KR102435846B1 - 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛 - Google Patents

반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛에 관한 것이다. 개시되는 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛에 의하면, 반도체와 디스플레이 중 어느 하나를 제조할 수 있는 반도체 및 디스플레이 제조 설비에 설치되고, 상기 반도체와 상기 디스플레이 중 어느 하나를 제조할 때 형성된 폐가스를 세정하는 집진 부재와, 그 내부 공간에 상기 집진 부재가 설치되고, 개폐 가능한 캐비넷 도어 및 캐비넷 배기관이 형성되는 캐비넷 부재를 포함하는 스크러버 장치에 적용되는 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛이 센터링 부재와, 송풍기 및 제어 부재를 포함하고, 상기 캐비넷 배기관을 구성하는 제 1 배관 및 제 2 배관이 상기 센터링 부재에 의해 정렬되게 연결되고, 상기 캐비넷 도어가 열릴 때 상기 송풍기가 작동됨에 따라, 상기 스크러버 장치에 간단하게 적용시킬 수 있고, 작업자가 상기 스크러버 장치 내부에서 안전하게 작업할 수 있도록 작업 환경을 개선할 수 있으며, 새로 설치되는 스크러버 장치뿐만 아니라, 기존에 설치되어 작동 중인 스크러버 장치를 구성하는 캐비넷 배기관에도 간단한 교체 작업만으로 쉽게 적용할 수 있게 되는 장점이 있다.

Description

반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛{Blower-mounted centering unit applied to scrubber devices in semiconductor and display manufacturing facilities}
본 발명은 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛에 관한 것이다.
반도체 및 디스플레이 제조 설비는 반도체와 디스플레이 중 어느 하나를 제
조할 수 있는 것을 말하고, 스크러버 장치는 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비
에 설치되어 상기 반도체와 디스플레이 중 어느 하나를 제조할 때 사용된 폐가스를
세정하는 장치를 말한다.
이러한 스크러버 장치의 예로 제시될 수 있는 것이 아래 제시된 특허문헌의
그 것들이다.
상기 스크러버 장치는 상기 반도체와 상기 디스플레이 중 어느 하나를 제조하면서 형성된 폐가스를 세정하는 집진 부재와, 그 내부 공간에 상기 집진 부재가 설치되고, 개폐 가능한 캐비넷 도어 및 캐비넷 배기관이 형성되는 캐비넷 부재를 포함한다.
종래의 스크러버 장치에 의하면, 상기 집진 부재에서 상기 폐가스가 세정되는 동안 상기 집진 부재가 완벽한 밀폐 상태로 이루어지지 않음으로 인해 상대적으로 소량이긴 하지만 상기 집진 부재의 외부로 상기 폐가스가 노출되어 상기 캐비넷 부재의 내부 공간을 채우게 되는데, 이러한 상태에서 작업자가 상기 캐비넷 도어를 열게 될 경우 상기 작업자가 상기 폐가스에 그대로 노출되어 호흡 곤란 등 상기 작업자의 건강을 해치거나 심할 경우 인명 피해까지 발생되는 문제가 있었다.
등록특허 제 10-1155562 호, 등록일자: 20120605, 발명의 명칭: U자형 고 압 스크러버 시스템 등록특허 제 10-1934561 호, 등록일자: 20181226, 발명의 명칭: 이중폐가스 배관 구조를 갖는 플라즈마 스크러버 시스템
본 발명은 스크러버 장치에 간단하게 적용시킬 수 있고, 작업자가 상기 스크러버 장치 내부에서 안전하게 작업할 수 있도록 작업 환경을 개선할 수 있는 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛은 반도체와 디스플레이 중 어느 하나를 제조할 수 있는 반도체 및 디스플레이 제조 설비에 설치되고, 상기 반도체와 상기 디스플레이 중 어느 하나를 제조할 때 형성된 폐가스를 세정하는 집진 부재와, 그 내부 공간에 상기 집진 부재가 설치되고, 개폐 가능한 캐비넷 도어 및 캐비넷 배기관이 형성되는 캐비넷 부재를 포함하는 스크러버 장치에 적용되는 것으로서, 상기 캐비넷 배기관을 구성하는 제 1 배관 및 제 2 배관을 동심축 상에 정렬되게 연결시키는 센터링 부재; 상기 센터링 부재에 결합되고, 상기 폐가스를 상기 캐비넷 부재의 내부에서 외부로 배출시키는 송풍기; 및 상기 송풍기의 작동을 제어하는 제어 부재;를 포함하고, 상기 송풍기가 결합된 상기 센터링 부재에 의해 상기 제 1 배관 및 상기 제 2 배관이 연결된 상태에서 상기 캐비넷 도어가 열리는 캐비넷 도어 열림 정보가 상기 제어 부재에 전달되면, 상기 제어 부재가 상기 송풍기를 작동시키게 되고, 그에 따라 상기 캐비넷 내부에 있던 상기 폐가스가 상기 제 1 배관 및 상기 제 2 배관을 통해 외부로 배출될 수 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛에 의하면, 반도체와 디스플레이 중 어느 하나를 제조할 수 있는 반도체 및 디스플레이 제조 설비에 설치되고, 상기 반도체와 상기 디스플레이 중 어느 하나를 제조할 때 형성된 폐가스를 세정하는 집진 부재와, 그 내부 공간에 상기 집진 부재가 설치되고, 개폐 가능한 캐비넷 도어 및 캐비넷 배기관이 형성되는 캐비넷 부재를 포함하는 스크러버 장치에 적용되는 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛이 센터링 부재와, 송풍기 및 제어 부재를 포함하고, 상기 캐비넷 배기관을 구성하는 제 1 배관 및 제 2 배관이 상기 센터링 부재에 의해 정렬되게 연결되고, 상기 캐비넷 도어가 열릴 때 상기 송풍기가 작동됨에 따라, 상기 스크러버 장치에 간단하게 적용시킬 수 있고, 작업자가 상기 스크러버 장치 내부에서 안전하게 작업할 수 있도록 작업 환경을 개선할 수 있으며, 새로 설치되는 스크러버 장치뿐만 아니라, 기존에 설치되어 작동 중인 스크러버 장치를 구성하는 캐비넷 배기관에도 간단한 교체 작업만으로 쉽게 적용할 수 있게 되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛이 적용된 스크러버 장치를 개략적으로 나타낸 도면.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛이 적용된 스크러버 장치의 일부를 나타낸 도면.
