KR102215502B1 - Coating apparatus and coating method - Google Patents

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하치로우 도우치
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쥬가이로 고교 가부시키가이샤
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Abstract

[과제] 노즐과 경화 수단을 연결부로 연결한 도막 형성 유닛을 구성하는 경우에, 노즐의 주행 속도(도포 처리 속도)를 적정하게 확보하여 적절한 도포 처리를 행할 수 있음과 동시에, 경화 처리 개시 시각의 조정을 적절히 행할 수 있고, 또, 경화 처리 속도(경화 처리 시간)의 조정도 적정하게 행하는 것이 가능한 도포 장치 및 도포 방법을 제공한다.
[해결 수단] 도액을 토출하는 노즐(8)과 도액을 경화시키는 경화 수단(10)이 연결부(9)를 매개로 하여 연결된 도막 형성 유닛(6)을 기판(2)의 길이 방향으로 주행 이동시켜, 노즐에 의해 기판을 도포 처리한 후, 경화 수단으로 기판에 도포된 도액을 경화 처리하는 도포 장치(1)로서, 연결부에, 노즐과 경화 수단과의 수평 방향 간격(D)을 조정하는 조정 기구로서, 나사축(11a)과 너트(11b)로 이루어지는 슬라이드 기구(11)를 구비했다. [Task] In the case of constructing a coating film forming unit in which a nozzle and a curing means are connected by a connecting portion, the running speed (coating processing speed) of the nozzle can be properly secured to perform an appropriate coating process, and at the same time A coating apparatus and a coating method capable of appropriately adjusting the curing treatment rate (curing treatment time) and performing appropriate adjustment are provided.
[Solution means] The nozzle 8 for discharging the coating liquid and the curing means 10 for curing the coating liquid move the coating film forming unit 6 connected via the connection part 9 in the longitudinal direction of the substrate 2 , After coating a substrate by a nozzle, a coating device (1) for curing the coating liquid applied to the substrate by a curing means, and an adjustment mechanism that adjusts the horizontal distance (D) between the nozzle and the curing means at the connection portion As an example, a slide mechanism 11 comprising a screw shaft 11a and a nut 11b was provided.

Description

도포 장치 및 도포 방법{COATING APPARATUS AND COATING METHOD}Coating device and coating method {COATING APPARATUS AND COATING METHOD}

본 발명은, 노즐과 경화 수단을 연결부로 연결한 도막 형성 유닛을 구성하는 경우에, 노즐의 주행(走行) 속도(도포 처리 속도)를 적정(適正)하게 확보하여 적절한 도포 처리를 행할 수 있음과 동시에, 경화 처리 개시 시각의 조정을 적절히 행할 수 있고, 또, 경화 처리 속도(경화 처리 시간)의 조정도 적정하게 행하는 것이 가능한 도포 장치 및 도포 방법에 관한 것이다.In the present invention, in the case of constructing a coating film forming unit in which a nozzle and a curing means are connected by a connecting portion, an appropriate coating treatment can be performed by securing an appropriate running speed (coating processing speed) of the nozzle. At the same time, it is possible to appropriately adjust the curing treatment start time, and also to a coating apparatus and a coating method capable of appropriately adjusting the curing treatment speed (curing treatment time).

종래, 테이블(정반(定盤))에 재치(載置)한 기판을, 노즐용 주행 레일을 주행하는 노즐용 지지 포스트(post)에 승강 가능하게 지지된 노즐로부터 토출되는 도액(塗液)으로 도포하도록 한 기판의 도포 장치(예를 들면, '테이블 코터(일본국등록상표)' 등이라고 칭해짐)가 알려져 있다. 이런 종류의 도포 장치에, 기판에 도포된 도액을 경화시키기 위한 경화 수단을 구비한 도포 장치로서, 특허 문헌 1 ~ 3이 알려져 있다. Conventionally, a substrate mounted on a table (stationary table) is used as a coating liquid discharged from a nozzle supported so as to be liftably supported on a support post for a nozzle traveling on a traveling rail for a nozzle. [0003] A coating apparatus for applying a substrate (for example, referred to as a "table coater (registered trademark in Japan)" or the like) is known. Patent Documents 1 to 3 are known as coating apparatuses provided with curing means for curing the coating liquid applied to a substrate in this kind of coating apparatus.

특허 문헌 1의 「패턴 형성 방법 및 패턴 형성 장치」는, 토출 노즐 선단의 토출구로부터 기판을 향해서 도포액을 토출함과 아울러, 기판에 도포된 직후의 도포액에 대해서 제1 조사 광원으로부터 파장 365nm의 UV광을 조사한다. 이것에 의해 도포액의 표면이 경화한다. 이어서, 제2 조사 광원으로부터, 보다 장파장(예를 들면 385nm 또는 395nm)의 UV광을, 앞의 UV광의 조사를 받은 도포액에 조사한다. 장파장의 광은 보다 도포액의 내부까지 침투하므로, 내부의 경화가 촉진되도록 되어 있다. 조사 광원은, 헤드부의 베이스와 시린지 펌프(syringe pump)를 매개로 하여, 토출 노즐과 연결되어 있다. The ``pattern forming method and pattern forming apparatus'' of Patent Document 1 discharges the coating liquid from the discharge port at the tip of the discharge nozzle toward the substrate, and has a wavelength of 365 nm from the first irradiation light source for the coating liquid immediately after being applied to the substrate. UV light is irradiated. This hardens the surface of the coating liquid. Subsequently, from the second irradiation light source, UV light having a longer wavelength (for example, 385 nm or 395 nm) is irradiated to the coating liquid that has been irradiated with the preceding UV light. Since the long wavelength light penetrates to the inside of the coating liquid more, the internal hardening is promoted. The irradiation light source is connected to the discharge nozzle via the base of the head and a syringe pump.

특허 문헌 2의 「슬릿 코트(slit coat)식 도포 장치」는, 기판을 유지하는 유지 테이블과, 상기 기판의 상기 유지 테이블에 유지된 유지면과는 반대측의 도포면에 서로 대향하여 액체가 유출되는 슬릿 모양의 노즐 개구가 마련된 도포 헤드를 구비하며, 상기 기판과 상기 도포 헤드를 상기 도포면의 면방향으로 상대적으로 이동시킴으로써, 상기 기판의 상기 도포면에 액체를 도포하는 슬릿 코트식 도포 장치로서, 상기 도포 헤드에 의해서 상기 기판에 액체를 도포시키면서, 해당 기판에 도포된 직후의 액체를 가열하는 가열 수단을 마련하도록 하고 있다. The ``slit coat type application device'' of Patent Document 2 includes a holding table for holding a substrate, and a slit in which a liquid flows out facing each other on a coating surface of the substrate opposite to the holding surface held on the holding table. A slit coating type coating apparatus comprising a coating head provided with a nozzle opening in a shape, and applying a liquid to the coating surface of the substrate by relatively moving the substrate and the coating head in a plane direction of the coating surface, the coating head As a result, while the liquid is applied to the substrate, a heating means for heating the liquid immediately after it is applied to the substrate is provided.

특허 문헌 3의 「박막 형성 장치 및 박막 형성 방법」은, 도포 대상물을 흡착 유지하는 흡착 테이블과, 흡착 테이블에 흡착 유지된 도포 대상물의 표면에 잉크젯식 노즐로부터 도포재를 토출하면서 박막 형성을 행하는 복수의 도포 헤드와, 도포 헤드를 도포 대상물의 상부 위치에서 이동시키는 갠트리(gantry)를 구비하는 박막 형성 장치로서, 갠트리에, 도포 대상물의 표면을 가열하는 열원 장치를 더 구비하고 있다. 열원 장치는, 갠트리를 매개로 하여, 도포 헤드와 연결되어 있다. The ``thin film forming apparatus and thin film forming method'' of Patent Document 3 includes a plurality of adsorption tables for adsorbing and holding an object to be applied, and a plurality of thin film formation while discharging a coating material from an inkjet nozzle on the surface of an object to be applied adsorbed and held by the adsorption table. A thin film forming apparatus comprising an application head of and a gantry for moving the application head from an upper position of an object to be applied, wherein the gantry further includes a heat source device for heating the surface of the object to be applied. The heat source device is connected to the application head via a gantry.

어느 특허 문헌이라도, 도액을 경화시키거나, 액체나 도포 대상물의 표면을 가열하는 조사 광원, 가열 수단, 열원 장치와, 토출 노즐 등은, 일정한 간격을 두고 연결 고정되어 있다. In any patent document, an irradiation light source, a heating means, a heat source device, a discharge nozzle, etc. for curing a coating liquid or heating the surface of a liquid or an object to be applied are connected and fixed at regular intervals.

