KR102152612B1 - 마스크 이송 장치 - Google Patents

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KR102152612B1
KR102152612B1 KR1020190096835A KR20190096835A KR102152612B1 KR 102152612 B1 KR102152612 B1 KR 102152612B1 KR 1020190096835 A KR1020190096835 A KR 1020190096835A KR 20190096835 A KR20190096835 A KR 20190096835A KR 102152612 B1 KR102152612 B1 KR 102152612B1
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정해상
남상철
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로쏘켐텍 주식회사
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Abstract

마스크 프레임 상으로 마스크를 이송하는 일 실시예에 따른 마스크 이송 장치는, 상기 마스크가 부착되는 탄성층; 및 상기 탄성층의 외측을 둘러싸는 강성의 프레임;을 포함하고, 상기 마스크에는 유기 소자가 통과할 수 있는 패턴이 형성되며, 상기 마스크는 상기 탄성층에 안정적으로 고정되어, 마스크의 응력 발생 또는 패턴의 결함을 방지할 수 있다.

Description

마스크 이송 장치{Transfer device for Fine Metal Mask}
마스크 이송 장치가 개시된다.
디스플레이 장치에 쓰이는 OLED는 형광성 유기화합물을 기반으로 한 발광 소자를 사용한다. 이러한 OLED는 일반적으로 많이 쓰이는 LCD 방식과 달리 자체적으로 빛을 발산할 수 있기 때문에 백라이트가 필요없는 특징을 갖는다. 따라서 OLED 방식을 사용하면 제품 두께를 더욱 얇게 만들 수 있으며, 특수 유리나 플라스틱을 이용해 구부리거나 휠 수 있는 디스플레이 기기 또한 제작할 수 있을 뿐만 아니라 화질 측면에서도 기존 LCD보다 유리하기 때문에 OLED의 사용 영역은 점차 확대되고 있다.
이와 같은 OLED 방식의 디스플레이 장치의 제조 과정 중에 OLED 증착 공정을 반드시 거치게 된다. 이때, 기판에 패턴을 형성하기 위해 기판에 형성하고자 하는 패턴과 동일한 패턴을 갖는 마스크(Fine Metal Mask)를 사용하게 된다. 유기 소자를 증착하기 위해, 글라스 등으로 이루어진 기판 상에 마스크를 정렬하고 부착한다. 마스크의 하부에서 유기 소자는 약 200~300° 정도의 열에 의해 승화되고 마스크에 형성된 패턴을 통과하여 최종적으로 기판에 증착된다.
보다 고해상도의 제품을 제조하기 위해서는 마스크에 미세한 패터닝이 이루어져야 하는데, 이를 위해 전주도금을 사용하여 마스크를 제작할 수 있다. 전주도금으로 만들어진 박막의 마스크는 두께가 매우 얇아 기판에 부착되기 전에 마스크 프레임 상에 결합되어 고정될 수 있으며, 이때, 마스크의 이송 과정에서 패턴의 결함을 방지하도록 마스크가 평평하게 펴진 상태로 유지되어야 한다.
이와 관련된 기술로, 2007년 11월 20일자로 출원된 공개특허공보 제10-2009-0052200호는 "수직 증착형 마스크 제조장치 및 이를 이용한 수직 증착형마스크의 제조방법"을 개시하고 있다.
전술한 배경기술은 발명자가 본 발명의 도출과정에서 보유하거나 습득한 것으로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에 공개된 공지 기술이라고 할 수는 없다.
일 실시예에 따른 마스크 이송 장치의 목적은 도금층의 박리를 용이하게 하는 장치를 제공하는 것이다.
일 실시예에 따른 마스크 이송 장치의 목적은 도금층을 마스크 프레임에 용접하는 것을 용이하게 하는 장치를 제공하는 것이다.
일 실시예에 따른 마스크 이송 장치의 목적은 도금층 이송 시 도금층에 결함이 발생하는 것을 방지하는 장치를 제공하는 것이다.
