KR102162682B1 - 부싱타입 볼트 체결구조를 갖는 라미네이터-본더 시스템 - Google Patents

부싱타입 볼트 체결구조를 갖는 라미네이터-본더 시스템 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 부싱타입 볼트 체결구조를 갖는 라미네이터-본더 시스템은, 히터 플레이트 상에 쿠션 패드와 메탈 플레이트가 순차적으로 적층되어 볼트에 의해 결합된 형태를 가지는 상부척 및 하부척이 척대척 방식으로 서로 가압 밀착됨으로써 상기 히터 플레이트에 의해 필름 또는 강성 기재가 가접된 기판을 본접하는 본접부를 포함하여 구성되는 라미네이터와 본더로 이루어진 라미네이터-본더 시스템에 있어서, 상기 상부척 및 하부척의 쿠션 패드와 메탈 플레이트에는 상기 볼트가 관통되는 볼트 관통구멍이 각각 형성되고, 상기 쿠션 패드와 메탈 플레이트의 볼트 관통구멍과 상기 볼트 사이에는 본접시 상기 쿠션 패드와 메탈 플레이트의 변형을 수용하는 유격을 부여하기 위한 부시가 삽입 결합되어 있는 것을 특징으로 한다.

Description

부싱타입 볼트 체결구조를 갖는 라미네이터-본더 시스템{Laminator-Bonder System Having Bolting Structure of Bushing Type}
본 발명은 반도체 패키징 기술에 관한 것으로, 보다 상세하게는 어드밴스드 패키징 공정용 라미네이터-본더 시스템의 본접 기술에 관한 것이다.
기존 반도체 공정의 패키지(Package)는 칩(Chip)을 기판에 실장하고, 금선(Gold Wire)을 이용하여 칩과 기판을 전기적으로 연결하여 주는 형태였으나, 스마트폰, 태블릿 PC 및 노트북 등 최신 휴대용 전자기기들이 가볍고 얇은 패키지를 요구하면서 기존의 2D 패키지 방법으로는 수요자들의 요구조건을 만족하기 어렵게 되었다. 이에 따라, 최근 기존 배선 폭의 물리적 한계를 극복하기 위하여 3차원 집적회로의 기술개발이 활발한데, 패키지 공정의 경박단소화를 위해 FoPLP(Fan-out Panel Level Package), FoWLP(Fan-out Wafer Level Package) 등의 어드밴스드 패키징(Advanced Packaging) 기술 개발이 필수적이다.
FoPLP는 사각의 패널 기판 위에 칩을 올려 놓고 팬아웃 패키징에 필요한 여러 작업을 하는 반도체 패키징 기술이며, FoWLP는 원형의 웨이퍼 기판에서 패키징 작업을 수행하는 반도체 패키징 기술이다.
FoPLP, FoWLP 등의 어드밴스드 패키징 공정에는 동박적층체(Copper Clad Laminate, CCL) 기판에 커버레이 필름(Cover-lay Film), 감광 드라이 필름(Photo Resist Film), 프린트 배선판용 층간 절연 필름(Ajinomoto Build-up Film, ABF) 등을 적층 성형하는 라미네이터와 강성 기재를 접합하는 본더가 결합된 라미네이터-본더 시스템이 사용된다.
도 1은 라미네이터-본더 시스템에서 라미네이터 또는 본더의 주요부를 도시한 정면도이다.
도 1을 참조하면, 라미네이터-본더 시스템의 라미네이터(1) 또는 본더(2)는 로딩부(100), 본접부(200), 언로딩부(300)를 포함하여 구성된다.
로딩부(100)와 언로딩부(300)는 필름 또는 강성 기재가 가접된 기판(10)을 캐리어 필름을 이용하여 본접부(200)로 이송하기 위한 구성으로서, 캐리어 필름은 상부 캐리어 필름(21)과 하부 캐리어 필름(22)으로 이루어져 로딩부(100)에 설치된 한 쌍의 권출(Unwinding) 롤러(111, 112) 및 언로딩부(300)에 설치된 한 쌍의 권취(Winding) 롤러(311, 312)의 작동에 의해 로딩부(100)에서 언로딩부(300)로 이동하면서 상하부 캐리어 필름(21, 22)의 사이에 위치된 기판(10)을 함께 이송시킨다(도 1에서 화살표는 기판(10)의 이송방향을 나타냄).
