KR102298394B1 - Rotatable stage apparatus - Google Patents

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Abstract

본 발명은 진행 방향을 따라 이동하도록 형성되는 하부 플레이트, 상기 하부 플레이트와 연결되고, 검사체가 안착되며, 상기 하부 플레이트와 연결된 회전축을 기준으로 회전 가능하게 형성되는 상부 플레이트 및 상기 하부 플레이트 및 상기 상부 플레이트 사이에서 복수로 결합되고, 상기 상부 플레이트의 회전 시 각각 동일한 높이로 결합된 상태에서 서로 다른 회전 반경을 따르며 회전 이동하도록 형성되는 보상 가이드를 포함한다.The present invention relates to a lower plate formed to move in a moving direction, an upper plate connected to the lower plate, a test object is seated, and an upper plate formed rotatably based on a rotation axis connected to the lower plate, and the lower plate and the upper plate and a compensation guide coupled therebetween, and formed to rotate along different rotation radii in a state coupled to the same height when the upper plate rotates.

Description

회전 가능한 스테이지 장치{Rotatable stage apparatus}Rotatable stage apparatus

본 발명은 회전 가능한 스테이지 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 테이블의 평탄도를 보상하며 동심축을 기준으로 회전 가능하게 형성된 회전 가능한 스테이지 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a rotatable stage device, and more particularly, to a rotatable stage device configured to be rotatable about a concentric axis while compensating for flatness of a table.

일반적으로, 스테이지 장치는 반도체의 웨이퍼(wafer) 및 액정 표시 패널 등에 대한 정밀 검사를 위한 스캐닝 장치와 반도체 가공기 및 정밀 가공기 등에 사용되는 장치로, 웨이퍼와 같은 기판을 지지하여 정밀하게 이송할 수 있도록 하는 장치이다.In general, a stage device is a device used for a scanning device for precise inspection of a semiconductor wafer and a liquid crystal display panel, a semiconductor processing machine, a precision processing machine, etc. it is a device

이와 같은, 스테이지 장치는 주로 기판을 지지하는 스테이지와, 스테이지를 이송하기 위한 구동 유닛을 포함하며, 또한 이러한 구동 유닛은 기어를 이용한 랙-피니언(Rack-pinion) 방식, 이송 스크류 방식, 스윙-암 방식, 리니어 모터 방식 등을 이용할 수 있다.Such a stage device mainly includes a stage for supporting a substrate, and a driving unit for transporting the stage, and the driving unit includes a rack-pinion method using a gear, a transfer screw method, and a swing-arm. method, a linear motor method, or the like can be used.

종래의 XYZ-축 테이블은 스테이지와, 스테이지를 이송하기 위한 구동 유닛으로 X-축/Y-축/Z-축 구동 리니어 모터를 포함하고 있으며, 리니어 모터는 전기자와, 전기자에 대해 상대적으로 이동하는 가동요소를 포함한다.The conventional XYZ-axis table includes a stage and an X-axis/Y-axis/Z-axis driving linear motor as a driving unit for transporting the stage, and the linear motor moves relative to the armature and the armature. Includes movable elements.

이에 따라, 리니어 모터는 가동요소가 전기자에 대해 이동하는 방향으로 스테이지의 단부를 가압함으로써, 스테이지를 이송하는 역할을 한다.Accordingly, the linear motor serves to transport the stage by pressing the end of the stage in a direction in which the movable element moves with respect to the armature.

이와 같이 구성되는 종래 기술에 따른 스테이지 장치는 최근 디스플레이의 대형화 추세에 따라 대형 기판을 이송하기 위하여 스테이지의 사이즈 또한 크게 제작해야 한다.In the stage apparatus according to the prior art configured as described above, the size of the stage must also be large in order to transfer the large substrate according to the recent trend of enlargement of the display.

하지만, 스테이지의 사이즈를 크게 하는 경우, 이송하는 대형 기판을 안정적으로 지지하기 위하여 스테이지의 두께 또한 증가시켜 견고하게 제작하여야 한다.However, when the size of the stage is increased, the thickness of the stage is also increased in order to stably support the large substrate to be transferred, and thus the stage must be manufactured robustly.

그러나, 대형 스테이지 자체가 대형화됨에 함께 중량이 커지기 때문에, 이를 구동시키는 구동 유닛에도 큰 구동력이 필요하게 되며, 이에 따라 장비의 비용이 증가하게 된다.However, since the large stage itself increases in weight as the size increases, a large driving force is also required for a driving unit that drives the large stage, thereby increasing the cost of equipment.

또한, 대형 스테이지를 지지하는 하부 가이드에 무거운 중력을 가하게 되기 때문에, 고가의 하부 가이드가 필요하며, 만일 고가의 하부 가이드를 사용한다 하더라도 스테이지가 이동하게 됨에 따라 마찰이 발생하므로, 파티클(particle)에 취약할 수 밖에 없고, 그에 따라 직진 성능이 저하될 수 밖에 없는 문제점이 있다.In addition, since heavy gravity is applied to the lower guide supporting the large stage, an expensive lower guide is required, and even if an expensive lower guide is used, friction occurs as the stage moves, so that particles Inevitably, there is a problem in that the straight-line performance is inevitably deteriorated accordingly.

