, 조정 밸브(18)의 개도(開度)를 설정하는 것이 바람직하다. 여기에서, 포화 상태란, 완전한 포화 상태뿐만 아니라, 포화 상태에 가까운 상태도 포함한다. 포화 상태에 가까운 상태란, 중공사막 모듈(11)에 공급되는 액체(L)의 유량과 중공사막 모듈(11)을 바이패스하는 액체(L)의 유량과의 분배 비율만에 의해 액체(L)의 비저항치를 조정할 수 있을 정도로, 액체(L)에 조정 가스(G)가 용해되어 있는 상태를 말한다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 버퍼 탱크(3)는, 가스 용해 장치(2)로부터 배출된 처리 액체(L2)가 공급된다. 버퍼 탱크(3)는, 가스 용해 장치(2)에 접속되어 있다. 즉, 처리 액체(L2)는, 가스 용해 장치(2)로부터 배출되면, 처리 액체 배출관(4)을 경유하지 않고, 바로 버퍼 탱크(3)에 공급된다. 버퍼 탱크(3)는, 처리 액체(L2)를 일시적으로 저장해 둘 수 있는 용기이다. 이 때문에, 처리 액체(L2)가 버퍼 탱크(3)에 공급되면, 처리 액체(L2)의 유로가 급격하게 확대됨으로써 처리 액체(L2)의 유속이 급격하게 저하한다. 이에 따라, 버퍼 탱크(3)에 공급된 처리 액체(L2)는, 버퍼 탱크(3) 내에서 대류함으로써 해리가 촉진된다. 또한, 버퍼 탱크(3)에 공급된 처리 액체(L2)는, 버퍼 탱크(3) 내에서 난류가 되어 교반 됨으로써 이온 농도의 균일화가 촉진된다.
버퍼 탱크(3)는, 밀폐 용기이며, 버퍼 탱크(3)에 처리 액체(L2)가 공급됨으로써, 버퍼 탱크(3) 내가 처리 액체(L2)로 채워진다. 이 때문에, 버퍼 탱크(3)의 하류측에 펌프 등을 배치하지 않아도, 가스 용해 장치(2)로부터 배출된 처리 액체(L2)를 버퍼 탱크(3)에 공급함으로써, 버퍼 탱크(3)로부터 처리 액체(L2)가 배출된다. 또한, 버퍼 탱크(3) 내가 처리 액체(L2)로 완전히 채워져 있을 필요는 없고, 버퍼 탱크(3) 내에 처리 액체(L2)가 채워지지 않는 영역(공극)이 남아 있어도 된다.
버퍼 탱크(3)는, 어떠한 형상의 용기여도 되지만, 원통 형상의 용기인 것이 바람직하다. 이와 같이, 버퍼 탱크(3)가 원통 형상의 용기이면, 버퍼 탱크(3)에 공급된 처리 액체(L2)를, 버퍼 탱크(3)의 내주면을 따라 대류시킬 수 있다. 이에 따라, 버퍼 탱크(3) 내에 있어서의 처리 액체(L2)의 대류 시간을 충분히 확보할 수 있음과 함께 교반 효과를 향상시킬 수 있다.
도 3은, 버퍼 탱크에 있어서의 공급구 및 배출구의 배치예를 나타내는 도면이다. 도 1 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 버퍼 탱크(3)는, 가스 용해 장치(2)의 액체 공급관(13)에 접속되는 공급구(3a)와, 처리 액체 배출관(4)에 접속되는 배출구(3b)를 구비한다. 공급구(3a) 및 배출구(3b)의 배치는, 특별히 한정되지 않지만, 버퍼 탱크(3) 내에서 처리 액체(L2)의 대류 및 교반을 촉진하는 관점에서, 도 3의 (a) 및 (b)에 나타내는 바와 같이, 공급구(3a)와 배출구(3b)가, 서로 다른 선상을 향해 있는 것이 바람직하다. 이와 같이, 버퍼 탱크(3)의 공급구(3a)와 배출구(3b)가 서로 다른 선상을 향해 있으면, 버퍼 탱크(3) 내에서 큰 난류가 일어남과 함께, 공급구(3a)로부터 배출구(3b)로의 경로가 복잡화된다. 이에 따라, 처리 액체(L2)의 대류 및 교반을 촉진시킬 수 있다.
도 3의 (a)에 나타내는 버퍼 탱크(3)는, 공급구(3a) 및 배출구(3b)가, 버퍼 탱크(3)의 상하 방향으로 연장되는 중심축선(C)으로부터 벗어난 위치를 향해 있다. 이와 같이, 버퍼 탱크(3)의 공급구(3a)와 배출구(3b)가 버퍼 탱크(3)의 중심축선(C)으로부터 벗어난 방향을 향해 있으면, 버퍼 탱크(3) 내에 있어서, 버퍼 탱크(3)의 중심축선(C) 주위에 처리 액체(L2)를 선회시킬 수 있다. 이에 따라, 버퍼 탱크(3) 내에 있어서의 처리 액체(L2)의 대류 시간을 충분히 확보할 수 있음과 함께 교반 효과를 향상시킬 수 있다.
도 3의 (b)에 나타내는 버퍼 탱크(3)는, 공급구(3a)와 배출구(3b)가, 버퍼 탱크(3)의 상하 방향에 있어서 다른 위치에 배치되어 있다. 이와 같이, 버퍼 탱크(3)의 공급구(3a)와 배출구(3b)가 상하 방향에 있어서 다른 위치에 배치되어 있으면, 버퍼 탱크(3) 내에 있어서의 처리 액체(L2)의 대류 시간을 충분히 확보할 수 있다.
또한, 도 3의 (b)에 나타내는 버퍼 탱크(3)는, 배출구(3b)가 공급구(3a)보다도 상방에 배치되어 있다. 처리 액체(L2)에 기포가 포함되어 있으면, 버퍼 탱크(3) 내에서는, 당해 기포가 공급구(3a)로부터 상방으로 부상(浮上)해 간다. 이 때문에, 배출구(3b)가 공급구(3a)보다도 상방에 배치되어 있으면, 처리 액체(L2)에 포함되는 기포를 조속히 배출구(3b)로부터 배출할 수 있다.
