KR102306235B1 - 스크라이브 헤드 및 스크라이브 장치 - Google Patents

Abstract

[과제] 간소한 구성에 의해 원활하게 홀더를 전환하는 것이 가능한 스크라이브 헤드 및 스크라이브 장치를 제공한다.
[해결 수단] 스크라이브 헤드(2)는, 마더 기판(G)에 접근 및 이간 가능하게 배치된 휠 홀더(228)와, 마더 기판(G)에 접근 및 이간 가능하게 배치된 휠 홀더(238)와, 서보모터(211)에 의해서 회전되는 원통 캠(212)과, 원통 캠(212)의 캠 면(212a)에 맞닿는 캠 종동자(221) 및 원통 캠(212)의 캠 면(212b)에 맞닿는 캠 종동자(231)를 포함한다. 원통 캠(212)이 Z축 부측에서 보아서 시계 방향으로 회전하면 캠 종동자(221)가 캠 면(212a)에 눌려서 휠 홀더(228)가 마더 기판(G)에 접근한다. 원통 캠(212)이 Z축 부측에서 보아서 반시계 방향으로 회전하면 캠 종동자(231)가 캠 면(212b)에 눌려서 휠 홀더(238)가 마더 기판(G)에 접근한다.

Description

스크라이브 헤드 및 스크라이브 장치{SCRIBE HEAD AND SCRIBE APPARATUS}

본 발명은, 기판에 스크라이브 라인을 형성하기 위하여 이용되는 스크라이브 헤드 및 스크라이브 헤드를 구비한 스크라이브 장치에 관한 것이다.

종래, 유리 기판 등의 취성(脆性) 재료 기판의 분단은, 기판 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 공정과, 형성된 스크라이브 라인을 따라서 기판 표면에 소정의 힘을 부가하는 브레이크 공정에 의해서 행해진다. 스크라이브 공정에서는, 스크라이빙 휠의 칼끝이 기판 표면을 누르면서 소정의 라인을 따라서 이동된다. 스크라이브 라인의 형성에는 스크라이브 헤드를 구비한 스크라이브 장치가 이용된다.

상기 스크라이브 공정에 있어서, 스크라이브 라인을 형성하기 위한 칼 끝이, 하나의 칼 끝으로부터 다른 칼 끝으로 전환되는 일이 있다. 또한, 스크라이브 라인의 형성 시, 칼 끝이 압압되는 면과 반대쪽의 면이, 백업 롤러에 의해서 눌려지는 일도 있다. 이러한 칼 끝의 전환이나 백업 롤러의 적용에 원활하게 대응하기 위한 구성으로서, 예를 들면, 특허문헌 1에 개시된 구성을 이용할 수 있다. 이 구성에서는, 하나의 스크라이브 헤드에, 칼 끝이나 백업 롤러를 유지하기 위한 2개의 홀더가 승강가능하게 설치된다.

JP 2011-194628 A

상기 특허문헌 1에 개시된 구성에서는, 2개의 홀더를 전환하기 위한 전환 모터가, 홀더를 승강시키기 위한 승강 모터와는 별도로, 스크라이브 헤드에 설치된다. 이 때문에, 스크라이브 헤드의 중량이 증가하고, 또한, 전환과 승강을 연계시키기 위한 기구가 복잡해진다. 또, 이와 같이 기구가 복잡하기 때문에, 홀더의 전환 동작에 요하는 시간이 길어진다는 문제도 일어날 수 있다.

이러한 과제를 감안하여, 본 발명은, 간소한 구성에 의해 원활하게 홀더를 전환하는 것이 가능한 스크라이브 헤드 및 스크라이브 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 제1 양상은, 기판의 스크라이브에 이용되는 스크라이브 헤드에 관한 것이다. 이 양상에 따른 스크라이브 헤드는, 기판에 접근 및 이간 가능하게 배치된 제1 홀더와, 상기 기판에 접근 및 이간 가능하게 배치된 제2 홀더와, 상기 제1 홀더 및 상기 제2 홀더를 승강시키기 위한 모터와, 상기 모터에 의해서 회전되는 회전부와, 상기 회전부의 회전을 상기 제1 홀더 및 상기 제2 홀더에 전달하는 전달 기구를 구비한다. 상기 전달 기구는, 상기 회전부의 회전 위치에 따라서, 상기 제1 홀더와 상기 제2 홀더의 상기 기판에 대한 접근 및 이간을 전환하는 연계부를 구비한다.

본 양상에 따른 스크라이브 헤드에 따르면, 모터에 의해서 회전부가 회전됨으로써, 제1 홀더와 제2 홀더 중 어느 한쪽이 기판에 접근한다. 따라서, 간단한 구성에 의해 원활하게 스크라이브 동작에 이용하는 홀더를 전환할 수 있다.

제1 양상에 따른 스크라이브 헤드에 있어서, 상기 전달 기구는, 상기 회전부가 제1 방향으로 중립 위치로부터 회전하면 상기 제1 홀더를 상기 기판에 접근시키고, 상기 회전부가 상기 제1 방향과 반대인 제2 방향으로 상기 중립 위치로부터 회전하면 상기 제2 홀더를 상기 기판에 접근시키도록 구성될 수 있다. 이와 같이 하면, 회전체의 회전 방향을 전환함으로써, 스크라이브 동작에 이용하는 홀더를 전환할 수 있다.

제1 양상에 따른 스크라이브 헤드에 있어서, 상기 연계부는, 상기 회전부에 구비된 캠 면과, 상기 제1 홀더에 설치되어 상기 캠 면에 맞닿는 제1 캠 종동자와, 상기 제2 홀더에 설치되어 상기 캠 면에 맞닿는 제2 캠 종동자와, 상기 제1 캠 종동자 및 상기 제2 캠 종동자를 상기 캠 면에 접근하는 방향으로 가압하는 탄성부재를 구비하는 구성으로 될 수 있다. 이와 같이 캠과 캠 종동자에 의해 홀더를 전환하는 구성을 이용함으로써, 전달 기구의 간소화를 도모할 수 있고, 또한, 홀더의 승강 제어를 양호하게 행할 수 있다.

이 경우, 상기 제1 홀더가 상기 기판에 접근하는 동작 위치에 있을 때, 상기 제2 캠 종동자는 상기 캠 면과 비접촉이며, 상기 제2 홀더가 상기 기판에 접근하는 동작 위치에 있을 때, 상기 제1 캠 종동자는 상기 캠 면과 비접촉인 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, 한쪽의 홀더가 스크라이브 동작에 이용될 경우에 다른 쪽의 홀더의 캠 종동자가 캠의 회전에 부하로 되는 일이 없어, 한쪽의 홀더의 승강 제어를 보다 양호하게 행할 수 있다.