본 발명의 목적은, 테이블을 지지하는 복수의 보상 가이드를 구비하고, 동심 축을 따르는 테이블의 회전 시 복수의 보상 가이드가 각각 동일한 높이를 유지하며 서로 다른 회전 반경을 따라 회전 이동 가능하도록 함으로써, 회전하는 테이블에 대한 평탄도를 보상할 수 있도록 하는 회전 가능한 스테이지 장치를 제공함에 있다.An object of the present invention is to provide a plurality of compensation guides for supporting a table, and to allow the plurality of compensation guides to maintain the same height and to be rotationally movable along different rotation radii when the table is rotated along a concentric axis. An object of the present invention is to provide a rotatable stage device capable of compensating for flatness with respect to a table.

본 발명에 따른 회전 가능한 스테이지 장치는 진행 방향을 따라 이동하도록 형성되는 하부 플레이트, 상기 하부 플레이트와 연결되고, 검사체가 안착되며, 상기 하부 플레이트와 연결된 회전축을 기준으로 회전 가능하게 형성되는 상부 플레이트 및 상기 하부 플레이트 및 상기 상부 플레이트 사이에서 복수로 결합되고, 상기 상부 플레이트의 회전 시 각각 동일한 높이로 결합된 상태에서 서로 다른 회전 반경을 따르며 회전 이동하도록 형성되는 보상 가이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 한다.The rotatable stage device according to the present invention includes a lower plate formed to move in a traveling direction, an upper plate connected to the lower plate, an object on which a test object is seated, and an upper plate formed rotatably based on a rotation axis connected to the lower plate, and the A plurality of compensation guides are coupled between the lower plate and the upper plate, and are formed to rotate along different rotation radii while being coupled to the same height when the upper plate rotates.

여기서, 상기 보상 가이드는 상기 하부 플레이트 및 상기 상부 플레이트 사이의 테두리를 따르며 복수로 결합되고, 상기 회전축에서 가까운 위치에서 보다 먼 위치에서 더 큰 회전 반경을 따르며 회전 이동한다.Here, the compensation guide is coupled in plurality along the edge between the lower plate and the upper plate, and rotates along a larger radius of rotation at a position farther from the rotation axis than at a position close to the rotation axis.

그리고, 상기 보상 가이드는 상기 상부 플레이트에 결합되고, 슬라이드 이동 가능하게 형성되는 제1이동 가이드, 상기 제1이동 가이드와 결합되고, 상기 상부 플레이트 회전 시 상기 제1이동 가이드가 함께 회전하도록 가이드 하는 회전 가이드 및 상기 회전 가이드에 결합되고, 상기 제1이동 가이드에 대응되는 방향을 따라 슬라이드 이동 가능하게 형성되는 제2이동 가이드를 구비한다.In addition, the compensation guide is coupled to the upper plate, a first movement guide formed to be slidably movable, is coupled to the first movement guide, and rotates to guide the first movement guide to rotate together when the upper plate rotates and a second movement guide coupled to the guide and the rotation guide, the second movement guide being slidably movable in a direction corresponding to the first movement guide.

이러한 상기 제1이동 가이드는 상기 상부 플레이트의 하부에 결합되는 고정부재 및 상기 고정부재와 레일 결합되고, 상기 회전 가이드 상에서 회전 가능하게 연결되며, 상기 고정부재가 X축 방향을 따라 슬라이드 이동하도록 가이드 하는 X축 이동부재를 구비한다.The first movement guide is a fixing member coupled to the lower portion of the upper plate and rail-coupled to the fixing member, is rotatably connected on the rotation guide, and guides the fixing member to slide along the X-axis direction. An X-axis moving member is provided.

여기서, 상기 제1이동 가이드는 상기 고정부재의 단턱부 및 상기 X축 이동부재의 돌출부 사이에 배치되며, 상기 고정부재의 슬라이드 이동을 가이드 하는 X축 이동 가이드를 더 구비한다.Here, the first movement guide is disposed between the stepped portion of the fixing member and the protrusion of the X-axis movable member, and further includes an X-axis movement guide for guiding the sliding movement of the fixing member.

한편, 상기 제2이동 가이드는 상기 고정 플레이트의 상부에 결합되는 결합부재 및 상기 결합부재와 레일 결합되고, 상기 회전 가이드 상에서 회전 가능하게 연결되며, 상기 결합부재의 Y 축 방향을 따라 슬라이드 이동하도록 형성되는 Y축 이동부재를 구비한다.On the other hand, the second movement guide is a coupling member coupled to the upper portion of the fixing plate and the coupling member and the rail coupled, rotatably connected on the rotation guide, is formed to slide along the Y-axis direction of the coupling member. and a Y-axis moving member.

이러한 상기 제2이동 가이드는 상기 결합부재의 돌출부 및 상기 Y축 이동부재의 단턱부 사이에 배치되며, 상기 Y축 이동부재의 슬라이드 이동을 가이드 하는 Y축 이동 가이드를 더 구비한다.The second movement guide is disposed between the protrusion of the coupling member and the stepped portion of the Y-axis movement member, and further includes a Y-axis movement guide for guiding the sliding movement of the Y-axis movement member.

본 발명은, 테이블을 지지하는 복수의 보상 가이드를 구비하고, 동심 축을 따르는 테이블의 회전 시 복수의 보상 가이드가 각각 동일한 높이를 유지하며 서로 다른 회전 반경을 따라 회전 이동 가능하도록 함으로써, 회전하는 테이블에 대한 평탄도를 보상할 수 있도록 하는 효과를 갖는다.The present invention is provided with a plurality of compensation guides for supporting a table, and when the table is rotated along a concentric axis, the plurality of compensation guides maintain the same height, respectively, and are rotatable along different rotation radii. It has the effect of making it possible to compensate for flatness.

