KR20200025837A - 도가니 핸들링장치 - Google Patents
도가니 핸들링장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20200025837A KR20200025837A KR1020180103773A KR20180103773A KR20200025837A KR 20200025837 A KR20200025837 A KR 20200025837A KR 1020180103773 A KR1020180103773 A KR 1020180103773A KR 20180103773 A KR20180103773 A KR 20180103773A KR 20200025837 A KR20200025837 A KR 20200025837A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- crucible
- members
- grip
- tip
- handling device
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
-
- H01L51/56—
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B13/00—Single-crystal growth by zone-melting; Refining by zone-melting
- C30B13/32—Mechanisms for moving either the charge or the heater
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
본 발명은, 서로 대향하는 선단의 팁(11)이 이격되거나 접근될 수 있게 구성된 한 쌍의 집게부재(10)와; 집게부재(10) 각각의 팁(11)에 마련되고 서로 짝을 이루어 팁(11)과 함께 서로 이격되거나 접근되면서 도가니(5)를 그립하거나 언그립하는 한 쌍의 그립부재(30)를 포함함으로써, 챔버(1)에 반입되거나 챔버(1)로부터 반출된 도가니(5)를 안전하고 편리하게 핸들링할 수 있는, 도가니 핸들링장치를 제공한다.
Description
본 발명의 실시예는 유기발광다이오드(organic light emitting diode, OLED) 제조장비의 도가니를 핸들링하는 데 이용되는 핸들링장치에 관한 것이다.
유기발광다이오드는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계발광현상을 이용하여 스스로 빛을 내는 자체발광형 유기물질이다. 이러한 유기발광다이오드에 의한 디스플레이는, 낮은 전압에서 구동이 가능하고 박형으로 만들 수 있으며 넓은 시야각과 신속한 응답속도를 가지고 있어, LCD(liquid crystal display)와는 달리, 바로 옆에서 보아도 화질이 변하지 않고 화면에 잔상이 남지 않는다. 또, LCD 이상의 화질과 유리한 가격 경쟁력도 가지고 있어, 현재 디스플레이 시장을 높은 비율로 점유하고 있다.
이와 같은 유기발광다이오드를 생산하려면, 내부공간을 진공분위기로 조성할 수 있는 챔버(chamber)를 포함하는 유기발광다이오드 제조장비가 요구된다. 도 1은 유기발광다이오드 제조장비의 하나인 박막증착장비를 나타내는 구성도이다. 도 1을 참조하면, 박막증착장비는, 내부에 증착실(2)이 형성된 챔버(1), 증착실(2)을 진공분위기로 조성하는 배기유닛(도시되지 않음), 증착실(2)로 반입된 기판을 지지하는 지지유닛(도시되지 않음), 그리고 지지유닛에 의하여 지지된 기판에 증착물질을 제공하는 적어도 하나 이상의 증발원(evaporation source, 3)을 포함한다.
증발원(3)은, 상부에 개구(5)가 형성된 적어도 하나 이상의 도가니(4), 그리고 도가니(4)의 내부에 담긴 증착물질을 증발시키는 가열유닛(6)을 포함한다. 가열유닛(6)에 의하여 증발된 도가니(4) 내 증착물질은, 도가니(4)의 개구(5)를 통하여 방출되고, 지지유닛에 의하여 지지된 기판 쪽으로 제공되어 기판의 증착면에 박막을 형성한다.
가열유닛(6)은 도가니 하우징(crucible housing, 7)과 히터(heater, 8)를 가진다. 도가니 하우징(7)은, 상부에 도가니 투입구가 형성되고, 증착실(2)에서 도가니 투입구를 통하여 도가니(4)를 내부로 투입하거나 투입된 도가니(4)를 분리할 수 있게 구성된다.
챔버(1)에는 박막증착공정 수행 시 작업자가 증착실(2)의 진공분위기를 파괴함에 없이 공정에 개입할 수 있게 글러브박스(glove box, 9)가 연결된다. 글러브박스(9)는 사람의 손 형상으로 형성된 글러브(도시되지 않음)를 포함한다. 작업자는, 글러브를 이용하여, 증착물질 충전 등을 위하여 챔버(1) 내 도가니(4)를 도가니 하우징(7)으로부터 분리하거나 도가니 하우징(7)에 다시 투입할 수 있다.