그런데, 본 발명자들의 실험의 결과, 상기 식(2)의 이온화가 충분히 행해질 때까지는, 7∼12초 정도 필요하다는 지견을 얻었다. 실험의 상세는, 이하의 실시예에 나타낸다. 그래서, 버퍼 탱크(3)의 용량은, 처리 액체(L2)가 7∼12초로 채워지는 용량, 즉, 처리 액체(L2)의 유량의 7∼12초분에 상당하는 용량인 것이 바람직하다. 이와 같이, 버퍼 탱크(3)의 용량을, 처리 액체(L2)가 7∼12초로 채워지는 용량으로 함으로써, 버퍼 탱크(3)가 대형화하는 것을 억제하면서, 버퍼 탱크(3) 내에 있어서 처리 액체(L2)를 충분히 해리시킬 수 있다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 처리 액체 배출관(4)은, 내주측에 유로가 형성된 관상의 부재이다. 처리 액체 배출관(4)은, 버퍼 탱크(3)의 배출구(3b)에 접속되어 있으며, 버퍼 탱크(3)로부터 처리 액체(L2)가 배출된다. 그리고, 처리 액체(L2)는, 처리 액체 배출관(4)을 흘러감으로써, 처리 액체(L2)가 사용되는 유스 포인트에 공급된다. 처리 액체 배출관(4)의 소재, 특성(경도, 탄성 등), 형상, 치수 등은, 특별히 한정되지 않는다.
이와 같이, 본 실시형태에서는, 가스 용해 장치(2)에 있어서, 액체(L)에 조정 가스(G)가 용해된 처리 액체(L2)가 생성되고, 이 생성된 처리 액체(L2)가 버퍼 탱크(3)에 공급된다. 처리 액체(L2)가 버퍼 탱크(3)에 공급되면, 처리 액체(L2)의 유로가 급격하게 확대됨으로써 처리 액체(L2)의 유속이 급격하게 저하한다. 이에 따라, 버퍼 탱크(3)에 공급된 처리 액체(L2)는, 버퍼 탱크(3) 내에서 대류함으로써 해리가 촉진된다. 또한, 버퍼 탱크(3)에 공급된 처리 액체(L2)는, 버퍼 탱크(3) 내에서 난류가 되어 교반됨으로써 이온 농도의 균일화가 촉진된다. 그 결과, 처리 액체(L2)의 비저항치의 어긋남 및 편차의 쌍방이 억제된다. 게다가, 버퍼 탱크 대신에 긴 배관을 사용할 경우에 비해, 처리 액체(L2)의 압손을 작게 할 수 있고, 더욱이는, 장치 규모를 작게 할 수 있다.
또한, 가스 용해 장치(2)에 공급된 액체(L)는, 중공사막 모듈(11)에 공급되는 액체(L)와 중공사막 모듈(11)을 바이패스하는 액체(L)로 분배된다. 중공사막 모듈(11)에서는, 중공사막(21)을 투과한 조정 가스(G)가 액체(L)에 용해되어, 액체(L)에 조정 가스(G)가 용해한 고농도 가스 부가 액체(L1)가 생성된다. 그리고, 중공사막 모듈(11)에서 생성된 고농도 가스 부가 액체(L1)와 중공사막 모듈(11)을 바이패스한 액체(L)가 합류함으로써, 처리 액체(L2)가 생성된다. 이에 따라, 가스 용해 장치(2)에 공급되는 액체(L)의 유량이 변동해도, 처리 액체(L2)의 비저항치를 안정시킬 수 있다.
[제2 실시형태]
다음으로, 제2 실시형태에 대해서 설명한다. 제2 실시형태는, 기본적으로 제1 실시형태와 마찬가지이며, 버퍼 탱크가 처리 액체로 채워지지 않는 용기인 점, 및 처리 액체 배출관에 펌프가 장착되어 있는 점만, 제1 실시형태와 상이하다. 이 때문에, 이하에서는, 제1 실시형태와 상이한 사항만을 설명하고, 제1 실시형태와 마찬가지인 사항의 설명을 생략한다.
도 4는, 제2 실시형태의 비저항치 조정 장치의 모식도이다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태의 비저항치 조정 장치(1A)는, 가스 용해 장치(2)와, 버퍼 탱크(3A)와, 처리 액체 배출관(4)과, 펌프(5)를 구비한다.
버퍼 탱크(3A)는, 제1 실시형태의 버퍼 탱크(3)와 마찬가지로, 가스 용해 장치(2)로부터 배출된 처리 액체(L2)가 공급되어, 처리 액체(L2)를 일시적으로 저장해 둘 수 있는 용기이다.
버퍼 탱크(3A)는, 개방 용기이며, 버퍼 탱크(3A)에 처리 액체(L2)가 공급되거나, 또는, 버퍼 탱크(3A)로부터 처리 액체(L2)가 배출됨으로써, 버퍼 탱크(3A) 내에 저장되어 있는 처리 액체(L2)가 증감한다. 이 때문에, 가스 용해 장치(2)로부터 배출된 처리 액체(L2)를 버퍼 탱크(3A)에 공급한 것만으로는, 버퍼 탱크(3A)로부터 처리 액체(L2)가 배출되지 않는다.
도 5는, 버퍼 탱크에 있어서의 공급구 및 배출구의 배치예를 나타내는 도면이다. 도 4 및 도 5에 나타내는 바와 같이, 버퍼 탱크(3A)는, 가스 용해 장치(2)의 액체 공급관(13)에 접속되는 공급구(3a)와, 처리 액체 배출관(4)에 접속되는 배출구(3b)를 구비한다. 공급구(3a) 및 배출구(3b)의 배치는, 특별히 한정되지 않지만, 버퍼 탱크(3A) 내에서 처리 액체(L2)의 대류 및 교반을 촉진하는 관점에서, 도 5에 나타내는 바와 같이, 공급구(3a)가, 버퍼 탱크(3A)의 상부에 형성되어 있는 것이 바람직하다. 공급구(3a)가 버퍼 탱크(3A)의 상부에 형성되어 있다는 것은, 예를 들면, 버퍼 탱크(3A)의 천벽(天壁)에 공급구(3a)가 형성되어 있는 것, 버퍼 탱크(3A)의 천벽에 액체 배출관(17)을 관통시켜 버퍼 탱크(3A)의 상부에 공급구(3a)가 형성되어 있는 것, 버퍼 탱크(3A)의 측벽의 상부에 공급구(3a)가 형성되어 있는 것, 버퍼 탱크(3A)의 측벽의 상부에 액체 배출관(17)을 관통시켜 버퍼 탱크(3A)의 상부에 공급구(3a)가 형성되어 있는 것 등을 말한다. 이와 같이, 공급구(3a)가 버퍼 탱크(3A)의 상부에 형성되어 있으면, 공급구(3a)로부터 버퍼 탱크(3A)에 공급되는 처리 액체(L2)에 의해, 버퍼 탱크(3A)에 저장되어 있는 처리 액체(L2)를 교반 수 있다.
