KR102114343B1 - 센싱 픽셀 및 이를 포함하는 이미지 센서 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 센싱 픽셀은 하나 이상의 플로팅 보디 트랜지스터를 포함하는 판단영역; 및 빛을 흡수하여 전자-정공 쌍을 형성하며, 상기 전자 또는 상기 정공을 상기 플로팅 보디 트랜지스터의 플로팅 보디 영역에 전달하고, 상기 트랜지스터의 플로팅 보디 영역과 인접하는 수광영역을 포함한다.

Description

센싱 픽셀 및 이를 포함하는 이미지 센서 {Sensing Pixel and Image Sensor including Thereof}
본 발명은 센싱 픽셀 및 이를 포함하는 이미지 센서에 관한 것으로, 구체적으로 플로팅 보디 트랜지스터를 구비하는 센싱 픽셀 및 이를 포함하는 이미지 센서에 관한 것이다.
이미지센서는 빛을 감지하여 전기적인 신호로 변환하는 광전 변환 소자이다. 일반적인 이미지센서는 반도체 기판 상에 행렬로 배열되는 복수개의 픽셀을 구비한다. 또한, 복수개의 픽셀에 포함된 트랜지스터들은 광전하의 전하량에 따른 전기적인 신호를 출력한다.
CMOS(상보성 금속 산화물 반도체, Complimentary Metal Oxide Semiconductor) 이미지센서는 광 신호를 제어 또는 처리할 수 있는 제어소자를 사용하여 이미지를 구현할 수 있다. 제어소자는 CMOS 제조 기술을 이용하여 제조할 수 있으므로, CMOS 이미지센서는 그 제조 공정이 단순하다는 장점을 갖고, 나아가 여러 신호 처리소자와 함께 하나의 칩(chip)으로 제조할 수 있다는 장점을 갖고 있다.
CMOS 이미지 센서(CIS)에 대한 기술 개발에 따라서, 최근 높은 이미지 해상도와 높은 집적도를 위하여 픽셀의 사이즈를 줄이는 노력이 계속적으로 시도되고 있다. 최근에는, 하나의 픽셀에 플로팅 보디 영역을 가진 하나의 트랜지스터만을 사용하여 픽셀을 구현하는 기술이 개발되었다.
본 발명의 기술적 사상이 해결하려는 과제는 보다 높은 감도 및 필펙터(Fill Factor)를 갖는 이미지 센서를 및 그 동작 방법을 제공하는데 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 센싱 픽셀은, 하나 이상의 플로팅 보디 트랜지스터를 포함하는 판단영역; 및 빛을 흡수하여 전자-정공 쌍을 형성하며, 상기 전자 또는 상기 정공을 상기 플로팅 보디 트랜지스터의 플로팅 보디 영역에 전달하고, 상기 트랜지스터의 플로팅 보디 영역과 인접하는 수광영역을 포함한다.
바람직하게는, 상기 수광영역은, 제1 불순물 반도체로 구성되고, 상기 트랜지스터의 플로팅 보디 영역과 인접하는 제1 레이어; 제2 불순물 반도체로 구성되고, 상기 제1 레이어와 인접하는 제2 레이어; 제1 불순물 반도체로 구성되고, 상기 제2 레이어와 인접하는 제3 레이어를 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 제1 레이어와 상기 플로팅 보디 트랜지스터의 드레인이 연결되는 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 제3 레이어는 상기 하나 이상의 플로팅 보디 트랜지스터의 배열 방향에 수직 및 수평 방향으로 배치되고, 수직 방향으로 배치된 상기 제3 레이어는 비도전층을 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 플로팅 보디 트랜지스터는 PMOS이고, 상기 수광영역은 PNP접합을 포함하거나, 상기 플로팅 보디 트랜지스터는 NMOS이고, 상기 수광영역은 NPN접합을 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 수광영역은 상기 수광영역의 두께에 따라서 제1색, 제2색 또는 제3색을 구별하여 센싱하는 것을 특징으로 하는 센싱 픽셀.
바람직하게는, 상기 플로팅 보디 트랜지스터는 상기 전자 또는 상기 전공을 수신하여 상기 플로팅 보디 트랜지스터의 동작 전압의 변화를 통해서, 수광여부를 판단하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 센싱 픽셀은 상기 수광영역에서 빛을 흡수한 후, 상기 플로팅 보디 트랜지스터의 게이트에 인가되는 전압을 변경하여, 상기 수광영역에서 발생된 상기 전자 또는 상기 정공을 상기 플로팅 보디 트랜지스터에 전달하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 센싱 픽셀은 상기 수광영역에서 빛을 흡수한 후, 상기 플로팅 보디 영역과 인접하는 상기 수광영역의 제1 레이어에 인가되는 전압을 변경하여, 상기 수광영역에서 발생된 상기 전자 또는 상기 정공을 상기 플로팅 보디 트랜지스터에 전달하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 이미지 센서는 복수의 파장의 빛을 각각 흡수하는 복수의 센싱 픽셀을 포함하는 센싱 픽셀 어레이; 상기 센싱 픽셀 어레이의 각 행을 구동하는 구동 신호를 발생하는 로우 디코더; 상기 센싱 픽셀 어레이에서 출력되는 픽셀 신호들로부터 컬러 이미지를 생성하는 화상 처리부; 및 상기 로우 디코더와 상기 화상 처리부에 타이밍 신호 및 제어 신호를 제공하는 타이밍 발생 회로를 포함하고, 상기 센싱 픽셀은, 하나의 이상의 플로팅 보디 트랜지스터를 포함하는 판단영역; 및 빛을 흡수하여 전자-정공 쌍을 형성하며, 상기 전자 또는 상기 정공을 상기 플로팅 보디 트랜지스터의 플로팅 보디 영역에 전달하고, 상기 트랜지스터의 플로팅 보디 영역과 인접하는 수광영역을 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 수광영역은 상기 수광영역의 두께에 따라서 제1색, 제2색 또는 제3색을 구별하여 센싱하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 수광영역은, 제1 불순물 반도체로 구성되고, 상기 트랜지스터의 플로팅 보디 영역과 인접하는 제1 레이어; 제2 불순물 반도체로 구성되고, 상기 제1 레이어와 인접하는 제2 레이어; 제1 불순물 반도체로 구성되고, 상기 제2 레이어와 인접하는 제3 레이어를 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 제1 레이어와 상기 플로팅 보디 트랜지스터의 드레인이 연결되는 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 이미지 센서는 상기 수광영역에서 빛을 흡수한 후, 상기 플로팅 보디 트랜지스터의 게이트에 인가되는 전압을 변경하여, 상기 수광영역에서 발생된 상기 전자 또는 상기 정공을 상기 플로팅 보디 트랜지스터에 전달하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 플로팅 보디 트랜지스터는 PMOS이고, 상기 수광영역은 PNP접합을 포함하거나, 상기 플로팅 보디 트랜지스터는 NMOS이고, 상기 수광영역은 NPN접합을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 이미지 센서 및 그 동작 방법은 수광부를 넓게 구비하여 높은 감도 및 필펙터를 가질 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이미지 센서의 센싱 픽셀(100)의 구조를 보여주는 단면도이다.
