KR102271147B1

KR102271147B1 - 분체반송장치

Info

Publication number: KR102271147B1
Application number: KR1020170113055A
Authority: KR
Inventors: 요시히코 가마타
Original assignee: 가부시키가이샤 휴브레인
Priority date: 2017-06-30
Filing date: 2017-09-05
Publication date: 2021-06-29
Also published as: TW201904845A; KR20190003282A; CN109205317B; TWI669261B; JP2019011167A; CN109205317A; JP6500314B2

Abstract

본 발명은, 입경이 매우 작은 분체모양의 반송물을 개별적으로 분리하여 낙하시키는 것이 매우 곤란한 점, 반송(낙하)궤도가 현저하게 불안정한 점, 전량의 반송을 완료할 때까지 시간을 필요로 하는 점을 개선한다.
(과제)본 발명의 분체반송장치(1)는, 내부의 중공에서 반송물이 반송되는 측의 면의 내외를 관통한 구멍을 통하여 외부를 향하여 공기를 분출하는 것이 가능하게 됨과 아울러 반송물의 반송방향의 상류단에 대하여 하류단을 하방으로 경사지게 하여 배치된 반송부(2)와, 이 반송부(2)의 상면에 설치되고 반송물의 입경보다 작은 지름의 무수한 분출구멍이 형성됨과 아울러 반송물의 입경에 따라 반송부(2)에 대하여 교체 가능하게 된 포러스 플레이트(3)와, 반송물의 무게와 반송물의 입경에 의거하여 공기분출량과 반송부(2)의 경사의 각도를 결정하는 제어부(10)를 구비하고 있다.

Description

분체반송장치{POWDER CONVEYING SYSTEM}

분체모양(粉體狀)의 반송물 상호간의 부착을 방지하고, 단층화(單層化)된 자세를 안정시키고 또한 안정된 궤도로 반송시킬 수 있는 분체반송장치(粉體搬送裝置)에 관한 것이다.

예를 들면 특허문헌1에는, 공모양의 수지 미립자(樹脂微粒子)의 표면에 금속도금이 실시된 도전성 미립자(導電性微粒子)(이하, 반송물이라고 한다)의 전체 표면을 검사하는 외관검사장치가 나타나 있다. 특허문헌1의 외관검사장치는, 반송물을 1개씩 간격을 두고 낙하시키고, 이 낙하 도중에 있는 반송물을 복수의 카메라를 사용하여 촬영하고, 화상처리하여 판정하는 구성으로 되어 있다.

외관검사에 제공되는 반송물은, 특허문헌1과 같이 매우 미세하고 또한 외적인 손상을 받기 쉬운 경우에, 카메라로 촬영할 수 있도록 반송물을 어떤 수단을 접촉시켜서 촬영자세를 변경한다든가, 반송물이 여러 가지의 장치에 있어서의 부재에 스치면서 반송된다든가 라는 접촉이나 충격을 받지 않도록 할 필요가 있고, 따라서 낙하 중에 있는 반송물을 카메라로 촬영하는 방법은 이상적이라고 말할 수 있다.

그런데 특허문헌1에서 취급하는 반송물은 입자지름에 대한 구체적인 기재는 없지만, 예를 들면 일반적으로 100μm보다 입경(粒徑)이 큰 반송물이면, 입경에 비례한 자체 중량에 의하여 반송물 상호간이 이산(離散)되기 쉬워서, 대량의 반송물이더라도 반송물 상호간이 부착되어 낙하되는 것은 거의 없다.

그러나 반송물이 약 100μm 이하의 입경의 반송물을 취급하는 경우에는, (예외도 있지만 일반적으로는) 입경이 작아지게 됨에 따라 매우 가볍기 때문에 반송물의 개개가 부착되기 쉬워서, 반송물을 1개씩 간격을 두고 낙하시키는 것이 매우 곤란하여, 반송물 상호간이 포개어져서 개별적으로 외관검사가 이루어지지 않을 가능성이 있다.

또한 입경이 약 100μm 이하로 극단적으로 작은 입경의 반송물은 이미 분체모양(파우더(powder) 모양)으로 되어 있기 때문에, 상기의 경향에서 보면, 반송물 상호간이 부착되어 있어 개별의 외관을 검사하는 것이 매우 곤란함과 아울러, 부착된 반송물을 개별분리하는 것도 또 곤란하고, 또한 예를 들면 개별분리시켜서 낙하시킬 수 있었다고 하더라도, 전량의 검사가 종료될 때까지는 장시간을 필요로 하는 문제가 있었다.

