CN114272776A - 气体溶解液供给装置及由气体溶解液供给装置执行的方法 - Google Patents

气体溶解液供给装置及由气体溶解液供给装置执行的方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种能够实现气体溶解液的高浓度化，能够抑制气体溶解液的送出压力的变动的气体溶解液供给装置及由气体溶解液供给装置执行的方法。气体溶解液供给装置(1)具备：积存气体溶解液的第一气液分离器(8)、设置于第一气液分离器的后段并积存向使用点供给的气体溶解液的第二气液分离器(16)、设置于第一气液分离器和第二气液分离器之间的中间线路(17)、设置于中间线路并使从第一气液分离器向第二气液分离器供给的气体溶解液的压力上升的升压泵(18)、供给成为气体溶解液的原料的气体的气体供给线路(2)、设置于中间线路并使从气体供给线路供给的气体溶解于从第一气液分离器供给的气体溶解液的气体溶解部(20)。

Description

气体溶解液供给装置及由气体溶解液供给装置执行的方法
技术领域
本发明涉及一种供给气体溶解液的气体溶解液供给装置，尤其涉及一种气体溶解液的高浓度化的技术。
背景技术
以往，半导体器件、液晶等电子部件的清洗中使用了臭氧水。臭氧水通过使臭氧气体溶解于超纯水而制造，并被供给至使用点(半导体器件工厂、电子部件工厂等)。
在以往的制造臭氧水的装置中，例如使臭氧气体溶解于超纯水而制造的臭氧水积存于气液分离器，并通过设置于气液分离器的后段(下游侧)的泵从气液分离器向使用点送出臭氧水(例如，参照专利文献1)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2019-155221号公报
但是，在以往的装置中，只设置了一个气液分离器，并在该气液分离器的后段设置了泵(向使用点送出臭氧水的泵)，因此，难以提高气液分离器的压力，臭氧水的高浓度化较困难。另外，在该泵为空气驱动式的泵的情况下，由于泵的脉动的影响而难以抑制臭氧水的送出压力的变动。
发明内容
本发明是鉴于上述的技术问题而做成的，其目的在于提供一种能够实现气体溶解液的高浓度化，能够抑制气体溶解液的送出压力的变动的气体溶解液供给装置。
用于解决技术问题的技术手段
本发明的气体溶解液供给装置具备：第一气液分离器，该第一气液分离器积存气体溶解液；第二气液分离器，该第二气液分离器设置于所述第一气液分离器的后段，并积存向使用点供给的气体溶解液；中间线路，该中间线路设置于所述第一气液分离器与所述第二气液分离器之间；升压泵，该升压泵设置于所述中间线路，并使从所述第一气液分离器向所述第二气液分离器供给的气体溶解液的压力上升；气体供给线路，该气体供给线路供给成为所述气体溶解液的原料的气体；以及气体溶解部，该气体溶解部设置于所述中间线路，并使从所述气体供给线路供给的气体溶解于从所述第一气液分离器供给的气体溶解液。
根据该结构，由于升压泵设置于第二气液分离器的前段，因此能够提高第二气液分离器的压力，能够实现气体溶解液的高浓度化。另外，由于第二气液分离器设置于升压泵的后段，因此能够得到阻尼器效果，能够抑制从第二气液分离器向使用点供给的气体溶解液的送出压力的变动。
另外，在本发明的气体溶解液供给装置中，也可以是，在所述第一气液分离器设置有循环供给线路，该循环供给线路使在使用点未使用的气体溶解液循环并供给该气体溶解液。
根据该结构，能够对在使用点未使用的气体溶解液进行再利用，从而能够削减成为气体溶解液的原料的气体的使用量。在该情况下，由于被供给在使用点未使用的气体溶解液的第一气液分离器设置于升压泵的前段，因此不需要用于提高未使用的气体溶解液的压力的泵。
