KR102098604B1 - 직선 및 회전운동 밀폐장치 - Google Patents

직선 및 회전운동 밀폐장치 Download PDF

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Abstract

직선 및 회전운동 밀폐장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 직선 및 회전운동 밀폐장치는, 하우징과; 상기 하우징을 관통하여 결합되는 중공의 제1 샤프트; 상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이에 구비되어 그 사이를 밀봉하는 제1 씰링부재; 상기 제1 샤프트의 내부로 적어도 일부가 삽입되는 제2 샤프트; 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이에 구비되어 그 사이를 밀봉하는 제2 씰링부재; 및 상기 제1 샤프트의 내주면 또는 상기 제2 샤프트의 외주면 중 어느 하나에 마련되는 제3 씰링부재;를 포함한다.

Description

직선 및 회전운동 밀폐장치{SEALING APPARATUS CAPABLE OF LINEAR AND ROTATIONAL MOTION}
본 발명은 직선운동 및 회전운동이 가능한 밀폐장치에 관한 것이다. 더 구체적으로, 가스 간의 화학반응으로 형성된 입자들을 웨이퍼 표면에 증착하여 절연막이나 전도성막을 형성시키는 공정인 화학기상증착(CVD; Chemical Vapor Deposition)공정이나 원자층 증착(ALD; Atomic Layer Deposition), 이온 주입 공정, OLED 및 식각 공정에 적용되는 회전축을 갖는 기계요소에 구비되어 샤프트의 직선 및 회전운동을 가능하게 하면서, 샤프트와 고정체인 하우징 사이로 유체가 누설되는 것을 방지하는 진공 압력 장비용 직선 및 회전운동 밀폐장치에 관한 것이다.
일반적으로 진공 압력 장비용 직선 및 회전운동 밀폐장치는 고압영역 및 저압영역과 대면하고 이들 사이에서 직선 및 회전운동 하는 샤프트의 외주면에 구비되어 고압영역과 저압영역이 서로 밀봉되도록 하기 위한 것이다.
도 1은 종래의 진공 압력 장비용 밀폐장치를 도시하는 단면도로, 도면에 도시된 바와 같이 종래의 진공 압력 장비용 밀폐장치(1)는 하우징(10)과, 하우징(10)을 관통하여 결합되는 샤프트(20)를 포함한다. 샤프트(20)는 고압영역 및 저압영역과 대면하고 하우징(10)은 이들, 즉 고압영역과 저압영역의 경계면에 위치된다. 또한, 하우징(10)과 샤프트(20) 사이에는 부싱(30)과 밀폐용 씰(40)이 구비된다. 부싱(30)은 하우징(10)과 샤프트(20) 사이에서 발생되는 마찰을 감소시키기 위한 것이고, 씰(40)은 하우징(10)과 샤프트(20) 사이를 밀봉하기 위한 것이다. 이때, 샤프트(20)와 씰(40) 사이에서도 마찰이 발생되는데, 이때 발생되는 마찰을 최소화하기 위하여 샤프트(20)의 표면에는 세라믹 층이 코팅되어 있다. 그리고 씰(40)은 밀봉효과를 증대시키기 위하여 복수로 구비되며 상기 하우징(10)의 상부와 하부에 각각 위치된다.
샤프트(20)는 하우징(10)에 대해 회전운동이 가능하게 설치된다. 이때, 샤프트(20)의 회전운동 시 발생되는 마찰을 감소시키기 위한 부싱(30)에는 내부에 다수개의 볼이 구비되는 볼 부싱, 또는 내부에 고체 윤활제가 마련되는 슬라이드 부싱이 사용된다.
그런데 상기와 같은 구성을 갖는 종래의 진공 압력 장비용 밀폐장치(1)는 회전운동 또는 직선운동만을 가능한 단점이 있고, 직선운동을 동시에 하려하는 경우, 씰(40) 또한 회전운동에 대한 밀봉과 직선운동에 대한 밀봉을 병행하게 된다. 회전운동과 직선운동에 대한 밀봉을 동시에 수행하는 경우 씰(40)이 쉽게 파손되어 수명이 짧고 자주 교체해야하는 단점이 있다.
등록특허 10-0496990
본 발명은 상술한 제반 문제점을 해결하기 위한 것으로서 샤프트가 직선 및 회전운동을 동시에 수행하되 샤프트와 고정체인 하우징 사이로 유체가 누설되는 것을 방지할 수 있는 진공 압력 장비용 직선 및 회전운동 밀폐장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 회전운동을 밀폐하기 위한 씰링부재가 파손되는 경우, 샤프트를 축방향으로 이동시켜 예비로 마련된 새로운 다른 씰링부재가 대체할 수 있게 하는 직선 및 회전운동 밀폐장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 직선 및 회전운동 밀폐장치는, 하우징과; 상기 하우징을 관통하여 결합되는 중공의 제1 샤프트; 상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이에 구비되어 그 사이를 밀봉하는 제1 씰링부재; 상기 제1 샤프트의 내부로 적어도 일부가 삽입되는 제2 샤프트; 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이에 구비되어 그 사이를 밀봉하는 제2 씰링부재; 및 상기 제1 샤프트의 내주면 또는 상기 제2 샤프트의 외주면 중 어느 하나에 마련되는 제3 씰링부재;를 포함하고, 상기 제1 샤프트는 상기 하우징에 대해 축방향 직선운동이 가능하게 설치되고, 상기 제2 샤프트는 상기 제1 샤프트에 대해 회전운동 및 직선운동이 가능하게 설치되며, 상기 제3 씰링부재는, 상기 제2 샤프트가 상기 제1 샤프트 내 제1 위치에서는 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이의 밀봉을 수행하지 않고, 상기 제2 샤프트가 이동하여 상기 제1 샤프트 내 제2 위치에서는, 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이의 밀봉을 수행할 수 있다.
