KR102369325B1 - Transfer pellet system using directional connecting rail - Google Patents

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Abstract

본 발명은 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템에 관한 것으로, 기판이 배치되면서 기판을 이송할 수 있는 이송 펠릿; 교차 지점을 가지는 격자 구조로 형성되며, 상기 이송 펠릿의 하부에서 상기 이송 펠릿의 주행경로를 형성하는 복수 개의 레일; 상기 이송 펠릿의 하부에 구비되며, 상기 레일을 따라 이동하는 주행 롤러를 포함하는 롤러부; 상기 교차 지점에 형성되며, 서로 다른 방향으로 연장되는 복수 개의 레일 중 하나의 레일을 선택적으로.연결시키도록 회전 가능하게 설치되는 연결 레일; 상기 연결 레일이 회전 가능하게 설치되는 베이스; 상기 연결 레일과 함께 회전하며, 상기 연결 레일의 하부에 구비되는 보조 롤러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 것이다. The present invention relates to a transfer pellet system using a diverting connecting rail, comprising: a transfer pellet capable of transferring a substrate while the substrate is disposed; A plurality of rails formed in a lattice structure having an intersection point, forming a traveling path of the transport pellets in the lower portion of the transport pellets; a roller unit provided at a lower portion of the conveying pellet and including a traveling roller moving along the rail; a connection rail formed at the crossing point and rotatably installed to selectively connect one rail among a plurality of rails extending in different directions; a base on which the connection rail is rotatably installed; and an auxiliary roller that rotates together with the connection rail and is provided under the connection rail.

Description

방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템 {Transfer pellet system using directional connecting rail}Transfer pellet system using directional connecting rail}

본 발명은 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 연결 레일 하부에 보조 롤러를 구비하여 베어링의 부하 모멘트를 경감시키며, 레일의 측면에 받이홈을 구비하고, 레일을 따라 이동하는 롤러부에 이물질 받이 커버를 구비하여 가이드휠에서 떨어지는 이물질을 포집할 수 있는 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템에 관한 것이다. The present invention relates to a conveying pellet system using a direction change connection rail, and more particularly, by providing an auxiliary roller under the connection rail to reduce the load moment of the bearing, to have a receiving groove on the side of the rail, and to It relates to a conveying pellet system using a direction change connection rail capable of collecting foreign substances falling from a guide wheel by providing a foreign material receiving cover to the roller unit moving along the guide wheel.

반도체 소자는 다양항 공정을 거치면서 제조되며, 확산, 식각, 사진, 클리닝 등의 공정을 거치게 된다. 각각의 공정은 이전의 공정과 연계되며, 하나의 공정이 완료된 후에는 다음 공정으로 반도체를 이송시켜야 한다. A semiconductor device is manufactured through various processes, and processes such as diffusion, etching, photography, and cleaning are performed. Each process is linked to the previous process, and after one process is completed, the semiconductor must be transferred to the next process.

반도체를 이송시키기 위해서 기판 이송장치가 사용된다. 기판 이송장치는 반도체를 다양한 공정이 진행되는 위치로 이송할 수 있는 것으로, 기판 이송장치는 레일을 통해 반도체가 배치되어 있는 이송 펠릿을 이동시킬 수 있다. A substrate transfer device is used to transfer the semiconductor. The substrate transport device may transport semiconductors to positions where various processes are performed, and the substrate transport device may move transport pellets on which semiconductors are disposed through rails.

반도체를 제조하는 공정은 다양한 위치에서 진행되기 때문에, 기판 이송장치를 통해 반도체를 이송하는 경우 다양한 방향으로 반도체를 이송시켜야 한다. 이를 위해 기판 이송장치는 격자 구조를 가지는 복수 개의 레일을 사용하며, 레일 상에 방향 전환 유닛을 구비하여 이송 펠릿의 방향을 전환하게 된다. Since the semiconductor manufacturing process proceeds in various positions, the semiconductor must be transported in various directions when the semiconductor is transported through the substrate transport device. To this end, the substrate transfer apparatus uses a plurality of rails having a grid structure, and a direction change unit is provided on the rail to change the direction of the transfer pellets.

그러나 종래의 기판 이송장치는 다음과 같은 문제가 있다. 기판 이송장치의 방향 전환 유닛에는 베어링이 구비되며, 상기 베어링을 통해 이송 펠릿의 방향을 전환하게 된다. 그러나 이송 펠릿의 무게로 인해 베어링 큰 부하 모멘트가 발생하게 되며, 이 경우 베어링이 손상되거나 이송 펠릿에 기울어짐이 발생함에 따라 방향 전환이 원활하게 이루어지지 않은 문제가 있다. However, the conventional substrate transfer apparatus has the following problems. The direction change unit of the substrate transfer device is provided with a bearing, and the direction of the transfer pellets is changed through the bearing. However, due to the weight of the conveyed pellets, a large load moment is generated in the bearing, and in this case, there is a problem in that the direction change is not performed smoothly as the bearing is damaged or the conveying pellets are tilted.

또한, 기판 이송장치는 레일을 주행하기 위해 휠을 사용하는데, 기판 이송장치를 장기간 사용 시에 레일의 측면에 이물질이 적층되어 기판 이송장치의 동작불량이 발생하면서 유지보수비용이 증가하고, 레일을 사용할 수 있는 수명이 줄어드는 문제점이 있다. In addition, the substrate transfer device uses a wheel to run the rail, and when the substrate transfer device is used for a long period of time, foreign substances are stacked on the side of the rail, causing malfunction of the substrate transfer device, increasing maintenance costs, and removing the rail. There is a problem that the usable life is reduced.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 더욱 상세하게는 연결 레일 하부에 보조 롤러를 구비하여 베어링의 부하 모멘트를 경감시키며, 레일의 측면에 받이홈을 구비하고, 레일을 따라 이동하는 롤러부에 이물질 받이 커버를 구비하여 가이드휠에서 떨어지는 이물질을 포집할 수 있는 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템에 관한 것이다. The present invention is to solve the above problems, and more specifically, by providing an auxiliary roller under the connecting rail to reduce the load moment of the bearing, having a receiving groove on the side of the rail, and a roller part moving along the rail It relates to a transport pellet system using a direction change connection rail that can collect foreign substances falling from the guide wheel by having a foreign material receiving cover on the surface.

상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템은, 기판이 배치되면서 기판을 이송할 수 있는 이송 펠릿; 교차 지점을 가지는 격자 구조로 형성되며, 상기 이송 펠릿의 하부에서 상기 이송 펠릿의 주행경로를 형성하는 복수 개의 레일; 상기 이송 펠릿의 하부에 구비되며, 상기 레일을 따라 이동하는 주행 롤러를 포함하는 롤러부; 상기 교차 지점에 형성되며, 서로 다른 방향으로 연장되는 복수 개의 레일 중 하나의 레일을 선택적으로.연결시키도록 회전 가능하게 설치되는 연결 레일; 상기 연결 레일이 회전 가능하게 설치되는 베이스; 상기 연결 레일과 함께 회전하며, 상기 연결 레일의 하부에 구비되는 보조 롤러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 것이다. Transfer pellet system using the direction change connection rail of the present invention for solving the above-mentioned problems, the transfer pellets that can transfer the substrate while the substrate is disposed; A plurality of rails formed in a lattice structure having an intersection point, forming a traveling path of the transport pellets in the lower portion of the transport pellets; a roller unit provided at a lower portion of the conveying pellet and including a traveling roller moving along the rail; a connection rail formed at the crossing point and rotatably installed to selectively connect one rail among a plurality of rails extending in different directions; a base on which the connection rail is rotatably installed; and an auxiliary roller that rotates together with the connection rail and is provided under the connection rail.

상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템의 상기 베이스에는, 상기 베이스의 상면으로부터 상부로 돌출되는 슬리브가 구비될 수 있다. The base of the transfer pellet system using the direction change connection rail of the present invention for solving the above-described problems may be provided with a sleeve protruding upward from the upper surface of the base.

상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템의 상기 보조 롤러는, 상기 베이스의 상면에는 접촉되지 않으며, 상기 슬리브에만 접촉되면서 회전할 수 있다. The auxiliary roller of the conveying pellet system using the direction change connection rail of the present invention for solving the above-mentioned problems is not in contact with the upper surface of the base, and can rotate while contacting only the sleeve.

상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템의 상기 보조 롤러는, 상기 연결 레일로 상기 롤러부가 이동될 때, 상기 롤러부를 통해 전달되는 하중에 의해 상기 슬리브에 접촉되고, 상기 연결 레일로 상기 롤러부가 이동되지 않을 때는 상기 슬리브에 접촉되지 않을 수 있다. The auxiliary roller of the conveying pellet system using the direction change connection rail of the present invention for solving the above-mentioned problems is in contact with the sleeve by the load transmitted through the roller unit when the roller unit is moved to the connection rail and may not come into contact with the sleeve when the roller part does not move to the connection rail.