일 실시예에 따른 마스크 이송 장치의 목적은 도금층 이송 시 도금층에 응력이 발생하는 것을 방지하는 장치를 제공하는 것이다.
일 실시예에 따른 목적은 마스크 이송 장치의 목적은 마스크 이송 장치를 사용하여 도금층의 마스크를 프레임에 결합하는 방법을 제공하는 것이다.
실시예들에서 해결하려는 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 목적을 달성하기 위한 일 실시예에 따른 마스크 이송 장치는, 마스크 프레임 상으로 마스크를 이송하고, 상기 마스크가 부착되는 탄성층; 및 상기 탄성층의 외측을 둘러싸는 강성의 프레임;을 포함하고, 상기 마스크에는 유기 소자가 통과할 수 있는 패턴이 형성되며, 상기 마스크는 상기 탄성층에 안정적으로 고정되어, 마스크의 응력 발생 또는 패턴의 결함을 방지할 수 있다.
일 측에 의하면, 상기 탄성층은 중앙에 형성된 개구부를 포함하고, 상기 개구부를 통해 상기 마스크의 패턴이 형성된 부분이 노출될 수 있다.
일 측에 의하면, 상기 개구부를 통해 상기 마스크의 용접 부분이 노출될 수 있다.
일 측에 의하면, 상기 개구부는 상기 마스크보다 작은 사이즈를 가질 수 있다.
일 측에 의하면, 상기 탄성층은 탄성이 있는 매쉬 재질로 구성되어 상기 마스크를 고정시킬 수 있다.
일 측에 의하면, 상기 탄성층은 접착부를 포함하고, 상기 접착부를 통해 상기 마스크의 가장자리가 상기 탄성층에 부착될 수 있다.
일 측에 의하면, 상기 탄성층은 상기 프레임에 탈부착 가능하게 고정될 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 일 실시예에 따른 마스크 결합 방법은, 외측의 프레임 및 개구부를 구비한 내측의 탄성층을 포함하는 마스크 이송 장치가 제공되는 단계; 상기 마스크 이송 장치가 마스크 상부로 이동하는 단계; 상기 마스크의 가장자리가 상기 탄성층에 부착되는 단계; 상기 마스크가 상기 마스크 이송 장치에 의해 마스크 프레임의 상부로 이송되는 단계; 상기 마스크가 상기 마스크 프레임에 고정되는 단계; 및 상기 마스크가 절단되는 단계;를 포함할 수 있다.
일 측에 의하면, 외측의 프레임 및 개구부를 구비한 내측의 탄성층을 포함하는 상기 마스크 이송 장치가 제공되는 단계 전에, 모형상에 금속을 전착시킨 뒤 분리함으로써 원하는 패턴이 형성된 금속을 얻는 전주도금 방식으로 마스크가 제조되는 단계를 더 포함할 수 있다.
일 측에 의하면, 상기 마스크가 상기 탄성층에 부착되기 전에 탄성층에 접착제를 도포하는 단계를 더 포함할 수 있다.
일 측에 의하면, 상기 마스크가 상기 마스크 프레임에 고정되는 단계는 레이저 또는 스폿 용접, 전주도금 또는 접착제에 의해 상기 마스크를 상기 마스크 프레임에 고정시킬 수 있다.
일 측에 의하면, 상기 탄성층은 탄성이 있는 매쉬 재질로 구성되어 상기 마스크를 고정시킬 수 있다.
일 실시예에 따른 마스크 이송 장치에 의하면, 도금층의 박리를 용이하게 하는 효과가 있다.
일 실시예에 따른 마스크 이송 장치에 의하면, 도금층을 마스크 프레임에 용접하는 것을 용이하게 하는 효과가 있다.
일 실시예에 따른 마스크 이송 장치에 의하면, 도금층 이송 시 도금층에 결함이 발생하는 것을 방지하는 효과가 있다.
일 실시예에 따른 마스크 이송 장치에 의하면, 도금층 이송 시 도금층에 응력이 발생하는 것을 방지하는 효과가 있다.
일 실시예에 따른 마스크 이송 장치에 의하면, 마스크 이송 장치를 사용하여 도금층의 마스크를 프레임에 결합하는 방법을 제공할 수 있다.
