KR102117904B1 - 흔들림 보정 기능을 구비한 광학 유닛의 요동체 자세 조정 방법 및 흔들림 보정 기능을 구비한 광학 유닛 - Google Patents

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신지 미나미사와
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Abstract

[과제] 요동체와 고정체 사이에 자세 복귀용 판 스프링을 걸치는 일 없이 요동체의 기준 자세를 규정하는 흔들림 보정 기능을 구비한 광학 유닛의 요동체 자세 조정 방법을 제안하는 것.
[해결 수단] 광학 유닛(1)에서는, 고정체(44)(통형 케이스(45))의 보유 지지 영역(50)에 요동 구동용 자석(14)을 이동 가능하게 보유 지지하고, 가동 유닛(5)(요동체)에 있어서의 요동 구동용 자석(14)과 대향 가능한 위치에 자세 복귀용 자성 부재(15)를 보유 지지한다(스텝 ST1). 다음으로, 광학 유닛(1)의 축선(L)(고정체(44)의 축선(L))과, 광학 모듈(2)의 광축의 어긋남양을 취득한다(스텝 ST2). 그리고 어긋남양에 기초하는 이동량만큼, 요동 구동용 자석(14)을 보유 지지 영역(50) 내에서 축선(L) 방향으로 이동시킨다. 이에 의해, 가동 유닛(5)의 자세가 변위되어, 축선(L)과 광학 모듈(2)의 광축이 일치한다(스텝 ST3). 그 후, 요동 구동용 자석(14)을 고정체(44)(통형 케이스(45))에 고정한다(스텝 ST4).

Description

흔들림 보정 기능을 구비한 광학 유닛의 요동체 자세 조정 방법 및 흔들림 보정 기능을 구비한 광학 유닛{METHOD FOR ADJUSTING POSITION OF SHAKING BODY OF OPTICAL UNIT WITH SHAKE CORRECTION FUNCTION AND OPTICAL UNIT WITH SHAKE CORRECTION FUCTION}
본 발명은, 휴대 단말기나 이동체에 탑재되는 흔들림 보정 기능을 구비한 광학 유닛에 관한 것이다.
휴대 단말기나 차량, 무인 헬리콥터 등의 이동체에 탑재되는 광학 유닛 중에는, 광학 유닛의 흔들림에 기인하는 촬영 화상의 흐트러짐을 억제하기 위해, 광학 소자를 요동시켜 흔들림을 보정하는 흔들림 보정 기능을 구비하는 경우가 있다. 특허문헌 1에 기재된 흔들림 보정 기능을 구비한 광학 유닛은, 광학 소자를 구비하는 요동체와, 요동체를 요동 가능하게 지지하는 요동 지지 기구와, 요동 지지 기구에 의해 요동체를 외주측으로부터 지지하는 고정체와, 요동체를 요동시키는 요동용 자기 구동 기구를 구비한다. 요동 지지 기구는, 요동체를, 미리 설정한 축선과 광학 소자의 광축이 일치하는 기준 자세와, 축선에 대해 광축이 경사지는 경사 자세 사이에서 요동 가능하게 지지한다. 요동용 자기 구동 기구는, 요동체에 고정된 코일과, 고정체에 고정되어 코일에 대향하는 자석을 구비한다. 자석은, 축선 방향에서 2개로 분극 착자되어 있다.
동 문헌의 흔들림 보정 기능을 구비한 광학 유닛은, 요동체의 기준 자세를 규정하기 위한 판 스프링을 구비한다. 판 스프링은, 요동체와 고정체 사이에 걸쳐 있고, 요동체에 고정되는 요동체측 고정부와, 고정체에 고정되는 고정체측 고정부와, 요동체측 고정부와 고정체측 고정부 사이에서 사행하는 사행부를 구비한다.
일본 특허 공개 제2015-64501호 공보
판 스프링의 사행부는, 고정체에 대한 요동체의 요동을 허용하기 위해, 가늘게 형성되어 있어, 소성 변형되기 쉽다. 따라서, 판 스프링의 취급은 용이하지 않고, 흔들림 보정 기능을 구비한 광학 유닛을 제조할 때, 판 스프링을 요동체와 고정체 사이에 걸치는 작업도 용이하지 않다. 또한, 흔들림 보정 기능을 구비한 광학 유닛에 외부로부터 충격이 가해져 요동체가 과도하게 변위된 경우에는, 사행부에 소성 변형이 발생해 버릴 가능성도 있다. 그래서 요동체로부터 판 스프링을 생략하는 것을 생각할 수 있지만, 판 스프링을 생략한 경우에는, 요동체의 기준 자세를 규정할 수 없다고 하는 문제가 있다.
이상의 문제점에 비추어, 본 발명의 과제는, 요동체와 고정체 사이에 자세 복귀용 판 스프링을 걸치는 일 없이 요동체의 기준 자세를 규정할 수 있는 흔들림 보정 기능을 구비한 광학 유닛의 요동체 자세 조정 방법을 제안하는 데 있다. 또한, 판 스프링을 사용하는 일 없이, 요동체의 기준 자세를 규정할 수 있는 흔들림 보정 기능을 구비한 광학 유닛을 제공하는 데 있다.
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명은, 광학 소자를 구비하는 요동체와, 상기 요동체를, 미리 설정한 축선과 상기 광학 소자의 광축이 일치하는 기준 자세 및 상기 축선에 대해 상기 광축이 소정의 각도로 경사지는 경사 자세 사이에서 요동 가능하게 지지하는 요동 지지 기구와, 상기 요동 지지 기구에 의해 상기 요동체를 지지하는 지지체와, 상기 요동체를 요동시키는 요동용 자기 구동 기구와, 상기 요동체를 외주측으로부터 둘러싸는 고정체를 갖고, 상기 요동용 자기 구동 기구는, 상기 요동체 및 상기 고정체 중 한쪽에 고정된 코일과, 다른 쪽에 보유 지지된 자석을 구비하고, 상기 자석은, 상기 축선 방향에서 2개로 분극 착자되어 있는 흔들림 보정 기능을 구비한 광학 유닛의 요동체 자세 조정 방법에 있어서, 상기 요동체 및 상기 고정체 중 상기 코일이 고정되어 있는 측이며, 상기 축선과 직교하는 직경 방향으로부터 본 경우에 상기 자석과 겹치는 위치에, 자성 부재를 보유 지지시키고, 상기 자성 부재 또는 상기 자석을 상기 축선 방향으로 이동시켜, 상기 광축과 상기 축선을 일치시키고, 상기 축선 방향으로 이동시킨 상기 자성 부재 또는 상기 자석을 이동 후의 이동 위치에서 고정하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서는, 요동체 및 고정체 중 요동용 자기 구동 기구의 코일이 고정되어 있는 측에는, 직경 방향으로부터 본 경우에 요동용 자기 구동 기구의 자석과 겹치는 위치에 자성 부재를 보유 지지시키고 있다. 여기서, 자성 부재와 자석 사이에는, 자성 부재의 중심을 자석의 착자 분극선에 일치시키는 방향의 자기 흡인력이 발생한다. 따라서, 자성 부재 또는 자석을 축선 방향으로 이동시키면, 자성 부재와 자석 사이에 작용하는 자기 흡인력에 의해, 요동체의 자세가 변위된다. 따라서, 요동체의 광축과 축선을 일치시킨 후에, 이동시킨 자성 부재 또는 자석을 이동 위치에서 고정하면, 요동체의 기준 자세를 규정할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 자석을, 상기 고정체에 보유 지지하고, 상기 자석을 상기 축선 방향에서 이동시켜 상기 요동체의 광축과 상기 축선을 일치시키는 것이 바람직하다. 즉, 요동하는 부재(요동체)에 보유 지지된 자성 부재를 이동시키는 것보다, 고정된 부재(고정체)에 보유 지지된 자석 쪽이 이동시키기 쉽다. 또한, 요동용 자기 구동 기구의 자석은 비교적 크기 때문에, 지그 등을 맞닿게 하여 이동시키기 쉽다.
본 발명에 있어서, 상기 고정체에, 자성 재료를 포함하고 상기 요동체를 직경 방향의 외측으로부터 둘러싸는 통 부재를 구비함과 함께, 상기 통 부재에 있어서 상기 요동체에 대향하는 내벽면에, 상기 자석이 축선 방향으로 이동 가능한 상태에서 당해 자석을 보유 지지하는 보유 지지 영역을 마련해 두고, 상기 자석을, 상기 보유 지지 영역 내에 보유 지지함과 함께, 상기 축선 방향으로 이동시켜 상기 요동체의 광축과 상기 축선을 일치시키는 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, 자석이 통 부재에 자기 흡착되므로, 보유 지지 영역 내에서 자석을 이동시키는 것이 용이하다. 또한, 이와 같이 하면, 보유 지지 영역에 자석이 보유 지지되었을 때에 통 부재가 백 요크로서 기능한다. 이에 의해, 요동용 자기 구동 기구가 발생하는 토크를 향상시킬 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 통 부재에, 상기 직경 방향으로 관통하는 직경 방향 개구부를 마련해 두고, 상기 직경 방향 개구부로부터 통 부재의 내측에 지그를 삽입하여 상기 자석에 맞닿게 하여 당해 지그를 이동시킴으로써, 상기 자석을 상기 축선 방향으로 이동시키는 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, 통 부재의 내벽면에 보유 지지된 자석을 축선 방향으로 이동시키는 것이 용이하다.
또한, 본 발명에 있어서, 상기 통 부재는, 상기 보유 지지 영역 및 상기 개구부가 마련된 통부와, 상기 통부의 상기 축선 방향의 한쪽 끝으로부터 내주측으로 돌출되는 프레임부를 구비하고, 상기 프레임부에 있어서, 상기 보유 지지 영역에 보유 지지된 상기 자석과 상기 축선 방향에서 대향하는 위치에 축 방향 개구부를 마련해 두고, 상기 축 방향 개구부로부터 상기 통부에 지그를 삽입하여 상기 자석에 맞닿게 하여 당해 지그를 이동시킴으로써, 상기 자석을 상기 축선 방향으로 이동시키는 것으로 할 수 있다. 통 부재에 프레임부를 구비하면, 프레임부를 이용하여 통 부재의 축선 방향의 일방측에 요동체를 보호하는 케이스 등을 설치할 수 있다. 또한, 이러한 프레임부를 구비하는 경우라도, 프레임부에 선 방향 개구부를 구비하면, 축 방향 개구부를 통해 지그를 축선 방향으로부터 자석에 맞닿게 할 수 있기 때문에, 자석을 축선 방향으로 이동시키기 쉽다.
본 발명에 있어서, 상기 요동용 자기 구동 기구로서, 상기 축선을 사이에 두고 양측에 배치된 제1 요동용 자기 구동 기구 및 제2 요동용 자기 구동 기구를 구비해 두고, 상기 자성 부재로서, 상기 요동체 및 상기 고정체 중 상기 제1 요동용 자기 구동 기구의 상기 코일이 고정되어 있는 측이며 상기 직경 방향으로부터 본 경우에 당해 제1 요동용 자기 구동 기구의 상기 자석과 겹치는 위치에, 제1 상기 자성 부재를 보유 지지시키고, 상기 요동체 및 상기 고정체 중 상기 제2 요동용 자기 구동 기구의 상기 코일이 고정되어 있는 측이며 상기 직경 방향으로부터 본 경우에 당해 제2 요동용 자기 구동 기구의 상기 자석과 겹치는 위치에, 제2 상기 자성 부재를 보유 지지시키고, 상기 제1 요동용 자기 구동 기구의 상기 자석 또는 상기 제1 자성 부재를 상기 축선 방향으로 이동시킴과 함께, 상기 제2 요동용 자기 구동 기구의 상기 자석 또는 상기 제2 자성 부재를 상기 축선 방향으로 이동시켜 상기 요동체의 광축과 상기 축선을 일치시키는 것으로 할 수 있다. 이와 같이 하면, 축선을 사이에 두고 양측에, 요동체의 기준 자세를 규정하는 자성 부재와 자석의 세트를 2세트 구성시키기 때문에, 자석 또는 자성 부재를 이동시켜 요동체의 자세를 조정할 때, 축선을 사이에 두고 일방측에 위치하는 자석 또는 제1 자성 부재의 이동 방향과, 타방측에 위치하는 자석 또는 제2 자성 부재의 이동 방향을 반대 방향으로 함으로써, 축선을 사이에 두고 일방측의 자석과 제1 자성 부재 사이의 자기 흡인력과, 다른 쪽 자석과 제2 자성 부재 사이의 자기 흡인력에 의해, 요동체의 기준 자세를 안정시킬 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 요동용 자기 구동 기구로서, 상기 축선 둘레에서 상기 제1 요동용 자기 구동 기구와 상기 제2 요동용 자기 구동 기구 사이의 각도 위치에 배치된 제3 요동용 자기 구동 기구와, 상기 축선을 사이에 두고 상기 제3 요동용 자기 구동 기구의 반대측에 배치된 제4 요동용 자기 구동 기구를 구비해 두고, 상기 자성 부재로서, 상기 요동체 및 상기 고정체 중 상기 제3 요동용 자기 구동 기구의 상기 코일이 고정되어 있는 측이며 상기 직경 방향으로부터 본 경우에 당해 제3 요동용 자기 구동 기구의 상기 자석과 겹치는 위치에, 제3 상기 자성 부재를 보유 지지시키고, 상기 요동체 및 상기 고정체 중 상기 제4 요동용 자기 구동 기구의 상기 코일이 고정되어 있는 측이며 상기 직경 방향으로부터 본 경우에 당해 제4 요동용 자기 구동 기구의 상기 자석과 겹치는 위치에, 제4 상기 자성 부재를 보유 지지시키고, 상기 제3 요동용 자기 구동 기구의 상기 자석 또는 상기 제3 자성 부재를 상기 축선 방향으로 이동시킴과 함께, 상기 제4 요동용 자기 구동 기구의 상기 자석 또는 상기 제4 자성 부재를 상기 축선 방향으로 이동시켜 상기 요동체의 광축과 상기 축선을 일치시키는 것으로 할 수 있다. 이와 같이 하면, 축선 둘레의 4 방향으로부터 요동체의 자세를 조정하는 것이 가능해진다.
