KR102151980B1 - Acqc 유닛용 밀폐형 수커넥터 자동 접속 장치 - Google Patents

Acqc 유닛용 밀폐형 수커넥터 자동 접속 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR102151980B1
KR102151980B1 KR1020180114337A KR20180114337A KR102151980B1 KR 102151980 B1 KR102151980 B1 KR 102151980B1 KR 1020180114337 A KR1020180114337 A KR 1020180114337A KR 20180114337 A KR20180114337 A KR 20180114337A KR 102151980 B1 KR102151980 B1 KR 102151980B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
upper door
door
housing
male connector
acqc
Prior art date
Application number
KR1020180114337A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20200034488A (ko
Inventor
김철원
김태형
Original Assignee
호산테크 주식회사
김태형
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 호산테크 주식회사, 김태형 filed Critical 호산테크 주식회사
Priority to KR1020180114337A priority Critical patent/KR102151980B1/ko
Publication of KR20200034488A publication Critical patent/KR20200034488A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102151980B1 publication Critical patent/KR102151980B1/ko

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16LPIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L55/00Devices or appurtenances for use in, or in connection with, pipes or pipe systems
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Connector Housings Or Holding Contact Members (AREA)

Abstract

본 발명은 ACQC 유닛용 밀폐형 수커넥터 자동 접속 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 탱크 롤리와 호스로 연결된 수커넥터를 작업자로부터 전달 받아 ACQC 유닛의 암커넥터에 자동으로 장착하고 분리하는 작업을 수행하는 ACQC 유닛용 밀폐형 수커넥터 자동 접속 장치에 관한 것이다.
본 발명의 ACQC 유닛용 밀폐형 수커넥터 자동 접속 장치는, ACQC 유닛의 작업 공간을 효과적으로 기밀하여 유해 가스의 누출을 방지하는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 ACQC 유닛용 밀폐형 수커넥터 자동 접속 장치는, 수커넥터 및 호스가 장작되지 않은 경우에도 ACQC 유닛의 작업 공간 내부를 효과적으로 기밀하여 오염 물질이 작업 공간 내부로 들어가는 것을 방지하는 효과가 있다.

