KR102112765B1 - 자동화 가스공급장치 - Google Patents

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KR102112765B1
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정근준
김상진
서철교
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주식회사 케이씨
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Abstract

본 발명은 연결배관 커넥터의 개스킷을 교체하는 경우, 새로운 개스킷을 개스킷 공급부에서 개스킷 전달부를 거쳐서 연결배관 커넥터에 전달하여 장착하는 과정에서 개스킷이 정확한 위치에 지지되어 이탈을 방지할 수 있도록 함과 아울러, 개스킷의 인수인계가 이루어지기 전에 개스킷이 정위치 상태로 지지되어 있는지 여부를 정확하게 확인하기 위한 수단을 구비한 자동화 가스공급장치를 제공함에 그 목적이 있다.
이를 구현하기 위한 본 발명은, 가스소요처에 연결되는 연결배관 커넥터를 지지하여 상기 밸브 커넥터에 연결하기 위한 커넥터 체결부; 복수의 개스킷이 적재되는 개스킷 공급부와, 상기 개스킷 공급부로부터 상기 개스킷을 인계받아 일시적으로 지지하는 개스킷 전달부를 포함하는 개스킷 교체부; 상기 연결배관 커넥터와 상기 개스킷 공급부를 이동시키는 이동수단을 포함하되, 상기 개스킷은 상기 개스킷 공급부로부터 상기 개스킷 전달부를 거쳐 상기 연결배관 커넥터에 전달되어 결합되도록 이루어진 것을 특징으로 한다.

Description

자동화 가스공급장치{Automated gas supply device}
본 발명은 자동화 가스공급장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 연결배관 커넥터에 결합되는 개스킷을 자동화 방식으로 교체할 수 있도록 하는 자동화 가스공급장치에 관한 것이다.
일반적으로 가스를 이용하는 장치, 특히, 반도체장비와 같이 정밀한 작업이 수행되는 가스소요처에 가스를 공급하는 장치의 경우, 각각의 목적에 적합한 종류의 가스가 일정한 농도와 압력 등을 만족할 것이 요구된다.
이를 효율적으로 제공하기 위해 많은 종류의 가스가 고압 상태로 보관되며, 특히 가연성, 독성, 부식성 등의 유해 성질을 가지는 가스는 인적이 차단된 별도의 공간에서 엄중하게 관리된다.
가스를 보관하는 가스 저장 용기(이하,‘용기’라 약칭함)는 가스소요처에 연결되며, 용기에 보관된 가스가 모두 소모되면, 가스소요처에 연결된 연결배관을 용기의 밸브로부터 분리하여 용기를 교체한 후 교체된 용기의 밸브 커넥터에 가스소요처에 연결된 연결배관 커넥터를 결합시켜 가스를 다시 공급하게 된다.
종래에는 상기 용기의 교체를 수작업에 의해 수행하였으나, 이와 같이 수작업에 의해 용기를 교체할 경우에는, 작업 수행 중 작업자가 유독 가스에 노출되는 위험이 있으며, 용기의 교체 작업에 많은 시간과 노동력이 소요되는 문제점이 있다. 따라서, 최근에는 용기의 교체 작업을 자동으로 수행할 수 있는 가스공급장치가 개발되고 있으나, 종래의 가스공급장치는 아래와 같은 문제점에 대한 해결 방안이 미비한 상황이다.
용기의 교체시, 밸브 커넥터와 연결배관 커넥터가 체결되는 연결부에는 연결부를 밀폐하여 가스가 누설되는 것을 방지하기 위한 개스킷이 구비되며, 개스킷은 시간의 경과 등으로 인하여 노후화 되어 연결부의 기밀성이 저하되므로, 노후된 개스킷을 주기적으로 교체하여 연결부의 기밀성을 확보하고 가스의 누설을 미연에 방지할 필요성이 있다.
이와 같은 개스킷의 교체 작업을 자동으로 수행하기 위해서는 연결배관 커넥터에 장착되어 있던 개스킷을 분리하고, 개스킷 공급부에 적재된 새로운 개스킷을 인계받아 연결배관 커넥터에 장착하기 위한 개스킷 전달부의 구성을 필요로 하게 된다. 그러나, 종래의 가스공급장치는 새로운 개스킷을 개스킷 공급부에서 개스킷 전달부를 거쳐서 연결배관 커넥터에 전달하여 장착하는 과정에서 개스킷이 정확한 위치에 지지되어 이탈을 방지하기 위한 수단이 미비하고, 개스킷의 인수인계가 이루어지기 전에 개스킷이 정위치 상태로 지지되어 있는지 여부를 정확하게 확인하기 위한 수단이 미비한 상황이다.
대한민국 공개특허 제10-1998-0056124호 대한민국 등록특허 제10-0857212호 대한민국 등록특허 제10-1360312호
본 발명은 상술한 제반 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 연결배관 커넥터의 개스킷을 교체하는 경우, 새로운 개스킷을 개스킷 공급부에서 개스킷 전달부를 거쳐서 연결배관 커넥터에 전달하여 장착하는 과정에서 개스킷이 정확한 위치에 지지되어 이탈을 방지할 수 있도록 함과 아울러, 개스킷의 인수인계가 이루어지기 전에 개스킷이 정위치 상태로 지지되어 있는지 여부를 정확하게 확인하기 위한 수단을 구비한 자동화 가스공급장치를 제공함에 그 목적이 있다.
