KR20150110872A

KR20150110872A - 유기발광다이오드 소자 시편 제조장비

Info

Publication number: KR20150110872A
Application number: KR1020140032773A
Authority: KR
Inventors: 안민형
Original assignee: 엘아이지인베니아 주식회사
Priority date: 2014-03-20
Filing date: 2014-03-20
Publication date: 2015-10-05

Abstract

본 발명은, 제1증착실과 제2증착실 및 제1과 제2증착실을 연통시키는 게이트가 구비된 증착챔버와; 연통된 제1과 제2증착실을 진공분위기로 조성하는 배기장치와; 제1, 제2증착실에서 각각 기판을 지지하는 제1척킹장치 및 제2척킹장치와; 제1증착실에 유기물을 공급하는 복수의 제1도가니장치 및 제2증착실에 메탈을 공급하는 복수의 제2도가니장치와; 증착챔버에 연결되며 봉지공정(encapsulation)을 위한 봉지실 및 작업자가 봉지공정에 참여 가능하게 하는 글러브가 구비된 글러브박스를 포함하는 유기발광다이오드 소자 시편 제조장비를 제공한다.

Description

유기발광다이오드 소자 시편 제조장비 {Apparatus for Manufacturing OLED Device Specimen}

본 발명은 유기발광다이오드(organic light emitting diode) 소자에 대한 광학적 특성, 전기적 특성 등의 연구에 이용할 시편(샘플)을 만드는 제조장비에 관한 것이다.

형광성 유기물에 전류가 흐르면 발광하는 현상을 이용하여 빛을 내는 유기발광다이오드(OLED) 소자는 고화질, 단순한 제조과정 등으로 인하여 차세대 디스플레이로 크게 주목 받고 있다. 또, 최근 들어서는 백색 유기발광다이오드(WOLED) 소자를 이용하는 OLED 조명분야도 새롭게 주목 받고 있다.

이와 같은 OLED 소자는, 기판에 유기물을 증착하는 유기물 증착공정 및 메탈을 증착하는 메탈 증착공정을 순차적으로 거친 후, 산소나 수분의 침투를 방지하는 봉지공정(encapsulation)을 거쳐 제조된다.

OLED 소자의 특성을 결정하는 주요 인자로는 증착공정에 이용되는 유기물 및 메탈 등이 있다. 즉, 어떤 종류의 유기물 및 메탈을 이용하여 증착공정을 수행하느냐에 따라 OLED 소자의 광학적 특성, 전기적 특성 등이 결정된다. 그러나, 현재 이러한 OLED 소자의 특성을 연구, 시험하기 위한 OLED 소자 시편(샘플)을 저비용으로 간단하게 제조하기 위한 장비가 전무한바, 이에 대한 개선책 마련이 시급히 요구되는 실정이다.

본 발명의 실시예는 OLED 소자의 광학적 특성, 전기적 특성 등을 연구, 시험하기 시편을 보다 용이하게 만들 수 있는 제조장비를 제공하는 데 목적이 있다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 기타 과제는 통상의 기술자라면 이하의 기재로부터 명확히 이해할 수 있을 것이다.

본 발명의 실시예에 따르면, 내부가 구획부재에 의하여 제1증착실과 제2증착실로 구획되고 상기 구획부재에 상기 제1증착실과 상기 제2증착실을 연통시키는 게이트가 마련된 증착챔버와; 상기 연통된 제1증착실과 제2증착실을 진공분위기로 조성하는 배기장치와; 상기 제1증착실, 제2증착실에서 각각 기판을 지지하는 제1척킹장치 및 제2척킹장치와; 상기 제1증착실에 증착물질로서 유기물을 공급하며 개별 작동되는 복수의 제1도가니장치 및 상기 제2증착실에 증착물질로서 메탈을 공급하며 개별 작동되는 복수의 제2도가니장치와; 상기 증착챔버에 연결되고 내부에 봉지공정(encapsulation)을 위한 봉지실이 마련되며 작업자가 상기 봉지공정에 참여 가능하게 하는 글러브가 구비된 글러브박스를 포함하는, 유기발광다이오드 소자 시편 제조장비가 제공될 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드 소자 시편 제조장비는 상기 게이트를 개폐하는 개폐장치를 더 포함할 수 있다.