본접부(200)는 진공 러버 프레스(210) 및/또는 진공 메탈 프레스(220)로 형성될 수 있으며, 진공 러버 프레스(210)와 진공 메탈 프레스(220)는 각각 본접시 진공 분위기를 형성하기 위한 진공챔버(30)를 구비한다.
진공챔버(30)는 상부 챔버부(31)와 하부 챔버부(32)로 분리 구성되어, 상부 챔버부(31)와 하부 챔버부(32)의 사이로 기판(10)이 이송되면, 하부 챔버부(32)가 유압 프레스(40)에 의해 상부 챔버부(31)를 향해 이동하여 가압 밀착됨으로써 밀폐공간(33)을 형성하고, 밀폐공간(33) 내부에 본접을 위한 진공 분위기를 형성하게 된다.
상부 챔버부(31)와 하부 챔버부(32) 내부에는 본접을 위한 히터 플레이트를 갖는 상부척(34) 및 하부척(35)이 각각 구비되며, 진공챔버(30) 내에 진공 분위기 형성되면 상부척(34) 및 하부척(35)이 척대척(Chuck to Chuck) 방식으로 서로 가압 밀착됨으로써 히터 플레이트에 의해 본접이 이루어지게 된다.
도 2는 종래기술에서의 상부척 및 하부척을 도시한 평면도 및 부분 단면도로서, 도 2를 참조하면, 상부척(34)과 하부척(35)은 히터 플레이트(36) 상에 쿠션 패드(37)와 메탈 플레이트(38)가 순차적으로 적층되어 결합된 형태를 가지며, 히터 플레이트(36) 상에 쿠션 패드(37)와 메탈 플레이트(38)의 결합은 히터 플레이트(36)의 엣지(Edge) 부분을 따라 쿠션 패드(37)와 메탈 플레이트(38)를 관통하여 히터 플레이트(36)의 볼트 체결공(53)에 결합되는 다수의 볼트(50)에 의해 이루어 진다.
도 2에서 미설명 도면 부호 39는 러버 플레이트로서 진공 러버 프레스(210)의 경우 메탈 플레이트(38) 상에 볼트(50)가 결합되는 엣지 부분을 제외한 전체 면에 본드 접착되어 형성되며, 진공 메탈 프레스(220)의 경우에는 생략되는 구성이다. 또한, 도 2에서 상부척(34)과 하부척(35)은 전체적으로 사각 형상을 가지는 것으로 도시되어 있으나, 상부척(34)과 하부척(35)의 형상은 기판(10)의 형상의 따라 변경될 수 있다.
그런데, 종래기술에서는 도 2에 도시된 바와 같이 쿠션 패드(37)와 메탈 플레이트(38)의 볼트 관통구멍(51, 52)과 볼트(50) 사이에 틈새가 없는 단순 볼트 체결방식을 사용하고 있어, 히터 플레이트(36)의 가열시 쿠션 패드(37)와 메탈 플레이트(38)의 열변형에 따른 유동이 불가능함에 따라 쿠션 패드(37)와 메탈 플레이트(38)의 열변형시 척의 휨 현상이 발생하게 되고, 이는 결국 상부척(34)과 하부척(35)의 균일 가압을 불가능하게 하여 안정적으로 본접을 수행할 수 없게 되는 문제점이 있다.
본 발명은 위와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 균일 가압을 형성하기 위한 부싱타입 볼트 체결구조를 갖는 라미네이터-본더 시스템을 제공하는데 있다.
위와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 부싱타입 볼트 체결구조를 갖는 라미네이터-본더 시스템은, 히터 플레이트 상에 쿠션 패드와 메탈 플레이트가 순차적으로 적층되어 볼트에 의해 결합된 형태를 가지는 상부척 및 하부척이 척대척 방식으로 서로 가압 밀착됨으로써 상기 히터 플레이트에 의해 필름 또는 강성 기재가 가접된 기판을 본접하는 본접부를 포함하여 구성되는 라미네이터와 본더로 이루어진 라미네이터-본더 시스템에 있어서, 상기 상부척 및 하부척의 쿠션 패드와 메탈 플레이트에는 상기 볼트가 관통되는 볼트 관통구멍이 각각 형성되고, 상기 쿠션 패드와 메탈 플레이트의 볼트 관통구멍과 상기 볼트 사이에는 본접시 상기 쿠션 패드와 메탈 플레이트의 변형을 수용하는 유격을 부여하기 위한 부시가 삽입 결합되어 있는 것을 특징으로 한다.
