KR102037916B1

KR102037916B1 - 기판처리장치

Info

Publication number: KR102037916B1
Application number: KR1020120117225A
Authority: KR
Inventors: 김세훈
Original assignee: 세메스 주식회사
Priority date: 2012-10-22
Filing date: 2012-10-22
Publication date: 2019-10-29
Also published as: KR20140050864A

Abstract

본 발은 기판을 처리하는 장치를 제공한다. 기판처리장치는 내부에 밀폐된 내부공간을 가지는 하우징, 상기 하우징의 내부에 위치되고, 내부에 기판을 처리하는 처리공간을 제공하는 챔버, 상기 내부공간에 분위기가스를 제공하는 가스공급부재, 그리고 상기 하우징의 외부에서 상기 내부공간을 제어하는 핸들링부재를 포함하되, 상기 핸들링부재는 상기 하우징의 내부와 외부가 서로 통하는 개구가 형성되는 글러브박스, 상기 개구가 밀폐되도록 상기 글러브박스에 결합되는 암부 및 상기 암부로부터 연장되는 파지부를 가지는 글러브, 그리고 상기 암부를 감싸도록 제공되며, 상기 암부의 뒤집어지는 길이를 줄이는 스토퍼를 포함한다. 이로 인해 글러브가 하우징의 외측으로 돌출된 길이를 줄일수 있다.

Description

기판처리장치{Apparatus for treating substrate}

본 발명은 기판을 처리하는 장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 칩이나 발광다이오드(LED)와 같은 집적회로의 제조를 위해 기판에 박막을 증착하는 공정이 요구된다. 최근 반도체 소자의 미세화와 고효율 및 고출력 엘이디(LED)의 개발 등에 따라 증착 공정 중 금속 유기 화학 기상 증착법(MOCVD:Metal Organic Chemical Vapor Deposition)이 각광받고 있다. 금속 유기 화학 기상 증착법은 화학 기상 증착법(MOCVD)들 중 하나로, 유기금속의 열분해 반응을 이용해 기판 상에 금속화합물을 퇴적 및 부착시키는 방법이다.

일반적으로 화학기상증착은 챔버의 내부에서 공정이 진행된다. 챔버(3)는 하우징(1) 내에 위치되고, 하우징(1)은 이의 내부를 외부로부터 밀폐한다. 이로 인해 챔버(3)의 주변 분위기를 일정하게 유지할 수 있다. 또한 하우징(1)의 내부에는 분위기 가스를 계속적으로 분사하여 외부로부터 이물 및 파티클이 유입되는 것을 방지한다. 이로 인해 하우징(1)의 내부는 대기압에 비해 높은 압력을 유지하게 된다.

도1은 일반적인 글러브가 압력 차로 인해 하우징의 외부로 돌출된 형상을 보여주는 단면도이다. 도1을 참조하면, 하우징(1)의 일측벽에는 하우징(1)의 외부에서 이의 내부에 위치된 장치에 기판을 반입하거나 반출하기 위한 글러브(2)가 설치된다. 작업자는 글러브(2)를 착용하여 챔버(3)를 개폐하고, 기판을 챔버(3) 내에 반출입한다. 그러나 글러브(2)를 사용하지 않는 경우에는 하우징(1) 내부의 고압으로 인해 글러브(2)가 하우징(1)의 외측으로 길게 돌출된다. 이 같이 길게 돌출된 상태에서 하우징(1)의 외부에서 작업자가 글러브를 착용하는 것이 매우 어렵다. 뿐만 아니라 계속적으로 하우징(1)의 외측으로 돌출되는 글러브(2)는 마모되기 쉽고, 이로 인해 파티클이 발생될 수 있다. 또한 길게 돌출된 글러브(2)로 인해 설비의 풋프린트(Foot-Print)가 증가된다.

본 발명은 글러브를 쉽게 착용할 수 있는 장치를 제공한다.

또한 본 발명은 하우징 내부의 고압으로 인해 글러브가 하우징의 외측으로 돌출되는 것을 최소화할 수 있는 장치를 제공한다.

또한 본 발명은 글러브가 원치 않는 방향으로 돌출됨에 따라 손상되는 것을 최소화할 수 있는 장치를 제공한다.

또한 본 발명은 설비의 풋프린트를 줄일 수 있다.

