KR102199180B1 - 양방향 이송스테이지 어셈블리 - Google Patents

양방향 이송스테이지 어셈블리 Download PDF

Info

Publication number
KR102199180B1
KR102199180B1 KR1020190118722A KR20190118722A KR102199180B1 KR 102199180 B1 KR102199180 B1 KR 102199180B1 KR 1020190118722 A KR1020190118722 A KR 1020190118722A KR 20190118722 A KR20190118722 A KR 20190118722A KR 102199180 B1 KR102199180 B1 KR 102199180B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
source
pressure source
unit
stage
linear moving
Prior art date
Application number
KR1020190118722A
Other languages
English (en)
Inventor
손문배
김종호
김병호
Original Assignee
주식회사 삼승엔지니어링
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 삼승엔지니어링 filed Critical 주식회사 삼승엔지니어링
Priority to KR1020190118722A priority Critical patent/KR102199180B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102199180B1 publication Critical patent/KR102199180B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • G01M99/005—Testing of complete machines, e.g. washing-machines or mobile phones
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306—Details
    • G02F1/1309—Repairing; Testing
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명에 따른 양방향 이송스테이지 어셈블리는, 제1가이드바 및 제2가이드바를 포함하는 베이스유닛, 제1검사대상이 안착되는 제1스테이지와, 상기 제1스테이지의 하부에 구비되고, 상기 제1가이드바를 따라 선형 이동 가능하게 형성되는 이동모듈을 포함하는 제1선형이동유닛, 상기 제2가이드바를 따라 선형 이동 가능하게 형성되며, 제2검사대상이 안착되는 제2스테이지를 포함하는 제2선형이동유닛 및 외부의 압력소스공급원으로부터 압력소스를 공급받을 수 있도록 구비되는 제1소스주입구를 포함하며, 상기 제1소스주입구에 압력소스가 공급될 경우 공급된 압력소스의 압력에 의해 상기 제1선형이동유닛 및 상기 제2선형이동유닛을 선형 이동시키는 압력공급유닛을 포함한다.

