KR102212847B1 - Air adsorption and air discharge type protective tape attachment apparatus - Google Patents

Air adsorption and air discharge type protective tape attachment apparatus Download PDF

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KR102212847B1 KR1020200127251A KR20200127251A KR102212847B1 KR 102212847 B1 KR102212847 B1 KR 102212847B1 KR 1020200127251 A KR1020200127251 A KR 1020200127251A KR 20200127251 A KR20200127251 A KR 20200127251A KR 102212847 B1 KR102212847 B1 KR 102212847B1
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Abstract

Provided is an air adsorption and air discharge type protective tape attachment apparatus. The present invention includes: a first transfer unit provided with a first carriage slidably assembled to a first slide of a first motor fixedly installed on an upper end of a body frame to reciprocally move the first carriage in the y-axis direction by driving force of the first motor; a second transfer unit provided with a second carriage slidably assembled to a second slide of a second motor fixedly installed on the first carriage to reciprocally move the second carriage in the x-axis direction by driving force of the second motor; a third transfer unit provided with a third carriage slidably assembled to a third slide of a third motor fixedly installed on the second carriage to reciprocally move the third carriage in the z-axis direction by driving force of the third motor; and a rotating part provided with an air head coupled to a rotary table of a rotary motor fixed to the third carriage to rotationally move the air head about the z-axis, wherein the air head includes a plurality of vacuum suction holes communicating with vacuum suction lines, and includes a plurality of air discharge holes connected to air discharge lines.

Description

에어흡착 및 에어토출식 보호테이프 부착장치{Air adsorption and air discharge type protective tape attachment apparatus}Air adsorption and air discharge type protective tape attachment apparatus}

본 발명은 보호테이프를 부착하는 장치에 관한 것으로, 더욱 상세히는 에어흡착력에 의해서 흡착되어 이송되는 보호테이프를 기판에 탑재된 핵심소자 부품의 직상부에 위치시킨 상태에서 핵심소자 부품의 손상이나 충격없이 이를 덮어 보호하도록 에어토출 방식으로 보호테이프를 가압하여 부착하는 공정을 수행하는 에어흡착 및 에어토출 방식 보호테이프 부착장치에 관한 것이다. The present invention relates to a device for attaching a protective tape, and more particularly, in a state where the protective tape adsorbed and transported by the air adsorption force is placed directly above the core element component mounted on a substrate, without damage or impact to the core element component. It relates to an air adsorption and air discharge type protective tape attachment device that performs a process of attaching a protective tape by pressing an air discharge method to cover and protect it.

일반적으로 전자, 정보기기의 고기능화, 대용량화 등의 추세에 따라 핵심부품인 반도체 패키지의 다단자화(High pin)가 요구되고 있는 것이 최근의 실정이다.In general, it is a recent situation that a high pin of a semiconductor package, which is a core component, is required in accordance with the trend of high functionality and high capacity of electronic and information devices.

이러한 다단자화의 요구에 따라 칩 스케일 타입의 반도체 패키지가 많이 개발되고 있으며, 그 중에서 대표적인 것이 BGA(Ball Grid Array) 패키지이다.In response to such multi-terminalization demand, many chip-scale type semiconductor packages are being developed, and a representative of them is a BGA (Ball Grid Array) package.

상기 BGA 패키지는 외부단자인 범프를 기판에 어레이 형상으로 배치하여 면실장을 할수 있도록 한 것이며, 보통 플렉시블(가요성) 기판을 사용한 것이 대부분이다.In the BGA package, bumps, which are external terminals, are arranged in an array shape on a substrate to enable surface mounting, and most of them use a flexible (flexible) substrate.

이와 같은 BGA 패키지의 경우 얇은 필름상에 다수 개의 칩들이 배열된 상태에서 기판에 탑재되어 기판과 더불어 이동 또는 작업이 이루어지기 때문에 외부의 영향에 따라 휘어지거나 파손될 우려가 매우 크고, 또한 외부에 노출되어 있는 핵심부품이나 소자들이 손상되거나 이물질에 오염될 소지가 매우 높다.In the case of such a BGA package, since a number of chips are arranged on a thin film and mounted on the substrate and moved or worked together with the substrate, there is a high risk of bending or damage due to external influences. There is a high possibility that the core parts or devices that are present will be damaged or contaminated with foreign substances.

따라서, BGA 패키지 등과 같은 칩 스케일 타입의 반도체 패키지를 탑재하는 기판은 핵심부품을 외부환경으로부터 보호하면서 파손을 방지하기 위해서, 공정 간 이동시 보호테이프를 부착한 형태로 진행되고 있으며, 이때 보호테이프를 부착하는 작업은 별도의 테이프 부착장치에 의해서 수행된다.Therefore, in order to prevent damage while protecting core components from the external environment, the board on which the semiconductor package of the chip scale type such as the BGA package is mounted is in the form of attaching a protective tape when moving between processes. At this time, a protective tape is attached. The work is performed by a separate tape attachment device.

즉, 박리지가 분리된 보호테이프는 진공흡착력이 제공되는 헤드의 하부에 흡착 고정된 상태에서 보호하고자 하는 핵심부품의 직상부로부터 직하부로 하강되면서 보호테이프의 접착면을 메인기판에 부착시킴과 동시에 핵심부품인 소자를 덮어 보호하였다. In other words, the protective tape from which the release paper is separated is adsorbed and fixed to the lower part of the head provided with the vacuum adsorption force and descends directly from the top to the bottom of the core component to be protected, attaching the adhesive surface of the protective tape to the main board and The component, which is a component, was covered and protected.

그러나, 상기 헤드를 이용한 보호테이프의 접착면과 기판과의 접착시 상기 헤드로부터 전달되는 외력에 의해서 보호대상물인 핵심부품이나 소자에 직접적인 충격력을 전달하면서 이를 파손시킬 수 있고, 이로 인하여 제품불량을 빈번하게 발생시키는 문제점이 있었다. However, when the adhesive surface of the protective tape using the head is bonded to the substrate, the external force transmitted from the head can damage the core component or element, which is the object to be protected, while direct impact force is transmitted to it, resulting in frequent product defects. There was a problem that occurred.

(특허문헌 1) KR2000-0043519 A(Patent Document 1) KR2000-0043519 A

따라서, 본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 진공흡착되어 이송되는 보호테이프를 에어토출에 의한 가압력에 의해서 기판에 탑재된 핵심소자의 손상없이 덮어 보호하도록 부착하는 공정을 자동화할 수 있는 에어흡착 및 에어토출식 보호테이프 부착장치를 제공하고자 한다. Accordingly, the present invention is to solve the above-described problems, and the object of the present invention is to provide a process of attaching a protective tape to be transported by vacuum adsorption so as to cover and protect the core elements mounted on the substrate by pressure by air discharge. It is intended to provide an air adsorption and air discharge type protective tape attachment device that can be automated.

본 발명에서 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The technical problems to be achieved in the present invention are not limited to the technical problems mentioned above, and other technical problems that are not mentioned will be clearly understood by those of ordinary skill in the technical field to which the present invention belongs from the following description. I will be able to.

상기한 목적을 달성하기 위한 구체적인 수단으로서, 본 발명의 바람직한 실시예는, 기판에 탑재된 전자부품을 덮어 보호하도록 보호테이프를 부착하는 장치에 있어서, 본체프레임 ; 상기 본체프레임의 상단에 고정설치된 제1모터의 제1활주대에 활주이동가능하게 조립되는 제1왕복대를 갖추어 상기 제1모터의 구동력에 의해서 상기 제1왕복대를 y축방향으로 왕복이동시키는 제1이송부 ; 상기 제1왕복대에 고정설치되는 제2모터의 제2활주대에 활주이동가능하게 조립되는 제2왕복대를 갖추어 상기 제2모터의 구동력에 의해서 상기 제2왕복대를 x축방향으로 왕복이동시키는 제2이송부 ; 상기 제2왕복대에 고정설치되는 제3모터의 제3활주대에 활주이동가능하게 조립되는 제3왕복대를 갖추어 상기 제3모터의 구동력에 의해서 상기 제3왕복대를 z축방향으로 왕복이동시키는 제3이송부 ; 및 상기 제3왕복대에 고정설치된 회전용 모터의 회전대와 결합되는 에어헤드를 갖추어 상기 에어헤드를 z축을 기준으로 회전이동시키는 회전부; 를 포함하고, 상기 에어헤드는 진공흡입라인과 연통연결되는 복수개의 진공흡착홀을 포함하고, 에어토출라인과 연통연결되는 복수개의 에어토출홀을 포함하여, 상기 진공흡착홀의 진공흡착력에 의해서 상기 에어헤드의 하부면에 임시흡착되는 보호테이프를 상기 전자부품의 직상부에 위치시킨 다음, 상기 진공흡착력의 해제시 복수개의 에어토출홀을 통하여 토출되는 에어토출력에 의해서 상기 에어헤드의 하부면으로부터 낙하되는 보호테이프를 상기 기판에 비접촉식으로 가압하여 부착하는 것을 특징으로 하는 에어흡착 및 에어토출식 보호테이프 부착장치를 제공한다. As a specific means for achieving the above object, a preferred embodiment of the present invention is an apparatus for attaching a protective tape to cover and protect an electronic component mounted on a substrate, comprising: a main frame; A first reciprocating belt that is slidably assembled to a first run of the first motor fixed on the upper end of the main frame, and moves the first reciprocating belt in the y-axis direction by the driving force of the first motor. 1 transfer part; Equipped with a second reciprocating belt that is slidably assembled to a second run of the second motor fixedly installed on the first reciprocating belt and moves the second reciprocating belt in the x-axis direction by the driving force of the second motor. Second transfer unit; Equipped with a third reciprocating belt that is slidably assembled on a third runway of a third motor fixed to the second reciprocating belt, and moves the third reciprocating belt in the z-axis direction by the driving force of the third motor. The third transfer unit; And a rotating part that has an air head coupled with a rotating stand of a rotating motor fixedly installed on the third reciprocating stand and rotates the air head about a z-axis. Including, the air head includes a plurality of vacuum suction holes connected in communication with the vacuum suction line, and a plurality of air discharge holes connected in communication with the air discharge line, the air by the vacuum suction force of the vacuum suction hole A protective tape temporarily adsorbed on the lower surface of the head is placed directly above the electronic component, and then falls from the lower surface of the air head by air discharge output discharged through a plurality of air discharge holes when the vacuum adsorption force is released. It provides an air adsorption and air discharge type protective tape attaching device, characterized in that the protective tape is attached to the substrate by non-contact pressure.

