KR102344009B1 - 웨이퍼용 멤브레인의 건조대 및 이를 이용한 회전건조장치 - Google Patents

웨이퍼용 멤브레인의 건조대 및 이를 이용한 회전건조장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 웨이퍼용 멤브레인의 건조대 및 이를 이용한 회전건조장치에 관한 것으로, 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼용 멤브레인의 건조대는, 외력에 의해 회전하는 원통형의 드럼부와, 상기 드럼부의 내주면에 형성되고, 복수의 웨이퍼용 멤브레인이 일정한 간격으로 배열되도록 거치하는 적어도 하나 이상의 거치부와, 단면이 굽어진 판넬로 형상으로 표면에 복수의 배수공이 형성되고, 상기 거치부와 회동결합되어 상기 드럼부가 회전시 상기 웨이퍼용 멤브레인가 상기 거치부로부터 이탈하는 것을 방지하는 커버부를 포함한다.

Description

웨이퍼용 멤브레인의 건조대 및 이를 이용한 회전건조장치{DRYING RACK OF WAFER MEMBRANE, AND ROTARY DRYING APPARATUS USING THE DRYING RACK}
본 발명은 웨이퍼용 멤브레인의 건조대 및 이를 이용한 회전건조장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 웨어퍼용 멤브레인을 세척 후 건조시키는 기술이 개시된다.
화학적 기계식 연마(Chemical Mechanical Polishing, CMP)장치는 반도체소자 제조과정 중 마스킹, 에칭 및 배선공정 등을 반복 수행하면서 생성되는 웨이퍼 표면의 요철로 인한 셀 지역과 주변 회로지역간 높이 차를 제거하는 광역 평탄화와, 회로 형성용 콘택/배선막 분리 및 고집적 소자화에 따른 웨이퍼 표면 거칠기 향상 등을 도모하기 위하여, 웨이퍼의 표면을 정밀 연마 가공하는데 사용되는 장치이다.
이러한 CMP 장치에 있어서, 캐리어 헤드는 연마공정 전후에 반도체 웨이퍼의 연마 면이 연마용 패드와 마주보게 한 상태로 반도체 웨이퍼를 가압하여 연마 공정을 행하도록 하고, 동시에 연마 공정이 종료되면 웨이퍼를 직접 및 간접적으로 진공 흡착하여 파지한 상태로 그 다음 공정으로 이동하도록 한다. 이 경우, 연마용 박막인 멤브레인(membrane)의 성능이 상대적으로 중요한 역할을 한다.
종래의 기술 중 대한민국 등록특허공보 제10-1597457호(2016년 02월 24일 공고)는 폴리싱 패드 세정 장치에 관한 것으로, 폴리싱 패드를 회전시키면서 고압수를 분사시켜 건조하고, 비전 센서를 통해 폴리싱 패드의 거칠기를 확인하여 거칠기 정보에 따라 폴리싱 패드의 회전수를 조절하는 것을 기술적 특징으로 합니다.
웨이퍼용 멤브레인을 제조하는 경우 성형, 세척, 건조 과정을 거치는데 건조 과정에서 세척수나 미세한 이물질이 멤브레인 표면에 남아 물자국으로 남아 있게 된다. 특히 멤브레인에는 다중의 립이 형성되어 물기가 제거되기 어려운 구조로 형성된다. 이 경우, 웨이퍼를 오염시키거나 제품 검수 과정에서 불량으로 판정받는 문제가 있었다. 상기 종래의 기술의 경우에는 사용 중인 폴리싱 패드를 세척하고 건조하는 것으로 제조과정에서 다량의 웨이퍼용 멤브레인을 건조시키는데 한계가 있다.
본 발명의 해결하고자 하는 기술적 과제는 웨이퍼용 멤브레인의 세척 후 건조시 물자국이나 이물질 흔적을 최소화할 수 있는 웨이퍼용 멤브레인의 건조대 및 이를 이용한 회전건조장치를 제공하기 위함이다.
또한, 다량의 멤브레인을 손상없이 일시에 건조시킬 수 있는 웨이퍼용 멤브레인의 건조대 및 이를 이용한 회전건조장치를 제공하기 위함이다.