Description

양방향 이송스테이지 어셈블리{Full-Duplex Transferring Stage Assembly}
본 발명은 검사 대상의 검사를 위한 이송스테이지 어셈블리에 관한 것으로서, 압력소스의 공급에 의해 검사 대상이 안착되는 제1선형이동유닛 및 제2선형이동유닛의 이송 정밀도를 향상시킬 수 있는 양방향 이송스테이지 어셈블리에 관한 것이다.
일반적으로 다양한 광학제품, 전자제품 등과 같이 정밀도가 높은 기계장치들은 제조가 완료된 후 정상품인지를 확인하기 위해 별도의 검사 스테이지에서 검사를 수행하게 되는 경우가 많다.
그리고 상기 검사 스테이지의 종류로는 제품을 정밀하게 검사하기 위해 상기 제품을 x축, y축, z축으로 이동시키며 검사를 수행하는 것은 물론, 제품의 각도를 변화시킬 수 있도록 회전시키며 검사를 수행하는 형태의 검사 스테이지 등 다양한 자유도를 가지는 검사 스테이지가 존재한다.
특히 서로 다른 두 가지 방향으로 이동되는 복수의 스테이지를 포함하는 검사스테이지의 경우, 필수적으로 각각의 스테이지를 이송시키기 위한 구동부가 별도로 구비되어야 할 필요가 있다.
하지만, 이와 같이 별도의 구동부가 구비될 경우에는 사전에 각 구동부에 의해 구동되는 복수 개의 스테이지에 대한 이송 싱크로를 맞추는 작업이 요구된다.
이와 같은 싱크로 작업은 별도의 구동부에서 공급되는 압력소스의 공급량을 매우 정밀하게 제어하여야 하므로 난이도가 높을 뿐만 아니라, 작업 진행에 따라 발생하는 각 부품의 유격 등 사소한 원인으로도 오차가 쉽게 발생하게 되는 문제가 있다.
뿐만 아니라, 별도의 구동부가 구비될 경우에는 복수 개의 구동부에서 각각 압력소스를 별도로 사용함에 따라 압력소스의 사용량이 증가하게 되며, 이는 검사 공정에 소요되는 비용을 증가시키는 원인이 된다.
따라서 이와 같은 문제점들을 해결하기 위한 방법이 요구된다.
한국공개특허 제10-1999-006388호
본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 발명으로서, 단일 압력소스의 공급을 통해 서로 다른 검사대상이 안착되는 복수의 스테이지의 이송량을 동시 제어할 수 있도록 하는 양방향 이송스테이지 어셈블리를 제공하기 위한 목적을 가진다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 양방향 이송스테이지 어셈블리는, 제1가이드바 및 제2가이드바를 포함하는 베이스유닛, 제1검사대상이 안착되는 제1스테이지와, 상기 제1스테이지의 하부에 구비되고, 상기 제1가이드바를 따라 선형 이동 가능하게 형성되는 이동모듈을 포함하는 제1선형이동유닛, 상기 제2가이드바를 따라 선형 이동 가능하게 형성되며, 제2검사대상이 안착되는 제2스테이지를 포함하는 제2선형이동유닛 및 외부의 압력소스공급원으로부터 압력소스를 공급받을 수 있도록 구비되는 제1소스주입구를 포함하며, 상기 제1소스주입구에 압력소스가 공급될 경우 공급된 압력소스의 압력에 의해 상기 제1선형이동유닛 및 상기 제2선형이동유닛을 선형 이동시키는 압력공급유닛을 포함한다.
이때 상기 제1선형이동유닛은, 상기 제1스테이지는 상기 이동모듈에 대해 상하 이동 가능하게 구비될 수 있다.
그리고 상기 이동모듈은, 외부의 압력소스공급원으로부터 압력소스를 공급받을 수 있도록 구비되는 제3소스주입구, 상기 이동모듈 내부에 구비되며, 압력소스가 유동되는 소스유동유로 및 상기 소스유동유로에 일부가 노출되어, 상기 소스유동유로에 압력소스가 공급될 경우 하측으로 이동되어 상기 제1스테이지의 높이를 감소시키는 높이조절부재를 포함할 수 있다.
또한 상기 제1선형이동유닛은, 상기 제1스테이지와 상기 이동모듈 사이에 구비되어, 높이가 감소된 상태의 제1스테이지에 상측 방향으로 복원력을 제공하는 높이복원부재를 더 포함할 수 있다.