Description

ACQC 유닛용 밀폐형 수커넥터 자동 접속 장치{Sealed Type Automatic Male Connector Coupling Apparatus for ACQC Unit}
본 발명은 ACQC 유닛용 밀폐형 수커넥터 자동 접속 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 탱크 롤리와 호스로 연결된 수커넥터를 작업자로부터 전달 받아 ACQC 유닛의 암커넥터에 자동으로 장착하고 분리하는 작업을 수행하는 ACQC 유닛용 밀폐형 수커넥터 자동 접속 장치에 관한 것이다.
반도체 및 LCD 제조 공장에서는 많은 종류의 화학 약품이 사용되고 있다. 이와 같은 화학약품은 주로 탱크 롤리에 적재되어 운반되고 공장의 저장 탱크에 저장되어 사용된다.
탱크 롤리에서 화학 약품을 전달 받아 공장의 저장 탱크에 저장하거나 이를 다시 탱크 롤리로 배출하는 기능을 수행하는 장치가 자동 청정 접속 유닛이다. 통상 이와 같은 장치를 ACQC 유닛(Automatic Clean Quick Coupler Unit)이라고 부른다. 저장 탱크는 케미컬 저장탱크는 통상 공장 건물 내부에 구비되고, ACQC 유닛은 건물 외부에 있는 탱크로리와 건물 내부에 있는 케미컬 저장탱크 사이에서 중계역할을 한다.
화학 약품용 수커넥터와 암커넥터가 연결되고, 질소용 수커넥터와 암커넥터가 연결된 상태에서, ACQC 유닛을 통해 탱크 롤리의 탱크에 일정 압력의 질소를 공급하고 그 공급 질소의 압력으로 화학 약품이 토출되어 화학 약품용 호스를 화학 약품 저장탱크에 저장된다.
이와 같이 ACQC 유닛에 의해 공장의 탱크에 저장되거나 배출되는 화약 약품은 인체에 유해하거나 환경 오염을 일으킬 수 있는 것인 경우가 많고 경우에 따라서는 폭발의 위험이 있는 경우도 많다.
따라서 ACQC 유닛 주위의 구성을 효과적으로 기밀하여 유해 가스의 누출을 방지하고 작업자의 안전을 도모할 수 있는 구조를 가진 ACQC 유닛용 밀폐형 수커넥터 자동 접속 장치의 필요성이 대두되고 있다.
또한, 외부 오염 물질이 ACQC 유닛 주위의 구성으로 흘러 들어가 작업 환경을 오염시키는 것을 방지할 수 있는 구조의 ACQC 유닛용 밀폐형 수커넥터 자동 접속 장치가 필요하다.
호스와 수커넥터를 암커넥터에 장착하여 화확약품 이송 작업을 수행하지 않는 경우 호수와 수커넥터가 경유하는 경로를 효과적으로 차단하고 기밀하여 오염 물질의 유입을 방지하고 내부 구성을 보호할 수 있는 구조의 ACQC 유닛용 밀폐형 수커넥터 자동 접속 장치가 필요하다.
본 발명은 상술한 바와 같은 필요성을 충족하기 위하여 안출된 것으로서, ACQC 유닛의 작업 공간의 오염을 방지하고 내부를 효과적으로 기밀할 수 있는 구조의 ACQC 유닛용 밀폐형 수커넥터 자동 접속 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상술한 바와 같은 목적을 해결하기 위한 본 발명의 ACQC 유닛용 밀폐형 수커넥터 자동 접속 장치는, 탱크 롤리에 호스로 연결된 수커넥터를 ACQC 유닛의 암커넥터에 자동으로 결합하는 ACQC 유닛용 밀폐형 수커넥터 자동 접속 장치에 있어서, 상기 수커넥터를 클램핑하여 상기 암커넥터에 자동으로 결합하는 커넥터 결합 유닛이 내부에 수용되도록 형성되고, 상기 수커넥터와 호스가 내부 공간으로 진출입하는 게이트를 구비하는 하우징; 상기 하우징의 게이트를 개폐하도록 상기 하우징의 게이트 상측에 힌지 결합되고, 상기 게이트를 폐쇄하는 경우 상기 하우징 내부에 장착되는 상기 수커넥터에 연결된 호스가 경유하게 되는 호스 경유부를 구비하는 상부 도어; 및 상기 상부 도어가 상기 하우징의 게이트를 폐쇄하였을 때에, 상기 상부 도어에 중첩되어 상기 상부 도어의 호스 경유부를 폐쇄하도록 상기 하우징의 게이트 하부에 힌지 결합되는 하부 도어;를 포함하는 점에 특징이 있다.
상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 ACQC 유닛용 밀폐형 수커넥터 자동 접속 장치는, ACQC 유닛의 작업 공간을 효과적으로 기밀하여 유해 가스의 누출을 방지하는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 ACQC 유닛용 밀폐형 수커넥터 자동 접속 장치는, 수커넥터 및 호스가 장작되지 않은 경우에도 ACQC 유닛의 작업 공간 내부를 효과적으로 기밀하여 외부의 오염 물질이 작업 공간 내부로 들어가는 것을 방지하는 효과가 있다.
도 1 내지 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 ACQC 유닛용 밀폐형 수커넥터 자동 접속 장치의 정면도이다.
