KR101913943B1 - Fe-Co-Ni-Cr계 중엔트로피 합금과 이의 제조방법 - Google Patents

Fe-Co-Ni-Cr계 중엔트로피 합금과 이의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 면심입방격자 구조를 갖는 Fe-Co-Ni-Cr계 합금의 조성 영역을 설정하고, 해당 조성 영역 안의 합금 조성비를 선정하여 상온에서 면심입방격자 구조를 갖도록 한 Fe-Co-Ni-Cr 계 중엔트로피 합금에 관한 것이다.
본 발명에 따른 합금은 크롬(Cr) 4 ~ 12원자%, 철(Fe) 38 ~ 52원자%, 코발트(Co) 18 ~ 28원자%, 니켈(Ni) 18 ~ 28원자%와, 나머지 불가피한 불순물을 포함하고, 상기 중엔트로피 합금은 상온에서 면심입방격자의 단상 조직을 갖는다.

Description

Fe-Co-Ni-Cr계 중엔트로피 합금과 이의 제조방법 {Medium entropy alloy based iron, cobalt, nickel and chromium and manufacturing method for the same}
본 발명은 면심입방격자(Face Centered Cubic, FCC) 구조를 갖는 중엔트로피 합금에 관한 것으로, 전산모사기법 중 하나인 열역학 계산법을 사용하여 면심입방격자 구조를 갖는 Fe-Co-Ni-Cr계 합금의 조성 영역을 설정하고, 해당 조성 영역 안의 합금 조성비를 선정과 열처리를 통해 상온에서 면심입방격자 구조를 갖도록 한 Fe-Co-Ni-Cr계 중엔트로피 합금에 관한 것이다.
고엔트로피(High entropy alloys, HEAs) 합금은 철강, 알루미늄 합금, 타이타늄 합금 등과 같이 합금을 구성하는 주 원소 없이 다섯 가지 이상의 구성 원소를 비슷한 비율로 합금화하여 얻어지는 다원소 합금으로서, 합금 내의 혼합엔트로피가 높아 금속간 화합물, 혹은 중간상이 형성되지 않고 면심입방격자 또는 체심입방격자(Body centered cubic, BCC)와 같은 단상(single phase) 조직을 갖는 금속 소재이다.
고엔트로피 합금은 Brian Cantor 및 Jien-Wei Yeh 교수 연구진의 논문을 통해 최초로 학계에 소개되었으며 (선행기술문헌 1, 2), 최근까지 다양한 조성을 갖는 여러 엔트로피 합금의 설계 및 제조와 관련된 연구가 진행되고 있다.
고엔트로피 합금에서 여러 가지의 합금 원소들이 함유되어 있음에도 불구하고 단상의 원자 배열 구조가 나타나는 이유는 명확하지 않지만 이러한 구조에서 나타나는 우수한 화학적, 기계적 특성이 보고되고 있고, 선행기술문헌 1, 2 에서 소개된 면심입방격자 구조를 갖는 단상 Co-Cr-Fe-Mn-Ni계 고엔트로피 합금은 저온에서 나노 단위의 쌍정(twin)이 발현하여 높은 항복 및 인장강도를 가지며 지금까지 보고된 재료와 비교를 했을 때 가장 높은 인성을 가진 것으로 보고되었다.
또한, 면심입방격자 구조를 가지는 고엔트로피 합금은 체심입방격자 구조에서 나타나는 연성-취성 천이온도(ductile-brittle transition temperature) 없이 극저온에서도 파괴인성이 뛰어날 뿐만 아니라 내식성이 우수하고 고강도, 고연성의 우수한 기계적 물성을 지니고 있어 극저온 재료로서 개발이 촉진되고 있다.
이러한 고엔트로피 합금을 설계하는 데 있어 중요한 두 가지 요소는 합금을 구성하는 원소들의 조성 비율과 합금계의 구성 엔트로피이다.
그 중 첫 번째는 고엔트로피 합금의 조성 비율로, 고엔트로피 합금은 최소 다섯 가지 이상의 원소들로 합금을 구성하고 있어야 하며, 또한 각각의 합금 구성 원소의 조성 비율은 5 ~ 35원자% 범위이어야 한다. 또한, 고엔트로피 합금의 제조 시 합금의 주요 구성 원소 외에 다른 원소를 첨가할 경우 그 첨가량은 5원자% 이하여야 한다.