도 3은 도 2의 A 부분을 확대한 확대도.
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛을 구성하는 센터링 부재의 모습을 보이는 사시도.
도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛을 구성하는 센터링측 실링부를 확대한 확대도.
도 6은 도 5의 센터링측 실링부가 탄성 변형된 모습을 보이는 도면.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛이 적용된 스크러버 장치를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛이 적용된 스크러버 장치의 일부를 나타낸 도면이고, 도 3은 도 2의 A 부분을 확대한 확대도이고, 도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛을 구성하는 센터링 부재의 모습을 보이는 사시도이다.
도 1 내지 도 4를 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛(100)은 반도체와 디스플레이 중 어느 하나를 제조할 수 있는 반도체 및 디스플레이 제조 설비에 설치되고, 상기 반도체와 상기 디스플레이 중 어느 하나를 제조할 때 형성된 폐가스를 세정하는 집진 부재(20)와, 그 내부 공간에 상기 집진 부재(20)가 설치되고, 개폐 가능한 캐비넷 도어(31) 및 캐비넷 배기관(40)이 형성되는 캐비넷 부재(30)를 포함하는 스크러버 장치(10)에 적용되는 것이다.
상기 집진 부재(20)는 그 내부에 수용된 물을 이용하여 상기 폐가스를 세정하는 반응기(21)와, 상기 반응기(21)로 상기 폐가스를 유입시키는 폐가스 유입관(22)과, 상기 반응기(21)에서 세정된 세정 폐가스를 상기 반응기(21)에서 배출시키는 세정 폐가스 배출관(23)을 포함한다.
상기 캐비넷 부재(30)는 챔버 등이 그 예로 제시될 수 있고, 상기 캐비넷 도어(31)는 작업자가 상기 캐비넷 부재(30) 내부로 출입 가능하도록 형성된 것이고, 상기 캐비넷 배기관(40)은 상기 캐비넷 부재(30)에 연결되어 상기 집진 부재(20)에서 상기 폐가스가 세정될 때 상기 집진 부재(20)의 외부로 노출되어 상기 캐비넷 부재(30)의 내부 공간에서 유동될 수 있는 상기 폐가스를 외부로 배출시키는 것이다.
본 실시예에서는 미도시되었지만 상기 캐비넷 배기관(40)의 말단부에는 상기 캐비넷 부재(30)의 내부에서 유동되던 상기 폐가스가 상기 캐비넷 배기관(40)을 통해 이동된 후 저장되는 탱크 등의 폐가스 저장 용기가 연결된다.
이하에서 상기 폐가스는 상기 캐비넷 부재(30)의 내부에서 유동되는 것을 기준으로 설명한다.
상기 캐비넷 배기관(40)은 상기 캐비넷 부재(30)에 연결되는 제 1 배관(41)과, 소정 길이로 형성되면서 상기 제 1 배관(41)과 연결되어 상기 폐가스를 외부로 배출시키는 제 2 배관(43)을 포함한다.
상기 제 1 배관(41)의 말단부에는 상기 제 1 배관(41)에서 외측으로 확장되는 형태로 형성되는 제 1 배관측 플랜지(42)가 형성되고, 상기 제 2 배관(43)의 말단부에는 상기 제 2 배관(43)에서 외측으로 확장되는 형태로 형성되는 제 2 배관측 플랜지(44)가 형성된다.
상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛(100)은 센터링 부재(110)와, 송풍기(130) 및 제어 부재(140)를 포함한다.
상기 센터링 부재(110)는 상기 캐비넷 배기관(40)을 구성하는 상기 제 1 배관(41) 및 상기 제 2 배관(43)을 동심축 상에 정렬되게 연결시키는 것이다.
상기 센터링 부재(110)는 스테인리스 스틸(statinless steel) 또는 철(Fe) 등의 재질로 이루어진다.
상기 센터링 부재(110)는 센터링 몸체부(115)와, 제 1 돌출부(120)와, 제 2 돌출부(121)와, 송풍기측 결합부(125) 및 결합부측 연결체(126)를 포함한다.
상기 센터링 몸체부(115)는 환형으로 형성되는 것이다.
상기 센터링 몸체부(115)는 링 형태의 환형으로 형성되는 것으로 센터링 몸체(116)와, 외측 돌출체(117)를 포함한다.
상기 센터링 몸체(116)는 소정 폭을 가지면서 환형으로 형성되는 것이다.
상기 외측 돌출체(117)는 상기 센터링 몸체(116)에서 외측으로 돌출되고, 그 외측면에 소정 곡률의 곡면이 형성되는 것이다.
상기 외측 돌출체(117)의 외측면 상에는 상기 폐가스가 상기 제 1 배관(41) 및 상기 제 2 배관(43) 사이에서 유동되다가, 상기 제 1 배관(41) 및 상기 제 2 배관(43) 사이의 공간을 통해 누기되는 것이 방지되도록 서로 마주보는 상기 제 1 배관(41)의 말단부와 상기 제 2 배관(43)의 말단부 사이의 공간을 막아주는 탄성 재질의 실링 수단(145)이 배치되고, 상기 외측 돌출체(117)에 형성된 곡면에 상기 실링 수단(145)의 일부가 삽입된다.
