KR100639400B1 - Lid pick and place equipment - Google Patents

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Abstract

A lid pick and place device is provided to reduce equipment costs by using only one driving unit capable of driving a plurality of fingers of a finger unit. A lid pick and place device includes a feeder unit, a chuck table and a lead loading/unloading unit. The feeder(800) is used for transferring a boat with a lid from a boat loader to an aiming position and loading the lid on a tray. The chuck table(700) is used for loading stably the tray. The lead loading/unloading unit(400) for unloading the lid from the tray and loading the lid onto a predetermined package. The feeder includes a finger unit, a stopper, and a boat fixing unit. The finger unit is composed of a plurality of fingers, wherein the plurality of fingers are driven by only one driving unit.

Description

리드 픽 앤 플레이스 장비{Lid Pick and Place Equipment}Lead Pick and Place Equipment

도 1은 종래의 리드 픽 앤 플레이스 장비의 개략적인 평면도이다.1 is a schematic plan view of a conventional lead pick and place equipment.

도 2는 리드 픽 앤 플레이스 장비에 사용되는 보트의 사시도이다.2 is a perspective view of a boat used in lead pick and place equipment.

도 3은 본 발명에 따른 피더부의 일부 구성을 나타내는 사시도이다.3 is a perspective view showing a part of the configuration of the feeder unit according to the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 핑거부, 보트 가압부, 보트 고정부를 나타내는 측면도로서, 핑거 및 로케이션 핀이 상승된 상태를 나타낸다.Figure 4 is a side view showing the finger portion, the boat pressing portion, the boat fixing portion according to the present invention, showing a state in which the finger and the location pin is raised.

도 5는 본 발명에 따른 핑거부, 보트 가압부, 보트 고정부를 나타내는 측면도로서, 핑거 및 로케이션 핀이 하강된 상태를 나타낸다.Figure 5 is a side view showing the finger portion, the boat pressing portion, the boat fixing portion according to the present invention, showing a state in which the finger and the location pin is lowered.

도 6은 본 발명에 따른 핑거부, 보트 가압부, 보트 고정부를 나타내는 측면도로서, 핑거의 핀이 보트의 슬롯에 삽입되지 못한 상태를 나타낸다.Figure 6 is a side view showing the finger portion, boat pressing portion, the boat fixing portion according to the present invention, showing a state that the pin of the finger is not inserted into the slot of the boat.

도 7은 본 발명에 따른 리드 픽 앤 플레이스 장비의 개략적인 평면도이다.7 is a schematic plan view of a lead pick and place equipment according to the present invention.

도 8a 내지 도 8n은 본 발명에 따른 리드 픽 앤 플레이스 장비의 작동을 예시하는 평면도이다.8A-8N are plan views illustrating the operation of the lead pick and place equipment according to the present invention.

본 발명은 반도체 장비에 관한 것으로서, 반제품 패키지에 리드를 로딩하는 리드 픽 앤 플레이스 장비에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to semiconductor equipment, and relates to lead pick and place equipment for loading leads into semifinished product packages.

반도체 패키지는 주지된 바와 같이, 회로가 형성된 다이를 패드에 부착하는 다이본딩공정, 이 다이와 리드를 전기적으로 연결하는 와이어 본딩공정, 와이어 본딩된 다이를 외부의 충격, 이물질로 부터 보호하기 위해 용융된 컴파운드로 봉지하는 몰딩공정, 스트립 또는 리드프레임에 다수개로 부착된 패키지를 개별화시키는 쏘잉 또는 싱귤레이션 공정을 거쳐서 제작된다.The semiconductor package is, as is well known, a die bonding process for attaching a die on which a circuit is formed to a pad, a wire bonding process for electrically connecting the die and the lead, and a molten die to protect the wire bonded die from external impact and foreign matter. It is manufactured through a molding process of encapsulating with a compound, or a sawing or singulation process of individualizing a package attached to a plurality of strips or lead frames.

그러나, 반도체의 패키지의 종류에 따라서는 다이에 회로 부분만이 있는 것이 아니고 관성센서와 같이 기계적 이동을 하는 부품을 갖는 부분도 존재하여 이를 몰딩 공정을 통해 제작하게 될 경우 경우에는 기계부품이 손상되게 된다. 따라서, 패키지의 윗부분만 남기고 반도체 패키지를 반제품 형태로 완성한 상태에서 패키지의 윗부분을 리드(lid; 덮개)로 씌워 고정하는 형태의 패키지(예를 들면 LCC Unit; Leadless Chip Carrier Unit)도 있다. 참고적으로 상기 리드의 저면에는 납이 도포되어 있기 때문에, 상기 반제품 패키지에 리드가 얹혀진 상태로 오븐에 공급되어 가열되면 납이 융착되어 상기 패키지에 리드가 고정되어 완성된 패키지를 얻게 된다. However, depending on the type of semiconductor package, there are not only circuit parts in the die, but also parts having mechanical parts such as inertial sensors. do. Therefore, there is also a package (eg, LCC unit; leadless chip carrier unit) in which the upper part of the package is covered with a lid (lid) while the semiconductor package is completed in semi-finished form, leaving only the upper part of the package. For reference, since the lead is coated on the bottom of the lead, when the lead is placed on the semi-finished product package and supplied to the oven and heated, the lead is fused to fix the lead to the package to obtain a completed package.

한편, 이러한 패키지 완성을 위해서는 상기 반제품 패키지에 리드를 자동으로 로딩하여 주는 장비가 필요한데, 이러한 작업을 행하는 장비를 통상 리드 픽 앤 플레이스 장비라고 한다.Meanwhile, in order to complete such a package, equipment for automatically loading leads into the semi-finished product package is required. Equipment for performing such a work is generally referred to as lead pick and place equipment.

이하, 종래의 리드 픽 앤 플레이스 장비에 대해서 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한다.Hereinafter, a conventional lead pick and place equipment will be described with reference to FIGS. 1 and 2.

종래의 리드 픽 앤 플레이스 장비는 보트(100)에 안착된 리드가 개방된 상태의 반제품 패키지(110)를 피더부(800)를 통해 공급하는 보트 로더(200)와, 트레이에 안착된 리드(120)를 척테이블(700)을 통해 공급하는 트레이 로더(500)와, 상기 트레이 로더(500)로부터 공급된 리드(120)를 상기 반제품 패키지(110)의 개방된 상면에 안착시키는 리드 로딩/언로딩 수단(400)을 가지고 있다. 이와 같이 리드(120)가 상부에 안착된 패키지(110)는 상기 보트(100)에 수용된 상태로 상기 피더부(800)를 통해 반제품 보트 언로더(300)로 이동되어지며, 상기 척테이블(700)로부터 리드(120)를 전부 전달한 트레이(T)는 트레이 언로더(600)에 의해서 언로딩 되어진다.Conventional lead pick and place equipment is a boat loader 200 for supplying a semi-finished product package 110 in a state in which the lid seated on the boat 100 is opened through the feeder unit 800, and the lid 120 seated on the tray. ) Is loaded through the chuck table 700 and the lead loading / unloading to seat the lead 120 supplied from the tray loader 500 to the open upper surface of the semi-finished product package 110 Has a means 400. As such, the package 110 having the lid 120 mounted thereon is moved to the semi-finished boat unloader 300 through the feeder unit 800 in a state accommodated in the boat 100, and the chuck table 700. The tray T, which has completely delivered the lid 120 from, is unloaded by the tray unloader 600.

상기 보트 로더(200)에는 복수개의 카세트(미도시) 적재되며, 각각의 카세트에는 복수개의 반제품 패키지(110)가 수용되는 보트(100)가 복수개 적재된다. 상기 보트(100)는 도2에 도시된 바와 같이, 반제품 패키지(110)가 수용되는 수용부(140)가 형성되어 있으며, 수용부(140) 주변으로는 반제품 패키지(110)의 이탈을 방지하는 리브(130)가 형성되어 있다. 또한, 길이방향을 따르는 일측변에는 상기 피더부(800)의 핀(미도시)이 삽입되는 슬롯(150)이 형성되어 있고, 타측변에는 위치 결정홀(160)이 형성되어 있는데, 이 위치 결정홀(160)의 역할에 대해서는 본 발명의 상세한 설명 부분에서 설명할 것이다.A plurality of cassettes (not shown) are loaded in the boat loader 200, and a plurality of boats 100 in which a plurality of semi-finished product packages 110 are accommodated are loaded in each cassette. As shown in FIG. 2, the boat 100 has an accommodating part 140 in which the semi-finished product package 110 is accommodated. The boat 100 prevents the semi-finished product package 110 from being separated around the accommodating part 140. Ribs 130 are formed. In addition, a slot 150 into which a pin (not shown) of the feeder part 800 is inserted is formed at one side along the longitudinal direction, and a positioning hole 160 is formed at the other side. The role of the hole 160 will be described in the detailed description of the present invention.

이와 같이 형성된 상기 보트(100)는 상기 보트 로더(200)를 통해서 상기 피더부(800)로 공급된다. 상기 피더부(800)는 보트(100)가 이동되는 피더 레일(802)과, 상기 피더 레일(802)에 안착된 보트(100)를 이동시킬 수 있도록 각각의 서보 모터에 의해서 도면상 장비의 X축 방향(좌우방향)으로 구동되어지는 3개의 피더(810, 820, 830)로 구성되어진다. 즉, 상기 피더부(800)는 보트 로더(200)로부터 공급된 보트(100)를 리드 로딩/언로딩 수단(400)에 공급하기 전에 임시로 대기시키는 제1피더(810)와, 상기 제1피더(810)로부터 공급된 보트(100)를 전달받아 리드 로딩 영역(LL)으로 이동시키는 제2피더(820)와, 제2피더로(820)부터 보트(100)를 전달받아 보트 언로더(300)로 전달하는 제3피더(830)로 구성된다.The boat 100 formed as described above is supplied to the feeder unit 800 through the boat loader 200. The feeder unit 800 is X by the respective servo motor to move the feeder rail 802, the boat 100 is moved, and the boat 100 seated on the feeder rail 802 It consists of three feeders 810, 820, and 830 which are driven in the axial direction (left and right directions). That is, the feeder unit 800 is a first feeder 810 to temporarily wait before supplying the boat 100 supplied from the boat loader 200 to the lead loading / unloading means 400, and the first The second feeder 820 receives the boat 100 supplied from the feeder 810 and moves it to the lead loading region LL, and the boat 100 receives the boat 100 from the second feeder 820. It consists of a third feeder (830) for transmitting to 300.