상술한 바와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명의 자동화 가스공급장치는, 가스소요처에 연결되는 연결배관 커넥터를 지지하여 밸브 커넥터에 연결하기 위한 커넥터 체결부; 복수의 개스킷이 적재되는 개스킷 공급부와, 상기 개스킷 공급부로부터 상기 개스킷을 인계받아 일시적으로 지지하는 개스킷 전달부를 포함하는 개스킷 교체부;를 포함하되, 상기 개스킷은 상기 개스킷 공급부로부터 상기 개스킷 전달부를 거쳐 상기 연결배관 커넥터에 전달되어 결합되도록 이루어지고, 상기 개스킷 공급부는, 내부로부터 외부로 연결되는 인출구를 향해 상기 개스킷을 밀어내는 가압부재; 상기 가압부재가 상기 인출구를 향해 이동되도록 탄성력을 작용하는 탄성부재; 상기 인출구로 인출되는 상기 개스킷을 지지하는 가이드부재; 상기 인출구로 인출된 상기 개스킷을 상기 가이드부재의 상부에 형성된 지지구에 부착시키기 위해 상측으로 밀어올려 지지하는 밀어냄부재;를 포함한다.
상기 개스킷 공급부와 상기 개스킷 전달부는 마주보는 위치에 구비되고, 상기 개스킷 공급부는 구동부의 구동에 의해 스테이지 상의 이동부재가 상기 개스킷 전달부를 향해 신장되어 상기 이동부재의 전면측에 지지된 상기 개스킷이 상기 개스킷 전달부에 인계되는 것으로 구성될 수 있다.
상기 지지구에 구비된 자석을 이용하여 상기 개스킷을 상기 지지구에 부착하는 것으로 구성될 수 있다.
상기 밀어냄부재는, 상기 개스킷을 상측으로 밀어내는 동시에 상기 인출구를 차단시켜 상기 개스킷이 추가로 인출되는 것을 차단하는 것으로 구성될 수 있다.
상기 밀어냄부재를 왕복이동시키는 실린더를 구비하되, 상기 실린더는 상기 밀어냄부재를 상기 개스킷의 인출방향에 대해 직교하는 방향으로 왕복이동시키는 것으로 구성될 수 있다.
상기 밀어냄부재의 상단에는 상기 개스킷의 하부를 지지하는 반원형의 오목한 홈이 형성될 수 있다.
상기 가이드부재에는 상기 지지구에 상기 개스킷이 존재하는지 여부를 감지하기 위한 개스킷 감지부가 구비될 수 있다.
상기 개스킷 전달부는, 상기 개스킷에 자력을 작용하여 지지하는 자성체를 포함하고, 상기 자성체는 구동부의 구동에 의해 전후진 왕복 이동 가능하도록 구비되어, 전진 이동시 상기 개스킷이 안착되는 개스킷 지지구 측으로 돌출되어 상기 개스킷을 지지하고, 후진 이동시 상기 개스킷 지지구의 후방으로 이동되어 상기 개스킷을 지지 해제하도록 구비될 수 있다.
상기 개스킷 전달부는, 상기 구동부에 의해 전후진 왕복 이동 가능하도록 구비된 로드와, 상기 로드에 결합되며 하우징의 내측에서 전후진 왕복 이동 가능하도록 구비되어 끝단부에 상기 자성체가 결합된 샤프트를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 개스킷 전달부에는 상기 개스킷이 상기 개스킷 전달부에 구비된 개스킷 지지구에 지지되어 있는지 여부를 감지하기 위한 개스킷 제1감지부가 구비될 수 있다.
상기 개스킷 제1감지부는 변위센서로 이루어질 수 있다.
상기 개스킷 전달부에는 상기 개스킷이 상기 연결배관 커넥터에 장착되어 있는지 여부를 감지하기 위한 개스킷 제2감지부가 구비될 수 있다.
상기 개스킷 제2감지부는 상기 연결배관 커넥터와 상기 개스킷 공급부를 이동시키는 이동수단의 구동에 의해 이동하면서 상기 개스킷이 상기 연결배관 커넥터에 장착되어 있는지 여부를 감지하는 것으로 구성될 수 있다.
상기 개스킷 제2감지부는 변위센서로 이루어질 수 있다.
상기 변위센서는 레이저 변위센서로 구성될 수 있다.