상기 증착챔버와 상기 글러브박스 사이에는 로드락챔버가 설치되고, 상기 로드락챔버는 상기 증착챔버에 상기 제2증착실과 연통 가능하도록 연결될 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드 소자 시편 제조장비는 상기 로드락챔버를 통하여 기판을 반입, 반출하고 상기 제1증착실과 제2증착실 간에 상기 게이트를 통하여 기판을 운반하는 기판 반송장치를 더 포함할 수 있다.

상기 제1증착실의 하측에는 제1소스실이 마련되고, 상기 복수의 제1도가니장치는 상기 제1소스실에 위치되며, 상기 제1증착실과 상기 제1소스실 사이에는 상기 제1소스실로부터의 증착물질으로서 유기물을 상기 제1척킹장치에 의하여 지지된 기판에 분출하는 제1분출기구가 마련될 수 있다. 아울러, 상기 제2증착실의 하측에는 제2소스실이 마련되고, 상기 복수의 제2도가니장치는 상기 제2소스실에 위치되며, 상기 제2증착실과 상기 제2소스실 사이에는 상기 제2소스실로부터의 증착물질으로서 메탈을 상기 제2척킹장치에 의하여 지지된 기판에 분출하는 제2분출기구가 마련될 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드 소자 시편 제조장비는, 상기 봉지실에 제1위치와 제2위치 간을 왕복이동 가능하게 설치된 작업대와; 상기 제2위치 상에 설치된 경화기를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드 소자 시편 제조장비는 상기 봉지실에 질소가스를 공급하는 질소가스 공급장치를 더 포함할 수 있다.

과제의 해결 수단은 이하에서 설명하는 실시예, 도면 등을 통하여 보다 구체적이고 명확하게 될 것이다. 또한, 이하에서는 언급한 해결 수단 이외의 다양한 해결 수단이 추가로 제시될 수 있다.

본 발명의 실시예에 의하면, 단일의 배기장치를 이용하여 제1과 제2의 두 증착실을 함께 진공분위기로 조성할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 실시예는 장비의 구조를 단순화할 수 있고 장비의 제조비용을 절감할 수 있다.

또한, 증착챔버의 내부를 제1과 제2증착실로 나누는 구획부재인 격벽에 마련된 게이트가 셔터에 의하여 개폐되기 때문에, 유기물이 이용되는 제1증착실과 메탈이 이용되는 제2증착실 간의 오염을 방지할 수 있다.

또한, 증착챔버에서 증착공정이 완료된 기판이 로드락챔버를 거쳐 글러브박스로 이송되기 때문에, 증착공정이 완료된 기판이 대기 중에 노출되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예는, 유기물을 공급하는 복수의 제1도가니장치와 메탈을 공급하는 복수의 제2도가니장치를 포함하고, 이들 도가니장치가 모두 개별 작동(제어)되기 때문에, 보다 다양한 유기발광다이오드 소자 시편(샘플)을 제조하여 연구, 시험할 수 있다.

도 1, 2는 본 발명의 실시예에 따른 OLED 소자 시편 제조장비가 도시된 정면도 및 평면도이다.
도 3은 도 1, 2에 도시된 증착챔버를 나타내는 정단면도이다.
도 4는 도 3의 A-A선 단면도이다.
도 5는 도 2에 도시된 로드락챔버 및 제1반송장치를 나타내는 사시도이다.
도 6은 도 1, 2에 도시된 글러브박스를 나타내는 사시도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다. 참고로, 본 발명의 실시예를 설명하기 위하여 참조하는 도면에 있어서 구성요소의 크기나 선의 두께 등은 이해의 편의상 과장되게 표현되어 있을 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예를 설명하는 데 사용되는 용어는 주로 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의한 것이므로 사용자, 운용자의 의도, 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 용어에 대해서는 본 명세서의 전반에 걸친 내용을 토대로 하여 해석하는 것이 마땅하겠다.

