KR102261097B1 - 샘플링 튜브의 멀티 모니터링 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 샘플링 튜브의 멀티 모니터링 장치가 개시된다. 본 발명의 샘플링 튜브의 멀티 모니터링 장치는, 클린룸 내 대기환경을 측정하기 위한 대기환경 측정 장치와 연결된 다수의 샘플링 튜브로부터 각각 분기된 다수의 입력튜브와 결합되어 압력을 감지하는 압력감지부; 압력감지부로부터 입력포트별로 감지되는 샘플링 튜브의 기준 압력을 저장하는 저장부; 압력감지부로부터 입력된 다수의 감지신호를 출력하고, 입력포트별로 감지되는 감지신호와 입력포트별로 설정된 기준 압력을 비교하여 비교결과를 출력하는 제어부; 제어부의 작동상태를 디스플레이하는 표시부; 및 제어부와 주변 제어장치 간 데이터를 송수신하여 요구명령을 입력받고 다수의 감지신호와 비교결과를 출력하기 위한 통신부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

샘플링 튜브의 멀티 모니터링 장치{MULTI MONITORING APPARATUS OF SAMPLING TUBE}
본 발명은 샘플링 튜브의 멀티 모니터링 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 클린룸 대기환경 측정을 위한 샘플링 튜브별 압력을 측정하여 모니터링할 뿐만 아니라 샘플링 튜브별 초기 기준 압력과의 변화를 통해 샘플링 튜브의 손상을 감지하는 샘플링 튜브의 멀티 모니터링 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체장치를 제조하는 방법은 미세한 기계가공을 이용하는 공정을 필요로 한다. 이러한 공정과 관련되어 반도체 제조시설로는 제조장비에 공급되는 각종 Gas, Water, Air N2, Ar, He 등의 유틸리티 시스템이 구비된다.
또한, 반도체 제조 공간 내에 존재하는 먼지는 반도체장치의 제조과정에서 반도체장치의 내부로 들어가 불량화 시킬 뿐만 아니라 온도나 습도의 변화는 반도제장치의 제조에 사용되는 재료에 미세한 휨 및 비틀림을 야기시켜 그 결과 반도체장치를 불량화 시킨다.
이러한 장치의 불량화율을 떨어뜨리기 위해 제조 공간 내에 존재하는 먼지량을 감소시킬 필요성이 있으며, 또한 제조 공간 내의 온도와 습도를 일정하게 유지시켜야 할 필요성이 있다.
이와 같이 반도체(Semi Conductor), 전자기기(Electronics), 정밀기계(Precision Machinery), 광학ㆍ인쇄(Optical Printing), 약품(Prarma-ceutical), 식품(Food processing), 축산품(Agriculture processing), 바이오하자드(Bio-Harzard)등을 생산하는 작업장과 수술실(An Operating Table Room)등의 청결을 요구하는 구역에서는 먼지 등이 그 품질에 막대한 영향을 미치므로 외부와 완전 밀폐된 클린룸(clean room)을 필요로 하고 있다.
이러한 클린룸에는 공기순환에 의해 내부 청정상태를 유지할 수 있도록 하는 공조 시스템이 설치되어 다수의 공조 배관을 통해 시설 내부에 공기를 공급한다.
따라서, 중앙서버에서는 유틸리티 시스템과 공조 시스템의 작동상태를 파악하기 위해 관리항목에 따라 유틸리티, 온도, 압력, 유량, 습도 및 유속 등을 모니터링한다.
본 발명의 배경기술은 대한민국 공개특허공보 제1999-0048107호(1999. 07. 05. 공개, 클린룸의 공조용 팬 필터 유니트 구동 상태 체크 시스템)에 개시되어 있다.
이와 같이 클린룸에는 내부 청정상태를 유지할 수 있도록 공조 시스템이 설치될 뿐만 아니라 클린룸의 내부 상태를 측정하기 위한 클린룸 대기환경을 측정하여 모니터링하기 위한 측정 시스템이 설치된다.