상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템의 상기 베이스는 원판 형상으로 이루어지며, 상기 베이스에는, 상기 베이스의 상면으로부터 상부로 돌출되는 복수 개의 슬리브가 구비되며, 상기 슬리브는, 상기 베이스의 둘레를 따라 서로 이격되면서 배치될 수 있다. The base of the conveying pellet system using the direction change connection rail of the present invention for solving the above-mentioned problems is made of a disk shape, and the base is provided with a plurality of sleeves protruding upward from the upper surface of the base, The sleeves may be disposed while being spaced apart from each other along the circumference of the base.

상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템의 상기 슬리브는, 상기 베이스의 둘레를 따라 등간격으로 이격되면서 4개가 배치될 수 있다. The sleeve of the conveying pellet system using the direction change connection rail of the present invention for solving the above-described problems, four can be arranged while being spaced at equal intervals along the circumference of the base.

상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템의 상기 롤러부는, 상기 이송 펠릿이 형성하는 평면과 수직한 방향으로 연장되는 회전축을 중심으로 회전 가능하도록 상기 이송 펠릿의 하부에 결합되는 베어링; 상기 베어링과 함께 회전하며, 상기 주행 롤러가 배치될 수 있는 공간이 구비된 하우징; 상기 레일의 상면에 접촉되며, 상기 이송 펠릿이 형성하는 평면과 나란한 방향으로 연장되는 회전축을 중심으로 회전 가능하도록 상기 하우징에 결합되는 상기 주행 롤러; 상기 레일의 측면에 접촉되며, 상기 이송 펠릿이 형성하는 평면과 수직한 방향으로 연장되는 회전축을 중심으로 회전 가능하도록 상기 하우징의 하부에 결합되는 가이드휠; 상기 하우징의 측면에 결합되며, 상기 가이드휠의 측부와 하부를 감싸도록 연장되는 이물질 받이 커버;를 포함할 수 있다. The roller part of the conveying pellet system using the direction change connection rail of the present invention for solving the above-mentioned problems, the conveying pellets so as to be rotatable about a rotational axis extending in a direction perpendicular to the plane formed by the conveying pellets bearings coupled to the lower part; a housing rotating together with the bearing and having a space in which the traveling roller can be disposed; The traveling roller in contact with the upper surface of the rail and coupled to the housing so as to be rotatable about a rotational axis extending in a direction parallel to a plane formed by the conveying pellets; a guide wheel in contact with the side surface of the rail and coupled to the lower portion of the housing so as to be rotatable about a rotational axis extending in a direction perpendicular to a plane formed by the conveying pellets; and a foreign material receiving cover coupled to the side of the housing and extending to surround the side and lower portions of the guide wheel.

상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템의 상기 이물질 받이 커버는, 상기 하우징의 측면에 탈부착 가능하도록 결합될 수 있다. The foreign material receiving cover of the transport pellet system using the direction change connection rail of the present invention for solving the above-described problems may be detachably coupled to the side surface of the housing.

상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템의 상기 이물질 받이 커버는, 자석을 통해 상기 하우징의 측면에 탈부착 가능하도록 결합될 수 있다. The foreign material receiving cover of the conveying pellet system using the direction change connection rail of the present invention for solving the above-mentioned problems may be detachably coupled to the side surface of the housing through a magnet.

상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템의 상기 레일은, 상기 주행 롤러와 상기 가이드휠이 접촉되는 주행부와 상기 주행부의 양측에 구비되는 지지부를 포함하며, 상기 주행 롤러는 상기 주행부의 상면에 접촉되며, 상기 가이드휠은 상기 주행부의 측면에 접촉될 수 있다. The rail of the transport pellet system using the direction change connection rail of the present invention for solving the above-mentioned problems includes a supporting part provided on both sides of the driving part and the driving part in which the driving roller and the guide wheel are in contact, The traveling roller may be in contact with an upper surface of the traveling unit, and the guide wheel may be in contact with a side surface of the traveling unit.

상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템의 상기 지지부에는 받이홈이 구비될 수 있다. The support portion of the transfer pellet system using the direction change connection rail of the present invention for solving the above problems may be provided with a receiving groove.

상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템의 상기 주행부의 측면에는 상기 주행부의 내측으로 파여진 측면 받이홈이 구비되며, 상기 가이드휠은, 상기 측면 받이홈의 상부에서 상기 주행부의 측면에 접촉될 수 있다. The side surface of the traveling part of the conveying pellet system using the direction change connection rail of the present invention for solving the above-mentioned problems is provided with a side receiving groove dug into the traveling unit, the guide wheel, the side of the receiving groove It may be in contact with the side surface of the driving unit from the upper portion.

상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템의 상기 이물질 받이 커버의 끝단은 상기 측면 받이홈에 끼워질 수 있다. The end of the foreign material receiving cover of the transport pellet system using the direction change connection rail of the present invention for solving the above-described problems may be fitted into the side receiving groove.

상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템의 상기 지지부의 측면에는 레일 커버가 구비될 수 있다. A rail cover may be provided on the side of the support part of the transport pellet system using the direction change connection rail of the present invention for solving the above-mentioned problems.

상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템의 상기 이물질 받이 커버의 끝단에는, 상기 이물질 받이 커버 끝단에서 상향 연장되는 경사부가 구비될 수 있다. At the end of the foreign material receiving cover of the transport pellet system using the direction change connection rail of the present invention for solving the above-mentioned problems, an inclined portion extending upward from the foreign material receiving cover end may be provided.

본 발명은 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템에 관한 것으로, 연결 레일 하부에 보조 롤러를 구비함에 따라 베어링의 부하 모멘트를 경감시키면서 연결 레일의 방향 전환을 용이하게 할 수 있는 장점이 있으며, 이를 통해 베어링을 소형화하여 제작할 수 있는 장점이 있다. The present invention relates to a conveying pellet system using a direction change connection rail, and by providing an auxiliary roller under the connection rail, it has the advantage of facilitating the direction change of the connection rail while reducing the load moment of the bearing, There is an advantage that the bearing can be manufactured by miniaturizing it.

또한, 본 발명은 레일의 측면에 받이홈을 구비하고, 레일을 따라 이동하는 롤러부에 이물질 받이 커버를 구비함에 따라 가이드휠에서 떨어지는 이물질을 포집 및 제거할 수 있는 장점이 있다.In addition, the present invention has an advantage in that it is possible to collect and remove foreign substances falling from the guide wheel by having a receiving groove on the side of the rail and a foreign substance receiving cover on the roller moving along the rail.

도 1(a)는 본 발명의 실시 예에 따른 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템의 평면도를 나타내는 도면이며, 도 1(b)는 본 발명의 실시 예에 따른 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템의 사시도를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 레일과 연결 레일을 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 이송 펠릿과 롤러부를 나타내는 도면이다.
도 4(a) 및 도 4(b)는 본 발명의 실시 예에 따른 롤러부를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따라 레일에 롤러부가 접촉된 것을 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시 예에 따라 이물질 받이 커버에 경사부가 구비된 것을 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 실시 예에 따라 연결 레일 하부에 보조 롤러가 구비된 것과 베이스에 슬리브가 형성된 것을 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 실시 예에 따라 롤러부가 연결 레일에 진입하는 과정을 나타내는 도면이다.
도 9는 본 발명의 실시 예에 따라 연결 레일과 롤러부가 함께 회전하는 것을 나타내는 도면이다. Figure 1 (a) is a view showing a plan view of a transfer pellet system using a direction change connection rail according to an embodiment of the present invention, Figure 1 (b) is using a direction change connection rail according to an embodiment of the present invention It is a view showing a perspective view of a conveyed pellet system.
2 is a view showing a rail and a connection rail according to an embodiment of the present invention.
Figure 3 is a view showing the conveying pellets and the roller unit according to an embodiment of the present invention.
4 (a) and 4 (b) are views showing a roller unit according to an embodiment of the present invention.
5 is a view showing that the roller is in contact with the rail according to an embodiment of the present invention.
6 is a view showing that an inclined portion is provided on the foreign material receiving cover according to an embodiment of the present invention.
7 is a view showing that the auxiliary roller is provided under the connection rail and the sleeve is formed on the base according to an embodiment of the present invention.
8 is a view illustrating a process in which a roller unit enters a connection rail according to an embodiment of the present invention.
9 is a view illustrating that the connecting rail and the roller unit rotate together according to an embodiment of the present invention.

본 명세서는 본 발명의 권리범위를 명확히 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 실시할 수 있도록, 본 발명의 원리를 설명하고, 실시 예들을 개시한다. 개시된 실시 예들은 다양한 형태로 구현될 수 있다.This specification clarifies the scope of the present invention, explains the principles of the present invention, and discloses embodiments so that those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains can practice the present invention. The disclosed embodiments may be implemented in various forms.

