KR102078009B1 - 인쇄회로기판 및 그 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 측면에 따른 인쇄회로기판은 적어도 하나의 절연층 및 배선부를 포함하며, 상기 절연층은 상기 배선부와 접하는 제1 절연층 및 상기 제1 절연층 하부에 배치된 제2 절연층을 포함하며, 상기 제1 및 제2 절연층의 내부에는 각각 제1 및 제2 필러가 분산되어 있고, 상기 제1 필러는 상기 제2 필러보다 산에 대하여 높은 식각성을 갖고, 상기 제2 필러는 상기 제1 필러보다 UV에 대하여 낮은 산란성을 갖는 구조이다.

Description

인쇄회로기판 및 그 제조방법{Printed circuit board and manufacturing method of the same}
본 발명은 인쇄회로기판 및 그 제조방법에 관한 것이다.
전자산업의 발전에 따라, 전자부품의 다기능화, 고기능화 및 소형화에 대한 요구가 급증하고 있다. 또한 전자부품의 경박단소화에 따라 전자부품이 실장되는 인쇄회로기판 또한 작은 면적에 많은 전자제품을 집적해야 하는 회로패턴의 고밀도화가 요구되고 있다. 인쇄회로기판의 회로패턴이 미세화되고 회로의 층간 간격이 좁아짐에 따라 유전손실이나 쇼트(short)와 같은 불량 또는 회로와 절연체 사이의 밀착력이 떨어져서 제품의 신뢰성이 저하되는 문제점이 발생하고 있다. 따라서, 인쇄회로기판(Printed Circuit Board, PCB), 반도체 패키지 기판 또는 플렉서블 인쇄회로기판 (Flexible Printed Circuit Board, FPCB) 등에는 미세한 개구 패턴을 형성할 수 있는 감광성 절연필름이 사용되고 있다.
본 발명의 목적 중 하나는 미세 패턴을 구현하기에 적합하며, 나아가, 절연층과 배선부의 밀착력이 강화되어 신뢰성이 향상될 수 있는 인쇄회로기판 및 이를 효율적으로 제조할 수 있는 방법을 제공하는 것이다.
상술한 과제를 해결하기 위한 방법으로, 본 발명은 일 실시 형태를 통하여 절연층과 배선부의 밀착력이 강화됨과 함께 미세한 형태의 배선부가 구현될 수 있는 인쇄회로기판의 신규한 구조를 제안하고자 하며, 구체적으로, 본 발명의 일 측면에 따른 인쇄회로기판은 적어도 하나의 절연층 및 배선부를 포함하며, 상기 절연층은 상기 배선부와 접하는 제1 절연층 및 상기 제1 절연층 하부에 배치된 제2 절연층을 포함하며, 상기 제1 및 제2 절연층의 내부에는 각각 제1 및 제2 필러가 분산되어 있고, 상기 제1 필러는 상기 제2 필러보다 산에 대하여 높은 식각성을 갖고, 상기 제2 필러는 상기 제1 필러보다 UV에 대하여 낮은 산란성을 갖는 구조이다.
본 발명의 여러 효과 중 일 효과로서, 서로 특성이 다른 필러가 분산된 다층 구조의 절연층을 채용함으로써 절연층과 배선부의 밀착력이 향상됨과 더불어 미세 회로 패턴을 구현할 수 있는 인쇄회로기판을 제공하며, 이와 함께, 본 발명의 다른 효과로서, 상술한 구조의 인쇄회로기판을 효율적으로 제조할 수 있는 제조방법을 제공할 수 있다.
이 경우, 상기 제1 절연층에서 상기 배선부와 접하는 계면에는 요철이 형성되어 있으며 이를 배선부가 메우도록 형성됨으로써 절연층과 배선부 사이의 충분한 밀착력이 확보될 수 있다. 여기서, 상기 요철은 기판의 제조 과정에서 제1 절연층의 표면에 존재하던 제1 필러가 제거되어 형성될 수 있다.