특히 특허문헌1과 같은 외관검사장치에서는, 상기한 바와 같이 반송물 상호간이 부착되어 있으면, 예를 들면 포개어지는 쪽에 따라서는 이질(異質)의 외형으로서 촬영되는 것이 있는 것 이외에, 이물(異物)이 반송물 상호간의 카메라의 그림자(카메라에 대하여 반송물의 뒷쪽)에 포개어져 있으면, 이 이물의 존재를 파악할 수 없다는 문제가 있다.

또한 자유개방공간에 분체모양의 반송물을 (개별적으로) 낙하시키는 반송방법이면, 반송물이 매우 가볍기 때문에 궤도가 현저하게 불안정하여 외기(外氣)의 영향을 받아서 카메라의 촬영영역으로부터 벗어나 버리거나, 목적으로 한 부위에 낙하하여 착지하지 않거나 할 가능성 또한 날아가 버릴 가능성도 있다.

: 일본국 공개특허 특개2003-279494호 공보

해결하고자 하는 문제는, 분체모양의 반송물이 자유개방공간을 낙하하는 반송방법이면, 분체모양의 반송물은 개개가 부착되기 쉬워서 부착된 반송물을 개별적으로 분리하는 것이 매우 곤란한 점, 또한 낙하궤도가 현저하게 불안정한 점, 또한 전량의 반송이 완료될 때까지 시간을 필요로 하는 점이다.

상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은, 분체모양의 반송물을 단층화하여 반송하는 분체반송장치로서, 내부의 중공에서(에 있어서) 반송물이 반송되는 측의 면의 내외를 관통한 구멍을 통하여 외부를 향하여 공기를 분출하는 것이 가능하게 됨과 아울러 반송물의 반송방향의 상류단에 대하여 하류단을 하방으로 경사지게 하여 배치된 반송부와, 이 반송부의 상면에 설치되고 반송물의 입경보다 작은 지름의 무수한 분출구멍이 형성됨과 아울러 반송물의 입경에 따라 반송부에 대하여 교체 가능하게 된 포러스 플레이트와, 반송물의 무게와 반송물의 입경에 의거하여 공기분출량과 상기 반송부의 경사의 각도를 결정하는 제어부를 구비하는 것으로 하였다.

상기 구성의 본 발명은, 반송물을 「개별」적으로 「낙하」시키는 것에 대신하여, 상류단으로부터 하류단을 향하여 하방으로 경사지게 한 반송부(의 구멍)로부터 포러스 플레이트의 분출구멍을 통하여 공기를 분출시켜서, 상기 반송부의 반송물의 상하류 반송방향에 대하여 폭방향 전역으로 병렬적으로 반송되는 반송물을 조금만 부상시키도록 하고 있기 때문에, 다음의 효과를 얻을 수 있다.

본 발명의 분체반송장치는, 상기 구성으로 함으로써, 부착된 반송물 상호간의 사이에 공기가 침입하여 분리시킬 수 있어 개별적으로 분리시킨 상태로 반송할 수 있다. 또한 본 발명의 분체반송장치는, 개별적으로 분리시킨 상태로 반송부(포러스 플레이트)의 반송방향과 직교하는 폭방향 전체 면에서 병렬적으로 반송물을 반송하기 때문에, 전량을 반송하는데에 필요로 하는 시간을 상당히 단축할 수 있다.

또한 본 발명의 분체반송장치는, 제어부에 있어서, 반송물의 무게와 반송물의 입경에 의거하여 공기분출량을 제어함으로써, 반송물이 반송경로 상에서 부상하여 공중으로 날아가거나 미동(微動)하거나 하는 것과 같이 자세가 불안정하게 되는 것이나 반송방향의 궤도가 불안정하게 되는 것을 억제할 수 있고, 또한 경사각도를 제어함으로써 상기 공기분출량의 제어와 더불어 반송속도를 적절하게 제어하는 것이 가능하게 된다.

도1은, 본 발명의 분체반송장치를 채용한 외관검사장치의 개략적인 구성을 나타내는 도면이다.
도2는, 도1의 A-A선 단면도를 나타내는 도면이다.

