KR102252472B1 - Light emittng device - Google Patents

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Abstract

실시예는 기판; 상기 기판 상에 배치되고 베이스층과 상기 베이스층 상의 복수 개의 돌출 구조물을 포함하는 제1 도전형 반도체층; 상기 각각의 돌출 구조물의 측면과 상부면에 배치된 활성층 및 제2 도전형 반도체층; 및 상기 제1 도전형 반도체층 상에 배치되고, 상기 복수 개의 돌출 구조물을 나누는 마스크층을 더 포함하고, 상기 마스크층은 상기 베이스층 상의 제1 마스크층과 상기 제1 마스크층 상의 제2 마스크층을 포함하고, 상기 제1 마스크층의 굴절률이 상기 제2 마스크층의 굴절률보다 작은 발광소자를 제공한다.Examples include a substrate; A first conductivity type semiconductor layer disposed on the substrate and including a base layer and a plurality of protruding structures on the base layer; An active layer and a second conductivity type semiconductor layer disposed on side surfaces and upper surfaces of each of the protruding structures; And a mask layer disposed on the first conductivity type semiconductor layer and dividing the plurality of protruding structures, wherein the mask layer includes a first mask layer on the base layer and a second mask layer on the first mask layer And a light emitting device having a refractive index of the first mask layer smaller than that of the second mask layer.

Description

발광소자{LIGHT EMITTNG DEVICE}Light emitting device {LIGHT EMITTNG DEVICE}

실시예는 발광소자에 관한 것으로 보다 상세하게는, 발광 구조물의 품질이 향상되고 광추출 효율을 향상시키고자 하는 것이다.The embodiment relates to a light-emitting device, and more particularly, to improve the quality of a light-emitting structure and to improve light extraction efficiency.

GaN, AlGaN 등의 3-5 족 화합물 반도체는 넓고 조정이 용이한 밴드 갭 에너지를 가지는 등의 많은 장점으로 인해 광 전자 공학 분야(optoelectronics)와 전자 소자를 위해 등에 널리 사용된다.Group 3-5 compound semiconductors such as GaN and AlGaN are widely used in optoelectronics and electronic devices due to their many advantages, such as having a wide and easily adjustable band gap energy.

특히, 반도체의 3-5족 또는 2-6족 화합물 반도체 물질을 이용한 발광 다이오드(Ligit Emitting Diode)나 레이저 다이오드와 같은 발광소자는 박막 성장 기술 및 소자 재료의 개발로 적색, 녹색, 청색 및 자외선 등 다양한 색을 구현할 수 있으며, 형광 물질을 이용하거나 색을 조합함으로써 효율이 좋은 백색 광선도 구현이 가능하며, 형광등, 백열등 등 기존의 광원에 비해 저소비전력, 반영구적인 수명, 빠른 응답속도, 안전성, 환경친화성의 장점을 가진다.In particular, light-emitting devices such as Ligit Emitting Diodes and laser diodes using semiconductor materials of Group 3-5 or Group 2-6 compound are developed in thin film growth technology and device materials, such as red, green, blue, and ultraviolet rays. Various colors can be implemented, and efficient white light can be realized by using fluorescent materials or by combining colors. Low power consumption, semi-permanent life, fast response speed, safety, and environment compared to conventional light sources such as fluorescent lamps and incandescent lamps. It has the advantage of affinity.

따라서, 광 통신 수단의 송신 모듈, LCD(Liquid Crystal Display) 표시 장치의 백라이트를 구성하는 냉음극관(CCFL: Cold Cathode Fluorescence Lamp)을 대체하는 발광 다이오드 백라이트, 형광등이나 백열 전구를 대체할 수 있는 백색 발광 다이오드 조명 장치, 자동차 헤드 라이트 및 신호등에까지 응용이 확대되고 있다.Therefore, the transmission module of the optical communication means, a light-emitting diode backlight that replaces the Cold Cathode Fluorescence Lamp (CCFL) that constitutes the backlight of the LCD (Liquid Crystal Display) display, and white light that can replace a fluorescent lamp or incandescent light bulb. Applications are expanding to diode lighting devices, automobile headlights and traffic lights.

발광소자에서, 기판과 발광 구조물은 이종의 재료이므로 격자 상수 부정합(lattice mismatch)이 매우 크고 이들 사이에 열 팽창 계수 차이도 매우 크기 때문에, 결정성을 악화시키는 전위(dislocation), 멜트 백(melt-back), 크랙(crack), 피트(pit), 표면 모폴로지(surface morphology) 불량 등이 발생할 수 있다.In a light-emitting device, since the substrate and the light-emitting structure are heterogeneous materials, the lattice constant mismatch is very large, and the difference in the coefficient of thermal expansion between them is also very large. back), cracks, pits, and surface morphology defects may occur.

상술한 문제점을 해결하고자 발광 구조물을 기판과 발광 구조물 사이에 버퍼층을 형성할 수도 있으나, 전위가 여전히 형성되어 발광 구조물의 품질을 악화시킬 수도 있으며, 활성층에서 빛에너지가 아닌 발광 구조물에서 열에너지가 방출되어 발광소자 자체의 효율을 저하시킬 수 있다.In order to solve the above-described problem, a buffer layer may be formed between the substrate and the light emitting structure, but the potential is still formed and the quality of the light emitting structure may be deteriorated. The efficiency of the light emitting device itself can be reduced.

또한, 발광 구조물을 나노 로드 형상으로 제조하여 전위 등의 성장을 억제하는 시도가 있다.In addition, there are attempts to suppress the growth of dislocations and the like by manufacturing a light emitting structure in a nanorod shape.

도 1은 종래의 나노 로드 형상의 발광소자를 나타낸 도면이다.1 is a view showing a conventional nano-rod-shaped light emitting device.

종래의 발광소자(100)는 기판(112) 위에 적어도 하나의 질화물 반도체층(115)과, 적어도 하나의 질화물 반도체층(115) 위에 구비된 것으로 적어도 하나의 관통홀(116)을 포함하는 마스크층(117)과, 마스크층(117)의 관통홀(116)로부터 돌출되어 서로 이격되게 형성된 발광 나노 로드(126)들을 포함할 수 있다.The conventional light emitting device 100 is provided on at least one nitride semiconductor layer 115 and at least one nitride semiconductor layer 115 on the substrate 112 and includes at least one through hole 116. It may include 117 and light-emitting nanorods 126 protruding from the through hole 116 of the mask layer 117 and formed to be spaced apart from each other.

마스크층(17)은 리소그래피 공정에 의해 원하는 관통홀 패턴으로 식각하여 형성될 수 있고, 관통홀(116)은 예를 들어, 원형, 타원형, 다각형 등의 단면 형상을 가질 수 있다.The mask layer 17 may be formed by etching into a desired through-hole pattern by a lithography process, and the through-hole 116 may have a cross-sectional shape such as, for example, a circle, an ellipse, or a polygon.

마스크층(117) 상에는 나노 로드가 형성되지 않고, 상기 관통홀(116)을 통해 발광 나노 로드(126)가 형성될 수 있다. 발광 나노 로드(126)는 상기 관통홀(116)을 통해 성장된 나노 코어(120), 나노 코어(120) 표면에 형성된 발광층(123), 상기 발광층(123) 표면에 형성된 반도체층(125)을 포함할 수 있다. 발광층(123)은 나노 코어(120)로부터 방사형으로 성장되어 나노 코어(120)의 표면을 둘러싸는 형태가 될 수 있다.Nanorods are not formed on the mask layer 117, and light emitting nanorods 126 may be formed through the through holes 116. The light-emitting nano-rod 126 includes a nano-core 120 grown through the through hole 116, a light-emitting layer 123 formed on the surface of the nano-core 120, and a semiconductor layer 125 formed on the surface of the light-emitting layer 123. Can include. The emission layer 123 may be radially grown from the nano core 120 to surround the surface of the nano core 120.

나노 코어(120)에서 발광층(123)에 전자가 공급되고, 반도체층(125)에서 발광층(123)에 정공이 공급될 수 있으며, 발광층에서 전자와 정공의 결합에 의해 빛이 방출될 수 있다. 여기서, 발광 나노 로드들의 표면적을 통해 빛이 방출되며, 빛의 방출 면적이 넓어 발광 효율이 높을 수 있다.Electrons may be supplied to the emission layer 123 from the nano core 120, holes may be supplied to the emission layer 123 from the semiconductor layer 125, and light may be emitted by the combination of electrons and holes in the emission layer. Here, light is emitted through the surface area of the light-emitting nanorods, and the emission area of the light is wide, so that luminous efficiency may be high.

발광 나노 로드(126)들 사이의 상기 마스크층 상에 제1 충진층(130)이 형성될 수 있다. 제1 충진층(130)은 발광 나노 로드(126)의 높이보다 작은 높이로 형성될 수 있다. 제1 충진층(130)은 절연체로 형성될 수 있다.A first filling layer 130 may be formed on the mask layer between the light emitting nanorods 126. The first filling layer 130 may be formed to have a height smaller than the height of the light emitting nanorods 126. The first filling layer 130 may be formed of an insulator.

발광 나노 로드(126)와 제1 충진층(130)의 표면에 제1 도전층(133)이 구비될 수 있다. 그리고, 상기 발광 나노 로드 사이의 상기 제1 도전층(133) 상에 제2 충진층(135)이 구비될 수 있다. 상기 제2 충진층(135)은 절연체 또는 도전체로 형성될 수 있다.A first conductive layer 133 may be provided on the surfaces of the light emitting nanorods 126 and the first filling layer 130. In addition, a second filling layer 135 may be provided on the first conductive layer 133 between the light emitting nanorods. The second filling layer 135 may be formed of an insulator or a conductor.

제1 도전층(133)과 제2 충진층(135) 상에 제1 전극(137)이 구비될 수 있다. 상기 제1 전극(137)을 통해 전류가 주입되어 제1 도전층(133)을 통해 발광 나노 로드로 흐름으로써 전류 주입 효율을 높일 수 있다. 상기 마스크층(117)과 제1 충진층(130) 사이 및 반도체층(125)과 제1 충진층(130) 사이에 보호층(127)이 더 구비될 수 있다.The first electrode 137 may be provided on the first conductive layer 133 and the second filling layer 135. Current is injected through the first electrode 137 and flows through the first conductive layer 133 to the light emitting nanorods, thereby increasing current injection efficiency. A protective layer 127 may be further provided between the mask layer 117 and the first filling layer 130 and between the semiconductor layer 125 and the first filling layer 130.

