KR102329470B1 - 세라믹 코팅층을 형성하는 것을 포함하는 광학 장치의 제조 방법 - Google Patents

세라믹 코팅층을 형성하는 것을 포함하는 광학 장치의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

세라믹 코팅층의 제조 방법은 ZnS렌즈 상에 아연(Zn) 및 제1 분자구조의 황(S)을 제공하고, 아연(Zn)과 제1 분자구조의 황(S)을 가열하는 것을 포함하고, 제1 분자구조의 황(S)을 제공하는 것은 황(S)을 포함하는 칼코겐소스를 증발시켜서 제2 분자구조의 황(S)을 형성하고, 제2 분자구조의 황(S)을 분해하여서 제2 분자구조보다 더 적은 황(S) 원자들을 포함하는 분자구조인 제1 분자구조의 황(S)을 형성하는 것을 포함한다.

Description

세라믹 코팅층을 형성하는 것을 포함하는 광학 장치의 제조 방법{A Method of manufacturing an optical device comprising forming a ceramic coating layer}
본 발명은 세라믹 코팅층의 제조 방법에 관한 것으로, 상세하게는 렌즈와 동일한 물질을 포함하는 세라믹 코팅층의 제조 방법에 관한 것이다.
장파장 적외선 구역인 8 ~ 12 mm 영역(LWIR)은, 대기 중에서 적외선이 수분이나 이산화탄소에 적게 흡수되어 광학적 투과성이 뛰어 나기 때문에 장파장 적외선용 비냉각 촬상소자의 등장과 더불어 군사용/민수용 최근에 많이 사용이 되고 있다. ZnS 와 ZnSe는 적외선 창(infrared window) 또는 적외선 돔(dome)으로의 사용이 적합하다. 특히, ZnS 는 경도면에서 월등하고, 녹는점(melting temperature)도 높아서 유도비행체의 돔으로 사용 시 공기 저항으로 발생하는 마찰열에 견디는 능력이 탁월하다.
본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 저온에서 세라믹 코팅층을 형성할 수 있는 방법을 제공하는데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 공정 비용 및 공정 시간을 절감하여 세라믹 코팅층을 형성할 수 있는 방법을 제공하는데 있다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 세라믹 코팅층의 제조 방법은 ZnS렌즈 상에 아연(Zn) 및 제1 분자구조의 황(S)을 제공하는 것; 및 상기 아연(Zn)과 상기 제1 분자구조의 황(S)을 가열하는 것을 포함하며, 상기 제1 분자구조의 황(S)을 제공하는 것은 황(S)을 포함하는 칼코겐소스를 증발시켜서 제2 분자구조의 황(S)을 형성하는 단계 및 상기 제2 분자구조의 황(S)을 분해하여서 상기 제1 분자구조의 황(S)을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 제1 분자구조는 상기 제2 분자구조보다 더 적은 황(S) 원자들을 포함하는 분자구이다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 저온에서 세라믹 코팅층을 형성할 수 있다. 특히, 저온에서 ZnS 또는 ZnSe 코팅층을 형성할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 세라믹 코팅층의 제조 공정은 광학기재의 제조 공정을 그대로 이용할 수 있으므로, 공정 비용 및 공정 시간을 절감하여 세라믹 코팅층을 형성할 수 있다.
다만, 본 발명의 효과는 상기 개시된 바에 한정되지 않는다.
도 1 내지 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 칼코겐물질의 크랙킹(Cracking) 장치 및 크랙킹(cracking) 공정을 나타낸다.
도 4 내지 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 세라믹 코팅층의 제조 방법을 나타낸다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 세라믹 코팅층의 제조 방법을 나타낸다.
도 9 내지 도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 세라믹 코팅층의 제조 방법을 제조 장치에 적용한 일 예를 나타낸다.
도 13은 본 발명의 다른 실시예에 따른 세라믹 코팅층의 제조 방법을 제조 장치에 적용한 일 예를 나타낸다.