그리고, 상기 트레이 로더(500)에는 복수개의 바둑판 형식의 요홈이 형성된 트레이(T)가 적재되며, 이 트레이(T)의 요홈에 리드(120)가 각각 적재된다. 이 트레이 로더(500)는 상기 척테이블(700)에 트레이(T)를 전달하고, 상기 척테이블(700)은 트레이(T)를 진공 흡착하여 도면상 장비의 전방으로 이동하여 리드(120)가 담긴 트레이(T)를 리드 언로딩 영역(LU)으로 이동시킨다. 상기 척테이블(700)은 로봇을 통해 장비의 좌우 및 전후 방향으로 이동이 가능하다.The tray loader 500 is provided with a tray T in which a plurality of checkerboard recesses are formed, and the leads 120 are mounted in the recesses of the tray T, respectively. The tray loader 500 transfers the tray T to the chuck table 700, and the chuck table 700 moves the front of the equipment on the drawing by vacuum suctioning the tray T so that the lid 120 is moved. The loaded tray T is moved to the lead unloading area LU. The chuck table 700 is movable in the left and right and front and rear direction of the equipment through the robot.

한편, 상기 리드 로딩/언로딩 수단(400)에는 장비의 전후, 상하 및 수평 회전 이동이 가능한 리드 픽커(410)가 설치되며, 상기 장비를 기준으로 상기 리드 로딩/언로딩 수단(400) 후방에는 리드(120)의 언로딩 영역에서 리드(120)를 검사하는 고정된 비젼검사장치(V1)와, 상기 리드 로딩/언로딩 수단(400) 전방에는 리드(120)의 로딩 영역에서 패키지(110)를 검사하는 고정된 비젼검사장치(V2)을 구비하고 있다.On the other hand, the lead loading / unloading means 400 is provided with a lead picker 410 that can be moved back and forth, up and down and horizontal rotation of the equipment, the rear of the lead loading / unloading means 400 based on the equipment The fixed vision inspection apparatus V1 for inspecting the lead 120 in the unloading region of the lead 120, and the package 110 in the loading region of the lead 120 in front of the lead loading / unloading means 400. It is provided with a fixed vision inspection device (V2) for inspecting.

상기 리드 로딩/언로딩 수단(400)은, 상기 리드 언로딩 영역(LU)에 공급된 리드(120)를 리드 픽커(410)를 이용하여 흡착하고, 장비의 전방으로 이동하여 이 리드(120)를 보트(100)를 통해 상기 리드 로딩 영역(LL)에 도착한 반제품 패키지(110) 상면에 올려놓게 된다.The lead loading / unloading means 400 sucks the lead 120 supplied to the lead unloading area LU using a lead picker 410, and moves the lead 120 to the front of the equipment. Is placed on the upper surface of the semi-finished product package 110 arriving at the lead loading region LL through the boat 100.

이와 같이 구성되는 종래의 리드 픽 앤 플레이스 장비의 작동을 설명한다.The operation of the conventional lead pick and place equipment configured as described above will be described.

먼저, 보트 로더(200)를 통해서 보트(100)가 제1피더(810)에 공급되는데, 상기 제2피더(820)는 상기 제1피더(810)로부터 보트(100)를 공급받아 보트(100)의 진행방향 선단에 위치한 패키지(110)가 리드 로딩 영역(LL)에 위치되도록 한다. 이러한 공정이 진행되는 동안에 상기 리드(120)가 적재된 트레이(T)는 트레이 로더(500)를 통해 척테이블(700)에 공급된 후 상기 척테이블(700)은 트레이(T)를 진공 흡착한 채로, 트레이(T)를 리드 언로딩 영역(LU)으로 이미 이동한 상태에 있다.First, the boat 100 is supplied to the first feeder 810 through the boat loader 200, and the second feeder 820 receives the boat 100 from the first feeder 810. The package 110 positioned at the leading end of the traveling direction is positioned in the lead loading region LL. During this process, the tray T on which the lid 120 is loaded is supplied to the chuck table 700 through the tray loader 500, and then the chuck table 700 vacuum-adsorbs the tray T. With this, the tray T has already been moved to the lead unloading area LU.

이 상태에서, 상기 비젼검사장치(V1)는 리드 언로딩 영역(LU)에 위치한 트레이(T)에 안착된 리드(120)의 정렬 상태를 확인한다. 상기 비젼검사장치(V1)는 상기 리드(120)가 상기 트레이(T)에서 똑바로 놓여있는지, 리드(120)의 위치에 편차가 있다면 이 편차가 어느 정도인지를 인식하게 된다. 이후 상기 리드 픽커(410)는 상기 리드(120)를 진공으로 흡착한 후 비젼검사장치(V1)의 비젼 검사결과에 따라 패키지(110)를 소정의 각도로 미세각도 회전하여 위치 편차를 보정한 후 장비의 전방으로 이동하여 리드 로딩 영역(LL)에 위치한다. 이 사이에 리드 로딩 영역(LL)에 위치한 반제품 패키지(110)는 상기 비젼검사장치(V2)에 의해서 그 위치가 파악되어진다. In this state, the vision inspection device V1 checks the alignment state of the lead 120 seated on the tray T located in the lead unloading area LU. The vision inspection apparatus V1 recognizes whether the lead 120 is placed straight in the tray T, and if there is a deviation in the position of the lead 120, the deviation is how much. Thereafter, the lead picker 410 absorbs the lead 120 in a vacuum and then rotates the package 110 at a predetermined angle according to the vision inspection result of the vision inspection apparatus V1 to correct the position deviation. It moves forward of the equipment and is located in the lead loading area LL. In the meantime, the semi-finished product package 110 located in the lead loading area LL is identified by the vision inspection device V2.

상기 리드 픽커(410)는 비젼검사장치(V2)의 정보에 따라서 상기 반제품 패키지(110)의 상부에 리드(120)를 정확하게 안착시키게 된다. 상기 과정이 반복되는 동안 즉, 상기 리드 픽커(410)가 리드 언로딩 영역(LU) 및 리드 로딩 영역(LL)을 왕복 이동하며 리드(120)를 상기 반제품 패키지(110)에 안착하는 동안에 상기 보트 (100)는 상기 리드 픽커(410)의 작동에 대응하여 한 피치씩 장비의 우측으로 이동하고, 또한 상기 척테이블(700) 역시, 리드(120)가 안착된 요홈이 상기 리드 언로딩 영역(LU)에 위치하도록 트레이(T)를 장비의 좌우 또는 전후 방향으로 이동하게 된다. 이러한 과정을 거쳐 상기 리드 로딩 영역(LL)에서 리드(120)를 상기 반제품 패키지(110)의 상면에 전부 얹은 보트(100)는 제3피더(830)로 전달되어진 후 보트 언로더(300)로 언로딩된다.The lead picker 410 accurately seats the lead 120 on the semi-finished product package 110 according to the information of the vision inspection apparatus V2. While the process is repeated, that is, while the lead picker 410 reciprocates the lead unloading region LU and the lead loading region LL and rests the lid 120 on the semifinished product package 110. 100 moves to the right side of the equipment by one pitch in response to the operation of the lead picker 410, and the groove in which the lead 120 is seated is also the lead unloading area LU. The tray (T) is moved in the left and right or front and rear directions of the equipment so as to be located at). Through this process, the boat 100 in which the lead 120 is entirely placed on the upper surface of the semi-finished product package 110 in the lead loading region LL is transferred to the third feeder 830 and then the boat unloader 300. It is unloaded.

이와 같이 구성되는 종래의 리드 픽 앤 플레이스 장비는 다음과 같은 문제점을 갖는다.The conventional lead pick and place equipment configured as described above has the following problems.

먼저, 상기 보트(100)를 이동시키기 위한 제1, 2, 3 피더(810, 820, 830)의 구동을 위해서 3개의 서보 모터를 각각 사용하므로 장비의 제작 비용이 상승하게 된다. 또한, 상기 제1, 2, 3피더(810, 820, 830)가 보트(100)를 서로 주고 받기 위해서는 프로그램적으로 상기 피더를 서로 동기 시킬 필요가 있는데, 장비 작동시 프로그램적 에러, 또는 장비의 기계적인 에러에 의해서 상기 제1, 2, 3 피더(810, 820, 830)가 서로 동기되지 못하여 보트(100)들이 서로 충돌하는 경우가 많아 장비의 가동 효율이 저하되는 문제가 있었다. First, since three servo motors are used to drive the first, second, and third feeders 810, 820, and 830 for moving the boat 100, the manufacturing cost of equipment increases. In addition, the first, second, third feeders (810, 820, 830) need to programmatically synchronize the feeders with each other in order to send and receive the boat 100, the program error when operating the equipment, or Due to mechanical errors, the first, second, and third feeders 810, 820, and 830 are not synchronized with each other, and thus, the boats 100 collide with each other, thereby deteriorating the operation efficiency of the equipment.

또한 상기 리드 언로딩 영역(LU)으로부터 상기 리드 로딩 영역(LL)으로 리드(120)를 이동시킴에 있어, 상기 리드 픽커(410)가 하나의 리드(120)만을 이동시켜 장비의 리드(120) 안착 UPH(Unit Per Hour: 시간당 리드 처리 속도)가 저하되는 문제점이 있었다.In addition, in moving the lead 120 from the lead unloading area LU to the lead loading area LL, the lead picker 410 moves only one lead 120 so that the lead 120 of the equipment is moved. There was a problem in that the settlement UPH (Unit Per Hour) decreases.

또한, 상기 트레이(T)를 흡착한 척테이블(700) 및 반제품 패키지(110)를 안착한 보트(100)가 상기 리드 픽커(410)의 왕복 이동에 따라서 리드 언로딩 영역(LU) 및 리드 로딩 영역(LL)으로 한피치씩 이동하는 구조이므로, 보트(100)의 제어 및 척테이블(700)의 제어가 복잡하여 에러가 발생될 수가 있었으며, 그 구조 또한 복잡한 문제점이 있었다.In addition, the lead unloading area LU and the lead loading area of the chuck table 700 having the tray T and the boat 100 having the semi-finished product package 110 seated thereon according to the reciprocating movement of the lead picker 410. Since the structure moves by pitch one by one, the control of the boat 100 and the control of the chuck table 700 may be complicated, and an error may occur.

뿐만 아니라, 상기 보트(100) 및 척테이블(700)이 한 피치씩 이동함으로써 상기 보트(100) 및 상기 척테이블(700)에 안착된 리드(120)의 흐트러짐이 발생하는 문제점이 있었다. 특히, 상기 척테이블(700)에 안착된 트레이에 수용된 리드(120)의 경우 그 흔들림이 발생되기 때문에, 상기 리드(120)를 상기 리드 로딩 영역(LL)에 위치한 패키지(110)의 상면에 정확하게 안착시키기 위해서 상기 리드 픽커(410)가 상기 리드 언로딩 영역(LU)에 위치한 리드(120)를 집어가기 전에 각 리드(120)별로 리드(120)의 정확한 위치를 비젼 검사장치를 통해서 일일이 검사해야 하고, 이 검사 결과에 따라 상기 리드 픽커(410)의 회전을 통해 위치 오차를 보정해야하만 하기 때문에 장비의 UPH를 떨어뜨리게 된다.In addition, since the boat 100 and the chuck table 700 move by one pitch, there is a problem that disturbance of the lid 120 seated on the boat 100 and the chuck table 700 occurs. In particular, since the shaking occurs in the lid 120 accommodated in the tray seated on the chuck table 700, the lid 120 is accurately placed on the upper surface of the package 110 positioned in the lead loading region LL. Before the lead picker 410 picks up the lead 120 located in the lead unloading area LU, the lead 120 needs to be inspected by the vision inspection device. In addition, since the position error must be corrected through the rotation of the lead picker 410 according to the test result, the UPH of the equipment is dropped.

