KR102045873B1 - 회전운동 밀폐장치 - Google Patents

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Abstract

회전운동 밀폐장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 회전운동 밀폐장치는 중공의 하우징, 상기 하우징 내에 일부가 삽입되어 상기 하우징에 대해 회전운동 및 축방향 운동이 가능하게 설치되는 중공의 제1 샤프트, 상기 제1 샤프트를 관통하되, 상기 제1 샤프트와 함께 회전되는 제2 샤프트, 상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이에 마련되어 상기 사이를 밀봉하는 제1 씰링부재 및 제2 씰링부재;를 포함한다.

Description

회전운동 밀폐장치{SEALING APPARATUS CAPABLE OF ROTATIONAL MOTION}
본 발명은 회전운동이 가능한 밀폐장치에 관한 것이다. 더 구체적으로는 가스 간의 화학반응으로 형성된 입자들을 웨이퍼 표면에 증착하여 절연막이나 전도성막을 형성시키는 공정인 화학기상증착(CVD; Chemical Vapor Deposition)공정이나 원자층 증착(ALD; Atomic Layer Deposition), 이온 주입 공정, OLED 및 식각 공정에 적용되는 회전축을 갖는 기계요소에 구비되어 샤프트의 회전운동을 가능하게 하면서, 샤프트와 고정체인 하우징 사이로 유체가 누설되는 것을 방지하고, 씰링부재의 마모나 파손으로 인해 교체가 필요할 때, 미리 준비된 예비 씰링부재를 사용하게 하는 회전운동 밀폐장치에 관한 것이다.
일반적으로 진공 압력 장비용 회전운동 밀폐장치는 고압영역 및 저압영역과 대면하고 이들 사이에서 회전운동 하는 샤프트의 외주면에 구비되어 고압영역과 저압영역이 서로 밀봉되도록 하기 위한 것이다.
도 1은 종래의 진공 압력 장비용 밀폐장치를 도시하는 단면도로, 도면에 도시된 바와 같이 종래의 진공 압력 장비용 밀폐장치(1)는 하우징(10)과, 하우징(10)을 관통하여 결합되는 샤프트(20)를 포함한다. 샤프트(20)는 고압영역 및 저압영역과 대면하고 하우징(10)은 이들, 즉 고압영역과 저압영역의 경계면에 위치된다. 또한, 하우징(10)과 샤프트(20) 사이에는 부싱(30)과 밀폐용 씰(40)이 구비된다. 부싱(30)은 하우징(10)과 샤프트(20) 사이에서 발생되는 마찰을 감소시키기 위한 것이고, 씰(40)은 하우징(10)과 샤프트(20) 사이를 밀봉하기 위한 것이다. 이때, 샤프트(20)와 씰(40) 사이에서도 마찰이 발생되는데, 이때 발생되는 마찰을 최소화하기 위하여 샤프트(20)의 표면에는 세라믹 층이 코팅되어 있다. 그리고 씰(40)은 밀봉효과를 증대시키기 위하여 복수로 구비되며 상기 하우징(10)의 상부와 하부에 각각 위치된다.
샤프트(20)는 하우징(10)에 대해 회전운동이 가능하게 설치된다. 이때, 샤프트(20)의 회전운동 시 발생되는 마찰을 감소시키기 위한 부싱(30)에는 내부에 다수개의 볼이 구비되는 볼 부싱, 또는 내부에 고체 윤활제가 마련되는 슬라이드 부싱이 사용된다.
그런데 상기와 같은 구성을 같은 종래의 진공 압력 장비용 밀폐장치(1)는 씰(40)이 쉽게 파손되고 수명이 짧아 자주 교체해야 하는 단점이 있다. 또한, 샤프트(20)가 하우징(10)에서 이탈하는 문제점이 발생한다.