본 발명의 실시예에 따른 OLED 소자 시편 제조장비는 OLED 소자의 특성을 연구하고 시험하기 위한 시편을 만드는 데 이용되는 것으로, OLED 소자는 WOLED 소자를 포함하는 개념일 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 OLED 소자 시편 제조장비가 도 1 내지 도 6에 도시되어 있다.

도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 OLED 소자 시편 제조장비는, 내부에 증착공정을 위한 독립된 제1증착실(102)과 제2증착실(104)이 마련된 증착챔버(deposition chamber, 100), 증착챔버(100)에 설치된 배기장치(200), 제1 및 제2증착실(102, 104)에서 각각 기판을 지지하는 제1척킹장치(310) 및 제2척킹장치(350), 제1척킹장치(310)에 의하여 지지된 기판의 증착면에 증착할 증착물질로서 유기물을 제1증착실(102)에 공급하는 복수의 제1도가니장치(410) 및 제2척킹장치(350)에 의하여 지지된 기판의 증착면에 증착할 증착물질로서 메탈(metal)을 공급하는 복수의 제2도가니장치(450)를 포함한다.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 OLED 소자 시편 제조장비는, 증착챔버(100)에 연결된 로드락챔버(load lock chamber, 500), 로드락챔버(500)에 연결되며 내부에 봉지공정(encapsulation)을 위한 봉지실(602)이 마련된 글러브박스(glove box, 600), 로드락챔버(500)를 통하여 제1, 제2증착실(102, 104)에 기판을 반입하거나 반입된 기판을 반출하는 제1반송장치(710), 로드락챔버(500)를 통하여 봉지실(602)에 기판을 반입하는 제2반송장치(750)를 더 포함한다.

증착챔버(100)는, 증착챔버 본체(110) 및 증착챔버 본체(110)를 하측에서 지지하는 베이스 구조물(120)을 포함한다. 도 3을 참조하면, 증착챔버 본체(110)의 내부에는 증착챔버 본체(110)의 내부를 좌우로 구획하는 수직구획부재인 격벽(130)이 상하방향으로 세워진다. 격벽(130)에 의하여 구획된 증착챔버 본체(110)의 좌측공간 및 우측공간은 수평구획부재인 제1, 제2의 두 미들플레이트(middle plate, 140, 150)에 의하여 각각 상하의 두 공간으로 구획된다.

격벽(130) 및 제1, 제2미들플레이트(140, 150)에 의하여 구획된 증착챔버 본체(110)에 있어서, 그 내부의 좌측 상부공간과 하부공간은 각각 제1증착실(102)과 제1소스실(106)이 되고, 그 내부의 우측 상부공간과 하부공간은 각각 제2증착실(104)과 제2소스실(108)이 된다.

격벽(130)에는 제1증착실(102)과 제2증착실(104)을 연통시키는 중앙 게이트(central gate, 132)가 형성된다. 중앙 게이트(132)는 기판을 제1반송장치(710)에 의하여 제1증착실(102)로부터 제2증착실(104)로 이송하거나 제2증착실(104)로부터 제1증착실(102)로 이송할 수 있게 마련된다. 중앙 게이트(132)는 개폐장치인 셔터(shutter, 250)에 의하여 개폐된다.

제1, 제2미들플레이트(140, 150)에는 제1증착실(102)과 제1소스실(106)을 연통시키고 제2증착실(104)과 제2소스실(108)을 연통시키는 개구(142, 152)가 적어도 하나씩 마련된다.

배기장치(200)는 진공펌프(vacuum pump)를 포함한다. 배기장치(200)는 증착챔버 본체(110)의 내부에 진공펌프의 작용력이 가해질 수 있게 연결된다.

