KR102227652B1 - 흄 기류 흡입수단을 가지는 이에프이엠 - Google Patents
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Abstract
개시되는 흄 기류 흡입수단을 가지는 이에프이엠은, 팬 필터 유닛이 형성하는 하강기류를 따라 안내되는 흄 기류 및 웨이퍼 반송실 내부를 순환하는 흄 기류를 흡입해 상기 웨이퍼 반송실 외부로 배출시키는 흄 기류 흡입수단;을 포함하며, 흄 기류 흡입수단은, 흄 기류를 흡입하는 복수의 흡입 후드; 및 웨이퍼 반송실 내부에 설치되며, 각각의 흡입 후드를 웨이퍼 반송실 바닥에 형성된 배기구와 연결시켜 흡입 후드들로부터 흡입된 흄 기류의 배출을 안내하는 복수의 흡입 배관;을 포함한다.
Description
본 발명(Disclosure)은, 웨이퍼 반송실 내부에 생성되는 흄(fume)을 완전하게 외부로 배출시킬 수 있게 하는 흄 기류 흡입수단을 가지는 이에프이엠에 관한 것이다.
여기서는, 본 발명에 관한 배경기술이 제공되며, 이들이 반드시 공지기술을 의미하는 것은 아니다(This section provides background information related to the present disclosure which is not necessarily prior art).
일례로, 반도체 제조 공정 중 하나인 식각 공정에서는 프로세스 모듈(process module)과 웨이퍼(wafer)가 수용되는 풉(FOUP, Front-Opening Unified Pod) 사이에 프론트 엔드 모듈(Equipment Front End Module; 이하 "이에프이엠(EFEM)"이라 한다.)이 구비되는 것이 일반적이다.
전술한 이에프이엠(EFEM)은 식각 공정을 수행하고자 하는 웨이퍼를 풉(FOUP)에서 프로세스 모듈 측으로 반송하거나 식각 공정이 완료된 웨이퍼를 프로세스 모듈에서 풉(FOUP)으로 반송할 수 있게 한다.
한편, 식각 공정이 완료된 웨이퍼를 프로세스 모듈에서 풉(FOUP)으로 반송 시 이에프이엠의 내부에 형성된 웨이퍼 반송실에는 웨이퍼와 함께 웨이퍼에 부착된 반응성(부식성) 가스(HBr, Cl2) 및 화학약품들이 유입된다.
그리고 웨이퍼와 함께 유입된 반응성(부식성) 가스(HBr, Cl2) 및 화학약품들은 서로 결합하여 흄(fume)이라는 부산물을 생성하는데, 흄(fume)은 웨이퍼 반송실의 상부 측에 구비된 팬 필터 유닛이 형성하는 하강기류를 따라 웨이퍼 반송실 외부로 배출된다.
그러나 종래 이에프이엠(EFEM)에서는 흄(fume)이 완전하게 배출되지 못하고 웨이퍼 반송실 내부를 순환하면서 확산되는 문제점이 있었다.
그리고 확산되는 흄(fume)이 온도 및 습도 등의 차이가 발생하는 로드 포트(load port) 주변, 특히 풉(FOUP)과 웨이퍼 반송실 사이에 형성되어 웨이퍼가 이송되게 하는 개구부들 측에 증착된 후 웨이퍼 측으로 떨어져 웨이퍼 품질을 저하시키는 문제점이 있었다.
이에 본 출원의 발명자들은 종래 이에프이엠(EFEM)이 가지고 있는 문제를 해결하고자 노력하였으며, 그 결과물로 본 발명을 특허 출원하기에 이르렀다.
본 발명(Disclosure)은, 풉(FOUP)과 웨이퍼 반송실 사이에 형성된 개구부들의 양측으로 배기구와 연결된 흄(fume) 기류 흡입수단을 설치함으로써, 팬 필터 유닛과 함께 웨이퍼 반송실 내부에 생성되는 흄(fume)을 완전하게 웨이퍼 반송실 외부로 배출시킬 수 있게 하는 흄 기류 흡입수단을 가지는 이에프이엠의 제공을 일 목적으로 한다.
