KR102115550B1

KR102115550B1 - 음향 광학 변조기 및 그 제조 방법

Info

Publication number: KR102115550B1
Application number: KR1020160120967A
Authority: KR
Inventors: 김원효; 이형만
Original assignee: 전자부품연구원
Priority date: 2016-09-21
Filing date: 2016-09-21
Publication date: 2020-05-26
Also published as: KR20180032128A

Abstract

본 발명의 일실시예에 따른 음향 광학 변조기는, 면 방향으로 진동을 발생시키는 압전층; 상기 압전층과 일정 공간 이격되어 면 방향으로 대향하는 매질층; 상기 압전층과 매질층 사이에 형성되되, 상기 압전층과 매질층의 이격 공간을 가이드하도록 일정 두께를 가지며 상기 압전층과 매질층을 지지하는 가이드부재 및 상기 가이드부재에 의해 가이드된 상기 압전층과 매질층의 이격 공간을 채워 상기 압전층과 매질층을 접착하는 접착부재를 포함하는 접착층;을 포함한다. 이에 따라, 일정한 두께를 가지며 압전층과 매질층을 지지하는 가이드부재에 의해 접착층의 두께가 일정하게 가이드되고, 그 결과 목적하는 음향 임피던스의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

Description

음향 광학 변조기 및 그 제조 방법{ACOUSTO-OPTIC MODULATOR AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}

본 발명은 음향 광학 변조기 및 그 제조 방법에 관한 것이다.

음향 광학 변조기(acousto-optic modulator, AOM)란 통상적으로 레이저와 같은 빛을 분할 또는 변조하는 장치를 말한다. 레이저가 통과하는 통로인 매질층에 초음파 진동을 가하면, 매질층의 굴절률이 주기적인 변화를 일으키고, 굴절률의 소밀이 회절 격자로 작용하여 레이저를 회절시켜 분할 또는 변조한다.

음향 광학 변조기의 원리를 도시한 도 1을 참고하여, 그 원리를 더 상세히 설명하면, 고주파 RF신호가 인가되어 압전층(10)이 진동하면 매질층(20) 또한 함께 초음파 진동하여 매질층(20)의 굴절률은 주기적으로 변화한다. 이 때, 레이저(L)가 매질층(20)을 통과하면, 굴절률의 변화로 발생하는 회절 격자에 의해 회절되어 회절 레이저(L1)가 출사된다. 이와 반대로 매질층(20)이 진동하지 않을 때, 레이저(L)가 매질층(20)을 통과하면 회절 격자가 발생되지 않는 바, 회절되지 않은 원 레이저(L0)가 출사된다.

이와 같이, 음향 광학 변조기는 매질층의 초음파 진동으로 레이저를 분할하거나 변조하는데, 회절 레이저의 회절각, 강도 등은 각각 초음파의 파장, 강도 등에 따라 조절된다. 따라서, 목적하는 회절 레이저의 회절각, 강도 등을 만족하기 위해서는 초음파의 파장, 강도 등을 조절할 필요가 있고, 초음파의 파장, 강도 등은 음향 광학 변조기의 음향 임피던스와 관련된다.

한편, 음향 광학 변조기의 음향 임피던스를 만족하도록 설계하기 위해서는, 압전층을 일정한 두께로 형성해야 할 뿐만 아니라, 압전층과 매질층을 접합하는 접합층 또한 일정한 두께를 갖도록 형성해야 할 필요가 있다.

KR 10-2012-0119838 A

본 발명의 일실시예에 따른 목적은, 일정한 두께를 가지며 압전층과 매질층을 지지하는 가이드부재를 접착층에 포함시켜, 접착층의 두께가 가이드부재의 두께로 일정하게 가이드됨에 따라, 목적하는 음향 임피던스를 갖는 음향 광학 변조기와 그 제조방법을 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 일실시예에 따른 음향 광학 변조기는, 면 방향으로 진동을 발생시키는 압전층; 상기 압전층과 일정 공간 이격되어 면 방향으로 대향하는 매질층; 및 상기 압전층과 매질층 사이에 형성되되, 상기 압전층과 매질층의 이격 공간을 가이드하도록 일정 두께를 가지며 상기 압전층과 매질층을 지지하는 가이드부재 및 상기 가이드부재에 의해 가이드된 상기 압전층과 매질층의 이격 공간을 채워 상기 압전층과 매질층을 접착하는 접착부재를 포함하는 접착층;을 포함한다.

