KR102102811B1

KR102102811B1 - 오존수 공급 시스템

Info

Publication number: KR102102811B1
Application number: KR1020190127113A
Authority: KR
Inventors: 전원구
Original assignee: 전원구
Priority date: 2019-10-14
Filing date: 2019-10-14
Publication date: 2020-04-22

Abstract

본 발명의 실시예에 따른 오존수 공급 시스템은, 물에 오존 가스를 용존시켜 오존수를 생성한 후 이를 필요로 하는 장치로 공급하는 오존수 공급 시스템으로, 오존수를 저장하는 오존수 탱크, 상기 오존수 탱크에 물을 공급하는 물 공급 라인, 상기 오존수 탱크에 저장된 오존수를 외부로 유출한 후 상기 오존수 탱크로 다시 유입하도록 마련된 오존수 순환 라인, 상기 오존수 순환 라인 상에 배치되고 오존 가스 발생기에 의해 생성된 오존 가스를 상기 오존수 순환 라인을 통해 순환하는 오존수에 공급하여 용존시키는 메인 용존 모듈, 및 상기 오존수 탱크 또는 상기 오존수 순환 라인에 존재하는 오존수의 일부를 분기시켜 상기 물 공급 라인을 통해 공급되는 물과 혼합시키는 오존수 분기 공급 기구를 포함한다.

Description

오존수 공급 시스템 {PESTICIDE SPRAYING APPARATUS}

본 발명은 오존수 공급 시스템에 관한 것으로서, 더 상세하게는 오존수의 생성시 오존 가스의 용존 효율을 대폭 향상시킬 수 있고, 오존 농도가 높은 오존수를 더 원활하게 생성 및 공급할 수 있는 오존수 공급 시스템에 관한 것이다.

일반적으로, 오존(ozone)은 강력한 산화력을 가지고 있어서 오래 전부터 산화제로 사용되어 왔으며, 현재는 수질 및 대기의 정화시설 외에도 여러 분야에서 살균, 탈취, 세척, 탈색 등의 용도로 널리 이용되고 있다. 즉, 최근에는 정밀화학 분야 및 전기전자 분야 등에서도 오존의 사용이 늘어나는 추세이다.

오존은 주로 액체인 물에 오존 가스를 혼합시킨 오존수의 상태로 사용하고 있다. 상기와 같은 오존수는 탈취, 살균 및 세정 등의 능력이 뛰어나고, 사용 후에도 잔유물이 남지 않는 장점이 있다. 따라서, 최근에는 반도체 소재 또는 디스플레이 소재 등의 세정 공정에 오존수를 사용하는 기술이 개발되었다.

상기와 같은 세정 공정은 물질에 묻어 있는 오염물을 제거하기 위한 공정으로서, 전기/전자, 기계/금속 등을 포함하는 다양한 산업 분야에서 필수적인 공정이다. 오존수를 이용한 세정 방식은, 황산과 염산 등의 화학약품을 이용한 세정 방식보다 안전하고 세정 이후의 후처리가 용이하기 때문에 최근에 널리 사용되는 추세이다.

한편, 오존 가스는 물에 대한 용해도가 낮아서 고농도의 오존수를 효율적으로 생산하기 어려운 문제가 있다. 그에 따라서, 오존 가스의 사용량 대비 오존수의 정화 능력을 충분히 확보하여 활용하기 어려웠다. 따라서, 최근에는 오존 가스의 용존 농도를 높이기 위한 다양한 방법이 연구 개발되고 있다.

예를 들면, 한국등록특허 제10-0973491호(발명의 명칭: 오존버블 함유 오존수 생성장치, 등록일: 2010.07.27.)에는, 오존버블을 함유하고 있는 오존수를 생성하는 장치가 개시되어 있다. 즉, 한국등록특허 제10-0973491호(발명의 명칭: 오존버블 함유 오존수 생성장치, 등록일: 2010.07.27.)에서는, 오존수에 오존 나노버블을 부가하여 세정력이 우수한 오존나노버블 함유 오존수를 생성하여 이용할 수 있다.

하지만, 기존의 다양한 기술 개발 노력에도 불구하고 오존수에 대한 오존 가스의 용존 농도를 획기적으로 높이는데 한계가 있다. 그로 인하여, 오존 가스의 사용량 대비 오존수의 생산 효율과 사용 효과를 충분히 확보하기 어렵고, 그 때문에 오존수를 생산하여 공급하는 시스템의 효율성이 전반적으로 낮아지는 문제가 있다.

한국등록특허 제10-0973491호(등록일: 2010.07.27.)

본 발명의 실시예는, 오존수의 생성시 오존 가스의 용존 효율을 대폭 높일 수 있는 오존수 공급 시스템을 제공한다.

또한, 본 발명의 실시예는, 오존 농도가 높은 오존수를 더 원활하게 생산 및 공급할 수 있는 오존수 공급 시스템을 제공한다.

또한, 본 발명의 실시예는, 오존수의 생성을 위해 공급되는 물에 미리 생성된 오존수를 혼합시켜 오존수의 생성 효율 및 전체 시스템의 성능을 증가시킬 수 있는 오존수 공급 시스템을 제공한다.

본 발명의 일실시예에 따르면, 물에 오존 가스를 용존시켜 오존수를 생성한 후 이를 필요로 하는 장치로 공급하는 오존수 공급 시스템에 있어서, 생성된 오존수의 일부를 분기시켜 물과 혼합시키는 것을 특징으로 하는 오존수 공급 시스템을 제공한다.

바람직하게, 본 발명의 일실시예에 따른 오존수 공급 시스템은, 오존수를 저장하는 오존수 탱크, 상기 오존수 탱크에 물을 공급하는 물 공급 라인, 상기 오존수 탱크에 저장된 오존수를 외부로 유출한 후 상기 오존수 탱크로 다시 유입하도록 마련된 오존수 순환 라인, 상기 오존수 순환 라인 상에 배치되고, 오존 가스 발생기에 의해 생성된 오존 가스를 상기 오존수 순환 라인을 통해 순환하는 오존수에 공급하여 용존시키는 메인 용존 모듈, 및 상기 오존수 탱크 또는 상기 오존수 순환 라인에 존재하는 오존수의 일부를 분기시켜 상기 물 공급 라인을 통해 공급되는 물과 혼합시키는 오존수 분기 공급 기구를 포함할 수 있다.

바람직하게, 상기 오존수 분기 공급 기구는, 상기 오존수 탱크 또는 상기 오존수 순환 라인에 존재하는 오존수의 일부를 분기시켜 상기 물 공급 라인으로 안내하도록 마련된 오존수 분기 라인을 포함할 수 있다.

바람직하게, 상기 오존수 분기 공급 기구는, 상기 오존수 분기 라인 상에 배치되고, 오존 가스를 공급받아 상기 오존수 분기 라인을 통해 공급되는 오존수에 용존시키는 분기 용존 모듈을 더 포함할 수 있다.

상기 분기 용존 모듈은, 상기 메인 용존 모듈에 오존 가스를 공급하는 오존 가스 발생기로부터 오존 가스를 공급 받거나, 상기 메인 용존 모듈에 오존 가스를 공급하는 오존 가스 발생기와 다른 오존 가스 발생기로부터 오존 가스를 공급 받을 수 있다.

바람직하게, 상기 오존수 분기 라인의 일단부는 상기 물 공급 라인에 연결될 수 있고, 상기 오존수 분기 라인의 타단부는 상기 오존수 탱크 또는 상기 오존수 순환 라인 중 어느 하나에 연결될 수 있다.

상기 오존수 분기 라인의 일단부는, 상기 오존수 분기 라인을 통해 공급되는 오존수를 상기 물 공급 라인의 물 유동 방향과 교차하는 방향으로 상기 물 공급 라인의 내부에 공급하도록 마련될 수 있다.

바람직하게, 상기 오존수 분기 공급 기구는, 상기 오존수 분기 라인의 일단부에 배치되고 상기 물 공급 라인의 내부에 와류가 발생하도록 상기 오존수 분기 라인을 통해 공급되는 오존수를 상기 물 공급 라인의 내부에 분사시키는 오존수 분사 노즐을 더 포함할 수 있다.

상기와 같은 오존수 분사 노즐에는 와류 발생 패턴이 형성될 수 있다.

상기 오존수 분기 라인의 일단부는, 두 개의 분사 라인으로 분기되어 상기 물 공급 라인에 서로 마주보게 각각 연결될 수 있다. 여기서, 상기 오존수 분사 노즐은 상기 두 개의 분사 라인에 각각 마련될 수 있다.

바람직하게, 본 발명의 일실시예에 따른 오존수 공급 시스템은, 상기 오존수 순환 라인을 통해 순환되는 오존수를 펌핑하도록 상기 오존수 순환 라인에 마련된 오존수 펌프를 더 포함할 수 있다.

상기 오존수 분기 라인의 타단부는 상기 오존수 순환 라인에 연결될 수 있다. 이때, 상기 오존수 분기 라인과 상기 오존수 순환 라인의 연결 부위는, 상기 오존수 펌프보다 상기 오존수 순환 라인의 하류에 배치될 수 있다.

