CN113719753B - 气体供给装置 - Google Patents

Abstract

公开了一种气体供给装置。根据一个实施例的气体供给装置可包括：下部模块，其沿着气体容器的高度方向进行升降运转，在与所述气体容器对齐的状态下，紧固连接于所述气体容器；以及荷重支撑部，其与所述下部模块相连接，在所述下部模块的升降运转过程中，支撑所述下部模块的荷重。

Description

气体供给装置

技术领域

下面的说明涉及一种气体供给装置。

背景技术

通常，利用气体的工艺，例如，如半导体制造工艺一样，进行精密作业的工艺的情况，要求适合各个工艺目的的种类的气体在满足一定浓度及压力后供给。

在工艺过程中，为了有效的气体供给，各种种类的气体以高压的状态保管在气体容器中，在严格的管理下，在无人状态下对用于保管含有对人体有害的成分的气体的气体容器进行保管。

保管气体的气体容器与气体供给装置相连接，如果气体容器内部的气体全部消耗掉，则将与气体供给装置相连接的连接配管从气体容器的阀门分离出来并去除气体容器，进行将新的气体容器紧固连接于气体供给装置的替换过程。

为了使得气体容器连接于气体供给装置，需要将气体容器的阀门连接器连接于气体供给装置的连接器，为了这样的连接过程，气体容器的阀门连接器和气体供给装置的连接器需要以对齐的状态设置。在现有技术中，作业者通过手动进行了气体容器的位置对齐，但是气体容器的情况，大部分具有高重量，并且在内部保管有害气体，因此，存在的问题在于，难以通过手动进行气体容器的对齐作业。

此外，在将气体容器连接于气体供给装置的过程中，当气体容器或者气体供给装置的对齐状态错位时，打开了阀门的气体容器内部的高压气体向外部喷出，从而存在造成事故隐患的问题。

由此，实情是要求相对于气体容器对齐气体供给装置的同时进行安全的紧固连接的装置。

前述的作为背景技术进行说明的内容是发明人在本发明的导出过程中掌握或者习得的，并不一定是在本发明的申请之前向一般公众公开的公知技术。

发明内容

一个实施例的目的在于，提供一种气体供给装置，可容易进行紧固连接的控制，从而相对于气体容器可安全地进行紧固连接。

一个实施例的目的在于，提供一种气体供给装置，在对于气体容器的紧固连接过程中，减少装备的荷重，从而可防止因装备的自由下落导致的损伤。

在实施例中想要解决的课题并非限于以上提及的课题，从业者可以从下面的记载明确地理解未提及的其他的课题。

根据一个实施例的气体供给装置可包括：下部模块，其沿着气体容器的高度方向进行升降运转，在与所述气体容器对齐（align）的状态下紧固连接于所述气体容器；以及荷重支撑部，其与所述下部模块相连接，在所述下部模块的升降运转过程中，支撑所述下部模块的荷重。

作为一个侧面，在所述下部模块进行升降运转的状态下，所述荷重支撑部可以沿着抵消所述下部模块的荷重的方向对所述下部模块施加外力。

作为一个侧面，所述荷重支撑部可包括：空气压力气缸，其与所述下部模块相连接，并沿着所述下部模块的高度方向作用空气压力；空气压力调节器，其调节所述空气压力气缸内部的空气压力。

作为一个侧面，所述空气压力调节器可调节所述空气压力气缸的空气压力，以便使得所述空气压力气缸施加给所述下部模块的外力与所述下部模块的荷重相对应。

作为一个侧面，所述荷重支撑部还可包括：连接线，其连接所述空气压力气缸及下部模块；以及导轮，其与所述连接线相连接，引导所述连接线的移动。

作为一个侧面，还包括沿着所述气体容器的高度方向配置的导轨，所述下部模块可以以能够沿着所述导轨升降的形式连接于所述导轨。

作为一个侧面，还可包括移动防止部，移动防止部连接于所述下部模块，使得所述下部模块相对于所述导轨的位置固定。

作为一个侧面，所述移动防止部包括施加空气压力的空气制动器，以便防止所述下部模块进行升降，所述空气制动器可根据操作信号选择性地解除空气压力。

作为一个侧面，所述下部模块可包括：盖子分离部，其在相对于所述气体容器对齐的状态下，去除所述气体容器的阀门连接器的盖子；以及连接器紧固连接部，其自动紧固连接于去除所述盖子的盖子分离部。