또한, 상기 제1 씰링부재는 직선운동용 리니어 씰이고, 상기 제2 씰링부재는 회전운동용 회전용 씰이며, 상기 제3 씰링부재는 회전운동용 회전용 씰일 수 있다.
또한, 상기 하우징의 내주면과 상기 제1 샤프트의 외주면 중 어느 하나에는 축방향으로 연장되는 돌기가 형성되고, 다른 하나에는 상기 돌기가 삽입되는 홈이 형성될 수 있다.
또한, 상기 하우징과 제1 샤프트 사이에는 부싱이 구비되고, 상기 제1 샤프트와 제2 샤프트 사이에는 부싱 또는 레이디얼 베어링이 구비될 수 있다.
또한, 상기 제1 샤프트는 일단부로 갈수록 내경이 확대되는 다단으로 형성되거나 상기 제2 샤프트가 일단부로 갈수록 외경이 축소되는 다단으로 형성되고, 상기 제1 및 제2 샤프트의 일단부 사이에는 상기 부싱 또는 상기 레이디얼 베어링이 구비될 수 있다.
또한, 상기 하우징의 내주면과 상기 제1 샤프트의 외주면에는 축방향으로 소정거리 이격된 걸림턱이 각각 형성되어 이들 사이의 축방향 직선운동이 일정거리만큼 제한될 수 있다.
또한, 상기 제3 씰링부재는 상기 제1 샤프트의 내주면에 마련되고, 상기 제1 위치에서 상기 제3 씰링부재는 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이를 밀봉하지 않고, 상기 제2 위치에서 상기 제3 씰링부재는 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이를 밀봉하도록, 상기 제2 샤프트에는 상기 제3 씰링부재의 내주면와 소정의 간극을 형성하도록 홈부가 마련될 수 있다.
또한, 상기 제3 씰링부재는 상기 제1 샤프트의 외주면에 마련되고, 상기 제1 위치에서 상기 제3 씰링부재는 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이를 밀봉하지 않고, 상기 제2 위치에서 상기 제3 씰링부재는 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이를 밀봉하도록, 상기 제1 샤프트에는 상기 제3 씰링부재의 외주면과 소정의 간극을 형성하도록 홈부가 마련될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 직선 및 회전운동 밀폐장치는, 하우징과; 상기 하우징을 관통하여 결합되는 중공의 제1 샤프트; 상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이에 구비되어 그 사이를 밀봉하는 제1 씰링부재; 상기 제1 샤프트의 내부로 적어도 일부가 삽입되는 제2 샤프트; 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이에 구비되어 그 사이를 밀봉하는 제2 씰링부재; 및 상기 하우징의 내주면 또는 상기 제1 샤프트의 외주면 중 어느 하나에 마련되는 제3 씰링부재;를 포함하고, 상기 제1 샤프트는 상기 하우징에 대해 회전운동이 가능하게 설치되고, 상기 제2 샤프트는 상기 제1 샤프트에 대해 축방향 직선운동이 가능하게 설치되며, 상기 제3 씰링부재는, 상기 제1 샤프트가 상기 하우징 내 제1 위치에서는 상기 제1 샤프트와 상기 하우징 사이의 밀봉을 수행하지 않고, 상기 제1 샤프트가 이동하여 상기 하우징 내 제2 위치에서는, 상기 제1 샤프트와 상기 하우징 사이의 밀봉을 수행할 수 있다.
또한, 상기 제1 씰링부재는 회전운동용 회전용 씰이고, 상기 제2 씰링부재는 직선운동용 리니어 씰이며, 상기 제3 씰링부재는 회전운동용 씰일 수 있다.
또한, 상기 제1 샤프트의 내주면과 상기 제2 샤프트의 외주면 중 어느 하나에는 축방향으로 연장되는 돌기가 형성되고, 다른 하나에는 상기 돌기가 삽입되는 홈이 형성될 수 있다.
또한, 상기 하우징과 제1 샤프트 사이에는 부싱 또는 레이디얼 베어링이 구비되고, 상기 제1 샤프트와 제2 샤프트 사이에는 부싱이 구비될 수 있다.
또한, 상기 제1 샤프트의 내주면과 상기 제2 샤프트의 외주면에는 축방향으로 소정거리 이격된 걸림턱이 각각 형성되어 이들 사이의 축방향 직선운동이 일정거리만큼 제한될 수 있다.
또한, 상기 제3 씰링부재는 상기 하우징의 내주면에 마련되고, 상기 제1 위치에서 상기 제3 씰링부재는 상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이를 밀봉하지 않고, 상기 제2 위치에서 상기 제3 씰링부재는 상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이를 밀봉하도록, 상기 제1 샤프트에는 상기 제3 씰링부재의 내주면와 소정의 간극을 형성하도록 홈부가 마련될 수 있다.
또한, 상기 제3 씰링부재는 상기 제1 샤프트의 외주면에 마련되고, 상기 제1 위치에서 상기 제3 씰링부재는 상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이를 밀봉하지 않고, 상기 제2 위치에서 상기 제3 씰링부재는 상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이를 밀봉하도록, 상기 하우징에는 상기 제3 씰링부재의 외주면과 소정의 간극을 형성하도록 홈부가 마련될 수 있다.
본 발명에 따른 직선 및 회전운동 밀폐장치는, 한 쌍의 샤프트가 구비되어 직선 및 회전운동을 각각 수행하되 하우징과 제1 샤프트 및 제1 샤프트와 제2 샤프트 사이에는 각각 씰링부재가 구비되어 그들 사이로 유체가 누설되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 회전운동을 밀폐하기 위한 씰링부재가 파손되는 경우, 샤프트를 축방향으로 이동시켜 예비로 마련된 새로운 다른 씰링부재가 대체할 수 있게 하는 직선 및 회전운동 밀폐장치를 제공하고자 한다.