여기서는, 본 발명의 전체적인 요약(Summary)이 제공되며, 이것이 본 발명의 외연을 제한하는 것으로 이해되어서는 아니 된다(This section provides a general summary of the disclosure and is not a comprehensive disclosure of its full scope or all of its features).
상기한 과제의 해결을 위해, 본 발명을 기술하는 여러 관점들 중 어느 일 관점(aspect)에 따른 흄 기류 흡입수단을 가지는 이에프이엠은, 팬 필터 유닛이 형성하는 하강기류를 따라 안내되는 흄 기류 및 웨이퍼 반송실 내부를 순환하는 흄 기류를 흡입해 상기 웨이퍼 반송실 외부로 배출시키는 흄 기류 흡입수단;을 포함하며, 흄 기류 흡입수단은, 흄 기류를 흡입하는 복수의 흡입 후드; 및 웨이퍼 반송실 내부에 설치되며, 각각의 흡입 후드를 웨이퍼 반송실 바닥에 형성된 배기구와 연결시켜 흡입 후드들로부터 흡입된 흄 기류의 배출을 안내하는 복수의 흡입 배관;을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 흄 기류 흡입수단을 가지는 이에프이엠에서, 흡입 후드들은 풉과 웨이퍼 반송실 사이로 웨이퍼가 이송되게 하는 각각의 개구부의 내부의 일측 및 타측에 상하로 2개씩 설치되되, 각각의 흡입 후드는 개구부의 수직한 길이 방향을 따라 연장되게 형성되고, 각각의 흡입 후드에는 흡입공이 흡입 후드의 길이 방향을 따라 연장되게 형성될 수 있다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 흄 기류 흡입수단을 가지는 이에프이엠에서, 각각의 흡입 배관들의 일단은 각각의 흡입 후드에 연결되고, 각각의 흡입 배관들의 타단은 어느 하나의 배기구에 취합되되, 흡입 배관들의 타단이 취합되는 배기구는 캡이 끼워져 마감되며, 캡에는 각각의 흡입 배관의 타단이 끼워지는 삽입공들이 형성될 수 있다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 흄 기류 흡입수단을 가지는 이에프이엠에서, 캡의 내부에는 흄 기류 흡입 증대를 위해 흡입팬이 설치될 수 있다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 흄 기류 흡입수단을 가지는 이에프이엠에서, 흄 기류 흡입수단은, 흡입 배관의 유로를 선택적으로 개폐시키는 제어부;를 더 포함하며, 제어부는, 각각의 흡입 배관에 설치되는 솔레노이드 밸브; 및 각각의 솔레노이드 밸브, 흡입팬 및 풉과 웨이퍼 반송실 사이로 웨이퍼가 이송되게 하는 각각의 개구부를 개폐시키는 도어 개폐기와 전기적으로 연결되어 솔레노이드 밸브 및 흡입팬의 작동을 제어하는 컨트롤러;를 포함하되, 컨트롤러는, 도어 개폐기의 작동에 의한 개구부 개방 시 솔레노이드 밸브들을 작동시켜 각각의 흡입 배관의 유로를 개방시키며, 흡입팬을 작동시키고, 도어 개폐기의 작동에 의한 개구부 폐쇄 시 솔레노이드 밸브들을 작동시켜 각각의 흡입 배관의 유로를 폐쇄시키고, 흡입팬을 작동을 중지시킬 수 있다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 흄 기류 흡입수단을 가지는 이에프이엠에서, 흡입팬에는 흡입팬 작동 시 발광하며 흡입팬 작동 중지 시 꺼지는 LED 램프가 콘트롤러와 전기적으로 연결되게 장착될 수 있다.
본 발명에 의하면, 개구부들의 양측으로 배기구와 연결된 흄(fume) 기류 흡입수단이 설치되기 때문에 팬 필터 유닛과 함께 웨이퍼 반송실 내부에 생성되는 흄(fume)을 완전하게 웨이퍼 반송실 외부로 배출시킬 수 있게 하는 효과를 제공할 수 있게 된다.