KR 10-0496990 B1
본 발명은 상술한 제반 문제점을 해결하기 위한 것으로서 샤프트가 회전운동을 수행하되 샤프트와 고정체인 하우징 사이로 유체가 누설되는 것을 방지할 수 있는 진공 압력 장비용 회전운동 밀폐장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 회전운동을 밀폐하기 위한 씰링부재가 파손되는 경우, 샤프트를 축방향으로 이동시켜 예비로 마련된 새로운 다른 씰링부재가 대체할 수 있게 하는 직선 및 회전운동 밀폐장치를 제공하고자 한다.
또한, 회전운동을 전달하는 샤프트가 하우징으로부터 이탈하는 것을 방지하는 회전운동 밀폐장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 회전운동 밀폐장치는, 중공의 하우징; 상기 하우징 내에 일부가 삽입되어 상기 하우징에 대해 회전운동 및 축방향 운동이 가능하게 설치되는 중공의 제1 샤프트; 상기 제1 샤프트를 관통하되, 상기 제1 샤프트와 함께 회전되는 제2 샤프트; 상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이에 마련되어 상기 사이를 밀봉하는 제1 씰링부재 및 제2 씰링부재;를 포함하고, 상기 제1 샤프트는 상기 하우징 내에서 축방향으로 제1 위치와 제2 위치로 이동가능하고, 상기 제1 샤프트가 상기 하우징 내 상기 제1 위치에 위치하면 상기 제1 씰링부재가 상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이를 밀봉하고, 상기 제1 샤프트가 상기 하우징 내 상기 제2 위치에 위치하면 상기 제2 씰링부재가 상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이를 밀봉할 수 있다.
또한, 상기 제1 씰링부재 및 상기 제2 씰링부재는 축방향으로 서로 이격되게 설치될 수 있다.
또한, 상기 제1 씰링부재 및 상기 제2 씰링부재 사이에 간격조절부재가 개재될 수 있다.
또한, 상기 제1 샤프트는 단차를 가지며 연장 형성된 돌출부;를 포함하고, 상기 제1 샤프트가 상기 제1 위치에 위치하면 상기 제1 씰링부재가 상기 돌출부와 상기 하우징 사이를 밀봉할 수 있으며, 상기 제1 샤프트가 상기 제2 위치에 위치하면 상기 제2 씰링부재가 상기 돌출부와 상기 하우징 사이를 밀봉할 수 있다.
또한, 상기 하우징의 일부는, 일단으로 갈수록 내경이 확대되는 다단으로 형성될 수 있고, 상기 제1 샤프트는, 상기 돌출부와 상기 하우징의 단차에 의해 제1 방향으로의 이동이 제한될 수 있다.
또한, 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이에 마련되어 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이를 밀봉하는 제3 씰링부재를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트는 결합수단에 의해 결합되어 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트가 동일하게 회전할 수 있다.
또한, 상기 결합수단은 상기 하우징의 외부로 노출된 상기 제1 샤프트 또는 상기 제2 샤프트에 마련되는 클램핑 기구 또는 스크류 볼트일 수 있다.
또한, 상기 클램핑 기구는, 상기 제1 샤프트 외주면을 둘러싸도록 부착되어 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트를 결합시키고, 상기 제1 샤프트 및 상기 제2 샤프트는 상기 클램핑 기구에 의해 상기 하우징으로부터 이탈이 방지될 수 있다.
또한, 상기 제2 샤프트의 이탈을 방지하는 이탈방지부재;를 더 포함하고, 상기 이탈방지부재는 상기 하우징 외부로 노출된 상기 제1 샤프트 또는 상기 제2 샤프트와 결합할 수 있다.
또한, 상기 제1 샤프트는 축방향으로 이격되고, 상기 이탈방지부재가 결합수단에 의해 상기 제1 샤프트에 결합되는 제1 결합부 및 제2 결합부;를 포함할 수 있다.