根据一个实施例的气体供给装置可包括：上部模块，其包括位于气体容器的上侧的主板；下部模块，其沿着所述气体容器的高度方向，相对于所述上部模块进行升降运转，在相对于所述气体容器对齐的状态下，紧固连接于所述气体容器；以及荷重支撑部，其支撑所述下部模块的荷重。

作为一个侧面，在所述下部模块进行升降运转的过程中，所述空气压力气缸可沿着抵消所述下部模块的荷重的方向对所述下部模块施加外力。

作为一个侧面，所述荷重支撑部还包括：空气压力气缸，其连接所述上部模块及下部模块；以及空气压力调节器，其调节所述空气压力气缸的空气压力，所述空气压力调节器可一定地调节所述空气压力气缸对所述下部模块施加的外力。

作为一个侧面，所述荷重支撑部还可包括：连接线，其连接所述空气压力气缸及下部模块；以及导轮，其引导由所述空气压力气缸的作用导致的连接线的移动。

作为一个侧面，在所述下部模块进行升降运转的过程中，所述空气压力气缸施加的外力可对应于所述下部模块的荷重。

作为一个侧面，所述上部模块还包括竖直引导部，竖直引导部引导所述下部模块相对于所述主板的升降，所述竖直引导部可包括：竖直导轨，其沿着垂直于地面的方向配置；以及竖直引导部件，其沿着所述竖直导轨可滑动地连接，并与所述下部模块相连接。

作为一个侧面，所述引导部还包括移动防止部，移动防止部对所述竖直引导部件相对于所述竖直导轨的移动进行制动，所述移动防止部根据操作信号选择性地进行运转，从而可控制所述下部模块的升降运转。

作为一个侧面，在所述移动防止部控制所述下部模块进行升降的状态下，所述荷重支撑部可调节所述空气压力气缸的空气压力，以便抵消所述下部模块的荷重。

作为一个侧面，所述下部模块相对于所述引导部件以垂直于地面的轴为中心可旋转地连接。

作为一个侧面，所述上部模块还包括：第一水平引导部，其相对于所述主板在垂直于地面的第一方向上可移动地连接；以及第二水平引导部，其与所述第一水平引导部相连接，相对于所述主板在垂直于地面的第一方向上可移动地连接，所述竖直引导部可连接于第二水平引导部。

作为一个侧面，所述下部模块还可包括：盖子去除部，其用于去除所述气体容器的阀门连接器的盖子；以及连接器紧固连接部，其用于与所述气体容器的阀门连接器相连接，从而获得气体的供给。

根据一个实施例的气体供给装置，在对于气体容器的高度调节过程中减轻装置的重量，从而可防止自由落下导致的装备损伤。

根据一个实施例的气体供给装置，通过空气压力气缸减轻装备的重量，从而可减少装备整体的大小。

根据一个实施例的气体供给装置，可容易进行紧固连接控制，从而可相对于气体容器安全地进行紧固连接。

根据一个实施例的气体供给装置的效果并非限于以上提及的，一般的技术人员可从下面的记载明确地理解未提及的其他效果。

附图说明

本说明书中所附的下面的图例示了本发明的优选的一个实施例，与发明的详细说明一起起到了进一步理解本发明的技术思想的作用，因此不应解释为本发明仅限于这些附图中记载的事项。

图1是根据一个实施例的带有气体容器的气体供给装置的立体图。

图2是根据一个实施例的气体供给装置的立体图。

图3及图4是示出根据一个实施例的气体供给装置的运转过程的立体图。

图5是示出根据一个实施例的荷重支撑部的运转方式的结构图。

图6是根据一个实施例的气体供给装置的立体图。

标号说明

G: 气体容器

1: 气体供给装置

10: 上部模块

11: 下部模块

12: 荷重支撑部

具体实施方式

下面，通过示例性的图对实施例进行详细说明。值得注意的是，在对各个图的构成要素附加参照标号时，即使在不同的附图上示出，相同的构成要素也尽可能地具有相同的标号。另外，在说明实施例时，认为对相关公知构成或功能的具体说明妨碍了对实施例的理解时，省略其详细说明。

此外，在说明实施例的构成要素时，可以使用诸如第一、第二、A、B、（a）和（b）之类的术语。这些术语仅用于将该构成要素与其他构成要素区分开，并且相关构成要素的本质或次序或顺序等不受这些术语的限制。在提及某种构成要素“连接”、“结合”或“接入”至另一构成要素时，应理解为既可以是该构成要素直接连接于或接入于另一构成要素，也可以在各构成要素之间“连接”、“结合”或“接入”其他构成要素。