另外，在本发明的气体溶解液供给装置中，也可以是，在所述第一气液分离器设置有液体供给线路，该液体供给线路供给成为所述气体溶解液的原料的液体，在所述液体供给线路设置有第二气体溶解部，该第二气体溶解部使从所述第二气液分离器排出的未溶解的剩余气体溶解于成为所述气体溶解液的原料的液体。
根据该结构，能够对从第二气液分离器排出的未溶解的剩余气体进行再利用，从而能够削减成为气体溶解液的原料的气体的使用量。
另外，在本发明的气体溶解液供给装置中，也可以是，具备：第一阀，该第一阀设置于供给成为所述气体溶解液的原料的液体的液体供给线路；第二阀，该第二阀设置于向使用点供给所述气体溶解液的气体溶解液供给线路；第三阀，该第三阀设置于从所述第一气液分离器向排气口的排气线路；第四阀，该第四阀设置于排水线路，该排水线路从所述排气线路分支设置；以及控制部，该控制部进行所述第一阀、所述第二阀、所述第三阀、所述第四阀的开闭控制，在向所述使用点供给所述气体溶解液的情况下，所述控制部进行打开所述第一阀、所述第二阀以及所述第三阀并关闭所述第四阀的控制，在清洗所述第一气液分离器和所述第二气液分离器的情况下，所述控制部进行关闭所述第二阀和所述第三阀并打开所述第一阀和所述第四阀的控制。
根据该结构，通过打开第一阀、第二阀以及第三阀并关闭第四阀，能够向使用点供给气体溶解液，通过关闭第二阀和第三阀并打开第一阀和第四阀，能够清洗第一气液分离器和第二气液分离器。
本发明的方法是由气体溶解液供给装置执行的方法，所述气体溶解液供给装置具备：第一气液分离器，该第一气液分离器积存气体溶解液；第二气液分离器，该第二气液分离器设置于所述第一气液分离器的后段，并积存向使用点供给的气体溶解液；中间线路，该中间线路设置于所述第一气液分离器与所述第二气液分离器之间；以及升压泵，该升压泵设置于所述中间线路，并使从所述第一气液分离器向所述第二气液分离器供给的气体溶解液的压力上升，所述方法包含：向所述中间线路供给成为所述气体溶解液的原料的气体的步骤；以及使被供给的所述气体溶解于从所述第一气液分离器供给的气体溶解液的步骤。
通过该方法，与上述的装置相同地，由于升压泵设置于第二气液分离器的前段，因此也能够提高第二气液分离器的压力，能够实现气体溶解液的高浓度化。另外，由于第二气液分离器设置于升压泵的后段，因此能够得到阻尼器效果，能够抑制从第二气液分离器向使用点供给的气体溶解液的送出压力的变动。
另外，在本发明的方法中，也可以是，所述气体溶解液供给装置具备：第一阀，该第一阀设置于供给成为所述气体溶解液的原料的液体的液体供给线路；第二阀，该第二阀设置于向使用点供给所述气体溶解液的气体溶解液供给线路；第三阀，该第三阀设置于从所述第一气液分离器向排气口的排气线路；以及第四阀，该第四阀设置于排水线路，该排水线路从所述排气线路分支设置，在所述方法中，在向所述使用点供给所述气体溶解液的情况下，打开所述第一阀、所述第二阀以及所述第三阀并关闭所述第四阀，在清洗所述第一气液分离器和所述第二气液分离器的情况下，关闭所述第二阀和所述第三阀并打开所述第一阀和所述第四阀。
根据该方法，通过打开第一阀、第二阀以及第三阀并关闭第四阀，能够向使用点供给气体溶解液，通过关闭第二阀和第三阀并打开第一阀和第四阀，能够清洗第一气液分离器和第二气液分离器。
发明的效果
根据本发明，能够实现气体溶解液的高浓度化，能够抑制气体溶解液的送出压力的变动。
附图说明
图1是表示本发明的第一实施方式中的气体溶解液供给装置(臭氧水供给装置)的结构的说明图。
图2是表示本发明的第二实施方式中的气体溶解液供给装置(臭氧水供给装置)的结构的说明图。
图3是表示本发明的第三实施方式中的气体溶解液供给装置(臭氧水供给装置)的结构的说明图。
图4是表示本发明的第四实施方式中的气体溶解液供给装置(臭氧水供给装置)的结构的说明图。
图5是表示第一实施方式的气体溶解液供给装置(臭氧水供给装置)的变形例的结构的图。