도 4 내지 도 6은 각각 도 1 내지 도 3에 대응하는 ACQC 유닛용 밀폐형 수커넥터 자동 접속 장치의 측면도이다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 일실시예에 따른 ACQC 유닛용 밀폐형 수커넥터 자동 접속 장치에 대해 설명한다.
도 1 내지 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 ACQC 유닛용 밀폐형 수커넥터 자동 접속 장치의 정면도이다.
본 실시예의 ACQC 유닛용 밀폐형 수커넥터 자동 접속 장치는 탱크 롤리와 호스로 연결된 수커넥터를 ACQC 유닛의 암커넥터에 장착하고 분리하는 장치에 있어서, 작업 공간을 효과적으로 기밀하고 오염을 방지하기 위한 장치이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 실시예의 ACQC 유닛용 밀폐형 수커넥터 자동 접속 장치는 하우징(100)과 상부 도어(200)와 하부 도어(300)를 구비한다.
하우징(100)은, 수커넥터(902)를 클램핑하여 암커넥터에 자동으로 결합하는 커넥터 결합 유닛을 내부에 수용하는 구성이다. 하우징(100)은 암커넥터에 설치된 공장의 벽면에 밀착되도록 설치되고, 육면체 상자 형태로 형성된다. 하우징(100)은 도 1에 도시한 것과 같이 게이트(110)를 구비한다. 하우징(100)의 게이트(110)는 하우징(100) 내부 공간에 대한 진출입을 원활하게 할 수 있도록 하우징(100)에 뚫려 있는 부분이다. 작업자는 하우징(100)의 게이트(110)를 통해서 수커넥터(902)를 하우징(100)의 내부에 장착하고 작업이 완료된 수커넥터(902)를 하우징(100)으로부터 취외시킨다. 또한, 탱크 롤리에 연결된 호스(901)는 게이트(110)를 통해서 하우징(100) 내부에 배치된 수커넥터(902)에 연결된다.
도 1에 도시한 것과 같이 하우징(100)에는 상부 도어(200)와 하부 도어(300)가 설치된다. 편의상 도면에는 하우징(100) 내부의 수커넥터를 암커넥터에 자동으로 연결하는 구성 및 암커넥터의 구성은 도시하지 않았다.
상부 도어(200)는 하우징(100)의 게이트(110) 상부에 힌지 결합되어 하측으로 회전하면서 게이트(110)를 개폐할 수 있도록 설치된다. 상부 도어(200)는 투시부(210)와 호스 경유부(220)를 구비한다. 투시부(210)는 하우징(100)의 내부가 보이도록 투명할 재질로 형성되고, 사각 창(window) 형태로 형성되어 상부 도어(200)에 설치된다. 호스 경유부(220)는 상부 도어(200)의 하부에 형성된다. 본 실시예의 경우 상부 도어(200)에는 두 개의 호스 경유부(220)가 형성되고, 각각 상부 도어(200)의 하측으로 개방된 U자 형태로 형성된다. 상부 도어(200)를 회전시켜 하우징(100)의 게이트(110)를 폐쇄하는 경우에도 하우징(100)의 내부로 연장되도록 형성된 호스(901)가 호스 경유부(220)를 경유하게 되므로, 상부 도어(200)를 닫을 경우에도 상부 도어(200)와 호스(901)는 서로 간섭되지 않게 된다.
본 실시예의 경우 도 1 내지 도 3에 도시한 것과 같이, 상부 도어(200)는, 하우징(100)의 게이트(110)를 폐쇄하였을 때 호스 경유부(220)를 제외한 게이트(110)의 나머지 부분을 전체적으로 폐쇄하도록 게이트(110)의 하부와 양측 부분까지 연장되도록 형성된다.
상부 도어(200)는 도 1 내지 도 3에 도시한 것과 같이 게이트(110)의 최상단 위치에 힌지 결합되어 설치될 수도 있고, 도시한 것과 달리 게이트(110)보다 더 위쪽의 하우징(100) 부분에 힌지 결합되어 설치될 수도 있다.
도 1 및 도 4를 참조하면, 상부 도어(200)에는 상부 도어 개방 유지 유닛(600)이 설치된다. 상부 도어 개방 유지 유닛(600)은 상부 도어(200)가 하우징(100)의 게이트(110)를 개방한 상태로 유지하도록 상부 도어(200)를 지지하는 역할을 한다. 상부 도어 개방 유지 유닛(600)에 의해 상부 도어(200)를 열린 상태로 유지하고, 작업자는 열린 게이트(110)를 통해 수커넥터(902)를 커넥터 결합 유닛에 장착하거나 하우징(100) 내부에서 수커넥터(902)를 꺼낼 수 있다. 상부 도어 개방 유지 유닛(600)은 상부 도어(200)의 열린 상태를 유지할 수 있는 다양한 구성이 사용될 수 있다. 본 실시예의 경우 도 4에 도시한 것과 같이 공압 실린더를 상부 도어 개방 유지 유닛(600)으로 사용하였다. 상부 도어(200) 회전축에 설치되는 스프링 형태의 상부 도어 개방 유지 유닛을 사용하는 것도 가능하다. 경우에 따라서는 상부 도어(200)를 하우징(100)에 힌지 결합할 때, 결합 힌지 자체에 상부 도어 개방 유지 유닛을 내장하도록 구성하는 것도 가능하다. 이 경우 상부 도어(200)를 하우징(100)에 결합하는 힌지와 상부 도어 개방 유지 유닛이 일체로 구성된다. 상부 도어(200)가 닫히면 접히고 상부 도어(200)가 열리면 펼쳐지는 구조의 2절 링크를 상부 도어 개방 유지 유닛으로 사용하는 것도 가능하다.