그리고 상기 베이스유닛의 내측에는 상하 관통된 관통부가 형성되며, 상기 제2스테이지는 상기 관통부에 선형 이동 가능하게 구비될 수 있다.
한편 상기 제1선형이동유닛은 일측이 상기 이동모듈에 연결되고, 타측이 상기 압력공급유닛 내측으로 연장되는 제1이동바를 더 포함하며, 상기 제2선형이동유닛은 일측이 상기 제2스테이지에 연결되고, 타측이 상기 압력공급유닛 내측으로 연장되는 제2이동바를 더 포함하고, 상기 압력공급유닛은, 외부의 압력소스공급원으로부터 압력소스를 공급받을 수 있도록 구비되는 제2소스주입구, 상기 제1이동바의 타측이 수용되며, 상기 제1소스주입구로 공급된 압력소스가 일측 방향으로부터 유입되고, 상기 제2소스주입구로 공급된 압력소스가 타측 방향으로부터 유입되는 제1실린더 및 상기 제2이동바의 타측이 수용되며, 상기 제1소스주입구로 공급된 압력소스가 타측 방향으로부터 유입되는 제2실린더를 포함할 수 있다.
또한 상기 제1이동바의 타단부에는 상기 제1실린더의 내경에 대응되는 외경을 가지고, 상기 제1소스주입구에 의한 압력소스 유입지점과 및 상기 제2소스주입구에 의한 압력소스 유입지점 사이에 위치되는 제1패킹부가 구비되며, 상기 제2이동바의 타단부에는 상기 제2실린더의 내경에 대응되는 외경을 가지고, 상기 제1소스주입구에 의한 압력소스 유입지점보다 상기 제2스테이지에 보다 가깝게 위치되는 제2패킹부가 구비되어, 상기 제1소스주입구에 압력소스가 공급될 경우, 상기 제1선형이동유닛 및 상기 제2선형이동유닛은 서로 가까워지는 방향으로 이동되고, 상기 제2소스주입구에 압력소스가 공급될 경우, 상기 제1선형이동유닛 및 상기 제2선형이동유닛은 서로 멀어지는 방향으로 이동될 수 있다.
그리고 상기 제2선형이동유닛은, 상기 제1소스주입구에 압력소스 공급이 중단될 경우, 상기 제2선형이동유닛을 상기 제1선형이동유닛으로부터 멀어지는 방향으로 복원력을 제공하는 선형복원부재를 더 포함할 수 있다.
또한 상기 제1선형이동유닛의 일측에는 감지부재가 구비되며, 상기 베이스유닛은 상기 제1선형이동유닛의 이동에 따라 함께 이동되는 상기 감지부재를 감지하여 상기 제1선형이동유닛의 위치를 센싱하는 위치센싱모듈을 포함할 수 있다.
상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 양방향 이송스테이지 어셈블리는 단일 압력소스의 공급을 통해 서로 다른 검사대상이 안착되는 제1선형이동유닛 및 제2선형이동유닛의 이송을 동시에 제어할 수 있으므로, 별도의 싱크로 작업이 필요하지 않으며, 제1스테이지 및 제2스테이지의 이송 오차를 최소화할 수 있는 장점이 있다.
또한 본 발명은 단일 압력소스로 제1선형이동유닛 및 제2선형이동유닛의 이송을 동시에 제어할 수 있으므로, 압력소스의 사용량을 크게 줄일 수 있으며, 검사 공정에 소요되는 비용을 획기적으로 절감할 수 있는 장점이 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 양방향 이송스테이지 어셈블리의 전체적인 모습을 나타낸 도면;
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 양방향 이송스테이지 어셈블리에 있어서, 베이스유닛의 구조를 나타낸 도면;
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 양방향 이송스테이지 어셈블리에 있어서, 압력공급유닛의 구조를 나타낸 도면;
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 양방향 이송스테이지 어셈블리에 있어서, 압력공급유닛의 제1소스주입구에 압력소스가 공급될 경우 제1선형이동유닛 및 상기 제2선형이동유닛의 이동 형태를 나타낸 도면;
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 양방향 이송스테이지 어셈블리에 있어서, 압력공급유닛의 제2소스주입구에 압력소스가 공급될 경우 제1선형이동유닛 및 상기 제2선형이동유닛의 이동 형태를 나타낸 도면;
