KR102019673B1 - 구조 조명 현미경 및 촬영 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 구조 조명 현미경 및 촬영 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 구조 조명 현미경은 광원; 상기 광원이 조사한 빛의 이동 경로에 위치되어, 상기 빛이 투과 과정에서 줄무늬 패턴을 갖도록 하는 스테이지; 및 상기 스테이지를 투과한 빛을 촬영하는 촬영부를 포함한다.

Description

구조 조명 현미경 및 촬영 방법{Structured illumination microscopy and photographing method}

본 발명은 구조 조명 현미경 및 촬영 방법에 관한 것이다.

현미경은 육안으로 식별이 불가능 하거나 곤란한 정도로 작은 물체나 물질을 확대해서 보는데 사용되는 기구이다. 현미경을 사용하여 식별할 수 있는 두 점 사이의 최소의 거리를 분해능이라 한다. 최근에는 현미경의 분해능을 향상시키기 위한 다양한 방법들이 연구되고 있다. 예를 들면, 유도방출억제(STED, Stimulated Emission Depletion) 현미경, PALM(Photo Activation Localization Microscopy), 구조 조명 현미경(SIM, Structured Illumination Microscopy) 등이 있다.

종래의 구조 조명 현미경은, 작은 간격을 갖는 줄무늬 패턴을 촬영 대상물에 조사하여 얻어진 이미지 셋을 소프트웨어적으로 복원시켜 기존의 광학 현미경보다 높은 분해능을 갖는 현미경이다. 그러나 이와 같은 종래의 구조 조명 현미경도 일반적인 광학계를 그대로 사용하기 때문에, 회절한계로 인해 분해능의 한계가 있다.

비특허문헌: Wide Field Super-Resolution Surface Imaging through Plasmonic Structured Illumination Microscopy, Nano letters, 2014

본 발명은 촬영 대상물을 효과적으로 촬영할 수 있는 구조 조명 현미경 및 촬영 방법을 제공하기 위한 것이다.

또한, 본 발명은 높은 분해능을 가지고 촬영 대상물을 촬영할 수 있는 구조 조명 현미경 및 촬영 방법을 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 광원; 상기 광원이 조사한 빛의 이동 경로에 위치되어, 상기 빛이 투과 과정에서 줄무늬 패턴을 갖도록 하는 스테이지; 상기 스테이지를 투과한 빛을 촬영하는 촬영부를 포함하는 구조 조명 현미경이 제공될 수 있다.

또한, 상기 스테이지는 플라즈몬 현상을 통해 상기 줄무늬 패턴을 형성할 수 있다.

또한, 상기 스테이지는, 광 투과성 소재로 제공되는 기판; 및 상기 기판의 일면에 위치되되, 상기 기판이 노출되는 노출부를 형성하고, 전도성 소재로 제공되는 패턴부를 포함할 수 있다.

또한, 상기 패턴부는 설정 면적을 갖는 플레이트들이 이격되게 배치되어 형성될 수 있다.

또한, 상기 패턴부는 설정 면적을 갖는 플레이트에 상기 노출부가 되는 홀이 형성되게 제공될 수 있다.

또한, 상기 패턴부는 리브가 서로 연결되어 격자를 이루도록 제공될 수 있다.

또한, 상기 패턴부는 링 형상으로 제공될 수 있다.

또한, 상기 패턴부는 알루미늄일 수 있다.

또한, 상기 스테이지와 상기 광원 사이에 위치되어, 상기 스테이지로 입사되는 빛의 각도 또는 방향을 조절하는 반사 부재를 더 포함할 수 있다.

또한, 상기 스테이지로 입사되는 각도가 상이한 빛을 통해 상기 촬영부에서 촬영된 복수의 영상을 통해 촬영 대상물의 형태를 복원하는 제어기를 더 포함할 수 있다.

또한, 상기 스테이지로 입사되는 방향이 상이한 빛을 통해 상기 촬영부에서 촬영된 복수의 영상을 통해 촬영 대상물의 형태를 복원하는 제어기를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 자외선 대역의 파장의 빛을 조사하는 광원; 상기 광원에서 방출된 빛을 편광시키는 편광판; 표면 플라즈몬 또는 국부 표면 플라즈몬 현상을 이용하여 상기 편광판에서 편광된 빛이 줄무늬 패턴을 갖도록 하는 스테이지; 상기 스테이지에서 촬영 대상물에 조사된 빛을 촬영하는 촬영부; 및 상기 촬영부에서 촬영된 이미지를 분석하여 촬영 대상물의 형태 이미지를 생성하는 제어기를 포함하는 구조 조명 현미경이 제공될 수 있다.

