CN110087761B - 电阻率值调整装置和电阻率值调整方法 - Google Patents

Abstract

一种电阻率值调整装置，其包括：气体溶解装置，其用于将用于调整液体的电阻率值的调整气体溶解于作为电阻率值的调整对象的所述液体，而生成在所述液体溶解有所述调整气体的处理液体；以及缓冲罐，其被供给从所述气体溶解装置排出的所述处理液体。

Description

电阻率值调整装置和电阻率值调整方法

技术领域

本发明涉及一种用于调整液体的电阻率值的电阻率值调整装置和电阻率值调整方法。

背景技术

在半导体或者液晶的制造工序中，使用超纯水清洗基板。在该情况下，若超纯水的电阻率值较高，则产生静电。由此，发生绝缘破坏，或者微粒再附着，而对产品成品率造成显著的不良影响。为了解决这样的问题，提出了使用了疏水性的中空纤维膜组件的技术。该技术使用中空纤维膜组件在超纯水中溶解二氧化碳或者氨气等气体。于是，利用离解平衡产生离子，利用该产生了的离子生成超纯水的电阻率值降低而成的处理水。

另外，在基板的清洗、切割等工序中，超纯水的流动变动激烈。因此，在专利文献1中，提出了一种即使流量变动也使电阻率值稳定的电阻率值调整装置。专利文献1所记载的电阻率值调整装置包括用于生成小流量的高浓度气体附加超纯水的中空纤维膜组件和使大流量的超纯水穿过的旁通管路。而且，将利用中空纤维膜组件生成的高浓度气体附加超纯水和穿过了旁通管路的超纯水合流，而生成用于清洗基板的处理水。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特许第3951385号公报

发明内容

发明要解决的问题

另外，溶解于超纯水的气体如下这样以式(1)和式(2)两个阶段进行离解(离子化)。另外，以下的式子示出使用二氧化碳作为气体的情况。

H₂O+CO₂＝H⁺+HCO₃ ^-…(1)

HCO₃ ^-＝H⁺+CO₃ ^-…(2)

然而，溶解于超纯水的气体逐渐使离解进展。例如，在使用了专利文献1所记载的电阻率值调整装置的情况下，在利用中空纤维膜组件使气体溶解于超纯水的阶段中，式(1)的离子化大致结束，但式(2)的离子化要花费时间。因此，存在如下问题：在配置于电阻率值调整装置的下游侧的配管中的、电阻率值调整装置的附近测量出的处理水的电阻率值和在距电阻率值调整装置数m的下游侧测量出的处理水的电阻率值发生偏离(偏差)。

另外，也存在如下问题：由于处理水中的离子浓度产生不均，从而电阻率值发生波动。例如，在使用了专利文献1所记载的电阻率值调整装置的情况下，将超纯水和气体附加超纯水合流，但由于超纯水和气体附加超纯水的混合状态而使超纯水中的离子浓度产生不均。

这两个问题存在作为电阻率值的调整值的电阻率调整值越高表现得越显著的倾向。

因此，作为解决这两个问题的手段，考虑使配置于电阻率值调整装置的下游侧的配管变长，在处理水于该配管内流动的期间进行自然混合和离解。

然而，若使该配管变长，则产生如下等问题：(1)配管压力损失变高，(2)需要用于收纳较长的配管的空间，(3)由于配管长度存在极限，因此无法使电阻率值的偏离和波动完全收敛。

因此，本发明的目的在于提供一种能够抑制规模的扩大并且抑制处理水的电阻率值的偏离和波动这两者的电阻率值调整装置和电阻率值调整方法。

用于解决问题的方案

本发明的一技术方案的电阻率值调整装置包括：气体溶解装置，其用于将用于调整液体的电阻率值的调整气体溶解于作为电阻率值的调整对象的液体，而生成在液体溶解有调整气体的处理液体；以及缓冲罐，其被供给从气体溶解装置排出的处理液体。

在该电阻率值调整装置中，在气体溶解装置中，生成在液体溶解有调整气体的处理液体，并将该生成了的处理液体向缓冲罐供给。若将处理液体向缓冲罐供给，则由于处理液体的流路急剧扩展，而处理液体的流速急剧降低。由此，供给至缓冲罐的处理液体通过在缓冲罐内对流而促进离解。另外，供给至缓冲罐的处理液体通过在缓冲罐内成为紊流而被搅拌，从而促进离子浓度的均匀化。其结果，处理液体的电阻率值的偏离和波动这两者被抑制。而且，与使用较长的配管来代替缓冲罐的情况相比，能够减小处理液体的压力损失，还能够减小装置规模。

缓冲罐也可以是圆筒状的容器。在该电阻率值调整装置中，由于缓冲罐是圆筒状的容器，因此能够使供给至缓冲罐的处理液体沿着缓冲罐的内周面对流。由此，能够充分确保缓冲罐内的处理液体的对流时间，并且能够提高搅拌效果。

也可以是，缓冲罐具有用于供给处理液体的供给口和用于排出处理液体的排出口，供给口和排出口朝向互不相同的线。在该电阻率值调整装置中，由于缓冲罐的供给口和排出口朝向互不相同的线，因此在缓冲罐内引起较大的紊流，并且，使从供给口到排出口的路径复杂化。由此，能够促进处理液体的对流和搅拌。

也可以是，供给口和排出口朝向自缓冲罐的沿上下方向延伸的中心轴线偏离的位置。在该电阻率值调整装置中，由于缓冲罐的供给口和排出口朝向自缓冲罐的中心轴线偏离的方向，因此在缓冲罐内，能够使处理液体绕缓冲罐的中心轴线旋转。由此，能够充分确保缓冲罐内的处理液体的对流时间，并且能够提高搅拌效果。

也可以是，供给口和排出口配置于缓冲罐的上下方向上不同的位置。在该电阻率值调整装置中，由于缓冲罐的供给口和排出口配置于上下方向上不同的位置，因此能够充分确保缓冲罐内的处理液体的对流时间。

也可以是，排出口配置于比供给口靠上方的位置。在该电阻率值调整装置中，由于排出口配置于比供给口靠上方的位置，因此能够将处理液体所包含的气泡迅速排出。

也可以是，供给口形成于缓冲罐的上部。在该电阻率值调整装置中，由于供给口形成于缓冲罐的上部，因此利用从供给口向缓冲罐供给的处理液体，能够对储存于缓冲罐的处理液体进行搅拌。

另外，根据本发明人等的实验的结果，得到如下见解：到上述式(2)的离子化充分进行为止，需要7秒～12秒左右。因此，也可以是，缓冲罐的容量是处理液体以7秒～12秒充满的容量。在该电阻率值调整装置中，由于缓冲罐的容量为处理液体以7秒～12秒充满的容量，也就是相当于处理液体的流量的7秒～12秒的量的容量，因此能够抑制缓冲罐大型化，并且在缓冲罐内使处理液体充分离解。