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 양방향 이송스테이지 어셈블리에 있어서, 제1선형이동유닛에 구비되는 이동모듈의 구조를 나타낸 도면;
도 7는 본 발명의 일 실시예에 따른 양방향 이송스테이지 어셈블리에 있어서, 제3소스주입구에 압력소스가 공급될 경우 제1스테이지의 이동 형태를 나타낸 도면; 및
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 양방향 이송스테이지 어셈블리에 있어서, 제3소스주입구에 압력소스의 공급이 중단될 경우 제1스테이지의 이동 형태를 나타낸 도면이다.
이하 본 발명의 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 본 실시예를 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 양방향 이송스테이지 어셈블리의 전체적인 모습을 나타낸 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 양방향 이송스테이지 어셈블리는 베이스유닛(100)과, 제1선형이동유닛(200)과, 제2선형이동유닛(300)과, 압력공급유닛(400)을 포함한다.
상기 베이스유닛(100)은 다른 구성요소들이 장착될 수 있도록 기초적인 프레임을 제공하는 구성요소이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 실시예에서 상기 베이스유닛(100)은 전방프레임(104)과, 후방프레임(106)과, 한 쌍의 측면프레임(102)을 포함하여, 내측에는 상하 관통된 관통부(105)가 형성된 형태를 가진다.
그리고 상기 베이스유닛(100)은 제1가이드바(110) 및 제2가이드바(330b)를 포함하며, 본 실시예의 경우 상기 제1가이드바(110)는 한 쌍이 구비되어 한 쌍의 측면프레임(102)마다 각각 구비되고, 상기 제2가이드바(330b) 역시 한 쌍이 구비되어 관통부(105)의 양측에 각각 구비된다.
상기 제1선형이동유닛(200)은 제1검사대상이 안착되는 제1스테이지(220)와, 상기 제1스테이지(220)의 하부에 구비되고, 상기 제1가이드바(110)를 따라 선형 이동 가능하게 형성되는 이동모듈(210)을 포함한다. 즉 상기 제1선형이동유닛(200)은 상기 제1가이드바(110)를 따라 전후 이동되도록 형성된다.
상기 제2선형이동유닛(300)은 상기 제2가이드바(330b)를 따라 선형 이동 가능하게 형성되며, 제2검사대상이 안착되는 제2스테이지(310)를 포함한다. 특히 본 실시예에서 상기 제2스테이지는 상기 베이스유닛(100)의 관통부(105)에 전후 이동되도록 형성된 형태를 가진다.
상기 압력공급유닛(400)은 외부의 압력소스공급원(미도시)으로부터 압력소스를 공급받을 수 있도록 구비되는 제1소스주입구(410)와, 제2소스주입구(420)를 포함한다.
본 실시예에서 상기 압력공급유닛(400)은 한 쌍이 각각 상기 베이스유닛(100)의 양측에 구비된 형태를 가지며, 하우징 형태로 형성되어 내부에 소정의 공간을 가지도록 형성될 수 있다.
그리고 상기 압력공급유닛(400)은 상기 제1소스주입구(410) 또는 상기 제2소스주입구(420)에 압력소스가 공급될 경우 공급된 압력소스의 압력에 의해 상기 제1선형이동유닛(200) 및 상기 제2선형이동유닛(300)을 선형 이동시키도록 할 수 있다. 이에 대해서는 후술하도록 한다.
여기서 상기 압력소스는 공기, 오일 등과 같은 다양한 유체일 수 있으며, 본 실시예에서 상기 압력소스로는 공기를 적용하여 전체적으로 공압에 의한 구동 방식을 가지는 것으로 하였다. 다만, 이는 본 실시예만으로 제한되지 않음은 물론이다.