제1 충진층(130)은 제1 전극(137)에서 주입된 전류가 제1 도전층(133)을 통해 흐를 때 발광층(123)으로 흐르지 않고, 다른 곳으로 누출되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 보호층(127)은 제1 충진층(130)이 마스크층(117)이나 반도체층(125)에 잘 부착되도록 함으로써 전류 누출 방지율을 더욱 높일 수 있고, 제1 충진층(130)과 보호층(127)은 발광층(123)에서 전자와 전공 결합률을 높일 수 있도록 기여할 수 있다.When the current injected from the first electrode 137 flows through the first conductive layer 133, the first filling layer 130 may prevent leakage to other places without flowing to the light emitting layer 123. In addition, the protective layer 127 can further increase the current leakage prevention rate by allowing the first filling layer 130 to be well attached to the mask layer 117 or the semiconductor layer 125, and the first filling layer 130 The over-protective layer 127 may contribute to increase the electron-hole bonding rate in the light-emitting layer 123.

그러나, 상술한 종래의 나노 로드 형상의 발광 소자는 다음과 같은 문제점이 있다.However, the conventional nanorod-shaped light emitting device described above has the following problems.

나노 로드 형상으로 발광 구조물을 제조할 때, 기판 방향으로 진행하는 빛이 기판에서 흡수되어 발광소자 전체의 광추출 효율이 저하될 수 있다.When manufacturing a light emitting structure in the shape of a nanorod, light traveling in the direction of the substrate is absorbed from the substrate, so that the light extraction efficiency of the entire light emitting device may be reduced.

실시예는 발광소자의 품질을 향상시키고 또한 광추출 효율을 향상시키고자 한다.The embodiment is intended to improve the quality of a light emitting device and also improve light extraction efficiency.

실시예는 기판; 상기 기판 상에 배치되고 베이스층과 상기 베이스층 상의 복수 개의 돌출 구조물을 포함하는 제1 도전형 반도체층; 상기 각각의 돌출 구조물의 측면과 상부면에 배치된 활성층 및 제2 도전형 반도체층; 및 상기 제1 도전형 반도체층 상에 배치되고, 상기 복수 개의 돌출 구조물을 나누는 마스크층을 더 포함하고, 상기 마스크층은 상기 베이스층 상의 제1 마스크층과 상기 제1 마스크층 상의 제2 마스크층을 포함하고, 상기 제1 마스크층의 굴절률이 상기 제2 마스크층의 굴절률보다 작은 발광소자를 제공한다.Examples include a substrate; A first conductivity type semiconductor layer disposed on the substrate and including a base layer and a plurality of protruding structures on the base layer; An active layer and a second conductivity type semiconductor layer disposed on side surfaces and upper surfaces of each of the protruding structures; And a mask layer disposed on the first conductivity type semiconductor layer and dividing the plurality of protruding structures, wherein the mask layer includes a first mask layer on the base layer and a second mask layer on the first mask layer And a light emitting device having a refractive index of the first mask layer smaller than that of the second mask layer.

기판은 글래스 기판, 사파이어 기판, 실리콘 기판 및 실리콘 카바이드 기판 중 어느 하나일 수 있다.The substrate may be any one of a glass substrate, a sapphire substrate, a silicon substrate, and a silicon carbide substrate.

제1 마스크층은 에어(air)로 이루어질 수 있다.The first mask layer may be formed of air.

제1 마스크층과 제2 마스크층 중 적어도 하나는 절연성일 수 있다.At least one of the first mask layer and the second mask layer may be insulating.

제1 마스크층의 두께는 λ/(4n1)일 수 있고, 여기서 λ는 상기 활성층에서 방출되는 빛의 파장이고, n1은 제1 마스크층의 굴절률이며, 제2 마스크층의 두께는 λ/(4n2)이고, n2은 제2 마스크층의 굴절률일 수 있다.The thickness of the first mask layer may be λ/(4n 1 ), where λ is the wavelength of light emitted from the active layer, n 1 is the refractive index of the first mask layer, and the thickness of the second mask layer is λ/ (4n 2 ), and n 2 may be a refractive index of the second mask layer.

제1 마스크층과 제2 마스크층은 적어도 2회 교대로 배치될 수 있다.The first mask layer and the second mask layer may be alternately disposed at least two times.

제1 마스크층과 제2 마스크층은 DBR(distributed Bragg reflector)을 이룰 수 있다.The first mask layer and the second mask layer may form a distributed Bragg reflector (DBR).

발광소자는 제2 마스크층 상에 배치된 제3 마스크층을 더 포함하고, 상기 제3 마스크층의 굴절률은 상기 제2 마스크층의 굴절률보다 클 수 있다.The light emitting device further includes a third mask layer disposed on the second mask layer, and a refractive index of the third mask layer may be greater than a refractive index of the second mask layer.

제1 마스크층과 제2 마스크층 및 제3 마스크층은 적어도 2회 교대로 배치될 수 잇다.The first mask layer, the second mask layer, and the third mask layer may be alternately disposed at least twice.

발광소자는 기판과 상기 베이스층 사이에 배치된 금속층을 더 포함할 수 있다.The light emitting device may further include a metal layer disposed between the substrate and the base layer.

본 실시예에 따른 발광소자는 마스크층가 굴절률이 작은 하부의 제1 마스크층과 굴절률이 큰 상부의 제2 마스크층로 이루어지거나, 마스크층의 아래에 에어가 배치되어 빛이 굴절률이 큰 매질에서 굴절률이 작은 매질로 진행할 때 입사각이 임계각보다 클 경우 경계면에서 전부 반사되어, 발광소자의 상부 방향으로 광추출 효율을 향상시킬 수 있다.In the light emitting device according to the present embodiment, the mask layer is formed of a lower first mask layer having a low refractive index and a second mask layer having a higher refractive index, or air is disposed under the mask layer, so that light has a refractive index in a medium having a high refractive index. When proceeding with this small medium, if the incident angle is greater than the critical angle, the entire surface is reflected at the interface, thereby improving the light extraction efficiency toward the upper direction of the light emitting device.

도 1은 종래의 나노 로드 형상의 발광소자를 나타낸 도면이고,
도 2a는 발광소자의 제1 실시예를 나타낸 도면이고,
도 2b는 도 2a의 'A' 영역을 상세히 나타낸 도면이고,
도 2c는 발광소자의 제2 실시예를 나타낸 도면이고,
도 3a 내지 도 3d는 마스크층의 일실시예들을 나타낸 도면이고,
도 4a 내지 도 4f는 마스크층의 실시예들에 따른 반사도를 나타낸 도면이고,
도 5a는 발광소자의 제3 실시예를 나타낸 도면이고,
도 5b는 도 5a의 'C' 영역을 상세히 나타낸 도면이고,
도 5c는 발광소자의 제4 실시예를 나타낸 도면이고,
도 6a는 발광소자의 제5 실시예를 나타낸 도면이고,
도 6b는 발광소자의 제6 실시예를 나타낸 도면이고,
도 7은 발광소자가 배치된 발광소자 패키지의 일실시예를 나타낸 도면이고,
도 8은 발광소자가 배치된 영상표시장치의 일실시예를 나타낸 도면이고,
도 9는 발광소자가 배치된 조명장치의 일실시예를 나타낸 도면이다.
1 is a view showing a conventional nano-rod-shaped light emitting device,
2A is a view showing a first embodiment of a light emitting device,
FIG. 2B is a diagram showing in detail area'A' of FIG. 2A,
2C is a view showing a second embodiment of a light emitting device,
3A to 3D are views showing exemplary embodiments of a mask layer,
4A to 4F are views showing reflectivity according to embodiments of a mask layer,
5A is a view showing a third embodiment of a light emitting device,
FIG. 5B is a detailed diagram showing area'C' of FIG. 5A,
5C is a view showing a fourth embodiment of a light emitting device,
6A is a view showing a fifth embodiment of a light emitting device,
6B is a view showing a sixth embodiment of a light emitting device,
7 is a view showing an embodiment of a light emitting device package in which the light emitting device is arranged,
8 is a diagram showing an embodiment of an image display device in which a light emitting device is disposed,
9 is a diagram showing an embodiment of a lighting device in which a light emitting device is disposed.

이하 상기의 목적을 구체적으로 실현할 수 있는 본 발명의 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention capable of realizing the above object will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 실시예의 설명에 있어서, 각 element의 " 상(위) 또는 하(아래)(on or under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, 상(위) 또는 하(아래)(on or under)는 두개의 element가 서로 직접(directly)접촉되거나 하나 이상의 다른 element가 상기 두 element사이에 배치되어(indirectly) 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 “상(위) 또는 하(아래)(on or under)”으로 표현되는 경우 하나의 element를 기준으로 위쪽 방향 뿐만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함할 수 있다.In the description of the embodiment according to the present invention, in the case where it is described as being formed in "on or under" of each element, the upper (upper) or lower (lower) (on or under) includes both elements in direct contact with each other or in which one or more other elements are indirectly formed between the two elements. In addition, when expressed as “on or under”, it may include not only an upward direction but also a downward direction based on one element.

도 2a는 발광소자의 제1 실시예를 나타낸 도면이고, 도 2b는 도 2a의 'A' 영역을 상세히 나타낸 도면이다.FIG. 2A is a diagram illustrating a first embodiment of a light emitting device, and FIG. 2B is a diagram illustrating a region'A' in FIG. 2A in detail.

실시예에 따른 발광소자(200a)는, 기판(210), 기판(210) 상의 발광 구조물(220), 각각의 돌출 구조물(222b) 사이에 배치되고 제1 마스크층(281)과 제2 마스크층(282)을 포함하는 마스크층(280), 각각의 돌출 구조물(222b) 둘레의 제2 도전형 반도체층(226) 사이의 갭(gap)을 채우는 갭 필링층(filling layer, 250), 상기 갭 필링층(250) 상에 배치되는 투명 도전층(260)과, 제1 전극(290)과 제2 전극(295)를 포함할 수 있다.The light emitting device 200a according to the embodiment is disposed between the substrate 210, the light emitting structure 220 on the substrate 210, and each of the protruding structures 222b, and the first mask layer 281 and the second mask layer A mask layer 280 including 282, a gap filling layer 250 filling a gap between the second conductive semiconductor layers 226 around each of the protruding structures 222b, the gap A transparent conductive layer 260 disposed on the filling layer 250, and a first electrode 290 and a second electrode 295 may be included.

기판(210)은 반도체 물질 성장에 적합한 물질이나 캐리어 웨이퍼로 형성될 수 있으며, 열 전도성이 뛰어난 물질로 형성될 수 있고, 전도성 기판 또는 절연성 기판을 포함할 수 있다. 예컨대, 사파이어(Al2O3), SiO2, SiC, Si, GaAs, GaN, ZnO, GaP, InP, Ge, Ga203 중 적어도 하나를 사용할 수 있다.The substrate 210 may be formed of a material suitable for growth of a semiconductor material or a carrier wafer, may be formed of a material having excellent thermal conductivity, and may include a conductive substrate or an insulating substrate. For example, at least one of sapphire (Al 2 O 3 ), SiO 2 , SiC, Si, GaAs, GaN, ZnO, GaP, InP, Ge, Ga 2 0 3 may be used.