바람직하게, 상기 부시는 원통형의 몸체부와 상기 몸체부보다 큰 직경을 갖는 플랜지 형상의 머리부가 일체로 결합된 형상을 가지며, 상기 몸체부와 머리부의 내부에는 상기 볼트가 관통 삽입되는 중공의 볼트공이 형성되어 있다.
바람직하게, 상기 볼트공의 일부면은 상기 볼트의 머리부 형상을 따라 테이퍼진 경사면으로 형성된다.
바람직하게, 상기 부시가 삽입 결합되는 상기 메탈 플레이트의 볼트 관통구멍은 두개의 서로 다른 직경을 가진 상부 관통홀과 하부 관통홀로 이루어진다.
바람직하게, 상기 상부 관통홀은 상기 부시의 머리부가 삽입 결합될 수 있도록 상기 부시의 몸체부가 삽입 결합되는 상기 하부 관통홀보다 큰 직경을 갖도록 형성된다.
바람직하게, 상기 상부 관통홀과 하부 관통홀의 사이에는 상기 부시의 머리부가 안착되어 수직 지지되는 수평의 단차면이 형성되어 있다.
바람직하게, 상기 히터 플레이트는 상기 볼트가 나사 결합되는 볼트 체결공을 포함하며, 상기 볼트가 상기 히터 플레이트의 볼트 체결공에 나사 결합시 상기 부시의 머리부는 상기 볼트의 머리부에 의해 가압되어 상기 메탈 플레이트의 상부 관통홀 내에서 하부면이 상기 단차면에 면접촉되어 지지된 상태로 결합된다.
바람직하게, 상기 메탈 플레이트의 상부 관통홀과 상기 부시의 머리부 사이 및 상기 하부 관통홀과 상기 부시의 몸체부 사이에는 본접시 상기 메탈 플레이트의 변형에 따른 유동을 수용할 수 있는 유격을 부여하는 크기를 갖는 틈새가 각각 형성된다.
바람직하게, 상기 메탈 플레이트의 변형에 따른 유동시 상기 부시의 머리부는 상기 메탈 플레이트의 볼트 관통구멍에 형성된 수평의 단차면 상에서 슬라이딩될 수 있다.
바람직하게, 상기 쿠션 패드의 볼트 관통구멍과 상기 부시의 몸체부 사이에는 본접시 상기 쿠션 패드의 변형에 따른 유동을 수용할 수 있는 유격을 부여하는 크기를 갖는 틈새가 형성되어 있다.
바람직하게, 상기 히터 플레이트의 볼트 체결공은 상기 히터 플레이트의 엣지 부분을 따라 배치되어 있다.
바람직하게, 상기 메탈 플레이트 상에 상기 볼트가 결합되는 엣지 부분을 제외한 전체 면에 본드 접착되어 형성되는 러버 플레이트를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 라미네이터-본더 시스템은 부싱타입 볼트 체결구조를 구비함으로써, 쿠션 패드와 메탈 플레이트의 열변형시 척의 휨 현상을 방지하고, 상부척과 하부척의 균일 가압을 가능하게 하여 안정적으로 본접을 수행할 수 있게 한다.
도 1은 라미네이터-본더 시스템에서 라미네이터 또는 본더의 주요부를 도시한 정면도이다.
도 2는 종래기술에서의 상부척 및 하부척을 도시한 평면도 및 부분 단면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 라미네이터-본더 시스템에서 상부척 및 하부척을 도시한 부분 단면도이다.
도 4는 종래기술과 본 발명에서의 감압지 평가결과를 비교 도시한 도면이다.
아래에서는 본 발명에 따른 부싱타입 볼트 체결구조를 갖는 라미네이터-본더 시스템을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 다만, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 3은 본 발명에 따른 라미네이터-본더 시스템에서 상부척 및 하부척을 도시한 부분 단면도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명에서의 상부척(34)과 하부척(35)은 히터 플레이트(36) 상에 쿠션 패드(37)와 메탈 플레이트(38)가 순차적으로 적층되어 볼트(50)에 의해 결합되되, 쿠션 패드(37)와 메탈 플레이트(38)의 볼트 관통구멍(51, 52)과 볼트(50) 사이에 부시(Bush)(60)가 삽입되어 있는 것을 특징으로 한다.