제1과 제2증착실(102, 104)은 셔터(250)가 열리면 중앙 게이트(132)에 의하여 연통되고, 제1증착실(102)과 제1소스실(106) 및 제2증착실(104)과 제2소스실(108)은 개구(142, 152)에 의하여 연통되므로, 증착챔버 본체(110)의 내부는 단일의 배기장치(200)에 의하여 진공분위기로 조성될 수 있다.

제1척킹장치(310)는 제1증착실(102)의 상부에 배치되고, 제2척킹장치(350)는 제2증착실(104)의 상부에 배치된다. 제1 및 제2척킹장치(310, 350)는 기판의 증착면이 하측을 향하도록 기판을 지지한다. 제1 및 제2척킹장치(310, 350)는 흡입력(부압), 점착력, 기구적 압박력 등을 이용하여 기판을 척킹하도록 구성될 수 있다.

제1 및 제2척킹장치(310, 350)는 제1, 제2구동장치(320, 360)에 의하여 각각 상하방향으로 이동(승강)되거나 상하방향의 축선을 중심으로 회전될 수 있다. 일례로, 제1 및 제2구동장치(320, 360)는, 제1 및 제2척킹장치(310, 350)를 각각 회전시키는 회전기구, 회전기구를 각각 승강시키는 승강기구로 구성될 수 있다.

복수의 제1도가니장치(410)는 제1소스실(106)에 배치되고, 복수의 제2도가니장치(450)는 제2소스실(108)에 배치된다. 일례로, 복수의 제1 및 제2도가니장치(410, 450)는, 증착물질이 분출되는 상단부는 제1, 제2소스실(106, 108)에 위치하고, 반대쪽인 하단부는 제1, 제2소스실(106, 108)의 외부인 베이스 구조물(120) 측에 위치하도록 설치될 수 있다.

복수의 제1 및 제2도가니장치(410, 450)는 모두, 내부에 증착물질이 담기는 도가니(crucible) 및 도가니에 담긴 증착물질을 증발(승화)시키기 위한 도가니 히터를 포함할 수 있다. 이러한 복수의 제1 및 제2도가니장치(410, 450)는 모두 개별적으로 작동하도록 구성된다. 즉, 독립적으로 제어되는 것이다.

복수의 제1도가니장치(410)의 도가니에는 서로 다른 종류의 유기물이 담길 수 있다. 복수의 제1도가니장치(410)의 도가니 히터 중 어느 하나만을 작동시키면, 해당의 유기물은 증발되고, 제1증착실(102)에는 개구(142)를 통하여 증착물질로서 단일의 유기물이 공급된다. 물론, 복수의 제1도가니장치(410)의 도가니 히터 중 어느 둘 이상을 작동시키면, 제1증착실(102)에는 증착물질로서 선택된 어느 둘 이상을 조합한 유기물이 공급된다. 이 때, 가열온도를 달리하면, 조합되는 유기물의 비율을 조절할 수 있다.

복수의 제2도가니장치(450)는 복수의 제1도가니장치(410)와 이용되는 증착물질의 종류만 다를 뿐, 복수의 제1도가니장치(410)와 동일 또는 유사하게 작동하는 것이므로, 이에 대한 자세한 설명은 생략한다.

도 4를 참조하면, 복수의 제1도가니장치(410) 사이에는 복수의 제1도가니장치(410) 간의 열간섭 현상을 방지하기 위한 단열벽(단열부재, 160)이 배치될 수 있다. 물론, 복수의 제2도가니장치(450) 사이에도 마찬가지로 단열벽(170)이 배치될 수 있다.

로드락챔버(500)는 증착챔버(100)의 우측에 배치된다. 도 5에 도시된 바와 같이, 로드락챔버(500)는, 로드락챔버 본체(510) 및 로드락챔버 본체(510)를 하측에서 지지하는 베이스 구조물(520)을 포함한다. 증착챔버 본체(110)와 로드락챔버 본체(510)는 서로 대향하는 연결 게이트를 갖는다. 도 3의 도면부호 112는 증착챔버 본체(110)의 연결 게이트이다. 증착챔버 본체(110)와 로드락챔버 본체(510) 사이에는 대향하는 두 연결 게이트를 개폐하는 게이트밸브(gate valve, 550)가 설치된다. 로드락챔버 본체(510)의 후방에는 외부로부터 기판을 반입하기 위한 반입용 게이트가 마련되고, 로드락챔버 본체(510)의 전방에는 기판을 반출하기 위한 반출용 게이트(512)가 마련된다.

