KR102208088B1 - 기류 측정 장치 - Google Patents

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김원선
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시스트로닉스 주식회사
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Abstract

본 발명은 기류 측정 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 기류 측정 장치는, 히터 역활을 하는 히터 저항의 좌우측에 각각 배치된 제1 및 제2 박막 저항이 상기 히터 저항에 의해 가열된 후, 공기의 흐름에 의해 냉각되어 변화되는 저항값의 차이를 이용하여 기류를 감지하는 센서부, 센서부에서 감지된 값을 이용하여 상기 기류의 속도에 대응하는 제1 측정값을 출력하는 기류 속도 측정부, 센서부에서 감지된 값을 이용하여, 기류의 방향에 대응하는 제2 측정값을 출력하는 기류 방향 측정부, 제어를 위한 설정 화면이나 동작 상태를 나타내는 정보를 표시하는 디스플레이부, 및 제1 및 제2 측정값을 입력받아, 디스플레이부에 기류의 속도 및 방향을 표시하는 제어부를 포함한다. 본 발명에 따르면, 특정 공간에 흐르는 기류를 정밀하게 감지하여, 감지된 기류의 속도와 방향 등에 대한 정보를 디스플레이에 표시할 수 있다.

Description

기류 측정 장치{Air flow measurement device}
본 발명은 기류 측정 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기류 발생을 감지하여, 감지된 기류의 속도와 방향 등에 대한 정보를 디스플레이에 표시할 수 있는 기류 측정 장치에 관한 것이다.
반도체나 LCD 등의 제조 시설내에서 발생하는 기류는 제조설비 내부로 미세먼지를 유입시켜, 장비성능 저하, 유지보수비 증가, 공정수율 저하 등과 같은 지대한 영향을 미칠 수 있다.
따라서, 전체적인 제조공정의 효율성과 생산성 향상을 위해서는 기류 발생을 감시하여 통제하는 것이 필요하다.
이와 관련하여, 종래의 기류 발생 감지 기술을 살펴보면, 한국등록특허 제1813101호(발명의 명칭: 기류 측정기)에는 기류에 의해 흔들리는 다수의 필라멘트사를 이용하여 기류의 발생 여부를 확인할 수 있는 기류 측정기를 개시하고 있다. 그러나 이러한 기류 측정기는 단순히 육안으로 기류의 발생 여부와 대략적인 속도만을 확인할 수 있다.
또한, 한국등록특허 제1621807호(발명의 명칭: 기류 방향 표시 장치)에는 몸체 외측에 돌출 형성된 열선을 이용하여 설치 공간에 흐르는 기류를 측정하고, 복수의 엘이디를 이용하여 측정된 기류의 방향을 표시하는 방법을 개시하고 있다.
그러나, 이 방법은 서로 반대 방향으로 설치된 열선으로부터 측정된 감지 신호를 브릿지 회로부의 저항값과 비교한 결과에 따라, 로우 또는 하이 감지 신호를 출력하고, 이 로우 또는 하이 감지 신호에 따라 기류의 방향만을 엘이디 점멸을 통해 표시할 수 있다. 따라서, 정밀도가 높지 않으며, 엘이디 점멸을 통해 제한된 정보만을 제공함으로 다양한 분야에서 응용하는데도 한계가 존재한다.
따라서, 본 발명의 목적은, 특정 공간에서 기류의 발생을 정밀하게 감지하여, 감지된 기류의 속도와 방향에 대한 정보 등을 디스플레이부에 표시할 수 있는 기류 발생 장치를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기류 측정 장치는, 히터 역활을 하는 히터 저항의 좌우측에 각각 배치된 제1 및 제2 박막 저항이 상기 히터 저항에 의해 가열된 후, 공기의 흐름에 의해 냉각되어 변화되는 저항값의 차이를 이용하여 기류를 감지하는 센서부, 상기 센서부에서 감지된 값을 이용하여 상기 기류의 속도에 대응하는 제1 측정값을 출력하는 기류 속도 측정부, 상기 센서부에서 감지된 값을 이용하여, 상기 기류의 방향에 대응하는 제2 측정값을 출력하는 기류 방향 측정부, 제어를 위한 설정 화면이나 동작 상태를 나타내는 정보를 표시하는 디스플레이부, 및 상기 제1 및 제2 측정값을 입력받아, 상기 디스플레이부에 상기 기류의 속도 및 방향에 대한 정보를 표시하는 제어부를 포함한다.