본 발명의 실시예는 기판을 처리하는 장치를 제공한다. 기판처리장치는 내부에 밀폐된 내부공간을 가지는 하우징, 상기 하우징의 내부에 위치되고, 내부에 기판을 처리하는 처리공간을 제공하는 챔버, 상기 내부공간에 분위기가스를 제공하는 가스공급부재, 그리고 상기 하우징의 외부에서 상기 내부공간을 제어하는 핸들링부재를 포함하되, 상기 핸들링부재는 상기 하우징의 내부와 외부가 서로 통하는 개구가 형성되는 글러브박스, 상기 개구가 밀폐되도록 상기 글러브박스에 결합되는 암부 및 상기 암부로부터 연장되는 파지부를 가지는 글러브, 그리고 상기 암부를 감싸도록 제공되며, 상기 암부의 뒤집어지는 길이를 줄이는 스토퍼를 포함한다.

상기 스토퍼는 상기 하우징의 외부로 빠져나가는 상기 암부의 길이를 줄일 수 있다. 상기 스토퍼는 상기 암부의 외주면을 감싸는 링 형상으로 제공될 수 있다. 상기 스토퍼는 상기 개구가 향하는 방향을 따라 복수 개로 제공되고, 각각의 상기 스토퍼들은 상기 개구가 향하는 방향을 따라 이격되게 위치되며, 상기 개구와 멀어지는 상기 스토퍼일수록 그 직경이 작아지게 제공되고, 서로 인접한 상기 스토퍼들 중 상기 개구와 멀게 위치되는 스토퍼의 외주면은 다른 스토퍼의 내주면보다 큰 직경을 가지도록 제공될 수 있다.

본 발명의 실시예에 의하면, 글러브에는 이의 외주면을 감싸는 스토퍼가 제공되어 글러브가 하우징의 외측으로 돌출된 길이를 줄일수 있다.

또한 본 발명의 실시예에 의하면, 하우징의 외측으로 돌출되는 글러브의 길이가 짧게 제공되므로, 작업자는 글러브를 쉽게 착용할 수 있다.

또한 본 발명의 실시예에 의하면, 글러브가 하우징의 외측으로 돌출됨에 따라 손상되는 것을 최소화하여 글러브의 유지보수 횟수를 줄일 수 있다.

도1은 일반적인 글러브가 압력 차로 인해 하우징의 외부로 돌출된 형상을 보여주는 단면도이다.
도2는 본 발명의 실시예에 따른 기판처리장치를 보여주는 평면도이다.
도3은 도2의 기판처리장치를 선 a - a'로 절단한 단면도이다.
도4는 도2의 핸들링부재를 보여주는 사시도이다.
도5 및 도6은 글러브의 착용 전과 착용 후를 보여주는 단면도이다.
도7은 도4의 핸들링부재의 다른 실시예를 보여주는 사시도이다.
도8은 도4의 핸들링부재의 또 다른 실시예를 보여주는 사시도이다.

이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판처리장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. 따라서 도면에서의 도시된 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장된 것이다.

이하, 도2 내지 도8을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.

도2는 본 발명의 실시예에 따른 기판처리장치를 보여주는 평면도이고, 도3은 도2의 기판처리장치를 선 a - a'로 절단한 단면도이다. 도2 및 도3을 참조하면, 기판처리장치는 하우징(10), 가스공급부재(20), 패스박스(30), 챔버(100), 그리고 핸들링부재(50)를 포함한다. 하우징(10)은 직육면체 형상을 가지도록 제공된다. 하우징(10)의 내부에는 외부로부터 밀폐된 내부공간을 제공한다. 하우징(10)은 외부로부터 밀폐된 내부공간을 제공한다. 하우징(10)은 바닥벽, 측벽, 그리고 상부벽을 포함한다. 바닥벽은 직사각의 판 형상을 가지도록 제공된다. 측벽은 바닥벽의 끝단으로부터 위로 연장되게 제공된다. 측벽은 제1벽(11), 제2벽(12), 제3벽(13), 그리고 제4벽(14)을 포함한다. 제1벽(11) 및 제2벽(12)은 그 길이방향이 제1방향(16)을 향하는 바닥벽의 장변으로부터 수직하게 연장된다. 제3벽(13) 및 제4벽(14)은 길이방향이 제2방향(18)을 향하는 바닥벽의 단변으로부터 연장된다. 여기서 제2방향(18)은 제1방향(16)과 수직한 방향으로 정의한다. 제3벽(13)에는 제1가스공급홀이 형성된다. 상부벽은 직사각의 판 형상을 가지도록 제공되며, 그 크기가 바닥벽과 동일하게 제공된다. 상부벽은 측벽의 상단으로부터 연장되게 제공된다.