본 발명의 다양하면서도 유익한 장점과 효과는 상술한 내용에 한정되지 않으며, 본 발명의 구체적인 실시 형태를 설명하는 과정에서 보다 쉽게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 인쇄회로기판을 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 2는 도 1의 실시 형태에서 절연층 및 배선부(A 영역)의 세부 형태를 보다 상세히 나타낸 것이다.
도 3 내지 5는 비교 예와 본 발명의 실시 예에 따른 절연층에서 관통홀이 형성되는 모습을 비교하여 나타낸 것이다.
도 6은 본 발명의 일시 형태에 따른 인쇄회로기판의 제조방법을 개략적으로 나타낸 공정도이다.
도 7은 본 발명에서 제안하는 다층 구조의 절연층을 얻는 방법의 일 예를 나타낸다.
이하, 구체적인 실시형태 및 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태를 설명한다. 그러나, 본 발명의 실시형태는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시형태로 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 발명의 실시형태는 통상의 기술자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있으며, 도면상의 동일한 부호로 표시되는 요소는 동일한 요소이다.
그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하고, 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었으며, 동일한 사상의 범위 내의 기능이 동일한 구성요소는 동일한 참조부호를 사용하여 설명한다. 나아가, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
도 1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 인쇄회로기판을 개략적으로 나타내는 단면도이다. 도 2는 도 1의 실시 형태에서 절연층 및 배선부(A 영역)의 세부 형태를 보다 상세히 나타낸 것이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시형태에 따른 인쇄회로기판(100)은 절연층(120) 및 배선부(121)를 포함하는 구조이며, 절연층(120) 및 배선부(121)는 코어부(110)를 중심으로 양 측 모두에 배치될 수 있다. 이 경우, 코어부(110)에는 전기 연결을 위한 도전성 패턴(111)과 도전성 비아(112)가 구비될 수 있다. 다만, 코어부(110)는 실시 형태에 따라 제외될 수 있으며, 이하에서는 나머지 구성, 특히, 절연층(120) 및 배선부(121)를 중심으로 인쇄회로기판(100)의 구성 요소를 상세히 설명한다.
절연층(120)은 도 1에 도시된 예와 같이 복수 개 구비되어 적층될 수 있으며, 다만, 경우에 따라 단층의 절연층(120)만으로 기판을 구현할 수도 있을 것이다. 절연층(120)은 전기 절연성을 갖는 물질이라면 어느 것이나 사용될 수 있으며, 예컨대, 감광성 수지, 에폭시 수지와 같은 열경화성 수지, 폴리이미드와 같은 열가소성 수지, 또는 이들에 유리 섬유 또는 무기 필러와 같은 보강재가 함침된 수지, 예를 들어, 프리프레그(PPG)가 사용될 수 있다. 이러한 물질들 중에서 절연층(120)으로서 감광성 물질(Photo Imageable Dielectric, PID)을 사용하는 경우, 기계적 가공 등을 이용하는 경우보다 절연층(120)에 미세 패턴을 형성하기 용이하므로 고 밀도 인쇄회로기판의 제작에 유리하며, 본 실시 형태에서는 감광성 물질을 사용한 예를 설명한다.
배선부는 도전성 패턴(121) 및 도전성 비아(122)를 포함하며, 이들은 전기 전도도가 높은 구리, 니켈, 은 등과 같은 금속 물질로 이루어질 수 있다. 앞서 설명한 바와 같이, 절연층(120)을 감광성 수지를 포함하는 물질로 형성하는 경우 미세 패턴 구현에 용이할 수 있다.