对于在任何一个实施例中包括的构成要素和包括共同性能的构成要素，可以在其他实施例中使用相同的名称加以说明。除非有相反的说明，否则任何一个实施例中记载的说明均可以适用于其他实施例，并且在重复范围内将省略具体说明。

图1是根据一个实施例的气体供给装置的立体图，图2是根据一个实施例的气体供给装置的立体图，图3是示出根据一个实施例的荷重支撑部的运转方式的结构图。

参照图1至图3，根据一个实施例的气体供给装置1可用于将存储有向半导体制造工艺等需要各种气体的地方供给的气体的气体容器G紧固连接于连接配管。气体供给装置1可以相对于气体容器G对齐其位置，以便可以相对于气体容器G紧固连接。

气体容器G可以在内部存储工艺气体并保管。在气体容器G的上部可设置有用于排出所保管的气体的阀门。阀门可以约束在容器内部保管的气体的供给。阀门可包括：阀门连接器，其以凸出的形式设置于侧面外部，并用于排出气体；阀门挡板，其设置于阀门内部，选择性地关闭阀门连接器；以及阀门手柄，其设置于阀门上部，根据旋转操作移动所述阀门挡板，从而开闭阀门连接器。在阀门连接器的外面可安装有盖子，盖子用于覆盖阀门连接器并防止气体泄漏。盖子通过形成于阀门连接器的外面的螺纹而螺丝结合于阀门连接器。

下面，为了便于说明，只要没有其他提及，将阀门连接器所在的阀门部位称为阀门前方。

对根据一个实施例的气体供给装置1的位置进行对齐，以便能够相对于气体容器G的阀门紧固连接。气体供给装置1配置于气体容器G的上部，可调节相对于气体容器G的高度。气体供给装置1可包括上部模块10、下部模块11及荷重支撑部12。

上部模块10可包括固定设置于气体容器G的上侧的主板101、第一水平引导部102、第二水平引导部13及竖直引导部104。

主板101可固定设置于气体容器G的上侧。主板101可与地面平行。

第一水平引导部102相对于主板101可沿着与地面平行的第一方向可移动地连接。第一水平引导部102可包括：第一导轨1021，其沿着第一方向配置于主板101的下侧；第一引导部件1022，其可移动地连接于所述第一导轨1021。

第二水平引导部13相对于主板101可沿着与地面平行的第二方向可移动地连接。第二水平引导部13可包括：第二导轨131，其沿着第一方向配置于第一引导部件1022的下侧；第二引导部件132，其可移动地连接于所述第二导轨131。

竖直引导部104相对于主板101可沿着垂直于地面的方向可移动地连接。竖直引导部104可包括：竖直导轨1041，其沿着垂直于地面的方向，即沿着气体容器G的高度方向配置；竖直引导部件1042，其沿着竖直导轨1041可滑动地连接；以及移动防止部1043，其对竖直引导部件1042的移动进行制动。竖直导轨1041可连接于第二引导部件132。在竖直引导部件1042可连接有下部模块11。

根据如上所述的结构，因为下部模块11通过第一水平引导部102、第二水平引导部13及竖直引导部104与主板101相连接，所以其相对于主板101的平面上的位置及相对于主板101的高度可得到调节。换句话说，因为可以相对于主板101调节下部模块11三维上的位置，所以可相对于位于主板101的下侧的气体容器G的阀门连接器对齐位置。

下部模块11相对于竖直引导部件1042以垂直于地面的轴为中心可旋转地连接。根据如上所述的结构，可调节下部模块11相对于阀门连接器的中心轴的角度，因此能够使得后述的连接器紧固连接部的中心轴和阀门连接器的中心轴对齐。

移动防止部1043可切断竖直引导部件1042的竖直方向上的移动。因为在竖直引导部件1042连接有下部模块11，所以可能产生由于下部模块11的荷重，竖直引导部件1042沿着竖直导轨1041向下侧移动的现象。移动防止部选择性地切断竖直引导部件1042的移动，因此可以以只在对齐下部模块11的高度的过程中使得竖直引导部件1042移动的形式切断。

移动防止部1043可根据作业者的操作信号选择性地运转。移动防止部1043只要接收到运转解除信号就可以解除竖直引导部件1042的移动，从而可调节下部模块11的升降运转。移动防止部1043例如可包括通过空气压力切断竖直引导部件1042的移动的空气制动器。在没有接收到运转解除信号的状态下，空气制动器以防止竖直引导部件1042移动的形式施加空气压力，从而在没有进行下部模块11的对齐的状态下，可以防止下部模块11由于荷重而自由落下。