또한, 레일부를 통해 웨이퍼용 멤브레인를 드럼부 외부로 노출시켜 손쉽게 분리시킬 수 있어 작업의 효율을 증대시킬 수 있는 웨이퍼용 멤브레인의 건조대 및 이를 이용한 회전건조장치를 제공하기 위함이다.
또한, 건조대의 운전상태를 감지하여 원격에서 동작을 제어할 수 있는 웨이퍼용 멤브레인의 건조대 및 이를 이용한 회전건조장치를 제공하기 위함이다.
본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼용 멤브레인의 건조대는, 외력에 의해 회전하는 원통형의 드럼부와, 상기 드럼부의 내주면에 형성되고, 복수의 웨이퍼용 멤브레인이 일정한 간격으로 배열되도록 거치하는 적어도 하나 이상의 거치부와, 단면이 굽어진 판넬로 형상으로 표면에 복수의 배수공이 형성되고, 상기 거치부와 회동결합되어 상기 드럼부가 회전시 상기 웨이퍼용 멤브레인가 상기 거치부로부터 이탈하는 것을 방지하는 커버부를 포함한다.
또한, 상기 커버부가 상기 거치부를 향하여 회동하면 고정되고, 상기 커버부가 상기 거치부로부터 벌어지도록 회동하면 고정해제될 수 있다.
또한, 상기 드럼부의 내주면의 일측에 레일 형상으로 형성되는 레일부를 더 포함하고, 상기 거치부는 상기 레일부와 슬라이딩 결합하여, 상기 레일부를 따라 상기 드럼부의 내측에 수용되거나, 상기 드럼부의 외측으로 노출되도록 이동할 수 있다.
한편, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 웨이퍼용 멤브레인의 건조대를 이용한 회전건조장치는, 외력에 의해 회전하는 원통형의 드럼부와, 상기 드럼부의 내주면에 형성되고, 복수의 웨이퍼용 멤브레인이 일정한 간격으로 배열되도록 거치하는 적어도 하나 이상의 거치부와, 단면이 굽어진 판넬로 형상으로 표면에 복수의 배수공이 형성되고, 상기 거치부와 회동결합되어 상기 드럼부가 회전시 상기 웨이퍼용 멤브레인이 상기 거치부로부터 이탈하는 것을 방지하는 커버부를 포함하는 건조대와, 상기 드럼부와 연결되어 회동시키는 회동부와, 상기 드럼부의 내측으로 기 설정된 온도의 열풍을 공급하고, 상기 열풍을 흡입하여 외부로 배기시키는 열건조부를 포함한다.
또한, 상기 드럼부 내부의 온도 및 습도를 감지하는 감지부와, 상기 감지부의 감지정보에 따라 상기 열풍의 온도를 제어하고, 상기 회동부의 회동속도 및 구동시간으로 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
이에 따라, 세척 후 건조시 물자국이나 이물질 흔적을 최소화할 수 있다.
또한, 다량의 멤브레인을 손상없이 일시에 건조시킬 수 있다.
또한, 레일부를 통해 웨이퍼용 멤브레인를 드럼부 외부로 노출시켜 손쉽게 분리시킬 수 있어 작업의 효율을 증대시킬 수 있다.
또한, 건조대의 운전상태를 감지하여 원격에서 동작을 제어할 수 있어 화재나 고장의 위험을 줄일 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼용 멤브레인의 건조대의 구성도이다.
도 2는 도 1에 따른 거치부와 커버부의 결합관계를 설명하기 위한 예시도이다.
도 3는 도 1에 따른 웨이퍼용 멤브레인의 건조대에 레일부가 추가되는 것을 설명하기 위한 예시도이다.
도 4 및 도 5는 도 3의 레일부에 따라 거치부가 이동하는 것을 설명하기 위한 예시도이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 웨이퍼용 멤브레인의 건조대를 이용한 회전건조장치의 구성도이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다. 사용되는 용어들은 실시예에서의 기능을 고려하여 선택된 용어들로서, 그 용어의 의미는 사용자, 운용자의 의도 또는 판례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 후술하는 실시예들에서 사용된 용어의 의미는, 본 명세서에 구체적으로 정의된 경우에는 그 정의에 따르며, 구체적인 정의가 없는 경우는 당업자들이 일반적으로 인식하는 의미로 해석되어야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼용 멤브레인의 건조대의 구성도이고, 도 2는 도 1에 따른 거치부와 커버부의 결합관계를 설명하기 위한 예시도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼용 멤브레인의 건조대(100)는 드럼부(110), 거치부(120), 커버부(130)를 포함한다.