도 4에 나타내는 바와 같이, 펌프(5)는, 처리 액체 배출관(4)에 장착되어 있다. 펌프(5)는, 처리 액체 배출관(4) 내의 처리 액체(L2)를 버퍼 탱크(3A)와는 반대측으로 보냄으로써, 버퍼 탱크(3A)로부터 처리 액체 배출관(4)으로 처리 액체(L2)를 송출한다.
이와 같이, 본 실시형태에서도, 제1 실시형태와 마찬가지로 처리 액체(L2)가 버퍼 탱크(3A)에 공급되기 때문에, 처리 액체(L2)의 비저항치의 어긋남 및 편차의 쌍방을 억제할 수 있다. 또한, 버퍼 탱크 대신에 긴 배관을 사용할 경우에 비해, 처리 액체(L2)의 압손을 작게 할 수 있고, 더욱이는, 장치 규모를 작게 할 수 있다.
[제3 실시형태]
다음으로, 제3 실시형태에 대해서 설명한다. 제3 실시형태는, 기본적으로 제2 실시형태와 마찬가지이며, 처리 액체 배출관을 개폐하는 개폐 밸브와, 처리 액체 배출관을 흐르는 처리 액체를 버퍼 탱크로 되돌리는 순환 배관을 구비하는 점만, 제2 실시형태와 상이하다. 이 때문에, 이하에서는, 제2 실시형태와 상이한 사항만을 설명하고, 제2 실시형태와 마찬가지인 사항의 설명을 생략한다.
도 6은, 제3 실시형태의 비저항치 조정 장치의 모식도이다. 도 6에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태의 비저항치 조정 장치(1B)는, 가스 용해 장치(2)와, 버퍼 탱크(3B)와, 처리 액체 배출관(4)과, 펌프(5)와, 개폐 밸브(6)와, 순환 배관(7)을 구비한다.
개폐 밸브(6)는, 처리 액체 배출관(4)의 펌프(5)보다도 하류측에 장착되어, 처리 액체 배출관(4)의 유로를 개폐하는 밸브이다. 개폐 밸브(6)는, 처리 액체 배출관(4)의 유로를 개폐함으로써, 처리 액체(L2)를 유스 포인트에 공급할지의 여부를 선택할 수 있다.
순환 배관(7)은, 내주측에 유로가 형성된 관상의 부재이다. 순환 배관(7)은, 처리 액체 배출관(4)에 있어서의 펌프(5)와 개폐 밸브(6) 사이로부터 분기되어, 처리 액체 배출관(4)을 흐르는 처리 액체(L2)를 버퍼 탱크(3B)로 되돌린다. 펌프(5)와 개폐 밸브(6) 사이란, 펌프(5)의 하류측이며 또한 개폐 밸브(6)의 상류측이다. 이 때문에, 개폐 밸브(6)를 열면, 버퍼 탱크(3B)로부터 처리 액체 배출관(4)으로 배출된 처리 액체(L2)는 유스 포인트에 공급되지만, 개폐 밸브(6)를 닫으면, 버퍼 탱크(3B)로부터 처리 액체 배출관(4)에 배출으로 처리 액체(L2)는 순환 배관(7)을 통과하여 버퍼 탱크(3B)로 되돌려진다.
버퍼 탱크(3B)는, 제2 실시형태의 버퍼 탱크(3A)와 마찬가지로, 개방 용기이며, 버퍼 탱크(3B)에 처리 액체(L2)가 공급되거나, 또는, 버퍼 탱크(3B)로부터 처리 액체(L2)가 배출됨으로써, 버퍼 탱크(3B) 내에 저장되어 있는 처리 액체(L2)가 증감한다. 이 때문에, 가스 용해 장치(2)로부터 배출된 처리 액체(L2)를 버퍼 탱크(3B)에 공급한 것만으로는, 버퍼 탱크(3B)로부터 처리 액체(L2)가 배출되지 않는다.
도 7은, 버퍼 탱크에 있어서의 공급구 및 배출구의 배치예를 나타내는 도면이다. 도 6 및 도 7에 나타내는 바와 같이, 버퍼 탱크(3B)는, 가스 용해 장치(2)의 액체 공급관(13)에 접속되는 공급구(3a)와, 처리 액체 배출관(4)에 접속되는 배출구(3b)와, 순환 배관(7)에 접속되는 순환구(3c)를 구비한다. 공급구(3a), 배출구(3b) 및 순환구(3c)의 배치는, 특별히 한정되지 않지만, 버퍼 탱크(3B) 내에서 처리 액체(L2)의 대류 및 교반을 촉진하는 관점에서, 도 7에 나타내는 바와 같이, 공급구(3a) 및 순환구(3c)가, 버퍼 탱크(3B)의 상부에 형성되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이, 공급구(3a) 및 순환구(3c)가 버퍼 탱크(3B)의 상부에 형성되어 있으면, 공급구(3a)로부터 버퍼 탱크(3B)로 공급되는 처리 액체(L2) 또는 순환구(3c)로부터 버퍼 탱크(3B)로 되돌려지는 처리 액체(L2)에 의해, 버퍼 탱크(3B)에 저장되어 있는 처리 액체(L2)를 교반할 수 있다.