이 경우, 스크라이브 헤드는, 상기 제1 홀더 및 상기 제2 홀더를 각각 상기 비접촉의 상태로 유지하기 위한 스토퍼를 구비하는 구성으로 될 수 있다. 이와 같이 하면, 간소한 구성에 의해 확실히 스크라이브 동작에 이용되지 않은 쪽의 홀더의 캠 종동자를 캠 면에 대하여 비접촉 상태로 유지할 수 있다.

본 발명의 제2 양상은 스크라이브 장치에 관한 것이다. 제2 양상에 따른 스크라이브 장치는, 상기 제1 양상의 스크라이브 헤드와, 절단 대상의 기판을 지지하는 지지부와, 상기 지지부에 지지된 상기 기판에 대해서 상기 스크라이브 헤드를 이동시키는 이동 기구를 구비한다.

본 양상에 따른 스크라이브 장치에 따르면, 상기 제1 양상의 스크라이브 헤드와 마찬가지 작용 및 효과가 발휘될 수 있다.

이 양상에 따른 스크라이브 장치에 있어서, 상기 제1 홀더에는, 예를 들면, 스크라이브 라인을 형성하기 위한 제1 칼 끝이 유지되고, 상기 제2 홀더에는, 예를 들면, 스크라이브 라인을 형성하기 위한 제2 칼 끝 또는 기판을 누르기 위한 롤러가 유지된다. 제2 홀더에 제2 칼 끝이 유지될 경우, 회전부를 회전시킴으로써, 스크라이브 동작에 이용하는 칼 끝을 제1 칼 끝과 제2 칼 끝 간에 전환할 수 있다. 제2 홀더에 롤러가 유지될 경우, 회전부를 회전시킴으로써, 스크라이브 동작에 이용하는 대상물을 제1 칼 끝과 롤러 간에 전환할 수 있다.

이상 기술한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 간소한 구성에 의해 원활하게 홀더를 전환하는 것이 가능한 스크라이브 헤드 및 스크라이브 장치를 제공할 수 있다.

본 발명의 효과 내지 의의는, 이하에 나타낸 실시형태의 설명에 의해 더욱 명확해질 것이다. 단, 이하에 나타낸 실시형태는, 어디까지나, 본 발명을 실시화할 때의 하나의 예시로서, 본 발명은, 이하의 실시형태에 기재된 것으로 하등 제한되는 것은 아니다.

도 1은 실시형태에 따른 스크라이브 장치의 구성을 도시한 모식도;
도 2는 실시형태에 따른 스크라이브 헤드의 구성을 도시한 일부 분해 사시도;
도 3은 실시형태에 따른 스크라이브 헤드의 구성을 도시한 정면도;
도 4는 실시형태에 따른 스크라이브 헤드의 구성을 도시한 측면도;
도 5는 실시형태에 따른 스크라이브 헤드의 구성을 도시한 사시도;
도 6은 실시형태에 따른 커터 휠이 하강되었을 때의 스크라이브 헤드의 구성을 도시한 정면도;
도 7은 실시형태에 따른 커터 휠이 하강되었을 때의 스크라이브 헤드의 구성을 도시한 측면도;
도 8은 실시형태에 따른 백업 롤러가 하강되었을 때의 스크라이브 헤드의 구성을 도시한 정면도;
도 9는 실시형태에 따른 백업 롤러가 하강되었을 때의 스크라이브 헤드의 구성을 도시한 측면도;
도 10은 실시형태에 따른 스크라이브 장치의 요부 구성을 도시한 블록도, 및 스크라이브 장치의 동작의 흐름을 나타낸 순서도;
도 11은 변경예에 따른 스크라이브 헤드의 구동부와 승강부를 도시한 모식도.

이하, 본 발명의 실시형태에 대해서, 도면을 참조해서 설명한다. 또, 각 도면에는, 편의상, 서로 직교하는 X축, Y축 및 Z축이 부기되어 있다. X-Y 평면은 수평면에 평행하고, Z축 방향은 연직방향이다.

본 실시형태에 있어서, 컨베이어(11)는 특허청구범위에 기재된 「지지부」에 상당하고, 서보모터(211)는 특허청구범위에 기재된 「모터」에 상당한다. 또, 원통 캠(212)은 특허청구범위에 기재된 「회전부」에 상당한다. 또한, 캠 면(212a), (212b)과, 캠 종동자(221), (231)와, 탄성부재(225b), (235b)는 특허청구범위에 기재된 「연계부」에 상당한다. 또, 연결부(222), (232)와, 압압부(224), (234)와, 리니어 가이드(225a), (235a)와, 홀더 가이드(226), (236)와, 홀더 유지체(227), (237)는 특허청구범위에 기재된 「전달 기구」에 상당한다. 또한, 휠 홀더(228)는 특허청구범위에 기재된 「제1 홀더」에 상당한다. 또, 휠 홀더(238)는 특허청구범위에 기재된 「제2 홀더」에 상당한다. 또한, 커터 휠(229)은 특허청구범위에 기재된 「제1 칼 끝」 또는 「제2 칼 끝」에 상당한다. 또, 백업 롤러(239)는 특허청구범위에 기재된 「롤러」에 상당한다. 단, 상기 특허청구범위와 본 실시형태의 대응에 의해, 특허청구범위에 관한 발명이 본 실시형태로 한정되는 것은 아니다.

도 1(a) 및 도 1(b)는 스크라이브 장치(1)의 구성을 도시한 모식도이다. 도 1(a)는 Y축 정측(正側)에서 스크라이브 장치(1)를 본 모식도이고, 도 1(b)는 X축 부측(負側)에서 스크라이브 장치(1)를 본 모식도이다.

도 1(a)를 참조하면, 스크라이브 장치(1)는, 컨베이어(11)와, 지주(12a), (12b)와, 가동 가이드(13a), (13b)와, 가동 가이드(14a), (14b)와, 접동 유닛(15), (16)과, 2개의 스크라이브 헤드(2)를 구비한다.

도 1(b)에 나타낸 바와 같이, 컨베이어(11)는, 스크라이브 헤드(2)가 설치되어 있는 개소를 제외하고, Y축 방향으로 연장되도록 설치되어 있다. 컨베이어(11) 상에는 마더 기판(G)이 놓인다. 마더 기판(G)은, 1쌍의 유리 기판이 상호 접합된 기판 구조를 가진다. 마더 기판(G)은 컨베이어(11)에 의해 Y축 방향으로 이송된다.

지주(12a), (12b)는, 스크라이브 장치(1)의 베이스에 컨베이어(11)를 사이에 두고 수직으로 설치되어 있다. 가동 가이드(13a), (13b) 및 가동 가이드(14a), (14b)는, 각각, X축 방향에 평행이 되도록, 지주(12a), (12b) 사이에 가설되어 있다. 접동 유닛(15), (16)은, 각각, 가동 가이드(13a), (13b), 가동 가이드(14a), (14b)에 접동 가능하게 설치되어 있다. 가동 가이드(13a), (13b) 및 가동 가이드(14a), (14)에는, 각각, 소정의 구동 기구가 설치되어 있어, 이 구동 기구에 의해, 접동 유닛(15), (16)이 X축 방향에 접동된다.