또한, 상기 히터 저항이 일정한 온도를 유지하도록 동작 전압을 공급하는 센서 설정부를 더 포함할 수 있다.
상기 기류 속도 측정부는, 일단이 상기 제1 박막 저항의 일단에 연결되는 제1 저항, 일단이 상기 제2 박막 저항의 일단에 연결되는 제1 가변 저항, 상기 제1 저항의 타단과 상기 제1 가변 저항의 타단이 연결된 연결노드와 기준 전압을 제공하는 전압단 사이에 연결되는 제2 저항, 일단이 상기 연결노드에 연결되는 제3 저항, 및 비반전 단자가 상기 제3 저항의 타단에 연결되어, 상기 기류의 속도에 대응하는 제1 측정값을 출력하는 제1 비반적 증폭기를 포함할 수 있다.
그리고, 상기 기류 방향 측정부는, 상기 제1 박막 저항의 일단과 상기 제1 가변 저항의 일단이 연결된 제1 노드에 비반전 단자가 연결된 제2 비반전 증폭기, 상기 제2 박막 저항의 일단과 상기 제1 저항의 일단이 연결된 제2 노드에 비반전 단자가 연결된 제3 비반전 증폭기, 및 상기 제2 비반적 증폭기와 상기 제3 비반적 증폭기의 출력값의 차이를 증폭하여, 상기 기류의 방향에 대응하는 제2 측정값을 출력하는 차동증폭기를 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 특정 공간에서 기류의 발생을 정밀하게 감지하여, 감지된 기류의 속도 및 방향 등에 대한 정보를 다양한 이미지와 함께 디스플레이에 표시할 수 있다. 이에 의해, 기류 감지와 관련된 정보를 용이하게 인지할 수 있으며, 기류 감지와 관련된 정보를 유무선 통신을 통해 외부 기기에 전달하여 통합적인 관리가 가능하다. 또한, 기류 감지와 관련된 정보를 디지털 신호로 처리할 수 있으므로, 관련 정보를 다양한 분야에서 활용할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기류 측정 장치의 외형을 나타낸 도면,
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 기류 측정 장치의 블럭 구성도,
도 3은 센서부에 대한 설명에 참조되는 도면,
도 4는 도 2에서 센서 설정부, 기류 속도 측정부 및 기류 방향 측정부에 대한 회로 구성의 일 예를 나타낸 도면,
도 5는 기류의 속도에 대응하는 출력값인 AIR-AOUT 신호에 대한 그래프,
도 6은 제어부에 대한 설명에 참조되는 도면, 그리고
도 7 내지 도 9는 디스플레이부에 표시되는 화면이 예를 나타낸 도면이다.
본 명세서에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 경우, 어떤 구성요소에 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에" 또는 "~에 이웃하는" 등과, 어떤 구성요소가 다른 구성요소로 신호를 "전송한다" 와 같은 표현도 마찬가지로 해석되어야 한다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기류 측정 장치의 외형을 나타낸 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 기류 측정 장치(100)의 일면에는 기류 측정 장치(100)에서 처리되는 정보나 기타 제어를 위한 설정 화면이나 메뉴 등이 표시되는 디스플레이(161)와, 사용자 명령이나 정보의 입력 등을 위해 하나 이상의 스위치(151)가 배치된다.
기류 측정 장치(100)의 좌우측에 형성된 통과홀(103)을 통과하여 흐르는 기류를 감지하여, 감지된 기류의 속도와 방향에 대한 정보를 디스플레이(161)에 표시할 수 있다. 기류 측정 장치(100)의 내부에는 통과홀(103)과 연결되어 공기의 흐름을 유도하는 유도관(미도시)이 설치되며, 유도관의 중심부에 기류 감지를 위한 센서가 노출되도록 설치될 수 있다. 또한, 기류 측정 장치(100)의 내부에는 온도 및 습도를 감지하기 위한 센서도 설치할 수 있다.
