KR20230019556A - 개구 셔터부를 구비한 케미컬 자동공급장치 - Google Patents

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KR20230019556A
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Abstract

본 발명은 개구 셔터부를 구비한 케미컬 자동공급장치에 관한 것으로, 거치부에 호스를 안착시킨 상태에서 케미컬 자동공급장치의 내부를 외부와 차단하고, 프레임틀에 설치된 개폐도어 및 차단부로 구성된 차단도어, 개폐도어는 프레임틀에 대하여 회동하거나 이동함으로써 프레임틀의 일측부를 개폐하고, 개폐도어가 닫힌 상태에서 호스가 관통되는 호스 개구 및 차단도어에 위치하고, 호스 개구를 개폐하는 개구 셔터부를 포함하고, 상기 개구 셔터부는 개구 커버부 및 개구커버의 개폐를 조작하는 개폐 조작부를 포함하여 손쉽고 신뢰성 있는 개폐를 보장할 수 있다.

Description

개구 셔터부를 구비한 케미컬 자동공급장치{Chemical automatic supply apparatus having opening shutter unit}
본 문서는 케미컬 자동공급장치에 관한 것으로, 특히 호스 개구를 개폐하는 개구 셔터부를 구비하는 케미컬 자동공급장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체, 반도체 장치, LCD, OLED를 제조하는 회사와 제약회사 및 페인트 회사 등 유해화학물질을 사용하는 모든 회사에서는 다양한 종류의 케미컬이 사용되고 있으며, 이러한 케미컬(Chemical, 화학약품)을 안전하게 공급하는 방식도 다양화되고 있다.
이러한 케미컬은 건물 외부에 정차된 탱크로리(Tank lorry)의 케미컬 탱크에서 건물 내부에 설치된 케미컬 저장탱크(Chemical storage tank)로 케미컬을 이송시킨 다음, 케미컬 저장탱크에서 단위 공정이 진행되는 챔버로 이송하는 방식으로 이루어진다. 또한, 이와는 반대로 케미컬을 케미컬 탱크에서 탱크로리로 이송하는 경우도 있다.
현재 ACQC 유닛(Automatic Clean Quick Coupler Unit)라고 불리우는 케미컬 자동공급장치가 출시되어 사용되고 있다. 여기서 케미컬 저장탱크는 통상 건물 내부에 구비되고, ACQC 유닛은 건물 외부에 있는 탱크로리의 케미컬 탱크와 건물 내부에 있는 케미컬 저장탱크 사이에서 중계 공급 역할을 한다. 구체적으로, ACQC 유닛은 케미컬용 수커넥터 거치부와 케미컬용 암커넥터를 포함하여 구성되어 있고 이송 수단(Transfer means)에 의해 케미컬용 수커넥터 거치부를 케미컬용 암커넥터로 이동하게 하여 자동적으로 케미컬용 수커넥터를 암커넥터에 삽입 체결되고 분리되도록 할 수 있다. 이로 인해 작업자가 케미컬에 노출되지 않고 안전하게 케미컬이 공급될 수 있다.
케미컬 자동공급장치를 구성하는 차단도어는 케미컬 자동공급장치 내부로 이물질이 침투하거나 케미컬 공급 과정에서 누출된 잔량의 케미컬 또는 흄(Fume)이 장치 외부로 유출되는 것을 방지하는 기능을 한다. 차단도어에 구비된 케미컬용 호스 개구 및 질소용 호스 개구는 질소용 호스 및 케미컬용 호스가 삽입되는 경우를 제외하고 개방된 상태로 두면 이물질이 케미컬 자동공급장치 내부로 침투 내지 유입될 가능성이 있으므로 개구를 개폐할 수 있는 별도의 개구 셔터를 구비할 필요가 있다. 그러나 현재 상용되는 케미컬 자동공급장치는 별도로 개구 셔터가 구비되어 있지 않거나, 설령 구비되어 있다고 할지라도 작업자가 케미컬용 호스 개구 및 질소용 호스 개구를 동시에 손쉽게 개폐할 수 있지 아니하여 케미컬 공급의 작업 효율이 저하되는 문제가 초래되고 있다.