도 2은 본 발명의 일 실시예에 따른 이미지 센서의 단위 센싱 픽셀(1000)의 평면도이다.
도 3은 본 발명의 서브픽셀 센서의 플로팅 보디 트랜지스터 어레이(1100)를 보여주는 도면이다.
도 4은 본 발명의 일 실시예에 따른 이미지 센서의 블록도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 이미지 센서의 센싱 픽셀의 구조를 보여주는 단면도이다.
도 6는 본 발명의 일 실시예에 따른 ToF(Time of Flight) 이미지 센서의 센싱 픽셀의 구조를 보여주는 단면도이다.
도 7는 본 발명의 일 실시예에 따른 이미지 센서의 센싱 픽셀의 구조를 보여주는 단면도이다.
도 8는 본 발명의 일 실시예에 따른 이미지 센서의 센싱 픽셀의 구조를 보여주는 단면도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 이미지 센서의 센싱 픽셀의 구조를 보여주는 단면도이다.
도 10는 본 발명의 일 실시예에 따른 센싱 픽셀의 구조를 보여주는 단면도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 이미지 센서의 센싱 픽셀의 구조를 도시하는 단면도이다.
도 12은 본 발명의 일 실시예에 따른 이미지 센서의 센싱 픽셀의 구조를 도시하는 단면도이다.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 이미지 센서의 센싱 픽셀의 구조를 도시하는 단면도이다.
도 14은 본 발명의 기술적 사상에 의한 실시예들에 따른 이미지 센서를 포함하는 전자 시스템을 개략적으로 나타낸 블록도이다.
도 15은 본 발명의 센싱 픽셀을 포함하는 전자 시스템의 응용 예를 도시한 블록도이다.
도 16는 본 발명의 실시예들에 따른 센싱 픽셀을 포함하는 이미지 센서를 나타내는 블록도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대해 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예는 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용한다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하거나 축소하여 도시한 것이다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이미지 센서의 센싱 픽셀(100)의 구조를 보여주는 단면도이다.
도 1를 참조하면, 센싱 픽셀(100)는 판단영역(110) 및 수광영역(150)을 포함할 수있다.
판단영역(110)은 드레인 영역(111), 소스 영역(112), 게이트 전극(113) 및 플로팅 보디 영역(114)을 포함하는 하나 이상의 플로팅 보디 트랜지스터(TR1)를 포함할 수 있다.
수광영역(150)은 제1 레이어(151), 제2 레이어(152) 및 제3 레이어(153)를 포함할 수 있다. 제1 레이어(151)는 N형 반도체로 구성되고 트랜지스터(TR1)의 플로팅 보디 영역(114)과 인접할 수 있다. 제2 레이어(152)는 P형 반도체로 구성되고 제1 레이어(151)와 인접할 수 있다. 제3 레이어(153)는 N형 반도체로 구성되고 제2 레이어와 인접할 수 있다.
수광영역(150)의 제1 레이어는 판단영역(110)의 하부에 인접할 수 있다. 수광영역(150)의 제1 레이어, 제2 레이어, 제3 레이어는 판단영역(110)의 하부에 순서대로 배치될 수 있다.
게이트 전극(113)은 투명한 금속, 예컨대 ITO(indium tin oxide)이거나 또는 폴리실리콘일 수 있다. 드레인 영역(111), 소스 영역(112), 제1 레이어(151), 제3 레이어(153)는 N형 반도체일 수 있다. 또한, 플로팅 보디 영역(114), 제2 레이어(152)는 P형 반도체 일 수 있다.
플로팅 보디 트랜지스터(TR1)에서 빛을 센싱하는 과정을 도 1 및 표 1을 참조하여 설명한다.
[표 1]
Figure 112013101292519-pat00001
수광(Integration) 단계는 수광영역(150)에서 이미지 센서에 조사되는 광에 의해 형성되는 전자-정공 쌍을 수집하는 단계이다. 수광 단계에서 드레인 전압(V_D), 게이트 전압(V_SL), 소스 전압(V_O), 제1 레이어(151)에 인가되는 전압(V_TX)를 논리 하이(High)로 설정할 수 있다. 수광영역에 광이 조사되면, 수광영역의 두께에 따라서 특정한 파장을 가진 광에 의하여 전자-정공 쌍이 형성된다. 수광영역 중에서도 특히 제2 레이어(152)의 두께에 따른 영향이 크다.
전달(Transfer) 단계는 수광영역(150)에서 판단영역(110)으로 정공을 이동 시키는 단계이다. 전달 단계에서 드레인 전압(V_D) 및 소스 전압(V_O)은 논리 하이(High)로 설정되고, 게이트 전압(V_SL)는 논리 로우(Low)로 설정되고, 제1 레이어(151)에 인가되는 전압(V_TX)는 논리 로우(Low) 또는 논리 미디엄(Medium)으로 설정될 수 있다. 수광 단계에서 수집된 정공들이 전압 기울기에 의하여 플로팅 보디 영역(114)내의 포켓(p_Pocket)으로 이동한다.
독출(Read) 단계는 전달 단계에서 플로팅 보디 영역(114)으로 정공들이 전달되었는지 여부를 판단하는 단계이다. 독출 단계에서 드레인 전압(V_D) 및 제1 레이어(151)에 인가되는 전압(V_TX)은 논리 하이(High)로 설정되고, 게이트 전압(V_SL)은 논리 미디엄(Medium)으로 설정된다. 소스 전압(V_O)의 크기에 따라서 정공이 포켓(p_Pocket)으로 이동되었는지 여부를 판단할 수 있다.
