JP2019186661A - 水晶振動子 - Google Patents
水晶振動子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019186661A JP2019186661A JP2018072851A JP2018072851A JP2019186661A JP 2019186661 A JP2019186661 A JP 2019186661A JP 2018072851 A JP2018072851 A JP 2018072851A JP 2018072851 A JP2018072851 A JP 2018072851A JP 2019186661 A JP2019186661 A JP 2019186661A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- crystal
- crystal piece
- conductive adhesive
- base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
【課題】 導電性接着剤から発生するシロキサンが電極主面に達するのを防ぎ、エージング特性を向上させることができる水晶振動子を提供する。【解決手段】 導電性接着剤4によってベース1に接続される水晶振動子であって、水晶片2又の下面において、励振電極32aと、導電性接着剤4に接続する接続電極32bとの間に、ベース1の凹部の内側底面の方向に突出する段差部21と、段差部21を這うように励振電極32aと接続電極32bとを接続する金属配線とを設けた構成として、シロキサン5の進行を妨げることができる水晶振動子としている。【選択図】 図1
Description
本発明は、水晶振動子に係り、特にシリコーン系の導電性接着剤に由来するシロキサンの影響を抑え、エージング特性を向上させることができる水晶振動子に関する。
[先行技術の説明]
従来、水晶振動子において、ベースに形成された電極に水晶片を固定する際に、シリコーン系導電性接着材が用いられている。
シリコーン系接着剤を用いた場合、硬化時にシロキサンの発生が避けられず、エージング特性に影響を及ぼすことが知られている。
ポリイミド系接着剤は、シロキサンは発生しないものの、硬化後の硬度が高く、水晶の振動を阻害してしまうため、水晶片の固定用としては不向きである。
従来、水晶振動子において、ベースに形成された電極に水晶片を固定する際に、シリコーン系導電性接着材が用いられている。
シリコーン系接着剤を用いた場合、硬化時にシロキサンの発生が避けられず、エージング特性に影響を及ぼすことが知られている。
ポリイミド系接着剤は、シロキサンは発生しないものの、硬化後の硬度が高く、水晶の振動を阻害してしまうため、水晶片の固定用としては不向きである。
[従来の水晶振動子におけるシロキサンの進行:図6]
従来の水晶振動子について図6を用いて説明する。図6は、従来の水晶振動子におけるシロキサンの進行を示す模式説明図であり、(a)は従来の水晶振動子の接着硬化前の状態を示す断面図であり、(b)は接着硬化後の状態を示す断面図である。
図6(a)に示すように、従来の水晶振動子は、セラミック等から成るベース1に、水晶片200が導電性接着剤4によって固定された構成である。
従来の水晶振動子について図6を用いて説明する。図6は、従来の水晶振動子におけるシロキサンの進行を示す模式説明図であり、(a)は従来の水晶振動子の接着硬化前の状態を示す断面図であり、(b)は接着硬化後の状態を示す断面図である。
図6(a)に示すように、従来の水晶振動子は、セラミック等から成るベース1に、水晶片200が導電性接着剤4によって固定された構成である。
各部について説明する。
ベース1は、セラミック等で形成され、複数の層が積層されて、内側に凹部が設けられている。ここでは、下から第1ベース層11と、第2ベース層12とが積層されている状態を示している。
図示は省略するが、第1ベース層の下面には、表面実装用の端子電極が形成され、第1ベース層11、第2ベース層12には、必要に応じて端子電極に接続するためのスルーホール、金属配線、電極等が形成されている。
ベース1は、セラミック等で形成され、複数の層が積層されて、内側に凹部が設けられている。ここでは、下から第1ベース層11と、第2ベース層12とが積層されている状態を示している。
