KR102321728B1 - Test device for semiconductor package equipped with a guide module for preventing pinching - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 끼임 방지용 가이드모듈이 구비된 반도체 패키지용 테스트 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 패키지를 테스트하기 위한 반도체 패키지용 테스트 장치를 제공하되, 인서트모듈에 출입하는 반도체 패키지의 끼임을 방지하여 테스트 효율을 높이고 반도체 패키지의 손상을 방지할 수 있는 끼임 방지용 가이드모듈이 구비된 반도체 패키지용 테스트 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a test apparatus for a semiconductor package provided with a guide module for preventing pinching, and more particularly, to provide a test apparatus for a semiconductor package for testing a semiconductor package, by preventing the semiconductor package from being caught in and out of an insert module. The present invention relates to a test apparatus for a semiconductor package provided with a guide module for preventing pinching capable of increasing test efficiency and preventing damage to the semiconductor package.
완제품 형태의 반도체 패키지를 제조하기까지는 매우 다양한 공정이 진행되는데, 개략적으로 살펴보면 회로를 설계하고, 이를 구현하기 위한 공정을 설계한 후, 웨이퍼 상에 실제로 제조하여 테스트를 수행하고 그 결과 발견된 문제점의 해결 방안을 반영하여 다시 위의 과정을 반복하게 된다.A wide variety of processes are carried out until the semiconductor package in the form of a finished product is manufactured. In brief, after designing a circuit and designing a process for implementing it, it is actually manufactured on a wafer and tested. The above process is repeated again reflecting the solution.
여기서 반도체 패키지를 테스트하는 과정에서는 반도체 패키지가 장착되는 테스트 소켓과, 테스트 소켓이 장착되어 반도체 패키지에 전기적 신호를 인가는 테스트 지그가 필요하다.Here, in the process of testing the semiconductor package, a test socket on which the semiconductor package is mounted and a test jig on which the test socket is mounted to apply an electrical signal to the semiconductor package are required.
종래의 테스트 소켓은 반도체 패키지의 리드들과 테스트 지그를 전기적으로 연결시키는 테스트 핀들이 사방에 형성된 베이스 플레이트와, 베이스 플레이트의 상부면에 베이스 플레이트와 일체로 형성되고 테스트 핀들과 마주보는 부분에는 테스트 핀들과 함께 리드들을 집어 고정시키는 고정핀들이 형성된 핀 프레스 및 베이스 플레이트와 가이드 봉으로 연결되어 고정핀들과 테스트 핀들 사이가 벌어지고 접할 수 있도록 핀 프레스를 업/다운시키는 탑 커버로 구성된다.A conventional test socket includes a base plate in which test pins electrically connecting leads of a semiconductor package and a test jig are formed on all sides, and the test pins are integrally formed with the base plate on an upper surface of the base plate and face the test pins. It consists of a pin press formed with fixing pins for picking and fixing leads together with a top cover that is connected to a base plate and a guide rod to up/down the pin press so that the fixing pins and the test pins are spaced apart and in contact.
여기서 고정핀들은 테스트 핀과 마주보는 핀 프레스의 상부면에서부터 측면을 따라 하부면까지 여러번 절곡시켜 탄성력을 갖는다. 그래서 핸들러에 설치된 푸셔(pusher)가 탑 커버의 사면을 눌러 탑 커버를 베이스 플레이트 쪽으로 다운시키면 베이스 플레이트와 일체로 형성된 핀 프레스는 상승하고, 탄성력을 갖는 고정핀들은 핀 프레스의 바깥쪽으로 소정길이만큼 후퇴하여 서로 마주보는 테스트 핀들과 고정핀들 사이에 반도체 칩 패키지의 리드들이 삽입될 수 있도록 소정 높이의 갭을 발생시킨다.Here, the fixing pins have elastic force by bending several times from the upper surface of the pin press facing the test pin to the lower surface along the side surface. So, when the pusher installed in the handler presses the slope of the top cover and lowers the top cover toward the base plate, the pin press formed integrally with the base plate rises, and the fixing pins with elastic force retreat to the outside of the pin press by a predetermined length. Thus, a gap of a predetermined height is generated between the test pins and the fixing pins facing each other so that the leads of the semiconductor chip package can be inserted.
그리고 탑 커버에 푸셔의 힘이 제거되어 탑 커버가 업되고, 핀 프레스는 다운되어 핀 프레스의 바깥쪽으로 후퇴되었던 고정핀들이 제자리로 돌아오면서 테스트 핀과 고정핀들이 소정의 압력으로 반도체 패키지의 리드들을 집어 테스트 핀과 리드들을 접속하여 고정시킨다.Then, the pusher force is removed from the top cover, the top cover is raised, the pin press is down, and the fixing pins that have been retreated to the outside of the pin press return to their original positions, and the test pins and the fixing pins hold the leads of the semiconductor package with a predetermined pressure. Pick it up and connect the test pins and leads to fix them.
그러나 핀 프레스가 상승하면서 고정핀들을 잡아당겨 핀 프레스의 바깥쪽으로 고정핀들을 후퇴시키고, 핀 프레스가 다운되면서 고정핀들이 제자리로 돌아오는 과정을 반복적으로 실행하면 견고성이 약한 고정핀들이 탄력성을 상실하거나 부러지기 때문에 수명이 짧은 문제점이 있었다.However, as the pin press rises, the fixing pins are pulled back to the outside of the pin press, and when the pin press goes down, the fixing pins return to their original positions repeatedly. There was a problem that the life span was short because it was broken.
한편, 근래에는 반도체 패키지는 입출력단자를 미세한 구 형상의 솔더볼(solder ball)을 주로 사용하고 있으며, 반도체 패키지 중 솔더볼을 입출력단자로 사용하는 대표적인 예로서 볼 그리드 어레이(BGA) 반도체 패키지가 있다.Meanwhile, in recent years, a semiconductor package mainly uses a fine spherical solder ball as an input/output terminal, and there is a ball grid array (BGA) semiconductor package as a representative example of a semiconductor package using a solder ball as an input/output terminal.