리셋(Reset) 단계는 플로팅 보디 영역(114) 및 수광영역(150)에 축적된 전자 또는 전공을 제거하는 단계이다. 리셋 단계에서 드레인 전압(V_D), 소스 전압(V_O), 게이트 전압(V_SL)은 논리 하이(High)로 설정되고, 제1 레이어(151)에 인가되는 전압(V_TX)는 논리 로우(Low) 또는 논리 미디엄(Medium)으로 설정될 수 있다. 또한, 제2 레이어(152)에 인가되는 전압은 그라운드 될 수 있다. 리셋 단계에서 플로팅 보디 영역(114) 및 수광영역(150)은 리셋 되고, 이미지 센서는 수광 단계를 준비한다.
본 발명에 따른 센싱 픽셀은 빛을 흡수하는 수광영역과 빛의 수광 여부를 판단하는 판단영역을 구분하여 형성하므로, 수광영역을 넓게 형성하여, 빛에 대한 센싱픽셀의 감도(Sensitivity) 및 필 펙터(Fill Factor)를 높일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 센싱 픽셀은 게이트 전압(V_SL)을 복수의 레벨로 각각 인가하고, 각각의 레벨에 대응하여 소스와 드레인 단자 간의 전류의 크기 또는 소스 및 드레인 단자의 전압을 측정하고, 수광영역(150)에서 측정된 빛의 양에 의하여 멀티비트(Multi Bit) 신호를 출력하도록 구현할 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 이미지 센서의 단위 센싱 픽셀(1000)의 평면도이다.
단위 센싱 픽셀(1000)은 하나 이상의 서브 픽셀(R, G, B)을 포함할 수 있다. 서브 픽셀은 각각 다른 파장의 빛을 검출한다. 예를 들어, 서브 픽셀은 레드픽셀(R), 그린 픽셀(G), 블루 픽셀(B)일 수 있다.
서브픽셀 상에는 각각 검출하고자 하는 광 파장을 선택적으로 흡수할 수 있는 수광영역이 형성될 수 있다. 또한, 광 파장을 선택 할 수 있는 수광영역 상에는 집광렌즈인 마이크로 렌즈가 더 설치될 수 있다. 복수의 단위 센싱 픽셀(1000)들은 어레이 형태로 배열되어 픽셀 어레이를 형성할 수 있다.
각 서브픽셀(R, G, B)에는 적어도 하나 이상의 플로팅 보디 트랜지스터(TR1)와 플로팅 보디 트랜지스터(TR1)를 어레이 형태로 연결하는 배선이 형성될 수 있다. 각각의 플로팅 보디 트랜지스터(TR1)는 그 위에 조사된 광의 세기를 디지털 정보로 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 센싱 픽셀은 수광영역을 플로팅 보디 트랜지스터와는 별도로 구비할 수 있다. 수광영역은 빛을 흡수하여 전자-정공 쌍을 형성하며, 전자 또는 정공을 플로팅 보디 트랜지스터의 플로팅 보디 영역에 전달할 수 있다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 센싱 픽셀은 수광영역을 넓게 형성하여, 빛에 대한 센싱픽셀의 감도(Sensitivity) 및 필펙터(Fill Factor)를 높일 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 센싱 픽셀은 수광영역의 두께에 따라서 수광영역에서 센싱하는 광 파장을 다르게 할 수 있다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 센싱 픽셀은 수광영역을 활용하여 별도의 컬러 필터 없이 광 파장을 선택할 수 있다.
도 3은 본 발명의 서브픽셀 센서의 플로팅 보디 트랜지스터 어레이(1100)를 보여주는 도면이다.
도 3을 참조하면, 플로팅 보디 트랜지스터 어레이(1100)는 플로팅 보디 트랜지스터(TR1)를 어레이 형태로 포함하고 있다. 플로팅 보디 트랜지스터 어레이(1100)는 도 1의 각각의 서브 픽셀(R, G, B)에 포함될 수 있다.
로우 라인(Row Line)은 하나의 로우에 속하는 플로팅 보디 트랜지스터(TR1)의 드레인 영역들(D)과 연결되며, 소스영역들(S)은 컬럼 라인(Column Line)과 연결되어 있다. 그리고 게이트 라인(Gate Line)은 로우 라인과 평행하게 배치되어 있다. 따라서, 컬럼 라인은 로우 라인과 교차되는 셀을 어드레스할 수 있으며, 또한, 컬럼 라인은 게이트 라인과도 하나의 셀을 어드레스할 수 있다.
다음은 본 발명의 이미지 센서에서 각 셀의 이미지 정보를 읽는 방법을 설명한다.
먼저, 하나의 로우 라인을 선택하여 소정의 전압, 예컨대 0.1 V 전압을 인가한다. 그리고, 컬럼 라인들을 스캐닝하여 전류가 흐르는 컬럼 라인을 검출한다. 컬럼라인에서 전류가 흐르면, 로우 라인과 컬럼 라인이 교차하는 셀은 상태 "1"로 읽힐 수 있으며, 전류가 흐르지 않는 셀은 상태 "0"으로 읽힌다. 이러한 과정을 반복하면, 서브픽셀에 속한 모든 셀에 대한 정보를 읽을 수 있다.
한편, 컬럼 라인들과 연결된 산출부(1200)는, 입력된 정보인 "1"을 합한 수를 산출하고, 이 합한 수를 전체 셀의 수로 나누어서, 해당 서브 픽셀 영역에서의 광의 세기를 산출할 수 있다.
도 4은 본 발명의 일 실시예에 따른 이미지 센서의 블록도이다.
도 4을 참조하면, 이미지 센서(10)는 타이밍 컨트롤러(20), 로우 디코더(30), 픽셀 어레이(40), 아날로그 디지털 변환기(60, ADC: Analog to Digital Converter), 메모리(70) 및 이미지 시그널 프로세서(80, Image Signal Processor)를 포함한다.
이미지 센서(10)는 광 신호를 전기 신호로 변환하여 출력한다. 타이밍 컨트롤러(20)는 이미지 센서(10)의 동작 타이밍을 제어한다. 예컨대, 타이밍 컨트롤러(20)는 이미지 센서(10)의 게이트 제어신호를 통해 집광 시간을 제어할 수 있다.
로우 디코더(30)는 타이밍 컨트롤러(20)로부터 제공되는 로우 어드레스(row address)에 응답하여 픽셀 어레이(40)의 복수의 로우(Row)들 중에서 어느 하나의 로우에 대한 동작(출력) 타이밍을 제어한다.
픽셀 어레이(40)는 본 발명의 일 실시예에 따른 복수의 단위 센싱 픽셀들(1000)을 포함할 수 있다. 따라서, 이미지 센서(10)의 센싱 픽셀은 빛을 흡수하는 수광영역과 빛의 흡수 여부를 판단하는 판단영역을 구분하여 형성하므로, 수광영역을 넓게 형성하여, 빛에 대한 센싱픽셀의 감도(Sensitivity) 및 필 펙터(Fill Factor)를 높일 수 있다.