부시(60)는 원통형의 몸체부(601)와 상기 몸체부(601)보다 큰 직경을 갖는 플랜지 형상의 머리부(602)가 일체로 결합된 형상을 가지며, 상기 몸체부(601)와 머리부(602)의 내부에는 볼트(50)가 관통 삽입되는 중공의 볼트공(603)이 형성되어 있다.
바람직하게, 상기 볼트공(603)의 일부면은 도 3에 도시된 바와 같이 볼트(50)의 머리부(501) 형상을 따라 테이퍼진 경사면으로 형성되어 볼트(50)와 부시(60) 간의 결합시 접촉력을 높일 수 있다.
상기 부시(60)가 삽입 결합되는 메탈 플레이트(38)의 볼트 관통구멍(51)은 두개의 서로 다른 직경을 가진 상부 관통홀(511)과 하부 관통홀(512)로 이루어지며, 도 3에 도시된 바와 같이 상부 관통홀(511)은 부시(60)의 머리부(602)가 삽입 결합될 수 있도록 부시(60)의 몸체부(601)가 삽입 결합되는 하부 관통홀(512)보다 큰 직경을 갖도록 형성되고, 상부 관통홀(511)과 하부 관통홀(512)의 사이에는 부시(60)의 머리부(602)가 안착되어 수직 지지되는 수평의 단차면(513)이 형성되어 있다.
이에 따라, 볼트(50)가 히터 플레이트(36)의 볼트 체결공(53)에 나사 결합시 부시(60)의 머리부(602)는 볼트(50)의 머리부(501)에 의해 가압되어 메탈 플레이트(38)의 상부 관통홀(511) 내에서 하부면이 단차면(513)에 면접촉되어 지지된 상태로 결합되게 된다.
이때, 본 발명은 메탈 플레이트(38)의 상부 관통홀(511)과 부시(60)의 머리부(602) 사이 및 하부 관통홀(512)과 부시(60)의 몸체부(601) 사이에 소정의 크기를 갖는 틈새(G)를 각각 형성함으로써, 볼트(50)와 메탈 플레이트(38)의 사이에 메탈 플레이트(38)의 열변형에 따른 유동을 수용할 수 있는 여유 공간인 유격을 부여할 수 있도록 한다.
상기 틈새(G)의 크기는 히터 플레이트(36)의 가열에 따라 발생할 수 있는 메탈 플레이트(38)의 열변형량을 고려하여 최적 설계될 수 있으며, 이에 따라 본 발명은 메탈 플레이트(38)의 열변형시 척의 휨 현상이 발생하는 것을 효과적으로 방지할 수 있게 된다.
한편, 메탈 플레이트(38)의 열변형에 따른 유동시 부시(60)의 머리부(602)는 메탈 플레이트(38)의 볼트 관통구멍(51)에 형성된 수평의 단차면(513) 상에서 슬라이딩될 수 있으며, 이에 따라 메탈 플레이트(38)의 열변형에 따른 유동시에도 볼트(50)와 메탈 플레이트(38)의 수직 결합력이 적절히 유지될 수 있게 된다.
상기 메탈 플레이트(38)의 하부 관통홀(512)의 하부에 위치되는 쿠션 패드(37)의 볼트 관통구멍(52)도 상기 메탈 플레이트(38)의 볼트 관통구멍(51)과 마찬가지로 부시(60)의 몸체부(601)와의 사이에 소정의 크기를 갖는 틈새(G)가 형성되며, 이에 따라 볼트(50)와 쿠션 패드(37)의 사이에도 쿠션 패드(37)의 열변형에 따른 유동을 수용할 수 있는 여유 공간인 유격을 부여할 수 있도록 한다.
상기 쿠션 패드(37)의 볼트 관통구멍(52)과 부시(60)의 몸체부(601) 사이에형성되는 틈새(G)의 크기는 히터 플레이트(36)의 가열에 따라 발생할 수 있는 쿠션 패드(37)의 열변형량을 고려하여 최적 설계될 수 있으며, 이는 메탈 플레이트(38)의 하부 관통홀(512)과 부시(60)의 몸체부(601) 사이에 형성되는 틈새(G)의 크기와는 다를 수 있다.