사파이어 등으로 기판(210)을 형성하고, 기판(210) 상에 GaN이나 AlGaN 등을 포함하는 발광구조물(220)이 배치될 때, GaN이나 AlGaN과 사파이어 사이의 격자 부정합(lattice mismatch)이 매우 크고 이들 사이에 열 팽창 계수 차이도 매우 크기 때문에, 결정성을 악화시키는 전위(dislocation), 멜트 백(melt-back), 크랙(crack), 피트(pit), 표면 모폴로지(surface morphology) 불량 등이 발생할 수 있으므로, AlN 등으로 버퍼층(미도시)을 형성할 수 있다.When the substrate 210 is formed of sapphire or the like, and the light emitting structure 220 including GaN or AlGaN is disposed on the substrate 210, the lattice mismatch between GaN or AlGaN and sapphire is very large. Since the difference in the coefficient of thermal expansion between them is also very large, dislocation, melt-back, crack, pit, and surface morphology defects that deteriorate crystallinity occur. Therefore, a buffer layer (not shown) may be formed of AlN or the like.

도시되지는 않았으나, 버퍼층(미도시)과 발광구조물(220)의 사이에는 언도프드 GaN층이나 AlGaN층이 배치되어, 발광구조물(220) 내로 상술한 전위 등이 전달되는 것을 방지할 수 있다.Although not shown, an undoped GaN layer or an AlGaN layer is disposed between the buffer layer (not shown) and the light emitting structure 220, so that the above-described electric potential or the like can be prevented from being transferred into the light emitting structure 220.

발광 구조물(220)은 제1 도전형 반도체층(222)과 활성층(224) 및 제2 도전형 반도체층(226)을 포함하여 이루어진다.The light emitting structure 220 includes a first conductivity type semiconductor layer 222, an active layer 224 and a second conductivity type semiconductor layer 226.

제1 도전형 반도체층(222)은 베이스층(222a)과 돌출 구조물(222b)을 포함하는데, 베이스층(222a)은 기판(210)의 전면 상에 얇은 박막으로 형성될 수 있고, 돌출 구조물(222b)은 베이스층(222a) 상에 복수 개의 돌출 구조물이 성장되어 이루어진다.The first conductivity type semiconductor layer 222 includes a base layer 222a and a protruding structure 222b, and the base layer 222a may be formed as a thin film on the entire surface of the substrate 210, and the protruding structure ( 222b) is formed by growing a plurality of protruding structures on the base layer 222a.

돌출 구조물(222b)은 도시된 바와 같이 베이스층(222a)으로부터 수직한 방향으로 측면이 배치되고, 상부면은 상기 측면과 둔각을 이루며 배치되고 있다. 또한, 후술하는 바와같이 돌출 구조물(222b)의 상부면은 플랫하여 상기 측면과 직각으로 구비될 수도 있다.As shown, the side surface of the protruding structure 222b is disposed in a vertical direction from the base layer 222a, and the upper surface is disposed at an obtuse angle with the side surface. In addition, as will be described later, the upper surface of the protruding structure 222b is flat and may be provided at a right angle to the side surface.

돌출 구조물(222b)은 수평 방향의 크기(R)이 나노 스케일이나, 경우에 따라서 10 마이크로 미터 내외의 스케일을 가질 수 있다. 돌출 구조물(222b)의 수평 방향의 크기(R)은 인접한 마스크층(280) 사이의 거리(d)보다 클 수 있으며, 예를 들면 R은 d의 2배 이상일 수 있다. 상술한 거리(d)는 베이스층(222a)으로부터 돌출 구조물(222b)이 성장될 수 있는, 인접한 마스크층(280) 사이의 개구부의 직경일 수 있다.The protruding structure 222b has a size R in the horizontal direction on a nano scale, but may have a scale of about 10 micrometers in some cases. The size R of the protruding structure 222b in the horizontal direction may be greater than the distance d between the adjacent mask layers 280, for example, R may be twice or more of d. The above-described distance (d) may be a diameter of an opening between adjacent mask layers 280 through which the protruding structure 222b can be grown from the base layer 222a.

제1 도전형 반도체층(222)에서 베이스층(222a)의 높이(h1)는 100 나노미터 내지 10 마이크로 미터일 수 있는데, 100 나노미터보다 작으면 제1 도전형 반도체층(222)의 성장에 충분하지 않을 수 있고, 10 마이크로 미터보다 크면 발광 구조물(220)의 두께가 너무 증가할 수 있다. The height h 1 of the base layer 222a in the first conductivity-type semiconductor layer 222 may be 100 nanometers to 10 micrometers, and if it is less than 100 nanometers, the growth of the first conductivity-type semiconductor layer 222 May not be sufficient, and if it is larger than 10 micrometers, the thickness of the light emitting structure 220 may increase too much.

돌출 구조물(222b)의 높이(h2)와 돌출 구조물(222b) 사이의 피치(pitch. P)은, 발광 구조물(220)에서 방출되는 빛의 파장과 광량에 따라 다를 수 있다.The height h 2 of the protruding structure 222b and the pitch P between the protruding structure 222b may vary depending on the wavelength and amount of light emitted from the light emitting structure 220.

돌출 구조물은 단면이 6각 기둥이거나 원형 또는 다각형일 수 있고, 각각의 돌출 구조물은 규칙적인 배열 외에 불규칙하게도 배치될 수 있으며, 각각의 돌출 구조물의 크기나 형상은 서로 같을 수 있으나 다를 수도 있다.The protruding structure may have a hexagonal column, circular or polygonal cross section, and each protruding structure may be arranged irregularly in addition to a regular arrangement, and the size or shape of each protruding structure may be the same, but may be different.

도 2a에서, 베이스층(222a)과 돌출 구조물(222b)을 점선으로 구획하고 있으나 동일한 재료로 이루어질 수 있고, 마스크층(280)을 사용하기 이전과 이후에 각각 성장될 수 있다.In FIG. 2A, although the base layer 222a and the protruding structure 222b are partitioned by a dotted line, they may be made of the same material, and may be grown before and after using the mask layer 280, respectively.

마스크층(280)은 제1 마스크층(281)과 제2 마스크층(282)을 포함하여 이루어질 수 있는데, 제1 마스크층(281)은 베이스층(222a) 상에 배치되고, 제2 마스크층(282)은 제1 마스크층(281) 상에 배치될 수 있다.The mask layer 280 may include a first mask layer 281 and a second mask layer 282, wherein the first mask layer 281 is disposed on the base layer 222a, and the second mask layer The 282 may be disposed on the first mask layer 281.

마스크층(280)은 복수 개의 돌출 구조물(222b)을 나누어 마스크층(280)에 의하여 인접한 돌출 구조물(222b)이 구분될 수 있으며, 제1 마스크층(281)의 굴절률이 제2 마스크층(282)의 굴절률보다 작을 수 있다.The mask layer 280 may divide a plurality of protruding structures 222b to separate adjacent protruding structures 222b by the mask layer 280, and the refractive index of the first mask layer 281 is the second mask layer 282 It may be less than the refractive index of ).

마스크층(280)의 이러한 구조는 빛의 전반사 현상을 이용하여 발광소자(200a)의 광추출 효율을 향상시키기 위한 것으로, 빛이 굴절률이 큰 매질에서 굴절률이 작은 매질로 진행할 때 입사각이 임계각보다 클 경우 경계면에서 전부 반사되는 원리가 적용된다.This structure of the mask layer 280 is to improve the light extraction efficiency of the light emitting device 200a by using the total reflection of light, and the incident angle is greater than the critical angle when light proceeds from a medium having a large refractive index to a medium having a small refractive index. In this case, the principle of all reflection at the interface is applied.

즉, 도 2b에 도시된 바와 같이 활성층(224)에서 방출된 빛 중 아래 방향으로 진행하나 빛은 제2 마스크층(282)을 지나서 제1 마스크층(281)을 향할 수 있는데, 이때 제2 마스크층(282)의 굴절률이 제1 마스크층(281)보다 커서 임계각보다 큰 각도로 제2 마스크층(282)으로부터 제1 마스크층(281)로 진행한 빛은 제1 마스크층(281)의 표면에서 모두 반사되어 도 2b에서 윗 방향으로 향할 수 있다.That is, as shown in FIG. 2B, among the light emitted from the active layer 224, the light proceeds downward, but the light passes through the second mask layer 282 and may be directed toward the first mask layer 281. In this case, the second mask Since the refractive index of the layer 282 is greater than the first mask layer 281, light traveling from the second mask layer 282 to the first mask layer 281 at an angle greater than the critical angle is the surface of the first mask layer 281. All are reflected from and can be directed upward in FIG. 2B.

또한, 제1 마스크층(281)과 제2 마스크층(282)은 각각 절연물질로 이루어져서, 전류가 제2 도전형 반도체층(226)을 흐를 때 다른 곳으로 전류가 누출되는 것을 방지할 수 있다.In addition, since the first mask layer 281 and the second mask layer 282 are each made of an insulating material, it is possible to prevent current from leaking to other places when current flows through the second conductivity type semiconductor layer 226. .

제1 도전형 반도체층(222)은 Ⅲ-Ⅴ족, Ⅱ-Ⅵ족 등의 화합물 반도체로 구현될 수 있으며, 제1 도전형 도펀트가 도핑되어 제1 도전형의 반도체층일 수 있다. 제1 도전형 반도체층(222)은 AlxInyGa(1-x-y)N (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질, AlGaN, GaN, InAlGaN, AlGaAs, GaP, GaAs, GaAsP, AlGaInP 중 어느 하나 이상으로 형성될 수 있다.The first conductivity type semiconductor layer 222 may be implemented as a compound semiconductor such as a III-V group or a II-VI group, and may be a first conductivity type semiconductor layer doped with a first conductivity type dopant. The first conductivity type semiconductor layer 222 is a semiconductor material having a composition formula of Al x In y Ga (1-xy) N (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1), AlGaN , GaN, InAlGaN, AlGaAs, GaP, GaAs, GaAsP, AlGaInP may be formed of any one or more.