이때, 상기 에어헤드는 상기 에어토출라인과 연통연결되는 제1메인라인으로부터 분기되는 복수개의 제1분기라인을 몸체 내부에 형성하며, 상기 진공흡입라인과 연통연결되는 제2메인라인으로부터 분기되는 복수개의 제2분기라인을 몸체 내부에 형성하는 본체블럭과, 상기 복수개의 제1분기라인의 각 배출단과 대응하는 복수개의 에어토출홀을 노출시키고, 상기 복수개의 제2분기라인의 각 배출단과 대응하는 복수개의 진공흡착홀을 노출시키도록 상기 본체블럭의 하부면에 상기 보호테이프와 동일한 형상으로 돌출형성되는 돌출블럭을 포함할 수 있다.At this time, the air head has a plurality of first branch lines branching from the first main line connected to the air discharge line in the body, and a plurality of branching lines from the second main line connected to the vacuum suction line. A body block forming two second branch lines inside the body, a plurality of air discharge holes corresponding to respective discharge ends of the plurality of first branch lines are exposed, and corresponding discharge ends of the plurality of second branch lines are exposed. It may include a protruding block protruding in the same shape as the protective tape on a lower surface of the main block to expose a plurality of vacuum suction holes.

이때, 상기 복수개의 에어토출홀은 상기 돌출블럭의 중앙영역에 관통형성되고, 상기 복수개의 진공흡착홀은 상기 복수개의 에어토출홀이 관통형성되는 영역의 외측테두리를 에워싸도록 상기 돌출블럭의 외측테두리를 따라 관통형성될 수 있다.At this time, the plurality of air discharge holes are formed through the central region of the protruding block, and the plurality of vacuum suction holes are formed outside the protruding block so as to surround the outer edge of the region through which the plurality of air discharge holes are formed. It can be formed through through the edge.

이때, 상기 보호테이프가 임시 흡착고정되는 에어헤드의 평탄도를 조절하는 평탄조절부를 포함하고, 상기 평탄조절부는, 상기 회전대에 상단이 고정설치되는 상부브라켓의 단부와 상부힌지핀을 매개로 하여 일단이 회동가능하게 조립되는 중간브라켓과, 상기 상부브라켓에 수직하게 고정설치되어 회전조작시 상기 중간브라켓의 타단 상부면과 접해지는 하부접촉단을 상하이동시키는 제1마이크로미터와, 상기 상부브라켓의 하부면에 상단이 연결고정되어 상기 중간브라켓의 관통공에 배치되는 상부핀 및 상기 상부핀의 머리부에 하단이 접하여 걸림연결되고, 상기 중간브라켓에 상단이 접하여 상기 중간브라켓을 상부브라켓 측으로 향하여 탄력적으로 지지하는 적어도 하나의 상부탄성체를 포함하고, 상기 상부힌지핀과 직교하는 중간브라켓의 일측단과 하부힌지핀을 매개로 하여 타측단이 회동가능하게 조립되는 하부브라켓과, 상기 하부브라켓에 수평하게 고정설치되어 회전조작시 선단 측으로 갈수록 두께가 얇아지는 단면상을 갖추어 상기 중간브라켓과 하부브라켓과의 사이에 배치되는 일정길이의 접촉바를 전후진 이동시키는 제2마이크로미터와, 상기 하부브라켓의 상부면에 하단이 연결고정되어 상기 중간브라켓의 다른 관통공에 배치되는 하부핀 및 상기 하부핀의 머리부에 상단이 접하여 걸림연결되고 상기 중간브라켓에 하단이 접하여 상기 하부브라켓을 중간브라켓 측으로 향하여 탄력적으로 지지하는 적어도 하나의 하부탄성체를 포함할 수 있다. At this time, the protective tape includes a flatness control unit that adjusts the flatness of the air head to which the protective tape is temporarily adsorbed and fixed, and the flatness control unit includes an end of an upper bracket and an upper hinge pin having an upper end fixed to the rotating table. The rotationally assembled intermediate bracket, a first micrometer that is fixedly installed to the upper bracket and vertically moves the lower contact end in contact with the upper surface of the other end of the intermediate bracket during rotation, and the lower part of the upper bracket The upper pin is connected and fixed to the surface so that the lower end is in contact with the head of the upper pin and the upper pin disposed in the through hole of the intermediate bracket, and the upper end is in contact with the intermediate bracket to elastically move the intermediate bracket toward the upper bracket. A lower bracket including at least one supporting upper elastic body, one end of the intermediate bracket orthogonal to the upper hinge pin and the other end being assembled to be rotatable through a lower hinge pin, and a horizontally fixed installation to the lower bracket The second micrometer has a cross-sectional shape that becomes thinner toward the front end when rotating, and moves the contact bar of a certain length disposed between the intermediate bracket and the lower bracket back and forth, and the lower end is on the upper surface of the lower bracket. At least one that is fixedly connected to the lower pin disposed in the other through hole of the intermediate bracket, and the upper end of the lower pin is engaged with the head, and the lower end is in contact with the intermediate bracket to elastically support the lower bracket toward the intermediate bracket. It may include a lower elastic body of.

이때, 상기 본체프레임의 근방에 상기 기판의 하부면과 접해지도록 안착지그를 상부단에 구비하는 수직프레임을 포함하는 기판지지부를 포함하고, 상기 기판지지부는 상기 에어헤드에 흡착고정된 보호테이프의 불량판단시 불량 보호테이프의 접착면이 부착되는 테이프접착판과, 상기 테이프접착판과 상단이 연결되고, 스프링부재를 갖는 한쌍의 지지봉 및 상기 한쌍의 지지봉을 상하왕복이동가능하게 지지되는 한쌍의 부쉬부재를 포함할 수 있다. In this case, a substrate support portion including a vertical frame having a seating jig at an upper end so as to be in contact with the lower surface of the substrate in the vicinity of the main frame, and the substrate support portion is defective in the protective tape adsorbed and fixed to the air head When judged, a tape adhesive plate to which the adhesive surface of the defective protective tape is attached, a pair of support rods having a spring member and a pair of bush members supporting the pair of support rods up and down reciprocating It may include.

이때, 상기 본체프레임의 근방에 상기 기판의 하부면과 접해지도록 안착지그를 상부단에 구비하는 수직프레임을 포함하는 기판지지부를 포함하고, 상기 수직프레임의 근방에는 좌우한쌍으로 구비되는 에어헤드와 대응하도록 에어헤드의 직하부에 배치되고, 스프링부재에 의해서 상방으로 탄력지지되는 한쌍의 수직감지바와, 상기 한쌍의 수직감지바의 각 하부단과의 접촉시 감지신호를 발생시키는 한쌍의 헤드감지센서를 포함할 수 있다. At this time, it includes a substrate support unit including a vertical frame having a seating jig at an upper end so as to be in contact with the lower surface of the substrate in the vicinity of the main frame, and corresponding to the air head provided in a pair of left and right in the vicinity of the vertical frame It includes a pair of vertical sensing bars arranged directly under the air head so as to be elastically supported upwards by a spring member, and a pair of head sensing sensors that generate a sensing signal when contacting each lower end of the pair of vertical sensing bars. can do.

상기한 바와 같은 본 발명의 바람직한 실시 예에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.According to the preferred embodiment of the present invention as described above has the following effects.

에어헤드의 하부면에 임시 진공흡착되는 보호테이프를 에어토출에 의한 가압력에 의해서 기판에 탑재된 핵심소자의 손상없이 덮어 보호하도록 헤드와 전자부품과의 직접적인 접촉없이 부착함으로써 테이프 공정시 발생하는 전자부품의 충격이나 손상에 의한 제품불량을 근본적으로 방지하여 제품수율을 높이고 보호테이프를 부착하는 공정을 자동화하여 작업생산성을 높일 수 있다.Electronic parts generated during the tape process by attaching the protective tape temporarily vacuum-adsorbed on the lower surface of the air head without direct contact with the head and electronic parts to cover and protect the core elements mounted on the board without damage by pressing force by air discharge. By fundamentally preventing product defects due to the impact or damage of the product, the product yield can be increased, and the process of attaching the protective tape can be automated to increase work productivity.

도 1a, 도 1b 및 도 1c 는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 에어흡착 및 에어토출 방식 보호테이프 부착장치를 도시한 전체 사시도이다.
도 2a 와 도 2b 는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 에어흡착 및 에어토출 방식 보호테이프 부착장치에 구비되는 회전부, 에어헤드 및 평탄조절부를 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 에어흡착 및 에어토출 방식 보호테이프 부착장치에 구비되는 에어헤드를 사시도이다.
도 4a 와 도 4b 는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 에어흡착 및 에어토출 방식 보호테이프 부착장치에 구비되는 평탄조절부를 도시한 분해 사시도이다.
도 5 는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 에어흡착 및 에어토출 방식 보호테이프 부착장치에 구비되는 평탄조절부를 도시한 종단면도이다.
도 6a 와 도 6b 는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 에어흡착 및 에어토출 방식 보호테이프 부착장치에 구비되는 평탄조절부의 작동상태를 도시한 구성도이다.
1A, 1B, and 1C are an overall perspective view showing an air adsorption and air discharge type protective tape attachment device according to a preferred embodiment of the present invention.
2A and 2B are perspective views showing a rotating part, an air head, and a flat control part provided in the air adsorption and air discharge type protective tape attachment device according to a preferred embodiment of the present invention.
3 is a perspective view of an air head provided in an air adsorption and air discharge type protective tape attachment device according to a preferred embodiment of the present invention.
4A and 4B are exploded perspective views illustrating a flat control part provided in the air adsorption and air discharge type protective tape attachment device according to a preferred embodiment of the present invention.
5 is a longitudinal sectional view showing a flat control unit provided in an air adsorption and air discharge type protective tape attachment device according to a preferred embodiment of the present invention.
6A and 6B are configuration diagrams showing an operating state of a flat control unit provided in an air adsorption and air discharge type protective tape attachment device according to a preferred embodiment of the present invention.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있는 바람직한 실시 예를 상세히 설명한다. 다만, 본 발명의 바람직한 실시 예에 대한 구조 원리를 상세하게 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings in which a person of ordinary skill in the art can easily implement the present invention. However, when it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

또한, 도면 전체에 걸쳐 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 사용한다.In addition, the same reference numerals are used for parts having similar functions and functions throughout the drawings.