패스박스(30)는 기판을 하우징(10)의 내부공간에 반출입하기 위한 버퍼공간으로 제공된다. 패스박스(30)는 제1벽(11)과 제3벽(13)이 만나는 하우징(10)의 내측 모서리에 위치될 수 있다. 패스박스(30)는 직육면체 형상을 가지도록 제공된다. 패스박스(30)의 측벽에는 제1개구 및 제2개구가 형성된다. 제1개구는 기판이 하우징(10)의 외부에서 패스박스(30)의 내부에 반입하기 위한 통로이고, 제2개구는 기판이 패스박스(30)의 내부에서 하우징(10)의 내부공간에 반출하기 위한 통로로 제공된다. 일 예에 의하면, 제1개구는 제2방향(18)을 향하도록 형성되고, 제2개구는 제1방향(16)을 향하도록 형성될 수 있다. 제1개구 및 제2개구 각각에는 도어가 설치되며, 도어는 제1개구 및 제2개구를 개폐 가능한다. 패스박스(30)의 일벽에는 분위기 가스가 공급되는 제2가스공급홀이 형성되고, 타벽에는 분위기 가스를 배기하는 가스배기홀이 형성된다.

가스공급부재(20)는 하우징(10)의 내부공간 및 패스박스(30)의 내부에 분위기 가스를 공급한다. 가스공급부재(20)는 제1가스공급홀 및 제2가스공급홀을 통해 분위기 가스를 공급한다. 가스공급부재(20)는 가스공급라인(24)과 가스저장부(22)를 포함한다. 가스공급라인(24)은 제1가스공급홀과 가스저장부(22), 그리고 제2가스공급홀과 가스저장부(22)를 각각 연결한다. 가스저장부(22)에 저장된 분위기 가스는 가스공급라인(24)을 통해 하우징(10)의 내부공간 및 패스박스(30)의 내부에 공급된다. 예컨대, 분위기 가스는 비활성 가스일 수 있다. 비활성 가스는 질소가스(N₂)일 수 있다.

챔버(100)는 하우징(10) 내에 위치된다. 챔버(100)는 내부에 기판을 처리하는 처리공간을 제공한다. 챔버(100)는 몸체(110)와 커버(120)를 포함한다. 몸체(110)는 상부가 개방된 원통 형상으로 제공된다. 커버(120)는 몸체(110)의 상단과 동일한 직경을 가지는 원한 평상으로 제공된다. 커버(120)는 몸체(110)로부터 탈착 가능하도록 제공된다. 커버(120)는 몸체(110)에 장착되어 몸체(110)의 처리공간을 밀폐할 수 있다.

몸체(110) 내에는 기판을 처리하기 위한 지지유닛(200), 가스공급유닛(300), 배기유닛(400), 그리고 히터유닛이 배치된다. 지지유닛(200)은 챔버(100)의 내부에서 기판(W)을 지지한다. 지지유닛(200)은 기판홀더(210), 서셉터(230), 회전축(250), 그리고 모터(270)를 포함한다. 도4를 참조하면, 기판홀더(210)는 대체로 원판 형상을 가진다. 기판홀더(210)의 상면에는 기판(W)이 놓이는 기판안착홈(211)이 형성된다. 기판홀더(210)의 저면 중앙에는 고정홈(213)이 형성된다. 기판홀더(210)는 전기 전도율이 높은 재질로 제공될 수 있다. 일 예에 의하면, 기판홀더(210)의 재질은 흑연으로 제공될 수 있다. 기판안착홈(211)은 기판홀더(210)의 상면 중앙에 하나가 제공될 수 있다. 선택적으로 기판안착홈(211)은 하나의 기판홀더(210)에 복수 개가 제공될 수 있다.