그런데, 도가니(4)가 글러브박스(9)로부터 먼 거리에 배치되면, 작업자가 글러브를 이용하여 먼 거리의 도가니(4)를 분리하는 등 핸들링하기가 매우 어렵고 힘든 문제점이 있다.
또한, 도가니(4)가 고온으로 가열되기 때문에, 글러브를 이용하여 도가니(4)를 핸들링하더라도, 작업자의 손에 도가니(4)의 고온으로 인하여 화상 등의 손상이 가하여질 수 있다.
본 발명의 실시예는 도가니에 대한 핸들링 안전성 및 편의성 향상 면에서 보다 유리한 도가니 핸들링장치를 제공하는 데 목적이 있다.
해결하고자 하는 과제는 이에 제한되지 않고, 언급되지 않은 기타 과제는 통상의 기술자라면 이하의 기재로부터 명확히 이해할 수 있을 것이다.
본 발명의 실시예에 따르면, 좌우에서 서로 대향하는 선단의 팁(tip)이 이격되거나 접근될 수 있게 구성된 한 쌍의 집게부재와; 상기 집게부재 각각의 팁에 마련되고 서로 짝을 이루어 상기 팁과 함께 서로 이격되거나 서로 접근되면서 유기발광다이오드 제조장비의 도가니를 그립(grip)하거나 언그립(ungrip)하는 한 쌍의 그립부재를 포함하는, 도가니 핸들링장치가 제공될 수 있다.
상기 한 쌍의 집게부재는 회전방향에 따라 상기 팁이 이격되거나 접근되도록 축을 중심으로 회전 가능하게 연결될 수 있다.
상기 집게부재 각각은, 상기 팁을 가진 길이방향 한쪽의 암(arm)과; 상기 암으로부터 연장된 길이방향 다른 쪽의 핸들(handle)을 포함하고, 길이방향 한쪽의 끝과 다른 쪽의 끝 사이가 상기 축으로 서로 연결될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 도가니 핸들링장치는, 상기 한 쌍의 집게부재 사이에서 탄성력에 의하여 상기 팁을 서로 이격된 상태 또는 서로 접근된 상태로 유지시키는 탄성부재를 더 포함할 수 있다.
상기 그립부재 각각은, 서로 접근된 상태로 상기 도가니의 개구를 통하여 상기 도가니로 투입된 후 서로 이격되어 상기 도가니를 그립하도록 상기 도가니의 내면에 밀착되는 그리퍼핸드(gripper hand)를 포함할 수 있다.
상기 그립부재 각각은, 상기 팁과 상기 그리퍼핸드 사이에 개재되고 상기 그리퍼핸드가 서로 접근된 상태로 상기 도가니로 투입되는 때 상기 도가니의 개구 쪽에 걸리는 그리퍼바디(gripper body)를 더 포함할 수 있다.
상기 그립부재 각각은 상기 그리퍼핸드와 상기 그리퍼바디가 자기 윤활성 재질(self-lubricating material)을 포함하여 이루어질 수 있다.
상기 그립부재 각각의 상기 그리퍼핸드는 서로 이격되어 상기 도가니의 내면에 밀착되는 접촉면이 곡면으로 형성될 수 있다.
상기 그립부재 각각은 상기 집게부재 각각의 팁에서 하측방향으로 연장된 구조를 가지도록 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 좌우에서 서로 대향하는 선단의 팁이 이격되거나 접근될 수 있게 구성된 한 쌍의 집게부재와; 상기 집게부재 각각의 팁에 마련되고 서로 짝을 이루어 상기 팁과 함께 서로 이격되거나 서로 접근되며, 서로 접근된 상태로 유기발광다이오드 제조장비의 도가니로 투입된 후 서로 이격되어 상기 도가니를 그립하도록 상기 도가니의 내면에 밀착되는 한 쌍의 그립부재와; 상기 한 쌍의 그립부재를 상기 도가니의 내면에 밀착된 상태로 유지시키는 그립 유지수단을 포함하는, 도가니 핸들링장치가 제공될 수 있다.