덧붙여, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 '연결'되어 있다고 할때, 이는 '직접적으로 연결'되어 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 '간접적으로 연결'되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 구성 요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라, 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.In addition, throughout the specification, when a part is said to be'connected' to another part, it is not only'directly connected', but also'indirectly connected' with another element in the middle. Include. In addition, "including" a certain component means that other components may be further included, rather than excluding other components unless specifically stated to the contrary.

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 에어흡착 및 에어토출 방식 보호테이프 부착장치(100)는 도 1a, 도 1b 및 도 1c 에 도시한 바와 같이, 기판(S)에 탑재된 전자부품(P)을 덮어 보호하는 보호테이프(T)를 진공흡착방식으로 1차 흡착하여 이송한 다음, 전자부품이 탑재된 기판 측으로 낙하되는 보호테이프를 에어토출방식으로 가압하여 기판에 부착할 수 있도록 본체프레임(1), 제1이송부(10), 제2이송부(20), 제3이송부(30), 회전부(40), 평탄조절부(50) 및 에어헤드(60)를 포함할 수 있다. The air adsorption and air discharge type protective tape attachment device 100 according to a preferred embodiment of the present invention covers the electronic component P mounted on the substrate S, as shown in FIGS. 1A, 1B and 1C. The body frame (1) so that the protective tape (T) to be protected is first adsorbed and transferred by vacuum adsorption method, and then the protective tape falling toward the substrate on which the electronic component is mounted is pressurized by the air discharge method so that it can be attached to the substrate. A first transfer unit 10, a second transfer unit 20, a third transfer unit 30, a rotation unit 40, a flatness adjustment unit 50, and an air head 60 may be included.

상기 본체프레임(1)은 바닥면에 하부단이 고정설치되는 일정높이를 갖는 수직 구조물이며, 이러한 본체프레임의 상부단에는 상기 제1이송부(10)를 수평하게 안정적으로 고정설치할 수 있도록 수평대(2)를 포함할 수 있다. The main frame 1 is a vertical structure having a certain height in which the lower end is fixedly installed on the floor surface, and the first transfer part 10 is horizontally and stably fixed to the upper end of the main frame. 2) may be included.

상기 제1이송부(10)는 상기 본체프레임의 상단에 수평하게 고정설치된 제1모터(12)와 결합된 제1활주대(13)에 y축 방향으로 활주이동가능하게 조립되는 제1왕복대(14)를 갖춤으로써, 상기 제1모터(12)의 구동력에 의해서 상기 제1왕복대(14)를 y축방향으로 왕복이동시키는 것이다. The first transfer unit 10 is a first reciprocating belt 14 that is assembled to be slidably movable in the y-axis direction on a first slide 13 coupled with a first motor 12 fixed horizontally on the upper end of the main frame. ), the first reciprocating table 14 reciprocates in the y-axis direction by the driving force of the first motor 12.

상기 제1왕복대(14)에는 적어도 하나의 제1감지바(15)를 포함하고, 상기 제1감지바의 단부와 대응하는 제1활주대(13)의 일측면에는 상기 제1왕복대가 y축방향으로 왕복이동시 사전설정된 전후위치를 감지할 수 있도록 서로 일정간격을 두고 이격되어 고정설치된 한쌍의 제1감지센서(15a,15b)를 포함할 수 있다. The first reciprocating belt 14 includes at least one first sensing bar 15, and the first reciprocating belt is a y-axis on one side of the first slide 13 corresponding to the end of the first sensing bar. It may include a pair of first detection sensors (15a, 15b) fixedly spaced apart from each other at a predetermined interval so as to detect a preset front-rear position when reciprocating in the direction.

상기 제1왕복대와 더불어 이동되는 제1감지바(15)를 감지하는 한쌍의 제1감지센서의 감지신호에 의해서 상기 제1모터의 구동을 온/오프제어함으로써 상기 제1왕복대의 이동을 제어할 수 있다. Controls the movement of the first reciprocating band by turning on/off the driving of the first motor according to a detection signal of a pair of first detection sensors that detects the first detection bar 15 that is moved together with the first reciprocating belt can do.

이때, 상기 한쌍의 제1감지센서(15a)는 상기 제1활주대의 일측면에 구비되는 이동레일을 따라 이동가능하게 조립됨에 따라 상기 제1왕복대의 왕복이동거리 및 정지위치에 맞추어 그 설치위치를 가변시킬 수 있다. At this time, as the pair of first detection sensors 15a are movably assembled along a moving rail provided on one side of the first slide, the installation position is adjusted according to the reciprocating movement distance and the stop position of the first reciprocating platform. Can be changed.

상기 제2이송부(20)는 상기 제1이송부의 제1왕복대(14)에 수평하게 고정설치된 제2모터(22)와 결합된 제2활주대(23)에 x축 방향으로 활주이동가능하게 조립되는 제2왕복대(24)를 갖춤으로써, 상기 제2모터(22)의 구동력에 의해서 상기 제2왕복대(24)를 상기 제1왕복대의 이동방향과 직교하는 x축방향으로 왕복이동시키는 것이다. The second transfer unit 20 is assembled to be slidably movable in the x-axis direction on a second slide 23 coupled with a second motor 22 fixed horizontally to the first reciprocating table 14 of the first transfer The second reciprocating belt 24 is reciprocally moved in the x-axis direction orthogonal to the moving direction of the first reciprocating belt by the driving force of the second motor 22. .

상기 제2왕복대(24)에는 적어도 하나의 제2감지바(25)를 포함하고, 상기 제2감지바의 단부와 대응하는 제2활주대(23)의 일측면에는 상기 제2왕복대가 x축방향으로 왕복이동시 사전설정된 좌우위치를 감지할 수 있도록 서로 일정간격을 두고 이격되어 고정설치된 한쌍의 제2감지센서(25a,25b)를 포함할 수 있다. The second reciprocating belt 24 includes at least one second sensing bar 25, and the second reciprocating belt is an x-axis on one side of the second slide 23 corresponding to the end of the second sensing bar. It may include a pair of second detection sensors (25a, 25b) fixedly spaced apart from each other at a predetermined distance so as to detect a preset left and right position when reciprocating in the direction.

상기 제2왕복대와 더불어 이동되는 제2감지바(25)를 감지하는 한쌍의 제2감지센서의 감지신호에 의해서 상기 제2모터의 구동을 온/오프제어함으로써 상기 제2왕복대의 이동을 제어할 수 있다. Controls the movement of the second reciprocating band by turning on/off the driving of the second motor according to a detection signal from a pair of second sensing sensors that senses the second sensing bar 25 that moves together with the second reciprocating belt can do.

이때, 상기 한쌍의 제2감지센서는 상기 제2활주대의 일측면에 구비되는 이동레일을 따라 이동가능하게 조립됨에 따라 상기 제2왕복대의 왕복이동거리 및 정지위치에 맞추어 그 설치위치를 가변시킬 수 있다. At this time, as the pair of second detection sensors are movably assembled along a moving rail provided on one side of the second runway, the installation position can be varied according to the reciprocating movement distance and the stop position of the second runway. have.

상기 제3이송부(30)는 상기 제2이송부의 제2왕복대(24)에 수직하게 고정설치된 제3모터(32)와 결합된 제3활주대(33)에 z축 방향으로 활주이동가능하게 조립되는 제3왕복대(34)를 갖춤으로써, 상기 제3모터(32)의 구동력에 의해서 상기 제3왕복대(34)를 상기 제2왕복대의 이동방향과 직교하는 z축방향으로 왕복이동시키는 것이다. The third transfer unit 30 is assembled to be slidably moved in the z-axis direction to a third runway 33 coupled with a third motor 32 fixedly installed to the second reciprocating table 24 of the second transfer unit. By having the third reciprocating belt 34 to be reciprocated, the third reciprocating belt 34 is reciprocated in the z-axis direction orthogonal to the moving direction of the second reciprocating belt by the driving force of the third motor 32. .

상기 제3왕복대(34)에는 적어도 하나의 제3감지바(35)를 포함하고, 상기 제3감지바의 단부와 대응하는 제3활주대(33)의 일측면에는 상기 제3왕복대가 z축방향으로 왕복이동시 사전설정된 상하위치를 감지할 수 있도록 서로 일정간격을 두고 이격되어 고정설치된 한쌍의 제3감지센서(35a,35b)를 포함할 수 있다. The third reciprocating belt 34 includes at least one third sensing bar 35, and on one side of the third slide 33 corresponding to the end of the third sensing bar, the third reciprocating belt is z-axis It may include a pair of third detection sensors 35a and 35b fixedly spaced apart from each other at a predetermined interval so as to detect a preset vertical position when reciprocating in the direction.

상기 제3왕복대와 더불어 이동되는 제3감지바(35)를 감지하는 한쌍의 제3감지센서의 감지신호에 의해서 상기 제3모터의 구동을 온/오프제어함으로써 상기 제3왕복대의 이동을 제어할 수 있다. Controls the movement of the third reciprocating band by turning on/off the driving of the third motor by sensing signals from a pair of third sensing sensors that detect the third sensing bar 35 that is moved together with the third reciprocating band. can do.