본 발명은, 개개가 부착된 약 100μm 이하인 반송물을 개별적으로 분리하여 낙하시키는 것이 매우 곤란한 점, 반송(낙하)궤도가 현저하게 불안정한 점, 전량의 반송을 완료할 때까지 시간을 필요로 하는 점을, 내부의 중공(中空)에서 반송물이 반송되는 측의 면의 내외를 관통한 구멍을 통하여 외부를 향하여 공기를 분출하는 것이 가능하게 됨과 아울러 반송물의 반송방향의 상류단(上流端)에 대하여 하류단(下流端)을 하방으로 경사지게 하여 배치된 반송부(搬送部)와, 이 반송부의 상면에 설치되고 반송물의 입경(粒徑)보다 작은 지름의 무수한 분출구멍이 형성됨과 아울러 반송물의 입경에 따라 반송부에 대하여 교체 가능하게 된 포러스 플레이트(porus plate)와, 반송물의 무게와 반송물의 입경에 의거하여 공기분출량과 상기 반송부의 경사의 각도를 결정하는 제어부(制御部)를 구비함으로써 해결하였다.

또한 본 발명은, 반송부에 있어서의 반송경로 도중에 설치되고 적어도 반송 중의 반송물의 상면을 촬영하기 위한 카메라(camera)와, 카메라의 촬영화상에 의거하여 이물(異物)이나 이질(異質)의 반송물의 유무를 판별하는 화상처리부(畵像處理部)를 상기 구성에서 구비함으로써, 분체모양(粉體狀)의 다량의 반송물 중에 있어서의 이물의 판별이나 이형(異形)이나 이상(異常)한 반송물의 혼입을 용이하게 판별할 수 있게 된다.

또한 본 발명은, 상기의 구성에 있어서, 반송부에 있어서의 반송경로 도중에 반송물을 개별적으로 꺼내기 위하여 미세지름으로 되고 흡배기(吸排氣)가 가능한 노즐(nozzle)과, 이 노즐을 적어도 반송방향과 직교하는 반송부의 폭방향으로 이동 가능하게 지지한 노즐 이동부(nozzle 移動部)를 갖는 픽업기구(pickup機構)를 설치하고, 이 픽업기구를 설치한 위치에 대응하는 반송부의 폭방향에 있어서의 공기의 분출과 정지를 가능하게 하는 셔터기구(shutter機構)를 설치하여도 좋으며, 이렇게 함으로써 반송물을 일단 정지시켜서 개별적으로 다른 장소로 이송(transfer)할 수 있다.

(실시예)

이하, 구체적으로 본 발명의 분체반송장치(粉體搬送裝置)에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 1은, 입경이 약 100μm 이하인 분체모양의 반송물을 단층화(單層化)하여 반송하는 본 발명의 분체반송장치로서, 이하의 구성으로 되어 있다. 또 본 예에서는, 분체모양의 반송물 중의 이물의 혼입과 이형의 반송물을 검출하고, 이물이나 이형의 반송물이 존재하였을 경우에는 이들 반송물을 배출하는, 외관검사장치에 적용한 상태를 나타내고 있다.

2는, 반송물을 반송하는 기대(基臺)가 되는 반송부(搬送部)이다. 이 반송부(2)에는, 내부의 중공(中空)에서 반송물이 반송되는 측의 면의 내외를 관통한 공기구멍(2a)이 복수 형성되어 있다. 즉 반송부(2)는, 펌프(2A)를 통하여 조정하여 공급된 공기를 내부에 채우고 공기구멍(2a)을 통하여 상기 외부를 향하여 공기를 분출하는 구성으로 되어 있다.

또한 반송부(2)는, 반송부 경사기구(2B)에 의하여 반송물 반송방향의 상류단으로부터 하류단을 향하여 하방으로 경사지도록 조정하여 배치되어 있다. 또한 반송부(2)에 있어서 반송면의 반송방향과 직교하는 폭방향의 양단에, 반송물이 반송면으로부터 넘쳐흘러서 떨어지지 않도록 하기 위한 가이드 플레이트(guide plate)(2b)가 설치되어 있다.

3은, 이 반송부(2)의 상면에 설치되고 반송물의 입경보다 작은 지름의 무수한 분출구멍(3a)이 형성된 포러스 플레이트(porus plate)이다. 이 포러스 플레이트(3)는, 반송물의 입경이나 반송물의 색에 따라 반송부(2)에 대하여 분출구멍(3a)의 지름이 다른 것 혹은 색이 다른 것으로 교체할 수 있도록 구성되어 있다.