상기 그립 유지수단은, 상기 한 쌍의 집게부재 사이에서 탄성력에 의하여 상기 팁을 서로 이격시키는 탄성부재를 포함할 수 있다.
과제의 해결 수단은 이하에서 설명하는 실시예, 도면 등을 통하여 보다 구체적이고 명확하게 될 것이다. 또한, 이하에서는 언급한 해결 수단 이외의 다양한 해결 수단이 추가로 제시될 수 있다.
본 발명의 실시예에 의하면, 글러브박스로부터 먼 거리에 배치되거나 고온으로 가열된 챔버 내 도가니에 대하여 글러브박스를 통하여 쉽고 안전하게 직접 핸들링할 수 있다. 물론, 챔버로부터 반출된 도가니도 안전하게 핸들링할 수 있다.
또한, 축을 중심으로 한 쌍의 집게부재를 회전시켜 선단의 팁을 서로 이격시키거나 접근시키면 한 쌍의 그립부재가 그립 작동, 언그립 작동을 하기 때문에, 사용자가 글러브박스의 글러브를 착용한 상태로 용이하게 조작할 수 있다.
또, 그립부재가 탄성부재에 의하여 서로 이격된 상태 또는 서로 접근된 상태로 유지되기 때문에, 도가니에 대한 그립 상태를 편리하게 유지할 수 있다.
도 1은 일반적인 유기발광다이오드 제조장비(박막증착장비)가 도시된 구성도이다.
도 2 내지 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 도가니 핸들링장치의 구성 및 작동이 도시된 사시도로, 도 2 및 도 3은 한 쌍의 그립부재가 서로 접근된 상태를 나타내고, 도 4는 한 쌍의 그립부재가 서로 이격된 상태를 나타낸다.
도 5 및 도 6은 도 2 내지 도 4에 도시된 한 쌍의 그립부재에 의하여 도가니를 그립하는 과정을 나타낸다.
도 2 내지 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 도가니 핸들링장치의 구성 및 작동이 도시된 사시도로, 도 2 및 도 3은 한 쌍의 그립부재가 서로 접근된 상태를 나타내고, 도 4는 한 쌍의 그립부재가 서로 이격된 상태를 나타낸다.
도 5 및 도 6은 도 2 내지 도 4에 도시된 한 쌍의 그립부재에 의하여 도가니를 그립하는 과정을 나타낸다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다. 참고로, 본 발명의 실시예를 설명하기 위하여 참조하는 도면에서 구성요소의 크기나 선의 두께 등은 이해의 편의상 다소 과장되게 표현되어 있을 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예를 설명하는 데 사용되는 용어는 주로 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의한 것이므로 사용자, 운용자의 의도, 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 용어에 대해서는 본 명세서의 전반에 걸친 내용을 토대로 하여 해석하는 것이 마땅하겠다.
본 발명의 실시예에 따른 도가니 핸들링장치는, 박막증착장비와 같은 유기발광다이오드 제조장비에 있어서, 작업자가 챔버(도 1의 도면부호 1 참조) 내 도가니(도 1의 도면부호 4 참조)를 글러브박스(도 1의 도면부호 9 참조)의 글러브를 이용하여 핸들링하는 데 이용될 수도 있고, 작업자가 챔버로부터 반출된 도가니를 직접 핸들링하는 데 이용될 수도 있다.
본 발명의 실시예에 따른 도가니 핸들링장치의 구성 및 작동이 도 2 내지 도 4에 도시되어 있다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 도가니 핸들링장치는, 작업자에 의하여 수동으로 조작되는 한 쌍의 집게부재(10)를 포함한다.
한 쌍의 집게부재(10)는, 좌우방향에서 서로 대향하는 선단의 팁(11)을 가지는바, 선단의 팁(11)이 서로 이격되거나 접근될 수 있게 구성된다. 구체적으로, 한 쌍의 집게부재(10)는, 상하방향으로 배치된 축(20)을 중심으로 회전 가능하게 서로 연결되어, 회전방향에 따라 팁(11)이 서로 이격되거나 접근되는 구성을 가진다.