본 발명의 일실시예에 따른 음향 광학 변조기에 있어서, 상기 가이드부재는 니켈(Ni), 텅스텐(W) 또는 이들의 조합으로 이루어질 수 있다.

본 발명의 일실시예에 따른 음향 광학 변조기에 있어서, 상기 가이드부재는 상기 압전층과 매질층의 대향면의 테두리를 따라 단속적으로 형성될 수 있다.

본 발명의 일실시예에 따른 음향 광학 변조기에 있어서, 상기 접착부재는 금(Au)으로 이루어질 수 있다.

본 발명의 일실시예에 따른 음향 광학 변조기의 제조 방법은, 면 방향으로 진동을 발생시키는 압전층의 일면에 제1 접착부재를 형성하는 단계; 상기 압전층의 일면과 대향하는 매질층의 타면에 제2 접착부재를 형성하는 단계; 상기 제1 접착부재와 제2 접착부재 사이에 일정한 두께를 가지며, 상기 제1 접착부재와 제2 접착부재의 총 두께에 대응하거나 그보다 얇은 두께를 가지는 가이드부재를 형성하는 단계; 및 상기 가이드부재가 상기 압전층과 매질층을 지지하도록 상기 압전층과 매질층을 열압착하여 접착층을 형성하는 단계;를 포함한다.

본 발명의 일실시예에 따른 음향 광학 변조기의 제조 방법에 있어서, 상기 제1 접착부재를 형성하는 단계는, 상기 압전층의 일면에 금(Au)을 증착하는 단계를 포함하고, 상기 제2 접착부재를 형성하는 단계는, 상기 매질층의 타면에 금(Au)을 증착하는 단계를 포함할 수 있다.

본 발명의 일실시예에 따른 음향 광학 변조기의 제조 방법에 있어서, 상기 가이드부재를 형성하는 단계는, 상기 제2 접착부재와 대향하는 제1 접착부재의 일면 또는 상기 제1 접착부재와 대향하는 제2 접착부재의 타면상에 니켈(Ni), 텅스텐(W) 또는 이들의 조합으로 이루어지는 가이드부재를 증착하는 단계를 포함할 수 있다.

본 발명의 일실시예에 따른 음향 광학 변조기의 제조 방법에 있어서, 상기 가이드부재는, 상기 제2 접착부재와 대향하는 제1 접착부재의 일면 또는 상기 제1 접착부재와 대향하는 제2 접착부재의 타면상에 상기 압전층과 매질층의 대향면의 테두리를 따라 단속적으로 형성될 수 있다.

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다.

이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

본 발명의 일실시예에 따르면, 일정한 두께를 가지며 압전층과 매질층을 지지하는 가이드부재에 의해 접착층의 두께가 일정하게 가이드됨에 따라, 목적하는 음향 임피던스의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

또한, 가이드부재는 니켈, 텅스텐 또는 이들의 조합으로 이루어질 수 있는 바, 가이드부재는 강성을 가져 열압착 등의 제조 공정을 거치더라도 변형되지 않아 접착층의 두께를 목적하는 두께로 일정하게 가이드할 수 있는 효과가 있다.

또한, 가이드부재는 압전층과 매질층의 대향면의 테두리를 따라 단속적으로 형성될 수 있는 바, 접착층 내에 최소한의 공간을 차지하면서 압전층과 매질층을 안정적으로 지지하여 접착층의 두께를 안정적으로 가이드할 수 있는 효과가 있다.

또한, 접착부재는 금으로 이루어질 수 있는데, 이에 따라 압전층과 매질층이 금속 본딩되어 단단하게 접착될 수 있을 뿐만 아니라, 증착 공정으로 목적하는 적당량만 사용할 수 있어 접착부재의 손실을 최소화할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 음향 광학 변조기의 원리를 나타낸 개념도;
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 음향 광학 변조기를 각 층마다 분리하여 도시한 분해 사시도;
도 3은 도 2의 A-A'선에 따른 결합 단면을 도시한 단면도; 및
도 4 내지 도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 음향 광학 변조기의 제조방법을 도시한 공정도이다.