도 1은 종래의 밀폐장치를 도시하는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 직선 및 회전운동 밀폐장치의 제1 실시예를 도시하는 사시도.
도 3은 도 2의 직선 및 회전운동 밀폐장치를 도시하는 분해 사시도이다.
도 4는 도 3의 직선 및 회전운동 밀폐장치를 도시하는 부분단면 사시도이다.
도 5는 도 2의 직선 및 회전운동 밀폐장치를 도시하는 단면도이다.
도 6은 도 2의 실시예에서, 제2 샤프트가 축방향으로 이동된 상태를 도시하는 단면도이다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 직선 및 회전운동 밀폐장치를 도시하는 단면도이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예가 상세하게 설명된다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고, 도면에서 본 발명의 실시예를 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략되었다.
본 명세서에서 사용된 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도로 사용된 것이 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함할 수 있다.
본 명세서에서, "포함하다", "가지다" 또는 "구비하다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것으로서, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 나타나는 구성부들은 서로 다른 특징적인 기능들을 나타내기 위해 독립적으로 도시되는 것으로, 각 구성부들이 분리된 하드웨어나 하나의 소프트웨어 구성단위로 이루어짐을 의미하지 않는다. 즉, 각 구성부는 설명의 편의상 각각의 구성부로 나열하여 기술되고, 각 구성부 중 적어도 두 개의 구성부가 합쳐져 하나의 구성부로 이루어지거나, 하나의 구성부가 복수 개의 구성부로 나뉘어져 기능을 수행할 수 있다. 이러한 각 구성부의 통합된 실시예 및 분리된 실시예도 본 발명의 본질에서 벗어나지 않는 한 본 발명의 권리 범위에 포함된다.
또한, 이하의 실시예들은 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 보다 명확하게 설명하기 위해서 제공되는 것으로서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 바람직한 실시예에 대하여 설명한다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 직선 및 회전운동 밀폐장치의 제1 실시예를 도시하는 사시도이고, 도 3은 도 2의 직선 및 회전운동 밀폐장치를 도시하는 분해 사시도이다. 도 4는 도 3의 직선 및 회전운동 밀폐장치를 도시하는 부분단면 사시도이고, 도 5는 도 2의 직선 및 회전운동 밀폐장치를 도시하는 단면도이다. 도 6은 도 2의 실시예에서, 제2 샤프트가 축방향으로 이동된 상태를 도시하는 단면도이다.
도 2 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 직선 및 회전운동 밀폐장치는, 하우징과, 상기 하우징을 관통하여 결합되는 중공의 제1 샤프트와, 상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이에 구비되어 그 사이를 밀봉하는 제1 씰링부재와, 상기 제1 샤프트의 내부로 적어도 일부가 삽입되는 제2 샤프트와, 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이에 구비되어 그 사이를 밀봉하는 제2 씰링부재와, 상기 제1 샤프트의 내주면 또는 상기 제2 샤프트의 외주면 중 어느 하나에 마련되는 제3 씰링부재를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 제1 샤프트는 상기 하우징에 대해 축방향 직선운동만 가능하게 설치되거나, 회전운동 및 축방향 직선운동이 모두 가능하게 설치된다. 한편, 상기 제2 샤프트는 상기 제1 샤프트에 대해 회전운동 및 축방향 직선운동이 모두 가능하게 설치되거나, 축방향 직선운동만 가능하게 설치될 수 있다.
이 중, 상기 제1 샤프트가 축방향 직선운동을 하고 상기 제2 샤프트가 회전운동 및 축방향 이동하는 경우를 제1 실시예로, 제1 샤프트는 회전운동 및 축방향 이동을 하고 제2 샤프트가 축방향 직선운동을 하는 경우를 제2 실시예로 하여 기술하도록 한다.
도시된 제1 실시예는, 하우징(100)과, 하우징(100)을 관통하여 결합되는 중공의 제1 샤프트(200)와, 하우징(110)과 제1 샤프트(200) 사이에 구비되어 그 사이를 밀봉하는 제1 씰링부재(300)와, 제1 샤프트(200)의 내부로 적어도 일부가 삽입되는 제2 샤프트(400)와, 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(400) 사이에 구비되어 그 사이를 밀봉하는 제2 씰링부재(500)를 포함한다.
제1 샤프트(200)는 상기 하우징(100)에 대해 축방향 직선운동이 가능하게 설치되고, 상기 제2 샤프트(400)는 상기 제1 샤프트(200)에 대해 회전운동 및 축방향 이동이 가능하게 설치된다.
상기 제1 실시예를 좀 더 자세히 설명하면 다음과 같다.
상기 하우징(100)은 고압영역 및 저압영역의 경계면에 고정 가능하도록 플랜지(110)를 구비하는 원통형상으로 형성되고, 그 내주면 일측에는 내측으로 돌출되는 걸림턱(120)이 형성된다. 상기 플랜지(110)에는 경계면에 고정 가능하도록 복수개의 나사공(112)이 형성된다. 또한, 상기 하우징(100)의 내부에는 원통형상의 부싱(130)이 마련되고, 하우징(100)의 타단부에는 걸림턱(120)과 함께 부싱(130)를 고정하는 하우징 덮개(140)가 마련될 수 있다. 하우징 덮개(140)는 하우징(100)의 타단부에 나사 결합된다. 이때, 부싱(130)은 양단부가 상기 걸림턱(120)과 하우징 덮개(140)에 각각 접하도록 위치되고, 나사 결합되는 하우징 덮개(140)에 의해 고정 된다. 또한, 부싱(130)은 하우징(100)과 제1 샤프트(200) 사이의 마찰을 감소시키기 위한 것으로 여러가지 종류의 부싱이 사용될 수 있으며, 내부에 고체 윤활제가 마련된 슬라이드 부싱을 사용할 수 있다.