이와 같은 관계를 정리하면 아래 [식 1]과 같다.
[식 1]
Figure 112017050367979-pat00001
(여기서, nmajor는 합금 구성 원소의 개수, nminor는 합금 구성 원소 외 고엔트로피 주조 시 함유될 수 있는 기타 원소의 개수, Xmajor, Xminor는 합금 구성 원소 및 기타 원소의 조성 비율을 원자%로 나타낸 것이다)
두 번째로는 아래 [식 2]로 구해지는 합금계의 구성 엔트로피가 1.5R(R은 기체 상수 8.314J/K/mol) 이상이어야 하는 것이다.
[식 2]
Figure 112017050367979-pat00002
(여기서, △Sconf는 합금계의 구성 엔트로피, R은 기체 상수, n은 합금 구성 원소의 개수, Xi는 i번째 합금 구성 원소의 몰분율을 의미한다)
이러한 두 가지 요소들 중 한 가지 이상을 만족하는 합금계를 고엔트로피 합금으로 정의하며, 특히 합금계의 구성 엔트로피의 계산 값에 따라 중엔트로피 합금(Medium entropy alloys, MEAs), 저엔트로피 합금(Low entropy alloys, LEAs)으로 정의하며, 그 기준은 아래 [식 3]과 같다.
[식 3]
Figure 112017050367979-pat00003
중엔트로피 합금과 저엔트로피 합금은 합금 조성 비율로 인한 혼합 엔트로피의 효과가 고엔트로피 합금보다 약할 뿐 구성 원소들을 다양하게 섞음으로써 형성되는 혼합 엔트로피의 효과는 동일하지만 그 정도가 떨어지게 나타내게 된다.
그런데 위 기준에 맞춰 고엔트로피 합금을 제조하게 된다면 합금 구성 원소들이 주된 합금 원소 없이 5 ~ 35원자%의 조성 비율로 골고루 첨가되며, 코발트(Co), 니켈(Ni), 크롬(Cr), 망간(Mn) 등과 같이 철(Fe)에 비해 굉장히 비싼 합금원소를 다량 첨가해야 하기 때문에 고엔트로피 합금의 제조 비용이 상승하게 된다.
이러한 고엔트로피 합금의 높은 제조 비용은 뛰어난 기계적 성질에도 불구하고 실제 고엔트로피 합금을 산업에 적용하는 데 있어 큰 어려움을 야기한다.
Cantor, Brian, et al. "Microstructural development in equiatomic multicomponent alloys." Materials Science and Engineering: A 375 (2004): 213-218. Yeh, J-W., et al. "Nanostructured high-entropy alloys with multiple principal elements: novel alloy design concepts and outcomes." Advanced Engineering Materials 6.5 (2004): 299-303.
철(Fe)에 비해 고가인 코발트(Co), 니켈(Ni), 망간(Mn), 크롬(Cr) 등의 합금 원소를 다량 포함하여 구현되는 종래의 고엔트로피 합금의 문제점인 높은 생산비용을 낮추면서 동시에 상온에서 면십입방격자 구조를 유지할 수 있어 고엔트로피 합금과 유사한 물성을 구현할 수 있는 중엔트로피 합금과 이의 제조방법을 제조하는 것을 해결하고자 하는 과제로 한다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 측면은, 크롬(Cr) 4 ~ 12원자%, 철(Fe) 38 ~ 52원자%, 코발트(Co) 18 ~ 28원자%, 니켈(Ni) 18 ~ 28원자%와, 나머지 불가피한 불순물을 포함하고, 상기 중엔트로피 합금은 상온에서 면심입방격자의 단상 조직을 갖는 중엔트로피 합금을 제공하는 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 다른 측면은, 크롬(Cr) 4 ~ 12원자%, 철(Fe) 38 ~ 52원자%, 코발트(Co) 18 ~ 28원자%, 니켈(Ni) 18 ~ 28원자%와, 나머지 불가피한 불순물을 포함하는 중엔트로피 합금을 단상 온도 영역인 750 ~ 1450℃에서 6시간 이상의 열처리를 하여 면심입방격자의 단상 조직을 만드는 단계와, 상온에서 면심입방격자 구조를 갖도록 소입(quenching) 처리를 하는 단계를 포함하는 중엔트로피 합금의 제조방법을 제공하는 것이다.