상기 실링 수단(145)은 탄성 재질로 이루어진 오링(O-ring) 등이 그 예로 제시될 수 있다.
상기 제 1 돌출부(120)는 상기 센터링 몸체부(115)의 일측면에서 외측으로 소정 길이 돌출되면서 환형 형태로 형성되는 것이다.
상기 센터링 부재(110)에 의해 상기 제 1 배관(41) 및 상기 제 2 배관(43)이 연결될 때 상기 제 1 돌출부(120)는 상기 제 1 돌출부(120)의 외측면이 상기 제 1 배관(41)의 내측면에 접하는 형태로 상기 제 1 배관(41)의 내부에 삽입된다.
상기 제 2 돌출부(121)는 상기 센터링 몸체부(115)의 타측면에서 외측으로 소정 길이 돌출되면서 환형 형태로 형성되는 것이다.
상기 센터링 부재(110)에 의해 상기 제 1 배관(41) 및 상기 제 2 배관(43)이 연결될 때 상기 제 2 돌출부(121)는 상기 제 2 돌출부(121)의 외측면이 상기 제 2 배관(43)의 내측면에 접하는 형태로 상기 제 2 배관(43)의 내부에 삽입된다.
상기 제 1 배관(41)에 대한 상기 제 1 돌출부(120)의 삽입 및 상기 제 2 배관(43)에 대한 상기 제 2 돌출부(121)의 삽입은 본 실시예의 설명을 위한 예로 제시된 것이고, 상기 제 1 배관(41)에 상기 제 2 돌출부(121)가 삽입되고, 상기 제 2 배관(43)에 상기 제 1 돌출부(120)가 삽입될 수도 있음은 물론이다.
상기 센터링 몸체부(115)를 기준으로 상기 제 1 배관(41) 및 상기 제 2 배관(43)은 대칭되는 형태로 형성된다.
그러면, 상기 센터링 부재(110)에 의해 상기 제 1 배관(41) 및 상기 제 2 배관(43)이 연결될 때, 상기 제 1 돌출부(120)의 외측면이 상기 제 1 배관(41)의 내측면에 접하면서 상기 제 1 돌출부(120)가 상기 제 1 배관(41)에 삽입되고, 상기 제 2 돌출부(121)의 외측면이 상기 제 2 배관(43)의 내측면에 접하면서 상기 제 2 돌출부(121)가 상기 제 2 배관(43)에 삽입됨으로써, 상기 센터링 부재(110)의 중심축과 상기 제 1 배관(41)의 중심축 및 상기 제 2 배관(43)의 중심축이 서로 동일하게 정렬되면서 상기 제 1 배관(41) 및 상기 제 2 배관(43)이 연결될 수 있게 된다.
도면 번호 127은 상기 제 1 배관(41)의 말단부 및 상기 제 2 배관(43)의 말단부 중 어느 하나의 내측면에서 돌출되는 내측 돌기(45)가 삽입되어 상기 제 1 배관(41)의 말단부 및 상기 제 2 배관(43)의 말단부 중 어느 하나에 대해 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛(100)이 미리 정해진 위치로 연결되도록 가이드하는 위치 가이드 홀이다.
상기 송풍기측 결합부(125)는 상기 송풍기(130)가 삽입되는 형태로 결합되는 것이다.
상기 송풍기측 결합부(125)는 상기 센터링 부재(110)에서 이격되어 배치되면서 직육면체 형태로 형성되되, 그 내부에 상기 송풍기(130)가 삽입되는 빈 공간이 형성되는 것이다.
상기 결합부측 연결체(126)는 상기 센터링 몸체부(115)와, 상기 제 1 돌출부(120) 및 상기 제 2 돌출부(121) 중 적어도 하나와 상기 송풍기측 결합부(125)를 연결시키는 것이다.
본 실시예에서 상기 결합부측 연결체(126)는 상기 센터링 몸체부(115)와, 상기 제 1 돌출부(120) 및 상기 제 2 돌출부(121)의 내측면에서 전체적으로 상기 송풍기측 결합부(125)까지 연장되어 상기 센터링 몸체부(115)와, 상기 제 1 돌출부(120) 및 상기 제 2 돌출부(121)에 상기 송풍기측 결합부(125)를 연결시키는 형태로 형성된다.
상기 결합부측 연결체(126)는 상기 센터링 몸체부(115)와, 상기 제 1 돌출부(120) 및 상기 제 2 돌출부(121)에서 상기 송풍기측 결합부(125)로 갈수록 점진적으로 좁혀지는 형태로 경사지게 형성되어 상기 송풍기(130)는 전체적으로 깔때기 형태로 형성된다.
본 실시예에서 상기 센터링 몸체부(115)와, 상기 제 1 돌출부(120)와, 상기 제 2 돌출부(121)와, 상기 결합부측 연결체(126) 및 상기 송풍기측 결합부(125)는 일체형으로 형성된다.
상기 송풍기(130)는 상기 센터링 부재(110)에 결합되고, 상기 폐가스를 상기 캐비넷 부재(30)의 내부에서 외부로 배출시키는 것으로, 팬 등이 그 예로 제시될 수 있다.
상세히, 상기 송풍기(130)는 송풍 본체(131)와, 회전력 공급 수단(132)과, 송풍 팬(135)을 포함한다.
상기 송풍 본체(131)는 상기 송풍기(130)의 외곽틀을 형성하는 것으로 직육면체 형태로 형성되고, 상기 송풍기측 결합부(125)의 내부 공간에 삽입된다.
