KR102044229B1 - Suction chuck, and transfer apparatus having the same - Google Patents

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KR102044229B1 KR1020130100809A KR20130100809A KR102044229B1 KR 102044229 B1 KR102044229 B1 KR 102044229B1 KR 1020130100809 A KR1020130100809 A KR 1020130100809A KR 20130100809 A KR20130100809 A KR 20130100809A KR 102044229 B1 KR102044229 B1 KR 102044229B1
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히로키 타카시마
히데아키 나카니시
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무라다기카이가부시끼가이샤
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Abstract

(과제)
각 노즐에 대한 압축 공기의 공급로를 심플하게 구성한 흡인 척을 제공한다.
(해결 수단)
흡인 척은 워크에 대향하는 대향면(31)을 갖는 평판 형상의 본체를 구비하고 있다. 본체에는 대향면(31)으로부터 기체를 분출하는 복수의 흡인 요소와, 각 흡인 요소에 대하여 압축 공기를 공급하는 공급로와, 본체를 두께 방향으로 관통하는 복수의 배기 구멍이 형성된다. 각각의 흡인 요소는 대향면(31)에 개구되는 원형의 분출구(41)를 갖는 원기둥 형상 공간(45)과, 원기둥 형상 공간(45)의 내주벽에 개구되는 복수의 노즐(44)을 구비한다. 공급로는 복수의 노즐(44)의 각각에 압축 공기를 분배하는 분배로(62)와, 분배로(62)에 압축 공기를 공급하는 공통 공급로(47)를 구비한다. 그리고, 흡인 요소, 분배로(62), 및 공통 공급로(47)는 서로 다른 금속 플레이트에 형성된다.(assignment)
A suction chuck having a simple configuration of a supply passage of compressed air for each nozzle is provided.
(Solution)
The suction chuck is provided with a flat body having an opposite surface 31 facing the workpiece. The main body is provided with a plurality of suction elements for blowing gas from the opposing surface 31, a supply path for supplying compressed air to each suction element, and a plurality of exhaust holes penetrating the main body in the thickness direction. Each suction element has a cylindrical space 45 having a circular spout 41 opening in the opposing surface 31 and a plurality of nozzles 44 opening in the inner circumferential wall of the cylindrical space 45. . The supply path includes a distribution path 62 for distributing compressed air to each of the plurality of nozzles 44, and a common supply path 47 for supplying compressed air to the distribution path 62. And the suction element, the distribution path 62, and the common supply path 47 are formed in different metal plates.

Description

흡인 척, 및 이것을 구비한 이송 장치{SUCTION CHUCK, AND TRANSFER APPARATUS HAVING THE SAME}Suction chuck and transfer apparatus provided with the same {SUCTION CHUCK, AND TRANSFER APPARATUS HAVING THE SAME}

본 발명은 압축 기체를 분출하고, 베르누이 효과에 의해 워크를 흡인 유지하는 흡인 척에 관한 것이다.The present invention relates to a suction chuck that ejects compressed gas and sucks and holds a workpiece by the Bernoulli effect.

태양 전지 웨이퍼나 연료 전지 셀, 또는 2차 전지의 전극 또는 세퍼레이터 등의 얇은 평판 형상의 워크(박판 워크)를 이송하기 위해서, 상기 워크를 비접촉으로 유지해서 반송하는 비접촉 반송장치가 이용되고 있다.In order to transfer thin flat-shaped workpiece | work (thin-plate workpiece | work), such as a solar cell wafer, a fuel cell, or an electrode or a separator of a secondary battery, the non-contact conveyance apparatus which hold | maintains and conveys the said workpiece | contacting is used.

이러한 종류의 비접촉 반송장치는 공기를 고속으로 분출해서 베르누이 효과에 의한 부압을 발생시키고, 이 부압에 의해 워크를 흡인하도록 구성된다. 특허문헌 1에 기재된 비접촉 반송장치는 중공 원기둥 형상으로 형성된 선회류 형성체(흡인 요소)의 내부에 공기를 분출하고, 상기 선회류 형성체의 내부에 선회류를 형성하도록 구성되어 있다. 선회류는 선회류 형성체로부터 고속류로 되어서 유출되므로, 상기 선회류 형성체의 끝면과 피반송물(웨이퍼) 사이는 부압이 된다. 이에 따라, 피반송물은 선회류 형성체에 흡인되지만 선회류 형성체와 피반송체 사이에는 공기의 층이 형성되므로, 피반송체와 선회류 형성체 사이는 비접촉 상태로 유지된다. 이렇게 하여, 피반송물을 비접촉으로 흡인 유지할 수 있다.This kind of non-contact conveying device is configured to eject air at high speed to generate negative pressure due to the Bernoulli effect, and to suck the workpiece by this negative pressure. The non-contact conveying apparatus of patent document 1 is comprised so that air may be blown in the inside of the swirl flow formation body (suction element) formed in the hollow cylinder shape, and a swirl flow may be formed in the inside of the swirl flow formation body. Since the swirl flow flows out from the swirl flow-forming body at high speed, there is a negative pressure between the end face of the swirl flow-forming body and the conveyed object (wafer). Thereby, the conveyed object is attracted to the swirl flow-forming body, but a layer of air is formed between the swirl flow-forming body and the conveyed body, so that the conveyed body and the swirl flow-forming body are kept in a non-contact state. In this way, the conveyed object can be sucked and held in a non-contact manner.

이러한 종류의 비접촉 반송장치의 다른 예로서, 본원 출원인은 도 13에 나타내는 바와 같은 흡인 척(80)을 제안하고 있다(일본 특허 출원 2011-94215). 도 13에 나타내는 바와 같이, 이 흡인 척(80)은 평판 형상으로 구성된 본체(81)를 구비하고 있고, 상기 본체(81)의 하면은 워크에 직접 대향하는 대향면(31)으로 되어 있다. 대향면(31)에는 둥근 구멍 형상의 분출구(41)가 배열되어 복수 형성되어 있다. 또한, 본체(81)에는 상기 본체(81)를 두께 방향으로 관통하는 복수의 배기 구멍(42)이 형성되어 있다.As another example of this kind of non-contact conveying apparatus, the applicant of this application proposes the suction chuck 80 as shown in FIG. 13 (Japanese Patent Application 2011-94215). As shown in FIG. 13, this suction chuck 80 is equipped with the main body 81 comprised in flat form, The lower surface of the said main body 81 is the opposing surface 31 which directly faces a workpiece | work. On the opposing surface 31, a plurality of round hole jetting ports 41 are arranged. Moreover, the main body 81 is provided with the some exhaust hole 42 which penetrates the said main body 81 in the thickness direction.

분출구(41) 중 1개를 확대해서 도 14에 나타낸다. 각 분출구(41)의 내측에는 압축 공기를 분출하기 위한 노즐(44)이 형성되어 있다. 노즐(44)은 가늘고 긴 슬릿 형상의 유로로서 형성되어 있다. 이 예에 있어서, 노즐(44)은 1개의 분출구(41)에 대하여 2개 형성되어 있다. 2개의 노즐(44)은 서로 위상을 180° 다르게 하도록 해서 분출구(41)의 내벽의 접선 방향에 형성되어 있다. 상기 노즐(44)의 일단은 분출구(41)의 내주벽에 개구되어 있고, 타단은 접속 구멍(34)에 연통되어 있다.One of the jet ports 41 is enlarged and shown in FIG. A nozzle 44 for blowing compressed air is formed inside each jet port 41. The nozzle 44 is formed as an elongate slit flow path. In this example, two nozzles 44 are formed with respect to one jet port 41. The two nozzles 44 are formed in the tangential direction of the inner wall of the jet port 41 by making the phases 180 degrees different from each other. One end of the nozzle 44 is opened in the inner circumferential wall of the jet port 41, and the other end is connected to the connection hole 34.

이 흡인 척(80)의 본체(81)에는 접속 구멍(34)에 연통되는 공급로(83)가 형성되어 있다. 이 공급로(83)는 각 노즐(44)에 대응해서 설치되어 있다. 예를 들면, 도 14의 흡인 척(80)에서는 1개의 분출구(41)에 대하여 2개의 노즐(44)이 설치되어 있으므로 공급로(83)도 2개 설치되어 있다.The main body 81 of the suction chuck 80 is provided with a supply path 83 that communicates with the connection hole 34. This supply path 83 is provided corresponding to each nozzle 44. For example, in the suction chuck 80 of FIG. 14, since two nozzles 44 are provided for one jet port 41, two supply paths 83 are also provided.

이상의 구성의 흡인 척(80)으로 공급로(83)에 압축 공기를 공급함으로써 접속 구멍(34)을 통해서 노즐(44)에 압축 공기가 유입되고, 상기 노즐(44)로부터 분출구(41)의 내부에 압축 공기가 분출된다. 노즐(44)로부터 분출된 공기는 분출구(41)의 내벽면을 따라 흐른 후, 상기 분출구(41)로부터 고속으로 유출된다. 이에 따라, 흡인 척(80)의 대향면(31)과 워크 사이에 부압을 발생시켜서 상기 워크를 흡인 유지할 수 있다. 또한, 분출구(41)로부터 유출된 공기는 배기 구멍(42)을 통해서 신속하게 배출되므로, 공기류가 체류하는 것에 의한 흡인력의 저하를 방지할 수 있다.By supplying compressed air to the supply path 83 to the suction chuck 80 of the above structure, compressed air flows into the nozzle 44 through the connection hole 34, and the inside of the jet port 41 from the nozzle 44 is carried out. Compressed air is blown out. The air blown out from the nozzle 44 flows along the inner wall surface of the jet port 41 and then flows out of the jet port 41 at high speed. Thereby, a negative pressure is generated between the opposing surface 31 of the suction chuck 80 and the workpiece, and the workpiece can be sucked and held. Moreover, since the air which flowed out from the blowing port 41 is discharged | emitted quickly through the exhaust hole 42, the fall of the suction force by which air flow stays can be prevented.

도 15 및 도 16에 나타내는 바와 같이, 흡인 척(80)은 복수의 금속제의 플레이트(84∼87)를 적층해서 구성되어 있다. 표면 플레이트(84)에는 분출구(41)가 형성되어 있다. 노즐 플레이트(85)에는 노즐(44)이 형성되어 있다. 접속 플레이트(86)에는 접속 구멍(34)이 형성되어 있다. 분배 플레이트(87)에는 공급로(83)가 형성되어 있다.As shown to FIG. 15 and FIG. 16, the suction chuck 80 is comprised by laminating | stacking the some metal plates 84-87. A jet port 41 is formed in the surface plate 84. The nozzle 44 is provided with the nozzle plate 85. The connection hole 34 is formed in the connection plate 86. The supply path 83 is formed in the distribution plate 87.

분출구(41), 노즐(44), 접속 구멍(34), 공급로(83), 배기 구멍(42) 등은 금속제의 플레이트(84∼87)에 대한 에칭, 또는 기계 가공 등의 방법에 의해 형성할 수 있고, 소형화, 밀집화가 용이하다. 예를 들면, 도 13의 흡인 척(80)에서는 분출구(41)의 직경을 3㎜로 하고 있다. 이렇게 분출구(41)를 매우 작게 형성할 수 있으므로, 도 13에 나타내는 바와 같이 분출구(41)를 다수 배열하여 어레이 형상으로 형성할 수 있다. 이에 따라, 대향면(31)과 워크 사이에서 부압을 균일하게 분산시켜서 작용시킬 수 있으므로, 워크를 흡인 유지했을 때의 상기 워크의 진동 및 변형을 방지할 수 있다.The jet port 41, the nozzle 44, the connection hole 34, the supply passage 83, the exhaust hole 42, and the like are formed by etching or machining a metal plate 84 to 87, or by machining. It is possible to make it compact and compact. For example, in the suction chuck 80 of FIG. 13, the diameter of the jet port 41 is 3 mm. Since the jet port 41 can be formed very small in this way, as shown in FIG. 13, many jet port 41 can be arrange | positioned and formed in array shape. As a result, since the negative pressure can be uniformly dispersed between the opposing surface 31 and the work, the vibration and deformation of the work when the work is sucked and held can be prevented.

일본 특허 제 3981241호 공보Japanese Patent No. 3981241

도 13 등에 나타낸 종래예의 흡인 척(80)은 금속제의 플레이트를 적층한 구성이기 때문에, 금속 플레이트끼리를 서로 접합할 필요가 있다. 적층한 금속 플레이트끼리를 접합하기 위해서는 확산 접합을 이용할 수 있다.Since the suction chuck 80 of the conventional example shown in FIG. 13 etc. is the structure which laminated | stacked the metal plates, it is necessary to join metal plates mutually. In order to join the laminated metal plates, a diffusion bonding can be used.

그런데, 도 13 등에 나타낸 흡인 척(80)에 있어서는 압축 공기의 유량을 충분하게 확보하기 위해서 공급로(83)의 폭이 충분히 넓게 되도록 형성된다. 금속 플레이트끼리를 확산 접합할 때에는 그 두께 방향으로 압력을 가할 필요가 있지만, 공급로(83)와 같이 폭이 넓은 홈(또는 슬릿)이 금속 플레이트에 형성되어 있으면 상기 홈(또는 슬릿)을 사이에 두고 두께 방향으로 압력이 전달되기 어렵다. 따라서, 플레이트(84∼87)를 전부 겹쳐서 일체로 확산 접합하려고 해도 공급로(83)의 부분에는 압력이 가해지기 어렵다. 이 때문에, 상기 공급로(83)의 부분에서 금속 플레이트끼리의 접합이 불충분해져서 공기 누설 등의 문제가 발생할 우려가 있다.By the way, in the suction chuck 80 shown in FIG. 13 etc., in order to ensure the flow volume of compressed air enough, the width | variety of the supply path 83 is formed so that it may become wide enough. When diffusion-bonding metal plates to each other, it is necessary to apply pressure in the thickness direction. However, when a wide groove (or slit) is formed in the metal plate such as the supply path 83, the groove (or slit) is interposed between the metal plates. It is difficult to transmit pressure in the thickness direction. Therefore, even if all the plates 84 to 87 are overlapped and integrally try to be diffusion-bonded, pressure is hardly applied to the portion of the supply path 83. For this reason, joining of metal plates in the part of the said supply path 83 becomes inadequate, and there exists a possibility that a problem, such as air leakage, may arise.

그래서, 도 13 등에 나타낸 종래예의 흡인 척(80)을 형성할 때에는 플레이트(84∼86)를 겹쳐서 확산 접합하고, 그 후에 공급로(83)가 형성된 분배 플레이트(87)를 접착에 의해 일체화하고 있었다. 이렇게, 도 13 등에 나타낸 흡인 척(80)에서는 모든 플레이트(84∼87)를 모아서 확산 접합할 수 없었기 때문에 제조에 수고가 들고, 제조 비용 상승의 요인이 되고 있었다.Therefore, when forming the suction chuck 80 of the conventional example shown in FIG. 13 and the like, the plates 84 to 86 are overlapped and diffusion-bonded, and then the distribution plate 87 on which the supply path 83 is formed is integrated by bonding. . Thus, in the suction chuck 80 shown in FIG. 13 etc., since all the plates 84-87 could not be gathered and spread-bonded, labor was produced for manufacture and it was a factor of the increase of manufacturing cost.