본 발명에 따른 자동화 가스공급장치에 의하면, 연결배관 커넥터의 개스킷을 교체하는 경우, 새로운 개스킷을 개스킷 공급부에서 개스킷 전달부를 거쳐서 연결배관 커넥터에 전달하여 장착하는 과정에서 개스킷이 정확한 위치에 지지되어 이탈을 방지할 수 있도록 함과 아울러, 개스킷의 인수인계가 이루어지기 전에 개스킷이 정위치 상태로 지지되어 있는지 여부를 정확하게 확인하기 위한 수단을 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 자동화 가스공급장치의 사시도,
도 2는 제1이동수단과 제2이동수단의 구성을 나타낸 사시도,
도 3 (a)는 개스킷 공급부의 이동부재가 후진 이동된 상태의 사시도, 도 3 (b)는 개스킷 공급부의 이동부재가 전진 이동된 상태의 사시도,
도 4는 개스킷 공급부의 평면도,
도 5는 도 4의 B-B 선 단면도,
도 6 (a)는 개스킷 공급부의 주요부 사시도, 도 6 (b)는 밀어냄부재가 하강 이동된 상태의 정면도, 도 6 (c)는 밀어냄부재가 상승 이동된 상태의 정면도,
도 7 (a)는 개스킷 전달부에 개스킷이 부착되지 않은 상태의 사시도, 도 7 (b)는 개스킷 전달부에 개스킷이 부착된 상태의 사시도,
도 8은 개스킷 전달부의 평면도,
도 9는 도 8의 C-C 선 단면도로서, 도 9 (a)는 도 7 (a)의 상태를 나타낸 단면도, 도 9 (b)는 도 7 (b)의 상태를 나타낸 단면도,
도 10 (a),(b)는 개스킷이 개스킷 공급부로부터 개스킷 전달부로 이동되는 동작을 나타낸 평면도,
도 11 (a),(b)는 개스킷이 개스킷 전달부로부터 커넥터 체결부로 이동되는 동작을 나타낸 평면도,
도 12는 개스킷이 결합된 커넥터 체결부가 밸브 커넥터에 체결되는 동작을 나타낸 평면도.
이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1과 도 2를 참조하면, 본 발명의 자동화 가스공급장치(1)는, 가스소요처에 연결되는 연결배관 커넥터(710)를 지지하여 밸브 커넥터(30)에 연결하기 위한 커넥터 체결부(700), 복수의 개스킷(720)이 적재되는 개스킷 공급부(810)와, 상기 개스킷 공급부(810)로부터 상기 개스킷(720)을 인계받아 일시적으로 지지하는 개스킷 전달부(820)를 포함하는 개스킷 교체부(800), 상기 연결배관 커넥터(710)와 상기 개스킷 공급부(810)를 이동시키는 이동수단(500)을 포함하되, 상기 개스킷(720)은 상기 개스킷 공급부(810)로부터 상기 개스킷 전달부(820)를 거쳐 상기 연결배관 커넥터(710)에 전달되어 결합되도록 이루어진다.
상기 용기(10)는 반도체장치 등의 가스소요처에 공급되는 공정 가스를 저장하여 공급하기 위한 구성으로, 용기(10)의 상부에는 가스의 공급을 단속하기 위한 밸브(20)와, 상기 밸브(20)의 일측에 구비되어 커넥터 체결부(700)에 체결되는 밸브 커넥터(30)를 포함하여 구성된다.
도 2를 참조하면, 상기 이동수단(500)은 커넥터 체결부(700)와 이를 지지하는 지지부(530) 및 개스킷 공급부(810)를 제1방향(P1)과 제2방향(P2)으로 이동시키기 위한 구성으로, 상기 구성요소들을 제1방향(P1)으로 왕복이동시키는 제1이동수단(510)과, 상기 제1이동수단(510)을 지지하여 제2방향(P2)으로 왕복이동시키는 제2이동수단(520)을 포함하여 구성될 수 있다.
상기 제1이동수단(510)은 상기 제1방향(P1)으로 나란히 구비되는 적어도 하나의 제1레일(511)을 포함하여 이루어질 수 있다.
상기 제1레일(511)은 제1레일 지지부(512)에 의해 지지된다.
상기 지지부(530)에는 상기 제1레일(511)의 레일홈(511a)에 맞물리는 제1레일맞물림부(512a)가 구비되어, 상기 지지부(530)가 상기 제1레일(511)을 따라 상기 제1방향(P1)으로 왕복이동할 수 있다.
상기 제1이동수단(510)에는 상기 지지부(530)에 결합되어 상기 지지부(530)를 제1방향(P1)으로 이동시키는 제1구동부(513)가 구비된다.
상기 제2이동수단(520)은 상기 제2방향(P2)으로 나란히 구비되는 적어도 하나의 제2레일(521)을 포함하여 이루어질 수 있다.
상기 제2레일(521)은 제2레일 지지부(522)에 의해 지지되며, 상기 제2레일 지지부(522)는 외곽 프레임(미도시) 등에 체결되어 상기 제2레일(521)의 위치가 고정된다.
상기 제1레일 지지부(512)에는 상기 제2레일(521)의 레일홈(521a)에 맞물리는 제2레일맞물림부(522a)가 결합되어, 상기 제1레일(511)이 상기 제2레일(521)을 따라 상기 제2방향(P2)으로 왕복이동할 수 있다.
상기 제2이동수단(520)에는 상기 제1레일 지지부(512)에 결합되어 상기 제1레일 지지부(512)를 이동시키는 제2구동부(523)가 구비된다.
일실시예로, 상기 제2구동부(523)는 모터로 이루어지고, 상기 모터의 회전축에 결합되는 제1풀리(524), 상기 제1풀리(524)의 일측으로 이격되어 구비되는 제2풀리(526), 상기 제1풀리(524)와 제2풀리(526) 간에 동력을 전달하는 벨트(525), 상기 제2풀리(526)에 일측단이 결합되고 상기 제2레일(521)과 나란한 제2방향(P2)으로 연장되며 회전 가능하게 지지된 샤프트(527), 상기 샤프트(527)와 나사결합되며 제2레일 지지부(522)에 결합된 이동블록(528)을 포함하여 구성될 수 있다.
이하, 도 2 내지 도 7을 참조하여 개스킷 공급부(810)의 구성을 설명한다.