또한, 본 발명은 복수의 보상 가이드 각각이 단순한 지지 방식이기 때문에, 높이 조절이 어렵고, 그에 따라 테이블의 회전 중 진동 또는 찍힘과 같은 파손이 발생할 수 있으므로, 각각의 보상 가이드가 강성체 결합 구조를 가지도록 함으로써, 테이블의 회전 시 상기와 같은 문제를 미연에 방지할 수 있는 효과를 갖는다.In addition, in the present invention, since each of the plurality of compensation guides is a simple support method, it is difficult to adjust the height, and accordingly, damage such as vibration or dents may occur during rotation of the table. Therefore, each compensation guide has a rigid coupling structure. By doing so, it has the effect of preventing the above problems in advance when the table is rotated.

도 1 은 본 발명의 실시예에 따른 회전 가능한 스테이지 장치에 대한 구조를 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 2 는 본 발명의 실시예에 따른 회전 가능한 스테이지 장치에 대한 종래의 문제를 보여주는 도면이다.
도 3 은 본 발명의 실시예에 따른 회전 가능한 스테이지 장치에 대한 보상 가이드의 구조를 보여주는 도면이다.
도 4 는 본 발명의 실시예에 따른 회전 가능한 스테이지 장치에 대한 보상 가이드의 분해 상태를 보여주는 도면이다.
도 5 는 본 발명의 실시예에 따른 회전 가능한 스테이지 장치에 대한 보상 가이드의 회전 이동을 보여주는 도면이다.
도 6 은 본 발명의 실시예에 따른 회전 가능한 스테이지 장치에 대한 초기 상태를 보여주는 도면이다.
도 7 은 본 발명의 실시예에 따른 회전 가능한 스테이지 장치에 대한 초기 상태에서의 보상 가이드 회전 반경을 확대하여 보여주는 도면이다.
도 8 은 본 발명의 실시예에 따른 회전 가능한 스테이지 장치에 대한 회전 이동 상태를 보여주는 도면이다.
도 9 는 본 발명의 실시예에 따른 회전 가능한 스테이지 장치에 대한 회전 이동 상태에서의 보상 가이드의 회전 반경을 확대하여 보여주는 도면이다.1 is a diagram schematically showing the structure of a rotatable stage apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a view showing a conventional problem with a rotatable stage device according to an embodiment of the present invention.
3 is a view showing a structure of a compensation guide for a rotatable stage device according to an embodiment of the present invention.
4 is a view showing an exploded state of a compensation guide for a rotatable stage device according to an embodiment of the present invention.
5 is a view showing the rotational movement of the compensation guide with respect to the rotatable stage device according to an embodiment of the present invention.
6 is a view showing an initial state of a rotatable stage device according to an embodiment of the present invention.
7 is an enlarged view showing a compensation guide rotation radius in an initial state for a rotatable stage device according to an embodiment of the present invention.
8 is a view showing a rotational movement state with respect to a rotatable stage device according to an embodiment of the present invention.
9 is an enlarged view showing a rotation radius of a compensation guide in a rotational movement state with respect to a rotatable stage device according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것을 달성하는 방법은 첨부된 도면과 함께 상세하게 후술 되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다.Advantages and features of the present invention, and a method of achieving the same, will become apparent with reference to the embodiments described below in detail in conjunction with the accompanying drawings.

그러나, 본 발명은 이하에 개시되는 실시 예들에 의해 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.However, the present invention is not limited by the embodiments disclosed below, but will be implemented in various different forms, and only these embodiments allow the disclosure of the present invention to be complete, and common knowledge in the art to which the present invention pertains It is provided to fully inform those who have the scope of the invention, and the present invention is only defined by the scope of the claims.

또한, 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기술 등이 본 발명의 요지를 흐리게 할 수 있다고 판단되는 경우 그에 관한 자세한 설명은 생략하기로 한다.In addition, in the description of the present invention, if it is determined that related known technologies may obscure the gist of the present invention, detailed description thereof will be omitted.

도 1 은 본 발명의 실시예에 따른 회전 가능한 스테이지 장치에 대한 구조를 개략적으로 보여주는 도면이고, 도 2 는 본 발명의 실시예에 따른 회전 가능한 스테이지 장치에 대한 종래의 문제를 보여주는 도면이다.1 is a diagram schematically showing a structure for a rotatable stage device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a diagram showing a conventional problem of a rotatable stage device according to an embodiment of the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 회전 가능한 스테이지 장치는 하부 플레이트(100), 상부 플레이트(200) 및 보상 가이드(300)를 포함한다.As shown in FIG. 1 , the rotatable stage device according to the present embodiment includes a lower plate 100 , an upper plate 200 , and a compensation guide 300 .

먼저, 하부 플레이트(100)는 FPD(Flat Panel Display) 등에 대한 검사 공정을 수행하는 장비에 레일 결합되어 진행 방향을 따라 슬라이드 이동하도록 형성된다.First, the lower plate 100 is rail-coupled to equipment performing an inspection process for a flat panel display (FPD), etc. and is formed to slide along a moving direction.

또한, 상부 플레이트(200)는 하부 플레이트(100)와 연결된 상태에서 상면에 검사체가 안착되며, 하부 플레이트(100)와 중심에서 연결된 회전축(10)을 기준으로 회전 가능하게 형성된다.In addition, the upper plate 200 is connected to the lower plate 100, the test object is seated on the upper surface, is formed to be rotatable based on the lower plate 100 and the rotation shaft 10 connected at the center.