또한, 본원 발명자들의 연구에 의해 1개의 분출구(41)에 대하여 3개 이상의 노즐(44)을 형성함으로써 흡인 척(80)의 흡인 성능을 향상(흡인력의 향상, 흡인시의 워크 변형의 감소)시킬 수 있는 것이 밝혀졌다. 그러나, 도 14의 구성에서는 노즐(44) 각각에 대응해서 공급로(83)가 설치되어 있으므로, 노즐(44)의 수를 늘리면 그만큼 공급로(83)의 설치 경로가 복잡해진다. 이 때문에, 노즐(44)의 수를 늘리는 것이 곤란 내지 불가능하다. 또한, 공급로(83)의 설치 경로가 복잡해지면 배기 구멍(42)을 최적의 위치에 배치하는 것이 어려워진다.In addition, the inventors have improved the suction performance of the suction chuck 80 (improvement of suction force and reduction of work deformation during suction) by forming three or more nozzles 44 for one jet port 41. It turns out that it can. However, in the structure of FIG. 14, since the supply path 83 is provided corresponding to each nozzle 44, when the number of the nozzles 44 is increased, the installation path of the supply path 83 will become complicated by that. For this reason, it is difficult or impossible to increase the number of nozzles 44. Moreover, when the installation path of the supply path 83 becomes complicated, it becomes difficult to arrange | position the exhaust hole 42 in an optimal position.

본 발명은 이상의 사정을 감안하여 이루어진 것이며, 그 목적은 복수의 금속 플레이트를 적층해서 이루어지는 흡인 척에 있어서 각 노즐에 대한 압축 공기의 공급로를 심플하게 구성함과 아울러 전체를 확산 접합에 의해 한 번에 일체화할 수 있는 흡인 척을 제공하는 것에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a compressed air supply path to each nozzle in a suction chuck formed by stacking a plurality of metal plates, and to spread the whole once by diffusion bonding. It is to provide a suction chuck which can be integrated into the.

본 발명의 해결하려고 하는 과제는 이상과 같으며, 이어서 이 과제를 해결하기 위한 수단과 그 효과를 설명한다.The problem to be solved of the present invention is as described above. Next, the means for solving this problem and its effect will be described.

본 발명의 관점에 의하면, 이하와 같이 구성된 흡인 척이 제공된다. 이 흡인 척은 워크에 대향하는 대향면을 갖는 평판 형상의 본체를 구비한다. 상기 본체에는 상기 대향면으로부터 기체를 분출하는 복수의 흡인 요소와, 각 흡인 요소에 대하여 상기 기체를 공급하는 공급로와, 상기 본체를 두께 방향으로 관통하는 복수의 배기 구멍이 형성된다. 각각의 상기 흡인 요소는 상기 대향면에 개구되는 원형의 분출구를 갖는 원기둥 형상 공간과, 상기 원기둥 형상 공간의 내주벽에 개구되는 복수의 노즐을 구비한다. 상기 공급로는 상기 복수의 노즐의 각각에 상기 기체를 분배하는 분배로와, 상기 분배로에 상기 기체를 공급하는 공통 공급로를 구비한다. 그리고, 상기 흡인 요소, 상기 분배로, 및 상기 공통 공급로는 상기 본체의 두께 방향에서 다른 위치에 형성된다.According to the viewpoint of this invention, the suction chuck comprised as follows is provided. This suction chuck has a flat body having an opposing surface facing the workpiece. The main body is provided with a plurality of suction elements for blowing gas from the opposing surface, a supply path for supplying the gas to each suction element, and a plurality of exhaust holes penetrating the main body in a thickness direction. Each said suction element is provided with the cylindrical space which has the circular spout opening to the said opposing surface, and the some nozzle opened in the inner peripheral wall of the said cylindrical space. The supply path includes a distribution path for distributing the gas to each of the plurality of nozzles, and a common supply path for supplying the gas to the distribution path. The suction element, the distribution path, and the common supply path are formed at different positions in the thickness direction of the main body.

즉, 공통 공급로로부터 분배로에 대하여 기체를 공급하고, 상기 분배로로부터 각 노즐에 대하여 기체가 분배된다. 각 노즐에 대한 기체의 분배는 분배로가 행하므로, 공통 공급로는 분배로에 대하여 기체를 공급하기만 하면 된다. 따라서, 흡인 요소가 노즐을 몇 개 구비하고 있었다고 해도 공통 공급로의 설치 경로가 복잡해질 일은 없다. 이에 따라, 공통 공급로의 설치 경로를 단순화할 수 있으므로 전체의 배치의 자유도가 향상된다.That is, gas is supplied from the common supply passage to the distribution passage, and gas is distributed from the distribution passage to each nozzle. Since the distribution path performs distribution of gas to each nozzle, the common supply path only needs to supply gas to the distribution path. Therefore, even if the suction element has several nozzles, the installation path to the common supply path does not become complicated. Thereby, since the installation path of a common supply path can be simplified, the freedom of arrangement | positioning of the whole improves.

상기 흡인 척은 이하와 같이 구성하는 것이 바람직하다. 즉, 상기 공급로는 공급 포트와 제 1 기체실을 구비한다. 상기 공급 포트에는 상기 기체가 공급된다. 상기 제 1 기체실은 상기 분배로에 연통된다. 상기 공통 공급로는 복수의 상기 제 1 기체실에 걸쳐서 설치되고, 또한 상기 공급 포트에 접속된다. 그리고 이 흡인 척은 상기 공급 포트가 형성된 제 1 금속 플레이트와, 상기 공통 공급로가 형성된 제 2 금속 플레이트와, 상기 제 1 기체실이 형성된 제 3 금속 플레이트를 구비한다.It is preferable to comprise the said suction chuck as follows. That is, the supply path includes a supply port and a first gas chamber. The gas is supplied to the supply port. The first gas chamber is in communication with the distribution passage. The common supply passage is provided over the plurality of first gas chambers and is connected to the supply port. The suction chuck includes a first metal plate on which the supply port is formed, a second metal plate on which the common supply path is formed, and a third metal plate on which the first gas chamber is formed.

이것에 의하면, 1개의 흡인 포트에 대하여 기체를 공급함으로써 공통 공급로를 통해서 복수의 제 1 기체실에 기체를 공급할 수 있다.According to this, gas can be supplied to a some 1st gas chamber through a common supply path by supplying gas to one suction port.

상기 흡인 척은 이하와 같이 구성되는 것이 바람직하다. 즉, 상기 공통 공급로는 상기 제 2 금속 플레이트를 두께 방향으로 관통 형성한 가늘고 긴 슬릿으로서 구성된다. 그리고, 상기 제 2 금속 플레이트는 복수매의 금속 플레이트를 적층해서 이루어진다.It is preferable that the said suction chuck is comprised as follows. That is, the said common supply path is comprised as an elongate slit which penetrated the said 2nd metal plate in the thickness direction. The second metal plate is formed by stacking a plurality of metal plates.

공통 공급로의 유로 면적을 충분하게 확보하는 관점으로부터, 공통 공급로의 두께 방향에서의 치수를 크게 하는 것이 바람직하다. 그러나, 두께가 있는 금속 플레이트에 가늘고 긴 슬릿을 형성하는 것은 어려우므로 상기한 바와 같이 복수의 금속 플레이트에 각각 슬릿을 형성하고, 이것들을 적층해서 제 2 금속 플레이트로 한다. 금속 플레이트를 적층해서 제 2 금속 플레이트로 함으로써 상기 제 2 금속 플레이트를 두껍게 할 수 있으므로, 상기 제 2 금속 플레이트에 형성된 슬릿(공통 공급로)의 두께 방향에서의 치수를 확보할 수 있다.It is preferable to enlarge the dimension in the thickness direction of a common supply path from a viewpoint of fully securing the flow path area of a common supply path. However, since it is difficult to form elongate slits in a thick metal plate, slits are formed in a plurality of metal plates, respectively, as described above, and these are laminated to form a second metal plate. Since the second metal plate can be thickened by stacking the metal plates to form the second metal plate, the dimension in the thickness direction of the slit (common supply path) formed in the second metal plate can be ensured.

상기 흡인 척은 이하와 같이 구성되는 것이 바람직하다. 즉, 상기 공통 공급로는 서로 구획된 복수의 가늘고 긴 슬릿으로서 상기 제 2 금속 플레이트에 형성된다. 상기 복수의 가늘고 긴 슬릿 중 일부는 상기 공급 포트에 직접 연통된다. 한편, 상기 복수의 가늘고 긴 슬릿의 나머지는 상기 제 1 기체실을 통해서 간접적으로 상기 공급 포트에 연통된다.It is preferable that the said suction chuck is comprised as follows. That is, the common supply path is formed in the second metal plate as a plurality of elongated slits partitioned from each other. Some of the plurality of elongate slits are in direct communication with the supply port. On the other hand, the remainder of the plurality of elongate slits is indirectly communicated to the supply port through the first gas chamber.

공통 공급로를 복수의 슬릿으로 분할함으로써 개개의 슬릿의 개구 면적을 작게 할 수 있다. 이에 따라, 확산 접합시에 압력이 가해지기 쉬워짐과 아울러 제 2 금속 플레이트가 변형되기 어려워진다. 분할된 슬릿끼리는 제 1 기체실을 통해서 서로 연통시킬 수 있다. 이에 따라, 각각의 슬릿에 대하여 기체를 공급할 수 있다.By dividing the common supply path into a plurality of slits, the opening area of each slit can be reduced. As a result, pressure is easily applied during diffusion bonding, and the second metal plate is less likely to be deformed. The divided slits can communicate with each other through the first gas chamber. Thereby, gas can be supplied to each slit.

상기 흡인 척은 이하와 같이 구성되는 것이 바람직하다. 즉, 이 흡인 척은 제 4 금속 플레이트와 제 5 금속 플레이트를 구비한다. 상기 제 4 금속 플레이트에는 상기 분배로가 형성된다. 상기 제 5 금속 플레이트에는 제 2 기체실이 형성된다. 이 제 2 기체실은 각 흡인 요소가 구비하는 상기 복수의 노즐에 대응해서 설치되고, 상기 대응하는 노즐과 상기 분배로를 연통시킨다.It is preferable that the said suction chuck is comprised as follows. That is, this suction chuck has a fourth metal plate and a fifth metal plate. The distribution path is formed on the fourth metal plate. A second gas chamber is formed in the fifth metal plate. This 2nd gas chamber is provided corresponding to the said some nozzle with which each suction element is equipped, and makes the said nozzle communicate with the said distribution path.

이 구성에서, 분배로에 공급된 기체를 제 2 기체실을 통해서 각 노즐에 공급할 수 있다.In this configuration, the gas supplied to the distribution path can be supplied to each nozzle through the second gas chamber.

상기 흡인 척은 이하와 같이 구성되는 것이 바람직하다. 즉, 이 흡인 척은 제 6 금속 플레이트와 제 7 금속 플레이트를 구비한다. 상기 제 6 금속 플레이트에는 상기 원기둥 형상 공간의 일부가 형성됨과 아울러 상기 원기둥 형상 공간에 연통되는 복수의 상기 노즐이 형성된다. 상기 제 7 금속 플레이트에는 상기 분출구가 형성된다.It is preferable that the said suction chuck is comprised as follows. That is, this suction chuck has a sixth metal plate and a seventh metal plate. A portion of the cylindrical space is formed in the sixth metal plate and a plurality of nozzles communicating with the cylindrical space are formed. The jet port is formed in the seventh metal plate.

이렇게 하여 형성된 노즐로부터 원기둥 형상 공간의 내부에 기체를 분출할 수 있다.Gas can be blown in the inside of the cylindrical space from the nozzle formed in this way.

상기 흡인 척은 상기 제 1∼제 7 금속 플레이트를 이 순서로 적층한 후에 확산 접합해서 구성되는 것이 바람직하다.It is preferable that the said suction chuck is comprised by carrying out diffusion bonding after laminating | stacking the said 1st-7th metal plate in this order.

이렇게 확산 접합함으로써, 복수의 금속 플레이트를 한 번에 일체화해서 흡인 척을 형성할 수 있다.By diffusion bonding, a plurality of metal plates can be integrated at a time to form a suction chuck.

상기 흡인 척은 이하와 같이 구성하는 것이 바람직하다. 즉, 상기 제 1 기체실은 원기둥 형상의 공간이다. 상기 제 1 기체실과, 상기 제 1 기체실에 대응하는 흡인 요소의 상기 원기둥 형상 공간은 동일 축심 상에 배치된다. 상기 분배로는 입력부와 개별 공급로를 구비한다. 상기 입력부는 상기 제 1 기체실에 연통된다. 상기 개별 공급로는 상기 분배로가 대응하는 흡인 요소가 구비하는 복수의 상기 노즐 각각에 대응해서 설치되고, 상기 대응하는 노즐과 상기 입력부를 연통한다. 그리고, 각 개별 공급로는 상기 축심으로부터 방사상으로 배치된다.It is preferable to comprise the said suction chuck as follows. That is, the first gas chamber is a cylindrical space. The first gas chamber and the cylindrical space of the suction element corresponding to the first gas chamber are disposed on the same axis. The distribution passage has an input and an individual supply passage. The input unit is in communication with the first gas chamber. The said individual supply path is provided corresponding to each of the said some nozzle with which the corresponding suction element is equipped, and the said distribution path communicates with the said nozzle and the said input part. And each individual supply path is arranged radially from the said shaft center.

상기 흡인 척에 있어서, 각 개별 공급로는 서로 동일한 길이이며, 또한 동일한 유로 단면적을 갖는 것이 바람직하다.In the suction chuck, it is preferable that each of the individual supply passages have the same length and have the same flow path cross-sectional area.

상기 흡인 척에 있어서, 각 개별 공급로는 상기 축심을 중심으로 해서 등간격으로 배치되어 있는 것이 바람직하다.In the said suction chuck, it is preferable that each individual supply path is arrange | positioned at equal intervals centering on the said shaft center.

분배로를 이렇게 구성함으로써, 복수의 노즐에 대하여 기체를 균일하게 분배할 수 있다.By configuring the distribution path in this way, the gas can be uniformly distributed to the plurality of nozzles.

상기 흡인 척에 있어서, 상기 개별 공급로의 유로 단면적은 상기 노즐의 유로 단면적과 동일하거나, 또는 큰 것이 바람직하다.In the suction chuck, the passage cross-sectional area of the individual supply passage is preferably equal to or larger than the passage cross-sectional area of the nozzle.

이에 따라, 각 노즐에 대하여 공급하는 기체의 유량을 충분하게 확보할 수 있다.Thereby, the flow volume of the gas supplied with respect to each nozzle can be ensured enough.

상기 흡인 척에 있어서, 상기 분출구, 상기 노즐, 상기 분배로, 및 상기 공통 공급로는 대응하는 금속 플레이트에 에칭에 의해 형성되는 것이 바람직하다.In the suction chuck, the jet port, the nozzle, the distribution path, and the common supply path are preferably formed by etching on a corresponding metal plate.

이렇게 에칭에 의한 가공으로 분출구나 노즐 등을 형성함으로써, 흡인 요소를 작고 또한 고정밀도로 형성하는 것이 용이해진다.Thus, by forming an ejection element, a nozzle, etc. by the process by etching, it becomes easy to form a suction element small and high precision.

무엇보다 상기 분출구, 상기 노즐, 상기 분배로, 및 상기 공통 공급로는 대응하는 금속 플레이트에 기계 가공에 의해 형성되어도 좋다.Above all, the jet port, the nozzle, the distribution path, and the common supply path may be formed by machining on a corresponding metal plate.

또한, 본 발명의 다른 관점에 의하면 상기 흡인 척과, 상기 흡인 척을 소정 범위 내에서 3차원적으로 이동시키는 것이 가능한 패러렐 메커니즘을 구비하는 이송 장치가 제공된다.According to another aspect of the present invention, there is provided a conveying apparatus having a suction mechanism and a parallel mechanism capable of moving the suction chuck three-dimensionally within a predetermined range.

즉, 패러렐 메커니즘에 의해 흡인 척으로 흡인 유지한 워크를 3차원적으로 자유롭게 이동시킬 수 있다.That is, the workpiece sucked and held by the suction chuck by the parallel mechanism can be freely moved in three dimensions.