집게부재(10)들은 좌우방향으로 서로 이웃하도록 배치된다. 좌, 우측의 집게부재(10) 각각은, 전후방향으로 긴 형상으로 형성되어 일정한 길이를 가지는바, 길이방향 한쪽의 집게 암(12)과 길이방향 다른 쪽의 집게 핸들(13)을 포함한다. 선단의 팁(11)은 집게 암(12)에 배치된다. 집게 핸들(13)은 집게 암(12)의 팁(11) 맞은편으로부터 연장된다. 집게 암(12)과 집게 핸들(13)은 일체형일 수 있다.
이와 같은 집게부재(10) 각각은 서로 대향하는 부분에 축(20)에 의하여 서로 연결되는 연결체(14)가 마련된다. 이들 연결체(14) 각각은 서로 대향하는 방향으로 돌출된 형상으로 형성되고 서로 중첩하도록 배치된다. 서로 중첩된 연결부재(14)에는 축(20)이 관통되고, 축(20)은 이렇게 관통된 상태로 위치가 고정된다.
연결체(14)는 집게부재(10)와 일체형일 수 있다. 연결체(14)는 집게부재(10)의 길이방향 한쪽 단부와 길이방향 다른 쪽 단부 사이에 배치된다. 구체적으로, 연결체(14)는, 집게 암(12)과 집게 핸들(13) 사이에 배치될 수도 있고, 집게부재(10)에서 집게 암(12) 쪽 또는 집게 핸들(13) 쪽으로 더 치우치게 배치될 수도 있다.
살펴본 바와 같은 한 쌍의 집게부재(10)는, 축(20)을 중심으로 회전되어, 집게 핸들(13)이 서로 접근되면, 집게 암(12)과 함께 선단의 팁(11)이 서로 이격된다(도 4 참조). 물론, 집게 핸들(13)이 서로 이격되면, 팁(11)은 서로 접근된다(도 2 및 도 3 참조).
참고로, 한 쌍의 집게부재(10)는, 사용성이나 편리성을 고려할 때, 사용자가 좌, 우측의 집게 핸들(13)을 한 손으로 움켜쥐는 등의 조작을 수행할 수 있게 구성하는 것이 바람직하다.
본 발명의 실시예에 따른 도가니 핸들링장치는, 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 집게부재(10)에 대한 사용자의 조작에 따라 유기발광다이오드 제조장비의 도가니(4)를 핸들링 가능하도록 그립하거나 언그립하는 한 쌍의 그립부재(30)를 더 포함한다. 구체적으로, 그립부재(30)들은, 선단의 팁(11)에 각각 마련되어, 선단의 팁(11)과 함께 서로 이격되거나 접근되면서 도가니(4)를 그립하거나 언그립한다.
이와 같은 그립부재(30) 각각은, 서로 접근된 상태로 도가니(4)의 상부에 형성된 개구(5)를 통하여 도가니(4)의 내부로 투입(도 5 참조)된 후 사용자의 조작에 의하여 서로 이격되면서 도가니(4)의 내면(내벽)에 밀착(도 6 참조)되어 도가니(4)를 그립하는 그리퍼핸드(31)를 포함한다. 물론, 이들 그리퍼핸드(31)는, 집게 핸들(13)이 서로 이격되면 팁(11)과 함께 서로 접근되고, 집게 핸들(13)이 서로 접근되면 팁(11)과 함께 서로 이격된다.
그립부재(30) 각각은, 개구(5)를 통하여 도가니(4)의 내부로 그리퍼핸드(31)들을 투입하는 작업의 용이성 등을 고려할 때, 집게부재(10) 각각의 팁(11)에서 하측방향으로 연장된 구조를 가지도록 배치하는 것이 바람직하다.
또한, 그립부재(30) 각각은, 팁(11)과 그리퍼핸드(31) 사이에 개재되고 그리퍼핸드(31)가 서로 접근된 상태로 도가니(4)의 내부로 투입되는 때 도가니(4)의 개구(5) 주위에 걸리어 그리퍼핸드(31)의 투입 깊이를 제한하는 그리퍼바디(32)를 더 포함한다.