ADC(60)는 픽셀 어레이(40)에서 출력되는 아날로그 신호를 디지털 신호로 변환한다. 메모리(70)는 버퍼 메모리(Buffer memory) 또는 프레임 메모리(Frame memory)라 칭할 수 있다. 메모리(70)는 디지털 변환된 신호를 프레임 단위로 저장할 수 있다.
이미지 시그널 프로세서(80)는 메모리(70)에 저장된 디지털 형태의 이미지 신호를 이용하여 필요한 신호 처리를 수행한다. 신호 처리에는 색 보간(Color interpolation), 색 보정(Color correction), 자동 백색 보정(Auto white balance), 감마 보정(Gamma correction), 색 포화 보정(Color saturation correction), 포맷 변환(Formatting), 불량 픽셀 보정(Bad Pixel Correction), 색도 보정(Hue correction) 등의 과정이 포함될 수 있다.
이때, ADC(60)는 CDS(Correlated Double Sampling) 방식의 적용에 따라 아날로그 CDS, 디지털 CDS 또는 듀얼CDS(Dual CDS) 방식별로 그 구조가 변경될 수 있다. 또한, ADC(60)는 이미지 센서(10)의 컬럼 별로 배치되는 컬럼 ADC(Column ADC) 또는 하나의 ADC가 배치되는 싱글 ADC(Single ADC)로 구현될 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 이미지 센서의 센싱 픽셀(200)의 구조를 보여주는 단면도이다.
도 5를 참조하면, 센싱 픽셀(200)는 판단영역(210) 및 수광영역(250)을 포함할 수있다.
판단영역(210)은 드레인 영역(211), 소스 영역(212), 게이트 전극(213) 및 플로팅 보디 영역(214)을 포함하는 하나 이상의 플로팅 보디 트랜지스터(TR2)를 포함할 수 있다.
수광영역(250)은 제1 레이어(251), 제2 레이어(252) 및 제3 레이어(253)를 포함할 수 있다. 제1 레이어(251), 제2 레이어(252)는 도 1의 제1 레이어(151) 및 제2 레이어(152)와 유사하게 구성될 수 있다.
제3 레이어(253)는 비도전층(254)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 제3 레이어(253)은 FDTI(Front Deep Trench Isolation), BDTI(Back Deep Trench Isolation)와 같은 비도전층(254)를 포함할 수 있다. 따라서, 비도전층(254)는 픽셀과 픽셀 간의 크로스 토크(Cross Talk)를 방지할 수 있다. 또한, 제3 레이어(253)는 p-웰(WELL) 또는 n-웰(WELL)을 포함하여 크로스 토크(Cross Talk)를 방지할 수 있다.
도 6는 본 발명의 일 실시예에 따른 ToF(Time of Flight) 이미지 센서의 센싱 픽셀(300)의 구조를 보여주는 단면도이다.
도 6를 참조하면, ToF 센싱 픽셀(300)는 판단영역(310) 및 수광영역(350)을 포함할 수있다.
판단영역(310)은 제1 플로팅 보디 트랜지스터(TR3_1) 및 제2 플로팅 보디 트랜지스터(TR3_2)를 포함할 수 있다. 제1 플로팅 보디 트랜지스터(TR3_1)은 드레인 영역(311), 소스 영역(312), 게이트 전극(313) 및 플로팅 보디 영역(314)을 포함할 수 있다. 제2 플로팅 보디 트랜지스터(TR3_2)은 드레인 영역(316), 소스 영역(317), 게이트 전극(318) 및 플로팅 보디 영역(319)을 포함할 수 있다.
수광영역(350)은 제1 레이어(351), 제2 레이어(352) 및 제3 레이어(353)를 포함할 수 있다. 제1 레이어(351), 제2 레이어(352)는 도 1의 제1 레이어(151) 및 제2 레이어(152)와 유사하게 구성될 수 있다.
수광영역(350)의 제3 레이어는 도 1의 수광영역(150)의 제 3 레이어 또는 도 5의 수광영역(250)의 제 3 레이어와 동일하게 구성될 수 있다. 구체적으로, 수광영역(350)은 도 6에 도시된 바와 같이, 도 5의 수광영역(250)과 같이 비도전층을 포함할 수 있다. 또한, 수광영역(350)은 도 1의 수광영역(150)과 유사하게 비도전층을 포함하지 않을 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른, ToF 이미지 센서의 센싱 픽셀(300)의 판단영역(310)은 한 쌍(pair) 이상의 플로팅 보디 트랜지스터를 포함하여, 각각 상이한 위상차의 신호를 수신하여, 이미지 센서에서 피사체까지의 거리를 측정할 수 있다.
구체적으로, 제1 플로팅 보디 트랜지스터(TR3_1) 및 제2 플로팅 보디 트랜지스터(TR3_2)는 광원에서 조사되어 피사체에서 반사되는 각각 상이한 위상의 광 신호를 통하여 피사체까지의 거리를 측정할 수 있다.
예를 들어, 판단영역(310)에 포함된 제1 플로팅 보디 트랜지스터(TR3_1)에서 광원과 동일한 위상의 광 신호를 센싱하고, 판단영역(310)에 포함된 제2 플로팅 보디 트랜지스터(TR3_2)는 광원과 180도 위상차이를 가지는 광 신호를 센싱하여 피사체까지의 거리를 측정할 수 있다. 즉, 본 발명의 특징은 ToF 이미지 센서에도 적용이 가능하다.
도 7는 본 발명의 일 실시예에 따른 이미지 센서의 센싱 픽셀(400)의 구조를 보여주는 단면도이다.
도 7를 참조하면, 센싱 픽셀(400)는 판단영역(410) 및 수광영역(450)을 포함할 수있다.
판단영역(410)은 하나 이상의 플로팅 보디 트랜지스터(TR4_1, TR4_2, TR4_3, TR4_4)를 포함할 수 있다. 각각의 플로팅 보디 트랜지스터들(TR4_1, TR4_2, TR4_3, TR4_4)은 도 1의 플로팅 보디 트랜지스터와 같이, 드레인 영역, 소스 영역, 게이트 전극 및 플로팅 보디 영역을 포함할 수 있다.