상기와 다르게, 본 발명의 일실시예에 따른 오존수 공급 시스템은, 상기 오존수 순환 라인을 통해 순환되는 오존수를 펌핑하도록 상기 오존수 순환 라인에 마련된 오존수 펌프, 및 상기 오존수 분기 라인을 통해 분기되는 오존수를 펌핑하도록 상기 오존수 분기 라인에 마련된 분기 펌프를 더 포함할 수도 있다.

바람직하게, 상기 오존수 분기 공급 기구는, 상기 분기 용존 모듈에서 생성된 오존수를 섞어 오존 농도를 더 증가시키도록 상기 오존수 분기 라인에 배치되는 믹싱 챔버를 더 포함할 수 있다.

상기 믹싱 챔버는, 상기 분기 용존 모듈보다 상기 오존수 분기 라인의 하류에 배치될 수 있다.

바람직하게, 본 발명의 일실시예에 따른 오존수 공급 시스템은, 상기 오존수 탱크에 저장된 오존수에서 배출되는 불용존 오존 가스를 상기 물 공급 라인 측으로 다시 공급하기 위한 리사이클 라인, 및 상기 물 공급 라인 상에 배치되고 상기 리사이클 라인을 통해 공급되는 불용존 오존 가스를 상기 물 공급 라인을 통해 공급되는 물에 용존시키는 리사이클 용존 모듈을 더 포함할 수 있다.

상기 오존수 분기 라인의 일단부는 상기 리사이클 용존 모듈보다 상기 물 공급 라인의 하류에 연결될 수 있다.

바람직하게, 상기 물 공급 라인의 내부에는 메쉬 부재가 마련될 수 있다. 상기와 같은 메쉬 부재는 상기 오존수 분기 라인과 상기 물 공급 라인의 연결 지점과 인접하도록 배치되되 상기 연결 지점보다 상기 물 공급 라인의 하류에 배치될 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 오존수 공급 시스템은, 미리 생성된 오존수의 일부를 분기시켜 오존수의 생성을 위해 공급되는 물에 혼합시키는 구조이므로, 오존수 생성 모드에서 오존 가스의 용존 효율을 대폭 증가시킬 수 있고, 오존 농도가 높은 오존수를 더 원활하게 생성 및 공급할 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 오존수 공급 시스템은, 오존수 탱크 또는 오존수 순환 라인에 존재하는 오존수의 일부를 분기시켜 물 공급 라인을 통해 공급되는 물과 혼합시키는 구조이므로, 오존수를 이용하여 오존수의 생성을 위해 공급되는 물에 오존 가스를 미리 용존시킬 수 있고, 오존수와 혼합된 물을 이용하여 오존수를 생성하기 때문에 오존수의 생성 효율 및 전체 시스템의 성능을 증가시킬 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 오존수 공급 시스템은, 오존수 탱크 또는 오존수 순환 라인에 존재하는 오존수의 일부를 분기하여 오존수 분기 라인을 통해 물 공급 라인에 공급하되, 분기 용존 모듈이 오존수 분기 라인을 통해 분기된 오존수에 오존 가스를 추가적으로 더 용존시키는 구조이므로, 높은 오존 농도의 오존수를 물 공급 라인에 공급할 수 있고, 오존 농도가 높은 오존수를 물과 혼합시키는 과정에서 오존 가스를 물에 더욱 효과적으로 용존시킬 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 오존수 공급 시스템은, 오존수 분사 노즐을 이용하여 오존수 분기 라인을 통해 공급되는 오존수를 물 공급 라인의 내부에 분사하는 구조이므로, 물 공급 라인의 내부에 와류 및 기포를 발생시킬 수 있고, 그로 인해서 오존 가스의 용존 효율을 효과적으로 높일 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 오존수 공급 시스템은, 오존수 분사 라인을 두 개의 분사 라인으로 분기하여 물 공급 라인에 서로 마주보게 각각 연결한 구조이므로, 서로 마주보게 배치된 두 개의 분사 라인을 통해 공급되는 오존수가 물 공급 라인의 내부에서 와류를 더욱 강하게 생성할 수 있고, 와류의 강도 증가로 인해서 물질 전달 효율이 향상하여 오존 가스의 용존 효율을 극대화시킬 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 오존수 공급 시스템은, 물 공급 라인의 내부에 메쉬 부재를 배치하되 오존수 분기 라인과 물 공급 라인의 연결 지점보다 하류에 인접하게 배치한 구조이므로, 오존수 분기 라인을 통해 공급된 오존수가 물 공급 라인을 통해 공급되는 물과 혼합된 상태에서 메쉬 부재를 통과하면서 기포가 발생할 수 있고, 그에 따라 오존 가스와 물의 기액 접촉면이 증가하여 물질 전달 효율을 높일 수 있다. 따라서, 본 실시예에서는 메쉬 부재를 통과하는 과정에서 오존수의 내부에 오존 가스의 기포가 발생하여 오존 가스의 용존 효율을 향상시킬 수 있고, 오존수의 생산 효율을 높일 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 오존수 공급 시스템은, 오존수 분기 라인을 통해 공급되는 오존수의 오존 농도를 분기 용존 모듈에서 더욱 높인 후 그 오존수를 믹싱 챔버에서 다시금 섞어 주는 구조이므로, 분기 용존 모듈에서 생성된 오존수를 믹싱하여 오존수에 포함된 기포 형태의 오존 가스를 오존수에 다시금 용존시킬 수 있다. 따라서, 본 실시예에서는, 오존수 분기 라인을 통해 물 공급 라인으로 공급되는 오존수의 오존 농도를 더욱 높일 수 있고, 오존수에 용존되지 못하고 배출되는 불용존 오존 가스의 발생량도 대폭 감소시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 오존수 공급 시스템이 개략적으로 도시된 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 오존수 공급 시스템을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 3는 도 2에 도시된 오존수 공급 시스템의 주요부를 나타낸 도면이다.
도 4는 도 3에 도시된 'A' 부분을 나타낸 단면도이다.
도 5는 도 4에 도시된 B-B선에 따른 단면을 나타낸 도면이다.
도 6은 도 3에 도시된 분기 용존 모듈을 나타낸 측면도이다.
도 7은 도 6에 도시된 분기 용존 모듈의 내부 구조를 나타낸 도면이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 오존수 공급 시스템의 주요부가 개략적으로 도시된 도면이다.

이하에서, 본 발명에 따른 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 그러나, 본 발명이 실시예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 각 도면에 제시된 동일한 참조 부호는 동일한 부재를 나타낸다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 오존수 공급 시스템(10)이 개략적으로 도시된 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 오존수 공급 시스템(10)을 개략적으로 나타낸 도면이며, 도 3는 도 2에 도시된 오존수 공급 시스템(10)의 주요부를 나타낸 도면이다. 도 4는 도 3에 도시된 'A' 부분을 나타낸 단면도이고, 도 5는 도 4에 도시된 B-B선에 따른 단면을 나타낸 도면이다. 도 6은 도 3에 도시된 분기 용존 모듈(1200)을 나타낸 측면도이고, 도 7은 도 6에 도시된 분기 용존 모듈(1200)의 내부 구조를 나타낸 도면이다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 오존수 공급 시스템(10)은 오존수 탱크(100), 물 공급 라인(200), 오존 가스 발생기(300), 오존 공급 라인(400), 오존수 순환 라인(500), 메인 용존 모듈(600), 오존수 배출 라인(700), 리사이클 라인(800), 리사이클 용존 모듈(900), 및 오존수 분기 공급 기구(1000)를 포함할 수 있다.

본 실시예의 오존수 공급 시스템(10)은 물(DW)에 오존 가스(OZ)을 용존시켜 오존수(OW)를 생성한 후 이를 필요로 하는 외부 장치로 공급하기 위한 장치이다. 예를 들면, 오존수 공급 시스템(10)에 의해 오존수(OW)를 공급 받는 외부 장치로는, 반도체 소재 또는 디스플레이 부재의 제조시 세정 공정에 사용되는 오존수 세정 장치가 대표적이다.

한편, 본 실시예의 오존수 공급 시스템(10)은, 오존수 생성 모드, 오존수 배출 모드, 물 공급 모드, 리사이클 모드, 또는 오존수 분기 공급 모드 등을 적절하게 조합하여 작동할 수 있다. 오존수 생성 모드는 원하는 오존 농도의 오존수(OW)을 생성하는 모드이고, 오존수 배출 모드는 오존수 탱크(100)에 저장된 오존수(OW)를 외부 장치로 배출하는 모드이며, 물 공급 모드는 오존수(OW)의 생성에 사용되는 물(DW)을 오존수 탱크(100)에 공급하는 모드이고, 리사이클 모드는 오존수 탱크(100)에 저장된 오존수(OW)에서 배출되는 불용존 오존 가스(OZ')를 오존수 탱크(100)에 공급되는 물(DW)에 다시 공급하여 용존시키는 모드이며, 오존수 분기 공급 모드는 기생성된 오존수(OW)를 오존수 탱크(100)에 공급되는 물(DW)에 혼합시키는 모드이다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 실시예의 오존수 탱크(100)는 오존수(OW)를 저장하기 위한 수단이다. 상기와 같은 오존수 탱크(100)의 내부에는 외부 장치에 공급하기 위한 오존수(OW)가 저장될 수 있다.