일 실시예에 따른 마스크 이송 장치의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 일 실시예에 따른 마스크 이송 장치의 정면도이다.
도 2는 일 실시예에 따른 마스크 이송 장치의 탄성층을 구체적으로 도시한다.
도 3은 일 실시예에 따른 마스크 이송 장치에 의해 이송될 마스크를 도시한다.
도 4는 마스크가 부착된 일 실시예에 따른 마스크 이송 장치의 정면도이다.
도 5는 마스크가 부착된 일 실시예에 따른 마스크 이송 장치의 배면도이다.
도 6은 마스크 이송 장치를 사용하여 마스크를 마스크 프레임에 결합하는 방법을 나타내는 순서도이다.
본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 일 실시예를 예시하는 것이며, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니된다.
이하, 실시예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 실시예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 실시예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 실시예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
어느 하나의 실시 예에 포함된 구성요소와, 공통적인 기능을 포함하는 구성요소는, 다른 실시 예에서 동일한 명칭을 사용하여 설명하기로 한다. 반대되는 기재가 없는 이상, 어느 하나의 실시 예에 기재한 설명은 다른 실시 예에도 적용될 수 있으며, 중복되는 범위에서 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 일 실시예에 따른 마스크 이송 장치(10)의 정면도이다.
도 2는 일 실시예에 따른 마스크 이송 장치(10)의 탄성층(100)을 구체적으로 도시한다.
도 1을 참조하여, 일 실시예에 따른 마스크 이송 장치(10)는 탄성층(100) 및 프레임(200)을 포함할 수 있다.
탄성층(100)은 유기 소자가 통과할 수 있는 패턴이 형성된 마스크(300)가 부착될 수 있다. 또한, 탄성층(100)은 탄성이 있는 매쉬(mesh) 구조의 층일 수 있다. 예를 들어, 탄성층(100)은 SUS 또는 Poly 매쉬로 구성될 수 있다. 이러한 탄성층(100) 상에 마스크(300)가 고정되어 마스크 프레임 상으로 이송될 수 있다.
또한, 탄성층(100)은 프레임(200)에 탈부착 가능하도록 마련되어, 마스크결합 작업의 시작 전에 프레임(200)에 고정될 수 있고, 마스크 결합 작업이 완료된 후 프레임(200)으로부터 제거될 수 있다.
프레임(200)은 탄성층(100)의 외측을 둘러쌀 수 있으며, 그 형태를 유지할 수 있도록 강성일 수 있다. 예를 들어, 프레임(200)은 알루미늄 재질로 구성될 수 있다. 프레임(200)은 도 1에서 사각형으로 도시되어 있지만, 마스크 프레임의 형상에 따라 프레임(200)의 형상 또한 원형 또는 다각형 등의 다양한 형상을 가질 수 있다.
도 2를 참조하여, 일 실시예에 따른 마스크 이송 장치(10)의 탄성층(100)은 개구부(110) 및 접착부(120)를 포함할 수 있다.
구체적으로, 개구부(110)는 탄성층(100)의 중앙에 형성될 수 있다. 도 2에서 개구부(110)의 형상은 사각형으로 도시되어 있지만, 이에 제한되지 않으며 다양한 형상을 가질 수 있다. 또한, 개구부(110)의 크기는 마스크(300)의 크기보다 더 작을 수 있다.
개구부(110)는 마스크(300)가 탄성층(100)에 부착되었을 때, 마스크(300)의 패턴이 형성된 부분(310)이 노출되는 부분일 수 있다. 또한, 개구부(110)를 통해 마스크(300)가 마스크 프레임에 결합될 부분이 노출될 수 있다.
다시 도 1을 참조하여, 접착부(120)는 개구부(110)를 둘러싼 부분이며, 마스크(300)가 부착되는 부분일 수 있다. 탄성층(100)에서 접착부(120)가 실질적으로 매쉬 구조로 구성된 부분일 수 있으며, 이러한 접착부(120)에 접착체를 도포하여 마스크(300)를 고정시킬 수 있다. 또한, 접착부(120)는 탄성을 가지기 때문에, 이송 시 마스크(300)의 수축을 방지할 수 있다.