본 발명에 있어서, 상기 고정체는, 상기 지지체를 겸하고 있는 것으로 할 수 있다. 즉, 지지체를 생략하고, 요동용 자기 구동 기구의 코일 또는 자석이 보유 지지되는 고정체가, 요동 지지 기구에 의해 요동체를 지지해도 된다.
다음으로, 본 발명의 흔들림 보정 기능을 구비한 광학 유닛은, 광학 소자를 구비하는 요동체와, 상기 요동체를, 미리 설정한 축선과 상기 광학 소자의 광축이 일치하는 기준 자세 및 상기 축선에 대해 상기 광축이 소정의 각도로 경사지는 경사 자세 사이에서 요동 가능하게 지지하는 요동 지지 기구와, 상기 요동 지지 기구에 의해 상기 요동체를 지지하는 지지체와, 상기 요동체를 요동시키는 요동용 자기 구동 기구와, 상기 요동체를 외주측으로부터 둘러싸는 고정체를 갖고, 상기 요동용 자기 구동 기구는, 상기 요동체 및 상기 고정체 중 한쪽에 고정된 코일과, 다른 쪽에 보유 지지된 자석을 구비하고, 상기 자석은, 상기 축선 방향에서 2개로 분극 착자되어 있고, 상기 고정체는, 자성 재료를 포함하고 상기 요동체를 외주측으로부터 둘러싸는 통 부재를 구비하고, 상기 통 부재는, 상기 요동체에 대향하는 내벽면에, 상기 자석이 축선 방향으로 이동 가능한 상태에서 당해 자석을 보유 지지하는 보유 지지 영역을 구비함과 함께, 상기 보유 지지 영역에 보유 지지된 상기 자석에 지그를 당해 통 부재의 외측으로부터 맞닿게 하기 위한 직경 방향 개구부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서는, 요동체 및 고정체 중 요동용 자기 구동 기구의 코일이 고정되어 있는 요동체에는, 직경 방향으로부터 본 경우에 요동용 자기 구동 기구의 자석과 겹치는 위치에 자성 부재가 보유 지지되어 있다. 한편, 고정체의 통 부재는, 자성 재료를 포함하고, 자석이 축선 방향으로 이동 가능한 상태에서 당해 자석을 보유 지지하는 보유 지지 영역과, 직경 방향 개구부를 구비한다. 따라서, 직경 방향 개구부로부터 지그를 통 부재의 내측에 삽입하여 자석에 맞닿게 하여 지그를 이동시킴으로써, 통 부재에 자기 흡착된 자석을 축선 방향으로 이동시킬 수 있다. 여기서, 요동체에 보유 지지된 자성 부재와 고정체에 보유 지지된 자석 사이에는, 자성 부재의 중심을 자석의 착자 분극선에 일치시키는 방향의 자기 흡인력이 발생한다. 따라서, 고정체의 자석을 축선 방향으로 이동시키면, 자성 부재와 자석 사이에 작용하는 자기 흡인력에 의해, 요동체의 자세가 변위된다. 따라서, 요동체의 기준 자세를 규정할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 통 부재는, 상기 보유 지지 영역 및 상기 직경 방향 개구부를 구비하는 통부와, 상기 통부의 상기 축선 방향의 한쪽 끝으로부터 내주측으로 돌출되는 프레임부와, 상기 보유 지지 영역에 보유 지지된 상기 자석에 지그를 당해 통 부재의 외측으로부터 맞닿게 하기 위한 축 방향 개구부를 구비하고, 상기 축 방향 개구부는, 상기 프레임부에 있어서 상기 보유 지지 영역에 보유 지지된 상기 자석과 상기 축선 방향에서 대향하는 위치에 마련되어 있는 것으로 할 수 있다. 통 부재에 프레임부를 구비하면, 프레임부를 이용하여 통 부재의 축선 방향의 일방측에 요동체를 보호하는 케이스 등을 설치할 수 있다. 또한, 이러한 프레임부를 구비하는 경우라도, 프레임부에 선 방향 개구부를 구비하면, 축 방향 개구부를 통해 지그를 축선 방향으로부터 자석에 맞닿게 할 수 있으므로, 자석을 축선 방향으로 이동시키기 쉽다.
본 발명에 있어서, 상기 고정체는, 상기 지지체를 겸하고 있는 것으로 할 수 있다. 즉, 지지체를 생략하고, 요동용 자기 구동 기구의 코일 또는 자석이 보유 지지되는 고정체가, 요동 지지 기구를 거쳐서 요동체를 지지해도 된다.
본 발명의 흔들림 보정 기능을 구비한 광학 유닛에 있어서의 흔들림 보정 기능을 구비한 광학 유닛의 요동체 자세 조정 방법에 의하면, 판 스프링을 사용하는 일 없이, 광학 소자를 보유 지지하는 요동체의 기준 자세를 규정할 수 있다.
또한, 본 발명의 흔들림 보정 기능을 구비한 광학 유닛에 의하면, 판 스프링을 사용하는 일 없이, 광학 소자를 보유 지지하는 요동체의 기준 자세를 규정할 수 있음과 함께, 지그를 사용하여 요동체의 기준 자세를 규정하는 것이 용이해진다.
도 1은 본 발명을 적용한 광학 유닛을 피사체측에서 본 사시도이다.
도 2는 도 1의 A-A선에 있어서의 광학 유닛의 단면도이다.
도 3은 도 1의 광학 유닛을 피사체측에서 본 분해 사시도이다.
도 4는 고정체를 구성하는 통형 케이스의 단면도이다.
도 5는 제1 유닛을 피사체측에서 본 분해 사시도이다.
도 6은 제1 유닛을 피사체 반대측에서 본 분해 사시도이다.
도 7은 가동체를 피사체측에서 본 사시도이다.
도 8은 가동체를 피사체측 및 피사체 반대측에서 본 사시도이다.
도 9는 광학 유닛을 축선과 직교하는 평면에서 절단한 단면도이다.
도 10은 제2 유닛을 피사체측 및 피사체 반대측에서 본 사시도이다.
도 11은 도 10의 B-B선에 있어서의 제2 유닛의 단면도이다.
도 12는 제2 유닛을 피사체측에서 본 분해 사시도이다.
도 13은 제2 유닛을 피사체 반대측에서 본 분해 사시도이다.
도 14는 각도 위치 복귀 기구의 설명도이다.
도 15는 가동 유닛의 자세 조정 동작의 흐름도이다.
도 16은 가동 유닛의 자세 조정 동작의 설명도이다.
도 17은 변형예의 요동 구동용 자석의 설명도이다.
이하에, 도면을 참조하여, 본 발명을 적용한 광학 유닛의 실시 형태를 설명한다. 본 명세서에 있어서, XYZ의 3축은 서로 직교하는 방향이며, X축 방향의 일방측을 +X, 타방측을 -X로 나타내고, Y축 방향의 일방측을 +Y, 타방측을 -Y로 나타내고, Z축 방향의 일방측을 +Z, 타방측을 -Z로 나타낸다. Z축 방향은 광학 유닛의 축선 방향이며, 광학 소자의 광축 방향이다. +Z 방향은 광학 유닛의 피사체측이고, -Z 방향은 광학 유닛의 피사체 반대측(이미지측)이다.
(전체 구성)
도 1은 본 발명을 적용한 광학 유닛을 피사체측에서 본 사시도이다. 도 2는 도 1의 A-A선에 있어서의 광학 유닛의 단면도이다. 도 3은 도 1의 광학 유닛을 피사체측에서 본 경우의 분해 사시도이다. 도 1에 나타낸 광학 유닛(1)은, 예를 들어 카메라가 달린 휴대 전화기, 드라이브 리코더 등의 광학 기기나, 헬멧, 자전거, 무선 조종 헬리콥터 등의 이동체에 탑재되는 액션 카메라나 웨어러블 카메라 등의 광학 기기에 사용된다. 이러한 광학 기기에서는, 촬영 시에 광학 기기에 흔들림이 발생하면, 촬상 화상에 흐트러짐이 발생한다. 본 예의 광학 유닛(1)은, 촬영 화상의 흐트러짐을 회피하기 위해, 탑재하는 광학 모듈(2)의 기울기나 회전을 보정하는 흔들림 보정 기능을 구비한 광학 유닛이다.
도 2, 도 3에 나타낸 바와 같이, 광학 유닛(1)은, 광학 모듈(2)을 갖는 제1 유닛(3)과, -Z 방향의 측으로부터 제1 유닛(3)을 회전 가능하게 지지하는 제2 유닛(4)을 구비한다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 제1 유닛(3)은 광학 모듈(2)을 구비하는 가동 유닛(요동체)(5)과, 가동 유닛(5)을 요동 가능하게 지지하는 요동 지지 기구(6)와, 요동 지지 기구(6)를 통해 가동 유닛(5)을 외주측으로부터 지지하는 홀더(7)(지지체)와, 가동 유닛(5) 및 홀더(7)를 외주측으로부터 둘러싸는 케이스체(8)를 구비한다. 광학 모듈(2)은, 광학 소자(9)와, 광학 소자(9)의 광축 상에 배치된 촬상 소자(10)를 구비한다. 요동 지지 기구(6)는, 가동 유닛(5)을, 미리 정한 축선(L)과 광학 소자(9)의 광축이 일치하는 기준 자세 및 축선(L)에 대해 광축이 경사지는 경사 자세 사이에서 요동 가능하게 지지한다. 요동 지지 기구(6)는 짐벌 기구이다. 축선(L)은 Z축과 일치한다.
또한, 제1 유닛(3)은, 가동 유닛(5)을 요동시키는 요동용 자기 구동 기구(11)와, 요동하는 가동 유닛(5)을 기준 자세로 복귀시키기 위한 자세 복귀 기구(12)를 구비한다. 요동용 자기 구동 기구(11)는, 가동 유닛(5)에 보유 지지된 요동 구동용 코일(13)과, 케이스체(8)(고정체)에 보유 지지된 요동 구동용 자석(14)을 구비한다. 요동 구동용 코일(13)과 요동 구동용 자석(14)은 축선(L)과 직교하는 직경 방향에서 대향한다. 자세 복귀 기구(12)는 케이스체(8)에 보유 지지된 요동 구동용 자석(14)과, 가동 유닛(5)에 보유 지지되어 요동 구동용 자석(14)과 대향하는 자세 복귀용 자성 부재(15)(자성 부재)를 구비한다. 또한, 상세는 후술하지만, 자세 복귀 기구(12)는 요동용 자기 구동 기구(11)가 구동되고 있지 않은 상태에 있어서의 가동 유닛(5)의 기준 자세를 규정하는 것이며, 기준 자세 규정 기구라고 바꾸어 말할 수도 있다.
또한, 제1 유닛(3)은, 가동 유닛(5)의 요동 범위를 규제하는 요동 스토퍼 기구(17)를 구비한다. 또한, 제1 유닛(3)은, 요동 구동용 코일(13)에 전기적으로 접속된 플렉시블 프린트 기판(18)과, 촬상 소자(10)에 전기적으로 접속된 플렉시블 프린트 기판(19)을 구비한다. 가동 유닛(5)에는, 가동 유닛(5)의 무게 중심과 가동 유닛(5)의 요동 중심을 일치시키기 위한 웨이트(41)가 설치되어 있다.