图6是表示第二实施方式的气体溶解液供给装置(臭氧水供给装置)的变形例的结构的图。
图7是表示第三实施方式的气体溶解液供给装置(臭氧水供给装置)的变形例的结构的图。
图8是表示第四实施方式的气体溶解液供给装置(臭氧水供给装置)的变形例的结构的图。
图9是表示气体溶解液供给装置(臭氧水供给装置)的其他例的图。
符号说明
1 臭氧水供给装置
2 气体供给线路
3 液体供给线路
4 气体流量调整器
5 臭氧发生器
6 流量调整阀
7 流量传感器
8 第一气液分离器
9 循环供给线路
10 流量传感器
11 压力调整阀
12 水位传感器
13 排气线路
14 臭氧气体分解器
15 压力调整阀
16 第二气液分离器
17 中间线路
18 升压泵
19 流量传感器
20 气体溶解喷嘴
21 水位传感器
22 排出线路
23 压力调整阀
24 臭氧水供给线路
25 流量传感器
26 压力传感器
27 送出线路
28 臭氧水浓度计
29 第二气体溶解喷嘴
30 臭氧水供给线路
31～37 阀
38 供给线路
39 阀
40 阀
具体实施方式
以下，使用附图，对本发明的实施方式的气体溶解液供给装置进行说明。在本实施方式中，例示了用于臭氧水等的制造的臭氧水供给装置的情况。
(第一实施方式)
参照附图，对本发明的第一实施方式的臭氧水供给装置的结构进行说明。图1是表示本实施方式的臭氧水供给装置的结构的说明图。如图1所示，臭氧水供给装置1具备：供给成为臭氧水的原料的臭氧气体的气体供给线路2，和供给成为臭氧水的原料的纯水(DIW)的液体供给线路3。
在气体供给线路2供给成为臭氧气体的原料的第一气体(例如氧气)和第二气体(例如二氧化碳气体、氮气、或二氧化碳气体与氮气的混合气体)。在气体供给线路2设置有气体流量调整器4和臭氧发生器5。气体流量调整器4分别调整第一气体和第二气体的流量。臭氧发生器5通过放电而从原料气体(第一气体与第二气体的混合气体)生成臭氧气体。
在液体供给线路3供给纯水，并通过流量调整阀6调整纯水的流量，通过流量传感器7测定纯水的流量。液体供给线路3与第一气液分离器8连接。循环供给线路9与第一气液分离器8连接，该循环供给线路9使在使用点未使用的臭氧水循环并向第一气液分离器8供给该臭氧水。
在循环供给线路9设置有流量传感器10和压力调整阀11，该流量传感器10测定在使用点未使用的臭氧水的流量，该压力调整阀11调整在使用点未使用的臭氧水的压力。
未使用的臭氧水积存于第一气液分离器8，在该第一气液分离器8设置有用于计测臭氧水的水位的水位传感器12。在第一气液分离器8设置有用于排出未溶解的臭氧气体的排气线路13。在排气线路13设置有用于分解臭氧气体的臭氧气体分解器14和调整排出的臭氧气体的压力的压力调整阀15。
在第一气液分离器8的后段(下游侧)设置有积存向使用点供给的臭氧水的第二气液分离器16，第一气液分离器8与第二气液分离器16由中间线路17连接。
在中间线路17具备：使从第一气液分离器8向第二气液分离器16供给的臭氧水的压力上升的升压泵18、测定向第二气液分离器16供给的臭氧水的流量的流量传感器19、以及使从气体供给线路2供给的臭氧气体溶解于从第一气液分离器8供给的臭氧水的气体溶解喷嘴20。此外，来自气体溶解喷嘴20的臭氧水也可以从第二气液分离器16的上部进入。另外，来自气体溶解喷嘴20的臭氧水也可以从第二气液分离器16的下部进入。在该情况下，优选气体溶解喷嘴20设置于第二气液分离器16的下部。