상기 개스킷 공급부(810)는, 구동부(811), 상기 구동부(811) 상에 구비된 스테이지(812), 상기 스테이지(812) 상에 안착되어 구동부(811)의 구동에 의해 전후진 이동되는 이동부재(813), 상기 이동부재(831)의 내측에 전후방향으로 지지된 샤프트(814), 상기 샤프트(814)가 내부를 관통하며 내부로부터 외부로 연결되는 인출구(819a)를 향해 상기 개스킷(720)을 밀어내는 가압부재(815), 상기 상기 가압부재(815)가 상기 인출구(819a)를 향해 이동되도록 탄성력을 작용하는 탄성부재(816), 상하방향으로 승강 구동되는 실린더(817), 상기 실린더(817)의 로드(817a)에 연결되어 상기 인출구(819a)로 인출된 상기 개스킷(720)을 상측으로 밀어내는 밀어냄부재(818), 상기 인출구(819a)로 인출되는 상기 개스킷(720)을 지지하며 상기 밀어냄부재(818)에 의해 상측으로 이동된 개스킷(720)을 지지하는 지지구(819b)가 상부에 형성된 가이드부재(819)를 포함하고, 개스킷 공급부(810)의 전면에는 교체된 노후 개스킷(720)이 회수되는 개스킷 회수부(810a)가 구비된다.
상기 지지구(819b)가 형성된 부분에는 개스킷(720)을 자력에 의해 부착시켜 지지하기 위한 자석(819d)이 구비된다.
상기 개스킷 공급부(810)와 상기 개스킷 전달부(820)는 마주보는 위치에 구비되고, 도 3에 도시된 바와 같이 상기 개스킷 공급부(810)는 구동부(811)의 구동에 의해 스테이지(812) 상의 이동부재(813)가 상기 개스킷 전달부(820)를 향해 신장되어 상기 이동부재(813)의 전면측에 지지된 상기 개스킷(720)이 상기 개스킷 전달부(820)에 인계된다.
상기 실린더(817)는 상기 밀어냄부재(818)를 상기 개스킷(720)의 인출방향에 대해 직교하는 방향으로 왕복이동시킨다.
상기 밀어냄부재(818)는, 상기 개스킷(720)을 상측으로 밀어내는 동시에 상기 인출구(819a)를 차단시켜 상기 개스킷(720)이 추가로 인출되는 것을 차단한다.
상기 밀어냄부재(818)의 상단에는 상기 개스킷(720)의 하부를 지지하는 반원형의 오목한 홈(818a)이 형성된다. 상기 밀어냄부재(818)가 개스킷(720)을 하부에서 지지하며 상측으로 밀어내도록 구성함으로써, 중력에 의해 개스킷(720)이 하측으로 이동되어 이탈되는 것을 방지하여 개스킷(720)을 안정적으로 지지할 수 있다.
또한, 상기 가이드부재(819)에는 상기 지지구(819b)에 상기 개스킷(720)이 존재하는지 여부를 감지하기 위한 개스킷 감지부(819c)가 구비된다.
이하, 도 7 내지 도 9를 참조하여 개스킷 전달부(820)의 구성을 설명한다.
상기 개스킷 전달부(820)는, 상기 개스킷(720)에 자력을 작용하여 지지하는 자성체(825)를 포함하고, 상기 자성체(825)는 구동부(821)의 구동에 의해 전후진 왕복 이동 가능하도록 구비된다. 도 7 (a)와 도 9(a)는 자성체(825)가 하우징(823)의 전면에 형성된 개스킷 지지구(826)의 후방측으로 이동된 모습을 나타낸 것이고, 도 7 (b)와 도 9(b)는 자성체(825)가 전방으로 이동되어 상기 개스킷 지지구(826)에 위치되어 상기 자성체(825)의 자력에 의해 개스킷(720)이 접촉 지지된 모습을 나타낸 것이다. 즉, 상기 자성체(825)가 구동부(821)의 구동에 의해 전진 이동시 상기 개스킷(720)이 안착되는 개스킷 지지구(826) 측으로 돌출되어 상기 개스킷(720)을 지지하고, 후진 이동시 상기 개스킷 지지구(826)의 후방으로 이동되어 상기 개스킷(720)을 지지 해제하도록 구비된다.
상기 개스킷 전달부(820)는, 상기 구동부(821)에 의해 전후진 왕복 이동 가능하도록 구비된 로드(822)와, 상기 로드(822)에 결합되며 하우징(823)의 내측에서 전후진 왕복 이동 가능하도록 구비되어 끝단부에 상기 자성체(825)가 결합된 샤프트(824)를 포함한다.
도 7을 참조하면, 상기 개스킷 전달부(820)에는 상기 개스킷(720)이 상기 개스킷 전달부(820)에 구비된 개스킷 지지구(826)에 지지되어 있는지 여부를 감지하기 위한 개스킷 제1감지부(831)가 구비된다. 상기 개스킷 제1감지부(831)는 변위센서, 바람직하게는 레이저 변위센서로 구성될 수 있다.
또한, 상기 개스킷 전달부(820)에는 상기 개스킷(720)이 상기 연결배관 커넥터(710)에 장착되어 있는지 여부를 감지하기 위한 개스킷 제2감지부(832)가 구비된다. 상기 개스킷 제2감지부(832)는 상기 이동수단(500)의 구동에 의해 이동하면서 상기 개스킷(720)이 상기 연결배관 커넥터(710)에 장착되어 있는지 여부를 감지한다. 상기 개스킷 제2감지부(832)는 변위센서, 바람직하게는 레이저 변위센서로 구성될 수 있다.