본 발명에 의하면, 종래의 5개 이상의 주 합금원소를 포함하는 고엔트로피 합금에 비해 합금원소를 줄인 Fe-Co-Ni-Cr계로 구성하고, 상대적으로 고가의 합금원소 비율을 낮춤으로써 합금의 생단 단가를 고엔트로피 합금에 비해 낮출 수 있다.
또한, 본 발명에 의한 합금은, 열처리를 통해 상온에서 면심입방격자 구조를 가질 수 있도록 함으로써, 종래의 Co-Cr-Fe-Mn-Ni계 합금과 비교하여 비슷한 수준의 기계적 성질을 얻을 수 있다.
도 1은 열역학 계산법을 사용하여 (CoNi)xFe95 - xCr5 조성을 갖는 합금의 온도 및 철의 몰분율에 따른 평형상의 변화를 나타낸다.
도 2는 열역학 계산법을 사용하여 (CoNi)xFe90 - xCr10 조성을 갖는 합금의 온도 및 철의 몰분율에 따른 평형상의 변화를 나타낸다.
도 3은 진공 씰링 처리된 초기 주조 인곳(ingot)의 형상이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따라 제조된 합금의 에너지 분산형 X선 분광기 시험결과이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따라 제조된 합금의 X-선 회절분석 결과이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 제조된 합금의 경도 시험 결과이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 제조된 합금을 냉간압연 후 촬영한 형상이다.
이하에서는, 본 발명의 바람직한 실시예에 기초하여 본 발명을 보다 구체적으로 설명한다. 그러나 하기 실시예는 본 발명의 이해를 돕기 위한 일 예에 불과한 것으로 이에 의해 본 발명의 권리범위가 축소되거나 한정되는 것은 아니다.
본 발명자들은 기존의 고엔트로피 합금에 비해 적은 개수의 합금 구성 원소를 이용하여 생산단가를 낮추면서도 고엔트로피 합금과 유사한 기계적 특성을 구현할 수 있는 합금을 제조하기 위하여 연구한 결과, 중엔트로피로 분류될 수 있는 조성을 갖도록 합금설계를 함과 동시에 열처리를 통해 상온에서 면심입방격자 구조를 가지도록 할 경우, 면심입방격자 구조를 갖는 고엔트로피 합금과 유사한 기계적 특성을 구현할 수 있음을 알아내고 본 발명에 이르게 되었다.
구체적으로 합금 구성 원소들을 선정함에 있어서, 망간(Mn)의 경우 주조할 때 기화 등으로 인해 용탕에 원하는 조성으로 용해시키는 것이 어렵다는 점을 감안하여 제외하였고, 체심입방격자(BCC) 구조를 유도하는 크롬(Cr)의 조성 비율을 낮게 하였고, 망간(Mn)을 첨가하지 않고 크롬(Cr)을 줄인 대신에 저가의 철(Fe)의 함량을 증가시켜 생산단가를 낮추고자 하였다.
본 발명에 따른 중엔트로피 합금의 조성은, 크롬(Cr) 4 ~ 12원자%, 철(Fe) 38 ~ 52원자%, 코발트(Co) 18 ~ 28원자%, 니켈(Ni) 18 ~ 28원자%와, 나머지 불가피한 불순물을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 크롬(Cr)의 함량이 4원자% 미만일 경우 서로 다른 합금 원소들을 섞어 격자 비틀림 및 칵테일 효과 등을 통해 물성이 강화되는 엔트로피 합금의 메커니즘을 발현하기 부족하고, 12원자% 초과일 경우 체심입방격자(BCC) 구조가 형성되기 때문에, 4 ~ 12원자%가 되도록 하는 것이 바람직하며, 5 ~ 10원자%인 것이 보다 바람직하다.