이때, 상기 한쌍의 제3감지센서는 상기 제3활주대의 일측면에 구비되는 이동레일을 따라 이동가능하게 조립됨에 따라 상기 제3왕복대의 왕복이동거리 및 정지위치에 맞추어 그 설치위치를 가변시킬 수 있다. At this time, as the pair of third detection sensors are movably assembled along a moving rail provided on one side of the third slide, the installation position can be varied according to the reciprocating movement distance and the stop position of the third reciprocating platform. have.

여기서, 상기 제3모터(32)는 전원인가시 스크류부재를 정방향 또는 역방향으로 회전구동력을 발생시키는 구동모터로 구비되고, 상기 제3왕복대는 상기 스크류부재와 나사결합되는 암나사부를 갖추어 상기 제3왕복대에 활주이동가능하게 조립되는 이동구조물로 이루어질 수 있다.Here, the third motor 32 is provided as a driving motor that generates rotational driving force of the screw member in a forward or reverse direction when power is applied, and the third reciprocating belt has a female screw part screwed to the screw member and the third reciprocating It can be made of a movable structure that is assembled to be slidably moveable to the base.

그리고, 상기 제1모터(12)와 제2모터(22)는 전원인가시 극성이 전환되는 자석판과 코일이 권선된 코아로 이루어져 코일의 자속과 자석판의 자속간의 상호작용에 의해서 제1,2활주대에서 활주이동가능하게 조립된 제1,2왕복대를 직선왕복이동시키는 리니어모터로 구비될 수 있다. In addition, the first motor 12 and the second motor 22 are composed of a magnetic plate whose polarity is switched when power is applied and a core wound with a coil, and the first and second slides are formed by the interaction between the magnetic flux of the coil and the magnetic flux of the magnetic plate. It may be provided with a linear motor for linearly reciprocating the first and second reciprocating belts assembled to be slidably movable in the.

상기 회전부(40)는 상기 제3이송부의 제3왕복대(34)에 수직하게 고정설치된 회전용 모터(42)의 구동축과 결합되어 z축을 기준으로 일정각도 회전작동되는 회전대(43)를 포함하고, 상기 회전대(43)의 하부에는 진공흡입라인(L1)과 에어토출라인(L2)과 각각 연통연결되어 진공흡착력과 에어토출력을 선택적으로 발생시키는 에어헤드(60)를 갖춤으로써, 상기 회전용 모터의 회전작동에 의해서 상기 보호테이프가 하부면에 임시로 흡착고정되는 에어헤드(60)를 회전대와 더불어 z축을 기준으로 하여 회전이동시킬 수 있다. The rotating part 40 includes a rotating table 43 which is rotated at a predetermined angle with respect to the z-axis by being coupled with a drive shaft of a rotating motor 42 fixedly installed to the third reciprocating table 34 of the third transfer unit. , The rotary table 43 has an air head 60 connected in communication with each of the vacuum suction line L1 and the air discharge line L2 to selectively generate vacuum suction force and air discharge line. The air head 60, on which the protective tape is temporarily adsorbed and fixed to the lower surface by the rotation of the motor, can be rotated about the z-axis together with the rotating table.

상기 회전대(43)는 도 2a 와 도 2b 에 도시한 바와 같이, 대략 사각단면상의 블럭체로 이루어지고, 상기 블럭체의 일측면에는 중앙감지바(45)를 포함하고, 상기 블럭체의 좌우 양측면에는 측방감지바(46)를 각각 구비하여 한쌍의 측방감지바(46)를 포함하며, 상기 중앙감지바와 대응하는 상기 회전용 모터(42)의 일측면에는 상기 보호테이프와 나란하게 위치되는 에어헤드(60)의 정렬기준위치를 확인하도록 상기 중앙감지바를 감지하는 중앙센서(45a)를 고정설치하고, 상기 한쌍의 측방감지바(46)와 대응하는 상기 회전용 모터(42)의 좌우 양측면에는 상기 회전대(43)의 과도한 회전이동을 제어하도록 상기 측방감지바를 감지하는 스토퍼용 감지센서(46a)를 포함할 수 있다. As shown in Figs. 2A and 2B, the rotating table 43 is made of a block body having a substantially rectangular cross-section, and includes a central sensing bar 45 on one side of the block body, and the left and right sides of the block body An air head that includes a pair of side detection bars 46 each provided with a side detection bar 46, and is positioned parallel to the protective tape on one side of the rotation motor 42 corresponding to the center detection bar ( A central sensor (45a) for detecting the central sensing bar is fixedly installed to check the alignment reference position of 60), and the rotational table is on both left and right sides of the rotation motor 42 corresponding to the pair of lateral sensing bars 46 It may include a stopper detection sensor (46a) for detecting the side detection bar to control the excessive rotational movement of (43).

상기 회전대의 회전이동시 이와 더불어 이동되는 중앙감지바(45)가 상기 중앙센서(45a)에 감지되면, 상기 중앙센서의 감지신호에 의해서 보호테이프(T)를 흡착고정하는 에어헤더의 정렬상태가 대략 기판에 탑재된 전자부품을 덮도록 부착하고자하는 부착위치와 서로 일치하게 된다.When the central sensing bar 45, which is moved along with the rotational movement of the rotating table, is detected by the central sensor 45a, the alignment of the air header for adsorbing and fixing the protective tape T by the sensing signal of the central sensor is approximately They coincide with the attachment positions to be attached to cover the electronic components mounted on the board.

그리고, 상기 회전대의 회전이동시 좌우 양측의 측방감지바 중 어느 하나가 스토퍼용 감지센서에 감지되면, 상기 회전용 모터의 회전구동을 중단시켜 상기 회전대의 회전이동을 180도 이내로 제한함으로써 이와 더불어 회전되는 에어헤드와 이에 인접하는 라인 및 전원케이블과 같은 구성부품과으 꼬임을 방지한다. And, when any one of the left and right side detection bars is detected by the stopper detection sensor during the rotation movement of the rotation table, the rotation drive of the rotation motor is stopped and the rotation movement of the rotation table is limited to within 180 degrees, thereby being rotated along with it. Prevents twisting with components such as airheads and adjacent lines and power cables.

상기 에어헤드(60)의 하부면에는 도 3 에 도시한 바와 같이, 진공흡입라인(L2)과 연통연결되어 상기 보호테이프를 임시고정하는 진공흡착력을 발생시키는 복수개의 진공흡착홀(64)을 포함하고, 에어토출라인(L1)과 연통연결되어 상기 보호테이프의 접착면이 기판에 접착되도록 고압의 에어를 직하부로 토출하는 복수개의 에어토출홀(63)을 포함할 수 있다. The lower surface of the air head 60 includes a plurality of vacuum suction holes 64 connected in communication with the vacuum suction line L2 to generate a vacuum suction force for temporarily fixing the protective tape, as shown in FIG. 3. In addition, it may include a plurality of air discharge holes 63 which are connected in communication with the air discharge line L1 to discharge high-pressure air directly below the adhesive surface of the protective tape to adhere to the substrate.

이러한 에어헤드(60)는 상기 에어토출라인(Ll)과 연통연결되는 제1메인라인(63a)과, 이로부터 분기되는 복수개의 제1분기라인(63b)을 몸체 내부에 형성하며, 상기 진공흡입라인(L2)과 연통연결되는 제2메인라인(64a)과 이로부터 분기되는 복수개의 제2분기라인(64b)을 몸체 내부에 형성하는 본체블럭(61)을 포함하고, 상기 복수개의 제1분기라인의 각 배출단과 대응하는 복수개의 에어토출홀(63)을 노출시키고, 상기 복수개의 제2분기라인의 각 배출단과 대응하는 복수개의 진공흡착홀(64)을 노출시킬 수 있도록 상기 본체블럭의 하부면에 상기 보호테이프의 형상에 맞추어 돌출형성되는 돌출블럭(62)을 포함할 수 있다.The air head 60 forms a first main line 63a connected in communication with the air discharge line Ll, and a plurality of first branch lines 63b branched therefrom, and the vacuum suction A body block 61 that forms a second main line 64a connected to the line L2 in communication and a plurality of second branch lines 64b branched therefrom, and the plurality of first branches The lower portion of the main block is to expose a plurality of air discharge holes 63 corresponding to each discharge end of the line, and a plurality of vacuum suction holes 64 corresponding to each discharge end of the plurality of second branch lines. It may include a protruding block 62 protruding on the surface according to the shape of the protective tape.

이때, 상기 복수개의 에어토출홀(63)은 상기 보호테이프(T)의 중앙부와 대응하는 영역 측으로 향하여 고압의 에어를 하향토출하면서 상기 보호테이프를 기판에 부착하는 외력을 전달할 수 있도록 상기 돌출블럭(62)의 중앙영역에 보호테이프의 길이방향을 따라 관통형성되고, 상기 복수개의 진공흡착홀(64)은 상기 보호테이프의 외측테두리와 대응하는 영역을 흡착고정할 수 있도록 상기 복수개의 에어토출홀이 관통형성되는 중앙영역의 외측테두리를 에워싸도록 상기 돌출블럭의 외측테두리를 따라 관통형성되는 것이 바람직하다. At this time, the plurality of air discharge holes 63 discharge high-pressure air downward toward a region corresponding to the central portion of the protective tape T, and the protruding block () to transmit an external force for attaching the protective tape to the substrate ( 62) is formed through the longitudinal direction of the protective tape, and the plurality of vacuum adsorption holes 64 have the plurality of air discharge holes so as to adsorb and fix an area corresponding to the outer edge of the protective tape. It is preferable to penetrate through the outer edge of the protruding block so as to surround the outer edge of the central region to be penetrated.

상기 에어토출홀(63)의 내경은 상기 에어토출라인을 통하여 전달되는 고압의 에어를 빠른 속도 및 대량으로 하향 토출시킬 수 있도록 상기 진공흡착홀(64)의 내경크기보다 상대적으로 큰 크기로 관통형성될 수 있다. The inner diameter of the air discharge hole 63 is relatively larger than the inner diameter of the vacuum suction hole 64 so that high-pressure air delivered through the air discharge line can be discharged downward at a high speed and in a large amount. Can be.