이하, 도 10 내지 도 12를 참조하여, 연결배관 커넥터(710)에 체결되어 가스의 누설을 방지하기 위한 개스킷(720)의 교체 과정을 설명한다.
도 10은 상기 개스킷(10)이 상기 개스킷 공급부(810)로부터 상기 개스킷 전달부(820)에 전달되는 것을 나타내는 평면도이다.
상기 개스킷 전달부(820)는 외곽 프레임(미도시) 등에 체결되어 고정된 상태로 구비될 수 있다. 상기 개스킷 전달부(820)에는 상기 개스킷(720)을 자성체(825)의 자력에 의해 일시적으로 지지하는 개스킷 지지구(826)가 구비된다.
상기 개스킷 공급부(810)는 상기 제1구동부(513)의 구동에 의해 동(E)-서(W)방향으로 이동하여 개스킷 공급부(110)의 지지구(819b)가 상기 개스킷 전달부(820)와 마주보도록 위치하며(도 10 (a)), 상기 제2구동부(523)의 구동에 의해 남쪽(S)으로 이동하여 상기 개스킷 공급부(810)의 지지구(819b)를 상기 개스킷 전달부(820)의 개스킷 지지구(826)에 근접시킨다(도 10 (b)).
상기 개스킷 공급부(810)의 지지구(819b)가 상기 개스킷 전달부(820)의 개스킷 지지구(826)에 근접하면, 상기 개스킷 지지구(826)를 향하여 전진 이동된 자성체(825)의 자력에 의해 개스킷(720)은 개스킷 공급부(810)로부터 개스킷 전달부(820)에 인계된다.
상기 개스킷(720)이 상기 개스킷 전달부(820)에 인계되면, 상기 개스킷 공급부(810)는 상기 제2구동부(521)의 구동에 의해 북쪽(N)으로 이동하여(도 10 (a)) 상기 개스킷 전달부(820)로부터 소정 간격 이격된다.
도 11은 상기 개스킷(10)이 상기 개스킷 전달부(820)로부터 상기 연결배관 커넥터(710)에 전달되는 것을 나타내는 평면도이다.
상기 지지부(530)는 상기 제1구동부(513)의 구동에 의해 동쪽으로(E) 이동하여 상기 연결배관 커넥터(710)가 상기 개스킷 전달부(820)와 마주보도록 위치하며(도 11 (a)), 상기 제2구동부(523)의 구동에 의해 남쪽으로(S) 이동하여, 상기 개스킷 전달부(820)의 개스킷 지지구(826)에 지지된 개스킷(10)을 상기 연결배관 커넥터(710)에 결합시킨다(도 11 (b)). 이때, 상기 자성체(825)는 상기 개스킷 지지구(826)의 후방으로 이동되어 개스킷(10)에 작용하던 자력에 의한 인력이 해제되므로, 상기 개스킷(10)은 개스킷 전달부(820)의 개스킷 지지구(826)로부터 연결배관 커넥터(710)에 결합될 수 있다.
상기 개스킷(10)이 상기 연결배관 커넥터(710)에 결합되면, 상기 연결배관 커넥터(710)는 상기 제2구동부(523)의 구동에 의해 상기 제2레일(251)를 따라 북쪽으로(N) 이동하여(도 11 (a)), 상기 개스킷 전달부(820)로부터 소정 간격 이격된다.
도 12는 상기 개스킷(10)이 결합된 연결배관 커넥터(710)가 밸브 커넥터(30)에 체결되는 것을 나타내는 평면도이다.
상기 지지부(530)는 상기 제1구동부(513)의 구동에 의해 서쪽으로(W) 이동하여 상기 연결배관 커넥터(710)가 상기 밸브 커넥터(30)와 마주보도록 위치하며(도 12 (a)), 상기 제2구동부(523)의 구동에 의해 남쪽으로(S) 이동하여 상기 개스킷(10)이 결합된 상기 연결배관 커넥터(710)를 상기 밸브 커넥터(30)에 체결한다(도 12 (b)).
상기 개스킷(10)은 상호 체결된 상기 연결배관 커넥터(710)와 상기 밸브 커넥터(30) 사이의 틈새를 밀폐하여 용기(10)로부터 상기 가스소요처로 공급되는 가스의 누설을 차단하며, 일정 시간이 경과하여 노후되면 교체된다.
상기 노후 개스킷(10)의 제거는 상기 도 10 내지 도 11에서 설명한 상기 개스킷(10)의 전달 및 상기 개스킷(10)이 결합된 상기 연결배관 커넥터(710)의 체결과정을 역순으로 진행하여 이루어질 수 있다.
상기 연결배관 커넥터(710)가 상기 이동수단(500)의 구동에 의해 상기 밸브 커넥터(30)로부터 분리되면 상기 연결배관 커넥터(710)에 결합된 상기 노후 개스킷(10) 또한 상기 연결배관 커넥터(710)와 함께 이동한다.
상기 연결배관 커넥터(710)는 상기 이동수단(500)의 구동에 의해 이동하여 상기 개스킷 전달부(820)에 상기 노후 개스킷(10)을 전달하며, 상기 개스킷 전달부(820)에 전달된 상기 노후 개스킷(720)은 개스킷 회수부(810a)로 회수될 수 있다.
