KR102167729B1 - Clean tent - Google Patents

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KR102167729B1
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이응식
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한국항공우주연구원
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    • F24F13/00—Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
    • F24F13/08—Air-flow control members, e.g. louvres, grilles, flaps or guide plates

Abstract

일 실시예에 따른 클린텐트는 유체의 유동을 생성하는 송풍팬과 유체를 여과하는 필터를 구비하는 공급 유동생성부, 상기 공급 유동생성부의 후방에 배치되어서 상기 공급 유동생성부로부터 유체를 전달받는 프레임부, 상기 프레임부의 일 단에 배치되어서 유체의 유동을 생성하는 배기 유동생성부, 및 상기 공급 유동생성부 또는 상기 배기 유동생성부로 유체를 안내하는 가이드부를 포함할 수 있고, 상기 프레임부는 상부벽 및 측벽을 포함하고 상기 상부벽 및 측벽에 의해 격리 공간이 형성되어서 상기 공급 유동생성부와 상기 배기 유동생성부를 사이에서 유체를 연통시킬 수 있으며, 상기 배기 유동생성부는 상기 공급 유동생성부에 의해 상기 프레임부 내부로 전달되는 유체를 배출할 수 있다.The clean tent according to an embodiment includes a supply flow generation unit having a blower fan generating fluid flow and a filter filtering fluid, and a frame disposed behind the supply flow generation unit to receive fluid from the supply flow generation unit A portion, an exhaust flow generation unit disposed at one end of the frame unit to generate a fluid flow, and a guide unit guiding the fluid to the supply flow generation unit or the exhaust flow generation unit, and the frame unit includes an upper wall and It includes a side wall and an isolation space is formed by the upper wall and the side wall to allow fluid communication between the supply flow generation unit and the exhaust flow generation unit, and the exhaust flow generation unit comprises the frame by the supply flow generation unit. The fluid delivered to the inside of the unit can be discharged.

Figure R1020180154625
Figure R1020180154625

Description

클린텐트{CLEAN TENT}CLEAN TENT

클린텐트가 개시된다. 구체적으로, 클린텐트 내부에 균일한 이상 온도를 제공할 수 있는 클린텐트가 개시된다. The clean tent is started. Specifically, a clean tent capable of providing a uniform abnormal temperature inside the clean tent is disclosed.

클린텐트는 오염 제어가 이루어지는 제한된 공간으로, 공기 속에 포함되어 있는 먼지뿐 아니라 온도, 습도, 실내 공기압, 가스성분, 정전기, 미진동, 전자파 등 환경 조건이 제어되는 공간을 의미한다. A clean tent is a limited space where pollution control is performed, and refers to a space in which environmental conditions such as temperature, humidity, indoor air pressure, gas components, static electricity, microscopic vibration, and electromagnetic waves are controlled as well as dust contained in the air.

이러한 공간은 생물이나 미세입자를 제어할 수 있는 작은 실험용 벤치에서부터 반도체나 디스플레이 등의 산업용 제품을 생산할 수 있는 공간을 포함한다. These spaces include spaces that can produce industrial products such as semiconductors and displays, from small laboratory benches that can control organisms or fine particles.

현재의 클린텐트는 ISO(International Organization for Standardization) 기준 14644-1에 다음과 같이 정의되어 있다. 공간 내부에서 부유입자의 농도가 제어되고, 입자의 유입, 발생, 보유를 최소화하기 위한 방법으로 건설되어 유지되며, 필요에 따라 연관된 변수인 온도, 습도, 압력 등이 조절되는 공간을 의미한다. The current clean tent is defined as follows in ISO (International Organization for Standardization) standard 14644-1. It refers to a space in which the concentration of suspended particles is controlled in the space, constructed and maintained in a way to minimize the inflow, generation, and retention of particles, and where related variables such as temperature, humidity, and pressure are controlled as needed.

산업용 클린텐트는 제품의 품질과 신뢰성을 높이고 가동시 원료에 대한 제품의 수율을 향상시키는 목적이 있으며, 주로 미립자를 제어 대상으로 한다. 또한, 청정도 이외에도 필요에 따라 온도, 습도, 압력, 기류, 소음, 진동 등의 환경조건도 제어되어야 하며, 최근 반도체 제조, 우주항공, 전자, 정밀산업 등의 발전으로 인해 제품의 정밀화, 미세화, 고품질화 및 고신뢰성이 요구되고 있다. 전자공업, 필름공장 또는 정밀 기계공장 등에서는 실내 부유 미립자가 제조중인 제품에 부착되어 제품의 불량을 초래하고, 사용 목적에 접합한 제품생상에 저해요소가 되어 제품의 신뢰성과 수율(생산원가)에 막대한 영향을 미치므로, 공장 전체 또는 중요한 작업이 이루어지는 부분에 대해서는 필요에 대응하는 청정한 상태가 유지되도록 하여야 한다. Industrial clean tents aim to improve product quality and reliability, and to improve product yield from raw materials during operation, and mainly target fine particles. In addition to cleanliness, environmental conditions such as temperature, humidity, pressure, airflow, noise, and vibration should be controlled as necessary. Due to recent developments in semiconductor manufacturing, aerospace, electronics, precision industries, etc. High quality and high reliability are required. In the electronics industry, film factory, or precision machine factory, indoor suspended particulate matter adheres to the product being manufactured, causing product defects, and is an impediment to the product produced for the purpose of use, resulting in product reliability and yield (production cost). Since it has a tremendous effect, it is necessary to ensure that the entire plant or parts where important work is performed are maintained in a clean state corresponding to the need.