보상 가이드(300)는 하부 플레이트(100) 및 상부 플레이트(200)의 사이, 즉 하부 플레이트(100) 및 상부 플레이트(200) 사이의 테두리를 따라 복수로 결합되는 한편, 상부 플레이트(200)의 회전 시 각각 동일한 높이로 결합된 상태에서 서로 다른 회전 반경을 따르며 회전 이동하도록 형성된다.A plurality of compensation guides 300 are coupled along the edge between the lower plate 100 and the upper plate 200 , that is, between the lower plate 100 and the upper plate 200 , while the upper plate 200 rotates. It is formed to rotate and move along a different radius of rotation in a state of being coupled at the same height, respectively.

일반적으로, FPD 등에 대한 검사를 수행하는 장비의 경우, 검사체가 안착된 상태에서 좌우 방향으로 일정 각도를 따르며 회전하여 검사체에 대한 각종 검사 및 그에 따른 공정을 수행하게 된다.In general, in the case of equipment that performs an inspection on FPD, etc., in a state in which the inspection object is seated, it rotates along a predetermined angle in the left and right directions to perform various inspections on the inspection object and processes corresponding thereto.

이를 위해, 종래에는 도 2에 도시된 바와 같이 복수의 보상 가이드(300')가 다단으로 이루어진 상태에서, 하단부의 바닥면에 돌출 형성된 볼 부재(300a')에 의해 하부 플레이트(100)에 대한 상부 플레이트(200)의 회전이 가능하도록 하였다.To this end, in the related art, as shown in FIG. 2 , in a state in which the plurality of compensation guides 300 ′ are formed in multiple stages, the upper portion of the lower plate 100 is formed by the ball member 300a ′ protruding from the bottom surface of the lower end. Rotation of the plate 200 was made possible.

그러나, 이러한 종래의 보상 가이드(300')는 하부 플레이트(100)에 대하여 상부 플레이트(200)를 단순 지지하는 구조이므로, 상부 플레이트(200)가 회전하게 되면, 그 회전 반경의 차이에 따라 보상 가이드(300')의 결합 각도가 상이하게 되어 각각에 대한 높이 차이가 발생할 수 있으며, 그에 따라 상부 플레이트(200)에 대한 평탄도가 나빠지게 되어 검사체가 상부 플레이트(200)를 타고 흘려내려 검사 공정에 악영향을 줄 수 있다.However, since this conventional compensation guide 300 ′ has a structure that simply supports the upper plate 200 with respect to the lower plate 100 , when the upper plate 200 rotates, the compensation guide 300 ′ rotates according to the difference in the radius of rotation. The coupling angles of 300' may be different, so that a height difference may occur for each, and accordingly, the flatness of the upper plate 200 is deteriorated, and the test object rides down the upper plate 200 and flows down to the test process. may adversely affect

또한, 종래의 구조는 상부 플레이트(200)와 하부 플레이트(100)를 강성체로 연결하는 구조가 아니기 때문에, 상부 플레이트(200)의 회전 중 진동이 발생되거나, 그에 따라 볼 부재(300a')가 결합 홈(H)의 내부에서 이탈할 수 있기 때문에, 하부 플레이트(100)의 상면에 대한 찍힘 등과 같은 파손이 발생될 수 있다.In addition, since the conventional structure is not a structure that connects the upper plate 200 and the lower plate 100 with a rigid body, vibration occurs during rotation of the upper plate 200, or the ball member 300a' is coupled accordingly. Since it may be separated from the inside of the groove (H), damage such as a dent on the upper surface of the lower plate 100 may occur.

따라서, 본 실시예에서는 상기와 같은 문제 발생을 미연에 방지하기 위한 것으로, 동력 전달 장치(미도시)가 구동됨에 따라 상부 플레이트(200)가 회전하게 되면, 복수의 보상 가이드(300)가 동일한 높이에서 서로 다른 회전 반경을 따르며 함께 회전 이동하도록 함으로써, 상부 플레이트(200) 회전 시 평탄도를 보상, 다시 말해 회전하는 상부 플레이트(200)에 대한 처짐이나 진동 발생을 방지할 수 있어 검사체에 대한 정확한 검사 및 검사 공정에 대한 신뢰성을 확보할 수 있다.Therefore, in this embodiment, in order to prevent the above problems from occurring in advance, when the upper plate 200 rotates as the power transmission device (not shown) is driven, the plurality of compensation guides 300 have the same height. By rotating and moving together along different rotation radii in the upper plate 200, it is possible to compensate for flatness during rotation of the upper plate 200, that is, to prevent deflection or vibration of the rotating upper plate 200, so that the The reliability of the inspection and inspection process can be secured.

여기서, 본 실시예에서는 보상 가이드(300)의 개수를 하부 플레이트(100) 및 상부 플레이트 사이에서 6개로 이루어진 것으로 도면에 도시하였으나, 이는 정해진 것은 아니며, 하부 플레이트(100) 및 상부 플레이트(200)의 크기에 따라 더 적거나, 많아질 수도 있다.Here, in the present embodiment, the number of compensation guides 300 is shown in the drawings as being 6 between the lower plate 100 and the upper plate, but this is not fixed, and the Depending on the size, it may be less or more.