도 14 내지 도 17은 본 발명의 일 실시예에 따른 세라믹 코팅층의 제조 방법을 제조 장치에 적용한 다른 예를 나타낸다.
이상의 본 발명의 목적들, 다른 목적들, 특징들 및 이점들은 첨부된 도면과 관련된 이하의 바람직한 실시예들을 통해서 쉽게 이해될 것이다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.
본 명세서에서, 어떤 막(또는 층)이 다른 막(또는 층) 또는 렌즈 상에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 막(또는 층) 또는 렌즈 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 막(또는 층)이 개재될 수도 있다 또한, 도면들에 있어서, 구성들의 크기 및 두께 등은 명확성을 위하여 과장된 것이다. 또한, 본 명세서의 다양한 실시예들에서 제1, 제2, 제3 등의 용어가 다양한 방향들, 막들(또는 층들) 등을 기술하기 위해서 사용되었지만, 이들 방향들 및 막들(또는 층들)이 이 같은 용어들에 의해서 한정되어서는 안 된다. 이들 용어들은 단지 어느 소정 방향 또는 막(또는 층)을 다른 방향 또는 막(또는 층)과 구별시키기 위해서 사용되었을 뿐이다. 따라서, 어느 한 실시예에서 제 1 막(또는 층)으로 언급된 막이 다른 실시예에서는 제 2 막(또는 층)으로 언급될 수도 있다. 여기에 설명되고 예시되는 각 실시예는 그것의 상보적인 실시예도 포함한다. 본 명세서에서 '및/또는' 이란 표현은 전후에 나열된 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용된다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
이하, 도면들을 참조하여, 본 발명의 실시예들에 대해 상세히 설명하기로 한다.
도 1 내지 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 칼코겐물질의 크랙킹(Cracking) 장치 및 크랙킹(cracking) 공정을 나타낸다.
도 1을 참조하면, 저장부(10)를 포함하는 제1 가열부(20)가 제공될 수 있다. 제1 가열부(20)는 일측에 개구부를 가지는 반개관(half-open tube) 형태를 가질 수 있다. 저장부(10)는 내부에 칼코겐소스(12)를 포함할 수 있다. 칼코겐소스(12)는 고체 또는 액체의 칼코겐물질일 수 있다. 저장부(10)는 일측에 개구부를 가질 수 있다. 저장부(10)의 개구부를 통해 칼코겐소스(12)가 저장부(10)의 내외부로 이동할 수 있다. 제2 가열부(30)가 제1 가열부(20)의 개구부에서 연장될 수 있다. 제2 가열부(30)는 양측에 개구부를 가지는 개관(open tube) 형태를 가질 수 있다.
이하, 크랙킹(cracking) 공정이 자세히 설명된다. 칼코겐소스(12)가 황(S)인 경우가 일 예로 설명되지만, 이에 한정되는 것은 아니며, 다른 칼코겐물질도 크랙킹(cracking) 공정의 대상물이 될 수 있다.
도 2를 참조하면, 저장부(10) 내부에 황(S)(12)이 제공될 수 있다. 황(12)은 고체 또는 액체일 수 있다. 일 예에서, 저장부(10) 내부에 파우더(powder) 형태의 황(12)이 제공될 수 있다. 제1 가열부(20)를 통해 황(12)은 제1 온도로 가열될 수 있다. 일 예에서, 제1 온도는 약 150 ℃ 내지 약 200 ℃일 수 있다. 황(12)은 약 115 ℃를 녹는점으로 가지므로, 약 150 ℃ 내지 약 200 ℃에서 액체 상태일 수 있다. 액체 상태의 황이 증발되어 기체 상태인 제2 분자구조의 황(14)이 될 수 있다. 제2 분자구조는 이하 설명될 제1 분자구조보다 상대적으로 다수의 황 원자들로 구성된 분자구조일 수 있다. 일 예로 제2 분자구조는 S8일 수 있다. 제2 분자구조의 황(14)은 제1 가열부(20)의 내부를 따라 제2 가열부(30)로 이동할 수 있다.