한편, 걸림턱(120)의 일면은 다단으로 형성되고 다단의 단턱(122)에는 제1 씰링부재(300)가 마련될 수 있다. 걸림턱(120)의 외측에는 하우징(100)의 내부로 삽입되어 제1 씰링부재(300)를 고정하는 와셔(150)가 마련될 수 있다. 와셔(150)의 일면에도 다단의 단턱(152)이 형성되고 그 단턱(152)에는 다른 제1 씰링부재(300')가 마련될 수 있다. 또한, 와셔(150)의 외측에는 와셔(150) 및 다른 제1 씰링부재(300')를 고정하기 위한 와셔 덮개(160)가 마련될 수 있다.
제1 씰링부재(300, 300')는 하우징(100)과 제1 샤프트(200) 사이를 밀봉하기 위한 것으로 축방향으로 직선운동을 하는 제1 샤프트(200)에 적용 가능하도록 직선운동에 우수한 밀봉성능을 보이는 직선운동용 리니어 씰일 수 있다. 본 실시예에서는 오링을 사용하였으나 이는 일례에 불과한 것으로 이에 한정되지 아니하고 립 씰 등 여러 다양한 형태의 리니어 씰을 적용할 수 있다.
제1 샤프트(200)는 중공형상으로 일단부에서 타단부로 갈수록 외경과 내경이 확대되는 다단으로 형성된다. 즉, 제1 샤프트(200)의 외주면은 일단부로부터 소외경부(210), 중외경부(220) 및 대외경부(230)로 이루어지는 3단으로 형성될 수 있다. 제1 샤프트(200)의 내주면은 일단부로부터 소내경부(240) 및 대내경부(250)로 이루어지는 2단으로 형성될 수 있다.
제1 샤프트(200)의 소외경부(210)는 걸림턱(120), 와셔(150) 및 와셔 덮개(160)를 관통하여 일측으로 돌출되고, 중외경부(220)는 제1 샤프트(200)의 직선운동 시 하우징(100)과 마찰을 감소시키기 위해 마련되는 부싱(130)과 접하도록 위치된다. 한편, 대외경부(230)의 단부, 즉 제1 샤프트(200)의 타단부는 상기 하우징(100)의 타단부와 플렉시블 커버(600)로 연결된다.
제1 샤프트(200)는 부싱(130)를 따라 축방향으로 직선운동을 할 수 있는데, 일측으로 이동할 경우 소외경부(210)와 중외경부(220) 사이에 형성된 단턱(222)이 걸림턱(120)에 걸리게 되어 이동이 제한될 수 있다. 또한, 제1 샤프트(200)가 타측으로 이동할 경우 상기 플렉시블 커버(600)에 의해 그 이동이 제한될 수 있다.
플렉시블 커버(600)는 하우징과 제1 샤프트(200)의 타단부 사이로 이물질이 투입되는 것을 방지하기 위한 것으로 제1 샤프트(200)가 축방향으로 이동함에 따라 확장 또는 수축될 수 있다. 이러한 플렉시블 커버로는 고무와 같이 탄성을 갖는 합성수지재의 벨로우즈가 가장 많이 사용되는데, 진공 압력 장비용 직선 및 회전운동 밀폐장치가 장착되는 기계의 용도에 따라 테프론이나 스테인리스로 제작된 플렉시블 커버를 사용하기도 한다.
한편, 하우징(100)과 제1 샤프트(200) 사이에 구비되는 제1 씰링부재(300)는 직선운동용 리니어 씰이므로 제1 샤프트(200)에 회전이 발생되면 직선운동용 리니어 씰로서의 기능을 상실하게 되어 바람직하지 못하다.
따라서, 도면에 도시되지는 않았지만 하우징(100)의 내주면과 제1 샤프트(200)의 외주면 중 어느 하나에는 축방향으로 연장되는 돌기를 형성하고, 다른 하나에는 상기 돌기가 삽입되는 홈을 형성하여 제1 샤프트(200)가 회전되지 않도록 하는 것이 바람직하다.
제2 샤프트(400)는 일단부에서 타단부로 갈수록 외경이 축소되는 다단으로 형성된다. 즉, 제2 샤프트(400)의 외주면은 일단부로부터 대외경부(410), 중외경부(420), 제1 소외경부(430) 및 제2 소외경부(432)로 이루어지는 4단으로 형성된다.
제2 샤프트(400)의 중외경부(420), 제1 소외경부(430) 및 제2 소외경부(43)는 일측으로부터 제1 샤프트(200)를 관통하여 결합되고, 제2 샤프트(400)의 외주면 대경부(410)는 제1 샤프트(200)의 내주면 소내경부(240)의 직경보다 크게 형성된다. 제2 샤프트(400)의 중외경부(420)와 제1 샤프트(200)의 소내경부(240) 사이에는 소정의 간극이 형성되어 제2 샤프트(200) 회전 시 이들 사이에 마찰이 발생되지 않도록 한다.
상술한 바와 같이 제1 샤프트(200)의 내경은 타측으로 갈수록 확대되고 제2 샤프트(400)의 외경은 타측으로 갈수록 축소되는 바, 소정의 공간(440)이 마련될 수 있다. 소정의 공간(440)에는 일측으로부터 복수의 제2 씰링부재(500)와 레이디얼 베어링(450)이 위치될 수 있다. 제2 씰링부재(500)는 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(400) 사이를 밀봉하기 위한 것이고, 레이디얼 베어링(450)은 제2 샤프트(400)가 제1 샤프트(200)에 대해 회전 가능하도록 하기 위한 것이다. 본 실시예에서, 제1 샤프트(200)에 대해 제2 샤프트(400)가 회전하도록 레이디얼 베어링(450)이 마련되었으나, 이 대신에 부싱이 마련될 수 있다. 상기 부싱 덕분에, 제1 샤프트(200)에 대해 제2 샤프트(400)는 회전할 수 있다.