이에 반해, 바이오 산업용 클린텐트는 생물학적 오염(bio-contamination), 예를 들어 생물성 입자(viable particle) 또는 생물 관련 입자들에 의해 자재, 장치, 작업자 표면, 액체, 가스 및 공기 오염이 제어되는 청정실이다. In contrast, bio-industrial cleantents are clean rooms in which contamination of materials, devices, worker surfaces, liquids, gases and air is controlled by bio-contamination, e.g., viable particles or biologically related particles. to be.

이러한 클린텐트에 관한 기술은 대한민국 특허등록번호 제1415695호 "합성보를 이용한 클린룸 골조"에 기술되어 있다.The technology for such a clean tent is described in Korean Patent Registration No. 1415695 "Clean Room Frame Using Synthetic Beam".

일 실시예에 따른 목적은 텐트 내부에 균일한 공기의 흐름을 형성할 수 있는 클린텐트를 제공하는 것이다.An object according to an embodiment is to provide a clean tent capable of forming a uniform air flow inside a tent.

일 실시예에 따른 다른 목적은 텐트 내부에 100클래스의 청정도를 달성하기 위한 클린텐트를 제공하는 것이다.Another object according to an embodiment is to provide a clean tent for achieving a cleanliness of 100 classes inside the tent.

일 실시예에 따른 다른 목적은 팬에서 발생하는 열이 클린텐트 내로 재 유입되는 것을 방지하는 클린텐트를 제공하는 것이다.Another object according to an embodiment is to provide a clean tent that prevents heat generated from a fan from re-introducing into the clean tent.

일 실시예에 따른 다른 목적은 클린텐트 내부 온도 분포가 보다 균일해지는 클린텐트를 제공하는 것이다.Another object according to an embodiment is to provide a clean tent having a more uniform internal temperature distribution of the clean tent.

일 실시예에 따른 다른 목적은 이동이 용이한 클린텐트를 제공하는 것이다.Another object according to an embodiment is to provide a clean tent that is easy to move.

일 실시예에 따른 다른 목적은 내부에 양압이 형성되는 클린텐트를 제공하는 것이다. Another object according to an embodiment is to provide a clean tent in which positive pressure is formed.

일 실시예에 따른 다른 목적은 구조 안정성이 향상되는 클린텐트를 제공하는 것이다.Another object according to an embodiment is to provide a clean tent with improved structural stability.

일 실시예에 따른 다른 목적은 설치와 개폐가 용이한 클린텐트를 제공하는 것이다.Another object according to an embodiment is to provide a clean tent that is easy to install and open/close.

상기 목적을 달성하기 위한 일 실시예에 따른 클린텐트는 유체의 유동을 생성하는 송풍팬과 유체를 여과하는 필터를 구비하는 공급 유동생성부, 상기 공급 유동생성부의 후방에 배치되어서 상기 공급 유동생성부로부터 유체를 전달받는 프레임부, 상기 프레임부의 일 단에 배치되어서 유체의 유동을 생성하는 배기 유동생성부, 및 상기 공급 유동생성부 또는 상기 배기 유동생성부로 유체를 안내하는 가이드부를 포함할 수 있고, 상기 프레임부는 상부벽 및 측벽을 포함하고 상기 상부벽 및 측벽에 의해 격리 공간이 형성되어서 상기 공급 유동생성부와 상기 배기 유동생성부를 사이에서 유체를 연통시킬 수 있으며, 상기 배기 유동생성부는 상기 공급 유동생성부에 의해 상기 프레임부 내부로 전달되는 유체를 배출할 수 있다. The clean tent according to an embodiment for achieving the above object includes a supply flow generation unit having a blowing fan generating fluid flow and a filter filtering fluid, and the supply flow generation unit disposed behind the supply flow generation unit. A frame part receiving fluid from the frame part, an exhaust flow generation part disposed at one end of the frame part to generate a fluid flow, and a guide part guiding the fluid to the supply flow generation part or the exhaust flow generation part, The frame portion includes an upper wall and a side wall, and an isolation space is formed by the upper wall and the side wall to allow fluid communication between the supply flow generation unit and the exhaust flow generation unit, and the exhaust flow generation unit The fluid delivered to the inside of the frame unit may be discharged by the generation unit.

또한, 일 실시예에 따른 클린텐트의 상기 가이드부는 상기 공급 유동생성부의 전방에 배치되는 제1 가이드부재, 상기 배기 유동생성부의 후방에 배치되는 제2 가이드부재 중 적어도 하나를 포함할 수 있고, 상기 제1 가이드부재는 상방이 개방되어서 상기 공급 유동생성부의 상방에 있는 유체를 상기 공급 유동생성부로 안내할 수 있으며, 상기 제2 가이드부재는 상방이 개방되어서 상기 배기 유동생성부에서 배출되는 유체를 상방으로 안내할 수 있다. In addition, the guide portion of the clean tent according to an embodiment may include at least one of a first guide member disposed in front of the supply flow generator and a second guide member disposed behind the exhaust flow generator, and the The first guide member is open upward to guide the fluid above the supply flow generation unit to the supply flow generation unit, and the second guide member is open upward to prevent the fluid discharged from the exhaust flow generation unit. You can guide.

또한, 일 실시예에 따른 클린텐트의 상기 제1 가이드부재는 전방향과 측방향이 폐쇄되고 상기 제2 가이드부재는 후방향과 측방향은 폐쇄될 수 있다. In addition, the first guide member of the clean tent according to an embodiment may be closed in a forward direction and a lateral direction, and the second guide member may be closed in a rear direction and a lateral direction.