드럼부(110)는 일측이 개구된 원통형의 통으로 형성된다. 드럼부(110)는 내통과 외통으로 형성되며, 내통에는 복수의 타공홈이 형성되어 물이 빠지거나 열풍이 주입되도록 한다. 드럼부(110)는 개구된 일측이 상부를 향하게 위치하거나, 개구된 일측이 측부를 향하게 위치할 수 있다. 드럼부(110)는 중심축이 모터 등에 의한 외력으로 회전하게 된다. 드럼부(110)의 내측에는 복수의 웨이퍼용 멤브레인(10)이 수용된다. 이 경우, 웨이퍼용 멤브레인(10)은 세척을 거친 상태로 수용된다. 드럼부(110)가 회전하면 원심력에 의해 웨이퍼용 멤브레인(10)에 묻어있는 물기가 드럼부(110)의 내통으로부터 외통으로 이동하게 된다.
거치부(120)는 드럼부(110)의 내주면에 고정형성되어 복수의 웨이퍼용 멤브레인(10)이 일정한 간격으로 배열되도록 거치한다. 거치부(120)는 드럼부(110)의 내측에 적어도 하나 이상 형성될 수 있다. 거치부(120)는 반원기둥 형상으로 형성되며, 일측면에 웨이퍼용 멤브레인(10)이 삽입될 수 있는 복수의 삽입홈(120-1)이 형성된다. 거치부(120)에는 웨이퍼용 멤브레인(10)이 절반정도 삽입되어 지지된다. 거치부(120)의 외주면에는 복수의 타공이 형성되어 웨이퍼용 멤브레인(10)의 물이 배출되도록 하고, 웨이퍼용 멤브레인(10)으로 열풍이 주입되도록 한다. 거치부(120)는 커버부(130)와 회동결합된다. 거치부(120)의 일측에는 걸림부(121)가 형성된다. 걸림부(121)는 후술하는 커버부(130)를 고정시키는 역할을 한다.
커버부(130)는 단면이 굽어진 판넬로 형상으로 표면에 복수의 배수공(130-1)이 형성된다. 커버부(130)는 거치부(120)와 회동결합된다. 커버부(130)의 내측면에는 고정부(131)가 형성된다. 커버부(130)가 거치부(120)를 향하여 회동하면 고정부(131)가 거치부(120)의 걸림부(121)와 결합되어 고정결합된다. 커버부(130)는 거치부(120)와 고정결합되어 드럼부(110)가 회전시 웨이퍼용 멤브레인(10)이 거치부(120)로부터 이탈하는 것을 방지한다. 커버부(130)가 거치부(120)로부터 벌어지도록 회동하면 고정부(131)가 거치부(120)의 걸림부(121)와 고정해제된다. 드럼부(110)의 회전이 멈추면 커버부(130)를 거치부(120)로부터 고정해제시켜 웨이퍼용 멤브레인(10)을 거치부(120)로부터 꺼낼 수 있게 된다.
도 3는 도 1에 따른 웨이퍼용 멤브레인의 건조대에 레일부가 추가되는 것을 설명하기 위한 예시도이고, 도 4 및 도 5는 도 3의 레일부에 따라 거치부가 이동하는 것을 설명하기 위한 예시도이다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼용 멤브레인의 건조대(100)는 레일부(140)를 더 포함할 수 있다. 레일부(140)는 드럼부(110)의 내주면의 일측에 레일 형상으로 형성된다. 이 경우, 거치부(120)는 레일부(140)와 슬라이딩 결합한다. 구체적으로 거치부(120)의 하부는 레일부(140)를 따라 드럼부(110)의 내측에 수용되거나, 드럼부(110)의 외측으로 노출되도록 이동한다. 거치부(120)의 하부면은 레일부(140)와 접촉될 수 있는 형상으로 형성될 수 있다.