또한, 상기 이탈방지부재가 상기 제1 결합부에 결합되면 상기 제1 샤프트는 상기 제1 위치에 위치하고, 상기 이탈방지부재가 상기 제2 결합부에 결합되면 상기 제1 샤프트는 상기 제2 위치에 위치할 수 있다.
또한, 상기 제1 씰링부재 및 상기 제2 씰링부재는 회전운동용 회전용 씰일 수 있다.
본 발명에 따른 회전운동 밀폐장치는 한 쌍의 샤프트가 구비되어 회전운동을 수행하되 하우징과 제1 샤프트 및 제1 샤프트와 제2 샤프트 사이에는 각각 씰링부재가 구비되어 그들 사이로 유체가 누설되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 회전운동을 밀폐하기 위한 씰링부재가 파손되는 경우, 샤프트를 축방향으로 이동시켜 예비로 마련된 새로운 다른 씰링부재가 대체할 수 있게 하는 회전운동 밀폐장치를 제공하여, 회전운동 밀폐장치의 수명을 연장하는 효과가 있다.
또한, 이탈방지부재를 통하여 회전운동을 전달하는 샤프트가 하우징으로부터 이탈하는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 종래의 밀폐장치를 도시한 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 회전운동 밀폐장치의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 회전운동 밀폐장치의 분해 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 회전운동 밀폐장치의 분해 단면 사시도이다.
도 5는 도 2의 회전운동 밀폐장치의 제1 샤프트가 제1 위치에 위치한 단면도이다.
도 6은 도 2의 회전운동 밀폐장치의 제1 샤프트가 제2 위치에 위치한 단면도이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예가 상세하게 설명된다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고, 도면에서 본 발명의 실시예를 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략되었다.
본 명세서에서 사용된 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도로 사용된 것이 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함할 수 있다.
본 명세서에서, "포함하다", "가지다" 또는 "구비하다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것으로서, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 나타나는 구성부들은 서로 다른 특징적인 기능들을 나타내기 위해 독립적으로 도시되는 것으로, 각 구성부들이 분리된 하드웨어나 하나의 소프트웨어 구성단위로 이루어짐을 의미하지 않는다. 즉, 각 구성부는 설명의 편의상 각각의 구성부로 나열하여 기술되고, 각 구성부 중 적어도 두 개의 구성부가 합쳐져 하나의 구성부로 이루어지거나, 하나의 구성부가 복수 개의 구성부로 나뉘어져 기능을 수행할 수 있다. 이러한 각 구성부의 통합된 실시예 및 분리된 실시예도 본 발명의 본질에서 벗어나지 않는 한 본 발명의 권리 범위에 포함된다.
또한, 이하의 실시예들은 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 보다 명확하게 설명하기 위해서 제공되는 것으로서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 바람직한 실시예에 대하여 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 회전운동 밀폐장치의 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 회전운동 밀폐장치의 분해 사시도이다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 회전운동 밀폐장치의 분해 단면 사시도이며, 도 5는 도 2의 회전운동 밀폐장치의 제1 샤프트가 제1 위치에 위치한 단면도이다. 도 6은 도 2의 회전운동 밀폐장치의 제1 샤프트가 제2 위치에 위치한 단면도이다.
도 2 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 회전운동 밀폐장치는, 중공의 하우징(100), 하우징(100) 내에 일부가 삽입되어 하우징(100)에 대해 회전운동 및 축방향 운동이 가능하게 설치되는 중공의 제1 샤프트(200), 제1 샤프트(200)를 관통하되, 제1 샤프트(200)와 함께 회전되는 제2 샤프트(300), 하우징(100)과 제1 샤프트(200) 사이에 마련되어 하우징(100)과 제1 샤프트(200) 사이를 밀봉하는 제1 씰링부재(400a) 및 제2 씰링부재(400b)를 포함할 수 있다.