또한, 일 실시예에 따른 클린텐트는 상기 공급 유동생성부의 후방에 설치되는 제1 펀칭 플레이트, 및 상기 배기 유동생성부 전방에 설치되는 제2 펀칭 플레이트를 더 포함할 수 있다.In addition, the clean tent according to an exemplary embodiment may further include a first punching plate installed at the rear of the supply flow generation unit and a second punching plate installed in front of the exhaust flow generation unit.

또한, 일 실시예에 따른 클린텐트의 상기 제1 펀칭 플레이트의 펀칭 비율은 상기 제2 펀칭 플레이트의 펀칭 비율보다 클 수 있다. In addition, a punching ratio of the first punching plate of the clean tent according to an embodiment may be greater than that of the second punching plate.

또한, 일 실시예에 따른 클린텐트는 상기 프레임부, 상기 공급 유동생성부 또는 상기 배기 유동생성부의 하부에서 이동을 위한 이동부를 더 포함할 수 있다. In addition, the clean tent according to an exemplary embodiment may further include a moving unit for movement under the frame unit, the supply flow generation unit, or the exhaust flow generation unit.

또한, 일 실시예에 따른 클린텐트의 상기 측벽은 비닐 커튼으로 형성될 수 있다. In addition, the sidewall of the clean tent according to an embodiment may be formed of a vinyl curtain.

일 실시예에 따른 클린텐트에 의하면, 텐트 내부에 균일한 공기의 흐름을 형성할 수 있는 클린텐트가 제공될 수 있다. According to the clean tent according to an embodiment, a clean tent capable of forming a uniform air flow inside the tent may be provided.

또한, 일 실시예에 따른 클린텐트에 의하면, 텐트 내부에 100클래스의 청정도를 달성하기 위한 클린텐트가 제공될 수 잇다. In addition, according to the clean tent according to an embodiment, a clean tent for achieving 100 classes of cleanliness may be provided inside the tent.

또한, 일 실시예에 따른 클린텐트에 의하면, 팬에서 발생하는 열이 클린텐트 내로 재 유입되는 것을 방지하는 클린텐트가 제공될 수 있다. In addition, according to the clean tent according to an exemplary embodiment, a clean tent may be provided that prevents heat generated from a fan from re-inflow into the clean tent.

또한, 일 실시예에 따른 클린텐트에 의하면, 클린텐트 내부 온도 분포가 보다 균일해지는 클린텐트가 제공될 수 있다. In addition, according to the clean tent according to an exemplary embodiment, a clean tent having a more uniform internal temperature distribution of the clean tent may be provided.

또한, 일 실시예에 따른 클린텐트에 의하면, 이동이 용이한 클린텐트가 제공될 수 있다.In addition, according to the clean tent according to an embodiment, a clean tent that is easy to move may be provided.

또한, 일 실시예에 따른 클린텐트에 의하면, 내부에 양압이 형성되는 클린텐트가 제공될 수 있다.In addition, according to the clean tent according to an embodiment, a clean tent having a positive pressure formed therein may be provided.

또한, 일 실시예에 따른 클린텐트에 의하면, 구조 안정성이 향상되는 클린텐트가 제공될 수 있다.In addition, according to the clean tent according to an embodiment, a clean tent having improved structural stability may be provided.

또한, 일 실시예에 따른 클린텐트에 의하면, 설치와 개폐가 용이한 클린텐트가 제공될 수 있다.In addition, according to the clean tent according to an embodiment, a clean tent that is easy to install and open and close may be provided.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 내부 온도 균일도 향상을 위한 클린텐트의 사시도를 도시한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 내부 온도 균일도 향상을 위한 클린텐트의 측면도를 도시한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 내부 온도 균일도 향상을 위한 클린텐트의 정면도를 도시한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 내부 온도 균일도 향상을 위한 클린 텐트의 내부를 흐르는 유체의 일 유동을 도시한다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 내부 온도 균일도 향상을 위한 클린텐트 내부를 흐르는 유체의 전체 유동을 도시한다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 내부 온도 균일도 향상을 위한 클린텐트 내부의 압력을 그래프로 도시한다. 1 is a perspective view of a clean tent for improving internal temperature uniformity according to an embodiment of the present invention.
2 is a side view of a clean tent for improving internal temperature uniformity according to an embodiment of the present invention.
3 is a front view of a clean tent for improving internal temperature uniformity according to an embodiment of the present invention.
4 is a diagram illustrating a flow of a fluid flowing through a clean tent for improving internal temperature uniformity according to an embodiment of the present invention.
5 shows the total flow of fluid flowing through the clean tent for improving internal temperature uniformity according to an embodiment of the present invention.
6 is a graph showing the pressure inside the clean tent for improving the internal temperature uniformity according to an embodiment of the present invention.

이하, 실시예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 실시예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 실시예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, embodiments will be described in detail through exemplary drawings. In adding reference numerals to elements of each drawing, it should be noted that the same elements are assigned the same numerals as possible even if they are indicated on different drawings. In addition, in describing the embodiment, when it is determined that a detailed description of a related known configuration or function interferes with the understanding of the embodiment, the detailed description thereof will be omitted.

또한, 실시예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.In addition, in describing the constituent elements of the embodiment, terms such as first, second, A, B, (a) and (b) may be used. These terms are only used to distinguish the component from other components, and the nature, order, or order of the component is not limited by the term. When a component is described as being "connected", "coupled" or "connected" to another component, that component may be directly connected or connected to that other component, but another component between each component It should be understood that may be “connected”, “coupled” or “connected”.