또한, 상기 척테이블(700)이 상기 트레이 로더(500)로부터 트레이를 전달받아 트레이(T)를 리드 언로딩 영역(LU)으로 이동시키기 위해서 척테이블(700)에 장비의 Y축 방향(장비의 전후방향) 구동수단을 제공하여 장비가 복잡해지는 문제점이 있었다.In addition, the chuck table 700 receives the tray from the tray loader 500 and moves the tray T to the lead unloading area LU in the Y-axis direction of the equipment (the There is a problem in that the equipment is complicated by providing a forward and backward drive means.

이에 본 발명은 상기 문제점들을 해결할 수 있도록 피더 구동을 위한 서보 모터의 사용을 최소화하고, 상기 피더간에 충돌이 발생하는 것을 방지할 수 있는 피더부 구조를 제공함에 그 목적이 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a feeder structure which can minimize the use of a servo motor for driving a feeder and prevent a collision between the feeders so as to solve the above problems.

본 발명은 또한 리드의 안착 UPH를 증대할 수 있는 리드 로딩/언로딩 수단을 제공함에 그 목적이 있다.It is also an object of the present invention to provide a lead loading / unloading means capable of increasing the seating UPH of the lid.

본 발명은 또한 척테이블 및 보트의 움직임을 최소화하여 리드의 이동을 최소화함은 물론 이들의 구조를 간단히 함에 그 목적이 있다.The present invention also aims at minimizing the movement of the chuck table and the boat to minimize the movement of the leads, as well as simplifying their structure.

본 발명은 또한 비젼 검사 방법을 단순화함으로써 비젼 검사에 소모되는 시간을 최소화하여 장비의 UPH를 향상시키고자 하는데 그 목적이 있다.The present invention also aims to improve the UPH of equipment by minimizing the time spent on vision inspection by simplifying the vision inspection method.

본 발명의 목적을 달성할 수 있도록, 본 발명은 보트 로더로부터 반제품 패키지가 수용된 보트를 전달받아 보트를 리드 로딩 영역으로 이동시키고 상기 패키지 상면에 리드를 로딩시킨후 보트를 보트 언로더로 이동시키는 피더부와, 트레이 로더로부터 리드가 수용된 테이블을 전달받아 안착시키고 리드가 전부 언로딩되면 트레이가 트레이 언로더에 의해서 언로딩되는 척테이블과, 상기 척테이블에 흡착된 트레이의 리드 언로딩 영역으로부터 상기 리드를 흡착하여 상기 리드 로딩 영역에 위치한 상기 패키지 상면에 리드를 로딩하는 리드 로딩/언로딩 수단을 갖는 리드 픽 앤 플레이스 장비에 있어서; 상기 피더부는 하나의 구동부에 의해 보트의 진행방향 및 역방향으로 이동되는 슬라이더에 설치된 개별적으로 상하 이동이 가능한 복수개의 핑거부와, 상기 보트 로더로부터 피더 레일을 따라 진입되는 보트의 진출입을 결정하는 스토퍼와, 상기 보트의 이동을 제한하는 보트 고정부를 구비한 것을 특징으로 하는 리드 픽 앤 플레이스 장비를 제공하고 있다.In order to achieve the object of the present invention, the present invention receives the boat containing the semi-finished package from the boat loader to move the boat to the lead loading area and to load the lid on the package upper surface feeder for moving the boat to the boat unloader And a chuck table from which a lead is received from a tray loader and seated, and the lid is unloaded by a tray unloader when all the leads are unloaded, and from the lead unloading area of the tray adsorbed to the chuck table. A lead pick and place device having lead loading / unloading means for adsorbing and loading a lead onto the upper surface of the package located in the lead loading region; The feeder part includes a plurality of individually movable vertical finger parts installed on a slider which is moved in the traveling direction and the reverse direction of the boat by a single driving part, and a stopper which determines the entry / exit of the boat entering along the feeder rail from the boat loader. It provides a lead pick and place equipment, characterized in that provided with a boat fixing portion for limiting the movement of the boat.

여기서, 상기 핑거부는 스토퍼에 의해 정지된 보트에 결합되고, 스토퍼 해제 후 상기 보트를 대기 영역으로 이동시키는 제1핑거와, 상기 대기 영역으로 이동된 보트에 결합되어 상기 보트를 리드 로딩 영역으로 이동시키는 제2핑거와, 상기 리드 로딩/언로딩 수단에 의해 상기 보트에 수용된 패키지 상면에 리드가 전부 로딩되면, 상기 보트를 반출영역으로 이동시키는 제3핑거와, 상기 반출영역에 이동된 보트를 보트 언로더로 이동시키는 제4핑거를 구비하게 된다.Here, the finger portion is coupled to the boat stopped by the stopper, the first finger for moving the boat to the standby area after the stopper release, and coupled to the boat moved to the standby area to move the boat to the lead loading area When the lead is completely loaded on the package upper surface of the package accommodated in the boat by the second finger and the lead loading / unloading means, the third finger for moving the boat to the carrying area and the boat moved to the carrying area are unloaded. A fourth finger for moving to the loader is provided.

또한, 상기 고정부는 상기 대기영역, 상기 리드 로딩 영역, 상기 반출영역으로 이동된 보트의 이동을 방지할 수 있도록 상하 이동이 제어되는 제1, 2, 3로케이션핀으로 이루어진다.The fixing unit may include first, second and third location pins which are controlled to move up and down so as to prevent movement of the boat moved to the standby area, the lead loading area and the carrying out area.

또한, 상기 스토퍼는 보트를 정지 또는 전진 가능하게 하는 위치로 이동가능하게 제어되어진다.The stopper is also movably controlled to a position that allows the boat to stop or move forward.

또한, 상기 제4핑거에 의해 보트 언로더로 이동된 보트의 후면을 보트 언로더로 밀어주는 보트 푸셔를 구비하고 있으며, 상기 보트 푸셔는 승하강 및 상기 보트의 이동방향으로 이동이 가능하게 구성되어진다.In addition, a boat pusher for pushing the rear of the boat moved to the boat unloader by the fourth finger to the boat unloader, the boat pusher is configured to move in the lifting direction and the moving direction of the boat Lose.

또한 상기 피더 레일의 일측에는 보트를 일방향으로 가압하는 보트 가압부가 설치된다.In addition, one side of the feeder rail is provided with a boat pressing portion for pressing the boat in one direction.

또한, 상기 척테이블은 고정되며, 상기 척테이블에 흡착된 트레이의 리드 수용홈 전 영역이 리드 언로딩 영역으로 이용된다.In addition, the chuck table is fixed, and the entire region of the lead receiving groove of the tray adsorbed to the chuck table is used as the lead unloading region.

또한, 상기 리드 로딩/언로딩 수단은 상기 리드 언로딩 영역과 리드 로딩 영역으로 이동되며, Y축으로 이동가능하게 구성된다.Further, the lead loading / unloading means is moved to the lead unloading area and the lead loading area, and is configured to be movable on the Y axis.

또한, 상기 리드 로딩/언로딩 수단은 X축 및 Y축 로봇으로 구성되며, 상기 Y축 로봇에는 개별적으로 상하이동이 가능한 복수개의 리드 픽커와 비젼검사장치가 설치된다.In addition, the lead loading / unloading means is composed of an X-axis and Y-axis robot, the Y-axis robot is provided with a plurality of lead picker and vision inspection device capable of moving individually.

또한, 상기 보트에 수용된 패키지 상면에 리드 로딩시, 상기 보트가 움직이지 않고 대신 리드 로딩/언로딩 수단의 XY축 로봇이 이동하여 상기 보트에 수용된 패키지의 상면에 리드를 로딩하게 된다.In addition, when the lead loading on the package upper surface of the boat, the boat does not move and instead the XY axis robot of the lead loading / unloading means moves to load the lead on the upper surface of the package accommodated in the boat.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 리드 픽 앤 플레이스 장비를 설명한다. 본 발명을 설명함에 있어, 편의상 도면을 기준으로 장비의 가로방향은 X축방향, 세로방향은 Y축방향, 수직방향은 Z축방향, 수평회전 방향은 θ방향이라 한다. 본 발명은 또한 종래와 동일 또는 유사한 기능을 갖는 부품에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하였다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described a lead pick and place equipment according to the present invention. In describing the present invention, for convenience, the horizontal direction of the equipment is referred to as the X-axis direction, the vertical direction is the Y-axis direction, the vertical direction is the Z-axis direction, and the horizontal rotation direction is the θ direction. The present invention has also given the same reference numerals for components having the same or similar functions as in the prior art.

도 7은 본 발명에 따른 리드 픽 앤 플레이스 장비의 평면도이다. 도 7을 참조하면, 본 발명에 따른 리드 픽 앤 플레이스 장비의 일측(도 7에서 좌측)에는 보트(100)에 수용된 리드가 개방된 상태의 반제품 패키지(110)를 공급하는 보트 로더(200)가 설치되어 있고, 타측(도 7에서 우측)에는 상기 각각의 반제품 패키지(110) 상면에 리드(120)가 안착된 상태의 보트(100)가 적재되는 보트 언로더(300)가 설치되어 있다. 상기 보트 로더(200)와 상기 보트 언로더(300) 사이의 장비 후방에는 상기 보트 로더(200)로부터 반제품 패키지(110)가 수용된 보트(100)를 전달받아 보트(100)를 리드 로딩 영역(LL)으로 이동시키고 상기 패키지(110) 상면에 리드(120)를 로딩시킨후 보트(100)를 보트 언로더(300)로 이동시키는 피더부(800)가 설치되어 있다.7 is a plan view of a lead pick and place equipment in accordance with the present invention. Referring to FIG. 7, at one side (left side in FIG. 7) of the lead pick and place equipment according to the present invention, a boat loader 200 for supplying a semi-finished product package 110 in a state in which a lid accommodated in the boat 100 is opened is provided. On the other side (right side in FIG. 7), a boat unloader 300 is mounted on the upper surface of each semi-finished product package 110 on which the boat 100 in which the lid 120 is seated is loaded. At the rear of the equipment between the boat loader 200 and the boat unloader 300, the boat 100 containing the semi-finished product package 110 is received from the boat loader 200 and receives the boat 100 as a lead loading area LL. The feeder unit 800 is installed to move the boat 100 to the boat unloader 300 after the lid 120 is loaded on the package 110.