예를 들어, 거치부(120)는 레일부(140)를 따라 드럼부(110)의 외측으로 이동하면 세척되거나 건조된 웨이퍼용 멤브레인(10)을 수용한다. 거치부(120)가 레일부(140)를 따라 드럼부(110)의 내측으로 이동하면 잠금부(111)를 통해 거치부(120)가 드럼부(110) 외측으로 노출되는 것을 방지할 수 있다. 이 경우, 잠금부(111)는 드럼부(110)의 일측에 형성되어 거치부(120)의 이동을 잠금 또는 해제시키는 역할을 한다. 잠금부(111)의 형태는 사용자의 설계에 의해 다양한 형태로 형성될 수 있다. 잠금부(111)는 복수로 형성되는 것도 가능하다. 이에 따라, 사용자는 드럼부(110) 깊숙이 위치한 거치부(120)의 웨이퍼용 멤브레인(10)을 드럼부(110) 외부로 노출시켜 손쉽게 분리시킬 수 있어 작업의 효율을 증대시킬 수 있다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 웨이퍼용 멤브레인의 건조대를 이용한 회전건조장치의 구성도이다.
도 6을 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 웨이퍼용 멤브레인의 건조대를 이용한 회전건조장치(1000)는 건조대(100), 회동부(200) 및 열건조부(300)를 포함한다.
건조대(100)는 드럼부(110), 거치부(120), 커버부(130)를 포함한다. 건조대(100)의 구성은 도 1 내지 도 5를 통해 설명한 구성과 실질적으로 동일하므로, 중복되는 설명은 생략하도록 한다. 회전건조장치(1000)에는 적어도 하나 이상의 건조대(100)가 형성될 수 있다. 건조대(100)는 회전건조장치(1000)의 도어에 의해 내부가 밀폐된다. 또한, 건조대(100)는 레일부(140)를 더 포함하는 것도 가능하다. 건조대(100)의 거치부(120)는 드럼부(110)의 외측으로 노출되어 웨이퍼용 멤브레인(10)을 손쉽게 분리시킬 수 있다.
회동부(200)는 모터를 이용하여 건조대(100)의 드럼부(110)와 연결되어 회동시킨다. 회동부(200)는 기 설정된 속도로 드럼부(110)를 회동시켜 건조대(100)에 거치된 복수의 웨이퍼용 멤브레인(10)에 묻어 있는 세척수를 물리적인 원심력에 의해 배출시키는 역할을 한다. 회동부(200)의 회동속도, 회동시간, 회동방향은 사용자 설정에 의해 달라질 수 있다. 예를 들어, 회동부(200)는 제1 시간구간에서는 세척수를 배출시키기 위한 제1 구동모드로 동작하고, 제2 시간구간에서는 건조대(100) 내로 유입되는 열풍으로 건조시키 위한 제2 구동모드로 동작할 수 있다. 이에 따라, 효과적으로 웨이퍼용 멤브레인(10) 상의 세척수를 제거할 수 있다.
열건조부(300)는 드럼부(110)의 내측으로 기 설정된 온도의 열풍을 공급한다. 열건조부(300)는 건조대(100) 내부에 거치된 웨이퍼용 멤브레인(10)에 세척수가 미세하게 남아 있는 경우 이를 건조시기키 위해 열풍을 건조대(100) 내부로 유입시킨다. 이 경우, 열풍의 온도는 80℃로 설정될 수 있으나 반드시 이에 한정하는 것은 아니다. 열건조부(300)는 건조대(100) 내부로 주입된 열풍을 흡입하여 외부로 배기시킨다. 이러한 열풍의 주입 및 배출 과정은 수차례 반복될 수 있다. 열건조부(300)는 전기 또는 가스로 발열하여 열풍을 생성할 수 있다. 이에 따라, 웨이퍼용 멤브레인(10)에 잔존하는 세척수를 열로 증발시켜 물자국이나 이물질을 최대한 제거할 수 있다.
또한, 열건조부(300)의 내부에는 필터(도시하지 않음)가 형성될 수 있다. 필터는 외부공기 중 이물질이 드럼부(110) 측으로 유입되는 것을 방지하기 위함이다. 열건조부(300)는 외부공기를 흡입하여 가열한 후 이를 드럼부(110) 측으로 이동시킨다. 예를 들어, 열건조부(300)는 외부공기를 헤파필터 등을 통해 1차로 여과시키고, 음이온을 대전시켜 2차로 여과시키고, 물에 미세기포 방식으로 통과시켜 3차로 여과시키는 등 다중 여과 방식을 거칠 수도 있다. 이에 따라, 드럼부(110)에 유입되는 열풍에서 미세 파티클 등의 이물질의 제거율을 높일 수 있다.