[특허 문헌 1] 일본특허공개 제2012－143691호 공보[Patent Document 1] Japanese Patent Laid-Open No. 2012-143691 [특허 문헌 2] 일본특허공개 제2005－218969호 공보[Patent Document 2] Japanese Patent Laid-Open No. 2005-218969 [특허 문헌 3] 일본특허공개 제2013－000656호 공보[Patent Document 3] Japanese Patent Laid-Open No. 2013-000656

상기 특허 문헌과 마찬가지로, 도 8에 나타내는 바와 같이, 테이블(a) 상에 재치(載置)된 기판(b)에 도막(塗膜, c)을 형성하기 위해서 주행 이동되는 도막 형성 유닛(d)을, 도액(塗液, e)을 토출하여 도포 처리하는 노즐(f)과, UV 광(i) 등을 조사하여 도액(e)을 경화 처리하는 경화 수단(g)과, 이들 경화 수단(g)과 노즐(f)을 일정한 간격(도면 중, 간격(LX)：불변)을 두고 연결 고정하는 연결부(h)로 구성하면, 첫째, 경화 수단(g)과 노즐(f)과의 간격(LX)을 변경 조정할 수 없다. As in the above patent document, as shown in Fig. 8, a coating film forming unit (d) that is moved to form a coating film (c) on a substrate (b) placed on a table (a). A nozzle f for discharging the coating liquid e and performing a coating treatment, a curing means g for curing the coating liquid e by irradiation with UV light (i), and these curing means (g ) And the nozzle (f) at regular intervals (in the drawing, the interval (LX): invariant) is composed of a connection part (h) that connects and fixes. First, the distance between the curing means (g) and the nozzle (f) (LX ) Cannot be adjusted.

간격(LX)이 일정 불변이면, 노즐(f)로부터의 도액 토출 시각과, 그 시각에 토출된 도액(e)의 위치까지 경화 수단(g)이 도달하여 경화 처리를 개시하는 경화 처리 개시 시각과의 시간 간격은, 도막 형성 유닛(d)의 주행 속도(VX)(노즐(f) 및 경화 수단(g)의 이동 속도도 동일)에 따라서 결정되는 일정한 시간이다(간격(LX)/주행 속도(VX)).If the interval LX is constant, the time when the coating liquid is discharged from the nozzle f, and the time when the curing means g reaches the position of the coating liquid e discharged at that time and starts the curing process. The time interval of is a constant time determined according to the traveling speed VX of the coating film forming unit d (the moving speed of the nozzle f and the curing means g is also the same) (interval LX)/running speed ( VX)).

도막 형성 유닛(d)의 주행 속도(VX)는 통상, 도포 처리에 기초하여 설정된다. 도포 처리에 대해서는, 예를 들면 도액(e)의 종류(점도나 재질 등)나 막 두께 등의 조건으로부터, 바람직한 도포 처리 속도(주행 속도(VX))가 있다. 한편, 경화 처리에 대해서는, 도포 처리와 동일하게, 예를 들면 도액(e)의 종류나 막 두께 등의 조건으로부터, 도포된 도액(e)의 경화 처리를 개시하는, 바람직한 경화 처리 개시 타이밍이 있다. The running speed VX of the coating film forming unit d is usually set based on the coating process. About the coating treatment, there is a preferable coating treatment speed (running speed VX) from conditions such as the type (viscosity, material, etc.) and film thickness of the coating liquid e, for example. On the other hand, with respect to the curing treatment, there is a preferred curing treatment start timing in which the curing treatment of the applied coating solution e is started under conditions such as, for example, the type and film thickness of the coating solution e, similar to the coating process. .

노즐(f)과 경화 수단(g)이 연결부(h)에 의해 연결되어 그들 간격(LX)이 일정 불변이면, 상술한 바와 같이 도액 토출 시각으로부터 경화 처리 개시 시각까지의 시간 간격이 주행 속도(VX)로 결정되어 버리므로, 도포 처리를 우선한 주행 속도(VX)로 경화 처리를 행하면, 경화 처리 개시 시각이 너무 빠르거나, 너무 늦거나 하여, 정확한 경화 처리 개시 시각에 경화 처리를 개시할 수 없고, 경화 처리를 적절히 행할 수 없다고 하는 문제가 있었다. When the nozzle f and the curing means g are connected by the connecting portion h and the interval LX is constant, as described above, the time interval from the coating liquid discharge time to the curing processing start time is the travel speed VX ), so if the curing treatment is performed at the running speed (VX) in which the coating treatment is given priority, the curing treatment start time is too early or too late, and the curing treatment cannot be started at the correct curing treatment start time. , There was a problem that the hardening treatment could not be properly performed.

반대로, 경화 처리를 우선하여, 경화 처리를 적절히 행할 수 있는 시간 간격에 맞춘 주행 속도(VX)로 설정하면, 경화 처리에 기초하는 주행 속도(VX)에 따라서 노즐(f)로부터 도액(e)을 토출시킬 필요가 있으며, 토출량 등의 제어가 번잡하게 되거나, 또, 도포 처리를 적절히 행할 수 없다고 하는 문제가 있었다. Conversely, if the hardening treatment is prioritized and set to the traveling speed VX in accordance with the time interval at which the hardening treatment can be appropriately performed, the coating liquid e is transferred from the nozzle f according to the traveling speed VX based on the hardening treatment. It is necessary to discharge, and there is a problem that control of the discharge amount or the like becomes complicated, and that the coating treatment cannot be properly performed.

둘째, 노즐(f)의 이동 속도와 경화 수단(g)의 이동 속도가 동일 속도(VX)가 되어, 도포 처리 속도와 경화 처리 속도를 변경 조정할 수 없다. 도포 처리에 대해서는, 상술한 바와 같이 바람직한 도포 처리 속도가 있다. 한편, 경화 처리에 대해서도 마찬가지로, 도액의 종류나 막 두께 등에 따라서, 바람직한 경화 처리 속도가 있다. Second, the moving speed of the nozzle f and the moving speed of the curing means g become the same speed VX, and the coating treatment speed and the curing treatment speed cannot be changed and adjusted. About the coating process, as mentioned above, there is a preferable coating process speed. On the other hand, similarly to the curing treatment, there is a preferable curing treatment speed depending on the type of coating liquid, film thickness, and the like.

경화 처리 속도는, 단위 시간당 경화 처리 에너지가 일정할 때, 늦은 경우에는, 경화 처리 시간이 길게 되어 도액(e)에 대한 경화 처리 에너지가 크게 되고, 빠른 경우에는, 경화 처리 시간이 짧게 되어 경화 처리 에너지가 작게 된다. When the curing processing energy per unit time is constant, when the curing processing energy is late, the curing processing time becomes longer and the curing processing energy for the coating solution (e) becomes large, and when the curing processing time is fast, the curing processing time is shortened. The energy becomes small.

도포 처리를 우선하여 이동 속도(도막 형성 유닛의 주행 속도(VX))를 설정하면, 경화 수단(g)은 동일 속도로 밖에 이동할 수 없기 때문에, 경화 처리 속도(경화 처리 시간)를 적절히 확보할 수 없고, 경화 처리 에너지가 과잉이 되거나 부족하거나 하여, 경화 처리를 적정하게 행할 수 없다고 하는 문제가 있었다. 반대로, 경화 처리를 우선하면, 제1의 경우와 마찬가지로, 도포 처리를 적절히 행할 수 없다고 하는 문제가 있었다. If the moving speed (travel speed (VX) of the coating film forming unit) is set by prioritizing the coating treatment, since the curing means g can only move at the same speed, the curing treatment speed (curing treatment time) can be properly secured. There is a problem that the curing treatment energy is excessive or insufficient, and the curing treatment cannot be properly performed. Conversely, if the curing treatment is given priority, as in the first case, there is a problem that the application treatment cannot be properly performed.

이상으로부터, 경화 수단(g)과 노즐(f)을 연결부(h)에 의해 일정 불변의 간격(LX)을 두고 연결 고정하는 도막 형성 유닛(d)에서는, 막 두께나 막질(膜質) 등이 균일하고 품질이 높은 도막을 형성하는 것이 어렵다고 하는 과제가 있었다. From the above, in the coating film forming unit (d) in which the curing means (g) and the nozzle (f) are connected and fixed by the connection portion (h) at a constant interval (LX), the film thickness, film quality, etc. are uniform. There was a problem that it was difficult to form a high-quality coating film.

본 발명은 상기 종래의 과제를 감안하여 창안된 것으로서, 노즐과 경화 수단을 연결부에 의해 연결한 도막 형성 유닛을 구성하는 경우에, 노즐의 주행 속도(도포 처리 속도)를 적정하게 확보하여 적절한 도포 처리를 행할 수 있음과 동시에, 경화 처리 개시 시각의 조정을 적절히 행할 수 있고, 또, 경화 처리 속도(경화 처리 시간)의 조정도 적정하게 행하는 것이 가능한 도포 장치 및 도포 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. The present invention was devised in view of the above conventional problems, and in the case of configuring a coating film forming unit in which a nozzle and a curing means are connected by a connecting portion, appropriate coating treatment by properly securing the running speed (application processing speed) of the nozzle It is possible to perform, and at the same time, the curing treatment start time can be appropriately adjusted, and the curing treatment speed (curing treatment time) can be appropriately adjusted.