이러한 볼 그리드 어레이 반도체 패키지를 테스트하기 위해서는 볼 그리드 어레이에 구비된 다수 개의 솔더볼이 테스트 소켓인 러버 소켓에 구성된 테스트 핀부위에 정확하게 배치되어야 하는데, 러버 소켓으로 인입되는 과정에서 솔더볼의 중심과 러버 소켓의 단자 중심이 일치하지 않아 테스트가 완료된 이후 언로딩될 때 반도체 패키지가 러버 소켓 또는 러버 소켓이 배치된 인서트모듈의 내벽과 간섭이 발생하여 언로딩되지 않는 문제점이 있었다.In order to test such a ball grid array semiconductor package, a plurality of solder balls provided in the ball grid array must be accurately placed on the test pin portion configured in the rubber socket, which is the test socket. There was a problem in that the semiconductor package was not unloaded due to interference with the rubber socket or the inner wall of the insert module on which the rubber socket was disposed when the terminal was unloaded after the test was completed because the terminal centers did not match.
또한 솔더볼이 러버 소켓의 인쇄회로기판을 구성하는 폴리마이드 필름(polyimide film)에 맞닿은 상태에서 푸셔가 가압하게 되면 솔더볼이 상기 폴리마이드 필름의 영향으로 이동하게 되며, 이로 인해 반도체 패키지의 이동이 발생하여 언로딩시 끼임이 발생하는 문제점이 있었다.In addition, when the pusher is pressed while the solder ball is in contact with the polyimide film constituting the printed circuit board of the rubber socket, the solder ball moves under the influence of the polyimide film, which causes the semiconductor package to move. There was a problem of jamming during unloading.
또한 반도체 패키지가 휨변형이 발생하는 경우 반도체 패키지의 외곽의 길이가 일정하지 않고, 인입 후 푸셔의 가압에 의해 외곽 사이즈가 늘어남으로써 인서트 모듈로 인입은 가능하나 인출이 불가능한 문제가 발생할 수 있었다.In addition, when the semiconductor package undergoes bending deformation, the length of the outer periphery of the semiconductor package is not constant, and the outer size is increased by the pressurization of the pusher after being drawn in, so that the insert module can be drawn in but cannot be pulled out.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로, 반도체 패키지의 끼임을 방지하기 위한 가이드모듈이 구비되어 반도체 패키지가 인서트 모듈에 로딩 및 언로딩시 끼임을 방지할 수 있어 안정적인 테스트가 가능하고 테스트의 효율을 높일 수 있는 끼임 방지용 가이드모듈이 구비된 반도체 패키지용 테스트 장치를 제공하는데 목적이 있다.The present invention has been proposed to solve the above problems, and a guide module for preventing the semiconductor package from being pinched is provided to prevent the semiconductor package from being pinched during loading and unloading of the insert module, so that a stable test is possible. An object of the present invention is to provide a test apparatus for a semiconductor package provided with a guide module for preventing pinching capable of increasing test efficiency.
또한 본 발명은 가이드모듈의 위치 정밀도를 보장하기 위한 변위수단이 구비되어 동작 중 가이드모듈의 위치 변위 발생을 방지하고 위치 변위 발생시 이를 신속하게 보정할 수 있는 끼임 방지용 가이드모듈이 구비된 반도체 패키지용 테스트 장치를 제공하는데 목적이 있다.In addition, the present invention is provided with a displacement means for ensuring the positional accuracy of the guide module to prevent the occurrence of positional displacement of the guide module during operation, and to quickly correct the positional displacement when the positional displacement occurs. The purpose is to provide a device.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, In order to achieve the above object, the present invention
테스트 대상물인 반도체 패키지를 이송 및 전달하는 이송용 푸싱모듈;a pushing module for transporting and delivering a semiconductor package, which is a test object;
상기 반도체 패키지가 출입할 수 있고, 외부의 전기 배선과 전기적으로 접속될 수 있는 전기배선을 구비한 러버소켓과, 상기 러버소켓의 상방에 배치되어 상기 반도체 패키지의 출입을 안내하는 출입블럭을 포함한 인서트모듈;An insert including a rubber socket having an electrical wiring that allows the semiconductor package to enter and exit and which can be electrically connected to an external electrical wiring, and an entry and exit block disposed above the rubber socket to guide entry and exit of the semiconductor package module;
상기 반도체 패키지가 상기 러버소켓에 인입될 때 계획된 정위치에 인입되도록 안내하는 가이드모듈;을 포함하며,a guide module for guiding the semiconductor package to be drawn into a predetermined position when the semiconductor package is drawn into the rubber socket; and
상기 가이드모듈은,The guide module is
상기 이송용 푸싱모듈에 배치되는 가압블럭과,a pressing block disposed on the pushing module for transport;
상기 러버소켓을 향해 수평 방향으로 이동 가능하게 배치되고, 상기 가압블럭의 승강에 따라 수평 방향으로 이동하는 안내블럭과,a guide block which is arranged to be movable in the horizontal direction toward the rubber socket and moves in the horizontal direction according to the elevation of the pressing block;
상기 안내블럭을 상기 러버소켓을 향하도록 탄성 지지하는 탄성체를 포함한 것을 특징으로 한다.and an elastic body for elastically supporting the guide block toward the rubber socket.
또한 상기 가압블럭은, 탑베이스와, 상기 탑베이스에서 하방으로 돌출된 가압돌기를 포함하고, 상기 가압돌기의 하단부에서 일측으로 경사지게 형성되어 상기 안내블럭을 맞닿는 위치에 따라 수평 방향으로 점진적으로 이동시키는 가압면을 포함한 것을 특징으로 한다.In addition, the pressing block includes a top base and a pressing protrusion protruding downward from the top base, and is formed to be inclined to one side from the lower end of the pressing protrusion to gradually move in a horizontal direction according to a position where the guide block abuts. It is characterized in that it includes a pressing surface.
또한 안내블럭은, 바텀베이스와, 상기 바텀베이스의 상면에서 상방으로 돌출되어 상기 가압블럭이 맞닿고 일단이 일측으로 경사지게 형성된 컨텍면이 형성된 컨텍돌기를 포함하고,, 상기 바텀베이스는 일측단에서 상호 이격 배치되며 상기 러버소켓의 진입면과 동일한 경사각을 가지도록 형성된 한 쌍의 진입가이드면과, 상기 진입가이드면의 하단에서 직각으로 절곡되되 상기 바텀베이스의 저면에 비해 상대적으로 높은 위치에 배치되어 상기 러버소켓의 측단이 인입되고 인입된 측단과 맞닿아 이를 고정하는 고정면과, 상기 바텀베이스의 타측단에 형성되어 상기 탄성체의 일단이 인입되는 탄성체인입공을 포함한 것을 특징으로 한다.In addition, the guide block includes a bottom base and a contact protrusion that protrudes upward from the upper surface of the bottom base to abut the pressing block and has a contact surface formed with one end inclined to one side, and the bottom base is mutually at one end. A pair of entry guide surfaces that are spaced apart and formed to have the same inclination angle as the entry surface of the rubber socket, are bent at right angles at the lower end of the entry guide surface, and are disposed at a relatively high position compared to the bottom surface of the bottom base. It is characterized in that it includes a fixing surface for fixing the side end of the rubber socket in contact with the retracted side end, and an elastic chain inlet formed at the other end of the bottom base and into which one end of the elastic body is introduced.