한편, 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼용 멤브레인의 건조대(100)를 이용한 회전건조장치(1000)는 감지부(400) 및 제어부(500)를 더 포함할 수 있다.
감지부(400)는 드럼부(110) 내부의 온도 및 습도를 감지한다. 예를 들어, 감지부(400)는 온도센서, 습도센서를 이용하여 구현할 수 있다. 감지부(400)는 드럼부(110) 내부의 온도 및 습도를 감지한 감지정보를 제어부(500)로 출력한다. 감지정보는 웨이퍼용 멤브레인(10)의 건조상태를 판단하는 기준정보로 사용된다. 감지부(400)는 회전건조장치(1000) 주변의 온도나 습도를 감지하여 감지정보를 생성하는 것도 가능하다. 이는 회전건조장치(1000)가 설치된 환경을 감지하기 위함이다.
또한, 감지부(400)는 드럼부(110) 내부의 음파를 감지할 수 있다. 음파는 드럼부(110)가 회전하면서 발생하는 소음을 감지한 감지정보이다. 이는 건조대(100) 중 커버부(130)가 거치부(120)로부터 이탈하는 경우와 같이 제대로 고정이 되지 않은 상태에서 발생하는 소음을 감지하기 위함이다. 건조대(100)는 스테인레스와 같은 금속재로 형성되므로 금속마찰에 따른 소음을 통해 고장 여부를 판단할 수 있다. 감지부(400)는 감지된 음파를 기 설정된 시간주기로 제어부(500)로 출력한다.
제어부(500)는 감지부(400)의 감지정보에 따라 열풍의 온도를 제어한다. 제어부(500)는 열건조부(300)를 제어하여 열풍의 온도를 증감시킨다. 이는 드럼부(110) 내부의 온도 및 습도에 따라 건조상태를 판단하여 최적의 열풍 온도를 설정하게 된다. 제어부(500)는 회전건조장치(1000) 주변의 온도 및 습도에 따라 회동부(200)의 구동을 중단시키는 것도 가능하다. 예를 들어, 과열로 인한 화재 발생을 예방하기 위해 제어부(500)는 회동부(200)의 구동을 강제로 중단시킬 수 있다. 이에 따라, 작업장의 화재발생을 예방할 수 있다.
또한, 제어부(500)는 감지보의 감지정보 중 음파를 판단하여 고장 여부를 판단할 수도 있다. 제어부(500)는 커버부(130)가 제대로 고정되지 않은 경우, 회전건조장치(1000)의 도어가 열려 있는 경우에도 안전을 위해 구동을 중단시킬 수 있다. 제어부(500)는 회동부(200)의 소음을 감지하여 모터의 고장 여부를 판단하는 것도 가능하다. 이 경우, 회동부(200)의 구동 중 소음을 미리 설정하고, 안전범위 이내인지 여부를 판단할 수 있다. 이에 따라, 건조대(100), 회동부(200), 열건조부(300) 등의 소음을 감지하여 고장 여부를 신속히 판단할 수 있다.
한편, 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼용 멤브레인의 건조대를 이용한 회전건조장치(1000)는 통신부(600)를 더 포함할 수 있다.
통신부(600)는 외부의 사용자 단말과 통신한다. 통신부(600)는 회전건조장치(1000)에서 감지된 감지정보를 외부로 전송한다. 이 경우, 감지정보는 건조대(100) 중 드럼부(110)의 온도 및 습도의 정보, 회동부(200)의 구동정보나, 회전건조장치(1000) 주변의 온도 및 습도를 포함할 수 있다. 사용자 단말은 원격에서 회전건조장치(1000)의 운전상태를 확인할 수 있다. 통신부(600)는 사용자 단말로부터 회전건조장치(1000)의 제어정보를 수신하는 것도 가능하다. 이 경우, 제어정보는 회동부(200)의 회동속도, 회동시간, 열건조부(300)의 온도 조건을 포함할 수 있다. 통신부(600)는 회전건조장치(1000)에서 화재 위험이 있는 경우 사용자 단말로 긴급신호를 전송할 수 있다. 이에 따라, 원격에서 사용자가 회전건조장치(1000)의 사용상태를 확인할 수 있으며, 긴급상황 발생시 조기에 구동을 중단시켜 화재의 위험을 최소화할 수 있다.