한편, 종래기술에서와 마찬가지로 볼트(50)는 히터 플레이트(36)의 엣지 부분을 따라 배치되어 체결되며, 진공 러버 프레스(210)의 경우에는 메탈 플레이트(38) 상에 볼트(50)가 결합되는 엣지 부분을 제외한 전체 면에 러버 플레이트(39)가 추가로 본드 접착되어 형성된다. 또한, 상부척(34)과 하부척(35)의 평단면 형상은 기판(10)의 형상의 따라 사각형 또는 다른 형상을 가진다(도 2 참조).
도 4는 종래기술과 본 발명에서의 감압지 평가결과를 비교 도시한 도면이다.
도 4를 참조하면, 600mm×600mm 감압지 평가결과 종래기술(a)에 비해 본 발명(b)에서 보다 균일한 가압력을 확보할 수 있음을 확인할 수 있다.
이상 설명한 바와 같은 본 발명에 따른 부싱타입 볼트 체결구조를 갖는 라미네이터-본더 시스템에 의하면, 쿠션 패드(37)와 메탈 플레이트(38)의 볼트 관통구멍(51, 52)과 볼트(50) 사이에 부시(60)를 게재하여 틈새(G)를 마련함으로써, 쿠션 패드(37)와 메탈 플레이트(38)의 열변형시 척의 휨 현상을 방지하고, 이에 따라 상부척(34)과 하부척(35)의 균일 가압을 가능하게 하여 안정적으로 본접을 수행할 수 있게 한다.
한편, 쿠션 패드(37)와 메탈 플레이트(38)의 변형에 대해 히터 플레이트(36)의 가열에 따른 열변형을 위주로 설명하였으나, 쿠션 패드(37)와 메탈 플레이트(38)의 변형은 히터 플레이트(36)의 가열에 따른 열변형 외에도 유압 프레스(40)의 가압 불균형에 따른 변형도 포함될 수 있으며, 본 발명은 본접시 발생할 수 있는 다양한 원인에 의한 쿠션 패드(37)와 메탈 플레이트(38)의 변형을 수용하는 유격을 쿠션 패드(37)와 메탈 플레이트(38)의 볼트 관통구멍(51, 52)과 볼트(50) 사이에 부여하는 것을 그 기술적 사상으로 한다.
본 명세서와 첨부된 도면에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술적 사상을 쉽게 설명하기 위한 목적으로 사용된 것일 뿐, 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 따라서, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.
1: 라미네이터 2: 본더
10: 기판 21: 상부 캐리어 필름
22: 하부 캐리어 필름 30: 진공챔버
31: 상부 챔버부 32: 하부 챔버부
33: 밀폐공간 34: 상부척
35: 하부척 36: 히터 플레이트
37: 쿠션 패드 38: 메탈 플레이트
39: 러버 플레이트 40: 유압 프레스
50: 볼트 51, 52: 볼트 관통구멍
53: 볼트 체결공 60: 부시
501: 머리부 511: 상부 관통홀
512: 하부 관통홀 513: 단차면
601: 몸체부 602: 머리부
603: 볼트공 100: 로딩부
111, 112: 권출 롤러 200: 본접부
210: 진공 러버 프레스 220: 진공 메탈 프레스
300: 언로딩부 311, 312: 권취 롤러
G: 틈새

Claims (14)

  1. 히터 플레이트 상에 쿠션 패드와 메탈 플레이트가 순차적으로 적층되어 볼트에 의해 결합된 형태를 가지는 상부척 및 하부척이 척대척 방식으로 서로 가압 밀착됨으로써 상기 히터 플레이트에 의해 필름 또는 강성 기재가 가접된 기판을 본접하는 본접부를 포함하여 구성되는 라미네이터와 본더로 이루어진 라미네이터-본더 시스템에 있어서,
    상기 상부척 및 하부척의 쿠션 패드와 메탈 플레이트에는 상기 볼트가 관통되는 볼트 관통구멍이 각각 형성되고,
    상기 쿠션 패드와 메탈 플레이트의 볼트 관통구멍과 상기 볼트 사이에는 본접시 상기 쿠션 패드와 메탈 플레이트의 변형을 수용하는 유격을 부여하기 위한 부시가 삽입 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 라미네이터-본더 시스템.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 부시는 원통형의 몸체부와 상기 몸체부보다 큰 직경을 갖는 플랜지 형상의 머리부가 일체로 결합된 형상을 가지며, 상기 몸체부와 머리부의 내부에는 상기 볼트가 관통 삽입되는 중공의 볼트공이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 라미네이터-본더 시스템.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 볼트공의 일부면은 상기 볼트의 머리부 형상을 따라 테이퍼진 경사면으로 형성되는 것을 특징으로 하는 라미네이터-본더 시스템.