또한, 상기 광원은 300nm 이하의 파장을 갖는 빛을 조사할 수 있다.

또한, 상기 스테이지는, 광 투과성을 갖는 기판; 및 상기 기판의 일 측면에 형성되고, 평면 상에서 반복되는 무늬를 갖도록 형성되는 패턴부를 포함할 수 있다.

또한, 상기 패턴부는 평면 방향으로 반복되는 원형 또는 다각형 형상의 평면을 갖는 돌출 구조물 또는 홀일 수 있다.

또한, 상기 패턴부는 평면 방향으로 연속된 격자무늬를 형성할 수 있다.

또한, 상기 기판은 이산화 규소로 형성되고, 상기 패턴부는 알루미늄으로 형성될 수 있다.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 플라즈몬 현상이 발생된 공간에 빛을 입사시켜 줄무늬를 형성한 후 촬영 대상물로 조사하고, 상기 촬영 대상물을 촬영하여, 간섭 무늬가 형성된 영상을 획득하는 촬영 방법이 제공될 수 있다.

또한, 상기 영상은 입사 각도를 달리하여 상기 플라즈몬 현상이 발생된 공간에 입사된 후 상기 촬영 대상물로 조사된 빛을 통해 복수회 촬영되고, 상기 영상을 조합하여 상기 촬영 대상물의 형태를 복원할 수 있다.

또한, 상기 영상은 각각 진동 방향을 달리하여 상기 플라즈몬 현상이 발생된 공간에 입사된 후 상기 촬영 대상물로 조사된 빛을 통해 복수회 촬영되고, 상기 영상을 조합하여 상기 촬영 대상물의 형태를 복원할 수 있다.

본 발명의 일 실시 예에 의하면, 촬영 대상물을 효과적을 촬영할 수 있는 구조 조명 현미경 및 촬영 방법이 제공될 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 높은 분해능을 가지고 촬영 대상물을 촬영할 수 있는 구조 조명 현미경 및 촬영 방법이 제공될 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 구조 조명 현미경을 나타내는 도면이다.
도 2는 일 실시 예에 따른 스테이지의 측단면도이다.
도 3은 도 2의 스테이지의 평면도이다.
도 4는 일 실시예에 따른 스테이지에 365nm 파장이 조사될 때 패턴부 주변의 전기장을 보여주는 도면이다.
도 5는 일 실시예에 따른 스테이지에 266nm 파장이 조사될 때 패턴부 주변의 전기장을 보여주는 도면이다.
도 6은 제2 실시 예에 따른, 스테이지의 평면도이다.
도 7은 제3 실시 예에 따른, 스테이지의 평면도이다.
도 8은 제4 실시 예에 따른, 스테이지의 평면도이다.

이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 구조 조명 현미경을 나타내는 도면이다.

도 1을 참조하면, 구조 조명 현미경(10)은 광원(100), 반사 부재(200), 스테이지(400), 촬영부(500) 및 제어기(700)를 포함한다.

광원(100)은 설정 방향으로 빛을 조사한다. 예를 들면, 광원(100)은 레이저 조사 장치로 이루어질 수 있다. 레이저는 빛이 증폭기 안에서 반복 반사하면서 유도방출을 반복하여 증폭되어 나온 것으로 이해될 수 있다. 다른 예로, 광원(100)은 발광 다이오드(LED)를 통해 빛을 조사하도록 제공될 수 있다.

또한, 광원(100)은 자외선 대역의 파장을 갖는 빛을 조사할 수 있다. 특히, 후술되는 바와 같이 패턴부(420)가 알루미늄으로 형성되는 경우, 표면 플라즈몬(surface plasmon) 현상 또는 국부 표면 플라즈몬(localized surface plasmon) 현상이 발생되어 자외선 영역, 특히 300nm 이하의 원자외선 영역에서도 줄무늬 패턴을 형성할 수 있는 바, 광원(100)으로서 원자외선 영역의 광을 조사하는 장치가 이용될 수도 있다. 이 경우, 구조 조명 현미경(10)은 하나의 광원으로 여러 개의 다이(dye)를 여기시킬 수 있는 바 바이오 형광 이미징에 있어서 유용하게 사용될 수 있다.