図示は省略するが、第1ベース層の下面には、表面実装用の端子電極が形成され、第1ベース層11、第2ベース層12には、必要に応じて端子電極に接続するためのスルーホール、金属配線、電極等が形成されている。
そして、ここでは、第2ベース層12の上部に形成された電極(図示せず)上に水晶片2が導電性接着剤4によって固定された状態を示している。
尚、実際には、ベース1はより大きく、より多くの層で形成され、最上層の上部には金属製の蓋(リッド)が搭載されて内部が封止されている。
尚、実際には、ベース1はより大きく、より多くの層で形成され、最上層の上部には金属製の蓋(リッド)が搭載されて内部が封止されている。
水晶片200は、上下の両面に励振電極が形成されている。上面には、上面電極31が形成され、下面に下面電極32が形成されている。
上面電極31及び下面電極32は、金等で形成され、図6(a)では、上面電極31が導電性接着剤4によって接続された状態を示している。
尚、下面電極32は、図6(a)の位置より手前側又は奥側において、導電性接着剤によって第2ベース層12に固定されている。
上面電極31、下面電極32の構成については後述する。
上面電極31及び下面電極32は、金等で形成され、図6(a)では、上面電極31が導電性接着剤4によって接続された状態を示している。
尚、下面電極32は、図6(a)の位置より手前側又は奥側において、導電性接着剤によって第2ベース層12に固定されている。
上面電極31、下面電極32の構成については後述する。
導電性接着剤4は、シリコーン系の接着材であり、図6(a)では、ベース第2層上の電極と、水晶片200の上面電極31とを電気的に接続すると共に、物理的に固定している。
ここで、水晶片200が搭載される際に、導電性接着剤4が上から押されることにより、水晶片200の上面側に比べて、下面側に多く接着することになる。
図6(a)では、接着硬化前の状態を示しており、シロキサンの発生はない。
ここで、水晶片200が搭載される際に、導電性接着剤4が上から押されることにより、水晶片200の上面側に比べて、下面側に多く接着することになる。
図6(a)では、接着硬化前の状態を示しており、シロキサンの発生はない。
そして、図6(b)に示すように、接着硬化の処理によって、水晶片200の下面において導電性接着剤4からシロキサン5が発生し、下面電極32の主面(励振電極32a)にまで進行する。
尚、水晶片200の表面においてはシロキサンの進行は認められない。
このように、水晶片200の下面において、シロキサン5が電極主面にまで進行して付着することにより、経年変化による水晶振動子の周波数特性(エージング特性)が劣化することが知られている。
尚、水晶片200の表面においてはシロキサンの進行は認められない。
このように、水晶片200の下面において、シロキサン5が電極主面にまで進行して付着することにより、経年変化による水晶振動子の周波数特性(エージング特性)が劣化することが知られている。
[シロキサンによるエージング特性例:図7]
次に、シロキサンの影響によるエージング特性の劣化について図7を用いて説明する。図7は、シロキサンとエージング特性との関係を示す説明図である。
具体的には、製造後、一定年数を経過したサンプルについて、シロキサンの検出量と周波数特性の分布との関係を示している。
次に、シロキサンの影響によるエージング特性の劣化について図7を用いて説明する。図7は、シロキサンとエージング特性との関係を示す説明図である。
具体的には、製造後、一定年数を経過したサンプルについて、シロキサンの検出量と周波数特性の分布との関係を示している。
まず、各サンプルについてToF−SIMS(Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry;飛行時間型2次イオン質量分析法)により、水晶片200の上面及び下面の表面におけるシロキサンの量を検出した。
そして、シロキサンの検出量に応じて、サンプルをグループA、グループB、グループCに分類した。グループAはシロキサンの検出量が多かったグループ、グループBは中程度のグループ、グループCは検出量が少なかったグループとした。