서셉터(230)는 기판홀더(210)보다 큰 원판 형상으로 제공된다. 서셉터(230)는 그 중심축을 기준으로 회전 가능하도록 제공된다. 일 예에 의하면, 서셉터(230)는 열변형에 강한 재질로 제공될 수 있다. 서셉터(230)의 저면에는 회전축(250)이 결합되고, 회전축(250)은 모터(270)에 결합된다. 모터(270)가 회전축(250)에 회전력을 제공하면, 서셉터(230)는 회전축(250)과 함께 회전될 수 있다. 서셉터(230)의 상면 중앙부에는 중앙홈(239)이 형성된다. 서셉터(230)의 상면에는 홀더안착홈(231)이 복수 개로 형성된다. 홀더안착홈(231)에는 기판홀더(210)가 놓이는 공간을 제공한다. 각각의 홀더안착홈(231)은 서셉터(230)의 중앙홈(239)을 감싸는 환형의 링을 이루도록 배열된다. 각각의 홀더안착홈(231)은 서로 간에 동일 간격으로 이격되게 위치된다. 홀더안착홈(231)들은 서로 동일한 크기 및 형상으로 제공될 수 있다. 홀더안착홈(231)은 원형으로 제공된다. 일 예에 의하면, 홀더안착홈(231)은 10 개로 제공될 수 있다. 홀더안착홈(231)은 기판홀더(210)와 동일한 직경을 가지거나 이보다 큰 직경을 가질 수 있다. 홀더안착홈(231)의 상면 중앙부에는 위로 돌출된 돌기(233)가 형성된다. 돌기(233)는 기판홀더(210)가 홀더안착홈(231)으로부터 이탈되는 것을 방지한다. 돌기(233)는 기판홀더(210)의 고정홈(213)에 삽입 가능하다.

또한 서셉터(230)는 가스베어링의 원리에 의해 기판홀더(210)를 회전시킨다. 홀더안착홈(231)의 상면에는 복수의 분사홀들(235)이 형성된다. 분사홀들(235)은 기체를 분사한다. 분사된 기체는 홀더안착홈(231)에 삽입된 기판홀더(210)를 공중 부양시킨다. 분사홀들(235)은 돌기(233)를 감싸도록 배열된다. 각각의 홀더안착홈(231)의 상면에는 분사홀(235)로부터 연장되는 안내홈(236)이 형성된다. 안내홈(236)은 상부에서 바라볼 때 라운드지도록 형성된다. 안내홈(236)은 분사홀(235)로부터 분사된 기체가 흐르는 방향을 안내한다. 안내홈(236)은 기판홀더(210)가 부유된 상태에서 회전 가능하도록 기체를 안내한다.

서셉터(230)의 내부에는 기체공급라인(237)이 제공된다. 기체공급라인(237)은 각각의 분사홀(235)에 연결된다. 기체는 기체공급라인(237)을 통해 분사홀(235)로 제공된다. 예컨대, 기체는 질소가스(N₂)와 같은 비활성 가스일 수 있다.

가스공급유닛(300)은 지지유닛(200)에 놓인 기판(W) 상으로 공정가스 및 퍼지가스를 공급한다. 가스공급유닛(300)은 분사노즐(310) 및 공급라인(330)을 포함한다. 분사노즐(310)은 원통 형상으로 제공된다. 분사노즐(310)은 커버(120)(120)의 중앙부를 관통한 상태에서 커버(120)(120)에 고정결합된다. 분사노즐(310)은 서셉터(230)의 상부에서 서셉터(230)와 대향되게 위치된다. 분사노즐(310)은 서셉터(230)의 중앙홈(239)에 비해 작은 직경을 가지도록 제공된다. 상부에서 바라볼 때 분사노즐(310)은 홀더안착홈(231)과 중첩되지 않도록 배치된다. 분사노즐(310)의 하단은 서셉터(230)의 중앙홈(239) 내에 위치도록 제공된다. 분사노즐(310)의 하단은 서셉터(230)의 중앙홀 저면에서 이격되게 위치될 수 있다. 분사노즐(310)의 외측면에는 복수의 공정가스분사홀(314)들이 형성된다. 공정가스분사홀(314)은 분사노즐의 원주방향을 따라 복수 개로 형성된다. 공정가스분사홀(314)들은 서로 상이한 높이에 제공된다. 각각의 공정가스분사홀(314)들은 서로 동일 간격으로 이격되게 제공된다. 각각의 공정가스분사홀(314)들은 서로 간에 동일한 크기로 제공된다. 공급라인(330)은 분사노즐에 공정가스를 공급한다.