도 1은 본 발명의 일실시형태에 의한 이송 로봇의 사시도이다.
도 2는 흡인 척의 사시도이다.
도 3은 흡인 척 본체의 대향면측을 나타내는 사시도이다.
도 4는 흡인 요소를 확대해서 나타내는 사시도이다.
도 5는 흡인 척 본체의 분해 사시도이다.
도 6은 흡인 척 본체의 종단면도이다.
도 7은 압축 공기의 흐름을 나타내는 종단면도이다.
도 8은 흡인 요소 근방을 확대해서 나타내는 분해 사시도이다.
도 9는 흡인 요소 근방을 다른 각도에서 나타내는 분해 사시도이다.
도 10은 공통 공급로의 구성을 나타내는 분해 사시도이다.
도 11(a)는 제 2 금속 플레이트의 평면도이고, 도 11(b)는 비교예의 제 2 금속 플레이트의 평면도이다.
도 12는 분배로를 확대해서 나타내는 평면도이다.
도 13은 종래예의 흡인 척의 사시도이다.
도 14는 종래예의 흡인 척의 흡인 요소를 확대해서 나타내는 사시도이다.
도 15는 종래예의 흡인 척의 분해 사시도이다.
도 16은 종래예의 흡인 척의 다른 각도로부터의 분해 사시도이다.1 is a perspective view of a transfer robot according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view of a suction chuck.
It is a perspective view which shows the opposite surface side of a suction chuck main body.
4 is an enlarged perspective view of the suction element.
5 is an exploded perspective view of the suction chuck body.
6 is a longitudinal sectional view of the suction chuck body.
7 is a longitudinal sectional view showing the flow of compressed air.
8 is an exploded perspective view showing the vicinity of a suction element in an enlarged manner.
9 is an exploded perspective view showing the vicinity of a suction element from another angle.
10 is an exploded perspective view showing the configuration of a common supply passage.
11A is a plan view of a second metal plate, and FIG. 11B is a plan view of a second metal plate of a comparative example.
12 is a plan view showing an enlarged distribution path.
It is a perspective view of the suction chuck of a conventional example.
It is a perspective view which expands and shows the suction element of the suction chuck of a prior art example.
15 is an exploded perspective view of a suction chuck of a conventional example.
16 is an exploded perspective view from another angle of the suction chuck of the conventional example.

이어서, 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태를 설명한다. 도 1은 본 발명의 일실시형태에 의한 흡인 척(10)을 구비한 이송 로봇(이송 장치)(1)을 나타내는 사시도이다.Next, embodiment of this invention is described with reference to drawings. 1: is a perspective view which shows the transfer robot (transfer apparatus) 1 provided with the suction chuck 10 by one Embodiment of this invention.

이 이송 로봇(1)은 소위 패러렐 메커니즘 로봇으로서 구성되어 있다. 구체적으로는, 이 이송 로봇(1)은 베이스부(101)와, 3개의 암(106)과, 3개의 전동 모터(104)와, 1개의 엔드 플레이트(114)를 구비하고 있다.This transfer robot 1 is comprised as what is called a parallel mechanism robot. Specifically, this transfer robot 1 includes a base portion 101, three arms 106, three electric motors 104, and one end plate 114.

베이스부(101)의 상부에는 하향의 피부착면(P1)이 형성되어 있다. 한편, 이송 로봇(1)을 부착하기 위한 도시 생략된 프레임 상면은 수평인 상향의 부착면으로 된다. 이 구성에서, 베이스부(101)의 피부착면(P1)을 상기 프레임의 부착면에 고정함으로써 이송 로봇(1)을 매단 형상으로 설치할 수 있게 되어 있다.On the upper portion of the base portion 101, a downward adherend surface P1 is formed. On the other hand, the upper surface of the frame (not shown) for attaching the transfer robot 1 is a horizontal upward attachment surface. In this configuration, the transfer robot 1 can be provided in a suspended shape by fixing the skin adhesion surface P1 of the base portion 101 to the attachment surface of the frame.

베이스부(101)의 하면측에는 상기 베이스부(101)의 평면으로 볼 때의 중앙부를 중심으로 해서 둘레 방향으로 등간격이 되도록 3개 배열하여 전동 모터(104)가 고정되어 있다. 각 전동 모터(104)는 감속기가 부착되어 있으며, 상기 감속기의 출력축에는 각각 상기 암(106)의 기단부가 고정되어 있다.The electric motor 104 is fixed to the lower surface side of the base part 101 so that it may become equally spaced in the circumferential direction centering on the center part in plan view of the said base part 101. Each electric motor 104 is equipped with a reducer, and the proximal end of the arm 106 is fixed to the output shaft of the reducer, respectively.

각 암(106)의 도중 부분에는 볼 조인트로 이루어지는 관절부(110)가 설치되어 있고, 이 관절부(110)에 있어서 상기 암(106)이 굴곡 가능하게 되어 있다. 3개의 암(106)의 선단은 볼 조인트로 이루어지는 관절부를 통해서 굴곡 가능하게 1개의 엔드 플레이트(114)에 접속되어 있다. 또한, 베이스부(101)에는 모터축을 하향으로 설치된 전동 모터(32)가 고정되어 있다. 이 전동 모터(32)의 모터축의 단부는 선회축(33)의 단부에 접속되어 있다.The middle part of each arm 106 is provided with the joint part 110 which consists of a ball joint, and the said arm 106 is bendable in this joint part 110. As shown in FIG. The tips of the three arms 106 are connected to one end plate 114 so as to be bendable through a joint portion formed of a ball joint. Moreover, the electric motor 32 provided with the motor shaft downward fixed to the base part 101 is fixed. The end of the motor shaft of this electric motor 32 is connected to the end of the turning shaft 33.

선회축(33)의 다른 쪽 단부는 엔드 플레이트(114)를 관통하여 상기 엔드 플레이트(114)의 하면보다 하방으로 돌출되어 있음과 아울러, 엔드 플레이트(114)에 의해 회전 가능하게 지지되어 있다. 이에 따라, 상기 모터축의 회전을 엔드 플레이트(114)의 하방까지 전달 가능하게 되어 있다. 선회축(33)의 하단부에는 본 실시형태에 의한 흡인 척(베르누이 척)(10)이 부착되어 있다.The other end of the pivot shaft 33 penetrates through the end plate 114 and protrudes below the lower surface of the end plate 114, and is rotatably supported by the end plate 114. As a result, the rotation of the motor shaft can be transmitted to the lower side of the end plate 114. At the lower end of the pivot shaft 33, the suction chuck 10 (Bernui chuck) 10 according to the present embodiment is attached.

이상과 같이 구성된 패러렐 메커니즘에 의해, 이송 로봇(1)은 3개의 전동 모터(104)를 적당하게 제어함으로써 암(106) 및 선회축(33)의 스트로크의 범위 내에서 엔드 플레이트(114)[및 흡인 척(10)]를 3차원적으로 자유롭게 이동시킬 수 있다. 또한, 전동 모터(32)를 적당하게 제어함으로써 흡인 척(10)을 연직축 주위에서 선회시킬 수 있다.By the parallel mechanism configured as described above, the transfer robot 1 controls the three electric motors 104 appropriately so that the end plate 114 (and the range of the stroke of the arm 106 and the pivot shaft 33) is controlled. Suction chuck 10] can be freely moved in three dimensions. In addition, by appropriately controlling the electric motor 32, the suction chuck 10 can be rotated around the vertical axis.

도 2에 나타내는 바와 같이, 흡인 척(10)은 평판 형상으로 형성된 본체(11)를 구비하고 있다. 본체(11)에는 워크(90)의 상면에 대향하는 하향의 대향면(31)을 갖고 있다. 또한, 대향면(31)의 반대측 면[본체(11)의 상면]에는 이음매(71) 및 배관(72)이 접속되어 있다. 이 배관(72)은 도시 생략된 전자 밸브를 통해서 적당한 압축 공기원(예를 들면, 콤프레서)에 접속되어 있다. 흡인 척(10)은 이 압축 공기원으로부터 공급되는 압축 공기를 대향면(31)으로부터 고속으로 분출함으로써 베르누이 효과에 의해 워크(90)와 대향면(31) 사이에 부압을 발생시키고, 이에 따라 상기 워크(90)를 비접촉으로 흡인 유지하도록 구성되어 있다.As shown in FIG. 2, the suction chuck 10 is equipped with the main body 11 formed in flat form. The main body 11 has a downward facing surface 31 facing the upper surface of the work 90. Moreover, the joint 71 and the piping 72 are connected to the surface opposite to the opposing surface 31 (upper surface of the main body 11). The pipe 72 is connected to a suitable compressed air source (for example, a compressor) through a solenoid valve (not shown). The suction chuck 10 ejects the compressed air supplied from this compressed air source at high speed from the opposing face 31 to generate a negative pressure between the workpiece 90 and the opposing face 31 by the Bernoulli effect. It is comprised so that the workpiece | work 90 may be suction-held non-contact.

또한, 본체(11)의 가장자리부에 상기 본체(11)를 둘러싸도록 서로 간격을 두고 배치된 복수의 가이드 부재(91)가 고정되어 있다. 가이드 부재(91)는 그 하단이 본체(11)의 하면[대향면(31)]보다 하방으로 돌출되도록 배치되어 있다. 이들 가이드 부재(91)는 흡인 척(10)에 유지된 워크(90)가 반송될 때에 본체(11)의 하면[대향면(31)]과 평행한 방향으로 워크(90)가 상대 이동하려고 하는 것을 규제한다.Moreover, the some guide member 91 arrange | positioned at intervals mutually so that the said main body 11 may be enclosed in the edge part of the main body 11 is fixed. The guide member 91 is arrange | positioned so that the lower end may protrude below the lower surface (the opposing surface 31) of the main body 11. As shown in FIG. These guide members 91 are intended for relative movement of the workpiece 90 in a direction parallel to the lower surface (opposed surface 31) of the main body 11 when the workpiece 90 held by the suction chuck 10 is conveyed. Regulate things.

본 실시형태의 이송 로봇(1)은 흡인 척(10)에 압축 공기를 공급해서 워크(90)를 흡인 유지하고, 그 상태에서 전동 모터(104)를 적당하게 제어해서 엔드 플레이트(114)[및 워크(90)를 흡인한 상태의 흡인 척(10)]를 원하는 위치까지 이동시킨다. 또한, 이 이송 로봇(1)은 상기 전동 모터(32)를 적당하게 구동함으로써 흡인 척(10)을 선회시켜서 상기 흡인 척(10)에 흡인 유지된 워크(90)를 대략 수평면 내에서 회전시킬 수 있다. 이어서, 이송 로봇(1)은 흡인 척(10)에 대한 압축 공기의 공급을 차단해서 워크(90)의 흡인 유지를 해제함으로써 상기 워크(90)를 원하는 위치에 적재한다. 이상과 같이, 본 실시형태의 이송 로봇(1)은 흡인 척(10)에 의해 워크(90)를 흡인 유지하고, 원하는 위치까지 이동시킬 수 있다.The transfer robot 1 of this embodiment supplies compressed air to the suction chuck 10 and sucks and holds the workpiece | work 90, In that state, it controls the electric motor 104 suitably, and the end plate 114 [and The suction chuck 10 in the state where the workpiece 90 has been sucked] is moved to a desired position. In addition, the transfer robot 1 can rotate the suction chuck 10 by appropriately driving the electric motor 32 to rotate the workpiece 90 sucked and held by the suction chuck 10 in a substantially horizontal plane. have. Subsequently, the transfer robot 1 blocks the supply of compressed air to the suction chuck 10 and releases suction holding of the workpiece 90 to load the workpiece 90 at a desired position. As described above, the transfer robot 1 of the present embodiment can suck and hold the workpiece 90 by the suction chuck 10 and move it to a desired position.

본 실시형태의 이송 로봇(1)이 취급하는 워크(90)로서는 얇은 평판 형상으로 형성된, 특히 직사각형인 것을 상정하고 있다. 워크(90)의 예로서는 태양 전지 웨이퍼, 연료 전지의 셀, 2차 전지의 전극, 세퍼레이터, 규소 웨이퍼 등을 들 수 있지만 이것들에 한정되지 않는다.As the workpiece | work 90 which the transfer robot 1 of this embodiment handles, it is assumed that it is especially rectangular formed in thin flat plate shape. Examples of the workpiece 90 include, but are not limited to, a solar cell wafer, a cell of a fuel cell, an electrode of a secondary battery, a separator, a silicon wafer, and the like.

계속해서, 본 실시형태의 흡인 척(10)의 구성에 대해서 상세하게 설명한다.Then, the structure of the suction chuck 10 of this embodiment is demonstrated in detail.

상술한 바와 같이, 흡인 척(10)은 평판 형상으로 구성된 본체(11)를 구비하고 있고, 그 하면은 워크(90)에 대향하는 대향면(31)으로 되어 있다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 본체(11)의 대향면(31)에는 원형의 분출구(41)가 복수 개구되어 있다. 또한, 흡인 척(10)의 본체(11)에는 상기 본체(11)를 두께 방향으로 관통하는 배기 구멍(42)이 복수 형성되어 있다.As mentioned above, the suction chuck 10 is provided with the main body 11 comprised in flat form, The lower surface becomes the opposing surface 31 which opposes the workpiece | work 90. As shown in FIG. As shown in FIG. 3, a plurality of circular ejection openings 41 are opened in the opposing surface 31 of the main body 11. In the main body 11 of the suction chuck 10, a plurality of exhaust holes 42 penetrating the main body 11 in the thickness direction are formed.

복수의 분출구(41)의 각각은 1개의 흡인 요소에 대응하고 있다. 본 실시형태의 흡인 척(10)이 구비하는 흡인 요소를 도 4에 확대해서 나타낸다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 각 흡인 요소는 원기둥 형상 공간(45)과 복수의 노즐(44)을 구비하고 있다.Each of the plurality of ejection openings 41 corresponds to one suction element. The suction element with which the suction chuck 10 of this embodiment is equipped is expanded and shown in FIG. As shown in FIG. 4, each suction element includes a cylindrical space 45 and a plurality of nozzles 44.

원기둥 형상 공간(45)은 축심이 대향면(31)에 직교하도록 형성된 원기둥 형상의 공간이다. 원기둥 형상 공간(45)은 대향면에 개구되어 있고, 상기 개구 부분이 상술한 분출구(41)로 되어 있다.The cylindrical space 45 is a cylindrical space formed such that the shaft center is perpendicular to the opposing surface 31. The cylindrical space 45 is opened in the opposing surface, and the opening portion is the blowing port 41 described above.

복수의 노즐(44)은 각각 가늘고 긴 유로로서 구성되어 있고, 그 길이 방향의 일단이 원기둥 형상 공간(45)의 내주벽에 개구되어 있다. 또한, 노즐(44)의 타단은 압축 공기가 공급되는 피공급부(35)로 되어 있다.The some nozzle 44 is comprised as an elongate flow path, respectively, and the one end of the longitudinal direction is opened in the inner peripheral wall of the cylindrical space 45. As shown in FIG. In addition, the other end of the nozzle 44 is a supply part 35 to which compressed air is supplied.