상부 도어(200)에는 상부 도어 손잡이(700)가 설치된다. 상부 도어 손잡이(700)는 사용자가 상부 도어(200)를 쉽게 잡아 조작할 수 있는 구조로 구성된다. 특히, 상부 도어(200)가 상측으로 회전하여 열린 상태일 때 작업자가 쉽게 상부 도어(200)를 들어 올리거나 잡아 끌어 내릴 수 있도록 상부 도어 손잡이(700)가 구성된다.
도 2를 참조하면, 상부 도어(200)에는 상부 도어 실링 부재(800)가 설치된다. 상부 도어 실링 부재(800)는 상부 도어(200)와 하우징(100)의 마주하는 면을 기밀하게 된다.
하우징(100)에는 상부 도어 연장부(120)가 돌출되도록 형성된다. 상부 도어(200)가 폐쇄되었을 때, 상부 도어 연장부(120)는 상부 도어(200)의 하단부와 매우 근접한 위치에서 서로 마주하도록 돌출되어 형성된다. 상부 도어(200)와 상부 도어 연장부(120) 사이의 갭을 좁게 하거나 상부 도어(200)와 상부 도어 연장부(120)가 서로 마주하는 면에 실링 부재를 설치함으로써 하우징 내부를 더욱 확실히 기밀할 수 있다. 상부 도어 연장부(120)는 상부 도어(200)와 동일한 높이로 하우징(100) 본체에 돌출되도록 형성된다.
도 3 및 도 6을 참조하면, 하부 도어(300)는 하우징(100)에 힌지 결합된다. 상부 도어(200)가 하우징(100)의 게이트(110)를 폐쇄하였을 때에, 하부 도어(300)가 상부 도어(200)에 중첩되어 상부 도어(200)의 호스 경유부(220)를 폐쇄하도록 하부 도어(300)는 하우징(100)의 게이트(110) 하부에 힌지 결합된다. 본 실시예의 경우 하부 도어(300)는 하우징(100)의 하부 도어 지지부(130)에 대해 힌지 결합된다. 하부 도어 지지부(130)는 상부 도어 연장부(120)의 하부에 연결되어 형성된다. 하부 도어 지지부(130)는 상부 도어 연장부(120)와 하부 도어(300)의 두께의 합과 동일한 두께로 하우징(100) 본체에 대해 돌출되도록 형성된다. 즉, 하부 도어 지지부(130)는 상부 도어 연장부(120)에 대해 하부 도어(300)의 두께만큼 더 돌출되도록 형성된다.
이와 같은 구성으로 인해 하부 도어(300)를 상측으로 회전시키면, 하부 도어(300)가 상부 도어 연장부(120)와 상부 도어(200)에 동시에 중첩되어 밀착하게 된다.
도 1및 도 2를 참조하면, 하부 도어(300)에는 하부 도어 실링 부재(400)가 설치된다. 하부 도어 실링 부재(400)는 하부 도어(300)와 상부 도어(200)의 마주하는 면을 기밀하게 된다. 본 실시예의 경우 하부 도어 실링 부재(400)는 도 2 및 도 3에 도시한 것과 같이 상부 도어(200)의 호스 경유부(220)와 대응하는 영역의 주위를 감싸도록 형성된다.
상부 도어 기밀 부재(800)와 하부 도어 기밀 부재(400)는 게이트(110) 주위 또는 호스 경유부(220) 주위를 기밀함으로써 유해 가스가 외부로 누출되거나 오염 물질이 하우징(100) 내부로 들어가는 것을 방지한다. 또한, 상부 도어 기밀 부재(800)와 하부 도어 기밀 부재(400)는 탄성 재질로 형성되어, 상부 도어(200)와 하부 도어(300)를 작동시에 발생할 수 있는 충격을 완화시키는 역할을 한다.
도 3을 참조하면, 하부 도어(300)와 하우징(100)에는 하부 도어 고정 유닛(500)이 설치된다. 하부 도어 고정 유닛(500)은, 하부 도어(300)가 상부 도어(200)에 중첩된 상태에서 하부 도어(300)를 하우징(100)에 고정하는 역할을 한다. 하부 도어 고정 유닛(500)은 자물쇠 구조, 래치 구조, 레버 구조 등 하부 도어(300)를 하우징(100)에 고정시킬 수 있는 다양한 구성이 사용될 수 있다.
이하, 상술한 바와 같이 구성된 ACQC 유닛용 밀폐형 수커넥터 자동 접속 장치의 작동 방법에 대해 설명한다.
먼저 도 1 및 도 4에 도시한 것과 같이 상부 도어(200)와 하부 도어(300)를 회전시켜 하우징(100)의 게이트(110)가 완전히 열리도록 한다.