여기서 제2 씰링부재(500)는 회전운동을 하는 제2 샤프트(400)에 적용 가능하도록 회전운동에 우수한 밀봉성능을 보이는 회전운동용 회전용 씰인 바, 본 실시예에서는 립 씰을 사용하였으나 이는 일례에 불과한 것으로 이에 한정되지 아니하고 여러 다양한 형태의 회전용 씰을 적용할 수 있다.
한편, 상기 레이디얼 베어링(450)의 양단부 측 제2 샤프트(400)의 외주면에는 각각 단턱(460)과 스냅링(470)이 구비되어 레이디얼 베어링(450)을 고정할 수 있다. 스냅링(470)은 탈착이 가능한 형태로 레이디얼 베어링을 위치시킨 후 제2 샤프트(400)의 외주면으로 삽입 고정될 수 있다. 또한, 레이디얼 베어링(450)은 인접하여 배치된 제3 씰링부재(800)과 제1 샤프트(200)의 타단부에 구비되는 베어링 커버(260)에 의해 한 번 더 고정될 수 있다.
한편, 본 실시예에 따른 직선 및 회전운동 밀폐장치는 제3 씰링부재(800)를 포함할 수 있다. 제3 씰링부재(800) 역시 제2 씰링부재(500)과 마찬가지로, 회전운동을 하는 제2 샤프트(400)에 적용가능하도록 회전운동에 우수한 밀봉성능을 보이는 회전운동용 회전용 씰일 수 있다. 본 실시예에서는 립 씰을 사용하였으나 이는 일례에 불과한 것으로 이에 한정되지 아니하고 여러 다양한 형태의 회전용 씰을 적용할 수 있다.
제3 씰링부재(800)는 제1 샤프트(200)의 내주면 또는 제2 샤프트(400)의 외주면 중 어느 하나에 마련될 수 있으며, 본 실시예에서는 제1 샤프트(200)의 내주면에 마련되는 것을 예를 들었다. 제3 씰링부재(800)는 레이디얼 베어링(450)에 인접하여 마련되어 있다. 도 5에 도시된 바와 같이, 제2 샤프트(400)가 제1 샤프트(200) 내에서 제1 위치에 있는 경우, 제3 씰링부재(800)의 내주면은 제2 샤프트(400)의 외주면과 접촉하지 않는다. 따라서, 상기 제1 위치에서는 제3 씰링부재(800)는 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(400) 사이의 밀봉을 수행하지 않는다. 그러나, 상기 밀폐장치의 오랜 사용으로 인해 제2 씰링부재(500)가 수명이 다하거나 파손될 수 있다. 이 경우, 제2 씰링부재(500)의 교체를 위해 상기 밀폐장치 전체를 분해하고 재조립하는 것은 효율적이지 않을 수 있다. 이러한 경우, 사용자는 스냅링(470)을 제거 후, 제2 샤프트(400)를 제1 샤프트(200) 내에서 일측(본 실시예에서는 좌측)으로 밀어 도 6에 도시된 제2 위치로 이동시킬 수 있다.
도 6에 도시된 바와 같이, 제2 샤프트(400)을 제1 샤프트(200)에 대해 이동시킨 제2 위치에서는, 제3 씰링부재(800)의 내주면이 제2 샤프트(400)의 외주면과 접촉될 수 있다. 일례로, 제3 씰링부재(800)의 내주면은 제2 샤프트(400)의 외주면에 마련된 홈부(412)와 접촉할 수 있어, 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(400) 사이에는 밀봉이 수행될 수 있다. 홈부(412)는 제2 샤프트(400)에 별도로 마련된 링형상의 결합링이 장착될 수도 있다. 따라서, 제2 씰링부재(500)의 내구 수명이 다하더라도, 상기 밀폐장치 전체를 분해하여 제2 씰링부재(500)를 교체 후 재조립할 필요없이, 스냅링(470)만을 제거한 후, 간단하게 제2 샤프트(400)를 제1 샤프트(200) 내에서 위치이동 시킴으로써, 제2 씰링부재(500)을 대신하여 제3 씰링부재(800)가 사용되도록 할 수 있다. 이 경우, 제2 샤프트(400)의 대경부(410)의 타측과 제1 샤프트(200)의 소내경부(240)의 일측 사이는 축방향으로 이격될 수 있다. 상기 제2 위치에서 제2 샤프트(400)와 제1 샤프트(200)의 상대적인 축방향 운동을 방지하기 위해 스냅링(472)이 마련될 수 있다.
한편, 제1 샤프트(200)의 타단부에는 베어링 커버(260)가 마련되는데, 베어링 커버(260)는 제1 샤프트(200) 내부에 구비되는 제2 씰링부재(500), 레이디얼 베어링(450) 및 제3 씰링부재(800)를 고정함과 동시에 상기 플렉시블 커버(600)를 고정하기 위한 것이다.
상기와 같이 구성된 제1 실시예의 동작을 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 도 5를 참조하여 제1 위치에서의 밀폐장치의 동작을 살펴보기로 한다.
도면에 도시되지는 않았지만 밀폐장치의 타측에는 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(400)를 회전운동과 직선운동을 하도록 하는 구동장치가 구비된다.
상기 구동장치에 의해 제2 샤프트(400)가 회전하게 된다. 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(400)의 타측 사이에는 레이디얼 베어링(450)이 구비되고 일측에는 소정의 간극이 형성되므로, 제1 샤프트(200)는 회전하지 않는다. 또한, 상술한 바와 같이, 하우징(100)의 내주면과 제1 샤프트(200)의 외주면 중 어느 하나에는 축방향으로 연장되는 돌기(미도시)를 형성하고, 다른 하나에는 상기 돌기가 삽입되는 홈(미도시)을 형성하면 제1 샤프트(200)가 회전을 완벽하게 방지할 수 있다.