본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 명백해질 것이다.

본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다.

또한, "제1", "제2", "일면", "타면"등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위해 사용되는 것으로, 구성요소가 상기 용어들에 의해 제한되는 것은 아니다. 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 관련된 공지 기술에 대한 상세한 설명은 생략한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명인 음향 광학 변조기에 대한 일실시예를 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 음향 광학 변조기의 원리를 나타낸 개념도이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 음향 광학 변조기를 각 층마다 분리하여 도시한 분해 사시도이며, 도 3은 도 2의 A-A'선에 따른 결합 단면을 도시한 단면도이다.

본 발명의 일실시예에 따른 음향 광학 변조기는, 면 방향으로 진동을 발생시키는 압전층(10); 상기 압전층(10)과 일정 공간 이격되어 면 방향으로 대향하는 매질층(20); 상기 압전층(10)과 매질층(20) 사이에 형성되되, 상기 압전층(10)과 매질층(20)의 이격 공간을 가이드하도록 일정 두께를 가지며 상기 압전층(10)과 매질층(20)을 지지하는 가이드부재(31) 및 상기 가이드부재(31)에 의해 가이드된 상기 압전층(10)과 매질층(20)의 이격 공간을 채워 상기 압전층(10)과 매질층(20)을 접착하는 접착부재(32)를 포함하는 접착층(30);을 포함한다. 이에 따라, 일정한 두께를 가지며 압전층(10)과 매질층(20)을 지지하는 가이드부재(31)에 의해 접착층(30)의 두께가 일정하게 가이드되고, 그 결과 목적하는 음향 임피던스의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

압전층(10)은 후술할 매질층(20)에 초음파 진동을 가하는 구성으로, RF신호를 인가받아 그의 면 방향, 즉 도 1의 양쪽 화살표로 표시된 두께 방향으로 진동을 발생시키고, 목적하는 음향 임피던스를 만족시키기 위해 일정한 두께로 균일하게 형성되어야 한다. 이와 같은 압전층(10)은 니오브산 리튬(lithium niobate) 웨이퍼를 적어도 하나 이상 적층하여 형성할 수 있으나, 압전층(10)의 재료는 이에 한정되지 않으며, 압전 특성을 가지는 다양한 재료로 변경될 수 있고, 변경되더라도 본 발명의 범위에 속함이 자명하다. 한편, 도시하지 않았으나, 압전층(10)에는 RF신호를 인가하기 위한 전극층(미도시)이 양면에 형성될 수 있고, 전극층은 금(Au)으로 형성될 수 있어, 일면의 전극층은 후술할 접착층(30)의 접착부재(32)가 그 역할을 할 수 있다.

매질층(20)은 레이저와 같은 빛이 통과하는 통로로, 압전층(10)으로부터 초음파 진동을 인가받아 그 굴절률이 주기적으로 변화하며, 압전층(10)으로부터 매질층(20)에 초음파 진동의 인가는 후술할 접착층(30)을 매개로 이루어진다. 접착층(30)이 압전층(10)과 매질층(20) 사이에 형성됨에 따라, 매질층(20)은 접착층(30)이 형성되는 공간만큼 압전층(10)과 일정 공간 이격되고, 압전층(10)과는 면 방향으로 대향한다. 매질층(20)은 수정 결정판(quartz crystal), 용융석영(fused silica) 또는 이들의 조합으로 이루어질 수 있으나, 매질층(20)의 재료는 이에 한정되지 않으며, 레이저 등의 빛이 투과되는 재질이라면 다양하게 변경될 수 있다.

한편, 압전층(10)과 매질층(20)의 평면적 형태는 서로 대응하도록 형성됨이 바람직하며, 매질층(20) 내로 레이저 등 빛이 입사되는 것만으로 굴절되지 않도록 직사각형 형태로 형성됨이 바람직하다. 다만, 이는 한 예시에 불과하며, 압전층(10)과 매질층(20)의 평면적 형태는 서로 대응하지 않을 수 있고, 원형 등 다양하게 변경될 수 있다.