여기에서, 그리퍼핸드(31)들과 그리퍼바디(32)들은, 도가니(4)에 접촉 시 도가니(4)를 자칫 손상시킬 수 있으므로, 마찰 저항이 작은 자기 윤활성 재질을 포함하여 이루어진다. 예를 들어, 그리퍼핸드(31)들과 그리퍼바디(32)들은 자기 윤활성을 가지며 내구성 및 내열성이 우수하고 열전도성이 낮은 PEEK(폴리에테르에테르케톤, poly ether ether ketone) 등으로 이루어질 수 있다.
그리퍼핸드(31)들과 그리퍼바디(32)들을 PEEK와 같이 자기 윤활성 및 내열성을 가지며 열전도성이 낮은 재질로 이루면, 고온으로 가열된 도가니(4)를 핸들링하는 때, 도가니(4)가 그리퍼핸드(31)들이나 그리퍼바디(32)들과의 접촉에 의하여 손상되는 문제점 및 그리퍼핸드(31)들이나 그리퍼바디(32)들이 고열에 의하여 손상되는 문제점을 방지할 수 있고, 도가니(4)의 고열이 집게부재(10)들로 전달되어 사용자에 의하여 수동으로 조작되는 집게부재(10)들이 고온으로 가열되는 것을 방지할 수 있다.
도가니(4)가 그립부재(30)들에 의한 그립 시 손상되는 문제점을 보다 확실하게 방지하기 위하여, 그리퍼핸드(31)들은 서로 이격되어 도가니(4)의 내면에 밀착되는 접촉면이 곡면으로 형성된다. 일례로, 그리퍼핸드(31)들은 접촉면의 횡단면이 호 형상으로 형성되어, 그리퍼핸드(31)들의 접촉면은 곡면으로 형성된다.
본 발명의 실시예에 따른 도가니 핸들링장치는 적어도 하나 이상의 탄성부재(40)를 더 포함한다. 탄성부재(40)는 한 쌍의 집게부재(10) 사이에서 탄성력에 의하여 선단의 팁(11)을 서로 접근된 상태로 유지시킨다. 예를 들어, 탄성부재(40)는 집게 암(12)들 사이 또는 집게 핸들(13)들 사이에 배치되고 집게 암(12)들 또는 집게 핸들(13)들에 양쪽 단부가 각각 지지된 압축 코일스프링일 수 있다.
이와 같은 탄성부재(40)에 의하면, 본 발명의 실시예에 따른 도가니 핸들링장치는, 사용자가 집게 핸들(13)에 힘을 가하여 집게 핸들(13)을 서로 이격시킨 다음 집게 핸들(13)에 가한 힘을 제거하면, 집게 암(12)이 탄성부재(40)에 의하여 서로 접근되고, 아울러 그리퍼핸드(31)도 서로 접근되므로, 사용자가 보다 편하게 조작할 수 있다.
탄성부재(40)는, 앞서 설명한 바와 달리, 한 쌍의 집게부재(10) 사이에서 탄성력에 의하여 선단의 팁(11)을 서로 이격된 상태로 유지시키는 역할을 수행하도록 구성될 수도 있다. 이러한 경우, 탄성부재(40)는 집게 암(12)들 사이 또는 집게 핸들(13)들 사이에 배치되고 집게 암(12)들 또는 집게 핸들(13)들에 양쪽 단부가 각각 지지된 인장 코일스프링일 수 있다.
선단의 팁(11)을 서로 이격된 상태로 유지시키는 탄성부재(40)에 의하면, 본 발명의 실시예에 따른 도가니 핸들링장치는, 평상시 그리퍼핸드(31)가 서로 이격된 상태로 유지되고, 집게 핸들(13)에 힘을 가하여 집게 핸들(13)을 서로 이격시키면, 그리퍼핸드(31)가 서로 접근된다. 이에, 이 타입은, 그리퍼핸드(31)를 서로 접근시킨 상태로 도가니(4)의 내부로 투입한 후 집게 핸들(13)에 가한 힘을 제거하면, 그리퍼핸드(31)가 탄성부재(40)에 의하여 이격되면서 도가니(4)를 그립한 상태로 유지된다.
이상에서는 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 개시된 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 한정되지 않으며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 이내에서 통상의 기술자에 의하여 다양하게 변형될 수 있다.