作为升压泵18，能够使用例如离心泵、波纹管泵、隔膜泵等。升压泵18的与臭氧水、臭氧气体接触的部分由具有对臭氧水、臭氧气体的耐性的材料(例如氟树脂等)构成。作为气体溶解喷嘴20，能够使用例如喷射器、吸入器。喷射器、吸入器能够利用文丘里效应使臭氧气体溶解于纯水。在使用了喷射器、吸入器的情况下，与使用了中空纤维膜的臭氧溶解槽相比，不需要定期更换，溶解率也提高。此外，气体溶解喷嘴20优选设置于升压泵18的后段。在将气体溶解喷嘴20设置于升压泵18的前段的情况下，通过向升压泵18供给气液混合水，其结果是，升压泵18的送水性能/升压性能降低，从而供给的臭氧水的流量/压力降低。
在第二气液分离器16设置有用于计测臭氧水的水位的水位传感器21。另外，在第二气液分离器16设置有用于排出未溶解的臭氧气体的排出线路22。在排出线路22设置有调整从第二气液分离器16排出的臭氧气体的压力的压力调整阀23。在本实施方式中，来自第二气液分离器16的排出线路22与来自第一气液分离器8的排气线路13连接。
在第二气液分离器16设置有用于向使用点供给臭氧水的臭氧水供给线路24。在臭氧水供给线路24设置有流量传感器25和压力传感器26，该流量传感器25测定向使用点供给的臭氧水的流量，该压力传感器26测定向使用点供给的臭氧水的压力。
在臭氧水供给线路24和液体供给线路3设置有从臭氧水供给线路24和液体供给线路3分别分支的送出线路27，送出线路27与循环供给线路9连接。在送出线路27设置有测定臭氧水的浓度的臭氧水浓度计28。在臭氧水浓度计28具有切换阀，能够兼顾测量DIW的零点时和臭氧水的浓度。
在本实施方式的臭氧水供给装置1中，通过循环供给线路9的压力调整阀11进行压力控制，以使臭氧水供给线路24的压力传感器26的值成为恒定。另外，通过中间线路17的升压泵18进行压力控制，以使臭氧水供给线路24的流量传感器25的值与中间线路17的流量传感器19的值相同。或者，通过液体供给线路3的流量调整阀6进行流量控制，以使臭氧水供给线路24的流量传感器25的值与循环供给线路9的流量传感器10的值的差和液体供给线路3的流量传感器7的值相同。而且，基于送出线路27的臭氧水浓度计28的值，通过调整器4调整气体供给线路2的气体流量，并且通过臭氧发生器5调整气体供给线路2的气体浓度(调整由臭氧发生器5进行放电的电力)，从而进行气体流量和气体浓度(臭氧气体供给量)的控制。
根据这样的第一实施方式的臭氧水供给装置1，由于升压泵18设置于第二气液分离器16的前段，因此能够提高第二气液分离器16的压力，能够实现臭氧水的高浓度化。另外，由于第二气液分离器16设置于升压泵18的后段，因此能够得到阻尼器效果，能够抑制从第二气液分离器16向使用点供给的臭氧水的送出压力的变动。
另外，在本实施方式中，能够对在使用点未使用的臭氧水进行再利用，能够削减成为臭氧水的原料的臭氧气体、DIW的使用量。在该情况下，被供给在使用点未使用的臭氧水的第一气液分离器8设置于升压泵18的前段，因此不需要用于提高未使用的臭氧水的压力的泵。
(第二实施方式)
接着，对本发明的第二实施方式的臭氧水供给装置1进行说明。这里，以第二实施方式的臭氧水供给装置1与第一实施方式的不同点为中心进行说明。在此，只要没有特别提到，则本实施方式的结构和动作与第一实施方式相同。
图2是表示本实施方式的臭氧水供给装置1的结构的说明图。如图2所示，在本实施方式中，在液体供给线路3设置有第二气体溶解喷嘴29，在第二气体溶解喷嘴29连接有来自第二气液分离器16的排出线路22。第二气体溶解喷嘴29使从第二气液分离器16排出的未溶解的剩余臭氧气体溶解于向液体供给线路3供给的纯水。从液体供给线路3向第一气液分离器8供给臭氧水。此外，来自气体溶解喷嘴29的臭氧水也可以从第一气液分离器8的上部进入。另外，来自气体溶解喷嘴29的臭氧水也可以从第一气液分离器8的下部进入。在该情况下，优选气体溶解喷嘴29设置于第一气液分离器8的下部。