한편 상기 제1선형이동유닛(200)은 일측이 상기 이동모듈(210)에 연결되고, 타측이 상기 압력공급유닛(400) 내측의 공간으로 연장되는 제1이동바(230)를 더 포함하며, 상기 제2선형이동유닛(300)은 일측이 상기 제2스테이지(310)에 연결되고, 타측이 상기 압력공급유닛(400) 내측의 공간으로 연장되는 제2이동바(330a)를 더 포함할 수 있다.
그리고 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 압력공급유닛(400)은 상기 제1이동바(230)의 타측이 수용되며, 상기 제1소스주입구(410)로 공급된 압력소스가 일측 방향으로부터 유입되고, 상기 제2소스주입구(420)로 공급된 압력소스가 타측 방향으로부터 유입되는 제1실린더(430)와, 상기 제2이동바(330a)의 타측이 수용되며, 상기 제1소스주입구(410)로 공급된 압력소스가 타측 방향으로부터 유입되는 제2실린더(440)를 포함한다.
즉 상기 압력공급유닛(400)의 내부 공간에는, 제1선형이동유닛(200)을 선형 이동시키기 위한 제1실린더(430)와, 제2선형이동유닛(300)을 선형 이동시키기 위한 제2실린더(440)가 각각 구비된 형태를 가진다.
이때 상기 제1이동바(230)의 타단부에는 상기 제1실린더(430)의 내경에 대응되는 외경을 가지고, 상기 제1소스주입구(410)에 의한 압력소스 유입지점과 및 상기 제2소스주입구(420)에 의한 압력소스 유입지점 사이에 위치되는 제1패킹부(232)가 구비된다.
따라서 상기 제1이동바(230)는 상기 제1소스주입구(410)로부터 압력소스가 유입될 경우 후방으로 이동하게 되며, 상기 제2소스주입구(420)로부터 압력소스가 유입될 경우에는 전방으로 이동하게 된다.
또한 상기 제2이동바(330a)의 타단부에는 상기 제2실린더(440)의 내경에 대응되는 외경을 가지고, 상기 제1소스주입구에 의한 압력소스 유입지점보다 상기 제2스테이지(310)에 보다 가깝게 위치되는 제2패킹부(332)가 구비된다.
따라서 상기 제2이동바(330a)는 상기 제1소스주입구(410)로부터 압력소스가 유입될 경우, 전방으로 이동하게 된다.
그리고 본 실시예의 경우, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 상기 제2선형이동유닛(300)은, 상기 제1소스주입구(410)를 통한 압력소스 공급이 중단될 경우, 상기 제2선형이동유닛(300)을 상기 제1선형이동유닛(200)으로부터 멀어지는 방향, 즉 후방 측으로 복원력을 제공하는 선형복원부재(340)를 더 포함할 수 있다.
이상과 같은 구조에 의해 본 실시예에 따른 양방향 이송스테이지 어셈블리는 결과적으로, 상기 제1소스주입구(410)에 압력소스가 공급될 경우, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 제1선형이동유닛(200) 및 상기 제2선형이동유닛(300)은 서로 가까워지는 방향으로 이동되고, 상기 제2소스주입구(420)에 압력소스가 공급되는 동시에 상기 제1소스주입구(410)로부터의 압력소스 공급이 중단될 경우, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 제1선형이동유닛(200) 및 상기 제2선형이동유닛(300)은 서로 멀어지는 방향으로 이동하게 된다.
이와 같이 상기 제1소스주입구(410)에 압력소스를 공급하여 상기 제1선형이동유닛(200)을 후방으로, 상기 제2선형이동유닛(300)을 전방으로 이동시킨 상태에서는 제1스테이지(220) 및 제2스테이지(310) 각각에 로딩된 제1검사대상 및 제2검사대상에 대한 소정의 검사를 수행할 수 있으며, 검사가 완료된 이후에는 상기 제2소스주입구(420)에 압력소스를 공급하여 상기 제1선형이동유닛(200)을 전방으로, 상기 제2선형이동유닛(300)을 후방으로 복원시켜 제1검사대상 및 제2검사대상을 각각 제1스테이지(220) 및 제2스테이지(310)로부터 언로딩할 수 있다.