여기서 클린룸 대기환경 측정 시스템은 클린룸 천장을 통해 배설된 샘플링 튜브를 통해 흡입되는 클린룸의 공기를 분석하여 모니터링하고 있으나, 클린룸 천장에는 샘플링 튜브와 더불어 반도체 제조설비들을 위한 배관 및 케이블 등이 함께 포설되고 있다.
따라서 배관 덕트를 보수하거나 제조설비를 위한 배관이나 케이블의 포설을 위한 공사를 수행할 경우, 샘플링 튜브가 손상될 수 있는 위험에 노출되어 있어 샘플링 케이블이 손상된 상태에서 클린룸의 대기환경을 측정하게 되면 오염상태에 대한 제어가 불가능할 뿐만 아니라 오염 발생구간 확인 및 오류로 인해 공정불량이 증가될 수 있는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점들을 개선하기 위하여 안출된 것으로, 일 측면에 따른 본 발명의 목적은 반도체 클린룸 대기환경 측정을 위한 샘플링 튜브별 압력을 측정하여 모니터링할 뿐만 아니라 샘플링 튜브별 초기 기준 압력과의 변화를 통해 샘플링 튜브의 손상을 감지하는 샘플링 튜브의 멀티 모니터링 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따른 샘플링 튜브의 멀티 모니터링 장치는, 클린룸 내 대기환경을 측정하기 위한 대기환경 측정 장치와 연결된 다수의 샘플링 튜브로부터 각각 분기된 다수의 입력튜브와 결합되어 압력을 감지하는 압력감지부; 압력감지부로부터 입력포트별로 감지되는 샘플링 튜브의 기준 압력을 저장하는 저장부; 압력감지부로부터 입력된 다수의 감지신호를 출력하고, 입력포트별로 감지되는 감지신호와 입력포트별로 설정된 기준 압력을 비교하여 비교결과를 출력하는 제어부; 제어부의 작동상태를 디스플레이하는 표시부; 및 제어부와 주변 제어장치 간 데이터를 송수신하여 요구명령을 입력받고 다수의 감지신호와 비교결과를 출력하기 위한 통신부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 표시부에는 디스플레이 화면을 통해 제어부의 작동을 조작하고, 입력포트별로 샘플링 튜브의 기준 압력을 설정하기 위한 터치입력부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 다수의 입력튜브는, 대기환경 측정 장치와 일정한 거리의 다수의 샘플링 튜브로부터 각각 분기되는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 제어부에서 입력포트별로 감지되는 감지신호와 입력포트별로 설정된 기준 압력을 비교한 비교결과가 설정값을 초과할 경우 알람을 발생시키는 알람부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 샘플링 튜브의 멀티 모니터링 장치는 반도체 클린룸 대기환경 측정을 위한 샘플링 튜브별 압력을 측정하여 모니터링할 뿐만 아니라 샘플링 튜브별 초기 기준 압력과의 변화를 통해 샘플링 튜브의 손상을 감지할 수 있어 샘플링 튜브의 손상으로 인한 오염상태를 제어하여 정확한 대기환경을 측정할 수 있도록 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 샘플링 튜브의 멀티 모니터링 장치를 나타낸 블록 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 샘플링 튜브의 멀티 모니터링 장치의 설치상태를 나타낸 예시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 샘플링 튜브의 멀티 모니터링 장치에서 샘플링 튜브의 길이별 압력변화를 나타낸 예시 그래프이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 샘플링 튜브의 멀티 모니터링 장치를 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. 또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 샘플링 튜브의 멀티 모니터링 장치를 나타낸 블록 구성도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 샘플링 튜브의 멀티 모니터링 장치의 설치상태를 나타낸 예시도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 샘플링 튜브의 멀티 모니터링 장치에서 샘플링 튜브의 길이별 압력변화를 나타낸 예시 그래프이다.
도 1에 도시된 바와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 샘플링 튜브의 멀티 모니터링 장치는, 압력감지부(20), 저장부(60), 제어부(30), 표시부(40) 및 통신부(70)를 비롯하여 터치입력부(50) 및 알람부(80)를 포함할 수 있다.