접착층(30)은 압전층(10)과 매질층(20) 사이에 형성되어 압전층(10)과 매질층(20)을 접착하여 매질층(20)이 압전층(10)과 일체적으로 진동할 수 있게 하는 구성으로, 가이드부재(31)와 접착부재(32)를 포함한다. 한편, 도 1 내지 도 3에서는 접착층(30)의 설명을 위해 압전층(10)과 비슷한 두께로 도시하였으나, 실제 접착층(30)의 두께는 압전층(10)에 비해 극히 얇은 두께를 가질 수 있음이 자명하다.

가이드부재(31)는 압전층(10)과 매질층(20)의 이격 공간, 즉 접착층(30)이 형성될 공간을 가이드하는 구성으로, 목적하는 접착층(30)의 두께인 일정 두께를 가지며, 압전층(10)과 매질층(20)을 지지한다. 이에 따라, 접착층(30)은 가이드부재(31)의 두께에 대응하는 두께를 가질 수 있는 바, 접착층(30)의 두께를 일정하게 형성할 수 있어, 목적하는 음향 임피던스의 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 이와 같은 가이드부재(31)는 압전층(10)과 매질층(20)을 접착하는 공정에서 그 형태가 변형되지 않도록, 니켈(Ni), 텅스텐(W) 또는 이들의 조합으로 이루어지는 강성의 재질로 형성될 수 있다. 한편, 가이드부재(31)는 단일의 부재로 형성될 수 있으나, 접착층(30) 내에서 최소한의 공간을 차지하면서 압전층(10)과 매질층(20)을 안정적으로 지지하도록 압전층(10)과 매질층(20)의 대향면의 테두리를 따라 단속적으로 형성된 복수의 부재로 형성될 수 있다. 복수의 부재로 형성되는 경우, 가이드부재(31)의 개수는 압전층(10)과 매질층(20)의 대향면의 면적, 목적하는 접착층(30)의 두께, 압전층(10)과 매질층(20)을 접착함에 가해지는 압력 등을 고려하여 결정될 수 있다. 한편, 도 2에서는 가이드부재(31)를 사각기둥 형태로 도시하였으나, 가이드부재(31)의 형태는 일정한 두께를 가진다면 원기둥 등 다양한 형태로 변경될 수 있다.

접착부재(32)는 매질층(20)이 압전층(10)과 일체로 진동할 수 있도록 압전층(10)과 매질층(20)을 접착하는 구성으로, 가이드부재(31)에 의해 가이드된 압전층(10)과 매질층(20) 사이의 이격 공간을 채운다. 이와 같은 접착부재(32)는 금(Au), 인듐(In), 주석(Sn), 납(Pb)과 같은 금속 또는 에폭시 등 다양한 재질이 사용될 수 있으나, 증착을 통해 목적하는 양으로 균일하게 형성될 수 있고, 열압착만으로 간단하고 견고하게 본딩될 수 있는 금(Au)으로 이루어짐이 바람직하다. 한편, 접착부재(32)가 금(Au)과 같은 금속으로 이루어지는 경우, 압전층(10) 및 매질층(20)과의 접착력을 향상시키기 위해, 압전층(10)과 매질층(20)의 대향면에는 티타늄(타이타늄, Ti), 크롬(크로뮴, Cr) 또는 이들의 조합으로 이루어지는 접착보조층(H)이 형성될 수 있다.