본 발명에 관한 도포 장치는, 도액을 토출하는 노즐과 도액을 경화시키는 경화 수단이 연결부를 매개로 하여 연결된 도막 형성 유닛을 기판의 길이 방향으로 주행 이동시켜, 해당 노즐에 의해 기판을 도포 처리한 후, 해당 경화 수단으로 기판에 도포된 도액을 경화 처리하는 도포 장치로서, 상기 연결부에, 상기 노즐과 상기 경화 수단과의 수평 방향 간격을 조정하는 조정 기구를 구비하고, 상기 조정 기구는, 상기 경화 수단을 기판면을 따라서 선회 가능하게 하는 선회 기구인 것을 특징으로 한다. In the coating apparatus according to the present invention, a nozzle for discharging the coating solution and a curing means for curing the coating solution move the connected coating film forming unit through a connection portion in the longitudinal direction of the substrate, and apply the substrate by the nozzle. , A coating device for curing a coating liquid applied to a substrate by the curing means, wherein the connecting portion is provided with an adjustment mechanism for adjusting a horizontal distance between the nozzle and the curing means, the adjustment mechanism comprising the curing means It is characterized in that it is a turning mechanism that enables turning along the substrate surface.

상기 경화 수단은, 개개로 다른 상기 수평 방향 간격의 설정이 가능하게, 기판의 폭방향으로 복수 배열되며, 상기 연결부는, 이들 경화 수단을 개별로 상기 노즐에 연결하기 위해서 복수 마련되는 것을 특징으로 한다. The curing means is arranged in a plurality in the width direction of the substrate so that the horizontal distance can be individually set, and a plurality of connecting portions are provided to individually connect these curing means to the nozzle. .

상기 조정 기구는, 상기 노즐에 대해서 상기 경화 수단을 상대 이동시키기 위한 구동 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다. The adjustment mechanism is characterized in that it includes a driving means for moving the curing means relative to the nozzle.

도액(塗液)을 토출하는 노즐과 도액을 경화시키는 경화 수단이 연결부를 매개로 하여 연결된 도막 형성 유닛을 기판의 길이 방향으로 주행 이동시켜, 상기 노즐에 의해 기판을 도포 처리한 후, 상기 경화 수단으로 기판에 도포된 도액을 경화 처리하는 도포 장치로서, 상기 연결부에, 상기 노즐과 상기 경화 수단과의 수평 방향 간격을 조정하는 조정 기구를 구비하고, 상기 조정 기구는, 상기 경화 수단을 기판의 길이 방향을 따라서 슬라이드 가능하게 하는 슬라이드 기구이며, 상기 경화 수단은, 개개로 다른 상기 수평 방향 간격의 설정이 가능하게, 기판의 폭방향으로 복수 배열되며, 상기 연결부는, 이들 경화 수단을 개별로 상기 노즐에 연결하기 위해서 복수 마련되는 것을 특징으로 한다. A nozzle for discharging a coating solution and a curing means for curing the coating solution move the connected coating film forming unit through a connecting portion in the longitudinal direction of the substrate, and after coating the substrate with the nozzle, the curing means A coating apparatus for curing a coating liquid applied to a substrate, comprising an adjustment mechanism for adjusting a horizontal distance between the nozzle and the curing means at the connecting portion, wherein the adjustment mechanism comprises: It is a slide mechanism that enables sliding along a direction, and the curing means is arranged in a plurality in the width direction of the substrate so that the horizontal distances can be set individually differently, and the connecting portion includes the curing means individually by the nozzle It characterized in that a plurality is provided to connect to.

상기 조정 기구는, 상기 노즐에 대해서 상기 경화 수단을 상대 이동시키기 위한 구동 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다. The adjustment mechanism is characterized in that it includes a driving means for moving the curing means relative to the nozzle.

본 발명에 관한 도포 방법은, 앞서 설명한 상기 조정 기구를 구비하는 전자의 도포 장치를 이용하며, 상기 조정 기구에 의해 상기 노즐과 상기 경화 수단과의 수평 방향 간격을 설정한 후, 상기 도막 형성 유닛을 주행 이동시켜, 해당 노즐에 의한 도포 처리와 해당 경화 수단에 의한 경화 처리를 행하도록 한 것을 특징으로 한다. The coating method according to the present invention uses the former application device having the above-described adjustment mechanism, and after setting the horizontal distance between the nozzle and the curing means by the adjustment mechanism, the coating film forming unit is It is characterized in that it is made to travel and move, and apply|coating treatment by the said nozzle and hardening|curing treatment by the said hardening means are performed.

본 발명에 관한 도포 방법은, 앞서 설명한 상기 구동 수단을 가지는 상기 조정 기구를 구비한 후자의 도포 장치를 이용하며, 상기 도막 형성 유닛을 주행 이동시켜 상기 노즐에 의한 도포 처리를 행할 때, 상기 구동 수단으로 상기 경화 수단을 해당 노즐에 대해서 상대 이동하면서 경화 처리를 행하도록 한 것을 특징으로 한다. The coating method according to the present invention uses the latter coating device provided with the adjustment mechanism having the driving means described above, and when the coating film forming unit is moved to perform the coating process using the nozzle, the driving means Thus, it is characterized in that the curing means is moved relative to the nozzle to perform curing treatment.

본 발명에 관한 도포 장치 및 도포 방법에 있어서는, 노즐과 경화 수단을 연결부에 의해 연결한 도막 형성 유닛을 구성하는 경우에, 노즐의 주행 속도(도포 처리 속도)를 적정하게 확보하여 적절한 도포 처리를 행할 수 있음과 동시에, 경화 처리 개시 시각의 조정을 적절히 행할 수 있고, 또, 경화 처리 속도(경화 처리 시간)의 조정도 적정하게 행하는 것이 가능해진다. In the coating apparatus and coating method according to the present invention, in the case of configuring a coating film forming unit in which the nozzle and the curing means are connected by a connecting portion, the running speed of the nozzle (coating processing speed) is appropriately secured to perform an appropriate coating treatment. At the same time, it is possible to appropriately adjust the curing treatment start time, and also appropriately adjust the curing treatment speed (curing treatment time).

도 1은 본 발명에 관한 도포 장치의 제1 실시 형태를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1에 나타낸 도포 장치의 평면도이다. 　　
도 3은 도 1에 나타낸 도포 장치에서 기판에 도막을 형성하는 모습을 나타내는 측면도이다.
도 4는 본 발명에 관한 도포 방법의 바람직한 실시 형태를 설명하는 개략 설명도이다.
도 5는 제1 실시 형태의 변형예를 나타내는 도포 장치의 평면도이다.
도 6은 본 발명에 관한 도포 장치의 제2 실시 형태를 나타내는 평면도이다.
도 7은 도 6 중, A 방향 화살표로부터 본 부분 확대도이다.
도 8은 배경 기술을 설명하는 설명도이다. 1 is a perspective view showing a first embodiment of an application device according to the present invention.
Fig. 2 is a plan view of the coating device shown in Fig. 1;
3 is a side view showing a state in which a coating film is formed on a substrate in the coating apparatus shown in FIG. 1.
4 is a schematic explanatory diagram illustrating a preferred embodiment of a coating method according to the present invention.
5 is a plan view of a coating device showing a modified example of the first embodiment.
6 is a plan view showing a second embodiment of the coating device according to the present invention.
Fig. 7 is a partially enlarged view of Fig. 6 viewed from an arrow in the direction A.
8 is an explanatory diagram illustrating a background art.

이하에, 본 발명에 관한 도포 장치 및 도포 방법의 바람직한 실시 형태를, 첨부 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 도 1은, 본 발명에 관한 도포 장치의 제1 실시 형태를 나타내는 사시도, 도 2는, 도 1에 나타낸 도포 장치의 평면도, 도 3은, 도 1에 나타낸 도포 장치에서 기판에 도막을 형성하는 모습을 나타내는 측면도이다. Hereinafter, preferred embodiments of the coating apparatus and the coating method according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. 1 is a perspective view showing a first embodiment of a coating apparatus according to the present invention, FIG. 2 is a plan view of the coating apparatus shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a state in which a coating film is formed on a substrate in the coating apparatus shown in FIG. It is a side view showing.

제1 실시 형태에 관한 도포 장치(1)는 도 1 ~ 도 3에 나타내는 바와 같이, 주로, 도포 대상물인 기판(2)이 교환 가능하게 재치(載置)되는 테이블(정반(定盤))(3)과, 테이블(3) 외부의 기대(基台, 4) 상에, 기판(2)을 폭방향 양측으로부터 사이에 두는 배치로, 기판(2)의 길이 방향을 따라서 마련된 좌우 한 쌍의 주행(走行) 레일(5)과, 기판(2)의 길이 방향으로 주행 레일(5)을 주행 이동되는 도막 형성 유닛(6)으로 구성된다. As shown in Figs. 1 to 3, the coating apparatus 1 according to the first embodiment is mainly a table on which the substrate 2 as an object to be applied is placed so as to be exchangeable (a table) ( 3) and a pair of left and right traveling along the length direction of the substrate 2 in an arrangement in which the substrate 2 is sandwiched from both sides in the width direction on the base 4 outside the table 3 (走行) It is composed of a rail 5 and a coating film forming unit 6 that travels and moves the travel rail 5 in the longitudinal direction of the substrate 2.