한편 본 실시예의 경우, 상기 제1선형이동유닛(200)의 상기 제1스테이지(220)는, 상기 이동모듈(210)에 대해 상하 이동 가능하게 구비될 수 있다.
구체적으로 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 이동모듈(210)은, 외부의 압력소스공급원으로부터 압력소스를 공급받을 수 있도록 구비되는 제3소스주입구(240)와, 상기 이동모듈(210) 내부에 구비되며, 압력소스가 유동되는 소스유동유로(242)와, 상기 소스유동유로(242) 상에 일부가 노출되어, 상기 소스유동유로에 압력소스가 공급될 경우 하측으로 이동되어 상기 제1스테이지(220)의 높이를 감소시키는 높이조절부재(215)를 포함한다.
즉 본 실시예에 따른 양방향 이송스테이지 어셈블리는 제3소스주입구(240)에 압력소스를 공급할 경우, 도 7에 도시된 바와 같이 상기 제1스테이지(220)의 높이가 낮아져 상기 이동모듈(210) 측으로 이동하게 된다.
이때 상기 소스유동유로(242)는 상기 이동모듈(210)의 양측에 각각 구비될 수 있으며, 상기 이동모듈(210)은 이와 같은 양측의 소스유동유로(242)에 압력소스를 동시에 공급할 수 있도록 양측의 소스유동유로(242)를 서로 연통시키는 연통유로(244)를 더 포함할 수 있다.
또한 도 8에 도시된 바와 같이 상기 제1선형이동유닛(200)은, 상기 제1스테이지(220)와 상기 이동모듈(210) 사이에 구비되어, 높이가 감소된 상태의 제1스테이지(220)에 상측 방향으로 복원력을 제공하는 높이복원부재(217)를 더 포함할 수 있다.
이에 따라 본 실시예에 따른 양방향 이송스테이지 어셈블리는 제3소스주입구(240)에 압력소스의 공급을 중단할 경우, 도 8에 도시된 바와 같이 상기 제1스테이지(220)가 상기 높이복원부재(217)에 의해 원래의 높이로 복원될 수 있다.
그리고 다시 도 1을 참조하면, 본 실시예에서 상기 제1선형이동유닛(200)의 일측에는 하부로 돌출된 형태의 감지부재(222)가 구비되며, 상기 베이스유닛(100)은 상기 제1선형이동유닛(200)의 이동에 따라 함께 이동되는 상기 감지부재(222)의 존재를 감지하여 상기 제1선형이동유닛(200)의 위치를 센싱하는 위치센싱모듈(120)을 포함할 수 있다.
이에 따라 본 실시예에서 상기 위치센싱모듈(120)은 상기 감지부재(222)의 위치를 센싱하여 상기 제1선형이동유닛(200)의 현재 위치를 파악할 수 있도록 한다.
특히 상기 위치센싱모듈(120)은 'ㄷ'자 형태로 형성되되, 개구 부분이 상측 방향을 바라보는 형태를 가지도록 형성되어, 상기 감지부재(222)가 개구 부분을 통과할 수 있도록 하는 형태를 가지는 통과부재(122)를 포함할 수 있다.
이에 따라 상기 위치센싱모듈(120)는 상기 감지부재(222)가 통과하는 시점을 감지하여 상기 제1선형이동유닛(200)의 위치를 파악하도록 할 수 있다.
또한 상기 위치센싱모듈(120)에 의해 상기 감지부재(222)가 감지된 경우, 별도의 제어부(미도시)는 상기 제1소스주입부(410)를 통한 압력소스의 공급을 중지하도록 하여 상기 제1스테이지유닛(200) 및 상기 제2스테이지유닛(300)이 최대 이동범위를 벗어나게 되는 것을 방지할 수 있다.
이상과 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.
100: 베이스유닛
105: 관통부
110; 제1가이드바
120: 위치센싱모듈
200: 제1선형이동유닛
210: 이동모듈
220: 제1스테이지
230: 제1이동바
240: 제3소스주입구
300: 제2선형이동유닛
310: 제2스테이지
330a: 제2이동바
330b: 제2가이드바
400: 압력공급유닛
410: 제1소스주입구
420: 제2소스주입구
430: 제1실린더
440: 제2실린더