또한, 본 발명에 의하면, 흄(fume)이 완전하게 웨이퍼 반송실 외부로 배출되기 때문에 개구부 주변으로 흄(fume)이 증착되는 것을 미연에 방지할 수 있고, 이로 인해 가공되는 웨이퍼의 품질에 따른 신뢰도를 높일 수 있을 뿐만 아니라 이에프이엠 내부 부식을 방지하여 장비의 수명 연장을 꾀할 수 있게 하는 효과를 제공할 수 있게 된다.
게다가, 본 발명에 의하면, 흄(fume)이 완전하게 웨이퍼 반송실 외부로 배출되기 때문에 기존에 수행하던 세정 작업이 불필요하게 되고, 이에 의해 인력 및 장비의 가동을 현저히 줄일 수 있게 하는 효과를 제공할 수 있게 된다.
도 1은 본 발명에 따른 흄 기류 흡입수단을 가지는 이에프이엠을 개략적으로 나타낸 도면.
도 2는 도 1에 도시된 흄 기류 흡입수단을 개략적으로 나타낸 도면.
도 2는 도 1에 도시된 흄 기류 흡입수단을 개략적으로 나타낸 도면.
이하, 본 발명에 따른 흄 기류 흡입수단을 가지는 이에프이엠을 구현한 실시형태를 도면을 참조하여 자세히 설명한다.
다만, 본 발명의 본질적인(intrinsic) 기술적 사상은 이하에서 설명되는 실시형태에 의해 그 실시 가능 형태가 제한된다고 할 수는 없고, 본 발명의 본질적인(intrinsic) 기술적 사상에 기초하여 통상의 기술자에 의해 이하에서 설명되는 실시형태를 치환 또는 변경의 방법으로 용이하게 제안될 수 있는 범위를 포섭함을 밝힌다.
또한, 이하에서 사용되는 용어는 설명의 편의를 위하여 선택한 것이므로, 본 발명의 본질적인(intrinsic) 기술적 사상을 파악하는 데 있어서, 사전적 의미에 제한되지 않고 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미로 적절히 해석되어야 할 것이다.
첨부된 도면 중에서, 도 1은 본 발명에 따른 흄 기류 흡입수단을 가지는 이에프이엠을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 이에프이엠(100)은 프로세스 모듈(P)과 함께 청정실(clean room) 내에 설치되는 것으로, 프로세스 모듈(P) 전방에 배치되어 풉(F) 내부에 수용된 웨이퍼(W)를 프로세스 모듈(P) 측으로 반송하거나 프로세스 모듈(P)에서 가공이 완료된 웨이퍼(W)를 풉(F) 내부로 반송한다.
여기서, 프로세서 모듈(P)은 로드록 챔버(도시되지 않음)와 공정 챔버(도시되지 않음)를 포함할 수 있으며, 일례로 공정 챔버는 화학기상증착, 식각, 포토, 측정 또는 세정 공정 등과 같은 공정을 수행하는 챔버일 수 있다.
그리고 풉(F)은 내부에 다수의 웨이퍼(W)가 상하 방향으로 수용되는 것으로, 풉(F)의 구성, 구성들의 연결 관계 및 작용은 공지의 기술이므로 상세한 설명은 생략한다.
한편, 본 발명에 따른 이에프이엠(100)은 종래 이에프이엠들과 대동소이한 구성을 가진다.
즉, 본 발명에 따른 이에프이엠(100)은 내부에 웨이퍼 반송실(12)을 형성하는 챔버(10)와, 챔버(10)의 전방 외측에 배치되는 다수의 로드 포트(20)를 포함한다.
이때, 각각의 로드 포트(20)에는 웨이퍼(W)들을 수용하는 풉(F)이 탑재되어 지지된다.
그리고 웨이퍼 반송실(12)은 반송되는 웨이퍼(W)가 외기에 노출되지 않게 외부 공간에 대하여 거의 밀폐되게 형성되고, 웨이퍼 반송실(12) 내에는 반송 로봇(30)이 배치된다.