そして、シロキサンの検出量に応じて、サンプルをグループA、グループB、グループCに分類した。グループAはシロキサンの検出量が多かったグループ、グループBは中程度のグループ、グループCは検出量が少なかったグループとした。
次に、各サンプルの周波数特性(規定周波数に対する周波数の変化量、ΔF/F)を測定した。
図6に示すように、規格範囲は±1.2ppmであり、グループCに分類されたサンプルは規格範囲内に入っている。
しかし、グループB及びグループCに分類されたサンプルは周波数が低下して規格外となっており、周波数低下の程度はシロキサンの検出量が多かったグループAの方が大きいことがわかる。
図6に示すように、規格範囲は±1.2ppmであり、グループCに分類されたサンプルは規格範囲内に入っている。
しかし、グループB及びグループCに分類されたサンプルは周波数が低下して規格外となっており、周波数低下の程度はシロキサンの検出量が多かったグループAの方が大きいことがわかる。
このように、シロキサンが水晶片の下面において電極面まで進行すると、水晶振動子の周波数特性に大きく影響を与え、エージング特性が劣化する。
[関連技術]
尚、シロキサンの影響を抑える水晶振動子に関する従来技術としては、特開2008−166994号公報「圧電振動子、圧電発振器、および圧電振動子の製造方法」(特許文献1)がある。
また、水晶片に段差を形成した水晶振動子に関する従来技術としては、特開2017−55454号公報「振動片、振動子、発振器、電子機器及び移動体」(特許文献2)がある。
尚、シロキサンの影響を抑える水晶振動子に関する従来技術としては、特開2008−166994号公報「圧電振動子、圧電発振器、および圧電振動子の製造方法」(特許文献1)がある。
また、水晶片に段差を形成した水晶振動子に関する従来技術としては、特開2017−55454号公報「振動片、振動子、発振器、電子機器及び移動体」(特許文献2)がある。
特許文献1には、圧電振動素子を導電性接着剤により容器内に保持した圧電振動子において、導電性接着剤の表面に液状無機質材をコーティングして固化させた被覆層を設けることが記載されている。
特許文献2には、水晶振動片の、導電性接着剤によって固定される端部に、周囲より厚さが薄い肉薄部が形成され、肉薄部と周囲との間に段差部が形成されることが記載されている。
上述したように、従来の水晶振動子では、導電性接着剤から発生するシロキサンが水晶片の電極主面にまで達することがあり、その影響によって周波数が変動し、エージング特性が劣化してしまうという問題点があった。
尚、特許文献1及び特許文献2には、水晶片の下面において、導電性接着剤で固定される端部と電極の主面との間に、水晶板の厚みが周囲に比べて大きい段差部を形成して、シロキサンの進行を妨げることは記載されていない。
本発明は上記実状に鑑みて為されたもので、導電性接着剤から発生するシロキサンが電極主面に達するのを防ぎ、エージング特性を向上させることができる水晶振動子を提供することを目的とする。
上記従来例の問題点を解決するための本発明は、励振電極と、導電性接着剤で接続される接続電極とを備える水晶片と、水晶片を収納するベースとを備える水晶振動子であって、水晶片は、励振電極と接続電極との間に、ベースの内側底面に向けて突出する段差部と、段差部を這うように形成され、励振電極と接続電極を接続する金属配線とを備えることを特徴としている。
また、本発明は、上記水晶振動子において、段差部が、水晶片を2つの部分に分ける位置に設けられ、水晶片の一方の部分に励振電極が形成され、他方の部分に接続電極が形成され、水晶片が、ベースの外周部の上に導電性接着剤によって固定されていることを特徴としている。
また、本発明は、上記水晶振動子において、段差部が、ベースの内側底面に達しない高さに形成されていることを特徴としている。
また、本発明は、上記水晶振動子において、段差部が、水晶片の端部に設けられ、接続電極が、段差部の励振電極とは反対側の側面に形成され、水晶片が、ベースの内側側面に導電性接着剤によって固定されていることを特徴としている。
また、本発明は、上記水晶振動子において、段差部が、ベースの内側底面に達する高さに形成されていることを特徴としている。