도 3을 참조하면, 제2 분자구조의 황(14)은 제2 가열부(30)에서 제2 온도로 가열되어 제1 분자구조의 황(16)이 될 수 있다. 제2 온도는 약 700 ℃ 내지 약 1000 ℃일 수 있다. 제1 분자구조는 제2 분자구조보다 상대적으로 소수의 황원자들로 구성된 분자구조일 수 있다. 일 예로, 제1 분자구조는 S2, S3, 및 S4에서 선택되는 어느 하나의 구조일 수 있다. 상기 제1 온도 및 상기 제2 온도는 예시적으로 제시된 것이며, 이에 한정되지 않는다. 제1 분자구조의 황(16)은 후술할 아연(Zn)과 화합물이 되려는 반응성이 높을 수 있다. 따라서, 본 발명의 크랙킹(cracking) 공정에 따르면, 반응성이 우수한 제1 분자구조의 황(16)이 형성될 수 있다.
도 4 내지 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 세라믹 코팅층의 제조 방법을 나타낸다.
도 4를 참조하면, 아연(Zn) 입자들(112)이 렌즈(100) 상에 제공될 수 있다. 렌즈(100)는 ZnS 또는 ZnSe를 포함할 수 있다.
도 5를 참조하면, 아연 입자들(Zn)(112)의 제공을 통해, 아연(Zn)막(110)이 렌즈(100) 상에 형성될 수 있다. 아연(Zn)막(110)의 형성 공정은 증발(evaporation)법 또는 스퍼터링(sputtering)법과 같은 진공 증착 방법을 포함할 수 있다. 일 예에서, 아연(Zn)막(110)의 형성 공정은 스퍼터링 공정을 포함할 수 있다. 예를 들어, 아연(Zn)막(110)의 형성 공정은 아연(Zn)을 스퍼터링 타겟으로 이용하는 스퍼터링 공정일 수 있다. 아연(Zn) 물질은 스퍼터링 타겟에서 분리되어, 렌즈(100) 상에 제공될 수 있다. 이에 따라, 렌즈(100) 상에 아연(Zn)막이 형성될 수 있다.
도 6을 참조하면, 칼코겐물질(122)이 아연(Zn)막(110) 상에 제공될 수 있다. 일 예에서, 칼코겐물질(122)은 황(S) 또는 셀레늄(Se)일 수 있다. 예를 들어, 렌즈(100)가 ZnS를 포함하는 경우, 칼코겐물질(122)은 황(S)일 수 있다. 다른 예로, 렌즈(100)가 ZnSe를 포함하는 경우, 칼코겐물질(122)은 셀레늄(Se)일 수 있다. 칼코겐물질(122)은 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명된 크랙킹(Cracking) 공정 통하여, 아연(Zn)막(110) 상에 제공될 수 있다. 크랙킹(Cracking) 공정을 거친 칼코겐물질(122)은 높은 반응성을 가질 수 있다.
칼코겐물질(122)과 아연(Zn)막(110)은 가열될 수 있다. 가열 공정은 렌즈(100)를 제3 온도로 가열하는 것을 포함할 수 있다. 일 예에서, 제3 온도는 약 350 ℃ 내지 약 500 ℃를 포함할 수 있지만, 이에 한정되지 않는다. 칼코겐물질(122)과 아연(Zn)막(110)은 가열 공정을 통해 세라믹 코팅층이 될 수 있다. 가열 공정을 통해, 칼코겐물질(122)과 아연(Zn)막(110)의 반응성이 높아질 수 있다. 가열 공정은 칼코겐물질(122) 및/또는 아연(Zn)막(110)이 렌즈 상에 제공되기 이전 또는 이후에 시작되어, 적어도 원하는 세라믹 코팅층이 형성될 때까지 계속될 수 있다.