한국특허공보(등록공보번호 : 10-1572537, "케미컬탱크롤리와 ACQC 유닛간의 자동 체결 시스템")는 케미컬용 호스 개구 및 질소용 호스 개구를 개시하고 있지만 별도로 개구 셔터를 개시하고 있지 아니하여 장비의 미사용시에는 이물질이 장비 내부로 유입되어 고장 내지 오동작이 야기될 수 있다.
또한, 반대로 시스템(장비) 내부에 유출 또는 잔재하는 케미컬로 인해 케미컬 또는 Fume이 외부로 유출될 수도 있다.
본 발명은 손쉽게 케미컬용 호스 개구 및 질소용 호스 개구를 개폐하고, 신뢰성 있는 개폐를 보장하여 이물질의 유입 또는 케미컬 내지 흄의 유출을 차단하는 것을 목적으로 한다.
케미컬 탱크와 케미컬 저장탱크 사이를 연결하여 일측에서 타측으로 케미컬을 공급하기 위해, 이송 유닛에 의해 수커넥터를 전후 방향으로 이송하여 수커넥터가 암커넥터와 체결되도록 하는 케미컬 자동공급장치는,
거치부에 호스를 안착시킨 상태에서 케미컬 자동공급장치의 내부를 외부와 차단하고, 프레임틀에 설치된 개폐도어 및 차단부로 구성된 차단도어;
개폐도어는 프레임틀에 대하여 회동하거나 이동함으로써 프레임틀의 일측부를 개폐하고,
차단도어에 구비되고, 개폐도어가 닫힌 상태에서 호스가 관통되는 호스 개구 및
차단도어에 위치하고, 호스 개구를 개폐하는 개구 셔터부를 포함하고,
상기 개구 셔터부는,
개구 커버부 및
개구커버의 개폐를 조작하는 개폐 조작부를 포함하여 손쉽고 신뢰성 있는 개폐를 보장할 수 있다.
본 발명은 케미컬 자동공급장치를 사용하지 않을 때에는 호스 개구를 차단함으로 인해 인해 이물질이 외부로부터 케미컬 자동공급장치 내부로 유입되는 것을 차단하거나 케미컬 내지 흄이 장치 외부로 유출되는 것을 차단하여 오동작 방지 내지 작업자의 안전을 도모할 수 있다.
또한, 작업자가 한번의 동작으로 케미컬용 호스 개구 및 질소용 호스 개구를 손쉽게 개폐할 수 있어 케미컬 공급의 작업 효율 및 생산성이 증대될 수 있다.
도 1은 일 실시예에 따른 케미컬 자동공급장치의 측면을 설명하는 도면이다.
도 2는 일 실시예에 따른 케미컬 자동공급장치의 외관을 설명하는 도면이다.
도 3은 일 실시예에 따른 케미컬 자동공급장치의 단면 일부를 설명하는 도면이고, 도 4는 개구 커버부를 설명하는 도면이며, 도 5는 개구 셔터부를 설명하는 도면이다.
도 6은 가이드 레일에 탄성부재가 구비된 케미컬 자동공급장치를 설명하는 도면이다.
도 7은 개폐 조작부의 조작에 의해 케미컬용 호스 개구 및 질소용 호스 개구가 개폐되는 과정을 설명하는 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 기술되는 바람직한 실시예를 통하여 본 발명을 당업자가 용이하게 이해하고 재현할 수 있도록 상세히 기술하기로 한다. 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명 실시예들의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 본 발명 명세서 전반에 걸쳐 사용되는 용어들은 본 발명 실시예에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서, 사용자 또는 운용자의 의도, 관례 등에 따라 충분히 변형될 수 있는 사항이므로, 이 용어들의 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
또한 전술한, 그리고 추가적인 발명의 양상들은 후술하는 실시예들을 통해 명백해질 것이다. 본 명세서에서 선택적으로 기재된 양상이나 선택적으로 기재된 실시예의 구성들은 비록 도면에서 단일의 통합된 구성으로 도시되었다 하더라도 달리 기재가 없는 한 당업자에게 기술적으로 모순인 것이 명백하지 않다면 상호간에 자유롭게 조합될 수 있는 것으로 이해된다.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
도 1은 일 실시예에 따른 케미컬 자동공급장치의 측면을 설명하는 도면이다. 도시된 바와 같이, 케미컬 자동공급장치(1000, ACQC 유닛)는, 수커넥터 거치부(100), 하우징 본체(200), 이송용 하우징(300), 이송 유닛(400), 및 암커넥터(500)를 포함하여 이루어질 수 있다.