상기 송풍 본체(131)는 상기 송풍기측 결합부(125)의 내부 공간에 삽입된 상태에서 접착제 또는 볼트 등의 결합 수단에 의해 상기 송풍기측 결합부(125)에 결합된다.
상기 회전력 공급 수단(132)은 상기 송풍 본체(131)의 내부에 배치되어 외부에서 공급되는 전원을 이용하여 회전력을 공급하는 것으로, 전기 모터 등이 그 예로 제시될 수 있다.
상기 송풍 팬(135)은 상기 회전력 공급 수단(132)에 연결되어 상기 회전력 공급 수단(132)에서 공급되는 회전력에 의해 회전되는 것이다.
상기 송풍 팬(135)은 상기 회전력 공급 수단(132)의 회전축(133)에 연결되는 날개 몸체(136)와, 상기 날개 몸체(136)에서 복수 개가 이격되게 돌출되는 송풍 날개를 포함하는 송풍 날개(137)를 포함한다.
상기 송풍 팬(135)이 상기 회전력 공급 수단(132)에 의해 회전되면 상기 제 1 배관(41) 및 상기 제 2 배관(43)의 내부에 강제 대류를 발생시키고, 그에 따라 상기 캐비넷 부재(30)의 내부 공간에 있던 상기 폐가스가 상기 제 1 배관(41)을 통해 상기 제 2 배관(43)으로 유동되어 외부로 배출될 수 있게 된다.
상기 제어 부재(140)는 상기 송풍기(130)의 작동을 제어하는 것이다.
상기 제어 부재(140)는 상기 송풍기(130)에 대한 작동 명령이 가능하도록 상기 송풍기(130)와 유무선으로 연결될 수 있다.
상기 제어 부재(140)는 상기 송풍기(130)에 연결되는 형태로 배치되어 유선 케이블을 통해 상기 송풍기(130)와 통신을 송수신할 수도 있고, 상기 송풍기(130)와 원격으로 이격된 예를 들어 상기 스크러버 장치(10)에 배치되어 무선 통신을 통해 상기 송풍기(130)와 송수신할 수도 있다. 본 실시예에서는 상기 송풍기(130)와 상기 제어 부재(140)가 별도로 배치된 것을 예로 들어 설명한다.
또한, 상기 제어 부재(140)는 상기 스크러버 장치(10)의 작동을 제어하는 스크러버 제어부(미도시)에 함께 배치될 수도 있음은 물론이다.
상기와 같이 구성되면, 상기 송풍기(130)가 결합된 상기 센터링 부재(110)에 의해 상기 제 1 배관(41) 및 상기 제 2 배관(43)이 연결된 상태에서 상기 캐비넷 도어(31)가 열리는 캐비넷 도어(31) 열림 정보가 상기 제어 부재(140)에 전달되면, 상기 제어 부재(140)가 상기 송풍기(130)를 작동시키게 되고, 그에 따라 상기 캐비넷 내부에 있던 상기 폐가스가 상기 제 1 배관(41) 및 상기 제 2 배관(43)을 통해 외부로 배출될 수 있게 된다.
상기 도어 열림 정보가 상기 제어 부재(140)에 전달될 수 있게 상기 캐비넷 도어(31)에는 상기 캐비넷 도어(31)의 개폐를 감지하는 도어 개폐 감지부(50)가 형성될 수 있다.
또한, 상기 도어 개폐 감지부(50)는 근접 센서 등으로 이루어져 상기 캐비넷 도어(31)의 개폐를 자동으로 감지할 수도 있고, 버튼 등으로 이루어져 상기 작업자가 상기 버튼을 누르는 행동을 통해 상기 캐비넷 도어(31)의 열림을 수동으로 감지할 수도 있다.
본 실시예에서는 상기 도어 개폐 감지부(50)가 상기 캐비넷 도어(31)의 개폐를 자동으로 감지하는 것을 예로 들어 설명한다.
그러면, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛(100)에 의해 상기 캐비넷 배기관(40)을 구성하는 상기 제 1 배관(41) 및 상기 제 2 배관(43)이 연결된 상태에서 상기 작업자가 상기 캐비넷 부재(30) 내부에서 작업을 수행하기 위해 상기 캐비넷 도어(31)를 열게 될 경우, 상기 도어 개폐 감지부(50)가 상기 캐비넷 도어(31)의 열림을 감지하고 상기 도어 열림 정보를 상기 제어 부재(140)에 전달하게 되고, 상기 제어 부재(140)가 상기 송풍기(130)에 작동 명령을 전달하여 상기 송풍기(130)가 작동되고, 그에 따라 상기 캐비넷 부재(30)의 내부에 잔존하던 상기 폐가스가 상기 제 1 배관(41)으로 유입된 후 상기 제 2 배관(43)을 통해 외부로 배출될 수 있게 된다.
도면 번호 60은 상기 제 1 배관(41)의 내부에 상기 제 1 돌출부(120)가 삽입되고, 상기 제 2 배관(43)의 내부에 상기 제 2 돌출부(121)가 삽입되는 형태로 상기 센터링 부재(110)에 의해 상기 제 1 배관(41) 및 상기 제 2 배관(43)이 연결된 상태에서 상기 제 1 배관(41)의 말단부에 형성된 상기 제 1 배출측 플랜지와, 상기 제 2 배관의 말단부인 상기 제 2 배출측 플랜지를 연결시켜 상기 제 1 배관(41) 및 상기 제 2 배관(43)의 연결 상태가 유지되도록 하는 배관 클램프이다.
상기와 같이 구성된 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛(100)은 이미 설치되어 작동 중인 스크러버 장치(10)를 구성하는 기존의 캐비넷 배기관(40)에 대해서도 기존 센터링 유닛을 간단히 교체하는 작업만으로도 쉽게 사용할 수 있다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 실시예에 따른 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛(100)의 적용에 대하여 간략히 설명한다.