여기서, 제1 샤프트(200)는 하우징(100) 내에서 축방향으로 제1 위치와 제2 위치로 이동가능하고, 제1 샤프트(200)가 하우징(100) 내 제1 위치에 위치하면(도 5 참조), 제1 씰링부재(400a)가 하우징(100)과 제1 샤프트(200) 사이를 밀봉하고, 제1 샤프트(200)가 하우징(100) 내 제2 위치에 위치하면(도 6 참조), 제2 씰링부재(400b)가 하우징(100)과 제1 샤프트(200) 사이를 밀봉할 수 있다.
제1 위치는 도 5에 도시된 제1 샤프트(200)의 위치로, 제1 샤프트(200)의 돌출부(210)가 제1 씰링부재(400a)와 접촉되어 제1 사프트(200)와 하우징(100) 사이의 공간을 밀봉하는 위치이다. 그리고 제2 위치는 도 6에 도시된 제1 샤프트(200)의 위치로, 제1 샤프트(200)의 돌출부(210)가 제2 씰링부재(400b)와 접촉되어 제1 샤프트(200)와 하우징(100) 사이의 공간을 밀봉하는 위치이다.
하우징(100)은 고압영역 및 저압영역의 경계면에 고정 가능하도록 플랜지부(110)를 구비하는 원통형상으로 형성될 수 있으며, 그 내주면 일측에는 내측으로 돌출되는 걸림턱(101)이 형성될 수 있다. 플랜지부(110)에는 경계면에 고정 가능하도록 복수개의 나사공(111)이 형성된다. 도 5 및 도 6과 같이, 제1 샤프트(200)가 하우징(100)의 중공을 관통할 때 발생할 수 있는 공간인, 하우징(100)과 제1 샤프트(200) 사이에는 제1 씰링부재(400a)와 제2 씰링부재(400b)가 마련될 수 있다. 제1 씰링부재(400a) 및 제2 씰링부재(400b)는 하우징(100)과 제1 샤프트(200) 사이를 밀봉하기 위한 것으로, 회전운동에 우수한 밀봉성능을 보이는 회전운동용 회전용 씰일 수 있다. 본 실시예에서는 오링을 사용하였으나 이는 일례에 불과한 것으로 이에 한정되지 아니하고, 립씰 등 여러가지 형태의 회전용 씰을 적용할 수 있다.
하우징(100)은 일단에서 타단으로 갈수록 외경이 커지는 다단으로 형성될 수 있으며, 타단부에는 하우징 덮개(140)가 마련되고, 스크류와 같은 결합수단에 의해 하우징(100)과 하우징 덮개(140) 결합될 수 있다.
또한, 제1 씰링부재(400a)와 제2 씰링부재(400b)는 축방향으로 서로 이격되게 설치될 수 있다. 이격된 제1 씰링부재(400a)와 제2 씰링부재(400b) 사이에는 간격조절부재(410)가 개재될 수 있다. 간격조절부재(410)로 인하여 제1 씰링부재(400a)와 제2 씰링부재(400b)는 물리적으로 서로 분리될 수 있다. 또한, 간격조절부재(410)에 의해 제1 씰링부재(400a)와 제2 씰링부재(400b)는 하우징(100)내에서 이동되지 않도록 위치가 고정될 수 있다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 복수개의 제1 씰링부재(400a) 및 제2 씰링부재(400b) 각각은 와셔(410) 및 씰(420)로 구성될 수 있다. 와셔(410)의 일면에는 단턱이 형성되고 그 단턱에는 씰(420)이 안착될 수 있다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 제1 씰링부재(400a) 및 제2 씰링부재(400b) 각각은 복수개로 이루어질 수 있으며, 복수개의 제2 씰링부재(400b)와 복수개의 제1 씰링부재(400a) 사이에는 제2 씰링부재(400b)와 제1 씰링부재(400a)를 이격시키면서 하우징(100)내에서 위치를 고정하기 위한 간격조절부재(410)가 마련될 수 있다. 제1 씰링부재(400a)의 일단에는 하우징 덮개(140)가 마련되어 하우징(100) 내에 나란히 끼워진 제1 씰링부재(400a), 제2 씰링부재(400b) 및 간격조절부재(410)를 압박하며, 이러한 구조는 제1 씰링부재(400a) 및 제2 씰링부재(400b)가 하우징(100)에 별도의 결합수단으로 결합이 되어 있지 않아도 하우징 내에서 위치가 고정될 수 있는 이점이 있다.