그리고 본 발명에 따른 장비의 전방에는 척테이블(700)을 기준으로 일측(도 7에서 좌측)에는 트레이 로더(500)가 설치되어 있고, 타측(도 7에서 우측)에는 트레이 언로더(600)가 설치되어 있다. 상기 트레이 로더(500)는 리드(120)가 수용된 트레이를 상기 척테이블(700)에 전달하고, 상기 트레이 언로더(600)은 리드 로딩/언로딩 수단(400)에 의해 리드(120)가 전부 언로딩되면 상기 척테이블(700)로부터 빈 트레이(T)를 언로딩 하여 적재하는 역할을 담당한다. 본 발명에 따른 척테이블(700)은 종래 기술처럼 X축 및 Y축으로 이동시키지 않고 고정된 형태로 구성되어 있다. 이는 척테이블(700)에 관한 장비의 구성을 간단하게 하는 역할을 한다. 이와 같이 척테이블(700)이 고정된 관계로 상기 척테이블(700)에 흡착된 트레이(T)의 전 영역은 리드 언로딩 영역(LU)이 되게 된다.And the front of the equipment according to the present invention, the tray loader 500 is installed on one side (left in Figure 7) on the basis of the chuck table 700, the tray unloader 600 on the other side (right in Figure 7) It is installed. The tray loader 500 transfers the tray containing the lid 120 to the chuck table 700, and the tray unloader 600 is entirely loaded by the lead loading / unloading means 400. When it is unloaded, it serves to unload and load the empty tray T from the chuck table 700. The chuck table 700 according to the present invention is configured in a fixed form without moving in the X and Y axes as in the prior art. This serves to simplify the configuration of the equipment with respect to the chuck table 700. As described above, the entire area of the tray T adsorbed to the chuck table 700 becomes the lead unloading area LU because the chuck table 700 is fixed.

그리고, 장비의 Y축 방향으로는 상기 척테이블(700)에 흡착된 트레이의 리드 언로딩 영역(LU)으로부터 상기 리드(120)를 흡착하여 상기 리드 로딩 영역(LL)에 위치한 상기 패키지(110) 상면에 리드(120)를 로딩하는 리드 로딩/언로딩 수단(400)이 제공된다.In addition, the package 110 positioned in the lead loading region LL by sucking the lead 120 from the lead unloading region LU of the tray adsorbed to the chuck table 700 in the Y-axis direction of the equipment. Lead loading / unloading means 400 for loading lid 120 on the top surface is provided.

이하 본 발명에 따른 리드 픽 앤 플레이스 장비에 대해 좀더 상세하게 설명한다.Hereinafter, the lead pick and place equipment according to the present invention will be described in more detail.

상기 보트 로더(200)는 2층의 적재판을 구비한다. 상기 하층 적재판(미도시)에는 복수개의 보트(100)가 적재된 카세트(C)가 복수개 적재되며, 상층 적재판(210)에는 상기 카세트(C)로부터 보트(100)가 전부 언로링되었을 때 빈 카세트(C)가 적재된다. 상기 하층의 적재판에는 카세트(C)를 엘리베이터(220)로 이송시키는 도시되지 않은 공지의 카세트 수평이동장치가 설치되어 있다. 상기 엘리베이터(220)는 서보모터(231), 볼스크류(232), 너트(233)로 구성되는 보트 로더용 Y축 로봇(230)에 설치되어 Y축방향으로 이동이 가능하다. 상기 엘리베이터(220)에는 수평이송장치에 의해 공급된 상기 카세트(C)를 집는 카세트 홀더(221)가 설치되어 있다. 그리고, 상기 보트 로더(200)의 좌측에는 실린더(241)에 의해 전후진이 가능한 보트 푸셔(240)가 제공된다.The boat loader 200 has a stacking plate on two levels. When a plurality of cassettes C on which a plurality of boats 100 are stacked are stacked on the lower stacking plate (not shown), and the boat 100 is completely unloaded from the cassette C on the upper stacking plate 210. An empty cassette C is loaded. The lower loading plate is provided with a well-known cassette horizontal moving device (not shown) for transferring the cassette (C) to the elevator (220). The elevator 220 is installed on the Y-axis robot 230 for the boat loader consisting of a servo motor 231, a ball screw 232, a nut 233 is movable in the Y-axis direction. The elevator 220 is provided with a cassette holder 221 which picks up the cassette C supplied by the horizontal transfer device. The boat pusher 240 is provided on the left side of the boat loader 200 to move back and forth by the cylinder 241.

이와 같이 구성되는 보트 로더(200)는 본 출원인에 의해 선출원 등록된(출원번호: 10-2000-0079282, 반도체 패키지 절단용 핸들러 시스템)의 온로더와 거의 유사한 구성을 갖는다. 본 발명에서는 예시적으로 이와 같은 구성을 제시하였지만, 보트(100)를 상기 피더부(800)에 온로딩하는 실시예는 당업계에서 상당수 존재하므로, 보트 로더의 변형 실시여부가 본 발명의 권리는 제한하는 것으로 해석되어져서는 안 될 것이다. The boat loader 200 configured as described above has a configuration substantially similar to that of the on-loader registered by the present applicant (application number: 10-2000-0079282, a handler package for cutting a semiconductor package). In the present invention has been presented such a configuration by way of example, there are a number of embodiments in the art for on-boarding the boat 100 to the feeder unit 800, the modification of the boat loader is a right of the present invention It should not be construed as limiting.

그리고, 상기 보트 언로더(300)는 보트 푸셔(240)가 생략된 것만을 제외하고는 그 구성이 보트 로더(200)와 동일하므로 그 설명을 생략한다.The boat unloader 300 has the same configuration as the boat loader 200 except that the boat pusher 240 is omitted, and thus description thereof will be omitted.

도 3 및 도 7에 도시된 바와 같이 상기 피더부(800)는 하나의 구동부, 예를 들면 서보모터(811), 볼스크류(812), 너트(813)로 구성되는 X축 로봇(810)에 의해 보트(100)의 진행방향 및 역방향을 따라 이동되는 슬라이더(820)를 구비하고 있다. 상기 슬라이더(820)는 상기 너트(813)과 기구적으로 연결되어져 있다. 상기 슬라이더(820)에는 개별적으로 상하 이동이 가능하게 핑거부(830)가 설치되어 있다.As shown in FIGS. 3 and 7, the feeder unit 800 is connected to an X-axis robot 810 composed of one driving unit, for example, a servo motor 811, a ball screw 812, and a nut 813. Thereby, the slider 820 which is moved along the advancing direction and the reverse direction of the boat 100 is provided. The slider 820 is mechanically connected to the nut 813. The slider 820 is provided with a finger portion 830 to move up and down individually.

상기 슬라이더(820)는 베이스에 고정되는 리니어웨이(821)에 슬라이딩 가능하게 설치되어 있다. 상기 슬라이더(820)의 전면에는 상하로 승강 가능한 에어실린더(840)가 설치되며, 이 에어실린더(840)의 로드에는 업다운 블록(841)이 설치되어 있다. 또한 상기 업다운 블록(841)에는 핑거부(830)가 설치되어 상기 에어 실린더(840)의 승하강에 의해서 상기 핑거부(830)가 승하강된다. The slider 820 is slidably installed on the linear way 821 fixed to the base. An air cylinder 840 that can be lifted up and down is provided on a front surface of the slider 820, and an up-down block 841 is provided on a rod of the air cylinder 840. In addition, a finger portion 830 is installed in the up-down block 841, and the finger portion 830 is raised and lowered by the raising and lowering of the air cylinder 840.

상기 핑거부(830)에 대해 좀더 자세히 설명한다. 상기 핑거부(830)는 스토퍼(804)에 의해 정지된 보트(100)에 결합되고, 스토퍼(804) 해제후 상기 보트(100)를 대기 영역으로 이동시키는 제1핑거(831)와, 상기 대기 영역으로 이동된 보트(100)에 결합되어 상기 보트(100)를 리드 로딩 영역(LL)으로 이동시키는 제2핑거(832)와, 상기 리드 로딩/언로딩 수단(400)에 의해 상기 보트(100)에 수용된 패키지(110) 상면에 리드(120)가 전부 로딩되면, 상기 보트(100)를 반출영역으로 이동시키는 제3핑거(833)와, 상기 반출영역에 이동된 보트(100)를 보트 언로더(300)로 이동시키는 제4핑거(834)를 가지고 있다.The finger portion 830 will be described in more detail. The finger part 830 is coupled to the boat 100 stopped by the stopper 804, and after the stopper 804 is released, a first finger 831 for moving the boat 100 to the standby area, and the atmosphere A second finger 832 coupled to the boat 100 moved to an area to move the boat 100 to the lead loading area LL, and the boat 100 by the lead loading / unloading means 400; When the lid 120 is completely loaded on the upper surface of the package 110 accommodated in the package), the third finger 833 for moving the boat 100 to the carrying area and the boat 100 moved to the carrying area are unloaded. The fourth finger 834 moves to the loader 300.

상기 제1 내지 제4핑거(831,832,833,834)의 일단부에는 핀(P)이 제공되어 있으며, 이 핀(P)은 상기 보트(100)의 슬롯(150)에 삽입되어 상기 핑거부(830)와 상기 보트(100)가 결합되도록 하는 역할을 한다.One end of the first to fourth fingers (831,832,833,834) is provided with a pin (P), which is inserted into the slot 150 of the boat 100, the finger portion 830 and the The boat 100 serves to couple.

상기 제1 내지 제4핑거(831,832,833,834)는 상기 업다운 블록(841)에 고정된 핑거 아암 홀더(850)에 그 타단이 회동 가능하게 설치되어 있다. 그리고, 상기 핑거부(830)의 일측에는 센서 도그(860)가 설치되고 상기 핑거 아암 홀더(850)에는 센서(861)가 설치되어 상기 제1 내지 제4핑거(831,832,833,834)의 회전여부에 따라서 핑거의 핀(P)이 상기 보트(100)의 슬롯(150)에 제대로 삽입되었는지의 여부를 감지할 수 있게 된다.The first to fourth fingers 831, 832, 833, and 834 are rotatably installed at the other end of the finger arm holder 850 fixed to the up-down block 841. In addition, a sensor dog 860 is installed at one side of the finger part 830, and a sensor 861 is installed at the finger arm holder 850, according to whether the first to fourth fingers 831, 832, 833, 834 are rotated. It is possible to detect whether or not the pin (P) is properly inserted into the slot 150 of the boat (100).