먼저, 상기 송풍기(130)를 상기 센터링 부재(110)를 구성하는 상기 결합부측 연결체(126)에 연결한다. 이 때 상기 송풍기(130)는 접착제 또는 상기 결합 수단을 이용하여 결합된다.
그런 다음, 상기 센터링 몸체부(115)의 외측, 더 정확하게는 상기 외측 돌출체(117)의 외측 상에 상기 실링 수단(145)을 연결한다.
그런 다음, 상기 제 1 배관(41)의 내부 공간에 상기 제 1 돌출부(120)를 삽입한다. 이 때 상기 제 1 돌출부(120)의 외측면이 상기 제 1 배관(41)의 내측면에 접합되는지 확인한다.
그런 다음, 상기 제 2 배관(43)의 내부 공간에 상기 제 2 돌출부(121)를 삽입한다. 이 때 상기 제 2 돌출부(121)의 외측면이 상기 제 2 배관(43)의 내측면에 접합되는지 확인한다.
그런 다음, 상기 배관 클램프(60)로 상기 제 1 배출측 플랜지와 상기 제 2 배출측 플랜지를 서로 연결하여 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛(100)의 좌우에 상기 제 1 배관(41) 및 상기 제 2 배관(43)이 연결된 상태로 유지되도록 한다.
상기와 같이, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛(100)이 상기 센터링 부재(110)와, 상기 송풍기(130) 및 상기 제어 부재(140)를 포함함에 따라, 상기 스크러버 장치(10)에 간단하게 적용시킬 수 있고, 상기 작업자가 상기 스크러버 장치(10) 내부에서 안전하게 작업할 수 있도록 작업 환경을 개선할 수 있으며, 새로 설치되는 스크러버 장치(10)뿐만 아니라, 기존에 설치되어 작동 중인 스크러버 장치(10)를 구성하는 캐비넷 배기관(40)에도 간단한 교체 작업만으로 쉽게 적용할 수 있게 된다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛에 대하여 설명한다.
이러한 설명을 수행함에 있어서, 상기된 본 발명의 제 1 실시예에서 이미 기재된 내용과 중복되는 설명은 그에 갈음하고, 여기서는 생략하기로 한다.
도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛을 구성하는 센터링측 실링부를 확대한 확대도이고, 도 6은 도 5의 센터링측 실링부가 탄성 변형된 모습을 보이는 도면이다.
도 5 및 도 6을 함께 참조하면, 본 실시예에서 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛은 센터링 부재와, 송풍기와, 제어 부재 및 한 쌍의 센터링측 실링부(250)를 포함한다.
상기 스크러버 장치는 반도체와 디스플레이 중 어느 하나를 제조할 수 있는 반도체 및 디스플레이 제조 설비에 설치되고, 상기 반도체와 상기 디스플레이 중 어느 하나를 제조할 때 형성된 폐가스를 세정하는 집진 부재와, 그 내부 공간에 상기 집진 부재가 설치되고, 개폐 가능한 캐비넷 도어 및 캐비넷 배기관이 형성되는 캐비넷 부재를 포함하는 것이다.
상기 센터링 부재는 상기 캐비넷 배기관을 구성하는 제 1 배관(41) 및 제 2 배관(43)을 동심축 상에 정렬되게 연결시키는 것으로, 상세한 설명은 후술한다.
상기 송풍기는 상기 센터링 부재에 결합되고, 상기 폐가스를 상기 캐비넷 부재의 내부에서 외부로 배출시키는 것으로, 송풍 본체와, 회전력 공급 수단과, 송풍팬을 포함한다.
상기 제어 부재는 상기 송풍기의 작동을 제어하는 것이다.
상기 센터링 부재는 센터링 몸체부(215)와, 제 1 돌출부(220)와, 제 2 돌출부(221)와, 송풍기측 결합부 및 결합부측 연결체를 포함한다.
상기 센터링 몸체부(215)는 환형으로 형성되는 것이다.
상기 제 1 돌출부(220)는 상기 센터링 몸체부(215)의 일측면에서 돌출되는 것이다.
상기 제 2 돌출부(221)는 상기 센터링 몸체부(215)의 타측면에서 돌출되는 것이다.
상기 송풍기측 결합부는 상기 송풍기가 결합되는 것이다.
상기 결합부측 연결체는 상기 센터링 몸체부(215)와, 상기 제 1 돌출부(220) 및 상기 제 2 돌출부(221)의 내측면에서 상기 송풍기측 결합부까지 연장되어 상기 센터링 몸체부(215)와, 상기 제 1 돌출부(220) 및 상기 제 2 돌출부(221)에 상기 송풍기측 결합부를 연결시키는 것이다.
상기 센터링 몸체부(215)는 센터링 몸체(216)와, 중앙측 돌출체(217)를 포함한다.
상기 센터링 몸체(216)는 환형으로 형성되는 것이다.
상기 중앙측 돌출체(217)는 상기 센터링 몸체(216)의 중앙부에서 외측으로 돌출되는 것이다.
상기 중앙측 돌출체(217)의 외측 상에는 상기 제 1 배관(41) 및 상기 제 2 배관(43) 사이의 공간을 통한 상기 폐가스의 누기가 방지되도록 서로 마주보는 상기 제 1 배관(41)의 말단부와 상기 제 2 배관(43)의 말단부 사이의 공간을 막아 주는 고무 등의 탄성 재질의 실링 수단(245)이 놓여진다.
상기 실링 수단(245)은 오링(O-ring) 등이 그 예로 제시될 수 있다.