제1 샤프트(200)는, 그 내부에 형성된 중공 및 단차와, 그 외주면으로부터 연장 형성된 돌출부(210)를 포함할 수 있다. 도 5에 도시된 제1 위치에서는, 제1 씰링부재(400a)는 돌출부(210)와 하우징(100) 사이를 밀봉할 수 있다. 돌출부(210)는 돌출부 외경면(211)과 돌출부 걸림턱(212)을 포함할 수 있다(도 4 참조). 돌출부 외경면(211)과 제1 씰링부재(400a)는 접촉되면서 씰링을 형성하기 때문에, 하우징(100)과 제1 샤프트(200) 사이는 밀봉될 수 있다.
한편, 도 5에 도시된 바와 같이, 제1 샤프트(200)가 제1 위치에 위치하면, 제1 샤프트(200)의 돌출부 외경면(211)은 제2 씰링부재(400b)와 접촉하지 않는다. 따라서, 제1 위치에서는 제2 씰링부재(400b)는 하우징(100)과 제1 샤프트(200) 사이의 밀봉을 수행하지 않는다.
그러나 상기 회전운동 밀폐장치의 오랜 사용으로 인해 제1 씰링부재(400a)는 수명이 다하거나 파손될 수 있다. 이 경우, 제1 씰링부재(400a)를 교체하기 위하여 상기 회전운동 밀폐장치 전체를 분해하고 재조립하는 것은 효율적이지 않을 수 있다. 보다 효율적인 방법으로서, 상기 회전운동 밀폐장치 전체를 분해하지 않고, 새로운 씰링부재를 사용할 필요가 있다.
본 실시예에서는, 사용자가 하우징(100) 외부에 노출된 제1 샤프트(200), 예컨대 제1 샤프트의 2차외경부(230)를 파지 후, 제1 샤프트(200)를 제1 위치에서 제2 위치로 밀어 도 6에 도시된 제2 위치로 이동시킬 수 있다.
그러면 도 6에 도시된 것처럼 제1 샤프트(200)가 제2 위치에 위치(제1 샤프트(100)가 하우징(100) 내의 제1 위치에서 축 방향으로 이동되어 제2 위치에 위치)하게 되고, 돌출부(210)도 하우징(100)내의 제2 위치에 위치할 수 있다.
제2 위치에서는 제1 샤프트(200)의 돌출부(210)가 제2 씰링부재(400b)와 접촉하여, 제1 샤프트(200)와 하우징(100) 사이의 공간을 밀봉할 수 있다.
따라서, 상기 회전운동 밀폐장치는 제1 씰링부재(400a)가 파손되거나 수명이 다한 경우에도, 제1 샤프트(200)를 축 방향으로 이동시켜 새로운 제2 씰링부재(400b)를 사용할 수 있는 이점이 있다.
한편, 제1 샤프트(200)가 돌출부(210)를 포함하는 형상이므로, 이와 대응되게 하우징(100)의 일부는 일단으로 갈수록 내경이 확대되는 다단으로 형성될 수 있다. 일 실시예에 따른 하우징(100)은 1차 외경부(120)와 2차 외경부(130)를 가지는 다단으로 형성되고, 1차 외경부(120)와 2차 외경부(130) 사이에는 외경차이로 인한 단턱(121)이 형성될 수 있다. 제1 샤프트(200)가 제1 위치에서 제2 위치로 이동할 때, 즉 사용자가 물리적으로 제1 샤프트(200)를 밀어 이동시킬 때, 제1 샤프트(200)의 돌출부(210)의 걸림턱(212)이 단턱(121)에 막히므로 제1 샤프트(200)의 이동을 제한할 수 있다. 이러한 구조는 제1 샤프트(200)가 제1 위치에서 제2 위치로 이동할 때, 제1 샤프트(200)가 제2 위치의 정위치에 놓이도록 할 수 있다.