나아가 상기 가이드모듈에는, 상기 가압블럭의 위치를 조절하기 위한 변위수단이 더 구비되되, 상기 변위수단은, 상기 이송용 푸싱모듈의 상면에서 하방으로 수직하게 형성되며 내주면에 승강나사산이 형성된 승강공과, 상기 승강공에 수평 방향으로 연통 형성된 이동장공과, 상기 가압블럭의 일단에서 외측으로 돌출되게 배치되며 상기 이동장공에 이동 가능하게 배치되는 반구(半球)형의 변위블럭과, 상기 승강공의 내주면에 형성된 승강나사산에 이동 가능하게 맞물리며 상기 변위블럭과 맞닿는 변위볼트 및 상기 가압블럭을 상기 변위볼트측으로 탄성지지하는 변위용탄성체를 포함한 것을 특징으로 한다.Further, the guide module is further provided with a displacement means for adjusting the position of the pressing block, wherein the displacement means is formed vertically downward from the upper surface of the pushing module for transport, and a lifting hole formed with an ascending and descending screw thread on an inner circumferential surface; A moving long hole formed in communication with the elevating hole in the horizontal direction, a hemispherical displacement block disposed to protrude outward from one end of the pressing block and movably disposed in the moving elongated hole, and formed on the inner circumferential surface of the elevating hole It characterized in that it includes a displacement bolt that is movably engaged with the elevating screw thread and abuts against the displacement block, and a displacement elastic body for elastically supporting the pressing block toward the displacement bolt.
이때 상기 변위볼트는, 상기 승강나사산과 맞물리는 이동나사산이 형성된 이동면과, 상기 변위블럭과 맞닿되 하단을 향할수록 점진적으로 좁아지는 쐐기 형태로 이루어진 푸쉬면으로 이루어진 것을 특징으로 한다.At this time, the displacement bolt is characterized in that it is composed of a moving surface formed with a moving screw thread engaged with the elevating screw thread, and a push surface made of a wedge shape that is in contact with the displacement block but gradually narrows toward the lower end.
상기와 같이 이루어진 본 발명은, 반도체 패키지가 인서트모듈에서 끼이는 것을 방지하여 로딩 또는 언로딩시 오동작 발생을 방지할 수 있고, 이를 통해 반도체 패키지의 테스트 효율을 높일 수 있고 테스트의 신속성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.According to the present invention made as described above, it is possible to prevent the semiconductor package from being caught in the insert module, thereby preventing a malfunction during loading or unloading, thereby increasing the test efficiency of the semiconductor package and improving the speed of the test. there is an effect
또한 본 발명은 가이드모듈의 위치 변위를 방지하고, 동작 중 가이드모듈의 위치 변위가 발생시 이를 신속하게 보정할 수 있고 특히 이송용 푸싱모듈을 분해하지 않아도 가이드모듈의 위치 조절이 가능하여 유지 및 보수에 소요되는 시간을 단축할 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention prevents the position displacement of the guide module, and when the position displacement of the guide module occurs during operation, it can be quickly corrected. It has the effect of shortening the time required.
도 1은 본 발명에 따른 끼임 방지용 가이드모듈이 구비된 반도체 패키지용 테스트 장치를 도시한 예시도.
도 2는 본 발명을 구성하는 이송용 푸싱모듈을 도시한 예시도.
도 3은 본 발명을 구성하는 인서트모듈을 도시한 예시도.
도 4는 본 발명을 구성하는 가이드모듈을 도시한 예시도.
도 5 내지 도 7은 본 발명을 구성하는 가이드모듈의 동작 상태를 도시한 상태도.
도 8 및 도 9는 본 발명을 구성하는 변위수단과 상기 변위수단의 동작 상태를 도시한 상태도.1 is an exemplary view showing a test apparatus for a semiconductor package provided with a guide module for preventing pinching according to the present invention.
Figure 2 is an exemplary view showing a pushing module for transport constituting the present invention.
Figure 3 is an exemplary view showing an insert module constituting the present invention.
Figure 4 is an exemplary view showing a guide module constituting the present invention.
5 to 7 are state diagrams showing the operating state of the guide module constituting the present invention.
8 and 9 are state diagrams showing the displacement means constituting the present invention and the operating state of the displacement means.