제1 도전형 반도체층(222)이 n형 반도체층인 경우, 제1 도전형 도펀트는 Si, Ge, Sn, Se, Te 등과 같은 n형 도펀트를 포함할 수 있다. 제1 도전형 반도체층(222)은 단층 또는 다층으로 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.When the first conductivity-type semiconductor layer 222 is an n-type semiconductor layer, the first conductivity-type dopant may include an n-type dopant such as Si, Ge, Sn, Se, and Te. The first conductivity-type semiconductor layer 222 may be formed as a single layer or multiple layers, but is not limited thereto.

활성층(224)과 제2 도전형 반도체층(226)은 돌출 구조물(222b)의 상부면과 측면, 그리고 마스크층(280)의 일부 영역의 위에 얇은 박막으로 각각 형성될 수 있다.The active layer 224 and the second conductivity-type semiconductor layer 226 may be formed as thin films on top and side surfaces of the protruding structure 222b and on a partial region of the mask layer 280, respectively.

활성층(224)은 제1 도전형 반도체층(222)의 측면과 상부면에 배치되며, 단일 우물 구조(Double Hetero Structure), 다중 우물 구조, 단일 양자 우물 구조, 다중 양자 우물(MQW:Multi Quantum Well) 구조, 양자점 구조 또는 양자선 구조 중 어느 하나를 포함할 수 있다.The active layer 224 is disposed on the side and upper surfaces of the first conductivity-type semiconductor layer 222, a single well structure (Double Hetero Structure), a multiple well structure, a single quantum well structure, a multi-quantum well (MQW: Multi Quantum Well). ) It may include any one of a structure, a quantum dot structure, or a quantum wire structure.

활성층(224)은 Ⅲ-Ⅴ족 원소의 화합물 반도체 재료를 이용하여 우물층과 장벽층, 예를 들면 AlGaN/AlGaN, InGaN/GaN, InGaN/InGaN, AlGaN/GaN, InAlGaN/GaN, GaAs(InGaAs)/AlGaAs, GaP(InGaP)/AlGaP 중 어느 하나 이상의 페어 구조로 형성될 수 있으나 이에 한정되지는 않는다. 우물층은 장벽층의 에너지 밴드 갭보다 작은 에너지 밴드 갭을 갖는 물질로 형성될 수 있다.The active layer 224 is a well layer and a barrier layer, such as AlGaN/AlGaN, InGaN/GaN, InGaN/InGaN, AlGaN/GaN, InAlGaN/GaN, GaAs (InGaAs), using a compound semiconductor material of group III-V element /AlGaAs, GaP (InGaP) / AlGaP may be formed in any one or more pair structure, but is not limited thereto. The well layer may be formed of a material having an energy band gap smaller than the energy band gap of the barrier layer.

제2 도전형 반도체층(226)은 활성층(224)의 표면에 반도체 화합물로 형성될 수 있다. 제2 도전형 반도체층(226)은 Ⅲ-Ⅴ족, Ⅱ-Ⅵ족 등의 화합물 반도체로 구현될 수 있으며, 제2 도전형 도펀트가 도핑될 수 있다. 제2 도전형 반도체층(226)은 예컨대, InxAlyGa1 -x-yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질, AlGaN, GaN AlInN, AlGaAs, GaP, GaAs, GaAsP, AlGaInP 중 어느 하나 이상으로 형성될 수 있으며, 예를 들어 제2 도전형 반도체층(226)이 AlxGa(1-x)N으로 이루어질 수 있다.The second conductivity type semiconductor layer 226 may be formed of a semiconductor compound on the surface of the active layer 224. The second conductivity type semiconductor layer 226 may be implemented as a compound semiconductor such as Group III-V or Group II-VI, and may be doped with a second conductivity type dopant. The second conductivity type semiconductor layer 226 is, for example, a semiconductor material having a composition formula of In x Al y Ga 1 -xy N (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1), AlGaN , GaN AlInN, AlGaAs, GaP, GaAs, GaAsP, AlGaInP may be formed of any one or more, for example, the second conductivity type semiconductor layer 226 may be formed of Al x Ga (1-x) N.

제2 도전형 반도체층(226)은 제2 도전형 도펀트가 도핑되어 제2 도전형의 반도체층일 수 있는데, 제2 도전형 반도체층(226)이 p형 반도체층일 경우 제2 도전형 도펀트는 Mg, Zn, Ca, Sr, Ba 등과 같은 p형 도펀트일 수 있다. 제2 도전형 반도체층(226)은 단층 또는 다층으로 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The second conductivity type semiconductor layer 226 may be a second conductivity type semiconductor layer doped with a second conductivity type dopant. When the second conductivity type semiconductor layer 226 is a p type semiconductor layer, the second conductivity type dopant is Mg , Zn, Ca, Sr, Ba, etc. may be a p-type dopant. The second conductivity-type semiconductor layer 226 may be formed as a single layer or multiple layers, but is not limited thereto.

도시되지는 않았으나, 활성층(224)과 제2 도전형 반도체층(226)의 사이에는 전자 차단층(Electron blocking layer)이 배치될 수 있다. 전자 차단층은 초격자(superlattice) 구조로 이루어질 수 있는데, 초격자는 예를 들어 제2 도전형 도펀트로 도핑된 AlGaN이 배치될 수 있고, 알루미늄의 조성비를 달리하는 GaN이 층(layer)을 이루어 복수 개 서로 교번하여 배치될 수도 있다.Although not shown, an electron blocking layer may be disposed between the active layer 224 and the second conductivity type semiconductor layer 226. The electron blocking layer may have a superlattice structure, for example, AlGaN doped with a second conductivity type dopant may be disposed, and GaN having a different composition ratio of aluminum is formed as a layer. A plurality of them may be arranged alternately with each other.

각각의 돌출 구조물(222b) 주변에 배치된 제2 도전형 반도체층(226) 사이의 갭(gap)을 채우며 갭 필링층(filling layer, 250)이 배치되는데, 갭 필링층(250)은 절연성 물질 또는 도전성 물질로 이루어질 수 있고, 갭 필링층(250)이 절연성 물질로 이루어질 경우 절연물질은 비전도성인 산화물이나 질화물로 이루어질 수 있고, 보다 상세하게는 실리콘 산화물(SiO2)층, 산화 질화물층, 산화 알루미늄층으로 이루어질 수 있으며, 이때 제2 전극(295)으로부터 공급된 전류가 제2 도전형 반도체층(226)의 표면으로 집중될 수 있다.A gap filling layer 250 is disposed while filling a gap between the second conductivity-type semiconductor layers 226 disposed around each of the protruding structures 222b, and the gap filling layer 250 is an insulating material. Alternatively, it may be made of a conductive material, and when the gap filling layer 250 is made of an insulating material, the insulating material may be made of a non-conductive oxide or nitride, and more specifically, a silicon oxide (SiO 2 ) layer, an oxynitride layer, The aluminum oxide layer may be formed, and in this case, the current supplied from the second electrode 295 may be concentrated to the surface of the second conductivity type semiconductor layer 226.

그리고, 도시되지는 않았으나 제2 도전형 반도체층(226)과 갭 필링층(250)의 사이에는 도전층이 배치되어, 제2 도전형 반도체층(226)의 전 영역에 고르게 전류가 주입되게 할 수 있다.In addition, although not shown, a conductive layer is disposed between the second conductivity type semiconductor layer 226 and the gap filling layer 250 so that current is evenly injected into the entire area of the second conductivity type semiconductor layer 226. I can.

갭 필링층(250) 상에는 투명 도전층(260)이 배치되는데, 투명 도전층(260)의 일부는 돌출 구조물(222b) 상의 제2 도전형 반도체층(226)과 접촉할 수 있다.A transparent conductive layer 260 is disposed on the gap filling layer 250, and a part of the transparent conductive layer 260 may contact the second conductive type semiconductor layer 226 on the protruding structure 222b.

돌출 구조물(222b) 사이에 갭 필링층(250)이 형성되어 나노 스케일 또는 마이크로 스케일의 돌출 구조물를 안정적으로 지지하고, 돌출 구조물(222b)과 갭 필링층(250)의 상부에 투명 도전층(260)이 형성되어 제2 전극(295)을 안정적으로 지지할 수 있다.A gap-filling layer 250 is formed between the protruding structures 222b to stably support a nano-scale or micro-scale protruding structure, and a transparent conductive layer 260 on top of the protruding structure 222b and the gap-filling layer 250 Is formed to stably support the second electrode 295.

제1 전극(290)은 제1 도전형 반도체층(222) 중 베이스층(222a)의 일부가 노출된 영역에 형성될 수 있다. 제1 전극(290)과 제2 전극(295)은 알루미늄(Al), 티타늄(Ti), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 구리(Cu), 금(Au) 중 적어도 하나를 포함하여 단층 또는 다층 구조로 형성될 수 있으며, 각각 와이어(미도시)에 연결될 수 있다.The first electrode 290 may be formed in a region of the first conductivity type semiconductor layer 222 in which a part of the base layer 222a is exposed. The first electrode 290 and the second electrode 295 include at least one of aluminum (Al), titanium (Ti), chromium (Cr), nickel (Ni), copper (Cu), and gold (Au). Alternatively, it may be formed in a multi-layered structure, and each may be connected to a wire (not shown).

도 2c는 발광소자의 제2 실시예를 나타낸 도면이다.2C is a view showing a second embodiment of a light emitting device.

도 2c에 도시된 실시예에 따른 발광소자(200b)는 도 2a에 도시된 실시예와 유사하나, 돌출 구조물(222b)의 상부면이 플랫하여 측면과 직각으로 구비되고 있다. 도 2c의 'B' 영역에서 방출된 빛이 제1 마스크층(281)과 제2 마스크층(282)의 경계면에서 전반사를 하는 것도 도 2b에 도시된 것과 동일할 수 있다.The light emitting device 200b according to the embodiment shown in FIG. 2C is similar to the embodiment shown in FIG. 2A, but the upper surface of the protruding structure 222b is flat and is provided at a right angle to the side surface. It may be the same as that of FIG. 2B that the light emitted from region'B' of FIG. 2C performs total reflection at the interface between the first mask layer 281 and the second mask layer 282.

도 3a 내지 도 3d는 마스크층의 일실시예들을 나타낸 도면이다. 이하에서, 도 3a 내지 도 3d를 참조하여 발광소자 내의 마스크층의 일실시예들을 설명한다.3A to 3D are diagrams illustrating exemplary embodiments of a mask layer. Hereinafter, exemplary embodiments of a mask layer in a light emitting device will be described with reference to FIGS. 3A to 3D.

제1 마스크층(281)과 제2 마스크층(282) 중 적어도 하나는 절연성 물질로 이루어질 수 있고, 제1 마스크층(281)과 제2 마스크층(282)이 DBR(distributed Bragg reflector)을 이루어 광반사 효과를 향상시킬 수 있다.At least one of the first mask layer 281 and the second mask layer 282 may be made of an insulating material, and the first mask layer 281 and the second mask layer 282 form a distributed Bragg reflector (DBR). The light reflection effect can be improved.