도 7을 참조하면, 도 4 내지 도 6의 공정을 통하여 세라믹 코팅층(130)이 렌즈(100) 상에 형성될 수 있다. 예를 들어, ZnS 렌즈 상에 ZnS 코팅층이 형성될 수 있다. 세라믹 코팅층(130)이 렌즈(100)와 동일한 물질을 포함하는 경우, 세라믹 코팅층(130)의 제조 공정은 렌즈(100)의 제조 공정을 그대로 이용할 수 있다. 따라서, 추가적인 공정이 도입됨에 따른 추가적인 시간 및 비용을 절감하여 세라믹 코팅층(130)을 제조할 수 있다. 또한, 본 발명의 세라믹 코팅층 제조 방법에 의하면, 저온(예를 들어, 약 350 ℃)에서 세라믹 코팅층(130)을 형성할 수 있다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 세라믹 코팅층의 제조 방법을 나타낸다. 설명의 간소화를 위하여, 도 4 내지 도 7을 참조하여 설명된 실시예와 실질적으로 동일한 부분의 설명은 생략된다.
도 8를 참조하면, 렌즈(100) 상에 아연(Zn) 입자들(112) 및 칼코겐물질(122)이 동시에 제공될 수 있다. 다만, '동시에 제공'은 두 물질(112, 122)이 완벽하게 동일한 시간 동안 제공된다는 것이 아니라 아연(Zn) 입자들(112)(또는 칼코겐물질(122))이 제공되는 중에 칼코겐물질(122)(또는 아연(Zn)입자들(112))도 제공된다는 의미일 수 있다. 아연(Zn) 입자들(112)과 칼코겐물질(122)의 제공 공정은 도 4 내지 도 7을 참조하여 설명된 실시예의 아연(Zn) 입자들(112)과 칼코겐물질(122)의 제공 공정과 실질적으로 동일할 수 있다.
아연(Zn) 입자들(112)과 칼코겐물질(122)은 제3 온도로 가열될 수 있다. 아연(Zn) 입자들(112)과 칼코겐물질(122)의 가열 공정 및 가열 온도는 도 4 내지 도 7을 참조하여 설명된 실시예의 아연(Zn)막(110)과 칼코겐물질(122)의 가열 공정 및 가열 온도와 실질적으로 동일할 수 있다. 이에 따라, 도 7에 도시된 바와 같이, 세라믹 코팅층(130)이 렌즈(100) 상에 형성될 수 있다. 예를 들어, ZnS 렌즈 상에 ZnS 코팅층이 형성될 수 있다. 다른 예에서, ZnSe 렌즈 상에 ZnSe 코팅층이 형성될 수 있다. 세라믹 코팅층(130)이 렌즈(100)와 동일한 물질을 포함하는 경우, 세라믹 코팅층(130)의 제조 공정은 렌즈(100)의 제조 공정을 그대로 이용할 수 있다. 따라서, 추가적인 공정이 도입됨에 따른 추가적인 시간 및 비용을 절감하여 세라믹 코팅층(130)을 제조 할 수 있다. 또한, 본 발명의 세라믹 코팅층 제조 방법에 의하면, 저온(예를 들어, 약 350 ℃)에서 세라믹 코팅층(130)을 형성할 수 있다.
이하, 본 발명에 따른 세라믹 코팅층의 제조 방법의 적용례들이 설명된다.
<적용례 1>
도 9 내지 도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 세라믹 코팅층의 제조 방법을 제조 장치에 적용한 일 예를 나타낸다. 설명의 간소화를 위하여, 도 4 내지 도 7을 참조하여 설명된 실시예와 실질적으로 동일한 부분은 생략된다.
도 9를 참조하면, 내부에 렌즈부(210)를 포함하는 챔버(200)가 제공될 수 있다. 챔버(200)는 두 개의 개구부들을 포함할 수 있다. 일 예에서, 개구부들은 챔버(200)의 상부에 배치될 수 있다. 아연 제공장치(230) 및 칼코겐물질 제공장치(220)가 챔버(200)의 개구부들의 각각에서 연장 또는 연결될 수 있다.