어느 하나의 실시 예에 포함된 구성요소와, 공통적인 기능을 포함하는 구성요소는, 다른 실시 예에서 동일한 명칭을 사용하여 설명하기로 한다. 반대되는 기재가 없는 이상, 어느 하나의 실시 예에 기재한 설명은 다른 실시 예에도 적용될 수 있으며, 중복되는 범위에서 구체적인 설명은 생략하기로 한다. Components included in one embodiment and components including common functions will be described using the same name in other embodiments. Unless otherwise stated, descriptions in one embodiment may be applied to other embodiments, and detailed descriptions in the overlapping range will be omitted.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 내부 온도 균일도 향상을 위한 클린텐트(100)의 사시도를 도시하고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 내부 온도 균일도 향상을 위한 클린텐트(100)의 측면도를 도시하며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 내부 온도 균일도 향상을 위한 클린텐트(100)의 정면도를 도시한다. 1 is a perspective view of a clean tent 100 for improving internal temperature uniformity according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a clean tent 100 for improving internal temperature uniformity according to an embodiment of the present invention. 3 shows a front view of the clean tent 100 for improving internal temperature uniformity according to an embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 3을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 내부 온도 균일도 향상을 위한 클린텐트(100)는 공급 유동생성부, 프레임부(120), 배기 유동생성부 및 가이드부를 포함할 수 있다. 1 to 3, the clean tent 100 for improving internal temperature uniformity according to an embodiment of the present invention may include a supply flow generation unit, a frame unit 120, an exhaust flow generation unit, and a guide unit. have.

공급 유동생성부는 바람직하게 EFU(equipment fan unit)일 수 있으며 EFU는 생산설비의 설비 내부 환경유지를 위하여 환기횟수와 청정도 유지, 설비 외부 간의 차압 유지를 위해서 설치한다.The supply flow generation unit may preferably be an EFU (equipment fan unit), and the EFU is installed to maintain the ventilation frequency and cleanliness, and to maintain the differential pressure between the outside of the facility to maintain the environment inside the facility of the production facility.

바람직하게 공급 유동생성부는 클린텐트(100) 내부의 환경 유지를 위해 송풍팬(112)과 필터를 포함할 수 있다.Preferably, the supply flow generation unit may include a blowing fan 112 and a filter to maintain the environment inside the clean tent 100.

송풍팬(112)은 유체의 유동을 생성할 수 있으며, 송풍팬(112)에 의해 생성되는 유체의 유동은 공급 유동생성부의 후방에 배치되는 프레임부(120)로 전달될 수 있다.The blowing fan 112 may generate a fluid flow, and the flow of the fluid generated by the blowing fan 112 may be transferred to the frame unit 120 disposed behind the supply flow generation unit.

유체가 송풍팬(112)을 지나 프레임부(120)로 전달되기 전이나 후에는 필터가 배치될 수 있다. 필터는 송풍팬(112)을 지나 프레임부(120)로 전달되는 유체를 여과하여 유동의 청정도를 향상시킬 수 있다.A filter may be disposed before or after the fluid passes through the blower fan 112 and is delivered to the frame unit 120. The filter may improve the cleanliness of the flow by filtering the fluid delivered to the frame unit 120 through the blowing fan 112.

프레임부(120)는 측벽(122)과 상부벽(124)을 포함할 수 있다. 프레임부(120)는 측벽(122)과 상부벽(124)에 의해 둘러싸여서 격리 공간을 형성할 수 있다.The frame part 120 may include a side wall 122 and an upper wall 124. The frame unit 120 may be surrounded by the sidewall 122 and the upper wall 124 to form an isolation space.

프레임부(120)는 공급 유동생성부의 후방에 배치될 수 있으며 공급 유동생성부를 지나는 유체를 수용할 수 있다. The frame unit 120 may be disposed behind the supply flow generation unit and accommodate fluid passing through the supply flow generation unit.

프레임부(120)의 공급 유동생성부와 연결되는 부분보다 프레임부(120)의 중간 부분의 단면적이 더 넓을 수 있다. A cross-sectional area of an intermediate portion of the frame portion 120 may be wider than a portion connected to the supply flow generation portion of the frame portion 120.

프레임부(120)의 측벽(122)은 아크릴 또는 비닐 커튼으로 형성될 수 있으며, 프레임부(120)의 상부벽(124)은 아크릴로 형성될 수 있다.The side walls 122 of the frame unit 120 may be formed of acrylic or vinyl curtains, and the upper wall 124 of the frame unit 120 may be formed of acrylic.

프레임부(120)의 측벽(122)이 비닐 커튼으로 형성됨으로써, 클린텐트(100) 전체 무게를 저감하여 이동성을 향상시킬 수 있으며, 유지보수를 용이하게 할 수 있다. Since the sidewall 122 of the frame unit 120 is formed of a vinyl curtain, mobility can be improved by reducing the total weight of the clean tent 100, and maintenance can be facilitated.

프레임부(120)는 측벽(122)과 상부벽(124)에 의해 기밀될 수 있다. The frame part 120 may be hermetically sealed by the side wall 122 and the upper wall 124.