이에 따라, 상기 에어헤더의 하부면에 보호테이프를 임시 흡착고정하는 공정시, 상기 에어토출라인(L1)은 제어부의 제어신호에 의해서 폐쇄되는 반면에 상기 진공흡입라인은 개방됨으로써 상기 에어토출홀이 형성되는 외측영역에 형성된 진공흡착홀에서 발생되는 진공흡착력에 의해서 상기 에어헤더의 하부면에 흡착고정된다. Accordingly, in the process of temporarily adsorbing and fixing the protective tape on the lower surface of the air header, the air discharge line L1 is closed by a control signal from the control unit, while the vacuum suction line is opened, so that the air discharge hole is opened. It is adsorbed and fixed to the lower surface of the air header by the vacuum adsorption force generated in the vacuum adsorption hole formed in the outer region to be formed.

그리고, 상기 에어헤더(60)의 하부면에 임시 흡착고정되어 기판의 전자부품 직상부에 위치하는 보호테이프를 기판에 부착하는 공정시, 상기 에어토출라인(L1)은 제어부의 제어신호에 의해서 개방상태로 전한되는 반면에 상기 진공흡입라인은 개방상태에서 폐쇄상태로 전환되고, 이러한 진공흡입라인(L2)의 폐쇄상태는 사전에 설정된 일정시간 동안 유지하게 된다. In the process of attaching a protective tape to the substrate, which is temporarily adsorbed and fixed to the lower surface of the air header 60 and located directly above the electronic component of the substrate, the air discharge line L1 is opened by a control signal from the controller. While the vacuum suction line is transferred to a state, the vacuum suction line is converted from an open state to a closed state, and the closed state of the vacuum suction line L2 is maintained for a predetermined time set in advance.

이에 따라, 상기 에어헤드의 돌출블럭 외측테두에 형성된 진공흡착홀의 진공흡착력에 의해서 임시 흡착고정되어 있던 보호테이프는 진공흡착력이 해제됨과 동시에 상기 에어토출홀에서 토출되는 고압 에어가 사전에 설정된 일정시간 동안 유지되면서 직하부로 전달되는 에어의 토출압력에 의해서 상기 보호테이프의 하부면에 접착제가 도포된 접착면은 기판에 접착되어 기포발생없이 전자부품을 덮어 보호하도록 부착하게 된다.Accordingly, the protective tape temporarily adsorbed and fixed by the vacuum adsorption force of the vacuum adsorption hole formed on the outer rim of the protruding block of the air head releases the vacuum adsorption force, and at the same time, the high-pressure air discharged from the air discharge hole is released for a predetermined period of time. While being maintained, the adhesive surface on which the adhesive is applied to the lower surface of the protective tape is adhered to the substrate by the discharge pressure of the air delivered to the lower part so as to cover and protect the electronic component without generating bubbles.

여기서, 상기 복수개의 진공흡착홀(64)은 진공흡입라인(L2)과 직결되어 보호테이프 부착시 단순히 진공흡착력이 일시 중단되는 것으로 도시하고 설명하였지만 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 복수개의 진공흡착홀(64)은 미도시된 삼방변을 매개로 하여 진공흡입라인과 더불어 다른 에어토출라인과 연통연결됨으로써 제어부의 제어신호에 의해서 선택적으로 상기 진공흡입라인을 통하여 진공흡착력을 발생시키거나 상기 다른 에어토출라인을 통하여 상기 진공흡착력이 해제된 진공흡착홀을 통하여 고압을 에어를 보호테이프 측으로 향하여 하향 토출할 수 있다.Here, the plurality of vacuum adsorption holes 64 are directly connected to the vacuum suction line L2 so that when the protective tape is attached, the vacuum adsorption force is simply temporarily stopped, but is not limited thereto, and the plurality of vacuum adsorption holes ( 64) is connected to another air discharge line along with a vacuum suction line through a three-way, not shown, thereby selectively generating a vacuum suction force through the vacuum suction line by a control signal from the control unit or the other air discharge line. Through the vacuum adsorption hole in which the vacuum adsorption force has been released, air may be discharged downward toward the protective tape.

그리고, 상기 에어헤드(60)의 돌출블럭 하부면 중앙영역에 형성된 복수개의 에어토출홀을 통한 에어토출과, 상기 돌출블럭(62)의 외측테두리를 따라 형성되어 상기 에어토출홀의 형성영역을 에워싸는 복수개의 진공흡착홀을 통한 에어토출이 제어부의 제어신호에 의해서 시차를 두고 순차적으로 이루어질 수 있다. In addition, air discharge through a plurality of air discharge holes formed in the central region of the lower surface of the protrusion block of the air head 60, and a plurality of air discharge holes formed along the outer edge of the protrusion block 62 to surround the formation region of the air discharge hole. Air discharge through the three vacuum suction holes may be sequentially performed at a time difference by a control signal from the controller.

이러한 경우, 상기 보호테이프의 부착공정시 상기 에어헤드의 중앙영역에 형성된 에어토출홀을 통하여 토출되는 에어토출력에 의해서 보호테이프의 중앙영역에 대한 기판부착작업이 이루어진 다음 상기 진공흡착홀을 통하여 토출되는 에어토출력에 의해서 보호테이프의 외측테두리에 대한 기판부착작업이 순차적으로 이루어지면서 상기 보호테이프의 접촉면과 기판과사이에 기포발생을 방지할 수 있다. In this case, during the attaching process of the protective tape, the substrate is attached to the central region of the protective tape by the air discharge output discharged through the air discharge hole formed in the central region of the air head, and then discharged through the vacuum suction hole. As the substrate attaching operation to the outer edge of the protective tape is sequentially performed by the air discharge output, air bubbles can be prevented between the contact surface of the protective tape and the substrate.

한편, 도 4a, 도 4b 및 도 5에 도시한 바와 같이, 상기 보호테이프가 임시 흡착고정되는 에어헤드(60)의 평탄도를 조절하는 평탄조절부(50)를 포함할 수 있으며, 이러한 평탄조절부에 의해서 에어헤드의 하부면에 평탄도를 기판의 상부면과 항상 일정하게 유지함으로써 상기 보호테이프의 부착시 기판과의 사이에서 기포를 발생시키지 않으면서 기판의 사전설정된 위치에 정확히 부착시킬 수 있는 것이다. On the other hand, as shown in Figures 4a, 4b and 5, it may include a flatness adjustment unit 50 for adjusting the flatness of the air head 60 to which the protective tape is temporarily adsorbed and fixed. By maintaining the flatness on the lower surface of the airhead by the unit and the upper surface of the substrate at all times, when the protective tape is attached, it can be accurately attached to a predetermined position of the substrate without generating air bubbles between the substrate. will be.

이러한 평탄조절부(50)는 상기 회전대(43)의 일측면에 상단이 고정설치되는 상부브라켓(51)을 포함하고, 상기 상부브라켓의 단부와 상부힌지핀(51a)을 매개로 하여 일단이 회동가능하게 조립되는 중간브라켓(52)을 포함하며, 상기 상부브라켓에 수직하게 고정설치되어 회전조작시 상기 중간브라켓의 타단 상부면과 접해지는 하부접촉단(53a)을 상하이동시키는 제1마이크로미터(53)를 포함하며, 상기 상부브라켓의 하부면에 상단이 연결고정되어 상기 중간브라켓의 관통공에 배치되는 상부핀(58a)을 포함하고, 상기 상부핀의 하단인 머리부에 하단이 접하여 걸림연결되고, 상기 중간브라켓에 상단이 접하여 상기 중간브라켓을 상부브라켓 측으로 향하여 탄력적으로 지지하는 코일스프링과 같은 적어도 하나의 상부탄성체(56a)를 포함하여 상기 제1마이크로미터의 회전조작시 그 회전량에 맞추어 상기 상부힌지핀을 회전중심으로 하여 상기 중간브라켓을 보호테이프가 임시 흡착고정되는 에어헤드와 더불어 일정각도 선회작동시키는 것이다. This flatness adjustment part 50 includes an upper bracket 51 having an upper end fixed to one side of the rotating table 43, and one end is rotated through the end of the upper bracket and an upper hinge pin 51a. A first micrometer that includes an intermediate bracket 52 that is assembled to be possible, and is fixedly installed to the upper bracket so as to move the lower contact end 53a in contact with the upper surface of the other end of the intermediate bracket when rotating. 53), and includes an upper pin 58a disposed in the through hole of the intermediate bracket by having an upper end connected and fixed to the lower surface of the upper bracket, and the lower end is in contact with the head portion of the upper pin to be engaged And, including at least one upper elastic body (56a) such as a coil spring that is in contact with the intermediate bracket and elastically supports the intermediate bracket toward the upper bracket, according to the rotation amount of the first micrometer The upper hinge pin is used as the center of rotation, and the intermediate bracket is rotated at a certain angle together with the air head to which the protective tape is temporarily adsorbed and fixed.