압력감지부(20)는 클린룸 내 대기환경을 측정하기 위한 대기환경 측정 장치(300)와 연결된 다수의 샘플링 튜브(310)로부터 각각 분기된 다수의 입력튜브(10)와 결합되어 각각 압력을 감지하여 제어부(30)에 제공할 수 있다.
여기서, 입력튜브(10)는 대기환경 측정 장치(300)와 일정한 거리의 다수의 샘플링 튜브(310)로부터 각각 분기되어 위치에 따른 압력변화를 최소화하는 것이 바람직하다.
도 2에 도시된 바와 같이 대기환경 측정 장치(300)는 클린룸(200) 내에 천장(210)에 포설된 샘플링 튜브(310)를 통해 클린룸(200) 내 대기를 진공펌프(미도시)를 통해 흡입하여 클린룸(200) 내 대기환경을 측정한다.
이때 압력감지부(20)는 다수의 샘플링 튜브(310)에 설치되어 대기환경 측정 장치에서 대기환경 측정으로 위해 클린룸(200)의 대기를 흡입할 때 샘플링 튜브(310)에 부여되는 압력을 측정하게 된다.
즉, 압력감지부(20)는 샘플링 튜브로부터 분기된 입력튜브(10)와 결합되어 압력센서(미도시)를 통해 측정된 감지신호를 제어부(30)에 제공할 수 있다.
저장부(60)는 압력감지부(20)의 입력포트(25)별로 감지되는 샘플링 튜브(310)의 기준 압력을 저장하여 샘플링 튜브(310)의 손상여부를 판단하도록 제공할 수 있다.
샘플링 튜브(310)의 초기 기준 압력은 도 3에 도시된 바와 같이 대기환경 측정 장치(300)에서 동일한 펌프압으로 대기를 흡입하더라도 샘플링 튜브(310)의 길이에 따라 진공도가 달라지기 때문에 저장부(60)에는 샘플링 튜브(310)의 규격, 길이, 펌프압 등에 따른 초기 기준 압력을 모두 저장할 수 있다.
따라서 저장부(60)에 저장된 데이터에 기초하여 압력감지부(20)의 각 입력포트(25)를 통해 감지되는 샘플링 튜브(310)에 대해 기준 압력을 선택하여 설정할 수도 있다.
제어부(30)는 압력감지부(20)로부터 입력되는 다수의 감지신호를 출력하여 모니터링 할 수 있도록 하고, 입력포트(25)별로 감지되는 감지신호와 입력포트(25)별로 설정된 각각의 기준 압력을 비교하여 비교결과를 출력할 수 있다.
또한, 제어부(30)는 감지신호와 비교결과를 주변 제어장치를 통해 출력할 수도 있다.
표시부(40)는 멀티 모니터링 장치(100)의 전면에 설치되어 제어부(30)의 작동상태를 디스플레이할 수 있다.
또한, 표시부(40)에는 디스플레이 화면을 통해 제어부(30)의 작동을 조작하고, 입력포트(25)별로 샘플링 튜브(310)의 기준 압력을 입력하기 위한 터치입력부(50)가 포함될 수 있다.
따라서, 제어부(30)는 터치입력부(50)를 통해 메뉴가 입력될 경우 입력포트(25)별로 샘플링 튜브(310)의 기준 압력을 입력하거나 저장부(60)에 저장된 샘플링 튜브(310)의 길이에 따른 기준 압력을 선택하여 설정할 수 있도록 하며, 알람이 발생된 로그를 저장부(60)에 저장한 후 검색할 수 있도록 페이지를 전환하면서 제공할 수 있다.
알람부(80)는 제어부(30)에서 입력포트(25)별로 감지되는 감지신호와 각 기준 압력을 비교한 비교결과가 설정값을 초과할 경우 알람을 발생시켜 청각적으로 이상상태를 인식하도록 할 수 있다.
통신부(70)는 제어부(30)와 주변 제어장치 간 데이터를 송수신하여 요구명령을 입력받고 다수의 감지신호와 비교결과를 출력할 수 있다.
여기서 통신부(70)는 RS232, RS485 및 TCP/IP 중 하나 이상의 통신방식을 제공하여 다양한 통신방식에 대응할 수 있도록 한다.