글러브박스(600)의 후방 좌측에는 봉지실(602)과 연통하는 반입용 게이트(612)가 마련된다. 글러브박스(600)는 글러브박스(600)의 반입용 게이트(612)가 로드락챔버 본체(510)의 반출용 게이트(512)와 연통하도록 설치된다.

도 6에 도시된 바와 같이, 글러브박스(600)는, 봉지실(602)을 갖는 글러브박스 본체(610) 및 글러브박스 본체(610)를 지지하는 베이스 구조물(620)을 포함한다. 글러브박스(600)의 반입용 게이트(612)는 개폐장치인 게이트밸브 또는 셔터(630)에 의하여 개폐된다.

글러브박스 본체(610)는 봉지실(602)을 구성하는 전면에 투명창(640)이 설치되어 작업자가 외부에서 봉지실(602)을 들여다 볼 수 있다.

도시된 바는 없으나, 글러브박스 본체(610)는 전방에 글러브가 설치되어, 작업자는 글러브를 이용하여 봉지공정에 참여할 수 있다. 또한, 도시된 바는 없으나, 글러브박스 본체(610)는 봉지실(602)에 질소가스(N2)를 공급하기 위한 질소가스 공급장치가 연결되어, 봉지실(602)에는 질소가스가 충전될 수 있다. 질소가스 공급장치는 공급원으로부터의 질소가스를 봉지실(602)에 주입하는 주입기, 봉지실(602)에 주입되는 질소가스의 양을 제어하는 유량조절기 등을 가질 수 있다.

글러브박스 본체(610)의 우측에는 반출용 게이트(614)가 마련되고, 글러브박스 본체(610)의 반출용 게이트(614)는 개폐장치(650)에 의하여 개폐될 수 있다.

봉지실(602)에는, 안내기구의 안내에 따라 봉지실(602)의 제1위치와 상대적으로 우측에 위치된 제2위치 사이를 왕복하여 이동할 수 있게 작업대(810)가 설치되고, 제2위치 상에는 경화기(820)가 설치된다. 도시된 바는 없으나, 봉지실(602)에는 봉지필름(encapsulant film)을 제공하는 디스펜서(dispenser)가 구비될 수 있다.

여기에서, 경화기(820)는 광을 조사하는 조사기구를 포함할 수 있다. 조사되는 광은 자외선(UV)일 수 있다.

중앙 게이트(132), 증착챔버 본체(110)의 연결 게이트(112) 및 로드락챔버 본체(510)의 연결 게이트는 동일 또는 유사한 높이에 위치되어 거의 일직선상에 일렬로 배치된다. 제1반송장치(710)는, 로드락챔버 본체(510)의 내부에 위치되며 흡입력, 점착력 등을 이용하여 기판을 지지하는 홀더(holder)가 구비된 피커(picker, 720), 피커(720)를 이동시키는 직선이동기구(730)를 포함한다.

피커(720)의 상부에는 기판이 놓이고, 피커(720)의 상부에 놓인 기판은 홀더에 의하여 지지될 수 있다. 직선이동기구(730)는 피커(720)에 의하여 지지된 기판이 증착챔버 본체(110)와 로드락챔버 본체(510)의 두 연결 게이트를 통하여 로드락챔버 본체(510)의 내부로부터 제2증착실(104)에 진입되고, 또 중앙 게이트(132)를 통하여 제2증착실(104)로부터 제1증착실(102)에 진입될 수 있게 피커(720)를 이동시킨다.

제2반송장치(750)는 증착챔버(100)에서 증착공정이 완료되어 로드락챔버 본체(510)로 반출된 기판을 봉지실(602)에 반입할 수 있다. 제2반송장치(750)는 봉지실(602)에 위치될 수 있다.