케미컬 자동공급장치는 케미컬 탱크와 케미컬 저장탱크 사이를 연결하여 일측에서 타측으로 케미컬을 공급하기 위해, 이송 유닛(400)에 의해 수커넥터(20)를 전후 방향(Forward / Backward)으로 이송하여 수커넥터(20)가 암커넥터(500)와 체결되도록 할 수 있다.
이송 유닛(400)의 일측 단부는 벽체(600)에 형성된 개방부(601)에 삽입되어 있을 수 있다. 벽체(600)는 건물을 구성하는 벽을 의미하고, 개방부(601)는 건물의 외부와 내부가 연통하도록 뚫린 형상으로 이루어져 있다.
작업자가 케미컬용 호스(700)가 연결된 수커넥터 거치부(100)에 안착 및 고정시키면, 이송 유닛(400)의 구동에 의해 거치부(100)가 전방(Forward)으로 이동을 하게 되어 수커넥터(20)가 암커넥터(500)에 삽입(체결)되게 된다. 이송 유닛(400)은 하나 이상의 스테이지(Stage) 및 구동부(Driver)로 구성되어 있어 수커넥터 거치부(100)를 스테이지상에서 전후방으로 슬라이딩 시킬 수 있다.
질소용 호스(800)도 케미컬용 호스(700)와 함께 케미컬 자동공급장치(1000)에 연결되어, 탱크로리에 질소(N2)를 공급함으로써 가압에 의해 케미컬의 공급을 가속화시키고 원활하게 할 수 있다.
하우징 본체(200)는 암커넥터(500)를 수용하고 이송용 하우징(300)은 이송 유닛(400)을 수용할 수 있다.
도 2는 일 실시예에 따른 케미컬 자동공급장치의 외관을 설명하는 도면이다. 케미컬 탱크와 케미컬 저장탱크 사이를 연결하여 일측에서 타측으로 케미컬을 공급하기 위해, 이송 유닛에 의해 수커넥터를 전후 방향으로 이송하여 수커넥터가 암커넥터와 체결되도록 하는 케미컬 자동공급장치는, 거치부에 호스를 안착시킨 상태에서 케미컬 자동공급장치의 내부를 외부와 차단하고, 프레임틀(901)에 설치된 개폐도어(902) 및 차단부(903)로 구성된 차단도어, 차단도어에 구비되고 개폐도어가 닫힌 상태에서 호스가 관통되는 호스 개구 및 호스 개구를 개폐하는 개구 셔터부(930)를 포함할 수 있다. 상기 개구 셔터부는 개구 커버부 및 개구커버의 개폐를 조작하는 개폐 조작부를 포함할 수 있다.
일 실시예에 따라, 호스는 케미컬용 호스및 질소용 호스(920)로 구분되고, 호스 개구는 케미컬용 호스 개구(910) 및 질소용 호스 개구(920)로 구분될 수 있다.
케미컬 탱크와 케미컬 저장탱크 사이를 연결하여 일측에서 타측으로 케미컬을 공급하기 위해, 이송 유닛에 의해 수커넥터를 전후 방향으로 이송하여 수커넥터가 암커넥터와 체결되도록 하는 케미컬 자동공급장치(1000, ACQC 유닛)는 차단도어(900), 케미컬용 호스 개구(910), 질소용 호스 개구(920), 개구 셔터부(930)를 포함할 수 있다. 하우징 본체(200)는 암커넥터를 수용하고 이송용 하우징(300)은 이송 유닛을 수용할 수 있다. 케미컬 자동공급장치는 케미컬용 호스 개구(910)를 구비하고 질소용 호스 개구(920)는 구비하지 않을 수도 있다.