오존수 탱크(100)에는 오존수(OW)의 저장 수위를 실시간으로 측정하기 위한 오존수 수위 감지부(110)가 마련될 수 있다. 상기와 같은 오존수 수위 감지부(110)는 다양한 종류의 수위 감지 센서(112)로 구성될 수 있다. 일례로, 오존수 수위 감지부(110)의 수위 감지 센서(112)로는 플로팅 센서, 초음파 센서, 또는 정전용량형 센서 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 한편, 본 실시예에서는, 수위 감지 센서(112)가 오존수 탱크(100)의 상부와 하부에 양단부가 연결된 수위 감지 라인(114)에 배치되는 것으로 설명하지만, 이에 한정되는 것은 아니며 오존수 탱크(100)에 직접 설치될 수도 있다.

오존수 탱크(100)의 상부에는 오존수(OW)에서 배출된 불용존 오존 가스(OZ')를 정화시켜 외부로 배출하기 위한 오존 가스 킬러부(120)가 마련될 수 있다. 상기와 같은 오존 가스 킬러부(120)는, 오존수 탱크(100)의 내부에 저장된 불용존 오존 가스(OZ')를 외부에 배출할 필요가 있을 때 사용되는 장치로서, 불용존 오존 가스(OZ')를 사람과 환경에 무해한 산소나 물 등으로 분해하여 외부로 배출시킬 수 있다.

여기서, 오존 가스 킬러부(120)는 오존수 탱크(100)의 상부에 연결된 오존 가스 배출 라인(122)에 배치될 수 있다. 오존 가스 배출 라인(122)에는 불용존 오존 가스(OZ')의 배출을 제어하기 위한 오존 가스 배출 밸브(124)가 마련될 수 있다. 상기와 같은 오존 가스 배출 밸브(124)는, 불용존 오존 가스(OZ')의 배출이 필요한 경우에만 선택적으로 개방되거나, 또는 불용존 오존 가스(OZ')를 소정량만 상시 배출하도록 적정 크기의 개도량으로 개방 및 유지될 수도 있다.

도 1 내지 도 5을 참조하면, 본 실시예의 물 공급 라인(200)은 오존수 탱크(100)에 공급되는 물(DW)을 안내하기 위한 유로이다. 상기와 같은 물 공급 라인(200)은 파이프 또는 호스 등으로 형성될 수 있다. 물 공급 라인(200)의 일단부는 오존수 탱크(100)에 연결될 수 있고, 물 공급 라인(200)의 타단부는 물을 설정 수압으로 공급하기 위한 물 공급원(미도시)에 연결될 수 있다. 일례로, 물 공급원은, 오존수 탱크(100)에 공급되는 물(DW)을 저장하는 물 탱크, 및 물 탱크에 저장된 물을 물 공급 라인(200)으로 펌핑하는 물 공급 펌프를 포함할 수 있다.

물 공급 라인(200)을 통해 공급되는 물(DW)은, '순수' 또는 '초순수'라고 불리는 탈이온수(DIW, deionized water)를 사용하는 것이 바람직하다. 상기와 같은 탈이온수는 용해되어 있는 이온을 모두 제거한 물이다.

물 공급 라인(200)에는 물 공급 라인(200)을 통한 물(DW)의 공급을 조절하기 위한 물 공급 밸브(210)가 마련될 수 있다. 즉, 물 공급 밸브(210)의 개폐를 조절하여 물 공급 라인(200)을 통한 물(DW)의 공급 여부를 결정하거나, 또는 물 공급 밸브(210)의 개도량을 조절하여 물 공급 라인(200)을 통한 물(DW)의 공급량을 결정할 수 있다.

한편, 본 발명의 일실시예에 따른 오존수 공급 시스템(10)은, 물 공급 라인(200)의 물 유동 방향을 기준으로 리사이클 용존 모듈(900)의 상류에 위치한 열교환기(220)를 더 포함할 수 있다.

즉, 열교환기(220)는 물 공급 라인(200) 상에 배치하되, 리사이클 용존 모듈(900)을 향해 유동되는 물(DW)의 온도를 감소시킬 수 있다. 도 2를 기준으로 설명하면, 물 공급 라인(200)의 물 유동 방향이 물 공급 라인(200)의 좌측에서 우측을 향해 설정될 수 있고, 열교환기(220)와 리사이클 용존 모듈(900)이 물 공급 라인(200) 상에 물 유동 방향을 따라 서로 이격되게 배치될 수 있다.

열교환기(220)는 물 공급 라인(200)을 따라 리사이클 용존 모듈(900)로 공급되는 물(DW)의 온도를 낮춤으로써, 메인 용존 모듈(600), 리사이클 용존 모듈(900) 및 분기 용존 모듈(1200)의 성능을 대폭 향상시킬 수 있다. 즉, 메인 용존 모듈(600), 리사이클 용존 모듈(900) 및 분기 용존 모듈(1200)에 사용되는 물(DW)의 온도가 낮아지면, 물(DW)에 용존되는 오존 가스(OZ)의 용존량이 증가될 수 있고, 뿐만 아니라 오존 가스(OZ)가 물(DW)에 용존된 상태에서 안정적으로 유지될 수 있다.

참고로, 도 2에 도시된 도면부호 'CW1'와 'CW2'는 열교환기(220)에 제공되는 냉각 매체를 나타낸다.

도 2 내지 도 3을 참조하면, 본 실시예의 오존 가스 발생기(300)는 오존수(OW)의 생성에 사용하기 위한 오존 가스(OZ)를 발생시키기 위한 장치이다. 오존 가스 발생기(300)는 오존 가스(OZ)의 생성 방법에 따라 다양한 종류가 존재한다. 본 실시예에서는 오존 가스(OZ)의 생성이 가능한 모든 종류의 오존 가스 발생기(300)가 사용될 수 있다. 이하, 본 실시예에서는 오존 가스 발생기(300)가 질소 가스(N) 및 산소 가스(O)를 전달 받아 오존 가스(OZ)를 생성하는 것으로 설명한다.

오존 가스 발생기(300)의 일측에는, 질소 가스(N)를 내부로 공급받기 위한 질소 공급 라인(310) 및 산소 가스(O)를 외부에서 공급받기 위한 산소 공급 라인(320)이 연결될 수 있다. 질소 공급 라인(310)과 산소 공급 라인(320)에는, 질소 가스(N) 및 산소 가스(O)를 일정한 공급 압력으로 제공하기 위한 레귤레이터(312, 322)가 각각 배치될 수 있고, 질소 가스(N) 및 산소 가스(O)의 유량 측정 및 유량 제어를 위한 질량 유체 제어기(MFC, mass flow controller)(314, 324)가 각각 배치될 수 있다.

오존 가스 발생기(300)의 타측에는, 오존 가스(OZ)를 외부로 배출하기 위한 오존 가스 배출구(미도시)가 마련될 수 있다. 오존 가스 배출구는 오존 공급 라인(400)를 통해 메인 용존 모듈(600)에 연통되게 연결될 수 있다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 실시예의 오존 공급 라인(400)은, 오존 가스 발생기(300)에서 생성된 오존 가스(OZ)를 메인 용존 모듈(600)로 안내하기 위한 유로이다. 즉, 오존 공급 라인(400)의 일단부는 메인 용존 모듈(600)에 연결될 수 있고, 오존 공급 라인(400)의 타단부는 오존 가스 발생기(300)의 오존 가스 배출구에 연결될 수 있다. 상기와 같은 오존 공급 라인(400)에도 오존 가스(OZ)를 일정한 공급 압력으로 제공하기 위한 오존 가스 레귤레이터(410)가 배치될 수 있다.

한편, 본 실시예와 다르게, 오존 공급 라인(400)이 생략되고, 오존 가스 발생기(300)의 오존 가스 배출구가 메인 용존 모듈(600)에 직접 연결되는 것도 가능하다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 실시예의 오존수 순환 라인(500)은, 오존수 탱크(100)에 저장된 오존수를 외부로 유출한 후 오존수 탱크(100)로 다시 유입시키기 위한 유로이다. 오존수 순환 라인(500)은 오존수 탱크(100)에 저장된 오존수(OW)의 일부를 연속적으로 순환할 수 있는 형상으로 마련될 수 있다.

즉, 오존수 순환 라인(500)의 하단부는 오존수 탱크(100)의 하부에 연결될 수 있고, 오존수 순환 라인(500)의 상단부는 오존수 탱크(100)의 상부에 연결될 수 있다. 따라서, 오존수 탱크(100)에 저장된 오존수(OW)는, 오존수 순환 라인(500)의 하단부로 유출될 수 있고, 오존수 순환 라인(500)을 따라 유동된 후 오존수 순환 라인(500)의 상단부를 통해 오존수 탱크(100)의 내부로 유입될 수 있다.

여기서, 오존수 순환 라인(500)에는 오존수 순환 라인(500)을 통해 유동되는 오존수(OW)를 펌핑하기 위한 오존수 펌프(510)가 배치될 수 있다. 오존수 펌프(510)는 오존수 순환 라인(500)에 마련되되, 메인 용존 모듈(600)보다 오존수 순환 라인(500)의 상류에 배치될 수 있다. 따라서, 오존수 펌프(510)에 의해 펌핑된 오존수(OW)가, 메인 용존 모듈(600)에 공급될 수 있다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 실시예의 메인 용존 모듈(600)은 오존 가스 발생기(300)에 의해 생성되는 오존 가스(OZ)를 오존수 순환 라인(500)을 통해 순환하는 오존수(OW)에 공급하여 용존시키기 위한 장치이다. 메인 용존 모듈(600)은 오존수 순환 라인(500) 상에 배치되되, 오존 공급 라인(400)과 연결될 수 있다.