본 발명의 다양한 실시 예에서 사용될 수 있는 "포함한다" 또는 "포함할 수 있다" 등의 표현은 발명(disclosure)된 해당 기능, 동작 또는 구성요소 등의 존재를 가리키며, 추가적인 하나 이상의 기능, 동작 또는 구성요소 등을 제한하지 않는다. 또한, 본 발명의 다양한 실시예에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.Expressions such as “comprises” or “may include” that may be used in various embodiments of the present invention indicate the existence of a corresponding disclosed function, operation, or component, and may include one or more additional functions, operations, or Components, etc. are not limited. In addition, in various embodiments of the present invention, terms such as “comprise” or “have” are intended to designate that a feature, number, step, action, component, part, or combination thereof described in the specification is present, It should be understood that this does not preclude the possibility of addition or existence of one or more other features or numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어, 결합되어" 있다고 언급된 때에는, 상기 어떤 구성요소가 상기 다른 구성요소에 직접적으로 연결 또는 결합되어 있을 수도 있지만, 상기 어떤 구성요소와 상기 다른 구성요소 사이에 새로운 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 결합되어" 있다고 언급된 때에는, 상기 어떤 구성요소와 상기 다른 구성요소 사이에 새로운 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해될 수 있어야 할 것이다.When a component is referred to as being “connected to and coupled to” another component, the component may be directly connected or coupled to the other component, but between the component and the other component. It should be understood that there may be other new components in the On the other hand, when it is said that an element is "directly connected" or "coupled" to another element, it will be understood that no new element exists between the element and the other element. should be able to

본 명세서에서 사용되는 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. The terms first, second, etc. used herein may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.

본 발명은 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템에 관한 것으로, 연결 레일 하부에 보조 롤러를 구비하여 베어링의 부하 모멘트를 경감시키며, 레일의 측면에 받이홈을 구비하고, 레일을 따라 이동하는 롤러부에 이물질 받이 커버를 구비하여 가이드휠에서 떨어지는 이물질을 포집할 수 있는 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스 템에 관한 것이다. 이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명하기로 한다. The present invention relates to a conveying pellet system using a direction change connection rail, and a secondary roller is provided under the connection rail to reduce the load moment of the bearing, a receiving groove is provided on the side of the rail, and a roller moving along the rail It relates to a conveying pellet system using a direction change connection rail that can collect foreign substances falling from the guide wheel by having a foreign material receiving cover in the part. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1(a) 및 도 1(b)를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템은, 이송 펠릿(110), 레일(120), 롤러부(200), 연결 레일(130)을 포함한다. Referring to Figures 1 (a) and 1 (b), the transfer pellet system using a direction change connection rail according to an embodiment of the present invention, the transfer pellet 110, the rail 120, the roller unit 200 , and a connecting rail 130 .

상기 이송 펠릿(110)은 기판이 배치되면서 기판을 이송할 수 있는 것이다. 상기 이송 펠릿(110)은 사각 판재 형상으로 이루어질 수 있으며, 상기 이송 펠릿(110)의 상부에 기판이 배치될 수 있다. The transfer pellet 110 is capable of transferring the substrate while the substrate is disposed. The transfer pellet 110 may be formed in a rectangular plate shape, and a substrate may be disposed on the transfer pellet 110 .

상기 기판은 상기 이송 펠릿(110)의 상부에 배치되면서 상기 이송 펠릿(110)과 함께 움직일 수 있는 것으로, 상기 이송 펠릿(110)의 주행 방향이 전환됨에 따라 상기 기판의 이동 방향도 함께 전환될 수 있다. 상기 기판은 반도체일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 이송 펠릿(110)에 배치되면서 가공되는 것이라면 다양한 종류의 기판이 사용될 수 있다. The substrate is movable with the transfer pellet 110 while being disposed on the transfer pellet 110, and as the traveling direction of the transfer pellet 110 is changed, the moving direction of the substrate can also be switched. there is. The substrate may be a semiconductor, but is not limited thereto, and various types of substrates may be used as long as they are processed while being disposed on the transfer pellet 110 .

도 2를 참조하면, 상기 레일(120)은 교차 지점을 가지는 격자 구조로 형성되며, 상기 이송 펠릿(110)의 하부에서 상기 이송 펠릿(110)의 주행 경로를 형성하는 것이다. Referring to FIG. 2 , the rail 120 is formed in a lattice structure having an intersection point, and forms a traveling path of the transport pellets 110 under the transport pellets 110 .

상기 레일(120)은 복수 개가 구비될 수 있는 것으로, 상기 레일(120)은 가로 방향으로 연장되는 레일과 세로 방향으로 연장되는 레일을 포함하면서 격자 구조로 형성될 수 있다. 가로 방향으로 연장되는 레일과 세로 방향으로 연장되는 레일이 만나는 지점이 교차 지점이 되며, 상기 교차 지점에는 상기 연결 레일(130)이 구비될 수 있다. The rail 120 may be provided in plurality, and the rail 120 may be formed in a grid structure including rails extending in a horizontal direction and rails extending in a vertical direction. A point where the rail extending in the horizontal direction and the rail extending in the vertical direction meet becomes an intersection point, and the connecting rail 130 may be provided at the intersection point.

상기 이송 펠릿(110)은 상기 레일(120)을 따라 주행하는 것으로, 상기 이송 펠릿(110)이 가로 방향으로 연장되는 레일과 연결되면 가로 방향으로 주행되며, 상기 이송 펠릿(110)이 세로로 방향으로 연장되는 레일과 연결되면 세로방향으로 주행된다. The conveying pellet 110 is to travel along the rail 120, when the conveying pellet 110 is connected to the rail extending in the horizontal direction, it travels in the horizontal direction, and the conveying pellet 110 is in the vertical direction When connected to a rail extending to

가로 방향으로 연장되는 레일과 세로 방향으로 연장되는 레일의 교차 지점에는 상기 연결 레일(130)이 구비되며, 상기 연결 레일(130)의 회전을 통해 상기 이송 펠릿(110)이 주행하는 레일이 변경될 수 있다. The connecting rail 130 is provided at the intersection of the rail extending in the horizontal direction and the rail extending in the longitudinal direction, and the rail on which the transfer pellet 110 travels through rotation of the connecting rail 130 is changed. can

도 3을 참조하면, 상기 롤러부(200)는 상기 이송 펠릿(110)의 하부에 구비되는 것으로, 상기 레일(120)을 따라 이동하는 주행 롤러(240)를 포함하는 것이다. 상기 롤러부(200)는 상기 이송 펠릿(110)과 상기 레일(120)을 연결하는 것으로, 상기 주행 롤러(240)가 상기 레일(120)의 상부에 접촉되면서 상기 이송 펠릿(110)이 주행할 수 있게 된다. Referring to FIG. 3 , the roller unit 200 is provided under the conveying pellet 110 , and includes a traveling roller 240 moving along the rail 120 . The roller unit 200 connects the conveying pellet 110 and the rail 120, and the conveying pellet 110 travels while the traveling roller 240 is in contact with the upper portion of the rail 120. be able to

도 4(a) 및 도 4(b)를 참조하면, 상기 롤러부(200)는, 베어링(220), 하우징(230), 상기 주행 롤러(240), 가이드휠(250), 이물질 받이 커버(260)를 포함한다. 4(a) and 4(b), the roller unit 200 includes a bearing 220, a housing 230, the traveling roller 240, a guide wheel 250, and a foreign material receiving cover ( 260).

상기 베어링(220)은 상기 이송 펠릿(110)의 형성하는 평면과 수직한 방향으로 연장되는 회전축을 중심으로 회전 가능하도록 상기 이송 펠릿(110)의 하부에 결합되는 것이다. 상기 베어링(220)은 상기 이송 펠릿(110)의 형성하는 평면과 나란한 방향으로 회전할 수 있는 것으로, 상기 베어링(220)은 후술할 상기 연결 레일(130)과 함께 회전할 수 있는 것이다. The bearing 220 is to be coupled to the lower portion of the transfer pellets 110 to be rotatable about a rotational axis extending in a direction perpendicular to the plane forming the transfer pellets (110). The bearing 220 may rotate in a direction parallel to the plane forming the conveying pellet 110 , and the bearing 220 may rotate together with the connection rail 130 to be described later.