也可以是，该电阻率值调整装置还包括：处理液体排出管，其供处理液体从缓冲罐排出；泵，其安装于处理液体排出管，并用于将处理液体送出；开闭阀，其安装于处理液体排出管的比泵靠下游侧的位置，并用于开闭处理液体排出管；以及循环配管，其从处理液体排出管的泵与开闭阀之间分支，并使在处理液体排出管流动的处理液体向缓冲罐返回。在该电阻率值调整装置中，若打开开闭阀，则能够将处理液体从处理液体排出管向使用地点供给，但若关闭开闭阀，则能够使从缓冲罐排出至处理液体排出管的处理液体从循环配管向缓冲罐返回。因此，当在使用地点不需要处理液体时，通过预先关闭开闭阀，能够使处理液体在缓冲罐、处理液体排出管以及循环配管循环。由此，处理液体的离解和离子浓度的均匀化得以进一步促进，因此能够进一步抑制处理液体的电阻率值的偏离和波动。

另外，在用于清洗基板的清洗机等中，由于流量变动频繁产生，因此也产生伴随着流动变更而引起的电阻率值的波动的问题。另外，若使流量变化，则在处理液体的电阻率值稳定之前要花费一些时间。相对于此，在该电阻率值调整装置中，将储存于缓冲罐的处理液体向使用地点供给，因此不需要始终利用气体溶解装置生成处理液体，而在储存于缓冲罐的处理液体较少时，利用气体溶解装置生成处理液体即可。因此，能够使向气体溶解装置供给的液体的流量恒定。由此，不会被使用地点处的流量变动、使用流量影响，而能够使处理液体的电阻率值稳定。

也可以是，缓冲罐具有用于从循环配管供给处理液体的循环口，循环口形成于缓冲罐的上部。在该电阻率值调整装置中，由于循环口形成于缓冲罐的上部，因此利用从循环口向缓冲罐供给的处理液体，能够对储存于缓冲罐的处理液体进行搅拌。

也可以是，气体溶解装置包括：中空纤维膜组件，其被中空纤维膜分隔成被供给液体的液相侧区域和被供给调整气体的气相侧区域，并使透过了中空纤维膜的调整气体溶解于液体而生成高浓度气体附加液体；液体供给管，其用于供给液体；组件供给管，其经由将液体供给管分支的分支部而与液体供给管连通，并用于向中空纤维膜组件供给液体；组件排出管，其供高浓度气体附加液体从中空纤维膜组件排出；旁通管，其经由分支部而与液体供给管连通，并用于绕过中空纤维膜组件；以及液体排出管，其经由使组件排出管和旁通管合流的合流部而与组件排出管以及旁通管连通。在该电阻率值调整装置中，供给至气体溶解装置的液体被分配为向中空纤维膜组件供给的液体和绕过中空纤维膜组件的液体。在中空纤维膜组件中，透过了中空纤维膜的调整气体溶解于液体，而生成在液体溶解有调整气体的高浓度气体附加液体。而且，在中空纤维膜组件生成的高浓度气体附加液体和绕过中空纤维膜组件的液体合流，从而生成处理液体。由此，即使向气体溶解装置供给的液体的流量发生变动，也能够使处理液体的电阻率值稳定。

也可以是，该电阻率值调整装置还包括：第一调整用配管，其用于将液体向缓冲罐供给；第二调整用配管，其用于将高浓度气体附加液体向缓冲罐供给；以及电阻率值传感器，其用于测量缓冲罐内的处理液的电阻率值。在该电阻率值调整装置中，基于电阻率值传感器的测量结果，将液体或者高浓度气体附加液体从第一调整用配管或者第二调整用配管向缓冲罐供给，从而能够调整储存于缓冲罐的处理液体的电阻率值。另外，即使向缓冲罐供给液体或者高浓度气体附加液体，通过关闭开闭阀而使处理液体在缓冲罐、处理液体排出管以及循环配管循环，从而也能够促进储存于缓冲罐的处理液体的离解和离子浓度的均匀化。

本发明的一技术方案的电阻率值调整方法是，将用于调整液体的电阻率值的调整气体溶解于作为电阻率值的调整对象的液体，而生成在液体溶解有调整气体的处理液体，将生成了的处理液体向缓冲罐供给。

在该电阻率值调整方法中，生成在液体溶解有调整气体的处理液体，并将该生成了的处理液体向缓冲罐供给。若将处理液体向缓冲罐供给，则由于处理液体的流路急剧扩展，而处理液体的流速急剧降低。由此，供给至缓冲罐的处理液体通过在缓冲罐内对流而促进离解。另外，供给至缓冲罐的处理液体通过在缓冲罐内成为紊流而被搅拌，从而促进离子浓度的均匀化。其结果，处理液体的电阻率值的偏离和波动这两者被抑制。而且，与使处理液体在较长的配管流动来代替缓冲罐的情况相比，能够减小处理液体的压力损失，还能够减小装置规模。

发明的效果

根据本发明，能够抑制规模的扩大并且抑制处理水的电阻率值的偏离和波动。

附图说明

图1是第一实施方式的电阻率值调整装置的示意图。

图2是气体溶解装置的示意图。

图3的(a)和图3的(b)是表示缓冲罐的供给口和排出口的配置例的图。

图4是第二实施方式的电阻率值调整装置的示意图。

图5是表示缓冲罐的供给口和排出口的配置例的图。

图6是第三实施方式的电阻率值调整装置的示意图。

图7是表示缓冲罐的供给口和排出口的配置例的图。

图8是第四实施方式的电阻率值调整装置的示意图。

图9是比较例的电阻率值调整装置的示意图。

图10是表示实施例1的测量结果的图。

图11是表示比较例1的测量结果的图。

图12是表示实施例2的流量为2.0[L/min]的情况下的测量结果的图。

图13是表示实施例2的流量为1.0[L/min]的情况下的测量结果的图。

图14是表示实施例2的流量为0.2[L/min]的情况下的测量结果的图。

图15是表示实施例3的流量为2.0[L/min]的情况下的测量结果的图。

图16是表示实施例3的流量为1.0[L/min]的情况下的测量结果的图。

图17是表示实施例3的流量为0.2[L/min]的情况下的测量结果的图。

图18是表示实施例4的缓冲罐的容量为150[cc]的情况下的测量结果的图。

图19是表示实施例4的缓冲罐的容量为300[cc]的情况下的测量结果的图。

图20是表示实施例4的缓冲罐的容量为400[cc]的情况下的测量结果的图。

图21是表示实施例4的缓冲罐的容量为500[cc]的情况下的测量结果的图。

图22是表示实施例4的缓冲罐的容量为700[cc]的情况下的测量结果的图。

图23是表示实施例5的液体的流量为1.0[L/min]的情况下的测量结果的图。

图24是表示实施例5的液体的流量为0.2[L/min]的情况下的测量结果的图。

具体实施方式

以下，参照附图，详细地说明实施方式的电阻率值调整装置和电阻率值调整方法。另外，在所有图中，对相同或者相当部分标注相同附图标记，并省略重复的说明。

[第一实施方式]