이와 같은 제2반송장치(750)는 제1반송장치(710)와 동일하거나 유사하게 구성될 수 있다. 즉, 로드락챔버 본체(510)의 반출용 게이트(512)와 글러브박스 본체(610)의 반입용 게이트를 통하여 봉지실(602)로부터 로드락챔버 본체(510)의 내부로 진입되는 피커를 포함할 수 있다.

설명되지 않은 도면부호 181, 185는 제1 및 제2분출관으로, 이 제1 및 제2분출관(181, 185)은 제1증착실(102)의 하측 및 제2증착실(104)의 하측에 각각 배치되고 제1미들플레이트(140)의 개구(142) 및 제2미들플레이트(150)의 개구(152)에 각각 연결되어 복수의 제1도가니장치(410) 및 복수의 제2도가니장치(450)로부터의 증착물질을 각각 제1척킹장치(310)에 의하여 지지된 기판 측, 제2척킹장치(350)에 의하여 지지된 기판 측으로 유도한다. 제1분출관(181)은 제1미들플레이트(140)와 함께 제1분출기구를 구성하고, 제2분출관(185)은 제2미들플레이트(150)와 함께 제2분출기구를 구성한다.

설명되지 않은 도면부호 191 및 195는 제1 및 제2개폐도어로, 증착챔버 본체(110)는 전면이 제1증착실(102)과 제1소스실(106) 및 제2증착실(104)과 제2소스실(108)이 각각 노출되도록 개방된 구조를 갖고, 제1 및 제2개폐도어(191, 195)는 이렇게 개방된 증착챔버 본체(110)는 전면을 각각 개폐한다. 제1 및 제2개폐도어(191, 195)에는 외부에서 내부를 들여다볼 수 있게 하는 투명창이 마련될 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 OLED 소자 시편 제조장비는 다음과 같이 작동한다.

로드락챔버 본체(510)의 내부에는 로드락챔버 본체(510)의 후방에 위치된 반입용 게이트를 통하여 증착공정을 위한 기판이 반입되고, 제1반송장치(710)의 피커(720)는 로드락챔버 본체(510)의 내부에서 이렇게 반입된 기판을 지지한다.

제1, 제2증착실(102, 104) 및 제1, 제2소스실(106, 108)은 셔터(250)를 작동시켜 중앙 게이트(132)를 개방한 상태에서 배기장치(200)를 작동시키면 진공분위기로 조성된다. 물론, 이 때에 게이트밸브(550)를 작동시켜 증착챔버 본체(110)와 로드락챔버 본체(510)의 대향하는 두 연결 게이트를 개방한 상태이면, 로드락챔버 본체(510)의 내부도 진공분위기로 조성된다.

직선이동기구(730)를 작동시킴으로써, 제1반송장치(710)의 피커(720)를 개방된 두 연결 게이트와 중앙 게이트(132)를 통하여 로드락챔버 본체(510)의 내부로부터 제1증착실(102)로 진입시킨다. 이 때, 피커(720)에 의하여 지지된 기판은 제2증착실(104)을 경유하여 제1증착실(102)에 반입된다.

제1구동장치(320) 등을 작동시켜 제1증착실(102)에 반입된 기판을 제1척킹장치(310)에 척킹시킨다. 제1척킹장치(310)에 의하여 기판이 척킹되면, 직선이동기구(730)를 작동시켜 피커(720)를 제2증착실(104)이나 로드락챔버 본체(510)의 내부로 이동시킨 후, 셔터(250)를 작동시켜 중앙 게이트(132)를 폐쇄한다.