DBR을 이루기 위하여, 제1 마스크층(281)의 두께가 λ/(4n1)일 수 있는데, 이때 λ는 활성층(224)되는 빛의 파장이고, n1은 제1 마스크층(281)의 굴절률이다. 그리고, 제2 마스크층(282)의 두께는 λ/(4n2)일 수 있는데 n2은 제2 마스크층(282)의 굴절률일 수 있다.In order to achieve the DBR, the thickness of the first mask layer 281 may be λ/(4n 1 ), where λ is the wavelength of light applied to the active layer 224, and n 1 is the refractive index of the first mask layer 281 to be. In addition, the thickness of the second mask layer 282 may be λ/(4n 2 ), and n 2 may be the refractive index of the second mask layer 282.

도 3a에 도시된 바와 같이 제1 마스크층(281)과 제2 마스크층(282)이 각각 2회씩 교대로 배치되어 마스크층(280)을 이룰 수 있고, 도 3b에 도시된 바와 같이 제1 마스크층(281)과 제2 마스크층(282)이 각각 3회 이상씩 교대로 배치되어 마스크층(280)을 이룰 수도 있다. 이때, 제1 마스크층(281)의 굴절률은 제2 마스크층(282)의 굴절률보다 작을 수 있다.As shown in FIG. 3A, the first mask layer 281 and the second mask layer 282 are alternately disposed twice to form the mask layer 280, and as shown in FIG. 3B, the first mask layer 281 and the second mask layer 282 are alternately disposed. The layer 281 and the second mask layer 282 may be alternately disposed three or more times to form the mask layer 280. In this case, the refractive index of the first mask layer 281 may be smaller than the refractive index of the second mask layer 282.

또한, 다른 실시예에 따르면 마스크층(280)은 제1 마스크층(281)과 제2 마스크층(282) 외에 제3 마스크층(283)을 포함할 수 있는데, 도 3c에 도시된 바와 같이 제1 마스크층(281)과 제2 마스크층(282)과 제3 마스크층(283)이 각각 2회씩 교대로 배치되어 마스크층(280)을 이룰 수 있고, 도 3d에 도시된 바와 같이 제1 마스크층(281)과 제2 마스크층(282)과 제3 마스크층(283)이 각각 3회 이상씩 교대로 배치되어 마스크층(280)을 이룰 수도 있다. 이때, 제1 마스크층(281)의 굴절률은 제2 마스크층(282)의 굴절률보다 작고, 제2 마스크층(282)의 굴절률은 제3 마스크층(283)의 굴절률보다 작을 수 있다.In addition, according to another embodiment, the mask layer 280 may include a third mask layer 283 in addition to the first mask layer 281 and the second mask layer 282, as shown in FIG. 3C. The first mask layer 281, the second mask layer 282, and the third mask layer 283 may be alternately disposed twice to form the mask layer 280, as shown in FIG. 3D. The layer 281, the second mask layer 282, and the third mask layer 283 may be alternately disposed three or more times to form the mask layer 280. In this case, the refractive index of the first mask layer 281 may be smaller than the refractive index of the second mask layer 282, and the refractive index of the second mask layer 282 may be smaller than the refractive index of the third mask layer 283.

도 4a 내지 도 4f는 마스크층의 실시예들에 따른 반사도를 나타낸 도면이다.4A to 4F are diagrams illustrating reflectance of a mask layer according to exemplary embodiments.

도 4a에 도시된 실시예에서 굴절률 1.46의 SiO2가 제1 마스크층을 이루고 굴절률 1.83의 Ta2O3가 제2 마스크층을 이루고 있고, 실선은 제1 마스크층과 제2 마스크층가 1회 배치된 경우를, 점선은 제1 마스크층과 제2 마스크층가 각각 2회씩 배치된 경우를, 그리고 긴 점선은 제1 마스크층과 제2 마스크층가 각각 3회씩 배치된 경우를 나타내는데, 제1 마스크층과 제2 마스크층의 반복 배치 횟수가 증가할수록 특히 400 나노미터 내지 550 나노미터의 파장 영역에서 광반사 효율이 증가함을 알 수 있다. 이때, 제1 마스크층과 제2 마스크층의 두께는 각각 78.51 나노미터와 62.87일 수 있다.In the embodiment shown in FIG. 4A, SiO 2 having a refractive index of 1.46 forms a first mask layer, Ta 2 O 3 having a refractive index of 1.83 forms a second mask layer, and a solid line indicates that the first mask layer and the second mask layer are disposed once. The dotted line indicates the case where the first mask layer and the second mask layer are disposed twice, and the long dotted line indicates the case where the first mask layer and the second mask layer are disposed three times, respectively. It can be seen that as the number of repetitive arrangements of the second mask layer increases, the light reflection efficiency increases, particularly in the wavelength range of 400 nanometers to 550 nanometers. In this case, the thicknesses of the first mask layer and the second mask layer may be 78.51 nanometers and 62.87, respectively.

도 4b에 도시된 실시예에서 굴절률 1.46의 SiO2가 제1 마스크층을 이루고 굴절률 1.95의 HfO2가 제2 마스크층을 이루고 있고, 실선은 제1 마스크층과 제2 마스크층가 1회 배치된 경우를, 점선은 제1 마스크층과 제2 마스크층가 각각 2회씩 배치된 경우를, 그리고 긴 점선은 제1 마스크층과 제2 마스크층가 각각 3회씩 배치된 경우를 나타내는데, 제1 마스크층과 제2 마스크층의 반복 배치 횟수가 증가할수록 특히 400 나노미터 내지 550 나노미터의 파장 영역에서 광반사 효율이 증가함을 알 수 있다. 이때, 제1 마스크층과 제2 마스크층의 두께는 각각 78.51 나노미터와 58.79일 수 있다.In the embodiment shown in FIG. 4B, SiO 2 having a refractive index of 1.46 forms the first mask layer, HfO 2 having a refractive index of 1.95 forms the second mask layer, and the solid line indicates the case where the first mask layer and the second mask layer are disposed once. The dotted line represents the case where the first mask layer and the second mask layer are disposed twice, and the long dotted line indicates the case where the first mask layer and the second mask layer are disposed three times, respectively. It can be seen that as the number of repetitive arrangements of the mask layer increases, the light reflection efficiency increases, particularly in the wavelength range of 400 nanometers to 550 nanometers. In this case, the thicknesses of the first mask layer and the second mask layer may be 78.51 nanometers and 58.79, respectively.

도 4c에 도시된 실시예에서 굴절률 1.46의 SiO2가 제1 마스크층을 이루고 굴절률 2.23의 ZrO2가 제2 마스크층을 이루고 있고, 실선은 제1 마스크층과 제2 마스크층가 1회 배치된 경우를, 점선은 제1 마스크층과 제2 마스크층가 각각 2회씩 배치된 경우를, 그리고 긴 점선은 제1 마스크층과 제2 마스크층가 각각 3회씩 배치된 경우를 나타내는데, 제1 마스크층과 제2 마스크층의 반복 배치 횟수가 증가할수록 특히 400 나노미터 내지 550 나노미터의 파장 영역에서 광반사 효율이 증가함을 알 수 있다. 이때, 제1 마스크층과 제2 마스크층의 두께는 각각 78.51 나노미터와 56.71일 수 있다.In the embodiment shown in FIG. 4C, SiO 2 having a refractive index of 1.46 forms the first mask layer, ZrO 2 having a refractive index of 2.23 forms the second mask layer, and the solid line indicates the case where the first mask layer and the second mask layer are disposed once. The dotted line represents the case where the first mask layer and the second mask layer are disposed twice, and the long dotted line indicates the case where the first mask layer and the second mask layer are disposed three times, respectively. It can be seen that as the number of repetitive arrangements of the mask layer increases, the light reflection efficiency increases, particularly in the wavelength range of 400 nanometers to 550 nanometers. In this case, the thicknesses of the first mask layer and the second mask layer may be 78.51 nanometers and 56.71, respectively.

도 4d에 도시된 실시예에서 굴절률 1.46의 SiO2가 제1 마스크층을 이루고 굴절률 3.13의 TiO2가 제2 마스크층을 이루고 있고, 실선은 제1 마스크층과 제2 마스크층가 1회 배치된 경우를, 점선은 제1 마스크층과 제2 마스크층가 각각 2회씩 배치된 경우를, 그리고 긴 점선은 제1 마스크층과 제2 마스크층가 각각 3회씩 배치된 경우를 나타내는데, 제1 마스크층과 제2 마스크층의 반복 배치 횟수가 증가할수록 특히 400 나노미터 내지 550 나노미터의 파장 영역에서 광반사 효율이 증가함을 알 수 있다. 이때, 제1 마스크층과 제2 마스크층의 두께는 각각 78.51 나노미터와 36.74일 수 있다.In the embodiment shown in FIG. 4D, SiO 2 having a refractive index of 1.46 forms the first mask layer, TiO 2 having a refractive index of 3.13 forms the second mask layer, and the solid line indicates the case where the first mask layer and the second mask layer are disposed once. The dotted line represents the case where the first mask layer and the second mask layer are disposed twice, and the long dotted line indicates the case where the first mask layer and the second mask layer are disposed three times, respectively. It can be seen that as the number of repetitive arrangements of the mask layer increases, the light reflection efficiency increases, particularly in the wavelength range of 400 nanometers to 550 nanometers. In this case, the thicknesses of the first mask layer and the second mask layer may be 78.51 nanometers and 36.74, respectively.

도4e 및 도 4e는 상술한 도 4a 내지 도 4d에서 제1 마스크층과 제2 마스크층가 각각 1회씩 배치된 경우와, 2회씩 배치된 경우의 광반사율을 비교하고 있다.4E and 4E compare the light reflectance when the first mask layer and the second mask layer are disposed once and twice in FIGS. 4A to 4D described above.

제1 마스크층로 SiO2를 사용할 때, 굴절률 차이가 가장 큰 TiO2로 제2 마스크층을 사용하면 광반사율이 가장 우수한 것을 알 수 있으며, 제1 마스크층과 제2 마스크층가 1회씩 배치된 도 4e보다 2회씩 배치된 도 4f가 광반사율이 더 우수하다.When SiO 2 is used as the first mask layer, it can be seen that the light reflectance is the best when the second mask layer is used with TiO 2 , which has the largest difference in refractive index, and the first mask layer and the second mask layer are disposed once at a time. The light reflectance of FIG. 4F, which is disposed twice than that of 4e, is better.