4는, 본 예에서는 이물이나 이형의 반송물이 혼입되어 있지 않은지를 검출하기 위하여 예를 들면 반송경로 도중의 반송부(2)의 상방에 설치되어, 반송부(2)의 폭방향을 촬영하는 검사용 카메라이다. 5는, 본 예에서는 반송경로에 있어서 이물이나 이형의 반송물이 혼입되어 있었던 경우에, 반송부(2)의 폭방향에 있어서의 이물이나 이형의 반송물의 위치를 얻기 위한 위치확인용 카메라이다.

6은, 본 예에서는 반송경로에 있어서 이물이나 이형의 반송물이 혼입되어 있었던 경우에, 이들 반송물을 제거하기 위하여 반송부(2)의 상방에 있어서, 카메라(4), 카메라(5)의 하류 부위에 설치된 픽업기구이다.

픽업기구(6)는, 예를 들면 본 예에서는, 반송부(2)의 폭방향에 걸쳐서 가설된 스크루축(screw軸)(6a)과, 이 스크루축(6a)을 회전시키는 (스테핑(stepping)) 모터(6b)와, 상기 스크루축(6a)이 나사결합되고 미세지름으로 된 노즐(6c)을 갖고, 이 노즐(6c)을 본 예에서는 예를 들면 상하방향으로 신장·단축시킬 수 있음과 아울러 노즐(6c)로부터 흡배기를 할 수 있도록 하는 노즐 이동부(6A)를 구비하고 있다.

7은, 픽업기구(6)가 제거하여야 할 반송물의 픽업을 보조하기 위하여 반송을 일시 정지시키는 셔터기구이다. 이 셔터기구(7)는, 픽업기구(6)에 있어서 반송물의 픽업위치에 대응하는 공기구멍(2a)을 개폐하기 위한 가동판(可動板)이, 반송부(2)의 공기구멍(2a)이 형성된 내면에 접촉함으로써 공기구멍(2a)을 닫고, 이간함으로써 공기구멍(2a)을 여는 구성으로 되어 있다.

8은, 반송부(2)의 상류 단부(端部)의 상방에 설치되고 반송물을 상기 반송부(2) 위로 이동시키기 위한 호퍼(hopper)이다. 이 호퍼(8)는, 배출개구에 분산판(分散板)(8a)이 설치되어 있고, 이에 따라 호퍼(8)로부터 배출되는 반송물을 반송부(2)의 폭방향 전역으로 균등하게 분산시킬 수 있다. 또 9는, 반송부(2)의 하류단을 넘은 위치에 설치된 이송 트레이(transfer tray)이지만, 이것은 다음의 반송경로(예를 들면 다음 분체반송장치(1)에 접속되는 구성)이더라도 좋다.

10은 제어부이고, 본 예에서는 제어부(10)는, 반송물의 무게와 반송물의 입경에 의거하여 공기분출량을 결정하여 펌프(2A)를 제어하는 공기분출량 조정부(10A)와, 반송부(2)의 경사의 각도를 결정하여 반송부 경사기구(2B)를 제어하는 경사각도 조정부(10B)를 갖고 있다.

여기에서 공기분출량 조정부(10A)는, 예를 들면 부피를 입경으로 나누어서 얻은 개수(단위수량)에 의거하여, 그 부피분의 무게를 개수로 나눔으로써 얻은 무게와 입경에 따라, 반송물이 포러스 플레이트(3) 위로 날아가거나 미동(微動)하거나 하지 않고 또한 포러스 플레이트(3) 위로 약간만 부상하도록(반송부(2)의 경사에 의하여 중력으로 이동할 정도) 공기분사량(압)을 조정하기 위한 것이다.

경사각도 조정부(10B)는, 90°에 가깝게 하여 부상상태에 있는 반송물의 이동속도를 증속시키거나, 0°에 가깝게 하여 부상상태에 있는 반송물의 이동속도를 감속시키도록 반송부(2)의 경사의 기울기에 의하여 반송물의 이동속도를 조정하기 위한 것이다.

또한 본 예에서는 제어부(10)는, 검사용 카메라(4)의 촬영데이터를 화상처리하여 반송물 중에 이물이나 이형의 반송물이 혼입되어 있는지 아닌지를 판별하는 이물·이형 판정부(10C)와, 이 이물·이형 판정부(10C)에 의하여 이물이나 이형의 반송물이 존재하였을 경우에는 그 위치를 위치확인용 카메라(5)의 촬영데이터로부터 얻어서 픽업기구(6)로 위치정보를 보내는 픽업위치 지시부(10D)를 구비하고 있다.