이와 같이, 본 실시형태에서는, 개폐 밸브(6)를 열면, 처리 액체 배출관(4)으로부터 유스 포인트에 처리 액체(L2)를 공급할 수 있지만, 개폐 밸브(6)를 닫으면, 버퍼 탱크(3B)로부터 처리 액체 배출관(4)에 배출된 처리 액체(L2)를 순환 배관(7)으로부터 버퍼 탱크(3B)로 되돌릴 수 있다. 이 때문에, 유스 포인트에서 처리 액체(L2)가 필요하지 않을 때에는, 개폐 밸브(6)를 닫아 둠으로써, 버퍼 탱크(3B), 처리 액체 배출관(4), 및 순환 배관(7)에서 처리 액체(L2)를 순환시킬 수 있다. 이에 따라, 처리 액체(L2)의 해리 및 이온 농도의 균일화가 더욱 촉진되기 때문에, 처리 액체(L2)의 비저항치의 어긋남 및 편차를 더욱 억제할 수 있다.
그런데, 기판을 세정하는 세정기 등에서는, 빈번히 유량 변동이 일어나기 때문에, 유동 변경에 수반하는 비저항치의 편차의 문제도 발생한다. 또한, 유량을 변화시키면, 처리 액체(L2)의 비저항치가 안정될 때까지 다소 시간이 걸린다. 이에 대하여, 본 실시형태에서는, 유스 포인트에는 버퍼 탱크(3B)에 저장되어 있는 처리 액체(L2)를 공급하기 때문에, 항상 가스 용해 장치(2)에서 처리 액체(L2)를 생성할 필요는 없고, 버퍼 탱크(3B)에 저장되어 있는 처리 액체(L2)가 적어졌을 때에, 가스 용해 장치(2)에서 처리 액체(L2)를 생성하면 된다. 이 때문에, 가스 용해 장치(2)에 공급하는 액체(L)의 유량을 일정하게 할 수 있다. 이에 따라, 유스 포인트에서의 유량 변동이나 사용 유량에 영향을 받지 않고, 처리 액체(L2)의 비저항치를 안정시킬 수 있다.
[제4 실시형태]
다음으로, 제4 실시형태에 대해서 설명한다. 제4 실시형태는, 기본적으로 제3 실시형태와 마찬가지이며, 버퍼 탱크 내에서 처리 액체의 비저항치를 조정하는 점만, 제3 실시형태와 상이하다. 이 때문에, 이하에서는, 제3 실시형태와 상이한 사항만을 설명하고, 제3 실시형태와 마찬가지인 사항의 설명을 생략한다.
도 8은, 제4 실시형태의 비저항치 조정 장치의 모식도이다. 도 8에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태의 비저항치 조정 장치(1C)는, 가스 용해 장치(2)와, 버퍼 탱크(3C)와, 처리 액체 배출관(4)과, 펌프(5)와, 개폐 밸브(6)와, 순환 배관(7)과, 제1 조정용 배관(8)과, 제2 조정용 배관(9)과, 비저항치 센서(10)를 구비한다.
제1 조정용 배관(8)은, 내주측에 유로가 형성된 관상의 부재이다. 제1 조정용 배관(8)은, 액체(L)를 버퍼 탱크(3C)에 공급한다. 제1 조정용 배관(8)은, 액체(L)의 유로에 접속되어 있다. 제1 조정용 배관(8)이 접속되는 액체(L)의 유로로서는, 예를 들면, 가스 용해 장치(2)의 액체 공급관(13), 바이패스관(16) 등을 들 수 있다. 제1 조정용 배관(8)에는, 전자 밸브(도시 생략)가 장착되어 있다. 그리고, 비저항치 조정 장치(1C)를 제어하는 제어부(도시 생략)는, 비저항치 센서(10)의 계측 결과에 의거하여, 전자 밸브의 개폐 제어를 행한다.
제2 조정용 배관(9)은, 내주측에 유로가 형성된 관상의 부재이다. 제2 조정용 배관(9)은, 고농도 가스 부가 액체(L1)를 버퍼 탱크(3C)에 공급한다. 제2 조정용 배관(9)은, 고농도 가스 부가 액체(L1)의 유로에 접속되어 있다. 제2 조정용 배관(9)이 접속되는 고농도 가스 부가 액체(L1)의 유로로서는, 예를 들면, 가스 용해 장치(2)의 모듈 배출관(15)을 들 수 있다. 제2 조정용 배관(9)에는, 전자 밸브(도시 생략)가 장착되어 있다. 그리고, 비저항치 조정 장치(1C)를 제어하는 제어부(도시 생략)는, 비저항치 센서(10)의 계측 결과에 의거하여, 전자 밸브의 개폐 제어를 행한다.
비저항치 센서(10)는, 버퍼 탱크(3C)에 저장되어 있는 처리 액체(L2)의 비저항치를 계측하는 센서이다. 버퍼 탱크(3C)에 저장되어 있는 처리 액체(L2)는, 비저항치가 안정되어 있지만, 장치의 문제 등에 의해 비저항치가 비저항 조정치로부터 어긋날 가능성이 있다. 그래서, 비저항치 센서(10)로 버퍼 탱크(3C)에 저장되어 있는 처리 액체(L2)의 비저항치를 계측한다. 그리고, 비저항치 조정 장치(1C)를 제어하는 제어부(도시 생략)는, 계측 결과가 비저항 조정치로부터 벗어나 있을 경우에는, 제1 조정용 배관(8) 또는 제2 조정용 배관(9)으로부터 액체(L) 또는 고농도 가스 부가 액체(L1)를 버퍼 탱크(3C)에 공급함으로써, 비저항치 센서(10)로 버퍼 탱크(3C)에 저장되어 있는 처리 액체(L2)의 비저항치를 조정한다.
이와 같이, 본 실시형태에서는, 비저항치 센서(10)의 계측 결과에 의거하여, 제1 조정용 배관(8) 또는 제2 조정용 배관(9)으로부터 액체(L) 또는 고농도 가스 부가 액체(L1)를 버퍼 탱크(3C)에 공급함으로써, 버퍼 탱크(3C)에 저장되어 있는 처리 액체(L2)의 비저항치를 조정할 수 있다. 또한, 버퍼 탱크(3C)에 액체(L) 또는 고농도 가스 부가 액체(L1)를 공급해도, 개폐 밸브(6)를 닫아, 버퍼 탱크(3C), 처리 액체 배출관(4), 및 순환 배관(7)에서 처리 액체(L2)를 순환시킴으로써, 버퍼 탱크(3C)에 저장되어 있는 처리 액체(L2)의 해리 및 이온 농도의 균일화를 촉진할 수 있다.