도 5a는 발광소자의 제3 실시예를 나타낸 도면이고, 도 5b는 도 5a의 'C' 영역을 상세히 나타낸 도면이다.FIG. 5A is a view showing a third embodiment of a light emitting device, and FIG. 5B is a diagram showing a region'C' of FIG. 5A in detail.

본 실시예에 따른 발광소자(200c)는 도 2a에 도시된 발광소자(200a)와 유사하나, 도 2a에 도시된 발광소자(200a)에서 제1 마스크층(281)과 제2 마스크층(282)에 각각 대응되어 본 실시예에 따른 발광소자(200c)는 에어(270)와 마스크층(280)이 배치된 점이 상이하다.The light emitting device 200c according to this embodiment is similar to the light emitting device 200a shown in FIG. 2A, but in the light emitting device 200a shown in FIG. 2A, the first mask layer 281 and the second mask layer 282 Each of the light emitting devices 200c according to the present embodiment differs in that the air 270 and the mask layer 280 are disposed.

즉, 굴절률 1인 에어(air, 270)이 배치되고, 에어(270) 상에 굴절률이 1보다 큰 마스크층(280)이 배치되어 , 빛이 굴절률이 큰 마스크층(280)에서 굴절률이 작은 에어(270)로 진행할 때 입사각이 임계각보다 클 경우 경계면에서 전부 반사될 수 있다.That is, air 270 having a refractive index of 1 is disposed, and a mask layer 280 having a refractive index greater than 1 is disposed on the air 270, so that light is air having a small refractive index in the mask layer 280 having a large refractive index. When proceeding to 270, if the angle of incidence is greater than the critical angle, it may be completely reflected at the interface.

도 5c는 발광소자의 제4 실시예를 나타낸 도면이다.5C is a view showing a fourth embodiment of a light emitting device.

도 5c에 도시된 실시예에 따른 발광소자(200b)는 도 5a에 도시된 실시예와 유사하나, 돌출 구조물(222b)의 상부면이 플랫하여 측면과 직각으로 구비되고 있다. 도 5c의 'D' 영역에서 방출된 빛이 에어(270)와 마스크층(280)의 경계면에서 전반사를 하는 것도 도 5a에 도시된 것과 동일할 수 있다.The light emitting device 200b according to the embodiment shown in FIG. 5C is similar to the embodiment shown in FIG. 5A, but the upper surface of the protruding structure 222b is flat and is provided at a right angle to the side surface. It may be the same as that shown in FIG. 5A that the light emitted from region'D' of FIG. 5C performs total reflection at the interface between the air 270 and the mask layer 280.

도 6a는 발광소자의 제5 실시예를 나타낸 도면이고, 도 6b는 발광소자의 제6 실시예를 나타낸 도면이다.6A is a view showing a fifth embodiment of a light emitting device, and FIG. 6B is a view showing a sixth embodiment of the light emitting device.

본 실시예들에 따른 발광소자(20e, 200f)는 도 2a와 도 5a에 도시된 발광소자(200a, 200c)와 유사하나, 기판(210)과 베이스층(222a)의 사이에 금속층(215)이 배치된 차이점이 있다. 즉, 기판(210)으로 비도전성의 글래스(glass)를 사용할 수 있고, 이때 기판(210) 상에 금속층(215)을 형성하고 금속층(215) 위에 질화물계 반도체층으로 발광 구조물(220)을 성장시킬 수 있다. 본 실시예에서 비도전성의 글래스를 기판(210)으로 사용하고, 기판(210)과 발광 구조물(220) 사이에 금속층(215)을 형성하는 구성은, 상술한 실시예들에 따른 발광소자에 모두 적용될 수 있다.The light emitting devices 20e and 200f according to the present embodiments are similar to the light emitting devices 200a and 200c shown in FIGS. 2A and 5A, but a metal layer 215 between the substrate 210 and the base layer 222a There is a difference in this arrangement. That is, a non-conductive glass can be used as the substrate 210, and at this time, a metal layer 215 is formed on the substrate 210 and the light emitting structure 220 is grown as a nitride-based semiconductor layer on the metal layer 215. I can make it. In this embodiment, the non-conductive glass is used as the substrate 210 and the metal layer 215 is formed between the substrate 210 and the light emitting structure 220. Can be applied.

상술한 실시예들에서 돌출 구조물은 단면이 6각 기둥이거나 원형 또는 다각형일 수 있고, 각각의 돌출 구조물은 규칙적인 배열 외에 불규칙하게도 배치될 수 있으며, 각각의 돌출 구조물의 크기나 형상은 서로 같을 수 있으나 다를 수도 있다.In the above-described embodiments, the protruding structure may have a hexagonal column or a circular or polygonal cross section, and each protruding structure may be arranged irregularly in addition to a regular arrangement, and the size or shape of each protruding structure may be the same. However, it may be different.

도 7은 발광소자가 배치된 발광소자 패키지의 일실시예를 나타낸 도면이다.7 is a view showing an embodiment of a light emitting device package in which the light emitting device is disposed.

실시예에 따른 발광소자 패키지(300)는 캐비티를 포함하는 몸체(310)와, 상기 몸체(310)에 설치된 제1 리드 프레임(Lead Frame, 321) 및 제2 리드 프레임(322)과, 상기 몸체(310)에 설치되어 상기 제1 리드 프레임(321) 및 제2 리드 프레임(322)과 각각 전기적으로 연결되는 상술한 실시예들에 따른 발광소자(200)와, 상기 캐비티에 형성된 몰딩부(350)를 포함한다.The light emitting device package 300 according to the embodiment includes a body 310 including a cavity, a first lead frame 321 and a second lead frame 322 installed on the body 310, and the body The light emitting device 200 according to the above-described embodiments installed on the first lead frame 321 and the second lead frame 322 and electrically connected to the first lead frame 321 and the second lead frame 322, and a molding part 350 formed in the cavity. ).

몸체(310)는 실리콘 재질, 합성수지 재질, 또는 금속 재질을 포함하여 형성될 수 있다. 상기 몸체(310)가 금속 재질 등 도전성 물질로 이루어지면, 도시되지는 않았으나 상기 몸체(310)의 표면에 절연층이 코팅되어 상기 제1,2 리드 프레임(321, 322) 간의 전기적 단락을 방지할 수 있다.The body 310 may be formed of a silicon material, a synthetic resin material, or a metal material. When the body 310 is made of a conductive material such as a metal material, although not shown, an insulating layer is coated on the surface of the body 310 to prevent an electrical short between the first and second lead frames 321 and 322. I can.

제1 리드 프레임(321) 및 제2 리드 프레임(322)은 서로 전기적으로 분리되며, 상기 발광소자(200)에 전류를 공급한다. 또한, 제1 리드 프레임(321) 및 제2 리드 프레임(322)은 발광소자(200)에서 발생된 광을 반사시켜 광 효율을 증가시킬 수 있으며, 발광소자(200)에서 발생된 열을 외부로 배출시킬 수도 있다.The first lead frame 321 and the second lead frame 322 are electrically separated from each other and supply current to the light emitting device 200. In addition, the first lead frame 321 and the second lead frame 322 may reflect light generated from the light emitting device 200 to increase light efficiency, and transfer heat generated from the light emitting device 200 to the outside. It can also be discharged.

발광소자(200)는 상술한 200a~200f에 도시된 실시예에 따른 발광소자일 수 있다.The light emitting device 200 may be a light emitting device according to the embodiment shown in 200a to 200f described above.

발광소자(200)는 제1 리드 프레임(321)에 도전성 페이스트(330) 등으로 고정될 수 있고, 발광소자(200)의 전극은 제2 리드 프레임에 와이어(290)로 본딩될 수 있다.The light emitting device 200 may be fixed to the first lead frame 321 with a conductive paste 330 or the like, and the electrode of the light emitting device 200 may be bonded to the second lead frame with a wire 290.

상기 몰딩부(350)는 상기 발광소자(200)를 포위하여 보호할 수 있다. 또한, 상기 몰딩부(350) 상에는 형광체(360)가 포함될 수 있다. 이러한 구조는 형광체(360)가 분포되어, 발광소자(200)로부터 방출되는 빛의 파장을 발광소자 패키지(300)의 빛이 출사되는 전 영역에서 변환시킬 수 있다.The molding part 350 may surround and protect the light emitting device 200. In addition, a phosphor 360 may be included on the molding part 350. In this structure, since the phosphors 360 are distributed, the wavelength of light emitted from the light emitting device 200 can be converted in the entire area where the light is emitted from the light emitting device package 300.

발광소자 패키지(300)는 상술한 실시예들에 따른 발광소자 중 하나 또는 복수 개로 탑재할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The light emitting device package 300 may be mounted as one or a plurality of light emitting devices according to the above-described embodiments, but is not limited thereto.

이하에서는 상술한 발광소자 패키지가 배치된 조명 시스템의 일실시예로서, 영상표시장치와 조명장치를 설명한다.Hereinafter, as an embodiment of a lighting system in which the above-described light emitting device package is disposed, an image display device and a lighting device will be described.

도 8은 발광소자가 배치된 영상표시장치의 일실시예를 나타낸 도면이다.8 is a diagram showing an embodiment of an image display device in which a light emitting device is disposed.

도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 영상표시장치(500)는 광원 모듈과, 바텀 커버(510) 상의 반사판(520)과, 상기 반사판(520)의 전방에 배치되며 상기 광원모듈에서 방출되는 빛을 영상표시장치 전방으로 가이드하는 도광판(540)과, 상기 도광판(540)의 전방에 배치되는 제1 프리즘시트(550)와 제2 프리즘시트(560)와, 상기 제2 프리즘시트(560)의 전방에 배치되는 패널(570)과 상기 패널(570)의 전반에 배치되는 컬러필터(580)를 포함하여 이루어진다.As shown, the image display device 500 according to the present embodiment includes a light source module, a reflector 520 on the bottom cover 510, and light emitted from the light source module disposed in front of the reflector 520. The first prism sheet 550 and the second prism sheet 560 and the second prism sheet 560 disposed in front of the light guide plate 540 to guide the image display device in front of the light guide plate 540 It includes a panel 570 disposed in front and a color filter 580 disposed in the entirety of the panel 570.

광원 모듈은 회로 기판(530) 상의 발광소자 패키지(535)를 포함하여 이루어진다. 여기서, 회로 기판(530)은 PCB 등이 사용될 수 있고, 발광소자 패키지(535)의 발광소자는 상술한 바와 같다.The light source module includes a light emitting device package 535 on the circuit board 530. Here, the circuit board 530 may be a PCB or the like, and the light emitting device of the light emitting device package 535 is as described above.