반송 로봇(30)은 풉(F) 내부에 수용된 웨이퍼(W)를 취출하여 프로세스 모듈(P)에 반송하거나 프로세스 모듈(P)에서 가공이 완료된 웨이퍼(W)를 수취하여 풉(F) 내부로 반송하는 동작을 수행한다.
이러한 반송 로봇(30)의 동작을 위해서, 각각의 로드 포트(20)에 인접한 챔버(10)의 전방 측에는 로드 포트(20)에 탑재된 풉(F)과 웨이퍼 반송실(12) 사이로 웨이퍼(W)가 이송되게 하는 개구부(14)들이 형성되고, 챔버(10)의 후방 측에는 프로세스 모듈(P)과 웨이퍼 반송실(12) 사이로 웨이퍼(W)가 이송되게 하는 반입구(16)가 형성된다.
이때, 개구부(14)들과 반입구(16)에는 각각 도어(도시되지 않음)가 형성될 수 있다.
그리고 개구부(14)에 인접한 웨이퍼 반송실(12) 내부의 하부 측으로는 풉(F)의 도어(D) 및 개구부(14)의 도어를 개폐하기 위한 도어 개폐기(40)가 설치된다.
여기서, 반송 로봇(30) 및 도어 개폐기(40)의 구성, 구성들의 연결 관계 및 작용은 공지의 기술이므로 상세한 설명은 생략한다.
한편, 본 발명에 따른 이에프이엠(100)은 종래 이에프이엠과 마찬가지로 웨이퍼 반송실(12) 내부의 압력 및 웨이퍼 반송실(12) 내부가 일정한 청정도를 유지할 수 있게 하는 팬 필터 유닛(50)이 구비된다.
팬 필터 유닛(50)은 도시된 바와 같이 챔버(10)의 상부면에 형성되어 청정실 내의 공기를 웨이퍼 반송실(12) 내로 유입시키는 도입구(18)에 인접하도록 웨이퍼 반송실(12)의 상부 측에 배치된다.
이러한 팬 필터 유닛(50)은 모터(52)에 의해 회전되며 공기를 웨이퍼 반송실(12)의 상부에서 하부 측으로 송풍하는 송풍팬(54)과, 송풍팬(54)의 하부 측에 배치되며 웨이퍼 반송실(12) 내로 유입되는 공기에 포함된 오염물질을 여과하는 필터(56)를 포함한다.
또한, 팬 필터 유닛(50)은 반송 로봇(30)에 간섭되지 않게 반송 로봇(30)이 지지되는 챔버(10)의 바닥에 형성되는 2개 이상의 배기구(58)를 더 포함한다.
즉, 팬 필터 유닛(50)의 송풍팬(54)은 웨이퍼 반송실(12)의 상부에서 하부 측으로 공기가 하강기류를 형성하도록 유도하며, 웨이퍼 반송실(12) 내부에 생성되는 흄(fume)은 송풍팬(54)이 형성하는 하강기류를 따라 챔버(10)의 바닥으로 안내되어 배기구(58)를 통해 챔버(10) 외부로 배출된다.
한편, 본 발명에 따른 이에프이엠(100)은 종래의 이에프이엠과 다르게 팬 필터 유닛(50)이 형성하는 하강기류를 따라 안내되는 흄(fume) 기류 및 웨이퍼 반송실(12) 내부를 순환하는 흄(fume) 기류를 흡입해 웨이퍼 반송실(12) 외부로 배출시키는 흄 기류 흡입수단(110)을 더 포함한다.
즉, 흄 기류 흡입수단(110)은 팬 필터 유닛(50)과 함께 웨이퍼 반송실(12) 내부에 생성되는 흄(fume)을 웨이퍼 반송실(12) 외부로 완전하게 배출시킨다.
흄 기류 흡입수단(110)은 도시된 바와 같이 복수의 흡입 후드(112)와, 각각의 흡입 후드(112)를 어느 하나의 배기구(58)에 연결하는 복수의 흡입 배관(116)을 포함한다.