반사 부재(200)는 광원(100)에서 조사된 빛의 이동 경로상에 위치되어, 빛이 진행하는 방향을 제어한다. 일 예로, 반사 부재(200)는 갈바노미터 스캐너로 구성되어, 빛이 조사되는 위치 및 빛이 조사되는 각도를 조절 가능하게 제공될 수 있다.

반사 부재(200)와 광원(100) 사이에는 편광판(300)이 위치될 수 있다. 편광판(300)은 광원(100)에서 조사된 빛의 이동 경로 상 위치되어, 설정 방향으로 진동하는 빛만을 반사 부재(200) 방향으로 투과 시킨다. 편광판(300)의 빛의 진행 방향과 평행한 축을 기준으로 회전 가능하게 제공될 수 있다. 따라서, 편광판(300)을 투과한 빛의 진동 방향은 조절될 수 있다.

스테이지(400)는 반사 부재(200) 방향에서 입사되는 빛을 촬영 대상물(S)을 향해 투과 시킨다. 스테이지(400)는 투과되는 빛에 줄무늬 패턴을 생성한다.

반사 부재(200)와 스테이지(400) 사이에는 렌즈(500)가 위치될 수 있다. 렌즈(500)는 반사 부재(200) 쪽에서 입사된 빛의 면적을 조절한다. 렌즈(500)는 입사된 빛이 스테이지(400)로 집중되도록 할 수 있다.

촬영부(500)는 촬영 대상물(S)과 줄무늬 패턴을 갖는 빛이 중첩하여 생성된 간섭 영상을 감지한다. 일 예로, 촬영부(500)는 CCD(charge-coupled device)카메라 등으로 제공될 수 있다.

촬영부(500)와 스테이지(400) 사이에는 필터(600)가 위치될 수 있다. 필터(600)는 설정 대역의 파장을 갖는 빛을 선택적으로 통과 시킨다.

제어기(700)는 촬영부(500)가 제공하는 영상을 통해 촬영 대상물(S)의 형태를 복원 할 수 있다. 또한, 제어기(700)는 촬영부(500)가 제공하는 하나의 촬영 대상물(S)에 대한 2개 이상의 이미지를 조합하여, 촬영 대상물(S)의 형태 이미지를 생성할 수 있다.

또한, 제어기(700)는 스테이지(400)로 입사되는 빛의 각도가 조절되도록 반사 부재(200)를 제어할 수 있다.

또한, 제어기(700)는 편광판(300) 방향에서 입사 된 빛의 반사되는 경로를 조절하여, 스테이지(400)로 입사되는 빛의 진동 방향이 변경되도록 반사 부재(200)를 제어할 수 있다.

도 2는 일 실시 예에 따른 스테이지의 측단면도이고, 도 3은 도2의 스테이지의 평면도이다

도 2 및 도 3을 참조하면, 스테이지(400)는 기판(410) 및 패턴부(420)를 포함한다.

스테이지(400)는 플라즈몬(plasmon) 현상을 통해 반사 부재(200) 방향에서 입사된 빛에 줄무늬 패턴을 생성 한 후, 촬영 대상물(S)을 향해 조사한다. 플라즈몬 현상은 음의 유전함수를 갖는 전도성 소재와 양의 유전함수를 갖는 매체의 계면을 따라 전파되는 전도대전자들의 집단적인 진동운동 현상이다.

기판(410)은 설정 면적 및 설정 두께를 갖는 플레이트 형상으로 제공된다.

기판(410)은 광 투광성을 갖는 유전체 소재로 제공된다. 일 예로, 기판(410)은 이산화 규소일 수 있다.

패턴부(420)는 기판(410)의 일면에 위치된다. 패턴부(420)는 촬영부(500)와 마주보는 면에 위치될 수 있다. 패턴부(420)는 기판(410)의 일면을 부분적으로 차폐한다. 패턴부(420)가 위치되지 않는 영역에는 기판(410)이 노출되는 노출부(730)가 형성된다. 패턴부(420)는 평면 상에서 반복되는 무늬를 갖도록 형성되며, 일 예로서 설정 면적을 갖는 플레이트들이 서로 이격되어 배치되는 형태로 제공될 수 있다. 패턴부(420)는 원형, 다각형 등의 평면 형상을 가질 수 있다. 일 예로, 패턴부(420)가 원형으로 형성되고, 알루미늄으로 제공될 때, 패턴부(420)는 60nm의 폭 및 두께를 가지고, 인접한 패턴부(420)의 중심 사이의 거리는 180 nm를 가지면, 스테이지(700)를 투과한 빛은 줄무늬 간격이 180 nm가 될 수 있다.