本発明によれば、励振電極と、導電性接着剤で接続される接続電極とを備える水晶片と、水晶片を収納するベースとを備える水晶振動子であって、水晶片は、励振電極と接続電極との間に、ベースの内側底面に向けて突出する段差部と、段差部を這うように形成され、励振電極と接続電極を接続する金属配線とを備える水晶振動子としているので、導電性接着剤からシロキサンが発生しても、段差部によってシロキサンの進行を妨げ、励振電極にまで達するのを防ぐことができ、エージング特性を向上させることができる効果がある。
また、本発明によれば、段差部が、水晶片を2つの部分に分ける位置に設けられ、水晶片の一方の部分に励振電極が形成され、他方の部分に接続電極が形成され、水晶片が、ベースの外周部の上に導電性接着剤によって固定されている上記水晶振動子としているので、水晶片を安定して保持でき、容易に製造できる効果がある。
また、本発明によれば、段差部が、ベースの内側底面に達しない高さに形成されている上記水晶振動子としているので、厚みが比較的薄い水晶ウェハを用いて製造でき、低コストで実現できる効果がある。
また、本発明によれば、段差部が、水晶片の端部に設けられ、接続電極が、段差部の励振電極とは反対側の側面に形成され、水晶片が、ベースの内側側面に導電性接着剤によって固定されている上記水晶振動子としているので、水晶振動子全体の厚さを低減して低背化を図ることができる効果がある。
本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
[実施の形態の概要]
本発明の実施の形態に係る水晶振動子は、水晶片の下面において、導電性接着剤で固定される端部と下面電極の主面との間に、厚みが水晶片下面における導電性接着剤の厚みより大きい段差部が形成された構成としており、導電性接着剤から発生するシロキサンが電極主面にまで進行するのを妨げ、エージング特性を向上させることができるものである。
[実施の形態の概要]
本発明の実施の形態に係る水晶振動子は、水晶片の下面において、導電性接着剤で固定される端部と下面電極の主面との間に、厚みが水晶片下面における導電性接着剤の厚みより大きい段差部が形成された構成としており、導電性接着剤から発生するシロキサンが電極主面にまで進行するのを妨げ、エージング特性を向上させることができるものである。
[第1の実施の形態に係る水晶振動子の構成:図1]
本発明の第1の実施の形態に係る水晶振動子(第1の水晶振動子)の構成について図1を用いて説明する。図1は、第1の水晶振動子の構成を示す断面図である。
図1に示すように、第1の水晶振動子の基本的な構成は、図6に示した従来の水晶振動子と同様であり、凹部を備えたセラミックベース1に、水晶片2が導電性接着剤4によって搭載されている。
本発明の第1の実施の形態に係る水晶振動子(第1の水晶振動子)の構成について図1を用いて説明する。図1は、第1の水晶振動子の構成を示す断面図である。
図1に示すように、第1の水晶振動子の基本的な構成は、図6に示した従来の水晶振動子と同様であり、凹部を備えたセラミックベース1に、水晶片2が導電性接着剤4によって搭載されている。
セラミックベース1は、従来と同様の構成である。
水晶片2は、上面電極31と、下面電極32と、第1の水晶振動子の特徴部分である段差部21とを備えている。
導電性接着材4は、従来と同様のシリコーン系の接着剤である。
尚、ここではセラミックベースの一部とリッドが省略されている。
水晶片2は、上面電極31と、下面電極32と、第1の水晶振動子の特徴部分である段差部21とを備えている。
導電性接着材4は、従来と同様のシリコーン系の接着剤である。
尚、ここではセラミックベースの一部とリッドが省略されている。
第1の水晶振動子の特徴部分について説明する。
段差部21は、水晶片2の下面に突出するよう、水晶片2と一体に形成された部分であり、導電性接着剤4によって固定される端部と、下面電極32の主面(励振電極)との間に形成されている。
段差部21は、水晶片2の下面に突出するよう、水晶片2と一体に形成された部分であり、導電性接着剤4によって固定される端部と、下面電極32の主面(励振電極)との間に形成されている。
段差部21を導電性接着剤4と下面電極32の主面との間に設けることにより、シロキサン5が発生しても、段差部21によってシロキサン5をせき止め、シロキサン5が下面電極32の主面にまで達するのを防ぐことができ、エージング特性を向上させることができるものである。
段差部21は、水晶ウェハにおいて水晶片2を形成する際に一緒に形成される。