수광영역(450)은 도 6의 수광영역(350)과 동일하게 구성될 수 있다. 즉, 수광영역(450)은 도 5에 도시된 바와 같이 비도전층을 포함할 수 있다. 또한, 수광영역(450)은 도 1의 수광영역(150)과 같이 비도전층을 포함하지 않을 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 이미지 센서의 센싱 픽셀(400)은 하나의 수광영역(450)에 대응하는 복수의 플로팅 보디 트랜지스터를 구비하여, 수광영역을 상대적으로 보다 넓게 형성하여, 빛에 대한 센싱픽셀의 감도(Sensitivity) 및 필 펙터(Fill Factor)를 높일 수 있다.
도 8는 본 발명의 일 실시예에 따른 이미지 센서의 센싱 픽셀(500)의 구조를 보여주는 단면도이다.
도 8를 참조하면, 센싱 픽셀(500)는 판단영역(510) 및 수광영역(550)을 포함할 수있다.
판단영역(510)은 드레인 영역(511), 소스 영역(512), 게이트 전극(513) 및 플로팅 보디 영역(514)을 포함하는 하나 이상의 플로팅 보디 트랜지스터(TR5)를 포함할 수 있다.
수광영역(550)은 제1 레이어(551), 제2 레이어(552) 및 제3 레이어(553)를 포함할 수 있다. 제2 레이어(552)는 도 1의 제2 레이어(152)와 유사하게 구성될 수 있다.
수광영역(550)의 제1 레이어는 플로팅 보디 트랜지스터 (TR5)의 드레인 영역(511)와 인접하고 전기적으로 연결될 수 있다. 예를 들어, 수광 영역(550)의 제1 레이어(551)는 트랜지스터(TR5)의 드레인 영역(511)의 하부와 연결되어, 제1 레이어(551) 및 드레인 영역(511)에는 동일한 전압이 인가될 수 있다.
수광영역(550)의 제3 레이어는 도 8에 도시된 바와 같이, 도 5의 수광영역(250)과 같이 비도전층을 포함할 수 있다. 또한, 수광영역(550)은 도 1의 수광영역(150)과 유사하게 비도전층을 포함하지 않을 수 있다.
드레인 영역(511), 소스 영역(512), 제1 레이어(551), 제3 레이어(553)는 N형 반도체일 수 있다. 또한, 플로팅 보디 영역(514), 제2 레이어(552)는 P형 반도체 일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 이미지 센서의 센싱 픽셀(500)은 플로팅 보디 트랜지스터(TR5)의 드레인 영역(511)과 수광영역(550)의 제1 레이어(551)와 전기적으로 연결되어 간단하게 설계할 수 있다.
플로팅 보디 트랜지스터(TR5)에 정보를 기록하는 과정을 도 8 및 표 2을 참조하여 설명한다.
[표 2]
Figure 112013101292519-pat00002
수광 단계에서 드레인 전압(V_D), 게이트 전압(V_SL), 소스 전압(V_O)를 논리 하이(High)로 설정될 수 있다. 수광영역에 광이 조사되면, 제2 레이어(552)의 두께에 따라서 특정한 파장을 가진 광에 의하여 전자-정공 쌍이 형성된다.
전달 단계에서 드레인 전압(V_D)은 논리 하이(High)로 설정되고, 게이트 전압(V_SL)는 논리 로우(Low)로 설정될 수 있다. 수광 단계에서 수집된 정공들이 전압 기울기에 의하여 플로팅 보디(514) 영역 내의 포켓(p_Pocket)으로 이동한다.
독출 단계에서 드레인 전압(V_D) 논리 하이(High)로 설정되고, 게이트 전압(V_SL)는 논리 미디엄(Medium)으로 설정된다. 소스 전압(V_O)의 크기에 따라서 정공이 포켓(p_Pocket)으로 이동되었는지 여부를 판단할 수 있다.
리셋 단계에서 드레인 전압(V_D), 소스 전압(V_O), 게이트 전압(V_SL)은 논리 하이(High)로 설정 될 수 있다. 또한, 제2 레이어(152)에 인가되는 전압은 그라운드 될 수 있다. 리셋 단계에서 플로팅 보디 영역(514) 및 수광영역(550)은 리셋 되고, 이미지 센서는 수광 단계를 준비한다.
즉, 본 발명의 일 실시예에 따른 이미지 센서의 센싱 픽셀(500)은 플로팅 보디 트랜지스터(TR5)의 드레인 영역(511)과 수광영역(550)의 제1 레이어(551)와 전기적으로 연결되어, 수광영역(550)의 제1 레이어(551)과 연결되는 전극을 구비하지 않아도 되므로, 간단하게 작동 시킬 수 있다.
또한, 도 9에 도시된 이미지 센서의 센싱 픽셀(600)과 같이, 플로팅 보디 트랜지스터(TR6_1, TR6_2, TR6_3, TR6_4)의 드레인 영역과 수광영역의 제1 레이어(651)와 전기적으로 연결하면서, 하나의 수광영역에 대응하는 복수의 플로팅 보디 트랜지스터를 구비하여, 수광영역을 상대적으로 보다 넓게 형성하여, 빛에 대한 센싱픽셀의 감도(Sensitivity) 및 필 펙터(Fill Factor)를 높일 수 있다.
도 10는 본 발명의 일 실시예에 따른 센싱 픽셀(700)의 구조를 보여주는 단면도이다.
도 10을 참조하면, 센싱 픽셀(700)는 판단영역(710) 및 수광영역(750)을 포함할 수있다.
판단영역(710)에 포함되는 플로팅 보디 트랜지스터(TR7)의 드레인 영역(711), 소스 영역(712)은 P형 반도체일 수 있다. 플로팅 보디 트랜지스터(TR7)의 게이트 전극(713) 및 플로팅 보디 영역(714)을 N형 반도체일 수 있다.
수광영역(750)은 제1 레이어(751), 제2 레이어(752) 및 제3 레이어(753)를 포함할 수 있다. 제1 레이어(751) P형 반도체로 구성되고 플로팅 보디 트랜지스터 (TR7)의 플로팅 보디 영역(714)과 인접할 수 있다. 제2 레이어(752)는 N형 반도체로 구성되고 제1 레이어(751)와 인접할 수 있다. 제3 레이어(753)는 P형 반도체로 구성되고 제2 레이어와 인접할 수 있다.
플로팅 보디 트랜지스터(TR7)에 정보를 기록하는 과정은 플로팅 보디 트랜지스터(TR1)에 정보를 기록하는 과정과 유사하다. 표 3을 참조하여 설명한다.