구체적으로, 상기 이송 펠릿(110)은 정지해있는 상태에서 상기 베어링(220)을 통해 상기 롤러부(200)만 상기 연결 레일(130)과 함께 회전함에 따라, 상기 이송 펠릿(110)의 주행경로가 전환될 수 있게 된다. 상기 베어링(220)은 상기 롤러부(200)를 상기 이송 펠릿(110)의 하부에 회전 가능하게 결합할 수 있다면 다양한 종류의 베어링이 사용될 수 있다.Specifically, as only the roller part 200 rotates together with the connecting rail 130 through the bearing 220 in the stationary state, the transport pellet 110 is a traveling path of the transport pellet 110 . can be converted. Various types of bearings may be used as the bearing 220 if the roller unit 200 can be rotatably coupled to the lower portion of the conveying pellet 110 .

도 4(a)를 참조하면, 상기 롤러부(200)는 상기 베어링(220)을 통해 상기 이송 펠릿(110) 하부에 회전 가능하게 결합될 수 있으며, 상기 이송 펠릿(110)에서 상기 롤러부(200)가 이탈하는 것을 방지하기 위해 상기 롤러부(200)를 고정시키는 고정부(210)가 구비될 수도 있다. Referring to FIG. 4( a ), the roller part 200 may be rotatably coupled to the lower portion of the transport pellet 110 through the bearing 220 , and in the transport pellet 110 , the roller part ( A fixing part 210 for fixing the roller part 200 may be provided in order to prevent the 200 from being separated.

상기 하우징(230)은 상기 베어링(220)과 함께 회전하며, 상기 주행 롤러(240)가 배치될 수 있는 공간이 구비되어 있는 것이다. 상기 하우징(230)은 상기 베어링(220)의 하부에 결합될 수 있으며, 상기 하우징(230)에는 상기 주행 롤러(240)의 회전축(241)이 형성될 수 있다. The housing 230 rotates together with the bearing 220 , and a space in which the traveling roller 240 can be disposed is provided. The housing 230 may be coupled to a lower portion of the bearing 220 , and a rotating shaft 241 of the traveling roller 240 may be formed in the housing 230 .

도 5를 참조하면, 상기 주행 롤러(240)는 상기 레일(120)의 상면에 접촉되는 것으로, 상기 이송 펠릿(110)이 형성하는 평면과 나란한 방향으로 연장되는 회전축(241)을 중심으로 회전 가능하도록 상기 하우징(230)에 결합되는 것이다. 상기 주행 롤러(240)는 원판 형상의 롤러로 이루어질 수 있으며, 상기 주행 롤러(240)는 회전축(241)을 통해 상기 하우징(230)에 결합될 수 있다. Referring to FIG. 5 , the traveling roller 240 is in contact with the upper surface of the rail 120 , and is rotatable around a rotating shaft 241 extending in a direction parallel to the plane formed by the conveying pellet 110 . to be coupled to the housing 230 . The traveling roller 240 may be formed of a roller having a disk shape, and the traveling roller 240 may be coupled to the housing 230 through a rotation shaft 241 .

상기 주행 롤러(240)의 회전축(241)은 사각 판재로 이루어진 상기 이송 펠릿(110)이 형성하는 평면과 나란한 방향으로 연장되는 것으로, 상기 하우징(230)의 일측면에서 내부공간을 지나 상기 하우징(230)의 타측면으로 연장되는 것이다. The rotating shaft 241 of the traveling roller 240 extends in a direction parallel to the plane formed by the conveying pellet 110 made of a square plate, and passes through the inner space on one side of the housing 230 and the housing ( 230) is extended to the other side.

상기 가이드휠(250)은 상기 레일(120)의 측면에 접촉되며, 상기 이송 펠릿(110)이 형성하는 평면과 수직한 방향으로 연장되는 회전축(251)을 중심으로 회전 가능하도록 상기 하우징(230)의 하부에 결합되는 것이다. The guide wheel 250 is in contact with the side surface of the rail 120 and the housing 230 is rotatable about a rotation shaft 251 extending in a direction perpendicular to the plane formed by the transfer pellets 110 . is attached to the lower part of

상기 가이드휠(250)은 원판 형상의 롤러로 이루어질 수 있으며, 상기 가이드휠(250)은 상기 회전축(251)을 통해 상기 하우징(230)의 하부에 결합될 수 있다. 상기 가이드휠(250)은 상기 하우징(230)의 양측 하부에 구비될 수 있는 것으로, 상기 하우징(230)에는 2개 또는 4개의 상기 가이드휠(250)이 형성될 수 있다. 상기 가이드휠(250)의 회전축(251)의 연장방향은 상기 주행 롤러(240)의 회전축(241)의 연장방향과 수직일 수 있다. The guide wheel 250 may be formed of a roller having a disk shape, and the guide wheel 250 may be coupled to the lower portion of the housing 230 through the rotation shaft 251 . The guide wheel 250 may be provided on both sides of the lower portion of the housing 230 , and two or four guide wheels 250 may be formed in the housing 230 . The extension direction of the rotation shaft 251 of the guide wheel 250 may be perpendicular to the extension direction of the rotation shaft 241 of the traveling roller 240 .

도 5를 참조하면, 상기 주행 롤러(240)는 상기 레일(120)의 상면과 접촉되면서 회전하는 것이며, 상기 가이드휠(250)은 상기 레일(120)의 측면과 접촉하면서 회전하는 것이다. 상기 주행 롤러(240)를 통해 상기 이송 펠릿(110)의 주행경로가 형성될 수 있으며, 상기 가이드휠(250)을 사용함에 따라 상기 레일(120)에서 상기 주행 롤러(240)가 이탈하는 것을 방지할 수 있게 된다. Referring to FIG. 5 , the traveling roller 240 rotates while in contact with the upper surface of the rail 120 , and the guide wheel 250 rotates while contacting with the side surface of the rail 120 . A traveling path of the conveying pellet 110 may be formed through the traveling roller 240 , and as the guide wheel 250 is used, the traveling roller 240 is prevented from being separated from the rail 120 . be able to do

상기 레일(120)은 상기 주행 롤러(240)와 상기 가이드휠(250)이 접촉되는 주행부(121)와 상기 주행부(121)의 양측에 구비되는 지지부(123)를 포함한다. 도 5를 참조하면, 상기 주행부(121)는 상기 지지부(123)보다 돌출되어 있는 것으로, 상기 주행부(121)의 상면에는 상기 주행 롤러(240)가 접촉되고, 상기 주행부(121)의 양측면에는 상기 가이드휠(250)이 접촉된다. The rail 120 includes a traveling part 121 in which the traveling roller 240 and the guide wheel 250 come into contact with each other and supporting parts 123 provided on both sides of the traveling unit 121 . Referring to FIG. 5 , the traveling part 121 protrudes from the support part 123 , and the traveling roller 240 is in contact with the upper surface of the traveling part 121 , and The guide wheel 250 is in contact with both sides.

상기 주행부(121)의 측면에는 상기 주행부(121)의 내측으로 파여진 측면 받이홈(122)이 구비될 수 있으며, 상기 지지부(123)에는 상기 지지부(123) 내부로 파여진 받이홈(124)이 구비될 수 있다. A side receiving groove 122 cut into the inside of the traveling unit 121 may be provided on a side surface of the traveling unit 121, and the supporting unit 123 has a receiving groove recessed into the supporting unit 123 ( 124) may be provided.

상기 측면 받이홈(122)은 상기 주행부(121)의 양측면에 형성되는 홈으로, 상기 측면 받이홈(122)에는 레일 주변에 배치되는 배선, 케이블 등이 삽입할 수 있다. 이를 통해 상기 레일(120) 주변을 통과하는 배선, 케이블 등을 정리할 수 있게 된다. .The side receiving grooves 122 are grooves formed on both sides of the traveling part 121 , and wires, cables, etc. disposed around the rail can be inserted into the side receiving grooves 122 . Through this, it is possible to organize wiring and cables passing through the periphery of the rail 120 . .

또한, 상기 측면 받이홈(122)은 후술할 이물질 받이 커버(260)의 끝단이 삽입될 수 있는 것으로, 상기 측면 받이홈(122)을 통해 상기 가이드휠(250)에서 떨어지는 이물질을 모을 수 있게 된다. 상기 측면 받이홈(122)을 통해 상기 가이드휠(250)에서 떨어지는 이물질을 모음에 따라 상기 레일(120) 또는 이송 펠릿 시스템에 이물질이 적층되는 것을 방지할 수 있게 된다. In addition, the side receiving groove 122 can be inserted into the end of the foreign material receiving cover 260 to be described later, and it is possible to collect foreign substances falling from the guide wheel 250 through the side receiving groove 122 . . As foreign substances falling from the guide wheel 250 are collected through the side receiving grooves 122, it is possible to prevent the foreign substances from being stacked on the rail 120 or the conveying pellet system.

상기 주행부(121)에 상기 측면 받이홈(122)이 구비된 경우, 상기 가이드휠(250)은 상기 측면 받이홈(122)의 상부에서 상기 주행부(121)의 측면에 접촉될 수 있다. When the side receiving groove 122 is provided in the traveling unit 121 , the guide wheel 250 may contact the side surface of the traveling unit 121 from the upper portion of the side receiving groove 122 .