  4. 청구항 2에 있어서,
    상기 부시가 삽입 결합되는 상기 메탈 플레이트의 볼트 관통구멍은 두개의 서로 다른 직경을 가진 상부 관통홀과 하부 관통홀로 이루어지는 것을 특징으로 하는 라미네이터-본더 시스템.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 상부 관통홀은 상기 부시의 머리부가 삽입 결합될 수 있도록 상기 부시의 몸체부가 삽입 결합되는 상기 하부 관통홀보다 큰 직경을 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 라미네이터-본더 시스템.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 상부 관통홀과 하부 관통홀의 사이에는 상기 부시의 머리부가 안착되어 수직 지지되는 수평의 단차면이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 라미네이터-본더 시스템.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 히터 플레이트는 상기 볼트가 나사 결합되는 볼트 체결공을 포함하며,
    상기 볼트가 상기 히터 플레이트의 볼트 체결공에 나사 결합시 상기 부시의 머리부는 상기 볼트의 머리부에 의해 가압되어 상기 메탈 플레이트의 상부 관통홀 내에서 하부면이 상기 단차면에 면접촉되어 지지된 상태로 결합되는 것을 특징으로 하는 라미네이터-본더 시스템.
  8. 청구항 6에 있어서,
    상기 메탈 플레이트의 상부 관통홀과 상기 부시의 머리부 사이 및 상기 하부 관통홀과 상기 부시의 몸체부 사이에는 본접시 상기 메탈 플레이트의 변형에 따른 유동을 수용할 수 있는 유격을 부여하는 크기를 갖는 틈새가 각각 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 라미네이터-본더 시스템.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 메탈 플레이트의 변형에 따른 유동시 상기 부시의 머리부는 상기 메탈 플레이트의 볼트 관통구멍에 형성된 수평의 단차면 상에서 슬라이딩될 수 있는 것을 특징으로 하는 라미네이터-본더 시스템.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 쿠션 패드의 볼트 관통구멍과 상기 부시의 몸체부 사이에는 본접시 상기 쿠션 패드의 변형에 따른 유동을 수용할 수 있는 유격을 부여하는 크기를 갖는 틈새가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 라미네이터-본더 시스템.
  11. 청구항 7에 있어서,
    상기 히터 플레이트의 볼트 체결공은 상기 히터 플레이트의 엣지 부분을 따라 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 라미네이터-본더 시스템.
  12. 청구항 11에 있어서,
    상기 메탈 플레이트 상에 상기 볼트가 결합되는 엣지 부분을 제외한 전체 면에 본드 접착되어 형성되는 러버 플레이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 라미네이터-본더 시스템.
  13. 히터 플레이트 상에 쿠션 패드와 메탈 플레이트가 순차적으로 적층되어 볼트에 의해 결합된 형태를 가지는 상부척 및 하부척이 척대척 방식으로 서로 가압 밀착됨으로써 상기 히터 플레이트에 의해 필름이 가접된 기판을 본접하는 본접부를 포함하는 라미네이터에 있어서,
    상기 상부척 및 하부척의 쿠션 패드와 메탈 플레이트에는 상기 볼트가 관통되는 볼트 관통구멍이 각각 형성되고,
    상기 쿠션 패드와 메탈 플레이트의 볼트 관통구멍과 상기 볼트 사이에는 본접시 상기 쿠션 패드와 메탈 플레이트의 변형을 수용하는 유격을 부여하기 위한 부시가 삽입 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 라미네이터.
  14. 히터 플레이트 상에 쿠션 패드와 메탈 플레이트가 순차적으로 적층되어 볼트에 의해 결합된 형태를 가지는 상부척 및 하부척이 척대척 방식으로 서로 가압 밀착됨으로써 상기 히터 플레이트에 의해 강성 기재가 가접된 기판을 본접하는 본접부를 포함하는 본더에 있어서,
    상기 상부척 및 하부척의 쿠션 패드와 메탈 플레이트에는 상기 볼트가 관통되는 볼트 관통구멍이 각각 형성되고,
    상기 쿠션 패드와 메탈 플레이트의 볼트 관통구멍과 상기 볼트 사이에는 본접시 상기 쿠션 패드와 메탈 플레이트의 변형을 수용하는 유격을 부여하기 위한 부시가 삽입 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 본더.
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