图1是第一实施方式的电阻率值调整装置的示意图。如图1所示，本实施方式的电阻率值调整装置1包括：气体溶解装置2、缓冲罐3以及处理液体排出管4。

气体溶解装置2用于将用于调整液体L的电阻率值的调整气体G溶解于作为电阻率值的调整对象的液体L，而生成在液体L中溶解有调整气体G的处理液体L2。

图2是气体溶解装置的示意图。如图2所示，气体溶解装置2包括：中空纤维膜组件11、气体供给管12、液体供给管13、组件供给管14、组件排出管15、旁通管16、液体排出管17以及调节阀18。

中空纤维膜组件11用于将用于调整液体L的电阻率值的调整气体G溶解于作为电阻率值的调整对象的液体L。作为液体L使用的液体没有特别限定，但例如能够为用于清洗半导体、液晶等的超纯水。通常，超纯水的电阻率值在17.5[MΩ·cm]～18.2[MΩ·cm]的范围内。作为调整气体G使用的气体没有特别限定，但例如能够为二氧化碳或者氨气。中空纤维膜组件11包括多个中空纤维膜21以及将这些中空纤维膜21收纳于内部的壳体22。

中空纤维膜21是气体能透过但液体无法透过的中空纤维状的膜。中空纤维膜21的材料、膜形状、膜形态等没有特别限制。壳体22是将中空纤维膜21收纳于内部的密闭容器。

中空纤维膜组件11的壳体22内的区域被中空纤维膜21分隔成液相侧区域和气相侧区域。液相侧区域是中空纤维膜组件11的壳体22内的区域中的被供给液体L的区域。气相侧区域是中空纤维膜组件11的壳体22内的区域中的被供给调整气体G的区域。作为中空纤维膜组件11的种类，存在内部灌流型和外部灌流型。在本实施方式中，可以是内部灌流型和外部灌流型中的任一者。在外部灌流型的中空纤维膜组件11中，中空纤维膜21的内侧(内表面侧)成为气相侧区域，中空纤维膜21的外侧(外表面侧)成为液相侧区域。在内部灌流型的中空纤维膜组件11中，中空纤维膜21的内侧(内表面侧)成为液相侧区域，中空纤维膜21的外侧(外表面侧)成为气相侧区域。

而且，中空纤维膜组件11用于使透过了中空纤维膜21的调整气体G溶解于液体L，而生成在液体L溶解有调整气体G的高浓度气体附加液体L1。此时，例如优选的是，通过将向中空纤维膜组件11供给的调整气体G的气压设为恒定，并调整向中空纤维膜组件11供给的液体L的流量，从而生成在液体L以饱和状态溶解有调整气体G的调整气体饱和液体作为高浓度气体附加液体L1。向中空纤维膜组件11供给的液体L的流量能够利用调节阀18调整。另外，在气体溶解装置2中，在利用中空纤维膜组件11生成高浓度气体附加液体L1的阶段，上述式(1)的离子化大致结束。

在壳体22形成有：气体供给口23、液体供给口24以及液体排出口25。气体供给口23是用于向气相侧区域供给调整气体G而形成于壳体22的开口。液体供给口24是用于向液相侧区域供给液体L而形成于壳体22的开口。液体排出口25是用于从液相侧区域排出高浓度气体附加液体L1而形成于壳体22的开口。因此，气体供给口23与气相侧区域连通，液体供给口24以及液体排出口25与液相侧区域连通。气体供给口23、液体供给口24以及液体排出口25的位置没有特别限定。

气体供给管12是在内周侧形成有流路的管状的构件。气体供给管12连接于气体供给口23。气体供给管12与中空纤维膜组件11的气相侧区域连通，并用于向中空纤维膜组件11的气相侧区域供给调整气体G。

在气体供给管12连接有压力调节阀19和压力计P1。压力调节阀19用于调整在气体供给管12流动的调整气体G的气压。也就是说，气相侧区域的调整气体G的气压由压力调节阀19调整。作为压力调节阀19，能够采用公知的各种各样的压力调节阀。压力计P1用于测量在气体供给管12流动的调整气体G的气压。压力计P1连接于气体供给管12的压力调节阀19的下游侧，即气体供给管12的压力调节阀19的气相侧区域侧。作为压力计P1，能够采用公知的各种各样的压力计，例如能够采用隔膜阀。而且，用于控制电阻率值调整装置1的控制部(未图示)以使在气体供给管12流动的调整气体G的气压，即气相侧区域的调整气体G的气压成为预定值(或者预定范围内)的方式基于由压力计P1测量得到的调整气体G的气压来控制压力调节阀19。

另外，在本实施方式中，说明了不从中空纤维膜组件11的气相侧区域排出调整气体G的内容，但也可以从中空纤维膜组件11的气相侧区域排出调整气体G。在该情况下，在中空纤维膜组件11的壳体22形成作为用于从气相侧区域排出调整气体G的开口的气体排出口(未图示)。而且，在该气体排出口连接供调整气体G从中空纤维膜组件11的气相侧区域排出的气体排出管(未图示)。气体排出管是在内周侧形成有流路的管状的构件。

液体供给管13是在内周侧形成有流路的管状的构件。在液体供给管13供给有向电阻率值调整装置1供给的液体L的总量。液体供给管13利用分支部A分支为组件供给管14和旁通管16。也就是说，在分支部A的上游侧连接有液体供给管13，在分支部A的下游侧连接有组件供给管14和旁通管16。而且，分支部A将在液体供给管13流动的液体L向组件供给管14和旁通管16分支并排出。

组件供给管14是在内周侧形成有流路的管状的构件。组件供给管14经由分支部A而与液体供给管13连通，并用于将液体L向中空纤维膜组件11供给。组件供给管14配置于中空纤维膜组件11的上游侧，并连接于中空纤维膜组件11的液体供给口24。组件供给管14与中空纤维膜组件11的液相侧区域连通，并用于向中空纤维膜组件11的液相区域供给液体L。

组件排出管15是在内周侧形成有流路的管状的构件。组件排出管15供高浓度气体附加液体L1从中空纤维膜组件11排出，并经由合流部B而与液体排出管17连通。组件排出管15配置于中空纤维膜组件11的下游侧，并连接于中空纤维膜组件11的液体排出口25。组件排出管15与中空纤维膜组件11的液相侧区域连通，并供高浓度气体附加液体L1从中空纤维膜组件11的液相侧区域排出。

旁通管16是在内周侧形成有流路的管状的构件。旁通管16经由分支部A而与液体供给管13连通。旁通管16绕过中空纤维膜组件11。因此，在旁通管16流动的液体L不向中空纤维膜组件11供给而绕过中空纤维膜组件11。旁通管16利用合流部B而与组件排出管15合流。

在合流部B的上游侧连接有组件排出管15和旁通管16，在合流部B的下游侧连接有液体排出管17。而且，合流部B使在组件排出管15流动的高浓度气体附加液体L1和在旁通管16流动的液体L合流。而且，合流部B将液体L和高浓度气体附加液体L1合流而成的处理液体L2向液体排出管17排出。