상기 개스킷 전달부(820)에는 상기 개스킷 공급부(810)로부터 공급된 개스킷(10)이 다시 전달되며, 개스킷(10)은 연결배관 커넥터(710)에 결합되어 상기 연결배관 커넥터(710)와 상기 밸브 커넥터(30) 사이를 밀폐하게 된다.
상기 제1구동부(513)와 상기 제2구동부(523) 및 상기 밀어냄부재(818)를 승강 구동하는 실린더(817)는 제어부의 제어에 의해 유기적으로 구동하여, 상기한 바와 같은 개스킷 교체 프로세스가 자동으로 이루어질 수 있다.
또한, 상기 개스킷 교체 프로세스는 사용자의 판단에 의해 수동으로 가동명령을 입력할 수 있도록 이루어질 수 있으며, 일정 조건을 만족하면 자동으로 가동하도록 이루어질 수도 있다.
상기 개스킷 교체 프로세스의 자동 가동 조건은 개스킷(720)이 노후되는 일정 시간의 경과시로 설정될 수 있고, 상기 밸브 커넥터(30)와 상기 연결배관 커넥터(710) 주위로 가스 누설이 감지되는 등 주변 환경 변화시로 설정될 수도 있으며, 상기 용기(10)의 교체로 상기 연결배관 커넥터(710)가 상기 밸브 커넥터(30)로부터 분리되는 등 상기 밸브 커넥터(30)와 상기 연결배관 커넥터(710)의 체결 상태 변화시로 설정될 수도 있다.
상기와 같은 구성에 의하면, 연결배관 커넥터(710)의 개스킷(720)을 교체하는 경우, 새로운 개스킷(720)을 개스킷 공급부(810)에서 개스킷 전달부(820)를 거쳐서 연결배관 커넥터(710)에 전달하여 장착하는 과정에서 개스킷(720)이 정확한 위치에 지지되어 이탈을 방지할 수 있도록 함과 아울러, 개스킷(720)의 인수인계가 이루어지기 전에 개스킷(720)이 정위치 상태로 지지되어 있는지 여부를 정확하게 확인할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구되는 본 발명의 기술적 사상에 벗어남 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 자명한 변형실시가 가능하며, 이러한 변형실시는 본 발명의 범위에 속한다.
1 : 자동화 가스공급장치 10 : 가스 저장 용기
20 : 밸브 30 : 밸브 커넥터
31 : 커버 500 : 이동수단
510 : 제1이동수단 511 : 제1레일
511a : 제1레일홈 512 : 제1레일 지지부
512a : 제1레일 맞물림부 513 : 제1구동부
520 : 제2이동수단 521 : 제2레일
521a : 제2레일홈 522 : 제2레일 지지부
522a : 제2레일 맞물림부 523 : 제2구동부
524 : 제1풀리 525 : 벨트
526 : 제2풀리 527 : 샤프트
528 : 이동블록 530 : 지지부
700 : 커넥터 체결부 710 : 연결배관 커넥터
720 : 개스킷 730 : 연결배관
800 : 개스킷 교체부 810 : 개스킷 공급부
810a : 개스킷 회수부 811 : 구동부
812 : 스테이지 813 : 이동부재
814 : 샤프트 815 : 가압부재
816 : 탄성부재 817 : 실린더
817a : 로드 818 : 밀어냄부재
819 : 가이드부재 819a : 인출구
819b : 지지구 819c : 개스킷 감지부
819d : 자석 820 : 개스킷 전달부
821 : 구동부 822 : 로드
823 : 하우징 824 : 샤프트
825 : 자성체 826 : 개스킷 지지구
827 : 연결부재 831 : 개스킷 제1감지부
832 : 개스킷 제2감지부

Claims (15)

  1. 가스소요처에 연결되는 연결배관 커넥터를 지지하여 밸브 커넥터에 연결하기 위한 커넥터 체결부;
    복수의 개스킷이 적재되는 개스킷 공급부와, 상기 개스킷 공급부로부터 상기 개스킷을 인계받아 일시적으로 지지하는 개스킷 전달부를 포함하는 개스킷 교체부;
    를 포함하되,
    상기 개스킷은 상기 개스킷 공급부로부터 상기 개스킷 전달부를 거쳐 상기 연결배관 커넥터에 전달되어 결합되도록 이루어지고,
    상기 개스킷 공급부는,
    내부로부터 외부로 연결되는 인출구를 향해 상기 개스킷을 밀어내는 가압부재;
    상기 가압부재가 상기 인출구를 향해 이동되도록 탄성력을 작용하는 탄성부재;
    상기 인출구로 인출되는 상기 개스킷을 지지하는 가이드부재;
    상기 인출구로 인출된 상기 개스킷을 상기 가이드부재의 상부에 형성된 지지구에 부착시키기 위해 상측으로 밀어올려 지지하는 밀어냄부재;를 포함하는 자동화 가스공급장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 개스킷 공급부와 상기 개스킷 전달부는 마주보는 위치에 구비되고, 상기 개스킷 공급부는 구동부의 구동에 의해 스테이지 상의 이동부재가 상기 개스킷 전달부를 향해 신장되어 상기 이동부재의 전면측에 지지된 상기 개스킷이 상기 개스킷 전달부에 인계되는 것을 특징으로 하는 자동화 가스공급장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 지지구에 구비된 자석을 이용하여 상기 개스킷을 상기 지지구에 부착하는 것을 특징으로 하는 자동화 가스공급장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 밀어냄부재는, 상기 개스킷을 상측으로 밀어내는 동시에 상기 인출구를 차단시켜 상기 개스킷이 추가로 인출되는 것을 차단하는 것을 특징으로 하는 자동화 가스공급장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 밀어냄부재를 왕복이동시키는 실린더를 구비하되,