도막 형성 유닛(6)은, 주행 레일(5)을 주행 이동하는 주행체(走行體, 7)와, 주행체(7)에 마련되며, 도액(C)을 토출하는 노즐(8)과, 주행체(5)에 마련된 연결부(9)와, 연결부(9)를 매개로 하여, 주행체(5)에 지지되며, 도액(C)을 경화 처리하는 경화 수단(10)으로 구성된다. The coating film forming unit 6 is provided on a traveling body 7 for traveling and moving the traveling rail 5, a nozzle 8 for discharging the coating liquid C, and traveling. It is comprised of a connection part 9 provided in the sieve 5, and a hardening means 10 supported by the traveling body 5 via the connection part 9, and hardening the coating liquid C.

주행체(7)는, 좌우 한 쌍의 기둥부(7a)와, 이들 기둥부(7a)의 사이에, 기판(2)의 폭방향을 따라서 가설(架設)되는 빔부(beam部, 7b)로부터, 문형(門型) 형태로 형성된다. 주행체(7)는, 주지의 리니어 모터나 볼 나사 기구 등에 의해서, 주행 레일(5)을 주행 이동된다. 주행체(7)는, 기판(2)의 길이 방향으로, 해당 기판(2)의 일단(도포 시단(始端, 2a))측과 타단(도포 종단(終端, 2b))측과의 사이를 왕복 주행된다. The traveling body 7 is formed from a pair of left and right pillar portions 7a, and a beam portion 7b interposed between the pillar portions 7a along the width direction of the substrate 2 , It is formed in a sentence shape. The traveling body 7 travels and moves the traveling rail 5 by a known linear motor or a ball screw mechanism. The traveling body 7 reciprocates between one end (application start end 2a) and the other end (application end 2b) side of the substrate 2 in the longitudinal direction of the substrate 2 It runs.

노즐(8)은, 그 길이 방향 양단부가 주행체(7)의 한 쌍의 기둥부(7a)에 지지되며, 이것에 의해 노즐(8)은, 길이 방향이 기판(2)의 폭방향을 향하게 되어, 주행체(7)에 마련된다. 도시예에서는, 노즐(8)은, 주행체(7)의 전진 주행 방향 전면(前面, 7c)에 면(面)하여 마련되어 있다. 노즐(8)은, 기판(2)과의 틈새 간격을 조절할 수 있도록, 기둥부(7a)에 형성된 승강용 슬릿(7d)을 통해서, 기둥부(7a)에 승강 가능하게 마련된다. 노즐(8)을 승강시키는 기구는, 주지의 볼 나사 기구 등으로 구성된다. The nozzle 8 is supported at both ends in the longitudinal direction by a pair of pillar portions 7a of the traveling body 7, whereby the nozzle 8 faces the lengthwise direction in the width direction of the substrate 2 As a result, it is provided in the traveling body 7. In the illustrated example, the nozzle 8 is provided on the front surface 7c of the traveling body 7 in the forward travel direction. The nozzle 8 is provided so as to be able to move up and down on the pillar portion 7a through the elevating slit 7d formed in the pillar portion 7a so that the clearance gap with the substrate 2 can be adjusted. The mechanism for raising and lowering the nozzle 8 is constituted by a known ball screw mechanism or the like.

노즐(8)에는, 이것에 도액(C)을 공급하기 위해서, 도시하지 않은 도액 공급 수단이 접속된다. 도액 공급 수단으로부터 노즐(8)에 도액(C)이 공급됨으로써, 노즐(8)은, 기판(2)을 향해서 도액(C)을 토출한다. 주행 이동되는 주행체(7)에 지지된 노즐(8)로부터 도액(C)이 토출되는 것에 의해, 기판(2)은 도포 처리된다(도 3중, 새틴(satin) 부분으로 나타냄).In order to supply the coating solution C to the nozzle 8, a coating solution supply means (not shown) is connected. By supplying the coating liquid C to the nozzle 8 from the coating liquid supply means, the nozzle 8 discharges the coating liquid C toward the substrate 2. When the coating liquid C is discharged from the nozzle 8 supported by the traveling body 7 to be moved, the substrate 2 is coated (indicated by a satin portion in Fig. 3).

연결부(9)는, 주행체(7)의 전진 주행 방향 후면(7e)에, 해당 후면(7e)으로부터 기판(2)의 길이 방향을 따라서 후방을 향하여 수평하게 연장된 슬라이드 바(혹은 그것을 대신하는 나사축(11a))와, 슬라이드 바에 기판(2)의 길이 방향을 따라서 슬라이드 이동 가능하게 마련된 슬라이드 블록(혹은 그것을 대신하는 너트(11b))으로 구성된다. 즉, 연결부(9)는, 슬라이드 기구(11)를 구비한다. The connecting portion 9 is a slide bar extending horizontally from the rear surface 7e in the forward travel direction of the traveling body 7 toward the rear along the length direction of the substrate 2 from the rear surface 7e. It is composed of a screw shaft 11a) and a slide block (or a nut 11b replacing it) provided on the slide bar so as to be slidably movable along the longitudinal direction of the substrate 2. That is, the connection part 9 is provided with the slide mechanism 11.

혹은, 연결부(9)에 구비되는 슬라이드 기구(11)를, 볼 나사 기구로 구성해도 괜찮다. 즉, 슬라이드 바를 나사축(11a)으로 대신하고, 슬라이드 블록을 너트(11b)로 대신하여, 도막 형성 유닛(6) 중 어느 하나의 개소에 마련한 구동 수단으로서의 모터(12)로 나사축(11a)을 구동하는 것에 의해, 너트(11b)의 슬라이드가 가능한 연결부(9)를 구성해도 괜찮다. Alternatively, the slide mechanism 11 provided in the connecting portion 9 may be constituted by a ball screw mechanism. That is, the screw shaft 11a is used as the motor 12 as a driving means provided in any one of the coating film forming units 6 by replacing the slide bar with the screw shaft 11a and the slide block with the nut 11b. By driving it, you may configure the connection part 9 which can slide the nut 11b.

도시예에서는, 나사축(11a)은, 기판(2)의 폭방향(주행체(7)의 빔부(7b)의 가설(架設) 방향)으로, 좌우 한 쌍으로 2개 마련되어 있다. 따라서, 너트(11b)도, 각 나사축(11a)에 장착하여, 기판(2)의 폭방향으로 좌우 2개 마련되어 있다. In the illustrated example, two screw shafts 11a are provided in a pair of left and right in the width direction of the substrate 2 (the temporary direction of the beam portion 7b of the running body 7 ). Therefore, the nuts 11b are also attached to each screw shaft 11a, and two left and right are provided in the width direction of the substrate 2.

슬라이드 바 및 슬라이드 블록으로 구성하는 경우, 슬라이드 블록은, 손으로 조작되는 체결 부재 등에 의해, 슬라이드 바에 장착된다. 체결 부재 등을 조임으로써, 슬라이드 블록은 슬라이드 바에 고정되고, 느슨하게 함으로써, 슬라이드 바에 대해, 슬라이드 가능하게 된다. 이하, 연결부(9)로서, 볼 나사 기구를 채용한 경우에 대해 설명한다. In the case of a slide bar and a slide block, the slide block is attached to the slide bar by a fastening member operated by hand or the like. By tightening the fastening member or the like, the slide block is fixed to the slide bar, and by loosening it, it becomes slidable with respect to the slide bar. Hereinafter, a case where a ball screw mechanism is employed as the connecting portion 9 will be described.

경화 수단(10)은, 그 길이 방향 양단측이 좌우의 너트(11b)에 지지되며, 이것에 의해 경화 수단(10)은, 길이 방향이 기판(2)의 폭방향을 향하게 되어, 연결부(9)와 연결된다. 경화 수단(10)이 마련되는 연결부(9)는, 볼 나사 기구라도, 상술한 슬라이드 바와 슬라이드 블록으로 구성한 구조라도, 너트(11b)나 슬라이드 블록이 슬라이드 가능하다. The curing means 10 is supported by the left and right nuts 11b at both ends in the longitudinal direction thereof, whereby the curing means 10 has the longitudinal direction facing the width direction of the substrate 2, and the connecting portion 9 ). The connecting portion 9 on which the hardening means 10 is provided can slide the nut 11b or the slide block, even if it is a ball screw mechanism or a structure composed of the slide bar and slide block described above.

따라서, 연결부(9)는, 노즐(8)과 경화 수단(10)과의 수평 방향 간격(D)을, 주행체(5)의 주행 이동 방향(기판(2)의 길이 방향)으로 조정하는 조정 기구를 구비한다. 볼 나사 기구의 경우, 구동 수단인 모터(12)로 나사축(11a)을 회전시키는 것에 의해 너트(11b)의 슬라이드가 가능해지므로, 주행체(7)의 주행 이동 중에 너트(11b)를 나사축(11a)을 따라서 슬라이드시킬 수 있고, 이것에 의해, 노즐(8)에 대해서 경화 수단(10)을 상대 이동시킬 수 있다. 물론, 연결부(9)는, 주행체(7)의 노즐(8)에 대해, 경화 수단(10)을 연결하는 기능을 구비한다. Therefore, the connection part 9 adjusts the horizontal distance D between the nozzle 8 and the curing means 10 in the traveling movement direction of the traveling body 5 (the lengthwise direction of the substrate 2). Equipped with equipment. In the case of the ball screw mechanism, since the nut 11b can be slid by rotating the screw shaft 11a by the motor 12, which is a driving means, the nut 11b is screwed while the traveling body 7 is moving. It can slide along (11a), and by this, the hardening means 10 can move relative to the nozzle 8. Of course, the connecting portion 9 has a function of connecting the curing means 10 to the nozzle 8 of the traveling body 7.