다음으로, 제2 유닛(4)은, 홀더(7)를 축선(L) 주위로 회전 가능하게 지지하는 회전 지지 기구(21)와, 회전 지지 기구(21)를 통해 홀더(7)를 지지하는 고정 부재(22)를 구비한다. 회전 지지 기구(21)는 회전 받침대(24)와, 베어링 기구(25)를 구비한다. 회전 받침대(24)는, 베어링 기구(25)를 통해, 고정 부재(22)에 회전 가능하게 지지되어 있다. 베어링 기구(25)는, Z축 방향으로 배열된 제1 볼 베어링(27)과 제2 볼 베어링(28)을 구비한다. 제1 볼 베어링(27)은, 제2 볼 베어링(28)의 +Z 방향에 위치한다.
또한, 제2 유닛(4)은, 회전 받침대(24)를 회전시키는 롤링용 자기 구동 기구(31)와, 회전한 회전 받침대(24)를 미리 정한 기준 각도 위치로 복귀시키기 위한 각도 위치 복귀 기구(32)를 구비한다. 롤링용 자기 구동 기구(31)는, 회전 받침대(24)에 보유 지지된 롤링 구동용 코일(35)과, 고정 부재(22)에 보유 지지된 롤링 구동용 자석(36)을 구비한다. 롤링 구동용 코일(35)과 롤링 구동용 자석(36)은 Z축 방향에서 대향한다. 각도 위치 복귀 기구(32)는, 회전 받침대(24)에 고정된 각도 위치 복귀용 자성 부재(37)를 구비한다. 각도 위치 복귀용 자성 부재(37)는, Z축 방향으로부터 본 경우에 롤링 구동용 자석(36)과 겹친다. 또한, 제2 유닛(4)은, 회전 받침대(24)의 회전 각도 범위를 규제하는 회전 스토퍼 기구(38)를 구비한다. 또한, 제2 유닛(4)은, 롤링 구동용 코일(35)에 전기적으로 접속된 플렉시블 프린트 기판(39)과, 고정 부재(22)에 고정된 커버 부재(40)를 구비한다.
여기서, 회전 받침대(24)에는, 제1 유닛(3)의 홀더(7)가 설치된다. 따라서, 회전 받침대(24)가 회전하면, 제1 유닛(3)의 가동 유닛(5) 및 홀더(7)가 회전 받침대(24)와 일체로 Z축 주위(축선(L) 주위)를 회전한다. 따라서, 제1 유닛(3)의 가동 유닛(5) 및 홀더(7)와 제2 유닛(4)의 회전 받침대(24)는 Z축 주위로 일체로 회전하는 가동체(43)를 구성한다. 한편, 고정 부재(22)에는 제1 유닛(3)의 케이스체(8)가 설치된다. 이에 의해, 고정 부재(22)와 케이스체(8)는 가동체(43)를 회전 가능하게 지지하는 고정체(44)를 구성한다. 회전 받침대(24)는 회전 지지 기구(21)를 구성함과 함께, 가동체(43)를 구성한다.
(제1 유닛)
도 4는 케이스체(8)의 통형 케이스를 Z축을 따라 절단한 단면도이다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 케이스체(8)는, Z축 방향으로부터 본 경우에 대략 8각형의 외형을 한 통형 케이스(45)(통 부재)와, 통형 케이스(45)에 대해 +Z 방향의 측(피사체측)으로부터 조립되는 피사체측 케이스(46)를 구비한다. 통형 케이스(45)는 자성 재료로 형성된다. 피사체측 케이스(46)는 수지 재료로 형성된다.
통형 케이스(45)는, 대략 8각형의 통부(47)와, 통부(47)의 +Z 방향의 끝으로부터 내측으로 돌출된 판형의 프레임부(48)를 구비한다. 프레임부(48)의 중앙에는 대략 8각형의 개구부(48a)가 형성되어 있다. 통부(47)는, X축 방향에 대향하는 측판(51, 52)과, Y축 방향에 대향하는 측판(53, 54)과, X축 방향 및 Y축 방향에 대해 45도 기운 4개소의 코너부에 마련된 측판(55)을 구비한다. 도 4에 나타낸 바와 같이, X축 방향에 대향하는 측판(51, 52)과 Y축 방향에 대향하는 측판(53, 54)의 내주면에는, 각각 요동 구동용 자석(14)을 보유 지지하는 보유 지지 영역(50)이 마련되어 있다. 보유 지지 영역(50)은, 요동 구동용 자석(14)의 Z축 방향의 길이 치수보다 Z축 방향으로 긴 직사각형의 영역이다.
보유 지지 영역(50)에는, 각각 요동 구동용 자석(14)이 보유 지지된다. 각 요동 구동용 자석(14)은 Z축 방향에서 분극 착자되어 있다. 각 요동 구동용 자석(14)의 착자 분극선(14a)은 Z축(축선(L))과 직교하는 방향을 주위 방향으로 연장한다. 여기서, 통형 케이스(45)는 자성 재료를 포함하기 때문에, 통형 케이스(45)는 보유 지지 영역(50) 내에서, 요동 구동용 자석(14)을 Z축 방향으로 이동 가능한 상태로 보유 지지한다. 또한, 요동 구동용 자석(14)은, 상세를 후술하는 바와 같이, 지그에 의해 Z축 방향의 위치가 조정된 후에, 접착제에 의해, 보유 지지 영역(50) 내에 고정된다. 요동 구동용 자석(14)의 고정에는, 열경화형 접착제가 사용된다.
통부(47)는, 보유 지지 영역(50)에 보유 지지된 요동 구동용 자석(14)에 지그를 통형 케이스(45)의 외측으로부터 맞닿게 하기 위한 직경 방향 개구부(47a)를 구비한다. 직경 방향 개구부(47a)는 통부(47)를 직경 방향으로 관통한다. 직경 방향 개구부(47a)는 직경 방향으로부터 본 경우에 보유 지지 영역(50)의 -Z 방향의 단부와 일부분이 겹쳐 있다. 또한, 직경 방향 개구부(47a)는, Z축 주위의 주위 방향으로 긴 직사각 형상이며, 보유 지지 영역(50)의 주위 방향의 중앙에 마련되어 있다.
프레임부(48)에는, 보유 지지 영역(50)에 보유 지지된 요동 구동용 자석(14)에 지그를 통형 케이스(45)의 외측으로부터 맞닿게 하기 위한 축 방향 개구부(48b)가 마련되어 있다. 축 방향 개구부(48b)는, 프레임부(48)에 있어서 보유 지지 영역(50)에 보유 지지된 요동 구동용 자석(14)과 Z축 방향에서 대향하는 위치에 마련되어 있다. 축 방향 개구부(48b)는, Z축 주위의 주위 방향으로 긴 직사각 형상이며, 보유 지지 영역(50)의 주위 방향의 중앙에 마련되어 있다.
또한, 통형 케이스(45)는, +X 방향의 하단부 모서리 부분, +Y 방향의 하단부 모서리 부분 및 -Y 방향의 하단부 모서리 부분에, 각각 위치 결정용 절결부(56)를 구비한다. 또한, 통부(47)는, -X 방향의 하단부 모서리 부분에, 플렉시블 프린트 기판(18, 19)을 배선하기 위한 직사각형 절결부(57)를 구비한다.
피사체측 케이스(46)는, 통형 케이스(45)의 프레임부(48)에 맞닿는 통형의 몸통부(58)와, 몸통부(58)의 +Z 방향의 끝으로부터 내측으로 돌출된 단부판부(59)를 구비한다. 단부판부(59)의 중앙에는 원형 개구부(60)가 형성되어 있다. 원형 개구부(60)에는, 광학 모듈(2)의 +Z 방향의 단부 부분이 삽입된다.
(홀더)
도 5는 가동 유닛(5) 및 홀더(7)를 +Z 방향의 측에서 본 경우의 분해 사시도이다. 도 6은 가동 유닛(5) 및 홀더(7)를 -Z 방향의 측에서 본 경우의 분해 사시도이다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 홀더(7)는 가동 유닛(5)의 +Z 방향의 단부 부분이 삽입되는 홀더 환형부(62)와, 홀더 환형부(62)의 -Z 방향측으로 연속되는 홀더 몸통부(63)를 구비한다. 홀더 몸통부(63)는 주위 방향으로 배열된 4개의 창부(64)와, 주위 방향에 인접하는 창부(64)를 구획하는 4개의 종 프레임부(65)를 구비한다. 4개의 창부(64) 중 2개의 창부(64)는 X축 방향으로 개구되고, 다른 2개는 Y축 방향으로 개구된다. 4개의 종 프레임부(65)는 각각, X축 방향과 Y축 방향 사이의 각도 위치에 배치되어 있다.
홀더 몸통부(63)는, +X 방향의 하단부 모서리 부분, +Y 방향의 하단부 모서리 부분 및 -Y 방향의 하단부 모서리 부분에, 각각 위치 결정용 절결부(67)를 구비한다. 또한, 홀더 몸통부(63)는, -X 방향의 하단부 모서리 부분에, 플렉시블 프린트 기판(18, 19)을 배선하기 위한 직사각형 절결부(68)를 구비한다.
(가동 유닛)
도 7은 가동 유닛(5)을 +Z 방향의 측(피사체측)에서 본 경우의 사시도이다. 도 8의 (a)는 가동 유닛(5)을 +Z 방향의 측(피사체측)에서 본 경우의 사시도이고, 도 8의 (b)는 가동 유닛(5)을 -Z 방향으로부터 본 경우의 사시도이다. 도 7, 도 8에 나타낸 바와 같이, 가동 유닛(5)은 광학 모듈(2)과, 광학 모듈(2)을 외주측으로부터 보유 지지하는 광학 모듈 홀더(71)를 구비한다. 광학 모듈(2)은, 내주측에 광학 소자(9)를 보유 지지하는 경통부(72)와, 경통부(72)의 -Z 방향의 단부 부분에 있어서 내주측에 기판(73)을 보유 지지하는 각통부(74)를 구비한다. 기판(73)에는 촬상 소자(10)가 탑재되어 있다.
도 7에 나타낸 바와 같이, 광학 모듈 홀더(71)는 Z축 방향으로부터 본 경우에 대략 8각형의 저판부(80)와, 저판부(80)의 X축 방향의 양단부에 있어서, +Z 방향으로 상승하여 Y축 방향으로 연장되는 한 쌍의 벽부(81, 82)와, 저판부(80)의 Y축 방향의 양단부에 있어서, +Z 방향으로 상승하여 X축 방향으로 연장되는 한 쌍의 벽부(83, 84)를 구비한다. 또한, 광학 모듈 홀더(71)는 저판부(80)의 중심에 마련된 광학 모듈 보유 지지부(85)를 구비한다. 광학 모듈 보유 지지부(85)는 통형이며, 축선(L)과 동축이다. 광학 모듈 보유 지지부(85)에는 광학 모듈(2)의 경통부(72)가 삽입된다.
도 8에 나타낸 바와 같이, 경통부(72)는 광학 모듈 보유 지지부(85)에 -Z 방향의 측으로부터 삽입되고, 광학 모듈 보유 지지부(85)를 관통하여, 광학 모듈 보유 지지부(85)로부터 +Z 방향으로 돌출된다. 광학 모듈 보유 지지부(85)는 경통부(72)를 외주측으로부터 보유 지지한다. 여기서, 도 7 및 도 8에 나타낸 바와 같이, 경통부(72)의 +Z 방향의 단부 부분이며, 광학 모듈 보유 지지부(85)로부터 +Z 방향으로 돌출되어 있는 부분의 외주면에는 웨이트(41)가 설치되어 있다. 웨이트(41)는, 환형이며, 그 중심 구멍에 경통부(72)가 삽입되어 있다. 경통부(72)는 웨이트(41)를 Z축 방향으로 관통하고 있다. 웨이트(41)는 압입 또는 접착제에 의해 경통부(72)에 고정되어 있다. 웨이트(41)는, 예를 들어 놋쇠 등의 비자성 금속으로 이루어진다.
도 7, 도 8에 나타낸 바와 같이, 광학 모듈 홀더(71)의 각 벽부(81, 82, 83, 84)에 있어서의 +Z 방향의 단부면에는, +Z 방향으로 돌출되는 2개의 요동 스토퍼용 볼록부(87)가 마련되어 있다. 2개의 요동 스토퍼용 볼록부(87)는, 각 벽부(81, 82, 83, 84)에 있어서의 주위 방향의 양단부 부분으로부터 각각 돌출된다.