본 실시형태의 흡인 척(10)에서는 1개의 흡인 요소에 대하여 노즐(44)을 3개 설치하고 있다. 3개의 노즐(44)은 서로 동일한 길이를 갖고, 또한 서로 동일한 유로 단면적을 갖고 있다. 또한, 3개의 노즐(44)은 원기둥 형상 공간(45)의 축심을 중심으로 하여 서로 120° 위상을 다르게 하도록 형성되어 있다. 따라서, 3개의 노즐(44)은 원기둥 형상 공간(45)의 내주벽에 대하여 둘레 방향으로 등간격으로 개구되어 있다. 또한, 각 노즐(44)은 그 길이 방향이 원기둥 형상 공간(45)의 접선 방향과 일치하도록 형성되어 있다.In the suction chuck 10 of the present embodiment, three nozzles 44 are provided for one suction element. The three nozzles 44 have the same length as each other and have the same flow path cross-sectional area. In addition, the three nozzles 44 are formed so as to be different from each other by 120 ° with respect to the axis center of the cylindrical space 45. Therefore, the three nozzles 44 are opened at equal intervals in the circumferential direction with respect to the inner circumferential wall of the cylindrical space 45. Moreover, each nozzle 44 is formed so that the longitudinal direction may correspond with the tangential direction of the cylindrical space 45. As shown in FIG.

흡인 척(10)의 본체(11)에는 각 노즐(44)의 피공급부(35)에 대하여 압축 공기를 공급하기 위한 공급로가 형성되어 있다. 상기 공급로로부터 피공급부(35)에 압축 공기를 공급함으로써 상기 압축 공기가 노즐(44)을 흘러서 원기둥 형상 공간(45) 내에 분출되고, 상기 원기둥 형상 공간(45)의 내주벽을 따라 흐른 후 분출구(41)로부터 고속류가 되어서 분출된다.The main body 11 of the suction chuck 10 is provided with a supply path for supplying compressed air to the feed portion 35 of each nozzle 44. By supplying compressed air from the supply path to the feed part 35, the compressed air flows through the nozzle 44 and is blown into the cylindrical space 45, flows along the inner circumferential wall of the cylindrical space 45, and then blows out. It becomes a high velocity flow from (41), and it blows off.

분출구(41)로부터 공기가 분출되는 모양을 도 7에 굵은 선의 화살표로 나타낸다. 대향면(31)에 형성된 분출구(41)로부터 공기가 고속으로 분출되기 때문에, 베르누이 효과에 의해 대향면(31)과 워크(90) 사이는 부압으로 된다. 이에 따라, 워크(90)는 대향면(31)에 흡인되지만, 대향면(31)과 워크(90) 사이에는 공기의 층이 형성되기 때문에 대향면(31)과 워크(90) 사이는 비접촉 상태로 유지된다. 이상의 구성에 의해, 워크(90)를 비접촉으로 흡인 유지할 수 있다.The shape which air blows off from the blower outlet 41 is shown by the arrow of a thick line in FIG. Since air is ejected at high speed from the jet port 41 formed in the opposing surface 31, a negative pressure is generated between the opposing surface 31 and the work 90 due to the Bernoulli effect. As a result, the workpiece 90 is attracted to the opposing surface 31, but because a layer of air is formed between the opposing surface 31 and the workpiece 90, the non-contact state between the opposing surface 31 and the workpiece 90 is maintained. Is maintained. By the above structure, the workpiece | work 90 can be suction-held noncontact.

또한, 분출구(41)로부터 유출된 공기는 도 7에 나타내는 바와 같이 대향면(31)과 워크(90) 사이를 소정 거리 흐른 후, 배기 구멍(42)을 통해서 본체(11)의 상면을 향해서 신속하게 배출된다. 이에 따라, 대향면(31)과 워크(90) 사이에 공기가 체류하는 것을 방지하여 흡인력의 저하, 및 워크(90)의 변형이나 진동의 발생을 방지할 수 있다.Moreover, the air which flowed out from the blower outlet 41 flows quickly between the opposing surface 31 and the workpiece | work 90 as shown in FIG. 7, and then quickly moves toward the upper surface of the main body 11 through the exhaust hole 42. FIG. Is discharged. As a result, air does not stay between the opposing surface 31 and the workpiece 90, thereby reducing the suction force and preventing deformation and vibration of the workpiece 90.

본 실시형태의 흡인 척(10)에 있어서, 각 흡인 요소는 노즐(44)을 3개 구비하고 있으므로 노즐(44)을 2개밖에 구비하고 있지 않았던 도 14의 흡인 척(80)에 비해서 분출구(41)로부터의 공기를 보다 균등하게 분출시킬 수 있다. 이에 따라, 도 14의 흡인 척에 비해서 흡인 성능을 향상(흡인력의 향상, 흡인시의 워크 변형의 감소)시키는 것이 가능하다.In the suction chuck 10 of the present embodiment, each suction element is provided with three nozzles 44, so that the ejection openings (compared with the suction chuck 80 of FIG. 14 having only two nozzles 44) The air from 41 can be ejected more evenly. Thereby, compared with the suction chuck of FIG. 14, it is possible to improve the suction performance (improvement of suction force, reduction of workpiece deformation during suction).

계속해서, 이 흡인 척의 구성에 대해서 상세하게 설명한다.Then, the structure of this suction chuck is demonstrated in detail.

도 5∼도 9에 나타내는 바와 같이, 흡인 척(10)의 본체(11)는 복수의 금속제의 플레이트가 두께 방향으로 적층되어 구성되어 있다. 구체적으로는, 본체(11)는 워크(90)에 가까운 측(하측)부터 순서대로 제 7 금속 플레이트(57)와, 제 6 금속 플레이트(56)와, 제 5 금속 플레이트(55)와, 제 4 금속 플레이트(54)와, 제 3 금속 플레이트(53)와, 제 2 금속 플레이트(52)와, 제 1 금속 플레이트(51)를 적층한 구성으로 되어 있다.As shown in FIGS. 5-9, the main body 11 of the suction chuck 10 is comprised by the plate of several metal being laminated | stacked in the thickness direction. Specifically, the main body 11 includes the seventh metal plate 57, the sixth metal plate 56, the fifth metal plate 55, and the first one in order from the side (lower side) close to the workpiece 90. The 4 metal plate 54, the 3rd metal plate 53, the 2nd metal plate 52, and the 1st metal plate 51 are laminated | stacked.

각 금속 플레이트(51, 52, 53, 54, 55, 56, 57)에는 압축 공기의 유로가 되는 슬릿 또는 구멍이 형성되어 있다. 본 실시형태에서는 상기 슬릿 또는 구멍은 금속 플레이트에 대한 에칭에 의해 형성하고 있다. 이렇게, 압축 공기의 유로를 형성하기 위해서 에칭을 이용할 수 있으므로 상기 유로를 가늘게(작게) 형성하는 것이 가능해지고, 각 흡인 요소를 작게 어레이 형상으로 형성하는 것이 용이해진다.Each metal plate 51, 52, 53, 54, 55, 56, 57 is formed with a slit or a hole serving as a flow path of compressed air. In this embodiment, the said slit or the hole is formed by the etching with respect to a metal plate. In this way, since etching can be used to form the flow path of the compressed air, the flow path can be made thin (small), and it is easy to form each suction element in a small array shape.

예를 들면, 본 실시형태에서는 분출구(41)의 직경을 3㎜로 하고 있다. 또한, 본 실시형태에서는 도 3에 나타내는 바와 같이 다수의 분출구(41)를 어레이 형상으로 배열하여 형성하고 있다. 이렇게, 본 실시형태의 흡인 척(10)은 본체(11)를 복수의 금속 플레이트로 구성함으로써 공기의 유로를 에칭에 의해 형성할 수 있으므로, 작은 흡인 요소를 다수 어레이 형상으로 배열하여 형성하는 것이 가능하게 되어 있다. 이에 따라, 대향면(31)과 워크(90) 사이에 균일하게 분산된 부압을 발생시킬 수 있으므로, 워크(90)를 흡인 유지했을 때의 상기 워크(90)의 변형이나 진동을 방지할 수 있다.For example, in this embodiment, the diameter of the jet port 41 is made into 3 mm. In addition, in this embodiment, as shown in FIG. 3, many blower outlet 41 is arrange | positioned in array shape and is formed. Thus, since the suction chuck 10 of this embodiment can form the air flow path by etching by making the main body 11 consist of a plurality of metal plates, it is possible to form a small suction element by arranging a plurality of small suction elements. It is supposed to be done. Thereby, since the negative pressure uniformly distributed between the opposing surface 31 and the workpiece | work 90 can be generated, the deformation and vibration of the said workpiece | work 90 when the workpiece | work 90 is hold | maintained by suction can be prevented. .

상기 7매의 금속 플레이트(51∼57)의 재료로서는 스테인리스, 알루미늄 합금, 또는 티탄 합금으로부터 선택된 것을 구체예로서 들 수 있다. 그리고, 본 실시형태에서는 7매의 플레이트(51∼57)를 모두 겹친 상태에서 확산 접합함으로써 흡인 척(10)의 본체(11)를 형성하고 있다. 변형이 작고 치수 정밀도가 양호한 흡인 척(10)을 제공하기 위해서는 7매의 금속 플레이트(51∼57)의 재료로서는 모두 동일한 것을 사용하는 것이 바람직하다. 이것은 가령 이종 금속을 확산 접합할 경우, 접합 후의 잔류 변형에 의해 휨 등의 변형이 발생할 우려가 있기 때문이다. 본 실시형태에서는 7매의 플레이트(51∼57)의 재료로서 모두 스테인리스를 사용하고 있다.As a material of the said seven metal plates 51-57, the thing chosen from stainless steel, an aluminum alloy, or a titanium alloy is mentioned as a specific example. In the present embodiment, the main body 11 of the suction chuck 10 is formed by diffusion bonding of all seven plates 51 to 57 in the overlapping state. In order to provide the suction chuck 10 with small deformation and good dimensional accuracy, it is preferable to use the same material as the materials of the seven metal plates 51 to 57. This is because, for example, in the case of diffusion bonding of dissimilar metals, deformation such as warpage may occur due to residual deformation after joining. In this embodiment, all stainless steel is used as a material of seven plates 51-57.

상기 흡인 요소는 제 7 금속 플레이트(57) 및 제 6 금속 플레이트(56)에 형성되어 있다. 그래서, 우선 제 7 금속 플레이트(57) 및 제 6 금속 플레이트(56)의 구성에 대하여 설명한다.The suction element is formed in the seventh metal plate 57 and the sixth metal plate 56. Therefore, first, the structures of the seventh metal plate 57 and the sixth metal plate 56 will be described.

제 7 금속 플레이트(57) 및 제 6 금속 플레이트(56)에는 상기 원기둥 형상 공간(45)이 형성되어 있다. 이 원기둥 형상 공간(45)은 제 7 금속 플레이트(57) 및 제 6 금속 플레이트(56)를 두께 방향으로 관통하는 둥근 구멍으로서 형성되어 있다. 또한, 원기둥 형상 공간(45)은 제 5 금속 플레이트(55)에는 형성되어 있지 않다. 즉, 흡인 척(10)의 두께 방향으로 원기둥 형상 공간(45)의 일측의 단부(상측의 단부)는 제 5 금속 플레이트(55)에 의해 밀봉되어 있다. 한편, 원기둥 형상 공간(45)의 타측의 단부(하측의 단부)는 제 7 금속 플레이트(57)의 하면[대향면(31)]에 개구되어 분출구(41)를 형성하고 있다.The cylindrical space 45 is formed in the seventh metal plate 57 and the sixth metal plate 56. This cylindrical space 45 is formed as a round hole penetrating the seventh metal plate 57 and the sixth metal plate 56 in the thickness direction. The columnar space 45 is not formed in the fifth metal plate 55. That is, one end (upper end) of the cylindrical space 45 in the thickness direction of the suction chuck 10 is sealed by the fifth metal plate 55. On the other hand, the other end part (lower end part) of the cylindrical space 45 is opened in the lower surface (opposing surface 31) of the 7th metal plate 57, and forms the jet port 41. As shown in FIG.

제 6 금속 플레이트(56)에는 상기 원기둥 형상 공간(45)의 일부가 형성되어 있다. 또한, 상기 제 6 금속 플레이트(56)에는 도 9에 나타내는 바와 같이 상기 원기둥 형상 공간(45)에 접속되는 노즐(44)이 형성되어 있다. 도 9에 나타내는 바와 같이, 각 노즐(44)은 가늘고 긴 슬릿으로서 제 6 금속 플레이트(56)에 형성되어 있다. 또한, 각 노즐(44)은 제 6 금속 플레이트(56)를 두께 방향으로 관통하도록 형성되어 있다. 각 노즐(44)의 단부에는 피공급부(35)가 형성되어 있다. 도 9에 나타내는 바와 같이, 피공급부(35)는 제 6 금속 플레이트(56)를 두께 방향으로 관통하는 둥근 구멍으로서 형성되어 있다. 각 노즐(44)의 단부는 대응하는 피공급부(35)에 접속되어 있다.A part of the cylindrical space 45 is formed in the sixth metal plate 56. Moreover, the nozzle 44 connected to the said cylindrical space 45 is formed in the 6th metal plate 56 as shown in FIG. As shown in FIG. 9, each nozzle 44 is formed in the 6th metal plate 56 as an elongate slit. Moreover, each nozzle 44 is formed so that the 6th metal plate 56 may penetrate in the thickness direction. The feed part 35 is formed in the edge part of each nozzle 44. As shown in FIG. 9, the to-be-feeded part 35 is formed as the round hole which penetrates the 6th metal plate 56 in the thickness direction. The end of each nozzle 44 is connected to the corresponding feed part 35.

또한, 도 6의 단면도에는 각 흡인 요소에 있어서 동일 단면 내에 2개의 노즐(44)이 대향하고 있는 것처럼 그려져 있지만, 이것은 도시의 형편상 이렇게 나타내고 있는 것뿐이다. 상술한 바와 같이, 각 노즐(44)은 서로 120° 위상을 다르게 해서 형성되어 있으므로 실제로는 노즐(44)이 도 6의 단면도와 같이 동일 평면 내에 형성되어 있는 것은 아니다.In addition, although the two nozzles 44 oppose each other in the same cross section in each suction element in the sectional drawing of FIG. 6, this is shown only as such for the convenience of illustration. As described above, since the nozzles 44 are formed with phases different from each other by 120 °, the nozzles 44 are not actually formed in the same plane as the cross-sectional view of FIG. 6.

계속해서, 각 흡인 요소에 대하여 압축 공기를 공급하기 위한 구성에 대해서 설명한다.Subsequently, a configuration for supplying compressed air to each suction element will be described.

본 실시형태의 흡인 척(10)의 본체(11)에는 각 흡인 요소에 대하여 압축 공기를 공급하는 공급로가 형성되어 있다. 이 공급로는 제 1∼제 5 금속 플레이트(51, 52, 53, 54, 55)에 형성되어 있다.The main body 11 of the suction chuck 10 of the present embodiment is provided with a supply path for supplying compressed air to each suction element. This supply path is formed in the first to fifth metal plates 51, 52, 53, 54, 55.

도 5 및 도 10에 나타내는 바와 같이, 제 1 금속 플레이트(51)에는 복수의 공급 포트(73)가 형성되어 있다. 도 10에 나타내는 바와 같이, 각 공급 포트(73)는 제 1 금속 플레이트(51)를 두께 방향으로 관통하는 둥근 구멍으로서 형성되어 있다. 또한, 도 6에 나타내는 바와 같이 공급 포트(73)에는 압축 공기를 공급하기 위한 이음매(71)를 접속하는 것이 가능하게 되어 있다. 구체적으로는, 이음매(71)의 접속부에 수나사를, 공급 포트(73)의 둥근 구멍에 암나사를 가공하거나 하여 공급 포트(73)에 대하여 이음매(71)를 적당하게 접속한다. 이에 따라, 상술한 압축 공기원(콤프레서 등)으로부터의 압축 공기가 공급 포트(73)에 공급된다.As shown in FIG. 5 and FIG. 10, a plurality of supply ports 73 are formed in the first metal plate 51. As shown in FIG. 10, each supply port 73 is formed as a round hole which penetrates the 1st metal plate 51 in the thickness direction. Moreover, as shown in FIG. 6, the supply port 73 can connect the joint 71 for supplying compressed air. Specifically, the male thread is machined into the connection part of the joint 71, and the female thread is processed into the round hole of the supply port 73, and the joint 71 is suitably connected to the supply port 73. FIG. Thereby, the compressed air from the above-mentioned compressed air source (compressor etc.) is supplied to the supply port 73. FIG.