유도관기류 측정 장치(100)는 미리 설정된 기준 이상 속도를 갖는 기류가 발생하거나, 미리 설정된 방향과 다른 방향의 기류가 감지되는 경우, 경고 메시지를 표시하거나 경고 신호를 출력할 수도 있다. 또한, 기류 측정 장치(100)에서 감지된 기류의 속도와 방향에 대한 정보 및 경고 신호나 메시지 등에 대한 정보는 유무선 통신을 통해 다른 장치로 전달될 수 있다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 기류 측정 장치의 블럭 구성도이다.
도 2를 참조하면, 본 기류 측정 장치(100)는 센서부(110), 센서 설정부(120), 기류 속도 측정부(130), 기류 방향 측정부(140), 사용자 입력부(150), 디스플레이부(160), 통신부(170), 온습도 측정부(180), 및 제어부(190)를 포함할 수 있다. 이와 같은 구성요소들은 실제 응용에서 구현될 때 필요에 따라 2 이상의 구성요소가 하나의 구성요소로 합쳐지거나, 혹은 하나의 구성요소가 2 이상의 구성요소로 세분되어 구성될 수 있다.
센서부(110)는 히터 역활을 하는 히터 저항의 좌우측에 각각 배치된 박막 저항이 히터 저항에 의해 가열된 후, 공기의 흐름에 의해 냉각되어 변화되는 저항값의 차이를 이용하여 기류를 감지한다.
센서 설정부(120)는 센서부(110)의 히터 저항이 일정한 온도를 유지하도록 동작 전압을 공급한다.
기류 속도 측정부(130)는 센서부(110)에서 감지된 값을 이용하여, 감지된 기류의 속도에 대응하는 측정값을 출력한다.
기류 방향 측정부(140)는 센서부(110)에서 감지된 값을 이용하여, 감지된 기류의 방향에 대응하는 측정값을 출력한다.
사용자 입력부(150)는 기류 측정 장치(100)의 동작 제어를 위한 키 입력 데이터를 발생시킨다. 사용자 입력부(150)는 사용자의 푸시 조작이나 터치 조작 등에 의해 명령이나 정보를 입력받을 수 있도록 구성할 수 있다.
디스플레이부(160)는 기류 측정 장치(100)에서 처리되는 정보를 표시할 수 있다. 디스플레이부(160)는 기류 측정 장치(100)의 제어를 위한 설정 화면이나 메뉴 등을 표시할 수 있으며, 감지된 기류의 방향과 속도에 대한 정보를 표시할 수 있다.
통신부(170)는 외부 장치와 유선이나 무선 통신을 위한 통신 인터페이스를 제공한다.
온습도 측정부(180)는 감지된 기류의 온도나 습도를 측정하거나, 기류 측정 장치(100)가 설치된 공간의 습도나 온도를 측정할 수 있다. 온습도 측정부(180)는 온도와 습도를 감지하기 위한 센서를 포함한다.
제어부(190) 통상적으로 상기 각부의 동작을 제어하여 기류 측정 장치(100)의 전반적인 동작을 제어한다. 예컨대, 제어부(190)는 기류 속도 측정부(130) 및 기류 방향 측정부(140)에서 출력되는 측정값을 입력받아, 디스플레이부(160)에 기류의 속도 및 방향에 대한 정보를 다양한 형태로 표시할 수 있으며, 미리 설정된 기준에 벗어나는 기류 속도나 방향이 감지된 경우, 경고 신호를 표시할 수 있다.
기류 측정 장치(100)는, 제어부(190)의 제어에 의해, 외부의 전원이나 내부의 전원을 인가받아 각 구성요소들의 동작에 필요한 전원을 공급하는 전원부(미도시)를 포함할 수 있다.
도 3은 센서부에 대한 설명에 참조되는 도면이다.