복수의 제1도가니장치(410) 중 적어도 하나를 작동시킨다. 그러면, 유기물은 증발되고, 증발된 유기물은 제1소스실(106)로부터 제1증착실(102)을 향하여 이동된다. 이렇게 이동되는 유기물은 제1미들플레이트(140)의 개구(142), 제1분출관(181)을 차례로 거쳐 제1척킹장치(310)에 의하여 지지된 기판 측으로 분출, 기판의 증착면에 증착된다. 이 때, 기판에 증착된 증착물질은 작동된 제1도가니장치(410)의 도가니에 담긴 유기물의 종류에 따라 결정된다. 서로 다른 종류의 유기물이 담긴 제1도가니장치(410)를 함께 작동시키면, 증발된 각각의 유기물은 제1분출관(181)에 유입되는 과정에서 합류되어 기판에 증착된다. 실시조건에 따라서는, 제1분출관(181)에 개폐장치를 구비하여 제1분출관(181)을 폐쇄 상태로 일정 시간 유지함으로써 증발된 각각의 유기물이 제1소스실(106)에서 충분히 혼합한 후, 제1분출관(181)을 개방하는 식으로 유기물 증착공정을 진행할 수도 있다.

유기물 증착공정이 완료되면, 제1도가니장치(410)의 작동을 정지시키고, 제1반송장치(710) 및 셔터(250)를 작동시켜 유기물이 증착된 기판을 개방된 중앙 게이트(132)를 통하여 제1증착실(102)로부터 제2증착실(104)로 이송한다. 그리고, 중앙 게이트(132)를 다시 폐쇄하고, 제2척킹장치(350)에 이송된 기판을 척킹시킨다.

다음, 복수의 제2도가니장치(450) 중 적어도 하나를 작동시켜 메탈 증착공정을 진행한다. 이 때, 증착물질인 메탈은 제2분출관(185)으로부터 기판 측으로 분출되고 기판에 증착된다. 제2분출관(185)에도 제2분출관(185)을 개폐하는 개폐장치가 구비될 수 있다.

메탈 증착공정이 완료되면, 제1반송장치(710)를 작동시켜 기판(메탈 증착 기판)을 개방된 두 연결 게이트를 통하여 로드락챔버 본체(510)의 내부로 반출한 후, 게이트밸브(550)를 작동시켜 두 연결 게이트를 폐쇄한다.

글러브박스 본체(610)의 반입용 게이트(612)를 개폐하는 개폐장치(630)를 개방 작동시키고 제2반송장치(750)를 작동시킴으로써 증착공정이 완료된 기판을 로드락챔버 본체(510)의 반출용 게이트(512) 및 글러브박스 본체(610)의 반입용 게이트(612)를 통하여 로드락챔버 본체(510)의 내부로부터 봉지실(602)로 반입한다.

글러브박스 본체(610)의 반입용 게이트(612)를 폐쇄하고, 봉지공정을 진행한다. 봉지공정은 봉지실(602)에 질소가스가 충전된 상태에서 진행될 수 있다.

봉지를 위하여 기판에 봉지필름을 부착하는 작업은 작업자가 직접 행하는 수작업으로 이루어질 수 있다. 즉, 작업자가 글러브를 이용, 봉지실(602)에서 기판에 봉지필름을 부착하는 것이다. 봉지필름 부착작업에는 작업대(810)를 이용하는 것이 바람직하다.

봉지필름의 부착이 완료되면, 기판을 작업대(810) 상에 놓고, 작업대(810)를 이동시켜 경화기(820)의 하측에 기판을 위치시킨다. 경화기(820)를 작동시키면, 경화작용에 의하여 기판에 봉지필름이 합착되고, 이로써 OLED 소자 시편의 제조가 완료된다. 제조된 시편은 글러브박스 본체(610)의 반출용 게이트(614)를 개폐하는 개폐장치(650)를 개방 작동시킴으로써 글러브박스 본체(610)의 반출용 게이트(614)를 통하여 외부로 반출할 수 있다.

이상, 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 이 명세서에 개시된 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 한정되지 않으며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 이내에서 통상의 기술자에 의하여 다양하게 변형될 수 있다.