도 10를 참조하면, 렌즈(100)가 렌즈부(210) 상에 제공될 수 있다. 렌즈(100)는 ZnS 또는 ZnSe를 포함할 수 있다.
아연(Zn) 입자들(112)이 아연 제공장치(230)로부터 렌즈(100) 상으로 제공될 수 있다. 일 예에서, 아연(Zn) 입자들(112)은 증발(evaporation)증착 장치를 포함하는 아연(Zn) 제공장치(230)로부터 렌즈(100)상으로 제공될 수 있다. 이에 따라, 렌즈(100) 상에 아연(Zn)막이 형성될 수 있다. 다른 예에서, 아연(Zn) 입자들(112)은 스퍼터링 공정으로 렌즈(100) 상에 제공될 수 있다. 이 경우, 챔버 내에 스퍼터링 장치(미도시)가 제공될 수 있고, 아연(Zn) 제공장치(230)는 제거될 수 있다.
도 11을 참조하면, 칼코겐물질(122)이 아연(Zn)막(110) 상에 제공될 수 있다. 아연(Zn)막(110)은 아연(Zn) 입자들(112)의 제공을 통해 형성될 수 있다. 칼코겐물질(122)은 칼코겐물질 제공장치(220)로부터 아연(Zn)막(110) 상으로 제공될 수 있다. 일 예에서, 칼코겐물질 제공장치(220)는 크랙킹 장치(미도시)를 포함할 수 있다. 크랙킹 장치(미도시)는 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명된 실시예의 크랙킹 장치와 실질적으로 동일할 수 있다. 예를 들어, 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명된 실시예의 제1 분자구조의 황기체(16)가 아연(Zn)막 상에 제공될 수 있다.
칼코겐물질(122)과 아연(Zn)막(110)은 가열될 수 있다. 가열 공정은 렌즈부(210)를 제3 온도로 가열하는 것을 포함할 수 있다. 제3 온도는 약 350 ℃ 내지 약 500 ℃일 수 있지만, 이에 한정되지 않는다. 가열 공정을 통해, 칼코겐물질(122)과 아연(Zn)막(110)의 반응성이 높아질 수 있다.
도 12를 참조하면, 도 9 내지 도 11의 공정을 통하여 세라믹 코팅층(130)이 렌즈(100) 상에 형성될 수 있다. 예를 들어, ZnS 렌즈 상에 ZnS 코팅층이 형성될 수 있다. 다른 예에서, ZnSe 렌즈 상에 ZnSe 코팅층이 형성될 수 있다. 세라믹 코팅층(130)이 렌즈(100)와 동일한 물질을 포함하는 경우, 세라믹 코팅층(130)의 제조 공정은 렌즈(100)의 제조 공정을 그대로 이용할 수 있다. 따라서, 추가적인 공정이 도입됨에 따른 추가적인 시간 및 비용을 절감하여 세라믹 코팅층(130)을 제조할 수 있다. 또한, 본 발명의 세라믹 코팅층 제조 방법에 의하면, 저온(예를 들어, 약 350 ℃)에서 세라믹 코팅층(130)을 형성할 수 있다.
<적용례2>
도 13은 본 발명의 다른 실시예에 따른 세라믹 코팅층의 제조 방법을 제조 장치에 적용한 일 예를 나타낸다. 설명의 간소화를 위하여, 도 8을 참조하여 설명된 실시예 및 도 9 내지 도 12를 참조하여 설명된 적용례와 실질적으로 동일한 부분의 설명은 생략된다.
도 13을 참조하면, 아연(Zn) 입자들(112)과 칼코겐물질(122)은 각각 아연 제공장치(230)와 칼코겐물질 제공장치(220)로부터 렌즈(100) 상으로 동시에 제공될 수 있다. 다만, '동시에 제공'은 두 물질(112, 122)이 완벽하게 동일한 시간 동안 제공된다는 것이 아니라 아연(Zn) 입자들(112)(또는 칼코겐물질(122))이 제공되는 중에 칼코겐물질(122)(또는 아연(Zn) 입자들(112))도 제공된다는 의미일 수 있다.