液体排出管17是在内周侧形成有流路的管状的构件。液体排出管17连接于合流部B，液体排出管17经由合流部B而与组件排出管15以及旁通管16连通，并供处理液体L2从合流部B排出。

调节阀18是用于开闭组件排出管15的流路的阀。调节阀18通过开闭组件排出管15的流路，从而调整在组件排出管15流动的高浓度气体附加液体L1和在旁通管16流动的液体L的比例。也就是说，通过利用调节阀18调整上述比例，从而能够调整处理液体L2的电阻率值。在该情况下，优选的是，以生成调整气体G以饱和状态溶解于液体L而得到的高浓度气体附加液体L1的方式设定调节阀18的开度。此处，饱和状态不仅包括完全的饱和状态，也包括接近于饱和状态的状态。接近于饱和状态的状态是指这样的状态，即，以如下程度将调整气体G溶解于液体L：能够仅通过向中空纤维膜组件11供给的液体L的流量和绕过中空纤维膜组件11的液体L的流量的分配比例来调整液体L的电阻率值。

如图1所示，缓冲罐3被供给从气体溶解装置2排出的处理液体L2。缓冲罐3连接于气体溶解装置2。也就是说，处理液体L2在从气体溶解装置2排出时，不经由处理液体排出管4就直接向缓冲罐3供给。缓冲罐3是能够临时储存处理液体L2的容器。因此，若处理液体L2向缓冲罐3供给，则由于处理液体L2的流路急剧扩展，而处理液体L2的流速急剧降低。由此，供给至缓冲罐3的处理液体L2通过在缓冲罐3内对流而促进离解。另外，供给至缓冲罐3的处理液体L2通过在缓冲罐3内成为紊流而被搅拌，从而促进离子浓度的均匀化。

缓冲罐3是密闭容器，通过向缓冲罐3供给处理液体L2，从而缓冲罐3内被处理液体L2充满。因此，即使在缓冲罐3的下游侧不配置泵等，通过将从气体溶解装置2排出的处理液体L2向缓冲罐3供给，也能使处理液体L2从缓冲罐3排出。另外，不需要使缓冲罐3内被处理液体L2完全充满，也可以在缓冲罐3内残留有未充满处理液体L2的区域(空隙)。

缓冲罐3可以是任何形状的容器，但优选为圆筒状的容器。像这样，若缓冲罐3是圆筒状的容器，则能够使供给至缓冲罐3的处理液体L2沿着缓冲罐3的内周面对流。由此，能够充分确保缓冲罐3内的处理液体L2的对流时间，并且能够提高搅拌效果。

图3是表示缓冲罐的供给口和排出口的配置例的图。如图1和图3所示，缓冲罐3包括连接于气体溶解装置2的液体排出管17的供给口3a和连接于处理液体排出管4的排出口3b。供给口3a和排出口3b的配置没有特别限定，但从在缓冲罐3内促进处理液体L2的对流和搅拌的观点出发，优选的是，如图3的(a)和(b)所示，供给口3a和排出口3b朝向互不相同的线。像这样，若缓冲罐3的供给口3a和排出口3b朝向互不相同的线，则在缓冲罐3内引起较大的紊流，并且，使从供给口3a到排出口3b的路径复杂化。由此，能够促进处理液体L2的对流和搅拌。

图3的(a)所示的缓冲罐3的供给口3a和排出口3b朝向自缓冲罐3的沿上下方向延伸的中心轴线C偏离的位置。像这样，若缓冲罐3的供给口3a和排出口3b朝向自缓冲罐3的中心轴线C偏离的方向，则在缓冲罐3内，能够使处理液体L2绕缓冲罐3的中心轴线C旋转。由此，能够充分确保缓冲罐3内的处理液体L2的对流时间，并且能够提高搅拌效果。

图3的(b)所示的缓冲罐3的供给口3a和排出口3b配置于缓冲罐3的上下方向上不同的位置。像这样，若缓冲罐3的供给口3a和排出口3b配置于上下方向上不同的位置，则能够充分确保缓冲罐3内的处理液体L2的对流时间。

另外，图3的(b)所示的缓冲罐3的排出口3b配置于比供给口3a靠上方的位置。若在处理液体L2含有气泡，则在缓冲罐3内，该气泡从供给口3a向上方上浮。因此，若排出口3b配置于比供给口3a靠上方的位置，则能够将处理液体L2所包含的气泡迅速从排出口3b排出。

另外，根据本发明人等的实验的结果，得到如下见解：到上述式(2)的离子化充分进行为止，需要7秒～12秒左右。实验的详细情况在以下的实施例中示出。因此，缓冲罐3的容量优选为处理液体L2以7秒～12秒充满的容量，也就是说相当于处理液体L2的流量的7秒～12秒的量的容量。像这样，通过将缓冲罐3的容量设为处理液体L2以7秒～12秒充满的容量，能够抑制缓冲罐3大型化，并且能够在缓冲罐3内使处理液体L2充分离解。

如图1所示，处理液体排出管4是在内周侧形成有流路的管状的构件。处理液体排出管4连接于缓冲罐3的排出口3b，并供处理液体L2从缓冲罐3排出。而且，处理液体L2通过在处理液体排出管4流动，从而向要使用处理液体L2的使用地点供给。处理液体排出管4的材料、特性(硬度、弹性等)、形状、尺寸等没有特别限定。

像这样，在本实施方式中，在气体溶解装置2中，生成在液体L溶解有调整气体G的处理液体L2，该生成了的处理液体L2被向缓冲罐3供给。若处理液体L2向缓冲罐3供给，则由于处理液体L2的流路急剧扩展，而处理液体L2的流速急剧降低。由此，供给至缓冲罐3的处理液体L2通过在缓冲罐3内对流而促进离解。另外，供给至缓冲罐3的处理液体L2通过在缓冲罐3内成为紊流而被搅拌，从而促进离子浓度的均匀化。其结果，处理液体L2的电阻率值的偏离和波动这两者被抑制。而且，与使用较长的配管来代替缓冲罐的情况相比，能够减小处理液体L2的压力损失，还能够减小装置规模。

另外，供给至气体溶解装置2的液体L被分配为向中空纤维膜组件11供给的液体L和绕过中空纤维膜组件11的液体L。在中空纤维膜组件11中，透过了中空纤维膜21的调整气体G溶解于液体L，而生成在液体L溶解有调整气体G的高浓度气体附加液体L1。而且，在中空纤维膜组件11生成的高浓度气体附加液体L1和绕过中空纤维膜组件11的液体L合流，从而生成处理液体L2。由此，即使向气体溶解装置2供给的液体L的流量发生变动，也能够使处理液体L2的电阻率值稳定。

[第二实施方式]

接下来，说明第二实施方式。第二实施方式基本上与第一实施方式是同样的，仅在缓冲罐是未被处理液体充满的容器的方面以及在处理液体排出管安装有泵的方面与第一实施方式不同。因此，以下仅说明与第一实施方式不同的事项，而省略与第一实施方式同样的事项的说明。