이상, 본 발명의 실시형태에 대해서 설명했지만, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것이 아니다. 예를 들면, 상기의 각 실시형태를 적절히 조합해도 된다. 또한, 상기 실시형태에서는, 가스 용해 장치로서, 중공사막 모듈에서 생성한 고농도 가스 부가 액체(L1)와 중공사막 모듈을 바이패스한 액체(L)를 합류시킴으로써 처리 액체(L2)를 생성하는 막 방식의 가스 용해 장치를 사용하여 설명했지만, 일본국 특개소60-027603호 공보, 일본국 특개평10-212105호 공보, 일본국 특개2004-344821호 공보 등에 기재된 바와 같은 기체 주입 방식의 가스 용해 장치 등에 적용해도 된다.
[실시예]
다음으로, 본 발명의 실시예를 설명하지만, 본 발명은 이하의 실시예에 한정되는 것이 아니다.
[실시예 1]
실시예 1에서는, 도 1에 나타내는 제1 실시형태의 비저항치 조정 장치(1)를 사용했다. 가스 용해 장치(2)(액체 공급관(13))에 공급하는 액체(L)는, 온도: 25[℃], 공급 수압: 0.25[㎫], 비저항치: 18.2[MΩ·cm], 유량: 2.0[L／min]으로 했다. 비저항 조정치는, 0.4[MΩ·cm], 0.5[MΩ·cm], 0.6[MΩ·cm], 0.8[MΩ·cm], 1.0[MΩ·cm]으로 했다. 처리 액체 배출관(4)으로서, 직경 12×8[mm]의 튜브를 사용했다. 버퍼 탱크(3)로서, 원통 형상의 용기를 사용했다. 처리 액체(L2)의 버퍼 탱크(3)에서의 추정 체류 시간이 약 12초가 되도록, 버퍼 탱크(3)의 용량(내용적)을 400[cc]로 했다. 추정 대류 시간은, 버퍼 탱크(3)의 용량을, 처리 액체(L2)의 유량으로 제산(除算)한 시간으로 했다.
그리고, 버퍼 탱크(3)의 직후에 비저항치 센서를 장착하고, 이 비저항치 센서로 처리 액체(L2)의 비저항치를 계측했다. 비저항치 센서로서는, 호리바어드밴스트테크노사제 HE-480R을 사용했다. 계측 결과를 도 10에 나타낸다.
[비교예 1]
비교예 1에서는, 도 9에 나타내는 비저항치 조정 장치(100)를 사용했다. 비교예 1의 비저항치 조정 장치(100)는, 버퍼 탱크를 구비하지 않는 점을 제외하고, 실시예 1의 비저항치 조정 장치(1)와 같게 했다. 가스 용해 장치(2)(액체 공급관(13))에 공급하는 액체(L) 및 비저항 조정치는, 실시예 1과 동(同)조건으로 했다.
그리고, 가스 용해 장치(2)로부터 배출된 처리 액체(L2)가 비저항치 센서에 도달할 때까지의 시간이 실시예 1과 동조건이 되도록, 처리 액체 배출관(4)에 있어서의 가스 용해 장치(2)의 8m 하류측에 비저항치 센서를 장착하고, 이 비저항치 센서로 처리 액체(L2)의 비저항치를 계측했다. 즉, 비저항치 센서를 상기 위치에 장착함으로써, 처리 액체(L2)가 가스 용해 장치(2)로부터 배출되고 나서 비저항치 센서에 도달할 때까지의 추정 시간을 약 12초로 하고, 비저항치 센서까지의 처리 액체 배출관(4)의 용적(내용적)을 400cc로 했다. 비저항치 센서로서는, 실시예 1과 같은 것을 사용했다. 계측 결과를 도 11에 나타낸다.
[평가 1]
도 11에 나타내는 바와 같이, 비교예 1에서는, 비저항치 센서를 장착할 때까지의 거리를 길게 했기 때문에, 이온 농도의 불균일에 기인하는 비저항치의 편차가 컸다.
이에 대하여, 도 10에 나타내는 바와 같이, 실시예 1에서는, 비저항치의 편차가, 비교예 1에 비하여 대폭 억제되었다. 이 결과로부터, 버퍼 탱크(3)를 구비함으로써, 비저항치의 편차를 억제할 수 있음을 알 수 있었다.
[실시예 2]
실시예 2에서는, 도 1에 나타내는 제1 실시형태의 비저항치 조정 장치(1)를 사용했다. 가스 용해 장치(2)(액체 공급관(13))에 공급하는 액체(L)는, 온도: 25[℃], 공급 수압: 0.25[㎫], 비저항치: 18.2[MΩ·cm]로 했다. 액체(L)의 유량은, 2.0[L／min], 1.0[L／min], 0.2[L／min]로 했다. 비저항 조정치는, 0.2[MΩ·cm], 0.5[MΩ·cm], 0.6[MΩ·cm], 0.7[MΩ·cm], 0.8[MΩ·cm], 0.9[MΩ·cm], 1.0[MΩ·cm]으로 했다. 버퍼 탱크(3)로서, 원통 형상의 용기를 사용하고, 버퍼 탱크(3)의 용량(내용적)을 700[cc]로 했다. 버퍼 탱크(3)의 공급구(3a)와 배출구(3b)가 동일상 선상을 향해 있는 것으로 했다.
그리고, 버퍼 탱크(3)의 직후에 비저항치 센서를 장착하고, 이 비저항치 센서로 처리 액체(L2)의 비저항치를 계측했다. 비저항치 센서는 실시예 1과 같은 것을 사용했다. 유량이 2.0[L／min]인 계측 결과를 도 12에 나타내고, 유량이 1.0[L／min]인 계측 결과를 도 13에 나타내고, 유량이 0.2[L／min]인 계측 결과를 도 14에 나타낸다.