차단도어(900)는 거치부에 케미컬용 호스 및 질소용 호스를 안착시킨 상태에서 케미컬 자동공급장치의 내부를 외부와 차단하는 기능을 수행하고, 프레임틀(901)에 설치된 개폐도어(902) 및 차단부(903)로 구성될 수 있다. 개폐도어(902)는 차단도어(900)의 상부에 위치되고, 차단부(903)는 하부에 위치될 수 있다.
개폐도어(902)는 프레임틀(901)에 대하여 회동하거나 이동함으로써 프레임틀의 일측부를 개폐할 수 있다. 회동은 힌지(Hinge) 구조에 의해 달성될 수도 있고 슬라이딩 구조에 의해 달성될 수도 있다. 개폐도어(902)에는 투시창(902-1)이 구비되어 개폐도어 닫힌 상태에서 작업자는 케미컬 자동공급장치 내부 상태를 확인할 수도 있다.
차단부(903)는 개폐될 수도 있고 안될 수도 있다. 차단도어(900)는 케미컬 자동공급장치 내부의 케미컬이 외부로 유출되는 것을 방지하고 외부의 이물질이 내부로 유입되는 것을 차단하는 기능을 수행한다.
케미컬용 호스 개구(910) 및 질소용 호스 개구(920)는 각각 차단도어에 구비되고, 개폐도어가 닫힌 상태에서 케미컬용 호스 및 질소용 호스가 이에 관통될 수 있다. 케미컬용 호스 개구(910)와 질소용 호스 개구(920)는 서로 인접 배치되며, 케미컬용 호스 개구(910)의 면적은 질소용 호스 개구(920) 면적 보다 더 클 수 있다.
개구 셔터부(930)는 차단도어(900)에 위치하고, 케미컬용 호스 개구 및 질소용 호스 개구를 동시에 개폐할 수도 있다.
도 3은 일 실시예에 따른 케미컬 자동공급장치의 단면 일부를 설명하는 도면이고 도 4는 개구 커버부를 설명하는 도면이며, 도 5는 개구 셔터부를 설명하는 도면이다. 도 5에서 A, B, C는 개구 셔터부의 해당 각 부위를 확대한 도면이다.
개구 셔터부(930)는 차단도어(900)에 위치될 수 있다. 개구 셔터부(930)는 개구 커버부(931), 개구 커버부(931)의 개폐를 조작하는 개폐 조작부(932)를 포함할 수 있다.
케미컬용 호스 개구(910)와 질소용 호스 개구(920)의 주위에는 회전 롤러(911)가 구비되어 호스가 원활하고 부드럽게 전후 이동될 수 있도록 할 수 있다.
개구 커버부(931)는 제1의 커버레일을 따라 상하방향으로 이동되어 케미컬용 호스 개구를 개폐하는 케미컬용 개구커버(931-1) 및 제2의 커버레일을 따라 상하방향으로 이동되어 질소용 호스 개구를 개폐하는 질소용 개구커버(931-2) 를 포함할 수 있다.
개구 커버부(931)는 케미컬용 개구커버(931-1), 질소용 개구커버(931-2) 외에 커버 연결부(931-3)를 더 포함하고, 이들이 하나의 플레이트 형상으로 일체화되어 있을 수도 있고 그렇지 않을 수도 있으나, 도 4에 도시된 바와 같이 일체화되어 하나의 플레이트 형상인 것이 바람직하다. 케미컬용 개구커버(931-1)는 제1의 커버레일(R1)을 따라 상하방향으로 슬라이딩 이동되어 케미컬용 호스 개구를 개폐 할 수 있다. 질소용 개구커버(931-2)는 제2의 커버레일(R2)을 따라 상하방향으로 슬라이딩 이동되어 질소용 호스 개구를 개폐 할 수 있다. 도 5는 케미컬용 개구커버(931-1), 질소용 개구커버(931-2)가 폐쇄된 상태를 도시한다.