在本实施方式的臭氧水供给装置1中，也与第一实施方式相同地，通过循环供给线路9的压力调整阀11进行压力控制，以使臭氧水供给线路24的压力传感器26的值成为恒定。另外，通过中间线路17的升压泵18进行流量控制，以使臭氧水供给线路24的流量传感器25的值与中间线路17的流量传感器19的值相同。或者，通过液体供给线路3的流量调整阀6进行流量控制，以使臭氧水供给线路24的流量传感器25的值与循环供给线路9的流量传感器10的值的差和液体供给线路3的流量传感器7的值相同。而且，基于送出线路27的臭氧水浓度计28的值，通过调整器4调整气体供给线路2的气体流量，并且通过臭氧发生器5调整气体供给线路2的气体浓度(调整由臭氧发生器5进行放电的电力)，从而进行气体流量和气体浓度(臭氧气体供给量)的控制。
通过这样的第二实施方式的臭氧水供给装置1，也能够起到与第一实施方式相同的作用效果。
除此之外，在本实施方式中，能够对从第二气液分离器16排出的未溶解的剩余臭氧气体进行再利用，从而能够进一步削减成为臭氧水的原料的臭氧气体的使用量。另外，在本实施方式中，与第一实施方式相比，能够进一步实现臭氧水的高浓度化。
(第三实施方式)
接着，对本发明的第三实施方式的臭氧水供给装置1进行说明。这里，以第三实施方式的臭氧水供给装置1与第二实施方式的不同点为中心进行说明。在此，只要没有特别提及，本实施方式的结构和动作与第二实施方式相同。
图3是表示本实施方式的臭氧水供给装置1的结构的说明图。如图3所示，在本实施方式中，没有设置使在使用点未使用的臭氧水循环并向第一气液分离器8供给该臭氧水的循环供给线路9。因此，与第一实施方式和第二实施方式相比，能够提高第一气液分离器8的压力，能够使臭氧水的浓度成为高浓度。
在本实施方式的臭氧水供给装置1中，通过循环供给线路9的压力调整阀11进行压力控制，以使臭氧水供给线路24的流量传感器25或压力传感器26的值成为恒定。另外，通过中间线路17的升压泵18进行流量控制，以使臭氧水供给线路24的流量传感器25的值与中间线路17的流量传感器19的值成相同，而且，通过液体供给线路3的流量调整阀6进行流量控制，以使液体供给线路3的流量传感器7的值也相同。并且，基于送出线路27的臭氧水浓度计28的值，通过调整器4调整气体供给线路2的气体流量，并且通过臭氧发生器5调整气体供给线路2的气体浓度(调整由臭氧发生器5进行放电的电力)，从而进行气体流量和气体浓度(臭氧气体供给量)的控制。
通过这样的第三实施方式的臭氧水供给装置1，也能够起到与第二实施方式相同的作用效果。
在本实施方式中，由于没有设置循环供给线路9，因此虽然不能对在使用点未使用的臭氧水进行再利用，但与第二实施方式相比，能够进一步实现高浓度化。
(第四实施方式)
接着，对本发明的第四实施方式的臭氧水供给装置1进行说明。这里，以第四实施方式的臭氧水供给装置1与第一实施方式的不同点为中心进行说明。在此，只要没有特别提及，本实施方式的结构和动作与第一实施方式相同。
图4是表示本实施方式的臭氧水供给装置1的结构的说明图。如图4所示，在本实施方式中，液体供给线路3不与第一气液分离器8连接，而与升压泵18连接。另外，臭氧水供给线路30与液体供给线路3合流，该臭氧水供给线路30供给来自第一气液分离器8的臭氧水。而且，来自第二气液分离器16的排出线路22不与排气线路13连接，而与循环供给线路9连接。
通过这样的第四实施方式的臭氧水供给装置1，也能够起到与第一实施方式相同的作用效果。
(气液分离器的内部清洗)
臭氧水供给装置1能够具备气液分离器8、16的内部清洗功能。以下，对具备气液分离器的清洗功能的臭氧水供给装置1的例子(变形例)进行说明。
(变形例1)