이하, 상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부 도면을 참조한 실시 예에 대한 설명을 통하여 명백히 드러나게 될 것이다.Hereinafter, in addition to the above objects, other objects and features of the present invention will become apparent through the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가진 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical and scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in a commonly used dictionary should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in the present application. does not
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 끼임 방지용 가이드모듈이 구비된 반도체 패키지용 테스트 장치의 바람직한 구현예를 설명하도록 한다.Hereinafter, a preferred embodiment of a test apparatus for a semiconductor package provided with a guide module for preventing pinching according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
먼저 본 발명에 따른 끼임 방지용 가이드모듈이 구비된 반도체 패키지용 테스트 장치(1)는, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 테스트 대상물인 반도체 패키지를 이송 및 전달하는 이송용 푸싱모듈(10)과, 상기 반도체 패키지가 출입할 수 있고, 외부의 전기 배선과 전기적으로 접속될 수 있는 전기배선을 구비한 러버소켓(23)과, 상기 러버소켓(23)의 상방에 배치되어 상기 반도체 패키지의 출입을 안내하는 출입블럭(25)을 포함한 인서트모듈(20)과, 상기 반도체 패키지가 상기 러버소켓(23)에 인입될 때 계획된 정위치에 인입되도록 안내하는 가이드모듈(30)을 포함한다.First, the test apparatus 1 for a semiconductor package provided with a guide module for preventing pinching according to the present invention, as shown in FIGS. and a
상기 이송용 푸싱모듈(10)은, 테스트 대상물인 반도체 패키지를 픽업하여 상기 인서트모듈(20)로 전달하고, 인서트모듈(20)로 반도체 패키지를 로딩 또는 언로딩하기 위한 것이다.The
이를 위한 이송용 푸싱모듈(10)은, 픽업용 진공수단(15)이 배치되며 소정 두께를 가진 함체 형태로 이루어진 푸쉬블럭(11)과, 상기 픽업용 진공수단(15)과 연통되며 반도체 패키지(P)를 픽업하고 수직 방향으로 승강 가능하게 배치되는 푸셔(12)와, 상기 푸쉬블럭(11)과 상기 푸셔(12) 사이에 배치되어 상기 푸쉬블럭(11)을 상방으로 탄성 지지하는 푸셔스프링(13)과, 상기 푸쉬블럭(11)에 다수 개가 상호 이격된 위치에 형성되어 상기 인서트모듈(20)을 향해 하강시 지정된 위치로 하강하기 위한 블럭가이드공(14)이 구비된다.For this purpose, the pushing
상기 푸쉬블럭(11)은 소정의 두께를 가지는 함체 형태로 이루어지고 진공펌프와 같은 진공 생성수단과 연결된 픽업용 진공수단(15)이 배치된다.The
그리고 상기 푸쉬블럭(11)은 상승 및 하강이 가능하도록 배치되는데, 이러하 푸쉬블럭(11)의 승강은 실린더 등과 같은 공지의 구동수단을 통해 이루어지는 것으로 이에 대한 상세한 설명은 생략하도록 한다.In addition, the
다만 본 발명에서 상기 푸쉬블럭(11)은 하강 즉, 인서트모듈(20)로 반도체 패키지를 인입시키는 과정에서 순차적으로 하강압력이 전달되어 후술하는 가이드모듈(30)의 동작과 연동되도록 푸셔(12)를 하강시킨다.However, in the present invention, the
상기 푸셔(12)는 반도체 패키지를 픽업하여 인서트모듈(20)로 전달하고, 테스트가 완료된 반도체 패키지를 인서트모듈(20)로부터 언로딩하여 다음 공정으로 전달하는 것으로, 상기 푸셔(12)는 상기 픽업용 진공수단(15)과 연통되어 전달된 흡입 압력을 통해 반도체 패키지를 흡착하여 픽업한다.The
상기 푸셔스프링(13)은 상기 푸쉬블럭(11)의 내부에 배치되되 일단은 푸쉬블럭(11)의 내벽에 맞닿고 타단은 상기 푸셔(12)에 맞닿아 상기 푸쉬블럭(11)을 상방으로 탄성지지한다.The
이러한 푸셔스프링(13)은 상기 푸셔스프링(13)은 도 2에 도시된 바와 같이, 다수 개가 상호 이격된 위치에 배치되어 푸쉬블럭(11)이 인서트모듈(20)측으로 하강하면서 압축되고, 이후 테스트가 완료되어 푸쉬블럭(11)이 상승하는 과정에서 푸셔(12)에 비해 푸쉬블럭(11)을 상대적으로 먼저 상방으로 상승시킴으로써 푸쉬블럭(11)의 상승부하를 줄이고 상승 안정성을 제공할 수 있는 것이다.As shown in FIG. 2, a plurality of these pusher springs 13 are compressed while the pusher springs 13 are disposed at positions spaced apart from each other so that the
상기 블럭가이드공(14)은 푸쉬블럭(11)의 저면에서 상방을 향해 내측으로 요입 형성되어 후술하는 인서트모듈(20)에 구비된 블럭가이드핀(24)이 출입하는 것이다.The
이러한 블럭가이드공(14)은 상기 블럭가이드핀(24)의 위치, 형태, 개수에 상응하는 위치, 형태 및 개수로 이루어지는 것으로, 도면 중 도시된 위치, 형태 및 개수에 한정되지 않음은 물론이다.These block guide holes 14 are composed of positions, shapes and numbers corresponding to the positions, shapes, and numbers of the block guide pins 24, and are not limited to the positions, shapes, and numbers shown in the drawings.
상기 인서트모듈(20)은 상기 이송용 푸싱모듈(10)을 통해 픽업된 반도체 패키지가 출입할 수 있고 외부의 전기 배선과 전기적으로 접속될 수 있는 전기배선을 구비한 러버소켓(23)이 배치되어 상기 러버소켓(23)에 로딩된 반도체 패키지를 테스트하는 것이다.The
이러한 인서트모듈(20)은 상기 반도체 패키지가 출입할 수 있고, 외부의 전기 배선과 전기적으로 접속될 수 있는 전기배선을 구비한 러버소켓(23)과, 상기 러버소켓(23)의 상방에 배치되어 상기 반도체 패키지의 출입을 안내하는 출입블럭(25)을 포함하며, 상기 러버소켓(23)이 배치되며 함체 형태로 이루어진 인서트블럭(21)과, 상기 인서트블럭(21)에 형성되되 상기 러버소켓(23)을 향해 점진적으로 좁아지는 경사각을 갖고 상기 출입블럭(25)이 배치되는 인서트부(22)와, 상기 인서트블럭(21)의 상면에서 상방으로 돌출되어 상기 이송용 푸싱모듈(10)의 블럭가이드공(14)에 출입하는 블럭가이드핀(24)을 포함한다.The
상기 인서트블럭(21)은 함체 형태로 이루어져 테스트용 보드 및 상기 테스트용 보드를 지지하는 보드서포트의 상방에 배치되고, 중앙 하부에는 상기 테스트용 보드(B)와 전기적으로 연통된 러버소켓(23)이 배치된다.The
상기 인서트부(22)는 상기 인서트블럭(21)의 중앙에 형성되되 상방에서 하방을 향해 점진적으로 좁아지는 경사각을 가지도록 형성된다.The
그리고 상기 인서트부(22)에는 반도체 패키지의 출입을 안내하는 출입블럭(25)이 배치되는데, 상기 출입블럭(25)은 인서트부(22)에 분리 가능하게 결합하며 중앙에 상기 러버소켓(23)을 향하여 점진적으로 좁아지는 경사각을 갖는 출입구(251)가 형성된다.And an
이러한 출입블럭(25)은 사용 중 마찰에 의하여 출입구(251)를 구성하는 표면이 손상되는 경우 출입블럭만을 교체한 후 인서트모듈(20)을 재사용할 수 있어 유지 및 보수에 소요되는 비용 및 시간을 절감할 수 있는 효과가 있다.When the surface constituting the
상기 러버소켓(23)은 외부의 전기 배선과 전기적으로 접속될 수 있는 전기배선을 구비한 것으로, 테스트용 보드의 상면에 배치되되 테스트용 보드와 전기적으로 연결되어 맞닿은 반도체 패키지를 테스트하는 것이다.The
상기 블럭가이드핀(24)은 인서트블럭(21)의 상면에서 상방으로 돌출된 것으로, 상기 이송용 푸싱모듈이 하강하는 과정에서 하강 위치를 안내하기 위한 것이다.The
한편 본 발명에서 상기 러버소켓은 하나의 실시예이며, 테스트 대상물의 리드선이 핀(pin)타입으로 구성되는 경우 이에 대응하는 포고(pogo)소켓으로 이루어질 수 있다.Meanwhile, in the present invention, the rubber socket is one embodiment, and when the lead wire of the test object is configured as a pin type, it may be formed of a corresponding pogo socket.
