CN108662996B

CN108662996B - 测头

Info

Publication number: CN108662996B
Application number: CN201810259347.6A
Authority: CN
Inventors: 松宫贞行; 宫崎智之; 上山修一; 新井秀幸
Original assignee: Mitutoyo Corp
Current assignee: Mitutoyo Corp
Priority date: 2017-03-27
Filing date: 2018-03-27
Publication date: 2021-09-10
Anticipated expiration: 2038-03-27
Also published as: US20180274914A1; DE102018204654A1; CN108662996A; US10551184B2; JP2018163125A; JP6830386B2

Abstract

本发明提供一种能够发挥不依赖于测量姿势的马达驱动特性的测头。测头(10)包括以能够相对于外部的移动装置(100、200)装拆的方式设置的第1测量轴线用的第1滑动机构(50)、以能够移动的方式保持于该第1滑动机构(50)的第2测量轴线用的第2滑动机构(60)、以能够移动的方式保持于该第2滑动机构(60)的第3测量轴线用的第3滑动机构(70)、以能够移动的方式保持于该第3滑动机构(70)的探头(20)、将各滑动机构(50、60、70)的滑动件部(51、61、71)和引导部(52、62)连接起来的气缸(55、65、75)、以及与该测头(10)的测量姿势相应地分别变更向各气缸(55、65、75)供给的空气压力的自动调压调节器(57、67、77)。

Description

测头

本申请主张2017年03月27日提出申请的日本国发明专利申请2017－061952号的优先权，将其编入于此。

技术领域

本发明涉及一种将工件表面作为测量对象的测头，特别是涉及内置于测头的马达动力的辅助机构的改良。

背景技术

已知有一种适合在测量如下工件的情况下使用的三维测量机，该工件在工件的表面形状中包含要求较高的精度的测量区域和即便是比较低的精度也被容许的测量区域这两者(参照专利文献1)。这是将门型的CNC三维坐标测量机和利用该测量机以能够沿3个轴线方向移动的方式设置的测头组合而成的构造。

门型的三维测量机通常包括基座、以能够沿水平方向移动的方式设于该基座的上表面的X轴工作台、竖立设置于基座的立柱、支承于该立柱的横梁、以能够沿着横梁移动的方式设置的Y轴滑动件、以能够升降的方式设于该Y轴滑动件的Z轴滑动件、以及连结于该Z轴滑动件的测杆，在专利文献1中特征在于，在测杆的顶端安装有测头。像图7那样，测头1是包括以能够装拆的方式设于三维测量机的测杆的顶端的Z轴滑动机构2、利用该Z轴滑动机构2以能够沿Z轴方向移动的方式支承的Y轴滑动机构3、利用该Y轴滑动机构3以能够沿Y轴方向移动的方式支承的X轴滑动机构4、以及利用该X轴滑动机构4以能够沿X轴向移动的方式支承的探头5的结构。

根据专利文献1，通过利用测头的驱动机构2～4使探头5移动，从而进行较小的区域中的高精度测量，通过利用三维测量机的驱动机构使测头1移动，从而顺畅地进行较大的区域中的低～中程度的精度的测量。

专利文献

专利文献1：日本特开2010－256121号公报

发明内容

发明要解决的问题

像图7那样，在以往的测头的Z轴滑动机构2设有沿大致铅垂方向伸缩的弹簧6，其将滑动件7和引导件8连结起来。其目的在于，在Z轴滑动机构的动力源即电动马达M1使滑动件7上升的情况下，减轻对该马达施加的负荷，提高铅垂方向的马达驱动性能(定位、恒定速度、高速移动等)，在此，将弹簧6称作马达动力的辅助机构。

但是，若并未将测头的姿势确定为Z轴滑动件7的移动方向是大致铅垂方向，则图7的由弹簧构成的马达动力的辅助机构不会恰当地发挥功能。此外，在测量过程中也需要测头的姿势恒定。其原因在于，若改变测量姿势，则Y轴滑动机构的驱动用马达M2或X轴滑动机构的驱动用马达M3的负荷会发生变化，无法维持各马达的驱动性能。此外，为了维持驱动性能，每次姿势变更都需要重新进行各马达的增益调整。

测量姿势有制约的状况并不限于像专利文献1那样使用的测头，对于安装于任何移动装置进行使用的全部测头都是共通的。发明人为了消除这样的测量姿势的限制，努力进行了深入的研究。