[실시예 3]
실시예 3에서는, 버퍼 탱크(3)의 공급구(3a)와 배출구(3b)가 서로 다른 선상을 향해 있는 것으로 한 것 외는, 실시예 2와 동조건으로 했다. 구체적으로는, 공급구(3a) 및 배출구(3b)는, 버퍼 탱크(3)의 상하 방향으로 연장되는 중심축선으로부터 벗어난 위치를 향해 있는 것으로 하고, 또한, 배출구(3b)를 공급구(3a)보다도 상방에 배치했다.
그리고, 버퍼 탱크(3)의 직후에 비저항치 센서를 장착하고, 이 비저항치 센서로 처리 액체(L2)의 비저항치를 계측했다. 비저항치 센서는 실시예 1과 같은 것을 사용했다. 유량이 2.0[L／min]인 계측 결과를 도 15에 나타내고, 유량이 1.0[L／min]인 계측 결과를 도 16에 나타내고, 유량이 0.2[L／min]인 계측 결과를 도 17에 나타낸다.
[평가 2]
도 12∼도 14와 도 15∼도 17을 비교하면, 액체(L)의 유량에 상관없이, 실시예 3은, 실시예 2보다도 비저항치의 편차가 억제되어 있다. 이것은, 실시예 2에서는, 처리 액체(L2)가 버퍼 탱크(3)의 공급구(3a)로부터 배출구(3b)로 직선적으로 빠지기 쉬우므로, 실시예 3에 비해 처리 액체(L2)의 교반 효과가 약해진 결과라고 생각된다. 한편, 실시예 3에서는, 처리 액체(L2)가 버퍼 탱크(3)의 내측면에 있어서 선회하도록 대류하기 때문에, 실시예 2에 비해 교반 효과가 높아진 결과라고 생각된다.
[실시예 4]
실시예 4에서는, 도 1에 나타내는 제1 실시형태의 비저항치 조정 장치(1)를 사용했다. 가스 용해 장치(2)(액체 공급관(13))에 공급하는 액체(L)는, 온도: 25[℃], 공급 수압: 0.25[㎫], 비저항치: 18.2[MΩ·cm], 유량: 2.0[L／min]으로 했다. 비저항 조정치는, 0.1[MΩ·cm], 0.2[MΩ·cm], 0.5[MΩ·cm], 0.6[MΩ·cm], 0.7[MΩ·cm], 0.8[MΩ·cm], 0.9[MΩ·cm], 1.0[MΩ·cm]으로 했다. 버퍼 탱크(3)로서, 원통 형상의 용기를 사용하고, 버퍼 탱크(3)의 용량(내용적)을 150[cc], 300[cc], 400[cc], 500[cc], 700[cc]로 했다.
그리고, 버퍼 탱크(3)의 직후와, 처리 액체 배출관(4)에 있어서의 버퍼 탱크(3)의 5m 하류측에, 각각 비저항치 센서를 장착하고, 이들 비저항치 센서로 처리 액체(L2)의 비저항치를 계측했다. 비저항치 센서는 실시예 1과 같은 것을 사용했다. 버퍼 탱크(3)의 용량이 150[cc]인 계측 결과를 도 18에 나타내고, 버퍼 탱크(3)의 용량이 300[cc]인 계측 결과를 도 19에 나타내고, 버퍼 탱크(3)의 용량이 400[cc]인 계측 결과를 도 20에 나타내고, 버퍼 탱크(3)의 용량이 500[cc]인 계측 결과를 도 21에 나타내고, 버퍼 탱크(3)의 용량이 700[cc]인 계측 결과를 도 22에 나타낸다.
[평가 3]
버퍼 탱크(3)의 직후에 장착된 비저항치 센서의 계측 결과를 참조하면, 버퍼 탱크(3)의 용량을 크게 할수록, 비저항치의 편차폭이 작아졌다. 이 결과로부터, 버퍼 탱크(3)의 용량을 크게 할수록, 버퍼 탱크(3) 내에서 처리 액체(L2)의 교반이 촉진되기 때문에, 이온 농도가 균일화하여, 비저항치의 편차가 억제됨을 알 수 있었다.
[평가 4]
버퍼 탱크(3)의 직후에 장착된 비저항치 센서의 계측 결과와, 처리 액체 배출관(4)에 있어서의 버퍼 탱크(3)의 5m 하류측에 장착된 비저항치 센서의 계측 결과를 비교하면, 버퍼 탱크(3)의 용량을 크게 할수록, 비저항치의 차가 작아졌다. 이 결과로부터, 버퍼 탱크(3)의 용량을 크게 할수록, 버퍼 탱크(3) 내에서 처리 액체(L2)의 체류 시간이 길어지기 때문에, 이온 농도의 균일화와 동시에, 해리가 촉진되어, 비저항치의 편차 및 어긋남의 쌍방이 억제됨을 알 수 있었다.
[평가 5]
버퍼 탱크(3)의 직후에 장착된 비저항치 센서의 계측 결과와, 처리 액체 배출관(4)에 있어서의 버퍼 탱크(3)의 5m 하류측에 장착된 비저항치 센서의 계측 결과를 비교하면, 버퍼 탱크(3)의 용량이 150[cc]보다도 커짐으로써, 비저항치의 차가 작아져 있었다. 또한, 버퍼 탱크(3)의 용량이 400[cc] 이상일 경우에는, 비저항치의 차는 거의 바뀌지 않았다. 여기에서, 버퍼 탱크(3)의 용량이 150[cc]일 경우의 처리 액체(L2)의 버퍼 탱크(3)의 추정 체류 시간은 약 5초가 되고, 버퍼 탱크(3)의 용량이 300[cc]일 경우의 처리 액체(L2)의 버퍼 탱크(3)의 추정 체류 시간은 약 9초가 되고, 버퍼 탱크(3)의 용량이 400[cc]일 경우의 처리 액체(L2)의 버퍼 탱크(3)의 추정 체류 시간은 약 12초가 된다. 이 때문에, 버퍼 탱크(3)의 용량을, 처리 액체(L2)가 약 7∼12초로 채워지는 용량, 즉, 처리 액체(L2)의 유량의 약 7∼12초분에 상당하는 용량으로 함으로써, 버퍼 탱크(3)가 대형화하는 것을 억제하면서, 버퍼 탱크(3) 내에 있어서 처리 액체(L2)를 충분히 해리시킬 수 있음을 알 수 있었다.
