KR102181568B1 - 이상을 갖는 변태유기소성 고엔트로피 합금 및 그 제조방법 - Google Patents

이상을 갖는 변태유기소성 고엔트로피 합금 및 그 제조방법 Download PDF

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Abstract

원자%로, V: 3 내지 15%, Cr: 3 내지 15%, Fe: 40 내지 53%, Co: 10 내지 35%를 포함하는 이상을 갖는 변태유기소성 고엔트로피 합금이 소개된다.

Description

이상을 갖는 변태유기소성 고엔트로피 합금 및 그 제조방법{TRANSFORMATION-INDUCED-PLASTICITY DUAL-PHASE HIGH-ENTROPY ALLOY AND MANUFACTURING METHOD OF THE SAME}
본 발명은 이상을 갖는 변태유기소성 고엔트로피 합금 및 그 제조방법에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 극저온에서 변형 시, 상변태 발생으로 인해 기계적 특성이 우수한 고엔트로피 합금 및 그 제조방법에 관한 것이다.
기존의 고엔트로피 합금(high-entropy alloy, HEA)의 정의는 일반적인 합금인 철강, 알루미늄 합금, 타이타늄 합금 등과 같이 합금을 구성하는 주 원소 없이 다섯 가지 이상의 구성 원소를 비슷한 비율로 합금화하여 얻어지는 다원소 합금으로서, 합금 내의 혼합 엔트로피가 높아 금속간화합물 또는 중간상이 형성되지 않고, 면심입방격자(face-centered cubic, FCC) 또는 체심입방격자(body-centered cubic, BCC)와 같은 조직을 갖는 금속 소재로 최근 학계에서는 FCC + HCP 등의 이상(Dual Phase)을 갖는 재료 또한 소개되고 있다.
특히, Co-Cr-Fe-Mn-Ni 계열의 고엔트로피 합금의 경우, 우수한 극저온 물성, 높은 파괴인성과 내식성을 가지기 때문에 극한환경에 적용할 수 있는 소재로 각광받고 있다.
이러한 고엔트로피 합금을 설계하는 데 있어 중요한 요소는 합금을 구성하는 원소들의 조성 비율이다.
상기 고엔트로피 합금의 조성 비율로, 전형적인 고엔트로피 합금은 최소 다섯 가지 이상의 주요 합금 원소들로 구성하고 있어야 하며, 각각의 합금 구성 원소의 조성 비율은 5 내지 35 at%로 정의되며, 주요 합금 구성 원소 외에 다른 원소를 첨가할 경우, 그 첨가량은 5 at% 미만이어야 하는 것으로 알려져 왔다.
본 발명은 극저온에서 변형 시, 상변태 발생으로 인해 기계적 특성이 우수한 이상을 갖는 변태유기소성 고엔트로피 합금 및 그 제조방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 의한 이상을 갖는 변태유기소성 고엔트로피 합금은 원자%로, V: 3 내지 15%, Cr: 3 내지 15%, Fe: 40 내지 53%, Co: 10 내지 35%를 포함한다.
Ni: 20% 이하(0%를 제외함)를 더 포함할 수 있다.
Fe: 47 내지 53%을 포함할 수 있다.
하기 식 1 및 식 2를 만족할 수 있다.
[식 1]
45 ≤ [Fe]+[Ni] ≤ 55 (단위: 원자%)
[식 2]
4 ≤ [Fe]/[Ni]
(상기 식 1 및 식 2에서, [Fe] 및 [Ni]은 각각 Fe 및 Ni의 원자%를 의미한다.)
30 내지 40 면적%의 BCC 및 잔부 FCC 상을 포함할 수 있다.
25℃에서 인장 변형 후, 95 면적% 이상의 BCC 상을 포함할 수 있다.
인장강도가 730MPa 이상이고, 연신율이 25% 이상일 수 있다.
-196℃에서 인장 변형 후, 95 면적% 이상의 BCC 상을 포함할 수 있다.