그리고, 상기 상부힌지핀과 직교하는 중간브라켓의 일측단과 하부힌지핀(52a)을 매개로 하여 타측단이 회동가능하게 조립되는 하부브라켓(54)을 포함하고, 상기 하부브라켓의 일단에 수평하게 고정설치되어 회전조작시 선단(57b) 측으로 갈수록 두께가 얇아지는 단면상을 갖추어 상기 중간브라켓(52)과 하부브라켓(54)과의 사이에 배치되는 일정길이의 접촉바(57)를 전후진 이동시키는 제2마이크로미터(55)를 포함하고, 상기 하부브라켓의 상부면에 하단이 연결고정되어 상기 중간브라켓의 다른 관통공에 배치되는 하부핀(58b)을 포함하고, 상기 하부핀의 상단인 머리부에 상단이 접하여 걸림연결되고 상기 중간브라켓에 하단이 접하여 상기 하부브라켓을 중간브라켓 측으로 향하여 탄력적으로 지지하는 코일스프링과 같은 적어도 하나의 하부탄성체(56b)를 포함하여 상기 제2마이크로미터의 회전조작시 그 회전량에 맞추어 상기 상부힌지핀과 직교하는 하부힌지핀을 회전중심으로 하여 상기 하부브라켓을 보호테이프가 하부면에 임시흡착되어 고정되는 에어헤드와 더불어 일정각도 선회작동시키는 것이다. In addition, it includes a lower bracket 54 in which one end of the intermediate bracket perpendicular to the upper hinge pin and the other end thereof are rotatably assembled via a lower hinge pin 52a, and fixed horizontally to one end of the lower bracket. It is installed and has a cross-sectional shape that decreases in thickness toward the front end (57b) when rotating, and moves the contact bar 57 of a certain length disposed between the intermediate bracket 52 and the lower bracket 54 back and forth. It includes a 2 micrometer 55, and includes a lower pin 58b that is connected and fixed to the upper surface of the lower bracket to be disposed in another through hole of the middle bracket, and the upper end of the lower pin When the second micrometer is rotated, including at least one lower elastic body (56b) such as a coil spring that contacts the upper end and is connected and the lower end is in contact with the middle bracket and elastically supports the lower bracket toward the middle bracket. In accordance with the amount of rotation, the lower hinge pin orthogonal to the upper hinge pin is used as the center of rotation, and the lower bracket is rotated at a certain angle with the air head temporarily adsorbed and fixed to the lower surface of the lower bracket.

이때, 상기 제1마이크로미터(53)는 상기 상부브라켓의 상부면에 돌출형성된 장착부에 착탈가능하게 결합되어 설치되며, 상기 제2마이크로미터(55)는 상기 중간브라켓의 일단에 돌출형성된 장착부에 착탈가능하게 결합되어 설치되며, 상기 접촉바의 타단에 형성된 걸림홈(57a)과 걸림연결된다. At this time, the first micrometer 53 is detachably coupled to a mounting portion protruding from the upper surface of the upper bracket, and the second micrometer 55 is detachably attached to a mounting portion protruding from one end of the intermediate bracket. It is coupled to be possible and is connected to the locking groove (57a) formed in the other end of the contact bar.

상기 접촉바는 선단으로 갈수록 두께가 얄아지는 단면상을 갖는 일정길이의 판재로 이루어지며, 상기 하부브라켓의 상부면에 반원단면상으로 함몰형성되는 요홈에 배치되는 반원단면상의 접촉부재의 평면과 면접하는 것이 바람직하다. The contact bar is made of a plate of a certain length having a cross-sectional shape that becomes thinner toward the tip, and interfacing with the plane of the contact member on a semicircular cross-section disposed in a recess formed in a semicircular cross-section on the upper surface of the lower bracket. It is desirable.

상기 접촉바와 대응하는 상기 중간브라켓의 하부면 그리고 상기 하부브라켓의 상부면에는 접촉바의 전후진이동을 안내할 수 있도록 상,하부 안내홈을 각각 함몰형성하는 것이 바람직하다. It is preferable that upper and lower guide grooves are respectively recessed on the lower surface of the intermediate bracket and the upper surface of the lower bracket corresponding to the contact bar so as to guide the forward and backward movement of the contact bar.

즉, 도 6a 에 도시한 바와 같이, 상기 제1마이크로미터를 수직축(A1)을 기준으로 하여 일방향으로 회전조작하여 상기 제1마이크로미터의 접촉단을 하강시키면, 상기 상부브라켓에 대하여 중간브라켓은 상기 상부힌지핀을 회전축(A2)으로 하여 도면상 반시계방향(A3)으로 선회되고, 이때, 상기 상부브라켓과 중간브라켓과의 사이가 벌어져 상기 상부탄성체는 신장되면서 탄성복원력을 발생시킨다. That is, as shown in FIG. 6A, when the first micrometer is rotated in one direction with respect to the vertical axis A1 and the contact end of the first micrometer is lowered, the intermediate bracket with respect to the upper bracket is The upper hinge pin is rotated in a counterclockwise direction (A3) in the drawing with the rotation axis A2, and at this time, the gap between the upper bracket and the intermediate bracket is widened, so that the upper elastic body is elongated to generate an elastic restoring force.

반면에, 상기 제1마이크로미터를 역방향으로 회전조작하여 접촉단을 상승시키면, 상기 상부탄성체의 탄성복원력에 의해서 상기 상부브라켓에 대하여 중간브라켓은 도면상 시계방향으로 선회복귀된다.On the other hand, when the contact end is raised by rotating the first micrometer in the reverse direction, the intermediate bracket is rotated clockwise with respect to the upper bracket by the elastic restoring force of the upper elastic body.

이에 따라 상기 제1마이크로미터의 회전량에 비례하여 상기 중간브라켓과 더불어 에어헤드는 일정각도 선회작동되면서 보호테이프가 흡착고정되는 하부면에 대한 평탄도를 조절할 수 있는 것이다. Accordingly, in proportion to the amount of rotation of the first micrometer, the air head together with the intermediate bracket rotates at a certain angle to adjust the flatness of the lower surface on which the protective tape is adsorbed and fixed.

또한, 도 6b 에 도시한 바와 같이, 상기 제2마이크로미터를 수평축(B1)을 기준으로 하여 일방향으로 회전조작하여 상기 제2마이크로미터와 연결되어 중간브라켓과 하부브라켓과의 사이에 개재된 접촉바를 전진이동시키면, 상기 중간브라켓에 대하여 하부브라켓은 상기 하부힌지핀을 회전축(B2)으로 하여 도면상 반시계방향(B3)으로 선회되고, 이때, 상기 중간브라켓과 하부브라켓과의 사이가 벌어져 상기 하부탄성체는 신장되면서 탄성복원력을 발생시킨다. In addition, as shown in FIG. 6B, the second micrometer is rotated in one direction with respect to the horizontal axis B1, and the contact bar interposed between the middle bracket and the lower bracket is connected to the second micrometer. When moving forward, the lower bracket rotates in a counterclockwise direction (B3) in the drawing with the lower hinge pin as a rotation axis (B2) with respect to the intermediate bracket, and at this time, the gap between the intermediate bracket and the lower bracket is widened and the lower bracket As the elastic body is elongated, it generates an elastic restoring force.

반면에, 상기 제2마이크로미터를 역방향으로 회전조작하여 접촉바를 후진복귀 이동시키면, 상기 하부탄성체의 탄성복원력에 의해서 상기 중간브라켓에 대하여 하부브라켓은 도면상 시계방향으로 선회복귀된다.On the other hand, when the second micrometer is rotated in a reverse direction to move the contact bar back and forth, the lower bracket is rotated clockwise with respect to the intermediate bracket by the elastic restoring force of the lower elastic body.

이에 따라 상기 제2마이크로미터의 회전량에 비례하여 상기 하부브라켓과 더불어 에어헤드는 일정각도 선회작동되면서 보호테이프가 흡착고정되는 하부면에 대한 평탄도를 조절할 수 있는 것이다. Accordingly, in proportion to the rotation amount of the second micrometer, the air head together with the lower bracket rotates at a certain angle, thereby adjusting the flatness of the lower surface on which the protective tape is adsorbed and fixed.

그리고, 상기 평탄조절부(50)는 상기 회전부의 회전대(43) 좌우양측에 좌우대칭구조로 각각 구비되고, 이에 각각 에어헤드(60)를 장착하여 한쌍의 에어헤드에 의해서 하나의 기판에 한쌍의 보호테이프를 부착하는 공정을 순차적으로 수행할 수 있다.In addition, the flattening control unit 50 is provided in a symmetrical structure on both left and right sides of the rotating table 43 of the rotating unit, and each of the air heads 60 is mounted on a pair of substrates by a pair of air heads. The process of attaching the protective tape can be sequentially performed.

상기 회전대와 평탄조절부와의 사이에는 상기 에어헤드가 기판 상에 직접적인 접촉시 충격력을 흡수할 수 있도록 충격흡수용 실린더(59)를 포함하고, 이러한 충격흡수용 실린더(59)는 상기 회전대의 일측면에 고정설치되어에 에어공급라인과 연결되는 압소바본체(59a)와 상기 평탄조절부의 상부브라켓(51)과 착탈가능하게 연결되어 상기 압소바본체에 상하이동가능하게 조립되는 이동블럭(59b)을 포함할 수 있다. Between the rotating table and the flattening unit, a shock absorbing cylinder 59 is included so that the air head can absorb an impact force upon direct contact with the substrate, and the shock absorbing cylinder 59 is one of the rotating table. It includes an absorber body 59a fixedly installed on the side and connected to the air supply line, and a moving block 59b that is detachably connected to the upper bracket 51 of the flattening control unit and is movably assembled to the absorber body. can do.

한편, 상기 본체프레임의 근방에는 상기 보호테이프(T)가 전자부품을 덮어 보호하도록 부착되는 기판(S)의 하부면과 접해지도록 안착지그(72)를 상부단에 구비하는 수직프레임(71)을 포함하는 기판지지부(70)를 포함할 수 있다. On the other hand, in the vicinity of the main frame, a vertical frame 71 having a seating jig 72 at the upper end so that the protective tape T contacts the lower surface of the substrate S attached to cover and protect the electronic component. It may include a substrate support portion 70 to include.

이러한 기판지지부(70)는 상기 보호테이프의 불량판단시 불량 보호테이프의 접착면이 부착되는 테이프접착판(74)을 갖추고, 상기 테이프접착판과 상단이 연결되고, 스프링부재를 갖는 한쌍의 지지봉(75)을 갖추며, 상기 한쌍의 지지봉을 상하왕복이동가능하게 지지되는 한쌍의 부쉬부재(76)를 포함하고, 상기 한쌍의 지지봉과 결합되는 한쌍의 부쉬부재는 상기 수직프레임의 일측면으로부터 수평방향으로 연장되는 연결브라켓의 단부에 설치될 수 있다. Such a substrate support part 70 includes a tape adhesive plate 74 to which the adhesive surface of the defective protective tape is attached when the protective tape is judged to be defective, the tape adhesive plate and the upper end thereof are connected, and a pair of support rods having a spring member ( 75), and includes a pair of bush members 76 that are supported so as to move up and down reciprocating the pair of support rods, and a pair of bush members coupled with the pair of support rods is horizontal from one side of the vertical frame. It can be installed at the end of the extending connection bracket.