패턴부(420)는 전도성 소재로 제공된다. 따라서, 패턴부(420)와 기판(410)의 계면에는 플라즈몬(plasmon) 현상이 발생된다. 특히, 패턴부(420)과 본 실시예 또는 후술할 제2 실시예에서와 같이 돌출 구조물(Rod) 또는 홀(Hole) 형태로 형성되는 경우, 빛이 패턴부(420)에 의해 국부적으로 강하게 응집하게 되는 국부 표면 플라즈몬 현상이 발생된다. 인접한 계면들 사이에 발생되는 플라즈몬 현상은 서로 간섭을 일으킨다. 따라서, 플라즈몬 현상이 간섭을 일으키는 영역을 통과하는 빛은 매우 높은 주파수 성분을 갖는 정현파 형태의 줄무늬 패턴을 형상하게 된다. 줄무늬 패턴을 가지고 촬영 대상물(S)에 입사된 빛은 촬영 대상물(S)과 간섭을 일으켜, 촬영부(500)는 모아레 무늬(moire pattern)라고 하는 간섭 무늬를 갖는 영상을 촬영할 수 있다.

일 예로, 패턴부(420)는 알루미늄으로 제공될 수 있다. 패턴부(420)가 알루미늄으로 제공되면, 광원(100)이 300nm이하의 파장을 갖는 원자외선을 조사하는 경우에도, 스테이지(400)는 플라즈몬 현상을 통해 투과되는 빛에 줄무늬를 효과적으로 생성할 수 있다. 본 실시예에서와 같이 광원(100)이 원자외선을 조사하는 경우 바이오 이미징 시 하나의 광원으로 여러 개의 다이를 여기할 수 있으므로, 바이오 이미징을 더욱 높은 해상도로 구현할 수 있다는 장점이 있다.

스테이지(400)로 입사되는 빛의 방향은 회전될 수 있다. 일 예로, 반사 부재(200)를 통해 스테이지(400)로 입사되는 빛의 진동방향은 회전될 수 있다. 또한, 편광판(300)을 회전시켜, 스테이지(400)로 입사되는 빛의 진동방향은 회전될 수 있다. 이에 따라, 스테이지(400)를 투과하는 빛에 플라즈몬 현상의 공진을 통해 줄무늬 패턴을 형성하는 계면이 변하게 된다. 따라서, 스테이지(400)를 투과하여 생성된 빛의 줄무늬의 각도가 변경된다. 따라서, 촬영부(500)에서 촬영된 영상의 줄무늬 각도가 변경된다.

또한, 스테이지(400)로 입사되는 빛의 입사 각도는 조절될 수 있다. 일 예로, 반사 부재(200)를 통해 반사된 후 스테이지(400)로 진행하는 빛의 각도를 조절할 수 있다. 그에 따라, 스테이지(400)로 입사되는 빛과 스테이지(400)의 일면이 이루는 각도가 변경된다. 스테이지(400)로 입사되는 빛의 각도가 변경되면, 플라즈몬 현상의 공진이 발생되는 공간에서 빛의 각도가 변경되어, 스테이지를 투과한 빛의 줄무늬가 갖는 위상을 변경시킨다. 따라서, 촬영부(500)는 줄무늬의 위치가 상이한 영상을 촬영할 수 있다.

도 4는 일 실시예에 따른 스테이지에 365nm 파장이 조사될 때 패턴부 주변의 전기장을 보여주는 도면이고, 도 5는 일 실시예에 따른 스테이지에 266nm 파장이 조사될 때 패턴부 주변의 전기장을 보여주는 도면이다.

도 4 및 도 5는 하나의 패턴부(420)의 주변의 결과를 측정한 것으로서, (a)는 좌측부터 입사각 0도, 60도, 120도로 입사각의 변화를 주었을 때의 결과이고, (b)는 좌측부터 -80도, 80도로 편광 각도 변화를 주었을 때의 결과이다.