상술한 바에 따라, 본 발명의 일실시예에 따른 음향 광학 변조기는, 일정한 두께를 가지며 압전층(10)과 매질층(20)을 지지하는 가이드부재(31)에 의해 접착층(30)의 두께가 일정하게 가이드됨에 따라, 목적하는 음향 임피던스의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

이하에서는, 본 발명의 일실시예에 따른 음향 광학 변조기의 제조 방법을 도시한 공정도인 도 4 내지 도 7을 참조하여, 본 발명의 일실시예에 따른 음향 광학 변조기의 제조 방법에 대해 상세히 설명하며, 상술한 설명과 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

본 발명의 일실시예에 따른 음향 광학 변조기의 제조 방법은, 면 방향으로 진동을 발생시키는 압전층(10)의 일면에 제1 접착부재(32a)를 형성하는 단계; 상기 압전층(10)의 일면과 대향하는 매질층(20)의 타면에 제2 접착부재(32b)를 형성하는 단계; 상기 제1 접착부재(32a)와 제2 접착부재(32b) 사이에 일정한 두께를 가지며, 상기 제1 접착부재(32a)와 제2 접착부재(32b)의 총 두께에 대응하거나 그보다 얇은 두께를 가지는 가이드부재(31)를 형성하는 단계; 및 상기 가이드부재(31)가 상기 압전층(10)과 매질층(20)을 지지하도록 상기 압전층(10)과 매질층(20)을 열압착하여 접착층(30)을 형성하는 단계;를 포함한다. 이에 따라, 일정한 두께를 가진 가이드부재(31)에 의해 접착층(30)의 두께가 일정하게 가이드되어, 목적하는 음향 임피던스를 만족하는 음향 광학 변조기를 제조할 수 있다.

도 4는 압전층(10)의 일면에 제1 접착부재(32a)를 형성하는 단계를 도시한 단면도이다. 제1 접착부재(32a)를 형성하는 단계는 면 방향, 즉 도 4의 상하방향으로 진동을 발생시키는 압전층(10)의 일면에서 이루어진다. 이 때, 제1 접착부재(32a)는 상술한 바와 같이, 금(Au), 인듐(In), 주석(Sn), 납(Pb)과 같은 금속 또는 에폭시 등 다양한 재질이 사용될 수 있으나, 증착을 통해 목적하는 양으로 균일하게 형성될 수 있고, 열압착만으로 간단하고 견고하게 본딩될 수 있는 금(Au)으로 이루어짐이 바람직하다. 제1 접착부재(32a)가 금(Au)인 경우, 우선적으로 제1 접착부재(32a)와 압전층(10) 간의 접착력을 향상시키기 위해, 전자빔 증착기와 같은 진공장비를 사용하여, 압전층(10)의 일면에 티타늄(Ti), 크롬(Cr) 또는 이들의 조합으로 이루어지는 접착보조층(H)을 증착한다. 그 이후, 접착보조층(H)이 증착된 압전층(10)의 일면에 접착보조층(H) 증착과 같이 진공장비를 사용하여 금(Au)을 증착함으로써 제1 접착부재(32a)의 형성 단계가 완료된다.

다음으로, 도 5는 도 4에 도시된 단계 이후, 매질층(20)의 타면에 제2 접착부재(32b)를 형성하는 단계를 도시한 단면도이다. 제2 접착부재(32b)를 형성하는 단계는 압전층(10)의 일면과 대향하는 매질층(20)의 타면에서 이루어진다. 이 때, 제2 접착부재(32b)는 제1 접착부재(32a)와 동일한 재질로 형성됨이 바람직하다. 제1 접착부재(32a)와 제2 접착부재(32b)의 두께는 도시처럼 서로 대응되게 분배될 수 있고, 이와 달리 일방의 두께가 타방의 두께보다 두껍게 형성될 수 있다. 다만, 제1 접착부재(32a)와 제2 접착부재(32b) 각각의 두께는 전영역에 걸쳐 균일하게 형성됨이 바람직하다고 할 것이다. 제2 접착부재(32b)도 제1 접착부재(32a)에 대응하여 금(Au)으로 이루어지는 경우, 우선적으로 제2 접착부재(32b)와 매질층(20) 간의 접착력을 향상시키기 위해, 전자빔 증착기와 같은 진공장비를 사용하여, 매질층(20)의 타면에 티타늄(Ti), 크롬(Cr) 또는 이들의 조합으로 이루어지는 접착보조층(H)을 증착한다. 그 이후, 접착보조층(H)이 증착된 매질층(20)의 타면에 접착보조층(H) 증착과 같이 진공장비를 사용하여 금(Au)을 증착함으로써 제2 접착부재(32b)의 형성 단계가 완료된다. 한편, 제2 접착부재(32b) 형성 단계는 제1 접착부재(32a) 형성 단계와 그 순서가 바뀔 수 있고, 바뀐 경우에도 본 발명의 범위에 속함은 통상의 기술자에게 자명하다고 할 것이다.