Claims (9)

  1. 제1가이드바 및 제2가이드바를 포함하는 베이스유닛;
    제1검사대상이 안착되는 제1스테이지와, 상기 제1스테이지의 하부에 구비되고, 상기 제1가이드바를 따라 선형 이동 가능하게 형성되는 이동모듈을 포함하는 제1선형이동유닛;
    상기 제2가이드바를 따라 선형 이동 가능하게 형성되며, 제2검사대상이 안착되는 제2스테이지를 포함하는 제2선형이동유닛; 및
    외부의 압력소스공급원으로부터 압력소스를 공급받을 수 있도록 구비되는 제1소스주입구를 포함하며, 상기 제1소스주입구에 압력소스가 공급될 경우 공급된 압력소스의 압력에 의해 상기 제1선형이동유닛 및 상기 제2선형이동유닛을 선형 이동시키는 압력공급유닛;
    을 포함하는 양방향 이송스테이지 어셈블리.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1선형이동유닛은,
    상기 제1스테이지는 상기 이동모듈에 대해 상하 이동 가능하게 구비되는 양방향 이송스테이지 어셈블리.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 이동모듈은,
    외부의 압력소스공급원으로부터 압력소스를 공급받을 수 있도록 구비되는 제3소스주입구;
    상기 이동모듈 내부에 구비되며, 압력소스가 유동되는 소스유동유로; 및
    상기 소스유동유로에 일부가 노출되어, 상기 소스유동유로에 압력소스가 공급될 경우 하측으로 이동되어 상기 제1스테이지의 높이를 감소시키는 높이조절부재;
    를 포함하는 양방향 이송스테이지 어셈블리.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1선형이동유닛은,
    상기 제1스테이지와 상기 이동모듈 사이에 구비되어, 높이가 감소된 상태의 제1스테이지에 상측 방향으로 복원력을 제공하는 높이복원부재를 더 포함하는 양방향 이송스테이지 어셈블리.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 베이스유닛의 내측에는 상하 관통된 관통부가 형성되며,
    상기 제2스테이지는 상기 관통부에 선형 이동 가능하게 구비되는 양방향 이송스테이지 어셈블리.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1선형이동유닛은 일측이 상기 이동모듈에 연결되고, 타측이 상기 압력공급유닛 내측으로 연장되는 제1이동바를 더 포함하며,
    상기 제2선형이동유닛은 일측이 상기 제2스테이지에 연결되고, 타측이 상기 압력공급유닛 내측으로 연장되는 제2이동바를 더 포함하고,
    상기 압력공급유닛은,
    외부의 압력소스공급원으로부터 압력소스를 공급받을 수 있도록 구비되는 제2소스주입구;
    상기 제1이동바의 타측이 수용되며, 상기 제1소스주입구로 공급된 압력소스가 일측 방향으로부터 유입되고, 상기 제2소스주입구로 공급된 압력소스가 타측 방향으로부터 유입되는 제1실린더; 및
    상기 제2이동바의 타측이 수용되며, 상기 제1소스주입구로 공급된 압력소스가 타측 방향으로부터 유입되는 제2실린더;
    를 포함하는 양방향 이송스테이지 어셈블리.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1이동바의 타단부에는 상기 제1실린더의 내경에 대응되는 외경을 가지고, 상기 제1소스주입구에 의한 압력소스 유입지점과 및 상기 제2소스주입구에 의한 압력소스 유입지점 사이에 위치되는 제1패킹부가 구비되며,
    상기 제2이동바의 타단부에는 상기 제2실린더의 내경에 대응되는 외경을 가지고, 상기 제1소스주입구에 의한 압력소스 유입지점보다 상기 제2스테이지에 보다 가깝게 위치되는 제2패킹부가 구비되어,
    상기 제1소스주입구에 압력소스가 공급될 경우, 상기 제1선형이동유닛 및 상기 제2선형이동유닛은 서로 가까워지는 방향으로 이동되고,
    상기 제2소스주입구에 압력소스가 공급될 경우, 상기 제1선형이동유닛 및 상기 제2선형이동유닛은 서로 멀어지는 방향으로 이동되는 양방향 이송스테이지 어셈블리.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제2선형이동유닛은,
    상기 제1소스주입구에 압력소스 공급이 중단될 경우, 상기 제2선형이동유닛을 상기 제1선형이동유닛으로부터 멀어지는 방향으로 복원력을 제공하는 선형복원부재를 더 포함하는 양방향 이송스테이지 어셈블리.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 제1선형이동유닛의 일측에는 감지부재가 구비되며,
    상기 베이스유닛은 상기 제1선형이동유닛의 이동에 따라 함께 이동되는 상기 감지부재를 감지하여 상기 제1선형이동유닛의 위치를 센싱하는 위치센싱모듈을 포함하는 양방향 이송스테이지 어셈블리.
KR1020190118722A 2019-09-26 2019-09-26 양방향 이송스테이지 어셈블리 KR102199180B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190118722A KR102199180B1 (ko) 2019-09-26 2019-09-26 양방향 이송스테이지 어셈블리