도 4 및 도 5에서 보여지는 것처럼 입사되는 광의 특성에 따라 각 패턴부(420)를 중심으로 다른 방향으로 집중 현상이 발생되고, 인접한 패턴부(420)들이 동일한 경향을 보임에 따라 특정 방향의 줄무늬 패턴을 형성할 수 있음을 확인할 수 있다. 결국, 본 실시예에 따른 구조 조명 현미경(10)을 이용해 종래에 비해 더 좁은 간격을 갖는 줄무늬가 조사된 여러 개의 다른 이미지를 얻을 수 있으므로, 보다 향상된 분해능을 제공할 수 있다.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 촬영 대상물(S)로 조사되는 빛의 줄무늬는 플라즈몬 현상의 공진을 통해 생성되어, 줄무늬는 매우 높은 주파수를 가지고 줄무늬의 간격은 매우 좁게 형성된다. 따라서, 촬영부(500)에 촬영되는 영상은 매우 높은 분해능을 갖는다.

또한, 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 스테이지(400)로 입사되는 빛을 회전 시켜, 촬영부(500)는 줄무늬의 각도가 상이한 방향으로 제공되는 영상을 촬영할 수 있다. 또한, 하나의 촬영 대상물(S)에 대해 줄무늬의 각도가 상이한 복수의 영상을 촬영한 후, 제어부를 통해 복수의 영상을 조합하여 촬영 대상물(S)의 형태를 복원할 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 스테이지(400)로 입사되는 빛의 각도를 변경 시켜, 촬영부(500)는 줄무늬의 위치가 상이하게 제공되는 영상을 촬영할 수 있다. 또한, 하나의 촬영 대상물(S)에 대해 줄무늬의 위치가 상이한 복수의 영상을 촬영한 후, 제어부를 통해 복수의 영상을 조합하여 촬영 대상물(S)의 형태를 복원할 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 하나의 촬영 대상물(S)에 대해 줄무늬의 각도가 상이한 영상 및 줄무늬의 위치가 상이한 영상을 촬영한 후, 이들 영상을 조합하여 촬영 대상물(S)의 형태를 복원할 수 있다.

도 6은 제2 실시 예에 따른, 스테이지의 평면도이다.

도 6을 참조하면, 스테이지(400a)는 기판(410a) 및 패턴부(420a)를 포함한다.

패턴부(420a)는 설정 면적을 갖는 플레이트에 홀이 형성된 형태로 제공될 수 있다. 홀은 원형, 다각형 등의 모양을 가질 수 있다. 패턴부(420a)에 형성된 홀에는 노출부(730a)가 위치된다.

스테이지(400a)에 빛이 입사되어 줄무늬가 생성되는 방법은 상술한 도 2 및 도 3과 유사하므로 반복된 설명은 생략한다.

도 7은 제3 실시 예에 따른, 스테이지의 평면도이다.

도 7을 참조하면, 스테이지(400b)는 기판(410b) 및 패턴부(420b)를 포함한다.

패턴부(420b)는 리브가 서로 연결되어, 격자 형태로 제공될 수 있다. 패턴부(420b)에 의해 형성되는 노출부(730b)는 원형, 다각형 등의 모양을 가질 수 있다. 일 예로, 노출부(730b)의 형상이 사각형이고, 패턴부(420b)가 알루미늄 소재로 두께가 60 nm, 리브의 폭이 20 nm, 마주보는 리브 사이의 거리가 1400 nm일 때, 스테이지(700)를 투과한 빛은 줄무늬 간격이 100 nm 내지 120 nm 가 될 수 있다.

이와 같은 경우, 패턴부(420b)의 주변에는 금속 표면을 따라 진행되는 표면 플라즈몬이 형성되고, 이러한 표면 플라즈몬은 서로 간섭을 일으켜 줄무틔 패턴을 발생시킬 수 있다. 스테이지(400b)에 빛이 입사되어 줄무늬가 생성되는 방법은 상술한 도 2 및 도 3과 유사하므로 반복된 설명은 생략한다.

도 8은 제4 실시 예에 따른, 스테이지의 평면도이다.

도 8을 참조하면, 스테이지(400c)는 기판(410c) 및 패턴부(420c)를 포함한다.