Z축 부측의 스크라이브 헤드(2)는, 구동부(21)와, 승강부(22), (23)를 구비한다. 승강부(22)에는 커터 휠(229)(도 3참조)이 장착되어 있고, 승강부(23)에는 백업 롤러(239)(도 3 참조)가 장착되어 있다. 구동부(21)는, 승강부(22)와 승강부(23) 중 어느 한쪽을 상승시키고, 다른 한쪽을 하강시킨다. Z축 정측의 스크라이브 헤드(2)도, Z축 부측의 스크라이브 헤드와 마찬가지 구성을 구비한다. 2개의 스크라이브 헤드(2)는, 한쪽 스크라이브 헤드(2)의 커터 휠(229)과 다른 쪽 스크라이브 헤드(2)의 백업 롤러(239)가 서로 대향하도록 배치되어 있다.

Z축 부측의 스크라이브 헤드(2)의 승강부(22)와, Z축 정측의 스크라이브 헤드(2)의 승강부(23)를, 각각, 마더 기판(G)에 근접시킴으로써, Z축 부측의 커터 휠(229)(도 3 참조)이 마더 기판(G)의 상부면에 압접된다. 이 때, 마더 기판(G)의 하부면은, 둘레면이 평평한 백업 롤러(239)(도 3참조)에 의해 백업된다. 그리고, 소정의 구동 기구(도시 생략)로부터 접동 유닛(15), (16)이 X축 방향으로 이송된다. 이것에 의해, Z축 부측의 커터 휠(229)(도 3참조)이 마더 기판(G)의 상부면에 압접된 상태에서 이동하여, 마더 기판(G)의 상부면에 스크라이브 라인이 형성된다. 마더 기판(G)의 하부면에 스크라이브 라인이 형성될 경우에는, Z축 정측의 커터 휠(229)(도 3참조)과, Z축 부측의 백업 롤러(239)(도 3 참조)가 마더 기판(G)에 근접된다.

이와 같이, 1쌍의 유리 기판이 상호 접합된 마더 기판(G)에 대해서, 스크라이브 라인이 형성될 경우, 적절하게 커터 휠(229)(도 3 참조)과 백업 롤러(239)(도 3 참조)를 전환할 필요가 있다. 또, 수지 기판을 절단할 경우에는, 수지 기판을 컷팅할 때에 솟아오른 수지를 억제하기 위해서, 압궤롤러를 이용할 수 있다. 이와 같이, 스크라이브 헤드(2)에서는, 복수 종류의 툴(tool)이 이용될 수 있다. 그래서, 본 실시형태에서는, 간이하게 툴을 전환할 수 있는 구성이 설치되어 있다.

도 2는 스크라이브 헤드(2)의 구성을 도시한 일부 분해 사시도이다.

스크라이브 헤드(2)는, 구동부(21)와, 승강부(22), (23)와, 베이스 플레이트(24)와, 상부 플레이트(25)와, 하부 플레이트(26)와, 밀봉(seal) 부재(27)와, 커버(28)를 구비한다.

베이스 플레이트(24)는, X축 정방향에서 보았을 때에, 거의 직사각형의 윤곽을 지닌다. 베이스 플레이트(24)의 2개의 측면에는 스텝부(24a)가 형성되어 있다. 베이스 플레이트(24)에는 복수의 나사 구멍이 형성되어 있다.

상부 플레이트(25)는, 상부면에서 보아서, 거의 직사각형의 윤곽을 지닌다. 상부 플레이트(25)의 측면에는 스텝부(25a)가 형성되어 있다. 상부 플레이트(25)의 중앙에는 개구부가 형성되어 있다(도시 생략). 상부 플레이트(25)의 스텝부(25a)에는 복수의 나사 구멍이 형성되어 있다. 또한, 상부 플레이트(25)에는 급기용 조인트(25b)가 설치되어 있다.

하부 플레이트(26)는, 상부면에서 보아서, 거의 직사각형의 윤곽을 지닌다. 하부 플레이트(26)의 측면에는 스텝부(26a)가 형성되어 있다. 하부 플레이트(26)에는 개구부(26b), (26c)가 형성되어 있다. 하부 플레이트(26)의 스텝부(26a)에는 복수의 나사 구멍이 형성되어 있다.

도 2의 상태에 있어서, 상부 플레이트(25)와 하부 플레이트(26)는, 나사에 의해서, 베이스 플레이트(24)에 나사 연결되어 있다. 이 상태에서, 스텝부(24a), (25a), (26a)는, 하나로 연결되어 있다. 즉, 상부 플레이트(25)에 형성된 스텝부(25a)의 양 단부가, 베이스 플레이트(24)의 2개의 측면에 형성된 스텝부(24a)의 상단부에 각각 연결되어 있다. 또한, 하부 플레이트(26)에 형성된 스텝부(26a)의 양 단부가, 베이스 플레이트(24)의 2개의 측면에 형성된 스텝부(24a)의 하단부에 각각 연결되어 있다.

도 2의 상태에 있어서, 베이스 플레이트(24)는, X축 정측의 측면과 X축 부측의 측면이 각각 Y-Z 평면(연직면)에 평행하게 되어 있다. 또, 상부 플레이트(25)는, Z축 정측의 측면과 Z축 부측의 측면이 각각 X-Y 평면(수평면)에 평행하게 되어 있고, 하부 플레이트(26)는, Z축 정측의 측면과 Z축 부측의 측면이 각각 X-Y 평면(수평면)에 평행하게 되어 있다. 즉, 상부 플레이트(25)와 하부 플레이트(26)는, 베이스 플레이트(24)에 수직으로 연결되고, 또한, 소정의 간격을 두고 서로 정대향하도록, 베이스 플레이트(24)에 부착되어 있다.

도 3은 구동부(21)와 승강부(22), (23)를 X축 부측에서 본 구성을 도시한 정면도이다. 도 4(a)는 구동부(21)와 승강부(22)를 Y축 정측에서 본 구성을 도시한 측면도이다. 도 4(b)는 구동부(21)와 승강부(23)를 Y축 부측에서 본 구성을 도시한 측면도이다. 또, 도 3, 도 4(a) 및 도 4(b)에서는, 연결부(222)가 투시된 상태가 도시되어 있다. 또한, 도 3, 도 4(a) 및 도 4(b)에는, 원통 캠(212)이 중립 위치에 있을 때의 상태가 도시되어 있다.

도 3을 참조하면, 구동부(21)는 서보모터(211)와, 원통 캠(212)을 구비한다.

서보모터(211)는 출력 축의 축심이 Z축에 평행하게 되도록 배치되어 있다. 서보모터(211)는 출력 축이 원통 캠(212)의 상부에 형성된 구멍에 압입되어 있다. 또, 서보모터(211)의 출력 축 밑 부분은, 상부 플레이트(25)에 형성된 개구부의 직경보다도 약간 작은 원주부로 되어 있다. 서보모터(211)는, 이 원주부가 상부 플레이트(25)의 개구부에 거의 간극 없이 삽입되도록 하여, 상부 플레이트(25)의 상부면에 설치되어 있다.