    상기 실린더는 상기 밀어냄부재를 상기 개스킷의 인출방향에 대해 직교하는 방향으로 왕복이동시키는 것을 특징으로 하는 자동화 가스공급장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 밀어냄부재의 상단에는 상기 개스킷의 하부를 지지하는 반원형의 오목한 홈이 형성된 것을 특징으로 하는 자동화 가스공급장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 가이드부재에는 상기 지지구에 상기 개스킷이 존재하는지 여부를 감지하기 위한 개스킷 감지부가 구비된 것을 특징으로 하는 자동화 가스공급장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 개스킷 전달부는, 상기 개스킷에 자력을 작용하여 지지하는 자성체를 포함하고,
    상기 자성체는 구동부의 구동에 의해 전후진 왕복 이동 가능하도록 구비되어, 전진 이동시 상기 개스킷이 안착되는 개스킷 지지구 측으로 돌출되어 상기 개스킷을 지지하고, 후진 이동시 상기 개스킷 지지구의 후방으로 이동되어 상기 개스킷을 지지 해제하도록 구비된 것을 특징으로 하는 자동화 가스공급장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 개스킷 전달부는, 상기 구동부에 의해 전후진 왕복 이동 가능하도록 구비된 로드와, 상기 로드에 결합되며 하우징의 내측에서 전후진 왕복 이동 가능하도록 구비되어 끝단부에 상기 자성체가 결합된 샤프트를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동화 가스공급장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 개스킷 전달부에는 상기 개스킷이 상기 개스킷 전달부에 구비된 개스킷 지지구에 지지되어 있는지 여부를 감지하기 위한 개스킷 제1감지부가 구비된 것을 특징으로 하는 자동화 가스공급장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 개스킷 제1감지부는 변위센서로 이루어진 것을 특징으로 하는 자동화 가스공급장치.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 개스킷 전달부에는 상기 개스킷이 상기 연결배관 커넥터에 장착되어 있는지 여부를 감지하기 위한 개스킷 제2감지부가 구비된 것을 특징으로 하는 자동화 가스공급장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 개스킷 제2감지부는 상기 연결배관 커넥터와 상기 개스킷 공급부를 이동시키는 이동수단의 구동에 의해 이동하면서 상기 개스킷이 상기 연결배관 커넥터에 장착되어 있는지 여부를 감지하는 것을 특징으로 하는 자동화 가스공급장치.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 개스킷 제2감지부는 변위센서로 이루어진 것을 특징으로 하는 자동화 가스공급장치.
  15. 제11항 또는 제14항에 있어서,
    상기 변위센서는 레이저 변위센서인 것을 특징으로 하는 자동화 가스공급장치.
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Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102228698B1 (ko) * 2020-05-26 2021-03-18 주식회사 케이씨 가스 공급 장치
KR102244426B1 (ko) * 2019-11-25 2021-04-27 주식회사 씨케이피 가스실린더의 가스자동공급장치용 커넥터공전모듈
KR102248102B1 (ko) * 2019-11-25 2021-05-04 주식회사 씨케이피 수평식 가스실린더의 가스자동공급장치용 가스켓투입/투출모듈 및 방법
KR102336330B1 (ko) 2020-07-22 2021-12-08 주식회사 씨케이피 가스실린더의 가스자동공급장치용 호이스트모듈
KR20210151481A (ko) * 2020-06-05 2021-12-14 주식회사 원익홀딩스 가스실린더의 가스자동공급시스템 및 제어방법
KR20210151482A (ko) * 2020-06-05 2021-12-14 주식회사 원익홀딩스 커넥터플러그모듈을 적용한 가스실린더의 가스자동공급장치
KR20210151483A (ko) * 2020-06-05 2021-12-14 주식회사 원익홀딩스 가스실린더의 가스자동공급장치용 엔드캡 분리/체결모듈
KR20210152078A (ko) * 2020-06-05 2021-12-15 주식회사 원익홀딩스 가스실린더의 가스자동공급장치용 가스켓수거모듈
KR102343685B1 (ko) 2020-07-22 2021-12-27 주식회사 씨케이피 가스실린더의 가스자동공급모듈
KR102343707B1 (ko) 2020-07-22 2021-12-27 주식회사 씨케이피 가스실린더의 가스자동공급모듈 및 엔드캡 분리방법
KR102343723B1 (ko) 2020-07-22 2021-12-28 주식회사 씨케이피 커넥터부재 및 가스실린더의 가스자동공급모듈
KR102343760B1 (ko) 2020-08-07 2021-12-29 주식회사 씨케이피 고압가스통의 가스자동공급장치 및 그 방법
KR102353833B1 (ko) 2020-08-18 2022-01-21 주식회사 씨케이피 캐비넷상에서의 고압가스통 체결 및 제거 방법
KR102353914B1 (ko) * 2020-07-17 2022-01-21 주식회사 케이씨 개스킷 공급모듈 및 가스공급장치
KR20220012006A (ko) 2020-07-22 2022-02-03 주식회사 씨케이피 가스실린더의 가스자동공급모듈
KR102393805B1 (ko) * 2020-11-23 2022-05-04 주식회사 씨케이피 가스실린더 자동교체시스템용 가스켓 공급회수장치