또한 제어부(10)는, 본 예의 경우에 이물이나 이형의 반송물이 혼입되어 있었을 경우에 있어서, 픽업기구(6)를 작동시킬 때에 셔터기구(7)를 제어하여 공기구멍(2a)을 닫고 일단 반송물의 이동을 정지시키기(픽업기구(6)의 동작 후에 공기구멍(2a)을 연다) 위한 셔터 개폐부(10E)와, 이물이나 이형의 반송물을 제거하기 위하여 픽업기구(6)에 있어서의 노즐부(6A)의 이동과 노즐의 신장·단축 및 흡배기를 제어하는 픽업 지시부(10F)를 구비하고 있다.

상기 구성의 본 발명의 분체반송장치(1)는, 결정된 공기분출량과 반송부(2)가 경사진 상태에서, 호퍼(8)로부터 분체모양의 반송물이 포러스 플레이트(3) 위로 이동하면, 반송물은 공기의 분출에 의하여 약간 부상된 상태로 되고 또한 공기의 분출에 의하여 반송물 상호간이 부착되지 않고 단층화된 상태에서, 반송부(2)(포러스 플레이트(3))의 폭방향 전역으로 이동한다. 반송물은, 이 상태에서 반송부(2)의 경사에 의하여 결정된 속도로 상류로부터 하류로 이동한다.

예를 들면 반송물 상호간이 부착되면 검사용 카메라(4)로 촬영하였을 때에, 그 부착상태에 의하여 이형의 반송물이라고 판정될 가능성이 있고 또한 부착상태가 상하방향으로서 적정 반송물의 하측에 이물이 부착되면, 상기 이물이 (상측의 반송물에 가려져서) 검사용 카메라(4)로 촬영할 수 없을 가능성이 있지만, 본 발명의 분체반송장치(1)이면, 분체모양의 반송물 상호간의 부착을 방지할 수 있기 때문에 상기 가능성은 저감된다.

또한 본 발명의 분체반송장치(1)는, 공기의 분출량을 조정함으로써 분체모양의 반송물이 날아가거나 미동하거나 하지 않고 또한 반송부(2)의 경사각도를 조정함으로써 상기 안정된 자세를 유지함과 아울러 안정된 반송궤도를 유지하여, 적당한 속도로, 폭방향에 있어서 복수의 열을 이루어서 개개의 단층화된 반송물을 반송할 수 있다.

상기 효과를 갖는 본 발명의 분체반송장치(1)는, 본 예와 같이 이물이나 이형의 반송물의 혼입을 검출하는 외관검사장치에 사용하기에 적합하며, 호퍼(8)로부터 분산되어 포러스 플레이트(3) 위로 이동하고, 여기에서 단층화되어 각각 분리된 반송물은, 반송부(2)의 경사와 공기의 분출에 의하여 그 자체 중량으로 하류로 이동한다.

본 예에서는, 검사용 카메라(4)에 의하여, 반송 중인 반송물의 반송방향의 소정 열분을 순차적으로 촬영하고, 이물·이형 판정부(10C)에 있어서 화상처리에 의하여 촬영데이터 중에 소정의 형상이나 색의 반송물 이외의, 예를 들면 이물이나 이형의 반송물이 존재하는지 아닌지를 판정한다. 즉 본 발명의 분체반송장치(1)는, 반송물이 단층화되고 또 각각 분리되며 또한 안정된 자세로 반송되기 때문에, 이러한 이물이나 이형의 반송물의 존부를 정밀도 좋게 판정할 수 있다.

이물·이형 판정부(10C)에 있어서, 이물이나 이형의 반송물이 존재하는 것으로 판정하였을 경우에는, 그 취지를 픽업위치 지시부(10D)로 신호를 보내고, 픽업위치 지시부(10D)는 위치확인용 카메라(5)를 작동시켜서 반송상황을 촬영하고, 상기 픽업위치 지시부(10D)에서 이물이나 이형의 반송물이 존재하는 위치를 정확하게 산출하여, 픽업 지시부(10F) 및 셔터 개폐부(10E)로 신호를 보낸다.