패턴부(420c)는 링 형상으로 제공될 수 있다. 링의 내측에 형성되는 노출부(730c)는 원형, 다각형 등의 모양을 가질 수 있다.

스테이지(400c)에 빛이 입사되어 줄무늬가 생성되는 방법은 상술한 도 2 및 도 3과 유사하므로 반복된 설명은 생략한다.

이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.

100: 광원 200: 반사 부재
300: 편광판 400: 스테이지
500: 촬영부 600: 필터

Claims (20)

1. 광원;
   상기 광원이 조사한 빛의 이동 경로에 위치되어, 상기 빛이 투과 과정에서 줄무늬 패턴을 갖도록 하는 스테이지; 및
   상기 스테이지를 투과한 빛을 촬영하는 촬영부를 포함하고,
   상기 스테이지는,
   광 투과성 소재로 제공되는 기판; 및
   상기 기판의 일면에 위치되되, 상기 기판이 노출되는 노출부를 형성하고, 전도성 소재로 제공되는 패턴부를 포함하고,
   상기 패턴부는 설정 면적을 갖는 원형의 플레이트들이 이격되게 배치되어 형성되고,
   상기 패턴부의 직경 및 두께는 60nm이고, 인접한 상기 패턴부의 중심 사이의 거리는 180nm이고,
   상기 패턴부는 알루미늄인 구조 조명 현미경.
2. 제1항에 있어서,
   상기 스테이지는 플라즈몬 현상을 통해 상기 줄무늬 패턴을 형성하는 구조 조명 현미경.
3. 삭제
4. 삭제
5. 제1항에 있어서,
   상기 패턴부는 설정 면적을 갖는 플레이트에 상기 노출부가 되는 홀이 형성되게 제공되는 구조 조명 현미경.
6. 삭제
7. 삭제
8. 삭제
9. 제1항에 있어서,
   상기 스테이지와 상기 광원 사이에 위치되어, 상기 스테이지로 입사되는 빛의 각도 또는 방향을 조절하는 반사 부재를 더 포함하는 구조 조명 현미경.
10. 제9항에 있어서,
    상기 스테이지로 입사되는 각도가 상이한 빛을 통해 상기 촬영부에서 촬영된 복수의 영상을 통해 촬영 대상물의 형태를 복원하는 제어기를 더 포함하는 구조 조명 현미경.
11. 제9항에 있어서,
    상기 스테이지로 입사되는 방향이 상이한 빛을 통해 상기 촬영부에서 촬영된 복수의 영상을 통해 촬영 대상물의 형태를 복원하는 제어기를 더 포함하는 구조 조명 현미경.
12. 자외선 대역의 파장의 빛을 조사하는 광원;
    상기 광원에서 방출된 빛을 편광시키는 편광판;
    표면 플라즈몬 또는 국부 표면 플라즈몬 현상을 이용하여 상기 편광판에서 편광된 빛이 줄무늬 패턴을 갖도록 하는 스테이지;
    상기 스테이지에서 촬영 대상물에 조사된 빛을 촬영하는 촬영부; 및
    상기 촬영부에서 촬영된 이미지를 분석하여 촬영 대상물의 형태 이미지를 생성하는 제어기를 포함하고,
    상기 스테이지는,
    광 투과성 소재로 제공되는 기판; 및
    상기 기판의 일면에 위치되되, 상기 기판이 노출되는 노출부를 형성하고, 전도성 소재로 제공되는 패턴부를 포함하고,
    상기 패턴부는 설정 면적을 갖는 원형의 플레이트들이 이격되게 배치되어 형성되고,
    상기 패턴부의 직경 및 두께는 60nm이고, 인접한 상기 패턴부의 중심 사이의 거리는 180nm이고,
    상기 패턴부는 알루미늄인 구조 조명 현미경.
13. 제12항에 있어서,
    상기 광원은 300nm 이하의 파장을 갖는 빛을 조사하는 구조 조명 현미경.
14. 제12항에 있어서,
    상기 스테이지는,
    광 투과성을 갖는 기판; 및
    상기 기판의 일 측면에 형성되고, 평면 상에서 반복되는 무늬를 갖도록 형성되는 패턴부를 포함하는 구조 조명 현미경.
15. 삭제
16. 삭제
17. 제14항에 있어서,
    상기 기판은 이산화 규소로 형성되는 구조 조명 현미경.
18. 삭제
19. 삭제
20. 삭제

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