예를 들면, 메인 용존 모듈(600)은, 내부 유로를 따라 유동되는 오존수(OW)에 오존 공급 라인(400)을 통해 공급되는 오존 가스(OZ)를 안내하도록 오존 공급 라인(400)의 일단부와 연결되는 오존수 생성 인젝터(미도시)를 포함할 수 있다. 여기서, 오존수 생성 인젝터는 오존수 순환 라인(500)에 배치된 벤츄리 인젝터(venturi injector)로 제공될 수 있다. 상기와 같은 오존 생성 인젝터의 일측에는 내부 유로를 통과하는 오존수(0W)에 오존 가스(OZ)를 공급하기 위하여 오존 공급 라인(400)의 일단부가 연결될 수 있다.

상기와 같은 메인 용존 모듈(600)은, 오존수 순환 라인(500)을 통해 순환하는 오존수(OW)에 오존 공급 라인(400)을 통해 공급되는 오존 가스(OZ)를 용존시켜 오존수(OW)를 생성할 수 있다. 이때, 메인 용존 모듈(600)은 오존수 순환 라인(500)을 따라 순환되는 오존수(OW)에 오존 가스(OZ)를 지속적으로 공급함으로써, 오존수 탱크(100)에 저장된 오존수(OW)의 오존 농도를 원하는 수준까지 증가시킬 수 있다.

또한, 메인 용존 모듈(600)에는 오존수 순환 라인(500)을 통해 유동되는 오존수(OW)의 pH 농도를 조절하기 위한 pH 조절기(670)가 마련될 수 있다. pH 조절기(670)는 메인 용존 모듈(600)에 이산화탄소(CO₂)(C)를 공급하도록 메인 용존 모듈(600)에 연결될 수 있다. 즉, pH 조절기(670)가 메인 용존 모듈(600)에 이산화탄소(C)를 공급함에 따라 메인 용존 모듈(600)에서 생산되는 오존수(OW)의 pH 농도를 원하는 수준으로 적절하게 하락시킬 수 있다.

한편, 본 발명의 일실시예에 따른 오존수 공급 시스템(10)은, 오존수 탱크(100)에 저장된 오존수(OW)의 오존 농도를 측정하기 위한 오존 농도 측정기(680)를 더 포함할 수 있다. 따라서, 메인 용존 모듈(600)의 작동 여부는 오존 농도 측정기(680)의 측정값에 따라 제어될 수 있다.

상기와 같은 오존 농도 측정기(680)는 농도 측정 라인(690)에 배치될 수 있다. 따라서, 오존 농도 측정기(680)는 오존 농도 측정 라인(690)을 따라 유동되는 오존수(OW)를 측정하여 오존수 탱크(100)에 저장된 오존수(OW)의 오존 농도를 실시간으로 확인할 수 있다.

농도 측정 라인(690)의 일단부는 오존수 탱크(100)에 연결될 수 있고, 농도 측정 라인(690)의 타단부는 오존수 순환 라인(500), 오존수 배출 라인(700) 또는 오존수 탱크(100) 중 어느 하나에 연결될 수 있다. 이하, 본 실시예에서는 농도 측정 라인(690)의 타단부가 오존수 배출 라인(700)에 연결되는 것으로 설명한다.

또한, 농도 측정 라인(690)에는 농도 측정 라인(690)을 개폐하기 위한 농도 측정 밸브(692)가 배치될 수 있다. 상기와 같은 농도 측정 밸브(692)는, 오존수 탱크(100)에 저장된 오존수(OW)의 오존 농도를 측정하려는 경우에만 개방될 수 있고, 오존수 탱크(100)에 저장된 오존수(OW)의 오존 농도를 측정하지 않는 경우에는 폐쇄될 수 있다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 실시예의 오존수 배출 라인(700)은 오존수 탱크(100)에 저장된 오존수(OW)를 외부 장치로 배출하기 위한 유로이다. 오존수 배출 라인(700)의 일단부는 오존수 순환 라인(500)에 연결될 수 있고, 오존수 배출 라인(700)의 타단부는 오존수(OW)를 필요로 하는 외부 장치에 연결될 수 있다.

상기와 같은 오존수 배출 라인(700)의 일단부는, 오존수 펌프(510)와 메인 용존 모듈(600)의 사이에 위치한 오존수 순환 라인(500)에 연결될 수 있다. 따라서, 오존수 펌프(510)에 의해 펌핑된 오존수(OW)가 오존수 배출 라인(700)을 통해 배출될 수 있다.

여기서, 오존수 배출 라인(700)에는 오존수 배출 밸브(710)가 배치될 수 있다. 오존수 배출 밸브(710)는 오존수 배출 라인(700)을 개폐시켜 오존수 배출 라인(700)을 통한 오존수(OW)의 배출 여부를 제어할 수 있다.

그리고, 오존수 배출 라인(700)에는 오존수 유량 센서(720)가 배치될 수 있다. 즉, 오존수 유량 센서(720)는 오존수 배출 라인(700)을 따라 외부 장치로 배출되는 오존수(OW)의 배출량을 실시간으로 감지할 수 있다.

한편, 오존수 배출 라인(700)에는 오존수 배출 밸브(710)와 오존수 유량 센서(720)의 하류에 3방향 개폐 밸브(730)가 배치될 수 있다. 3방향 개폐 밸브(730)와 오존수 탱크(100)에는 서브 배출 라인(740)이 연결될 수 있다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 실시예의 리사이클 라인(800)은 오존수 탱크(100)에 저장된 오존수(OW)에서 배출되는 불용존 오존 가스(OZ')를 물 공급 라인(200) 측으로 다시 공급하기 위한 유로이다.

리사이클 라인(800)의 일단부는 리사이클 용존 모듈(900)에 연결될 수 있고, 리사이클 라인(800)의 타단부는 오존수 탱크(100)의 상부에 연결될 수 있다. 따라서, 오존수 탱크(100)에 저장된 오존수(OW)에서 불용존 오존 가스(OZ')가 배출되면, 불용존 오존 가스(OZ')는 오존수 탱크(100)의 상부에서 리사이클 라인(800)의 타단부로 유입된 후 리사이클 용존 모듈(900)에 공급될 수 있다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 실시예의 리사이클 용존 모듈(900)은 리사이클 라인(800)을 통해 공급되는 불용존 오존 가스(OZ')를 물 공급 라인(200)을 통해 공급되는 물(DW)에 용존시키기 위한 장치이다. 리사이클 용존 모듈(900)은 물 공급 라인(200) 상에 배치되되, 리사이클 라인(800)과 연결될 수 있다.

예를 들면, 리사이클 용존 모듈(900)은, 내부 유로를 따라 유동되는 물(DW)에 리사이클 라인(800)을 통해 공급되는 불용존 오존 가스(OZ')를 안내하도록 리사이클 라인(800)의 일단부와 연결되는 리사이클 인젝터(미도시)를 포함할 수 있다. 여기서, 리사이클 인젝터는 벤츄리 인젝터(venturi injector)로 제공될 수 있다. 상기와 같은 리사이클 인젝터의 일측에는, 내부 유로를 통과하는 물(DW)에 불용존 오존 가스(OZ')를 공급하기 위하여 리사이클 라인(800)의 일단부가 연결될 수 있다.

상기와 같은 리사이클 용존 모듈(900)은, 물 공급 라인(200)을 통해 유동되는 물(DW)에 리사이클 라인(800)을 통해 공급되는 불용존 오존 가스(OZ')를 용존시켜 불용존 오존 가스(OZ')가 용존된 오존수(OW')를 생성할 수 있다.

즉, 오존수 공급 시스템(10)의 리사이클 모드에서는, 리사이클 라인(800)과 리사이클 용존 모듈(900)가 오존수 탱크(100)에 저장된 오존수(OW)에서 배출되는 불용존 오존 가스(OZ')를 버리지 않고 다시 재활용할 수 있다. 상기와 같이 물 공급 라인(200)을 따라 오존수 탱크(100)에 공급되는 물(DW)에 불용존 오존 가스(OZ')를 용존시키면, 오존수 생성 모드의 효율을 향상시킬 수 있고, 오존수(OW)의 생성에 사용되는 오존 가스(OZ)의 낭비를 방지할 수 있다.

도 1 내지 도 7을 참조하면, 본 실시예의 오존수 분기 공급 기구(1000)는, 오존수 탱크(100) 또는 오존수 순환 라인(500)에 존재하는 오존수(OW)의 일부를 분기시켜 물 공급 라인(200)을 통해 공급되는 물(DW)과 혼합시키는 장치이다. 상기와 같이 오존수 분기 공급 기구(1000)가 미리 생성된 오존수(OW)의 일부를 분기시켜 물(DW)과 혼합시키면, 오존수(OW)의 생성시 사용되는 물(DW)에 오존 가스(OZ)를 미리 용존시킬 수 있고, 그로 인하여 오존 가스(OZ)의 용존 효율 및 오존수(OW)의 오존 농도를 단시간에 극대화시킬 수 있다.