예를 들면, 본 실시예는 제1반송장치(710)가 제2증착실(104)을 통하여 제1증착실(102)에 기판을 반입할 수 있게 배치된 것으로 설명하였으나, 제1반송장치(710)는 반대쪽에 설치되어 제1증착실(102)에 바로 기판을 반입할 수 있고 이렇게 반입된 기판을 제1증착실(102)로부터 제2증착실(104)로, 또 제2증착실(104)로부터 로드락챔버 본체(510)의 내부로 이송할 수 있게 할 수도 있다.

100 : 증착챔버 102, 104 : 제1, 제2증착실
106, 108 : 제1, 제2소스실 130 : 격벽
132 : 중앙 게이트 140, 150 : 제1, 제2미들플레이트
142, 152 : 개구 181, 185 : 제1, 제2분출관
200 : 배기장치 250 : 셔터
310, 350 : 제1, 제2척킹장치 410, 450 : 제1, 제2도가니장치
500 : 로드락챔버 600 : 글러브박스
602 : 봉지실 710, 750 : 제1, 제2반송장치
810 : 작업대 820 : 경화기

Claims

내부가 구획부재에 의하여 제1증착실과 제2증착실로 구획되고 상기 구획부재에 상기 제1증착실과 상기 제2증착실을 연통시키는 게이트가 마련된 증착챔버와;
상기 연통된 제1증착실과 제2증착실을 진공분위기로 조성하는 배기장치와;
상기 제1증착실, 제2증착실에서 각각 기판을 지지하는 제1척킹장치 및 제2척킹장치와;
상기 제1증착실에 증착물질로서 유기물을 공급하며 개별 작동되는 복수의 제1도가니장치 및 상기 제2증착실에 증착물질로서 메탈을 공급하며 개별 작동되는 복수의 제2도가니장치와;
상기 증착챔버에 연결되고 내부에 봉지공정(encapsulation)을 위한 봉지실이 마련되며 작업자가 상기 봉지공정에 참여 가능하게 하는 글러브가 구비된 글러브박스를 포함하는,
유기발광다이오드 소자 시편 제조장비.
청구항 1에 있어서,
상기 게이트를 개폐하는 개폐장치를 더 포함하는,
유기발광다이오드 소자 시편 제조장비.
청구항 1에 있어서,
상기 증착챔버와 상기 글러브박스 사이에는 로드락챔버가 설치되고,
상기 로드락챔버는 상기 증착챔버에 상기 제2증착실과 연통 가능하도록 연결된,
유기발광다이오드 소자 시편 제조장비.
청구항 3에 있어서,
상기 로드락챔버를 통하여 기판을 반입, 반출하고 상기 제1증착실과 제2증착실 간에 상기 게이트를 통하여 기판을 운반하는 기판 반송장치를 더 포함하는,
유기발광다이오드 소자 시편 제조장비.
청구항 1에 있어서,
상기 제1증착실의 하측에는 제1소스실이 마련되고, 상기 복수의 제1도가니장치는 상기 제1소스실에 위치되며, 상기 제1증착실과 상기 제1소스실 사이에는 상기 제1소스실로부터의 증착물질으로서 유기물을 상기 제1척킹장치에 의하여 지지된 기판에 분출하는 제1분출기구가 마련되고,
상기 제2증착실의 하측에는 제2소스실이 마련되고, 상기 복수의 제2도가니장치는 상기 제2소스실에 위치되며, 상기 제2증착실과 상기 제2소스실 사이에는 상기 제2소스실로부터의 증착물질으로서 메탈을 상기 제2척킹장치에 의하여 지지된 기판에 분출하는 제2분출기구가 마련된,
유기발광다이오드 소자 시편 제조장비.
청구항 1에 있어서,
상기 봉지실에 제1위치와 제2위치 간을 왕복이동 가능하게 설치된 작업대와;
상기 제2위치 상에 설치된 경화기를 더 포함하는,
유기발광다이오드 소자 시편 제조장비.
청구항 1에 있어서,
상기 봉지실에 질소가스를 공급하는 질소가스 공급장치를 더 포함하는,
유기발광다이오드 소자 시편 제조장비.