상기 가이드모듈(30)은 상기 이송용 푸싱모듈(10)이 반도체 패키지를 인서트모듈(20)로 로딩 또는 언로딩하는 과정에서 이송용 푸싱모듈(10)이 인서트부(22)에 끼임을 방지하고 계획된 정위치에 인입되도록 안내하기 위한 것이다.The
이를 위한 가이드모듈(30)은, 상기 이송용 푸싱모듈(10)에 배치되는 가압블럭(31)과, 상기 러버소켓(23)을 향해 수평 방향으로 이동 가능하게 배치되고, 상기 가압블럭(31)의 승강에 따라 수평 방향으로 이동하는 안내블럭(32)과, 상기 안내블럭(32)을 상기 러버소켓(23)을 향하도록 탄성 지지하는 탄성체(33)를 포함하며, 상기와 같이 이루어진 가이드모듈(30)은 상기 러버소켓(23)을 중심으로 다수 개가 상호 마주보도록 배치된다.The
상기 가압블럭(31)은 상기 이송용 푸싱모듈(10)에 배치되어 이송용 푸싱모듈의 상승 또는 하강시 상기 안내블럭(32)을 가압하거나 압력을 해제하기 위한 것이다.The
이를 위해 가압블럭(31)은 탑베이스(311)와, 상기 탑베이스(311)에서 하방으로 돌출된 가압돌기(312)를 포함하고, 상기 가압돌기(312)의 하단부에서 일측으로 경사지게 형성되어 상기 안내블럭(32)을 맞닿는 위치에 따라 수평 방향으로 점진적으로 이동시키는 가압면(313)을 포함한다.To this end, the
상기 탑베이스(311)는 푸쉬블럭(11)의 결합슬롯(111)에 배치된 것으로, 사각의 블럭 형태로 이루어져 푸쉬블럭(11)의 내부에서 수평 방향으로 소정 거리 이동 가능하게 배치되는 것이 바람직하다. 이때 상기 탑베이스(311)와 푸쉬블럭(11) 사이의 틈새를 폐쇄하는 밀폐용 패킹이 더 배치되고, 상기 밀폐용 패킹은 탄성복원력을 갖는 고무, 우레탄 등의 소재로 이루어져 후술하는 변위수단(40)에 의해 가압블럭(31)이 수평 방향으로 이동할 때 발생하는 틈새를 밀폐한다.It is preferable that the
그리고 상기 탑베이스(311)에는 푸쉬블럭(11)이 하강하여 안내블럭(32)과 맞닿을 때 상방으로 이동하는 것을 제한하기 위하여 탑베이스(311)를 하방으로 탄성지지하는 가압블럭탄성체(314)가 배치되며, 상기 탑베이스(311)의 상면에는 상기 가압블럭탄성체(314)의 일단이 인입되는 요홈(311a)이 형성된다.And in the
상기 가압면(313)은 상기 가압블럭(31)의 하단부에 형성되되 안내블럭(32)을 수평 방향으로 이동시키도록 일측으로 경사지게 형성된다.The
여기서 상기 가압면(313)의 경사 방향은 도 5 내지 도 7에 도시된 바와 같이 가압블럭(31)의 하단부에서 상방을 향할수록 점진적으로 하단부로부터 멀어지는 방향을 향해 경사지게 형성된다.Here, the inclination direction of the
상기 안내블럭(32)은, 상기 인서트모듈(20)에 배치되며 상기 가압블럭(31)이 하강시 맞닿아 상호 멀어지는 방향으로 이동하면서 반도체 패키지가 픽업된 푸셔(12)의 끼임을 방지한다.The
이를 위한 안내블럭(32)은, 바텀베이스(321)와, 상기 바텀베이스(321)의 상면에서 상방으로 돌출되어 상기 가압블럭(31)이 맞닿고 일단이 일측으로 경사지게 형성된 컨텍면(326)이 형성된 컨텍돌기(322)를 포함하고, 상기 바텀베이스(321)는 일측단에서 상호 이격 배치되며 상기 러버소켓(23)의 진입면과 동일한 경사각을 가지도록 형성된 한 쌍의 진입가이드면(323)과, 상기 진입가이드면(323)의 하단에서 직각으로 절곡되되 상기 바텀베이스(321)의 저면에 비해 상대적으로 높은 위치에 배치되어 상기 러버소켓(23)의 측단이 인입되고 인입된 측단과 맞닿아 이를 고정하는 고정면(324)과, 상기 바텀베이스(321)의 타측단에 형성되어 상기 탄성체(33)의 일단이 인입되는 탄성체인입공(325)을 포함한다.The
상기 바텀베이스(321)는 사각의 블럭 형태로 이루어지며 상기 인서트블럭(21)에 수평 방향으로 이동 가능하게 배치된다.The
상기 컨텍돌기(322)는 각각의 바텀베이스(321)의 상면에서 상방으로 돌출되게 형성된 것으로, 각각의 컨텍돌기(322)에는 상기 가압블럭(31)의 가압면(313)에 대응하는 컨텍면(326)이 형성된다. 상기 컨텍면(326)은 상기 컨텍돌기(322)의 상단 일측에서 하방을 향해 하향 경사지게 형성되되 상기 가압면(313)의 경사각 및 경사길이에 대응하여 형성된다.The
상기 한 쌍의 진입가이드면(323)은 상기 바텀베이스(321)의 일측단에서 상호 이격 배치되되, 상기 러버소켓(23)을 향하도록 하향 경사지게 형성된다.The pair of entry guide surfaces 323 are spaced apart from each other at one end of the
즉, 상기 진입가이드면(323)은 상술한 출입블럭(25)의 출입구(251)와 동일한 경사각을 가지도록 형성되어 출입하는 푸셔(12) 및 상기 푸셔(12)에 픽업된 반도체 패키지가 원활하게 출입할 수 있도록 구성된다.That is, the
상기 고정면(324)은 상기 진입가이드면(323)의 하단에서 직각으로 절곡되며 러버소켓(23)의 측단이 인입되는 공간을 형성할 수 있도록 바텀베이스(321)의 저면에 비해 상대적으로 높은 위치에 배치된다.The fixing
이러한 고정면(324)은 인입된 러버소켓(23)의 상면과 맞닿아 이를 고정함으로써 러버소켓(23)의 위치 변위를 방지한다. 또한 상기 고정면(324)은 바텀베이스(321)가 수평 방향으로 이동하는 과정에서 러버소켓(23)측으로 이동할 때 러버소켓(23)의 단부가 고정면(324)에 맞닿아 위치 이동이 제한된다.This fixing
상기 탄성체인입공(325)은 상기 바텀베이스(321)를 러버소켓(23)측으로 탄성 가압하는 탄성체(33)의 일단이 인입되는 것으로, 바텀베이스(321)의 일단에 요입 형성된다.One end of the
상기 탄성체(33)는 상기 안내블럭(32)을 러버소켓(23)측으로 탄성 가압하기 위한 것으로, 일단은 상기 탄성체인입공(325)에 삽입되어 그 단부에 맞닿고 타단은 인서트모듈(20)을 구성하는 인서트블럭(21)에 맞닿는다.The
이러한 탄성체(33)는 상기 안내블럭(32)이 가압블럭(31)에 의해 러버소켓(23)으로부터 이격되는 방향으로 이동할 때 압축되고, 이후 가압블럭(31)이 안내블럭(32)을 가압하던 압력을 해제함과 동시에 복원되면서 안내블럭(32)을 러버소켓(23)측으로 밀어냄으로써 안내블럭(32)을 원위치시킨다.This
상기와 같이 이루어진 가이드모듈(30)의 동작 상태를 도 5 내지 도 7을 참조하여 살펴보면, 이송용 푸싱모듈(10)이 반도체 패키지(P)를 픽업한 후 러버소켓(23)의 직상방에 위치하고, 상기 러버소켓(23)으로 반도체 패키지(P)를 하강시킨다.Looking at the operating state of the
이때, 푸쉬블럭(11)이 하강하면 푸쉬블럭(11)의 하방으로 돌출되게 배치된 가압블럭(31)의 가압면(313)이 인서트모듈(20)에 배치된 안내블럭(32)의 컨텍면(326)에 맞닿는다.At this time, when the
이후, 푸쉬블럭(11)이 인서트블럭(21)에 맞닿는 위치로 하강하면 동시에 가압면(313)이 컨텍면(326)을 러버소켓(23)으로부터 이격되는 방햐으로 밀어내면서 푸셔(12) 및 이에 픽업된 반도체 패키지(P)가 이동할 수 있는 공간을 제공하고, 제공된 공간을 통해 푸셔(12)가 하강하여 반도체 패키지(P)를 러버소켓(23)에 맞닿게 배치하여 테스트를 진행한다.After that, when the