경화 수단(10)으로서는, 도액(C)이 UV 경화 타입이면 UV 조사체가 이용되고, 도액(C)이 열경화 타입이면 발열체가 이용되며, 자연 건조 타입이면 공기 등의 건조용 기체를 분출하는 드라이어가 이용된다. As the curing means 10, if the coating solution (C) is a UV curing type, a UV irradiator is used, when the coating solution (C) is a thermosetting type, a heating element is used, and when the coating solution (C) is a thermosetting type, a heating element is used. Is used.

경화 수단(10)은, 이것에 접속되는 도시하지 않은 전기 배선을 매개로 하여 공급되는 전력에 의해, 기판(2)을 향해서 UV광(F)을 발하거나, 발열되어 기판(2)을 향해서 방열하거나, 건조용 기체를 기판(2)을 향해서 분사한다. 경화 수단(10)으로서는 물론, 도액(C)의 종류에 따라서, 여러 가지의 것을 채용할 수 있다. 연결부(9)를 매개로 하여 주행체(7)에 연결된 경화 수단(10)으로부터 UV광(F) 등이 발 하게 하는 것에 의해, 노즐(8)에 의해 기판(2)에 도포된 도액(C)은 경화 처리된다(도 3 중, 흑색 부분으로 나타냄).The curing means 10 emits UV light (F) toward the substrate 2 or heats up to radiate heat toward the substrate 2 by electric power supplied through an electrical wiring (not shown) connected thereto. Alternatively, the drying gas is sprayed toward the substrate 2. As the curing means 10, of course, various ones can be employed depending on the type of the coating liquid C. The coating liquid (C) applied to the substrate 2 by the nozzle 8 is made to emit UV light (F) or the like from the curing means 10 connected to the traveling body 7 via the connection part 9 ) Is cured (indicated by a black portion in Fig. 3).

다음으로, 제1 실시 형태에 관한 도포 장치(1)를 이용한 도포 방법에 대해 설명한다. 도 4는, 본 도포 방법의 개략 설명도가 나타내어져 있다. 기판(2)에 도막을 형성할 때, 도막 형성 유닛(6)의 주행체(7)가 주행 레일(5)을 기판(2)의 길이 방향으로 주행 이동된다. 노즐(8)이 최초로 기판(2)의 도포 시단(2a)에 도달하고, 도액(C)을 토출하여 도포 처리를 개시한다. Next, a coating method using the coating device 1 according to the first embodiment will be described. 4 is a schematic explanatory diagram of the present application method. When forming a coating film on the substrate 2, the traveling body 7 of the coating film forming unit 6 travels the traveling rail 5 in the longitudinal direction of the substrate 2. The nozzle 8 first reaches the application start end 2a of the substrate 2, discharges the coating liquid C, and starts the coating process.

노즐(8)이 기판(2) 상을 전진해 가면, 그 후, 연결부(9)에 구비된 볼 나사 기구의 너트(11b)에 지지된 경화 수단(10)이, 기판(2)의 도포 시단(2a)에 도달한다. 도포 시단(2a)에서의 도포 처리 및 경화 처리를 예로 들어 설명하면, 노즐(8)로부터의 도포 시단(2a)으로의 도액 토출 시각과, 도포 시단(2a)에 도포된 도액(C)의 경화 처리를 개시하는 경화 처리 개시 시각과의 시간 간격은, 도막 형성 유닛(6)의 주행 속도(V)에 기초하여, 노즐(8)과 경화 수단(10)과의 수평 방향 간격(D)에 의해서 결정된다. When the nozzle 8 advances on the substrate 2, after that, the curing means 10 supported by the nut 11b of the ball screw mechanism provided in the connection portion 9 starts the application of the substrate 2 It reaches (2a). Taking the application treatment and curing treatment at the application start end 2a as an example, the time of discharging the coating liquid from the nozzle 8 to the application start end 2a, and the curing of the coating liquid C applied to the application start end 2a The time interval between the curing treatment start time at which the treatment is started is based on the traveling speed V of the coating film forming unit 6, and is determined by the horizontal distance D between the nozzle 8 and the curing means 10. Is determined.

본 실시 형태에서는, 연결부(9)가 수평 방향 간격(D)을 조정하는 조정 기구(볼 나사 기구)를 구비하고 있으므로, 해당 수평 방향 간격(D)을 넓게 하거나 좁게 하거나 할 수 있고, 배경 기술과는 달리, 도액 토출 시각으로부터 경화 처리 개시 시각까지의 시간 간격을 변경 조정할 수 있다. In the present embodiment, since the connecting portion 9 is provided with an adjustment mechanism (ball screw mechanism) that adjusts the horizontal distance D, the horizontal distance D can be widened or narrowed. Alternatively, it is possible to change and adjust the time interval from the coating liquid discharge time to the coin processing start time.

예를 들면, 도막 형성 유닛(6)의 주행 속도(V)가 20mm/sec.인 경우, 수평 방향 간격(D)이 80mm로 고정되어 있는 경우에는, 시간 간격은 4초(=D/V)로 일정하게 되어 버리지만, 조정 기구에 의해서 수평 방향 간격(D)을 조정할 수 있으므로, 수평 방향 간격(D)을 100mm로 넓혀 시간 간격을 5초로 하거나, 60mm로 좁혀 시간 간격을 3초로 하거나 하여, 도액(C)을 도포하고 나서, 경화 처리를 개시할 때까지의 시간을 자유 자재로 조정할 수 있다. For example, when the traveling speed V of the coating film forming unit 6 is 20 mm/sec., when the horizontal distance D is fixed at 80 mm, the time interval is 4 seconds (=D/V) However, since the horizontal distance (D) can be adjusted by the adjustment mechanism, the time interval (D) is increased to 100 mm and the time interval is 5 seconds, or the time interval is narrowed to 60 mm and the time interval is set to 3 seconds. After applying the coating solution (C), the time until starting the curing treatment can be freely adjusted.

이와 같이 제1 실시 형태에 관한 도포 장치(1) 및 그것을 이용한 도포 방법에서는, 예를 들면 도포 처리를 우선한 주행 속도(V)로 도막 형성을 행하는 경우라도, 수평 방향 간격(D)의 조정에 의해, 정확한 경화 처리 개시 시각에 경화 처리를 개시할 수 있어, 경화 처리를 적절히 행할 수 있다. 수평 방향 간격(D)의 조정은, 모터(12)로 볼 나사 기구를 구동함으로써 자동적으로 행할 수 있다. In this way, in the coating apparatus 1 according to the first embodiment and the coating method using the same, for example, even when the coating film is formed at the traveling speed V prior to the coating treatment, the adjustment of the horizontal distance D Thereby, the hardening treatment can be started at the correct hardening treatment start time, and the hardening treatment can be performed suitably. Adjustment of the horizontal distance D can be performed automatically by driving the ball screw mechanism with the motor 12.

조정 기구를, 슬라이드 바와 슬라이드 블록으로 구성한 경우에는, 도막 형성 유닛(6)의 주행 정지 상태에서, 손으로 조작하여, 슬라이드 바를 따라서 슬라이드 블록을 슬라이드하여 수평 방향 간격(D)을 조정하고, 그 후, 체결 부재 등으로 슬라이드 블록을 슬라이드 바에 조여 고정하도록 하면 좋다. 이와 같이 하여 수평 방향 간격(D)을 설정한 후, 도막 형성 유닛(6)을 주행 이동시켜, 노즐(8)에 의한 도포 처리와 경화 수단(10)에 의한 경화 처리가 행해진다. When the adjustment mechanism is composed of a slide bar and a slide block, it is operated by hand in the state where the coating film forming unit 6 is stopped running, slides the slide block along the slide bar to adjust the horizontal distance D, and then It is good to fasten the slide block to the slide bar with a fastening member or the like. After setting the horizontal distance D in this way, the coating film forming unit 6 is moved to travel, and the coating treatment by the nozzle 8 and the curing treatment by the curing means 10 are performed.

게다가, 제1 실시 형태에 관한 도포 장치를 이용한 도포 방법에서는, 조정 수단을 볼 나사 기구로 구성하는 것에 의해, 도포 처리 중에, 기판(2)의 길이 방향을 따라서, 경화 수단(10)을 노즐(8)에 대해서 상대 이동시킬 수 있다. In addition, in the coating method using the coating apparatus according to the first embodiment, by configuring the adjusting means with a ball screw mechanism, during the coating process, the curing means 10 is attached to the nozzle ( You can move relative to 8).