本发明的目的在于改良以往的内置于测头的驱动用马达动力的辅助机构，提供一种能够发挥不依赖于测量姿势的马达驱动特性、能够以任意的姿势进行测量的测头。

用于解决问题的方案

为了解决上述的问题，本发明的测头包括：

第1滑动机构，其具有第1测量轴线用的第1滑动件、引导用的第1引导件、以及驱动用的第1马达；

第2滑动机构，其具有第2测量轴线用的第2滑动件、固定于所述第1滑动件的引导用的第2引导件、以及驱动用的第2马达，所述第2测量轴线不与所述第1测量轴线平行；以及

工件检测用的探头，其保持于所述第2滑动件，

随着所述各滑动件的移动，该测头使所述探头检测工件表面，

该测头的特征在于，

该测头能够借助所述第1引导件相对于外部的任意的移动装置安装、拆卸，

第1滑动机构具有将所述第1滑动件和所述第1引导件连接起来且沿所述第1测量轴线方向伸缩自如的第1流体压缸和用于与该测头的测量姿势相应地变更向所述第1流体压缸供给的流体的压力的第1流体压变更部件，

第2滑动机构具有将所述第2滑动件和所述第2引导件连接起来且沿所述第2测量轴线方向伸缩自如的第2流体压缸和用于与该测头的测量姿势相应地变更向所述第2流体压缸供给的流体的压力的第2流体压变更部件。

说明本发明的测头的作用。测头安装于门型的三维测量机(图2)、多关节型的移动装置(图5)等。在利用这样的外部的移动装置任意地设定测头的测量姿势并且测头移动到期望的位置的状态下，探头沿各测量轴线方向滑动而检测工件表面。测头基于各测量轴线的滑动件在检测工件表面时的移动量来获取工件表面的位置信息。另外，测头的测量轴线是两个轴线以上即可。若是例如使探头沿着第1测量轴线接近、远离工件、使探头沿着第2测量轴线移动到下一个测量位置这样的方法，则能够仅通过探头的移动来进行测量而不改变保持于外部的移动装置的测头的位置、姿势。

本发明的测头针对每个测量轴线都具有流体压缸和其流体压力的变更部件，能与测头的测量姿势(例如将铅垂朝下方向作为基准的各测量轴线的倾斜角)相应地分别变更对第1流体压缸和第2流体压缸施加的流体压力。第1流体压缸利用基于第1流体压变更部件调整好的流体压力的力对第1滑动件施力。也就是说，推动或拉动第1滑动件。其作用力成为相当于对第1滑动件作用的重力的第1测量轴线方向上的分力的大小即可。同样，第2流体压缸利用基于第2流体压变更部件调整好的流体压力的力对第2滑动件施力。其作用力成为相当于对第2滑动件作用的重力的第2测量轴线方向上的分力的大小即可。

说明本发明的效果。在利用多个滑动件使探头沿各个测量轴线方向移动的构造的测头中，对各滑动件作用的重力的影响与其测量姿势相应地较大程度地变化。因此，本发明的测头与测量姿势相应地变更各流体压缸的作用力，对各滑动件施加分别调整好的作用力。由此，能够将伴随着测量姿势的变化产生的马达的负荷的变动抑制为零或者非常小，能够发挥不依赖于测量姿势的马达的驱动性能。也就是说，能够提供一种能采取所有的测量姿势而不损害测头的性能、功能的测头。

本发明的测头优选的是，还包括用于检测该测头的测量姿势的姿势检测部件，所述各流体压变更部件基于来自所述姿势检测部件的姿势信息来变更所述流体的压力。作为姿势检测的方法，例如存在将用于感知铅垂方向的传感器固定于测头并根据其检测值判断测头的姿势的方法。此外，也可以将用于拍摄作为基准的记号的照相机固定于头部，处理记号的图像从而判断测头的姿势。

本发明的测头优选的是，在所述第2滑动件与所述探头之间设有第3测量轴线用的第3滑动机构，所述第3测量轴线与所述第1测量轴线及所述第2测量轴线均不平行，

所述第3滑动机构包括：

第3滑动件，其用于保持所述探头；

引导用的第3引导件，其固定于所述第2滑动件；

驱动用的第3马达；

第3流体压缸，其将所述第3滑动件和所述第3引导件连接起来，该第3流体压缸沿所述第3测量轴线方向伸缩自如；以及

第3流体压变更部件，其用于与该测头的测量姿势相应地变更向所述第3流体压缸供给的流体的压力。

在像该结构这样在3个方向上设置探头的测量轴线的情况下，与其他的两个方向的情况同样地设置第3测量轴线的马达动力的辅助机构即可。

像以上那样，根据本发明，能够提供一种能够发挥不依赖于测量姿势的马达驱动特性的测头。换言之，能够提供一种即使测量姿势改变、测头的性能和功能也不受损，且能够以任意的姿势进行测量的测头。此外，能够将具有不同的两个以上测量轴线的测头应用于多关节型的移动装置、门型的三维测量机等各种类型的移动装置，也扩大了测头的用途。