각 벽부(81, 82, 83, 84)에 있어서 직경 방향의 외측을 향하는 외측면에는, 코일 고정부(88)가 마련되어 있다. 각 코일 고정부(88)에는, 도 8에 나타낸 바와 같이, 중심 구멍을 직경 방향의 외측을 향하게 한 자세로 요동 구동용 코일(13)이 고정된다. 또한, -X 방향의 측에 위치하는 벽부(82) 및 +Y 방향의 측에 위치하는 벽부(83)의 코일 고정부(88)에는 홀 소자 고정부(89)가 마련되어 있다. 홀 소자 고정부(89)에는 홀 소자(90)가 고정된다. 홀 소자(90)는 Z축 방향에서 각 요동 구동용 코일(13)의 중심에 위치한다. 홀 소자(90)는, 플렉시블 프린트 기판(18)에 전기적으로 접속되어 있다.
도 7에 나타낸 바와 같이, 각 벽부(81, 82, 83, 84)에 있어서 직경 방향의 내측을 향하는 내측면에는, 자세 복귀용 자성 부재(15)를 고정하기 위한 자성 부재 고정 영역(92)이 마련되어 있다. 자성 부재 고정 영역(92)은, 내측면을 일정 폭으로 Z축 방향으로 연장하는 홈(93)이다. 자세 복귀용 자성 부재(15)는 직사각형 판형이며 Z축 방향의 치수가 주위 방향의 치수보다 길다. 또한, 자세 복귀용 자성 부재(15)의 Z축 방향의 치수는, 홈(93)의 Z축 방향의 치수보다 짧다. 자세 복귀용 자성 부재(15)는, 길이 방향을 Z축 방향을 향하게 한 자세로, 접착제에 의해, 홈(93) 내에 고정되어 있다. 자세 복귀용 자성 부재(15)는, 가동 유닛(5)이 기준 자세인 상태를 직경 방향으로부터 본 경우에, 자세 복귀용 자성 부재(15)의 중심이 요동 구동용 자석(14)의 착자 분극선(14a)과 겹친다.
(요동 지지 기구)
도 9는 Z축(축선(L))과 직교하여 요동 지지 기구(6)를 통과하는 평면에서 광학 유닛(1)을 절단한 단면도이다. 요동 지지 기구(6)는, 광학 모듈 홀더(71)와 홀더(7) 사이에 구성되어 있다. 도 9에 나타낸 바와 같이, 요동 지지 기구(6)는, 광학 모듈 홀더(71)의 제1축(R1)(제2 축선) 상의 대각 위치에 마련된 2개소의 제1 요동 지지부(101)와, 홀더 몸통부(63)의 제2축(R2)(제2 축선) 상의 대각 위치에 마련된 2개소의 제2 요동 지지부(102)와, 제1 요동 지지부(101) 및 제2 요동 지지부(102)에 의해 지지되는 가동 프레임(103)을 구비한다. 여기서, 제1축(R1) 및 제2축(R2)은 Z축 방향과 직교하고, 또한 X축 방향 및 Y축 방향에 대해 45도 기운 방향이다. 따라서, 제1 요동 지지부(101) 및 제2 요동 지지부(102)는 X축 방향과 Y축 방향 사이의 각도 위치에 배치된다. 도 5, 도 6에 나타낸 바와 같이, 제2 요동 지지부(102)는, 홀더 몸통부(63)의 내측면에 형성된 오목부이다.
도 9에 나타낸 바와 같이, 가동 프레임(103)은 Z축 방향으로부터 본 평면 형상이 대략 8각형인 판형 스프링이다. 가동 프레임(103)의 외측면에는 Z축 주위의 4개소에 용접 등에 의해 금속제의 구체(104)가 고정되어 있다. 이 구체(104)는, 광학 모듈 홀더(71)에 마련된 제1 요동 지지부(101), 및 홀더 몸통부(63)에 마련된 제2 요동 지지부(102)에 보유 지지되는 접점 스프링(105)과 점 접촉한다. 도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 접점 스프링(105)은 판형 스프링이며, 제1 요동 지지부(101)에 보유 지지되는 접점 스프링(105)은 제1축(R1) 방향으로 탄성 변형 가능하고, 제2 요동 지지부(102)에 보유 지지되는 접점 스프링(105)은 제2축(R2) 방향으로 탄성 변형 가능하다. 따라서, 가동 프레임(103)은 Z축 방향과 직교하는 2 방향(제1축(R1) 방향 및 제2축(R2) 방향)의 각 방향 주위로 회전 가능한 상태로 지지된다.
(요동용 자기 구동 기구)
요동용 자기 구동 기구(11)는, 도 9에 도시한 바와 같이, 가동 유닛(5)과 통형 케이스(45)의 사이에 마련된 요동용 자기 구동 기구(11A) 및 요동용 자기 구동 기구(11B)를 구비한다. 요동용 자기 구동 기구(11A)는, X축 방향에서 대향하는 요동 구동용 자석(14)과 요동 구동용 코일(13)을 포함하는 세트를 각각 구비하는 2개의 요동용 자기 구동 기구(11A)(제1 요동용 자기 구동 기구 및 제2 요동용 자기 구동 기구)를 구비한다. 2개의 요동용 자기 구동 기구(11A)는 축선(L)을 사이에 두고 양측에 위치한다. 2개의 요동용 자기 구동 기구(11A) 중, -X 방향의 측에 위치하는 요동용 자기 구동 기구(11A)는, 요동 구동용 코일(13)의 내측에 배치된 홀 소자(90)를 구비한다. 요동용 자기 구동 기구(11B)는, Y축 방향에서 대향하는 요동 구동용 자석(14)과 요동 구동용 코일(13)을 포함하는 세트를 각각 구비하는 2개의 요동용 자기 구동 기구(11B)(제3 요동용 자기 구동 기구 및 제4 요동용 자기 구동 기구)를 구비한다. 2개의 요동용 자기 구동 기구(11B)는, 축선(L)을 사이에 두고 양측에 위치한다. 2개의 요동용 자기 구동 기구(11B) 중, +Y 방향의 측에 위치하는 요동용 자기 구동 기구(11B)는, 요동 구동용 코일(13)의 내측에 배치된 홀 소자(90)를 구비한다.
각 요동 구동용 코일(13)은 광학 모듈 홀더(71)의 X축 방향의 양측 벽부(81, 82) 및 Y축 방향의 양측 벽부(83, 84)의 외측면에 보유 지지된다. 요동 구동용 자석(14)은, 통형 케이스(45)의 통형 케이스(45)에 마련된 측판(51, 52, 53, 54)의 내측면에 보유 지지된다. 각 요동 구동용 자석(14)은, 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이 Z축 방향으로 2분할되고, 내면측의 자극이 착자 분극선(14a)을 경계로 하여 상이하도록 착자되어 있다. 요동 구동용 코일(13)은, +Z 방향측 및 -Z 방향측의 긴 변 부분이 유효 변으로서 이용된다. 가동 유닛(5)이 기준 자세일 때, 각 홀 소자(90)는, 외주측에 위치하는 요동 구동용 자석(14)의 착자 분극선(14a)과 대향한다. 여기서, 통형 케이스(45)는 자성 재료로 구성되어 있으므로, 요동 구동용 자석(14)에 대한 요크로서 기능한다.
가동 유닛(5)의 +Y 방향측 및 -Y 방향측에 위치하는 2개의 요동용 자기 구동 기구(11B)는, 요동 구동용 코일(13)에의 통전 시에 X축 주위의 동일 방향의 자기 구동력이 발생하도록 배선 접속되어 있다. 또한, 가동 유닛(5)의 +X 방향측 및 -X 방향측에 위치하는 2개의 요동용 자기 구동 기구(11A)는, 요동 구동용 코일(13)에의 통전 시에 Y축 주위의 동일 방향의 자기 구동력이 발생하도록 배선 접속되어 있다. 요동용 자기 구동 기구(11)는, 요동용 자기 구동 기구(11B)에 의한 X축 주위의 회전 및 요동용 자기 구동 기구(11A)에 의한 Y축 주위의 회전을 합성함으로써, 광학 모듈(2)을 제1축(R1) 주위 및 제2축(R2) 주위로 회전시킨다. X축 주위의 흔들림 보정 및 Y축 주위의 흔들림 보정을 행하는 경우는, 제1축(R1) 주위의 회전 및 제2축(R2) 주위의 회전을 합성한다.
(요동 스토퍼 기구)
도 2에 나타낸 바와 같이, 가동 유닛(5)의 요동 범위를 규제하는 요동 스토퍼 기구(17)는, 가동 유닛(5)(광학 모듈 홀더(71))에 마련된 요동 스토퍼용 볼록부(87)와, 홀더 환형부(62)로 구성된다. 가동 유닛(5)이 소정의 요동 범위를 초과하는 경사 자세가 되면, 요동 스토퍼용 볼록부(87)가 홀더 환형부(62)에 맞닿아, 그 이상, 가동 유닛(5)이 경사지는 것을 규제한다. 또한, 요동 스토퍼 기구(17)는, 외력에 의해 가동 유닛(5)이 +Z 방향으로 이동한 경우에, 요동 스토퍼용 볼록부(87)가 홀더 환형부(62)에 맞닿아, 가동 유닛(5)이 그 이상, +Z 방향으로 이동하는 것을 규제한다.
(자세 복귀 기구)
자세 복귀 기구(12)는, 자세 복귀용 자성 부재(15)와, 요동 구동용 자석(14)을 구비한다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 자세 복귀용 자성 부재(15)는, 직경 방향에 있어서, 요동 구동용 코일(13)을 사이에 두고 요동 구동용 자석(14)과는 반대측에 배치되어 있다. 홀더(7)가 기준 자세인 상태를 직경 방향으로부터 본 경우에는, 자세 복귀용 자성 부재(15)의 중심은, 외주측에 위치하는 요동 구동용 자석(14)의 착자 분극선(14a)과 겹치는 위치에 있다. 바꾸어 말하면, 가동 유닛(5)이 기준 자세인 상태에서는, 착자 분극선(14a)을 포함하여 축선(L)과 직교하는 가상면(12a)이 자세 복귀용 자성 부재(15)의 중심을 통과한다.
여기서, 가동 유닛(5)이 기준 자세로부터 경사지면(광학 모듈(2)의 광축이 축선(L)에 대해 경사지면), 자세 복귀용 자성 부재(15)의 중심이, 요동 구동용 자석(14)의 착자 분극선(14a)으로부터 Z축 방향으로 어긋난다. 이에 의해, 자세 복귀용 자성 부재(15)와 요동 구동용 자석(14) 사이에는, 자세 복귀용 자성 부재(15)의 중심을 요동 구동용 자석(14)의 착자 분극선(14a)이 위치하는 측을 향하게 하는 방향의 자기 흡인력이 작용한다. 즉, 가동 유닛(5)이 기준 자세로부터 경사지면, 자세 복귀용 자성 부재(15)와 요동 구동용 자석(14) 사이에, 가동 유닛(5)을 기준 자세로 복귀시키는 방향의 자기 흡인력이 작용한다. 따라서, 자세 복귀용 자성 부재(15)와, 요동 구동용 자석(14)은, 가동 유닛(5)을 기준 자세로 복귀시킨다.
(제2 유닛)
도 10의 (a)는 +Z 방향의 측에서 본 경우의 제2 유닛(4)의 사시도이고, 도 10의 (b)는 -Z 방향의 측에서 본 경우의 제2 유닛(4)의 사시도이다. 도 11은 제2 유닛(4)의 단면도이다. 도 12는 +Z 방향의 측(피사체측)에서 본 경우의 제2 유닛(4)의 분해 사시도이다. 도 13은 -Z 방향의 측(피사체 반대측)에서 본 경우의 제2 유닛(4)의 분해 사시도이다. 도 10 및 도 11에 나타낸 바와 같이, 제2 유닛(4)은 홀더(7)를 축선(L) 주위로 회전 가능하게 지지하는 회전 지지 기구(21)와, 회전 지지 기구(21)를 통해 홀더(7)를 지지하는 고정 부재(22)와, 플렉시블 프린트 기판(39)과, 커버 부재(40)를 구비한다. 회전 지지 기구(21)는, 회전 받침대(24)와 베어링 기구(25)(제1 볼 베어링(27) 및 제2 볼 베어링(28))를 구비한다.
도 12에 나타낸 바와 같이, 고정 부재(22)는, Z축 방향이 얇은 편평 형상을 하고 있다. 고정 부재(22)는 -X 방향의 단부 모서리 부분에, 직사각형의 절결부(112)를 구비한다. 고정 부재(22)는 절결부(112)를 제외한 외주연 부분에 단차부(113)를 구비한다. 단차부(113)에는, +X 방향, +Y 방향 및 -Y 방향의 각 방향으로 돌출되는 3개의 돌기부(114)가 마련되어 있다.