예를 들면, 길이 L=1000mm인 기판(2)을, 주행 속도 V=20mm/sec.로 설정한 도막 형성 유닛(6)으로 도막 형성하는 경우에, 경화 수단(10)을 노즐(8)에 대해 상대 이동하지 않을 때에는, 경화 수단(10)의 경화 처리 속도는, 주행체(7)와 동일하게 20mm/sec.가 된다. 이 경우의 경화 처리 시간은 50초가 된다. For example, in the case of forming a coating film on the substrate 2 having a length L = 1000 mm with the coating film forming unit 6 set at a travel speed V = 20 mm/sec., the curing means 10 is attached to the nozzle 8 When relative movement is not performed, the coin processing speed of the coining means 10 is 20 mm/sec., similarly to the traveling body 7. The curing treatment time in this case is 50 seconds.

이것에 대해, 주행 이동되는 노즐(8)로 도포 처리를 행하고 있을 때에, 너트(11b), 즉 경화 수단(10)을, 나사축(11a)에 대해 이동 속도 Va=10mm/sec.로, 도막 형성 유닛(6)의 전진 주행 방향과는 반대 방향으로, 점차 노즐(8)로부터 멀어져 가는 방향으로 상대 이동시키면, 경화 수단(10)의 기판(2)에 대한 상대 이동 속도가 10mm/sec.가 되고, 이 경우의 경화 처리 시간은 100초가 된다. On the other hand, when the coating treatment is performed with the nozzle 8 that is moved by traveling, the nut 11b, that is, the hardening means 10 is moved with respect to the screw shaft 11a at a moving speed Va = 10 mm/sec. When relative movement in a direction opposite to the forward travel direction of the forming unit 6 in a direction gradually moving away from the nozzle 8, the relative movement speed of the curing means 10 with respect to the substrate 2 is 10 mm/sec. And the curing treatment time in this case is 100 seconds.

이 경우, 도포 시단(2a)에서의 도액 토출 시각으로부터 경화 처리 개시 시각까지의 시간 간격을 예를 들면 20초(노즐(8)과 경화 수단(10)과의 수평 방향 간격(D)은 400mm)로 설정했을 때, 나사축(11a)으로서는, 적어도 900mm((100-50)초×10mm/sec.＋400mm)의 길이의 것을 이용하면 좋다. In this case, the time interval from the coating liquid discharge time at the application start end 2a to the hardening treatment start time is, for example, 20 seconds (the horizontal distance D between the nozzle 8 and the hardening means 10 is 400 mm). When set to, as the screw shaft 11a, a length of at least 900 mm ((100-50) sec x 10 mm/sec.+400 mm) may be used.

반대로, 주행 이동되는 노즐(8)로 도포 처리를 행하고 있을 때에, 경화 수단(10)을, 나사축(11a)에 대해 이동 속도 Va=5mm/sec.로, 도막 형성 유닛(6)의 전진 주행 방향과 동일 방향으로, 점차 노즐(8)로 접근해 가는 방향으로 상대 이동시키면, 경화 수단(10)의 기판(2)에 대한 상대 이동 속도가 25mm/sec.가 되고, 이 경우의 경화 처리 시간은 40초가 된다. Conversely, when the coating treatment is being performed with the traveling nozzle 8, the curing means 10 is moved forward with respect to the screw shaft 11a at a moving speed Va = 5 mm/sec. of the coating film forming unit 6 When relative movement is made in the same direction as the direction and in the direction gradually approaching the nozzle 8, the relative movement speed of the curing means 10 with respect to the substrate 2 becomes 25 mm/sec., and the curing treatment time in this case Becomes 40 seconds.

경화 수단(10)을 노즐(8)에 가까워지도록 상대 이동시키는 경우에는, 노즐(8)과 경화 수단(10)이 충돌하는 등, 간섭이 생기지 않도록, 도포 시단(2a)에서의 도액 토출 시각부터 경화 처리 개시 시각까지의 시간 간격을 설정하는 노즐(8)과 경화 수단(10)과의 수평 방향 간격(D), 예를 들면 상기 400mm 보다도, 경화 처리를 완료할 때까지 경화 수단(10)이 상대 이동하는 거리(200mm=5mm/sec.×40초)가 짧게 되도록 설정된다. In the case of relative movement of the curing means 10 so as to be close to the nozzle 8, from the time of discharging the coating liquid at the application start end 2a so as not to cause interference, such as collision between the nozzle 8 and the curing means 10 A horizontal distance (D) between the nozzle 8 and the curing unit 10 for setting the time interval until the start time of the curing treatment, for example, the curing unit 10 until the curing process is completed, more than 400 mm. It is set so that the relative moving distance (200 mm = 5 mm/sec. × 40 seconds) is short.

이와 같이 제1 실시 형태에서는, 또, 경화 수단(10)을 노즐(8)에 대해서 상대 이동시키는 모터(12)를 도막 형성 유닛(6)에 구비하고 있으므로, 경화 처리 개시 시각을 자유 자재로 조정 가능할 수 있을 뿐만 아니라, 도포 처리 속도(V)와는 다른 경화 처리 속도, 즉 경화 처리 시간을 자유 자재로 조정할 수 있고, 나아가서는 바람직한 경화 처리 에너지로 도액(C)을 경화시킬 수 있다. As described above, in the first embodiment, since the coating film forming unit 6 is equipped with a motor 12 that moves the curing means 10 relative to the nozzle 8, the curing process start time is freely adjusted. Not only may it be possible, but the curing treatment speed different from the coating treatment speed V, that is, the curing treatment time can be freely adjusted, and furthermore, the coating solution C can be cured with a desirable curing treatment energy.

따라서, 예를 들면 도포 처리를 우선한 주행 속도(V)로 도막 형성을 행하는 경우라도, 이동 가능한 경화 수단(10)의 상대 이동 속도를 조정할 수 있으므로, 경화 처리 속도(경화 처리 시간)를 적절히 확보할 수 있고, 이것에 의해 경화 처리를 적정하게 행할 수 있다. Therefore, for example, even in the case of forming the coating film at the running speed V in which the coating treatment is given priority, the relative movement speed of the movable curing means 10 can be adjusted, so that the curing processing speed (curing treatment time) is properly secured. This can be done, and thereby the curing treatment can be appropriately performed.

이상 설명한 바와 같이, 제1 실시 형태에 관한 도포 장치 및 도포 방법에 있어서는, 노즐(8)과 경화 수단(10)을 연결부(9)에 의해 연결한 도막 형성 유닛(6)을 구성하는 경우에, 조정 기구에 의해 노즐(8)과 경화 수단(10)의 수평 방향 간격(D)을 조정할 수 있으므로, 경화 처리 개시 시각의 조정을 적절히 행할 수 있고, 또, 경화 수단(10)을 상대 이동시키는 모터(12)에 의해서 경화 처리 속도(경화 처리 시간)의 조정도 적정하게 행할 수 있어, 막 두께나 막질(膜質) 등이 균일하고 품질이 높은 도막을 형성할 수 있다. As described above, in the coating apparatus and coating method according to the first embodiment, when configuring the coating film forming unit 6 in which the nozzle 8 and the curing means 10 are connected by the connecting portion 9, Since the horizontal distance D between the nozzle 8 and the curing means 10 can be adjusted by the adjustment mechanism, the coin processing start time can be appropriately adjusted, and a motor that moves the curing means 10 relative According to (12), it is possible to appropriately adjust the curing treatment speed (curing treatment time), and a coating film having uniform film thickness, film quality, etc. and high quality can be formed.

도 5는, 상기 제1 실시 형태의 변형예를 나타내는 평면도이다. 제1 실시 형태에서는, 경화 수단(10)은, 기판(2)의 폭방향으로 한 개 마련되어 있었지만, 이 변형예에서는, 이 한 개의 경화 수단(10)을 복수로 분할한 형태로, 복수의 경화 수단(10)이, 기판(2)의 폭방향으로 배열되어 구성된다. 연결부(9)는, 이들 복수의 경화 수단(10)을 개별로 노즐(8), 구체적으로는 노즐(8)을 지지하고 있는 주행체(7)에 연결하기 위해서, 복수 마련된다. 연결부(9)의 구성은, 제1 실시 형태와 동일하다. 5 is a plan view showing a modified example of the first embodiment. In the first embodiment, one curing means 10 is provided in the width direction of the substrate 2, but in this modified example, a plurality of curing means 10 are divided into a plurality of The means 10 are arranged and configured in the width direction of the substrate 2. A plurality of connecting portions 9 are provided in order to individually connect the plurality of curing means 10 to the nozzle 8, specifically, the traveling body 7 supporting the nozzle 8. The configuration of the connecting portion 9 is the same as in the first embodiment.

이와 같이 구성하면, 기판(2)의 폭방향으로 배열된 경화 수단(10) 개개에 대해, 다른 수평 방향 간격(D)을 설정하거나, 각각을 다른 움직임으로 상대 이동시킬 수 있다. With this configuration, for each of the curing means 10 arranged in the width direction of the substrate 2, different horizontal distances D can be set or each can be moved relative to each other by different movements.