图4是第二实施方式的电阻率值调整装置的示意图。如图4所示，本实施方式的电阻率值调整装置1A包括：气体溶解装置2、缓冲罐3A、处理液体排出管4以及泵5。

缓冲罐3A与第一实施方式的缓冲罐3同样，是被供给从气体溶解装置2排出的处理液体L2并能够临时储存处理液体L2的容器。

缓冲罐3A是开放容器，通过向缓冲罐3A供给处理液体L2，或者从缓冲罐3A排出处理液体L2，从而使储存于缓冲罐3A内的处理液体L2增减。因此，仅通过将从气体溶解装置2排出的处理液体L2向缓冲罐3A供给，不会使处理液体L2从缓冲罐3A排出。

图5是表示缓冲罐的供给口和排出口的配置例的图。如图4和图5所示，缓冲罐3A包括连接于气体溶解装置2的液体排出管17的供给口3a和连接于处理液体排出管4的排出口3b。供给口3a和排出口3b的配置没有特别限定，但从在缓冲罐3A内促进处理液体L2的对流和搅拌的观点出发，优选的是，如图5所示，供给口3a形成于缓冲罐3A的上部。供给口3a形成于缓冲罐3A的上部是指，例如在缓冲罐3A的顶壁形成有供给口3a、使液体排出管17贯通于缓冲罐3A的顶壁而在缓冲罐3A的上部形成有供给口3a、在缓冲罐3A的侧壁的上部形成有供给口3a、使液体排出管17贯通于缓冲罐3A的侧壁的上部而在缓冲罐3A的上部形成有供给口3a等。像这样，若供给口3a形成于缓冲罐3A的上部，则利用从供给口3a向缓冲罐3A供给的处理液体L2，能够对储存于缓冲罐3A的处理液体L2进行搅拌。

如图4所示，泵5安装于处理液体排出管4。泵5通过将处理液体排出管4内的处理液体L2向与缓冲罐3A相反的一侧输送，从而将处理液体L2从缓冲罐3A向处理液体排出管4送出。

像这样，在本实施方式中也与第一实施方式同样地，将处理液体L2向缓冲罐3A供给，因此能够抑制处理液体L2的电阻率值的偏离和波动这两者。另外，与使用较长的配管来代替缓冲罐的情况相比，能够减小处理液体L2的压力损失，还能够减小装置规模。

[第三实施方式]

接下来，说明第三实施方式。第三实施方式基本上与第二实施方式是同样的，仅在具备用于开闭处理液体排出管的开闭阀以及使在处理液体排出管流动的处理液体向缓冲罐返回的循环配管的方面与第二实施方式不同。因此，以下仅说明与第二实施方式不同的事项，而省略与第二实施方式同样的事项的说明。

图6是第三实施方式的电阻率值调整装置的示意图。如图6所示，本实施方式的电阻率值调整装置1B包括：气体溶解装置2、缓冲罐3B、处理液体排出管4、泵5、开闭阀6以及循环配管7。

开闭阀6是安装于处理液体排出管4的比泵5靠下游侧的位置，并用于开闭处理液体排出管4的流路的阀。开闭阀6能够通过开闭处理液体排出管4的流路，从而选择是否将处理液体L2向使用地点供给。

循环配管7是在内周侧形成有流路的管状的构件。循环配管7从处理液体排出管4的泵5与开闭阀6之间分支，而使在处理液体排出管4流动的处理液体L2向缓冲罐3B返回。泵5与开闭阀6之间是指泵5的下游侧且是开闭阀6的上游侧。因此，若打开开闭阀6，则从缓冲罐3B排出至处理液体排出管4的处理液体L2被向使用地点供给，但若关闭开闭阀6，则从缓冲罐3B排出至处理液体排出管4的处理液体L2经由循环配管7向缓冲罐3B返回。

缓冲罐3B与第二实施方式的缓冲罐3A同样是开放容器，并通过向缓冲罐3B供给处理液体L2，或者从缓冲罐3B排出处理液体L2，从而使储存于缓冲罐3B内的处理液体L2增减。因此，仅通过将从气体溶解装置2排出的处理液体L2向缓冲罐3B供给，不会使处理液体L2从缓冲罐3B排出。

图7是表示缓冲罐的供给口和排出口的配置例的图。如图6和图7所示，缓冲罐3B包括：连接于气体溶解装置2的液体排出管17的供给口3a、连接于处理液体排出管4的排出口3b以及连接于循环配管7的循环口3c。供给口3a、排出口3b以及循环口3c的配置没有特别限定，但从在缓冲罐3B内促进处理液体L2的对流和搅拌的观点出发，优选的是，如图7所示，供给口3a和循环口3c形成于缓冲罐3B的上部。像这样，若供给口3a和循环口3c形成于缓冲罐3B的上部，则利用从供给口3a向缓冲罐3B供给的处理液体L2或者利用从循环口3c向缓冲罐3B返回的处理液体L2，能够对储存于缓冲罐3B的处理液体L2进行搅拌。

像这样，在本实施方式中，若打开开闭阀6，则能够将处理液体L2从处理液体排出管4向使用地点供给，但若关闭开闭阀6，则能够使从缓冲罐3B排出至处理液体排出管4的处理液体L2从循环配管7向缓冲罐3B返回。因此，当在使用地点不需要处理液体L2时，通过预先关闭开闭阀6，能够使处理液体L2在缓冲罐3B、处理液体排出管4以及循环配管7循环。由此，处理液体L2的离解和离子浓度的均匀化得以进一步促进，因此能够进一步抑制处理液体L2的电阻率值的偏离和波动。

另外，在用于清洗基板的清洗机等中，由于流量变动频繁产生，因此也产生伴随着流动变更而引起的电阻率值的波动的问题。另外，若使流量变化，则在处理液体L2的电阻率值稳定之前要花费一些时间。相对于此，在本实施方式中，将储存于缓冲罐3B的处理液体L2向使用地点供给，因此不需要始终利用气体溶解装置2生成处理液体L2，而在储存于缓冲罐3B的处理液体L2较少时，利用气体溶解装置2生成处理液体L2即可。因此，能够使向气体溶解装置2供给的液体L的流量恒定。由此，不会被使用地点处的流量变动、使用流量影响，而能够使处理液体L2的电阻率值稳定。

[第四实施方式]

接下来，说明第四实施方式。第四实施方式基本上与第三实施方式是同样的，仅于在缓冲罐内调整处理液体的电阻率值的方面与第三实施方式不同。因此，以下仅说明与第三实施方式不同的事项，而省略与第三实施方式同样的事项的说明。

图8是第四实施方式的电阻率值调整装置的示意图。如图8所示，本实施方式的电阻率值调整装置1C包括：气体溶解装置2、缓冲罐3C、处理液体排出管4、泵5、开闭阀6、循环配管7、第一调整用配管8、第二调整用配管9以及电阻率值传感器10。