도 12 및 도 13에 나타낸 바와 같이, 고정 부재(22)는, Y축 방향의 중앙 부분에 +Z 방향 및 -Z 방향으로 돌출되는 통부(115)를 구비한다. 통부(115)의 중심 구멍(116)은 고정 부재(22)를 Z축 방향으로 관통한다. 도 11에 나타낸 바와 같이, 통부(115)의 내주측에는, 제1 볼 베어링(27) 및 제2 볼 베어링(28)이 보유 지지된다. 바꾸어 말하면, 통부(115)는 제1 볼 베어링(27)의 외륜 및 제2 볼 베어링(28)의 외륜을 외주측으로부터 보유 지지한다.
또한, 고정 부재(22)는, 도 12에 나타낸 바와 같이, +Z 방향의 단부면에 한 쌍의 롤링 구동용 자석 보유 지지 오목부(117)를 구비한다. 한 쌍의 롤링 구동용 자석 보유 지지 오목부(117)는, 통부(115)를 사이에 두고 양측에 마련되어 있다. 각 롤링 구동용 자석 보유 지지 오목부(117)에는, 각각 롤링 구동용 자석(36)이 삽입되어 고정되어 있다. 각 롤링 구동용 자석(36)은, 고정 부재(22)에 의해, 외주측으로부터 보호되어 있다. 여기서, 롤링 구동용 자석(36)은, 주위 방향으로 분극 착자되어 있다. 각 롤링 구동용 자석(36)의 착자 분극선(36a)은, 롤링 구동용 자석(36)의 주위 방향의 중앙을 직경 방향으로 연장된다. 또한, 고정 부재(22)는, 통부(115)로부터 +X 방향으로 이격되는 위치에, +Z 방향으로 돌출되는 회전 스토퍼용 볼록부(118)를 구비한다.
또한, 고정 부재(22)는, 도 13에 나타낸 바와 같이, -Z 방향의 단부면에 요크 보유 지지용 오목부(121)를 구비한다. 요크 보유 지지용 오목부(121)는 통부(115)를 둘러싸고 마련되어 있다. 요크 보유 지지용 오목부(121)는 Y축 방향으로 연장되어 있다. Z축 방향으로부터 본 경우에, 요크 보유 지지용 오목부(121)와 한 쌍의 롤링 구동용 자석 보유 지지 오목부(117)는 겹쳐 있고, 요크 보유 지지용 오목부(121)와 한 쌍의 롤링 구동용 자석 보유 지지 오목부(117)는 Z축 방향에서 연통되어 있다. 요크 보유 지지용 오목부(121)에는, -Z 방향으로부터 요크(120)가 삽입된다. 요크(120)는 자성 재료로 형성되어 있다. 여기서, 요크 보유 지지용 오목부(121)와 한 쌍의 롤링 구동용 자석 보유 지지 오목부(117)는 연통되어 있기 때문에, 요크(120)는, 롤링 구동용 자석 보유 지지 오목부(117)에 보유 지지된 롤링 구동용 자석(36)에, -Z 방향으로부터 맞닿는다.
또한, 고정 부재(22)는 도 13에 나타낸 바와 같이, 요크 보유 지지용 오목부(121)의 외주측에 -Z 방향으로 돌출되는 4개의 커버 부재 고정용 볼록부(123)를 구비한다. 4개의 커버 부재 고정용 볼록부(123) 중 2개는, 고정 부재(22)의 +Y 방향의 단부 모서리 부분에 있어서, X축 방향에서 요크 보유 지지용 오목부(121)를 사이에 두고 양측에 마련되어 있다. 4개의 커버 부재 고정용 볼록부(123) 중 다른 2개는, 고정 부재(22)의 -Y 방향의 단부 모서리 부분에 있어서, X축 방향에서 요크 보유 지지용 오목부(121)를 사이에 두고 양측에 마련되어 있다. 4개의 커버 부재 고정용 볼록부(123)에는, -Z 방향으로부터 커버 부재(40)가 고정된다. 커버 부재(40)는 요크(120)를 -Z 방향으로부터 덮는다. 커버 부재(40)의 중심에는 원형의 개구부(40a)가 마련되어 있다. 도 10의 (b)에 나타낸 바와 같이, 커버 부재(40)가 고정 부재(22)에 고정되었을 때, 개구부(40a)에는 축부(132)의 선단이 삽입된다.
다음으로, 회전 받침대(24)는, 도 13에 나타낸 바와 같이 Z축 방향이 얇은 편평 형상의 받침대 본체(131)와, 받침대 본체(131)로부터 -Z 방향으로 돌출되는 축부(132)를 구비한다. 도 11에 나타낸 바와 같이, 축부(132)는, 고정 부재(22)의 통부(115)에 보유 지지된 제1 볼 베어링(27) 및 제2 볼 베어링(28)에 삽입된다. 즉, 축부(132)는, 제1 볼 베어링(27)의 내륜 및 제2 볼 베어링(28)의 내륜에 의해 외주측으로부터 보유 지지된다. 축부(132)는 제1 볼 베어링(27) 및 제2 볼 베어링(28)을 관통하고, 그 선단 부분이 제2 볼 베어링(28)으로부터 -Z 방향으로 돌출된다. 축부(132)의 선단 부분에는, 스프링 와셔(134)가 삽입된다. 또한, 축부(132)의 선단 부분에는, 환형 부재(135)가 용접 등에 의해 고정된다. 여기서, 스프링 와셔(134)는, 제2 볼 베어링(28)의 내륜과 환형 부재(135) 사이에서 압축되고, 제1 볼 베어링(27) 및 제2 볼 베어링(28)에 여압을 부여한다.
도 13에 나타낸 바와 같이, 받침대 본체(131)에 있어서의 고정 부재(22)에 대향하는 면에는, 축부(132)를 사이에 두고 양측에 한 쌍의 코일 고정부(138)가 마련되어 있다. 한 쌍의 코일 고정부(138)에는, 중심 구멍을 Z축 방향을 향하게 한 자세에서 롤링 구동용 코일(35)이 보유 지지된다. 한쪽 코일 고정부(138)에 고정된 롤링 구동용 코일(35)의 내측에는 홀 소자(140)가 고정되어 있다. 홀 소자(140)는, 주위 방향에서 롤링 구동용 코일(35)의 중심에 위치한다. 홀 소자(140)는, 롤링 구동용 코일(35)에 전기적으로 접속된 플렉시블 프린트 기판(39)에 전기적으로 접속되어 있다.
도 12에 나타낸 바와 같이, 받침대 본체(131)의 +Z 방향의 측의 단부면에는, 그 외주연으로부터 내측으로 일정 폭만큼 내측으로 오프셋된 외주연 부분에, 당해 단부면을 +X 방향의 측 및 Y축 방향의 양측으로부터 둘러싸는 대략 역ㄷ자 형상의 주위벽(142)이 마련되어 있다. 주위벽(142)에는, +X 방향, +Y 방향 및 -Y 방향의 각 방향으로 돌출되는 3개의 돌기부(143)가 마련되어 있다.
또한, 받침대 본체(131)의 +Z 방향의 측의 단부면에는, 통부(115)를 사이에 두고 Y축 방향의 양측에, 각도 위치 복귀용 자성 부재(37)를 고정하기 위한 자성 부재 고정 영역(144)이 마련되어 있다. 자성 부재 고정 영역(144)은 일정 폭으로 X축 방향과 평행하게 연장되는 홈(145)이다. 각도 위치 복귀용 자성 부재(37)는, 사각 기둥 형상이며, 주위 방향(X축 방향)의 치수가 직경 방향의 치수보다 길다. 또한, 각도 위치 복귀용 자성 부재(37)는 주위 방향(X축 방향)의 치수가, 홈(145)의 주위 방향(X축 방향)의 치수보다 짧다.
각도 위치 복귀용 자성 부재(37)는, 길이 방향을 주위 방향을 향하게 한 자세로 홈(145) 내(자성 부재 고정 영역(144) 내)에 고정되어 있다. 각도 위치 복귀용 자성 부재(37)는, 회전 받침대(24)가 미리 정한 기준 각도 위치에 있는 상태를 Z축 방향으로부터 본 경우에, 각도 위치 복귀용 자성 부재(37)의 중심이 롤링 구동용 자석(36)의 착자 분극선(36a)과 겹치도록, 그 고정 위치가 홈(145) 내에서 조정되고, 그 후, 접착제에 의해 홈(145) 내에 고정된다.
여기서, 받침대 본체(131)는, 주위 방향에서 자성 부재 고정 영역(144)과 상이한 위치에 개구부(146)를 구비한다. 본 예에서는, 개구부(146)는 축부(132)로부터 +X 방향으로 이격된 위치에 마련되어 있다.
(롤링용 자기 구동 기구)
도 10 및 도 11에 나타낸 바와 같이, 회전 받침대(24)가 제1 볼 베어링(27) 및 제2 볼 베어링(28)을 통해 고정 부재(22)에 보유 지지되면, 롤링용 자기 구동 기구(31)가 구성된다. 도 11에 나타낸 바와 같이, 롤링용 자기 구동 기구(31)는, 회전 받침대(24)의 축부(132)를 사이에 두고 양측에 보유 지지된 한 쌍의 롤링용 자기 구동 기구(31)를 구비한다. 각 롤링용 자기 구동 기구(31)는, 회전 받침대(24)에 보유 지지된 롤링 구동용 코일(35)과, 고정 부재(22)에 보유 지지되어 Z축 방향에서 각 롤링 구동용 코일(35)과 대향하는 롤링 구동용 자석(36)을 구비한다. 롤링 구동용 자석(36)은 주위 방향으로 2분할되고, 롤링 구동용 코일(35)과 대향하는 면의 자극이 착자 분극선(36a)을 경계로 하여 상이하도록 착자되어 있다. 롤링 구동용 코일(35)은 공심 코일이며, 직경 방향으로 연장되는 긴 변 부분이 유효 변으로서 이용된다. 홀 소자(140)는, 회전 받침대(24)가 미리 정한 기준 각도 위치에 있을 때, -Z 방향에 위치하는 요동 구동용 자석(14)의 착자 분극선(36a)과 대향한다.
(회전 스토퍼 기구)
또한, 회전 받침대(24)가 제1 볼 베어링(27) 및 제2 볼 베어링(28)을 통해 고정 부재(22)에 보유 지지되면, 도 10의 (a)에 나타낸 바와 같이, 고정 부재(22)의 회전 스토퍼용 볼록부(118)가 회전 받침대(24)의 개구부(146)에 삽입된다. 이에 의해, 고정 부재(22)의 회전 스토퍼용 볼록부(118)와 회전 받침대(24)의 개구부(146)는, 회전 받침대(24)의 Z축 주위의 회전 각도 범위를 규제하는 회전 스토퍼 기구(38)를 구성한다. 즉, 회전 받침대(24)는, 회전 스토퍼용 볼록부(118)가 개구부(146)의 내주벽(맞닿음부)과 간섭하지 않는 범위에서 Z축 주위를 회전하게 된다. 바꾸어 말하면, 회전 스토퍼 기구(38)는, 개구부(146)의 내주벽이 주위 방향으로부터 회전 스토퍼용 볼록부(118)에 맞닿음으로써, 회전 받침대(24)의 회전 각도 범위를 규제한다.
(각도 위치 복귀 기구)
도 14는 각도 위치 복귀 기구(32)의 설명도이다. 도 14에 나타낸 바와 같이, 각도 위치 복귀 기구(32)는, 각도 위치 복귀용 자성 부재(37)와, 롤링 구동용 자석(36)을 구비한다. 도 11에 나타낸 바와 같이, 각도 위치 복귀용 자성 부재(37)는 Z축 방향에서, 롤링 구동용 코일(35)을 사이에 두고 롤링 구동용 자석(36)과는 반대측에 배치되어 있다. 또한, 도 14에 나타낸 바와 같이, 회전 받침대(24)가 베어링 기구(25)를 통해 고정 부재(22)에 회전 가능하게 지지된 상태이며, 회전 받침대(24)가 기준 각도 위치에 있는 상태를 Z축 방향으로부터 본 경우에는, 각도 위치 복귀용 자성 부재(37)의 중심(37a)은, -Z 방향에 위치하는 롤링 구동용 자석(36)의 착자 분극선(36a)과 겹치는 위치에 있다. 바꾸어 말하면, 회전 받침대(24)가 기준 각도 위치에 있는 상태에서는, 착자 분극선(36a)을 포함하여 축선(L)과 평행한 가상면(32a)이 각도 위치 복귀용 자성 부재(37)의 중심(37a)을 통과한다.