원통 캠(212)은, 원주가 2개의 방향에서부터 사선으로 절결된 형상을 지닌다. 서보모터(211)의 출력 축과 원통 캠(212)은, 나사에 의해서 압착 고정되어 있다. 따라서, 서보모터(211)가 구동되면, 원통 캠(212)은, 서보모터(211)의 출력 축과 일체가 되어서, X-Y 평면에 평행한 방향으로 회전한다. 도 4(a)에 나타낸 바와 같이, 원통 캠(212)의 캠 면(212a)는, X-Y 평면(수평면)에 대해서, 소정의 각도로 경사져 있다. 또, 도 4(b)에 나타낸 바와 같이, 원통 캠(212)의 캠 면(212b)은, X-Y 평면(수평면)에 대해서, 소정의 각도로 경사져 있다. 도 3에 나타낸 바와 같이 원통 캠(212)이 중립 위치에 있을 때, 캠 면(212a)과 캠 면(212b)은, 서로 좌우 방향으로 대칭인 형상으로 되어 있다.

도 3을 참조하면, 승강부(22)는, 캠 종동자(221)와, 연결부(222)와, 스토퍼(223a), (223b)와, 압압부(224)와, 리니어 가이드(225a)와, 탄성부재(225b)와, 홀더 가이드(226)와, 홀더 유지체(227)와, 휠 홀더(228)와, 커터 휠(229)을 구비한다. 마찬가지로, 승강부(23)는, 캠 종동자(231)와, 연결부(232)와, 스토퍼(233a), (233b)와, 압압부(234)와, 리니어 가이드(235a)와, 탄성부재(235b)와, 홀더 가이드(236)와, 홀더 유지체(237)와, 휠 홀더(238)와, 백업 롤러(239)를 구비한다. 승강부(22)와 승강부(23)는, X-Z평면에 대해서 면대칭이 되도록 배치되어 있다.

캠 종동자(221)는, Y축에 평행한 고정 축(222a)에 의해, 연결부(222)에 회전가능하게 축지지되어 있다. 원통 캠(212)의 캠 면(212a)(도 4(a) 참조)은, 캠 종동자(221)의 외주면에 맞닿아 있다. 원통 캠(212)이 서보모터(211)에 의해서 회전되면, 캠 면(212a)(도 4(a) 참조)과 캠 종동자(221)의 맞닿음 위치가 Z축 방향으로 변화된다. 이것에 의해, 캠 종동자(221)가 상하 방향(Z축 방향)에 이동된다.

연결부(222)는, 1개의 모서리가 절결된 대략 직육면체의 형상을 지닌다. 연결부(222)의 위쪽(Z축 부측)에는, 캠 종동자(221)를 축지지하기 위한 고정 축(222a)이 고착되어 있고, 연결부(222)의 아래쪽(Z축 정측)에는, 압압부(224)를 연결 고정하기 위한 2개의 고정 축(222b)이 고착되어 있다. 연결부(222)는, 도시한 바와 같이, 절결부(222c)가 압압부(224)의 상부면에 걸리도록 해서, 캠 종동자(221)와 압압부(224)를 연결하고 있다. 따라서, 캠 종동자(221)에 전달된 구동력은 연결부(222)를 개재해서 압압부(224)에 전달된다.

도 4(a)에 나타낸 바와 같이, 스토퍼(223a)는, 나사 형상의 부재이며, 연결부(222)의 상부면 중앙에 고착되어 있다. 스토퍼(223b)는, 나사 형상의 부재이며, 상부 플레이트(25)의 스토퍼(223a)에 대향하는 위치에 고착되어 있다. 스토퍼(223a)의 상부면 및 스토퍼(223b)의 하부면은, X-Y 평면에 평행하게 되어 있다. 스토퍼(223a)는, 스토퍼(223b)와 맞닿음으로써 연결부(222)에 연결된 캠 종동자(221)의 위쪽으로의 이동을 소정의 범위로 제한한다. 즉, 원통 캠(212)이 소정 이상으로 회전했다고 해도, 스토퍼(223a)가 스토퍼(223b)에 맞닿음으로써, 연결부(222) 및 캠 종동자(221)의 상승이 억제되어, 캠 종동자(221)와 캠 면(212a) 사이에는 간극이 발생한다.

압압부(224)는, 배면(X축 부측의 면)에 가이드받이부(224a)가 설치되어 있다. 가이드받이부(224a)는 나사에 의해서 압압부(224)에 고착되어 있다. 압압부(224)의 하부면(Z축 정측의 면)에는 원통부(224b)가 형성되어 있다. 원통부(224b)의 외주의 직경은 하부 플레이트(26)의 개구부(26b)(도 2 참조)의 직경보다도 약간 작다. 원통부(224b)는 하부 플레이트(26)의 개구부(26b)에 삽입된다. 원통부(224b)의 하단면은 홀더 유지체(227)에 나사체결되어 있다.

리니어 가이드(225a)는, Z축 방향으로 연장되도록, 베이스 플레이트(24)에 나사에 의해서 고착되어 있다. 압압부(224)의 가이드받이부(224a)는 리니어 가이드(225a)와 맞물려 있다. 이것에 의해, 압압부(224)는, 리니어 가이드(225a)에 의해서, 상하 방향(Z축 방향)으로 안내된다. 탄성부재(225b)는, 상단부가 상부 플레이트(25)에 고정된 나사의 선단부에 형성된 구멍에 걸려 있고, 하단부가 압압부(224)의 배면에 형성된 볼록부에 걸려 있다. 또, 탄성부재(225b)는 Y축 정측과 베이스 플레이트(24)의 Y축 방향의 중앙 부근에 각각 설치되어 있다. 압압부(224)는 탄성부재(225b)에 의해서 위쪽 방향(Z축 부방향)으로 가압되어 있다. 탄성부재(225b)는, 예를 들면, 코일 스프링에 의해 구성되어 있다.

홀더 가이드(226)는 판부(226a)와 원통부(226b)로 이루어지고 있다. 원통부(226b)의 내측은 상하 방향(Z축 방향)으로 관통하는 개구로 되어 있다. 홀더 가이드(226)의 판부(226a)는 하부 플레이트(26)의 하부면(Z축 정측)에 나사에 의해 나사 연결되어 있다. 원통부(226b)의 내주의 직경은, 압압부(224)의 원통부(224b)의 외주의 직경보다도 간신히 크다. 압압부(224)가 상하 방향(Z축 방향)으로 이동하면, 압압부(224)의 원통부(224b)가 원통부(226b)의 내주를 따라서 이동한다. 또한, 홀더 가이드(226)는, 원통부(226b)의 외주를 따라서, 후술하는 홀더 유지체(227)을 상하 방향(Z축 방향)에 안내한다.