다음으로, 도 6은 도 5의 제1 접착부재(32a)와 제2 접착부재(32b) 사이에 가이드부재(31)를 형성하는 단계를 도시한 단면도이다. 가이드부재(31)는 제1 접착부재(32a)와 제2 접착부재(32b) 사이에서 형성되고, 일정한 두께를 가지며, 이 때 일정한 두께는 제1 접착부재(32a)와 제2 접착부재(32b)의 총 두께에 대응하거나 그보다 얇다. 이에 따라, 후술할 열압착으로 가이드부재(31)가 압전층(10)과 매질층(20)을 지지하더라도 제1 접착부재(32a)와 제2 접착부재(32b)는 서로 맞닿을 수 있어 압전층(10)과 매질층(20)이 접착될 수 있다. 가이드부재(31) 형성 단계는 제2 접착부재(32b)와 대향하는 제1 접착부재(32a)의 일면 또는 제1 접착부재(32a)와 대향하는 제2 접착부재(32b)의 타면 중 어느 하나에서 이루어질 수 있으며, 이하에서는 제2 접착부재(32b)의 타면에서 이루어지는 것을 기준으로 설명하고, 이는 제1 접착부재(32a)의 일면에서도 적용될 수 있다. 구체적으로, 제2 접착부재(32b)의 타면에 감광막(photoresist, 미도시)를 도포하고, 사진식각 공정(Photolithography)으로 가이드부재(31)를 형성할 부분의 감광막을 선택적으로 제거한다. 그 이후, 선택적으로 감광막이 제거된 제2 접착부재(32b)의 타면 상에 니켈(Ni), 텅스텐(W) 또는 이들의 조합으로 이루어지는 가이드부재(31)를 증착하고, 감광막을 제거함으로써 가이드부재(31) 형성 단계가 완료될 수 있다. 이와 같은 가이드부재(31)의 형성은 제2 접착부재(32b)의 타면 상에 압전층(10)과 매질층(20)의 대향면의 테두리를 따라 단속적으로 형성될 수 있다.

다음으로, 도 7은 도 6 단계 이후, 압전층(10)과 매질층(20)을 열압착하여 접착층(30)을 형성하는 단계를 도시한 단면도이다. 접착층(30) 형성 단계는 압전층(10)과 매질층(20)을 서로 접하게 두고, 열가압 장비를 사용하여 화살표 방향으로 압전층(10)과 매질층(20)을 열압착함으로써 이루어진다. 압전층(10)과 매질층(20)을 열압착함에 따라, 제1, 2 접착부재(32a, 32b)는 서로 접하여 금속본딩되고, 더 나아가 가이드부재(31)는 제1, 2 접착부재(32a, 32b)를 관통하여 압전층(10)과 매질층(20)의 지지하게 된다. 가이드부재(31)가 압전층(10)과 매질층(20)을 지지함에 따라 제1, 2 접착부재(32a, 32b)의 총 두께는 더이상 수축할 수 없고, 그 결과 형성되는 접착층(30)의 두께는 가이드부재(31)의 두께로 일정하게 가이드될 수 있다. 한편, 가이드부재(31)가 니켈(Ni), 텅스텐(W) 또는 이들의 조합으로 이루어지고, 제1, 2 접착부재(32a, 32b)가 금(Au)로 이루어지는 경우, 제1, 2 접착부재(32a, 32b)의 강도는 가이드부재(31)의 강도보다 단단하지 않아 열압착하더라도 가이드부재(31)는 그 형태가 변형되지 않고, 제1, 2 접착부재(32a, 32b)를 쉽게 관통할 수 있다.

도 7의 단계 이후, 추가적으로 매질층(20)과 대향하지 않는 압전층(10)의 타면을 연마 또는 폴리싱하여 RF신호 손실을 최소화할 수 있고, 그 이후 압전층(10)의 타면에 금(Au)을 증착하여 전극층(미도시)을 형성하는 단계가 이어질 수 있다.