여기서, 회전 받침대(24)가 기준 회전 위치로부터 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전하면, 각도 위치 복귀용 자성 부재(37)의 중심(37a)이 롤링 구동용 자석(36)의 착자 분극선(36a)으로부터 주위 방향으로 어긋난다. 이에 의해, 각도 위치 복귀용 자성 부재(37)와 롤링 구동용 자석(36) 사이에는, 각도 위치 복귀용 자성 부재(37)의 중심(37a)을 롤링 구동용 자석(36)의 착자 분극선(36a)이 위치하는 측을 향하게 하는 방향의 자기 흡인력이 작용한다. 즉, 회전 받침대(24)가 기준 각도 위치로부터 회전하면, 각도 위치 복귀용 자성 부재(37)와 롤링 구동용 자석(36) 사이에, 회전 받침대(24)를 기준 각도 위치로 복귀시키는 방향의 자기 흡인력이 작용한다. 따라서, 각도 위치 복귀용 자성 부재(37)와 롤링 구동용 자석(36)은, 회전 받침대(24)를 기준 각도 위치로 복귀시키는 각도 위치 복귀 기구(32)로서 기능한다.
(제1 유닛의 제2 유닛에의 설치)
제1 유닛(3)이 제2 유닛(4)에 설치될 때에는, 홀더(7)의 홀더 몸통부(63)의 하단부 부분에 제2 유닛(4)의 주위벽(142)이 삽입되고, 홀더 몸통부(63)에 마련된 위치 결정용 절결부(67)에, 제2 유닛(4)의 주위벽(142)으로부터 돌출되는 돌기부(143)가 삽입된다. 따라서, 홀더(7)는, 직경 방향 및 주위 방향으로 위치 결정된 상태에서 회전 받침대(24)에 고정된다. 또한, 제1 유닛(3)이 제2 유닛(4)에 설치될 때에는, 통형 케이스(45)의 하단부 부분에 고정 부재(22)의 외주연 단차부(113)의 +Z 방향의 측의 부분이 삽입되고, 통형 케이스(45)에 마련된 위치 결정용 절결부(56)에, 단차부(113)에 마련된 돌기부(114)가 삽입된다. 따라서, 케이스체(8)는 직경 방향 및 주위 방향으로 위치 결정된 상태에서 고정 부재(22)에 고정되어, 고정체(44)를 구성한다. 이에 의해, 광학 유닛(1)이 완성된다.
(광학 유닛의 흔들림 보정)
광학 유닛(1)은, 상기한 바와 같이, 제1 유닛(3)이, X축 주위의 흔들림 보정 및 Y축 주위의 흔들림 보정을 행하는 요동용 자기 구동 기구(11)를 구비한다. 따라서, 피칭(상하 흔들림) 방향 및 요잉(좌우 흔들림) 방향의 흔들림 보정을 행할 수 있다. 또한, 광학 유닛(1)은, 제2 유닛(4)이, 제1 유닛(3)의 홀더(7)를 회전시키는 롤링용 자기 구동 기구(31)를 구비하기 때문에, 롤링 방향의 흔들림 보정을 행할 수 있다. 여기서, 광학 유닛(1)은, 가동 유닛(5)에 자이로스코프를 구비하기 때문에, 자이로스코프에 의해 직교하는 3축 주위의 요동을 검출하여, 검출한 요동을 없애도록 요동용 자기 구동 기구(11) 및 롤링용 자기 구동 기구(31)를 구동한다.
또한, 광학 유닛(1)의 흔들림 보정은, 홀 소자(90)로부터의 출력 및 홀 소자(140)로부터의 출력에 기초하여 행할 수도 있다.
즉, 홀 소자(90)는, 가동 유닛(5)이 기준 자세일 때, 요동 구동용 자석(14)의 착자 분극선(14a)과 대향하기 때문에, 홀 소자(90)로부터의 출력에 기초하여, 가동 유닛(5)이 기준 자세인 것, 및 가동 유닛(5)이 축선(Z)에 대해 경사져 있는 각도를 검출할 수 있다. 따라서, 홀 소자(90)로부터의 출력에 기초하여, 가동 유닛(5)의 경사를 없애고 기준 자세로 하도록 요동용 자기 구동 기구(11)를 구동하면, 광학 유닛(1)의 X축 주위, Y축 주위의 흔들림 보정을 행할 수 있다. 또한, 홀 소자(140)는 회전 받침대(24)(가동체(43))가 기준 각도 위치에 있을 때, Z축 방향에서 롤링 구동용 자석(36)의 착자 분극선(36a)과 대향하기 때문에, 홀 소자(140)로부터의 출력에 기초하여, 회전 받침대(24)(가동체(43))의 기준 각도 위치에 있는 것, 및 회전 받침대(24)(가동체(43))의 기준 각도 위치로부터의 회전 각도를 검출할 수 있다. 따라서, 홀 소자(140)로부터의 출력에 기초하여, 회전 받침대(24)(가동체(43))의 회전을 없애고 기준 각도 위치로 하도록 롤링용 자기 구동 기구(31)를 구동하면, 광학 유닛(1)의 Z축 주위의 흔들림 보정을 행할 수 있다.
또한, 광학 유닛(1)의 흔들림 보정은, 자이로스코프에 의해 검출하는 3축 주위의 흔들림과, 홀 소자(90)로부터의 출력과, 홀 소자(140)로부터의 출력에 기초하여 행해도 된다. 이 경우에는, 자이로스코프에 의해 3축 주위의 흔들림을 검출하여, 검출한 요동을 없애도록 요동용 자기 구동 기구(11) 및 롤링용 자기 구동 기구(31)를 구동함과 함께, 가동 유닛(5)을 기준 자세로 복귀시킬 때에 홀 소자(90)로부터의 출력에 기초하여 요동용 자기 구동 기구(11)를 구동하여, 가동 유닛(5)이 정확하게 기준 자세가 되도록 한다. 또한, 회전 받침대(24)(가동체(43))를 기준 각도 위치로 복귀시킬 때, 홀 소자(140)로부터의 출력에 기초하여 롤링용 자기 구동 기구(31)를 구동하여, 회전 받침대(24)(가동체(43))가 정확하게 기준 각도 위치에 배치되도록 한다.
(가동 유닛의 자세 조정 방법)
도 15는 가동 유닛(5)의 자세 조정 방법의 흐름도이다. 도 16은 가동 유닛(5)의 자세 조정 방법의 설명도이다. 광학 모듈(2)의 광축을 미리 정한 축선(L)과 일치시키는 가동 유닛(5)의 자세 조정(요동체 자세 조정)은, 광학 유닛(1)의 조립 최종 단계에서 행해진다. 더 구체적으로는, 제1 유닛(3)이 제2 유닛(4)에 설치되어 있지만, 통형 케이스(45)에 피사체측 케이스(46)가 설치되어 있지 않고, 가동 유닛(5)에 웨이트(41)가 설치되지 않은 상태에서 행해진다. 또한, 가동 유닛(5)에 웨이트(41)가 설치되어 있어도 된다.
이 상태에서는, 제1 유닛(3)에 있어서, 가동 유닛(5)(요동체)(5)은 요동 지지 기구(6)를 통해 홀더(7)(지지체)에 지지되어 있다. 홀더(7)는, 회전 받침대(24)에 설치되어 있다. 통형 케이스(45)는, 고정 부재(22)에 설치되어 있다. 또한, 이 상태에서는, 가동 유닛(5)의 광학 모듈 홀더(71)에는, 자세 복귀용 자성 부재(15)가 설치되어 있다. 통형 케이스(45)의 통부(47)의 보유 지지 영역(50)에는, 요동 구동용 자석(14)이 자기 흡착에 의해 보유 지지되어 있다. 또한, 보유 지지 영역(50)에는 접착제가 미경화 상태로 도포되어 있다. 요동 구동용 자석(14)은, 초기 상태에서는, Z축 방향에서 보유 지지 영역(50)의 중앙 부분에 보유 지지되어 있다. 이에 의해, 요동 구동용 자석(14)은 보유 지지 영역(50) 내에서 +Z 방향 및 -Z 방향의 양쪽으로 이동 가능하다.
가동 유닛(5)의 자세 조정 시에는, 피사체측 케이스(46) 및 웨이트(41)를 구비하고 있지 않은 광학 유닛(1)을 수평 적재면을 구비하는 받침대(200)에 고정한다. 즉, 고정체(44)(통형 케이스(45))의 보유 지지 영역(50)에 요동 구동용 자석(14)을 이동 가능하게 보유 지지하고, 가동 유닛(5)에 있어서의 요동 구동용 자석(14)과 대향 가능한 위치에 자세 복귀용 자성 부재(15)를 보유 지지한 상태에서, 광학 유닛(1)을 받침대(200)에 고정한다(도 15의 스텝 ST1).
다음으로, 통형 케이스(45)의 프레임부(48)의 +Z 방향의 단부면(45a)(도 16)과, 가동 유닛(5)의 광학 모듈 홀더(71)의 광학 모듈 보유 지지부(85)의 +Z 방향의 단부면(85a)(도 16)의 평행도를 광학적인 수단에 의해 취득한다. 그리고 취득한 평행도(통형 케이스(45)의 프레임부(48)의 +Z 방향의 단부면(45a)과 광학 모듈 보유 지지부(85)의 +Z 방향의 단부면(85a)이 평행으로부터 어긋나 있는 어긋남양)를 광학 유닛(1)의 축선(L)(고정체(44)의 축선(L))과, 광학 모듈(2)의 광축의 어긋남양으로 한다(도 15의 스텝 ST2).
그 후, 취득한 어긋남양에 기초하는 이동량만큼, 요동 구동용 자석(14)을 보유 지지 영역(50) 내에서 Z축 방향(축선(L) 방향)으로 이동시킨다. 이에 의해, 가동 유닛(5)의 자세를 변위시켜, 축선(L)과 광학 모듈(2)의 광축을 일치시킨다(도 15의 스텝 ST3).
스텝 ST3에 있어서, 어긋남양에 기초하는 이동량만큼 요동 구동용 자석(14)을 +Z 방향으로 이동시키는 경우에는, 도 16에 나타낸 바와 같이, 통형 케이스(45)의 외주측으로부터, 직경 방향 개구부(47a)를 통해, 통형 케이스(45)의 내측에 지그(201)를 삽입한다. 그리고 요동 구동용 자석(14)의 -Z 방향의 단부면에 지그(201)를 맞닿게 한다. 그 후, 지그(201)를 +Z 방향으로 이동시킴으로써, 지그(201)에 맞닿아 있는 요동 구동용 자석(14)을 +Z 방향으로 이동시킨다.
여기서, 가동 유닛(5)에 고정된 자세 복귀용 자성 부재(15)와 요동 구동용 자석(14) 사이에는, 자세 복귀용 자성 부재(15)의 중심을 요동 구동용 자석(14)의 착자 분극선(14a)에 일치시키는 방향의 자기 흡인력이 발생한다. 따라서, 요동 구동용 자석(14)을 +Z 방향으로 이동시키면, 자세 복귀용 자성 부재(15)와 요동 구동용 자석(14) 사이에 작용하는 자기 흡인력에 의해, 가동 유닛(5)의 자세가 요동 구동용 자석(14)의 이동에 추종하여 변위된다. 즉, 가동 유닛(5)은 +Z 방향으로 이동하는 요동 구동용 자석(14)에 가까운 측이 +Z 방향의 측으로 변위된다.
또한, 스텝 ST3에 있어서, 어긋남양에 기초하는 이동량만큼 요동 구동용 자석(14)을 -Z 방향으로 이동시키는 경우에는, 도 16에 나타낸 바와 같이, 통형 케이스(45)의 +Z 방향으로부터, 축 방향 개구부(48b)를 통해, 통형 케이스(45)의 내측에 지그(202)를 삽입한다. 그리고 요동 구동용 자석(14)의 +Z 방향의 단부면에 당해 지그(202)를 맞닿게 한다. 그 후, 지그(202)를 -Z 방향으로 이동시킴으로써, 지그(202)에 맞닿아 있는 요동 구동용 자석(14)을 -Z 방향으로 이동시킨다.
여기서, 요동 구동용 자석(14)을 -Z 방향으로 이동시키면, 자세 복귀용 자성 부재(15)와 요동 구동용 자석(14) 사이에 작용하는 자기 흡인력에 의해, 자세 복귀용 자성 부재(15)가 고정된 가동 유닛(5)의 자세가 요동 구동용 자석(14)의 이동에 추종하여 변위된다. 즉, 가동 유닛(5)은, -Z 방향으로 이동하는 요동 구동용 자석(14)에 가까운 측이 -Z 방향의 측으로 변위된다.
요동 구동용 자석(14)의 위치 조정은, 2개의 요동용 자기 구동 기구(11A) 및 2개의 요동용 자기 구동 기구(11B)의 4개의 요동 구동용 자석(14) 중 어느 하나를 이동시킴으로써 행해진다. 또한, 필요에 따라서, 요동용 자기 구동 기구(11A) 및 요동용 자기 구동 기구(11B)의 4개의 요동 구동용 자석(14)의 복수를 이동시킴으로써 행해진다.