커버 연결부(931-3)는 케미컬용 개구커버(931-1)와 질소용 개구커버(931-2) 사이에 구비되어 케미컬용 개구커버와 질소용 개구커버를 고정 연결할 수 있다. 커버 연결부(931-3)는 개폐 조작부(932)의 구비(설치) 공간을 확보하기 위하여 도 4에 도시된 바와 같이 하방으로 돌출 될 수도 있다. 개폐 조작부(932)는 커버 연결부(931-3)에 구비될 수 있다.
도 3 및 5에 도시된 바와 같이, 개폐 조작부(932)는 조작 플레이트(932-1), 손잡이(932-2), 손잡이 연결부(932-3), 손잡이 걸이(932-4)를 포함할 수 있다.
조작 플레이트(932-1)는 차단부에 구비되고 한쌍의 가이드 레일(r1, r2)이 형성될 수 있다.
손잡이(932-2)는 조작 플레이트(932-1)에 구비되어 작업자에 의해 가이드 레일을 따라 상하방향으로 슬라이딩 이동될 수 있다.
손잡이 연결부(932-3)는 가이드 레일(r1, r2)에 구비되어, 손잡이(932-2)와 커버 연결부(931-3)를 고정 연결할 수 있다. 손잡이(932-2)와 손잡이 연결부(932-3)는 힌지 연결되어 손잡이가 회전 가능할 수도 있다. 따라서 손잡이(932-2)는 조작 플레이트(932-1)에 수평으로 밀착 될 수도 있고, 조작 플레이트(932-1)에 수직으로 돌출되도록 회전될 수 있다.
개폐 조작부(932)는 손잡이 걸이(932-4)를 더 포함할 수 있다. 손잡이 걸이(932-4)는 조작 플레이트(932-1)의 상부에 위치하며, 손잡이(932-2)가 걸쳐질 수 있고 지지될 수 있다. 따라서 작업자가 손잡이(932-2)를 위로 잡아 올려 손잡이 걸이(932-4)상에 위치시키면, 손잡이(932-2)의 하강이 방지될 수 있고, 이로 인해 개구 커버부(931)가 케미컬용 개구커버(931-1) 및 질소용 개구커버(931-2)를 폐쇄(Close)하는 상태가 지속될 수 있다.
또한, 작업자가 손잡이(932-2)를 손잡이 걸이(932-4)에서 분리시키면 중력에 의해 손잡이(932-2) 및 개구 커버부(931)가 하강이 될 수 있고, 이로 인해 개구 커버부(931)가 케미컬용 개구커버(931-1) 및 질소용 개구커버(931-2)를 개방(Open)하는 상태가 지속될 수 있다.
일 실시예에 따라, 차단부(903)는 도 3에 도시된 바와 같이, 내측 차단부(903-1) 및 외측 차단부(903-2)로 구성되고, 커버 연결부(931-3)는 내측 차단부(903-1) 및 외측 차단부(903-2)의 사이에 구비될 수 있다. 이로 인해, 커버 연결부(931-3)의 지지 및 가이드에 유리하고 커버 연결부의 외부 노출을 피할 수 있다. 내측 차단부(903-1)는 개구 커버부(931)를 수용할 수 있는 공간이 마련되어 있을 수 있다.
일 실시예에 따라, 케미컬용 개구커버(931-1) 및 질소용 개구커버(931-2)는 도 5에 도시된 바와 같이, 각각 제1의 커버레일(R1) 및 제2의 커버레일(R2)과 접촉하는 측면에 가이드 롤러(933)가 더 구비될 수 있다. 이로 인해 케미컬용 개구커버(931-1) 및 질소용 개구커버(931-2)가 커버레일(R1, R2)를 따라 원활히 슬라이딩 이동될 수 있다. 커버레일(R1, R2)은 내측 차단부(903-1)에 구비될 수 있다.