[표 3]
Figure 112013101292519-pat00003
수광 단계에서 드레인 전압(V_D), 게이트 전압(V_SL), 소스 전압(V_O), 제1 레이어(751)에 인가되는 전압(V_TX)를 논리 로우(Low)로 설정할 수 있다. 수광영역에 광이 조사되면, 제2 레이어(752)의 두께에 따라서 특정한 파장을 가진 광에 의하여 전자-정공 쌍이 형성된다.
전달 단계에서 드레인 전압(V_D) 및 소스 전압(V_O)은 논리 로우(Low)로 설정되고, 게이트 전압(V_SL)는 논리 하이(High)로 설정되고, 제1 레이어(751)에 인가되는 전압(V_TX)는 논리 로우(Low) 또는 논리 미디엄(Medium)으로 설정될 수 있다. 수광 단계에서 수집된 전자들이 전압 기울기에 의하여 플로팅 보디 영역(714) 내의 포켓(n-Pocket)으로 이동한다. 독출 단계에서 드레인 전압(V_D) 및 제1 레이어(751)에 인가되는 전압(V_TX)은 논리 로우(Low)로 설정되고, 게이트 전압(V_SL)는 논리 미디엄(Medium)으로 설정된다. 소스 전압(V_O)의 크기에 따라서 전자가 포켓(n-Pocket)으로 이동되었는지 여부를 판단할 수 있다.
리셋 단계에서 드레인 전압(V_D), 소스 전압(V_O), 게이트 전압(V_SL)은 논리 로우(Low)로 설정되고, 제1 레이어(751)에 인가되는 전압(V_TX)는 논리 로우(Low) 또는 논리 미디엄(Medium)으로 설정될 수 있다. 또한, 제2 레이어(752)에 인가되는 전압은 그라운드 될 수 있다.
본 발명에 따른 센싱 픽셀은 빛을 흡수하는 PNP접합의 수광영역 및 전자의 이동을 통하여 빛의 흡수 여부를 판단하는 PMOS를 포함하는 판단영역을 구분하여 형성할 수 있고, 따라서, 수광영역을 넓게 형성하여, 빛에 대한 센싱픽셀의 감도(Sensitivity) 및 필 펙터(Fill Factor)를 높일 수 있다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 이미지 센서의 센싱 픽셀(800)의 구조를 도시하는 단면도이다.
도 11를 참조하면, 센싱 픽셀(800)는 판단영역(810) 및 수광영역(850)을 포함할 수 있다.
판단영역(810)은 도 7의 판단영역(410)과 유사하게, 플로팅 보디 트랜지스터들(TR8_1, TR8_2, TR8_3, TR8_4)을 포함할 수 있다. 다만, 도 11에 도시된 바와 같이 플로팅 보디 트랜지스터들(TR8_1, TR8_2, TR8_3, TR8_4)은 PMOS일 수 있다. 이에 따라서, 수광영역(850)은 제1 레이어(851) 내지 제3 레이어(853)의 PNP 접합으로 구성할 수 있다.
도 12은 본 발명의 일 실시예에 따른 이미지 센서의 센싱 픽셀(900)의 구조를 도시하는 단면도이다.
도 12를 참조하면, 센싱 픽셀(900)는 판단영역(910) 및 수광영역(950)을 포함할 수 있다.
플로팅 보디 트랜지스터들(TR9)의 드레인 영역은, 도 8의 플로팅 보디 트랜지스터들(TR5)의 드레인 영역과 유사하게, 수광영역(950)의 제1 레이어와 전기적으로 연결되어 있다. 다만, 도 12에 도시된 바와 같이 플로팅 보디 트랜지스터들(TR9)은 PMOS일 수 있다. 이에 따라서, 수광영역(950)은 PNP 접합으로 구성할 수 있다.
[표 4]
Figure 112013101292519-pat00004
표 4을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이미지 센서의 센싱 픽셀(900)은 도 8의 경우와 유사하게, 플로팅 보디 트랜지스터(TR9)의 드레인 영역(911)과 수광영역(950)의 제1 레이어(951)와 전기적으로 연결되어, 수광영역(950)의 제1 레이어(951)과 연결되는 전극을 구비하지 않아도 되므로, 간단하게 작동 시킬 수 있다.
도 13에 도시된 이미지 센서의 센싱 픽셀(1000)과 같이, 플로팅 보디 트랜지스터(TR10_1, TR10_2, TR10_3, TR10_4)의 드레인 영역과 수광영역의 제1 레이어(1051)와 전기적으로 연결하면서, 하나의 수광영역에 대응하는 복수의 플로팅 보디 트랜지스터를 구비하여, 수광영역을 상대적으로 보다 넓게 형성하여, 빛에 대한 센싱픽셀의 감도(Sensitivity) 및 필 펙터(Fill Factor)를 높일 수 있다.
도 14은 본 발명의 기술적 사상에 의한 실시예들에 따른 이미지 센서를 포함하는 전자 시스템(3000)을 개략적으로 나타낸 블록도이다.
도 14을 참조하면, 전자 시스템(3000)은 CMOS 이미지 센서(3100), 프로세서(3200), 입출력 장치(3300), 메모리(3400), 플로피 디스크 드라이브(3500) 및 CD ROM 드라이브(3600)를 포함한다. 이들은 버스(3700)를 통해 상호 통신 가능하다. 상기 전자 시스템(3000)에서는 CMOS 이미지 센서(3100)의 출력 이미지를 처리한다.
CMOS 이미지 센서(3100)는 도 1 내지 도 13를 참조하여 설명한 본 발명의 기술적 사상에 의한 실시예들에 따른 센싱 픽셀(100) 내지 센싱 픽셀(1000) 중 적어도 하나를 포함하는 이미지 센서를 포함할 수 있다.
전자 시스템(3000)은 휴대폰 통신용 단말기, 컴퓨터 시스템, 카메라 시스템, 스캐너, 이미지 안전화 시스템 등을 구성할 수 있다. CMOS 이미지 센서(3100)는 프로세서(3200), 또는 전자 시스템(3000)의 다른 장치로부터 제어 신호 또는 데이터를 받을 수 있다. CMOS 이미지 센서(3100)는 수신한 제어 신호 또는 데이터에 기초하여 이미지를 정의하는 신호를 프로세서(3200)로 제공할 수 있으며, 프로세서(3200)는 CMOS 이미지 센서(3100)로부터 받은 신호를 처리할 수 있다.
프로세서(3200)는 프로그램을 실행하고, 전자 시스템(3000)을 제어하는 역할을 할 수 있다. 일부 실시예들에서, 프로세서(3200)는 마이크로프로세서 (microprocessor), 디지털 신호 처리기 (digital signal processor), 마이크로컨트롤러 (microcontroller), 또는 이와 유사한 장치로 구성될 수 있다.