第一调整用配管8是在内周侧形成有流路的管状的构件。第一调整用配管8用于将液体L向缓冲罐3C供给。第一调整用配管8连接于液体L的流路。作为与第一调整用配管8连接的液体L的流路，例如可列举出气体溶解装置2的液体供给管13、旁通管16等。在第一调整用配管8安装有电磁阀(未图示)。而且，用于控制电阻率值调整装置1C的控制部(未图示)基于电阻率值传感器10的测量结果进行电磁阀的开闭控制。

第二调整用配管9是在内周侧形成有流路的管状的构件。第二调整用配管9用于将高浓度气体附加液体L1向缓冲罐3C供给。第二调整用配管9连接于高浓度气体附加液体L1的流路。作为与第二调整用配管9连接的高浓度气体附加液体L1的流路，例如可列举出气体溶解装置2的组件排出管15。在第二调整用配管9安装有电磁阀(未图示)。而且，用于控制电阻率值调整装置1C的控制部(未图示)基于电阻率值传感器10的测量结果进行电磁阀的开闭控制。

电阻率值传感器10是用于测量储存于缓冲罐3C的处理液体L2的电阻率值的传感器。储存于缓冲罐3C的处理液体L2的电阻率值稳定，但存在由于装置的不良情况等而使电阻率值自电阻率调整值偏离的可能性。因此，利用电阻率值传感器10测量储存于缓冲罐3C的处理液体L2的电阻率值。然后，用于控制电阻率值调整装置1C的控制部(未图示)通过在测量结果自电阻率调整值偏离的情况下将液体L或者高浓度气体附加液体L1从第一调整用配管8或者第二调整用配管9向缓冲罐3C供给，从而基于电阻率值传感器10调整储存于缓冲罐3C的处理液体L2的电阻率值。

像这样，在本实施方式中，基于电阻率值传感器10的测量结果，将液体L或者高浓度气体附加液体L1从第一调整用配管8或者第二调整用配管9向缓冲罐3C供给，从而能够调整储存于缓冲罐3C的处理液体L2的电阻率值。另外，即使向缓冲罐3C供给液体L或者高浓度气体附加液体L1，通过关闭开闭阀6而使处理液体L2在缓冲罐3C、处理液体排出管4以及循环配管7循环，从而也能够促进储存于缓冲罐3C的处理液体L2的离解和离子浓度的均匀化。

以上，说明了本发明的实施方式，但本发明不限定于上述实施方式。例如，也可以适当组合上述的各实施方式。另外，在上述实施方式中，作为气体溶解装置，使用通过使利用中空纤维膜组件生成的高浓度气体附加液体L1和绕过中空纤维膜组件的液体L合流而生成处理液体L2的膜形态的气体溶解装置来进行了说明，但也可以应用于日本特开昭60-027603号公报、日本特开平10-212105号公报、日本特开2004-344821号公报等所记载的那样的气体注入方式的气体溶解装置等。

实施例

接下来，说明本发明的实施例，但本发明不限定于以下的实施例。

[实施例1]

在实施例1中，使用了图1所示的第一实施方式的电阻率值调整装置1。向气体溶解装置2(液体供给管13)供给的液体L设为，温度：25[℃]、供给水压：0.25[MPa]、电阻率值：18.2[MΩ·cm]、流量：2.0[L/min]。电阻率调整值设为0.4[MΩ·cm]、0.5[MΩ·cm]、0.6[MΩ·cm]、0.8[MΩ·cm]以及1.0[MΩ·cm]。作为处理液体排出管4，使用直径12×8[mm]的管。作为缓冲罐3，使用圆筒状的容器。将缓冲罐3的容量(内容积)设为400[cc]，以使处理液体L2在缓冲罐3的推定停留时间为约12秒。推定对流时间设为将缓冲罐3的容量除以处理液体L2的流量而得到的时间。

而且，在紧接着缓冲罐3之后安装电阻率值传感器，利用该电阻率值传感器测量处理液体L2的电阻率值。作为电阻率值传感器，使用堀场advanced techno公司制HE-480R。在图10中示出测量结果。

[比较例1]

在比较例1中，使用了图9所示的电阻率值调整装置100。比较例1的电阻率值调整装置100除不具备缓冲罐的方面之外与实施例1的电阻率值调整装置1相同。向气体溶解装置2(液体供给管13)供给的液体L和电阻率调整值与实施例1条件相同。

而且，以使从气体溶解装置2排出的处理液体L2到达电阻率值传感器的时间与实施例1条件相同的方式在处理液体排出管4的与气体溶解装置2距离8m的下游侧安装电阻率值传感器，并利用该电阻率值传感器测量处理液体L2的电阻率值。也就是说，通过将电阻率值传感器安装于上述位置，从而将处理液体L2从气体溶解装置2排出起直到到达电阻率值传感器为止的推定时间设为约12秒，并将处理液体排出管4的直到电阻率值传感器的容积(内容积)设为400cc。作为电阻率值传感器，使用与实施例1同样的电阻率值传感器。在图11中示出测量结果。

[评价1]

如图11所示，在比较例1中，由于直到安装有电阻率值传感器为止的距离变长，因此由离子浓度的不均引起的电阻率值的波动较大。

相对于此，如图10所示，在实施例1中，电阻率值的波动相对于比较例1被大幅地抑制。根据该结果得知，通过具备缓冲罐3，能够抑制电阻率值的波动。

[实施例2]

在实施例2中，使用了图1所示的第一实施方式的电阻率值调整装置1。向气体溶解装置2(液体供给管13)供给的液体L设为，温度：25[℃]、供给水压：0.25[MPa]、电阻率值：18.2[MΩ·cm]。液体L的流量设为2.0[L/min]、1.0[L/min]以及0.2[L/min]。电阻率调整值设为0.2[MΩ·cm]、0.5[MΩ·cm]、0.6[MΩ·cm]、0.7[MΩ·cm]、0.8[MΩ·cm]、0.9[MΩ·cm]以及1.0[MΩ·cm]。作为缓冲罐3，使用圆筒状的容器，并将缓冲罐3的容量(内容积)设为700[cc]。且设为缓冲罐3的供给口3a和排出口3b朝向相同的线。

而且，在紧接着缓冲罐3之后安装电阻率值传感器，利用该电阻率值传感器测量处理液体L2的电阻率值。电阻率值传感器使用与实施例1同样的电阻率值传感器。在图12中示出流量为2.0[L/min]的测量结果，在图13中示出流量为1.0[L/min]的测量结果，在图14中示出流量为0.2[L/min]的测量结果。

[实施例3]

在实施例3中，使缓冲罐3的供给口3a和排出口3b朝向互不相同的线，除此之外与实施例2条件相同。具体而言，供给口3a和排出口3b设为朝向自缓冲罐3的沿上下方向延伸的中心轴线偏离的位置，并且，将排出口3b配置于比供给口3a靠上方的位置。

而且，在紧接着缓冲罐3之后安装电阻率值传感器，利用该电阻率值传感器测量处理液体L2的电阻率值。电阻率值传感器使用与实施例1同样的电阻率值传感器。在图15中示出流量为2.0[L/min]的测量结果，在图16中示出流量为1.0[L/min]的测量结果，在图17中示出流量为0.2[L/min]的测量结果。