상기 철(Fe)의 함량이 38원자% 미만일 경우 생산되는 합금의 생산 단가가 다른 합금 원소 분율의 증가로 인해 상승하게 되고, 52원자% 초과일 경우 너무 높은 철(Fe)의 함량으로 인해 구성 엔트로피가 감소하여 중 엔트로피 합금을 제작하는데 어려움이 있으므로, 38 ~ 52원자%가 되도록 하는 것이 바람직하며, 40 ~ 50원자%인 것이 보다 바람직하다.
상기 코발트(Co)의 함량이 18원자% 미만일 경우 상기 이유로 정해진 크롬(Cr) 및 철(Fe)의 함량이 증가하게 되어 중 엔트로피 합금을 제작하는데 문제가 발생하게 되고, 28원자% 초과일 경우 생산 단가의 증가를 야기할 수 있으므로, 18 ~ 28원자%가 되도록 하는 것이 바람직하며, 20 ~ 27.5원자%인 것이 보다 바람직하다.
마찬가지로, 상기 니켈(Ni)의 함량이 18원자% 미만일 경우 상기한 이유로 정해진 크롬(Cr) 및 철(Fe)의 함량이 증가하게 되어 중 엔트로피 합금을 제작하는데 문제가 발생하게 되고, 28원자% 초과일 경우 생산 단가의 증가를 야기할 수 있으므로, 18 ~ 28원자%가 되도록 하는 것이 바람직하며, 20 ~ 27.5원자%인 것이 보다 바람직하다.
또한, 상기 코발트(Co)와 니켈(Ni)의 조성은, 실질적으로 동일한 비율, 즉 1:1을 유지하는 것이 생산 단가 및 미세조직 구현을 위한 철(Fe), 크롬(Cr)의 분율을 제외하고 합금 원소를 비슷한 분율로 섞어 엔트로피 합금의 효과를 발현하는 데 있어 바람직하다.
본 발명에 따른 중엔트로피 합금의 제조방법은, 크롬(Cr) 4 ~ 12원자%, 철(Fe) 38 ~ 52원자%, 코발트(Co) 18 ~ 28원자%, 니켈(Ni) 18 ~ 28원자%와, 나머지 불가피한 불순물을 포함하는 중엔트로피 합금을 단상 온도 영역인 750 ~ 1450℃에서 6시간 이상의 열처리를 하여 면심입방격자의 단상 조직을 만드는 단계와, 상온에서 면심입방격자 구조를 갖도록 소입(quenching) 처리를 하는 단계를 포함한다.
상기 열처리 온도는 750℃ 미만일 경우 면심입방격자와 체심입방격자의 혼합조직이 형성되고, 1450℃ 초과일 경우 합금이 용융될 수 있기 때문에 750 ~ 1450℃가 바람직하다.
상기 열처리 시간은 6시간 미만일 경우 면심입방격자 단상 조직을 만드는데 충분하지 않을 수 있으므로, 6시간 이상이 바람직하고, 24시간 초과할 경우 에너지 비용이 과다하게 소요되므로, 24시간 이하인 것이 바람직하다.
또한, 상기 소입 처리된 중엔트로피 합금을 냉간 압연하는 단계와, 상기 냉간 압연 후, 단상 온도 영역인 750 ~ 1450℃에서 6시간 이상의 열처리를 하여 면심입방격자의 단상 조직을 만드는 단계와, 상온에서 면심입방격자 구조를 갖도록 다시 소입(quenching) 처리를 하는 단계를 포함할 수 있다.
[실시예]
이하에서는 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 설명한다.
도 1은 (CoNi)xFe95 - xCr5 조성을 갖는 합금에 있어서, 온도와 철(Fe)의 몰분율에 따른 평형상의 변화를 나타낸 것이다.
도 1에 나타난 바와 같이, 5원자%의 크롬(Cr) 조성 비율은 고정되어 있는 상태에서, 철(Fe)의 몰분율이 0.4 ~ 0.8까지 변화함에 따라 어느 정도의 차이는 존재하지만 약 750 ~ 1450℃ 사이에서 면심입방격자 구조의 단상이 유지되는 것을 확인할 수 있으며, 그 이상의 온도 영역에서는 액체 상태, 그 이하의 온도 영역에서는 면심입방격자 구조와 체심입방격자 구조가 혼재되어 있는 복합상이 평형상을 이룬다.