입출력 장치(3300)는 전자 시스템(3000)의 데이터를 입력 또는 출력하는데 이용될 수 있다. 전자 시스템(3000)은 입출력 장치(3300)를 이용하여 외부 장치, 예컨대 개인용 컴퓨터 또는 네트워크에 연결되어, 외부 장치와 서로 데이터를 교환할 수 있다. 입출력 장치(3300)는, 예를 들면 키패드 (keypad), 키보드 (keyboard) 또는 표시 장치 (display)일 수 있다.
메모리(3400)는 프로세서(3200)의 동작을 위한 코드 및/또는 데이터를 저장하거나, 프로세서(3200)에서 처리된 데이터를 저장할 수 있다. 포트(3800)는 비디오 카드, 사운드 카드, 메모리 카드, USB 소자 등과 연결되거나, 다른 시스템과 데이터를 통신할 수 있다.
도 15은 본 발명의 센싱 픽셀을 포함하는 전자 시스템의 응용 예를 도시한 블록도이다.
도 15를 참조하면, 전자 시스템(4000)은 입력 장치(4100), 출력 장치(4200), 프로세서 장치(4300) 및 메모리 장치(4400)를 포함할 수 있다. 프로세서 장치(4300)는 각각 해당하는 인터페이스를 통해서 입력 장치(4100), 출력 장치(4200) 그리고 메모리 장치(4400)를 제어할 수 있다.
전자 시스템(4000)은 비디오 카드, 사운드 카드, 메모리 카드, USB 장치 등과 통신하거나, 다른 시스템과 통신할 수 있는 포트를 더 포함할 수 있다. 예를 들어, 전자 시스템(4000)은 컴퓨터 시스템, 카메라 시스템, 스캐너, 차량용 네비게이션, 비디오 폰, 감시 시스템, 자동 포커스 시스템, 추적 시스템, 동작 감지 시스템, 이미지 안정화 시스템, 또는 이 외의 이미지 센서를 이용하는 시스템일 수 있다.
입력 장치(4100)는 도 1 내지 도 13를 참조하여 설명한 본 발명의 기술적 사상에 의한 실시예들에 따른 센싱 픽셀(100) 내지 단위 센싱 픽셀(1000) 중 적어도 하나를 포함하는 이미지 센서(4500)를 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 이미지 센서(4500)는 마이크로프로세서, 중앙 처리 장치, 디지털 신호 처리기 등과 같은 프로세서 장치(4300)와 함께 집적될 수 있고, 메모리 장치(4400)가 함께 집적될 수도 있다. 이미지 센서(4500)는 통신 링크를 통해서 프로세서 장치(4300)와 통신할 수 있다.
프로세서 장치(4300)는 적어도 하나의 마이크로 프로세서, 디지털 신호 프로세서, 마이크로 콘트롤러, 그리고 이들과 유사한 기능을 수행할 수 있는 논리 소자들 중에서 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다. 입력 장치(4100)와 출력 장치(4200)는 데이터를 입출력 할 수 있는 적어도 하나의 장치를 포함할 수 있다.
도 16는 본 발명의 실시예들에 따른 센싱 픽셀을 포함하는 이미지 센서를 나타내는 블록도이다.
도 16를 참조하면, 이미지 센서(5000)는 픽셀 어레이(5100), 아날로그-디지털 변환(Analog-to-Digital Conversion; ADC)부(5200), 디지털 신호 처리(Digital Signal Processing; DSP)부(5300), 광원 모듈(5400) 및 제어부(5500)를 포함한다.
픽셀 어레이(5100)는 컬러 영상 정보를 제공하는 컬러 픽셀들 및 거리 정보를 제공하는 센싱 픽셀을 포함한다. 즉, 이미지 센서(5000)는 상기 컬러 영상 정보 및 상기 거리 정보를 제공하는 3차원 이미지 센서일 수 있다.
센싱 픽셀들은 도 6에서 설명한 센싱 픽셀(300)일 수 있다. 이에 따라, 컬러 포토다이오드들이 적외선(또는 근적외선)을 효율적으로 흡수하여 센싱 픽셀들의 양자 효율이 향상될 수 있다.
ADC부(620)는 픽셀 어레이(5100)로부터 출력되는 아날로그 신호를 디지털 신호로 변환할 수 있다. 실시예에 따라, ADC부(5200)는 각 컬럼 라인마다 연결된 아날로그-디지털 변환기를 이용하여 아날로그 신호들을 병렬로 변환하는 컬럼 ADC를 수행하거나, 단일한 아날로그-디지털 변환기를 이용하여 상기 아날로그 신호들을 순차적으로 변환하는 단일 ADC를 수행할 수 있다.
실시예에 따라, ADC부(5200)는 유효 신호 성분을 추출하기 위한 상관 이중 샘플링(Correlated Double Sampling; CDS)부를 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 상기 CDS부는 리셋 성분을 나타내는 아날로그 리셋 신호와 신호 성분을 나타내는 아날로그 데이터 신호의 차이에 기초하여 상기 유효 신호 성분을 추출하는 아날로그 더블 샘플링(Analog Double Sampling)을 수행할 수 있다. 다른 실시예에서, 상기 CDS부는 상기 아날로그 리셋 신호와 상기 아날로그 데이터 신호를 디지털 신호들로 각각 변환한 후 상기 유효 신호 성분으로서 두 개의 디지털 신호의 차이를 추출하는 디지털 더블 샘플링(Digital Double Sampling)을 수행할 수 있다. 또 다른 실시예에서, 상기 CDS부는 상기 아날로그 더블 샘플링 및 상기 디지털 더블 샘플링을 모두 수행하는 듀얼 상관 이중 샘플링을 수행할 수 있다.
DSP부(5300)는 ADC부(5200)로부터 출력된 디지털 이미지 신호를 수신하고, 상기 디지털 이미지 신호에 대하여 이미지 데이터 처리를 수행할 수 있다. 예를 들어, DSP부(5300)는 이미지 보간(Image Interpolation), 색 보정(Color Correction), 화이트 밸런스(White Balance), 감마 보정(Gamma Correction), 색 변환(Color Conversion) 등을 수행할 수 있다. 한편, 도 17에는 DSP부(5300)가 이미지 센서(5000)에 포함된 예가 도시되어 있으나, 실시예에 따라, DSP부(5300)는 이미지 센서(5000)의 외부에 위치할 수 있다.