한편, 상기 구동장치에 의해 제2 샤프트(400)는 축방향으로 이동할 수 있다. 이때, 제2 샤프트(400)의 축방향 이동은 일측으로 이동하는 경우와 타측으로 이동하는 경우 두 가지로 나누어 볼 수 있다.
이 중, 제2 샤프트(400)가 일측으로 이동하는 경우 제2 샤프트(400) 외주면에 결합된 스냅링(470)이 힘을 받게 되고, 그 힘은 제3 씰링부재(800), 레이디얼 베어링(450), 및 제2 씰링부재(500)를 통해 제1 샤프트(200)로 전달되며, 제1 샤프트(200)는 부싱(130)을 따라 직선운동하게 된다.
또한, 제2 샤프트(400)가 타측으로 이동하는 경우 제2 샤프트(400)의 대경부가 제1 샤프트(200)의 일단부와 접촉하여 이동하게 되는 바, 상기와 같이 제1 샤프트(200)는 부싱(130)를 따라 직선운동하게 된다.
이때, 상기 회전운동과 직선운동은 동시에 발생되되, 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(400) 사이에는 레이디얼 베어링(450)이 구비되고, 상기 하우징(100)의 내주면과 제1 샤프트(200)의 외주면 사이에는 축방향으로 연장되는 돌기와 홈이 구비되는 바, 상기 제1 샤프트(200)는 직선운동만 하게 된다.
여기서 상기 제1 샤프트(200) 및 제2 샤프트(400)의 적어도 일단부(바람직하게는 양단부 모두)는 높은 경도와 정밀한 표면을 가질 수 있도록 연마 처리될 수 있다. 연마 처리의 목적은, 제1 샤프트(200) 및 제2 샤프트(400)와 씰링부재(300, 500) 사이의 접촉응력분포 및 온도분포를 균일하게 하기 위함으로, 상기와 같이 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(400)를 연마 처리를 하게 되면, 제1 샤프트(200) 및 제2 샤프트와 씰링부재(300, 500) 사이의 기밀을 더 확실하게 할 수 있게 된다.
이와 같은 상기 샤프트(200, 400)의 연마 처리 과정을 상세히 살펴보면, 기계 및 열처리 등과 같은 방법에 의해 가공된 샤프트(200, 400)의 적어도 일단부의 표면에 소정의 코팅 물질을 일정 두께로 코팅한 후, 코팅된 표면이 균일한 두께를 갖도록 연마 처리하게 된다. 이때, 상기와 같이 코팅 후 연마 처리하는 이유는 코팅 두께를 임의로 조절할 수 있고 균일한 코팅 두께를 얻을 수 있기 때문이다. 하지만, 꼭 이에 한정되는 것은 아니며 연마 처리 후 코팅 작업을 하는 것도 가능하다.
다음으로 도 6을 참조하여, 제2 위치에서의 밀폐장치의 동작을 설명하기로 한다.
제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(400) 사이의 밀봉을 수행하는 제2 씰링부재(500)의 수명이 다하거나 파손이 된 경우, 사용자는 스냅링(470)을 제거 후, 제2 샤프트(400)를 제1 샤프트(200) 내에서 일측으로 밀어 도 6에 도시된 제2 위치로 이동시킨 후, 스냅링(470)을 재장착 할 수 있다. 또한, 상기 제2 위치에서 제2 샤프트(400)와 제1 샤프트(200)의 상대적인 축방향 운동을 방지하기 위해 스냅링(472)을 장착할 수 있다.
도면에 도시되지는 않았지만 밀폐장치의 타측에는 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(400)를 회전운동과 직선운동을 하도록 하는 구동장치가 구비된다.
상기 구동장치에 의해 제2 샤프트(400)가 회전하게 된다. 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(400)의 타측 사이에는 레이디얼 베어링(450)이 구비되고 일측에는 소정의 간극이 형성되므로, 제1 샤프트(200)는 회전하지 않는다. 한편, 상기 구동장치에 의해 제2 샤프트(400)는 축방향으로 이동할 수 있다. 이때, 제2 샤프트(400)의 축방향 이동은 일측으로 이동하는 경우와 타측으로 이동하는 경우 두 가지로 나누어 볼 수 있다.
이 중, 제2 샤프트(400)가 일측으로 이동하는 경우 제2 샤프트(400) 외주면에 결합된 스냅링(470)이 힘을 받게 되고, 그 힘은 제3 씰링부재(800), 레이디얼 베어링(450), 및 제2 씰링부재(500)를 통해 제1 샤프트(200)로 전달되며, 제1 샤프트(200)는 부싱(130)을 따라 직선운동하게 된다.
또한, 제2 샤프트(400)가 타측으로 이동하는 경우 제1 샤프트(200)의 일단부와 접촉하면서 제2 샤프트(400)에 결합된 스냅링(472)이 힘을 받게 되고 그 힘은 제1 샤프트(200)에 전달되므로, 제1 샤프트(200)는 부싱(130)를 따라 직선운동하게 된다.
이때, 상기 회전운동과 직선운동은 동시에 발생되되, 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(400) 사이에는 레이디얼 베어링(450)이 구비되고, 상기 하우징(100)의 내주면과 제1 샤프트(200)의 외주면 사이에는 축방향으로 연장되는 돌기와 홈이 구비되는 바, 상기 제1 샤프트(200)는 직선운동만 하게 된다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 직선 및 회전운동 밀폐장치를 도시하는 단면도이다.
도 7에 도시된 바와 같이 진공 압력 장비용 직선 및 회전운동 밀폐장치의 제2 실시예는 하우징(100)과 제1 샤프트(200) 사이에는 레이디얼 베어링(450)이 마련되어 제1 샤프트(200)가 회전운동을 하도록 하고, 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(400) 사이에는 부싱(130)이 마련되어 제2 샤프트(400)가 직선운동을 하도록 한다. 즉, 제1 샤프트(200)는 하우징(100)에 대해 회전운동이 가능하게 설치되고, 제2 샤프트(400)는 상기 제1 샤프트(200)에 대해 축방향 직선운동이 가능하게 설치된다.