附图说明

图1是表示本发明的第一实施方式的测头的整体结构的立体图。

图2是表示将所述测头应用于门型的三维测量机的形态的图。

图3是说明自动调压调节器和流路切换阀的与所述测头的姿势相应地进行的动作的图。

图4是表示所述使用形态的变形例的图。

图5是表示本发明的第二实施方式的多关节型的三维测量机的图。

图6是表示使用所述多关节型的三维测量机的形态的图。

图7是表示以往的测头的构造的立体图。

附图标记说明

10、10A、测头；20、探头；30、探头驱动装置；40、控制装置；50、第1滑动机构；60、第2滑动机构；70、第3滑动机构；51、第1滑动件；61、第2滑动件；71、第3滑动件；52、第1引导件；62、第2引导件；53、第1马达；63、第2马达；73、第3马达；54、第1辅助机构；64、第2辅助机构；74、第3辅助机构；55、第1气缸(第1流体压缸)；65、第2气缸(第2流体压缸)；75、第3气缸(第3流体压缸)；56、第1电磁切换阀(第1流路切换部件)；66、第2电磁切换阀(第2流路切换部件)；76、第3电磁切换阀(第3流路切换部件)；57、第1自动调压调节器(第1流体压变更部件)；67、第2自动调压调节器(第2流体压变更部件)；77、第3自动调压调节器(第3流体压变更部件)；80、姿势检测器(姿势检测部件)；100、门型的三维测量机(移动装置)；200、机器人手臂(移动装置)。

具体实施方式

根据附图说明本发明的第一实施方式的测头。

图1是本发明的测头10的立体图，一同示出了其辅助机构的控制框图。测头10包括探头20、探头的驱动装置30以及控制装置40，该测头10保持于外部的移动装置。测头10在保持于移动装置的状态下利用伴随着探头驱动装置30的动作产生的探头20的移动来检测工件表面。

探头驱动装置30包括姿势检测器80、第1测量轴线系统的滑动机构50、第2测量轴线系统的滑动机构60及第3测量轴线系统的滑动机构70。第1测量轴线、第2测量轴线以及第3测量轴线由互相不平行的3个轴线构成，它们是该测头10的固有轴线。因此，例如，铅垂朝下方向与各测量轴线之间的夹角同测头10的姿势相应地进行变化。在以下的说明中，使用互相正交的3个测量轴线。

第1测量轴线系统的滑动机构50具有第1滑动件51、第1滑动件的引导用引导件52、滑动件驱动用的第1马达53、其马达动力的第1辅助机构54、以及第1测量轴线的标尺传感器。在第1滑动件51中内置有利用第1马达53驱动的滚珠丝杠。在第1滑动件51的后方设有引导用引导件52。在该引导用引导件52的前表面(与第1滑动件51的相对的面)形成有第1滑动件51用的滑动面。由此，第1滑动件51成为能够沿着引导用引导件52的前表面在第1测量轴线方向上滑动的结构。此外，引导用引导件52的背面成为装拆部。在装拆部形成有用于将该测头10安装于外部的移动装置、自外部的移动装置拆卸的夹具。

第2测量轴线系统的滑动机构60是与第1测量轴线正交的第2测量轴线的机构，其设于第1测量轴线系统的滑动机构50的下方。滑动机构60具有第2滑动件61、第2滑动件的引导用引导件62、滑动件驱动用的第2马达63、其马达动力的第2辅助机构64、以及第2测量轴线的标尺传感器。在此，第2引导件62固定于第1滑动件51的下表面。在第2引导件62的下表面设有第2滑动件61。第2滑动件61成为能够沿着第2引导件62的下表面在第2测量轴线方向上滑动的结构。

第3测量轴线系统的滑动机构70是与第1测量轴线及第2测量轴线这两者正交的第3测量轴线的机构，其设于第2测量轴线系统的滑动机构60的下方。滑动机构70具有第3滑动件71、第3滑动件的引导用引导件(与第2滑动件61一体形成)、滑动件驱动用的第3马达73、其马达动力的第3辅助机构74、以及第3测量轴线的标尺传感器。第3滑动件71设于第2滑动件61的下表面，其成为能够沿着第2滑动件61的下表面在第3测量轴线方向上滑动的结构。