제 3 금속 플레이트(53)에는 제 1 기체실(48)이 형성되어 있다. 도 8에 나타내는 바와 같이, 이 제 1 기체실(48)은 제 3 금속 플레이트(53)를 두께 방향으로 관통하는 둥근 구멍으로서 형성되어 있다. 제 1 기체실(48)은 흡인 요소별로 1개씩 설치되어 있다. 또한, 각 제 1 기체실(48)은 대응하는 흡인 요소의 원기둥 형상 공간(45)과 축심을 일치시켜서(동일 축심 상에) 배치되어 있다.The first gas chamber 48 is formed in the third metal plate 53. As shown in FIG. 8, this 1st gas chamber 48 is formed as a round hole which penetrates the 3rd metal plate 53 in the thickness direction. One first gas chamber 48 is provided for each suction element. In addition, each 1st base gas chamber 48 is arrange | positioned (on the same shaft center) to match the shaft center with the cylindrical space 45 of the corresponding suction element.

제 2 금속 플레이트(52)에는 복수의 공통 공급로(47)가 형성되어 있다. 도 10에 나타내는 바와 같이, 각 공통 공급로(47)는 가늘고 긴 슬릿으로서 제 2 금속 플레이트(52)에 형성되어 있다. 또한, 이 공통 공급로(47)는 제 2 금속 플레이트(52)를 두께 방향으로 관통해서 형성되어 있다. 각 공통 공급로(47)는 각 공급 포트(73)에 대응해서 설치되어 있고, 상기 대응하는 공급 포트(73)에 연통되어 있다. 또한, 도 10에 나타내는 바와 같이 공통 공급로(47)는 복수(본 실시형태의 경우에는 4개)의 제 1 기체실(48)에 걸쳐서 배치되어 있고, 상기 복수의 제 1 기체실(48)에 연통되어 있다. 이상의 구성에서, 공급 포트(73)에 공급된 압축 공기는 공통 공급로(47)를 통해서 복수의 제 1 기체실(48)에 공급된다.A plurality of common supply paths 47 are formed in the second metal plate 52. As shown in FIG. 10, each common supply path 47 is formed in the 2nd metal plate 52 as an elongate slit. Moreover, this common supply path 47 penetrates the 2nd metal plate 52 in the thickness direction, and is formed. Each common supply path 47 is provided corresponding to each supply port 73 and communicates with the corresponding supply port 73. In addition, as shown in FIG. 10, the common supply path 47 is arrange | positioned over the 1st gas chamber 48 of several (four in this embodiment), and the said several 1st gas chamber 48 In communication with In the above configuration, the compressed air supplied to the supply port 73 is supplied to the plurality of first gas chambers 48 through the common supply path 47.

또한, 본 실시형태에서는 복수의 제 1 기체실(48)에 걸쳐서 공통 공급로(47)를 형성하고 있으므로, 상기 공통 공급로(47)는 어느 정도의 길이를 갖게 된다. 가령, 이 공통 공급로(47)를 도 11(b)와 같이 1개의 슬릿으로서 구성한 경우에는 제 2 금속 플레이트(52)에 형성하는 슬릿(공통 공급로)의 길이가 길어지므로 상기 제 2 금속 플레이트(52)의 강성이 저하되고, 확산 접합시에 제 2 금속 플레이트(52)가 변형되기 쉬워진다.In addition, in this embodiment, since the common supply path 47 is formed over the some 1st gas chamber 48, the said common supply path 47 will have some length. For example, when this common supply path 47 is configured as one slit as shown in Fig. 11 (b), the length of the slit (common supply path) formed in the second metal plate 52 becomes long, so that the second metal plate The rigidity of 52 decreases, and the second metal plate 52 easily deforms during diffusion bonding.

그래서, 본 실시형태에서는 도 11(a)에 나타내는 바와 같이 공통 공급로(47)를 길이 방향으로 복수로 구획하는 길이 방향 칸막이부(60)를 설치하고 있다. 이에 따라, 공통 공급로(47)는 길이 방향으로 배열된 복수의 슬릿에 의해 구성되어 있다. 예를 들면, 도 6 및 도 11(a)에 나타내는 바와 같이 본 실시형태의 공통 공급로(47)는 그 길이 방향으로 배열된 4개의 슬릿(47a, 47b, 47c, 47d)으로 구성되어 있다. 이렇게, 공통 공급로(47)를 길이 방향으로 분할해서 복수의 슬릿으로 함으로써 개개의 슬릿의 길이를 짧게 할 수 있다. 이에 따라, 제 2 금속 플레이트(52)의 강성의 저하를 막아서 확산 접합시에 제 2 금속 플레이트(52)가 변형되기 어려워지므로, 정밀도 좋게 확산 접합을 행할 수 있다.Therefore, in this embodiment, as shown to Fig.11 (a), the longitudinal partition part 60 which divides the common supply path 47 in the longitudinal direction is provided. As a result, the common supply passage 47 is constituted by a plurality of slits arranged in the longitudinal direction. For example, as shown to FIG. 6 and FIG. 11 (a), the common supply path 47 of this embodiment is comprised from four slits 47a, 47b, 47c, 47d arranged in the longitudinal direction. Thus, the length of each slit can be shortened by dividing the common supply path 47 in the longitudinal direction and making it into several slits. Thereby, since the hardening of the 2nd metal plate 52 is prevented and the 2nd metal plate 52 is hard to deform | transform at the time of diffusion bonding, diffusion bonding can be performed with high precision.

또한, 공통 공급로(47)를 복수의 슬릿으로 구획하는 구성으로 했으므로 슬릿끼리의 사이는 직접적으로는 연통되어 있지 않다. 따라서, 압축 공기를 공통 공급로(47)의 전체 길이에 골고루 퍼지게 하기 위해서는 상기 공통 공급로(47)를 구성하는 슬릿끼리를 연통시키는 경로가 별도로 필요해진다.In addition, since the common supply path 47 is divided into a plurality of slits, the slits are not directly communicated with each other. Therefore, in order to spread the compressed air evenly over the entire length of the common supply passage 47, a path for communicating the slits constituting the common supply passage 47 is required separately.

그래서, 본 실시형태에서는 도 6에 나타내는 바와 같이 길이 방향 칸막이부(60)를 공급 포트(73) 또는 제 1 기체실(48)에 대응해서 설치하고 있다. 구체적으로는, 길이 방향 칸막이부(60)를 공급 포트(73) 또는 제 1 기체실(48)에 대하여 두께 방향으로 오버랩되도록 배치하고, 또한 길이 방향 칸막이부(60)의 폭[공통 공급로(47)의 길이 방향에서의 길이 방향 칸막이부(60)의 치수]을 대응하는 공급 포트(73) 또는 제 1 기체실(48)의 직경보다 작게 하고 있다. 이상의 구성에 의해, 길이 방향으로 인접하는 슬릿끼리를 공급 포트(73) 또는 제 1 기체실(48)을 통해서 간접적으로 연통시킬 수 있다. 보다 구체적으로 도 6을 예로 하여 설명하면, 슬릿(47b)과 슬릿(47c)이 공급 포트(73)를 통해서 연통되어 있다. 슬릿(47a)과 슬릿(47b)이 제 1 기체실(48)을 통해서 간접적으로 연통되어 있다. 또한, 슬릿(47c)과 슬릿(47d)이 제 1 기체실(48)을 통해서 간접적으로 연통되어 있다.Therefore, in this embodiment, as shown in FIG. 6, the longitudinal partition part 60 is provided corresponding to the supply port 73 or the 1st gas chamber 48. As shown in FIG. Specifically, the longitudinal partition portion 60 is arranged so as to overlap the supply port 73 or the first gas chamber 48 in the thickness direction, and the width (common supply path () of the longitudinal partition portion 60 is provided. The dimension of the longitudinal partition 60 in the longitudinal direction of 47) is made smaller than the diameter of the corresponding supply port 73 or the 1st gas chamber 48. As shown in FIG. By the above structure, the slits adjacent in the longitudinal direction can be indirectly communicated via the supply port 73 or the first gas chamber 48. More specifically, referring to FIG. 6 as an example, the slit 47b and the slit 47c communicate with each other via the supply port 73. The slit 47a and the slit 47b are indirectly communicated through the first gas chamber 48. In addition, the slit 47c and the slit 47d are indirectly communicated through the first gas chamber 48.

이상의 구성에 의해, 공급 포트(73)로부터 공급된 압축 공기를 공통 공급로(47)의 전체 길이에 골고루 퍼지게 할 수 있다. 보다 구체적으로, 도 7을 참조해서 설명한다. 도 7의 예에서는 공통 공급로(47)를 구성하는 4개의 슬릿(47a, 47b, 47c, 47d) 중, 슬릿(47b) 및 슬릿(47c)이 공급 포트(73)에 대하여 직접적으로 연통되어 있다. 따라서, 나머지 슬릿(47a, 47d)은 공급 포트(73)에 대하여 직접적으로는 연통되어 있지 않다. 공급 포트(73)로부터의 압축 공기는 우선 슬릿(47b) 및 슬릿(47c)에 공급된다. 슬릿(47b)에 공급된 압축 공기는 도 7에 나타내는 바와 같이, 제 1 기체실(48)을 통해서 길이 방향 칸막이부(60) 아래를 빠져나가도록 해서 흘러서 슬릿(47a)에 공급된다. 마찬가지로, 슬릿(47c)에 공급된 압축 공기는 도 7에 나타내는 바와 같이 제 1 기체실(48)을 통해서 길이 방향 칸막이부(60) 아래를 빠져나가도록 해서 흘러서 슬릿(47d)에 공급된다.By the above structure, the compressed air supplied from the supply port 73 can be spread | distributed evenly over the full length of the common supply path 47. More specifically, it demonstrates with reference to FIG. In the example of FIG. 7, among the four slits 47a, 47b, 47c, and 47d constituting the common supply path 47, the slit 47b and the slit 47c communicate directly with the supply port 73. . Therefore, the remaining slits 47a and 47d are not in direct communication with the supply port 73. Compressed air from the supply port 73 is first supplied to the slit 47b and the slit 47c. As shown in FIG. 7, the compressed air supplied to the slit 47b flows out through the longitudinal partition 60 through the first gas chamber 48 and is supplied to the slit 47a. Similarly, the compressed air supplied to the slit 47c flows out through the longitudinal partition part 60 through the 1st gas chamber 48, and is supplied to the slit 47d as shown in FIG.

이상과 같이 해서, 공급 포트(73)로부터 공급된 압축 공기를 공통 공급로(47)의 전체 길이에 골고루 퍼지게 할 수 있으므로, 상기 공통 공급로(47)에 대응해서 설치되어 있는 복수(본 실시형태의 경우에는 4개)의 제 1 기체실(48)에 상기 압축 공기를 공급할 수 있다.As described above, since the compressed air supplied from the supply port 73 can be spread evenly over the entire length of the common supply path 47, a plurality of the air supply units provided corresponding to the common supply path 47 (this embodiment) In this case, the compressed air may be supplied to four first gas chambers 48.

또한, 상기한 바와 같이 1개의 공통 공급로(47)에 의해 복수의 제 1 기체실(48)에 압축 공기를 공급하는 구성으로 했으므로, 압축 공기의 공급 유량을 충분히 확보하기 위해서 공통 공급로(47)의 유로 단면적을 충분히 크게 할 필요가 있다. 그래서, 공통 공급로(47)를 폭 방향으로 넓게 형성하는 것이 고려된다. 그러나, 상기 공통 공급로(47)의 폭을 넓게 했을 경우, 금속 플레이트(51∼57)를 겹쳐서 확산 접합할 때에 공통 공급로(47)의 부분에서 압력이 가해지기 어려워져서 접합이 불완전하게 되어버릴 우려가 있다.Moreover, since it was set as the structure which supplies compressed air to the some 1st gas chamber 48 by one common supply path 47 as mentioned above, in order to ensure sufficient supply flow volume of compressed air, the common supply path 47 It is necessary to make the flow path cross-sectional area of) large enough. Therefore, it is considered to form the common supply path 47 wide in the width direction. However, when the width of the common supply passage 47 is widened, pressure is hardly applied at the portion of the common supply passage 47 when the metal plates 51 to 57 are overlapped and joined, resulting in incomplete joining. There is concern.

그래서, 본 실시형태에서는 도 11(a)에 나타내는 바와 같이 공통 공급로(47)를 폭 방향으로 복수로 구획하는 폭 방향 칸막이부(61)를 설치하고 있다. 이에 따라, 공통 공급로(47)는 폭 방향으로 배열된 복수의 슬릿에 의해 구성되어 있다. 예를 들면, 도 11(a)에 나타내는 바와 같이 본 실시형태의 공통 공급로(47)는 그 폭 방향으로 평행하게 배열된 2개의 가늘고 긴 슬릿으로 구성되어 있다. 이렇게, 공통 공급로(47)를 폭 방향으로 분할해서 복수의 슬릿으로 구성함으로써 공통 공급로(47)의 전체의 유량을 충분하게 확보하면서 개개의 슬릿의 폭을 좁게 할 수 있다. 이에 따라, 금속 플레이트(51∼57)를 겹쳐서 확산 접합할 때에 공통 공급로(47)의 부분에 압력이 가해지기 쉬워져서 접합이 불완전해지는 것을 방지할 수 있다.Therefore, in this embodiment, as shown to FIG. 11 (a), the width direction partition part 61 which divides the common supply path 47 in multiple numbers in the width direction is provided. As a result, the common supply path 47 is constituted by a plurality of slits arranged in the width direction. For example, as shown to Fig.11 (a), the common supply path 47 of this embodiment is comprised from two elongate slits arranged in parallel in the width direction. Thus, by dividing the common supply path 47 in the width direction and forming a plurality of slits, the width of each slit can be narrowed while sufficiently securing the flow rate of the entire common supply path 47. As a result, pressure is easily applied to a part of the common supply path 47 when the metal plates 51 to 57 are overlapped and joined to each other, thereby preventing the joining from being incomplete.

그런데, 압축 공기의 유량을 충분하게 확보하기 위해서는 공통 공급로(47)의 두께 방향의 치수도 크게 하는 것이 바람직하다. 그래서, 본 실시형태에서는 도 10에 나타내는 바와 같이 제 2 금속 플레이트(52)를 복수매(본 실시형태의 경우에는 2매)의 금속 플레이트를 적층해서 구성하고 있다. 개개의 금속 플레이트에는 동일형상의 공통 공급로(47)를 관통 형성하고 있다. 이렇게, 복수매의 금속 플레이트를 적층해서 제 2 금속 플레이트(52)를 구성함으로써 상기 제 2 금속 플레이트(52)의 두께를 크게 할 수 있으므로 공통 공급로(47)의 두께 방향의 치수를 크게 할 수 있다. 이에 따라, 상기 공통 공급로(47)의 유로 단면적을 충분히 크게 할 수 있으므로 압축 공기의 유량을 충분하게 확보할 수 있다.By the way, in order to ensure sufficient flow volume of compressed air, it is preferable to also enlarge the dimension of the thickness direction of the common supply path 47. Therefore, in this embodiment, as shown in FIG. 10, the 2nd metal plate 52 is laminated | stacked and comprised the metal plate of two sheets (two sheets in this embodiment). Each metal plate is formed with the common supply path 47 of the same shape. Thus, by stacking a plurality of metal plates to form the second metal plate 52, the thickness of the second metal plate 52 can be increased, so that the dimension in the thickness direction of the common supply path 47 can be increased. have. Thereby, since the flow path cross-sectional area of the said common supply path 47 can be enlarged enough, the flow volume of compressed air can be ensured enough.