또한, 하우징(100)과 제1 샤프트(200) 사이에는 제2 씰링부재(회전용 씰, 500)가 구비되고, 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(400) 사이에는 제1 씰링부재(리니어 씰, 300)이 구비된다. 이때, 각 씰링부재(300, 500)에는 상술한 바와 같이 직선운동과 회전운동에 우수한 밀봉성능을 보이는 오링과 립씰이 사용될 수 있다.
제2 실시예에서도 상기 제1 실시예와 마찬가지로 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(400)의 적어도 일단부(바람직하게는 양단부 모두)는 열처리, 도금 및 코팅 등과 같은 방법에 의해 연마 처리될 수 있다.
이와 같이 구성된 진공 압력 장비용 직선 및 회전운동 밀폐장치의 제2 실시예는 상기 제1 실시예와 동일한 효과를 얻을 수 있다. 즉, 한 쌍의 샤프트(200, 400)를 구비하고 그 샤프트(200, 400)가 각각 직선운동 및 회전운동을 수행하되, 하우징(100)과 제1 샤프트(200) 및 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(400) 사이에는 직선운동과 회전운동에 우수한 밀봉성능을 보이는 씰링부재(300, 500)를 구비하여 그들 사이로 유체가 누설되는 것을 방지한다.
한편, 상기 제1 실시예 및 제2 실시예에서는 한 쌍의 씰링부재, 즉 제1 및 제2 씰링부재(300, 500)를 오링과 립씰이 각각 예시하고 있다. 하지만, 상술한 바와 같이 반드시 이에 한정되는 것은 아니며 다양한 형태의 씰링부재가 적용 가능할 수 있다.
또한, 제2 실시예에서도, 상기 제1 실시예에서와 같이 제3 씰링부재(800)가 하우징(100)과 제1 샤프트(200) 사이에 마련될 수 있다. 하우징(100)과 제1 샤프트(200) 사이에서 기밀을 제공하는 제2 씰링부재(500)가 수명을 다하거나 파손이 된 경우, 사용자는 제1 샤프트(200)을 하우징(100) 내에서 일측으로 이동시켜, 제3 씰링부재(800)가 하우징(100)과 제1 샤프트(200) 사이의 밀봉을 제공하도록 할 수 있다. 이 경우, 제3 씰링부재(800)의 내주면은 제1 샤프트(200)의 외주면에 마련된 홈부(212)와 접촉할 수 있어, 제1 샤프트(200)와 하우징(100) 사이에는 밀봉이 수행될 수 있다. 홈부(212)는 제1 샤프트(200)에 별도로 마련된 링형상의 결합링이 장착될 수도 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예들에 따른 직선 및 회전운동 밀폐장치는, 한 쌍의 샤프트가 구비되어 직선 및 회전운동을 각각 수행하되 하우징과 제1 샤프트 및 제1 샤프트와 제2 샤프트 사이에는 각각 씰링부재가 구비되어 그들 사이로 유체가 누설되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 제1 샤프트와 제2 샤프트 중 어느 하나(제1 실시예), 또는 하우징과 제1 샤프트 중 어느 하나(제2 실시예)에는 회전운동용 씰링부재가 추가적으로 마련되어, 사용중인 회전운동용 씰링부재가 파손되는 경우, 제2 샤프트를 제1 샤프트에 대해 이동시키거나(제1 실시예), 제1 샤프트를 하우징에 대해 이동시켜(제2 실시예), 새로운 회전운동용 씰링부재가 밀봉이 가능한 위치로 배치시킴으로써 회전운동에 대한 밀봉효과를 연장할 수 있다.
이상에서 본 발명의 대표적인 실시예들을 상세하게 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 상술한 실시예에 대하여 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 변형이 가능함을 이해할 것이다. 그러므로 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
100: 하우징
110: 플랜지
120: 걸림턱
130: 부싱
140: 하우징 덮개
150: 와셔
160: 와셔 덮개
200: 제1 샤프트
300, 300': 제1 씰링부재
400: 제2 샤프트
450: 제2 씰링부재
470, 472: 스냅링
500: 제2 씰링부재
600: 플렉시블 커버
800: 제3 씰링부재

Claims (15)

  1. 하우징과;
    상기 하우징을 관통하여 결합되는 중공의 제1 샤프트;
    상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이에 구비되어 그 사이를 밀봉하는 제1 씰링부재;
    상기 제1 샤프트의 내부로 적어도 일부가 삽입되는 제2 샤프트;
    상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이에 구비되어 그 사이를 밀봉하는 제2 씰링부재; 및
    상기 제1 샤프트의 내주면 또는 상기 제2 샤프트의 외주면 중 어느 하나에 마련되되, 상기 제1 샤프트의 축방향으로 상기 제2 씰링부재로부터 소정의 거리만큼 이격된 위치에 마련되는 제3 씰링부재;를 포함하고,
    상기 제1 샤프트는 상기 하우징에 대해 축방향 직선운동이 가능하게 설치되고, 상기 제2 샤프트는 상기 제1 샤프트에 대해 회전운동 및 직선운동이 가능하게 설치되며,
    상기 제2 씰링부재가 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이를 밀봉하는 제1 위치에서는, 상기 제3 씰링부재는 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트와의 밀봉을 수행하지 않도록 위치하고,
    상기 제2 씰링부재가 파손되어 밀봉을 수행하지 못하는 경우, 상기 제2 샤프트가 축방향 직선운동을 통하여 이동한 제2 위치에서는, 상기 제3 씰링부재는 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트와의 밀봉을 수행하도록 위치하는 것인 직선 및 회전운동 밀폐장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 씰링부재는 직선운동용 리니어 씰이고, 상기 제2 씰링부재는 회전운동용 회전용 씰이며, 상기 제3 씰링부재는 회전운동용 회전용 씰인 것인 직선 및 회전운동 밀폐장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 하우징의 내주면과 상기 제1 샤프트의 외주면 중 어느 하나에는 축방향으로 연장되는 돌기가 형성되고,