상부 도어(200)의 경우 상부 도어 개방 유지 유닛(600)에 의해 열린 상태가 유지되므로, 작업자가 손으로 받치고 있지 않아도 상부 도어(200)의 열린 상태가 유지된다. 즉, 상부 도어 개방 유지 유닛(600)에 의해 상부 도어(200)는 자중에도 불구하고 저절로 닫히지 않는다.
이와 같은 상태에서 작업자는 호스(901)와 연결된 수커넥터(902)를 하우징(100) 내부의 커넥터 결합 유닛에 장착한다. 작업자가 커넥터 결합 유닛에 장착하면, 커넥터 결합 유닛은 수커넥터(902)를 암커넥터의 위치로 이송하여 암커넥터에 삽입하고 화학 약품을 주입하거나 배출하는 작업의 준비 상태가 되도록 한다.
이와 같은 상태에서 도 2 및 도 5에 도시한 것과 같이 작업자는 상부 도어(200)를 작동시켜 게이트(110)를 폐쇄한다. 이때 작업자는 상부 도어(200)에 설치된 상부 도어 손잡이(700)를 이용하여 상부 도어(200)를 쉽게 파지하고 잡아 당겨 아래쪽으로 회전시킬 수 있다. 상술한 바와 같이 상부 도어(200)에는 호스 경유부(220)가 형성되어 있으므로 상부 도어(200)가 하측으로 회전하여 게이트(110)를 폐쇄하더라도 호스(901)는 상부 도어(200)에 간섭되지 않고 원래 위치를 유지하게 된다. 상부 도어(200)가 하측으로 회전하여 게이트(110)를 폐쇄하면 호스(901)의 일부분은 호스 경유부(220)를 관통하는 상태가 된다.
상술한 바와 같이 상부 도어 연장부(120)는 상부 도어(200)의 하단부와 서로 밀착하거나 매우 좁은 갭만을 허용하도록 형성되므로, 더욱 효과적으로 하우징(100) 내부를 기밀할 수 있다.
이와 같은 상태에서 작업자는 ACQC 유닛을 작동시켜 화학 약품을 탱크 롤리로부터 공장 내부의 탱크로 주입하거나 공장 내부의 탱크에 저장된 화학 약품을 탱크 롤리로 배출한다.
하우징(100)과 상부 도어(200)에 의해 하우징(100) 내부 공간이 공간이 폐쇄되므로 호스 배관부의 결함 또는 파손으로 인한 화학 약품의 누액 또는 비산 이나 유해 가스로부터 작업자를 안전하게 보호할 수 있는 장점이 있다. 또한, 작업 중에 하우징(100) 내부가 외부의 유입 물질로부터 오염되는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다. 또한, 상술한 바와 같이 상부 도어(200)에는 투명한 투시부(210)가 구비되어 있으므로, 작업자는 상부 도어(200)를 열지 않고도 투시부(210)를 통해 작업의 진행 상황이나 작업의 이상 여부를 파악할 수 있는 장점이 있다. 이와 같은 상부 도어(200) 및 투시부(210)로 인해 유해 가스 등의 위험 요소에 작업자를 노출시키지 않으면서도 작업의 진행 상황을 용이하게 관찰하는 것이 가능한 장점이 있다.
상술한 바와 같이 상부 도어(200)에는 상부 도어 실링 부재(800)가 설치되어 있으므로, 상부 도어(200)와 하우징(100)의 접촉면 사이를 더욱 효과적으로 기밀할 수 있다. 또한, 사용자가 상부 도어(200)를 조작하면서 하우징(100)에 가해질 수 있는 충격을 상부 도어 실링 부재(800)에 의해 완화시킬 수 있는 장점도 있다.
화학 약품 공급이나 화학 약품 배출 작업이 완료된 후, 작업자는 다시 상부 도어(200)를 열어 수커넥터(902)를 하우징(100)으로부터 꺼낼 수 있다.
화학 약품 공급이나 화학 약품 배출 작업을 하지 않는 경우에는, 상부 도어(200)를 닫아도 상부 도어(200)에 형성된 호스 경유부(220)로 인해 하우징(100) 내부로 오염 물질이 유입될 수도 있다. 이를 방지하기 위해 하부 도어(300)가 사용된다.
도 3 및 도 6에 도시한 것과 같이, 하부 도어(300)를 상측으로 회전시켜 상부 도어(200)에 중첩되도록 고정하면, 상부 도어(200)에 형성된 호스 경유부(220)도 폐쇄된다. 이와 같은 상태에서 하부 도어 고정 유닛(500)을 작동시켜 하부 도어(300)를 하우징(100)에 고정하면 하부 도어(300)는 상부 도어(200)의 호스 경유부(220)를 폐쇄하면서 상부 도어(200)에 중첩된 상태가 유지된다. 상술한 바와 같이 하부 도어(300)는 상부 도어(200)뿐만 아니라 상부 도어 연장부(120)에 대해서도 중첩되어 밀착하게 되므로 상부 도어(200)의 호스 경유부(220) 주위를 더욱 확실히 기밀할 수 있다. 또한, 상술한 바와 같이 상부 도어(200)와 상부 도어 연장부(120)는 동일한 높이로 형성되므로 평판 형태의 하부 도어(300)가 상부 도어(200) 및 상부 도어 연장부(120)에 동시에 중첩 및 밀착되어 고정될 수 있는 장점이 있다. 또한, 하부 도어(300)가 힌지 결합되는 하부 도어 지지부(130)가 상부 도어 연장부(120)에 대해서 하부 도어(300)의 두께만큼 돌출되도록 형성되어 있으므로, 하부 도어(300)가 상측으로 회전하면 필연적으로 상부 도어 연장부(120) 및 상부 도어(200)에 밀착될 수밖에 없는 구조가 된다.