따라서, 물 공급 라인(200)를 통해 공급되는 물(DW)은, 리사이클 용존 모듈(900)에 의해 불용존 오존 가스(OZ')를 용존시킨 상태에서 오존수 분기 공급 기구(1000)에 의해 공급되는 오존수(OW)와 혼합될 수 있다. 즉, 불용존 오존 가스(OZ')와 오존 가스(OZ)를 일정 수준으로 용존시킨 오존수(OW)가, 물 공급 라인(200)를 통해 오존수 탱크(100)의 내부에 최종적으로 유입될 수 있다. 그로 인해서, 오존수 공급 시스템(10)은 원하는 수준의 오존 농도를 갖는 오존수(OW)를 원활하게 생성할 수 있다.

예들 들면, 오존수 분기 공급 기구(1000)는 오존수 분기 라인(1100), 분기 용존 모듈(1200), 및 오존수 분사 노즐(1300)을 포함할 수 있다.

도 2 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 오존수 분기 라인(1100)은 오존수 순환 라인(500)에 존재하는 오존수(OW)의 일부를 분기시켜 물 공급 라인(200)으로 안내하는 유로이다. 상기와 같은 오존수 분기 라인(1100)은 오존수 공급 시스템(10)에 적어도 하나가 마련될 수 있지만, 본 실시예에서는 두 개의 오존수 분기 라인(1100)이 마련된 것으로 설명한다. 이때, 분기 용존 모듈(1200)과 오존수 분사 노즐(1300)은 두 개의 오존수 분기 라인(1100)에 개별적으로 각각 마련될 수 있다.

오존수 분기 라인(1100)의 일단부는 물 공급 라인(200)에 연결될 수 있고, 오존수 분기 라인(1100)의 타단부는 오존수 순환 라인(500)에 연결될 수 있다. 따라서, 오존수 분기 라인(1100)의 일단부에는 오존수(OW)를 배출하기 위한 배출구(미도시)가 형성될 수 있고, 오존수 분기 라인(1100)의 타단부에는 오존수(OW)를 유입받기 위한 유입구(미도시)가 형성될 수 있다.

여기서, 오존수 분기 라인(1100)의 일단부는 오존수 분기 라인(1100)을 통해 공급되는 오존수(OW)를 물 공급 라인(200)의 내부에 공급하도록 마련될 수 있다. 이때, 오존수 분기 라인(1100)의 일단부는 물 공급 라인(200)의 물 유동 방향과 교차하는 방향으로 물 공급 라인(200)의 내부에 공급될 수 있다.

상기와 같이 오존수 분기 라인(1100)의 일단부에서 공급되는 오존수(OW)가 물 공급 라인(200)을 통해 공급되는 물(DW)의 유동 방향과 교차되는 방향으로 공급되면, 오존수(OW)와 물(DW)의 유동 방향이 서로 다르기 때문에 오존수(OW)와 물(DW)이 복잡하게 섞이면서 강한 와류를 발생시킬 수 있고, 오존수(OW)와 물(DW)의 혼합으로 인해서 오존 가스(OZ)의 용존 효율을 높일 수 있다. 이하, 본 실시예에서는 오존수 분기 라인(1100)의 일단부가 물 공급 라인(200)의 물 유동 방향과 직교되는 방향으로 오존수(OW)를 공급하는 것으로 설명한다.

그리고, 오존수 분기 라인(1100)의 일단부는 리사이클 용존 모듈(900)보다 물 공급 라인(200)의 하류에 연결될 수 있다. 따라서, 물 공급 라인(200)을 통해 공급되는 물(DW)은, 리사이클 용존 모듈(900)을 거치면서 불용존 오존 가스(OZ')를 용존할 수 있고, 그 다음으로 오존수 분기 라인(1100)에서 공급되는 오존수(OW)와 혼합하여 오존수(OW)에 용존되지 못한 오존 가스(OZ)를 추가적으로 용존할 수 있다.

또한, 오존수 분기 라인(1100)의 일단부는 두 개의 분사 라인(1120, 1140)으로 분기될 수 있다. 하지만, 이에 한정되는 것은 아니며, 오존수 공급 시스템(10)의 설계 조건 및 상황에 따라 오존수 분기 라인(1100)의 일단부가 분기되지 않거나 3개 이상의 분사 라인으로 분기될 수도 있다.

예를 들면, 오존수 분기 라인(1100)의 일단부는 제1 분사 라인(1120)과 제2 분사 라인(1140)으로 분기될 수 있다. 제1 분사 라인(1120)과 제2 분사 라인(1140)의 배출구는 물 공급 라인(200)에 서로 마주보게 각각 연결될 수 있다. 여기서, 제1 분사 라인(1120)과 제2 분사 라인(1140)의 배출구에는 오존수 분사 노즐(1300)이 각각 마련될 수 있다.

한편, 오존수 분기 라인(1100)의 타단부는 오존수 순환 라인(500)에 연결될 수 있다. 이때, 오존수 분기 라인(1100)과 오존수 순환 라인(500)의 연결 부위는 오존수 펌프(510)보다 오존수 순환 라인(500)의 하류에 배치될 수 있다. 따라서, 오존수 분기 라인(1100)을 통해 분기되는 오존수(OW)는 오존수 펌프(510)에 의해 펌핑된 상태로 물 공급 라인(200)의 내부에 공급될 수 있다.

도 2, 도 3, 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 분기 용존 모듈(1200)은 오존 가스 발생기(300)에 의해 생성된 오존 가스(OZ)를 오존수 분기 라인(1100)을 통해 공급되는 오존수(OW)에 공급하여 용존시키기 위한 장치이다. 분기 용존 모듈(1200)은 오존수 분기 라인(1100) 상에 배치되되, 오존 공급 라인(400)과 연결될 수 있다. 일례로, 본 실시예에서는 분기 용존 모듈(1200)이 두 개의 오존수 분기 라인(1100)에 각각 배치된 것으로 설명한다.

분기 용존 모듈(1200)은, 오존 가스 발생기(300)에 의해 생성된 오존 가스(OZ)를 공급하여 오존수 분기 라인(1100)을 통과하는 오존수(OW)의 오존 농도를 더 높일 수 있다. 상기와 같은 분기 용존 모듈(1200)의 내부에는 오존수 분기 라인(1100)과 연통되는 내부 유로(1200a)가 형성될 수 있다.

한편, 분기 용존 모듈(1200)은, 오존 가스 발생기(300)에 의해 생성된 오존 가스(OZ)를 내부 유로(1200a)로 안내하도록 오존 공급 라인(400)과 연결되는 벤츄리 인젝터(venturi injector)로 제공될 수 있다. 상기와 같은 벤츄리 인젝터의 일측에는 내부 유로(1200a)를 통과하는 오존수(0W)에 오존 가스(OZ)를 공급하기 위한 오존 공급 라인(400)의 일단부가 연결될 수 있다.

본 실시예에서는 분기 용존 모듈(1200)이 메인 용존 모듈(600)에 오존 가스(OZ)를 공급하는 오존 가스 발생기(300)로부터 오존 가스(OZ)를 공급 받을 수 있다. 따라서, 분기 용존 모듈(1200)과 메인 용존 모듈(600)은 오존 가스 발생기(300)를 공용으로 사용할 수 있다.여기서, 오존 공급 라인(400)의 일단부는 메인 용존 모듈(600)과 분기 용존 모듈(1200)에 오존 가스(OZ)를 함께 공급하도록 복수개로 분기되어 메인 용존 모듈(600)과 분기 용존 모듈(1200)에 각각 연결될 수 있다.

예를 들면, 분기 용존 모듈(1200)은, 인젝터 유입부(1210), 인젝터 배출부(1220), 벤츄리부(1230), 및 인젝터 연결부(1240)를 포함할 수 있다.

인젝터 유입부(1210)는 오존수 분기 라인(1100)을 통해 유동되는 오존수(OW)가 유입되도록 오존수 분기 라인(1100)에 연결될 수 있다. 상기와 같은 인젝터 유입부(1210)는 오존수 분기 라인(1100)의 오존수 유동 방향으로 내부 유로(1200a)의 단면적이 감소되는 구조로 형성될 수 있다. 이때, 인젝터 유입부(1210)의 단부에는 오존수 분기 라인(1100)과 인젝터 유입부(1210)를 연결하기 위한 라인 커넥터(1250)가 체결될 수 있다.

인젝터 배출부(1220)는 내부 유로(1200a)를 통과한 오존수(OW)가 오존수 분기 라인(1100)으로 배출되도록 인젝터 유입부(1210)보다 하류에 위치된 오존수 분기 라인(1100)에 연결될 수 있다. 상기와 같은 인젝터 배출부(1220)는 오존수 분기 라인(1100)의 오존수 유동 방향으로 내부 유로(1200a)의 단면적이 확장되는 구조로 형성될 수 있다. 이때, 인젝터 배출부(1220)의 단부에는 오존수 분기 라인(1100)과 인젝터 배출부(1220)를 연결하기 위한 라인 커넥터(1250)가 체결될 수 있다.