제어부(10)에서는, 이물이나 이형의 반송물이 위치확인용 카메라(5)의 촬영포인트를 통과하여 소정시간 경과 후에 이물이나 이형의 반송물이 픽업기구의 위치에 도달하는 것이 미리 프로그램되어 있기 때문에, 소정시간 경과 후에 셔터 개폐부(10E)가 셔터를 닫아서 공기의 분출을 일단 정지시킴과 동시에, 픽업 지시부(10F)가 픽업기구(6)를 작동시켜서 픽업위치 지시부(10D)에서 산출된 위치에 있는 이물이나 이형의 반송물을 제거한다.

픽업기구(6)는, 모터(6b)의 회전에 의하여 스크루축(6a)을 회전시키고, 이 스크루축(6a)의 회전에 의하여 노즐 이동부(6A)가 반송부(2)의 폭방향으로 이동하고, 반송부(2)의 폭방향에 있어서의 소정위치에서 노즐(6c)을 흡기하도록 작동시켜서 이물이나 이형의 반송물을 흡인하고, 이 상태에서 다시 스크루축(6a)을 모터(6b)에 의하여 회전시켜서 노즐 이동부(6A)를 배출부(6d)의 위치까지 이동시키고, 배출부(6d)의 위치에서 노즐(6c)을 배기하도록 작동시켜서 이물이나 이형의 반송물을 상기 배출부(6d)로 배출한다.

상기의 일련의 동작에 의하여, 픽업위치 지시부(10D)로부터 지시된 위치에 있어서의 반송물의 픽업(제거)이 완료된 후에, 셔터 개폐부(10E)는 셔터를 개방상태로 하여 반송을 재개한다. 그리고 이물이나 이형이 제거된 적정한 반송물은 본 예의 경우에 다음의 작업으로 반송하기 위하여 이송 트레이(9)로 이동한다.

이와 같이 본 발명의 분체반송장치(1)를 채용하면, 반송속도의 조정이 가능함과 아울러, 반송물을 단층화하고 또한 각각 분리하여, 안정된 자세로 더 안정된 반송궤도로 반송할 수 있기 때문에, 픽업위치가 변동될 가능성이 감소하고, 따라서 낭비 없이 이물이나 이형의 반송물만을 제거할 수 있다.

1 : 분체반송장치
2 : 반송부
2A : 펌프
2B : 반송부 경사기구
2a : 공기구멍
3 : 포러스 플레이트
3a : 분출구멍
4 : 검사용 카메라
6 : 픽업기구
7 : 셔터기구
10 : 제어부
10A : 공기량 조정부
10B : 경사각도 조정부

Claims

분체모양(粉體狀)의 반송물을 단층화(單層化)하여 반송하는 분체반송장치(粉體搬送裝置)로서,
내부의 중공(中空)에서 반송물이 반송되는 측의 면의 내외를 관통한 구멍을 통하여 외부를 향하여 공기를 분출하는 것이 가능하게 됨과 아울러, 반송물의 반송방향의 상류단(上流端)에 대하여 하류단(下流端)을 하방으로 경사지게 하여 배치된 반송부(搬送部)와,
이 반송부의 상면에 설치되고, 반송물의 입경(粒徑)보다 작은 지름의 무수한 분출구멍이 형성됨과 아울러 반송물의 입경에 따라 반송부에 대하여 교체 가능하게 된 포러스 플레이트(porus plate)와,
반송물의 무게와 입경에 의거하여 공기분출량과 상기 반송부의 경사의 각도를 결정하는 제어부(制御部)를
구비하는 것을 특징으로 하는 분체반송장치.
제1항에 있어서,
반송부에 있어서의 반송경로 도중에 설치되고 적어도 반송 중의 반송물의 상면을 촬영하기 위한 카메라와,
카메라의 촬영화상에 의거하여 이물(異物)이나 이형(異形)의 반송물의 유무를 판별하는 화상처리부(畵像處理部)를
구비하는 것을 특징으로 하는 분체반송장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
반송부에 있어서의 반송경로 도중에, 반송물을 개별적으로 꺼내기 위하여 미세지름으로 되고 흡배기(吸排氣)가 가능한 노즐(nozzle)과, 이 노즐을 적어도 반송방향과 직교하는 반송부의 폭방향으로 이동 가능하도록 지지한 노즐 이동부(nozzle 移動部)를 갖는 픽업기구(pickup機構)를 설치하고,
이 픽업기구를 설치한 위치에 대응하는 반송부의 폭방향에 있어서의 공기의 분출과 정지를 가능하게 하는 셔터기구(shutter機構)를 설치한 것을
특징으로 하는 분체반송장치.