예를 들면, 위에서는 그리퍼핸드(31)가 서로 접근된 상태로 도가니(4)의 내부로 투입된 후 사용자의 조작에 의하여 서로 이격되면서 도가니(4)의 내면에 밀착되어 도가니(4)를 그립하는 것으로 설명하였으나, 도가니(4)의 그립은 서로 이격된 그리퍼핸드(31) 사이에 도가니(4)를 위치시킨 후 그리퍼핸드(31)를 서로 접근시켜서 도가니(4)의 외면에 밀착시키는 방식으로 이루어질 수도 있다.
이와 같이 그리퍼핸드(31)들이 도가니(4)의 외면에 밀착되어 도가니(4)를 그립하는 경우에는, 탄성부재(40)가 선단의 팁(11)을 서로 접근된 상태로 유지시키도록 구성되면, 도가니(4)에 대한 그립 상태가 탄성부재(40)에 의하여 유지된다. 물론, 그리퍼핸드(31)들에서 도가니(4)의 외면에 밀착되는 접촉면은 곡면으로 형성하는 것이 도가니(4)의 손상 방지 면에서 바람직하다.
1 : 챔버
4 : 도가니
5 : 개구
9 : 글러브박스
10 : 집게부재
11 : 팁
12 : 집게 암
13 : 집게 핸들
20 : 축
30 : 그립부재
31 : 그리퍼핸드
32 : 그리퍼바디
40 : 탄성부재
4 : 도가니
5 : 개구
9 : 글러브박스
10 : 집게부재
11 : 팁
12 : 집게 암
13 : 집게 핸들
20 : 축
30 : 그립부재
31 : 그리퍼핸드
32 : 그리퍼바디
40 : 탄성부재
Claims (11)
- 좌우방향에서 서로 대향하는 선단의 팁이 이격되거나 접근될 수 있게 구성된 한 쌍의 집게부재와;
상기 집게부재 각각의 팁에 마련되고 서로 짝을 이루어 상기 팁과 함께 서로 이격되거나 서로 접근되면서 유기발광다이오드 제조장비의 도가니를 그립하거나 언그립하는 한 쌍의 그립부재를 포함하는,
도가니 핸들링장치. - 청구항 1에 있어서,
상기 한 쌍의 집게부재는 회전방향에 따라 상기 팁이 이격되거나 접근되도록 축을 중심으로 회전 가능하게 연결된,
도가니 핸들링장치. - 청구항 2에 있어서,
상기 집게부재 각각은, 상기 팁을 가진 길이방향 한쪽의 집게 암과; 상기 집게 암으로부터 연장된 길이방향 다른 쪽의 집게 핸들을 포함하고, 길이방향 한쪽의 끝과 다른 쪽의 끝 사이가 상기 축으로 서로 연결된,
도가니 핸들링장치. - 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,
상기 한 쌍의 집게부재 사이에서 탄성력에 의하여 상기 팁을 서로 이격된 상태 또는 서로 접근된 상태로 유지시키는 탄성부재를 더 포함하는,
도가니 핸들링장치. - 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 하나에 있어서,
상기 그립부재 각각은, 서로 접근된 상태로 상기 도가니의 개구를 통하여 상기 도가니로 투입된 후 서로 이격되어 상기 도가니를 그립하도록 상기 도가니의 내면에 밀착되는 그리퍼핸드를 포함하는,
도가니 핸들링장치. - 청구항 5에 있어서,
상기 그립부재 각각은, 상기 팁과 상기 그리퍼핸드 사이에 개재되고 상기 그리퍼핸드가 서로 접근된 상태로 상기 도가니로 투입되는 때 상기 도가니의 개구 쪽에 걸리는 그리퍼바디를 더 포함하는,
도가니 핸들링장치. - 청구항 6에 있어서,
상기 그립부재 각각은 상기 그리퍼핸드와 상기 그리퍼바디가 자기 윤활성 재질을 포함하여 이루어진,
도가니 핸들링장치. - 청구항 5에 있어서,
상기 그립부재 각각의 상기 그리퍼핸드는 서로 이격되어 상기 도가니의 내면에 밀착되는 접촉면이 곡면으로 형성된,
도가니 핸들링장치. - 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 하나에 있어서,
상기 그립부재 각각은 상기 집게부재 각각의 팁에서 하측방향으로 연장된 구조를 가지도록 배치된,
도가니 핸들링장치. - 좌우방향에서 서로 대향하는 선단의 팁이 이격되거나 접근될 수 있게 구성된 한 쌍의 집게부재와;
상기 집게부재 각각의 팁에 마련되고 서로 짝을 이루어 상기 팁과 함께 서로 이격되거나 서로 접근되며, 서로 접근된 상태로 유기발광다이오드 제조장비의 도가니로 투입된 후 서로 이격되어 상기 도가니를 그립하도록 상기 도가니의 내면에 밀착되는 한 쌍의 그립부재와;
상기 한 쌍의 그립부재를 상기 도가니의 내면에 밀착된 상태로 유지시키는 그립 유지수단을 포함하는,
도가니 핸들링장치. - 청구항 10에 있어서,
상기 그립 유지수단은, 상기 한 쌍의 집게부재 사이에서 탄성력에 의하여 상기 팁을 서로 이격시키는 탄성부재를 포함하는,