바텀 커버(510)는 영상표시장치(500) 내의 구성 요소들을 수납할 수 있다. 반사판(520)은 본 도면처럼 별도의 구성요소로 마련될 수도 있고, 도광판(540)의 후면이나, 상기 바텀 커버(510)의 전면에 반사도가 높은 물질로 코팅되는 형태로 마련되는 것도 가능하다.The bottom cover 510 may accommodate components in the image display device 500. The reflector 520 may be provided as a separate component as shown in this drawing, or may be provided in a form coated with a material having high reflectivity on the rear surface of the light guide plate 540 or the front surface of the bottom cover 510.

반사판(520)은 반사율이 높고 초박형으로 사용 가능한 소재를 사용할 수 있고, 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PolyEthylene Terephtalate; PET)를 사용할 수 있다.The reflector 520 may use a material that has high reflectivity and can be used in an ultra-thin type, and may use polyethylene terephtalate (PET).

도광판(540)은 발광소자 패키지 모듈에서 방출되는 빛을 산란시켜 그 빛이 액정 표시 장치의 화면 전영역에 걸쳐 균일하게 분포되도록 한다. 따라서, 도광판(530)은 굴절률과 투과율이 좋은 재료로 이루어지는데, 폴리메틸메타크릴레이트(PolyMethylMethAcrylate; PMMA), 폴리카보네이트(PolyCarbonate; PC), 또는 폴리에틸렌(PolyEthylene; PE) 등으로 형성될 수 있다. 또한, 도광판(540)이 생략되면 에어 가이드 방식의 표시장치가 구현될 수 있다.The light guide plate 540 scatters light emitted from the light emitting device package module so that the light is uniformly distributed over the entire screen area of the liquid crystal display. Accordingly, the light guide plate 530 is made of a material having a good refractive index and transmittance, and may be formed of polymethylmethacrylate (PMMA), polycarbonate (PC), or polyethylene (PolyEthylene; PE). In addition, when the light guide plate 540 is omitted, an air guide type display device may be implemented.

상기 제1 프리즘 시트(550)는 지지필름의 일면에, 투광성이면서 탄성을 갖는 중합체 재료로 형성되는데, 상기 중합체는 복수 개의 입체구조가 반복적으로 형성된 프리즘층을 가질 수 있다. 여기서, 상기 복수 개의 패턴은 도시된 바와 같이 마루와 골이 반복적으로 스트라이프 타입으로 구비될 수 있다.The first prism sheet 550 is formed of a light-transmitting and elastic polymer material on one surface of the support film, and the polymer may have a prism layer in which a plurality of three-dimensional structures are repeatedly formed. Here, the plurality of patterns may be repeatedly provided in a stripe type of floors and valleys as shown.

상기 제2 프리즘 시트(560)에서 지지필름 일면의 마루와 골의 방향은, 상기 제1 프리즘 시트(550) 내의 지지필름 일면의 마루와 골의 방향과 수직할 수 있다. 이는 광원 모듈과 반사시트로부터 전달된 빛을 상기 패널(570)의 전방향으로 고르게 분산하기 위함이다.In the second prism sheet 560, a direction of a floor and a valley on one side of the support film may be perpendicular to a direction of a floor and a valley on one surface of the support film in the first prism sheet 550. This is to evenly distribute the light transmitted from the light source module and the reflective sheet in all directions of the panel 570.

본 실시예에서 상기 제1 프리즘시트(550)과 제2 프리즘시트(560)가 광학시트를 이루는데, 상기 광학시트는 다른 조합 예를 들어, 마이크로 렌즈 어레이로 이루어지거나 확산시트와 마이크로 렌즈 어레이의 조합 또는 하나의 프리즘 시트와 마이크로 렌즈 어레이의 조합 등으로 이루어질 수 있다.In this embodiment, the first prism sheet 550 and the second prism sheet 560 form an optical sheet, and the optical sheet is formed of a different combination, for example, a microlens array, or a diffusion sheet and a microlens array. It may be made of a combination or a combination of a single prism sheet and a micro lens array.

상기 패널(570)은 액정 표시 패널(Liquid crystal display)가 배치될 수 있는데, 액정 표시 패널(560) 외에 광원을 필요로 하는 다른 종류의 디스플레이 장치가 구비될 수 있다.The panel 570 may include a liquid crystal display. In addition to the liquid crystal display panel 560, other types of display devices requiring a light source may be provided.

상기 패널(570)은, 유리 바디 사이에 액정이 위치하고 빛의 편광성을 이용하기 위해 편광판을 양 유리바디에 올린 상태로 되어있다. 여기서, 액정은 액체와 고체의 중간적인 특성을 가지는데, 액체처럼 유동성을 갖는 유기분자인 액정이 결정처럼 규칙적으로 배열된 상태를 갖는 것으로, 상기 분자 배열이 외부 전계에 의해 변화되는 성질을 이용하여 화상을 표시한다.The panel 570 is in a state in which a liquid crystal is placed between the glass bodies and a polarizing plate is placed on both glass bodies in order to utilize the polarization of light. Here, the liquid crystal has an intermediate characteristic between a liquid and a solid, and the liquid crystal, which is an organic molecule having fluidity like a liquid, has a state that is regularly arranged like a crystal, and the molecular arrangement is changed by an external electric field. Display an image.

표시장치에 사용되는 액정 표시 패널은, 액티브 매트릭스(Active Matrix) 방식으로서, 각 화소에 공급되는 전압을 조절하는 스위치로서 트랜지스터를 사용한다.A liquid crystal display panel used in a display device is an active matrix type, and uses a transistor as a switch for controlling a voltage supplied to each pixel.

상기 패널(570)의 전면에는 컬러 필터(580)가 구비되어 상기 패널(570)에서 투사된 빛을, 각각의 화소마다 적색과 녹색 및 청색의 빛만을 투과하므로 화상을 표현할 수 있다.A color filter 580 is provided on the front surface of the panel 570 to transmit light projected from the panel 570 and transmit only red, green, and blue light for each pixel, thereby displaying an image.

도 9는 발광소자가 배치된 조명장치의 일실시예를 나타낸 도면이다.9 is a diagram showing an embodiment of a lighting device in which a light emitting device is disposed.

본 실시예에 따른 조명 장치는 커버(1100), 광원 모듈(1200), 방열체(1400), 전원 제공부(1600), 내부 케이스(1700), 소켓(1800)을 포함할 수 있다. 또한, 실시 예에 따른 조명 장치는 부재(1300)와 홀더(1500) 중 어느 하나 이상을 더 포함할 수 있고, 광원 모듈(1200)은 상술한 실시예들에 따른 발광소자 패키지를 포함할 수 있다.The lighting device according to the present embodiment may include a cover 1100, a light source module 1200, a radiator 1400, a power supply unit 1600, an inner case 1700, and a socket 1800. In addition, the lighting device according to the embodiment may further include any one or more of the member 1300 and the holder 1500, and the light source module 1200 may include a light emitting device package according to the above-described embodiments. .

커버(1100)는 벌브(bulb) 또는 반구의 형상을 가지며, 속이 비어 있고, 일 부분이 개구된 형상으로 제공될 수 있다. 상기 커버(1100)는 상기 광원 모듈(1200)과 광학적으로 결합될 수 있다. 예를 들어, 상기 커버(1100)는 상기 광원 모듈(1200)로부터 제공되는 빛을 확산, 산란 또는 여기 시킬 수 있다. 상기 커버(1100)는 일종의 광학 부재일 수 있다. 상기 커버(1100)는 상기 방열체(1400)와 결합될 수 있다. 상기 커버(1100)는 상기 방열체(1400)와 결합하는 결합부를 가질 수 있다.The cover 1100 has a shape of a bulb or a hemisphere, is hollow, and may be provided in an open shape. The cover 1100 may be optically coupled to the light source module 1200. For example, the cover 1100 may diffuse, scatter, or excite light provided from the light source module 1200. The cover 1100 may be a kind of optical member. The cover 1100 may be coupled to the radiator 1400. The cover 1100 may have a coupling portion coupled to the radiator 1400.

커버(1100)의 내면에는 유백색 도료가 코팅될 수 있다. 유백색의 도료는 빛을 확산시키는 확산재를 포함할 수 있다. 상기 커버(1100)의 내면의 표면 거칠기는 상기 커버(1100)의 외면의 표면 거칠기보다 크게 형성될 수 있다. 이는 상기 광원 모듈(1200)로부터의 빛이 충분히 산란 및 확산되어 외부로 방출시키기 위함이다.A milky white paint may be coated on the inner surface of the cover 1100. The milky white paint may include a diffuser that diffuses light. The surface roughness of the inner surface of the cover 1100 may be greater than the surface roughness of the outer surface of the cover 1100. This is to allow the light from the light source module 1200 to be sufficiently scattered and diffused to be emitted to the outside.

커버(1100)의 재질은 유리(glass), 플라스틱, 폴리프로필렌(PP), 폴리에틸렌(PE), 폴리카보네이트(PC) 등일 수 있다. 여기서, 폴리카보네이트는내광성, 내열성, 강도가 뛰어나다. 상기 커버(1100)는 외부에서 상기 광원 모듈(1200)이 보이도록 투명할 수 있고, 불투명할 수 있다. 상기 커버(1100)는 블로우(blow) 성형을 통해 형성될 수 있다.The material of the cover 1100 may be glass, plastic, polypropylene (PP), polyethylene (PE), polycarbonate (PC), or the like. Here, polycarbonate is excellent in light resistance, heat resistance, and strength. The cover 1100 may be transparent or opaque so that the light source module 1200 can be seen from the outside. The cover 1100 may be formed through blow molding.

광원 모듈(1200)은 상기 방열체(1400)의 일 면에 배치될 수 있다. 따라서, 광원 모듈(1200)로부터의 열은 상기 방열체(1400)로 전도된다. 상기 광원 모듈(1200)은 발광소자 패키지(1210), 연결 플레이트(1230), 커넥터(1250)를 포함할 수 있다.The light source module 1200 may be disposed on one surface of the radiator 1400. Accordingly, heat from the light source module 1200 is conducted to the radiator 1400. The light source module 1200 may include a light emitting device package 1210, a connection plate 1230, and a connector 1250.

부재(1300)는 상기 방열체(1400)의 상면 위에 배치되고, 복수의 발광소자 패키지(1210)들과 커넥터(1250)이 삽입되는 가이드홈(1310)들을 갖는다. 가이드홈(1310)은 상기 발광소자 패키지(1210)의 기판 및 커넥터(1250)와 대응된다.The member 1300 is disposed on the upper surface of the radiator 1400 and has guide grooves 1310 into which a plurality of light emitting device packages 1210 and a connector 1250 are inserted. The guide groove 1310 corresponds to the substrate and the connector 1250 of the light emitting device package 1210.