배기 유동생성부는 프레임부(120)의 후방에 배치될 수 있다. 보다 상세하게, 배기 유동생성부는 프레임부(120)의 일단(전방)에 배치된 공급 유동생성부와 대향하는 위치(프레임부(120)의 후방)에 배치될 수 있으며, 이에 따라 공급 유동생성부와 프레임부(120) 및 배기 유동생성부는 순차적으로 배치될 수 있다.The exhaust flow generation unit may be disposed behind the frame unit 120. In more detail, the exhaust flow generation unit may be disposed at a position opposite to the supply flow generation unit disposed at one end (front) of the frame unit 120 (rear of the frame unit 120), and accordingly, the supply flow generation unit The frame unit 120 and the exhaust flow generation unit may be sequentially disposed.

배기 유동생성부는 공급 유동생성부와 유사하게 송풍팬(132)을 포함할 수 있다. The exhaust flow generation unit may include a blowing fan 132 similar to the supply flow generation unit.

배기 유동생성부의 송풍팬(132)은 측벽(122)과 상부벽(124)으로 둘러싸인 프레임부(120) 내에 유입되는 유체(공급 유동생성부의 송풍팬(112)에 의해 프레임부(120) 내부로 유입되는 청정한 유체)를 프레임부(120)의 밖으로 배출시킬 수 있다.The ventilation fan 132 of the exhaust flow generation unit is a fluid flowing into the frame unit 120 surrounded by the side wall 122 and the upper wall 124 (to the inside of the frame unit 120 by the blowing fan 112 of the supply flow generation unit). Inflowing clean fluid) may be discharged out of the frame unit 120.

프레임부(120)의 배기 유동생성부와 연결되는 부분보다 프레임부(120)의 중간 부분의 단면적이 더 넓을 수 있다. The cross-sectional area of the middle portion of the frame portion 120 may be wider than the portion connected to the exhaust flow generation portion of the frame portion 120.

즉, 클린텐트(100)는 구성요소들이 공급 유동생성부의 송풍팬(112) 또는 필터 중 하나, 송풍팬(112) 또는 필터 중 다른 하나, 보다 단면적이 적은 프레임부(120) 내 공간, 보다 단면적이 큰 프레임부(120)의 중간부분 공간, 보다 단면적이 작은 프레임부(120) 내 공간 및 배기 유동생성부의 송풍팬(132) 순으로 배열될 수 있으며, 클린텐트(100) 구성요소의 배열 순서를 따라, 유체는 공급 유동생성부의 송풍팬(112) 또는 필터 중 하나, 송풍팬(112) 또는 필터 중 다른 하나, 보다 단면적이 적은 프레임부(120) 내 공간, 보다 단면적이 큰 프레임부(120)의 중간부분 공간, 보다 단면적이 작은 프레임부(120) 내 공간 및 배기 유동생성부의 송풍팬(132) 순으로 진행될 수 있다. That is, the clean tent 100 is a space within the frame unit 120 having a smaller cross-sectional area, and a more cross-sectional area, one of the blowing fan 112 or one of the filters, the blowing fan 112 or the filter of the supply flow generation unit, The space in the middle of the large frame unit 120, the space in the frame unit 120 with a smaller cross-sectional area, and the blowing fan 132 of the exhaust flow generation unit may be arranged in this order, and the order of arrangement of the components of the clean tent 100 Along with the fluid, the supply flow generation unit blower fan 112 or one of the filters, the blower fan 112 or the other one of the filter, the space in the frame part 120 with a smaller cross-sectional area, the frame part 120 with a larger cross-sectional area. ), the space inside the frame unit 120 having a smaller cross-sectional area, and the blowing fan 132 of the exhaust flow generation unit may be performed in this order.

가이드부는 공급 유동생성부 또는 배기 유동생성부를 지나는 유체를 안내할 수 있다.The guide unit may guide the fluid passing through the supply flow generation unit or the exhaust flow generation unit.

구체적으로, 가이드부는 제1 가이드부재(142)와 제2 가이드부재(144)를 포함할 수 있다. Specifically, the guide portion may include a first guide member 142 and a second guide member 144.

제1 가이드부재(142)는 공급 유동생성부의 전방에 배치될 수 있고, 보다 상세하게 공급 유동생성부의 후방과 연결되는 프레임부(120)의 대향하는 방향으로 배치될 수 있다.The first guide member 142 may be disposed in front of the supply flow generation unit, and in more detail, may be disposed in a direction opposite to the frame unit 120 connected to the rear side of the supply flow generation unit.

반면에, 제2 가이드부재(144)는 배기 유동생성부의 후방에 배치될 수 있고, 보다 상세하게 배기 유동생성부의 전방에 연결되는 프레임부(120)의 대향하는 방향으로 배치될 수 있다. On the other hand, the second guide member 144 may be disposed behind the exhaust flow generating unit, and in more detail, may be disposed in a direction opposite to the frame unit 120 connected to the front of the exhaust flow generating unit.

제1 가이드부재(142)는 공급 유동생성부의 전방에서 공급 유동생성부의 위에 있는 유체를 안내하도록 공급 유동생성부의 전방, 측방을 폐쇄하고 상방만 개방시킬 수 있다. 이를 통해 제1 가이드부재(142)는 배기 유동생성부(144)에서 배출되는 유체의 재유입을 저감할 수 있다.The first guide member 142 may close the front and sides of the supply flow generation unit and open only the upper side so as to guide the fluid above the supply flow generation unit in front of the supply flow generation unit. Through this, the first guide member 142 may reduce re-inflow of the fluid discharged from the exhaust flow generation unit 144.