반도체 패키지의 테스트가 완료된 이후 상기 푸셔(12)가 상승하고, 상기 푸셔(12)가 일정 높이로 상승한 이후 푸쉬블럭(11)이 상승하면 이와 동시에 가압블럭(31)도 상승하고, 이때 압축되었던 탄성체(33)가 안내블럭(32)을 러버소켓(23)측으로 이동시켜 다음 동작을 대기한다.After the test of the semiconductor package is completed, the
상기와 같은 동작이 이루어질 때 푸셔(12) 및 이에 픽업된 반도체 패키지(P)가 인서트모듈(20)의 출입구(251) 및 러버소켓(23)에 출입할 때 끼임이나 걸림을 방지함으로써 푸셔 또는 반도체 패키지의 손상을 방지할 수 있고, 반도체 패키지의 테스트 과정을 신속하고 정확하게 진행할 수 있어 테스트 효율을 높일 수 있는 것이다.When the above operation is performed, the
다음으로 상기 변위수단(40)은 상기 가이드모듈(30)의 위치 변위를 방지하고 동시에 위치 변위가 발생한 가이드모듈(30)의 위치를 조절하기 위한 것으로, 상기 변위수단(40)은, 상기 이송용 푸싱모듈(10)의 상면에서 하방으로 수직하게 형성되며 내주면에 승강나사산(411)이 형성된 승강공(41)과, 상기 승강공(41)에 수평 방향으로 연통 형성된 이동장공(42)과, 상기 가압블럭(31)의 일단에서 외측으로 돌출되게 배치되며 상기 이동장공(42)에 이동 가능하게 배치되는 반구(半球)형의 변위블럭(43)과, 상기 승강공(41)의 내주면에 형성된 승강나사산(411)에 이동 가능하게 맞물리며 상기 변위블럭(43)과 맞닿는 변위볼트(44) 및 상기 가압블럭(31)을 상기 변위볼트(44)측으로 탄성지지하는 변위용탄성체(45)를 포함한다.Next, the displacement means 40 is for preventing the position displacement of the
상기 승강공(41)은 상기 이송용 푸싱모듈(10), 보다 정확하게는 푸쉬블럭(11)의 상면에서 하방으로 수직하게 형성되며 내주면에 이동용 승강나사산(411)이 형성된다.The elevating
여기서 상기 승강공(41)의 형성 위치는 상기 푸쉬블럭(11)에 배치되는 가압블럭(31)의 이동을 제어할 수 있는 위치에 형성되는데, 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 가압블럭(31)의 탑베이스(311)의 일측방에 근접하여 형성된다.Here, the forming position of the elevating
상기 이동장공(42)은 상기 승강공(41)과 상기 가압블럭(31)이 배치된 공간을 연통시키며 동시에 상기 가압블럭(31)에 형성된 변위블럭(43)이 배치 및 이동 가능한 공간을 제공하기 위한 것으로, 상기 푸쉬블럭(11)의 내부에서 수평 방향으로 형성된다.The movable
상기 변위블럭(43)은 상기 가압블럭(31)의 일단에서 외측으로 돌출되게 배치되어 상기 이동장공(42)에 배치되는 것으로, 돌출된 단부가 반구형으로 이루어져 후술하는 변위볼트(44)에 맞닿도록 배치된다.The
상기 변위볼트(44)는 상기 승강공(41)에서 승강 가능하게 배치되되 외주면에 이동용 나선이 형성되어 승강나사산(411)과 맞물리고, 외면이 상기 변위블럭(43)에 맞닿아 이를 가압한다.The
이를 위해 상기 변위볼트(44)는 상기 승강나사산(411)과 맞물리는 이동나사산(441a)이 형성된 이동면(441)과, 상기 변위블럭(43)과 맞닿되 하단을 향할수록 점진적으로 좁아지는 쐐기 형태로 이루어진 푸쉬면(442)으로 이루어진다.To this end, the
상기 변위용탄성체(45)는 상기 가압블럭(31)을 상기 변위볼트(44)측으로 탄성 지지하는 것으로, 일단은 상기 가압블럭(31)의 측면에 맞닿고 타단은 푸쉬블럭(11)에 형성된 결합슬롯(111)의 내벽에 맞닿도록 배치된다.The displacement
상기와 같이 이루어진 변위수단(40)은 승강공(41)에 배치된 변위볼트(44)를 상승 또는 하강시키면서 변위볼트(44)의 푸쉬면(442)에 맞닿는 변위블럭(43)을 가압하고, 또한 변위볼트(44)의 상승 또는 하강에 의해 변위블럭(43)의 위치가 조절된다.The displacement means 40 made as described above presses the
상기 변위블럭(43)을 가압함으로써 변위블럭(43)과 연결된 가압블럭(31)을 지지하고, 이를 통해 가압블럭(31)으로 압력 또는 충격이 전달되더라도 변위블럭(43)의 위치가 임의로 변경되는 것을 방지할 수 있다.By pressing the
또한, 상기 변위블럭(43)의 위치를 조절함으로써 변위블럭이 배치된 가압블럭(31)의 위치를 조절하고, 조절된 가압블럭(31)의 위치는 가압면(313)이 컨텍면(326)에 맞닿는 위치를 제어함으로써 안내블럭(32)의 이동 시간 및 이동 거리를 제어할 수 있는 것이다. 이러한 안내블럭(32)의 이동 시간 및 이동 거리의 제어는 서로 다른 두께를 가지는 반도체 패키지를 하나의 러버소켓에서 테스트할 수 있는 효과가 있다.In addition, the position of the
또한 가압블럭을 포함한 가이드모듈의 위치가 임의로 변경되는 경우 상기 변위볼트를 상승 또는 하강시킴으로써 설계된 위치로 가이드모듈을 복귀시킬 수 있어 신속한 유지 보수가 가능한 효과가 있다.In addition, when the position of the guide module including the pressure block is arbitrarily changed, the guide module can be returned to the designed position by raising or lowering the displacement bolt, thereby enabling rapid maintenance.
이상과 같이 본 발명에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.As described above, the present invention has been described with specific matters such as specific components and limited embodiments and drawings, but these are provided to help a more general understanding of the present invention, and the present invention is not limited to the above embodiments. , various modifications and variations are possible from these descriptions by those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains.
따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.Therefore, the spirit of the present invention should not be limited to the described embodiments, and not only the claims to be described later, but also all those with equivalent or equivalent modifications to the claims will be said to belong to the scope of the spirit of the present invention. .