[评价2]

比较图12～图14和图15～图17，与液体L的流量无关，实施例3相比于实施例2抑制了电阻率值的波动。对于这一结果，认为是由于，在实施例2中，处理液体L2容易从缓冲罐3的供给口3a向排出口3b呈直线地排出，因此与实施例3相比，处理液体L2的搅拌效果变弱。另一方面认为是由于，在实施例3中，处理液体L2碰到缓冲罐3的内侧面而以旋转的方式对流，因此与实施例2相比，搅拌效果变高。

[实施例4]

在实施例4中，使用了图1所示的第一实施方式的电阻率值调整装置1。向气体溶解装置2(液体供给管13)供给的液体L设为，温度：25[℃]、供给水压：0.25[MPa]、电阻率值：18.2[MΩ·cm]、流量：2.0[L/min]。电阻率调整值设为0.1[MΩ·cm]、0.2[MΩ·cm]、0.5[MΩ·cm]、0.6[MΩ·cm]、0.7[MΩ·cm]、0.8[MΩ·cm]、0.9[MΩ·cm]以及1.0[MΩ·cm]。作为缓冲罐3，使用圆筒状的容器，并将缓冲罐3的容量(内容积)设为150[cc]、300[cc]、400[cc]、500[cc]以及700[cc]。

而且，在紧接着缓冲罐3之后和处理液体排出管4的与缓冲罐3距离5m的下游侧分别设置电阻率值传感器，利用这些电阻率值传感器测量处理液体L2的电阻率值。电阻率值传感器使用与实施例1同样的电阻率值传感器。在图18中示出缓冲罐3的容量为150[cc]的测量结果，在图19中示出缓冲罐3的容量为300[cc]的测量结果，在图20中示出缓冲罐3的容量为400[cc]的测量结果，在图21中示出缓冲罐3的容量为500[cc]的测量结果，在图22中示出缓冲罐3的容量为700[cc]的测量结果。

[评价3]

若参照安装于紧接着缓冲罐3之后的电阻率值传感器的测量结果，则可知，越是增大缓冲罐3的容量，电阻率值的波动幅度越小。根据该结果可知，越是增大缓冲罐3的容量，越能在缓冲罐3内促进处理液体L2的搅拌，因此离子浓度越是均匀化，电阻率值的波动越被抑制。

[评价4]

若比较安装于紧接着缓冲罐3之后的电阻率值传感器的测量结果和安装于处理液体排出管4的与缓冲罐3距离5m的下游侧的电阻率值传感器的测量结果，则可知，越是增大缓冲罐3的容量，电阻率值的差越小。根据该结果可知，越是增大缓冲罐3的容量，在缓冲罐3内处理液体L2的停留时间越长，因此越是在离子浓度的均匀化的同时促进离解，电阻率值的波动和偏离这两者越被抑制。

[评价5]

若比较安装于紧接着缓冲罐3之后的电阻率值传感器的测量结果和安装于处理液体排出管4的与缓冲罐3距离5m的下游侧的电阻率值传感器的测量结果，则可知，通过使缓冲罐3的容量从150[cc]增大，可使电阻率值的差变小。另外，在缓冲罐3的容量为400[cc]以上的情况下，电阻率值的差几乎不变。此处，缓冲罐3的容量为150[cc]的情况下的处理液体L2的缓冲罐3的推定停留时间为约5秒，缓冲罐3的容量为300[cc]的情况下的处理液体L2的缓冲罐3的推定停留时间为约9秒，缓冲罐3的容量为400[cc]的情况下的处理液体L2的缓冲罐3的推定停留时间为约12秒。因此得知，通过使缓冲罐3的容量为处理液体L2以约7秒～12秒充满的容量，也就是相当于处理液体L2的流量的约7秒～12秒的量的容量，能够抑制缓冲罐3大型化，并且在缓冲罐3内使处理液体L2充分离解。

[实施例5]

在实施例5中，将液体L的流量设为1.0[L/min]、0.2[L/min]，将缓冲罐3的容量设为400[cc]，除此之外，与实施例4条件相同。

而且，在与实施例4相同的位置安装电阻率值传感器，利用这些电阻率值传感器测量处理液体L2的电阻率值。电阻率值传感器使用与实施例1同样的电阻率值传感器。在图23中示出液体L的流量为1.0[L/min]的测量结果，在图24中示出液体L的流量为0.2[L/min]的测量结果。

[评价]

图20、图23以及图24仅液体L的流量不同，其他的条件相同。而且，任一测量结果均抑制了电阻率值的波动和偏离。根据该结果可知，与液体L的流量无关，能够类推上述的评价3～评价5是妥当的。

附图标记说明

1、1A、1B、1C、电阻率值调整装置；2、气体溶解装置；3、3A、3B、3C、缓冲罐；3a、供给口；3b、排出口；3c、循环口；4、处理液体排出管；5、泵；6、开闭阀；7、循环配管；8、第一调整用配管；9、第二调整用配管；10、电阻率值传感器；11、中空纤维膜组件；12、气体供给管；13、液体供给管；14、组件供给管；15、组件排出管；16、旁通管；17、液体排出管；18、调节阀；19、压力调节阀；21、中空纤维膜；22、壳体；23、气体供给口；24、液体供给口；25、液体排出口；100、电阻率值调整装置；A、分支部；B、合流部；C、中心轴线；G、调整气体；L、液体；L1、高浓度气体附加液体；L2、处理液体；P1、压力计。

Claims (18)

1.一种电阻率值调整装置，其中，

该电阻率值调整装置包括：

气体溶解装置，其用于将用于调整超纯水的电阻率值的调整气体溶解于作为电阻率值的调整对象的所述超纯水，而生成在所述超纯水溶解有所述调整气体的处理液体；以及

缓冲罐，其被供给从所述气体溶解装置排出的所述处理液体，

所述气体溶解装置包括：

中空纤维膜组件，其被中空纤维膜分隔成被供给所述超纯水的液相侧区域和被供给所述调整气体的气相侧区域，并使透过了所述中空纤维膜的所述调整气体以饱和状态溶解于所述超纯水而生成调整气体饱和液体；