또한, 복수개의 제1 씰링부재(400a) 및 제2 씰링부재(400b)는 상술한 바와 같이 하우징(100) 내부에 간격조절부재(410)와 함께 나란히 끼울 수 있는 것은 단턱(121)을 가지는 하우징(100)의 구조에 의한 것이다.
그리고 제1 샤프트(200)의 중공에는 제2 샤프트(300)가 관통하여 생길 수 있는 공간, 즉 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(300) 사이의 공간에는 제3 씰링부재(400c)가 마련될 수 있다. 제3 씰링부재(400c)는 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(300) 사이를 밀봉할 수 있다. 제3 씰링부재(400c)는 오링일 수 있으나, 이는 일례에 불과한 것으로 이에 한정되지 아니하고, 립씰 등 여러 다향한 형태의 씰을 적용할 수 있다.
또한, 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(300)는 결합수단(500)에 의해 결합되어 제1 샤프트(200)가 회전할 때, 제2 샤프트(300)도 동일하게 회전할 수 있다.
여기서 결합수단(500)은 클램핑 기구 또는 스크류 볼트가 사용될 수 있지만, 이에 한정되지 않고, 나사나 핀과 같은 여러 형태의 결합수단을 적용할 수 있다.
여기서 일례로 결합수단(500)으로 클램핑 기구를 사용한다면, 클램핑 기구는 제1 샤프트(200) 외주면을 둘러싸도록 부착되어 제1 샤프트(200)의 외주면을 압박하여 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(300)를 결합시키고, 클램핑 기구가 결합되어 발생하는 클램핑 기구의 단차에 의해 제1 샤프트(200) 및 제2 샤프트(300)가 하우징(100)으로부터 이탈되는 것을 방지될 수 있다. 또한, 제1 샤프트(200)를 제1 위치에서 제2 위치로 이동 시킬 때는 사용자는 클램핑 기구를 풀고 제1 샤프트(200)를 제1 위치에서 제2 위치로 이동 시킨 후, 다시 제1 샤프트(200)에 클랭핑 기구를 설치할 수 있다.
결합수단(500)으로 이탈방지부재(600)가 사용될 수도 있다. 회전운동 밀폐장치는 제2 샤프트(300)가 하우징(100)으로부터 이탈되는 것을 방지하도록, 하우징(100)의 외부로 노출된 제1 샤프트 2차외경부(230)에는 이탈방지부재(600)가 결합될 수 있다.
이를 위해서, 제1 샤프트(200)의 2차외경부(230)에는 제1 결합부(231) 및 제2 결합부(232)가 형성될 수 있다. 이 제1 결합부(231) 및 제2 결합부(232)는 이탈방지부재(600)의 플랜지부(610)에 형성된 결합공(611)과 대응될 수 있다. 서로 대응되는 제1 결합부(231)와 결합공(611) 또는 제2 결합부(232)와 결합공(611)은 결합수단(500)에 의해 결합될 수 있고, 이에 따라 이탈방지부재(600)는 제1 샤프트(200)와 결합할 수 있다.
한편 도 5 및 도 6을 참조하면, 이탈방지부재(600)는 하우징(100)의 외부에 노출된 제1 샤프트(200) 또는 제2 샤프트(300)에 결합할 수 있고, 이에 따라 상기 결합된 이탈방지부재(600)는 제1 샤프트(200) 또는 제2 샤프트(300)가 다른 외력(예컨대, 중력 등)으로 인한 하우징(100)으로부터의 이탈을 방지할 수 있다.