배기유닛(400)은 챔버(100) 내에 발생되는 공정부산물을 외부로 배기한다. 배기유닛(400)은 배기링(420), 배기관(440), 그리고 배기부재를 포함한다. 배기링(420)은 서셉터(230)를 감싸는 환형의 링 형상으로 제공된다. 또한 배기링(420)의 내부에는 환형의 내부 공간에 형성된다. 배기링(420)의 상단은 서셉터(230)의 상면과 동일하거나 이보다 낮게 제공된다. 배기링(420)의 상단에는 복수의 배기홀(421)들이 형성된다. 배기홀(421)들은 배기링(420)의 원주방향을 따라 제공된다. 배기홀(421)들은 서로 간에 동일 간격으로 이격되게 위치된다. 배기관(440)은 배기링(420)을 챔버(100)의 외부에 위치되는 배기부재(460)에 연결시킨다. 배기관(440)은 복수개로 제공된다. 예컨대, 배기관(442)은 4 개로 제공될 수 있다. 배기관들(442)은 배기링(420)의 원주방향을 따라 배기링(420)의 하단에 결합된다. 각각의 배기관(442)은 배기링(420)의 내부공간과 통하도록 제공된다. 배기관들(442)은 서로 간에 동일 가격으로 이격되게 배치된다. 서로 인접한 배기관들(442)은 단계별로 합쳐 하나의 중심배관으로 연결된다. 예컨대, 서로 인접한 2 개의 배기관(442)은 하나의 분기배관으로 합쳐지고, 합쳐진 각각의 분기배관은 다시 합쳐져 중심배관으로 연결된다. 중앙배관에는 배기부재(460)가 설치된다. 배기부재(460)로부터 발생되는 진공압은 배기관(440)을 통해 배기링(420)으로 제공된다. 챔버(100) 내에 진공압이 제공되면, 챔버(100) 내에 발생되는 공정부산물을 배기홀(421)을 통해 흡기될 수 있다. 또한 챔버(100) 내에 제공되는 진공압을 통해 챔버(100)의 내부압력을 조절할 수 있다. 예컨대, 배기부재(460)는 펌프일 수 있다.

히터(500)은 서셉터의 아래에 설치된다. 히터(500)은 기판 및 챔버(100)의 내부온도를 공정온도에 도달되도록 가열된다. 히터(500)으로부터 제공된 열은 서셉터를 통해 기판홀더 및 기판으로 전달될 수 있다.

핸들링부재(50)는 하우징(10)의 외부에서 이의 내부에 제공된 장치를 제어하도록 도와준다. 일 예에 의하면, 핸들링부재(50)는 챔버(100)의 커버(120)를 몸체(110)로부터 탈착하고, 기판을 챔버(100)와 패스박스(30) 간에 이동시킬 수 있다. 도4는 도2의 핸들링부재를 보여주는 사시도이다. 도4를 참조하면, 핸들링부재(50)는 글러브박스(52), 글러브(56), 그리고 스토퍼(70)를 포함한다. 글러브박스(52)는 하우징(10)의 제1벽(11)에 설치된다. 글러브박스(52)는 직육면체 형상을 가지도록 제공되며, 그 길이방향이 제1방향(16)을 향하도록 제공된다. 글러브박스(52)에는 하우징(10)의 내부과 외부가 통하는 개구(54)가 형성된다. 개구(54)는 복수 개로 제공되며, 각각은 제2방향(18)을 향하도록 제공된다. 일 예에 의하면, 개구(54)는 2 개로 제공될 수 있다.

글러브(56)는 복수 개의 개구(54)에 일대일 대응되도록 제공된다. 글러브(56)는 암부(56a) 및 파지부(56b)를 가진다. 암부(56a) 및 파지부(56b)는 제2방향(18)을 따라 순차적으로 연장되게 제공된다. 암부(56a)의 끝단은 글러브박스(52)의 내측면에 결합된다. 암부(56a)의 끝단은 개구(54)가 밀폐되도록 글러브박스(52)에 결합된다.