이하, 도 3 은 본 발명의 실시예에 따른 회전 가능한 스테이지 장치에 대한 보상 가이드의 구조를 보여주는 도면이고, 도 4 는 본 발명의 실시예에 따른 회전 가능한 스테이지 장치에 대한 보상 가이드의 분해 상태를 보여주는 도면이며, 도 5 는 본 발명의 실시예에 따른 회전 가능한 스테이지 장치에 대한 보상 가이드의 회전 이동을 보여주는 도면이다.Hereinafter, FIG. 3 is a view showing a structure of a compensation guide for a rotatable stage device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is an exploded state of the compensation guide for a rotatable stage device according to an embodiment of the present invention 5 is a view showing the rotational movement of the compensation guide with respect to the rotatable stage device according to an embodiment of the present invention.

도 3에 도시된 바와 같이, 본 실시예에서는 상부 플레이트(200)의 회전 시 평탄도가 일정 수준으로 유지될 수 있도록 그 테두리를 따라 복수로 설치되는 보상 가이드(300)를 포함하는데, 이러한 보상 가이드(300)는 도 1 내지 도 2에서 전술된 종래의 문제를 해결하기 위해 제1이동 가이드(310), 회전 가이드(320) 및 제2이동 가이드(330)를 구비한다.As shown in FIG. 3 , in this embodiment, a plurality of compensation guides 300 installed along the edge of the upper plate 200 are included so that flatness can be maintained at a certain level when the upper plate 200 is rotated. 300 includes a first movement guide 310 , a rotation guide 320 and a second movement guide 330 in order to solve the conventional problems described above in FIGS. 1 to 2 .

제1이동 가이드(310)는 상부 플레이트(200)의 하부에 결합되고, 미리 설정된 이동 범위를 따르며 슬라이드 이동 가능하도록 형성된다.The first movement guide 310 is coupled to the lower portion of the upper plate 200 and is formed to slide along a preset movement range.

이러한 제1이동 가이드(310)는 고정부재(312) 및 X축 이동부재(314)를 구비한다.The first moving guide 310 includes a fixing member 312 and an X-axis moving member 314 .

고정부재(312)는 상부 플레이트(200)의 하부에 결합된다.The fixing member 312 is coupled to the lower portion of the upper plate 200 .

또한, X축 이동부재(314)는 회전 가이드(320)에서 회전 가능하게 형성되며, 고정부재(312)와 레일 결합되어 고정부재(312)가 X축 방향을 따라 슬라이드 이동 가능하도록 가이드 한다.In addition, the X-axis moving member 314 is rotatably formed in the rotation guide 320, and is coupled to the rail with the fixing member 312 to guide the fixing member 312 to slide along the X-axis direction.

다시 말해, X축 이동부재(314)는 회전 가이드(320)에 결합된 상태에서 상부 플레이트(200)의 회전 시 함께 회전될 수 있고, 또한 고정부재(312)와 레일 결합을 통해 연결되어 있기 때문에, 회전 반경이 큰 위치에 결합된 경우 고정부재(312)가 X축 방향을 따라 슬라이드 이동하도록 가이드 할 수 있다.In other words, since the X-axis moving member 314 is coupled to the rotation guide 320 and rotates together when the upper plate 200 is rotated, it is also connected to the fixing member 312 through rail coupling. , when coupled to a position with a large rotation radius, the fixing member 312 may be guided to slide along the X-axis direction.

이를 위해, 제1이동 가이드(310)는 도 4에 도시된 바와 같이 X축 이동 가이드(316)를 더 구비할 수 있으며, 이러한 X축 이동 가이드(316)는 내부에 볼 베이링 등을 구비한 상태로 고정부재(312)의 단턱부(312a) 및 X축 이동부재(314)의 돌출부(314a) 사이에 배치되기 때문에, X축 이동부재(314)에 대한 용이한 슬라이드 이동을 가이드 할 수 있다.To this end, the first movement guide 310 may further include an X-axis movement guide 316 as shown in FIG. 4 , and this X-axis movement guide 316 includes a ball bearing and the like therein. Since it is disposed between the stepped portion 312a of the fixing member 312 and the protrusion 314a of the X-axis moving member 314 in a state of being, it is possible to guide the easy sliding movement of the X-axis moving member 314. .

회전 가이드(320)는 제1이동 가이드(310)와 결합되고, 상부 플레이트(200)의 회전 시 제1이동 가이드(310)가 함께 회전하도록 가이드 한다.The rotation guide 320 is coupled to the first movement guide 310 and guides the first movement guide 310 to rotate together when the upper plate 200 rotates.

다시 말해, 회전 가이드(320)는 제1이동 가이드(310)와 제2이동 가이드(330)를 연결, 회전하기 위한 축을 형성하는 것으로, 제2이동 가이드(330)에 대한 제1이동 가이드(310)의 회전 이동을 가능하게 할 수 있다.In other words, the rotation guide 320 forms an axis for connecting and rotating the first movement guide 310 and the second movement guide 330 , and the first movement guide 310 with respect to the second movement guide 330 . ) to enable rotational movement.