외부층(130)은 배선부의 도전성 패턴(121) 중 적어도 일부를 노출시키는 개구부를 가질 수 있다. 외부층(130)의 물질은 특별히 한정되지 않으며, 예를 들면, 솔더 레지스트를 사용할 수 있다. 그 외에도 배선부의 절연층(120)과 동일한 물질을 사용할 수 있으며, 또한, 외부층(120)은 단층인 것이 일반적이나, 필요에 따라 다층으로 구성될 수도 있다.
도 2에 도시된 예와 같이, 절연층(120)은 제1 및 제2 절연층(120a, 120b)을 포함하며, 제1 절연층(120a)은 배선부, 본 실시 형태에서는 도전성 패턴(121)과 접하고 제2 절연층(120b)은 제1 절연층(120a)의 하부에 배치된다. 제1 및 제2 절연층(120a, 120b)의 내부에는 각각 제1 및 제2 필러(P1, P2)가 분산되어 있으며, 이러한 필러(P1, P2)는 절연층(120a, 120b)에 비하여 상대적으로 열팽창계수가 낮은 물질로 이루어짐으로써 절연층(120a, 120b)의 강성을 증가시킬 수 있고 이에 따라 기판의 휨 특성 향상에 기여할 수 있다. 본 실시 형태에서는 절연층 전체에서 같은 종류의 필러를 사용하기 보다 영역을 구분하여 에칭액이나 빛에 대한 특성이 서로 다른 것을 채용하였다.
구체적으로, 도전성 패턴(121)과 인접한 제1 절연층(120a)에 포함된 제1 필러(P1)는 제2 필러(P2)보다 산에 대하여 높은 식각성을 갖는다. 도전성 패턴(121)을 형성하기 전에 디스미어(desmear) 공정 등으로 절연층의 표면을 식각하는데 에칭액에 대한 식각성이 낮은 필러를 사용하는 경우 절연층의 표면으로 노출된 상태로 남게 된다. 이러한 상태에서 도전성 패턴(121)을 형성하면 절연층(120a)과의 결합력이 저하될 수 있으므로, 본 실시 형태에서는 도전성 패턴(121)이 형성될 영역인 제1 절연층(120a)의 표면에서 산에 대한 고 식각성을 갖는 제1 필러(P1)를 사용한 것이다. 이러한 물질의 예로서, SiO2, ZnO, Al2O3, MgO, BN, SiC, AlBO3, BaTiO3, CaZrO3 등의 물질로 제1 필러(P1)를 형성할 수 있으며, 도 2에 도시된 예와 같이 구형이 일반적으로 채용될 수 있는 형상이긴 하지만 유사 구형이나 표면에 요철이 형성된 형태 등 다른 변형된 형상도 가능할 것이다.
표면에 노출된 제1 필러(P1)는 기판 공정 중 디스미어 공정 등에서 사용되는 에칭액에 의하여 제거될 수 있으며, 대표적으로 HF를 들 수 있다. 제1 필러(P1)가 제거되어 형성된 제1 절연층(120a) 표면의 요철(R)은 도 2에 도시된 바와 같이, 도전성 패턴(121)에 의하여 메워지며 이에 따라 절연층(120)과 도전성 패턴(121)의 밀착력이 강화되어 회로 패턴의 안정성이 향상될 수 있다.
제2 절연층(120b)에 포함된 제2 필러(P2)는 제1 필러(P1)보다 빛, 특히, 절연층(120)에 관통홀을 형성하기 위하여 제공되는 UV에 대하여 낮은 산란성을 갖는다. 이러한 관통홀은 기판에서 층간의 전기 연결을 위한 도전성 비아를 형성하기 위한 영역으로 제공될 수 있으며, 상술한 바와 같이 감광성 물질을 이용하여 절연층을 구현하는 경우 UV 등을 조사하여 미세하면서도 정밀한 형태의 관통홀을 형성할 수 있다. 그러나, 절연층에 포함된 필러는 빛을 산란하기 때문에 필러의 양이 많아질수록 미세한 관통홀 얻기 어렵다. 본 발명의 발명자들은 이를 고려하여 절연층 내부에 존재하는 제2 필러(P2)에 대해서는 식각 특성보다는 빛에 대한 산란성을 고려하여 선정하였다.