스토퍼(70)는 글러브(56)의 암부(56a)가 뒤집어지는 것을 방지한다. 스토퍼(70)는 암부(56a)가 뒤집어져 하우징(10)의 외부로 빠져나가는 길이를 줄여준다. 스토퍼(70)는 환형의 링 형상을 가지도록 제공된다. 스토퍼(70)는 하우징(10)의 내부공간에서 글러브(56)를 감싸도록 제공되며, 글러브(56)의 외주면에 결합된다. 스토퍼(70)는 각각의 글러브(56)에 복수 개로 제공되며, 제2방향(18)을 따라 배열된다. 각각의 스토퍼(70)는 서로 이격되게 배열된다. 스토퍼(70)는 글러브(56)의 외주면과 상응하는 크기를 가지도록 제공된다. 일 예에 의하면, 파지부(56b)와 가까운 스토퍼(70)일수록 그 직경이 점차 작아질 수 있다. 서로 인접한 2 개의 스토퍼(70) 중 작은 직경을 가지는 스토퍼(70)는 그 외주면이 큰 직경을 가지는 스토퍼(70)의 내주면보다 이보다 크게 제공될 수 있다. 스토퍼(70)들 중 개구(54)에 가장 가깝게 위치한 스토퍼(70)는 그 직경이 개구(54)보다 크게 제공될 수 있다. 선택적으로 글러브(56)의 동작에 제한을 주지 않는 범위 내에서 스토퍼(70)는 파지부(56b)에 제공될 수 있다

다음은 상술한 기판처리장치를 이용하여 공정 대기중의 글러브(56)와 공정 진행중의 글러브(56)의 상태를 설명한다. 도5 및 도6은 글러브의 착용 전과 착용 후를 보여주는 단면도이다. 도5 및 도6을 참조하면, 하우징(10)의 내부공간은 그 외부보다 높은 압력을 유지한다. 이로 인해 핸들링부재(50)를 미사용 시 글러브(56)는 하우징(10)의 외측으로 돌출된다. 그러나 글러브(56)는 손목부 및 파지부(56b)만이 하우징(10)의 외측으로 돌출되며, 암부(56a)는 스토퍼(70)로 인해 하우징(10)의 내측에 위치된다. 이로 인해 작업자는 글러브(56)의 암부(56a)에 팔을 착용하기 위한 수고를 줄일 수 있다.

상술한 실시예에는 스토퍼(70)가 복수 개로 제공되고, 링 형상으로 제공되는 것을 설명하였다. 그러나 도7과 같이 스토퍼(70)는 1 개로 제공되고, 나선형 형상으로 제공될 수 있다. 스토퍼(70)는 암부(56a)의 일단에서 타단까지 암부(56a)의 외주면을 감싸도록 제공될 수 있다.

또한 도8과 같이 스토퍼(70)는 링 형상을 가지며, 1 개로 제공될 수 있다. 이 경우, 스토퍼(70)의 직경은 글러브박스(52)의 개구(54)보다 크게 제공될 수 있다.

10: 하우징 20: 가스공급부재
50: 핸들링부재 52: 글러브박스
56:글러브 70: 스토퍼
100: 챔버

Claims

내부에 밀폐된 내부공간을 가지는 하우징과;
상기 하우징의 내부에 위치되고, 내부에 기판을 처리하는 처리공간을 제공하는 챔버와;
상기 내부공간에 분위기가스를 제공하는 가스공급부재와;
상기 하우징의 외부에서 상기 내부공간을 제어하는 핸들링부재를 포함하되,
상기 핸들링부재는
상기 하우징의 내부와 외부가 서로 통하는 개구가 형성되는 글러브박스와;
상기 개구가 밀폐되도록 상기 글러브박스에 결합되는 암부 및 상기 암부로부터 연장되는 파지부를 가지는 글러브와;
상기 암부를 감싸도록 제공되며, 상기 암부의 뒤집어지는 길이를 줄이는 스토퍼를 포함하되,
상기 스토퍼는 상기 암부의 외주면을 감싸는 링 형상으로 제공되고,
상기 스토퍼는 상기 개구가 향하는 방향을 따라 복수 개로 제공되고, 각각의 상기 스토퍼들은 상기 개구가 향하는 방향을 따라 이격되게 위치되며, 상기 개구와 멀어지는 상기 스토퍼일수록 그 직경이 작아지게 제공되고, 서로 인접한 상기 스토퍼들 중 상기 개구와 멀게 위치되는 스토퍼의 외주면은 다른 스토퍼의 내주면보다 큰 직경을 가지도록 제공되는 기판처리장치.
제1항에 있어서,
상기 스토퍼는 상기 하우징의 외부로 빠져나가는 상기 암부의 길이를 줄이는 기판처리장치,
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