도 2는 도 1의 조성에서 크롬(Cr)의 조성 비율이 5원자% 증가한 (CoNi)xFe90 -xCr10 조성을 갖는 합금에 있어서, 온도 및 철의 몰분율에 따른 평형상의 변화를 나타낸 것이다.
도 1과 동일하게, 철(Fe)의 몰분율이 0.4 ~ 0.8까지 변화함에 따라 약 750 ~ 1450℃ 범위에서 면심입방격자 구조의 단상이 유지되며, 그 이상의 온도 영역에서는 액체 상태, 그 이하의 온도 영역에서는 면심입방격자 구조와 체심입방격자 구조가 혼재되어 있는 복합상이 평형상을 이룬다.
도 1과 도 2의 결과로부터, 5 ~ 10원자%의 크롬(Cr)을 포함할 때 철(Fe)의 함량이 비약적으로 증가함에도 불구하고 750 ~ 1450℃에서 면심입방격자 구조를 갖는 것을 확인할 수 있다.
열역학 계산법에 따른 예측되는 합금의 상과 실제 제조 시 형성되는 상이 다를 수 있기 때문에 열역학 계산법과 구성 엔트로피 계산 값에 따라 초기 네 가지의 합금 조성 비율을 선정하고 제조 및 분석을 진행하였다.
아래 표 1은 선정된 4가지 합금 조성을 나타낸 것이다.
조성 (원자%) △Sconf
Fe Co Ni Cr
1 40 27.5 27.5 5 1.23R
2 50 22.5 22.5 5 1.17R
3 40 25 25 10 1.29R
4 50 20 20 10 1.22R
표 1에서 확인되는 바와 같이, 5 ~ 10원자%의 크롬(Cr), 40 ~ 50원자%의 철(Fe), 20 ~ 27.5원자%의 코발트(Co)와 니켈(Ni)을 함유하고 750 ~ 1450℃ 온도 구간에서 면심입방격자 구조 및 불가피한 불순물이 예측되는 중엔트로피 합금의 조성 비율을 도출하였다.
상기 4가지 합금 조성의 구성 엔트로피 값은 1.17 ~ 1.29R이고, 합금 구성 원소가 네 가지이기 때문에 제조될 합금은 중엔트로피 합금이라고 할 수 있다.
표 1의 조성을 활용하여 순도 99.9% 이상의 철(Fe), 코발트(Co), 니켈(Ni), 크롬(Cr)을 각 조성 비율에 맞춰 준비한 후, 가열로를 사용하여 1500℃ 이상에서 합금을 용해하여 초기 주조 인곳(ingot)을 제조하였다.
이어서, 상기 인곳을 단상의 면심입방격자 구조 온도 영역(750 ~ 1450℃)이 되도록, 진공상태로 씰링(도 3은 진공상태로 실링한 초기 주조 인곳의 형상의 이미지임)하여 열처리 시 발생하는 산화를 방지할 수 있도록 조치한 후 1100℃에서 6시간 동안 열처리를 진행하고, 수냉(water quenching) 처리를 하여 단상의 면심입장격자 구조가 상온에서 유지되도록 하였다.
이상과 같은 과정을 통해 제조된 중엔트로피 합금을 에너지 분산형 X선 분광기(EDS), X-선 회절 장비(XRD), 경도 시험기를 통해 분석하였다. EDS 및 XRD, 경도 시험을 위한 중엔트로피 합금의 표면은 사포 및 연마액을 통해 표면을 두께 1㎛ 정도 연마하였다.
도 4는 EDS 시험 결과를 나타낸 것이고, 아래 표 2는 EDS로 측정한 합금의 조성을 나타낸 것으로, 설계 조성과 대비할 때 약 1원자% 정도의 차이가 존재하는 것으로 확인되었다.