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2520224B2 (ja) * 1993-12-27 1996-07-31 明光産業株式会社 Ｌｐガス充填装置
KR19980056124A (ko) 1996-12-28 1998-09-25 김광호 가스 봄베 연결 수단
KR100334232B1 (ko) * 1999-12-30 2002-05-02 윤영석 대형 열교환기의 튜브와 튜브시트 접합부 수압시험 장치
JP3429452B2 (ja) * 1998-03-30 2003-07-22 新明和工業株式会社 防水シール装着方法および防水シール装着装置
KR100857212B1 (ko) 2007-04-30 2008-09-05 주식회사 싸이텍 개스킷 접합장치 및 그 방법
KR20100096742A (ko) * 2009-02-25 2010-09-02 이송순 가스 밸브 차단 장치
KR101360312B1 (ko) 2013-08-30 2014-02-12 오희범 밸브 셔터
KR200475684Y1 (ko) * 2013-08-07 2014-12-22 이완호 밸브 구동 장치

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2520224B2 (ja) * 1993-12-27 1996-07-31 明光産業株式会社 Ｌｐガス充填装置
KR19980056124A (ko) 1996-12-28 1998-09-25 김광호 가스 봄베 연결 수단
JP3429452B2 (ja) * 1998-03-30 2003-07-22 新明和工業株式会社 防水シール装着方法および防水シール装着装置
KR100334232B1 (ko) * 1999-12-30 2002-05-02 윤영석 대형 열교환기의 튜브와 튜브시트 접합부 수압시험 장치
KR100857212B1 (ko) 2007-04-30 2008-09-05 주식회사 싸이텍 개스킷 접합장치 및 그 방법
KR20100096742A (ko) * 2009-02-25 2010-09-02 이송순 가스 밸브 차단 장치
KR200475684Y1 (ko) * 2013-08-07 2014-12-22 이완호 밸브 구동 장치
KR101360312B1 (ko) 2013-08-30 2014-02-12 오희범 밸브 셔터

Cited By (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102244426B1 (ko) * 2019-11-25 2021-04-27 주식회사 씨케이피 가스실린더의 가스자동공급장치용 커넥터공전모듈
KR102248102B1 (ko) * 2019-11-25 2021-05-04 주식회사 씨케이피 수평식 가스실린더의 가스자동공급장치용 가스켓투입/투출모듈 및 방법
KR102228698B1 (ko) * 2020-05-26 2021-03-18 주식회사 케이씨 가스 공급 장치
CN113719753A (zh) * 2020-05-26 2021-11-30 Kc股份有限公司 气体供给装置
CN113719753B (zh) * 2020-05-26 2023-10-10 Kc股份有限公司 气体供给装置
TWI777246B (zh) * 2020-05-26 2022-09-11 南韓商Ｋｃ股份有限公司 氣體供給裝置
KR102345571B1 (ko) 2020-06-05 2021-12-31 주식회사 원익홀딩스 가스실린더의 가스자동공급장치용 엔드캡 분리/체결모듈
KR20210151482A (ko) * 2020-06-05 2021-12-14 주식회사 원익홀딩스 커넥터플러그모듈을 적용한 가스실린더의 가스자동공급장치
KR20210152078A (ko) * 2020-06-05 2021-12-15 주식회사 원익홀딩스 가스실린더의 가스자동공급장치용 가스켓수거모듈
KR20210151481A (ko) * 2020-06-05 2021-12-14 주식회사 원익홀딩스 가스실린더의 가스자동공급시스템 및 제어방법
KR20210151483A (ko) * 2020-06-05 2021-12-14 주식회사 원익홀딩스 가스실린더의 가스자동공급장치용 엔드캡 분리/체결모듈
KR102345570B1 (ko) * 2020-06-05 2022-01-03 주식회사 원익홀딩스 가스실린더의 가스자동공급장치용 가스켓수거모듈
KR102345573B1 (ko) 2020-06-05 2021-12-31 주식회사 원익홀딩스 가스실린더의 가스자동공급시스템 및 제어방법
KR102345572B1 (ko) 2020-06-05 2021-12-31 주식회사 원익홀딩스 커넥터플러그모듈을 적용한 가스실린더의 가스자동공급장치
KR102353914B1 (ko) * 2020-07-17 2022-01-21 주식회사 케이씨 개스킷 공급모듈 및 가스공급장치
KR102343723B1 (ko) 2020-07-22 2021-12-28 주식회사 씨케이피 커넥터부재 및 가스실린더의 가스자동공급모듈
KR102343707B1 (ko) 2020-07-22 2021-12-27 주식회사 씨케이피 가스실린더의 가스자동공급모듈 및 엔드캡 분리방법
KR20220012006A (ko) 2020-07-22 2022-02-03 주식회사 씨케이피 가스실린더의 가스자동공급모듈
KR102343685B1 (ko) 2020-07-22 2021-12-27 주식회사 씨케이피 가스실린더의 가스자동공급모듈
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KR102393805B1 (ko) * 2020-11-23 2022-05-04 주식회사 씨케이피 가스실린더 자동교체시스템용 가스켓 공급회수장치

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