기판(2)에 도액(C)을 도포해 갈 때, 기판(2)의 외주 단부 가장자리 영역 보다도, 기판(2)의 중앙 영역 쪽이 자연 건조되기 어렵기 때문에, 이들 외주 단부 가장자리 영역 및 중앙 영역에 대한 경화 처리(경화 처리 개시 시각이나 경화 처리 시간 등)가 동일하면, 기판(2) 전면(全面)에 걸쳐서 균질한 도막을 형성할 수 없을 우려가 있다. When applying the coating solution (C) to the substrate 2, the central region of the substrate 2 is more difficult to dry naturally than the outer peripheral edge region of the substrate 2, so these outer peripheral edge regions and the central regions If the curing treatment (curing treatment start time, curing treatment time, etc.) is the same, there is a fear that a homogeneous coating film cannot be formed over the entire surface of the substrate 2.

이 변형예에서는, 기판(2)의 폭방향으로 배열한 경화 수단(10) 개개에 대해서, 개별의 설정을 행할 수 있으므로, 예를 들면, 중앙 영역을 경화 처리하는 어느 하나의 경화 수단(10)을, 외주 단부 가장자리 영역을 경화 처리하는 다른 경화 수단(10)에 대해서, 경화 처리 개시 시각을 빨리, 혹은 늦게 설정하거나, 상대 이동 속도를 빠르게 하거나 늦게 하거나 할 수 있으며, 이것에 의해, 자연 건조를 하기 쉬운 다른 기판(2) 상의 각 영역마다, 각각에 대응한 적절한 경화 처리를 행할 수 있어, 막 두께나 막질 등이 균일하고 품질이 높은 도막을 형성할 수 있다. In this modification, since individual settings can be made for each of the curing means 10 arranged in the width direction of the substrate 2, for example, any one curing means 10 for curing the central region. For the other hardening means 10 for hardening the outer peripheral edge region, the hardening treatment start time can be set early or late, or the relative movement speed can be accelerated or slowed, thereby allowing natural drying. Appropriate curing treatment corresponding to each can be performed for each region on the other substrate 2 which is easy to perform, and a coating film having a uniform film thickness, film quality, etc. and high quality can be formed.

또, 복수의 경화 수단(10)을 일직선으로 배열한 경우에는, 상기 제1 실시 형태의 단일의 경화 수단(10)의 경우와 동일한 도막 형성을 행할 수 있다. Further, when a plurality of curing means 10 are arranged in a straight line, the same coating film formation as in the case of the single curing means 10 of the first embodiment can be performed.

도 6 및 도 7에는, 제2 실시 형태에 관한 도포 장치가 나타내어져 있다. 도 6은, 본 발명에 관한 도포 장치의 제2 실시 형태를 나타내는 평면도, 도 7은, 도 6 중, A 방향 화살표로부터 본 부분 확대도이다. 제2 실시 형태는, 조정 기구가, 제1 실시 형태의 슬라이드 기구(11)를 대신하여, 선회 기구(13)인 경우이다. 그 외의 구성은, 제1 실시 형태와 동일하다. 6 and 7 show the coating apparatus according to the second embodiment. Fig. 6 is a plan view showing a second embodiment of the coating apparatus according to the present invention, and Fig. 7 is a partially enlarged view seen from the arrow A in Fig. 6. The second embodiment is a case where the adjustment mechanism is the turning mechanism 13 instead of the slide mechanism 11 of the first embodiment. Other configurations are the same as those of the first embodiment.

연결부(9)는, 주행체(7)의 전진 주행 방향 후면(7e)에, 해당 후면(7e)의 중앙으로부터 기판(2)의 길이 방향을 따라서 후방을 향하여 수평하게 연장된 서포트 멤버(14)와, 서포트 멤버(14)의 후단(14a)에, 일단(15a)이 회전축(16)으로 회전 가능하게 지지된 좌우 한 쌍의 스윙 암(15)으로 구성된다. 즉, 연결부(9)는, 선회되는 스윙 암(15)을 가지는 선회 기구(13)를 구비한다. The connecting portion 9 is a support member 14 extending horizontally from the center of the rear surface 7e toward the rear along the length direction of the substrate 2 on the rear surface 7e in the forward travel direction of the traveling body 7 Wow, at the rear end 14a of the support member 14, one end 15a is composed of a pair of left and right swing arms 15 rotatably supported by a rotation shaft 16. That is, the connecting portion 9 is provided with a swing mechanism 13 having a swing arm 15 that swings.

스윙 암(15)은, 손으로 조작되는 체결 부재 등에 의해, 서포트 멤버(14)에 장착된다. 체결 부재 등을 조임으로써, 스윙 암(15)은 서포트 멤버(14)에 고정되고며, 느슨하게 함으로써, 서포트 멤버(14)에 대해, 선회 가능하게 된다. The swing arm 15 is attached to the support member 14 by a fastening member operated by hand or the like. By tightening the fastening member or the like, the swing arm 15 is fixed to the support member 14 and loosened, so that the swing arm 15 can rotate with respect to the support member 14.

스윙 암(15)은, 체결 부재 등을 대신하여, 서포트 멤버(14)에 마련한 구동 수단으로서의 모터(도시하지 않음)와 연결하여, 서포트 멤버(14)에 선회 구동 가능하게 장착하도록 해도 괜찮다. 모터는, 좌우 한 쌍의 스윙 암(15)을 일괄하여 구동하기 위해서 1개 마련해도, 혹은, 개별로 구동하기 위해서, 2개 마련해도 괜찮다. The swing arm 15 may be connected to a motor (not shown) as a driving means provided in the support member 14 in place of a fastening member or the like, and may be attached to the support member 14 so as to be pivotally driven. One motor may be provided to drive the left and right pair of swing arms 15 collectively, or two motors may be provided to drive individually.

또, 좌우 한 쌍의 스윙 암(15)을 동일한 선회 각도로 선회시키기 위해서, 서포트 멤버(14)에 회전 가능하게 지지되는 각 스윙 암(15)의 일단(15a)끼리를 기어 커플링 등으로 결합하도록 해도 괜찮다. 선회 가능한 스윙 암(15)은, 주행체(7)나 노즐(8)에 접근하는 방향으로부터, 멀어지는 방향에 걸치는 범위에서, 서포트 멤버(14)에 대한 각도 θ가 조정 가능하게 된다. In addition, in order to turn the left and right pair of swing arms 15 at the same turning angle, one end 15a of each swing arm 15 rotatably supported by the support member 14 is coupled with a gear coupling or the like. It's okay to do it. As for the swing arm 15 which can be rotated, the angle θ with respect to the support member 14 can be adjusted within a range extending from a direction approaching the traveling body 7 or the nozzle 8 and extending away from it.

경화 수단(10)은, 각 스윙 암(15) 아래에 장착되어, 기판(2)의 폭방향에 대해, 2개 마련된다. 경화 수단(10)은, 스윙 암(15)의 각도 θ를 조정하는 것에 의해, 기판(2)의 단부 가장자리측으로 갈수록, 노즐(8)에 접근하거나, 이격하거나, 혹은 각도 θ를 90°로 함으로써 노즐(8)과 평행한 방향을 향하게 된다. 좌우 한 쌍의 스윙 암(15)의 각도 θ를 다르게 하여, 2개의 경화 수단(10)의 방향을 다르게 하도록 해도 좋다. Two curing means 10 are attached under each swing arm 15 and are provided in the width direction of the substrate 2. By adjusting the angle θ of the swing arm 15, the curing means 10 approaches the nozzle 8, separates it, or sets the angle θ to 90° toward the edge of the substrate 2 It is directed in a direction parallel to the nozzle 8. The angle θ of the pair of left and right swing arms 15 may be different, so that the directions of the two hardening means 10 may be different.

경화 수단(10)이 마련되는 연결부(9)는, 모터 구동식이라도, 체결 부재 등으로 장착하는 형식이라도, 스윙 암(15)이 선회 가능하다. 따라서, 연결부(9)는, 노즐(8)과 경화 수단(10)과의 수평 방향 간격(D)을, 주행체(7)의 주행 이동 방향(기판(2)의 길이 방향)으로 조정하는 조정 기구를 구비한다. The connecting portion 9 provided with the curing means 10 may be of a motor-driven type or a type of mounting with a fastening member or the like, so that the swing arm 15 can be rotated. Therefore, the connection part 9 adjusts the horizontal distance D between the nozzle 8 and the hardening means 10 in the traveling movement direction of the traveling body 7 (lengthwise direction of the substrate 2). Equipped with equipment.

모터 구동식의 경우, 모터(16)로 스윙 암(15)의 선회가 가능해지므로, 주행체(6)의 주행 이동 중에, 노즐(8)에 대해서 경화 수단(10)을 상대 이동시킬 수 있다. 물론, 연결부(9)는, 주행체(7)의 노즐(8)에 대해, 경화 수단(10)을 연결하는 기능을 구비한다. In the case of the motor-driven type, since the motor 16 enables the swing arm 15 to rotate, the curing means 10 can be moved relative to the nozzle 8 during the traveling movement of the traveling body 6. Of course, the connecting portion 9 has a function of connecting the curing means 10 to the nozzle 8 of the traveling body 7.