[실시예 5]
실시예 5에서는, 액체(L)의 유량을 1.0[L／min], 0.2[L／min]로 하고, 버퍼 탱크(3)의 용량을 400[cc]로 한 것 외는, 실시예 4와 동조건으로 했다.
그리고, 실시예 4와 같은 위치에 비저항치 센서를 장착하고, 이들 비 저항치 센서로 처리 액체(L2)의 비저항치를 계측했다. 비저항치 센서는 실시예 1과 같은 것을 사용했다. 액체(L)의 유량이 1.0[L／min]인 계측 결과를 도 23에 나타내고, 액체(L)의 유량이 0.2[L／min]인 계측 결과를 도 24에 나타낸다.
[평가]
도 20, 도 23 및 도 24는, 액체(L)의 유량이 다를 뿐이고, 다른 조건은 같다. 그리고, 어느 계측 결과에 있어서도, 비저항치의 편차 및 어긋남이 억제되어 있었다. 이 결과로부터, 액체(L)의 유량에 상관없이, 상기의 평가 3∼평가 5가 타당하다고 유추할 수 있음을 알 수 있었다.
1, 1A, 1B, 1C: 비저항치 조정 장치 2: 가스 용해 장치
3, 3A, 3B, 3C: 버퍼 탱크 3a: 공급구
3b: 배출구 3c: 순환구
4: 처리 액체 배출관 5: 펌프
6: 개폐 밸브 7: 순환 배관
8: 제1 조정용 배관 9: 제2 조정용 배관
10: 비저항치 센서 11: 중공사막 모듈
12: 가스 공급관 13: 액체 공급관
14: 모듈 공급관 15: 모듈 배출관
16: 바이패스관 17: 액체 배출관
18: 조정 밸브 19: 압력 조정 밸브
21: 중공사막 22: 하우징
23: 가스 공급구 24: 액체 공급구
25: 액체 배출구 100: 비저항치 조정 장치
A: 분기부 B: 합류부
C: 중심축선 G: 조정 가스
L: 액체 L1: 고농도 가스 부가 액체
L2: 처리 액체 P1: 압력계

Claims (18)

  1. 비(比)저항치의 조정 대상인 초순수(超純水)에, 상기 초순수의 비저항치를 조정하기 위한 조정 가스를 용해시켜, 상기 초순수에 상기 조정 가스가 용해된 처리 액체를 생성하는 가스 용해 장치와,
    상기 가스 용해 장치로부터 배출된 상기 처리 액체가 공급되는 버퍼 탱크를 구비하며,
    상기 가스 용해 장치는,
    상기 초순수가 공급되는 액상(液相)측 영역과 상기 조정 가스가 공급되는 기상(氣相)측 영역이 중공사막(中空絲膜)에 의해 나눠져 있으며, 상기 중공사막을 투과한 상기 조정 가스를 포화 상태로 상기 초순수에 용해시켜 조정 가스 포화 액체를 생성하는 중공사막 모듈과,
    상기 초순수가 공급되는 액체 공급관과,
    상기 액체 공급관을 분기(分岐)하는 분기부를 개재(介在)하여 상기 액체 공급관에 연통(連通)되어, 상기 중공사막 모듈에 상기 초순수를 공급하는 모듈 공급관과,
    상기 중공사막 모듈로부터 상기 조정 가스 포화 액체가 배출되는 모듈 배출관과,
    상기 분기부를 개재하여 상기 액체 공급관에 연통되어, 상기 중공사막 모듈을 바이패스하는 바이패스관과,
    상기 모듈 배출관과 상기 바이패스관을 합류시키는 합류부를 개재하여 상기 모듈 배출관 및 상기 바이패스관과 연통되는 액체 배출관을 구비하는 비저항치 조정 장치.
  2. 비저항치의 조정 대상인 초순수에, 상기 초순수의 비저항치를 조정하기 위한 조정 가스를 용해시켜, 상기 초순수에 상기 조정 가스가 용해된 처리 액체를 생성하는 가스 용해 장치와,
    상기 가스 용해 장치로부터 배출된 상기 처리 액체가 공급되는 버퍼 탱크와,
    상기 초순수를 상기 버퍼 탱크에 공급하는 제1 조정용 배관과,
    상기 초순수에 상기 조정 가스가 포화 상태로 용해된 조정 가스 포화 액체를 상기 버퍼 탱크에 공급하는 제2 조정용 배관과,
    상기 버퍼 탱크 내의 상기 처리액의 비저항치를 계측하는 비저항치 센서를 구비하는 비저항치 조정 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 가스 용해 장치는,
    상기 초순수가 공급되는 액상측 영역과 상기 조정 가스가 공급되는 기상측 영역이 중공사막에 의해 나눠져 있으며, 상기 중공사막을 투과한 상기 조정 가스를 포화 상태로 상기 초순수에 용해시켜 상기 조정 가스 포화 액체를 생성하는 중공사막 모듈과,
    상기 초순수가 공급되는 액체 공급관과,
    상기 액체 공급관을 분기하는 분기부를 개재하여 상기 액체 공급관에 연통되어, 상기 중공사막 모듈에 상기 초순수를 공급하는 모듈 공급관과,
    상기 중공사막 모듈로부터 상기 조정 가스 포화 액체가 배출되는 모듈 배출관과,
    상기 분기부를 개재하여 상기 액체 공급관에 연통되어, 상기 중공사막 모듈을 바이패스하는 바이패스관과,
    상기 모듈 배출관과 상기 바이패스관을 합류시키는 합류부를 개재하여 상기 모듈 배출관 및 상기 바이패스관과 연통되는 액체 배출관을 구비하는 비저항치 조정 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1 조정용 배관은, 상기 액체 공급관 또는 상기 바이패스관에 접속되어 있고,
    상기 제2 조정용 배관은, 상기 모듈 배출관에 접속되어 있는 비저항치 조정 장치.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 버퍼 탱크는, 원통 형상의 용기인 비저항치 조정 장치.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 버퍼 탱크는, 상기 처리 액체가 공급되는 공급구와, 상기 처리 액체를 배출하는 배출구를 갖고,
    상기 공급구와 상기 배출구는, 서로 다른 선상(線上)을 향해 있는 비저항치 조정 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 공급구 및 상기 배출구는, 상기 버퍼 탱크의 상하 방향으로 연장되는 중심축선으로부터 벗어난 위치를 향해 있는 비저항치 조정 장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 공급구와 상기 배출구는, 상기 버퍼 탱크의 상하 방향에 있어서 다른 위치에 배치되는 비저항치 조정 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 배출구는, 상기 공급구보다도 상방에 배치되는 비저항치 조정 장치.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 공급구는, 상기 버퍼 탱크의 상부에 형성되어 있는 비저항치 조정 장치.