下部模块11可紧固连接于气体容器G。可以通过调节下部模块11相对于主板101的位置来对齐相对于气体容器G的阀门连接器的位置。下部模块11在相对于阀门连接器对齐的状态下紧固连接于阀门连接器，从而可获得气体容器G内部的气体的供给。

下部模块11可包括盖子分离部、连接器紧固连接部及致动器。

盖子分离部可以去除在阀门连接器的外面安装的盖子。在下部模块11相对于阀门连接器对齐的状态下，阀门连接器可插入盖子分离部。此时，盖子分离部以解除盖子对于阀门连接器的螺丝结合的形式进行旋转运转，从而可使得盖子从阀门连接器分离出来。

连接器紧固连接部在去除阀门连接器的盖子的状态下可直接紧固连接于阀门连接器。连接器紧固连接部与阀门连接器相结合，在结合的状态下使得阀门连接器及连接配管连通，从而可以将气体容器G内部的气体供给至连接配管。连接器紧固连接部可通过形成于阀门连接器外面的螺纹与阀门连接器相结合。

致动器可提供用于运转盖子分离部及连接器紧固连接部的驱动力。

荷重支撑部12与下部模块11相连接，在下部模块11的升降运转过程中，可支撑下部模块11的荷重。在下部模块11升降的状态下，即在下部模块11的高度对齐的过程中，荷重支撑部12沿着抵消下部模块11的荷重的方向对下部模块11施加外力。荷重支撑部12可包括空气压力气缸及空气压力调节器122。

空气压力气缸121与下部模块11相连接，可沿着下部模块11的高度方向，即沿着重力方向的相反方向对下部模块11作用空气压力。空气压力气缸121连接上部模块10及下部模块11，可根据下部模块11的升降运转实现活塞运转。

空气压力调节器122可调节空气压力气缸121内部的空气压力。空气压力调节器122可以调节空气压力气缸121内部的空气压力，以便使得空气压力气缸121施加给下部模块11的外力对应于下部模块11的荷重。在下部模块11的升降过程中，空气压力调节器122可一定地调节空气压力气缸121施加的外力。根据下部模块11的升降，空气压力气缸121起到活塞作用，空气压力调节器122可通过调节空气压力气缸121内部的空气压力而将抵消下部模块11的荷重的外力持续施加给下部模块11。例如，空气压力调节器122在空气压力气缸121的运转过程中可排出空气压力气缸121内部的空气或向空气压力气缸121内部注入空气。

根据如上所述的结构，荷重支撑部12向下部模块11施加与下部模块11的荷重相对应的程度的外力，从而能够在下部模块11使得根据荷重的重力方向力抵消。由此，在对齐下部模块11的高度方向位置的过程中，可减轻作业者感受到的下部模块11的重量，并且辅助作业者用较小的力调节下部模块11的高度。

此外，荷重支撑部12防止下部模块11由于下部模块11的自重而急剧落下，因此可预先阻止因下部模块11的自由落下导致装备损伤，或下部模块11与气体容器G碰撞的事故发生。

尤其，荷重支撑部12通过空气压力调节器122一定地保持空气压力气缸121施加给下部模块11的力，因此可以在下部模块11的高度对齐过程中辅助作业者通过一定的力精密地调节下部模块11的高度。

图4及图5是示出根据一个实施例的气体供给装置1的运转过程的立体图。

参照图4及图5，对气体供给装置1的运转过程进行说明。

在调节下部模块11相对于气体容器G的高度的过程中，作业者可通过操作信号来解除移动防止部1043的运转。在没有操作信号的状态下，移动防止部1043防止竖直引导部件1042相对于竖直导轨1041移动，因此一定地保持下部模块11的高度方向位置。如果接收到操作信号，则荷重支撑部12可起到沿着重力方向的相反方向施加与下部模块11的荷重相对应的大小的外力的作用。作业者可以在沿着高度方向移动下部模块11的同时，对齐下部模块11相对于气体容器G的连接器阀门的位置。在这样的过程中，空气压力调节器122可以使得空气压力气缸121内部的空气排出，或向空气压力气缸121内部注入空气，以便能够一定地保持空气压力气缸121内部的空气压力。

之后，当下部模块11的高度方向位置对齐时，作业者解除操作信号，移动防止部1043切断竖直引导部件1042相对于竖直导轨1041的移动，由此能够使得下部模块11的高度固定。