图5是表示第一实施方式的臭氧水供给装置1的变形例(变形例1)的结构的图。如图5所示，在该变形例1中，在供给纯水的液体供给线路3设置有阀31，在向使用点供给臭氧水的臭氧水供给线路24设置有阀32。另外，在循环供给线路9设置有阀33，该循环供给线路9使在使用点未使用的臭氧水返回臭氧水供给装置1。而且，在从第一气液分离器8向排气口的排气线路13设置有阀34，在从排气线路13分支设置的排水线路130设置有阀35。在排气线路13设置有带进一步调整开度的功能的阀36。这些阀31～36能够通过臭氧水供给装置1所具备的控制部(未图示)进行开闭控制。
在该变形例1中，在向使用点供给臭氧水的情况下，以打开阀32、阀33、阀34以及阀36，并关闭阀35的方式进行开闭控制。阀31根据由水位传感器12检测到的第一气液分离器8的水位来进行开闭控制。具体而言，以在第一气液分离器8的水位高的情况下关闭阀31，在第一气液分离器8的水位低的情况下打开阀31的方式进行开闭控制。
另一方面，在停止向使用点供给臭氧水，并对气液分离器8、16进行清洗的情况下，以打开阀31和阀35，节流阀36的开度，并关闭阀32、阀33以及阀34的方式进行开闭控制。此时，水位传感器12、21被设为解除了水位高的警报功能的状态。另外，来自气体供给线路2的臭氧气体的供给也被设为停止的状态。
当从液体供给线路3供给纯水时，通过打开阀31并节流阀36的开度，从而逐渐放出第一气液分离器8内的气体，使纯水充满第一气液分离器8。由于阀32被关闭，臭氧水浓度计28的内部的阀40也被关闭，因此第二气液分离器16的水位逐渐上升，最终第二气液分离器16被纯水充满。这样，能够通过纯水清洗第一气液分离器8和第二气液分离器16的内部。
另外，由于阀32被关闭，因此来自第二气液分离器16的纯水从排出线路22被送向排气线路13。并且从排水线路130向排水管排出，该排水线路130从排气线路13分支。
在该情况下，通过关闭阀34并打开阀35，从而来自第一气液分离器8的纯水从排水线路130向排水管排出，该排水线路130从排气线路13分支。此外，在排水线路130设置有臭氧分解器(未图示)的情况下，通过不停止臭氧气体的供给，能够不使用纯水而使用臭氧水(与纯水相比臭氧水的清洗能力较高)来清洗气液分离器8、16的内部。
根据变形例1，通过如上述那样进行阀31～36的开闭控制，能够向使用点供给臭氧水，并且能够通过纯水来清洗第一气液分离器8和第二气液分离器16的内部。
(变形例2)
接着，对第二实施方式的臭氧水供给装置1的变形例(变形例2)进行说明。这里，以变形例2与变形例1的不同点为中心进行说明。在此，只要没有特别提及，变形例2的结构和动作与变形例1相同。
图6是表示变形例2的臭氧水供给装置1的结构的图。来自第二气液分离器16的纯水从排出线路22经由喷嘴29被送至第一气液分离器8。打开阀36，来自第一气液分离器8的纯水从排水线路130向排水管排出，该排水线路130从排气线路13分支。
通过这样的变形例2，也能够与变形例1相同地进行阀31～36的开闭控制，由此，能够向使用点供给臭氧水，并且能够通过纯水来清洗第一气液分离器8和第二气液分离器16的内部。
(变形例3)
接着，对第三实施方式的臭氧水供给装置1的变形例(变形例3)进行说明。这里，以变形例3与变形例1的不同点为中心进行说明。在此，只要没有特别提及，变形例3的结构和动作与变形例1相同。
图7是表示变形例3的臭氧水供给装置1的结构的图。由于在变形例3的臭氧水供给装置1没有设置循环供给线路9，因此也没有设置设置在循环供给线路9的阀33。来自第二气液分离器16的纯水从排出线路22经由喷嘴29被送至第一气液分离器8。打开阀36，来自第一气液分离器8的纯水从排水线路130向排水管排出，该排水线路130从排气线路13分支。
通过这样的变形例3，也能够与变形例1相同地，进行阀31、32、34、35、36的开闭控制，由此，能够向使用点供给臭氧水，并且能够通过纯水来清洗第一气液分离器8和第二气液分离器16的内部。