아연(Zn) 입자들(112)과 칼코겐물질(122)은 가열될 수 있다. 가열 공정은 도 9 내지 도 12를 참조하여 설명된 적용례의 가열 공정과 실질적으로 동일할 수 있다. 이에 따라, 도 12에 도시된 바와 같이, 세라믹 코팅층(130)이 렌즈(100) 상에 형성될 수 있다.
<적용례 3>
도 14 내지 도 17은 본 발명의 일 실시예에 따른 세라믹 코팅층의 제조 방법을 제조 장치에 적용한 다른 예를 나타낸다. 설명의 간소화를 위하여, 도 4 내지 도 7을 참조하여 설명된 실시예 및 도 9 내지 도 12를 참조하여 설명된 적용례와 실질적으로 동일한 부분의 설명은 생략된다.
도 14를 참조하면, 시료이동부(500)를 통해 연결되는 제1 챔버(300) 및 제2 챔버(400)가 제공될 수 있다. 제1 챔버(300)의 일측에 아연 제공장치(320)가 연결될 수 있다. 제1 챔버(300)는 내부에 제1 렌즈부(310)를 포함할 수 있다. 제2 챔버(400)의 일측에 칼코겐물질 제공장치(420)가 연결될 수 있다. 제2 챔버(400)는 내부에 제2 렌즈부(410)를 포함할 수 있다.
렌즈(100)가 제1 렌즈부(310) 상에 제공될 수 있다. 아연(Zn) 입자들(112)이 아연 제공장치(320)로부터 렌즈(100) 상으로 제공될 수 있다. 아연(Zn) 입자들(112)의 제공 공정은 도 9 내지 도 12를 참조하여 설명된 적용례의 아연(Zn) 입자들(112)의 제공 공정과 실질적으로 동일할 수 있다.
도 15를 참조하면, 도 14의 공정을 통하여 아연(Zn)막(110)이 형성된 렌즈(100)가 제2 챔버(400)로 이동될 수 있다. 렌즈(100)는 시료이동부(500)를 통해 이동될 수 있다. 시료이동부(500)는 개폐 가능한 차단부(510)를 포함할 수 있다. 렌즈(100)의 이동 시, 차단부(510)는 열릴 수 있다. 렌즈(100)의 이동 종료 시, 차단부(510)는 닫힐 수 있다.
도 16을 참조하면, 칼코겐물질(122)이 칼코겐물질 제공장치(420)로부터 아연(Zn)막(110) 상으로 제공될 수 있다. 칼코겐물질(122)의 제공 공정은 도 9 내지 도 12를 참조하여 설명된 적용례의 칼코겐물질(122)의 제공 공정과 실질적으로 동일할 수 있다.
아연(Zn)막(110)과 칼코겐물질(122)이 제2 렌즈부(410)를 통해 가열될 수 있다. 가열 공정은 도 9 내지 도 12를 참조하여 설명된 적용례의 가열 공정과 실질적으로 동일할 수 있다. 다만, 도 9 내지 도 12를 참조하여 설명된 적용례의 가열 공정의 렌즈부(210)는 본 적용례의 제2 렌즈부(410)일 수 있다.
도 17을 참조하면, 세라믹 코팅층(130)이 렌즈(100) 상에 형성될 수 있다. 예를 들어, ZnS 렌즈 상에 ZnS 코팅층이 형성될 수 있다. 다른 예에서, ZnSe 렌즈 상에 ZnSe 코팅층이 형성될 수 있다. 세라믹 코팅층(130)이 렌즈(100)와 동일한 물질을 포함하는 경우, 세라믹 코팅층(130)의 제조 공정은 렌즈(100)의 제조 공정을 그대로 이용할 수 있다. 따라서, 추가적인 공정이 도입됨에 따른 추가적인 시간 및 비용을 절감하여 세라믹 코팅층(130)을 제조할 수 있다. 또한, 본 발명의 세라믹 코팅층 제조 방법에 의하면, 저온(예를 들어, 약 350 ℃)에서 세라믹 코팅층(130)을 형성할 수 있다.