상기 받이홈(124)은 상기 지지부(123)의 내부로 파여진 홈으로, 상기 받이홈(124)에는 레일 주변에 배치되는 배선, 케이블 등이 삽입할 수 있다. 이를 통해 상기 레일(120) 주변을 통과하는 배선, 케이블 등을 정리할 수 있게 된다. 또한, 상기 받이홈(124)을 통해 상기 가이드휠(250)에서 떨어지는 이물질을 포집할 수 있으며, 이를 통해 상기 레일(120) 또는 이송 펠릿 시스템에 이물질이 적층되는 것을 방지할 수 있게 된다. The receiving groove 124 is a groove dug into the support part 123 , and wires, cables, etc. disposed around the rail may be inserted into the receiving groove 124 . Through this, it is possible to organize wiring and cables passing through the periphery of the rail 120 . In addition, it is possible to collect foreign substances falling from the guide wheel 250 through the receiving groove 124, thereby preventing the foreign substances from being stacked on the rail 120 or the conveying pellet system.

상기 이물질 받이 커버(260)는 상기 하우징(230)의 측면에 결합되며, 상기 가이드휠(250)의 측부와 하부를 감싸도록 연장되는 것이다. 상기 이물질 받이 커버(260)는 상기 하우징(230)의 양측면에서 외부로 돌출되는 것으로, 구부러진 판 형상으로 이루어질 수 있다. The foreign material receiving cover 260 is coupled to the side surface of the housing 230 and extends to surround the side and lower portions of the guide wheel 250 . The foreign material receiving cover 260 protrudes from both sides of the housing 230 to the outside, and may be formed in a bent plate shape.

상기 이물질 받이 커버(260)는 상기 하우징(230)의 측면에서 외부로 돌출되는 돌출 부분과 상기 돌출 부분에서 상기 가이드휠(250)의 측부를 감싸도록 구부러지면서 연장되는 제1부분과, 상기 제1부분에서 상기 가이드휠(250)의 하부를 감싸도록 구부러지면서 연장되는 제2부분을 포함한다. The foreign material receiving cover 260 includes a protruding portion protruding to the outside from the side surface of the housing 230 and a first portion extending while being bent so as to surround the side of the guide wheel 250 from the protruding portion, and the first and a second portion extending while being bent so as to surround the lower portion of the guide wheel 250 in the portion.

상기 이물질 받이 커버(260)는 상기 가이드휠(250) 감싸면서, 상기 가이드휠(250)에서 떨어지는 이물질을 포집할 수 있는 것이다. 기판 이송장치를 장기간 사용하게 되면, 상기 가이드휠(250)에 이물질 발생할 수 있는데, 상기 이물질 받이 커버(260)는 상기 이물질이 외부로 비산되지 않도록 상기 이물질을 포집할 수 있는 것이다. The foreign material receiving cover 260 is capable of collecting foreign substances falling from the guide wheel 250 while surrounding the guide wheel 250 . When the substrate transfer device is used for a long time, foreign substances may be generated in the guide wheel 250 , and the foreign substances receiving cover 260 can collect the foreign substances so that the foreign substances do not scatter to the outside.

도 5를 참조하면, 상기 이물질 받이 커버(260)의 끝단은 상기 측면 받이홈(122)에 끼워질 수 있다. 상기 이물질 받이 커버(260)의 끝단을 상기 측면 받이홈(122)에 끼우면, 상기 이물질 받이 커버(260)에서 이탈하는 이물질을 상기 측면 받이홈(122)으로 포집될 수 있고, 이를 통해 상기 레일(120) 또는 이송 펠릿 시스템에 이물질이 적층되는 것을 방지할 수 있게 된다. Referring to FIG. 5 , an end of the foreign material receiving cover 260 may be fitted into the side receiving groove 122 . When the end of the foreign material receiving cover 260 is inserted into the side receiving groove 122, foreign substances that escape from the foreign material receiving cover 260 can be collected by the side receiving groove 122, and through this, the rail ( 120) or it becomes possible to prevent the deposition of foreign substances in the conveying pellet system.

이와 같이 상기 이물질 받이 커버(260)와 상기 측면 받이홈(122)을 동시에 사용하면, 상기 가이드휠(250)에서 발생하는 이물질이 외부로 배출되는 것을 이중으로 차단할 수 있게 된다. In this way, when the foreign material receiving cover 260 and the side receiving groove 122 are used at the same time, it is possible to double block the foreign material generated from the guide wheel 250 from being discharged to the outside.

도 6을 참조하면, 상기 이물질 받이 커버(260)의 끝단에는, 상기 이물질 받이 커버(260) 끝단에서 상향 연장되는 경사부(261)가 구비될 수도 있다. 상기 경사부(261)는 상기 이물질 받이 커버(260)의 끝단에서 상부를 향하여 연장되는 것으로, 상기 경사부(261)는 상기 이물질 받이 커버(260)의 끝단에서 수직으로 연장될 수 있으며, 상향 사선으로 연장될 수도 있다. Referring to FIG. 6 , an inclined portion 261 extending upward from the end of the foreign material receiving cover 260 may be provided at an end of the foreign material receiving cover 260 . The inclined portion 261 extends upward from the end of the foreign material receiving cover 260 , and the inclined portion 261 may extend vertically from the end of the foreign material receiving cover 260 , and may be inclined upward. may be extended to

상기 이물질 받이 커버(260)의 끝단에 상기 경사부(261)를 형성함에 따라 상기 이물질 받이 커버(260)에 포집된 이물질이 외부로 이탈하는 것을 방지할 수 있게 된다. As the inclined portion 261 is formed at the end of the foreign material receiving cover 260 , it is possible to prevent the foreign substances collected in the foreign material receiving cover 260 from escaping to the outside.

여기서, 상기 경사부(261)는 상기 측면 받이홈(122)에 끼워질 수 있으며, 이를 통해 상기 가이드휠(250)에서 발생하는 이물질이 상기 레일(120) 또는 이송 펠릿 시스템에 이물질이 적층되는 것을 이중으로 방지할 수 있게 된다. Here, the inclined portion 261 may be fitted into the side receiving groove 122, and through this, foreign substances generated from the guide wheel 250 are deposited on the rail 120 or the transfer pellet system. This can be prevented by doubling.

상기 이물질 받이 커버(260)는 상기 하우징(230)의 측면에 탈부착 가능하게 결합될 수 있다. 상기 이물질 받이 커버(260)를 상기 하우징(230)의 탈부착 가능하게 결합함에 따라, 상기 이물질 받이 커버(260)의 조립 및 분해를 용이하게 할 수 있는 장점이 있다. The foreign material receiving cover 260 may be detachably coupled to the side surface of the housing 230 . As the foreign material receiving cover 260 is detachably coupled to the housing 230 , there is an advantage that can facilitate assembly and disassembly of the foreign material receiving cover 260 .

구체적으로, 상기 이물질 받이 커버(260)는 자석을 통해 상기 하우징(230)의 측면에 탈부착 가능하게 결합될 수 있다. 상기 자석은 상기 이물질 받이 커버(260)에 구비될 수 있으며, 상기 하우징(230)에 구비될 수도 있다. 상기 자석을 통해 상기 이물질 받이 커버(260)를 상기 하우징(230)의 측면에 결합하면, 상기 이물질 받이 커버(260)의 조립 및 분해를 용이하게 할 수 있는 장점이 있다. Specifically, the foreign material receiving cover 260 may be detachably coupled to the side surface of the housing 230 through a magnet. The magnet may be provided on the foreign material receiving cover 260 , or may be provided on the housing 230 . When the foreign material receiving cover 260 is coupled to the side surface of the housing 230 through the magnet, there is an advantage in that assembling and disassembling the foreign material receiving cover 260 can be facilitated.

다만, 상기 이물질 받이 커버(260)는 상기 자석을 통해 상기 하우징(230)에 탈부착 가능하게 결합되는 것으로 한정되는 것은 아니며, 상기 이물질 받이 커버(260)를 상기 하우징(230)에 탈부착 가능하게 결합시킬 수 있다면 다양한 구성이 사용될 수 있다. However, the foreign material receiving cover 260 is not limited to being detachably coupled to the housing 230 through the magnet, and the foreign material receiving cover 260 is detachably coupled to the housing 230 . Various configurations may be used if possible.