한편, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 피더부(800)에는 또한, 상기 보트 로더(200)로부터 피더 레일(802)을 따라 진입되는 보트(100)의 진출입을 결정하는 스토퍼(804)가 설치된다. 상기 스토퍼(804)는 보트(100)를 정지 또는 전진 가능하게 하는 위치로 이동가능하게 제어되어지는 것이 바람직하며, 본 발명에서는 상기 스토퍼(804)의 제어를 위해 로타리 실린더(미도시)를 사용하였다.Meanwhile, as shown in FIG. 7, the feeder unit 800 is further provided with a stopper 804 for determining the entry and exit of the boat 100 entering the feeder rail 802 from the boat loader 200. do. The stopper 804 is preferably controlled to be movable to a position that allows the boat 100 to stop or move forward. In the present invention, a rotary cylinder (not shown) is used to control the stopper 804. .

또한, 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 피더부(800)는 상기 보트(100)의 이동을 제한하는 보트 고정부(870)를 갖고 있다. 이 보트 고정부(870)는 상기 보트(100)의 대기 영역, 리드 로딩 영역(LL), 반출영역으로 이동된 보트(100)의 이동을 방지할 수 있도록 상하 이동이 제어되는 제1, 2, 3로케이션핀(871, 872, 873)으로 구성된다. 상기 로케이션핀(871, 872, 873)은 베이스에 고정된 실린더(874)에 의해서 그 상하 이동이 제어된다. 또한, 상기 로케이션핀(871, 872, 873)은 로케이션핀 블록(875)에 대해 상방향으로 탄력적으로 설치되어지며, 그 내부에는 로케이션 핀(871, 872, 873)의 이동을 감지하는 도시되지 않은 센서가 설치되어 있다. 상기 로케이션핀(871, 872, 873)은 상승시 상기 보트(100)의 위치 결정홀(160)에 삽입되어 상기 보트(100)의 이동을 제한하게 된다. 본 발명은 상기 보트 고정부(870)의 구조를 상기 로케이션 핀(871, 872, 873)이 상기 보트(100)의 위치 결정홀(160)에 삽입되도록 하였지만, 이러한 구조 외에도 상기 보트(100)를 고정할 수 있는 구조는 다양하게 실시되어 질 수 있을 것이다. 예를 들면 상기 보트(100)에 위치 결정홀(160)이 없는 대신에 상기 보트(100)가 대기영역, 리드 로딩 영역(LL), 반출영역에 있을 때 상기 보트(100)의 선단 또는 선단 및 후단을 막아 보트(100)의 이동을 제한하는 형태가 될 수도 있을 것이다.4 to 6, the feeder unit 800 has a boat fixing unit 870 for limiting the movement of the boat 100. The boat fixing part 870 is the first, second, which is controlled to move up and down so as to prevent the movement of the boat 100 moved to the standby area, the lead loading area (LL), the export area of the boat 100 It is composed of three location pins (871, 872, 873). The location pins 871, 872, and 873 are controlled to move up and down by a cylinder 874 fixed to the base. In addition, the location pins 871, 872 and 873 are elastically installed upward with respect to the location pin block 875, and therein, not illustrated to sense the movement of the location pins 871, 872 and 873. The sensor is installed. The location pins 871, 872, and 873 are inserted into the positioning holes 160 of the boat 100 to limit the movement of the boat 100 when raised. The present invention allows the location pins 871, 872, and 873 to be inserted into the positioning holes 160 of the boat 100 by the structure of the boat fixing part 870. Fixable structure may be implemented in various ways. For example, instead of the positioning hole 160 in the boat 100, the tip or tip of the boat 100 when the boat 100 is in the standby area, the lead loading area LL, the carrying out area and The rear end may be blocked to limit the movement of the boat 100.

또한, 상기 피더부(800)는 상기 제4핑거(834)에 의해 보트 언로더(300)로 이동된 보트(100)의 후면을 보트 언로더(300)로 밀어주는 보트 푸셔(880)를 구비하고 있다. 상기 보트 푸셔(880)는 승하강 가능한 실린더(미도시)에 결합되어 승하강이 가능하고, 이 승하강 실린더는 X축 방향으로 이동이 가능한 실린더(881)에 결합된 블록(882)에 설치되어 있다. In addition, the feeder unit 800 includes a boat pusher 880 for pushing the rear surface of the boat 100 moved to the boat unloader 300 by the fourth finger 834 to the boat unloader 300. Doing. The boat pusher 880 is coupled to the elevating cylinder (not shown) is capable of raising and lowering, the elevating cylinder is installed in the block 882 coupled to the cylinder 881 movable in the X-axis direction have.

또한, 상기 피더부(800)는 상기 피더 레일(802)의 일측에 설치되어 보트(100)를 일방향으로 가압하는 보트 가압부(890)를 구비하고 있다. 본 발명에서는 상기 보트 가압부(890)를 장비 기준으로 장비 후방에 위치된 피더 레일(802)에 설치하여, 보트(100)를 전방측의 피더 레일(802)로 미는 구조를 가지고 있다. 이와 같이 보트 가압부(890)를 설치하는 이유는 리드 로딩 영역(LL)에서, 보트(100)는 피더 레일(802)의 일측으로 최대한 밀착시켜 피더 레일(802)의 일정한 위치에 유지시키기 위함이다. 물론, 이 보트 가압부(890)는 보트(100)를 후방으로 미는 구조로 설치하여도 상관없다.In addition, the feeder unit 800 is provided on one side of the feeder rail 802 is provided with a boat pressing unit 890 for pressing the boat 100 in one direction. In the present invention, the boat pressing unit 890 is installed on the feeder rail 802 located behind the equipment on the basis of the equipment, and has a structure that pushes the boat 100 to the feeder rail 802 on the front side. The reason why the boat pressurizing unit 890 is installed as described above is to maintain the boat 100 at a constant position of the feeder rail 802 in the lead loading area LL so that the boat 100 is in close contact with one side of the feeder rail 802. . Of course, this boat pressurizing part 890 may be provided in the structure which pushes the boat 100 back.

본 발명에 따른 보트 가압부(890)의 구조는 다음과 같다. 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 보트(100)를 미는 텐션 베어링(891)은 텐션 아암(892)의 일단에 회전 가능하게 설치되며, 상기 텐션 아암(892)은 상기 피더 레일(802)에 회동가능하게 설치된다. 상기 텐션 아암(892)의 타단에는 장공(893)이 형성되며, 이 장공에는 수직으로 이동가능하게 피더 레일(802)의 연장부에 설치된 로드(894)가 힌지 핀(895)에 의해서 결합되어 있다. 상기 로드는 스프링(896)을 통해 상기 텐션 아암(892)을 상방향으로 미는 구조로 설치된다. 상기 장공(893)은 상기 로드(894)가 상하방향으로 이동될 때, 힌지핀(895)이 장공(893)을 따라 슬라이딩하도록 하는 역할을 한다.The structure of the boat presser 890 according to the present invention is as follows. 4 to 6, the tension bearing 891 pushing the boat 100 is rotatably installed at one end of the tension arm 892, and the tension arm 892 is the feeder rail 802. Is installed rotatably. A long hole 893 is formed at the other end of the tension arm 892, and a rod 894 provided at an extension of the feeder rail 802 is coupled to the long hole by a hinge pin 895. . The rod is installed in a structure that pushes the tension arm 892 upward through a spring 896. The long hole 893 serves to allow the hinge pin 895 to slide along the long hole 893 when the rod 894 is moved up and down.

한편, 상기 리드 로딩/언로딩 수단(400)은 상기 리드 언로딩 영역(LU)과 리드 로딩 영역(LL)으로 이동되며, X축 및 Y축으로 이동가능하게 구성되어 지며, 리드 픽커(410)와 비젼 검사장치(V2)를 구비하고 있다. 상기 리드 로딩/언로딩 수단(400)은 X축 및 Y축로봇(420)(430)으로 구성된다. 여기서, 상기 리드 픽커(410)는 Y축 로봇(430)에 설치되며 개별적으로 상하이동이 가능하며, 복수개로 구성된다.Meanwhile, the lead loading / unloading means 400 is moved to the lead unloading area LU and the lead loading area LL, and is configured to be movable on the X axis and the Y axis, and the lead picker 410. And a vision inspection device V2. The lead loading / unloading means 400 is composed of X and Y axis robots 420 and 430. Here, the lead picker 410 is installed on the Y-axis robot 430 and can be moved individually, it is composed of a plurality.

상기 리드 로딩/언로딩 수단(400)의 구체적인 형태로는 장비의 후방에 설치되는 X축 로봇(420)과, 장비의 전방에 설치되는 트레이 레일(421)과, 일단은 상기 X축 로봇(420)에 탑재되어 X축으로 이동가능하고, 타단은 상기 트레이 레일(421)에 지지되어 슬라이딩 가능한 Y축 로봇(430)으로 구성된다. 상기 X축 로봇(420) 및 Y축 로봇(430)은 공지의 서보모터(421, 431), 볼스크류(422, 432), 볼 스크류에 결합되는 너트(423, 433)로 구성된다. 상기 Y축 로봇(430)의 너트(433)에는 상기 리드 픽커(410)와 비전 검사장치를 지지하는 블록(440)이 결합되어 있다. 따라서 상기 비젼 검사장치와 리드 픽커(410)는 Y축 방향으로 이동이 가능하다.Specific examples of the lead loading / unloading means 400 include an X-axis robot 420 installed at the rear of the equipment, a tray rail 421 installed at the front of the equipment, and one end of the X-axis robot 420. It is mounted on the) is movable in the X-axis, the other end is composed of a Y-axis robot 430 that is supported by the tray rail 421 and slidable. The X-axis robot 420 and the Y-axis robot 430 is composed of known servomotors 421 and 431, ball screws 422 and 432, and nuts 423 and 433 coupled to ball screws. The lead picker 410 and a block 440 supporting the vision inspection apparatus are coupled to the nut 433 of the Y-axis robot 430. Therefore, the vision inspection device and the lead picker 410 may be moved in the Y-axis direction.

한편, 상기 트레이 로더(500)는 상기 척테이블(700)의 일측에 설치되어 있는데, 본 실시예에서는 도면상 좌측에 설치되어 있다. 상기 트레이 로더(500)는 상기 Y축 로봇(430)의 저면에 상하로 승강이 가능하게 설치된 트레이 로딩 픽커(510)와, 리드가 적재된 트레이(T)가 적층되어 있는 승하강가능한 엘리베이터(미도시)로 구성되어 있다.On the other hand, the tray loader 500 is provided on one side of the chuck table 700, in this embodiment is provided on the left side in the drawing. The tray loader 500 is a liftable elevator (not shown) in which a tray loading picker 510 installed on a bottom surface of the Y-axis robot 430 to be lifted up and down and a tray T loaded with leads are stacked. It consists of).

이 트레이 로딩 픽커(510)는 트레이(T)를 진공 흡착할 수 있도록 구성되며, X축 로봇(420)에 탑재되어 X축으로 이동이 가능한 Y축 로봇(430)에 직접 설치되어 있기 때문에 트레이 로더(500)에서 척테이블(700)로 트레이(T)를 X축방향으로 이동시키기 위한 별도의 구동원을 필요로 하지 않는다. 따라서, 트레이 로더(500)의 구성이 간단해 지는 장점이 있다. The tray loading picker 510 is configured to suck the tray T in vacuum, and is mounted directly on the Y-axis robot 430 mounted on the X-axis robot 420 and movable to the X-axis. There is no need for a separate drive source for moving the tray T in the X-axis direction from the 500 to the chuck table 700. Therefore, there is an advantage that the configuration of the tray loader 500 is simplified.