제2 실시 형태에 관한 도포 장치 및 도포 방법에서는, 노즐(8)에 대해서 경화 수단(10)의 방향을 경사지게 배치하는 것에 의해, 제1 실시 형태의 변형예와 마찬가지로, 기판(2)의 중앙 영역과 외주 단부 가장자리 영역에 대한 경화 처리를 변경 조정할 수 있어, 해당 제1 변형예와 마찬가지로, 기판(2) 상의 도액 두께 등의 상황에 따른 적절한 경화 처리를 영역마다 행할 수 있고, 막 두께나 막질 등이 균일하고 품질이 높은 도막을 형성할 수 있다. In the coating apparatus and the coating method according to the second embodiment, by arranging the direction of the curing means 10 with respect to the nozzle 8 obliquely, as in the modification of the first embodiment, the central region of the substrate 2 It is possible to change and adjust the curing treatment for the outer circumferential edge region and, as in the first modified example, an appropriate curing treatment according to the situation such as the thickness of the coating liquid on the substrate 2 can be performed for each region, and the film thickness or film quality, etc. This uniform and high-quality coating film can be formed.

한편, 노즐(8)과 경화 수단(10)을 평행하게 배치하는 것에 의해, 제1 실시 형태와 동일한 경화 처리를 행할 수 있고, 해당 제1 실시 형태와 동일한 작용 효과를 달성하는 것이 가능하다. On the other hand, by arranging the nozzle 8 and the curing means 10 in parallel, the same curing treatment as in the first embodiment can be performed, and the same operation and effects as in the first embodiment can be achieved.

모터 구동으로 노즐(8)에 대해 경화 수단(10)을 슬라이드식으로 상대 이동시키는 기구로서, 볼 나사 기구를 예시하여 설명했지만, 이것에 한정하지 않고, 리니어 모터 기구나 랙 앤드 피니언 기구 등, 그 외 주지의 이동 기구를 채용해도 괜찮은 것은 물론이다. As a mechanism for moving the curing means 10 relative to the nozzle 8 by a motor drive in a sliding manner, a ball screw mechanism has been exemplified, but the present invention is not limited thereto, such as a linear motor mechanism or a rack and pinion mechanism. It goes without saying that it is okay to employ an externally known movement mechanism.

1 : 도포 장치 2 : 기판
2a : 도포 시단 2b : 도포 종단
3 : 테이블 4 : 기대
5 : 주행 레일 6 : 도막 형성 유닛
7 : 주행체 7a : 기둥부
7b : 빔부 7c : 전진 주행 방향 전면
7d : 승강용 슬릿 7e : 전진 주행 방향 후면
8 : 노즐 9 : 연결부
10 : 경화 수단 11 : 슬라이드 기구
11a : 나사축 11b : 너트
12 : 모터 13 : 선회 기구
14 : 서포트 멤버 14a : 후단
15 : 스윙 암 15a : 일단
16 : 회전축 C : 도액
D : 수평 방향 간격 F : UV광
L : 기판의 길이
V : 주행체의 주행 속도(도포 처리 속도)
Va : 경화 수단의 이동 속도
a : 테이블 b : 기판
c : 도막 d : 도막 형성 유닛
e : 도액 f : 노즐
g : 경화 수단 h : 연결부
i : UV광 LX : 간격
VX : 주행 속도 θ : 스윙 암의 각도1: coating device 2: substrate
2a: Application end 2b: Application end
3: Table 4: Expectations
5: travel rail 6: coating film forming unit
7: traveling body 7a: pillar
7b: beam part 7c: front of the forward traveling direction
7d: elevating slit 7e: forward driving direction rear
8: nozzle 9: connection
10 hardening means 11 slide mechanism
11a: screw shaft 11b: nut
12: motor 13: turning mechanism
14: support member 14a: rear end
15: swing arm 15a: once
16: rotating shaft C: coating
D: Horizontal distance F: UV light
L: length of substrate
V: Travel speed of the traveling body (application processing speed)
Va: moving speed of the curing means
a: table b: substrate
c: coating film d: coating film forming unit
e: coating solution f: nozzle
g: hardening means h: connection
i: UV light LX: Interval
VX: travel speed θ: angle of swing arm

Claims (7)

도액(塗液)을 토출하는 노즐과 도액을 경화시키는 경화 수단이 연결부를 매개로 하여 연결된 도막 형성 유닛을 기판의 길이 방향으로 주행 이동시켜, 해당 노즐에 의해 기판을 도포 처리한 후, 해당 경화 수단으로 기판에 도포된 도액을 경화 처리하는 도포 장치로서,
상기 연결부에, 상기 노즐과 상기 경화 수단과의 수평 방향 간격을 조정하는 조정 기구를 구비하고,
상기 조정 기구는, 상기 경화 수단을 기판면을 따라서 선회 가능하게 하는 선회 기구인 것을 특징으로 하는 도포 장치. A nozzle for discharging the coating solution and a curing means for curing the coating solution move the connected coating film forming unit through the connection portion in the longitudinal direction of the substrate, and apply the substrate by the nozzle, and then the curing means As a coating device that cures the coating liquid applied to the substrate with
In the connection portion, an adjustment mechanism for adjusting a horizontal distance between the nozzle and the curing means is provided,
The adjusting mechanism is a turning mechanism that enables the curing means to pivot along a substrate surface. 청구항 1에 있어서,
상기 경화 수단은, 개개로 다른 상기 수평 방향 간격의 설정이 가능하게, 기판의 폭방향으로 복수 배열되며, 상기 연결부는, 이들 경화 수단을 개별로 상기 노즐에 연결하기 위해서 복수 마련되는 것을 특징으로 하는 도포 장치.The method according to claim 1,
The curing means is arranged in a plurality in the width direction of the substrate so as to enable setting of the horizontal distances different individually, and a plurality of connection portions are provided to individually connect these curing means to the nozzle. Applicator. 청구항 1에 있어서,
상기 조정 기구는, 상기 노즐에 대해서 상기 경화 수단을 상대 이동시키기 위한 구동 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 도포 장치.The method according to claim 1,
The adjustment mechanism includes a driving means for moving the curing means relative to the nozzle. 도액(塗液)을 토출하는 노즐과 도액을 경화시키는 경화 수단이 연결부를 매개로 하여 연결된 도막 형성 유닛을 기판의 길이 방향으로 주행 이동시켜, 상기 노즐에 의해 기판을 도포 처리한 후, 상기 경화 수단으로 기판에 도포된 도액을 경화 처리하는 도포 장치로서,
상기 연결부에, 상기 노즐과 상기 경화 수단과의 수평 방향 간격을 조정하는 조정 기구를 구비하고,
상기 조정 기구는, 상기 경화 수단을 기판의 길이 방향을 따라서 슬라이드 가능하게 하는 슬라이드 기구이며,
상기 경화 수단은, 개개로 다른 상기 수평 방향 간격의 설정이 가능하게, 기판의 폭방향으로 복수 배열되며, 상기 연결부는, 이들 경화 수단을 개별로 상기 노즐에 연결하기 위해서 복수 마련되는 것을 특징으로 하는 도포 장치.A nozzle for discharging a coating solution and a curing means for curing the coating solution move the connected coating film forming unit through a connecting portion in the longitudinal direction of the substrate, and after coating the substrate with the nozzle, the curing means As a coating device that cures the coating liquid applied to the substrate with
In the connection portion, an adjustment mechanism for adjusting a horizontal distance between the nozzle and the curing means is provided,
The adjustment mechanism is a slide mechanism that enables the curing means to slide along the length direction of the substrate,
The curing means is arranged in a plurality in the width direction of the substrate so as to enable setting of the horizontal distances different individually, and a plurality of connection portions are provided to individually connect these curing means to the nozzle. Applicator. 청구항 4에 있어서,
상기 조정 기구는, 상기 노즐에 대해서 상기 경화 수단을 상대 이동시키기 위한 구동 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 도포 장치.The method of claim 4,
The adjustment mechanism includes a driving means for moving the curing means relative to the nozzle. 청구항 1, 청구항 2 또는 청구항 4 중 어느 하나의 항에 기재된 도포 장치를 이용하며, 상기 조정 기구에 의해 상기 노즐과 상기 경화 수단과의 수평 방향 간격을 설정한 후, 상기 도막 형성 유닛을 주행 이동시켜, 해당 노즐에 의한 도포 처리와 해당 경화 수단에 의한 경화 처리를 행하도록 한 것을 특징으로 하는 도포 방법.Using the coating device according to any one of claims 1, 2 or 4, after setting the horizontal distance between the nozzle and the curing means by the adjustment mechanism, the coating film forming unit is moved to travel. And coating treatment with the nozzle and curing treatment with the curing means. 청구항 3 또는 청구항 5에 기재된 도포 장치를 이용하며, 상기 도막 형성 유닛을 주행 이동시켜 상기 노즐에 의한 도포 처리를 행할 때, 상기 구동 수단으로 상기 경화 수단을 해당 노즐에 대해서 상대 이동시키면서 경화 처리를 행하도록 한 것을 특징으로 하는 도포 방법.When performing the coating treatment by the nozzle by moving the coating film forming unit by using the coating device according to claim 3 or 5, the curing treatment is performed while moving the curing means relative to the nozzle by the driving means. Application method, characterized in that so as to.
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