상기 레일(120)의 상기 지지부(123)의 측면에는 레일 커버(125)가 구비될 수 있으며, 상기 레일 커버(125)를 통해 이송 펠릿 시스템에서 발생하는 이물질을 포집할 수도 있다. 상기 레일 커버(125)는 이물질을 포집할 수 있는 홈이 구비되어 있는 것으로, 상기 레일 커버(125)를 통해 상기 이송 펠릿(110)의 주행 중에 발생하는 이물질을 포집할 수 있게 된다. A rail cover 125 may be provided on a side surface of the support 123 of the rail 120 , and foreign substances generated in the transport pellet system may be collected through the rail cover 125 . The rail cover 125 is provided with a groove capable of collecting foreign substances, and it is possible to collect foreign substances generated while the transport pellet 110 is traveling through the rail cover 125 .

상기 연결 레일(130)은 복수 개의 상기 레일(120)의 교차 지점에 형성되는 것으로, 서로 다른 방향으로 연장되는 복수 개의 레일(120) 중 하나의 레일을 선택적으로 연결시키도록 회전 가능하게 설치되는 것이다. The connecting rail 130 is formed at the intersection of the plurality of rails 120, and is rotatably installed to selectively connect one rail among the plurality of rails 120 extending in different directions. .

상기 연결 레일(130)은 가로 방향으로 연장되는 레일과 세로 방향으로 연장되는 레일의 교차지점에 형성되는 것으로, 상기 연결 레일(130)의 회전을 통해 가로 방향으로 연장된 레일이 연속적으로 연결되거나 세로 방향으로 연장되는 레일이 연속적으로 연결될 수 있다. The connection rail 130 is formed at the intersection of the rail extending in the horizontal direction and the rail extending in the vertical direction, and the rail extending in the horizontal direction is continuously connected or vertically through the rotation of the connection rail 130 . Rails extending in the direction may be connected continuously.

본 발명의 실시 예에 따른 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템은 상기 연결 레일(130)이 회전 가능하게 설치되는 베이스(140)와 상기 보조 롤러(131)를 더 포함할 수 있다. The transfer pellet system using a direction change connection rail according to an embodiment of the present invention may further include a base 140 and the auxiliary roller 131 on which the connection rail 130 is rotatably installed.

본 발명의 실시 예에 따른 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템은, 시스템의 지지대가 되는 프레임(10)을 포함될 수 있으며, 상기 프레임(10)에 상기 레일(120)과 상기 베이스(140)가 설치될 수 있다. The transfer pellet system using the direction change connection rail according to an embodiment of the present invention may include a frame 10 that is a support of the system, and the rail 120 and the base 140 in the frame 10. can be installed.

상기 베이스(140)에는 상기 연결 레일(130)이 회전 가능하게 설치되어 있다. 도 7을 참조하면, 상기 연결 레일(130)은 연결부(132)를 통해 상기 베이스(140)에 설치될 수 있는 것으로, 상기 베이스(140) 또는 상기 프레임(10)에는 상기 연결 레일(130)이 회전할 수 있는 동력을 제공하는 동력부(미도시)가 구비될 수 있다. The connecting rail 130 is rotatably installed on the base 140 . Referring to FIG. 7 , the connection rail 130 may be installed on the base 140 through a connection part 132 , and the connection rail 130 is provided on the base 140 or the frame 10 . A power unit (not shown) that provides rotatable power may be provided.

상기 연결 레일(130)은 상술한 상기 롤러부(200)와 함께 회전할 수 있는 것으로, 상기 연결 레일(130)의 상부로 상기 롤러부(200)가 이동되면 상기 연결 레일(130)이 회전하게 된다. 이하에서는 상기 연결 레일(130)과 상기 롤러부(200)를 통해 상기 이송 펠릿(110)의 방향이 전환되는 과정을 설명한다. The connecting rail 130 is rotatable together with the above-described roller unit 200, and when the roller unit 200 is moved to the upper part of the connecting rail 130, the connecting rail 130 is rotated. do. Hereinafter, a process in which the direction of the conveying pellet 110 is switched through the connecting rail 130 and the roller unit 200 will be described.

가로 방향으로 연장된 레일을 따라 상기 롤러부(200)가 이동하면, 상기 이송 펠릿(110)은 가로 방향으로 연장된 레일과 나란한 방향으로 이동하게 된다. 이때, 상기 연결 레일(130)은 가로 방향으로 연장된 레일이 연결되어 있도록, 가로 방향으로 연장된 레일과 나란한 방향으로 배치되어 있다. When the roller unit 200 moves along the rail extending in the horizontal direction, the conveying pellet 110 is moved in a direction parallel to the rail extending in the horizontal direction. In this case, the connecting rail 130 is arranged in a direction parallel to the horizontally extending rail so that the horizontally extending rail is connected.

상기 롤러부(200)가 가로 방향으로 연장된 레일 따라 이동하다가 상기 연결 레일(130)의 상부로 이동하면, 상기 연결 레일(130)을 회전시킨다. 상기 연결 레일(130)이 회전하면, 상기 연결 레일(130) 상부로 이동된 상기 롤러부(200)도 회전하게 된다. When the roller part 200 moves along the rail extending in the horizontal direction and moves to the upper part of the connection rail 130 , the connection rail 130 is rotated. When the connection rail 130 rotates, the roller unit 200 moved to the upper part of the connection rail 130 also rotates.

여기서, 상기 롤러부(200)는 상기 베어링(220)을 통해 상기 이송 펠릿(110)에 회전 가능하게 결합되는 것이기 때문에, 상기 롤러부(200)가 회전하여도 상기 이송 펠릿(110)은 정지한 상태로 있다.-+Here, since the roller unit 200 is rotatably coupled to the conveying pellet 110 through the bearing 220, even when the roller unit 200 rotates, the conveying pellet 110 is stopped. It stays.-+

상기 연결 레일(130)이 회전함에 따라 가로 방향으로 연장된 레일의 연결이 끊기고, 세로 방향으로 연장된 레일이 서로 연결될 수 있다. 이후, 상기 롤러부(200)를 세로 방향으로 연장된 레일을 따라 이동시키면, 상기 이송 펠릿(110)은 세로 방향으로 연장된 레일과 나란한 방향으로 이동하게 된다. As the connection rail 130 rotates, the rails extending in the horizontal direction may be disconnected, and the rails extending in the vertical direction may be connected to each other. Thereafter, when the roller unit 200 is moved along the rail extending in the longitudinal direction, the conveying pellet 110 is moved in a direction parallel to the rail extending in the longitudinal direction.

이와 같은 과정을 통해 상기 이송 펠릿(110)의 이동 방향이 가로 방향에서 세로 방향으로 전환될 수 있으며, 동일한 방법으로 상기 이송 펠릿(110)의 이동 방향이 세로 방향에서 가로 방향으로 전환될 수 있다. Through this process, the moving direction of the conveying pellets 110 may be switched from the horizontal direction to the vertical direction, and in the same way, the moving direction of the conveying pellets 110 may be switched from the vertical direction to the horizontal direction.

그러나 이와 같은 방법을 통해 상기 이송 펠릿(110)의 이동 방향을 전환하는 것은 다음과 같은 문제가 있다. 도 8을 참조하면, 상기 이송 펠릿(110)에서 상기 베어링(220)으로 고하중의 부하가 전달되기 때문에, 상기 이송 펠릿(110)의 방향 전환시 상기 베어링(220)에 큰 부하 모멘트가 발생할 수 있다. However, changing the moving direction of the conveying pellets 110 through this method has the following problems. Referring to FIG. 8 , since a high load is transferred from the conveying pellet 110 to the bearing 220 , a large load moment may occur in the bearing 220 when the direction of the conveying pellet 110 is changed. there is.

상기 베어링(220)에 큰 부하 모멘트가 발생하면, 상기 베어링(220)이 손상되거나 상기 이송 펠릿(110)이 기울어짐에 따라 상기 이송 펠릿(110)의 방향 전환이 원활하게 이루어지지 않을 수 있다. When a large load moment occurs in the bearing 220 , the direction change of the conveying pellet 110 may not be smoothly performed as the bearing 220 is damaged or the conveying pellet 110 is tilted.

본 발명의 실시 예에 따른 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템은 이를 방지하기 위해, 상기 연결 레일(130) 하부에 보조 롤러(131)를 구비할 수 있다. In order to prevent this, the conveying pellet system using the direction change connection rail according to an embodiment of the present invention may be provided with an auxiliary roller 131 under the connection rail 130 .

도 8을 참조하면, 상기 보조 롤러(131)는 상기 연결 레일(130)과 함께 회전하며, 상기 연결 레일(130)의 하부 양측에 구비될 수 있는 것이다. 상기 보조 롤러(131)는 상기 연결 레일(130)의 회전을 보조할 수 있는 것으로, 상기 보조 롤러(131)의 회전력을 통해 상기 연결 레일(130)의 회전이 원활하게 이루어질 수 있다. Referring to FIG. 8 , the auxiliary roller 131 rotates together with the connection rail 130 , and may be provided on both lower sides of the connection rail 130 . The auxiliary roller 131 may assist the rotation of the connecting rail 130 , and the rotation of the connecting rail 130 may be smoothly performed through the rotational force of the auxiliary roller 131 .