이제까지 본 발명에 대하여 그 바람직한 실시 예들을 중심으로 살펴보았다. 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 본 발명의 본질적인 특성성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 구현될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 개시된 실시 예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.
10 : 저장부 12 : 칼코겐소스, 황(S)
14 : 제2 분자구조의 황 16 : 제1 분자구조의 황
20 : 제1 가열부 30 : 제2 가열부
100 : 렌즈 110 : 아연(Zn)막
112 : 아연(Zn) 입자들 122 : 칼코겐물질
130 : 세라믹 코팅층 200 : 챔버
210 : 렌즈부 220 : 칼코겐물질 제공장치
230 : 아연 제공장치 300 : 제1 챔버
310 : 제1 렌즈부 320 : 아연 제공장치
400 : 제2 챔버 410 : 제2 렌즈부
420 : 칼코겐물질 제공장치 500 : 시료이동부
510 : 차단부

Claims (10)

  1. 렌즈 상에 세라믹 코팅층을 형성하는 것을 포함하고,
    상기 세라믹 코팅층을 형성하는 것은:
    아연(Zn) 및 제1 분자구조의 칼코겐물질을 제공하는 것; 및상기 아연(Zn)과 상기 제1 분자구조의 칼코겐물질을 가열하는 것을 포함하되,
    상기 제1 분자구조의 칼코겐물질을 제공하는 것은,
    칼코겐물질을 증발시켜서 제2 분자구조의 칼코겐물질을 형성하는 단계; 및
    상기 제2 분자구조의 칼코겐물질을 분해하여서 상기 제1 분자구조의 칼코겐물질을 형성하는 단계를 포함하고,
    상기 제1 분자구조는 상기 제2 분자구조보다 더 적은 원자들을 포함하는 분자구조이고,
    상기 세라믹 코팅층은 상기 렌즈와 동일한 물질을 포함하는 광학 장치의 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 칼코겐물질을 증발시켜서 제2 분자구조의 칼코겐물질을 형성하는 단계; 및
    상기 제2 분자구조의 칼코겐물질을 분해하여서 상기 제1 분자구조의 칼코겐물질을 형성하는 단계는 제1 가열부 및 제2 가열부를 포함하는 크래킹(craking) 장치 내에서 수행되는 광학 장치의 제조 방법.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제2 분자구조의 칼코겐물질을 형성하는 단계는 상기 크래킹 장치 내의 상기 제1 가열부에서 수행되며,
    상기 제1 가열부의 온도는 150 내지 200 ℃인 광학 장치의 제조 방법.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 제1 분자구조의 칼코겐물질을 형성하는 단계는 상기 크래킹 장치 내의 상기 제2 가열부에서 수행되며,
    상기 제2 가열부의 온도는 700 내지 1000 ℃인 광학 장치의 제조 방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 아연(Zn)과 상기 제1 분자구조의 칼코겐물질을 가열하는 단계의 온도는 350 내지 500 ℃인 광학 장치의 제조 방법.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 렌즈는 ZnS를 포함하고,
    상기 칼코겐물질은 S(황)을 포함하는 광학 장치의 제조 방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제2 분자구조의 S(황)은 S8인 광학 장치의 제조 방법.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 제1 분자구조의 S(황)은 S2, S3 및 S4에서 선택되는 어느 하나인 광학 장치의 제조 방법.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 렌즈는 ZnSe를 포함하고,
    상기 칼코겐물질은 Se(셀레늄)을 포함하는 광학 장치의 제조 방법.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 아연(Zn) 및 제1 분자구조의 칼코겐물질은 동시에 제공되는 것을 특징으로 하는 광학 장치의 제조 방법.
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