홀더 유지체(227)에는, Z축 정측과 Z축 부측에, 각각 개구가 형성되어 있다. Z축 부측의 개구의 직경은, 홀더 가이드(226)의 원통부(226b)의 외주의 직경보다도 약간 크다. Z축 정측의 개구의 직경은, Z축 부측의 개구의 직경보다도 작다. 홀더 가이드(226)의 원통부(226b)가 홀더 유지체(227)의 Z축 부측의 개구에 삽입되어서, 홀더 유지체(227)는 나사에 의해 압압부(224)의 원통부(224b)에 나사 연결된다. 이것에 의해, 홀더 유지체(227)는 압압부(224)에 조립된다.

휠 홀더(228)는, 홀더 유지체(227)에 의해서 Z축 정측에 유지되어 있다. 휠 홀더(228)는, 휠 형상의 커터 휠(229)을, X축에 평행한 2개의 지축(支軸)에 의해서, 회전가능하게 축지지한다. 커터 휠(229)은, 선단부가 마더 기판(G)의 표면에 스크라이브 라인을 형성하기 위한 칼로 되어 있다.

승강부(23)는, 백업 롤러(239)를 제외하고, 승강부(22)와 대략 마찬가지로 해서 구성되어 있다. 승강부(23)의 휠 홀더(238)는, 백업 롤러(239)를, X축에 평행한 2개의 지축에 의해서, 회전가능하게 축지지한다. 백업 롤러(239)는 둘레면이 평평한 형상을 가지고 있다.

도 2로 돌아가면, 밀봉 부재(27)는 고무 프레임(27a) 내지 (27d)과, 잠금쇠(27e)로 이루어진다. 고무 프레임(27a) 내지 (27d)은, 각각, 공기가 스며들지 않는 탄성부재이다. 고무 프레임(27a)는 상부 플레이트(25)의 스텝부(25a)에, 고무 프레임(27b)은 하부 플레이트(26)의 스텝부(26a)에 끼워넣어지는 형상을 가지고 있다. 고무 프레임(27c), (27d)은, 각각, 베이스 플레이트(24)의 Y축 부측의 스텝부(24a)와 Y축 정측의 스텝부(24a)에 끼워넣어지는 형상을 가지고 있다. 고무 프레임(27a) 내지 (27d)의 두께는, 스텝부(24a), (25a) 및 (26a)의 깊이보다도 약간 작다. 잠금쇠(27e)는, 베이스 플레이트(24)의 스텝부(24a)의 Z축 방향의 폭보다도 약간 크다.

커버(28)는 좌측 커버부(28a)와, 우측 커버부(28b)로 이루어진다. 좌측 커버부(28a)는, 판 형상의 좌측면부(28c)와, 좌측면부(28c)의 X축 부측의 단부가 절곡된 절곡부(28d)로 구성되어 있다. 우측 커버부(28b)는, 판 형상의 우측면부(28e)와 앞면부(28f)와, 우측면부(28e)의 Y축 정측의 단부가 X축 부측에 1단 높은 스텝부(28g)로 구성되어 있다.

고무 프레임(27a)이 스텝부(25a)에, 고무 프레임(27b)이 스텝부(26a)에, 고무 프레임(27c), (27d)이 스텝부(24a)에 끼워넣어진 상태에서, 좌측 커버부(28a)의 상하의 단부가 고무 프레임(27a), (27b), (27d)의 표면에 닿아 있다. 그리고, 좌측 커버부(28a)의 절곡부(28d)와 우측 커버부(28b)의 스텝부(28g) 사이에 스펀지(28h)가 끼워넣어지도록 하고, 우측 커버부(28b)의 상하의 단부가 고무 프레임(27a), (27b), (27c)의 표면에 닿아 있다. 이 상태에서, 좌측 커버부(28a), 우측 커버부(28b)의 가장자리에 형성된 구멍을 개재해서, 나사가 베이스 플레이트(24), 상부 플레이트(25) 및 하부 플레이트(26)에 나사 연결된다.

그리고, 잠금쇠(27e)가 고무 프레임(27a), (27b), (27c)을 덮도록 베이스 플레이트(24)의 Y축 부측의 측면에 부착되고, 잠금쇠(27e)가 나사에 의해 베이스 플레이트(24)에 나사 연결된다. 이것에 의해, 좌측면부(28c)의 상하의 단부가 고무 프레임(27a), (27b)에 눌리고, 좌측면부(28c)의 X축 정측의 단부가 고무 프레임(27a), (27b), (27d)에 눌리도록 해서, 좌측 커버부(28a)가 베이스 플레이트(24), 상부 플레이트(25) 및 하부 플레이트(26)에 고정된다. 또한, 앞면부(28f) 및 우측면부(28e)의 상하의 단부가 고무 프레임(27a), (27b)에 눌리고, 우측면부(28e)의 X축 정측의 단부가 고무 프레임(27a), (27b), (27c)에 눌리도록 해서, 우측 커버부(28b)가 베이스 플레이트(24), 상부 플레이트(25) 및 하부 플레이트(26)에 고정된다. 이와 같이 해서, 도 5에 나타낸 바와 같이 스크라이브 헤드(2)를 조립할 수 있다.

도 5는 스크라이브 헤드(2)의 구성을 도시한 사시도이다.

도 5에 나타낸 바와 같이, 구동부(21)가 수용되는 베이스 플레이트(24)와 상부 플레이트(25) 및 하부 플레이트(26) 사이의 공간이 커버(28)에 의해 둘러싸여 있다. 이와 같이, 구동부(21)는, 커버(28)와, 베이스 플레이트(24)와 상부 플레이트(25)와, 하부 플레이트(26)에 의해 형성된 폐공간 내에 배치되어 있기 때문에, 스크라이브 헤드(2)의 측면 등으로부터 구동부(21)에 컬릿(cullet)이나 먼지 등이 침입하는 것이 억제된다. 또한, 상부 플레이트(25)의 급기용 조인트(25b)로부터 공기가 공급됨으로써, 폐공간 내로부터 외부를 향하는 공기의 흐름이 발생하여, 컬릿이나 먼지 등이 구동부(21)에 침입하는 것이 더욱 억제된다.

도 1(b)에 나타낸 바와 같이, 1쌍의 유리 기판이 상호 접합된 마더 기판(G)에 대해서, 스크라이브 라인이 형성될 경우, 상하에 1쌍의 스크라이브 헤드(2)가 배치됨으로써 기판이 끼워진다. 이 경우, 백업 롤러(239)는, 반대쪽에 배치되는 스크라이브 헤드(2)의 커터 휠(229)에 대향하여, 커터 휠(229)에 의해서 부여되는 압력을 받아서 기판을 지지한다.

도 6 내지 도 7(b)를 참조하여, 커터 휠(229)을 강하시키는 동작에 대해서 설명한다.