  11. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 버퍼 탱크의 용량은, 상기 처리 액체가 7∼12초로 채워지는 용량인 비저항치 조정 장치.
  12. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 버퍼 탱크로부터 상기 처리 액체가 배출되는 처리 액체 배출관과,
    상기 처리 액체 배출관에 장착되어 상기 처리 액체를 송출하는 펌프와,
    상기 처리 액체 배출관의 상기 펌프보다도 하류측에 장착되어 상기 처리 액체 배출관을 개폐하는 개폐 밸브와,
    상기 처리 액체 배출관에 있어서의 상기 펌프와 상기 개폐 밸브 사이로부터 분기되어, 상기 처리 액체 배출관을 흐르는 상기 처리 액체를 상기 버퍼 탱크로 되돌리는 순환 배관을 더 구비하는 비저항치 조정 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 버퍼 탱크는, 상기 순환 배관으로부터 상기 처리 액체가 공급되는 순환구를 갖고,
    상기 순환구는, 상기 버퍼 탱크의 상부에 형성되어 있는 비저항치 조정 장치.
  14. 비저항치의 조정 대상인 초순수에, 상기 초순수의 비저항치를 조정하기 위한 조정 가스를 포화 상태로 용해시켜, 상기 초순수에 상기 조정 가스가 용해된 처리 액체를 생성하는 처리 액체 생성 스텝과,
    생성된 상기 처리 액체를 버퍼 탱크에 공급하는 버퍼 탱크 공급 스텝을 구비하며,
    상기 처리 액체 생성 스텝에서는, 상기 초순수가 공급되는 액상측 영역과 상기 조정 가스가 공급되는 기상측 영역이 중공사막에 의해 나눠져 있으며, 상기 중공사막을 투과한 상기 조정 가스를 포화 상태로 상기 초순수에 용해시켜 조정 가스 포화 액체를 생성하는 중공사막 모듈과, 상기 초순수가 공급되는 액체 공급관과, 상기 액체 공급관을 분기하는 분기부를 개재하여 상기 액체 공급관에 연통되어, 상기 중공사막 모듈에 상기 초순수를 공급하는 모듈 공급관과, 상기 중공사막 모듈로부터 상기 조정 가스 포화 액체가 배출되는 모듈 배출관과, 상기 분기부를 개재하여 상기 액체 공급관에 연통되어, 상기 중공사막 모듈을 바이패스하는 바이패스관과, 상기 모듈 배출관과 상기 바이패스관을 합류시키는 합류부를 개재하여 상기 모듈 배출관 및 상기 바이패스관과 연통되는 액체 배출관을 구비하는 가스 용해 장치에 의해, 상기 처리 액체를 생성하는 비저항치 조정 방법.
  15. 비저항치의 조정 대상인 초순수에, 상기 초순수의 비저항치를 조정하기 위한 조정 가스를 포화 상태로 용해시켜, 상기 초순수에 상기 조정 가스가 용해된 처리 액체를 생성하는 처리 액체 생성 스텝과,
    생성된 상기 처리 액체를 버퍼 탱크에 공급하는 버퍼 탱크 공급 스텝과,
    상기 버퍼 탱크 내의 상기 처리액의 비저항치에 의거하여 상기 초순수를 상기 버퍼 탱크에 공급하는 초순수 공급 스텝과,
    상기 버퍼 탱크 내의 상기 처리액의 비저항치에 의거하여 상기 초순수에 상기 조정 가스가 포화 상태로 용해된 조정 가스 포화 액체를 상기 버퍼 탱크에 공급하는 조정 가스 포화 액체 공급 스텝을 구비하는 비저항치 조정 방법.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 처리 액체 생성 스텝에서는, 상기 초순수가 공급되는 액상측 영역과 상기 조정 가스가 공급되는 기상측 영역이 중공사막에 의해 나눠져 있으며, 상기 중공사막을 투과한 상기 조정 가스를 포화 상태로 상기 초순수에 용해시켜 상기 조정 가스 포화 액체를 생성하는 중공사막 모듈과, 상기 초순수가 공급되는 액체 공급관과, 상기 액체 공급관을 분기하는 분기부를 개재하여 상기 액체 공급관에 연통되어, 상기 중공사막 모듈에 상기 초순수를 공급하는 모듈 공급관과, 상기 중공사막 모듈로부터 상기 조정 가스 포화 액체가 배출되는 모듈 배출관과, 상기 분기부를 개재하여 상기 액체 공급관에 연통되어, 상기 중공사막 모듈을 바이패스하는 바이패스관과, 상기 모듈 배출관과 상기 바이패스관을 합류시키는 합류부를 개재하여 상기 모듈 배출관 및 상기 바이패스관과 연통되는 액체 배출관을 구비하는 가스 용해 장치에 의해, 상기 처리 액체를 생성하는 비저항치 조정 방법.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 초순수 공급 스텝에서는, 상기 액체 공급관 또는 상기 바이패스관의 상기 초순수를 상기 버퍼 탱크에 공급하고,
    상기 포화 액체 공급 스텝에서는, 상기 모듈 배출관의 상기 조정 가스 포화 액체를 상기 버퍼 탱크에 공급하는 비저항치 조정 방법.
  18. 제14항 또는 제15항에 있어서,
    상기 버퍼 탱크 공급 스텝에서는, 상기 버퍼 탱크에 있어서의 상기 처리 액체의 체류 시간을 7∼12초로 하는 비저항치 조정 방법.
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