도 3은 일 실시예에 따른 마스크 이송 장치(10)에 의해 이송될 마스크(300)를 도시한다.
도 3을 참조하여, 마스크(300)는 모형상에 금속을 전착시킨 뒤 분리함으로써 원하는 패턴이 형성된 금속을 얻는 전주도금 방식으로 제조될 수 있다.
전주도금법은 도금용 수용액을 넣고, 수용액 내에 양극, 음극을 넣어 전기를 흐르게 한 뒤 음극에 붙은 도금된 물질을 분리하는 방법을 칭한다.
구체적으로, 전주도금법은 박리피막을 부여한 모형상에 금속을 전착시킨 후
전주도금법을 사용하여 마스크(FMM)를 제조하면, 600ppi 이상의 UHD, 8K 등의 정밀한 패터닝을 갖는 초고해상도 마스크를 제조할 수 있다. 이러한 방법으로 제조된 마스크는 박막으로 형성되어, 인장 시 웨이빙(waving) 현상이 일어나는 문제점이 발생할 수 있다. 또한, 찌그러짐 등에 의해 수축하여 패턴의 결함이 생기거나 응력이 발생할 수 있다. 따라서, 마스크 프레임과의 결합을 위해 마스크(300)를 이송할 때, 이를 방지하고 마스크(300)가 평평하게 쫙 펴진 상태로 고정될 필요가 있다.
이러한 마스크의 패턴부(310)는 기판에 형성할 패턴과 동일한 패턴이 형성되는 부분일 수 있다. 패턴부(310)에는 화소 증착 시 유기 소자가 통과할 수 있도록 복수의 패턴홀들이 구비될 수 있다.
마스크의 결합부(320)는 마스크(300)가 마스크 프레임 상에 접촉한 뒤 마스크(300)를 마스크 프레임에 결합시키기 위해 용접되는 부분일 수 있다.
마스크의 고정부(330)는 마스크(300)의 가장자리에 위치하며, 탄성층(100)에 부착되는 부분일 수 있다.
일 실시예에 따른 마스크 이송 장치(10)는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 마스크(300)가 부착될 수 있다.
도 4는 마스크(300)가 부착된 일 실시예에 따른 마스크 이송 장치(10)의 정면도이다.
도 5는 마스크(300)가 부착된 일 실시예에 따른 마스크 이송 장치(10)의 배면도이다.
도 4를 참조하여, 마스크의 패턴부(310) 및 결합부(320)는 탄성층(100)의 개구부(110)를 통해 외부로 노출될 수 있다.
도 5를 참조하여, 마스크(300)의 고정부(330)는 탄성층(100)의 접착부(120)에 부착될 수 있다. 이때, 고정부(330)는 접착부(120)에 도포된 접착제에 의해 접착부(120) 상에 고정될 수 있다.
도 6은 마스크 이송 장치(10)를 사용하여 마스크(300)를 마스크 프레임에 결합하는 방법을 나타내는 순서도이다.
도 6을 참조하여, 마스크 이송 장치(10)를 사용하여 마스크(300)를 마스크 프레임에 결합하는 방법은 마스크 이송 장치(10)가 제공되는 단계(S1), 마스크 이송 장치(10)가 마스크(300) 상부로 이동하는 단계(S2), 마스크(300)가 탄성층(100)에 부착되는 단계(S3), 마스크(300)가 마스크 프레임 상부로 이송되는 단계(S4), 마스크(300)가 마스크 프레임에 고정되는 단계(S5) 및 마스크(300)가 절단되는 단계(S6)를 포함할 수 있다.
구체적으로, 단계(S1)에서 마스크 이송 장치(10)는 도 1을 참조하여 전술한 바와 같이 개구부(110)를 구비한 탄성층(100) 및 강성의 프레임(200)을 포함할 수 있다. 이때, 프레임(200)은 마스크 이송 장치(10)의 외측에 구비되고, 탄성층(100)은 마스크 이송 장치(10)의 내측에 구비될 수 있다.