    다른 하나에는 상기 돌기가 삽입되는 홈이 형성되는 것인 직선 및 회전운동 밀폐장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이에는 부싱이 구비되고, 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이에는 부싱 또는 레이디얼 베어링이 구비되는 것인 직선 및 회전운동 밀폐장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1 샤프트는 일단부로 갈수록 내경이 확대되는 다단으로 형성되거나 상기 제2 샤프트가 일단부로 갈수록 외경이 축소되는 다단으로 형성되고, 상기 제1 및 상기 제2 샤프트의 일단부 사이에는 상기 부싱 또는 상기 레이디얼 베어링이 구비되는 것인 직선 및 회전운동 밀폐장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 하우징의 내주면과 상기 제1 샤프트의 외주면에는 축방향으로 소정거리 이격된 걸림턱이 각각 형성되어 이들 사이의 축방향 직선운동이 일정거리만큼 제한되는 것인 직선 및 회전운동 밀폐장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 제3 씰링부재는 상기 제1 샤프트의 내주면에 마련되고,
    상기 제1 위치에서 상기 제3 씰링부재는 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이를 밀봉하지 않고, 상기 제2 위치에서 상기 제3 씰링부재는 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이를 밀봉하도록, 상기 제2 샤프트에는 상기 제3 씰링부재의 내주면와 소정의 간극을 형성하도록 홈부가 마련된 것인 직선 및 회전운동 밀폐장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 제3 씰링부재는 상기 제1 샤프트의 외주면에 마련되고,
    상기 제1 위치에서 상기 제3 씰링부재는 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이를 밀봉하지 않고, 상기 제2 위치에서 상기 제3 씰링부재는 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이를 밀봉하도록, 상기 제1 샤프트에는 상기 제3 씰링부재의 외주면과 소정의 간극을 형성하도록 홈부가 마련된 것인 직선 및 회전운동 밀폐장치.
  9. 하우징과;
    상기 하우징을 관통하여 결합되는 중공의 제1 샤프트;
    상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이에 구비되어 그 사이를 밀봉하는 제2 씰링부재;
    상기 제1 샤프트의 내부로 적어도 일부가 삽입되는 제2 샤프트;
    상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이에 구비되어 그 사이를 밀봉하는 제1 씰링부재; 및
    상기 하우징의 내주면 또는 상기 제1 샤프트의 외주면 중 어느 하나에 마련되되, 상기 제1 샤프트의 축방향으로 상기 제2 씰링부재로부터 소정의 거리만큼 이격된 위치에 마련되는 제3 씰링부재;를 포함하고,
    상기 제1 샤프트는 상기 하우징에 대해 회전운동이 가능하게 설치되고, 상기 제2 샤프트는 상기 제1 샤프트에 대해 축방향 직선운동이 가능하게 설치되며,
    상기 제2 씰링부재가 상기 제1 샤프트와 상기 하우징 사이를 밀봉하는 제1 위치에서는, 상기 제3 씰링부재는 상기 제1 샤프트와 상기 하우징과의 밀봉을 수행하지 않도록 위치하고,
    상기 제2 씰링부재가 파손되어 밀봉을 수행하지 못하는 경우, 상기 제1 샤프트가 축방향 직선운동을 통하여 이동한 제2 위치에서는, 상기 제3 씰링부재는 상기 제1 샤프트와 상기 하우징과의 밀봉을 수행하도록 위치하는 것인 직선 및 회전운동 밀폐장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제2 씰링부재는 회전운동용 회전용 씰이고, 상기 제1 씰링부재는 직선운동용 리니어 씰이며, 상기 제3 씰링부재는 회전운동용 씰인 것인 직선 및 회전운동 밀폐장치.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 제1 샤프트의 내주면과 상기 제2 샤프트의 외주면 중 어느 하나에는 축방향으로 연장되는 돌기가 형성되고,
    다른 하나에는 상기 돌기가 삽입되는 홈이 형성되는 것인 직선 및 회전운동 밀폐장치.
  12. 제9항에 있어서,
    상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이에는 부싱 또는 레이디얼 베어링이 구비되고, 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이에는 부싱이 구비되는 것인 직선 및 회전운동 밀폐장치.
  13. 제9항에 있어서,
    상기 제1 샤프트의 내주면과 상기 제2 샤프트의 외주면에는 축방향으로 소정거리 이격된 걸림턱이 각각 형성되어 이들 사이의 축방향 직선운동이 일정거리만큼 제한되는 것인 직선 및 회전운동 밀폐장치.
  14. 제9항에 있어서,
    상기 제3 씰링부재는 상기 하우징의 내주면에 마련되고,
    상기 제1 위치에서 상기 제3 씰링부재는 상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이를 밀봉하지 않고, 상기 제2 위치에서 상기 제3 씰링부재는 상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이를 밀봉하도록, 상기 제1 샤프트에는 상기 제3 씰링부재의 내주면와 소정의 간극을 형성하도록 홈부가 마련된 것인 직선 및 회전운동 밀폐장치.
  15. 제9항에 있어서,
    상기 제3 씰링부재는 상기 제1 샤프트의 외주면에 마련되고,
    상기 제1 위치에서 상기 제3 씰링부재는 상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이를 밀봉하지 않고, 상기 제2 위치에서 상기 제3 씰링부재는 상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이를 밀봉하도록, 상기 하우징에는 상기 제3 씰링부재의 외주면과 소정의 간극을 형성하도록 홈부가 마련된 것인 직선 및 회전운동 밀폐장치.
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