여기서, 2개의 요동용 자기 구동 기구(11A)에 있어서, -X 방향의 측에 위치하는 요동용 자기 구동 기구(11A)의 요동 구동용 자석(14)을 +Z 방향 또는 -Z 방향으로 이동시켰을 때, +X 방향의 측에 위치하는 요동용 자기 구동 기구(11A)의 요동 구동용 자석(14)을 -X 방향의 측에 위치하는 요동용 자기 구동 기구(11A)의 요동 구동용 자석(14)과 Z축 방향에서 반대 방향으로 이동시키면, +X 방향의 측에 위치하는 요동용 자기 구동 기구(11A)의 요동 구동용 자석(14)과 자세 복귀용 자성 부재(15) 사이의 자기 흡인력과, -X 방향의 측에 위치하는 요동용 자기 구동 기구(11A)의 요동 구동용 자석(14)과 자세 복귀용 자성 부재(15) 사이의 자기 흡인력에 의해, 가동 유닛(5)의 기준 자세가 안정된다.
또한, 2개의 요동용 자기 구동 기구(11B)에 있어서도, -Y 방향의 측에 위치하는 요동용 자기 구동 기구(11B)의 요동 구동용 자석(14)을 +Z 방향 또는 -Z 방향으로 이동시켰을 때, +Y 방향의 측에 위치하는 요동용 자기 구동 기구(11B)의 요동 구동용 자석(14)을 -Y 방향의 측에 위치하는 요동용 자기 구동 기구(11B)의 요동 구동용 자석(14)과 Z축 방향에서 반대 방향으로 이동시키면, +Y 방향의 측에 위치하는 요동용 자기 구동 기구(11B)의 요동 구동용 자석(14)과 자세 복귀용 자성 부재(15) 사이의 자기 흡인력과, -Y 방향의 측에 위치하는 요동용 자기 구동 기구(11B)의 요동 구동용 자석(14)과 자세 복귀용 자성 부재(15) 사이의 자기 흡인력에 의해, 가동 유닛(5)의 기준 자세가 안정된다.
가동 유닛(5)의 기준 자세가 규정되면, 광학 유닛(1)을 미리 정한 온도 상태의 온도조 내에 배치한다. 이에 의해, 광학 유닛(1)을 가온하여, 보유 지지 영역(50)에 도포된 접착제를 경화시킨다. 이 결과, 요동 구동용 자석(14)은 이동 후의 이동 위치에서 통형 케이스(45)에 고정된다(도 15의 스텝 ST4). 요동 구동용 자석(14)이 접착제에 의해 통형 케이스(45)에 고정되면, 그 후, 광학 유닛(1)에 외력이 가해진 경우라도, 요동 구동용 자석(14)이 변화되는 일이 없다. 따라서, 광학 유닛(1)에 외력이 가해진 경우라도, 가동 유닛(5)의 기준 자세가 변화되는 것을 방지할 수 있다. 그 후, 통형 케이스(45)에 피사체측 케이스(46)를 고정한다. 또한, 가동 유닛(5)에 웨이트(41)를 설치하여, 가동 유닛(5)의 무게 중심과, 요동 지지 기구(6)에 의한 가동 유닛(5)의 요동 중심(제1축(R1) 및 제2축(R2))을 일치시킨다.
또한, 요동 구동용 자석(14)을 Z축 방향으로 이동시키는 동작과 병행하여, 통형 케이스(45)의 프레임부(48)의 +Z 방향의 단부면(45a)과, 가동 유닛(5)의 광학 모듈 보유 지지부(85)의 +Z 방향의 단부면(85a)의 평행도를 감시하고, 단부면(45a)과 단부면(85a)이 평행이 된 시점에서 요동 구동용 자석(14)의 이동을 정지하여, 그 이동 위치에서, 요동 구동용 자석(14)을 통형 케이스(45)에 고정해도 된다.
또한, 상기한 예에서는, 가동 유닛(5)에 웨이트(41)가 설치되지 않은 상태에서 스텝 ST1 내지 스텝 ST4의 자세 조정 동작을 행하고 있지만, 가동 유닛(5)에 웨이트(41)가 설치된 후에 자세 조정 동작을 행해도 된다. 바꾸어 말하면, 상기한 예에서는, 가동 유닛(5)의 기준 자세를 규정한 후에, 가동 유닛(5)에 웨이트(41)를 설치하여 가동 유닛(5)의 무게 중심과 요동 지지 기구(6)에 의한 가동 유닛(5)의 요동 중심을 일치시키고 있지만, 가동 유닛(5)에 웨이트(41)를 설치하여 가동 유닛(5)의 무게 중심과 요동 지지 기구(6)에 의한 가동 유닛(5)의 요동 중심을 일치시킨 후에, 요동 구동용 자석(14)을 Z축 방향으로 이동시켜 가동 유닛(5)의 기준 자세를 규정해도 된다.
(작용 효과)
본 예에서는, 자세 복귀 기구(12)를 구성하는 요동 구동용 자석(14)을 Z축 방향(축선(L) 방향)으로 이동시킴으로써, 가동 유닛(5)의 기준 자세를 규정할 수 있다. 또한, 가동 유닛(5)의 기준 자세를 규정한 후에, 요동 구동용 자석(14)을 접착제로 통형 케이스(45)에 고정하기 때문에, 광학 유닛(1)에 외력이 가해진 경우라도, 요동 구동용 자석(14)이 변화되는 일이 없어, 가동 유닛(5)의 기준 자세가 변화되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 예에서는, 가동 유닛(5)의 기준 자세를 조정할 때에 요동 구동용 자석(14)을 이동시키기 때문에, 가동 유닛(5)의 기준 자세를 조정하기 쉽다. 즉, 가동 유닛(5)의 자세는 가동 유닛(5)에 보유 지지된 자세 복귀용 자성 부재(15)를 이동시킴으로써도 조정 가능하지만, 요동 가능한 부재(가동 유닛(5))에 보유 지지된 자세 복귀용 자성 부재(15)를 이동시키는 것보다, 고정된 부재(통형 케이스(45))에 보유 지지된 요동 구동용 자석(14) 쪽이 이동시키기 쉽다. 또한, 요동 구동용 자석(14)은, 자세 복귀용 자성 부재(15)와 비교하여 크기 때문에, 지그(201, 202)를 맞닿게 하기 쉽다.
또한, 통형 케이스(45)가 자성 재료를 포함하고, 요동 구동용 자석(14)은 통형 케이스(45)에 자기 흡착된 상태로 보유 지지되어 있기 때문에, 요동 구동용 자석(14)을 통형 케이스(45)의 보유 지지 영역(50) 내에서 이동시키는 것이 용이하다. 또한, 통형 케이스(45)가 자성 재료로부터 이루어지기 때문에, 통형 케이스(45)가 백 요크로서 기능한다. 이에 의해, 요동용 자기 구동 기구(11)가 발생하는 토크를 향상시킬 수 있다.
또한, 본 예에서는, 통형 케이스(45)가, 지그(201)를 삽입하기 위한 직경 방향 개구부(47a)를 구비하기 때문에, 통형 케이스(45)의 외주측으로부터, 통형 케이스(45)의 내벽면에 보유 지지된 요동 구동용 자석(14)을 Z축 방향으로 이동시키는 것이 용이하다. 또한, 통형 케이스(45)가 지그(202)를 삽입하기 위한 축 방향 개구부(48b)를 구비하기 때문에, 통형 케이스(45)의 +Z 방향의 외측으로부터 통형 케이스(45)의 내벽면에 보유 지지된 요동 구동용 자석(14)을 Z축 방향으로 이동시키는 것이 용이하다.
(변형예)
상기한 예에서는, 요동 구동용 자석(14)을 Z축 방향으로 이동시켜 가동 유닛(5)의 자세를 조정하고 있지만, 자세 복귀용 자성 부재(15)를 자성 부재 고정 영역(92)(홈(93)) 내에서 Z축 방향으로 이동시킴으로써, 가동 유닛(5)의 자세를 조정할 수도 있다.
또한, 상기한 예에 있어서, 통형 케이스(45)의 통부(47)의 내벽면에, Z축 주위의 주위 방향에서 보유 지지 영역(50)에 인접하는 위치에서 Z축 방향으로 연장되는 가이드부를 마련하고, 가이드부가 보유 지지 영역(50)에 보유 지지되는 요동 구동용 자석(14)에 주위 방향으로부터 맞닿는 것으로 해도 된다. 이와 같이 하면, 지그(201, 202)를 요동 구동용 자석(14)에 맞닿게 하여 Z축 방향으로 이동시킬 때, 요동 구동용 자석(14)을 가이드부를 따라 이동시킬 수 있기 때문에, 요동 구동용 자석(14)의 자세를 유지한 상태로, 요동 구동용 자석(14)을 Z축 방향으로 이동시킬 수 있다. 또한, 요동 구동용 자석(14)의 주위 방향의 폭 치수를, 통부(47)의 각 측판(51 내지 54)의 주위 방향의 치수와 동일하게 함으로써, 각 측판(51 내지 54)에 주위 방향에서 인접하는 측판(55)의 모서리를, 요동 구동용 자석(14)을 Z축 방향으로 안내하는 가이드부로서 기능시킬 수도 있다.
또한, 상기한 예에서는, 하나의 요동 구동용 자석(14)을 이동시키기 위한 지그(201, 202)가 삽입되는 직경 방향 개구부(47a) 및 축 방향 개구부(48b)의 수는 각각 1개이지만, 주위 방향으로 이격되는 2개 이상의 개구부를 마련할 수도 있다. 이와 같이 하면, 2개 이상의 직경 방향 개구부(47a) 및 2개 이상의 축 방향 개구부(48b)로부터 삽입한 지그(201, 202)를, 요동 구동용 자석(14)의 Z축 방향의 단부면의 2개소에 맞닿게 할 수 있기 때문에, 지그(201, 202)를 Z축 방향으로 이동시켰을 때, 요동 구동용 자석(14)의 자세를 일정하게 한 채, 요동 구동용 자석(14)을 Z축 방향으로 이동시킬 수 있다.
또한, 요동 구동용 자석(14)에 지그(201, 202)가 맞닿는 피맞닿음부를 마련해도 된다. 도 17은 피맞닿음부를 마련한 변형예의 요동 구동용 자석의 설명도이다. 본 예의 요동 구동용 자석(14A)은, Z축 방향의 양단부면에, 각각 Z축 방향으로 오목하게 들어간 오목부(150)를 구비한다. 이에 의해, 오목부(150)의 내벽면을, 지그(201, 202)가 맞닿는 피맞닿음부로 하고 있다. 이와 같이 하면, 지그(201, 202)와 요동 구동용 자석(14)을 정확하게 맞닿게 할 수 있기 때문에, 지그(201, 202)의 이동에 의해, 요동 구동용 자석(14)을 정확하게 이동시킬 수 있다.
(그 밖의 실시 형태)
가동 유닛(5)의 측에 요동 구동용 자석(14)을 보유 지지하고, 고정체(44)(통형 케이스(45))의 측에 요동 구동용 코일을 보유 지지하여, 요동용 자기 구동 기구(11)를 구성해도 된다. 이 경우에는, 고정체(44)(통형 케이스(45))의 측에 자세 복귀용 자성 부재(15)를 보유 지지하여, 가동 유닛(5)의 측의 요동 구동용 자석(14)과 함께 자세 복귀 기구(12)를 구성한다. 또한, 이 경우에도, 요동 구동용 자석(14) 및 자세 복귀용 자성 부재(15) 중 적어도 한쪽을 Z축 방향으로 이동시킴으로써, 가동 유닛(5)의 자세 조정을 행할 수 있다.
또한, 본 예의 제1 유닛(3)은, 제2 유닛(4)과 조합하지 않고, 가동 유닛(5)을 제1축(R1) 주위 및 제2축(R2) 주위로 요동시켜 흔들림 보정을 행하는 흔들림 보정 기능을 구비한 광학 유닛(1)으로서 사용할 수 있다. 이 경우에는, 통형 케이스(45) 또는 피사체측 케이스(46)(고정체)가 홀더(7)(지지체)를 겸해도 된다. 즉, 홀더(7)를 생략함과 함께, 통형 케이스(45) 또는 피사체측 케이스(46)(고정체(44))에 있어서의 제2축(R2)(제2 축선(L)) 상의 대각 위치에 제2 요동 지지부(102)를 마련한다. 그리고 가동 유닛(5)에 마련한 제1 요동 지지부(101)와 통형 케이스(45) 또는 피사체측 케이스(46)에 마련한 제2 요동 지지부(102) 사이에 가동 프레임(103)을 배치하여, 요동 지지 기구(6)를 구성한다.