1 : 끼임 방지용 가이드모듈이 구비된 반도체 패키지용 테스트 장치
10 : 이송용 푸싱모듈
11 : 푸쉬블럭 12 : 푸셔
13 : 푸셔스프링 14 : 블럭가이드공
15 : 진공수단
20 : 인서트모듈
21 : 인서트블럭 22 : 인서트부
23 : 러버소켓 24 : 블럭가이드핀
25 : 출입블럭 251 : 출입구
30 : 가이드모듈
31 : 가압블럭 32 : 안내블럭
33 : 탄성체
311 : 탑베이스 312 : 가압돌기
313 : 가압면 314 : 가압블럭탄성체
321 : 바텀베이스 322 : 컨텍돌기
323 : 진입가이드면 324 : 고정면
325 : 탄성체인입공 326 : 컨텍면
40 : 변위수단
41 : 승강공 42 : 이동장공
43 : 변위블럭 44 : 변위볼트
45 : 변위용탄성체
411 : 승강나사산
441 : 이동면 442 : 푸쉬면
441a : 이동나사산1: Test device for semiconductor package equipped with a guide module for preventing pinching
10: pushing module for transport
11: push block 12: pusher
13: pusher spring 14: block guide ball
15: vacuum means
20: insert module
21: insert block 22: insert part
23: rubber socket 24: block guide pin
25: entrance block 251: entrance
30: guide module
31: pressure block 32: guide block
33: elastic body
311: top base 312: pressing protrusion
313: pressurized surface 314: pressurized block elastic body
321: bottom base 322: contact projection
323: entry guide surface 324: fixed surface
325: elastic chain hole 326: contact surface
40: displacement means
41: elevating hole 42: moving long hole
43: displacement block 44: displacement bolt
45: elastic body for displacement
411: elevating thread
441: moving surface 442: push surface
441a: moving thread
Claims (5)
상기 반도체 패키지가 출입할 수 있고, 외부의 전기 배선과 전기적으로 접속될 수 있는 전기배선을 구비한 러버소켓(23)과, 상기 러버소켓(23)의 상방에 배치되어 상기 반도체 패키지의 출입을 안내하는 출입블럭(25)을 포함한 인서트모듈(20);
상기 반도체 패키지가 상기 러버소켓(23)에 인입될 때 계획된 정위치에 인입되도록 안내하는 가이드모듈(30);을 포함하며,
상기 가이드모듈(30)은,
상기 이송용 푸싱모듈(10)에 배치되는 가압블럭(31)과,
상기 러버소켓(23)을 향해 수평 방향으로 이동 가능하게 배치되고, 바텀베이스(321)와, 상기 바텀베이스(321)의 상면에서 상방으로 돌출되어 상기 가압블럭(31)이 맞닿고 일단이 일측으로 경사지게 형성된 컨텍면(326)이 형성된 컨텍돌기(322)가 구비되어 상기 가압블럭(31)의 승강에 따라 수평 방향으로 이동하는 안내블럭(32)과,
상기 안내블럭(32)을 상기 러버소켓(23)을 향하도록 탄성 지지하는 탄성체(33)를 포함하되,
상기 가이드모듈(30)에는,
상기 가압블럭(31)의 위치를 조절하기 위한 변위수단(40)이 더 구비되되,
상기 변위수단(40)은,
상기 이송용 푸싱모듈(10)의 상면에서 하방으로 수직하게 형성되며 내주면에 승강나사산(411)이 형성된 승강공(41)과,
상기 승강공(41)에 수평 방향으로 연통 형성된 이동장공(42)과,
상기 가압블럭(31)의 일단에서 외측으로 돌출되게 배치되며 상기 이동장공(42)에 이동 가능하게 배치되는 반구(半球)형의 변위블럭(43)과,
상기 승강공(41)의 내주면에 형성된 승강나사산(411)에 이동 가능하게 맞물리며 상기 변위블럭(43)과 맞닿는 변위볼트(44) 및
상기 가압블럭(31)을 상기 변위볼트(44)측으로 탄성지지하는 변위용탄성체(45)를 포함한 것을 특징으로 하는 끼임 방지용 가이드모듈이 구비된 반도체 패키지용 테스트 장치.A transport pushing module 10 for transporting and delivering a semiconductor package, which is a test object;
A rubber socket 23 provided with an electrical wiring that can be accessed by the semiconductor package and can be electrically connected to an external electrical wiring, and is disposed above the rubber socket 23 to guide entry and exit of the semiconductor package an insert module 20 including an entry and exit block 25;
and a guide module (30) for guiding the semiconductor package to be drawn into a predetermined position when the semiconductor package is drawn into the rubber socket (23);
The guide module 30,
A pressing block 31 disposed on the pushing module 10 for transport, and
It is arranged movably in the horizontal direction toward the rubber socket 23, and protrudes upward from the bottom base 321 and the top surface of the bottom base 321 to bring the pressing block 31 into contact with one end. A guide block 32 provided with a contact protrusion 322 having a contact surface 326 formed at an angle and moving in the horizontal direction according to the elevation of the pressing block 31,
and an elastic body 33 for elastically supporting the guide block 32 toward the rubber socket 23,
In the guide module 30,