한편 상기 트레이 언로더(600)는 상기 척테이블(700)의 타측에 설치되어 있는데 본 실시예에서는 도면상 우측에 설치되어 있다. 상기 트레이 언로더(600)는 상기 리드 언로딩 영역(LU) 즉, 척테이블(700)에 흡착 고정된 트레이(T)로부터 리드(120)가 전부 언로딩되게 되면 상기 척테이블(700)에 고정된 트레이(T)를 흡착하여 엘리베이터(610)로부터 언로딩하는 역할을 한다.On the other hand, the tray unloader 600 is installed on the other side of the chuck table 700, but in the present embodiment is installed on the right side of the drawing. The tray unloader 600 is fixed to the chuck table 700 when all of the leads 120 are unloaded from the lead unloading area LU, that is, the tray T adsorbed and fixed to the chuck table 700. And serves to unload the tray T from the elevator 610.

상기 트레이 언로더(600)는 일단이 상기 트레이 레일(424)을 따라 X축방향으로 슬라이딩 하는 블록(620)과, 상기 블록(620)에 승하강 가능하게 설치된 트레이 언로딩 픽커(630)로 이루어진다. 상기 블록(620)에는 베이스에 설치된 실린더(650)가 결합되고, 상기 블록(620)과 상기 트레이 언로딩 픽커(630)와의 사이에는 업다운 실린더(660)가 설치되어, 상기 트레이 언로딩 픽커(630)의 X축 및 Z축 이동이 가능하게 된다. 상기 트레이 언로더(600)에도 트레이 로더(500)와 마찬가지로 빈 트레이(T)가 적재되는 엘리베이터(610)가 제공되어 있다.The tray unloader 600 includes a block 620 whose one end slides along the tray rail 424 in the X-axis direction, and a tray unloading picker 630 mounted to the block 620 to move up and down. . The block 620 is coupled to the cylinder 650 installed on the base, the up-down cylinder 660 is installed between the block 620 and the tray unloading picker 630, the tray unloading picker 630 X-axis and Z-axis movement are possible. Like the tray loader 500, the tray unloader 600 is provided with an elevator 610 on which an empty tray T is stacked.

한편, 상기 척테이블(700)에는 상기 트레이를 흡착할 수 있도록 진공압을 부여하는 진공홀(710)과 진공홈(720)이 형성되어 있으며, 트레이(T) 저면과 접촉하는 곳에는 트레이(T)의 흡착을 확실히 할 수 있도록 실링부재, 바람직하게는 실리콘 재질의 부재(730)가 제공된다.On the other hand, the chuck table 700 is formed with a vacuum hole 710 and a vacuum groove 720 to impart a vacuum pressure to suck the tray, the tray (T) is in contact with the bottom surface of the tray (T) ), A sealing member, preferably a silicon member 730, is provided to ensure adsorption.

미설명 부호는 910은 상기 비젼 검사 결과에 따라서 상기 리드 픽커(410)가 불량 리드(120)를 버리는 벌크통이고, 920,930은 반제품 패키지(110)와 리드(120)의 정전기를 제거하는 제1 및 제2이오나이져이다. 상기 제1이오나이져(920)는 보트(100)의 상면에 배치되며, 상기 제2이오나이져(930)는 리드 픽커(410)의 저면에 배치된다. 그리고 도면 부호 V1은 보트 로더(200)로부터 진입되는 보트(100)상에 수용된 패키지(110)의 상태를 검사하기 위한 비젼검사장치로서 피더 레일(802)의 초입부, 즉 제1, 2핑거의 상방에 설치되어 있다.Reference numeral 910 denotes a bulk container in which the lead picker 410 discards the defective lead 120 according to the vision test result, and 920 and 930 denote first and second removing static electricity of the semi-finished product package 110 and the lead 120. 2 Ionizer. The first ionizer 920 is disposed on the top surface of the boat 100, and the second ionizer 930 is disposed on the bottom surface of the lead picker 410. Reference numeral V1 denotes a vision inspection apparatus for inspecting a state of the package 110 accommodated on the boat 100 entering from the boat loader 200, that is, the first and second fingers of the feeder rail 802. It is installed above.

이와 같이 구성되는 본 발명의 작용을 도 8a 내지 도 8n을 참조하여 설명한다. The operation of the present invention configured as described above will be described with reference to FIGS. 8A to 8N.

본 발명에 따른 리드 픽 앤 플레이스 장치가 가동되면, 도시되지 않은 카세트 수평 이송장치에 의해서 카세트(C)가 엘리베이터(220)측으로 이동한다. 엘리베이터(220)는 보트 로더용 Y축 로봇(230)에 의해 적재판측으로 이동하여 보트(100)가 적재된 카세트(C)를 카세트 홀더(221)를 통해서 집은 후, 상기 피더부(800)의 피더 레일(802)과 X축 방향으로 일치하는 지점으로 다시 후퇴한다. 상기 카세트(C)는 엘리베이터(220)에 의해서 퍼더 레일(802)과 동일한 높이로 상승된다(도 8a 참조). 이후 보트 푸셔(240)는 실린더(241)에 의해서 상기 보트(100)의 선단을 피더 레일(802)상에 안착시킨다. 이때 상기 피더부(800)에 설치되어 있던, 제1핑거(831)는 상승 상태를 유지하고 있고, 스토퍼(804)는 상승하여 상기 보트(100)의 선단을 막게 된다. 이후 상기 제1핑거(831)가 하강하여 상기 제1핑거(831)의 핀(P)이 상기 보트(100)의 슬롯(150)에 삽입된 상태가 된다(도 8b 참조). 이때 상기 제1핑거(831)가 슬롯(150)에 삽입되지 않는 경우에는 상기 제1핑거(831)가 회동하여 상방향으로 들어 올려지게 되고, 이에 따라 센서 도그(860)도 상승하여 장비는 정비를 위해 에러신호를 발생시키게 된다(도 6 참조).When the lead pick and place device according to the present invention is operated, the cassette C is moved to the elevator 220 side by a cassette horizontal conveying device (not shown). The elevator 220 moves to the loading plate side by the Y-axis robot 230 for the boat loader, picks up the cassette C loaded with the boat 100 through the cassette holder 221, and then feeds the feeder 800. The feeder rail 802 is retracted back to a point coinciding with the X-axis direction. The cassette C is lifted by the elevator 220 to the same height as the fed rail 802 (see FIG. 8A). The boat pusher 240 then seats the tip of the boat 100 on the feeder rail 802 by a cylinder 241. At this time, the first finger 831 installed in the feeder unit 800 maintains the raised state, and the stopper 804 rises to block the tip of the boat 100. Thereafter, the first finger 831 is lowered and the pin P of the first finger 831 is inserted into the slot 150 of the boat 100 (see FIG. 8B). In this case, when the first finger 831 is not inserted into the slot 150, the first finger 831 is rotated and lifted upwards, accordingly, the sensor dog 860 is also raised to maintain the equipment. It generates an error signal for (see FIG. 6).

이후 상기 스토퍼(804)가 하강하면 상기 슬라이더(820)는 피더용 X축 로봇(810)에 의해 우측으로 이동하게 되고, 상기 슬라이더(820)에 고정된 제1핑거(831)는 보트(100) 진행 방향으로 이동하여 보트(100)를 대기영역으로 이동시킨다. 이 과정에서 비젼검사장치(V1)는 상기 보트(100)에 수용된 패키지(110)의 뒤집힘 등 필요 정보를 습득한다. 물론 상기 제2 내지 제4핑거(832, 833, 834)는 제1핑거(831)와 기구적으로 묶여 있으므로, 제1핑거(831)의 이동에 따라 같이 이동되어진다, 그러나, 이들 제2 내지 제4핑거(832, 833, 834)는 아직까지도 아무런 역할도 하지 않고 있는 상태이다. 보트(100)가 대기 영역으로 이동되면, 제1로케이션핀(871)이 상승하여 보트(100)의 위치 결정홀(160)에 삽입되어 보트(100)의 움직임을 제한하게 된다. 만일 제1로케이션핀(871)이 제대로 삽입되지 않은 경우에는 제1로케이션핀(871)이 눌리게 되므로 장비는 정비를 위해 에러신호를 발생시키게 된다. 제1로케이션핀(871)이 상승하게 되면 이후 제1핑거(831)는 상승하게 되고, 핀(P)은 슬롯(150)으로부터 빠져나오게 된다(도 8c 참조).Thereafter, when the stopper 804 descends, the slider 820 is moved to the right by the feeder X-axis robot 810, and the first finger 831 fixed to the slider 820 is the boat 100. The boat 100 is moved to the waiting area by moving in the advancing direction. In this process, the vision inspection device V1 acquires necessary information such as flipping of the package 110 accommodated in the boat 100. Of course, since the second to fourth fingers 832, 833, and 834 are mechanically tied to the first finger 831, the second to fourth fingers 832, 833, and 834 are moved together according to the movement of the first finger 831. The fourth fingers 832, 833, and 834 have not played any role yet. When the boat 100 moves to the standby area, the first location pin 871 is lifted up and inserted into the positioning hole 160 of the boat 100 to limit the movement of the boat 100. If the first location pin 871 is not properly inserted, the first location pin 871 is pressed, the equipment generates an error signal for maintenance. When the first location pin 871 is raised, the first finger 831 is raised, and the pin P is released from the slot 150 (see FIG. 8C).

이후, 피더용 X축 로봇(810)에 의해 제1핑거(831)는 좌측으로 이동하게 되며, 제2핑거(832)가 하강하여 상기 제2핑거(832)의 핀(P)이 상기 보트(100)의 슬롯(150)에 삽입된 상태가 되고, 제1로케이션핀(871)은 하강하게 된다(도 8d 참조).Thereafter, the first finger 831 is moved to the left side by the feeder X-axis robot 810, and the second finger 832 is lowered so that the pin P of the second finger 832 is the boat ( It is inserted into the slot 150 of the 100, and the first location pin 871 is lowered (see Fig. 8d).

이후 피더용 X축 로봇(810)에 의해 제2핑거(832)가 우측으로 이동하여 상기 보트(100)를 리드 로딩 영역(LL)으로 이동시키게 된다. 보트(100)가 리드 로딩 영역(LL)으로 이동되면, 제2로케이션핀(872)이 상승하여 보트(100)의 위치 결정홀(160)에 삽입되어 보트(100)의 움직임을 제한하게 된다. 또한, 상기 보트 가압부(890)는 상기 보트(100)를 장비의 전방측에 위치한 피더 레일(802)에 밀어붙여 보트(100)의 Y축 위치를 정확하게 잡아주게 된다(도 8e 참조).Thereafter, the second finger 832 is moved to the right by the feeder X-axis robot 810 to move the boat 100 to the lead loading region LL. When the boat 100 is moved to the lead loading region LL, the second location pin 872 is raised to be inserted into the positioning hole 160 of the boat 100 to limit the movement of the boat 100. In addition, the boat pressing unit 890 pushes the boat 100 to the feeder rail 802 located on the front side of the equipment to accurately position the Y-axis of the boat 100 (see FIG. 8E).