단계(S2)에서 마스크 이송 장치(10)는 마스크(300)의 상부로 이동할 수 있다. 이 단계(S2)에서 마스크 이송 장치(10)는 마스크(300)가 부착될 위치, 즉 마스크(300)의 고정부(330)가 탄성층(100)의 접착부(120)에 위치하도록 정렬될 수 있다.
정렬이 완료된 후에, 탄성층(100)에 접착제를 도포하는 단계를 더 포함할 수 있다. 이때, 탄성층(100)의 접착부(120) 상에 마스크(300)의 고정부(330)의 크기에 따라 접착제가 도포될 수 있다.
단계(S3)에서 마스크 이송 장치(10)는 마스크(300)의 가장자리, 즉 고정부(330)가 탄성층(100)의 접착부(120)와 접촉하도록 수직 방향으로 이동할 수 있다. 고정부(330)는 접착제에 의해 접착부(120)에 부착될 수 있다. 이와 같이 부착함으로써, 마스크(300)의 패턴부(310) 및 결합부(320)는 개구부(110)를 통해 외부로 노출될 수 있다. 이때, 탄성층(100)은 탄성이 있는 매쉬 재질로 구성되어 마스크(300)의 수축 변형을 방지할 수 있다.
단계(S4)에서 마스크(300)가 부착된 마스크 이송 장치(10)는 마스크(300)가 결합되어야 하는 마스크 프레임의 상부로 이동될 수 있다. 이에 따라 마스크(300)는 수축 등의 변형 없이 마스크 프레임 상으로 이송될 수 있다. 또한, 이 단계(S4)에서 마스크 이송 장치(10)는 마스크(300)의 결합부(320)가 마스크 프레임 상에 결합될 부분에 위치하도록 정렬될 수 있다.
정렬이 완료된 후, 단계(S5)에서 마스크 이송 장치(10)는 마스크(300)가 마스크 프레임과 접촉하도록 수직 방향으로 이동할 수 있다. 결합부(320)가 마스크 프레임과 접하게 되면 마스크(300)를 마스크 프레임에 고정시킬 수 있다. 이때, 마스크(300)를 마스크 프레임에 고정시키는 방법은 레이저 또는 스폿 용접을 포함할 수 있다. 또한, 일 실시예에 따른 마스크 이송 장치(10)는 마스크(300)를 마스크 프레임뿐만 아니라, 마스크(300)와의 결합이 필요한 다른 구성 요소에 고정시킬 수 있다. 이때, 마스크(300)를 고정시키는 방법 또한 레이저 또는 스폿 용접을 사용할 수 있으며, 전주도금 또는 접착제를 사용하여 고정시킬 수도 있다.
단계(S6)에서 용접이 완료된 마스크(300)는 외곽 부분이 절단될 수 있다. 이 단계(S6)에서 절단되는 부분은 마스크(300)의 결합부(210)일 수 있으며, 마스크(300)의 고정부(330)는 마스크(300) 및 마스크 프레임으로부터 분리될 수 있다.
이후, 마스크 이송 장치(10)는 탄성층(100)에 고정부(330)가 부착된 상태로 마스크(300)로부터 제거될 수 있다.
이와 같이 마스크(300) 및 마스크 프레임의 결합에 한번 사용된 탄성층(100)은 작업이 완료된 후 프레임(200)으로부터 제거되어 폐기될 수 있다. 또는, 탄성층(100)은 재사용될 수도 있다. 이때, 프레임(200)으로부터 탄성층(100)을 탈착시킨 후 화학적 세척제를 사용하여 남아있는 접착제를 용해시키고, 남아있던 마스크(300)의 일부를 제거할 수 있다. 이렇게 세척된 탄성층(100)은 다시 프레임(200)에 부착된 후 마스크(300)의 이송에 사용될 수 있다.