Displacement means 40 for adjusting the position of the pressing block 31 is further provided,
The displacement means 40,
An elevating hole 41 formed vertically downward from the upper surface of the pushing module 10 for transport and having an elevating screw thread 411 formed on an inner peripheral surface thereof;
A moving long hole 42 formed in communication with the elevating hole 41 in the horizontal direction,
A hemispherical displacement block 43 disposed to protrude outward from one end of the pressing block 31 and movably disposed in the movable long hole 42;
A displacement bolt 44 that is movably engaged with an elevation screw thread 411 formed on the inner circumferential surface of the elevation hole 41 and abuts the displacement block 43, and
A test apparatus for a semiconductor package provided with a guide module for preventing pinching, characterized in that it includes a displacement elastic body (45) for elastically supporting the pressing block (31) toward the displacement bolt (44).
탑베이스(311)와,
상기 탑베이스(311)에서 하방으로 돌출된 가압돌기(312)를 포함하고,
상기 가압돌기(312)의 하단부에서 일측으로 경사지게 형성되어, 하강시 상기 안내블럭(32)의 상기 컨텍면(326)에 맞닿아 상기 안내블럭(32)을 수평 방향으로 이동시키는 가압면(313)을 포함한 것을 특징으로 하는 끼임 방지용 가이드모듈이 구비된 반도체 패키지용 테스트 장치.The method according to claim 1, The pressing block (31),
a top base 311, and
and a pressing protrusion 312 protruding downward from the top base 311,
A pressing surface 313 that is inclined to one side from the lower end of the pressing protrusion 312 and abuts against the contact surface 326 of the guide block 32 when descending to move the guide block 32 in the horizontal direction. A test device for a semiconductor package provided with a guide module for preventing pinching, characterized in that it comprises a.
상기 바텀베이스(321)는 일측단에서 상호 이격 배치되며 상기 러버소켓(23)의 진입면과 동일한 경사각을 가지도록 형성된 한 쌍의 진입가이드면(323)과,
상기 진입가이드면(323)의 하단에서 직각으로 절곡되되 상기 바텀베이스(321)의 저면에 비해 상대적으로 높은 위치에 배치되어 상기 러버소켓(23)의 측단이 인입되고 인입된 측단과 맞닿아 이를 고정하는 고정면(324)과,
상기 바텀베이스(321)의 타측단에 형성되어 상기 탄성체(33)의 일단이 인입되는 탄성체인입공(325)을 포함한 것을 특징으로 하는 끼임 방지용 가이드모듈이 구비된 반도체 패키지용 테스트 장치.The method according to claim 1, The guide block (32),
The bottom base 321 is spaced apart from each other at one end and has a pair of entry guide surfaces 323 formed to have the same inclination angle as the entry surface of the rubber socket 23;
It is bent at a right angle from the lower end of the entry guide surface 323 and is disposed at a relatively high position compared to the bottom of the bottom base 321 so that the side end of the rubber socket 23 is retracted and abuts the retracted side end to fix it. and a fixed surface 324 to
A test apparatus for a semiconductor package provided with a guide module for preventing pinching, characterized in that it is formed on the other end of the bottom base (321) and includes an elastic chain inlet hole (325) through which one end of the elastic body (33) is introduced.
상기 승강나사산(411)과 맞물리는 이동나사산(421a)이 형성된 이동면(441)과,
상기 변위블럭(43)과 맞닿되 하단을 향할수록 점진적으로 좁아지는 쐐기 형태로 이루어진 푸쉬면(442)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 끼임 방지용 가이드모듈이 구비된 반도체 패키지용 테스트 장치.The method according to claim 1, The displacement bolt (44),
a moving surface 441 having a moving screw thread 421a engaged with the elevating screw thread 411;
A test apparatus for a semiconductor package provided with a guide module for preventing pinching, characterized in that it abuts against the displacement block (43) and has a push surface (442) formed in a wedge shape that gradually narrows toward the bottom.
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- 2021-07-23 KR KR1020210096805A patent/KR102321728B1/en active IP Right Grant
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