以下，详细地说明本发明的特征性的马达动力的辅助机构54、64、74。

第1辅助机构54包括第1气缸(相当于流体压缸)55、第1自动调压调节器(相当于流体压变更部件)57以及第1电磁切换阀(相当于流路切换部件)56。一组第1气缸55以沿第1测量轴线方向伸缩自如的方式配置，其将第1滑动件51和第1引导件52连接起来。以夹着第1滑动件51的方式配置两个第1气缸55，该两个第1气缸55的杆侧的顶端固定于自第1引导件52延伸设置的臂部，杆相反侧的顶端固定于第1滑动件51的侧部。

在第1引导件52安装有用于检测测头10的测量姿势的姿势检测器80。姿势检测器80将检测信号发送到控制装置40，控制装置40判断测头10的姿势。第1自动调压调节器57基于来自控制回路40的压力指令值来变更向第1气缸55供给的空气压力。第1自动调压调节器57也可以具有例如隔膜式的调压机构。内置的电动机的旋转力与指令值相应地进行变化，从而调整对隔膜施加的推力。特别优选的是带有单向阀的调节器。该单向阀用于在利用马达动力使滑动件51向与利用第1气缸55的作用力使滑动件51移动的方向相反的方向移动时释放在第1自动调压调节器57的二次侧产生的背压，从而能够顺畅地进行移动。

第1电磁切换阀56能够选择来自第1自动调压调节器57的压缩空气的供给对象。即，作为用于将供给对象从第1气缸55的杆侧的供给口、杆相反侧的供给口中的任一者切换为另一者的流路切换部件发挥功能。作为一个例子，图1表示二位三通的单螺线管式的电磁切换阀。在像图1那样未激励螺线管的情况下，利用弹簧力使滑阀芯维持第1位置，将压缩空气输送到缸体的杆相反侧的供给口。缸体的杆侧的供给口变为开放。另一方面，若激励螺线管，则滑阀芯维持第2位置，将来自第1自动调压调节器57的压缩空气输送到缸体的杆侧的供给口。缸体的杆相反侧供给口变为开放。

第1电磁切换阀56在测头10的测量姿势发生变化时、具体地讲是在第1测量轴线的方向跨水平方向地进行变化的情况(例如像图3那样第1测量轴线的正向从相对于水平方向朝向下方的状态变为朝向上方的情况等)下切换空气的供给对象。

第2辅助机构64包括第2气缸65、第2电磁切换阀66以及第2自动调压调节器67。一组第2气缸65以沿第2测量轴线方向伸缩自如的方式配置，将第2滑动件61和第2引导件62连接起来。以夹着第2引导件62的方式配置两个气缸65，该两个气缸65的杆侧的顶端固定于第2滑动件61的上表面，杆相反侧的顶端固定于第2引导件62的侧部。

第2自动调压调节器67基于来自姿势检测部件80的姿势信息来变更向第2气缸65供给的空气压力。第2电磁切换阀66用于将来自第2自动调压调节器67的空气的供给对象从气缸的杆侧的供给口和杆相反侧的供给口中的任一者切换为另一者。

第3辅助机构74包括第3气缸75、第3电磁切换阀76以及第3自动调压调节器77。一组第3气缸75以沿第3测量轴线方向伸缩自如的方式配置，将第3滑动件71和第3引导件(与第2滑动件61相同)连接起来。以夹着第2滑动件61的方式配置两个气缸75，该两个气缸75的杆侧的顶端固定于第2滑动件61的侧面，杆相反侧的顶端固定于第3滑动件71的侧部。

第3自动调压调节器77与第1自动调压调节器、第2自动调压调节器同样地变更对第3气缸75施加的空气压力。第3电磁切换阀76用于将来自第3自动调压调节器77的空气的供给对象从气缸的杆侧的供给口和杆相反侧的供给口中的任一者切换为另一者。

探头20包括在顶端带有测量触头的棒状的触针和用于支承该触针的圆筒状的支承部。触针的支承部保持于第3滑动件71。

测头10的控制装置40基于来自姿势检测器80的信号来判断测头10的姿势，并且基于该姿势向各自动调压调节器57、67、77发送空气压力的指令值。此外，测头10的控制装置40基于测头10的姿势向电磁切换阀56、66、76发送所选择的流路的指令值。该控制装置40也可以装入到三维测量机等外部的移动装置的控制装置。