이와 함께, 상기 베이스(140)에는 상기 베이스(140)의 상면으로부터 상부로 돌출되는 슬리브(141)가 구비될 수 있다. 도 8 및 도 9를 참조하면, 일 실시 예에 따른 상기 베이스(140)는 원판 형상으로 이루어질 수 있으며, 상기 슬리브(141)는 상기 베이스(140)의 둘레를 따라 서로 이격되면서 복수 개가 배치될 수 있다. In addition, the base 140 may be provided with a sleeve 141 protruding upward from the upper surface of the base 140 . 8 and 9 , the base 140 according to an embodiment may have a disk shape, and a plurality of the sleeves 141 may be disposed while being spaced apart from each other along the circumference of the base 140 . there is.

구체적으로, 상기 슬리브(141)는 상기 베이스(140)의 둘레를 따라 등간격으로 이격되면서 4개가 배치될 수 있다. 다만, 복수 개의 상기 슬리브(141)의 배치는 이에 한정되는 것은 아니며, 복수 개의 상기 슬리브(141)의 배치는 필요에 따라 변경될 수 있다. Specifically, four sleeves 141 may be disposed while being spaced apart at equal intervals along the circumference of the base 140 . However, the arrangement of the plurality of sleeves 141 is not limited thereto, and the arrangement of the plurality of sleeves 141 may be changed as necessary.

여기서, 상기 보조 롤러(131)는 상기 베이스(140)의 상면에는 접촉되지 않으면서 상기 슬리브(141)에만 접촉되면서 회전할 수 있다. 상기 슬리브(141)는 상기 베이스(140)의 상면으로 돌출되는 것으로, 상기 보조 롤러(131)는 상기 베이스(140)의 상면에는 접촉되지 않고, 상기 슬리브(141)에만 접촉되도록 상기 연결 레일(130)의 하부에 결합될 수 있다. Here, the auxiliary roller 131 may rotate while contacting only the sleeve 141 without contacting the upper surface of the base 140 . The sleeve 141 protrudes from the upper surface of the base 140 , and the auxiliary roller 131 does not contact the upper surface of the base 140 , but the connecting rail 130 so as to contact only the sleeve 141 . ) can be coupled to the lower part.

상기 보조 롤러(131)가 상기 베이스(140)의 상면에 접촉되면, 상기 연결 레일(130) 및 상기 보조 롤러(131)가 회전하는 동안 상기 베이스(140)와 상기 보조 롤러(131) 사이에 마찰력이 지속적으로 발생하면서 불필요한 마모가 발생할 수 있게 된다. 이를 방지하기 위해, 상기 보조 롤러(131)는 상기 슬리브(141)에만 접촉할 수 있으며, 이를 통해 불필요한 마모가 발생하는 것을 방지할 수 있게 된다. When the auxiliary roller 131 is in contact with the upper surface of the base 140 , a frictional force between the base 140 and the auxiliary roller 131 while the connecting rail 130 and the auxiliary roller 131 rotate As this continues to occur, unnecessary wear and tear may occur. To prevent this, the auxiliary roller 131 may contact only the sleeve 141 , thereby preventing unnecessary wear from occurring.

본 발명의 다른 실시 예에 따르면, 상기 보조 롤러(131)는 상기 연결 레일(130)로 상기 롤러부(200)가 이동될 때만, 상기 롤러부(200)를 통해 전달되는 하중에 의해 상기 슬리브(141)에만 접촉될 수 있다. (이 때도 상기 보조 롤러(131)는 상기 베이스(140)의 상면에 접촉되지 않을 수 있다.)According to another embodiment of the present invention, the auxiliary roller 131 is the sleeve ( 141) only. (Even at this time, the auxiliary roller 131 may not be in contact with the upper surface of the base 140 .)

상기 롤러부(200)가 상기 연결 레일(130) 상부로 이동되면, 상기 이송 펠릿(110)의 하중이 상기 롤러부(200)를 통해 상기 연결 레일(130)로 전달된다. 상기 연결 레일(130)로 전달된 하중에 의해 상기 보조 롤러(131)가 하부로 이동되면서 상기 슬리브(141)와 접촉될 수 있다. When the roller part 200 is moved to the upper part of the connection rail 130 , the load of the conveying pellet 110 is transferred to the connection rail 130 through the roller part 200 . The auxiliary roller 131 may be moved downward by the load transferred to the connection rail 130 and may come into contact with the sleeve 141 .

여기서, 상기 보조 롤러(131)는 상기 연결 레일(130)로 상기 롤러부(200)가 이동되지 않았을 때 상기 슬리브(141)에 접촉되지 않을 수 있다. 이와 같이 상기 롤러부(200)가 상기 연결 레일(130)에 진입하였을 경우에만 상기 보조 롤러(131)와 상기 슬리브(141)를 접촉시킴에 따라 불필요한 마모가 발생하는 것을 방지할 수 있게 된다. Here, the auxiliary roller 131 may not contact the sleeve 141 when the roller unit 200 does not move to the connection rail 130 . As such, it is possible to prevent unnecessary wear from occurring as the roller unit 200 comes into contact with the auxiliary roller 131 and the sleeve 141 only when it enters the connection rail 130 .

또한, 상기 보조 롤러(131)와 상기 슬리브(141)를 사용하여 상기 연결 레일(130)을 회전시킴에 따라 상기 이송 펠릿(110)이 기울어지는 것을 방지할 수 있으며, 상기 베어링(220)의 부하를 감소시킴에 따라 상기 베어링(220)을 소형화하여 설계할 수 있는 장점이 있다. In addition, by rotating the connecting rail 130 using the auxiliary roller 131 and the sleeve 141 , it is possible to prevent the conveying pellet 110 from inclining, and the load of the bearing 220 . There is an advantage in that the bearing 220 can be miniaturized and designed by reducing the .

상술한 본 발명의 실시 예에 따른 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템은 다음과 같은 효과가 있다. The transfer pellet system using the direction change connection rail according to the embodiment of the present invention described above has the following effects.

본 발명의 실시 예에 따른 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템은 연결 레일(130) 하부에 보조 롤러(131)를 구비하고, 베이스(140)에 슬리브(141)를 구비함에 따라 이송 펠릿이 기울어지는 것을 감소시키면서 연결 레일의 방향 전환을 용이하게 할 수 있는 장점이 있다. The conveying pellet system using a direction change connection rail according to an embodiment of the present invention is provided with an auxiliary roller 131 under the connection rail 130, and as the sleeve 141 is provided on the base 140, the conveying pellet is It has the advantage of facilitating the direction change of the connecting rail while reducing the inclination.

또한, 본 발명의 실시 예에 따른 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템은 연결 레일(130) 하부에 보조 롤러(131)를 구비하고, 베이스(140)에 슬리브(141)를 구비함에 따라 베어링(220)의 부하 모멘트를 경감시킬 수 있으며, 이를 통해 베어링(220)을 소형화하여 제작할 수 있는 장점이 있다. In addition, the conveying pellet system using a direction change connection rail according to an embodiment of the present invention is provided with an auxiliary roller 131 under the connection rail 130, and as a base 140 with a sleeve 141, the bearing The load moment of 220 can be reduced, and there is an advantage in that the bearing 220 can be miniaturized and manufactured.

이와 함께, 본 발명의 실시 예에 따른 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템은 레일(120)의 측면에 측면 받이홈(122)을 구비하고, 레일(120)을 따라 이동하는 롤러부(200)에 이물질 받이 커버(260)를 구비함에 따라 가이드휠(250)에서 떨어지는 이물질을 포집 및 제거할 수 있는 장점이 있다.In addition, the conveying pellet system using a direction change connection rail according to an embodiment of the present invention is provided with a side receiving groove 122 on the side of the rail 120, and the roller unit 200 moving along the rail 120 ) has the advantage of being able to collect and remove foreign substances falling from the guide wheel 250 as the foreign material receiving cover 260 is provided.

이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나, 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.As described above, the present invention has been described with reference to one embodiment shown in the drawings, but this is merely exemplary and those skilled in the art will understand that various modifications and variations of the embodiments are possible therefrom. . Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the technical spirit of the appended claims.