도 3을 참조하면, 센서부(110)는, 백금(platinum) 등으로 제작된 4개의 박막 (thin film) 저항으로 구성할 수 있으며, 이 중에서 작은 면적의 낮은 옴 저항인 저항 Rh를 히터(heater)로 사용하고, 히터로 사용되는 저항 Rh의 좌측과 우측에 각각 배치된 저항 RS_left와 저항 RS_right가 기류의 속도와 방향을 감지하는데 사용된다. 그리고, 저항 Rtemp 가 온도 측정 등을 위해 사용될 수 있다.
공기의 흐름이 없는 경우에는 저항 RS_left와 저항 RS_right은 저항 Rh에 의해 동일하게 가열되어 저항값에 차이가 없지만, 기류가 발생한 경우에는 기류의 방향에 따라, 저항 RS_left와 저항 RS_right 중에서 어느 하나가 다른 하나보다 더 많이 냉각되므로, 저항 RS_left의 저항값과 저항 RS_right 저항값에 차이가 발생하고, 이 저항값의 차이에 의해 기류의 방향과 속도를 측정할 수 있다.
센서부(110)에서 RH1 단자 및 RH2 단자는 저항 Rh의 일단에 연결되는 단자이며, RS-LEFT 단자는 저항 RS_left의 일단에 연결되는 단자, RS-RIGHT 단자는 저항 RS_right의 일단에 연결되는 단자, R-TEMP 단자는 저항 Rtemp의 일단에 연결되는 단자이다. 저항 Rh, 저항 RS_left, 저항 RS_left, 및 저항 Rtemp의 타단은 모두 COMMON 단자를 통해 연결되며, 본 기류 측정 장치(100)에서는 COMMON 단자는 접지단에 연결된다.
도 4는 도 2에서 센서 설정부, 기류 속도 측정부, 및 기류 방향 측정부에 대한 회로 구성의 일 예를 나타낸 도면이다.
센서 설정부(120)는, 저항 R1, 저항 R2, 저항 R3, 저항 R4, 저항 R5, 가변 저항 VR1, 커패시터 C1, 커패시터 C2, 인덕터 L1, 연산증폭기 OP1, 트랜지스터 Q1을 포함할 수 있다.
센서 설정부(120)는 센서부(110)의 RH1 단자를 통해 히터로 사용되는 저항 Rh에 전원을 공급하고, R-TEMP 단자의 연결을 통해 저항 Rtemp의 온도 변화에 따른 저항값 변환에 따라, 연산증폭기 OP1의 출력이 트랜지스터 Q1을 온/오프하면서, 전원을 공급하거나 차단하여, 저항 Rh가 일정한 온도로 유지되도록 전압을 공급할 수 있다.
또한, 가변저항 VR1을 이용하여 센서부(110)에서 감지하는 기류의 임계치를 설정할 수 있다.
기류 속도 측정부(130)는 저항 R6, 저항 R7, 저항 R8, 저항 R9, 저항 R10, 저항 R11, 저항 R12, 저항 R13, 저항 R14, 가변 저항 VR2, 커패시터 C3, 연산증폭기 OP2를 포함할 수 있다.
가변 저항 VR2의 일단은 센서부(110)의 RS-LEFT 단자에 연결되고, 저항 R8의 일단은 센서부(110)의 RS-RIGHT 단자에 연결되고, 가변 저항 VR2의 타단이 저항 R8의 타단과 연결되어, 가변 저항 VR2, 저항 R8, 저항 RS_left, 저항 RS_right은 브리지 회로(bridge circuit)를 구성한다.
가변 저항 VR2의 일단과 저항 RS_left의 일단이 연결된 제1 노드(N1)와, 저항 R8의 일단과 저항 RS_right의 일단에 연결된 연결된 제2 노드(N2) 사이의 전압차의 크기로 기류의 속도를 측정할 수 있으며, 가변저항 VR2를 이용하여 제1 노드 (N1)와 제2 노드(N2) 사이의 전압의 중간값을 설정할 수 있다.