Fe(원자%) Co(원자%) Ni(원자%) Cr(원자%)
설계 조성비 40 27.5 27.5 5
측정 조성비 41.32(+1.32) 27.05(-0.45) 26.24(-1.26) 5.40(+0.4)
설계 조성비 50 22.5 22.5 5
측정 조성비 50.98(+0.98) 22.39(-0.11) 21.03(-1.47) 5.60(+0.6)
설계 조성비 40 25 25 10
측정 조성비 41.19(+1.19) 24.82(-0.18) 23.09(-1.91) 10.91(+0.91)
설계 조성비 50 20 20 10
측정 조성비 50.87(+0.87) 19.65(-0.35) 18.65(-1.35) 10.83(+0.83)
도 5는 XRD 시험 결과를 나타낸다. 제조한 네 가지 합금 모두 동일한 회절 패턴을 갖고 있음을 확인할 수 있으며, 분석 결과 모두 면심입방격자 구조의 단상을 갖고 있음이 확인되었다.
즉, 본 발명의 실시예에 따라 제조된 합금 모두 면심입방격자 구조를 갖고 있으므로, 체심입방격자 구조를 갖는 금속 소재들과는 달리 연성-취성 천이가 발생하지 않아 저온에서의 기계적 성질이 안정적이고, 우수할 것으로 예측된다.
도 6은 제조한 네 가지 합금에 대한 경도시험 결과이다. 측정한 경도 값은 네 가지 합금 모두 평균 120 ~ 130Hv 정도이며, 이는 대표적인 고엔트로피 합금인 단상 Co-Cr-Fe-Mn-Ni계 합금(Co, Cr, Fe, Mn, Ni 원소당 20원자%)을 동일한 조건으로 열처리하였을 때의 경도 값인 평균 148Hv 정도와 비교하였을 때 크게 떨어지지 않는 것이다.
경도 차이가 크진 않지만 이러한 차이가 발생한 이유는 본 특허에서 제작한 엔트로피 합금이 중엔트로피 합금이기 때문에 합금 구성 원소의 종류 및 분율에 따른 혼합 엔트로피의 효과가 고엔트로피 합금보다는 낮기 때문에 차이가 발생한 것으로 보인다.
본 발명의 실시예에 따른 합금의 기계적 성질은, 후속 가공 및 열처리를 통해 보다 향상될 수 있으므로, 고엔트로피 합금과 유사한 수준으로 물성을 맞출 수 있을 것이다.
도 7은 제조한 네 가지 합금을 압하율 75%로 냉간압연한 시편의 형상으로, 도 7에 나타난 바와 같이 특별한 결함 없이 냉간 압연이 가능한 것을 확인할 수 있으며 냉간압연 공정 조건을 최적화함으로써 더욱 좋은 형상과 물성을 갖는 냉간압연재를 생산하여 실제 산업 등에 적용할 수 있을 것이다.

Claims (5)

  1. 크롬(Cr) 4 ~ 12원자%, 철(Fe) 38 ~ 52원자%, 코발트(Co) 18 ~ 28원자%, 니켈(Ni) 18 ~ 28원자%와, 나머지 불가피한 불순물을 포함하고,
    상온에서 면심입방격자의 단상 조직을 갖는, 중엔트로피 합금.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 중엔트로피 합금은 상기 조성의 합금을 주조한 후 면심입방격자의 단상 영역으로 가열된 후, 면심입방격자가 유지되도록 소입처리된, 중엔트로피 합금.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 코발트(Co)와 니켈(Ni)는 실질적으로 동일한 비율로 포함되는, 중엔트로피 합금.
  4. 크롬(Cr) 4 ~ 12원자%, 철(Fe) 38 ~ 52원자%, 코발트(Co) 18 ~ 28원자%, 니켈(Ni) 18 ~ 28원자%와, 나머지 불가피한 불순물을 포함하는 중엔트로피 합금을 단상 온도 영역인 750 ~ 1450℃에서 6시간 이상의 열처리를 하여 면심입방격자의 단상 조직을 만드는 단계와,
    상온에서 면심입방격자 구조를 갖도록 소입(quenching) 처리를 하는 단계를 포함하는 중엔트로피 합금의 제조방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 소입 처리된 중엔트로피 합금을 냉간 압연하는 단계와,
    상기 냉간 압연 후, 단상 온도 영역인 750 ~ 1450℃에서 6시간 이상의 열처리를 하여 면심입방격자의 단상 조직을 만드는 단계와,
    상온에서 면심입방격자 구조를 갖도록 소입(quenching) 처리를 하는 단계를 포함하는 중엔트로피 합금의 제조방법.
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