(变形例4)
接着，对第四实施方式的臭氧水供给装置1的变形例(变形例4)进行说明。这里，以变形例4与变形例1的不同点为中心进行说明。在此，只要没有特别提及，变形例4的结构和动作与变形例1相同。
图8是表示变形例4的臭氧水供给装置1的结构的图。如图8所示，在变形例4中，在排气线路13没有设置带调整开度的功能的阀36。另一方面，在变形例4中，在来自第一气液分离器8的臭氧水供给线路30设置有阀37。
在该变形例4中，在向使用点供给臭氧水的情况下，以打开阀32、阀33、阀34以及阀37，并关闭阀35的方式进行开闭控制。阀31根据由水位传感器12检测到的第一气液分离器8的水位进行开闭控制。具体而言，以在第一气液分离器8的水位高的情况下关闭阀31，并在第一气液分离器8的水位低的情况下打开阀31的方式进行开闭控制。
另一方面，在停止向使用点供给臭氧水，并清洗气液分离器8、16的情况下，以打开阀31和阀35，并关闭阀32、阀33、阀34以及阀37的方式进行开闭控制。此时，水位传感器12、21被设为解除了水位高的警报功能的状态。另外，来自气体供给线路2的臭氧气体的供给也被设为停止的状态。
当从液体供给线路3供给纯水时，由于阀32和阀37被关闭，因此第二气液分离器16的水位逐渐上升，最终第二气液分离器16被纯水充满。这样，能够通过纯水来清洗第二气液分离器16的内部。
另外，由于阀32和阀37被关闭，因此来自第二气液分离器16的纯水从排出线路22被送至循环供给线路9。此时，由于阀33被关闭，送至循环供给线路9的纯水被向第一气液分离器8供给。并且，由于阀37被关闭，第一气液分离器8的水位也逐渐上升，最终第一气液分离器8被纯水充满。这样，能够通过纯水来清洗第一气液分离器8的内部。
在该情况下，由于阀34被关闭且阀35被打开，因此来自第一气液分离器8的纯水从排水线路130向排水管排出，该排水线路130从排气线路13分支。
通过变形例4，也能够如上述那样进行阀31～35、37的开闭控制，由此，能够向使用点供给臭氧水，并且能够通过纯水来清洗第一气液分离器8和第二气液分离器16的内部。
(其他例)
图9示出了臭氧水供给装置1的其他例。在图9的例子中，没有设置第一气液分离器8，在向第二气液分离器16供给由气体溶解喷嘴20生成的臭氧水的供给线路38设置有阀39。另外，在第二气液分离器16设置有排气线路13。
在该图9的例中，在向使用点供给臭氧水的情况下，以打开阀32、阀34以及阀39，并关闭阀35的方式进行开闭控制。阀31根据由水位传感器21检测到的第二气液分离器16的水位进行开闭控制。具体而言，以在第二气液分离器16的水位高的情况下关闭阀31，并在第二气液分离器16的水位低的情况下打开阀31的方式进行开闭控制。
另一方面，在停止向使用点供给臭氧水，并清洗第二气液分离器16的情况下，以打开阀31、阀35以及阀39，并关闭阀32和阀34的方式进行开闭控制。此时，水位传感器21被设为解除了水位高的警报功能的状态。另外，来自气体供给线路2的臭氧气体的供给也被设为停止的状态。
当从液体供给线路3供给纯水时，由于阀32被关闭，因此第二气液分离器16的水位逐渐上升，最终第二气液分离器16被纯水充满。这样，能够通过纯水来清洗第二气液分离器16的内部。
在该情况下，由于阀34被关闭且阀35被打开，因此来自第二气液分离器16的纯水从排水线路130向排水管排出，该排水线路130从排气线路13分支。
通过该图9的例子，也能够如上述那样进行阀31、32、34、35、39的开闭控制，由此，能够向使用点供给臭氧水，并且能够通过纯水来清洗第二气液分离器16的内部。
以上，通过示例对本发明的实施方式进行了说明，但本发明的范围不限于这些，能够在请求保护的范围所记载的范围内根据目的进行变更/变形。