도 6은 구동부(21)와 승강부(22), (23)를 X축 부측에서 본 구성을 도시한 측면도이다. 도 7(a)는 구동부(21)와 승강부(22)를 Y축 정측에서 본 구성을 도시한 측면도이다. 도 7(b)는 구동부(21)와 승강부(23)를 Y축 부측에서 본 구성을 도시한 측면도이다. 또, 도 7(a) 및 (b)에서는, 연결부(222)가 투시된 상태가 도시되어 있다.

도 6을 참조하면, 서보모터(211)가 구동되어, 서보모터(211)의 출력 축이 Z축 부측에서 보아서 시계 방향으로 회전하면, 서보모터(211)의 출력 축과 일체적으로 장착된 원통 캠(212)이 Z축 부측에서 보아서 시계 방향으로 중립 위치로부터 회전한다. 이것에 의해, 도 7(a)에 나타낸 바와 같이, 캠 면(212a)과 캠 종동자(221)의 맞닿는 위치가 경사면을 내려가는 방향으로 이동하고, 연결부(222)를 개재해서 압압부(224)가 아래쪽 방향(Z축 정측)으로 이동한다.

이 때, 도 7(b)에 나타낸 바와 같이, 압압부(234)는, 탄성부재(235b)에 의해서, 위쪽 방향(Z축 부방향)으로 가압되어 있기 때문에, 캠 면(212b)과 캠 종동자(231)의 맞닿는 위치가 경사면을 올라가는 방향으로 이동한다. 압압부(224)는 리니어 가이드(225a)에 안내되어서 아래쪽 방향으로 이동하고, 압압부(224)의 원통부(224b)에 고정된 홀더 유지체(227)는 홀더 가이드(226)의 원통부(226b)에 안내되어서 아래쪽 방향으로 이동한다. 동시에, 압압부(234)는 리니어 가이드(235a)에 안내되어서 위쪽 방향으로 이동하고, 압압부(234)의 원통부(234b)에 고정된 홀더 유지체(237)는 홀더 가이드(236)의 원통부(236b)에 안내되어서 위쪽 방향으로 이동한다.

이와 같이 해서 승강부(23)가 위쪽 방향으로 이동하면, 이윽고, 스토퍼(233a)가 스토퍼(233b)에 맞닿는다. 이것에 의해, 승강부(23)의 위쪽방향의 이동이 억제되어, 캠 종동자(231)와 원통 캠(212)의 캠 면(212b) 사이에 간극이 발생한다. 따라서, 다른 쪽 승강부(22)를 아래쪽 방향으로 이동시킬 때에 캠 종동자(231)가 부하로 되는 일이 없어, 승강부(22)를 원활하게 아래쪽 방향으로 이동시킬 수 있다.

도 8 내지 도 9(b)를 참조하여, 백업 롤러(239)를 강하시키는 동작에 대해서 설명한다.

도 8은 구동부(21)와 승강부(22), (23)를 X축 부측에서 본 구성을 도시한 측면도이다. 도 9(a)는 구동부(21)와 승강부(22)를 Y축 정측에서 본 구성을 도시한 측면도이다. 도 9(b)는 구동부(21)와 승강부(23)를 Y축 부측에서 본 구성을 도시한 측면도이다. 또, 도 9(a) 및 도 9(b)에서는, 연결부(222)가 투시된 상태가 도시되어 있다.

도 8을 참조하여, 서보모터(211)가 구동되어, 서보모터(211)의 출력 축이 Z축 부측에서 보아서 반시계 방향으로 회전하면, 서보모터(211)의 출력 축과 일체적으로 장착된 원통 캠(212)이 Z축 부측에서 보아서 반시계 방향으로 중립 위치로부터 회전한다. 이것에 의해, 도 9(b)에 나타낸 바와 같이, 캠 면(212b)과 캠 종동자(231)의 맞닿는 위치가 경사면을 내려가는 방향으로 이동하고, 연결부(232)를 개재해서 압압부(234)가 아래쪽 방향(Z축 정측)으로 이동한다.

이 때, 도 9(a)에 나타낸 바와 같이, 압압부(224)는 탄성부재(225b)에 의해, 위쪽 방향(Z축 부방향)으로 가압되어 있기 때문에, 캠 면(212a)과 캠 종동자(221)의 맞닿는 위치가 경사면을 올라가는 방향으로 이동한다. 압압부(234)는 리니어 가이드(235a)에 안내되어서 아래쪽 방향으로 이동하고, 압압부(234)의 원통부(234b)에 고정된 홀더 유지체(237)는 홀더 가이드(236)의 원통부(236b)에 안내되어서 아래쪽 방향으로 이동한다. 동시에, 압압부(224)는 리니어 가이드(225a)에 안내되어서 위쪽 방향으로 이동하고, 압압부(224)의 원통부(224b)에 고정된 홀더 유지체(227)는 홀더 가이드(226)의 원통부(226b)에 안내되어서 위쪽 방향으로 이동한다.

이와 같이 해서 승강부(22)가 위쪽 방향으로 이동되면, 이윽고, 스토퍼(223a)가 스토퍼(223b)에 맞닿는다. 이것에 의해, 승강부(22)의 위쪽 방향의 이동이 억제되어, 캠 종동자(221)와 원통 캠(212)의 캠 면(212a) 사이에 간극이 발생한다. 따라서, 다른 쪽 승강부(23)의 아래쪽 방향으로 이동시킬 때에 캠 종동자(221)가 부하로 되는 일이 없어, 승강부(23)를 원활하게 아래쪽 방향으로 이동시킬 수 있다.

이와 같이 해서, 원통 캠(212)이 한쪽으로 회동됨으로써, 도 1(b)에 나타낸 바와 같이, Z축 부측의 마더 기판(G)에 커터 휠(229)이 압접되고, Z축 정측의 마더 기판(G)에 백업 롤러(239)가 압접되어서, Z축 부측의 마더 기판(G)에 스크라이브 라인이 형성된다. 또한, Z축 정측의 마더 기판(G)에 스크라이브 라인이 형성될 경우에는, 원통 캠(212)이 다른 쪽으로 회동됨으로써, Z축 부측의 마더 기판(G)에 백업 롤러(239)가 압접되고, Z축 정측의 마더 기판(G)에 커터 휠(229)이 압접된다. 이것에 의해, Z축 정측의 마더 기판(G)에 스크라이브 라인이 형성된다.

도 10(a)는 스크라이브 장치(1)의 요부 구성을 도시한 블록도이다.

제어부(3)는 제어 프로그램에 따라서 각 부를 제어한다. 이동 기구(4)는, 컨베이어(11)에 놓인 마더 기판(G)에 대해서 스크라이브 헤드(2)를 이동시키는 기구부이다. 이동 기구(4)는, 도 1에 나타낸 지주(12a), (12b)와, 가동 가이드(13a), (13b)와, 가동 가이드(14a), (14b)와, 접동 유닛(15), (16)을 포함하고 있다.

도 10(b)는 스크라이브 장치(1)의 동작의 흐름을 나타낸 순서도이다.