图6是根据一个实施例的气体供给装置的立体图。

参照图6，根据一个实施例的气体供给装置2可包括上部模块20、下部模块21及荷重支撑部23。

下部模块21可以以能够沿着高度方向移动的形式连接于上部模块20。

荷重支撑部23可包括空气压力气缸231、空气压力调节器（未示出）、连接线233及导轮234。

在下部模块21的升降过程中，即在对齐高度方向上的位置的过程中，空气压力气缸231可沿着重力方向的相反方向将与下部模块21的荷重相对应的外力施加给下部模块21。

空气压力调节器在空气压力气缸231的运转过程中可调节空气压力气缸231内部的空气压力，以便空气压力气缸231可相对于下部模块21施加一定的力。

连接线233可连接空气压力气缸231和下部模块21。此时，连接线233与下部模块21的上端相连接，根据空气压力气缸231的作用，可向上侧拉动下部模块21。连接线233可得到导轮234的引导。导轮234在设定连接线233的位置的同时，引导在空气压力气缸231的运转过程中移动的连接线233的移动。与空气压力气缸231的活塞的移动方向无关地，导轮234可以以使得下部模块21受向上侧的力的形式引导力的传递方向。

根据如上所述的结构，即使空气压力气缸231不直接连接于下部模块21，也可以沿着高度方向向下部模块21施加力，因此可自由地设定空气压力气缸231的设置位置。此外，可具有可进行气体供给装置2的小型化、轻量化的优点。

如上所述，虽然根据限定的图对实施例进行了说明，但是如果是在所属技术领域中具有通常知识的技术人员，则可以从上述记载进行各种修改及变形。例如，即使按照与所说明的方法不同的顺序执行所说明的技术，及/或以与所说明的方法不同的形态结合或者组合所说明的结构、装置等构成要素，或通过其他构成要素或者均等物进行代替或者置换，也可以实现适当的结果。

Claims (7)

1.一种气体供给装置，其特征在于，包括：

上部模块，其包括位于气体容器的上侧的主板和竖直引导部，竖直引导部引导下部模块相对于所述主板的升降；

下部模块，其沿着所述气体容器的高度方向，可相对于所述上部模块进行升降运转，在相对于所述气体容器对齐的状态下，紧固连接于所述气体容器；以及

荷重支撑部，其支撑所述下部模块的荷重；

所述荷重支撑部包括：

空气压力气缸，其连接所述上部模块及所述下部模块；以及

空气压力调节器，其调节所述空气压力气缸的空气压力，

所述空气压力调节器一定地调节所述空气压力气缸施加给所述下部模块的外力所述竖直引导部包括：

竖直导轨，其沿着垂直于地面的方向配置；

竖直引导部件，其沿着所述竖直导轨可滑动地连接，并与所述下部模块相连接；

移动防止部，其对所述竖直引导部件相对于所述竖直导轨的移动进行制动，

所述移动防止部根据操作信号选择性地进行运转，从而控制所述下部模块的升降运转；

所述下部模块相对于所述竖直引导部件以垂直于地面的轴为中心可旋转地连接；

所述下部模块还包括连接器紧固连接部，其用于与所述气体容器的阀门连接器相连接，从而获得气体的供给；

调节下部模块（11）相对于阀门连接器的中心轴的角度，使连接器紧固连接部的中心轴和阀门连接器的中心轴对齐。

2.根据权利要求1所述的气体供给装置，其特征在于，

在所述下部模块进行升降运转的过程中，所述荷重支撑部沿着抵消所述下部模块的荷重的方向对所述下部模块施加外力。

3.根据权利要求1所述的气体供给装置，其特征在于，所述荷重支撑部还包括：

连接线，其连接所述空气压力气缸及下部模块；以及

导轮，其引导由所述空气压力气缸的作用导致的连接线的移动。

4.根据权利要求2所述的气体供给装置，其特征在于，

在所述下部模块进行升降运转的过程中，所述空气压力气缸施加的外力与所述下部模块的荷重相对应。

5.根据权利要求1所述的气体供给装置，其特征在于，

在所述移动防止部控制所述下部模块进行升降的状态下，所述荷重支撑部调节所述空气压力气缸的空气压力，以便抵消所述下部模块的荷重。

6.根据权利要求1所述的气体供给装置，其特征在于，所述上部模块还包括：

第一水平引导部，其相对于所述主板沿着与地面平行的第一方向可移动地连接；以及

第二水平引导部，其与所述第一水平引导部相连接，相对于所述主板沿着与地面平行且与第一方向垂直的第二方向可移动地连接，

所述竖直引导部连接于所述第二水平引导部。

7.根据权利要求1所述的气体供给装置，其特征在于，所述下部模块还包括：

盖子去除部，其用于去除所述气体容器的阀门连接器的盖子（1）。