이상에서 본 발명은 도면을 참조하면서 기술되는 바람직한 실시예를 중심으로 설명되었지만 이에 한정되는 것은 아니다. 따라서 본 발명은 기재된 실시예로부터 도출 가능한 자명한 변형예를 포괄하도록 의도된 특허청구범위의 기재에 의해 해석되어져야 한다.
10 : 웨이퍼용 멤브레인
20 : 사용자 단말
100 : 웨이퍼용 멤브레인의 건조대
110 : 드럼부
111 : 잠금부
120 : 거치부
120-1 : 삽입홈
121 : 걸림부
130 : 커버부
130-1 : 배수공
131 : 고정부
140 : 레일부
200 : 회동부
300 : 열건조부
400 : 감지부
500 : 제어부
600 : 통신부
1000 : 회전건조장치

Claims (5)

  1. 외력에 의해 회전하는 원통형의 드럼부;
    상기 드럼부의 내주면에 형성되고, 복수의 웨이퍼용 멤브레인이 일정한 간격으로 배열되도록 거치하고, 일측에 걸림부가 형성되는 적어도 하나 이상의 거치부;
    단면이 굽어진 판넬로 형상으로 표면에 복수의 배수공이 형성되고, 상기 거치부와 회동결합되어 상기 드럼부가 회전시 상기 웨이퍼용 멤브레인이 상기 거치부로부터 이탈하는 것을 방지하고, 내측면에 고정부가 형성되어 상기 거치부를 향해 회동하면 상기 걸림부와 상기 고정부가 결합되어 고정결합하는 커버부; 및
    상기 드럼부의 내주면의 일측에 레일 형상으로 형성되는 레일부를 포함하고,
    상기 드럼부는,
    일측에 상기 거치부의 이동을 잠금 또는 해제시키는 잠금부가 형성되며,
    상기 거치부는,
    상기 레일부와 슬라이딩 결합하여 상기 레일부를 따라 상기 드럼부의 내측에 수용되거나, 상기 드럼부의 외측으로 노출되도록 이동하는 웨이퍼용 멤브레인의 건조대.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 외력에 의해 회전하는 원통형의 드럼부와, 상기 드럼부의 내주면에 형성되고, 복수의 웨이퍼용 멤브레인이 일정한 간격으로 배열되도록 거치하고, 일측에 걸림부가 형성되는 적어도 하나 이상의 거치부와, 단면이 굽어진 판넬로 형상으로 표면에 복수의 배수공이 형성되고, 상기 거치부와 회동결합되어 상기 드럼부가 회전시 상기 웨이퍼용 멤브레인이 상기 거치부로부터 이탈하는 것을 방지하고, 내측면에 고정부가 형성되어 상기 거치부를 향해 회동하면 상기 걸림부와 상기 고정부가 결합되어 고정결합하는 커버부와, 상기 드럼부의 내주면의 일측에 레일 형상으로 형성되는 레일부를 포함하고, 상기 드럼부는 측에 상기 거치부의 이동을 잠금 또는 해제시키는 잠금부가 형성되며, 상기 거치부는 상기 레일부와 슬라이딩 결합하여 상기 레일부를 따라 상기 드럼부의 내측에 수용되거나, 상기 드럼부의 외측으로 노출되도록 이동하는 건조대;
    상기 드럼부와 연결되어 회동시키는 회동부; 및
    상기 드럼부의 내측으로 기 설정된 온도의 열풍을 공급하고, 상기 열풍을 흡입하여 외부로 배기시키는 열건조부를 포함하는 웨이퍼용 멤브레인의 건조대를 이용한 회전건조장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 드럼부 내부의 온도 및 습도를 감지하는 감지부; 및
    상기 감지부의 감지정보에 따라 상기 열풍의 온도를 제어하고, 상기 회동부의 회동속도 및 구동시간으로 제어하는 제어부를 더 포함하는 웨이퍼용 멤브레인의 건조대를 이용한 회전건조장치.
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JP2004066212A (ja) * 2002-06-11 2004-03-04 Dan-Takuma Technologies Inc 洗浄乾燥装置
US20070138600A1 (en) * 2005-12-15 2007-06-21 Raik Hartlep Device for cleaning and drying of wafers

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