또한, 제1 샤프트(200)에 이탈방지부재(600)가 결합되는 것과 유사한 방식으로, 제2 샤프트(300)에는 이탈방지부재(600)가 결합될 수 있는 결합부(301)가 형성될 수 있다. 상술한 제2 샤프트(300)와 이탈방지부재(600)는 결합부(301)와 이탈방지부재(600)의 플랜지부(610)에 형성된 결합공(611)에 결합수단(500)에 의해 결합될 수 있다.
더불어, 플랜지부(610)의 결합공(611), 제1 샤프트(200)의 제1 결합부(231) 또는 제2 결합부(232), 및 제2 샤프트(300)의 결합부(301)가 함께 결합수단(500)에 의해 결합되어, 이탈방지부재(600), 제1 샤프트(200) 및 제2 샤프트(300)가 함께 결합될 수 있다.
여기서 제1 샤프트(200)의 제1 결합부(231)에 결합수단(500)이 결합되어 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(300)가 결합되면, 제1 샤프트(200)는 제1 위치에 위치할 수 있고, 제1 샤프트(200)의 제2 결합부(231)에 결합수단(500)이 결합되어 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(300)가 결합되면, 제1 샤프트(200)는 제2 위치에 위치할 수 있다.
따라서, 상기 회전운동 밀폐장치의 오랜 사용으로 인해 제1 씰링부재(400a)가 수명이 다하거나 파손되면, 사용자는 제1 샤프트(200)의 제1 결합부(231)와 제2 샤프트(300)의 결합구(301)에 체결된 결합수단(500)을 제거하고, 제1 샤프트(200)를 제1 위치에서 제2 위치로 이동 시킨 후, 결합수단(500)을 제1 샤프트(200)의 제2 결합부(232)와 제2 샤프트(300)의 결합구(301)에 다시 체결시켜 제1 샤프트(200)를 제2 위치에 고정시킬 수 있다.
이러한 구조로 인하여, 하우징(100) 내부의 씰링부재(400a, 400b)의 파손 및 훼손으로 씰링부재를 교체하기 위해 상기 회전운동 밀폐장치 전체를 분해할 필요가 없으며, 장치의 수명 또한 2배로 연장할 수 있다.
다른 실시예로, 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(300)는 샤프트의 축방향에 대해수직한 방향으로 제1 샤프트(200) 및 제2 샤프트(300)를 모두 관통하는 핀으로 결합될 수 있다. 그리고 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(300)의 결합 위치를 조절할 수 있는 제1 샤프트에는 상기 핀이 관통할 수 있는 관통구(미도수)가 복수개 존재할 수 있다. 따라서, 사용자는 관통구의 위치에 따라 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(300)의 결합위치를 적절히 조절하여 결합시킬 수 있다. 이 실시예는 제1 샤프트(200)를 제1 위치에서 제2 위치로 이동 시킬 때, 결합된 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(300)의 핀 결합만 해체하고, 제1 샤프트(200)를 제1 위치에서 제2 위치로 제1 샤프트(200)를 이동시킨 후 다시 핀 결합할 수 있다.
이상에서 본 발명이 구체적인 구성요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시 예 및 도면에 의해 설명되었으나, 이는 본 발명의 더욱 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명이 상기 실시 예들에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형을 꾀할 수 있다.