먼저, 흡입 후드(112)들은 반송 로봇(30) 및 도어 개폐기(40)의 작동에 간섭되지 않게 각각의 개구부(14) 내부 양측, 바람직하게는 웨이퍼 반송실(12)과 마주하는 각각의 개구부(14)의 일측 및 타측에 상하로 2개씩 설치된다.
이렇게 설치되는 각각의 흡입 후드(112)는 개구부(14)의 수직한 길이 방향을 따라 연장되게 형성되고, 각각의 흡입 후드(112)에는 흄(fume) 기류를 광범위하게 흡입할 수 있도록 흡입공(114)이 흡입 후드(112)의 길이 방향을 따라 연장되게 형성된다.
흡입 배관(116)들은 흡입 후드(112)들과 마찬가지로 반송 로봇(30) 및 도어 개폐기(40)의 작동에 간섭되지 않게 웨이퍼 반송실(12) 내부에 설치되며, 흡입 배관(116)들은 각각의 흡입 후드(112)의 흡입공(114)을 통해 흡입된 흄(fume) 기류를 배기구(58) 측으로 안내한다.
이를 위해서, 각각의 흡입 배관(116)들의 일단은 각각 흡입 후드(112)에 연결되고, 각각의 흡입 배관(116)들의 타단은 어느 하나의 배기구(58)에 취합되는데, 이때 각각의 흡입 배관(116)들의 타단이 취합되는 배기구(58)는 캡(118)이 끼워져 마감되며, 캡(118)에는 각각의 흡입 배관(116)의 타단이 끼워지는 삽입공(120)들이 형성된다.
그리고 캡(118)의 내부에는 흄(fume) 기류 흡입 증대를 위해 흡입팬(122)이 흡입 배관(116)들의 타단에 간섭되지 않게 설치된다.
한편, 흄 기류 흡입수단(110)은 흡입 배관(116)의 유로를 선택적으로 개폐시키는 제어부(124)를 더 포함한다.
제어부(124)는 각각의 흡입 배관(116)에 설치되는 솔레노이드 밸브(126)와, 각각의 솔레노이드 밸브(126), 흡입팬(122) 및 도어 개폐기(40)와 전기적으로 연결되어 솔레노이드 밸브(126) 및 흡입팬(122)의 작동을 제어하는 컨트롤러(128)를 포함한다.
컨트롤러(128)는 각각의 개구부(14)의 개폐 상태, 도어 개폐기(40)의 작동에 의한 개구부(14)의 개폐 유무를 감지한다.
그리고 컨트롤러(128)는 개구부(14) 개방 시 솔레노이드 밸브(126)들을 작동시켜 각각의 흡입 배관(116)의 유로를 개방시키며, 이와 동시에 흡입팬(122)을 작동시킨다.
반대로, 컨트롤러(128)는 개구부(14) 폐쇄 시 솔레노이드 밸브(126)들을 작동시켜 각각의 흡입 배관(116)의 유로를 폐쇄시키고, 이와 동시에 흡입팬(122)을 작동을 중지시킨다.
한편, 흡입팬(122)에는 각각의 흡입 배관(116)들의 유로 개방 시, 즉 흡입팬(122) 작동 시 발광하며 각각의 흡입 배관(116)들의 유로 차단 시, 즉 흡입팬(122) 작동 중지 시 꺼지는 통상의 LED 램프(도시되지 않음)가 컨트롤러(128)와 전기적으로 연결되게 장착된다.
다시 말해, LED 램프(도시되지 않음)의 발광 유무에 따라 흄 기류 흡입수단(110)의 작동 유무를 작업자는 육안으로 확인할 수 있게 된다.
하기에는 전술한 바와 같이 형성된 흄 기류 흡입수단(110)의 작동 상태를 간략하게 설명한다.
다수의 웨이퍼(W)가 수용된 풉(F)이 개구부(14)에 밀착되도록 로드 포트(20)에 탑재되면, 도어 개폐기(40)에 의해 풉(F) 도어(D) 및 개구부(14)의 도어가 개방되면서 개구부(14)를 개방시킨다. 그리고 이와 동시에 반송 로봇(30)은 풉(F)에 수용된 웨이퍼(W)를 낱장 단위로 프로세스 모듈(P) 측으로 반송시키며, 팬 필터 유닛(50)은 송풍팬(54)을 작동시켜 웨이퍼 반송실(12) 내에 하강 기류를 형성시킨다.