이와 같이 작업자가 작업을 하지 않는 경우에는 하부 도어(300)를 이용하여 상부 도어(200)에 형성된 호스 경유부(220)까지 완전히 폐쇄함으로써, 외부의 먼지 등 물질로부터 하우징(100)의 오염을 방지할 수 있는 장점이 있다. 또한, 상부 도어(200)와 하부 도어(300)의 이중 폐쇄 구조로 인해, 외기 유입이 차단되어 외풍으로부터 하우징(100) 내부가 보온되는 효과가 있으므로, 온도가 매우 낮은 겨울철에는 하우징(100) 내부의 구성이 얼거나 암커넥터 주위의 화학 약품이 어는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다. 또한, 암커넥터 주위 구성의 오작동이나 파손에 의해 화학 약품이 누출되더라도 하우징(100) 외부로 누출되는 것을 상부 도어(200)와 하부 도어(300)가 막을 수 있는 장점이 있다. 또한, 하부 도어 고정 유닛(500)을 자물쇠 형태로 구성하면, 권한을 가진 작업자만이 열쇠를 이용하여 하우징(100)을 개방할 수 있게 된다. 이 경우 권한이 없는 작업자가 하부 도어(300)를 개방하여 위험에 노출되거나 하우징(100) 내부 구성이 비전문가의 조작에 의해 파손되는 것을 원천적으로 방지할 수 있는 장점이 있다.
한편, 상술한 바와 같이 상부 도어(200)의 호스 경유부(220)와 대응하는 영역의 주위를 감싸는 구조로 하부 도어 실링 부재(400)를 하부 도어(300)에 설치하면, 상부 도어(200)와 하부 도어(300) 사이를 더욱 확실하게 기밀함으로써, 호스 경유부(220)를 통해 오염 물질이 들어가거나 유해 물질이 배출되는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.
이상, 본 발명에 따른 ACQC 유닛용 밀폐형 수커넥터 자동 접속 장치에 대해 바람직한 예를 들어 설명하였으나 본 발명의 범위가 앞에서 설명되고 도시된 형태로 한정되는 것은 아니다.
예를 들어, 앞에서 상부 도어(200)는 폐쇄시 게이트(110) 내부로 들어가면서 게이트(110)를 폐쇄하는 구조로 도시하였으나, 게이트를 덮는 구조의 상부 도어를 구성하는 것도 가능하다.
하부 도어(300)는 상부 도어(200)의 하우징(100)의 외면에 돌출되는 구조로 형성되어 설치되는 것으로 도시하였으나 다른 다양한 구조가 가능하다. 상부 도어가 하우징 외면에 돌출되는 형태로 폐쇄되는 경우에는 상부 도어의 일부분이 삽입되어 안착될 수 있는 안착부를 구비한 형태의 하부 도어를 구성하는 것도 가능하다.
또한, 앞에서 상부 도어(200)는 투시부(210)를 구비하는 것으로 설명하였으나 투시부(210)를 구비하지 않는 구조의 상부 도어를 사용하는 것도 가능하다.
상술한 바와 같이, 상부 도어 개방 유지 유닛(600), 하부 도어 고정 유닛(500), 상부 도어 손잡이(700) 등은 도시한 것과 다른 다양한 구성이 사용될 수 있다.
또한, 앞에서 상기 상부 도어(200)의 호스 경유부(220)는 하측이 개방된 U자 형태로 형성되는 것으로 설명하였으나, 호스 경유부의 구조는 다양하게 변경될 수 있다. 곡선형 U자가 각이 U자 형태로 형성될 수도 있고 다른 다양한 구조가 가능하다.
또한, 앞에서 상부 도어(200)와 상부 도어 연장부(120)는 서로 동일한 높이로 하우징(100) 본체에 대해 돌출되도록 형성되고, 평판 형태의 하부 도어(300)가 상부 도어(200) 및 상부 도어 연장부(120)에 중첩되는 구조로 설명하였으나, 상부 도어와 상부 도어 연장부의 높이를 서로 다르게 구성하는 것도 가능하다. 이 경우, 하부 도어는 평판 형태가 아니라 상부 도어와 상부 도어 연장부의 높이 차를 고려하여 계단 형태로 단차가 있도록 형성되어 상부 도어와 상부 도어 연장부에 동시에 중첩되도록 구성될 수 있다.
100: 하우징 110: 게이트
120: 상부 도어 연장부 130: 하부 도어 지지부
200: 상부 도어 210: 투시부
220: 호스 경유부 300: 하부 도어
400: 하부 도어 실링 부재 500: 하부 도어 고정 유닛
600: 상부 도어 개방 유지 유닛 700: 상부 도어 손잡이
800: 상부 도어 실링 부재 901: 호스
902: 수커넥터