1 : 광학 유닛(흔들림 보정 기능을 구비한 광학 유닛)
2 : 광학 모듈
3 : 제1 유닛
4 : 제2 유닛
5 : 가동 유닛(요동체)
6 : 요동 지지 기구
7 : 홀더(지지체)
8 : 케이스체
9 : 광학 소자
10 : 촬상 소자
11·11A·11B : 요동용 자기 구동 기구(제1 내지 제4 요동용 자기 구동 기구)
12 : 자세 복귀 기구
12a : 가상면
13 : 요동 구동용 코일
14·14A : 요동 구동용 자석
14a : 착자 분극선
15 : 자세 복귀용 자성 부재(자성 부재)
17 : 요동 스토퍼 기구
18·19 : 플렉시블 프린트 기판
21 : 회전 지지 기구
22 : 고정 부재
24 : 회전 받침대
25 : 베어링 기구
27 : 제1 볼 베어링
28 : 제2 볼 베어링
31 : 롤링용 자기 구동 기구
32 : 각도 위치 복귀 기구
32a : 가상면
35 : 롤링 구동용 코일
36 : 롤링 구동용 자석
36a : 착자 분극선
37 : 각도 위치 복귀용 자성 부재
37a : 각도 위치 복귀용 자성 부재의 중심
38 : 회전 스토퍼 기구
39 : 플렉시블 프린트 기판
40 : 커버 부재
40a : 개구부
41 : 웨이트
43 : 가동체
44 : 고정체
45 : 통형 케이스
45a : 통형 케이스의 +Z 방향의 단부면
46 : 피사체측 케이스
47 : 통부
47a : 직경 방향 개구부
48 : 프레임부
48a : 개구부
48b : 축 방향 개구부
50 : 보유 지지 영역
51 내지 55 : 측판
56 : 위치 결정용 절결부
57 : 절결부
58 : 몸통부
59 : 단부판부
60 : 원형 개구부
62 : 홀더 환형부
63 : 홀더 몸통부
64 : 창부
65 : 종 프레임부
67 : 위치 결정용 절결부
68 : 절결부
71 : 광학 모듈 홀더
72 : 경통부
73 : 기판
74 : 각통부
80 : 저판부
81 내지 84 : 벽부
85 : 광학 모듈 보유 지지부
85a : 광학 모듈 보유 지지부의 +Z 방향의 단부면
87 : 요동 스토퍼용 볼록부
88 : 코일 고정부
89 : 홀 소자 고정부
90 : 홀 소자
92 : 자성 부재 고정 영역
93 : 홈
101 : 제1 요동 지지부
102 : 제2 요동 지지부
103 : 가동 프레임
104 : 구체
112 : 절결부
113 : 단차부
114 : 돌기부
115 : 통부
116 : 중심 구멍
117 : 롤링 구동용 자석 보유 지지 오목부
118 : 회전 스토퍼용 볼록부
120 : 요크
121 : 요크 보유 지지용 오목부
123 : 커버 부재 고정용 볼록부
131 : 받침대 본체
132 : 축부
134 : 스프링 와셔
135 : 환형 부재
138 : 코일 고정부
140 : 홀 소자
142 : 주위벽
143 : 돌기부
144 : 자성 부재 고정 영역
145 : 홈
146 : 개구부
150 : 오목부
200 : 받침대
201·202 : 지그
L : 축선
R1 : 제1축
R2 : 제2축

Claims (12)

  1. 광학 소자를 구비하는 요동체와, 상기 요동체를, 미리 설정한 축선과 상기 광학 소자의 광축이 일치하는 기준 자세 및 상기 축선에 대해 상기 광축이 소정의 각도로 경사지는 경사 자세 사이에서 요동 가능하게 지지하는 요동 지지 기구와, 상기 요동 지지 기구에 의해 상기 요동체를 지지하는 지지체와, 상기 요동체를 요동시키는 요동용 자기 구동 기구와, 상기 요동체를 외주측으로부터 둘러싸는 고정체를 갖고, 상기 요동용 자기 구동 기구는, 상기 요동체 및 상기 고정체 중 한쪽에 고정된 코일과, 다른 쪽에 보유 지지된 자석을 구비하고, 상기 자석은, 상기 축선 방향에서 2개로 분극 착자되어 있는 흔들림 보정 기능을 구비한 광학 유닛의 요동체 자세 조정 방법에 있어서,
    상기 요동체 및 상기 고정체 중 상기 코일이 고정되어 있는 측이며, 상기 축선과 직교하는 직경 방향으로부터 본 경우에 상기 자석과 겹치는 위치에, 자성 부재를 보유 지지시키고,
    상기 자성 부재 또는 상기 자석을 상기 축선 방향으로 이동시켜, 상기 광축과 상기 축선을 일치시키고,
    상기 축선 방향으로 이동시킨 상기 자성 부재 또는 상기 자석을 이동 후의 이동 위치에서 고정하는 것을 특징으로 하는 흔들림 보정 기능을 구비한 광학 유닛의 요동체 자세 조정 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 자석을, 상기 고정체에 보유 지지하고,
    상기 자석을 상기 축선 방향에서 이동시켜 상기 요동체의 광축과 상기 축선을 일치시키는 것을 특징으로 하는 흔들림 보정 기능을 구비한 광학 유닛의 요동체 자세 조정 방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 고정체에, 자성 재료를 포함하고 상기 요동체를 직경 방향의 외측으로부터 둘러싸는 통 부재를 구비함과 함께, 상기 통 부재에 있어서 상기 요동체에 대향하는 내벽면에, 상기 자석이 축선 방향으로 이동 가능한 상태에서 당해 자석을 보유 지지하는 보유 지지 영역을 마련해 두고,
    상기 자석을, 상기 보유 지지 영역 내에 보유 지지함과 함께, 상기 축선 방향으로 이동시켜 상기 요동체의 광축과 상기 축선을 일치시키는 것을 특징으로 하는 흔들림 보정 기능을 구비한 광학 유닛의 요동체 자세 조정 방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 통 부재에, 상기 직경 방향으로 관통하는 직경 방향 개구부를 마련해 두고,
    상기 직경 방향 개구부로부터 통 부재의 내측에 지그를 삽입하여 상기 자석에 맞닿게 하여 당해 지그를 이동시킴으로써, 상기 자석을 상기 축선 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 흔들림 보정 기능을 구비한 광학 유닛의 요동체 자세 조정 방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 통 부재는, 상기 보유 지지 영역 및 상기 개구부가 마련된 통부와, 상기 통부의 상기 축선 방향의 한쪽 끝으로부터 내주측으로 돌출되는 프레임부를 구비하고,
    상기 프레임부에 있어서, 상기 보유 지지 영역에 보유 지지된 상기 자석과 상기 축선 방향에서 대향하는 위치에 축 방향 개구부를 마련해 두고,
    상기 축 방향 개구부로부터 상기 통부에 지그를 삽입하여 상기 자석에 맞닿게 하여 당해 지그를 이동시킴으로써, 상기 자석을 상기 축선 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 흔들림 보정 기능을 구비한 광학 유닛의 요동체 자세 조정 방법.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 요동용 자기 구동 기구로서, 상기 축선을 사이에 두고 양측에 배치된 제1 요동용 자기 구동 기구 및 제2 요동용 자기 구동 기구를 구비해 두고,
    상기 자성 부재로서, 상기 요동체 및 상기 고정체 중 상기 제1 요동용 자기 구동 기구의 상기 코일이 고정되어 있는 측이며 상기 직경 방향으로부터 본 경우에 당해 제1 요동용 자기 구동 기구의 상기 자석과 겹치는 위치에, 제1 자성 부재를 보유 지지시키고, 상기 요동체 및 상기 고정체 중 상기 제2 요동용 자기 구동 기구의 상기 코일이 고정되어 있는 측이며 상기 직경 방향으로부터 본 경우에 당해 제2 요동용 자기 구동 기구의 상기 자석과 겹치는 위치에, 제2 자성 부재를 보유 지지시키고,
    상기 제1 요동용 자기 구동 기구의 상기 자석 또는 상기 제1 자성 부재를 상기 축선 방향으로 이동시킴과 함께, 상기 제2 요동용 자기 구동 기구의 상기 자석 또는 상기 제2 자성 부재를 상기 축선 방향으로 이동시켜 상기 요동체의 광축과 상기 축선을 일치시키는 것을 특징으로 하는 흔들림 보정 기능을 구비한 광학 유닛의 요동체 자세 조정 방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 요동용 자기 구동 기구로서, 상기 축선 둘레에서 상기 제1 요동용 자기 구동 기구와 상기 제2 요동용 자기 구동 기구 사이의 각도 위치에 배치된 제3 요동용 자기 구동 기구와, 상기 축선을 사이에 두고 상기 제3 요동용 자기 구동 기구의 반대측에 배치된 제4 요동용 자기 구동 기구를 구비해 두고,
    상기 자성 부재로서, 상기 요동체 및 상기 고정체 중 상기 제3 요동용 자기 구동 기구의 상기 코일이 고정되어 있는 측이며 상기 직경 방향으로부터 본 경우에 당해 제3 요동용 자기 구동 기구의 상기 자석과 겹치는 위치에, 제3 자성 부재를 보유 지지시키고, 상기 요동체 및 상기 고정체 중 상기 제4 요동용 자기 구동 기구의 상기 코일이 고정되어 있는 측이며 상기 직경 방향으로부터 본 경우에 당해 제4 요동용 자기 구동 기구의 상기 자석과 겹치는 위치에, 제4 자성 부재를 보유 지지시키고,
    상기 제3 요동용 자기 구동 기구의 상기 자석 또는 상기 제3 자성 부재를 상기 축선 방향으로 이동시킴과 함께, 상기 제4 요동용 자기 구동 기구의 상기 자석 또는 상기 제4 자성 부재를 상기 축선 방향으로 이동시켜 상기 요동체의 광축과 상기 축선을 일치시키는 것을 특징으로 하는 흔들림 보정 기능을 구비한 광학 유닛의 요동체 자세 조정 방법.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 고정체는, 상기 지지체를 겸하고 있는 것을 특징으로 하는 흔들림 보정 기능을 구비한 광학 유닛의 요동체 자세 조정 방법.
  9. 광학 소자를 구비하는 요동체와, 상기 요동체를, 미리 설정한 축선과 상기 광학 소자의 광축이 일치하는 기준 자세 및 상기 축선에 대해 상기 광축이 소정의 각도로 경사지는 경사 자세 사이에서 요동 가능하게 지지하는 요동 지지 기구와,
    상기 요동 지지 기구에 의해 상기 요동체를 지지하는 지지체와,
    상기 요동체를 요동시키는 요동용 자기 구동 기구와,
    상기 요동체를 외주측으로부터 둘러싸는 고정체를 갖고,
    상기 요동용 자기 구동 기구는, 상기 요동체 및 상기 고정체 중 한쪽에 고정된 코일과, 다른 쪽에 보유 지지된 자석을 구비하고,
    상기 자석은, 상기 축선 방향에서 2개로 분극 착자되어 있고,
    상기 고정체는, 자성 재료를 포함하고 상기 요동체를 외주측으로부터 둘러싸는 통 부재를 구비하고,
    상기 통 부재는, 상기 요동체에 대향하는 내벽면에, 상기 자석이 축선 방향으로 이동 가능한 상태에서 당해 자석을 보유 지지하는 보유 지지 영역을 구비함과 함께, 상기 보유 지지 영역에 보유 지지된 상기 자석에 지그를 당해 통 부재의 외측으로부터 맞닿게 하기 위한 직경 방향 개구부를 구비하는 것을 특징으로 하는 흔들림 보정 기능을 구비한 광학 유닛.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 통 부재는, 상기 보유 지지 영역 및 상기 직경 방향 개구부를 구비하는 통부와, 상기 통부의 상기 축선 방향의 한쪽 끝으로부터 내주측으로 돌출되는 프레임부와, 상기 보유 지지 영역에 보유 지지된 상기 자석에 지그를 당해 통 부재의 외측으로부터 맞닿게 하기 위한 축 방향 개구부를 구비하고,
    상기 축 방향 개구부는, 상기 프레임부에 있어서 상기 보유 지지 영역에 보유 지지된 상기 자석과 상기 축선 방향에서 대향하는 위치에 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 흔들림 보정 기능을 구비한 광학 유닛.
  11. 제9항 또는 제10항에 있어서,
    상기 고정체는, 상기 지지체를 겸하고 있는 것을 특징으로 하는 흔들림 보정 기능을 구비한 광학 유닛.
  12. 제7항에 있어서,
    상기 고정체는, 상기 지지체를 겸하고 있는 것을 특징으로 하는 흔들림 보정 기능을 구비한 광학 유닛의 요동체 자세 조정 방법.
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