또한, 제2 가이드부재(144)는 배기 유동생성부의 후방에서 송풍팬(132)에 의해 배출되는 유체가 배기 유동생성부(144)의 위 방향으로 유체를 안내하도록 배기 유동생성부의 후방 및 측방을 폐쇄하고 상방만을 개방시킬 수 있다. 이를 통해, 제2 가이드부재(144)는 배기 유동생성부(144)에서 배출되는 유체가 프레임부(120)의 측벽(122)을 가열시키는 것을 방지할 수 있다. In addition, the second guide member 144 is located at the rear and sides of the exhaust flow generation unit so that the fluid discharged by the blowing fan 132 from the rear of the exhaust flow generation unit guides the fluid in the upward direction of the exhaust flow generation unit 144. It can be closed and only the top can be opened. Through this, the second guide member 144 may prevent the fluid discharged from the exhaust flow generation unit 144 from heating the sidewall 122 of the frame unit 120.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 내부 온도 균일도 향상을 위한 클린 텐트의 내부를 흐르는 유체의 일 유동을 도시하고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 내부 온도 균일도 향상을 위한 클린텐트 내부를 흐르는 유체의 전체 유동을 도시하며, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 내부 온도 균일도 향상을 위한 클린텐트 내부의 압력을 그래프로 도시한다. 4 is a diagram illustrating a flow of a fluid flowing through a clean tent for improving internal temperature uniformity according to an embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a clean tent for improving internal temperature uniformity according to an embodiment of the present invention. It shows the total flow of the fluid flowing through the inside, and FIG. 6 is a graph showing the pressure inside the clean tent for improving the internal temperature uniformity according to an embodiment of the present invention.

도 4 내지 도 6을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 내부 온도 균일도 향상을 위한 클린텐트(100)는 펀칭 플레이트를 더 포함하고 펀칭 플레이트는 제1 펀칭 플레이트(152) 및 제2 펀칭 플레이트(154)를 포함한다.4 to 6, the clean tent 100 for improving internal temperature uniformity according to an embodiment of the present invention further includes a punching plate, and the punching plate includes a first punching plate 152 and a second punching plate. Includes 154.

제1 펀칭 플레이트(152)는 공급 유동생성부의 후방에 설치될 수 있고, 제2 펀칭 플레이트(154)는 배기 유동생숭부의 전방에 설치될 수 있다.The first punching plate 152 may be installed at the rear of the supply flow generation unit, and the second punching plate 154 may be installed at the front of the exhaust flow generation unit.

제1 펀칭 플레이트(152)는 제2 펀칭 플레이트(154)보다 펀칭률이 더 높을 수 있다. The first punching plate 152 may have a higher punching rate than the second punching plate 154.

예를 들어, 제1 펀칭 플레이트(152)의 펀칭률은 51%일 수 있으며, 제2 펀칭 플레이트(154)의 펀칭률은 30%일 수 있다. For example, the punching rate of the first punching plate 152 may be 51%, and the punching rate of the second punching plate 154 may be 30%.

도 4를 참조하여, 51% 펀칭률을 갖는 제1 펀칭 플레이트(152)를 지나는 유체는 프레임부(120) 내부 공간을 지나며 아래로 치우쳐져서 30% 펀칭률을 갖는 제2 펀칭 플레이트(154)를 통과할 수 있다. 즉, 제1 펀칭 플레이트(152)와 제2 펀칭 플레이트(154)를 지나는 유체의 유동은 공급 유동생성부부터 배기 유동생성부까지 층류가 형성될 수 있다.Referring to FIG. 4, the fluid passing through the first punching plate 152 having a 51% punching rate passes through the inner space of the frame unit 120 and is biased downward to form a second punching plate 154 having a 30% punching rate. Can pass. That is, the flow of the fluid passing through the first punching plate 152 and the second punching plate 154 may form a laminar flow from the supply flow generation unit to the exhaust flow generation unit.

프레임부(120) 내부를 지나는 유체의 유동은 또한, 프레임부(120)의 내부공간의 위치에 따라 속도가 상이할 수 있다.The flow of the fluid passing through the frame unit 120 may also have different speeds depending on the position of the inner space of the frame unit 120.

도 5를 참조하여, 프레임부(120)의 중간부분 단면적은 프레임부(120)의 공급 유동생성부 부근의 단면적 및 배기 유동생성부 부근의 단면적보다 크기 때문에, 프레임부(120) 내부의 유속은 위치에 따라 상이할 수 있다.Referring to FIG. 5, since the cross-sectional area of the middle portion of the frame portion 120 is larger than the cross-sectional area near the supply flow generation portion and the exhaust flow generation portion of the frame portion 120, the flow velocity inside the frame portion 120 is It may be different depending on the location.

구체적으로, 공급 유동생성부 부근의 보다 작은 단면적을 갖는 프레임부(120)의 부분은 유체 유동의 속도가 빠를 수 있고, 프레임부(120)의 중심부분은 유체 유동의 속도가 보다 느릴 수 있으며, 배기 유동생성부 부근의 보다 작은 단면적을 갖는 프레임부(120)의 부분은 유체 유동의 속도가 중간부분보다 빠르고 공급 유동생성부 부근보다 느릴 수 있다. Specifically, a portion of the frame portion 120 having a smaller cross-sectional area near the supply flow generating portion may have a high fluid flow rate, and the central portion of the frame portion 120 may have a slower fluid flow rate, A portion of the frame portion 120 having a smaller cross-sectional area in the vicinity of the exhaust flow generating portion may have a speed of fluid flow faster than that of the intermediate portion and slower than that of the supply flow generating portion.