광원 모듈(5400)은 소정의 파장을 가진 변조 광(ML)(예를 들어, 적외선 또는 근적외선)을 방출할 수 있다. 광원 모듈(5400)은 광원(5410) 및 렌즈(5430)를 포함할 수 있다. 광원(5410)은 제어부(5500)에 의해 세기가 주기적으로 변하도록 변조된 변조 광(ML)을 출력할 수 있다. 광원 모듈(5400)에서 방출된 변조 광(ML)은 피사체(5600)에서 반사되고, 수신 광(RL)으로서 픽셀 어레이(5100)에 입사될 수 있다. 픽셀 어레이(5100)에 포함된 센싱 픽셀들은 수신 광(RL)에 기초하여 거리 정보를 제공할 수 있다.
예를 들어, 변조 광(ML)의 세기는 연속적인 펄스들을 가지는 펄스 파, 사인 파, 코사인 파 등과 같은 형태를 가지도록 변조될 수 있다. 실시예에 따라, 광원(5410)은 발광 다이오드(light emitting diode, LED), 레이저 다이오드 등으로 구현될 수 있다. 렌즈(5430)는 광원(5410)에서 방출된 변조 광(ML)을 피사체(5600)에 집중시킬 수 있다. 실시예에 따라, 렌즈(5430)는 변조 광(ML)의 확산각을 조절할 수 있다. 예를 들어, 광원(5410)과 렌즈(5430)의 간격이 제어부(5500)에 의해 제어되어 변조 광(ML)의 확산각이 조절될 수 있다.
제어부(5500)는 픽셀 어레이(5100), ADC부(5200), DSP부(5300) 및 광원 모듈(5400)을 제어할 수 있다. 제어부(5500)는 픽셀 어레이(5100), ADC부(5200), DSP부(5300) 및 광원 모듈(5400)의 동작에 요구되는 클럭 신호, 타이밍 컨트롤 신호 등과 같은 제어 신호들을 공급할 수 있다. 일 실시예에서, 제어부(5500)는 로직 제어 회로, 위상 고정 루프(Phase Lock Loop; PLL) 회로, 타이밍 제어 회로 및 통신 인터페이스 회로 등을 포함할 수 있다.
이상에서와 같이 도면과 명세서에서 최적 실시예가 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.

Claims (10)

  1. 하나 이상의 플로팅 보디 트랜지스터를 포함하는 판단영역; 및
    빛을 흡수하여 전자-정공 쌍을 형성하며, 상기 전자 또는 상기 정공을 상기 플로팅 보디 트랜지스터의 플로팅 보디 영역에 전달하고, 상기 트랜지스터의 플로팅 보디 영역과 인접하는 수광영역을 포함하고,
    상기 플로팅 보디 트랜지스터는, p형의 플로팅 보디 영역, n형의 소스 및 드레인 영역을 포함하는 NMOS이고,
    상기 수광영역은, n형 반도체로 형성되고 상기 트랜지스터의 플로팅 보디 영역과 인접하는 제1 레이어, p형 반도체로 구성되고 상기 제1 레이어와 인접하는 제2 레이어, 및 n형 반도체로 형성되고 상기 제2 레이어와 인접하는 제3 레이어를 포함하는 NPN 접합 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 센싱 픽셀.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1 레이어와 상기 플로팅 보디 트랜지스터의 드레인이 연결되는 것을 특징으로 하는 센싱 픽셀.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제3 레이어는 상기 하나 이상의 플로팅 보디 트랜지스터의 배열 방향에 수직 및 수평 방향으로 배치되고, 수직 방향으로 배치된 상기 제3 레이어는 비도전층을 포함하는 것을 특징으로 하는 센싱 픽셀.
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서, 상기 수광영역은 상기 수광영역의 두께에 따라서 제1색, 제2색 또는 제3색을 구별하여 센싱하는 것을 특징으로 하는 센싱 픽셀.
  7. 제1항에 있어서, 상기 플로팅 보디 트랜지스터는 상기 전자 또는 상기 정공을 수신하여 상기 플로팅 보디 트랜지스터의 동작 전압의 변화를 통해서, 수광여부를 판단하는 것을 특징으로 하는 센싱 픽셀.
  8. 제1항에 있어서, 상기 센싱 픽셀은 상기 수광영역에서 빛을 흡수한 후, 상기 플로팅 보디 트랜지스터의 게이트에 인가되는 전압을 변경하여, 상기 수광영역에서 발생된 상기 전자 또는 상기 정공을 상기 플로팅 보디 트랜지스터에 전달하는 것을 특징으로 하는 센싱 픽셀.
  9. 제8항에 있어서, 상기 센싱 픽셀은
    상기 수광영역에서 빛을 흡수한 후, 상기 플로팅 보디 영역과 인접하는 상기 수광영역의 제1 레이어에 인가되는 전압을 변경하여, 상기 수광영역에서 발생된 상기 전자 또는 상기 정공을 상기 플로팅 보디 트랜지스터에 전달하는 것을 특징으로 하는 센싱 픽셀.
  10. 복수의 파장의 빛을 각각 흡수하는 복수의 센싱 픽셀을 포함하는 센싱 픽셀 어레이;
    상기 센싱 픽셀 어레이의 각 행을 구동하는 구동 신호를 발생하는 로우 디코더;
    상기 센싱 픽셀 어레이에서 출력되는 픽셀 신호들로부터 컬러 이미지를 생성하는 화상 처리부; 및
    상기 로우 디코더와 상기 화상 처리부에 타이밍 신호 및 제어 신호를 제공하는 타이밍 발생 회로를 포함하고,
    상기 센싱 픽셀은,
    하나의 이상의 플로팅 보디 트랜지스터를 포함하는 판단영역; 및
    빛을 흡수하여 전자-정공 쌍을 형성하며, 상기 전자 또는 상기 정공을 상기 플로팅 보디 트랜지스터의 플로팅 보디 영역에 전달하고, 상기 트랜지스터의 플로팅 보디 영역과 인접하는 수광영역을 포함하고,
    상기 플로팅 보디 트랜지스터는, p형의 플로팅 보디 영역, n형의 소스 및 드레인 영역을 포함하는 NMOS이고,
    상기 수광영역은, n형 반도체로 형성되고 상기 트랜지스터의 플로팅 보디 영역과 인접하는 제1 레이어, p형 반도체로 구성되고 상기 제1 레이어와 인접하는 제2 레이어, 및 n형 반도체로 형성되고 상기 제2 레이어와 인접하는 제3 레이어를 포함하는 NPN 접합 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 이미지 센서.

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