부재(1300)의 표면은 빛 반사 물질로 도포 또는 코팅된 것일 수 있다. 예를 들면, 부재(1300)의 표면은 백색의 도료로 도포 또는 코팅된 것일 수 있다. 이러한 상기 부재(1300)는 상기 커버(1100)의 내면에 반사되어 상기 광원 모듈(1200)측 방향으로 되돌아오는 빛을 다시 상기 커버(1100) 방향으로 반사한다. 따라서, 실시 예에 따른 조명 장치의 광 효율을 향상시킬 수 있다.The surface of the member 1300 may be coated or coated with a light reflective material. For example, the surface of the member 1300 may be coated or coated with a white paint. The member 1300 reflects light reflected on the inner surface of the cover 1100 and returned toward the light source module 1200 toward the cover 1100. Therefore, it is possible to improve the light efficiency of the lighting device according to the embodiment.

부재(1300)는 예로서 절연 물질로 이루어질 수 있다. 상기 광원 모듈(1200)의 연결 플레이트(1230)는 전기 전도성의 물질을 포함할 수 있다. 따라서, 상기 방열체(1400)와 상기 연결 플레이트(1230) 사이에 전기적인 접촉이 이루어질 수 있다. 상기 부재(1300)는 절연 물질로 구성되어 상기 연결 플레이트(1230)와 상기 방열체(1400)의 전기적 단락을 차단할 수 있다. 상기 방열체(1400)는 상기 광원 모듈(1200)로부터의 열과 상기 전원 제공부(1600)로부터의 열을 전달받아 방열한다.The member 1300 may be made of an insulating material, for example. The connection plate 1230 of the light source module 1200 may include an electrically conductive material. Accordingly, electrical contact may be made between the radiator 1400 and the connection plate 1230. The member 1300 is made of an insulating material to block an electrical short between the connection plate 1230 and the radiator 1400. The radiator 1400 receives heat from the light source module 1200 and heat from the power supply unit 1600 to radiate heat.

홀더(1500)는 내부 케이스(1700)의 절연부(1710)의 수납홈(1719)을 막는다. 따라서, 상기 내부 케이스(1700)의 상기 절연부(1710)에 수납되는 상기 전원 제공부(1600)는 밀폐된다. 홀더(1500)는 가이드 돌출부(1510)를 갖는다. 가이드 돌출부(1510)는 상기 전원 제공부(1600)의 돌출부(1610)가 관통하는 홀을 갖는다.The holder 1500 blocks the receiving groove 1919 of the insulating part 1710 of the inner case 1700. Accordingly, the power supply unit 1600 accommodated in the insulating unit 1710 of the inner case 1700 is sealed. The holder 1500 has a guide protrusion 1510. The guide protrusion 1510 has a hole through which the protrusion 1610 of the power supply unit 1600 passes.

전원 제공부(1600)는 외부로부터 제공받은 전기적 신호를 처리 또는 변환하여 상기 광원 모듈(1200)로 제공한다. 전원 제공부(1600)는 상기 내부 케이스(1700)의 수납홈(1719)에 수납되고, 상기 홀더(1500)에 의해 상기 내부 케이스(1700)의 내부에 밀폐된다. 상기 전원 제공부(1600)는 돌출부(1610), 가이드부(1630), 베이스(1650), 연장부(1670)를 포함할 수 있다.The power supply unit 1600 processes or converts an electrical signal provided from the outside and provides it to the light source module 1200. The power supply unit 1600 is accommodated in the storage groove 1719 of the inner case 1700 and is sealed inside the inner case 1700 by the holder 1500. The power supply unit 1600 may include a protrusion 1610, a guide unit 1630, a base 1650, and an extension 1670.

상기 가이드부(1630)는 상기 베이스(1650)의 일 측에서 외부로 돌출된 형상을 갖는다. 상기 가이드부(1630)는 상기 홀더(1500)에 삽입될 수 있다. 상기 베이스(1650)의 일 면 위에 다수의 부품이 배치될 수 있다. 다수의 부품은 예를 들어, 외부 전원으로부터 제공되는 교류 전원을 직류 전원으로 변환하는 직류변환장치, 상기 광원 모듈(1200)의 구동을 제어하는 구동칩, 상기 광원 모듈(1200)을 보호하기 위한 ESD(ElectroStatic discharge) 보호 소자 등을 포함할 수 있으나 이에 대해 한정하지는 않는다.The guide part 1630 has a shape protruding outward from one side of the base 1650. The guide part 1630 may be inserted into the holder 1500. A number of parts may be disposed on one surface of the base 1650. A number of components include, for example, a DC converter that converts AC power provided from an external power source to DC power, a driving chip that controls driving of the light source module 1200, and an ESD for protecting the light source module 1200. (ElectroStatic discharge) may include a protection element, but is not limited thereto.

상기 연장부(1670)는 상기 베이스(1650)의 다른 일 측에서 외부로 돌출된 형상을 갖는다. 상기 연장부(1670)는 상기 내부 케이스(1700)의 연결부(1750) 내부에 삽입되고, 외부로부터의 전기적 신호를 제공받는다. 예컨대, 상기 연장부(1670)는 상기 내부 케이스(1700)의 연결부(1750)의 폭과 같거나 작게 제공될 수 있다. 상기 연장부(1670)에는 "+ 전선"과 "- 전선"의 각 일 단이 전기적으로 연결되고, "+ 전선"과 "- 전선"의 다른 일 단은 소켓(1800)에 전기적으로 연결될 수 있다.The extension part 1670 has a shape protruding outward from the other side of the base 1650. The extension part 1670 is inserted into the connection part 1750 of the inner case 1700 and receives an electrical signal from the outside. For example, the extension part 1670 may be provided equal to or smaller than the width of the connection part 1750 of the inner case 1700. Each end of the "+ wire" and "- wire" may be electrically connected to the extension part 1670, and the other end of the "+ wire" and "- wire" may be electrically connected to the socket 1800. .

내부 케이스(1700)는 내부에 상기 전원 제공부(1600)와 함께 몰딩부를 포함할 수 있다. 몰딩부는몰딩 액체가 굳어진 부분으로서, 상기 전원 제공부(1600)가 상기 내부 케이스(1700) 내부에 고정될 수 있도록 한다.The inner case 1700 may include a molding unit together with the power supply unit 1600 therein. The molding part is a part where the molding liquid is hardened, and allows the power supply part 1600 to be fixed inside the inner case 1700.

이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Although the embodiments have been described above, these are only examples and do not limit the present invention, and those of ordinary skill in the field to which the present invention belongs are not exemplified above without departing from the essential characteristics of the present embodiment. It will be seen that various modifications and applications are possible. For example, each component specifically shown in the embodiment can be modified and implemented. And differences related to these modifications and applications should be construed as being included in the scope of the present invention defined in the appended claims.

100, 200, 200a~200f: 발광소자 210: 기판
215: 금속층 220: 발광 구조물
222: 제1 도전형 반도체층 222a: 베이스층
222b: 돌출 구조물 224: 활성층
226: 제2 도전형 반도체층 250: 갭 필링층
260: 투명 전극 270: 에어
280: 마스크층 281, 282: 제1, 제2 마스크층
290: 제1 전극 295: 제2 전극
400: 발광소자 패키지 500: 영상표시장치
100, 200, 200a~200f: light emitting device 210: substrate
215: metal layer 220: light emitting structure
222: first conductivity type semiconductor layer 222a: base layer
222b: protruding structure 224: active layer
226: second conductivity type semiconductor layer 250: gap filling layer
260: transparent electrode 270: air
280: mask layers 281, 282: first and second mask layers
290: first electrode 295: second electrode
400: light emitting device package 500: image display device

Claims (11)

기판;
상기 기판 상에 배치되고 베이스층과 상기 베이스층 상의 복수 개의 돌출 구조물을 포함하는 제1 도전형 반도체층;
상기 각각의 돌출 구조물의 측면과 상부면에 배치된 활성층 및 제2 도전형 반도체층; 및
상기 제1 도전형 반도체층 상에 배치되고, 상기 복수 개의 돌출 구조물을 나누는 마스크층을 더 포함하고,
상기 마스크층은 상기 베이스층 상의 제1 마스크층과 상기 제1 마스크층 상의 제2 마스크층을 포함하고, 상기 제1 마스크층의 굴절률이 상기 제2 마스크층의 굴절률보다 작고,
상기 제1 마스크층은 에어(air)로 이루어진 발광소자.
Board;
A first conductivity type semiconductor layer disposed on the substrate and including a base layer and a plurality of protruding structures on the base layer;
An active layer and a second conductivity type semiconductor layer disposed on side surfaces and upper surfaces of each of the protruding structures; And
Further comprising a mask layer disposed on the first conductivity type semiconductor layer and dividing the plurality of protruding structures,
The mask layer includes a first mask layer on the base layer and a second mask layer on the first mask layer, and a refractive index of the first mask layer is less than a refractive index of the second mask layer,
The first mask layer is a light emitting device made of air.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1 항에 있어서,
상기 제1 마스크층의 두께는 λ/(4n1)인 발광소자(여기서, λ는 상기 활성층에서 방출되는 빛의 파장이고, n1은 제1 마스크층의 굴절률이다).
The method of claim 1,
A light emitting device having a thickness of λ/(4n 1 ) of the first mask layer (where λ is a wavelength of light emitted from the active layer, and n 1 is a refractive index of the first mask layer).
제1 항에 있어서,
상기 제2 마스크층의 두께는 λ/(4n2)인 발광소자(여기서, λ는 상기 활성층에서 방출되는 빛의 파장이고, n2은 제2 마스크층의 굴절률이다).
The method of claim 1,
A light emitting device having a thickness of λ/(4n 2 ) of the second mask layer (where λ is a wavelength of light emitted from the active layer, and n 2 is a refractive index of the second mask layer).
삭제delete 제1 항에 있어서,
상기 제1 마스크층과 제2 마스크층은 DBR(distributed Bragg reflector)을 이루는 발광소자.
The method of claim 1,
The first mask layer and the second mask layer form a distributed Bragg reflector (DBR).
제1 항에 있어서,
상기 제2 마스크층 상에 배치된 제3 마스크층을 더 포함하고, 상기 제3 마스크층의 굴절률은 상기 제2 마스크층의 굴절률보다 크고, 상기 제1 마스크층과 제2 마스크층 및 제3 마스크층은 적어도 2회 교대로 배치되는 발광소자.
The method of claim 1,
A third mask layer disposed on the second mask layer, wherein a refractive index of the third mask layer is greater than a refractive index of the second mask layer, and the first mask layer, the second mask layer, and the third mask A light emitting device in which the layers are alternately arranged at least two times.
삭제delete 삭제delete
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