일 실시예에 따라, 내측 차단부(903-1)에는 케미컬용 개구커버(931-1) 및 질소용 개구커버(931-2) 하부에 완충부재(934)가 더 구비될 수 있다. 완충부재(934)는 스프링, 실린더, 또는 쇼바(Shock absorber)로 구성될 수 있다. 이로 인해 케미컬용 개구커버(931-1) 및 질소용 개구커버(931-2)의 강한 하강으로 인한 충격을 완화하고 파손을 방지할 수 있다.
일 실시예에 따라, 가이드 레일(r1, r2)은 복수개의 영구자석이 더 구비되고, 서로 다른 극성(S극, N극)의 영구자석이 마주 배치되어 일정한 인력이 형성될 수 있다(도 5의 B). 이로 인해 손잡이 연결부(932-3)와 가이드 레일(r1, r2) 간의 마찰을 증대시키고 영구자석이 완충 기능을 수행하여 케미컬용 개구커버(931-1) 및 질소용 개구커버(931-2)의 강한 하강이 방지될 수 있다. 또한, 손잡이 연결부가 지나간 자리는 영구자석이 서로 달라 붙어 틈새를 밀폐할 수 있다.
일 실시예에 따라, 케미컬 자동공급장치는 상기 손잡이, 손잡이 연결부, 손잡이 걸이 없이 실린더나 모터 등 구동부를 이용하여 개구 커버부(931)를 상하방향으로 슬라이딩 이동하게 하여 케미컬용 호스 개구(910) 및 질소용 호스 개구(920)를 자동으로 개폐할 수도 있다.
도 6은 가이드 레일에 탄성부재가 구비된 케미컬 자동공급장치를 설명하는 도면이다. 일 실시예에 따라, 가이드 레일(r1, r2)은 복수개의 탄성부재(935)가 더 구비되고, 탄성부재가 마주 배치될 수 있다. 이로 인해 손잡이 연결부(932-3)와 가이드 레일(r1, r2) 간의 마찰을 증대시키고 탄성부재가 완충 기능을 수행하여 케미컬용 개구커버(931-1) 및 질소용 개구커버(931-2)의 강한 하강이 방지될 수 있다. 또한, 손잡이 연결부가 지나간 자라는 탄성부재가 서로 붙어 틈새를 밀폐할 수 있다. 그 외 동일한 효과를 위해 다른 여러 방법이 사용될 수 있다.
도 7은 개폐 조작부의 조작에 의해 케미컬용 호스 개구 및 질소용 호스 개구가 개폐되는 과정을 설명하는 도면이다. 도 7의 (a)에 도시된 바와 같이, 작업자에 의해 손잡이(932-2)가 상승되고, 손잡이가 화살표 방향으로 회전되어 손잡이 걸이(932-4)에 걸쳐짐으로 의해 개구 커버부(931)가 케미컬용 호스 개구 및 질소용 호스 개구가 폐쇄되고, 폐쇄 상태가 지속적으로 유지된다. 이로 인해 외부의 이물질이 케미컬용 호스 개구 또는 질소용 호스 개구를 통해 케미컬 자동공급장치 내부로 유입될 수 없게 된다.
케미컬 자동공급장치가 사용되기 위하여, 도 7의 (b)에 도시된 바와 같이 작업자에 의해 손잡이(932-2)가 화살표 방향으로 더 상승된 다음에, 도 7의 (c)에 도시된 바와 같이 손잡이(932-2)가 화살표 방향으로 회전되고 하방으로 눌려짐에 의해 개구 커버부(931)가 케미컬용 호스 개구 및 질소용 호스 개구를 개방하고 개방 상태가 지속적으로 유지된다. 이로 인해 케미컬용 호스 및 질소용 호스가 케미컬용 호스 개구 및 질소용 호스 개구를 통해 관통되어 개폐도어(902)가 닫힌 상태에서 케미컬용 호스 및 질소용 호스가 전후방향으로 이동되어 수커넥터가 암커넥터와 체결 및 분리될 수 있다.