한 쌍의 센터링측 실링부(250)는 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛은 상기 센터링 몸체(216)에서 상기 중앙측 돌출체(217)와 나란하게 돌출되어, 대면되는 형태로 배치된 상기 제 1 돌출부(220)와 상기 제 1 배관(41) 사이의 공간 및 대면되는 형태로 배치된 상기 제 2 돌출부(221)와 상기 제 2 배관(43) 사이의 공간으로 상기 폐가스가 누기되는 것이 방지되도록 하는 것이다.
상기 각 센터링측 실링부(250)는 상기 센터링측 몸체부를 기준으로 서로 대칭되는 형태로 형성된다.
상세히, 상기 각 센터링측 실링부(250)는 제 1 탄성 변형체(251)와, 제 1 탄성측 돌기체(252)와, 제 2 탄성 변형체(254)와, 돌기 삽입홈(255)과, 내측면 함몰홈(256)을 포함한다.
상기 제 1 탄성 변형체(251)는 상기 센터링 몸체(216)에서 상기 중앙측 돌출체(217)와 나란하게 돌출되되, 상기 중앙측 돌출체(217)에서 외측으로 이격되어 배치되고, 탄성 변형 가능하게 형성되는 것이다.
상기 제 1 탄성 변형체(251)는 상대적으로 작은 외력이 가해지더라도 탄성 변형이 용이하게 이루어질 수 있도록 상기 센터링 몸체(216) 쪽에서 외측으로 갈수록 그 단면적이 점진적으로 작아지는 형태로 형성된다.
또한, 상기 제 1 탄성 변형체(251)의 말단부는 외력이 가해질 때 상기 제 2 탄성 변형체(254) 쪽으로 휘어짐이 용이하도록 상기 제 2 탄성 변형체(254) 쪽을 향해 소정 곡률을 가지면서 휘어진 형태로 형성된다.
상기 제 1 탄성 변형체(251)의 외측 말단에는 상기 제 1 탄성 변형체(251)에서 확장되는 형태로 형성되어 상기 실링 수단(245)의 외측면 일부가 안착되도록 함과 함께 상기 실링 수단(245)이 상기 제 1 탄성 변형체(251) 상에 안착될 때 상기 실링 수단(245)의 파손이 방지되도록 하는 실링측 안착체(253)가 형성된다.
상기 제 1 탄성측 돌기체(252)는 상기 제 1 탄성 변형체(251)의 외측면에서 소정 길이 돌출되는 것으로, 상기 제 1 탄성 변형체(251)의 외측면에서 멀어질수록 점진적으로 뾰족한 형태로 형성된다.
상기 제 2 탄성 변형체(254)는 상기 센터링 몸체(216)에서 상기 제 1 탄성 변형체(251)와 나란하게 돌출되되, 상기 제 1 탄성 변형체(251)에서 외측으로 이격되어 배치되고, 상기 제 1 탄성 변형체(251) 쪽을 향해 볼록하게 굽혀진 형태로 형성되면서 탄성 변형될 수 있는 것이다.
상기 돌기 삽입홈(255)은 상기 제 2 탄성 변형체(254)의 측면 중 상기 제 1 탄성 변형체(251)와 대면되는 면에서 함몰 형성되고, 상기 제 1 탄성 변형체(251)가 탄성 변형될 때 상기 제 1 탄성측 돌기체(252)의 적어도 일부가 삽입되는 것이다.
상기 돌기 삽입홈(255)은 상기 제 2 탄성 변형체(254)의 측면 중 상기 제 1 탄성 변형체(251)와 대면되는 면에서 함몰 형성되고, 상기 제 1 탄성 변형체(251)가 탄성 변형될 때 상기 제 1 탄성측 돌기체(252)의 적어도 일부가 삽입되는 것이다.
상기 돌기 삽입홈(255)은 상기 제 2 탄성 변형체(254)의 측면에서 함몰될수록 점진적으로 뾰족한 형태로 형성되고, 그에 따라 상기 제 1 탄성측 돌기체(252)가 삽입될 때 상기 제 1 탄성측 돌기체(252)의 첨두 부분분터 삽입이 이루어진다.
상기 돌기 삽입홈(255)의 크기만큼 상기 제 1 탄성측 돌기체(252)의 일부가 삽입된 후에는 상기 제 1 탄성 변형체(251)와 상기 제 2 탄성 변형체(254)가 서로 연결되고, 그에 따라 상기 제 1 탄성 변형체(251)에 전달된 외력이 상기 제 2 탄성 변형체(254)에 전달되어 상기 제 2 탄성 변형체(254)도 탄성 변형이 이루어지게 된다.
상기 내측면 함몰홈(256)은 상기 제 2 탄성 변형체(254) 중 상기 돌기 삽입홈(255)이 형성된 면에서 복수 개가 함몰 형성되되, 상기 돌기 삽입홈(255)과 서로 다른 높이로 배치되는 것이다.
즉, 상기 내측면 함몰홈(256)은 상기 돌기 삽입홈(255)을 기준으로 상측 및 하측에 소정 간격 이격되는 형태로 형성된다.
상기 내측면 함몰홈(256)은 상기 제 2 탄성 변형체(254)의 외측면에서 그 내부로 함몰될수록 점진적으로 뾰족한 형태로 형성된다.
외력에 의해 상기 제 1 탄성 변형체(251)가 휘어져 상기 제 1 탄성측 돌기체(252)가 상기 돌기 삽입홈(255)에 삽입되는 형태로 상기 제 1 탄성 변형체(251)와 상기 제 2 탄성 변형체(254)가 연결됨으로써 상기 외력에 의해 상기 제 2 탄성 변형체(254)도 함께 가압되고, 그에 따라 상기 각 내측면 함몰홈(256)의 공간이 상대적으로 좁혀지면서 상기 제 2 탄성 변형체(254)가 볼록한 형태로 굽혀져 있다가 세워지는 형태로 탄성 변형될 수 있게 된다.