图2表示测头10的使用例。测头10以任意的姿势安装于CNC三维坐标测量机100的测杆170。三维测量机100使X轴工作台120、Y轴滑动件150及Z轴滑动件160分别进行动作，从而使测头10向期望位置移动。设于三维测量机100的各移动轴线(X轴～Z轴)的标尺传感器(与内置于测头10的标尺传感器不同)用于检测X轴工作台120、Y轴滑动件150及Z轴滑动件160的位置信息并发送到三维测量机100的控制装置。控制装置根据这些检测值来获得测头10的位置坐标。

接着，测头10使探头20分别沿第1测量轴线方向、第2测量轴线方向及第3测量轴线方向滑动，从而检测工件表面W。各个标尺传感器读取测头10的各滑动件51、61、71在检测工件表面时的移动量并发送到三维测量机100的控制装置。该控制装置根据来自三维测量机100的测头10的位置坐标的读取值和来自测头10的探头20的位置信息的读取值来获得工件表面的位置坐标。

仅利用测头10的探头驱动装置30的动作，例如在第1工序中使探头20接近工件W，从而检测工件表面。然后，在使探头20离开之后在第2工序中使探头20移动到下一个测量位置。之后，与第1工序同样地检测工件表面。通过这样的工序，仅利用由测头10实现的探头20的移动就能够进行工件表面的坐标测量而不改变保持于三维测量机100的测杆170的测头10的位置、姿势。

控制装置40基于姿势检测器80的检测信号来判断测头10的测量姿势。控制部件40从表格数据等读取与测量姿势相应的各自动调压调节器57、67、77的压力指令值，并向调节器发送指令值。各自动调压调节器57、67、77接收来自控制装置40的压力指令值从而使内置的电动机的旋转力发生变化，从而分别调整对所连接的气缸的供给压力。此外，控制装置40与测量姿势相应地选择压缩空气的流路，向电磁切换阀56、66、76发送其对于流路的切换指令值。

第1气缸55利用第1自动调压调节器57调整好的空气压力对第1滑动件51施力。也就是说，推动或拉动第1滑动件51。对于第1测量轴线而言的空气压力的指令值被设定为，使第1气缸55的作用力成为相当于对第1滑动件51作用的重力的第1测量轴线方向上的分力的大小。此外，对于第2测量轴线而言的空气压力的指令值被设定为，使第2气缸65的作用力成为相当于对第2滑动件61作用的重力的第2测量轴线方向上的分力的大小。同样，对于第3测量轴线而言的空气压力的指令值被设定为，使第3气缸75的作用力成为相当于对第3滑动件71作用的重力的第3测量轴线方向上的分力的大小。

在控制装置40存储有例如设定为图3所示的关系的测量姿势和空气压力的表格数据。在此，使用第1测量轴线、第2测量轴线及第3测量轴线相对于铅垂朝下方向的倾斜角θ、θ2、θ3表示测量姿势。在说明上，将各测量轴线的正向确定为从气缸的杆侧观察杆相反侧的方向(参照图1中的坐标轴)。

着眼于第1测量轴线的第1气缸55进行说明。

在倾斜角θ＝0°(第1测量轴线：铅垂朝下)的情况下，将空气压力设为最大(100％)，将供给对象设为杆相反侧。参照图3的(A)。

在θ＝45°的情况下，将空气压力设为71％，将供给对象设为杆相反侧。参照图3的(B)。

在θ＝90°(水平)的情况下，将空气压力设为最小(0％)。供给对象可以是任意的，但在此，将供给对象维持为此前的状态下的供给对象(例如杆相反侧)。参照图3的(C)。

在θ＝135°的情况下，将空气压力设为71％，将供给对象设为杆侧。参照图3的(D)。

在θ＝180°(铅垂朝上)的情况下，将空气压力设为最大(100％)，将供给对象设为杆侧。参照图3的(E)。

另外，第1电磁切换阀56与第1测量轴线方向的变化相应地例如像以下那样进行动作。在像图3的(C)那样第1测量轴线变为水平(θ＝90°)的情况下，维持此前的倾斜状态下的流路。在第1测量轴线进一步超过水平状态向反方向倾斜的情况(从θ＜90°的倾斜变为θ＞90°的倾斜的情况。或者与之相反，从θ＞90°的倾斜变为θ＜90°的倾斜的情况)下，切换空气的供给对象、也就是流路。