제 2 금속 플레이트(52)를 구성하는 개개의 금속 플레이트는 겹쳐서 확산 접합함으로써 일체화되어서 1매의 제 2 금속 플레이트(52)로서 취급해도 좋다. 단, 이 경우 개개의 금속 플레이트를 겹쳐서 제 2 금속 플레이트(52)를 형성하기 위한 확산 접합과, 제 1∼제 7 금속 플레이트(51, 52, 53, 54, 55, 56, 57)를 겹쳐서 흡인 척(10)을 형성하기 위한 확산 접합으로, 계 2회의 확산 접합이 필요해지게 된다. 그래서, 1매의 제 2 금속 플레이트(52)로서 취급할 필요가 특별하게 없으면 제 2 금속 플레이트(52)를 구성하는 복수매의 금속 플레이트를 제 1 금속 플레이트(51) 및 제 3∼제 7 금속 플레이트(53, 54, 55, 56, 57)와 함께 겹쳐서 확산 접합하면 좋다. 이것에 의하면, 한 번의 확산 접합으로 흡인 척(10)을 형성할 수 있다.The individual metal plates constituting the second metal plate 52 may be integrated by overlapping and diffusion bonding, and may be treated as one second metal plate 52. In this case, however, diffusion bonding for forming the second metal plate 52 by overlapping the individual metal plates, and the first to seventh metal plates 51, 52, 53, 54, 55, 56 and 57 are overlapped and suctioned. As diffusion bonding for forming the chuck 10, two diffusion bondings are required. Thus, unless there is a particular need to treat it as one second metal plate 52, the plurality of metal plates constituting the second metal plate 52 may be the first metal plate 51 and the third to seventh metals. What is necessary is just to overlap and join together the plate 53, 54, 55, 56, 57. According to this, the suction chuck 10 can be formed by one diffusion bonding.

또한, 본 실시형태에서는 복수매의 금속 플레이트를 겹침으로써 제 2 금속 플레이트(52)의 두께를 크게 하고 있지만, 제 2 금속 플레이트(52)는 단일의 금속 플레이트로 해서 상기 단일의 금속 플레이트 자체의 두께를 크게 한다고 하는 어프로치도 고려된다. 그러나, 금속 플레이트에 두께가 있을 경우 상기 금속 플레이트를 관통하는 가늘고 긴 슬릿 형상의 공통 공급로(47)를 에칭에 의해 정밀도 좋게 형성하는 것이 어려워진다.In addition, in the present embodiment, the thickness of the second metal plate 52 is increased by stacking a plurality of metal plates, but the second metal plate 52 is a single metal plate, and the thickness of the single metal plate itself is increased. The approach to increase is also considered. However, when the metal plate has a thickness, it is difficult to precisely form an elongated slit-shaped common supply path 47 penetrating the metal plate by etching.

본 실시형태에서는 복수매의 금속 플레이트를 겹쳐서 제 2 금속 플레이트(52)를 구성하고 있으므로, 개개의 금속 플레이트에는 두께가 요구되지 않는다. 따라서, 각 금속 플레이트의 두께는 상기 공통 공급로(47)를 에칭에 의해 정밀도 좋게 형성할 수 있을 정도의 두께로 하면 좋다. 이에 따라, 공통 공급로(47)를 정밀도 좋게 형성할 수 있고, 또한 복수매의 금속 플레이트를 겹침으로써 공통 공급로(47)의 두께 방향에서의 치수를 충분히 크게 할 수 있다.In this embodiment, since the 2nd metal plate 52 is comprised overlapping a some metal plate, the thickness is not required for each metal plate. Therefore, what is necessary is just to set the thickness of each metal plate so that the said common supply path 47 can be formed accurately by etching. Thereby, the common supply path 47 can be formed precisely, and the dimension in the thickness direction of the common supply path 47 can be enlarged enough by overlapping a some metal plate.

도 9에 나타내는 바와 같이, 제 4 금속 플레이트(54)에는 분배로(62)가 형성되어 있다. 분배로(62)는 각 제 1 기체실(48)에 대응해서 설치되어 있다. 도 9 및 도 12에 나타내는 바와 같이, 분배로(62)는 입력부(63)와, 개별 공급로(64)와, 출력부(65)를 구비하고 있다.As shown in FIG. 9, the distribution path 62 is formed in the fourth metal plate 54. The distribution path 62 is provided corresponding to each 1st gas chamber 48. As shown to FIG. 9 and FIG. 12, the distribution path 62 is equipped with the input part 63, the individual supply path 64, and the output part 65. As shown in FIG.

입력부(63)는 제 4 금속 플레이트(54)를 두께 방향으로 관통하는 둥근 구멍으로서 구성되어 있다. 또한, 이 입력부(63)는 대응하는 제 1 기체실(48)과 축심을 일치시켜서 배치되어 있고, 상기 제 1 기체실(48)에 연통되어 있다. 또한, 둥근 구멍 형상의 입력부(63)의 지름과 제 1 기체실(48)의 지름을 일치시키고 있다. 이에 따라, 입력부(63)와 제 1 기체실(48)이 연통되어 원기둥 형상의 공간을 형성하고 있다.The input part 63 is comprised as the round hole which penetrates the 4th metal plate 54 in the thickness direction. Moreover, this input part 63 is arrange | positioned so that the shaft center may correspond with the corresponding 1st gas chamber 48, and is communicated with the said 1st gas chamber 48. As shown in FIG. Moreover, the diameter of the round hole-shaped input part 63 and the diameter of the 1st gas chamber 48 are made to correspond. As a result, the input unit 63 and the first gas chamber 48 communicate with each other to form a cylindrical space.

도 9에 나타내는 바와 같이, 개별 공급로(64)는 가늘고 긴 슬릿 형상의 유로로서 제 4 금속 플레이트(54)에 형성되어 있다. 또한, 이 개별 공급로(64)는 제 4 금속 플레이트를 두께 방향으로 관통해서 형성되어 있다. 이 개별 공급로(64)는 각 흡인 요소가 구비하는 복수의 노즐(44)에 대하여 압축 공기를 분배하기 위한 것이며, 각 노즐(44)에 대응해서 설치되어 있다. 본 실시형태에서는 1개의 흡인 요소가 3개의 노즐(44)을 구비하고 있으므로, 각 분배로(62)도 개별 공급로(64)를 3개 구비하고 있다.As shown in FIG. 9, the individual supply path 64 is formed in the 4th metal plate 54 as an elongate slit-shaped flow path. Moreover, this individual supply path 64 is formed through the 4th metal plate in the thickness direction. This individual supply path 64 is for distributing compressed air to the plurality of nozzles 44 included in each suction element, and is provided corresponding to each nozzle 44. In this embodiment, since one suction element is provided with three nozzles 44, each distribution path 62 also has three individual supply paths 64. As shown in FIG.

도 12에 나타내는 바와 같이, 분배로(62)가 구비하는 복수의 개별 공급로(64)는 입력부(63)의 축심(도 12에 부호 C로 나타냄)으로부터 방사상으로 배치되어 있다. 각 개별 공급로(64)는 서로 동일한 길이이며, 또한 동일한 유로 단면적을 갖고 있다. 또한, 도 12에 나타내는 바와 같이 복수의 개별 공급로(64)는 입력부(63)의 축심(C)을 중심으로 하여 둘레 방향으로 등간격(등각도)으로 배치되어 있다. 예를 들면, 본 실시형태에 있어서 각 분배로(62)는 3개의 개별 공급로(64)를 구비하고 있으므로, 각 개별 공급로(64)는 120° 간격으로 배치되어 있다.As shown in FIG. 12, the some individual supply path 64 with which the distribution path 62 is equipped is arrange | positioned radially from the axial center (indicated by the code | symbol C in FIG. 12) of the input part 63. FIG. Each individual supply path 64 has the same length and has the same flow path cross-sectional area. 12, the some individual supply path 64 is arrange | positioned at equal intervals (equal angle) in the circumferential direction centering on the axial center C of the input part 63. As shown in FIG. For example, in this embodiment, since each distribution path 62 is provided with three individual supply paths 64, each individual supply path 64 is arrange | positioned at 120 degrees space | interval.

이렇게, 분배로(62)가 구비하는 복수의 개별 공급로(64)는 서로 같은 조건으로 형성되어 있다. 이에 따라, 입력부(63)에 공급된 압축 공기를 복수(본 실시형태의 경우에는 3개)의 개별 공급로(64)에 대하여 평등하게 분배할 수 있다.Thus, the some individual supply path 64 with which the distribution path 62 is equipped is formed on the same conditions mutually. Thereby, the compressed air supplied to the input part 63 can be equally distributed with respect to the individual supply path 64 of several (3 in this embodiment).

도 9 및 도 12에 나타내는 바와 같이, 각 개별 공급로(64)의 일단측은 입력부(63)에 접속되어 있고, 타단측은 출력부(65)에 접속되어 있다. 출력부(65)는 제 4 금속 플레이트(54)를 두께 방향으로 관통하는 둥근 구멍으로서 구성되어 있다. 이 출력부(65)는 각 개별 공급로(64)에 대하여 설치되어 있다. 따라서, 본 실시형태의 분배로(62)는 출력부(65)를 3개 구비하고 있다. 각 출력부(65)는 서로 같은 지름으로 형성되어 있다. 이에 따라, 각 출력부(65)는 서로 동일한 공간 체적을 갖고 있다.As shown to FIG. 9 and FIG. 12, the one end side of each individual supply path 64 is connected to the input part 63, and the other end side is connected to the output part 65. As shown in FIG. The output part 65 is comprised as the round hole which penetrates the 4th metal plate 54 in the thickness direction. This output part 65 is provided with respect to each individual supply path 64. Therefore, the distribution path 62 of this embodiment is provided with three output parts 65. As shown in FIG. Each output part 65 is formed with the same diameter mutually. As a result, the output units 65 have the same spatial volume.

제 5 금속 플레이트(55)에는 제 2 기체실(46)이 형성되어 있다. 도 8에 나타내는 바와 같이, 제 2 기체실(46)은 제 5 금속 플레이트(55)를 두께 방향으로 관통하는 둥근 구멍으로서 형성되어 있다. 제 2 기체실(46)은 각 흡인 요소의 노즐(44)의 단부[피공급부(35)]와, 이것에 대응하는 분배로(62)의 출력부(65)를 연통하도록 배치되어 있다. 제 2 기체실(46)은 대응하는 출력부(65)와 축선을 일치시켜서 배치되어 있다. 또한, 각 제 2 기체실(46)은 서로 같은 지름으로 형성되어 있다. 이에 따라, 각 제 2 기체실(46)은 서로 동일한 공간 체적을 갖고 있다. 또한, 제 2 기체실(46)과 출력부(65)는 같은 지름으로 형성되어 있다. 이에 따라, 출력부(65)와 제 2 기체실(46)이 연통함으로써 원기둥 형상의 공간을 형성하고 있다.The second gas chamber 46 is formed in the fifth metal plate 55. As shown in FIG. 8, the second gas chamber 46 is formed as a round hole penetrating the fifth metal plate 55 in the thickness direction. The 2nd gas chamber 46 is arrange | positioned so that the edge part (feed part 35) of the nozzle 44 of each suction element may communicate with the output part 65 of the distribution path 62 corresponding to this. The 2nd gas chamber 46 is arrange | positioned so that the axis line may correspond with the corresponding output part 65. FIG. In addition, each 2nd gas chamber 46 is formed with the same diameter mutually. As a result, each of the second gas chambers 46 has the same space volume. Moreover, the 2nd gas chamber 46 and the output part 65 are formed in the same diameter. As a result, the output unit 65 and the second gas chamber 46 communicate with each other to form a cylindrical space.

상술한 바와 같이, 각 노즐(44)의 단부에 형성된 피공급부(35)는 둥근 구멍으로서 구성되어 있다. 이 각 피공급부(35)는 대응하는 제 2 기체실(46) 및 출력부(65)와 축선을 일치시켜서 배치되어 있다. 또한, 각 피공급부(35)는 서로 같은 지름으로 형성되어 있다. 이에 따라, 각 피공급부(35)는 서로 같은 공간 체적을 갖고 있다. 또한, 피공급부(35)의 지름은 제 2 기체실(46) 및 출력부(65)의 지름보다 약간 작게 형성되어 있다.As described above, the portion to be supplied 35 formed at the end of each nozzle 44 is configured as a round hole. Each of these to-be-supplied parts 35 is arrange | positioned so that the axis line may correspond with the corresponding 2nd gas chamber 46 and the output part 65. FIG. In addition, each feed part 35 is formed with the same diameter mutually. Accordingly, each of the feed units 35 has the same space volume. In addition, the diameter of the to-be-feeded part 35 is formed slightly smaller than the diameter of the 2nd gas chamber 46 and the output part 65. FIG.

이상과 같이, 각 개별 공급로(64)로부터 노즐(44)까지의 공기의 유로가 출력부(65), 제 2 기체실(46), 및 피공급부(35)에 의해 형성되어 있다. 3개의 노즐(44)에 대응해서 형성된 3개의 출력부(65), 3개의 제 2 기체실(46), 및 3개의 피공급부(35)는 각각 서로 같은 조건(같은 공간 체적)으로 형성되어 있다. 즉, 분배로(62)로부터 각 노즐(44)까지의 공기의 유로는 서로 같은 조건으로 형성되어 있다. 이에 따라, 흡인 요소가 구비하는 3개의 노즐(44)에 대하여 압축 공기를 평등하게 공급할 수 있다. 이에 따라, 복수의 노즐(44)로부터 균등하게 압축 공기를 분출할 수 있으므로 분출구(41)의 중심 부근에 치우침 없이 부압을 발생시킴과 아울러 상기 분출구(41)로부터 그 주변을 향해서 균등하게 압축 공기를 배출시킬 수 있다.As mentioned above, the flow path of the air from each individual supply path 64 to the nozzle 44 is formed by the output part 65, the 2nd gas chamber 46, and the to-be-feeded part 35. As shown in FIG. The three output sections 65, the three second gas chambers 46, and the three feed sections 35 formed corresponding to the three nozzles 44 are each formed under the same conditions (same volume of space). . That is, the flow path of the air from the distribution path 62 to each nozzle 44 is formed on the same conditions mutually. Thereby, compressed air can be supplied equally to the three nozzles 44 with which a suction element is equipped. As a result, the compressed air can be ejected evenly from the plurality of nozzles 44, so that negative pressure is generated without bias in the vicinity of the center of the ejection opening 41, and compressed air is evenly distributed from the ejection opening 41 toward the periphery thereof. Can be discharged.

또한, 각 개별 공급로(64)의 유로 단면적은 각 노즐(44)의 유로 단면적보다 크게 되도록 형성되어 있다. 이것에 의하면, 각 노즐(44)에 대하여 충분한 유량의 압축 공기를 공급할 수 있다.In addition, the flow path cross-sectional area of each individual supply path 64 is formed so that it may become larger than the flow path cross-sectional area of each nozzle 44. According to this, compressed air of sufficient flow volume can be supplied to each nozzle 44.

이상과 같이 구성된 흡인 척(10)에 있어서의 압축 공기의 흐름에 대해서 도 7을 참조하여 간단하게 설명하면 이하와 같다.The flow of compressed air in the suction chuck 10 configured as described above will be briefly described with reference to FIG. 7 as follows.