Claims (11)

  1. 탱크 롤리에 호스로 연결된 수커넥터를 ACQC 유닛의 암커넥터에 자동으로 결합하는 ACQC 유닛용 밀폐형 수커넥터 자동 접속 장치에 있어서,
    상기 수커넥터를 클램핑하여 상기 암커넥터에 자동으로 결합하는 커넥터 결합 유닛이 내부에 수용되도록 형성되고, 상기 수커넥터와 호스가 내부 공간으로 진출입하는 게이트를 구비하는 하우징;
    상기 하우징의 게이트를 개폐하도록 상기 하우징의 게이트 상측에 힌지 결합되고, 상기 게이트를 폐쇄하는 경우 상기 하우징 내부에 장착되는 상기 수커넥터에 연결된 호스가 경유하게 되는 호스 경유부를 구비하는 상부 도어;
    상기 상부 도어가 상기 하우징의 게이트를 폐쇄하였을 때에, 상기 상부 도어에 중첩되어 상기 상부 도어의 호스 경유부를 폐쇄하도록 상기 하우징의 게이트 하부에 힌지 결합되는 하부 도어;를 포함하고,
    상기 하우징은, 상기 상부 도어가 상기 게이트를 폐쇄하였을 때 상기 상부 도어의 하단부와 마주하도록 상기 상부 도어의 하측에 돌출되어 형성되는 상부 도어 연장부를 더 포함하고,
    상기 하우징의 상부 도어 연장부는, 상기 상부 도어와 동일 높이로 돌출되도록 형성되고,
    상기 하우징은, 상기 상부 도어 연장부와 상기 하부 도어의 두께의 합만큼 상기 하우징에 대해 돌출되도록 형성되는 하부 도어 지지부를 더 포함하여 상기 하부 도어를 상측으로 회전시키면 상기 하부 도어가 상기 상부 도어 연장부와 상기 상부 도어를 동시에 중첩되어 밀착하도록 하여 상기 하우징을 이중으로 폐쇄하도록 하며,
    상기 하부 도어는, 상기 하우징의 상기 하부 도어 지지부에 힌지 결합되는 것을 특징으로 하는 ACQC 유닛용 밀폐형 수커넥터 자동 접속 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 상부 도어는, 상기 하우징의 내부가 보이도록 투명한 재질로 형성된 투시부를 구비하는 ACQC 유닛용 밀폐형 수커넥터 자동 접속 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 상부 도어와 하우징의 마주하는 면을 기밀할 수 있도록 상기 상부 도어에 설치되는 상부 도어 실링 부재; 및
    상기 하부 도어가 상부 도어에 중첩된 상태에서 상기 하부 도어와 상부 도어의 마주하는 면을 기밀할 수 있도록 상기 하부 도어에 설치되는 하부 도어 실링 부재;를 더 포함하는 ACQC 유닛용 밀폐형 수커넥터 자동 접속 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 하부 도어 실링 부재는, 상기 상부 도어의 호스 경유부와 대응하는 영역의 주위를 감싸도록 형성되는 ACQC 유닛용 밀폐형 수커넥터 자동 접속 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 상부 도어의 호스 경유부는, 하측이 개방된 U자 형태로 형성되는 ACQC 유닛용 밀폐형 수커넥터 자동 접속 장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 하부 도어가 상기 상부 도어에 중첩된 상태에서 상기 하부 도어를 상기 하우징에 고정하는 하부 도어 고정 유닛;을 더 포함하는 ACQC 유닛용 밀폐형 수커넥터 자동 접속 장치.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 상부 도어가 상기 하우징의 게이트를 개방한 상태를 유지하도록 상기 상부 도어에 설치되는 상부 도어 개방 유지 유닛;을 더 포함하는 ACQC 유닛용 밀폐형 수커넥터 자동 접속 장치.
  8. 제4항에 있어서,
    사용자가 상기 상부 도어를 잡아 조작할 수 있도록 상기 상부 도어에 설치되는 상부 도어 손잡이;를 더 포함하는 ACQC 유닛용 밀폐형 수커넥터 자동 접속 장치.
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 삭제
KR1020180114337A 2018-09-21 2018-09-21 Acqc 유닛용 밀폐형 수커넥터 자동 접속 장치 KR102151980B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180114337A KR102151980B1 (ko) 2018-09-21 2018-09-21 Acqc 유닛용 밀폐형 수커넥터 자동 접속 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180114337A KR102151980B1 (ko) 2018-09-21 2018-09-21 Acqc 유닛용 밀폐형 수커넥터 자동 접속 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20200034488A KR20200034488A (ko) 2020-03-31
KR102151980B1 true KR102151980B1 (ko) 2020-09-04