공급 유동생성부 부근의 제1 펀칭 플레이트(152)는 유체 투과율이 높기 때문에 보다 높은 속도를 유지할 수 있고, 프레임부(120)의 중심 부분은 단면적이 공급 유동생성부 부근 보다 증가되기 때문에 보다 낮은 속도를 유지할 수 있다. 또한, 배기 유동생성부 부근의 제2 펀칭 플레이트(154)는 유체 투과율이 보다 낮기 때문에 공급 유동생성부 부근의 유속보다 다소 낮은 속도를 유지할 수 있다. The first punching plate 152 in the vicinity of the supply flow generation unit can maintain a higher speed because the fluid permeability is high, and the central portion of the frame unit 120 has a lower speed because the cross-sectional area is increased than that in the vicinity of the supply flow generation unit. Can keep. In addition, since the second punching plate 154 near the exhaust flow generation unit has a lower fluid permeability, it is possible to maintain a slightly lower velocity than the flow velocity near the supply flow generation unit.

이에 따라, 도 6에서 도시되는 바와 같이, 클린텐트 내부에 형성되는 압력분포는 위치에 따라 상이할 수 있다.Accordingly, as shown in FIG. 6, the pressure distribution formed inside the clean tent may be different depending on the location.

도 6에서 상부에 위치되는 도면은 클린텐트의 단면을 도시하고, 도 6에서 하부에 위치되는 도면은, 상부에 위치되는 클렌텐트 단면의 위치에 따른 유체 압력의 변화를 도시한다. In FIG. 6, a drawing positioned at the top shows a cross section of the clean tent, and a drawing positioned at the bottom in FIG. 6 shows a change in fluid pressure according to the position of the cross section of the clean tent positioned at the top.

즉, 도 6을 참조하여, 공급 유동생성부의 전방은 0.04Pa 보다 낮은 양압이 생성될 수 있고, 공급 유동생성부 부분에는 0.04Pa의 양압, 프레임부(120)의 중간부분에는 0.06Pa의 양압이 생성될 수 있다. 또한, 배기 유동생성부 전방은 0.04Pa 수준의 양압으로 압력이 다시 줄어들 수 있다.That is, with reference to FIG. 6, a positive pressure lower than 0.04 Pa may be generated in the front of the supply flow generation unit, a positive pressure of 0.04 Pa in the supply flow generation portion, and a positive pressure of 0.06 Pa in the middle portion of the frame unit 120 Can be created. In addition, the pressure in front of the exhaust flow generation unit can be reduced again to a positive pressure of 0.04 Pa.

따라서, 프레임부(120) 내부 공간에는 전반적으로 양압이 형성될 수 있다.Accordingly, an overall positive pressure may be formed in the inner space of the frame unit 120.

도 1 내지 도 3을 다시 참조하여, 발명의 일 실시예에 따른 내부 온도 균일도 향상을 위한 클린텐트(100)는 이동부(160)를 더 포함할 수 있다. Referring again to FIGS. 1 to 3, the clean tent 100 for improving internal temperature uniformity according to an embodiment of the present invention may further include a moving unit 160.

이동부(160)는 제1 가이드부재(142), 공급 유동생성부, 프레임부(120) 및 배기 유동생성부, 및 제2 가이드부재(142)의 하부에 배치될 수 있다. The moving unit 160 may be disposed under the first guide member 142, the supply flow generation unit, the frame unit 120 and the exhaust flow generation unit, and the second guide member 142.

바람직하게, 이동부(160)는 바퀴 또는 레일일 수 있으며, 이에 따라 클린텐트의 이동성을 향상시킬 수 있다.Preferably, the moving unit 160 may be a wheel or a rail, thereby improving the mobility of the clean tent.

이에 따라, 본 발명의 일 실시예에 따른 내부 온도균일도 향상을 위한 클린텐트는 클린텐트 내부 공간에 보다 균일한 층류의 공기 흐름을 형성할 수 있고, 바람직하게 100 클래스의 청정도를 달성할 수 있다. Accordingly, the clean tent for improving the internal temperature uniformity according to an embodiment of the present invention can form a more uniform laminar air flow in the interior space of the clean tent, and preferably achieve 100 class cleanliness.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 내부 온도균일도 향상을 위한 클린텐트는 송풍팬에서 발생하는 열 및 클린텐트 내부에서 발생하는 열이 클린텐트 내부로 재유입되는 것을 방지할 수 있고, 클린텐트 내부 온도 분포를 보다 균일하게 할 수 있으며, 클린텐트의 이동이 용이할 수 있다.In addition, the clean tent for improving the internal temperature uniformity according to an embodiment of the present invention can prevent heat generated from the blowing fan and heat generated inside the clean tent from re-inflow into the clean tent. The temperature distribution can be made more uniform, and the clean tent can be moved easily.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 내부 온도균일도 향상을 위한 클린텐트는 클린텐트 내부 공간에 양압이 형성될 수 있고, 구조 안정성이 향상될 수 잇으며, 설치와 클린텐트 개폐가 용이할 수 있다.In addition, the clean tent for improving the internal temperature uniformity according to an embodiment of the present invention can generate positive pressure in the interior space of the clean tent, improve structural stability, and facilitate installation and opening and closing of the clean tent. .