컨베이어(11)에 마더 기판(G)이 세트되면, 제어부(3)는 스크라이브 헤드(2)를 선두의 스크라이브 라인의 개시 위치로 이동시킨다(S11). 다음에, 제어부(3)는, 이동 기구(4)와 구동부(21)를 제어하여, 휠 홀더(228) 또는 휠 홀더(238)를 마더 기판(G)에 접근시킨다(S12). 예를 들면, 도 10(a)에 있어서, 위쪽의 스크라이브 헤드(2)의 휠 홀더(228)가 마더 기판(G)에 접근되고, 아래쪽의 스크라이브 헤드(2)의 휠 홀더(238)가 마더 기판(G)에 접근된다. 이 제어는, 상기와 같이 원통 캠(212)을 중립 위치로부터 어느 한쪽 방향으로 소정의 위치까지 회전시킴으로써 행해진다. 이것에 의해, 커터 휠(229)과 백업 롤러(239)가 마더 기판(G)에 압접된다.

그리고, 제어부(3)는, 이동 기구(4)와 구동부(21)를 제어하고, 마더 기판(G)에 커터 휠(229)과 백업 롤러(239)가 압접된 상태에서, 선두의 스크라이브 라인에 대한 스크라이브 동작을 실행한다(S13). 이 때, 제어부(3)는 구동부(21)의 서보모터(211)에 소정의 토크를 유지시킨다. 이것에 의해, 마더 기판(G) 표면에 나타나는 기복이, 서보모터(211)의 토크와 원통 캠(212)의 캠 면에 의해서 흡수된다.

해당 스크라이브 라인의 종료 위치까지 스크라이브가 행해지면(S14: "예"), 제어부(3)는, 이동 기구(4)와 구동부(21)에 스크라이브 동작을 종료시킨다(S15). 그리고, 제어부(3)는, 이동 기구(4)와 구동부(21)를 제어하여, 휠 홀더(228) 또는 휠 홀더(238)를 마더 기판(G)으로부터 이간시킨다(S16). 예를 들면, 도 10(a)에 있어서, 위쪽의 스크라이브 헤드(2)의 휠 홀더(228)가 마더 기판(G)으로부터 이간되고, 아래쪽의 스크라이브 헤드(2)의 휠 홀더(238)가 마더 기판(G)으로부터 이간된다. 이 동작에 의해, 원통 캠(212)이 도 3에 나타낸 중립 위치에 위치결정된다. 따라서, 위쪽의 스크라이브 헤드(2)의 커터 휠(229) 및 백업 롤러(239)와, 아래쪽의 스크라이브 헤드(2)의 커터 휠(229) 및 백업 롤러(239)는, 모두, 마더 기판(G)으로부터 이간된 상태가 된다.

S11 내지 S16의 동작은, 마더 기판(G)에 설정된 모든 스크라이브 라인에 대한 스크라이브가 완료될 때까지 반복된다(S17). 마더 기판(G)의 아래쪽에 대해서, 스크라이브 라인이 형성될 경우, 제어부(3)는, 도 10(a)에 있어서, 아래쪽의 휠 홀더(228)가 마더 기판(G)에 접근하고, 위쪽의 휠 홀더(238)가 마더 기판(G)에 접근하도록, 구동부(21)를 제어한다. 모든 스크라이브 라인에 대한 스크라이브가 완료되면(S17: "예"), 제어부(3)는, 해당 마더 기판(G)에 대한 스크라이브 동작을 종료한다.

<실시형태의 효과>

이하, 본 실시형태에 의한 작용 및 효과에 대해서 설명한다.

도 6에 나타낸 바와 같이, 서보모터(211)의 출력 축이 Z축 부측에서 보아서 시계 방향으로 회전되면, 커터 휠(229)이 하강되고, 백업 롤러(239)가 상승된다. 다른 한편, 도 8에 나타낸 바와 같이, 서보모터(211)의 출력 축이 Z축 부측에서 보아서 반시계 방향으로 회전되면, 백업 롤러(239)가 하강되고, 커터 휠(229)이 상승된다. 이들의 승강 동작이 1개의 서보모터(211)와 원통 캠(212)을 구비하는 구동부(21)에 의해서 행행진다. 이와 같이, 본 실시형태에서는, 간소한 구성으로 커터 휠(229)과 백업 롤러(239)를 전환할 수 있다.

또, 도 9(a)에 나타낸 바와 같이, 백업 롤러(239)를 하강시킨 상태에서는, 스토퍼(223a), (223b)가 서로 당접하여, 캠 종동자(221)와 캠 면(212a)이 비접촉으로 된다. 이 때문에, 캠 종동자(221)와 캠 면(212a)이 원통 캠(212)의 회전에 부하로 되는 일이 없다. 따라서, 원활하면서도 정밀도 양호하게, 백업 롤러(239)의 제어를 행할 수 있다. 또한, 도 7(b)에 나타낸 바와 같이, 커터 휠(229)을 하강시킨 상태에서는, 스토퍼(223a), (233b)에 의해서, 캠 종동자(231)와 캠 면(212b)이 비접촉으로 된다. 이 때문에, 캠 종동자(231)와 캠 면(212b)이 원통 캠(212)의 회전에 부하로 되는 일이 없어, 커터 휠(229)의 제어를 원활하게 행할 수 있다.

이상, 본 발명의 실시형태에 대해서 설명했지만, 본 발명은 상기 실시형태로 하등 제한되는 것은 아니고, 또한, 본 발명의 실시형태도 상기 이외에 각종 변경이 가능하다.

예를 들면, 상기 실시형태에서는, 원통 캠(212)과 캠 종동자(221), (231)에 의해서, 휠 홀더(228), (238)가 승강되었지만, 다른 구동 수단에 의해서 휠 홀더가 승강되어도 된다. 예를 들면, 도 11에 나타낸 바와 같이, 랙·앤드·피니언 방식에 의해 휠 홀더가 승강되어도 된다.

도 11은 변경예에 따른 스크라이브 헤드의 구동부와 승강부를 도시한 모식도이다.

변경예에 따른 스크라이브 헤드는, 구동부(51)와, 승강부(52), (53)를 포함하고 있다. 구동부(51)는 기어(511)를 구비하고, 기어(511)의 회전축에는 도시하지 않은 모터가 접속되어 있다. 승강부(52), (53)는, 각각, 상하 방향으로 뻗는 판 형상의 랙 기어(521), (531)와, 툴 홀더(522), (532)와, 커터 툴(523), (533)을 구비한다. 기어(511)는 랙 기어(521), (531)에 맞물려 있다.

모터에 의해서 기어(511)가 회전되면, 랙 기어(521), (531)가 각각 상하 대칭으로 구동된다. 즉, 승강부(52)가 기어(511)에 의해 아래쪽 방향으로 이송될 경우, 승강부(53)가 기어에 의해 위쪽 방향으로 이송된다. 이것에 의해, 상기 실시형태와 마찬가지로, 1개의 구동부(51)에 의해, 2개의 커터 툴(523), (533)을 적당히 바꿀 수 있다.