对本实施方式的测头10所产生的效果进行说明。

(1)对各滑动件51、61、71作用的重力的影响与测量姿势相应地较大程度地变化，但若是测头10的结构，则与测量姿势相应地变更各气缸55、65、75的作用力，对各滑动件51、61、71施加分别调整好的作用力，因此能够将伴随着姿势变化产生的各马达53、63、73的负荷变动抑制为零或者非常小。由此，能够提供一种能采取所有的测量姿势而且发挥了不依赖于测量姿势的马达的驱动性能、不损害测头10的性能、功能的测头10。

(2)能够扩大测头应用于图2那样的门型的CNC三维坐标测量机100这样的测头的用途。

(3)测头10安装于三维测量机100的测杆170的安装姿势的自由度上升。

(4)能够使对测头10追加的机械要素实质上只有气缸55、65、75。与图7的利用弹簧的情况相比几乎没有构造的变化，易于维持小型的测头。

另外，图4表示本实施方式的测头的变形例。即，通过针对上述的测头10的结构进一步设置姿势变更部件90，从而能够对测头10A赋予自身姿势变更功能。图4的姿势变更部件90只是一个例子，其具有相对于三维测量机100的测杆170装拆自如的基座部91和保持于该基座部91的球形部92。球形部92以能任意改变姿势的方式支承于基座部91。在这样的球形部92固定测头10A的第1引导件52即可。也就是说，即使不改变基座部91安装于测杆170的安装姿势，也能够在安装之后在姿势变更部件90的可动范围内自由地变更探头20的朝向。

在该变形例中，姿势变更部件90设于三维测量机100的测杆170与测头10的第1引导件52之间。此外，也可以将图4的姿势变更部件90设于图1所示的测头10的第3滑动件71与探头20之间。但是，如果这样做，姿势变更部件90的自重就会作用于各滑动件51、61、71。也就是说，测头10的末端质量增加，容易导致测头10的固有振动频率的下降、妨碍测量的高速化。因而，前述的变形例的测头10A较好。

接着，根据附图说明本发明的第二实施方式的多关节型的三维测量机。图5表示将前述的实施方式的测头10应用于机器人手臂200这样的多关节型的移动装置的三维测量机。由于能够利用机器人手臂200将测头10保持为期望的位置和姿势，因此能够将例如由带式输送机搬运的大型的产品、部件保持原状态地在线测量。

根据图6说明利用该多关节型的三维测量机进行的测量方法的一个例子。

机器人手臂200取得挂在未图示的更换架上的测头10。

接着，测头10以保持于机器人手臂200顶端的保持部210的状态被拿到带式输送机上的加工部件W的测量部位，并被维持为期望的姿势。

接着，测头10的控制装置40利用前述的姿势检测器80(图1)检测测头10的姿势，与其姿势相应地决定向各测量轴线上的气缸55、65、75供给的供给空气的流路，并且调整空气压力。通过这样利用控制装置40使测头10单独地进行动作，使得机器人手臂200能够利用探头20测量测量部位的表面性状。

在测量之后，机器人手臂200既可以保持着测头10等待下一个测量指令，也可以将测头10送回到工具架并转移到其他的测量、加工等作业。

这样，能够实现测头10应用于多关节型的三维测量机这样的用途。即，由于在测头10设有利用气缸55、65、75实现的马达动力的辅助机构54、64、74，因此不论是哪种测量姿势，测头10的马达驱动都稳定。因而，即便是在本实施方式这样的在进行复杂的运动的机器人手臂200安装测头10的情况下，测头10的探头驱动机构30也不易受到基于测量姿势的差异产生的重力的影响，实现了测头10的稳定测量。

Claims

1.一种测头，其包括：

工件检测用的探头，其保持于所述第2滑动件，

随着所述第1滑动件、所述第2滑动件的移动，该测头使所述探头检测工件表面，

该测头的特征在于，

2.根据权利要求1所述的测头，其特征在于，

该测头还包括用于检测该测头的测量姿势的姿势检测部件，

所述第1流体压变更部件和所述第2流体压变更部件基于来自所述姿势检测部件的姿势信息来变更所述流体的压力。

3.根据权利要求1或2所述的测头，其特征在于，

在所述第2滑动件与所述探头之间设有第3测量轴线用的第3滑动机构，所述第3测量轴线与所述第1测量轴线及所述第2测量轴线均不平行，

所述第3滑动机构包括：

第3滑动件，其用于保持所述探头；

引导用的第3引导件，其固定于所述第2滑动件；

驱动用的第3马达；