具体的には、出来上がり寸法の厚さよりも厚みの大きい水晶ウェハにおいて、フォトリソグラフィ及びエッチングによって段差部21以外の部分を削って除去し、水晶片2の外形を切り出すことにより、段差部21を備えた水晶片2を形成する。
水晶ウェハの厚みは80μm程度であり、水晶片2の厚みは10〜50μm、段差部21の高さは50μm程度としている。
具体的には、出来上がり寸法の厚さよりも厚みの大きい水晶ウェハにおいて、フォトリソグラフィ及びエッチングによって段差部21以外の部分を削って除去し、水晶片2の外形を切り出すことにより、段差部21を備えた水晶片2を形成する。
水晶ウェハの厚みは80μm程度であり、水晶片2の厚みは10〜50μm、段差部21の高さは50μm程度としている。
第1の水晶振動子では、導電性接着剤4から段差部21までの距離を十分確保できるため、段差部21の高さは、ベース1の凹部内側底面に達しない程度にしている。導電性接着剤4から段差部21までのスペースが広いため、段差部21の高さがそれほど高くなくても、発生するシロキサン5をスペース内に溜めておくことができるものである。
そのため、第1の水晶振動子は、比較的厚みの小さい(薄い)水晶ウェハであっても製造することができ、エッチング量も少なくて済む。
更に、第1の水晶振動子では、従来と同様に、水晶片2の端部をベース1の凹部外周部の上に搭載して固定するので、水晶片2を安定して保持することができ、製造が容易で、低コストで実現できるものである。
そのため、第1の水晶振動子は、比較的厚みの小さい(薄い)水晶ウェハであっても製造することができ、エッチング量も少なくて済む。
更に、第1の水晶振動子では、従来と同様に、水晶片2の端部をベース1の凹部外周部の上に搭載して固定するので、水晶片2を安定して保持することができ、製造が容易で、低コストで実現できるものである。
[電極の構成例:図2]
ここで、水晶振動子の電極の構成例について図2を用いて説明する。図2は、第1の水晶振動子の電極の構成例を示す平面図であり、(a)は下面電極32、(b)は上面電極31を示している。
図2(a)に示すように、第1の水晶振動子の水晶片2の下面に形成される下面電極32は、励振電極32aと、接続電極32bと、電極32cとを備えている。
励振電極32aは、電極主面となる部分である。
接続電極32bは、導電性接着剤4に接続する部分である。励振電極32aと接続電極32bとは、金属配線によって接続されている。
電極32cは、他の電極とは離れて配置されている。
ここで、水晶振動子の電極の構成例について図2を用いて説明する。図2は、第1の水晶振動子の電極の構成例を示す平面図であり、(a)は下面電極32、(b)は上面電極31を示している。
図2(a)に示すように、第1の水晶振動子の水晶片2の下面に形成される下面電極32は、励振電極32aと、接続電極32bと、電極32cとを備えている。
励振電極32aは、電極主面となる部分である。
接続電極32bは、導電性接着剤4に接続する部分である。励振電極32aと接続電極32bとは、金属配線によって接続されている。
電極32cは、他の電極とは離れて配置されている。
電極32cの裏面(上面)には、上側電極31の接続電極31bが配置されており、励振電極32aの裏側に相当する位置に、接続電極31bに連続して励振電極31aが形成されている。
そして、接続電極32bの裏面には、電極31cが配置されている。
そして、接続電極32bの裏面には、電極31cが配置されている。
つまり、図2(b)に示すように、段差部21のない水晶片2の上面において、上面電極31の励振電極31a、接続電極31b、電極31cが、図2(a)に示した下面電極31と同様に配置されている。
[水晶片2の下面(裏面)の構成:図3]
次に、水晶片2(第1の水晶片)の裏面の構成について図3を用いて説明する。図3は、水晶片2の下面(裏面)の構成を示す模式説明図である。尚、図3では、図1の水晶片2を裏返して、裏面側が上を向いた状態を示している。尚、ここでは段差部22を強調して描画しているため、水晶片2の形状は実際とは異なっている。
次に、水晶片2(第1の水晶片)の裏面の構成について図3を用いて説明する。図3は、水晶片2の下面(裏面)の構成を示す模式説明図である。尚、図3では、図1の水晶片2を裏返して、裏面側が上を向いた状態を示している。尚、ここでは段差部22を強調して描画しているため、水晶片2の形状は実際とは異なっている。