도가니 핸들링장치.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020180103773A KR20200025837A (ko) | 2018-08-31 | 2018-08-31 | 도가니 핸들링장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020180103773A KR20200025837A (ko) | 2018-08-31 | 2018-08-31 | 도가니 핸들링장치 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20200025837A true KR20200025837A (ko) | 2020-03-10 |
Family
ID=69800906
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020180103773A KR20200025837A (ko) | 2018-08-31 | 2018-08-31 | 도가니 핸들링장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR20200025837A (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN116117707A (zh) * | 2022-12-12 | 2023-05-16 | 嘉庚创新实验室 | 一种坩埚钳及其使用方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20140050864A (ko) | 2012-10-22 | 2014-04-30 | 세메스 주식회사 | 기판처리장치 |
KR20150110872A (ko) | 2014-03-20 | 2015-10-05 | 엘아이지인베니아 주식회사 | 유기발광다이오드 소자 시편 제조장비 |
-
2018
- 2018-08-31 KR KR1020180103773A patent/KR20200025837A/ko unknown
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20140050864A (ko) | 2012-10-22 | 2014-04-30 | 세메스 주식회사 | 기판처리장치 |
KR20150110872A (ko) | 2014-03-20 | 2015-10-05 | 엘아이지인베니아 주식회사 | 유기발광다이오드 소자 시편 제조장비 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN116117707A (zh) * | 2022-12-12 | 2023-05-16 | 嘉庚创新实验室 | 一种坩埚钳及其使用方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR20200025837A (ko) | 도가니 핸들링장치 | |
US8262144B2 (en) | Tweezers | |
US2397823A (en) | Forceps | |
JP2019500514A (ja) | 手袋装着システム | |
BR102014011185A2 (pt) | Prendedor, cabeça de torção e aparelho de torção | |
TW201213070A (en) | Industrial robot | |
KR101410882B1 (ko) | 도가니 오염 방지를 위한 유기물 증착 소스 장치 | |
TW200938472A (en) | Apparatus for transferring sheet-type objects | |
CN106104250B (zh) | 低温存储系统 | |
US11181692B2 (en) | Reinforcing apparatus for optical fiber fusion-splicing part and fusion splicer provided with the same | |
US20120225153A1 (en) | Quick heat ice cream scoop | |
JPS6276515A (ja) | 基体移動装置 | |
TWI379451B (en) | Crucible heating apparatus and deposition apparatus including the same | |
JP6457744B2 (ja) | 顕微鏡装置 | |
WO2016002243A1 (ja) | 内視鏡 | |
FR2656589A1 (fr) | Etiqueteuse. | |
CN205254825U (zh) | 坩埚钳 | |
US4173365A (en) | Clamping device for transporting specimen plates | |
CN108420465B (zh) | 样本转移装置 | |
JP4163181B2 (ja) | 補強スリーブ加熱装置 | |
JPH01240249A (ja) | 円板状物品のつかみ装置 | |
CN112722680A (zh) | 夹取装置 | |
US776591A (en) | Clinker-catcher. | |
JP7224960B2 (ja) | るつぼ支持具 | |
ES2951330T3 (es) | Dispositivo de peinado para el cabello |