도시 생략된 압축 공기원(콤프레서 등)에서 생성된 압축 공기는 배관(72) 및 이음매(71)를 통해서 본체(11)의 공급 포트(73)에 공급된다.The compressed air generated by the compressed air source (compressor etc.) which is not shown in figure is supplied to the supply port 73 of the main body 11 through the piping 72 and the joint 71. As shown in FIG.

공급 포트(73)에 공급된 압축 공기는 공통 공급로(47)를 통과하여 복수(본 실시형태의 경우에는 4개)의 제 1 기체실(48)에 공급된다.The compressed air supplied to the supply port 73 passes through the common supply path 47 and is supplied to the plurality of first gas chambers 48 (four in the present embodiment).

제 1 기체실(48)에 공급된 압축 공기는 분배로(62)의 입력부(63)에 공급된다. 이 압축 공기는 복수(본 실시형태의 경우에는 3개)의 개별 공급로(64)에 분배된다. 각 개별 공급로(64)에 분배된 압축 공기는 각각의 개별 공급로(64)의 단부에 형성되어 있는 출력부(65)를 통해서 대응하는 제 2 기체실(46)에 공급된다.The compressed air supplied to the first gas chamber 48 is supplied to the input portion 63 of the distribution passage 62. This compressed air is distributed to a plurality of individual supply paths 64 (three in this embodiment). The compressed air distributed to each individual supply path 64 is supplied to the corresponding second gas chamber 46 through an output portion 65 formed at the end of each individual supply path 64.

각 제 2 기체실(46)에 공급된 압축 공기는 각각의 제 2 기체실(46)에 대응하는 노즐(44)의 단부[피공급부(35)]에 공급된다. 노즐(44)에 공급된 압축 공기는 원기둥 형상 공간(45)의 내부에 분출된다.The compressed air supplied to each second gas chamber 46 is supplied to an end (feeding unit 35) of the nozzle 44 corresponding to each second gas chamber 46. The compressed air supplied to the nozzle 44 is blown inside the cylindrical space 45.

이상과 같이, 제 1 기체실(48)에 공급된 압축 공기를 분배로(62)에 의해 복수(본 실시형태의 경우에는 3개)로 분기시킴으로써, 대응하는 복수의 노즐(44)에 대하여 압축 공기를 공급할 수 있다. 각 노즐(44)로의 압축 공기의 분배는 분배로(62)가 행하므로, 공통 공급로(47)에는 노즐(44)로의 분배 구조가 불필요해진다. 이에 따라, 공통 공급로(47)의 설치 경로를 단순화할 수 있다.As described above, the compressed air supplied to the first gas chamber 48 is branched into plural (three in the present embodiment) by the distribution path 62, thereby compressing the plural nozzles 44 correspondingly. Can supply air Since the distribution path 62 distributes compressed air to each nozzle 44, the distribution structure to the nozzle 44 is unnecessary in the common supply path 47. Thereby, the installation path of the common supply path 47 can be simplified.

또한, 이렇게 공통 공급로(47)의 설치 경로를 심플하게 구성할 수 있으므로 배기 구멍(42)의 배치 자유도를 향상시킬 수 있다. 즉, 배기 구멍(42)은 본체(11)를 두께 방향으로 관통해서 형성하므로, 각 금속 플레이트에 형성되어 있는 공기의 유로를 피하도록 형성하지 않으면 안된다. 이 때문에, 가령 공통 공급로(47)가 복잡하게 둘러져 있으면 배기 구멍(42)을 형성할 수 있는 위치가 한정되어버려 상기 배기 구멍(42)의 배치 자유도가 낮아진다. 이 점에서 본 실시형태의 구성에 의하면 공통 공급로(47)를 심플하게 구성할 수 있으므로 배기 구멍(42)의 배치의 자유도가 향상된다. 이에 따라, 배기 구멍(42)을 최적의 위치에 배치하는 것이 가능해지므로 대향면(31)과 워크(90) 사이의 공기를 효율적으로 배출시킬 수 있다. 이에 따라, 흡인력의 저하를 막고, 흡인 척(10)의 흡인 효율을 향상시킬 수 있다.In addition, since the installation path of the common supply path 47 can be simply configured in this way, the freedom degree of arrangement | positioning of the exhaust hole 42 can be improved. That is, since the exhaust hole 42 penetrates the main body 11 in the thickness direction, it must be formed so as to avoid the flow path of air formed in each metal plate. For this reason, if the common supply path 47 is enclosed intricately, for example, the position at which the exhaust hole 42 can be formed is limited, and the freedom degree of arrangement of the exhaust hole 42 is lowered. In this respect, according to the structure of this embodiment, since the common supply path 47 can be comprised simply, the freedom degree of arrangement | positioning of the exhaust hole 42 improves. Thereby, since the exhaust hole 42 can be arrange | positioned at the optimal position, the air between the opposing surface 31 and the workpiece | work 90 can be discharged efficiently. Thereby, the fall of a suction force can be prevented and the suction efficiency of the suction chuck 10 can be improved.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 실시형태의 흡인 척(10)은 워크(90)에 대향하는 대향면(31)을 갖는 평판 형상의 본체(11)를 구비하고 있다. 본체(11)에는 대향면(31)으로부터 공기를 분출하는 복수의 흡인 요소와, 각 흡인 요소에 대하여 압축 공기를 공급하는 공급로와, 본체(11)를 두께 방향으로 관통하는 복수의 배기 구멍(42)이 형성된다. 각각의 흡인 요소는 대향면(31)에 개구되는 원형의 분출구(41)를 갖는 원기둥 형상 공간(45)과, 원기둥 형상 공간(45)의 내주벽에 개구되는 복수의 노즐(44)을 구비한다. 공급로는 복수의 노즐(44)의 각각에 압축 공기를 분배하는 분배로(62)와, 분배로(62)에 압축 공기를 공급하는 공통 공급로(47)를 구비한다. 그리고, 흡인 요소, 분배로(62), 및 공통 공급로(47)는 서로 다른 금속 플레이트에 형성된다.As described above, the suction chuck 10 of the present embodiment includes a flat body 11 having an opposing surface 31 facing the workpiece 90. The main body 11 includes a plurality of suction elements for blowing air from the opposing surface 31, a supply path for supplying compressed air to each suction element, and a plurality of exhaust holes penetrating the main body 11 in the thickness direction ( 42) is formed. Each suction element has a cylindrical space 45 having a circular jet port 41 opening in the opposing surface 31 and a plurality of nozzles 44 opening in the inner circumferential wall of the cylindrical space 45. . The supply path includes a distribution path 62 for distributing compressed air to each of the plurality of nozzles 44, and a common supply path 47 for supplying compressed air to the distribution path 62. And the suction element, the distribution path 62, and the common supply path 47 are formed in different metal plates.

즉, 공통 공급로(47)로부터 분배로(62)에 대하여 압축 공기를 공급하고, 상기 분배로(62)로부터 각 노즐(44)에 대하여 압축 공기가 분배된다. 각 노즐에 대한 압축 공기의 분배는 분배로(62)가 행하므로, 공통 공급로(47)는 분배로(62)에 대하여 압축 공기를 공급기만 하면 된다. 따라서, 흡인 요소가 노즐(44)을 몇 개 구비하고 있었다고 해도 공통 공급로(47)의 설치 경로가 복잡해질 일은 없다. 이에 따라, 공통 공급로(47)의 설치 경로를 단순화할 수 있으므로 전체의 배치의 자유도가 향상된다.That is, compressed air is supplied from the common supply path 47 to the distribution path 62, and compressed air is distributed from the distribution path 62 to each nozzle 44. Since the distribution path 62 distributes compressed air to each nozzle, the common supply path 47 only needs to supply compressed air to the distribution path 62. Therefore, even if the suction element has several nozzles 44, the installation path of the common supply path 47 does not become complicated. Thereby, since the installation path of the common supply path 47 can be simplified, the freedom of arrangement of the whole is improved.

또한, 본 실시형태의 흡인 척(10)에 있어서 공급로는 공급 포트(73)와 제 1 기체실(48)을 구비하고 있다. 공급 포트(73)에는 압축 공기가 공급된다. 제 1 기체실(48)은 분배로(62)에 연통된다. 공통 공급로(47)는 복수의 제 1 기체실(48)에 걸쳐서 설치되고, 또한 공급 포트(73)에 접속한다. 그리고, 이 흡인 척(10)은 공급 포트(73)가 형성된 제 1 금속 플레이트(51)와, 공통 공급로(47)가 형성된 제 2 금속 플레이트(52)와, 제 1 기체실(48)이 형성된 제 3 금속 플레이트(53)를 구비한다.Moreover, in the suction chuck 10 of this embodiment, the supply path is provided with the supply port 73 and the 1st gas chamber 48. Compressed air is supplied to the supply port 73. The first gas chamber 48 is in communication with the distribution path 62. The common supply path 47 is provided over the plurality of first gas chambers 48 and is connected to the supply port 73. The suction chuck 10 includes a first metal plate 51 having a supply port 73, a second metal plate 52 having a common supply path 47, and a first gas chamber 48. The third metal plate 53 is formed.

이것에 의하면, 1개의 공급 포트(73)에 대하여 압축 공기를 공급함으로써 공통 공급로(47)를 통해서 복수의 제 1 기체실(48)에 압축 공기를 공급할 수 있다.According to this, compressed air can be supplied to the some 1st gas chamber 48 through the common supply path 47 by supplying compressed air to one supply port 73. FIG.

또한, 본 실시형태의 흡인 척(10)에 있어서 공통 공급로(47)는 제 2 금속 플레이트(52)를 두께 방향으로 관통 형성한 가늘고 긴 슬릿으로서 구성되어 있다. 그리고, 제 2 금속 플레이트(52)는 복수매의 금속 플레이트를 적층해서 이루어져 있다.Moreover, in the suction chuck 10 of this embodiment, the common supply path 47 is comprised as the elongate slit which penetrated the 2nd metal plate 52 in the thickness direction. The second metal plate 52 is formed by stacking a plurality of metal plates.

공통 공급로(47)의 유로 면적을 충분하게 확보하는 관점으로부터, 공통 공급로(47)의 두께 방향에서의 치수를 크게 하는 것이 바람직하다. 그러나, 두께가 있는 금속 플레이트에 가늘고 긴 슬릿을 형성하는 것은 어려우므로 상기한 바와 같이 복수의 금속 플레이트에 각각 슬릿을 형성하고, 이들을 적층해서 제 2 금속 플레이트(52)로 한다. 금속 플레이트를 적층해서 제 2 금속 플레이트(52)로 함으로써 상기 제 2 금속 플레이트를 두껍게 할 수 있으므로, 상기 제 2 금속 플레이트에 형성된 슬릿(공통 공급로)의 두께 방향에서의 치수를 확보할 수 있다.It is preferable to enlarge the dimension in the thickness direction of the common supply path 47 from the viewpoint of ensuring the flow path area of the common supply path 47 sufficiently. However, since it is difficult to form elongate slits in a thick metal plate, slits are formed in a plurality of metal plates, respectively, as described above, and these are stacked to form a second metal plate 52. Since the second metal plate can be thickened by stacking the metal plates to form the second metal plate 52, the dimension in the thickness direction of the slit (common supply path) formed in the second metal plate can be ensured.

또한, 본 실시형태의 흡인 척(10)은 이하와 같이 구성되어 있다. 즉, 공통 공급로(47)는 서로 구획된 복수의 가늘고 긴 슬릿으로서 제 2 금속 플레이트(52)에 형성된다. 복수의 가늘고 긴 슬릿 중 일부는 공급 포트(73)에 직접 연통된다. 한편, 복수의 가늘고 긴 슬릿의 나머지는 제 1 기체실(48)을 통해서 간접적으로 공급 포트(73)에 연통된다.In addition, the suction chuck 10 of this embodiment is comprised as follows. That is, the common supply path 47 is formed in the second metal plate 52 as a plurality of elongated slits partitioned from each other. Some of the plurality of elongate slits are in direct communication with the supply port 73. On the other hand, the remainder of the plurality of elongate slits is indirectly communicated to the supply port 73 through the first gas chamber 48.

공통 공급로(47)를 복수의 슬릿으로 분할함으로써 개개의 슬릿의 개구 면적을 작게 할 수 있다. 이에 따라, 확산 접합시에 압력이 가해지기 쉬워짐과 아울러 제 2 금속 플레이트(52)가 변형되기 어려워진다. 분할된 슬릿끼리는 제 1 기체실(48)을 통해서 서로 연통시킬 수 있다. 이에 따라, 각각의 슬릿에 대하여 압축 공기를 공급할 수 있다.By dividing the common supply path 47 into a plurality of slits, the opening area of each slit can be reduced. As a result, pressure is easily applied during diffusion bonding, and the second metal plate 52 is hardly deformed. The divided slits can communicate with each other through the first gas chamber 48. Thus, compressed air can be supplied to each slit.

또한, 본 실시형태의 흡인 척(10)은 제 4 금속 플레이트(54)와 제 5 금속 플레이트(55)를 구비하고 있다. 제 4 금속 플레이트(54)에는 분배로(62)가 형성된다. 제 5 금속 플레이트(55)에는 제 2 기체실(46)이 형성된다. 이 제 2 기체실(46)은 각 흡인 요소가 구비하는 복수의 노즐(44)에 대응해서 설치되고, 상기 대응하는 노즐(44)과 분배로(62)를 연통시킨다.In addition, the suction chuck 10 of the present embodiment includes a fourth metal plate 54 and a fifth metal plate 55. The distribution path 62 is formed in the fourth metal plate 54. The second gas chamber 46 is formed in the fifth metal plate 55. This 2nd gas chamber 46 is provided corresponding to the some nozzle 44 with which each suction element is equipped, and makes the said nozzle 44 and the distribution path 62 communicate.

이 구성에서, 분배로(62)에 공급된 압축 공기를 제 2 기체실(46)을 통해서 각 노즐(44)에 공급할 수 있다.In this configuration, the compressed air supplied to the distribution path 62 can be supplied to each nozzle 44 through the second gas chamber 46.

또한, 본 실시형태의 흡인 척은 제 6 금속 플레이트(56)와 제 7 금속 플레이트(57)를 구비하고 있다. 제 6 금속 플레이트(56)에는 원기둥 형상 공간(45)의 일부가 형성됨과 아울러 상기 원기둥 형상 공간(45)에 연통되는 복수의 상기 노즐(44)이 형성된다. 제 7 금속 플레이트(57)에는 분출구(41)가 형성된다.In addition, the suction chuck of the present embodiment includes a sixth metal plate 56 and a seventh metal plate 57. A part of the cylindrical space 45 is formed in the sixth metal plate 56, and a plurality of the nozzles 44 communicating with the cylindrical space 45 are formed. A jet port 41 is formed in the seventh metal plate 57.

이렇게 하여 형성된 노즐(44)로부터 원기둥 형상 공간(45)의 내부에 압축 공기를 분출할 수 있다.Compressed air can be blown in the inside of the cylindrical space 45 from the nozzle 44 formed in this way.

또한, 본 실시형태의 흡인 척(10)은 제 1∼제 7 금속 플레이트(51, 52, 53, 54, 55, 56, 57)를 이 순서로 적층한 후에 확산 접합해서 구성되어 있다.In addition, the suction chuck 10 of the present embodiment is configured by diffusing and bonding the first to seventh metal plates 51, 52, 53, 54, 55, 56, 57 in this order.

이렇게 확산 접합함으로써, 복수의 금속 플레이트를 한 번에 일체화해서 흡인 척(10)을 형성할 수 있다.In this manner, by diffusion bonding, the suction chuck 10 can be formed by integrating a plurality of metal plates at a time.