인장강도가 1200MPa 이상이고, 연신율이 35% 이상일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의한 이상을 갖는 변태유기소성 고엔트로피 합금 제조방법은 원자%로, V: 3 내지 15%, Cr: 3 내지 15%, Fe: 40 내지 53%, Co: 10 내지 35%를 포함하는 잉곳을 제조하는 단계; 상기 잉곳을 균질화 열처리하는 단계; 상기 열처리한 잉곳을 압연하여 판재를 제조하는 단계; 및 상기 판재를 소둔하는 단계;를 포함한다.
상기 잉곳은, Ni: 20% 이하(0%를 제외함)를 더 포함할 수 있다.
상기 열처리하는 단계에서 열처리 온도는 1000 내지 1200℃일 수 있다.
상기 소둔하는 단계에서 소둔 온도는 800 내지 1000℃일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의한 이상을 갖는 변태유기소성 고엔트로피 합금은 상온 및 극저온에서 강도 및 연신율 등의 기계적 특성이 우수한 효과를 기대할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 이상을 갖는 변태유기소성 고엔트로피 합금의 조성에 있어서, 열역학적으로 Fe 함량의 증가에 따른 BCC 상의 안정성을 나타낸 그래프이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 이상을 갖는 변태유기소성 고엔트로피 합금의 제조 과정을 나타낸 도면이다.
도 3 내지 5는 본 발명의 일 실시예에 의한 이상을 갖는 변태유기소성 고엔트로피 합금의 XRD 분석 결과를 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 의한 이상을 갖는 변태유기소성 고엔트로피 합금의 미세조직 사진을 나타낸 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 의한 이상을 갖는 변태유기소성 고엔트로피 합금의 상온에서 인장 변형 후, Fe 함량이 증가하고, Ni 함량이 감소할수록 인장성질이 변화함을 나타낸 그래프이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 의한 이상을 갖는 변태유기소성 고엔트로피 합금의 극저온에서 인장 변형 후, Fe 함량이 증가하고, Ni 함량이 감소할수록 인장성질이 변화함을 나타낸 그래프이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 의한 이상을 갖는 변태유기소성 고엔트로피 합금과, 종래의 극저온 재료 및 기존의 고엔트로피 합금의 극저온 기계적 물성을 비교한 것이다.
제1, 제2 및 제3 등의 용어들은 다양한 부분, 성분, 영역, 층 및/또는 섹션들을 설명하기 위해 사용되나 이들에 한정되지 않는다. 이들 용어들은 어느 부분, 성분, 영역, 층 또는 섹션을 다른 부분, 성분, 영역, 층 또는 섹션과 구별하기 위해서만 사용된다. 따라서, 이하에서 서술하는 제1 부분, 성분, 영역, 층 또는 섹션은 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 범위 내에서 제2 부분, 성분, 영역, 층 또는 섹션으로 언급될 수 있다.
여기서 사용되는 전문 용어는 단지 특정 실시예를 언급하기 위한 것이며, 본 발명을 한정하는 것을 의도하지 않는다. 여기서 사용되는 단수 형태들은 문구들이 이와 명백히 반대의 의미를 나타내지 않는 한 복수 형태들도 포함한다. 명세서에서 사용되는 “포함하는”의 의미는 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소 및/또는 성분을 구체화하며, 다른 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소 및/또는 성분의 존재나 부가를 제외시키는 것은 아니다.
어느 부분이 다른 부분의 "위에" 또는 "상에" 있다고 언급하는 경우, 이는 바로 다른 부분의 위에 또는 상에 있을 수 있거나 그 사이에 다른 부분이 수반될 수 있다. 대조적으로 어느 부분이 다른 부분의 "바로 위에" 있다고 언급하는 경우, 그 사이에 다른 부분이 개재되지 않는다.
다르게 정의하지는 않았지만, 여기에 사용되는 기술용어 및 과학용어를 포함하는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 일반적으로 이해하는 의미와 동일한 의미를 가진다. 보통 사용되는 사전에 정의된 용어들은 관련기술문헌과 현재 개시된 내용에 부합하는 의미를 가지는 것으로 추가 해석되고, 정의되지 않는 한 이상적이거나 매우 공식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
이상을 갖는 변태유기소성 고엔트로피 합금
본 발명의 일 실시예에 의한 이상을 갖는 변태유기소성 고엔트로피 합금은 원자%로, V: 3 내지 15%, Cr: 3 내지 15%, Fe: 40 내지 53%, Co: 10 내지 35%를 포함한다.