벤츄리부(1230)는 인젝터 배출부(1220)와 인젝터 유입부(1210)를 연결하도록 인젝터 배출부(1220)와 인젝터 유입부(1210)의 사이에 형성될 수 있다. 상기와 같은 벤츄리부(1230)는 분기 용존 모듈(1200)에서 내부 유로(1200a)의 단면적이 가장 작게 형성된 관 형상으로 마련될 수 있다. 따라서, 벤츄리부(1230)에서는 내부 유로(1200a)를 따라 유동하는 오존수(OW)의 유속이 가장 빠르기 때문에 벤츄리부(1230)의 내부 압력이 벤츄리 효과에 의해 낮아질 수 있다.

인젝터 연결부(1240)는 벤츄리부(1230)에 관 형상으로 연통되게 마련될 수 있다. 상기와 같은 인젝터 연결부(1240)는 오존 공급 라인(400)의 일단부와 연통되게 연결될 수 있다. 따라서, 벤츄리부(1230)에서 오존수(OW)의 유속 증가로 인해 내부 압력이 저하되면, 인젝터 연결부(1240)는 오존 공급 라인(400)을 통해 오존 가스(OZ)을 원활하게 흡입한 후 벤츄리부(1230)에 전달할 수 있다. 참고로, 인젝터 연결부(1240)의 내부에는 체크 밸브(1260)가 배치될 수 있다.

예를 들면, 인젝터 연결부(1240)는 관형부(1242) 및 마개부(1244)를 포함할 수 있다.

여기서, 관형부(1242)는, 벤츄리부(1230)에서 관 형상으로 돌출되게 마련될 수 있고, 벤츄리부(1230)의 내부 유로(1200a)와 연통되게 연결될 수 있다. 상기와 같은 관형부(1242)는 벤츄리부(1230)의 외주부에서 벤츄리부(1230)의 중심선과 직교되는 방향으로 길게 형성될 수 있다.

그리고, 마개부(1244)는, 관형부(1242)의 단부를 덮도록 관형부(1242)에 결합될 수 있고, 오존 공급 라인(400)의 일단부와 연통되게 연결될 수 있다. 상기와 같은 마개부(1244)는 관형부(1242)에 나사 체결 방식으로 착탈 가능하게 결합될 수 있다.

도 2 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 오존수 분사 노즐(1300)은 오존수 분기 라인(1100)을 통해 공급되는 오존수(OW)를 물 공급 라인(200)의 내부에 분사시키는 장치이다. 오존수 분사 노즐(1300)은 오존수 분기 라인(1100)의 일단부에 분기된 제1 분사 라인(1120)과 제2 분사 라인(1140)에 각각 배치될 수 있다. 상기와 같이 오존수 분사 노즐(1300)이 물 공급 라인(200)의 내부로 오존수(OW)를 분사하면, 물 공급 라인(200)의 내부에 와류(V)를 더 용이하게 발생시킬 수 있고, 오존수(OW)에 용존되지 않은 오존 가스(OZ)를 기포 형태로 발생시킬 수도 있다.

여기서, 오존수 분사 노즐(1300)에는 와류 발생 패턴(미도시)이 형성될 수 있다. 상기와 같은 와류 발생 패턴은 물 공급 라인(200)의 내부에서 와류(V)의 발생을 더욱 촉진하기 위한 구조이다. 와류 발생 패턴은 오존수 분사 노즐(1300)에서 분사되는 오존수(OW)에 와류(V)를 발생시킬 수 있다. 이하, 본 실시예에서는, 와류 발생 패턴이 오존수 분사 노즐(1300)의 출구 또는 내부 유로에 마련될 수 있다.

예를 들면, 와류 발생 패턴은, 오존수(OW)를 나선형의 와류 형태로 분사하도록 오존수 분사 노즐(1300)의 내부 유로에 나선 형상의 패턴으로 마련될 수 있다. 하지만, 이에 한정되는 것은 아니며, 오존수 공급 시스템(10)의 설계 조건 및 상황에 따라 다양한 종류의 와류 발생 패턴이 오존수 분사 노즐(1300)에 구비될 수 있다.

도 4와 도 5에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 오존수 분기 공급 기구(1000)는, 물 공급 라인(200)의 내부에 마련된 메쉬 부재(1500)를 더 포함할 수 있다.

상기와 같은 메쉬 부재(1500)는 물(DW)과 오존수(OW)를 통과시키는 망 구조로 마련될 수 있다. 메쉬 부재(1500)는 물 공급 라인(200)의 내부 통로를 차단하도록 물 공급 라인(200)의 내부에 적어도 하나가 배치될 수 있다.

한편, 메쉬 부재(1500)는 오존수 분기 라인(1100)과 물 공급 라인(200)의 연결 지점에 인접하게 배치될 수 있다. 이때, 메쉬 부재(1500)는 오존수 분기 라인(1100)과 물 공급 라인(200)의 연결 지점보다 물 공급 라인(200)의 하류에 배치될 수 있다. 따라서, 메쉬 부재(1500)를 통과하는 오존수(OW)는, 물 공급 라인(200)을 통해 공급되는 물(DW)에 리사이클 용존 모듈(900)에 의해 불용존 오존 가스(OZ')를 용존시킨 후 오존수 분사 노즐(1300)에서 분사되는 오존수(OW)를 혼합한 것으로서, 메쉬 부재(1500)를 통과하는 과정에서 물(DW)에 용존되지 않은 오존 가스(OZ)의 기포를 발생시켜 오존 가스(OZ)의 용존 효율을 높일 수 있다.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 오존수 분기 공급 기구(1000)는, 분기 용존 모듈(1200)에서 생성된 오존수(OW)를 섞어 오존 농도를 더 증가시키는 믹싱 챔버(1400)를 더 포함할 수 있다.

믹싱 챔버(1400)는 두 개의 오존수 분기 라인(1100)에 개별적으로 각각 배치되되, 분기 용존 모듈(1200)보다 오존수 분기 라인(1100)의 하류에 배치될 수 있다. 따라서, 분기 용존 모듈(1200)에서 생성된 오존수(OW)는, 믹싱 챔버(1400)를 통과하는 과정에서 믹싱 챔버(1400)에 의해 오존 가스(OZ)와 다시 혼합될 수 있고, 그로 인하여 오존 가스(OZ)가 추가적으로 용존되어 오존 농도가 증가될 수 있다.

상기와 같은 믹싱 챔버(1400)는 일종의 정적 혼합 장치로서, 기체와 액체의 혼합 유체를 통과시키기 위한 믹싱 통로가 내부에 형성될 수 있다. 믹싱 챔버(1400)의 믹싱 통로는 혼합 유체의 통과시 혼합 유체의 방향 전환 및 전단 작용을 촉진하기 위한 구조로 마련될 수 있다. 따라서, 믹싱 챔버(1400)는 비교적 짧은 시간에 혼합 유체의 물질 전달 효율을 높일 수 있고, 혼합 유체의 액체와 기체를 더 혼합시킬 수 있다. 참고로, 물질 전달 효율은, 어느 한 물질에서 다른 물질로 일부가 이동하는 것을 의미하며, '물질 이동'이라고도 표현한다. 일례로, 2개의 물질에서 농도 차이가 존재하면 농도 차이를 적게하는 방향으로 물질이 이동한다. 통상의 물질 전달은 증류, 흡수, 건조, 추출, 용해, 확산 등에 의해 이루어진다.

믹싱 챔버(1400)에서는, 혼합 유체의 방향 전환 및 전단 효과로 인하여 혼합 유체가 수천개의 작은 거품을 생성할 수 있고, 그로 인하여 믹싱 챔버(1400)를 통과하는 과정에서 혼압 유체의 액체에 대한 기체의 용존율이 높아질 수 있다. 그 결과로, 분기 용존 모듈(1200)에서 생성된 오존수(OW)는, 믹싱 챔버(1400)를 통과하는 과정에서 아직 용존되지 않은 오존 가스(OZ)와 추가적으로 반응하여 오존수(OW)의 오존 농도를 높일 수 있고, 오존수(OW)의 내부에 용존되지 않고 잔류된 오존 가스(OZ)의 잔류량도 대폭 감소시킬 수 있다.

상기와 같이 구성된 본 발명의 일실시예에 따른 오존수 공급 시스템(10)의 작동 및 작용 효과를 살펴보면 다음과 같다.

먼저, 오존수 공급 시스템(10)은 물 공급 모드로 작동하여 오존수 탱크(100)의 내부에 물(DW)을 공급한다. 상기와 같은 오존수 탱크(100)에 물(DW)이 공급되면, 오존수 공급 시스템(10)은 오존수 생성 모드로 작동하여 오존수 탱크(100)에 저장된 물(DW)을 오존 가스(OZ)와 반응시켜 원하는 오존 농도로 오존수(OW)를 생성한다.

이때, 오존수 공급 시스템(10)의 오존수 배출 모드는, 오존수 탱크(100)에 저장된 오존수(OW)가 외부 장치에서 필요로 하는 오존 농도에 도달할 때까지 작동을 중단하는 것이 바람직하다. 즉, 오존수 배출 라인(700)에 배치된 오존수 배출 밸브(710)를 차폐시켜 오존수 배출 라인(700)으로 오존수(OW)의 유동을 방지한다.