또한, 본 실시형태의 흡인 척(10)에 있어서 제 1 기체실(48)은 원기둥 형상의 공간이다. 제 1 기체실(48)과, 상기 제 1 기체실(48)에 대응하는 흡인 요소의 원기둥 형상 공간(45)은 동일 축심 상에 배치된다. 분배로(62)는 입력부(63)와 개별 공급로(64)를 구비한다. 상기 입력부(63)는 제 1 기체실(48)에 연통된다. 상기 개별 공급로(64)는 상기 분배로(62)가 대응하는 흡인 요소가 구비하는 복수의 노즐(44) 각각에 대응해서 설치되고, 상기 대응하는 노즐(44)과 입력부(63)를 연통한다. 상기 입력부(63)는 제 1 기체실(48)과 동일한 축심(C) 상에 배치된다. 그리고, 각 개별 공급로(64)는 축심(C)으로부터 방사상으로 배치된다. 각 개별 공급로(64)는 서로 동일한 길이이며, 또한 동일한 유로 단면적을 갖는다. 또한, 각 개별 공급로(64)는 축심(C)을 중심으로 하여 등간격으로 배치되어 있다.In the suction chuck 10 of the present embodiment, the first gas chamber 48 is a cylindrical space. The first gas chamber 48 and the cylindrical space 45 of the suction element corresponding to the first gas chamber 48 are disposed on the same axis. The distribution passage 62 has an input 63 and an individual supply passage 64. The input unit 63 communicates with the first gas chamber 48. The individual supply passage 64 is provided corresponding to each of the plurality of nozzles 44 provided in the corresponding suction element in the distribution passage 62, and communicates the corresponding nozzle 44 with the input portion 63. . The input unit 63 is disposed on the same shaft center C as the first gas chamber 48. And each individual supply path 64 is arrange | positioned radially from the axial center C. As shown in FIG. Each individual supply path 64 is the same length as each other and has the same flow path cross-sectional area. Moreover, each individual supply path 64 is arrange | positioned at equal intervals centering on the shaft center C. As shown in FIG.

분배로(62)를 이렇게 구성함으로써, 복수의 노즐(44)에 대하여 압축 공기를 균일하게 분배할 수 있다.By configuring the distribution path 62 in this manner, it is possible to uniformly distribute the compressed air to the plurality of nozzles 44.

또한, 본 실시형태의 흡인 척(10)에 있어서 개별 공급로(64)의 유로 단면적은 노즐(44)의 유로 단면적보다 크다.In addition, in the suction chuck 10 of the present embodiment, the channel cross-sectional area of the individual supply path 64 is larger than the channel cross-sectional area of the nozzle 44.

이에 따라, 각 노즐(44)에 대하여 공급하는 기체의 유량을 충분하게 확보할 수 있다.Thereby, the flow volume of the gas supplied with respect to each nozzle 44 can be ensured enough.

또한, 본 실시형태의 흡인 척(10)에 있어서 분출구(41), 노즐(44), 분배로(62), 및 공통 공급로(47)는 대응하는 금속 플레이트에 에칭에 의해 형성되어 있다.In the suction chuck 10 of the present embodiment, the jet port 41, the nozzle 44, the distribution path 62, and the common supply path 47 are formed on the corresponding metal plate by etching.

이렇게 에칭에 의한 가공으로 분출구나 노즐 등을 형성함으로써, 흡인 요소를 작고 또한 고정밀도로 형성하는 것이 용이해진다.Thus, by forming an ejection element, a nozzle, etc. by the process by etching, it becomes easy to form a suction element small and high precision.

이상에 본 발명의 바람직한 실시형태를 설명했지만, 상기 구성은 예를 들면 이하와 같이 변경할 수 있다.As mentioned above, although preferred embodiment of this invention was described, the said structure can be changed as follows, for example.

흡인 척(10)은 상기와 같은 패러렐 메커니즘식의 이송 로봇(1)에 탑재할 수도 있지만, 이에 한정하지 않고, 예를 들면 스카라 암식의 이송 로봇에 적용할 수도 있다.Although the suction chuck 10 may be mounted on the parallel mechanism-type transfer robot 1 as described above, the suction chuck 10 is not limited thereto and may be applied to, for example, a scara type transfer robot.

상기 실시형태에서는 흡인 척(10)의 대향면(31)의 형상은 직사각형상이지만, 이에 한정하지 않고 적절한 형상으로 할 수 있다. 단, 흡인 척(10)의 대향면(31)의 형상은 취급하는 워크(90)의 형상과 대략 합동 형상으로 하고, 또한 워크보다 약간 크도록 구성하면 워크(90)의 표면에 대하여 흡인력을 낭비하지 않고 균일하게 작용시킬 수 있으므로 바람직하다.In the said embodiment, although the shape of the opposing surface 31 of the suction chuck 10 is rectangular shape, it is not limited to this, It can be set as an appropriate shape. However, when the shape of the opposing surface 31 of the suction chuck 10 is substantially congruent with the shape of the workpiece 90 to be handled, and configured to be slightly larger than the workpiece, the suction force is wasted on the surface of the workpiece 90. It is preferable because it can be made to work uniformly without.

대향면(31)에 형성되는 분출구(41)의 수 및 배치에 대해서도 워크(90)의 중량 및 크기 등에 따라 적당하게 변경할 수 있다.The number and arrangement of the ejection openings 41 formed on the opposing surface 31 can also be appropriately changed depending on the weight and size of the work 90 and the like.

상기 실시형태에 있어서 흡인 요소에 공급하는 기체는 압축 공기로 했지만, 예를 들면 질소 등의 다른 기체를 공급해도 좋다.In the said embodiment, although the gas supplied to a suction element was made into compressed air, you may supply other gases, such as nitrogen, for example.

각 흡인 요소가 구비하는 노즐(44)의 수는 3개에 한하지 않고, 4개 이상으로 할 수 있다. 무엇보다 각 흡인 요소가 2개의 노즐(44)을 구비하는 구성의 흡인 척(예를 들면, 도 14)이라도 본원 발명의 구성을 적용할 수 있다.The number of nozzles 44 included in each suction element is not limited to three, but can be four or more. Above all, even the suction chuck (for example, FIG. 14) of the structure in which each suction element is provided with the two nozzles 44 can apply the structure of this invention.

상기 실시형태에 있어서, 금속 플레이트에 형성되는 슬릿 및 구멍은 상기 금속 플레이트를 관통해서 형성되는 것으로 했다. 그러나, 이에 한정하지 않고 노즐(44), 공통 공급로(47), 분배로(62) 등은 그 일부를, 예를 들면 도 15에 나타내는 공급로(83)와 같이 금속 플레이트를 관통하지 않는 홈 형상의 유로로서 구성해도 좋다.In the said embodiment, the slit and the hole formed in the metal plate shall be formed through the said metal plate. However, the present invention is not limited thereto, but the nozzle 44, the common supply path 47, the distribution path 62, and the like do not penetrate a portion of the groove, for example, the supply path 83 shown in FIG. You may comprise as a flow path of a shape.

10 : 흡인 척 11 : 본체
31 : 대향면 41 : 분출구
42 : 배기 구멍 44 : 노즐
45 : 원기둥 형상 공간 46 : 제 2 기체실
47 : 공통 공급로 48 : 제 1 기체실
62 : 분배로 90 : 워크10: suction chuck 11: body
31: opposite side 41: spout
42: exhaust hole 44: nozzle
45: cylindrical shape space 46: second gas chamber
47: common supply passage 48: first gas chamber
62: 90 by distribution

Claims (14)

워크에 대향하는 대향면을 갖는 평판 형상의 본체를 구비하고,
상기 본체에,
상기 대향면으로부터 기체를 분출하는 복수의 흡인 요소와,
각 흡인 요소에 대하여 상기 기체를 공급하는 공급로와,
상기 본체를 두께 방향으로 관통하는 복수의 배기 구멍이 형성된 흡인 척으로서,
각각의 상기 흡인 요소는,
상기 대향면에 개구되는 원형의 분출구를 갖는 원기둥 형상 공간과,
상기 분출구의 내주벽에 개구되는 복수의 노즐을 구비하고,
상기 공급로는,
상기 복수의 노즐의 각각에 상기 기체를 분배하는 분배로와,
상기 분배로에 상기 기체를 공급하는 공통 공급로를 구비하고,
상기 흡인 요소, 상기 분배로, 및 상기 공통 공급로는 상기 본체의 두께 방향에서 다른 위치에 형성되고
상기 공급로는,
상기 기체가 공급되는 공급 포트와,
상기 분배로에 연통되는 제 1 기체실을 구비하고,
상기 공통 공급로는 복수의 상기 제 1 기체실에 걸쳐서 설치되고, 또한 상기 공급 포트에 접속되며,
상기 흡인 척은,
상기 공급 포트가 형성된 제 1 금속 플레이트와,
상기 공통 공급로가 형성된 제 2 금속 플레이트와,
상기 제 1 기체실이 형성된 제 3 금속 플레이트를 구비하는 것을 특징으로 하는 흡인 척.It is provided with the flat-shaped main body which has the opposing surface which opposes a workpiece | work,
On the body,
A plurality of suction elements for ejecting gas from the opposite surface,
A supply passage for supplying the gas to each suction element,
A suction chuck having a plurality of exhaust holes penetrating the main body in a thickness direction,
Each of the suction elements,
A cylindrical space having a circular jet port opening in the opposing surface,
A plurality of nozzles opened in the inner circumferential wall of the jet port;
The supply path,
A distribution path for distributing the gas to each of the plurality of nozzles;
A common supply path for supplying the gas to the distribution path,
The suction element, the distribution path, and the common supply path are formed at different positions in the thickness direction of the main body;
The supply path,
A supply port through which the gas is supplied;
A first gas chamber communicating with the distribution path,
The common supply passage is provided over the plurality of first gas chambers and is connected to the supply port,
The suction chuck,
A first metal plate on which the supply port is formed;
A second metal plate on which the common supply path is formed;
And a third metal plate on which the first gas chamber is formed. 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 공통 공급로는 상기 제 2 금속 플레이트를 두께 방향으로 관통 형성한 가늘고 긴 슬릿으로서 구성되고,
상기 제 2 금속 플레이트는 복수매의 금속 플레이트를 적층해서 이루어지는 것을 특징으로 하는 흡인 척.The method of claim 1,
The common supply passage is configured as an elongated slit formed by penetrating the second metal plate in the thickness direction,
The second metal plate is a suction chuck comprising a plurality of metal plates stacked. 제 1 항에 있어서,
상기 공통 공급로는 서로 구획된 복수의 가늘고 긴 슬릿으로서 상기 제 2 금속 플레이트에 형성되고,
상기 복수의 가늘고 긴 슬릿 중 일부는 상기 공급 포트에 직접 연통되고,
상기 복수의 가늘고 긴 슬릿의 나머지는 상기 제 1 기체실을 통해서 간접적으로 상기 공급 포트에 연통되는 것을 특징으로 하는 흡인 척.The method of claim 1,
The common supply passage is formed in the second metal plate as a plurality of elongated slits partitioned from each other,
Some of the plurality of elongated slits are in direct communication with the supply port,
And the remainder of said plurality of elongate slits is indirectly communicated to said supply port through said first gas chamber. 제 1 항에 있어서,
상기 분배로가 형성된 제 4 금속 플레이트와,
각 흡인 요소가 구비하는 상기 복수의 노즐에 대응해서 설치되고, 상기 대응하는 노즐과 상기 분배로를 연통시키는 제 2 기체실이 형성된 제 5 금속 플레이트를 구비하는 것을 특징으로 하는 흡인 척.The method of claim 1,
A fourth metal plate on which the distribution path is formed;
And a fifth metal plate provided corresponding to the plurality of nozzles included in each suction element and having a second gas chamber communicating the corresponding nozzles with the distribution passage. 제 5 항에 있어서,
상기 원기둥 형상 공간의 일부가 형성됨과 아울러 상기 원기둥 형상 공간에 연통되는 복수의 상기 노즐이 형성된 제 6 금속 플레이트와,
상기 분출구가 형성된 제 7 금속 플레이트를 구비하는 것을 특징으로 하는 흡인 척.The method of claim 5,
A sixth metal plate having a portion of the cylindrical space formed therein and a plurality of nozzles communicating with the cylindrical space;
And a seventh metal plate having the ejection opening formed therein. 제 6 항에 있어서,
상기 제 1 금속 플레이트, 상기 제 2 금속 플레이트, 상기 제 3 금속 플레이트, 상기 제 4 금속 플레이트, 상기 제 5 금속 플레이트, 상기 제 6 금속 플레이트, 및 상기 제 7 금속 플레이트를 이 순서로 적층한 후에 확산 접합해서 구성된 것을 특징으로 하는 흡인 척.The method of claim 6,
The first metal plate, the second metal plate, the third metal plate, the fourth metal plate, the fifth metal plate, the sixth metal plate, and the seventh metal plate are stacked in this order and then diffused. A suction chuck characterized in that the bonding is configured. 제 1 항에 있어서,
상기 제 1 기체실은 원기둥 형상의 공간이며,
상기 제 1 기체실과 상기 제 1 기체실에 대응하는 흡인 요소의 상기 원기둥 형상 공간은 동일 축심 상에 배치되어 있고,
상기 분배로는,
상기 제 1 기체실에 연통되는 입력부와,
상기 분배로에 대응하는 흡인 요소가 구비하는 복수의 상기 노즐 각각에 대응해서 설치되고, 상기 대응하는 노즐과 상기 입력부를 연통하는 개별 공급로를 구비하고,
각 개별 공급로는 상기 축심으로부터 방사상으로 배치되는 것을 특징으로 하는 흡인 척.The method of claim 1,
The first gas chamber is a cylindrical space,
The cylindrical space of the suction element corresponding to the first gas chamber and the first gas chamber is disposed on the same axis,
The distribution path,
An input unit communicating with the first gas chamber;
It is provided corresponding to each of the said some nozzle with which the suction element corresponding to the said distribution path is provided, Comprising: The individual supply path which communicates the said nozzle and the said input part is provided,
Each individual feed passage is disposed radially from the shaft center. 제 8 항에 있어서,
각 개별 공급로는 서로 동일한 길이이며, 또한 동일한 유로 단면적을 갖는 것을 특징으로 하는 흡인 척.The method of claim 8,
Each individual feed passage is the same length as each other and has the same flow path cross-sectional area. 제 8 항에 있어서,
각 개별 공급로는 상기 축심을 중심으로 해서 등간격으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 흡인 척.The method of claim 8,
Each individual supply passage is arranged at equal intervals about the shaft center. 제 8 항에 있어서,
상기 개별 공급로의 유로 단면적은 상기 노즐의 유로 단면적과 동일하거나, 또는 큰 것을 특징으로 하는 흡인 척.The method of claim 8,
Suction chuck, characterized in that the flow path cross-sectional area of the individual supply passage is equal to or larger than the flow path cross-sectional area of the nozzle. 제 1 항에 있어서,
상기 분출구, 상기 노즐, 상기 분배로, 및 상기 공통 공급로는 대응하는 금속 플레이트에 에칭에 의해 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 흡인 척.The method of claim 1,
And said ejection opening, said nozzle, said distribution passage, and said common supply passage are formed by etching on a corresponding metal plate. 제 1 항에 있어서,
상기 분출구, 상기 노즐, 상기 분배로, 및 상기 공통 공급로는 대응하는 금속 플레이트에 기계 가공에 의해 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 흡인 척.The method of claim 1,
And said ejection opening, said nozzle, said distribution passage, and said common supply passage are formed by machining on a corresponding metal plate. 제 1 항에 기재된 흡인 척과,
상기 흡인 척을 소정 범위 내에서 3차원적으로 이동시키는 것이 가능한 패러렐 메커니즘을 구비하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The suction chuck according to claim 1,
And a parallel mechanism capable of moving the suction chuck three-dimensionally within a predetermined range.
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