이에 따라, 상기 에어헤드의 하부면을 실시간으로 촬영하는 광학카메라에 의해서 상기 보호테이프의 접착면 상태나 외관상태를 검사하는 과정에서, 상기 에어헤드에 흡착고정된 보호테이프가 불량으로 판단되면, 상기 제1,2이송부에 의해서 불량 보호테이프를 상기 테이프접착판의 직상부에 위치시킨 다음 제3이동부의 하강작동에 의해서 불량 보호테이프의 접착면을 테이프접착판에 부착시켜 불량 보호테이프를 분리 제거한다. Accordingly, in the process of inspecting the adhesive surface condition or appearance condition of the protective tape by an optical camera that photographs the lower surface of the airhead in real time, if the protective tape adsorbed and fixed to the airhead is determined to be defective, the The defective protection tape is separated and removed by placing the defective protection tape directly above the tape bonding plate by the first and second transfer units, and then attaching the adhesive surface of the defective protection tape to the tape bonding plate by the lowering operation of the third moving unit. .

그리고, 상기 수직프레임(71)의 근방에는 좌우한쌍으로 구비되는 에어헤드(60)와 대응하도록 에어헤드의 직하부에 배치되고, 스프링부재에 의해서 상방으로 탄력지지되는 한쌍의 수직감지바(77)를 포함하고, 상기 한쌍의 수직감지바의 각 하부단과의 접촉시 감지신호를 발생시키는 한쌍의 헤드감지센서(78)를 포함할 수 있다. Further, in the vicinity of the vertical frame 71, a pair of vertical sensing bars 77 disposed directly under the air head so as to correspond to the air head 60 provided in a pair of left and right, and elastically supported upward by a spring member. Including, it may include a pair of head detection sensors 78 for generating a detection signal when the contact with each lower end of the pair of vertical detection bars.

이에 따라, 상기 제3이송부에 의해서 직하부로 하강되는 한쌍의 에어헤드가 상기 한쌍의 수직감지바의 상단에 동시에 접해지면서 상기 한쌍의 헤드감지센서에 감지신호를 동시에 발생시키면, 좌우한쌍으로 구비되는 에어헤드의 하부면은 동일한 수평선상에 위치되는 것으로 판단할 수 있기 때문에 한쌍의 에어헤드 하부면에 보호테이프를 임시 흡착고정한 다음 에어토출력에 의해서 기판에 보호테이프를 부착하는 공정을 수행한다. Accordingly, when a pair of air heads descending directly under the third transfer unit simultaneously contact the upper ends of the pair of vertical sensing bars and simultaneously generate a sensing signal to the pair of head detection sensors, air provided in a left and right pair Since the lower surface of the head can be determined to be located on the same horizontal line, a process of temporarily adsorbing and fixing the protective tape on the lower surface of the pair of air heads and then attaching the protective tape to the substrate by air discharge is performed.

반면에, 한쌍의 헤드감지센서 중 어느 일측에서 감지신호가 선행하여 발생되면, 좌우한쌍으로 구비되는 에어헤드의 하부면은 동일한 수평선상에 위치되지 않은 것으로 판단하여 한쌍의 에어헤드 하부면에 임시 흡착고정된 보호테이프를 기판에 부착하는 공정을 수행하지 않고, 상기 한쌍의 에어헤드 하부면이 동일한 수평성산에 위치되도록 보정한 다음 보호테이프 부착공정을 수행한다. On the other hand, if a detection signal is generated in advance from one of the pair of head detection sensors, it is determined that the lower surface of the left and right airhead is not located on the same horizontal line and is temporarily adsorbed on the lower surface of the pair of airheads. Instead of performing the process of attaching the fixed protective tape to the substrate, the pair of air heads are corrected so that they are located in the same horizontal peak, and then the protective tape attaching process is performed.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiments and the accompanying drawings, and various substitutions, modifications and changes are possible within the scope of the technical spirit of the present invention. It will be obvious to those who have the knowledge of.

10 : 제1이송부
12 : 제1모터 13 :제1활주대 14 : 제1왕복대
20 : 제2이송부
22 : 제2모터 23 :제2활주대 24 : 제2왕복대
30 : 제3이송부
32 : 제3모터 33 :제3활주대 34 : 제3왕복대
40 : 회전부
42 : 회전용 모터 43 : 회전대
50 : 평탄조절부
51 : 상부브라켓 52 : 중간브라켓 53 : 제1마이크로미터
54 : 하부브라켓 55 : 제2마이크로미터
60 : 에어헤드
61 : 본체블럭 62 : 돌출블럭 63 : 에어토출홀
64 : 진공흡착홀
S : 기판 P : 전자부품 T : 보호테이프
10: first transfer unit
12: 1st motor 13: 1st runway 14: 1st reciprocating platform
20: second transfer unit
22: second motor 23: second runway 24: second reciprocating belt
30: 3rd transfer unit
32: 3rd motor 33: 3rd runway 34: 3rd reciprocating platform
40: rotating part
42: rotary motor 43: rotary table
50: flat control unit
51: upper bracket 52: middle bracket 53: first micrometer
54: lower bracket 55: second micrometer
60: air head
61: main block 62: protruding block 63: air discharge hole
64: vacuum suction hole
S: Substrate P: Electronic parts T: Protective tape

Claims (6)