Ni: 20% 이하(0%를 제외함)를 더 포함할 수 있다.
하기에서는 각 성분 원소들의 함량 한정 이유를 살펴본다.
V: 3 내지 15 원자%
바나듐(V)은 3 원자% 미만일 경우, 고용강화 효과가 감소하고, 15 원자%를 초과할 경우, 가격이 증가할 수 있다. 따라서 V은 3 내지 15 원자%로 첨가한다. 구체적으로, 5 내지 10 원자%일 수 있다.
Cr: 3 내지 15 원자%
크롬(Cr)은 3 원자% 미만일 경우, 내식성이 감소하고, 15 원자%를 초과할 경우, 가격이 증가할 수 있다. 따라서 Cr은 3 내지 15 원자%로 첨가한다. 구체적으로, 5 내지 10 원자%일 수 있다.
Fe: 40 내지 53 원자%
철(Fe)은 40 원자% 미만이거나 53 원자%를 초과할 경우, 변태유기소성이 일어나지 않거나 FCC 상이 주가 되는 상을 얻지 못할 수 있다. 따라서 Fe은 40 내지 53 원자%로 첨가한다. 구체적으로, 47 내지 53 원자%일 수 있다. 보다 구체적으로, 48 내지 52 원자%일 수 있다.
Co: 10 내지 35 원자%
코발트(Co)는 10 원자% 미만이거나 35 원자%를 초과할 경우, 변태유기소성이 일어나지 않거나 FCC 상이 주가 되는 상을 얻지 못할 수 있다. 따라서 Co는 10 내지 35 원자%로 첨가한다. 구체적으로, 15 내지 30 원자%일 수 있다.
Ni: 20 원자% 이하
니켈(Ni)은 20 원자%를 초과할 경우, 변태유기소성이 일어나지 않을 수 있다. 따라서 Ni은 20 원자% 이하로 첨가한다. 구체적으로, 10 원자% 이하일 수 있다. 보다 구체적으로, 5 원자% 이하일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의한 이상을 갖는 변태유기소성 고엔트로피 합금은 하기 식 1 및 식 2를 만족할 수 있다.
[식 1] 45 ≤ [Fe]+[Ni] ≤ 55 (단위: 원자%)
[식 2] 4 ≤ [Fe]/[Ni]
(상기 식 1 및 식 2에서, [Fe] 및 [Ni]은 각각 Fe 및 Ni의 원자%를 의미한다.)
본 발명의 일 실시예에 의한 이상을 갖는 변태유기소성 고엔트로피 합금에서 Ni의 함량과 Fe의 함량의 합이 일정 함량을 만족하는 상황에서 Ni의 함량에 대한 Fe의 함량의 비를 제어할 수 있다.
식 2에 따라 Ni의 함량이 줄어들고, Fe의 함량이 증가할수록 Fe가 Ni을 대체하는 것이 되어 Ni의 함량에 대한 Fe의 함량의 비 값이 증가할 수 있다.
이를 테면, Ni의 함량과 Fe의 함량의 합이 50 원자%인 상황에서 Fe의 함량이 40 원자%이고, Ni의 함량이 10 원자%일 경우, Ni의 함량에 대한 Fe의 함량의 비 값은 4가 되어 식 2를 만족할 수 있다. 구체적으로, Ni의 함량에 대한 Fe의 함량의 비 값은 9 이상일 수 있다. 보다 구체적으로, Ni의 함량에 대한 Fe의 함량의 비 값은 15 이상일 수 있다.
상기의 식 1과 식 2를 동시에 만족할 경우, BCC 상의 안정성이 증가하게 되어 초기 조직에서 면적 분율로, 30 내지 40%인 BCC 상이 상온(25℃) 및 극저온(-196℃)에서 인장 변형이 일어날 경우, BCC 상이 면적 분율로, 95% 이상 차지하게 될 수 있다. 구체적으로, 98% 이상 차지할 수 있다. 보다 구체적으로, 99% 이상 차지할 수 있다.
도 1과 같이, 열역학적으로도, Fe의 함량이 증가할수록 G(BCC)-G(FCC) 값이 감소하여 BCC 상의 안정성이 증가함을 알 수 있다.