상술한 바와 같이, 제2 필러(P2)는 UV에 대하여 낮은 산란성을 가지므로 UV 조사 시 산란에 의하여 소모되는 빛을 줄일 수 있다. 따라서 절연층(120)에 관통 홀을 형성하는 공정 시 정밀도가 향상될 수 있다. 이러한 특성을 갖도록 제2 필러(P2)는 백색 안료 계 물질을 이용할 수 있다. 구체적으로, 제2 필러(P2)는 BaSO4, TiO2, ZnS 등의 물질로 이루어질 수 있다. 이러한 백색 안료 계 물질의 경우, UV에 대한 식각성이 낮아 관통홀 형성 면에서는 유리하지만 HF 등의 에칭액에 대한 식각성이 상대적으로 낮다. 따라서, 통상적인 식각 공정으로는 절연층의 표면에서 쉽게 제거되지 않기 때문에 제1 필러(P1)를 사용한 경우보다 도전성 패턴(121)과의 밀착력이 저하될 수 있다. 이러한 점을 고려하여 도전성 패턴(121)에 인접한 절연층(120a)에는 제1 필러(P1)를, 인접하지 아니한 절연층(120b)에는 제2 필러(P2)를 채용하였다.
제2 필러(P2)의 기능을 도 3 내지 5를 참조하여 보다 구체적으로 설명한다. 도 3 내지 5는 비교 예와 본 발명의 실시 예에 따른 절연층에서 관통홀이 형성되는 모습을 비교하여 나타낸 것이다. 이 경우, 도 3은 제1 절연층(120a)을, 도 4는 제2 절연층(120b)을, 그리고, 도 5는 도 2의 형태와 같이 제1 및 제2 절연층(120a, 120b)의 적층 구조를 나타내며, 동일한 두께를 기준으로 하였다. 그리고 각 도면에서 좌측에서 우측으로 갈수록 관통홀의 크기는 줄어들며 최상면을 기준으로 80um, 30um, 10um의 관통홀을 형성하는 형태이다.
우선, 도 3에 도시된 예와 같이, UV에 대한 산란성이 높은 제1 필러, 예를 들어, SiO2를 사용한 제1 절연층(120a)의 경우, 소실되는 UV가 상대적으로 많기 때문에 하부로 갈수록 관통홀(V)의 크기가 현저히 작아지며 30um 이하 수준의 미세한 관통홀(V)을 구현하는데 어려움이 있다. 반면에, 도 4의 예에서 볼 수 있듯이, BaSO4, TiO2, ZnS 등의 제2 필러를 사용한 제2 절연층(120b)의 경우에는 미세한 관통홀(V)의 구현에 문제가 없음을 확인할 수 있다. 이와 유사하게, 제1 및 제2 절연층(120a, 120b)을 모두 사용한 본 발명의 실시 에(도 5)의 경우에는 필러의 식각 성능이 우수한 제1 절연층(120a)이 상부에 존재하기는 하지만 제2 절연층(120b)만을 사용한 비교 예와 거의 유사한 수준에서 미세한 관통홀(V)을 형성할 수 있었다.
상술한 제1 및 제2 절연층(120a, 120b)의 고유한 기능을 고려하여 이들의 두께는 적절히 조절될 수 있다. 제1 절연층(120a)의 경우 도전성 패턴(121)과의 높은 결합력을 제공하는 것이 주요 목적이므로 상대적으로 얇은 두께로 형성될 수 있으며, 약 2-10um로 형성될 수 있다. 절연층 전체의 관통홀 형성과 관련된 제2 절연층(120b)은 도 5에 나타난 바와 같이 이보다 두껍게 형성될 수 있으며, 제1 및 제2 절연층(120a, 120b)을 합한 전체 두께는 약 100um를 넘지 않는 범위에서 채용될 수 있다.