이러한 회전 가이드(320)는 제2이동 가이드(330)에 의해 Y축 방향을 따라 축 이동이 가능할 수 있으며, 이러한 상태에서 도 5에 도시된 바와 같이 회전 및 제1이동 가이드(310)가 X축 방향을 따라 회전 가이드(320)의 중심에서 멀어지도록 슬라이드 이동할 수 있기 때문에, 상부 플레이트(200)가 회전 이동함에 있어 회전 가이드(320)에 대한 제1이동 가이드(310)의 축 회전 및 X축 방향으로의 슬라이드 이동을 통해 평탄도를 보상하며 용이하게 회전이 이루어지게 할 수 있다.The rotation guide 320 may be axially moved along the Y-axis direction by the second movement guide 330 , and in this state, as shown in FIG. 5 , the rotation and the first movement guide 310 move along the X-axis. Since it can slide away from the center of the rotation guide 320 along the direction, the axial rotation and the X-axis direction of the first movement guide 310 with respect to the rotation guide 320 in the rotational movement of the upper plate 200 . The flatness can be compensated for through the slide movement to the pole, and rotation can be made easily.

한편, 제2이동 가이드(330)는 회전 가이드(320)의 하부에 결합되고, 제1이동 가이드(310)에 대응되는 방향, 다시 말해 Y축 방향을 따라 슬라이드 이동 가능하게 형성되는 것으로, 이를 위해 제2이동 가이드(330)는 결합부재(332) 및 Y축 이동부재(334)를 구비한다.On the other hand, the second movement guide 330 is coupled to the lower portion of the rotation guide 320 and is formed to be slidably movable in a direction corresponding to the first movement guide 310 , that is, in the Y-axis direction. The second movement guide 330 includes a coupling member 332 and a Y-axis movement member 334 .

결합부재(332)는 고정 플레이트(100)의 상부에 결합된다.The coupling member 332 is coupled to the upper portion of the fixing plate 100 .

또한, Y축 이동부재(334)는 회전 가이드(320)에서 회전 가능하게 형성되며, 결합부재(332)와 레일 결합되어 Y축 방향을 따라 슬라이드 이동하도록 형성된다.In addition, the Y-axis moving member 334 is rotatably formed in the rotation guide 320 and is coupled to the rail with the coupling member 332 to slide along the Y-axis direction.

다시 말해, Y축 이동부재(334)는 결합부재(332)와 레일 결합된 상태에서 상부 플레이트(200)의 회전 시, 제1이동 가이드(310)가 축 회전 및 X축 방향으로 슬라이드 이동할 수 있도록 회전 가이드(320)의 결합 위치를 가이드 하며, 또한 결합부재(332)의 Y축 방향을 따라 슬라이드 이동하도록 함으로써, 도 5에 도시된 바와 같이 제1이동 가이드(310)와 함께 상부 플레이트(200)가 회전 이동함에 있어 Y축 방향을 따라 이동하며 평탄도를 보상하여 용이하게 회전이 이루어지게 할 수 있다.In other words, when the Y-axis moving member 334 rotates the upper plate 200 in a state in which the coupling member 332 and the rail are coupled, the first movement guide 310 is axially rotated and slidably moved in the X-axis direction. The upper plate 200 together with the first moving guide 310 as shown in FIG. 5 by guiding the coupling position of the rotation guide 320 and sliding the coupling member 332 along the Y-axis direction. In the rotation movement, it moves along the Y-axis direction and can easily rotate by compensating for flatness.

이를 위해, 제2이동 가이드(330)는 도 4에 도시된 바와 같이 Y축 이동 가이드(336)를 더 구비할 수 있으며, 이러한 Y축 이동 가이드(336)는 내부에 볼 베이링 등을 구비한 상태로 고정부재(332)의 돌출부(332a) 및 Y축 이동부재(334)의 단턱부(334a) 사이에 배치되기 때문에, Y축 이동부재(334)에 대한 용이한 슬라이드 이동을 가이드 할 수 있다.To this end, the second movement guide 330 may further include a Y-axis movement guide 336 as shown in FIG. 4 , and this Y-axis movement guide 336 includes a ball bearing and the like therein. Since it is disposed between the protrusion 332a of the fixing member 332 and the stepped portion 334a of the Y-axis moving member 334 in the state, it is possible to guide the easy sliding movement of the Y-axis moving member 334. .

이하, 도 6 은 본 발명의 실시예에 따른 회전 가능한 스테이지 장치에 대한 초기 상태를 보여주는 도면이고, 도 7 은 본 발명의 실시예에 따른 회전 가능한 스테이지 장치에 대한 초기 상태에서의 보상 가이드 회전 반경을 확대하여 보여주는 도면이다.Hereinafter, FIG. 6 is a view showing an initial state of a rotatable stage apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a compensation guide rotation radius in an initial state for a rotatable stage apparatus according to an embodiment of the present invention. This is an enlarged drawing.

또한, 도 8 은 본 발명의 실시예에 따른 회전 가능한 스테이지 장치에 대한 회전 이동 상태를 보여주는 도면이고, 도 9 는 본 발명의 실시예에 따른 회전 가능한 스테이지 장치에 대한 회전 이동 상태에서의 보상 가이드의 회전 반경을 확대하여 보여주는 도면이다.8 is a view showing a rotational movement state with respect to the rotatable stage device according to an embodiment of the present invention, and FIG. It is a drawing showing an enlarged turning radius.

도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 동력 전달 장치(미도시)의 구동 이전에는 상부 프레임(200)과 하부 프레임과(100)이 서로 동일선 상에 위치되는데, 이러한 상태에서는 하부 플레이트(100)가 진행 방향을 따라 슬라이드 이동하여 검사체에 대한 검사를 진행하게 된다.6 and 7, before the driving of the power transmission device (not shown), the upper frame 200 and the lower frame and 100 are positioned on the same line with each other, in this state the lower plate 100 slides along the moving direction to proceed with the inspection of the test object.