Family

ID=70002413

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180114337A KR102151980B1 (ko) 2018-09-21 2018-09-21 Acqc 유닛용 밀폐형 수커넥터 자동 접속 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102151980B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220104341A (ko) 2021-01-18 2022-07-26 한양이엔지 주식회사 케미컬 운송수단과 케미컬 저장 탱크간 케미컬 이송 시스템
KR20230019556A (ko) * 2021-08-02 2023-02-09 (주)에스티아이 개구 셔터부를 구비한 케미컬 자동공급장치

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101776625B1 (ko) * 2016-12-06 2017-09-11 (주)에스티아이 케미컬 자동공급장치

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101163079B1 (ko) * 2008-11-05 2012-07-20 손기택 비상탈출용 방화문
KR101343523B1 (ko) * 2011-09-20 2013-12-20 유장호 다도어 냉장고
JP6082283B2 (ja) * 2012-05-30 2017-02-15 東京エレクトロン株式会社 筐体及びこれを含む基板処理装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101776625B1 (ko) * 2016-12-06 2017-09-11 (주)에스티아이 케미컬 자동공급장치

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220104341A (ko) 2021-01-18 2022-07-26 한양이엔지 주식회사 케미컬 운송수단과 케미컬 저장 탱크간 케미컬 이송 시스템
KR20230019556A (ko) * 2021-08-02 2023-02-09 (주)에스티아이 개구 셔터부를 구비한 케미컬 자동공급장치
KR102585021B1 (ko) 2021-08-02 2023-10-06 (주)에스티아이 개구 셔터부를 구비한 케미컬 자동공급장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR20200034488A (ko) 2020-03-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102151980B1 (ko) Acqc 유닛용 밀폐형 수커넥터 자동 접속 장치
KR101776625B1 (ko) 케미컬 자동공급장치
KR20160126798A (ko) 기밀문 개폐장치
KR20190115983A (ko) 가스통의 엔드 캡 이탈방지기능을 갖는 홀더
KR102007184B1 (ko) 릴리프밸브를 갖는 압력방폭패널
TWI762572B (zh) 具有熱致動式阻尼器之通氣式安全櫃
US20100301207A1 (en) Mass Spectrometer
US20130105006A1 (en) Purge box for fluorine supply
KR101313849B1 (ko) 진공 차단 밸브 및 이를 이용한 배관제어 방법
JP2013119712A (ja) 水密扉
KR20230019556A (ko) 개구 셔터부를 구비한 케미컬 자동공급장치
JP5482835B2 (ja) コンテナにおけるドア開閉装置
WO2010136825A1 (en) Detachable and replaceable ion source for a mass spectrometer
TWI453100B (zh) 機器人結構
JP2866413B2 (ja) ガスコックの補修法及び補修装置
KR0125817Y1 (ko) 유류 및 화학물질 운반 탱크의 공기 흡, 배출용 밸브장치
CN218485060U (zh) 危化品柜
KR102653873B1 (ko) 가스켓 폐기 장치 및 이를 포함하는 가스 공급 시스템
US10490423B2 (en) Fume removal apparatus for semiconductor manufacturing chamber
KR102396369B1 (ko) 기판처리장치
EP0202354B1 (en) Remote-control apparatus for opening or closing the valve of containers or the like
KR200451853Y1 (ko) 챔버의 유해가스 제거장치
KR20050079609A (ko) 제연기능성 방화문
KR200237479Y1 (ko) 가스시일포트의가스누설자동차단장치
JP4006685B2 (ja) 消防設備の点検用接続治具

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
X091 Application refused [patent]
AMND Amendment
X701 Decision to grant (after re-examination)
GRNT Written decision to grant