900 : 차단도어
901 : 프레임틀
902 : 개폐도어
903 : 차단부
910 : 케미컬용 호스 개구
911 : 회전롤러
920 : 질소용 호스 개구
930 : 개구 셔터부
931 : 개구 커버부
931-1 : 케미컬용 개구커버
931-2 : 질소용 개구커버
931-3 : 커버 연결부
932 : 개폐 조작부
932-1 : 조작 플레이트
932-2 : 손잡이
932-3 : 손잡이 연결부
932-4 : 손잡이 걸이
933 : 가이드 롤러
934 : 완충부재
935 : 탄성부재

Claims (11)

  1. 케미컬 탱크와 케미컬 저장탱크 사이를 연결하여 일측에서 타측으로 케미컬을 공급하기 위해, 이송 유닛에 의해 수커넥터를 전후 방향으로 이송하여 수커넥터가 암커넥터와 체결되도록 하는 케미컬 자동공급장치에 있어서,
    거치부에 호스를 안착시킨 상태에서 케미컬 자동공급장치의 내부를 외부와 차단하고, 프레임틀에 설치된 개폐도어 및 차단부로 구성된 차단도어;
    개폐도어는 프레임틀에 대하여 회동하거나 이동함으로써 프레임틀의 일측부를 개폐하고,
    차단도어에 구비되고, 개폐도어가 닫힌 상태에서 호스가 관통되는 호스 개구; 및
    차단도어에 위치하고, 호스 개구를 개폐하는 개구 셔터부;를 포함하고,
    상기 개구 셔터부는,
    개구 커버부; 및
    개구커버의 개폐를 조작하는 개폐 조작부;를 포함하는 케미컬 자동공급장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 호스는 케미컬용 호스 및 질소용 호스로 구분되고,
    상기 호스 개구는 케미컬용 호스 개구 및 질소용 호스 개구로 구분되고,
    상기 개구 커버부는,
    제1의 커버레일을 따라 상하방향으로 이동되어 케미컬용 호스 개구를 개폐하는 케미컬용 개구커버; 및
    제2의 커버레일을 따라 상하방향으로 이동되어 질소용 호스 개구를 개폐하는 질소용 개구커버;를 포함하는 케미컬 자동공급장치.
  3. 제2항에 있어서,
    케미컬용 개구커버와 질소용 개구커버 사이에 구비되어 케미컬용 개구커버와 질소용 개구커버를 고정 연결하는 커버 연결부;를 포함하는 케미컬 자동공급장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 개폐 조작부는,
    커버 연결부에 구비된 케미컬 자동공급장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 개폐 조작부는,
    차단부에 구비되고 한쌍의 가이드 레일;이 형성된 조작 플레이트;
    조작 플레이트에 구비되어 작업자에 의해 가이드 레일을 따라 상하방향으로 슬라이딩 이동될 수 있는 손잡이; 및
    가이드 레일에 구비되어, 손잡이와 커버 연결부를 고정 연결하는 손잡이 연결부;를 포함하는 케미컬 자동공급장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 개폐 조작부는,
    조작 플레이트의 상부에 위치하며, 손잡이가 걸쳐 질 수 있고 지지될 수 있는 손잡이 걸이;를 더 포함하는 케미컬 자동공급장치.
  7. 제3항에 있어서,
    상기 차단부는 내측 차단부 및 외측 차단부로 구성되고,
    상기 커버 연결부는 내측 차단부 및 외측 차단부의 사이에 구비된 케미컬 자동공급장치.
  8. 제2항에 있어서,
    상기 케미컬용 개구커버 및 질소용 개구커버는 각각 제1의 커버레일 및 제2의 커버레일과 접촉하는 측면에 가이드 롤러;가 더 구비된 케미컬 자동공급장치.
  9. 제5항에 있어서,
    상기 손잡이와 손잡이 연결부는 힌지 연결되어 손잡이가 회전 가능한 케미컬 자동공급장치.
  10. 제5항에 있어서,
    상기 가이드 레일은 복수개의 영구자석;이 더 구비되고, 서로 다른 극성의 영구자석이 마주 배치되어 일정한 인력이 형성되는 케미컬 자동공급장치.
  11. 제5항에 있어서,
    상기 가이드 레일은 복수개의 탄성 버퍼부재;가 더 구비되고, 탄성 버퍼부재가 마주 배치되는 케미컬 자동공급장치.


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