기판에 탑재된 전자부품을 덮어 보호하도록 보호테이프를 부착하는 장치에 있어서,
본체프레임 ;
상기 본체프레임의 상단에 고정설치된 제1모터의 제1활주대에 활주이동가능하게 조립되는 제1왕복대를 갖추어 상기 제1모터의 구동력에 의해서 상기 제1왕복대를 y축방향으로 왕복이동시키는 제1이송부 ;
상기 제1왕복대에 고정설치되는 제2모터의 제2활주대에 활주이동가능하게 조립되는 제2왕복대를 갖추어 상기 제2모터의 구동력에 의해서 상기 제2왕복대를 x축방향으로 왕복이동시키는 제2이송부 ;
상기 제2왕복대에 고정설치되는 제3모터의 제3활주대에 활주이동가능하게 조립되는 제3왕복대를 갖추어 상기 제3모터의 구동력에 의해서 상기 제3왕복대를 z축방향으로 왕복이동시키는 제3이송부 ; 및
상기 제3왕복대에 고정설치된 회전용 모터의 회전대와 결합되는 에어헤드를 갖추어 상기 에어헤드를 z축을 기준으로 회전이동시키는 회전부; 를 포함하고,
상기 에어헤드는 진공흡입라인과 연통연결되는 복수개의 진공흡착홀을 포함하고, 에어토출라인과 연통연결되는 복수개의 에어토출홀을 포함하여,
상기 진공흡착홀의 진공흡착력에 의해서 상기 에어헤드의 하부면에 임시흡착되는 보호테이프를 상기 전자부품의 직상부에 위치시킨 다음, 상기 진공흡착력의 해제시 복수개의 에어토출홀을 통하여 토출되는 에어토출력에 의해서 상기 에어헤드의 하부면으로부터 낙하되는 보호테이프를 상기 기판에 비접촉식으로 가압하여 부착하고,
상기 보호테이프가 임시 흡착고정되는 에어헤드의 평탄도를 조절하는 평탄조절부를 포함하고,
상기 평탄조절부는, 상기 회전대에 상단이 고정설치되는 상부브라켓의 단부와 상부힌지핀을 매개로 하여 일단이 회동가능하게 조립되는 중간브라켓과, 상기 상부브라켓에 수직하게 고정설치되어 회전조작시 상기 중간브라켓의 타단 상부면과 접해지는 하부접촉단을 상하이동시키는 제1마이크로미터와, 상기 상부브라켓의 하부면에 상단이 연결고정되어 상기 중간브라켓의 관통공에 배치되는 상부핀 및 상기 상부핀의 머리부에 하단이 접하여 걸림연결되고, 상기 중간브라켓에 상단이 접하여 상기 중간브라켓을 상부브라켓 측으로 향하여 탄력적으로 지지하는 적어도 하나의 상부탄성체를 포함하고,
상기 상부힌지핀과 직교하는 중간브라켓의 일측단과 하부힌지핀을 매개로 하여 타측단이 회동가능하게 조립되는 하부브라켓과, 상기 하부브라켓에 수평하게 고정설치되어 회전조작시 선단 측으로 갈수록 두께가 얇아지는 단면상을 갖추어 상기 중간브라켓과 하부브라켓과의 사이에 배치되는 일정길이의 접촉바를 전후진 이동시키는 제2마이크로미터와, 상기 하부브라켓의 상부면에 하단이 연결고정되어 상기 중간브라켓의 다른 관통공에 배치되는 하부핀 및 상기 하부핀의 머리부에 상단이 접하여 걸림연결되고 상기 중간브라켓에 하단이 접하여 상기 하부브라켓을 중간브라켓 측으로 향하여 탄력적으로 지지하는 적어도 하나의 하부탄성체를 포함하는 것을 특징으로 하는 에어흡착 및 에어토출식 보호테이프 부착장치.
In an apparatus for attaching a protective tape to cover and protect an electronic component mounted on a substrate,
Body frame;
A first reciprocating belt that is slidably assembled to a first run of the first motor fixed on the upper end of the main frame, and moves the first reciprocating belt in the y-axis direction by the driving force of the first motor. 1 transfer part;
Equipped with a second reciprocating belt that is slidably assembled to a second run of the second motor fixedly installed on the first reciprocating belt and moves the second reciprocating belt in the x-axis direction by the driving force of the second motor. Second transfer unit;
Equipped with a third reciprocating belt that is slidably assembled on a third runway of a third motor fixed to the second reciprocating belt, and moves the third reciprocating belt in the z-axis direction by the driving force of the third motor. Third transfer unit; And
A rotating unit having an air head coupled to a rotating stand of a rotating motor fixedly installed on the third reciprocating stand and rotating and moving the air head about a z-axis; Including,
The air head includes a plurality of vacuum suction holes connected in communication with the vacuum suction line, and includes a plurality of air discharge holes connected in communication with the air discharge line,
Air discharge output discharged through a plurality of air discharge holes when the vacuum suction force is released after placing a protective tape temporarily adsorbed on the lower surface of the air head by the vacuum suction force of the vacuum suction hole By pressing the protective tape falling from the lower surface of the air head to the substrate in a non-contact manner and attaching it,
The protective tape includes a flatness control unit for adjusting the flatness of the air head is temporarily adsorbed and fixed,
The flatness control unit includes an end of an upper bracket having an upper end fixed to the rotating table and an intermediate bracket whose one end is rotatably assembled through an upper hinge pin, and the intermediate bracket is fixedly installed to the upper bracket so as to be rotated. A first micrometer for vertically moving the lower contact end in contact with the upper surface of the other end of the bracket, and the upper pin and the head of the upper pin disposed in the through hole of the intermediate bracket by connecting and fixing the upper end to the lower surface of the upper bracket And at least one upper elastic body having a lower end in contact with the portion and engagingly connected, and having an upper end in contact with the intermediate bracket to elastically support the intermediate bracket toward the upper bracket,
One end of the middle bracket orthogonal to the upper hinge pin and the lower bracket that the other end is assembled to be rotatable through the lower hinge pin, and the lower bracket is fixed horizontally to the lower bracket so that the thickness becomes thinner toward the front end during rotation operation. A second micrometer that has a cross-sectional shape and moves a contact bar of a certain length disposed between the intermediate bracket and the lower bracket back and forth, and a lower end is connected and fixed to the upper surface of the lower bracket so that the other through-hole of the intermediate bracket Air, characterized in that it comprises a lower pin disposed and at least one lower elastic body having an upper end in contact with the head of the lower pin and engagingly connected, and a lower end in contact with the middle bracket to elastically support the lower bracket toward the middle bracket. Adsorption and air discharge type protective tape attachment device.
기판에 탑재된 전자부품을 덮어 보호하도록 보호테이프를 부착하는 장치에 있어서,
본체프레임 ;
상기 본체프레임의 상단에 고정설치된 제1모터의 제1활주대에 활주이동가능하게 조립되는 제1왕복대를 갖추어 상기 제1모터의 구동력에 의해서 상기 제1왕복대를 y축방향으로 왕복이동시키는 제1이송부 ;
상기 제1왕복대에 고정설치되는 제2모터의 제2활주대에 활주이동가능하게 조립되는 제2왕복대를 갖추어 상기 제2모터의 구동력에 의해서 상기 제2왕복대를 x축방향으로 왕복이동시키는 제2이송부 ;
상기 제2왕복대에 고정설치되는 제3모터의 제3활주대에 활주이동가능하게 조립되는 제3왕복대를 갖추어 상기 제3모터의 구동력에 의해서 상기 제3왕복대를 z축방향으로 왕복이동시키는 제3이송부 ; 및
상기 제3왕복대에 고정설치된 회전용 모터의 회전대와 결합되는 에어헤드를 갖추어 상기 에어헤드를 z축을 기준으로 회전이동시키는 회전부; 를 포함하고,
상기 에어헤드는 진공흡입라인과 연통연결되는 복수개의 진공흡착홀을 포함하고, 에어토출라인과 연통연결되는 복수개의 에어토출홀을 포함하여,
상기 진공흡착홀의 진공흡착력에 의해서 상기 에어헤드의 하부면에 임시흡착되는 보호테이프를 상기 전자부품의 직상부에 위치시킨 다음, 상기 진공흡착력의 해제시 복수개의 에어토출홀을 통하여 토출되는 에어토출력에 의해서 상기 에어헤드의 하부면으로부터 낙하되는 보호테이프를 상기 기판에 비접촉식으로 가압하여 부착하고,
상기 본체프레임의 근방에 상기 기판의 하부면과 접해지도록 안착지그를 상부단에 구비하는 수직프레임을 포함하는 기판지지부를 포함하고,
상기 기판지지부는 상기 에어헤드에 흡착고정된 보호테이프의 불량판단시 불량 보호테이프의 접착면이 부착되는 테이프접착판과, 상기 테이프접착판과 상단이 연결되고, 스프링부재를 갖는 한쌍의 지지봉 및 상기 한쌍의 지지봉을 상하왕복이동가능하게 지지되는 한쌍의 부쉬부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 에어흡착 및 에어토출식 보호테이프 부착장치.
In an apparatus for attaching a protective tape to cover and protect an electronic component mounted on a substrate,
Body frame;
A first reciprocating belt that is slidably assembled to a first run of the first motor fixed on the upper end of the main frame, and moves the first reciprocating belt in the y-axis direction by the driving force of the first motor. 1 transfer part;
Equipped with a second reciprocating belt that is slidably assembled to a second run of the second motor fixedly installed on the first reciprocating belt and moves the second reciprocating belt in the x-axis direction by the driving force of the second motor. Second transfer unit;
Equipped with a third reciprocating belt that is slidably assembled on a third runway of a third motor fixed to the second reciprocating belt, and moves the third reciprocating belt in the z-axis direction by the driving force of the third motor. The third transfer unit; And
A rotating unit having an air head coupled to a rotating stand of a rotating motor fixedly installed on the third reciprocating stand and rotating and moving the air head about a z-axis; Including,
The air head includes a plurality of vacuum suction holes connected in communication with the vacuum suction line, and includes a plurality of air discharge holes connected in communication with the air discharge line,
Air discharge output discharged through a plurality of air discharge holes when the vacuum suction force is released after placing a protective tape temporarily adsorbed on the lower surface of the air head by the vacuum suction force of the vacuum suction hole By pressing the protective tape falling from the lower surface of the air head to the substrate in a non-contact manner,
And a substrate support portion including a vertical frame having a seating jig at an upper end so as to contact a lower surface of the substrate in the vicinity of the main frame,
The substrate support portion includes a tape adhesive plate to which the adhesive surface of the defective protective tape is attached when determining the failure of the protective tape adsorbed and fixed to the air head, and a pair of support rods having a spring member and the upper end connected to the tape adhesive plate. Air adsorption and air discharge type protective tape attachment device, characterized in that it comprises a pair of bush members that are supported so as to move up and down reciprocating the pair of support rods.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 에어헤드는 상기 에어토출라인과 연통연결되는 제1메인라인으로부터 분기되는 복수개의 제1분기라인을 몸체 내부에 형성하며, 상기 진공흡입라인과 연통연결되는 제2메인라인으로부터 분기되는 복수개의 제2분기라인을 몸체 내부에 형성하는 본체블럭과, 상기 복수개의 제1분기라인의 각 배출단과 대응하는 복수개의 에어토출홀을 노출시키고, 상기 복수개의 제2분기라인의 각 배출단과 대응하는 복수개의 진공흡착홀을 노출시키도록 상기 본체블럭의 하부면에 상기 보호테이프와 동일한 형상으로 돌출형성되는 돌출블럭을 포함하는 것을 특징으로 하는 에어흡착 및 에어토출식 보호테이프 부착장치.
The method according to claim 1 or 2,
The air head has a plurality of first branch lines branching from a first main line connected in communication with the air discharge line, and a plurality of first branch lines branching from a second main line connected in communication with the vacuum suction line. A body block forming a second branch line inside the body, a plurality of air discharge holes corresponding to each discharge end of the plurality of first branch lines are exposed, and a plurality of air discharge holes corresponding to each discharge end of the plurality of second branch lines are exposed. An air adsorption and air discharge type protection tape attachment device comprising a protruding block protruding in the same shape as the protection tape on a lower surface of the body block to expose the vacuum adsorption hole.
제3항에 있어서,
상기 복수개의 에어토출홀은 상기 돌출블럭의 중앙영역에 관통형성되고, 상기 복수개의 진공흡착홀은 상기 복수개의 에어토출홀이 관통형성되는 중앙영역의 외측테두리를 에워싸도록 상기 돌출블럭의 외측테두리를 따라 관통형성되는 것을 특징으로 하는 에어흡착 및 에어토출식 보호테이프 부착장치.
The method of claim 3,
The plurality of air discharge holes are formed through the central region of the protruding block, and the plurality of vacuum suction holes surround the outer edge of the central region through which the plurality of air discharge holes are formed. Air adsorption and air discharge type protective tape attachment device, characterized in that formed through the through.
제1항에 있어서,
상기 본체프레임의 근방에 상기 기판의 하부면과 접해지도록 안착지그를 상부단에 구비하는 수직프레임을 포함하는 기판지지부를 포함하고,
상기 수직프레임의 근방에는 좌우한쌍으로 구비되는 에어헤드와 대응하도록 에어헤드의 직하부에 배치되고, 스프링부재에 의해서 상방으로 탄력지지되는 한쌍의 수직감지바와, 상기 한쌍의 수직감지바의 각 하부단과의 접촉시 감지신호를 발생시키는 한쌍의 헤드감지센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 에어흡착 및 에어토출식 보호테이프 부착장치.
The method of claim 1,
And a substrate support portion including a vertical frame having a seating jig at an upper end so as to contact a lower surface of the substrate in the vicinity of the main frame,
In the vicinity of the vertical frame, a pair of vertical sensing bars disposed directly under the air head so as to correspond to the air heads provided in a pair of left and right, and elastically supported upward by a spring member, and each lower end of the pair of vertical sensing bars Air adsorption and air discharge type protective tape attachment device, characterized in that it comprises a pair of head detection sensors for generating a detection signal when the contact.
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