図3に示すように、水晶片2の裏面には、段差部21が形成されている。
そして、水晶片2の裏面において、励振電極32aは、段差のない平らな部分に形成されており、接続電極32bは、段差部21の左側の領域に形成されている。
つまり、段差部21は、励振電極32aと接続電極32bとの間に設けられている。
そして、水晶片2の裏面において、励振電極32aは、段差のない平らな部分に形成されており、接続電極32bは、段差部21の左側の領域に形成されている。
つまり、段差部21は、励振電極32aと接続電極32bとの間に設けられている。
また、金属配線が、励振電極32aの端部から段差部21を這うように、段差部21の右側面、上面、及び左側面を通って、図3の左端の端部に設けられた接続電極32bに接続するよう形成されている。
そして、接続電極32bが、導電性接着剤4によってベース1上の電極に固定される。
そして、接続電極32bが、導電性接着剤4によってベース1上の電極に固定される。
[第2の実施の形態に係る水晶振動子の構成:図4]
本発明の第2の実施の形態に係る水晶振動子(第2の水晶振動子)の構成について図4を用いて説明する。図4は、第2の水晶振動子の構成を示す断面図である。
第2の水晶振動子は、上述した第1の水晶振動子と段差部の位置及び高さが異なっている。
図4に示すように、第2の水晶振動子では、水晶片20の先端部に段差部22が形成されている。
段差部22の高さは、ベース1の凹部内側底面に達する高さとしており、段差部22によって、振動面が水平となるよう水晶片20が支持されている。
本発明の第2の実施の形態に係る水晶振動子(第2の水晶振動子)の構成について図4を用いて説明する。図4は、第2の水晶振動子の構成を示す断面図である。
第2の水晶振動子は、上述した第1の水晶振動子と段差部の位置及び高さが異なっている。
図4に示すように、第2の水晶振動子では、水晶片20の先端部に段差部22が形成されている。
段差部22の高さは、ベース1の凹部内側底面に達する高さとしており、段差部22によって、振動面が水平となるよう水晶片20が支持されている。
そして、上面電極31は、水晶片20の上側から、段差部22の左側面(導電性接着剤4と接続する面)に亘って形成され、導電性接着剤4によって、ベース1の凹部内側側面の電極に接続されている。具体的には、水晶片20の上面には励振電極31aが形成され、段差部22には接続電極31bが形成され、励振電極31aと接続電極31bとは金属配線で接続されている。
また、図4の手前側又は奥側の位置において、下面電極32は、励振電極32aが水晶片20の下面の平らな部分に形成され、金属配線が、励振電極32aの端部から段差部22の右側面、更に段差部22の底面を介して段差部22の左側面に引き出されて形成されている。
そして、段差部22の左側面において、金属配線に接続して接続電極32bが形成されており、接続電極は、上面電極31の接続電極31bと同様に、導電性接着剤4によってベース1の凹部内側側面の電極に接続されている。
つまり、第2の水晶振動子の段差部22は、励振電極32aと接続電極32bとの間に設けられている。
そして、段差部22の左側面において、金属配線に接続して接続電極32bが形成されており、接続電極は、上面電極31の接続電極31bと同様に、導電性接着剤4によってベース1の凹部内側側面の電極に接続されている。
つまり、第2の水晶振動子の段差部22は、励振電極32aと接続電極32bとの間に設けられている。
そして、第2の水晶振動子では、導電性接着剤4からシロキサン5が発生したとしても、段差部22によってシロキサン5の拡散を防ぐことができ、励振電極31a、32aにまでシロキサンが進行するのを防ぎ、エージング特性の劣化を抑えることができるものである。
また、第2の水晶振動子では、水晶片20をベース1の凹部外周部分の上に搭載せず、凹部の内側側面に固定する構成としているので、水晶振動子全体の高さを低くすることができ、低背化を図ることができるものである。
[水晶片20の下面(裏面)の構成:図5]
次に、水晶片20(第2の水晶片)の下面(裏面)の構成について図5を用いて説明する。図5は、水晶片20の裏面の構成を示す模式説明図である。