이후, 상기 제2핑거(832)는 상승하며, X축 로봇(8100)에 의해 좌측으로 이동하게 된다. 이때, 스토퍼(804)는 다시 상승하여 상기 보트 로더(200)를 통해 공급된 새로운 보트(100)의 선단을 막게 된다. 이후 상기 제1핑거(831)가 하강하여 상기 제1핑거(831)의 핀(P)이 상기 보트(100)의 슬롯(150)에 삽입된 상태가 된다(도 8f 참조).Thereafter, the second finger 832 is raised and moved to the left by the X-axis robot 8100. At this time, the stopper 804 rises again to block the tip of the new boat 100 supplied through the boat loader 200. Thereafter, the first finger 831 is lowered and the pin P of the first finger 831 is inserted into the slot 150 of the boat 100 (see FIG. 8F).

이후 상기 스토퍼(804)가 하강하면 제1핑거(831)는 보트(100) 진행 방향으로 이동하여 보트(100)를 대기영역으로 이동시킨다. 보트(100)가 대기 영역으로 이동되면, 제1로케이션핀(871)이 상승하여 보트(100)의 위치 결정홀(160)에 삽입되어 보트(100)의 움직임을 제한하게 된다. 제1로케이션핀(871)의 상승에 따라 제1핑거(831)는 상승하게 되고, 핀(P)은 슬롯(150)으로부터 빠져나오게 된다(도 8g 참조).Thereafter, when the stopper 804 descends, the first finger 831 moves in the boat 100 traveling direction to move the boat 100 to the standby area. When the boat 100 moves to the standby area, the first location pin 871 is lifted up and inserted into the positioning hole 160 of the boat 100 to limit the movement of the boat 100. As the first location pin 871 rises, the first finger 831 rises, and the pin P comes out of the slot 150 (see FIG. 8G).

한편, 이와 같은 과정이 진행되는 동안에, 상기 트레이 로더(500)의 트레이 로딩 픽거(510)는 하강하여 엘리베이터에 안착된 리드(120)가 수용된 트레이(T)를 흡착한다(도 8a 참조). 이후, 상기 리드 로딩/언로딩용 X축 로봇(420)에 의해 상기 트레이 픽커(510)는 상기 척테이블(700)의 상부로 이동하고 트레이(T)를 척테이블(700)에 올려놓게 된다. 상기 척테이블(700)에는 상기 진공홀(710)과 진공홈(720)을 통해 진공이 인가되므로 상기 트레이(T)는 척테이블(700)에 안정적으로 흡착되게 된다.(도 8b 참조)On the other hand, while the process is in progress, the tray loading picker 510 of the tray loader 500 is lowered to suck the tray (T) containing the lid 120 seated in the elevator (see Fig. 8a). Thereafter, the tray picker 510 is moved to an upper portion of the chuck table 700 by the lead loading / unloading X-axis robot 420, and the tray T is placed on the chuck table 700. Since the vacuum is applied to the chuck table 700 through the vacuum hole 710 and the vacuum groove 720, the tray T is stably adsorbed to the chuck table 700 (see FIG. 8B).

상기 척테이블(700)에 트레이(T)가 안착되면, 상기 리드 로딩/언로딩 수단(400)에 설치된 비젼(V2)은 X축 및 Y축 로봇(420, 430)을 이용하여 트레이(T)의 위치, 리드의 불량여부에 관한 정보등을 한번에 일괄 습득하고 이를 기억하여 이 기억에 의존하여 상기 리드 픽커(410)는 리드를 픽업한다. 상기 만일 상기 리드(120)가 불량인 경우에는 상기 리드 픽커(410)가 상기 리드(120)를 픽업한 후 리드 언로딩 영역(LU)과 리드 로딩 영역(LL)사이에 위치한 벌크 박스(910)에 불량 리드(120)를 버리게 된다. 또한, 상기 트레이(T)가 상기 척테이블(700)에 정상적으로 놓이지 못한 경우, 상기 X축 및 Y축로봇(420, 430)은 로딩 영역을 새로게 인식하여 트레이(T)의 안착상태에 관계없이 리드 픽커(410)를 적절히 이동시켜 리드(120)를 트레이(T)로부터 언로딩 시킬 수가 있게 된다. 이와 같이, 상기 척테이블(700)에 트레이(T)가 로딩되면 상기 리드 픽커(410)는 X축 및 Y축로봇(420, 430)을 통해 X축 및 Y방향으로 이동하여 언로딩영역(LU)에 위치된 리드(120)를 언로딩한다(도 8c 참조).When the tray T is seated on the chuck table 700, the vision V2 installed in the lead loading / unloading means 400 is the tray T by using the X and Y axis robots 420 and 430. The lead picker 410 picks up a lead based on this memory by collectively acquiring and storing the position and the information on whether the lead is defective or not. If the lead 120 is defective, the bulk picker 910 located between the lead unloading area LU and the lead loading area LL after the lead picker 410 picks up the lead 120. The defective lead 120 is discarded. In addition, when the tray T is not normally placed on the chuck table 700, the X-axis and Y-axis robots 420 and 430 newly recognize the loading area, regardless of the seating state of the tray T. The lead picker 410 may be properly moved to unload the lead 120 from the tray T. FIG. As such, when the tray T is loaded on the chuck table 700, the lead picker 410 moves in the X and Y directions through the X and Y axis robots 420 and 430 to unload the area LU. ) Unloads the lid 120 (see FIG. 8C).

이후, 상기 리드 픽커(410)는 Y축 로봇(430)을 통해 리드 로딩 영역(LL)으로 이동하여, 상기 리드 로딩 영역(LL)에 이미 도착되어 있는 보트(100)에 수용된 패키지(110) 상면에 리드(120)를 로딩하게 된다. 리드(120) 로딩과정에서 상기 보트(100)는 이동되지 않고, 대신에 상기 리드 픽커(410)가 X축 방향으로 이동하여 리드(120)를 순차적으로 로딩하게 된다. 이러한 로딩 방식은 상기 보트(100)의 리브(130)로부터 패키지(110) 이탈하거나 위치 이동되는 문제를 원천적으로 방지한다(도 8g 참조).Thereafter, the lead picker 410 moves to the lead loading region LL through the Y-axis robot 430, and the upper surface of the package 110 accommodated in the boat 100 that has already arrived at the lead loading region LL. The lead 120 is loaded on the. In the loading process of the lead 120, the boat 100 is not moved. Instead, the lead picker 410 moves in the X-axis direction to sequentially load the lead 120. This loading method essentially prevents the package 110 from being moved or moved away from the rib 130 of the boat 100 (see FIG. 8G).

이후, 상기 리드 픽커(410)에 의해서 리드 로딩 영역(LL)에 위치된 패키지(110)에 리드(120)가 전부 로딩되면 상기 제2핑거(832) 및 제3핑거(833)가 하강하여 핀(P)이 대기 영역 및 리드 로딩 영역(LL)에 위치된 보트(100)의 슬롯(150)에 삽입되고, 제1, 2로케이션핀(871, 872)은 하강하게 된다(도 8h 참조).Thereafter, when the lead 120 is completely loaded into the package 110 positioned in the lead loading area LL by the lead picker 410, the second finger 832 and the third finger 833 are lowered to form a pin. (P) is inserted into the slot 150 of the boat 100 located in the standby area and the lead loading area LL, and the first and second location pins 871 and 872 are lowered (see FIG. 8H).

이후, 제2 및 제3핑거(832, 833)가 리드 로딩 영역(LL) 및 반출영역으로 이동되면, 제2, 3로케이션핀(872, 873)은 상승하여 리드 로딩 영역(LL) 및 반출영역으로 이동된 보트(100)의 움직임을 제한하게 되고, 제2, 3로케이션핀(872, 873)의 상승에 따라서, 제2, 3핑거(832, 833)는 상승한다(도 8i 참조).Thereafter, when the second and third fingers 832 and 833 are moved to the lead loading region LL and the export region, the second and third location pins 872 and 873 are raised to lead the lead loading region LL and the export region. The movement of the boat 100 moved to the limit is limited, and as the second and third location pins 872 and 873 are raised, the second and third fingers 832 and 833 are raised (see FIG. 8I).

이에 따라서 상기 리드 픽커(410)는 새롭게 리드 로딩 영역(LL)으로 도착한 패키지(110)의 상면에 리드(120)를 로딩하는 작업을 계속할 수가 있게 된다.Accordingly, the lead picker 410 may continue to load the lead 120 on the upper surface of the package 110 newly arriving in the lead loading region LL.

이후, X축 로봇(420)에 의해 제2, 3핑거(832, 833)는 좌측으로 이동하게 된다. 이때, 스토퍼(804)는 다시 상승하여 상기 보트 로더(200)를 통해 공급된 새로운 보트(100)의 선단을 막게 된다. 이후 상기 제1핑거(831)가 하강하여 상기 제1핑거(831)의 핀(P)이 상기 보트(100)의 슬롯(150)에 삽입된 상태가 된다(도 8j 참조).Thereafter, the second and third fingers 832 and 833 are moved to the left by the X-axis robot 420. At this time, the stopper 804 rises again to block the tip of the new boat 100 supplied through the boat loader 200. Thereafter, the first finger 831 is lowered and the pin P of the first finger 831 is inserted into the slot 150 of the boat 100 (see FIG. 8J).

이후, 상기 스토퍼(804)가 하강하면 제1핑거(831)는 보트(100) 진행 방향으로 이동하여 보트(100)를 대기영역으로 이동시킨다. 보트(100)가 대기 영역으로 이동되면, 제1로케이션핀(871)이 상승하여 보트(100)의 위치 결정홀(160)에 삽입되어 보트(100)의 움직임을 제한하게 되며, 제1로케이션핀(871)이 상승하면 제1핑거(831)는 상승한다(도 8k 참조).Thereafter, when the stopper 804 descends, the first finger 831 moves in the boat 100 traveling direction to move the boat 100 to the standby area. When the boat 100 is moved to the standby area, the first location pin 871 is raised to be inserted into the positioning hole 160 of the boat 100 to limit the movement of the boat 100, and the first location pin When 871 rises, the first finger 831 rises (see FIG. 8K).