이때, 웨이퍼(W)가 프로세스 모듈(P) 측으로 반송되면, 도어 개폐기(40)에 의해 풉(F) 도어(D) 및 개구부(14)의 도어는 개구부(14)를 폐쇄시킨다.
그리고 프로세스 모듈(P)에서 웨이퍼(W)의 가공이 완료되면, 도어 개폐기(40)에 의해 풉(F) 도어(D) 및 개구부(14) 도어는 개방되면서 개구부(14)를 개방시키고, 이와 동시에 반송 로봇(30)은 프로세스 모듈(P)로부터 가공이 완료된 웨이퍼(W)를 넘겨받아 풉(F) 내부로 웨이퍼(W)를 반송시킨다.
한편, 가공이 완료된 웨이퍼(W)를 풉(F) 내부로 반송 시 개구부(14)가 개방되도록 도어 개폐기(40)가 작동하면, 흄 기류 흡입수단(110)의 제어부(124)의 콘트롤러(128)는 이를 감지해 흡입팬(122)을 작동시키고 동시에 각각의 흡입 배관(116)의 유로가 개방되도록 솔레노이드 밸브(126)를 작동시킨다.
이에 의해, 각각의 흡입 후드(112)의 흡입공(114)으로는 가공이 완료된 웨이퍼(W)에 부착되어 웨이퍼 반송실(12) 내로 유입된 반응성(부식성) 가스 및 화학약품들과, 흄(fume)이 흡입되고, 흡입공(114)을 통해 흡입된 반응성(부식성) 가스 및 화학약품들과, 흄(fume)은 각각의 흡입 배관(116)을 따라 안내되어 배기구(58)로 배출된다.
그리고 개구부(14)가 폐쇄되도록 도어 개폐기(40)가 작동하면, 컨트롤러(128)는 이를 감지해 흡입팬(122)을 작동을 중지시키고 동시에 각각의 흡입 배관(116)의 유로가 폐쇄되도록 솔레노이드 밸브(126)를 작동시킨다.
이와 같이 형성된 본 발명에 의하면, 개구부(14)들의 양측으로 배기구(58)와 연결된 흄(fume) 기류 흡입수단(110)이 설치되기 때문에 팬 필터 유닛(50)과 함께 웨이퍼 반송실(12) 내부에 생성되는 흄(fume)을 완전하게 웨이퍼 반송실(12) 외부로 배출시킬 수 있게 한다.
또한, 본 발명에 의하면, 흄(fume)이 완전하게 웨이퍼 반송실(12) 외부로 배출되기 때문에 개구부(14) 주변으로 흄(fume)이 증착되는 것을 미연에 방지할 수 있고, 이로 인해 가공되는 웨이퍼(W)의 품질에 따른 신뢰도를 높일 수 있을 뿐만 아니라 이에프이엠(100) 내부 부식을 방지하여 장비의 수명 연장을 꾀할 수 있게 한다.
게다가, 본 발명에 의하면, 흄(fume)이 완전하게 웨이퍼 반송실(12) 외부로 배출되기 때문에 기존에 수행하던 세정 작업이 불필요하게 되고, 이에 의해 인력 및 장비의 가동을 현저히 줄일 수 있게 한다.