이에 따라 25℃에서 인장 변형 후, 인장강도가 730MPa 이상이고, 연신율이 25% 이상일 수 있고, -196℃에서 인장 변형 후, 인장강도가 1200MPa 이상이고, 연신율이 35% 이상일 수 있다.
Fe가 Ni을 대체하여 Ni의 함량에 대한 Fe의 함량의 비 값이 증가할수록 열역학 계산에 따른 G(BCC)-G(FCC) 값이 감소하여 BCC 상의 안정성이 증가하며 그에 따라 변형 중 FCC 상이 BCC 상으로의 변태하는 현상이 활발해진다. FCC상이 BCC상으로 변화하는 과정이 강화기구로 작용하여 상온(25℃) 및 극저온(-196℃)에서 인장 변형 이후, 인장강도가 증가할 수 있다.
이상을 갖는 변태유기소성 고엔트로피 합금 제조방법
본 발명의 일 실시예에 의한 이상을 갖는 변태유기소성 고엔트로피 합금 제조방법은 도 2와 같이, 원자%로, V: 3 내지 15%, Cr: 3 내지 15%, Fe: 40 내지 53%, Co: 10 내지 35%를 포함하는 잉곳을 제조하는 단계, 잉곳을 균질화 열처리하는 단계, 열처리한 잉곳을 압연하여 판재를 제조하는 단계 및 판재를 소둔하는 단계를 포함한다.
잉곳은 Ni: 20% 이하를 더 포함할 수 있다.
잉곳을 구성하는 각 성분의 함량 한정 이유는 상기한 고엔트로피 합금에 대한 설명과 중복되므로 생략한다.
먼저, 잉곳을 제조하는 단계에서는 각 성분 원소를 칭량하여 도가니에 장입한 후, 진공유도용해 장비를 통해 합금화를 진행 한 뒤 주형을 사용하여 잉곳을 주조한다.
다음으로, 열처리하는 단계에서는 잉곳의 미세조직이 균질화되도록 열처리한다. 이 때, 열처리 온도는 1000 내지 1200℃일 수 있다. 열처리 온도가 1000℃ 미만일 경우, 미세조직의 균질화 효과가 충분하지 않을 수 있다. 반면, 1200℃를 초과할 경우, 열처리 비용이 과다해질 수 있다.
또한, 열처리 시간은 2 내지 10시간일 수 있다. 열처리 시간이 2시간 미만일 경우, 마찬가지로 미세조직의 균질화 효과가 충분하지 않을 수 있다. 반면, 10시간을 초과할 경우, 열처리 비용이 과다해질 수 있다.
열처리 이후, 도 1과 같이, 열처리한 잉곳을 냉각시킬 수 있다. 냉각 방법 및 냉각 속도는 특별히 제한하지 않는다. 냉각 이후, 연마를 통해 잉곳 표면의 산화물을 제거할 수 있다.
다음으로, 판재를 제조하는 단계에서는 열처리한 잉곳을 압연한다. 60% 이상의 압하율로 냉간 압연할 수 있다.
다음으로, 소둔하는 단계에서는 판재를 소둔하여 미세조직을 제어한다. 이때, 소둔 온도는 800 내지 1000℃일 수 있다. 소둔 온도가 800℃ 미만일 경우, 완전 재결정을 달성하기 어려울 수 있으며 FCC 단상 영역까지 도달하기 어려울 수 있다. 반면, 1000℃을 초과할 경우, 결정립의 조대화가 심해지고, 열처리 비용이 과다해질 수 있다.
또한, 소둔 시간은 3 내지 60분일 수 있다. 소둔 시간이 3분 미만일 경우, 마찬가지로 완전 재결정을 달성하기 어려울 수 있다. 반면, 60분을 초과할 경우, 결정립의 조대화가 심해지고, 열처리 비용이 과다해질 수 있다.
소둔 이후, 도 2와 같이, 판재를 냉각시킬 수 있다. 냉각 방법 및 냉각 속도는 특별히 제한하지 않는다.
이하 본 발명의 구체적인 실시예를 기재한다. 그러나 하기 실시예는 본 발명의 구체적인 일 실시예일뿐 본 발명이 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다.