하지만, 검사체에 대한 각도를 변경하여 검사 공정을 수행할 경우에는 동력 전달 장치(미도시)의 구동을 통하여 회전축(10)을 기준으로 상부 프레임(200)을 회전시켜야 하는데, 이를 위해 본 실시예에서는 복수의 보상 가이드(300)가 각각의 결합된 위치에서 서로 다른 회전 반경을 따라 회전 이동하도록 구성함으로써, 상부 프레임(200)에 대한 평탄도가 일정하게 유지되도록 하며 회전이 이루어지게 할 수 있다.However, in the case of performing the inspection process by changing the angle with respect to the inspection object, the upper frame 200 must be rotated with respect to the rotation shaft 10 through the driving of a power transmission device (not shown). By configuring the plurality of compensation guides 300 to rotate along different rotation radii at their respective combined positions, the flatness with respect to the upper frame 200 can be constantly maintained and rotation can be made.

즉, 도 8에 도시된 바와 같이 보상 가이드(300)는 하부 플레이트(100) 및 상부 플레이트(200) 사이의 테두리를 따르며 복수로 결합되는데, 각각의 결합된 위치에서 회전 가이드(320)를 통한 회전과 함께, 제1이동 가이드(310) 및 제2이동 가이드(330)에 의해 X축 및 Y축 방향을 따라 슬라이드 이동하도록 함으로써, 상부 플레이트(200)의 처짐을 방지함과 동시에, 회전하는 상부 플레이트(200)에 대한 평탄도가 일정하게 유지되게 할 수 있다.That is, as shown in FIG. 8 , the compensation guide 300 is coupled in plurality along the edge between the lower plate 100 and the upper plate 200 , and rotates through the rotation guide 320 at each combined position. Together, by sliding the first movement guide 310 and the second movement guide 330 in the X-axis and Y-axis directions, the upper plate 200 is prevented from sagging and the upper plate rotates. The flatness for (200) can be kept constant.

이를 위해, 보상 가이드(300)는 복수의 보상 가이드(300) 중 회전축(10)에서 가까운 위치에서 보다 먼 위치에서 더 큰 회전 반경을 따르며 회전 이동하여야 한다.To this end, the compensation guide 300 has to rotate along a larger rotation radius at a position farther than a position close to the rotation shaft 10 among the plurality of compensation guides 300 .

다시 말해, 소정의 면적을 가지는 상부 플레이트(200)가 반시계 방향으로 회전하는 경우, 회전축(10)에서 멀어질수록 관성 모멘트 또한 함께 커지기 때문에, 회전축(10)에서 가까운 위치 보다 더 큰 회전 반경을 따라 회전 이동하여야 하므로, 도 9에 도시된 바와 같이 모서리에 위치된 보상 가이드(300)가 일측에 위치된 보상 가이드(300-1) 보다 X축, Y축, Z축을 따르며 더 큰 범위를 따라 이동하게 함으로써, 상부 플레이트(200)의 회전 시 복수의 보상 가이드(300)의 결합 위치에 따른 서로 다른 회전 이동을 통해 그 평탄도를 효과적으로 보상할 수 있다.In other words, when the upper plate 200 having a predetermined area rotates counterclockwise, the moment of inertia also increases as the distance from the rotation axis 10 increases. Therefore, as shown in Fig. 9, the compensation guide 300 located at the corner moves along the X axis, the Y axis, and the Z axis and along a larger range than the compensation guide 300-1 located on one side. By doing so, it is possible to effectively compensate for the flatness of the upper plate 200 through different rotational movements according to the coupling positions of the plurality of compensation guides 300 when the upper plate 200 is rotated.

본 발명은, 테이블을 지지하는 복수의 보상 가이드를 구비하고, 동심 축을 따르는 테이블의 회전 시 복수의 보상 가이드가 각각 동일한 높이를 유지하며 서로 다른 회전 반경을 따라 회전 이동 가능하도록 함으로써, 회전하는 테이블에 대한 평탄도를 보상할 수 있도록 하는 효과를 갖는다.The present invention is provided with a plurality of compensation guides for supporting a table, and when the table is rotated along a concentric axis, the plurality of compensation guides maintain the same height, respectively, and are rotatably movable along different rotation radii. It has the effect of making it possible to compensate for flatness.

또한, 본 발명은 복수의 보상 가이드 각각이 단순한 지지 방식이기 때문에, 높이 조절이 어렵고, 그에 따라 테이블의 회전 중 진동 또는 찍힘과 같은 파손이 발생할 수 있으므로, 각각의 보상 가이드가 강성체 결합 구조를 가지도록 함으로써, 테이블의 회전 시 상기와 같은 문제를 미연에 방지할 수 있는 효과를 갖는다.In addition, in the present invention, since each of the plurality of compensation guides is a simple support method, it is difficult to adjust the height, and accordingly, damage such as vibration or dents may occur during rotation of the table. Therefore, each compensation guide has a rigid coupling structure. By doing so, it has the effect of preventing the above problems in advance when the table is rotated.

이상의 본 발명은 도면에 도시된 실시 예(들)를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형이 이루어질 수 있으며, 상기 설명된 실시예(들)의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 구성될 수도 있다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 청구범위의 기술적 사상에 의해 정해여야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiment(s) shown in the drawings, this is only exemplary, and various modifications may be made therefrom by those skilled in the art, and the above-described embodiment It will be understood that all or part of the (s) may optionally be combined. Accordingly, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the spirit of the appended claims.