상세히, 상기 센터링 몸체부(215)의 외측에 상기 실링 수단(245)이 배치되고 상기 제 1 배관(41) 및 상기 제 2 배관(43)의 내부에 상기 제 1 돌출부(220) 및 상기 제 2 돌출부(221)가 각각 삽입된 상태에서 상기 제 1 배관(41) 및 상기 제 2 배관(43)의 연결을 위해 상기 제 1 배관(41) 및 상기 제 2 배관(43)을 상대적으로 근접시키는 방향으로 상기 제 1 배관(41) 및 상기 제 2 배관(43)에 상기 외력이 각각 가해지면, 상기 제 1 배관(41)의 말단부 및 상기 제 2 배관(43)의 말단부가 한 쌍의 상기 제 2 탄성 변형체(254) 중 상기 센터링 몸체(216)와 연결되는 부분에 각각 접할 때까지 상기 제 1 배관(41) 및 상기 제 2 배관(43)이 상대적으로 근접되게 이동되면서 상기 실링 수단(245)을 가압하게 된다.
상기 실링 수단(245)에 대한 가압에 의해 상기 실링 수단(245)이 탄성 변형되면서 상기 제 1 탄성 변형체(251)를 눌러 주게 되면, 상기 실링 수단(245)에 의해 눌린 상기 제 1 탄성 변형체(251)가 상기 제 2 탄성 변형체(254) 쪽으로 휘어져 상기 제 1 탄성측 돌기체(252)가 상기 돌기 삽입홈(255)에 삽입됨으로써 상기 제 1 탄성 변형체(251)가 상기 제 2 탄성 변형체(254)를 가압하게 되고, 상기 제 1 탄성 변형체(251)에 의한 상기 제 2 탄성 변형체(254)의 가압에 의해 상기 제 2 탄성 변형체(254)가 볼록하게 굽혀져 있다가 펴지는 형태로 탄성 변형되고, 그에 따라 한 쌍의 상기 제 2 탄성 변형체(254)가 상기 제 1 배관(41)의 말단부 및 상기 제 2 배관(43)의 말단부에 각각 밀착됨으로써, 상기 제 1 돌출부(220)와 상기 제 1 배관(41)의 말단부 사이의 공간 및 상기 제 2 돌출부(221)와 상기 제 2 배관(43)의 말단부 사이의 공간을 통한 상기 폐가스의 누기가 방지될 수 있게 된다.
상기 센터링측 실링부(250)가 상기와 같이 형성되면, 상기 제 1 배관(41) 및 상기 제 2 배관(43) 사이의 공간을 통한 상기 폐가스의 누기는 상기 실링 수단(245)에 의해 방지되고, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛과 상기 제 1 배관(41) 및 상기 제 2 배관(43) 사이의 공간을 통한 상기 폐가스의 누기를 상기 센터링측 실링부(250)에 의해 방지됨으로써, 상기 제 1 배관(41)과 상기 제 2 배관(43) 사이에서 발생될 수 있는 상기 폐가스의 누기가 상대적으로 더 효율적으로 차단될 수 있게 된다.
상기에서 본 발명은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛에 의하면, 상기 반도체와 디스플레이 중 어느 하나를 제조할 때 형성된 폐가스를 세정하는 스크러버 장치에 간단하게 적용시킬 수 있고, 작업자가 상기 스크러버 장치 내부에서 안전하게 작업할 수 있도록 작업 환경을 개선할 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.
10 : 스크러버 장치 20 : 집진 부재
30 : 캐비넷 부재 31 : 캐비넷 도어
40 : 캐비넷 배기관 41 : 제 1 배관
42 : 제 1 배관측 플랜지 43 : 제 2 배관
44 : 제 2 배관측 플랜지
100 : 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛
110 : 센터링 부재 115 : 센터링 몸체부
120 : 제 1 돌출부 121 : 제 2 돌출부
125 : 송풍기측 결합부 126 : 결합부측 연결체
130 : 송풍기 140 : 제어 부재
250 : 센터링측 실링부 251 : 제 1 탄성 변형체
252 : 제 1 탄성측 돌기체 253 : 실링측 안착체
254 : 제 2 탄성 변형체 255 : 돌기 삽입홈
256 : 내측면 함몰홈

Claims (4)

  1. 반도체와 디스플레이 중 어느 하나를 제조할 수 있는 반도체 및 디스플레이 제조 설비에 설치되고, 상기 반도체와 상기 디스플레이 중 어느 하나를 제조할 때 형성된 폐가스를 세정하는 집진 부재와, 그 내부 공간에 상기 집진 부재가 설치되고, 개폐 가능한 캐비넷 도어 및 캐비넷 배기관이 형성되는 캐비넷 부재를 포함하는 스크러버 장치에 적용되는 것으로서,
    상기 캐비넷 배기관을 구성하는 제 1 배관 및 제 2 배관을 동심축 상에 정렬되게 연결시키는 센터링 부재;
    상기 센터링 부재에 결합되고, 상기 폐가스를 상기 캐비넷 부재의 내부에서 외부로 배출시키는 송풍기; 및
    상기 송풍기의 작동을 제어하는 제어 부재;를 포함하고,
    상기 송풍기가 결합된 상기 센터링 부재에 의해 상기 제 1 배관 및 상기 제 2 배관이 연결된 상태에서 상기 캐비넷 도어가 열리는 캐비넷 도어 열림 정보가 상기 제어 부재에 전달되면, 상기 제어 부재가 상기 송풍기를 작동시키게 되고, 그에 따라 상기 캐비넷 내부에 있던 상기 폐가스가 상기 제 1 배관 및 상기 제 2 배관을 통해 외부로 배출될 수 있는 것을 특징으로 하는 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 센터링 부재는