이상과 같이 본 발명의 실시예에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 구조, 장치 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다. 따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다. As described above, in the embodiments of the present invention, specific matters such as specific components, etc., and limited embodiments and drawings have been described, but this is only provided to help a more general understanding of the present invention, and the present invention is limited to the above embodiments. It is not, and a person of ordinary skill in the field to which the present invention belongs can make various modifications and variations from this description. For example, the described techniques are performed in a different order from the described method, and/or components such as the described structure, device, etc. are combined or combined in a form different from the described method, or in other components or equivalents. Even if substituted or substituted by, an appropriate result can be achieved. Therefore, the spirit of the present invention is limited to the described embodiments and should not be defined, and all things that are equivalent or equivalent to the claims as well as the claims to be described later belong to the scope of the invention. .

100 : 클린텐트
112 : 송풍팬
120 : 프레임부
122 : 측벽
124 : 상부벽
132 : 송풍팬
142 : 제1 가이드부재
144 : 제2 가이드부재
152 : 제1 펀칭 플레이트
154 : 제2 펀칭 플레이트
160 : 이동부100: clean tent
112: blower fan
120: frame part
122: side wall
124: upper wall
132: blower fan
142: first guide member
144: second guide member
152: first punching plate
154: second punching plate
160: moving part

Claims (7)

유체의 유동을 생성하는 송풍팬과 유체를 여과하는 필터를 구비하는 공급 유동생성부;
상기 공급 유동생성부의 후방에 배치되어서 상기 공급 유동생성부로부터 유체를 전달받는 프레임부;
상기 프레임부의 일 단에 배치되어서 유체의 유동을 생성하는 배기 유동생성부; 및
상기 공급 유동생성부 또는 상기 배기 유동생성부로 유체를 안내하는 가이드부;
를 포함하고,
상기 프레임부는 상부벽 및 측벽을 포함하고 상기 상부벽 및 측벽에 의해 격리 공간이 형성되어서 상기 공급 유동생성부와 상기 배기 유동생성부를 사이에서 유체를 연통시키며,
상기 배기 유동생성부는 상기 공급 유동생성부에 의해 상기 프레임부 내부로 전달되는 유체를 배출하며,
상기 가이드부는,
상기 공급 유동생성부의 전방에 배치되는 제1 가이드부재; 및
상기 배기 유동생성부의 후방에 배치되는 제2 가이드부재;
를 포함하고,
상기 제1 가이드부재는 공급 유동생성부의 전방에서 공급 유동생성부의 위에 있는 유체를 안내하도록 공급 유동생성부의 전방, 측방을 폐쇄하고 상방만 개방시킬 수 있으며,
상기 제2 가이드부재는 배기 유동생성부의 후방에서 송풍팬에 의해 배출되는 유체가 배기 유동생성부의 위 방향으로 유체를 안내하도록 배기 유동생성부의 후방 및 측방을 폐쇄하고 상방만을 개방시킬 수 있으며,
상기 프레임부의 중간부분 단면적이 프레임부의 공급 유동생성부 부근의 단면적 및 배기 유동생성부 부근의 단면적보다 크게 형성됨으로써, 상기 프레임부 내부의 유속이 위치에 따라 상이할 수 있는,
클린텐트.
A supply flow generator including a blower fan for generating a flow of fluid and a filter for filtering the fluid;
A frame unit disposed behind the supply flow generation unit to receive fluid from the supply flow generation unit;
An exhaust flow generation unit disposed at one end of the frame unit to generate a fluid flow; And
A guide unit for guiding the fluid to the supply flow generation unit or the exhaust flow generation unit;
Including,
The frame portion includes an upper wall and a side wall, and an isolation space is formed by the upper wall and the side wall to communicate fluid between the supply flow generation unit and the exhaust flow generation unit,
The exhaust flow generation unit discharges the fluid transferred into the frame unit by the supply flow generation unit,
The guide part,
A first guide member disposed in front of the supply flow generator; And
A second guide member disposed behind the exhaust flow generation unit;
Including,
The first guide member may close the front and sides of the supply flow generation unit and open only the upper side to guide the fluid above the supply flow generation unit in front of the supply flow generation unit,
The second guide member may close the rear and side of the exhaust flow generation unit and open only the upper side so that the fluid discharged by the blowing fan from the rear of the exhaust flow generation unit guides the fluid in the upward direction of the exhaust flow generation unit,
Since the cross-sectional area of the middle portion of the frame portion is formed larger than the cross-sectional area of the supply flow generation portion and the exhaust flow generation portion of the frame portion, the flow velocity inside the frame portion may be different depending on the location,
Clean tent.
 삭제delete 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 공급 유동생성부의 후방에 설치되는 제1 펀칭 플레이트, 및 상기 배기 유동생성부 전방에 설치되는 제2 펀칭 플레이트를 더 포함하는, 클린텐트.
The method of claim 1,
A clean tent further comprising a first punching plate installed at the rear of the supply flow generation unit, and a second punching plate installed at the front of the exhaust flow generation unit.
 제 4항에 있어서,
상기 제1 펀칭 플레이트의 펀칭 비율은 상기 제2 펀칭 플레이트의 펀칭 비율보다 큰, 클린텐트.
The method of claim 4,
The clean tent, wherein the punching ratio of the first punching plate is greater than the punching ratio of the second punching plate.
 제 1항에 있어서,
상기 프레임부, 상기 공급 유동생성부 또는 상기 배기 유동생성부의 하부에서 이동을 위한 이동부를 더 포함하는, 클린텐트.
The method of claim 1,
A clean tent further comprising a moving part for movement under the frame part, the supply flow generation part, or the exhaust flow generation part.
 제 1항에 있어서,
상기 측벽은 비닐 커튼으로 형성되는, 클린텐트.The method of claim 1,
The side wall is formed of a vinyl curtain, clean tent.
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