저항 R6을 통해 브리지 회로로 기준전압이 입력되며, 가변 저항 VR2의 타단과 저항 R8의 타단이 연결된 연결 노드는 저항 R7 및 R11을 통해 연산증폭기 OP2의 비반전 단자에 연결된다.
연산증폭기 OP2는 다음과 식과 같은, 기류의 속도에 대응하는 측정값인 AIR-AOUT 신호를 출력할 수 있다.
Figure 112020074036770-pat00001
기류 속도 측정부(130)에서 출력하는 AIR-AOUT 신호는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 선형적인 출력을 나타내어, 출력 전압에 대응하는 기류의 속도(풍속)을 알 수 있으며, 특정 범위의 출력 전압을 이용하여 기류의 속도를 나타낼 수 있다.
저항 R7을 통해 출력되는 측정값인 AIR-BOUT 신호는, 기류 속도에 대응하는 측정값에서 미세 신호를 모니터링 및 보정하기 위해 사용된다. 즉, 풍속이 기준치 이하로 미세하게 변하거나 연산증폭기 OP2의 증폭도 등으로 인하여 AIR-AOUT 신호가 미세하게 변하는 경우, 제어부(180)는 AIR-BOUT 신호를 반영하여 AIR-AOUT 신호를 보정하여, 일정한 기류 속도가 표시되도록 할 수 있다.
기류 방향 측정부(140)는 저항 R15, 저항 R16, 저항 R17, 저항 R18, 저항 R19, 저항 R20, 저항 R21, 저항 R22, 저항 R23, 연산증폭기 OP3, 연산증폭기 OP4. 연산증폭기 OP5를 포함할 수 있다.
연산증폭기 OP3와 연산증폭기 OP4는 각각 비반전 증폭기로 동작하며, 연산증폭기 OP3의 비반전 단자에는 가변 저항 VR2의 일단과 저항 RS_left의 일단이 연결된 제1 노드(N1)가 연결되고, 연산증폭기 OP4의 비반전 단자에는 저항 R8의 일단과 저항 RS_right의 일단에 연결된 연결된 제2 노드(N2)가 연결된다.
연산증폭기 OP5는 차동증폭기로 동작하며, 오프셋 전압과, 연산증폭기 OP3의 출력값, 연산증폭기 OP4의 출력값을 이용하여, 기류의 방향에 대응하는 측정값인 DIROUT 신호를 출력할 수 있다.
Figure 112020074036770-pat00002
여기서,
Figure 112020074036770-pat00003
는 증폭율을 나타내면, 오프셋 전압
Figure 112020074036770-pat00004
은 다음과 같다.
Figure 112020074036770-pat00005
DIROUT 신호는 미리 설정된 중간값을 기준으로, DIROUT 신호가 중간값보다 작은면 좌측과 같은 제1 방향으로 판단하고, DIROUT 신호가 중간값보다 크면 우측과 같은 제2 방향으로 판단할 수 있다.
도 6은 제어부에 대한 설명에 참조되는 도면이다.
도 6을 참조하면, 속도에 대응하는 측정값인 AIR-AOUT 신호와 미세 조정을 위한 AIR-BOUT 신호, 및 기류의 방향에 대응하는 측정값인 DIROUT 신호는 노이즈를 제거하기 위한 필터 회로를 통과한 후, 제어부(190)로 전달되어, 디지털 신호로 처리된다. 제어부(190)는 전달받은 AIR-AOUT 신호, AIR-BOUT 신호, DIROUT 신호를 이용하여 디스플레이부(160)에 미리 설정된 형태로 기류의 속도와 방향에 대한 정보가 표시되도록 제어한다.
제어부(190)는 사용자 입력부(150)를 통해 입력된 사용자 명령에 따라, 디스플레이부(160)에 표시되는 형태를 바꿀 수 있으며, 통신부(170)를 통해 기류의 속도와 방향에 대한 정보 등을 외부 기기로 전달할 수 있다.
도 7 내지 도 9는 디스플레이부에 표시되는 화면의 예를 나타낸 것이다.
도 7에 나타낸 바와 같이, 기류가 감지된 경우, 기류의 속도를 현재풍속으로 수치로 나타낼 수 있으며, 이와 함께 기류의 방향을 나타내는 이미지를 표시할 수 있다.