이와 같이 본 발명에서 채용된 다층 구조의 절연층(120)은 회로 패턴과의 결합력이 높아 안정성이 향상됨과 동시에 최근 기판 분야에서 널리 요구되고 있는 미세하고 정밀한 패턴을 구현할 수 있는 형태이다.
이하, 상술한 인쇄회로기판을 효율적으로 제조할 수 있는 방법을 설명하며, 상술한 구성 요소들은 하기의 제조방법에 대한 설명을 통하여 보다 상세히 이해될 수 있을 것이다. 도 6은 본 발명의 일시 형태에 따른 인쇄회로기판의 제조방법을 개략적으로 나타낸 공정도이며, 절연층들을 적층하는 과정이나 코어부를 형성하는 과정 등은 당 기술 분야에서 널리 이용되는 기판 공정을 사용할 수 있을 것인바 구체적인 설명은 생략한다. 그리고, 도 7은 본 발명에서 제안하는 다층 구조의 절연층을 얻는 방법의 일 예를 나타낸다.
도 6을 참조하면, 우선, 다층 구조의 절연층을 마련하며, 이 경우, 제1 절연층(102a)은 제1 필러(P1)가 내부에 분산된 형태이고, 제2 절연층(102b)은 제2 필러(P2)가 내부에 분산된 형태이다. 이 경우, 제2 필러(P2)는 제1 필러(P1)보다 산에 대하여 낮은 식각성과 UV에 대하여 낮은 산란성을 갖는다. 절연층(120a, 120b)을 얻는 방법의 일 예로서, 필러(P1, P2)를 미 경화 상태의 감광성 수지 등과 함께 캐리어 필름 상에 코팅하는 방법을 이용할 수 있다. 이 경우, 제1 및 제2 절연층(120a, 120b)은 개별적으로 형성되어 서로 적층될 수 있고, 이와 달리, 도 7에 도시된 공정 예와 같이, 분사 유닛(202)을 기준으로 캐리어 필름(201)을 이동하면서 다수의 토출부를 통하여 코팅액을 분사하는 방법을 사용할 수 있다. 이러한 다층 코팅 방식에 의하여 다층 구조의 절연층을 단일 공정으로 얻을 수도 있다.
다음으로, UV를 조사하는 방법 등을 이용하여 절연층(120a, 120b)을 관통하는 홀(V)를 형성하며 상술한 바와 같이, UV를 상대적으로 덜 산란시킬 수 있는 제2 필러(P2)가 채용된 제2 절연층(120b)에 의하여 정밀한 관통홀(V)을 형성할 수 있다.
이후, 제1 필러(P1) 중 제1 절연층(120a)의 표면으로 노출된 것의 적어도 일부를 제거하여 제1 절연층(120a)의 표면에 요철 구조, 즉, 제1 절연층(120) 표면의 일부가 매몰된 형태의 요철을 형성한다. 제1 필러(P1)를 제거하는 방법의 일 예로서, 디스미어 공정 중에 사용되는 산을 적용하여 제1 필러(P1)를 에칭 할 수 있다. 다만, 제1 필러(P1)는 반드시 관통홀(V)을 형성한 후에 제거될 필요는 없으며 실시 예에 따라서 그 전에 제거될 수도 있을 것이다.
다음으로, 관통홀(V)을 충진하는 도전성 비아(122)를 형성하고 절연층(120a)의 표면에 도전성 패턴(121)을 형성한다. 상술한 바와 같이, 도전성 패턴(121)은 제1 절연층(120a) 표면의 요철을 메우도록 형성되어 제1 절연층(120a)과 안정적인 결합 구조를 형성할 수 있다. 이 경우, 도전성 패턴(121)은 도전성 페이스트를 도포하는 방법이나 시드층을 이용한 도금 공정 등으로 얻어질 수 있다.