예를 들어, 주변 제어장치인 대기환경 측정 장치(300)나 중앙서버(400)에서도 통신부(70)를 통해 제어부(30)와 데이터를 송수신하면서 감지신호와 비교결과를 입력받아 모니터링 할 수 있을 뿐만 아니라 요구명령을 출력하여 제어부(30)의 작동을 제어할 수 있도록 한다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 의한 샘플링 튜브의 멀티 모니터링 장치에 따르면, 반도체 클린룸 대기환경 측정을 위한 샘플링 튜브별 압력을 측정하여 모니터링할 뿐만 아니라 샘플링 튜브별 초기 기준 압력과의 변화를 통해 샘플링 튜브의 손상을 감지할 수 있어 샘플링 튜브의 손상으로 인한 오염상태를 제어하여 정확한 대기환경을 측정할 수 있도록 한다.
본 명세서에서 설명된 구현은, 예컨대, 방법 또는 프로세스, 장치, 소프트웨어 프로그램, 데이터 스트림 또는 신호로 구현될 수 있다. 단일 형태의 구현의 맥락에서만 논의(예컨대, 방법으로서만 논의)되었더라도, 논의된 특징의 구현은 또한 다른 형태(예컨대, 장치 또는 프로그램)로도 구현될 수 있다. 장치는 적절한 하드웨어, 소프트웨어 및 펌웨어 등으로 구현될 수 있다. 방법은, 예컨대, 컴퓨터, 마이크로프로세서, 집적 회로 또는 프로그래밍 가능한 로직 디바이스 등을 포함하는 프로세싱 디바이스를 일반적으로 지칭하는 프로세서 등과 같은 장치에서 구현될 수 있다. 프로세서는 또한 최종-사용자 사이에 정보의 통신을 용이하게 하는 컴퓨터, 셀 폰, 휴대용/개인용 정보 단말기(personal digital assistant: "PDA") 및 다른 디바이스 등과 같은 통신 디바이스를 포함한다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.
따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 아래의 청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.
10 : 입력튜브 20 : 압력감지부
25 : 입력포트 30 : 제어부
40 : 표시부 50 : 터치입력부
60 : 저장부 70 : 통신부
80 : 알람부 100 : 멀티 모니터링 장치
200 : 클린룸 210 : 천장
300 : 대기환경 측정 장치 400 : 중앙서버

Claims (4)

  1. 클린룸 내 대기환경을 측정하기 위한 대기환경 측정 장치와 연결된 다수의 샘플링 튜브로부터 각각 분기된 다수의 입력튜브와 결합되어 압력을 감지하는 압력감지부;
    상기 압력감지부로부터 입력포트별로 감지되는 상기 샘플링 튜브의 기준 압력을 저장하는 저장부;
    상기 압력감지부로부터 입력된 다수의 감지신호를 출력하고, 상기 입력포트별로 감지되는 상기 감지신호와 입력포트별로 설정된 기준 압력을 비교하여 비교결과를 출력하는 제어부;
    상기 제어부의 작동상태를 디스플레이하는 표시부; 및
    상기 제어부와 주변 제어장치 간 데이터를 송수신하여 요구명령을 입력받고 다수의 상기 감지신호와 상기 비교결과를 출력하기 위한 통신부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 샘플링 튜브의 멀티 모니터링 장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 표시부에는 디스플레이 화면을 통해 상기 제어부의 작동을 조작하고, 상기 입력포트별로 상기 샘플링 튜브의 상기 기준 압력을 설정하기 위한 터치입력부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 샘플링 튜브의 멀티 모니터링 장치.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 다수의 입력튜브는, 상기 대기환경 측정 장치와 일정한 거리의 상기 다수의 샘플링 튜브로부터 각각 분기되는 것을 특징으로 하는 샘플링 튜브의 멀티 모니터링 장치.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 제어부에서 상기 입력포트별로 입력되는 상기 감지신호와 상기 입력포트별로 설정된 상기 기준 압력을 비교한 상기 비교결과가 설정값을 초과할 경우 알람을 발생시키는 알람부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 샘플링 튜브의 멀티 모니터링 장치.
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