液体供给管，其用于供给所述超纯水；

组件供给管，其经由将所述液体供给管分支的分支部而与所述液体供给管连通，并用于向所述中空纤维膜组件供给所述超纯水；

组件排出管，其供所述调整气体饱和液体从所述中空纤维膜组件排出；

旁通管，其经由所述分支部而与所述液体供给管连通，并用于绕过所述中空纤维膜组件；以及

液体排出管，其经由使所述组件排出管和所述旁通管合流的合流部而与所述组件排出管以及所述旁通管连通。

2.一种电阻率值调整装置，其中，

该电阻率值调整装置包括：

气体溶解装置，其用于将用于调整超纯水的电阻率值的调整气体溶解于作为电阻率值的调整对象的所述超纯水，而生成在所述超纯水溶解有所述调整气体的处理液体；

缓冲罐，其被供给从所述气体溶解装置排出的所述处理液体；

第一调整用配管，其用于将所述超纯水向所述缓冲罐供给；

第二调整用配管，其用于将使所述调整气体以饱和状态溶解于所述超纯水而成的调整气体饱和液体向所述缓冲罐供给；以及

电阻率值传感器，其用于测量所述缓冲罐内的所述处理液的电阻率值。

3.根据权利要求2所述的电阻率值调整装置，其中，

所述气体溶解装置包括：

中空纤维膜组件，其被中空纤维膜分隔成被供给所述超纯水的液相侧区域和被供给所述调整气体的气相侧区域，并使透过了所述中空纤维膜的所述调整气体以饱和状态溶解于所述超纯水而生成所述调整气体饱和液体；

液体供给管，其用于供给所述超纯水；

组件供给管，其经由将所述液体供给管分支的分支部而与所述液体供给管连通，并用于向所述中空纤维膜组件供给所述超纯水；

组件排出管，其供所述调整气体饱和液体从所述中空纤维膜组件排出；

旁通管，其经由所述分支部而与所述液体供给管连通，并用于绕过所述中空纤维膜组件；以及

液体排出管，其经由使所述组件排出管和所述旁通管合流的合流部而与所述组件排出管以及所述旁通管连通。

4.根据权利要求3所述的电阻率值调整装置，其中，

所述第一调整用配管连接于所述液体供给管或所述旁通管，

所述第二调整用配管连接于所述组件排出管。

5.根据权利要求1所述的电阻率值调整装置，其中，

所述缓冲罐是圆筒状的容器。

6.根据权利要求1或2所述的电阻率值调整装置，其中，

所述缓冲罐具有用于供给所述处理液体的供给口和用于排出所述处理液体的排出口，

所述供给口和所述排出口朝向互不相同的线。

7.根据权利要求6所述的电阻率值调整装置，其中，

所述供给口和所述排出口朝向自所述缓冲罐的沿上下方向延伸的中心轴线偏离的位置。

8.根据权利要求6所述的电阻率值调整装置，其中，

所述供给口和所述排出口配置于所述缓冲罐的上下方向上不同的位置。

9.根据权利要求8所述的电阻率值调整装置，其中，

所述排出口配置于比所述供给口靠上方的位置。

10.根据权利要求8所述的电阻率值调整装置，其中，

所述供给口形成于所述缓冲罐的上部。

11.根据权利要求1或2所述的电阻率值调整装置，其中，

所述缓冲罐的容量是所述处理液体以7秒～12秒充满的容量。

12.根据权利要求1或2所述的电阻率值调整装置，其中，

该电阻率值调整装置还包括：

处理液体排出管，其供所述处理液体从所述缓冲罐排出；

泵，其安装于所述处理液体排出管，并用于将所述处理液体送出；

开闭阀，其安装于所述处理液体排出管的比所述泵靠下游侧的位置，并用于开闭所述处理液体排出管；以及

循环配管，其从所述处理液体排出管的所述泵与所述开闭阀之间分支，并使在所述处理液体排出管流动的所述处理液体向所述缓冲罐返回。

13.根据权利要求12所述的电阻率值调整装置，其中，

所述缓冲罐具有用于从所述循环配管供给所述处理液体的循环口，

所述循环口形成于所述缓冲罐的上部。

14.一种电阻率值调整方法，其中，

该电阻率值调整方法包括：

处理液体生成步骤，在该步骤中，将用于调整超纯水的电阻率值的调整气体以饱和状态溶解于作为电阻率值的调整对象的所述超纯水，而生成在所述超纯水溶解有所述调整气体的处理液体；以及

缓冲罐供给步骤，在该步骤中，将生成了的所述处理液体向缓冲罐供给，

在所述处理液体生成步骤中，利用气体溶解装置生成所述处理液体，

所述气体溶解装置包括：

中空纤维膜组件，其被中空纤维膜分隔成被供给所述超纯水的液相侧区域和被供给所述调整气体的气相侧区域，并使透过了所述中空纤维膜的所述调整气体以饱和状态溶解于所述超纯水而生成调整气体饱和液体；

液体供给管，其用于供给所述超纯水；

组件供给管，其经由将所述液体供给管分支的分支部而与所述液体供给管连通，并用于向所述中空纤维膜组件供给所述超纯水；

组件排出管，其供所述调整气体饱和液体从所述中空纤维膜组件排出；

旁通管，其经由所述分支部而与所述液体供给管连通，并用于绕过所述中空纤维膜组件；以及

液体排出管，其经由使所述组件排出管和所述旁通管合流的合流部而与所述组件排出管以及所述旁通管连通。

15.一种电阻率值调整方法，其中，

该电阻率值调整方法包括：

处理液体生成步骤，在该步骤中，将用于调整超纯水的电阻率值的调整气体以饱和状态溶解于作为电阻率值的调整对象的所述超纯水，而生成在所述超纯水溶解有所述调整气体的处理液体；

缓冲罐供给步骤，在该步骤中，将生成了的所述处理液体向缓冲罐供给；

超纯水供给步骤，在该步骤中，基于所述缓冲罐内的所述处理液体的电阻率值，将所述超纯水向所述缓冲罐供给；以及

调整气体饱和液体供给步骤，在该步骤中，基于所述缓冲罐内的所述处理液体的电阻率值，将使所述调整气体以饱和状态溶解于所述超纯水而成的调整气体饱和液体向所述缓冲罐供给。

16.根据权利要求15所述的电阻率值调整方法，其中，

在所述处理液体生成步骤中，利用气体溶解装置生成所述处理液体，

所述气体溶解装置包括：

中空纤维膜组件，其被中空纤维膜分隔成被供给所述超纯水的液相侧区域和被供给所述调整气体的气相侧区域，并使透过了所述中空纤维膜的所述调整气体以饱和状态溶解于所述超纯水而生成所述调整气体饱和液体；

液体供给管，其用于供给所述超纯水；

组件供给管，其经由将所述液体供给管分支的分支部而与所述液体供给管连通，并用于向所述中空纤维膜组件供给所述超纯水；

组件排出管，其供所述调整气体饱和液体从所述中空纤维膜组件排出；

旁通管，其经由所述分支部而与所述液体供给管连通，并用于绕过所述中空纤维膜组件；以及

液体排出管，其经由使所述组件排出管和所述旁通管合流的合流部而与所述组件排出管以及所述旁通管连通。

17.根据权利要求16所述的电阻率值调整方法，其中，

在所述超纯水供给步骤中，将所述液体供给管或所述旁通管的所述超纯水向所述缓冲罐供给，

在所述调整气体饱和液体供给步骤中，将所述组件排出管的所述调整气体饱和液体向所述缓冲罐供给。

18.根据权利要求14或15所述的电阻率值调整方法，其中，

在所述缓冲罐供给步骤中，将所述缓冲罐中的所述处理液体的停留时间设为7秒～12秒。

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