한편, 절연층(120a, 120b), 도전성 패턴(121), 도전성 비아(122)를 형성하는 공정의 경우, 이들을 순차적으로 적층하면서 실행될 수 있고, 다른 예로서, 절연층(120a, 120b), 도전성 패턴(121), 도전성 비아(122)을 개별적으로 만들어 논 후 일괄하여 적층할 수도 있다.
이후, 인쇄회로기판의 최외곽에 솔더 레지스트와 같은 외부층(130)을 형성하여 앞선 실시 형태에서 설명한 인쇄회로기판을 얻을 수 있으며, 외부층(130)은 IC 패키지 기판 등으로 이용하기에 적합한 형태로서 디자인이나 필요한 기능에 따라 적절한 형상으로 제공될 수 있을 것이다.
본 발명은 상술한 실시 형태 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니며, 첨부된 청구범위에 한정하고자 한다. 따라서, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 형태의 치환, 변형 및 변경이 가능할 것이며, 이 또한 본 발명의 범위에 속한다고 할 것이다.
100: 인쇄회로기판
110: 코어부
111, 121: 도전성 패턴
112, 122: 도전성 비아
120: 절연층
120a, 120b: 제1 및 제2 절연층
130: 외부층
P1, P2: 제1 및 제2 필러
R: 요철
V: 관통홀
201: 캐리어 필름
202: 분사 유닛

Claims (16)

  1. 적어도 하나의 절연층 및 배선부를 포함하며,
    상기 절연층은 상기 배선부와 접하는 제1 절연층 및 상기 제1 절연층 하부에 배치된 제2 절연층을 포함하며,
    상기 제1 및 제2 절연층의 내부에는 각각 제1 및 제2 필러가 분산되어 있고,
    상기 제1 필러는 상기 제2 필러보다 산에 대하여 높은 식각성을 갖고,
    상기 제2 필러는 상기 제1 필러보다 UV에 대하여 낮은 산란성을 갖는 인쇄회로기판.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 절연층에서 상기 배선부와 접하는 계면에는 요철이 형성된 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 절연층은 상기 제2 절연층보다 얇은 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 배선부는 상기 요철을 메우는 형태인 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1 필러는 SiO2, ZnO, Al2O3, MgO, BN, SiC, AlBO3, BaTiO3 및 CaZrO3으로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제2 필러는 백색 안료 계 물질인 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 제2 필러는 BaSO4, TiO2, 및 ZnS으로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 배선부는 상기 절연층 상에 형성된 도전성 패턴 및 상기 절연층을 관통하는 도전성 비아를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 절연층은 감광성 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 산은 HF인 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판.
  11. 제1 필러가 내부에 분산된 제1 절연층과, 상기 제1 필러보다 산에 대하여 낮은 식각성과 UV에 대하여 낮은 산란성을 갖는 제2 필러가 내부에 분산된 제2 절연층을 포함하는 절연층을 형성하는 단계;
    상기 제1 필러 중 상기 제1 절연층의 표면으로 노출된 것의 적어도 일부를 제거하여 상기 제1 절연층의 표면의 일부가 매몰된 형태의 요철을 형성하는 단계; 및
    상기 제1 절연층의 표면에 배선부를 형성하는 단계;
    를 포함하는 인쇄회로기판 제조방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 절연층은 감광성 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 절연층을 관통하는 관통 홀을 형성하는 단계를 더 포함하는 인쇄회로기판 제조방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 관통 홀을 형성하는 단계는 상기 제1 및 제2 절연층에 UV를 조사하여 실행되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
  15. 제11항에 있어서,
    상기 제1 절연층의 표면에 요철을 형성하는 단계는 상기 노출된 제1 필러를 HF로 에칭하여 실행되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
  16. 제11항에 있어서,
    상기 배선부는 제1 절연층의 표면에 형성된 요철을 메우도록 형성된 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
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