10 : 회전축 100 : 하부 플레이트
200 : 상부 플레이트 300 : 보상 가이드
310 : 제1이동 가이드 312 : 고정부재
312a : 단턱부 314 : X축 이동부재
314a : 돌출부 316 : X축 이동 가이드
320 : 회전 가이드 330 : 제2이동 가이드
332 : 결합부재 332a : 돌출부
334 : Y축 이동부재 334a : 단턱부
336 : Y축 이동 가이드10: axis of rotation 100: lower plate
200: upper plate 300: compensation guide
310: first movement guide 312: fixing member
312a: step 314: X-axis moving member
314a: protrusion 316: X-axis movement guide
320: rotation guide 330: second movement guide
332: coupling member 332a: protrusion
334: Y-axis moving member 334a: stepped portion
336: Y-axis movement guide

Claims (7)

진행 방향을 따라 이동하도록 형성되는 하부 플레이트;
상기 하부 플레이트와 연결되고, 검사체가 안착되며, 상기 하부 플레이트와 연결된 회전축을 기준으로 회전 가능하게 형성되는 상부 플레이트; 및
상기 하부 플레이트 및 상기 상부 플레이트 사이에서 복수로 결합되고, 상기 상부 플레이트의 회전 시 각각 동일한 높이로 결합된 상태에서 서로 다른 회전 반경을 따르며 회전 이동하도록 형성되는 보상 가이드;를 포함하는 것을 특징으로 하고,
상기 보상 가이드는,
상기 하부 플레이트 및 상기 상부 플레이트 사이의 테두리를 따르며 복수로 결합되고, 상기 회전축에서 가까운 위치에서 보다 먼 위치에서 더 큰 회전 반경을 따르며 회전 이동하는 것을 특징으로 하며,
상기 보상 가이드는,
상기 상부 플레이트에 결합되고, 슬라이드 이동 가능하게 형성되는 제1이동 가이드;
상기 제1이동 가이드와 결합되고, 상기 상부 플레이트 회전 시 상기 제1이동 가이드가 함께 회전하도록 가이드 하는 회전 가이드; 및
상기 회전 가이드에 결합되고, 상기 제1이동 가이드에 대응되는 방향을 따라 슬라이드 이동 가능하게 형성되는 제2이동 가이드;를 구비하는 것을 특징으로 하고,
상기 제1이동 가이드는,
상기 상부 플레이트의 하부에 결합되는 고정부재; 및
상기 고정부재와 레일 결합되고, 상기 회전 가이드 상에서 회전 가능하게 연결되며, 상기 고정부재가 X축 방향을 따라 슬라이드 이동하도록 가이드 하는 X축 이동부재;를 구비하는 것을 특징으로 하며,
상기 제1이동 가이드는,
상기 고정부재의 단턱부 및 상기 X축 이동부재의 돌출부 사이에 배치되며, 내부에 볼 베어링을 구비한 상태로 상기 고정부재의 슬라이드 이동을 가이드 하는 X축 이동 가이드를 더 구비하는 것을 특징으로 하고,
상기 제2이동 가이드는,
상기 하부 플레이트의 상부에 결합되는 결합부재; 및
상기 결합부재와 레일 결합되고, 상기 회전 가이드 상에서 회전 가능하게 연결되며, 상기 결합부재의 Y 축 방향을 따라 슬라이드 이동하도록 형성되는 Y축 이동부재;를 구비하는 것을 특징으로 하며,
상기 제2이동 가이드는,
상기 결합부재의 돌출부 및 상기 Y축 이동부재의 단턱부 사이에 배치되며, 내부에 볼 베어링을 구비한 상태로 상기 Y축 이동부재의 슬라이드 이동을 가이드 하는 Y축 이동 가이드를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 회전 가능한 스테이지 장치.a lower plate formed to move along the traveling direction;
an upper plate connected to the lower plate, on which the test object is seated, and rotatably formed based on a rotation axis connected to the lower plate; and
Compensation guides coupled between the lower plate and the upper plate in plurality, and formed to rotate along different rotation radii while the upper plate rotates at the same height, respectively;
The compensation guide is,
It is coupled in plurality along the rim between the lower plate and the upper plate, characterized in that it rotates along a larger radius of rotation at a position farther from the position close to the axis of rotation,
The compensation guide is,
a first movement guide coupled to the upper plate and slidably formed;
a rotation guide coupled to the first movement guide and guiding the first movement guide to rotate together when the upper plate rotates; and
and a second movement guide coupled to the rotation guide and slidably formed in a direction corresponding to the first movement guide;
The first movement guide,
a fixing member coupled to a lower portion of the upper plate; and
and an X-axis moving member coupled to the rail with the fixing member, rotatably connected on the rotation guide, and guiding the fixing member to slide along the X-axis direction;
The first movement guide,
An X-axis movement guide disposed between the stepped portion of the fixing member and the protrusion of the X-axis movable member, and further comprising an X-axis movement guide for guiding the sliding movement of the fixing member with a ball bearing therein,
The second movement guide,
a coupling member coupled to an upper portion of the lower plate; and
and a Y-axis moving member that is coupled to the rail with the coupling member, is rotatably connected on the rotation guide, and is formed to slide along the Y-axis direction of the coupling member.
The second movement guide,
and a Y-axis movement guide disposed between the protrusion of the coupling member and the stepped portion of the Y-axis movable member, and further comprising a Y-axis movement guide for guiding the sliding movement of the Y-axis movable member with a ball bearing therein. rotatable stage device. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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