따라서, 본 발명의 사상은 상기 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등하게 또는 등가적으로 변형된 모든 것들은 본 발명의 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
100: 하우징
110: 플랜지부 120: 1차 외경부
130: 2차 외경부 140: 하우징 덮개
200: 제1 샤프트
210: 돌출부 211: 돌출부 외경면
220: 제1샤프트 1차외경부 230: 제1 샤프트 2차외경부
300: 제2 샤프트
400a: 제1 씰링부재 400b: 제2 씰링부재
400c: 제3 씰링부재
410: 와셔 420: 씰링
500: 결합수단
600: 이탈방지부재

Claims (13)

  1. 중공의 하우징;
    상기 하우징 내에 일부가 삽입되어 상기 하우징에 대해 회전운동 및 축방향 운동이 가능하게 설치되는 중공의 제1 샤프트;
    상기 제1 샤프트를 관통하되, 상기 제1 샤프트와 함께 회전되는 제2 샤프트;
    상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이에 마련되어 상기 사이를 밀봉하는 제1 씰링부재 및 제2 씰링부재;를 포함하고,
    상기 제1 샤프트는 상기 하우징 내에서 축방향으로 제1 위치와 제2 위치로 이동가능하고,
    상기 제1 샤프트가 상기 하우징 내 상기 제1 위치에 위치하면 상기 제1 씰링부재가 상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이를 밀봉하고, 상기 제1 샤프트가 상기 하우징 내 상기 제2 위치에 위치하면 상기 제2 씰링부재가 상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이를 밀봉하는 것인 회전운동 밀폐장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 씰링부재 및 상기 제2 씰링부재는 축방향으로 서로 이격되게 설치되는 것인 회전운동 밀폐장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 씰링부재 및 상기 제2 씰링부재 사이에 간격조절부재가 개재되는 것인 회전운동 밀폐장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1 샤프트는 단차를 가지며 연장 형성된 돌출부;를 포함하고,
    상기 제1 샤프트가 상기 제1 위치에 위치하면 상기 제1 씰링부재가 상기 돌출부와 상기 하우징 사이를 밀봉하며,
    상기 제1 샤프트가 상기 제2 위치에 위치하면 상기 제2 씰링부재가 상기 돌출부와 상기 하우징 사이를 밀봉하는 것인 회전운동 밀폐장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 하우징의 일부는, 일단으로 갈수록 내경이 확대되는 다단으로 형성되고, 상기 제1 샤프트는, 상기 돌출부와 상기 하우징의 단차에 의해 제1 방향으로의 이동이 제한되는 것인 회전운동 밀폐장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이에 마련되어 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이를 밀봉하는 제3 씰링부재를 더 포함하는 것인 회전운동 밀폐장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트는 결합수단에 의해 결합되어 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트가 동일하게 회전하는 것인 회전운동 밀폐장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 결합수단은 상기 하우징의 외부로 노출된 상기 제1 샤프트 또는 상기 제2 샤프트에 마련되는 클램핑 기구 또는 스크류 볼트인 것인 회전운동 밀폐장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 클램핑 기구는, 상기 제1 샤프트 외주면을 둘러싸도록 부착되어 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트를 결합시키고,
    상기 제1 샤프트 및 상기 제2 샤프트는 상기 클램핑 기구에 의해 상기 하우징으로부터 이탈이 방지되는 것인 회전운동 밀폐장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 제2 샤프트의 이탈을 방지하는 이탈방지부재;를 더 포함하고,
    상기 이탈방지부재는 상기 하우징 외부로 노출된 상기 제1 샤프트 또는 상기 제2 샤프트와 결합하는 것인 회전운동 밀폐장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 제1 샤프트는, 상기 이탈방지부재가 결합수단에 의해 상기 제1 샤프트에 결합되는 제1 결합부 및 제2 결합부;를 포함하고,
    상기 제1 결합부 및 상기 제2 결합부는 상기 제1 샤프트의 축방향으로 이격되는 것인 회전운동 밀폐장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 이탈방지부재가 상기 제1 결합부에 결합되면 상기 제1 샤프트는 상기 제1 위치에 위치하고,
    상기 이탈방지부재가 상기 제2 결합부에 결합되면 상기 제1 샤프트는 상기 제2 위치에 위치하는 것인 회전운동 밀폐장치.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 제1 씰링부재 및 상기 제2 씰링부재는 회전운동용 회전용 씰인 것인 회전운동 밀폐장치.
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