図5に示すように、水晶片20は、水晶板の左端部に段差部22を備えており、段差部22より右側の平らな部分に下側電極32の励振電極32aが形成され、図では見えていないが、段差部22の左側面に接続電極32bが形成されている。段差部22の左側面は、励振電極32aとは反対側の側面に相当する。
次に、水晶片20(第2の水晶片)の下面(裏面)の構成について図5を用いて説明する。図5は、水晶片20の裏面の構成を示す模式説明図である。
図5に示すように、水晶片20は、水晶板の左端部に段差部22を備えており、段差部22より右側の平らな部分に下側電極32の励振電極32aが形成され、図では見えていないが、段差部22の左側面に接続電極32bが形成されている。段差部22の左側面は、励振電極32aとは反対側の側面に相当する。
また、励振電極32aと接続電極32bとを接続するように、金属配線が、段差部22を這うように、段差部22の右側面、上面、左側面に亘って形成されている。
そして、段差部22の左側面に形成された接続電極32bが、導電性接着剤4によって、ベース1の凹部の内側側面に接続される。
そして、段差部22の左側面に形成された接続電極32bが、導電性接着剤4によって、ベース1の凹部の内側側面に接続される。
[実施の形態の効果]
本発明の実施の形態に係る水晶振動子によれば、導電性接着剤4によってベース1に接続される水晶振動子であって、水晶片2又は20の下面において、励振電極32aと、導電性接着剤4に接続する接続電極32bとの間に、ベース1の凹部の内側底面の方向に突出する段差部21又は22を設けた構成としているので、導電性接着剤から発生するシロキサンが励振電極32aにまで進行するのを妨げ、エージング特性を向上させることができる効果がある。
本発明の実施の形態に係る水晶振動子によれば、導電性接着剤4によってベース1に接続される水晶振動子であって、水晶片2又は20の下面において、励振電極32aと、導電性接着剤4に接続する接続電極32bとの間に、ベース1の凹部の内側底面の方向に突出する段差部21又は22を設けた構成としているので、導電性接着剤から発生するシロキサンが励振電極32aにまで進行するのを妨げ、エージング特性を向上させることができる効果がある。
また、第1の水晶振動子によれば、段差部21の高さを凹部の内側底面に達しない高さとしているので、比較的薄い水晶ウェハでも製造することができ、更にベース1の凹部外周部の上に水晶片2を搭載するため、製造が容易であり、低コストで実現することができる効果がある。
また、第2の水晶振動子によれば、段差部22を水晶片20の端部に設け、段差部の高さを凹部の内側底面に達する高さとして、段差部22によって振動面を保持する構成とし、ベース1の凹部内側の側面に導電性接着剤で固定する構成としているので、水晶振動子全体の高さを低減し、低背化を図ることができる効果がある。
本発明は、導電性接着剤から発生するシロキサンの影響を抑え、エージング特性を向上させることができる水晶振動子に適している。
1…ベース、 2,20,200…水晶片、 4…導電性接着剤、 5…シロキサン、 11…第1ベース層、 12…第2ベース層、 21,22…段差部、 31…上面電極、 32…下面電極、 31a,32a…励振電極、 31b,32b…接続電極、 31c,32c…電極
Claims (5)
- 励振電極と、導電性接着剤で接続される接続電極とを備える水晶片と、前記水晶片を収納するベースとを備える水晶振動子であって、
前記水晶片は、前記励振電極と前記接続電極との間に、前記ベースの内側底面に向けて突出する段差部と、前記段差部を這うように形成され、前記励振電極と前記接続電極を接続する金属配線とを備えることを特徴とする水晶振動子。 - 段差部が、水晶片を2つの部分に分ける位置に設けられ、前記水晶片の一方の部分に励振電極が形成され、他方の部分に接続電極が形成され、
水晶片が、ベースの外周部の上に導電性接着剤によって固定されていることを特徴とする請求項1記載の水晶振動子。 - 段差部が、ベースの内側底面に達しない高さに形成されていることを特徴とする請求項2記載の水晶振動子。
- 段差部が、水晶片の端部に設けられ、接続電極が、前記段差部の励振電極とは反対側の側面に形成され、