이후, X축 로봇(420)에 의해 제1핑거(831)는 좌측으로 이동하게 되고, 상기 제2 내지 제4핑거(832,833,834)가 하강하여 이들 핑거의 핀(P)들이 상기 대기영역, 리드 로딩 영역(LL), 반출영역에 위치된 보트(100)의 슬롯(150)에 삽입되고, 제1 내지 제3로케이션핀(871, 872, 873)은 하강하게 된다(도 8l 참조).Thereafter, the first finger 831 is moved to the left side by the X-axis robot 420, and the second to fourth fingers 832, 833, and 834 are lowered so that the pins P of these fingers are in the standby area and lead loading. The area LL is inserted into the slot 150 of the boat 100 located in the carrying area, and the first to third location pins 871, 872 and 873 are lowered (see FIG. 8L).

이후, 제2 내지 제4핑거(832, 833, 834)가 대기영역, 리드 로딩 영역(LL) 및 반출영역으로 이동되면, 제2, 3로케이션핀(872, 873)은 상승하여 리드 로딩 영역(LL) 및 반출영역으로 이동된 보트(100)의 움직임을 제한하게 된다. 한편, 상기 반출영역에 있던 보트(100)는 제4핑거(834)에 의해서 보트 언로더(300)의 빈 카세트(C)에 후단부 만을 남기고 삽입된다(도 8m 참조).Subsequently, when the second to fourth fingers 832, 833, and 834 are moved to the standby area, the lead loading area LL, and the export area, the second and third location pins 872 and 873 are raised to the lead loading area ( LL) and the movement of the boat 100 moved to the carry out area. On the other hand, the boat 100 in the carry-out area is inserted by leaving the rear end only in the empty cassette C of the boat unloader 300 by the fourth finger 834 (see Fig. 8m).

본 발명에서는 설계 치수상 문제로 보트(100)후단부가 카세트(C)에 완전히 삽입되지는 못하였으나, 설계 구성상 상기 카세트(C)를 제4핑거(834)쪽으로 좀 더 이동시키고, 제4핑거(834)의 형상을 변경할 경우, 상기 카세트(C)에 보트(100)가 삽입되어질 수 있게 구성하는 것이 가능하다. 다른 변형 실시형태로서는 상기 제4핑거(834)를 Z축 뿐만이 아니라 X축 방향으로 이동 가능하게 구성할 경우에는 카세트(C)를 제4핑거(834) 방향으로 이동시킬 필요는 없을 것이다.In the present invention, the rear end portion of the boat 100 is not completely inserted into the cassette C due to a design dimension problem. However, the cassette C is moved further toward the fourth finger 834 due to the design configuration. When changing the shape of the 834, it is possible to configure the boat 100 can be inserted into the cassette (C). As another modified embodiment, when the fourth finger 834 is configured to be movable not only in the Z axis but also in the X axis direction, it is not necessary to move the cassette C in the fourth finger 834 direction.

그러나, 본 발명에 따른 실시예에서는 상기 제4핑거(834)의 전방에 위치한 보트 푸셔(880)로서 보트(100)의 후면을 보트 언로더(300) 측으로 밀어주고 있다. 상기 보트 푸셔(880)는 상기 보트(100)가 제4핑거(834)에 의해 언로더 카세트(C)로 이동될 때 간섭을 피하기 위해서 상승된 상태를 유지하고 있으며, 제4핑거(834)에 의한 보트(100)의 이동이 완료되면 하강하여 언로더 카세트(C)측으로 이동하여 보트(100)를 카세트(C)로 밀어 넣은 후(도 8n 참조), 후속하는 보트(100)와의 간섭을 회피하고 후속 보트(100)를 또 다시 밀어넣어줄 수 있도록 상승후 후퇴된다.However, in the embodiment according to the present invention, the boat pusher 880 located in front of the fourth finger 834 pushes the rear of the boat 100 toward the boat unloader 300. The boat pusher 880 is maintained in an elevated state to avoid interference when the boat 100 is moved to the unloader cassette C by the fourth finger 834, and the boat pusher 880 is moved to the fourth finger 834. After the movement of the boat 100 is completed, the boat 100 descends to move to the unloader cassette C side, pushes the boat 100 into the cassette C (see FIG. 8N), and avoids interference with subsequent boat 100. And retracted after being raised to push the subsequent boat 100 again.

한편, 상기 트레이 언로딩 영역에서 리드(120)가 모두 언로딩 되고 나면, 상기 트레이 언로딩 픽커(630)는 트레이 척테이블(700) 상부로 이동하여 트레이(T)를 흡착한 후 엘리베이터(610) 측으로 이동하여, 빈 트레이(T)를 엘리베이터(610)에 내려놓게 되고, 이후 상기 트레이 로더(500)는 리드(120)가 수용된 트레이(T)를 전술한 바와 같이 척테이블(700)에 로딩하게 된다.Meanwhile, after all the leads 120 are unloaded in the tray unloading area, the tray unloading picker 630 moves to the upper tray chuck table 700 to absorb the tray T, and then the elevator 610. To the side, the empty tray T is lowered to the elevator 610, and the tray loader 500 then loads the tray T in which the lid 120 is accommodated in the chuck table 700 as described above. do.

이와 같이 구성되는 본 발명에 따른 리드 픽 앤 플레이스 장비를 사용하게 되면 다음과 같은 효과를 갖는다.Using the lead pick and place equipment according to the present invention configured as described above has the following effects.

본 발명은 핑거부가 하나의 서보에 의해 기계적으로 묶여 구동되므로, 프로그램 에러에 의해 보트가 서로 부딪히는 문제를 방지할 수 있다. 또한,서보 모터의 사용이 최소화되어 장비의 원가를 낮출 수가 있다.In the present invention, since the finger portions are mechanically driven by one servo, the boats can be prevented from hitting each other due to a program error. In addition, the use of a servo motor can be minimized, thereby reducing the cost of the equipment.

본 발명은 또한 리드 로딩/언로딩 수단에 사용되는 픽커를 복수개 채용하여 리드의 안착 UPH를 증대할 수 있는 효과를 갖는다.The present invention also has the effect of increasing the seating UPH of the lead by employing a plurality of pickers used in the lead loading / unloading means.

본 발명은 또한 척테이블을 고정하여, 리드의 움직임을 최소화함은 물론 그 구조를 간단히 하여 장비의 원가를 낮출수가 있다. 또한, 리드 로딩 영역에서 보트를 움직이지 않고 리드 픽커를 움직여 패키지에 리드를 로딩함으로써, 리드의 움직임을 최소화하여 리드 이동에 따른 에러를 줄일 수가 있게 된다.The present invention also secures the chuck table, thereby minimizing the movement of the lead and simplifying the structure, thereby reducing the cost of the equipment. In addition, by loading the lead into the package by moving the lead picker without moving the boat in the lead loading area, it is possible to minimize the movement of the lead to reduce the error caused by the lead movement.

본 발명은 또한 리드 언로딩 영역에 위치된 리드를 일괄 검사하여 리드 픽업 시 마다 비젼 검사를 행하던 종래의 리드 픽 앤 플레이스 장비에 비해 비젼 검사에 소모되는 시간을 최소화하여 장비의 UPH를 향상시킬수 있다.The present invention can also improve the UPH of the equipment by minimizing the time spent in vision inspection, compared to the conventional lead pick and place equipment that performs a batch inspection of the leads located in the lead unloading area and performs the vision inspection for each lead pickup.

Claims (10)

삭제delete 삭제delete 보트 로더로부터 반제품 패키지가 수용된 보트를 전달받아 리드 로딩 영역으로 이동시키며, 상기 패키지 상면에 리드가 로딩된 후 상기 보트를 보트 언로더로 이동시키는 피더부와,A feeder unit receiving the boat containing the semi-finished product package from the boat loader and moving to the lead loading area, and moving the boat to the boat unloader after the lid is loaded on the package upper surface; 트레이 로더로부터 리드가 수용된 트레이가 전달되어 안착되며, 상기 트레이로부터 리드가 전부 언로딩되면 상기 트레이가 트레이 언로더에 의해 언로딩되는 척테이블과,A tray in which the lid is received from the tray loader is delivered and seated, and when the lid is completely unloaded from the tray, the chuck table is unloaded by the tray unloader; X축 및 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치되어, 상기 척테이블에 흡착된 트레이로부터 상기 리드를 흡착하여 상기 피더부의 리드 로딩 영역에 위치한 상기 패키지의 상면에 리드를 로딩하는 리드 로딩/언로딩 수단을 갖는 리드 픽 앤 플레이스 장비에 있어서;A lead loading / unloading means which is installed to be movable in the X-axis and Y-axis directions and sucks the lead from the tray adsorbed to the chuck table to load the lead onto the upper surface of the package located in the lead loading region of the feeder unit; A lead pick and place equipment having; 상기 피더부는,The feeder unit, 하기 스토퍼에 의해 정지된 보트에 결합되고 스토퍼 해제 후 상기 보트를 대기 영역으로 이동시키는 제1핑거와, 상기 대기 영역으로 이동된 보트에 결합되어 상기 보트를 리드 로딩 영역으로 이동시키는 제2핑거와, 상기 리드 로딩/언로딩 수단에 의해 상기 보트에 수용된 패키지 상면에 리드가 전부 로딩되면 상기 보트를 반출영역으로 이동시키는 제3핑거와, 상기 반출영역에 이동된 보트를 보트 언로더로 이동시키는 제4핑거로 구성되되, 상기 제1 내지 제4핑거는 하나의 구동부에 의해 보트의 진행방향 및 역방향으로 이동되는 슬라이더에 개별적으로 상하 이동이 가능하게 설치되는 핑거부와,A first finger coupled to the boat stopped by the following stopper and moving the boat to the standby region after the stopper is released, and a second finger coupled to the boat moved to the standby region to move the boat to the lead loading region; A third finger for moving the boat to an export area when the lid is fully loaded on the package upper surface accommodated in the boat by the lead loading / unloading means, and a fourth for moving the boat moved to the unloading area to the boat unloader The first to the fourth finger is composed of a finger, the finger portion is installed to enable the vertical movement individually to the slider which is moved in the traveling direction and the reverse direction of the boat by one drive unit, 상기 피더부의 일측에 설치되어, 상기 보트 로더로부터 상기 피더부의 피더레일을 따라 진입되는 보트의 진출입을 결정하는 스토퍼와,A stopper which is provided at one side of the feeder part and determines the entry and exit of the boat that enters along the feeder rail of the feeder part from the boat loader, 상기 피더부에 상하 이동이 제어되도록 설치되어, 상기 대기영역, 상기 리드 로딩 영역 및 상기 반출영역으로 이동된 보트의 이동을 방지하는 제1, 제1 및 제3 로케이션핀을 구비하는 보트 고정부를 포함하는 것으로 특징으로 하는 리드 픽 앤 플레이스 장비.The boat fixing part is provided to control the vertical movement of the feeder, and includes first, first and third location pins for preventing the movement of the boat moved to the standby area, the lead loading area and the carrying out area. Lead pick and place equipment characterized by including. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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