产业上的利用可能性
如上所述，本发明的气体溶解液供给装置具有能够实现气体溶解液的高浓度化，能够抑制气体溶解液的送出压力的变动这样的效果，在用于臭氧水等的制造上是有用的。

Claims (6)

1.一种气体溶解液供给装置，其特征在于，具备：
第一气液分离器，该第一气液分离器积存气体溶解液；
第二气液分离器，该第二气液分离器设置于所述第一气液分离器的后段，并积存向使用点供给的气体溶解液；
中间线路，该中间线路设置于所述第一气液分离器与所述第二气液分离器之间；
升压泵，该升压泵设置于所述中间线路，并使从所述第一气液分离器向所述第二气液分离器供给的气体溶解液的压力上升；
气体供给线路，该气体供给线路供给成为所述气体溶解液的原料的气体；以及
气体溶解部，该气体溶解部设置于所述中间线路，并使从所述气体供给线路供给的气体溶解于从所述第一气液分离器供给的气体溶解液。
2.根据权利要求1所述的气体溶解液供给装置，其特征在于，
在所述第一气液分离器设置有循环供给线路，该循环供给线路使在使用点未使用的气体溶解液循环并供给该气体溶解液。
3.根据权利要求1所述的气体溶解液供给装置，其特征在于，
在所述第一气液分离器设置有液体供给线路，该液体供给线路供给成为所述气体溶解液的原料的液体，
在所述液体供给线路设置有第二气体溶解部，该第二气体溶解部使从所述第二气液分离器排出的未溶解的剩余气体溶解于成为所述气体溶解液的原料的液体。
4.根据权利要求1所述的气体溶解液供给装置，其特征在于，具备：
第一阀，该第一阀设置于供给成为所述气体溶解液的原料的液体的液体供给线路；
第二阀，该第二阀设置于向使用点供给所述气体溶解液的气体溶解液供给线路；
第三阀，该第三阀设置于从所述第一气液分离器向排气口的排气线路；
第四阀，该第四阀设置于排水线路，该排水线路从所述排气线路分支设置；以及
控制部，该控制部进行所述第一阀、所述第二阀、所述第三阀、所述第四阀的开闭控制，
在向所述使用点供给所述气体溶解液的情况下，所述控制部进行打开所述第一阀、所述第二阀以及所述第三阀并关闭所述第四阀的控制，
在清洗所述第一气液分离器和所述第二气液分离器的情况下，所述控制部进行关闭所述第二阀和所述第三阀并打开所述第一阀和所述第四阀的控制。
5.一种由气体溶解液供给装置执行的方法，其特征在于，
所述气体溶解液供给装置具备：
第一气液分离器，该第一气液分离器积存气体溶解液；
第二气液分离器，该第二气液分离器设置于所述第一气液分离器的后段，并积存向使用点供给的气体溶解液；
中间线路，该中间线路设置于所述第一气液分离器与所述第二气液分离器之间；以及
升压泵，该升压泵设置于所述中间线路，并使从所述第一气液分离器向所述第二气液分离器供给的气体溶解液的压力上升，
所述方法包含：
向所述中间线路供给成为所述气体溶解液的原料的气体的步骤；以及
使被供给的所述气体溶解于从所述第一气液分离器供给的气体溶解液的步骤。
6.根据权利要求5所述的由气体溶解液供给装置执行的方法，其特征在于，
所述气体溶解液供给装置具备：
第一阀，该第一阀设置于供给成为所述气体溶解液的原料的液体的液体供给线路；
第二阀，该第二阀设置于向使用点供给所述气体溶解液的气体溶解液供给线路；
第三阀，该第三阀设置于从所述第一气液分离器向排气口的排气线路；以及
第四阀，该第四阀设置于排水线路，该排水线路从所述排气线路分支设置，
在所述方法中，
在向所述使用点供给所述气体溶解液的情况下，打开所述第一阀、所述第二阀以及所述第三阀并关闭所述第四阀，
在清洗所述第一气液分离器和所述第二气液分离器的情况下，关闭所述第二阀和所述第三阀并打开所述第一阀和所述第四阀。
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