또, 상기 실시형태에서는, 서보모터(211)의 출력 축이 Z축 부측에서 보아서 시계 방향으로 회전되면 승강부(22)가 하강되고, 서보모터(211)의 출력 축이 Z축 부측에서 보아서 반시계 방향으로 회전되면 승강부(23)가 하강되도록 원통 캠(212)의 캠 면(212a), (212b)이 구성되었다. 이것 대신에, 예를 들면, 원통 캠(212)의 회전 방향을 반전시키지 않고 1방향으로 회전시키면서, 승강부(22)의 전환이 행해져도 된다. 예를 들면, 0℃ 내지 180℃의 회동 범위에 있어서, 승강부(22)가 하강되고, 180° 내지 360°의 회동 범위에서, 승강부(23)가 하강되도록, 원통 캠(212)이 제어되어도 된다. 이 경우, 캠 면의 형상과 캠 종동자의 구성은, 이러한 제어의 변경에 따라서 적절하게 변경될 수 있다.

또한, 상기 실시형태에서는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 스토퍼(223a), (223b), (233a), (233b)는, 각각, 별체로서 구성되었지만, 예를 들면, 연결부(222), (223)의 상부면을 위쪽 방향으로 돌출시킴으로써 스토퍼(223a), (223b)가 형성되어 있어도 되고, 상부 플레이트(25)의 하부면을 아래쪽 방향으로 돌출시킴으로써 스토퍼(233a), (233b)가 형성되어 있어도 된다. 그 외에, 스토퍼는, 원통 캠(212)의 캠 면(212a), (212b)과 캠 종동자(221), (231)가 비접촉 상태로 하는 것이 가능하면, 어떤 형태이어도 된다.

또, 스토퍼(223a), (223b), (233a), (233b)를 설치하지 않고, 원통 캠(212)의 캠 면(212a), (212b)과 캠 종동자(221), (231)가 항상 접촉하도록 구성할 수도 있다. 단, 이 경우에는, 스크라이브 라인의 형성에 이용되지 않는 쪽의 승강부의 캠 종동자가 원통 캠(212)의 회전의 부하로 되어, 스크라이브 라인의 형성에 이용되는 쪽의 승강부의 제어가 불안정하게 되는 것이 염려된다. 따라서, 원활하면서도 정밀도 양호하게 승강부를 제어하기 위해서는, 상기 실시형태와 같이, 스토퍼(223a), (223b), (233a), (233b)에 의해서 캠 면(212a), (212b)과 캠 종동자(221), (231)를 비접촉 상태로 하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 실시형태에서는, 휠 홀더(228)에 커터 휠(229), 휠 홀더(238)에 백업 롤러(239)가 유지되었지만, 휠 홀더(238)에도 커터 휠(229)이 유지되어 있어도 된다.

또, 상기 실시형태에서는, 마더 기판(G)의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 커터로서, 지축 둘레를 회전하는 커터 휠(229)이 이용되었지만, 스크라이브 라인을 형성하는 커터는 이것으로 한정되지 않는다. 예를 들면, 마더 기판(G)의 표면에 압접하면서 회전하는 일 없이 이동하는 커터를 이용한 스크라이브 헤드에도, 본 발명을 적용가능하다.

이밖에, 본 발명의 실시형태는, 특허청구범위에 나타낸 기술적 사상의 범위 내에 있어서, 적절하게 각종 변경이 가능하다.

1: 스크라이브 장치 2: 스크라이브 헤드
4: 이동 기구 11: 컨베이어
211: 서보모터 212: 원통 캠
212a, 212b: 캠 면 221, 231: 캠 종동자
222, 232: 연결부 223a, 223b, 233a, 233b: 스토퍼
224, 234: 압압부 225a, 235a: 리니어 가이드
225b, 235b: 탄성부재 226, 236: 홀더 가이드
227, 237: 홀더 유지체 228, 238: 휠 홀더
229: 커터 휠 239: 백업 롤러
G: 마더 기판

Claims (7)

1. 기판의 스크라이브에 이용되는 스크라이브 헤드로서,
   상기 기판에 접근 및 이간 가능하게 배치된 제1 홀더;
   상기 기판에 접근 및 이간 가능하게 배치된 제2 홀더;
   상기 제1 홀더 및 상기 제2 홀더를 승강시키기 위한 모터;
   상기 모터에 의해서 회전되는 회전부; 및
   상기 회전부의 회전을 상기 제1 홀더 및 상기 제2 홀더에 전달하는 전달 기구를 포함하되,
   상기 전달 기구는, 상기 회전부의 회전 위치에 따라서, 상기 제1 홀더와 상기 제2 홀더의 상기 기판에 대한 접근 및 이간을 전환하는 연계부를 구비하고,
   상기 연계부는,
   상기 회전부에 구비된 캠 면과,
   상기 제1 홀더에 설치되어 상기 캠 면에 맞닿는 제1 캠 종동자와,
   상기 제2 홀더에 설치되어 상기 캠 면에 맞닿는 제2 캠 종동자와,
   상기 제1 캠 종동자 및 상기 제2 캠 종동자를 상기 캠 면에 접근하는 방향으로 가압시키는 탄성부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 헤드.
2. 제1항에 있어서,
   상기 전달 기구는, 상기 회전부가 제1 방향으로 중립 위치로부터 회전하면 상기 제1 홀더를 상기 기판에 접근시키고, 상기 회전부가 상기 제1 방향과는 반대인 제2 방향으로 상기 중립 위치로부터 회전하면 상기 제2 홀더를 상기 기판에 접근시키는 것을 특징으로 하는 스크라이브 헤드.
3. 삭제
4. 제1항에 있어서,
   상기 제1 홀더가 상기 기판에 접근하는 동작 위치에 있을 때, 상기 제2 캠 종동자는 상기 캠 면과 비접촉이며, 상기 제2 홀더가 상기 기판에 접근하는 동작 위치에 있을 때, 상기 제1 캠 종동자는 상기 캠 면과 비접촉인 것을 특징으로 하는 스크라이브 헤드.
5. 제4항에 있어서,
   상기 제1 홀더 및 상기 제2 홀더를 각각 상기 비접촉 상태로 유지하기 위한 스토퍼를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 헤드.
6. 제1항 또는 제2항에 기재된 스크라이브 헤드;
   절단 대상 기판을 지지하는 지지부; 및
   상기 지지부에 지지된 상기 기판에 대해서 상기 스크라이브 헤드를 이동시키는 이동 기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
7. 제6항에 있어서,
   상기 제1 홀더에는 스크라이브 라인을 형성하기 위한 제1 칼 끝이 유지되고,
   상기 제2 홀더에는 스크라이브 라인을 형성하기 위한 제2 칼 끝 또는 기판을 누르기 위한 롤러가 유지되는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.

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