기류의 방향은, 도 8이나 도 9에 나타낸 바와 같이, 다양한 형태의 이미지로 나타낼 수 있으며, 이와 같은 이미지를 통해 기류의 방향을 시각적으로 용이하게 인지할 수 있다.
이외에도 다양한 형태의 이미지나 메뉴 구성으로 기류의 속도와 방향에 대한 정보나 온도나 습도 및 기타 관련된 정보를 표시할 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 기류 측정 장치는 상기한 바와 같이 설명된 실시예들의 구성에 한정되게 적용될 수 있는 것이 아니라, 상기한 실시예들은 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 구성될 수도 있다.
또한, 이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어서는 안될 것이다.
110 : 센서부 120 : 센서 설정부
130 : 기류 속도 측정부 140 : 기류 방향 측정부
150 : 사용자 입력부 160 : 디스플레이부
170 : 통신부 180 : 온습도 측정부
190 : 제어부

Claims (10)

  1. 히터 역활을 하는 히터 저항의 좌우측에 각각 배치된 제1 및 제2 박막 저항이 상기 히터 저항에 의해 가열된 후, 공기의 흐름에 의해 냉각되어 변화되는 저항값의 차이를 이용하여 기류를 감지하는 센서부;
    상기 센서부에서 감지된 값을 이용하여 상기 기류의 속도에 대응하는 제1 측정값을 출력하는 기류 속도 측정부;
    상기 센서부에서 감지된 값을 이용하여, 상기 기류의 방향에 대응하는 제2 측정값을 출력하는 기류 방향 측정부;
    제어를 위한 설정 화면이나 동작 상태를 나타내는 정보를 표시하는 디스플레이부; 및
    상기 제1 및 제2 측정값을 입력받아, 상기 디스플레이부에 상기 기류의 속도 및 방향에 대한 정보를 표시하는 제어부;를 포함하며,
    상기 기류 속도 측정부는, 일단이 상기 제1 박막 저항의 일단에 연결되는 제1 저항, 일단이 상기 제2 박막 저항의 일단에 연결되는 제1 가변 저항, 상기 제1 저항의 타단과 상기 제1 가변 저항의 타단이 연결된 연결노드와 기준 전압을 제공하는 전압단 사이에 연결되는 제2 저항, 일단이 상기 연결노드에 연결되는 제3 저항, 및 비반전 단자가 상기 제3 저항의 타단에 연결되어 상기 제1 측정값을 출력하는 제1 비반적 증폭기를 포함하고,
    상기 기류 방향 측정부는, 상기 제1 박막 저항의 일단과 상기 제1 가변 저항의 일단이 연결된 제1 노드에 비반전 단자가 연결된 제2 비반전 증폭기, 상기 제2 박막 저항의 일단과 상기 제1 저항의 일단이 연결된 제2 노드에 비반전 단자가 연결된 제3 비반전 증폭기, 및 상기 제2 비반전 증폭기와 상기 제3 비반전 증폭기의 출력값의 차이와, 기설정된 오프셋 전압값을 이용하여 상기 제2 측정값을 출력하는 차동증폭기를 포함하는 기류 측정 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 히터 저항이 일정한 온도를 유지하도록 동작 전압을 공급하는 센서 설정부를 더 포함하는 기류 측정 장치.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 기류 방향 측정부에 상기 기준 전압을 제공하는 회로를 더 포함하는 기류 측정 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 측정값에서 노이즈를 제거하는 필터 회로를 더 포함하는 기류 측정 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    동작 제어를 위한 사용자 명령이나 정보를 입력받는 사용자 입력부를 더 포함하는 기류 측정 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    외부 장치와 유무선 통신을 위한 인터페이스를 제공하는 통신부를 더 포함하는 기류 측정 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    온도 및 습도를 측정하는 온습도 측정부를 더 포함하는 기류 측정 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 제1 측정값을 미세 보정하기 위한 신호를 생성하는 회로를 더 포함하는 기류 측정 장치.
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