오존수 공급 시스템(10)의 오존수 생성 모드에서는, 오존 가스 발생기(300)가 오존 가스(OZ)를 생성한 후 오존 공급 라인(400)을 통해 메인 용존 모듈(600)에 오존 가스(OZ)를 공급하고, 오존수 펌프(510)가 오존수 탱크(100)에 저장된 물(DW) 또는 오존수(OW)를 펌핑하여 오존수 순환 라인(500)을 따라 유동시킨다.

이때, 메인 용존 모듈(600)은 오존수 순환 라인(500)을 통해 순환되는 물(DW) 또는 오존수(OW)에 오존 공급 라인(400)을 통해 유입된 오존 가스(OZ)를 공급하고, 오존 가스(OZ)의 용존 작용으로 인하여 원하는 오존 농도로 오존수(OW)를 생성한다.

오존수 탱크(100)에 저장된 오존수(OW)는 오존수 순환 라인(500)을 따라 반복적으로 순환하면서 메인 용존 모듈(600)에서 오존 가스(OZ)의 용존이 지속적으로 이루어진다. 따라서, 오존수 탱크(100)에 저장된 오존수(OW)의 오존 농도는 오존수 생성 모드의 작동시 점진적으로 높아진다.

오존수 공급 시스템(10)은 오존 농도 측정기(680)에 측정된 오존수(OW)의 오존 농도가 원하는 설정 농도에 도달할때까지 오존수 생성 모드를 진행한다.

만약, 오존수(OW)의 오존 농도가 원하는 설정 농도에 도달하면, 오존수 공급 시스템(10)의 오존수 배출 모드를 필요한 시점에 적절하게 작동시켜 오존수(OW)를 외부 장치에 공급한다.

한편, 오존수 공급 시스템(10)은 오존수 생성 모드로 작동하는 과정에서 리스이클 모드 및 오존수 분기 공급 모드의 작동도 함께 진행할 수 있다.

오존수 탱크(100)에 저장된 오존수(OW)에서 배출된 불용존 오존 가스(OZ')는, 오존수 탱크(100)의 내부 상측에 존재하기 때문에 리사이클 라인(800)을 따라 리사이클 용존 모듈(900)로 유동한다.

리사이클 용존 모듈(900)은 불용존 오존 가스(OZ')를 물 공급 라인(200)을 통해 공급되는 물(DW)에 용존시켜 불용존 오존 가스(OZ')가 용존된 오존수(OW')를 생성한다.

상기와 같이 리사이클 용존 모듈(900)에서 생성된 불용존 오존 가스(OZ')가 용존된 오존수(OW')는, 물 공급 라인(200)을 통해 유동되는 과정에서 오존수 분기 공급 기구(1000)에 의해 오존수(OW)와 혼합된다.

즉, 오존수 순환 라인(500)을 통해 순환되는 오존수(OW)의 일부가 오존수 분기 라인(1100)을 통해 물 공급 라인(200)으로 분기되되, 오존수 분기 라인(1100)을 따라 유동되는 오존수(OW)는 분기 용존 모듈(1200)에 의해 오존 가스(OZ)가 추가적으로 용존된다. 또한, 분기 용존 모듈(1200)에 의해 오존 가스(OZ)가 추가로 용존된 오존수(OW)는, 믹싱 챔버(1400)를 거치면서 오존 가스(OZ)를 더 용존시켜 오존 농도가 더 높아질 수 있다.

상기와 같이 오존 농도가 높은 오존수(OW)는, 오존수 분기 라인(1100)을 따라 오존수 분사 노즐(1300)로 유동된 후 오존수 분사 노즐(1300)을 통해 물 공급 라인(200)의 내부로 분사된다.

이때, 물 공급 라인(200)의 내부에서는 오존수 분사 노즐(1300)에서 분사된 오존수(OW)에 의해 와류(V)가 형성되면서 오존수 분기 공급 기구(1000)에 의해 공급된 오존수(OW) 및 불용존 오존 가스(OZ')가 용존된 오존수(OW')가 원활하게 혼합된다.

그로 인해서, 물 공급 라인(200)을 통해 공급되는 물(DW)은, 리사이클 모드 및 오존수 분기 공급 모드에 의해 오존수(OW)로 변경된 상태로 오존수 탱크(100)에 공급된다.

상기와 같이 오존수 탱크(100)에 공급되는 물(DW)을 미리 일정 농도의 오존수(OW)로 전환시킴으로써, 오존수 공급 시스템(10)에 대한 오존수(OW)의 생산 효율 및 오존 가스(OZ)의 용존 효율을 증가시킬 수 있다.

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 오존수 공급 시스템(20)의 주요부가 개략적으로 도시된 도면이다.

도 8에서 도 1 내지 도 7에 도시된 참조부호와 동일 유사한 참조부호는 동일한 부재를 나타내며, 그에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다. 이하에서는 도 1 내지 도 7에 도시된 오존수 공급 시스템(10)와 상이한 점을 중심으로 서술하도록 한다.

도 8을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 오존수 공급 시스템(20)이 도 1 내지 도 7에 도시된 오존수 공급 시스템(10)과 상이한 점은, 오존수 분리 공급 기구(2000)가 다른 구조로 마련된다는 점이 상이하다.

즉, 본 실시예에서는, 오존수 분기 라인(2100)의 타단부가 오존수 탱크(100)에 연결될 수 있고, 오존 가스 발생기(300, 302)와 오존 공급 라인(400, 402)이 메인 용존 모듈(600)과 분기 용존 모듈(1200)에 개별적으로 연결될 수 있다.

오존수 분기 라인(2100)의 일단부는 물 공급 라인(200)에 연결될 수 있고, 오존수 분기 라인(2100)의 타단부는 오존수 탱크(100)에 연결될 수 있다. 상기와 같이 오존수 분기 라인(2100)의 타단부가 오존수 탱크(100)에 연결되면, 오존수 순환 라인(500)에 배치된 오존수 펌프(510)의 펌프 압력을 사용할 수 없다.

따라서, 오존수 분기 라인(2100)을 통한 오존수(OW)의 공급 압력을 제공하기 위한 분기 펌프(2110)가 오존수 분기 라인(2100)에 별도로 배치될 수 있다. 분기 펌프(2110)는 오존수 분기 라인(2100)을 통해 분기되는 오존수(OW)를 펌핑하는 장치로서, 오존수 분기 라인(2100)에 마련될 수 있다.

이하, 본 실시예에서는, 분기 펌프(2110)가 두 개의 오존수 분기 라인(2100)에 각각 배치되는 것으로 설명하지만, 이에 한정되는 것은 아니며 두 개의 오존수 분기 라인(2100)에 단수개만 배치하여 공용으로 사용하는 구조도 가능할 수 있다.

한편, 오존 가스 발생기(300, 302)와 오존 공급 라인(400, 402)은, 메인 용존 모듈(600)과 분기 용존 모듈(1200)에 각각 연결되어 오존 가스(OZ)의 공급이 개별적으로 진행될 수 있다. 도 1 내지 도 7과 비교하면, 분기 용존 모듈(1200)에 오존 가스(OZ)를 공급하기 위한 오존 가스 발생기(302)와 오존 공급 라인(402)이, 메인 용존 모듈(600)에 오존 가스(OZ)를 공급하기 위한 오존 가스 발생기(300)와 오존 공급 라인(400)과 별도로 제공되는 구조이다.

상기와 같이 분기 용존 모듈(1200)은, 메인 용존 모듈(600)에 오존 가스를 공급하는 오존 가스 발생기(300)와 다른 오존 가스 발생기(302)에서 생성된 오존 가스(OZ)를 공급 받을 수 있다. 따라서, 본 실시예에서는 메인 용존 모듈(600)과 분기 용존 모듈(1200)에 공급되는 오존 가스(OZ)를 개별적으로 제어하는 것이 가능하므로, 메인 용존 모듈(600)과 분기 용존 모듈(1200)의 작동도 독립적으로 제어될 수 있다.

이상과 같이 본 발명의 실시예에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 청구범위뿐 아니라 이 청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.