110...이송 펠릿 120...레일
121...주행부 122...측면 받이홈
123...지지부 124...받이홈
125...레일 커버 130...연결 레일
131...보조 롤러 132...연결부
140...베이스 141...슬리브
200...롤러부 210...고정부
220...베어링 230...하우징
240...주행 롤러 241...주행 롤러 회전축
250...가이드휠 251...가이드휠 회전축
260...이물질 받이 커버 261...경사부110...Transfer pellets 120...Rail
121...Running part 122...Side receiving groove
123...Support part 124...Receiving groove
125...rail cover 130...connection rail
131...auxiliary roller 132...connection
140...base 141...sleeve
200...Roller part 210...Fixed part
220...bearing 230...housing
240...running roller 241...traveling roller axis of rotation
250...guide wheel 251...guide wheel axis of rotation
260... Cover for foreign matter receiving 261... Inclined part

Claims (15)

기판을 이송하기 위한 이송 펠릿 시스템에 있어서,
기판이 배치되면서 기판을 이송할 수 있는 이송 펠릿;
교차 지점을 가지는 격자 구조로 형성되며, 상기 이송 펠릿의 하부에서 상기 이송 펠릿의 주행경로를 형성하는 복수 개의 레일;
상기 이송 펠릿의 하부에 구비되며, 상기 레일을 따라 이동하는 주행 롤러를 포함하는 롤러부;
상기 교차 지점에 형성되며, 서로 다른 방향으로 연장되는 복수 개의 레일 중 하나의 레일을 선택적으로.연결시키도록 회전 가능하게 설치되는 연결 레일;
상기 연결 레일이 회전 가능하게 설치되는 베이스;
상기 연결 레일과 함께 회전하며, 상기 연결 레일의 하부에 구비되는 보조 롤러;를 포함하며,
상기 베이스는 원판 형상으로 이루어지며,
상기 베이스에는, 상기 베이스의 상면으로부터 상부로 돌출되는 복수 개의 슬리브가 구비되며,
상기 슬리브는, 상기 베이스의 둘레를 따라 서로 이격되면서 배치되는 것을 특징으로 하는 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템.A transfer pellet system for transferring a substrate, comprising:
Transfer pellets capable of transferring the substrate while the substrate is disposed;
A plurality of rails formed in a grid structure having an intersection point, forming a traveling path of the transport pellets in the lower portion of the transport pellets;
a roller unit provided at a lower portion of the conveying pellet and including a traveling roller moving along the rail;
a connection rail formed at the crossing point and rotatably installed to selectively connect one rail among a plurality of rails extending in different directions;
a base on which the connection rail is rotatably installed;
It rotates together with the connection rail, and an auxiliary roller provided under the connection rail;
The base is made in the shape of a disk,
The base is provided with a plurality of sleeves protruding upward from the upper surface of the base,
The sleeve is, along the perimeter of the base, the transfer pellet system using a direction conversion connection rail, characterized in that disposed while being spaced apart from each other. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 보조 롤러는,
상기 베이스의 상면에는 접촉되지 않으며, 상기 슬리브에만 접촉되면서 회전하는 것을 특징으로 하는 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템.According to claim 1,
The auxiliary roller is
A transfer pellet system using a direction change connection rail, characterized in that it rotates while not in contact with the upper surface of the base, and in contact with only the sleeve. 제3항에 있어서,
상기 보조 롤러는, 상기 연결 레일로 상기 롤러부가 이동될 때, 상기 롤러부를 통해 전달되는 하중에 의해 상기 슬리브에 접촉되고,
상기 연결 레일로 상기 롤러부가 이동되지 않을 때는 상기 슬리브에 접촉되지 않는 것을 특징으로 하는 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템.4. The method of claim 3,
The auxiliary roller is in contact with the sleeve by a load transmitted through the roller unit when the roller unit is moved to the connecting rail,
Transfer pellet system using a direction change connection rail, characterized in that when the roller part does not move to the connection rail, it does not contact the sleeve. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 슬리브는, 상기 베이스의 둘레를 따라 등간격으로 이격되면서 4개가 배치되는 것을 특징으로 하는 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템.According to claim 1,
The sleeve, while being spaced at equal intervals along the circumference of the base, the transfer pellet system using a direction change connection rail, characterized in that four are arranged. 제1항에 있어서,
상기 롤러부는,
상기 이송 펠릿이 형성하는 평면과 수직한 방향으로 연장되는 회전축을 중심으로 회전 가능하도록 상기 이송 펠릿의 하부에 결합되는 베어링;
상기 베어링과 함께 회전하며, 상기 주행 롤러가 배치될 수 있는 공간이 구비된 하우징;
상기 레일의 상면에 접촉되며, 상기 이송 펠릿이 형성하는 평면과 나란한 방향으로 연장되는 회전축을 중심으로 회전 가능하도록 상기 하우징에 결합되는 상기 주행 롤러;
상기 레일의 측면에 접촉되며, 상기 이송 펠릿이 형성하는 평면과 수직한 방향으로 연장되는 회전축을 중심으로 회전 가능하도록 상기 하우징의 하부에 결합되는 가이드휠;
상기 하우징의 측면에 결합되며, 상기 가이드휠의 측부와 하부를 감싸도록 연장되는 이물질 받이 커버;를 포함하는 것을 특징으로 하는 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템.According to claim 1,
The roller unit,
a bearing coupled to a lower portion of the conveying pellets so as to be rotatable about a rotational shaft extending in a direction perpendicular to a plane formed by the conveying pellets;
a housing rotating together with the bearing and having a space in which the traveling roller can be disposed;
The traveling roller in contact with the upper surface of the rail and coupled to the housing so as to be rotatable about a rotation axis extending in a direction parallel to a plane formed by the conveying pellets;
a guide wheel in contact with the side surface of the rail and coupled to the lower portion of the housing so as to be rotatable about a rotational axis extending in a direction perpendicular to a plane formed by the conveying pellets;
The transfer pellet system using a direction change connection rail comprising a; coupled to the side of the housing, the foreign material receiving cover extending to surround the side and the lower portion of the guide wheel. 제7항에 있어서,
상기 이물질 받이 커버는, 상기 하우징의 측면에 탈부착 가능하도록 결합되는 것을 특징으로 하는 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템.8. The method of claim 7,
The foreign material receiving cover is a transfer pellet system using a direction change connection rail, characterized in that it is coupled to be detachably attached to the side of the housing. 제8항에 있어서,
상기 이물질 받이 커버는, 자석을 통해 상기 하우징의 측면에 탈부착 가능하도록 결합되는 것을 특징으로 하는 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템.9. The method of claim 8,
The foreign material receiving cover, a transfer pellet system using a direction change connection rail, characterized in that coupled to detachably coupled to the side of the housing through a magnet. 제7항에 있어서,
상기 레일은,
상기 주행 롤러와 상기 가이드휠이 접촉되는 주행부와 상기 주행부의 양측에 구비되는 지지부를 포함하며,
상기 주행 롤러는 상기 주행부의 상면에 접촉되며, 상기 가이드휠은 상기 주행부의 측면에 접촉되는 것을 특징으로 하는 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템.8. The method of claim 7,
The rail is
and a supporting part provided on both sides of a driving part in which the driving roller and the guide wheel are in contact, and the driving part,
The traveling roller is in contact with the upper surface of the traveling unit, the guide wheel is a transport pellet system using a direction change connection rail, characterized in that in contact with the side surface of the traveling unit. 제10항에 있어서,
상기 지지부에는 받이홈이 구비되는 것을 특징으로 하는 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템.11. The method of claim 10,
Transfer pellet system using a direction change connection rail, characterized in that the support is provided with a receiving groove. 제10항에 있어서,
상기 주행부의 측면에는 상기 주행부의 내측으로 파여진 측면 받이홈이 구비되며,
상기 가이드휠은, 상기 측면 받이홈의 상부에서 상기 주행부의 측면에 접촉되는 것을 특징으로 하는 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템.11. The method of claim 10,
The side of the traveling unit is provided with a side receiving groove cut into the inside of the traveling unit,
The guide wheel, the transfer pellet system using a direction change connection rail, characterized in that in contact with the side surface of the traveling part in the upper portion of the side receiving groove. 제12항에 있어서,
상기 이물질 받이 커버의 끝단은 상기 측면 받이홈에 끼워지는 것을 특징으로 하는 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템.13. The method of claim 12,
The transfer pellet system using a direction change connection rail, characterized in that the end of the foreign material receiving cover is fitted into the side receiving groove. 제10항에 있어서,
상기 지지부의 측면에는 레일 커버가 구비되는 것을 특징으로 하는 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템.11. The method of claim 10,
Transfer pellet system using a direction change connection rail, characterized in that the rail cover is provided on the side of the support. 제7항에 있어서,
상기 이물질 받이 커버의 끝단에는, 상기 이물질 받이 커버 끝단에서 상향 연장되는 경사부가 구비되는 것을 특징으로 하는 방향 전환 연결 레일을 사용하는 이송 펠릿 시스템.8. The method of claim 7,
A transfer pellet system using a direction change connection rail, characterized in that an inclined portion extending upwardly from the end of the foreign material receiving cover is provided at the end of the foreign material receiving cover.
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