실시예
[ 고엔트로피 합금의 제조]
먼저, 순도 99.9% 이상의 V, Cr, Fe, Co, Ni 원료 금속을 준비하였다. 이와 같이 준비한 원료 금속을 하기 표 1과 같은 혼합 비율이 되도록 칭량하였다.
구분 원료 혼합 비율(원자%) 식 1 식 2
V Cr Fe Co Ni [Fe]+[Ni] [Fe]/[Ni]
실시예 1 10 10 40 30 10 50 4
실시예 2 10 10 45 30 5 50 9
실시예 3 10 10 50 30 0 50 -
상기의 표 1과 같은 비율로 준비된 원료 금속을 도가니에 장입한 후, 진공유도용해 장비를 사용하여 용해하고, 주형을 사용하여 두께 8mm, 폭 35mm, 길이 100mm의 직육면체 형상의 합금 잉곳(ingot)을 주조하였다.
주조된 두께 8mm의 잉곳을, 도 2에 도시된 바와 같이, 1100℃의 온도에서 6시간 동안 균질화 열처리를 실시한 후, 수냉(quenching)하였다.
균질화된 합금의 표면에 생성된 산화물을 제거하기 위하여, 표면 연마(grinding)을 하였으며, 연마된 잉곳의 두께는 7mm가 되었고, 두께 7mm에서 1.5mmm까지 냉간 압연을 진행하였다.
또한, 냉간 압연 각 합금 판재에 대해서는 900℃에서 10분간 가열하여 FCC 상이 유지되도록 소둔 한 후, 수냉(quenching)하였다.
[ XRD 및 미세조직 분석 결과]
도 3 내지 5는 전술한 공정을 통해 제조한 실시예 1 내지 실시예 3에 따른 합금의 상온에서의 XRD 측정 결과를 나타낸 것이다.
XRD 측정은 시편의 연마 시의 변형으로 인한 상변태를 최소화하기 위하여 사포 600번, 800번, 1200번, 2000번 순서로 연마 후, 8% 과염소산(Perchloric acid)에서 전해 에칭을 수행한 후 진행하였다.
도 6은 전술한 공정을 통해 제조한 실시예 1에 따른 합금의 상온에서의 미세조직 분석 결과를 나타낸 것이다.
도 3 내지 도 6을 통해 확인할 수 있는 바와 같이, 초기 조직에서 면적 분율로, 약 35%의 BCC 상과 약 65%의 FCC 상이 관찰되었으나, 상온(25℃) 및 극저온(-196℃)에서 각각 인장 변형 이후, 대부분의 FCC 상이 BCC 상으로 변태된 것을 확인할 수 있다.
또한, 도 6 오른쪽의 상온 및 극저온 인장 실험 진행 후의 파면을 나타낸 SEM 사진과 같이, 초기 조직이 약 35%의 BCC 상을 포함함에도 상온 및 극저온에서 각각 인장 변형 이후, Cleavage 현상이 없었음을 확인할 수 있다.
[인장시험 결과]
도 7 및 도 8과 아래 표 2는 본 발명의 실시예 1 내지 실시예 3의 상온(25℃) 및 극저온(-196℃)에서의 인장시험 결과를 나타낸 것이다. 현재 극저온에서는 신율계를 달 수가 없어 인장측정장비에서 얻은 displacement data로 연신율을 구해서 correction factor 0.8을 곱하였다.
구분 상온(25℃) 극저온(-196℃)
항복강도
(MPa)		 인장강도
(MPa)		 연신율
(%)		 항복강도
(MPa)		 인장강도
(MPa)		 연신율
(%)
실시예1 470 785 44.1 706 1256 64.4
실시예2 459 793 49.4 740 1358 71.2
실시예3 404 1026 29.3 515 1992 39.5
상기 표 2와 같이, 실시예 1 내지 실시예 3의 경우, 상온(25℃)에서 항복강도가 350MPa 이상이었고, 인장강도는 730MPa 이상이었으며, 연신율은 25% 이상이었다. 상온에서 인장 변형 후, 높은 강도와 양호한 연신율을 나타내었다.