    환형으로 형성되는 센터링 몸체부와,
    상기 센터링 몸체부의 일측면에서 돌출되는 제 1 돌출부와,
    상기 센터링 몸체부의 타측면에서 돌출되는 제 2 돌출부와,
    상기 송풍기가 결합되는 송풍기측 결합부와,
    상기 센터링 몸체부와, 상기 제 1 돌출부 및 상기 제 2 돌출부 중 적어도 하나와 상기 송풍기측 결합부를 연결시키는 결합부측 연결체를 포함하고,
    상기 센터링 몸체부와, 상기 제 1 돌출부와, 상기 제 2 돌출부와, 상기 결합부측 연결체 및 상기 송풍기측 결합부는 일체형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 송풍기는
    상기 송풍기측 결합부에 연결되는 송풍 본체와,
    상기 송풍 본체의 내부에 배치되어 회전력을 공급하는 회전력 공급 수단과,
    상기 회전력 공급 수단에 연결되어 상기 회전력 공급 수단에서 공급되는 회전력에 의해 회전되는 송풍 팬을 포함하고,
    상기 송풍 팬은
    상기 회전력 공급 수단의 회전축에 연결되는 날개 몸체와,
    상기 날개 몸체에서 복수 개가 이격되게 돌출되는 송풍 날개를 포함하는 송풍 팬을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 센터링 몸체부는
    환형으로 형성되는 센터링 몸체와,
    상기 센터링 몸체의 중앙부에서 외측으로 돌출되는 중앙측 돌출체를 포함하고,
    상기 중앙측 돌출체의 외측 상에는 상기 제 1 배관 및 상기 제 2 배관 사이의 공간을 통한 상기 폐가스의 누기가 방지되도록 서로 마주보는 상기 제 1 배관의 말단부와 상기 제 2 배관의 말단부 사이의 공간을 막아 주는 탄성 재질의 실링 수단이 배치되고,
    상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛은 상기 센터링 몸체에서 상기 중앙측 돌출체와 나란하게 돌출되어, 대면되는 형태로 배치된 상기 제 1 돌출부와 상기 제 1 배관 사이의 공간 및 대면되는 형태로 배치된 상기 제 2 돌출부와 상기 제 2 배관 사이의 공간으로 상기 폐가스가 누기되는 것이 방지되도록 하는 한 쌍의 센터링측 실링부;를 포함하고,
    상기 각 센터링측 실링부는
    상기 센터링 몸체에서 상기 중앙측 돌출체와 나란하게 돌출되되, 상기 중앙측 돌출체에서 외측으로 이격되어 배치되고, 탄성 변형 가능하게 형성되는 제 1 탄성 변형체와,
    상기 제 1 탄성 변형체의 외측면에서 돌출되는 제 1 탄성측 돌기체와,
    상기 센터링 몸체에서 상기 제 1 탄성 변형체와 나란하게 돌출되되, 상기 제 1 탄성 변형체에서 외측으로 이격되어 배치되고, 상기 제 1 탄성 변형체 쪽을 향해 볼록하게 굽혀진 형태로 형성되면서 탄성 변형될 수 있는 제 2 탄성 변형체와,
    상기 제 2 탄성 변형체의 측면 중 상기 제 1 탄성 변형체와 대면되는 면에서 함몰 형성되고, 상기 제 1 탄성 변형체가 탄성 변형될 때 상기 제 1 탄성측 돌기체의 적어도 일부가 삽입되는 돌기 삽입홈과,
    상기 제 2 탄성 변형체 중 상기 돌기 삽입홈이 형성된 면에서 복수 개가 함몰 형성되되, 상기 돌기 삽입홈과 서로 다른 높이로 배치되는 내측면 함몰홈을 포함하고,
    상기 센터링 몸체부의 외측에 상기 실링 수단이 배치된 상태에서 상기 제 1 배관 및 상기 제 2 배관의 연결을 위해 상기 제 1 배관 및 상기 제 2 배관을 상대적으로 근접시키는 방향으로 상기 제 1 배관 및 상기 제 2 배관에 외력이 각각 가해지면, 상기 제 1 배관의 말단부 및 상기 제 2 배관의 말단부가 한 쌍의 상기 제 2 탄성 변형체 중 상기 센터링 몸체와 연결되는 부분에 각각 접할 때까지 상기 제 1 배관 및 상기 제 2 배관이 상대적으로 근접되게 이동되면서 상기 실링 수단을 가압하게 되고,
    상기 실링 수단에 대한 가압에 의해 상기 실링 수단이 탄성 변형되면서 상기 제 1 탄성 변형체를 눌러 주게 되면, 상기 실링 수단에 의해 눌린 상기 제 1 탄성 변형체가 상기 제 2 탄성 변형체 쪽으로 휘어져 상기 제 1 탄성측 돌기체가 상기 돌기 삽입홈에 삽입됨으로써 상기 제 1 탄성 변형체가 상기 제 2 탄성 변형체를 가압하게 되고, 상기 제 1 탄성 변형체에 의한 상기 제 2 탄성 변형체의 가압에 의해 상기 제 2 탄성 변형체가 볼록하게 굽혀져 있다가 펴지는 형태로 탄성 변형되고, 그에 따라 한 쌍의 상기 제 2 탄성 변형체가 상기 제 1 배관의 말단부 및 상기 제 2 배관의 말단부에 각각 밀착됨으로써, 상기 제 1 돌출부와 상기 제 1 배관의 말단부 사이의 공간 및 상기 제 2 돌출부와 상기 제 2 배관의 말단부 사이의 공간을 통한 상기 폐가스의 누기가 방지될 수 있는 것을 특징으로 하는 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 스크러버 장치에 적용되는 송풍기 장착형 센터링 유닛.
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