앞에서, 본 발명의 특정한 실시예가 설명되고 도시되었지만 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 일이다. 따라서, 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 기술적 사상이나 관점으로부터 개별적으로 이해되어서는 안 되며, 변형된 실시예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
Claims (6)
- 풉 내부에 수용된 웨이퍼를 프로세스 모듈 측으로 반송하거나 프로세스 모듈에서 가공이 완료된 웨이퍼를 풉 내부로 반송하는 이에프이엠에 있어서,
상기 이에프이엠은,
팬 필터 유닛이 형성하는 하강기류를 따라 안내되는 흄 기류 및 웨이퍼 반송실 내부를 순환하는 흄 기류를 흡입해 상기 웨이퍼 반송실 외부로 배출시키는 흄 기류 흡입수단;을 포함하며,
상기 흄 기류 흡입수단은,
흄 기류를 흡입하는 복수의 흡입 후드; 및
상기 웨이퍼 반송실 내부에 설치되며, 각각의 상기 흡입 후드를 상기 웨이퍼 반송실 바닥에 형성된 배기구와 연결시켜 상기 흡입 후드들로부터 흡입된 흄 기류의 배출을 안내하는 복수의 흡입 배관;을 포함하되,
상기 흡입 후드들은 상기 풉과 상기 웨이퍼 반송실 사이로 상기 웨이퍼가 이송되게 하는 각각의 개구부의 내부의 일측 및 타측에 상하로 2개씩 설치되되,
각각의 상기 흡입 후드는 상기 개구부의 수직한 길이 방향을 따라 연장되게 형성되고,
각각의 상기 흡입 후드에는 흡입공이 상기 흡입 후드의 길이 방향을 따라 연장되게 형성되는 흄 기류 흡입수단을 가지는 이에프이엠.
- 삭제
- 청구항 1에 있어서,
각각의 상기 흡입 배관들의 일단은 각각의 상기 흡입 후드에 연결되고, 각각의 상기 흡입 배관들의 타단은 어느 하나의 상기 배기구에 취합되되,
상기 흡입 배관들의 타단이 취합되는 상기 배기구는 캡이 끼워져 마감되며, 상기 캡에는 각각의 상기 흡입 배관의 타단이 끼워지는 삽입공들이 형성되는 흄 기류 흡입수단을 가지는 이에프이엠.
- 청구항 3에 있어서,
상기 캡의 내부에는 상기 흄 기류 흡입 증대를 위해 흡입팬이 설치되는 흄 기류 흡입수단을 가지는 이에프이엠.
- 청구항 4에 있어서,
상기 흄 기류 흡입수단은,
상기 흡입 배관의 유로를 선택적으로 개폐시키는 제어부;를 더 포함하며,
상기 제어부는,
각각의 상기 흡입 배관에 설치되는 솔레노이드 밸브; 및
각각의 상기 솔레노이드 밸브, 상기 흡입팬 및 상기 풉과 상기 웨이퍼 반송실 사이로 상기 웨이퍼가 이송되게 하는 각각의 개구부를 개폐시키는 도어 개폐기와 전기적으로 연결되어 상기 솔레노이드 밸브 및 상기 흡입팬의 작동을 제어하는 컨트롤러;를 포함하되,
상기 컨트롤러는,
상기 도어 개폐기의 작동에 의한 상기 개구부 개방 시 상기 솔레노이드 밸브들을 작동시켜 각각의 상기 흡입 배관의 유로를 개방시키며, 상기 흡입팬을 작동시키고,
상기 도어 개폐기의 작동에 의한 상기 개구부 폐쇄 시 상기 솔레노이드 밸브들을 작동시켜 각각의 상기 흡입 배관의 유로를 폐쇄시키고, 상기 흡입팬을 작동을 중지시키는 흄 기류 흡입수단을 가지는 이에프이엠.
- 청구항 5에 있어서,
상기 흡입팬에는 상기 흡입팬 작동 시 발광하며 상기 흡입팬 작동 중지 시 꺼지는 LED 램프가 상기 컨트롤러와 전기적으로 연결되게 장착되는 흄 기류 흡입수단을 가지는 이에프이엠.
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|---|---|---|---|
| KR1020200060136A KR102227652B1 (ko) | 2020-05-20 | 2020-05-20 | 흄 기류 흡입수단을 가지는 이에프이엠 |
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| KR102227652B1 true KR102227652B1 (ko) | 2021-03-12 |
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| KR (1) | KR102227652B1 (ko) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102435846B1 (ko) * | 2022-04-29 | 2022-08-23 | 김치섭 | 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛 |
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- 2020-05-20 KR KR1020200060136A patent/KR102227652B1/ko active IP Right Grant
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