이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명의 일실시예는 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함은 명백하다고 할 것이다.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 영역에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 명백해질 것이다.

10: 압전층 20: 매질층
30: 접착층 31: 가이드부재
32: 접착부재 32a: 제1 접착부재
32b: 제2 접착부재
H: 접착보조층

Claims

면 방향으로 진동을 발생시키는 압전층;
상기 압전층과 일정 공간 이격되어 면 방향으로 대향하는 매질층;
상기 압전층과 매질층 사이에 형성되되, 상기 압전층과 매질층의 이격 공간을 가이드하도록 일정 두께를 가지며 상기 압전층과 매질층을 지지하는 가이드부재 및 상기 가이드부재에 의해 가이드된 상기 압전층과 매질층의 이격 공간을 채워 상기 압전층과 매질층을 접착하는 접착부재 및 상기 압전층과 매질층의 대향면에 형성되는 접착보조층을 포함하는 접착층;을 포함하는 음향 광학 변조기.
청구항 1에 있어서,
상기 가이드부재는 니켈(Ni), 텅스텐(W) 또는 이들의 조합으로 이루어지는 음향 광학 변조기.
청구항 1에 있어서,
상기 가이드부재는 상기 압전층과 매질층의 대향면의 테두리를 따라 단속적으로 형성되는 음향 광학 변조기.
청구항 1에 있어서,
상기 접착부재는 금(Au)으로 이루어지고,
상기 접착보조층은 티타늄(타이타늄, Ti), 크롬(크로뮴, Cr) 또는 이들의 조합으로 이루어지는 음향 광학 변조기.
면 방향으로 진동을 발생시키는 압전층의 일면에 제1 접착보조층을 증착한 후 상기 제1 접착보조층이 증착된 상기 압전층의 일면에 제1 접착부재를 형성하는 단계;
상기 압전층의 일면과 대향하는 매질층의 타면에 제2 접착보조층을 증착한 후 상기 제2 접착보조층이 증착된 상기 매질층의 타면에 제2 접착부재를 형성하는 단계;
상기 제1 접착부재와 제2 접착부재 사이에 일정한 두께를 가지며, 상기 제1 접착부재와 제2 접착부재의 총 두께에 대응하거나 그보다 얇은 두께를 가지는 가이드부재를 형성하는 단계; 및
상기 가이드부재가 상기 압전층과 매질층을 지지하도록 상기 압전층과 매질층을 열압착하여 접착층을 형성하는 단계;를 포함하는 음향 광학 변조기의 제조 방법.
청구항 5에 있어서,
상기 제1 접착부재를 형성하는 단계에서, 상기 제1 접착보조층은 티타늄(타이타늄, Ti), 크롬(크로뮴, Cr) 또는 이들의 조합으로 이루어지고, 상기 제1 접착부재의 형성은 상기 압전층의 일면에 금(Au)을 증착함으로써 이루어지고,
상기 제2 접착부재를 형성하는 단계에서, 상기 제2 접착보조층은 티타늄(타이타늄, Ti), 크롬(크로뮴, Cr) 또는 이들의 조합으로 이루어지고, 상기 제2 접착부재의 형성은 상기 매질층의 타면에 금(Au)을 증착함으로써 이루어지고, 음향 광학 변조기의 제조 방법.
청구항 5에 있어서,
상기 가이드부재를 형성하는 단계는, 상기 제2 접착부재와 대향하는 제1 접착부재의 일면 또는 상기 제1 접착부재와 대향하는 제2 접착부재의 타면상에 니켈(Ni), 텅스텐(W) 또는 이들의 조합으로 이루어지는 가이드부재를 증착하는 단계를 포함하는, 음향 광학 변조기의 제조 방법.
청구항 5에 있어서,
상기 가이드부재는, 상기 제2 접착부재와 대향하는 제1 접착부재의 일면 또는 상기 제1 접착부재와 대향하는 제2 접착부재의 타면상에 상기 압전층과 매질층의 대향면의 테두리를 따라 단속적으로 형성되는, 음향 광학 변조기의 제조 방법.