전술한 바와 같이, 일 실시예에 따른 마스크 이송 장치(10)를 사용하여 마스크(300)의 박리를 용이할 수 있다. 또한, 박리 후 마스크(300)를 이송하는 과정 중에 마스크(300)가 찌그러지거나 변형되는 등의 결함이 생기는 것을 방지할 수 있으며, 마스크(300)에 응력이 발생하는 것을 방지할 수도 있다. 또한, 마스크(300)를 마스크 프레임에 용접하고자 할 때, 별도의 인장 장치 없이도 마스크(300)를 평평한 상태로 유지하여 마스크 프레임에 용접하는 것을 용이하게 할 수 있다.
따라서, 일 실시예에 따른 마스크 이송 장치(10)를 사용하여 마스크(300)를 마스크 프레임에 결합시키면, 기판의 마스크를 붙이는 과정이 용이해지며, OLED 증착 전 마스크의 이송 과정에서 패턴의 결함이 발생하는 문제 또한 감소할 수 있다.
이상과 같이 본 발명의 실시예에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 구조, 장치 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다. 따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
10: 마스크 이송 장치
100: 탄성층
110: 개구부
120: 접착부
200: 프레임
300: 마스크
310: 패턴부
320: 결합부
330: 고정부

Claims (12)

  1. 마스크 프레임 상으로 마스크를 이송하는 마스크 이송 장치에 있어서,
    상기 마스크가 부착되는 탄성층; 및
    상기 탄성층의 외측을 둘러싸는 강성의 프레임;
    을 포함하고,
    상기 마스크에는 유기 소자가 통과할 수 있는 패턴이 형성되며,
    상기 마스크는 상기 탄성층에 안정적으로 고정되어, 마스크의 응력 발생 또는 패턴의 결함을 방지하는, 마스크 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 탄성층은 중앙에 형성된 개구부를 포함하고,
    상기 개구부를 통해 상기 마스크의 패턴이 형성된 부분이 노출되는, 마스크 이송 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 개구부를 통해 상기 마스크의 용접 부분이 노출되는, 마스크 이송 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 개구부는 상기 마스크보다 작은 사이즈를 가지는, 마스크 이송 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 탄성층은 탄성이 있는 매쉬 재질로 구성되어 상기 마스크를 고정시키는, 마스크 이송 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 탄성층은 접착부를 포함하고, 상기 접착부를 통해 상기 마스크의 가장자리가 상기 탄성층에 부착되는, 마스크 이송 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 탄성층은 상기 프레임에 탈부착 가능하게 고정되는, 마스크 이송 장치.

  8. 외측의 프레임 및 개구부를 구비한 내측의 탄성층을 포함하는 마스크 이송 장치가 제공되는 단계;
    상기 마스크 이송 장치가 마스크 상부로 이동하는 단계;
    상기 마스크의 가장자리가 상기 탄성층에 부착되는 단계;
    상기 마스크가 상기 마스크 이송 장치에 의해 마스크 프레임의 상부로 이송되는 단계;
    상기 마스크가 상기 마스크 프레임에 고정되는 단계; 및
    상기 마스크가 절단되는 단계;
    를 포함하는, 마스크 결합 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    외측의 프레임 및 개구부를 구비한 내측의 탄성층을 포함하는 상기 마스크 이송 장치가 제공되는 단계 전에,
    모형상에 금속을 전착시킨 뒤 분리함으로써 원하는 패턴이 형성된 금속을 얻는 전주도금 방식으로 마스크가 제조되는 단계를 더 포함하는, 마스크 결합 방법.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 마스크가 상기 탄성층에 부착되기 전에 탄성층에 접착제를 도포하는 단계를 더 포함하는, 마스크 결합 방법.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 마스크가 상기 마스크 프레임에 고정되는 단계는 레이저 또는 스폿 용접, 전주도금 또는 접착제에 의해 상기 마스크를 상기 마스크 프레임에 고정시키는, 마스크 결합 방법.
  12. 제8항에 있어서,
    상기 탄성층은 탄성이 있는 매쉬 재질로 구성되어 상기 마스크를 고정시키는, 마스크 결합 방법.
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