한편, 극저온(-196℃)에서 항복강도가 460MPa 이상이었고, 인장강도가 1200MPa 이상이었으며, 연신율은 35% 이상이었다. 마찬가지로 극저온에서 인장 변형 후, 높은 강도와 양호한 연신율을 나타내었다.
[Fe의 Ni 대체 효과]
도 7 및 도 8 및 상기 표 1과, 표 2에서의 실시예 1 및 실시예 3을 참고할 때, Fe가 Ni을 대체할 경우의 효과를 비교할 수 있다.
Fe가 Ni을 대체하여 Fe의 함량이 증가하고, Ni의 함량이 감소할수록 상온 및 극저온에서 인장강도가 각각 1026MPa와 1992MPa로 증가하여 매우 높은 인장강도를 나타냄을 확인할 수 있다. 반면, 상온과 극저온에서 연신율은 다소간 하락하였다.
이는 Fe가 Ni을 대체하여 Ni의 함량에 대한 Fe의 함량의 비 값이 증가할수록 열역학 계산에 따른 G(BCC)-G(FCC) 값이 감소하여 BCC 상의 안정성이 증가하게 되기 때문이다.
본 발명은 상기 구현예 및/또는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 제조될 수 있으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 구현예 및/또는 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.

Claims (13)

  1. 원자%로, V: 3 내지 15%, Cr: 3 내지 15%, Fe: 40 내지 53%, Co: 10 내지 35% 및 Ni: 20% 이하(0%를 제외함)를 포함하고,
    하기 식 1 및 식 2를 만족하는 이상을 갖는 변태유기소성 고엔트로피 합금.
    [식 1]
    45 ≤ [Fe]+[Ni] ≤ 55 (단위: 원자%)
    [식 2]
    4 ≤ [Fe]/[Ni]
    (상기 식 1 및 식 2에서, [Fe] 및 [Ni]은 각각 Fe 및 Ni의 원자%를 의미한다.)
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    Fe: 47 내지 53%을 포함하는 이상을 갖는 변태유기소성 고엔트로피 합금.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    30 내지 40 면적%의 BCC 및 잔부 FCC 상을 포함하는 이상을 갖는 변태유기소성 고엔트로피 합금.
  6. 제1항에 있어서,
    25℃에서 인장 변형 후, 95 면적% 이상의 BCC 상을 포함하는 이상을 갖는 변태유기소성 고엔트로피 합금.
  7. 제6항에 있어서,
    인장강도가 730MPa 이상이고, 연신율이 25% 이상인 이상을 갖는 변태유기소성 고엔트로피 합금.
  8. 제1항에 있어서,
    -196℃에서 인장 변형 후, 95 면적% 이상의 BCC 상을 포함하는 이상을 갖는 변태유기소성 고엔트로피 합금.
  9. 제8항에 있어서,
    인장강도가 1200MPa 이상이고, 연신율이 35% 이상인 이상을 갖는 변태유기소성 고엔트로피 합금.
  10. 원자%로, V: 3 내지 15%, Cr: 3 내지 15%, Fe: 40 내지 53%, Co: 10 내지 35% 및 Ni: 20% 이하(0%를 제외함)를 포함하고, 하기 식 1 및 식 2를 만족하는 잉곳을 제조하는 단계;
    상기 잉곳을 균질화 열처리하는 단계;
    상기 열처리한 잉곳을 압연하여 판재를 제조하는 단계; 및
    상기 판재를 소둔하는 단계;를 포함하는 이상을 갖는 변태유기소성 고엔트로피 합금 제조방법.
    [식 1]
    45 ≤ [Fe]+[Ni] ≤ 55 (단위: 원자%)
    [식 2]
    4 ≤ [Fe]/[Ni]
    (상기 식 1 및 식 2에서, [Fe] 및 [Ni]은 각각 Fe 및 Ni의 원자%를 의미한다.)
  11. 삭제
  12. 제10항에 있어서,
    상기 열처리하는 단계에서 열처리 온도는 1000 내지 1200℃인 이상을 갖는 변태유기소성 고엔트로피 합금 제조방법.
  13. 제10항에 있어서,
    상기 소둔하는 단계에서 소둔 온도는 800 내지 1000℃인 이상을 갖는 변태유기소성 고엔트로피 합금 제조방법.
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