水晶片が、ベースの内側側面に導電性接着剤によって固定されていることを特徴とする請求項1記載の水晶振動子。 - 段差部が、ベースの内側底面に達する高さに形成されていることを特徴とする請求項4記載の水晶振動子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018072851A JP2019186661A (ja) | 2018-04-05 | 2018-04-05 | 水晶振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018072851A JP2019186661A (ja) | 2018-04-05 | 2018-04-05 | 水晶振動子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019186661A true JP2019186661A (ja) | 2019-10-24 |
Family
ID=68341577
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018072851A Pending JP2019186661A (ja) | 2018-04-05 | 2018-04-05 | 水晶振動子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2019186661A (ja) |
-
2018
- 2018-04-05 JP JP2018072851A patent/JP2019186661A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5912557B2 (ja) | 音叉型圧電振動片及び圧電デバイス | |
JP6017189B2 (ja) | 圧電振動片及び圧電デバイス | |
US20130193807A1 (en) | Quartz crystal vibrating piece and quartz crystal device | |
JP5316748B2 (ja) | 振動片の製造方法 | |
US20100207696A1 (en) | Piezoelectric vibrator, method for manufacturing piezoelectric vibrator, and oscillator | |
JP6281734B2 (ja) | 圧電振動子及びその製造方法 | |
US8319404B2 (en) | Surface-mountable quartz-crystal devices and methods for manufacturing same | |
WO2017094520A1 (ja) | 圧電素子、圧電マイクロフォン、圧電共振子及び圧電素子の製造方法 | |
US6163101A (en) | Piezoelectric resonator | |
US10396752B2 (en) | MEMS device | |
JP2018074267A (ja) | 圧電振動片及び圧電デバイス | |
US20110187235A1 (en) | Piezoelectric devices and methods for manufacturing same | |
JP2016039516A (ja) | 圧電デバイス | |
JP5239784B2 (ja) | 圧電振動デバイス | |
JP2019186661A (ja) | 水晶振動子 | |
JP6015010B2 (ja) | 振動素子、振動子、発振器および電子機器 | |
JP2012065000A (ja) | 圧電振動片、圧電振動子 | |
JP4704822B2 (ja) | 水晶振動子の電極構造 | |
JP2014072883A (ja) | 圧電デバイス | |
JPWO2016190090A1 (ja) | 圧電振動子 | |
CN109845103B (zh) | 压电振子 | |
WO2017061478A1 (ja) | 水晶片及び水晶振動子 | |
WO2017057137A1 (ja) | 水晶片及び水晶振動子 | |
JP7175081B2 (ja) | 圧電振動素子の製造方法及び集合基板 | |
JP2021057651A (ja) | ブランクを搭載する台座、振動子及び発振器 |