10: 오존수 공급 시스템
100: 오존수 탱크
200: 물 공급 라인
300: 오존 가스 발생기
400: 오존 공급 라인
500: 오존수 순환 라인
510: 오존수 펌프
600: 메인 용존 모듈
700: 오존수 배출 라인
800: 리사이클 라인
900: 리사이클 용존 모듈
1000: 오존수 분기 공급 기구
1100: 오존수 분기 라인
1200: 분기 용존 모듈
1300: 오존수 분사 노즐
1400: 믹싱 챔버
1500: 메쉬 부재
DW: 물
OZ: 오존 가스
OZ': 불용존 오존 가스
OW: 오존수

Claims

물에 오존 가스를 용존시켜 오존수를 생성한 후 이를 필요로 하는 장치로 공급하는 오존수 공급 시스템에 있어서,
오존수를 저장하는 오존수 탱크;
상기 오존수 탱크에 물을 공급하는 물 공급 라인;
상기 오존수 탱크에 저장된 오존수를 외부로 유출한 후 상기 오존수 탱크로 다시 유입하도록 마련된 오존수 순환 라인;
상기 오존수 순환 라인 상에 배치되고, 오존 가스 발생기에 의해 생성된 오존 가스를 상기 오존수 순환 라인을 통해 순환하는 오존수에 공급하여 용존시키는 메인 용존 모듈; 및
상기 오존수 탱크 또는 상기 오존수 순환 라인에 존재하는 오존수의 일부를 분기시켜 상기 물 공급 라인을 통해 공급되는 물과 혼합시키는 오존수 분기 공급 기구;를 포함하고,
상기 오존수 분기 공급 기구는, 상기 오존수 탱크 또는 상기 오존수 순환 라인에 존재하는 오존수의 일부를 분기시켜 상기 물 공급 라인으로 안내하도록 마련된 오존수 분기 라인; 및 상기 오존수 분기 라인 상에 배치되고 오존 가스를 공급받아 상기 오존수 분기 라인을 통해 공급되는 오존수에 용존시키는 분기 용존 모듈;을 포함하며,
상기 분기 용존 모듈은, 상기 메인 용존 모듈에 오존 가스를 공급하는 오존 가스 발생기로부터 오존 가스를 공급 받거나, 상기 메인 용존 모듈에 오존 가스를 공급하는 오존 가스 발생기와 다른 오존 가스 발생기로부터 오존 가스를 공급 받는 것을 특징으로 하는 오존수 공급 시스템.
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삭제
제1항에 있어서,
상기 오존수 분기 라인의 일단부는 상기 물 공급 라인에 연결되고,
상기 오존수 분기 라인의 타단부는 상기 오존수 탱크 또는 상기 오존수 순환 라인 중 어느 하나에 연결되는 것을 특징으로 하는 오존수 공급 시스템.
제5항에 있어서,
상기 오존수 분기 라인의 일단부는, 상기 오존수 분기 라인을 통해 공급되는 오존수를 상기 물 공급 라인의 물 유동 방향과 교차하는 방향으로 상기 물 공급 라인의 내부에 공급하도록 마련된 것을 특징으로 하는 오존수 공급 시스템.
제5항에 있어서,
상기 오존수 분기 공급 기구는,
상기 오존수 분기 라인의 일단부에 배치되고, 상기 물 공급 라인의 내부에 와류가 발생하도록 상기 오존수 분기 라인을 통해 공급되는 오존수를 상기 물 공급 라인의 내부에 분사시키는 오존수 분사 노즐;
을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오존수 공급 시스템.
제7항에 있어서,
상기 오존수 분사 노즐에는 와류 발생 패턴이 형성된 것을 특징으로 하는 오존수 공급 시스템.
제7항에 있어서,
상기 오존수 분기 라인의 일단부는, 두 개의 분사 라인으로 분기되어 상기 물 공급 라인에 서로 마주보게 각각 연결되고,
상기 오존수 분사 노즐은 상기 두 개의 분사 라인에 각각 마련되는 것을 특징으로 하는 오존수 공급 시스템.
물에 오존 가스를 용존시켜 오존수를 생성한 후 이를 필요로 하는 장치로 공급하는 오존수 공급 시스템에 있어서,
오존수를 저장하는 오존수 탱크;
상기 오존수 탱크에 물을 공급하는 물 공급 라인;
상기 오존수 탱크에 저장된 오존수를 외부로 유출한 후 상기 오존수 탱크로 다시 유입하도록 마련된 오존수 순환 라인;
상기 오존수 순환 라인 상에 배치되고, 오존 가스 발생기에 의해 생성된 오존 가스를 상기 오존수 순환 라인을 통해 순환하는 오존수에 공급하여 용존시키는 메인 용존 모듈;
상기 오존수 탱크 또는 상기 오존수 순환 라인에 존재하는 오존수의 일부를 분기시켜 상기 물 공급 라인을 통해 공급되는 물과 혼합시키는 오존수 분기 공급 기구; 및
상기 오존수 순환 라인을 통해 순환되는 오존수를 펌핑하도록 상기 오존수 순환 라인에 마련된 오존수 펌프;를 포함하고,
상기 오존수 분기 공급 기구는, 상기 오존수 탱크 또는 상기 오존수 순환 라인에 존재하는 오존수의 일부를 분기시켜 상기 물 공급 라인으로 안내하도록 마련된 오존수 분기 라인을 포함하며,
상기 오존수 분기 라인의 일단부는 상기 물 공급 라인에 연결되고, 상기 오존수 분기 라인의 타단부는 상기 오존수 순환 라인에 연결되며,
상기 오존수 분기 라인과 상기 오존수 순환 라인의 연결 부위는 상기 오존수 펌프보다 상기 오존수 순환 라인의 하류에 배치되는 것을 특징으로 하는 오존수 공급 시스템.
물에 오존 가스를 용존시켜 오존수를 생성한 후 이를 필요로 하는 장치로 공급하는 오존수 공급 시스템에 있어서,
오존수를 저장하는 오존수 탱크;
상기 오존수 탱크에 물을 공급하는 물 공급 라인;
상기 오존수 탱크에 저장된 오존수를 외부로 유출한 후 상기 오존수 탱크로 다시 유입하도록 마련된 오존수 순환 라인;
상기 오존수 순환 라인 상에 배치되고, 오존 가스 발생기에 의해 생성된 오존 가스를 상기 오존수 순환 라인을 통해 순환하는 오존수에 공급하여 용존시키는 메인 용존 모듈; 및
상기 오존수 탱크 또는 상기 오존수 순환 라인에 존재하는 오존수의 일부를 분기시켜 상기 물 공급 라인을 통해 공급되는 물과 혼합시키는 오존수 분기 공급 기구;를 포함하고,
상기 오존수 분기 공급 기구는, 상기 오존수 탱크 또는 상기 오존수 순환 라인에 존재하는 오존수의 일부를 분기시켜 상기 물 공급 라인으로 안내하도록 마련된 오존수 분기 라인을 포함하며,
상기 오존수 분기 라인의 일단부는 상기 물 공급 라인에 연결되고, 상기 오존수 분기 라인의 타단부는 상기 오존수 탱크 또는 상기 오존수 순환 라인 중 어느 하나에 연결되며,
상기 오존수 순환 라인을 통해 순환되는 오존수를 펌핑하도록 상기 오존수 순환 라인에 마련된 오존수 펌프; 및
상기 오존수 분기 라인을 통해 분기되는 오존수를 펌핑하도록 상기 오존수 분기 라인에 마련된 분기 펌프;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오존수 공급 시스템.
제1항에 있어서,
상기 오존수 분기 공급 기구는,
상기 분기 용존 모듈에서 생성된 오존수를 섞어 오존 농도를 더 증가시키도록 상기 오존수 분기 라인에 배치되는 믹싱 챔버;를 더 포함하며,
상기 믹싱 챔버는, 상기 분기 용존 모듈보다 상기 오존수 분기 라인의 하류에 배치되는 것을 특징으로 하는 오존수 공급 시스템.
물에 오존 가스를 용존시켜 오존수를 생성한 후 이를 필요로 하는 장치로 공급하는 오존수 공급 시스템에 있어서,
오존수를 저장하는 오존수 탱크;
상기 오존수 탱크에 물을 공급하는 물 공급 라인;
상기 오존수 탱크에 저장된 오존수를 외부로 유출한 후 상기 오존수 탱크로 다시 유입하도록 마련된 오존수 순환 라인;
상기 오존수 순환 라인 상에 배치되고, 오존 가스 발생기에 의해 생성된 오존 가스를 상기 오존수 순환 라인을 통해 순환하는 오존수에 공급하여 용존시키는 메인 용존 모듈; 및
상기 오존수 탱크 또는 상기 오존수 순환 라인에 존재하는 오존수의 일부를 분기시켜 상기 물 공급 라인을 통해 공급되는 물과 혼합시키는 오존수 분기 공급 기구;를 포함하고,
상기 오존수 분기 공급 기구는, 상기 오존수 탱크 또는 상기 오존수 순환 라인에 존재하는 오존수의 일부를 분기시켜 상기 물 공급 라인으로 안내하도록 마련된 오존수 분기 라인을 포함하며,
상기 오존수 분기 라인의 일단부는 상기 물 공급 라인에 연결되고, 상기 오존수 분기 라인의 타단부는 상기 오존수 탱크 또는 상기 오존수 순환 라인 중 어느 하나에 연결되며,
상기 오존수 탱크에 저장된 오존수에서 배출되는 불용존 오존 가스를 상기 물 공급 라인 측으로 다시 공급하기 위한 리사이클 라인; 및
상기 물 공급 라인 상에 배치되고 상기 리사이클 라인을 통해 공급되는 불용존 오존 가스를 상기 물 공급 라인을 통해 공급되는 물에 용존시키는 리사이클 용존 모듈;을 더 포함하고,
상기 오존수 분기 라인의 일단부는 상기 리사이클 용존 모듈보다 상기 물 공급 라인의 하류에 연결되는 것을 특징으로 하는 오존수 공급 시스템.
제1항에 있어서,
상기 물 공급 라인의 내부에는 메쉬 부재가 마련되고,
상기 메쉬 부재는 상기 오존수 분기 라인과 상기 물 공급 라인의 연결 지점과 인접하도록 배치되되 상기 연결 지점보다 상기 물 공급 라인의 하류에 배치되는 것을 특징으로 하는 오존수 공급 시스템.