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190118722A KR102199180B1 (ko) 2019-09-26 2019-09-26 양방향 이송스테이지 어셈블리

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102199180B1 true KR102199180B1 (ko) 2021-01-08

Family

ID=74127798

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190118722A KR102199180B1 (ko) 2019-09-26 2019-09-26 양방향 이송스테이지 어셈블리

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102199180B1 (ko)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990006388A (ko) 1997-06-23 1999-01-25 하세가와 요시에이 액정패널용 검사스테이지
KR100958104B1 (ko) * 2009-03-16 2010-05-17 코스모스시스템(주) 광특성을 측정하기 위한 엘이디 모듈 및 비엘유 겸용 고정장치
KR101901814B1 (ko) * 2018-01-24 2018-09-27 손문배 카메라 모듈 검사용 지그장치
KR101993372B1 (ko) * 2019-03-22 2019-06-26 주식회사 삼승엔지니어링 검사용 다축 스테이지

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990006388A (ko) 1997-06-23 1999-01-25 하세가와 요시에이 액정패널용 검사스테이지
KR100958104B1 (ko) * 2009-03-16 2010-05-17 코스모스시스템(주) 광특성을 측정하기 위한 엘이디 모듈 및 비엘유 겸용 고정장치
KR101901814B1 (ko) * 2018-01-24 2018-09-27 손문배 카메라 모듈 검사용 지그장치
KR101993372B1 (ko) * 2019-03-22 2019-06-26 주식회사 삼승엔지니어링 검사용 다축 스테이지

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102046338B (zh) 输送装置、位置示教方法以及传感器夹具
CN103894823A (zh) 阀门组装流水线
USRE41506E1 (en) Offset measuring mechanism and offset measuring method in a bonding apparatus
CN103962418A (zh) 整形装置
CN108662996B (zh) 测头
KR20200024766A (ko) 위치 센서를 갖는 진공 밸브
JP2009529476A (ja) 組み立てラインで工作物担持体を搬送する方法、工作物担持体および組み立てユニット
KR102199180B1 (ko) 양방향 이송스테이지 어셈블리
CN105865775A (zh) 全自动导阀综合性能测试台
US7694425B2 (en) Measuring device and method for using the same
WO2005077559A1 (en) Process and pneumatic device for detecting the bending angle of a plate sheet in a bending press
CN105928946A (zh) 检测设备的补偿方法
JP2019103225A (ja) 搬送装置、加工システム、および物品の製造方法
EP3009231A1 (en) Sanding machine for sanding/finishing panels made of wood, metal or the like
CN109048874A (zh) 桁架机器人z轴机械手温度补偿装置及其补偿方法
CN106248678A (zh) 检测装置
KR101226807B1 (ko) 시편이송 스테이지 장치 및 그 구동방법
CN105717751A (zh) 一种掩模上版装置及校准方法
US20110114209A1 (en) Fluid-Dynamic Circuit
KR102542185B1 (ko) 비전 얼라인 프로브 장치
KR102185340B1 (ko) 공압 밸브 장치 및 공압 밸브 모니터링 방법
KR100251162B1 (ko) 평면브라운관 제조용 마스크/패널 용접장치
KR20220045649A (ko) 웨이퍼 테스트 장치
KR20020051846A (ko) 캐리어위치 어긋남 검출기구
KR20210099157A (ko) 검사 장치용 지그, 검사 장치, 검사 세트 및 이를 이용하는 대상물 검사 방법

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant