JP2016180621A - 検査用照明装置及び検査システム - Google Patents
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Abstract
Description
うために用いられる検査用照明装置、及び検査システムに関するものである。
100 :検査用照明装置
1 :面光源
11 :光射出面
2 :レンズ
4 :ハーフミラー
C :撮像装置
L1 :照射光路
L2 :反射・透過光路
M1 :第1遮光マスク
M2 :第2遮光マスク
W :検査対象
P1 :レンズ2の物体側焦点
P2 :レンズ2からPIと同一距離の点
P3 :レンズ2からPIと同一距離の点
P4 :レンズ2の物体側焦点以遠の任意の点
P5 :レンズ2の物体側焦点以遠の任意の点
IS :照射立体角
OS :観察立体角
RS1 :反射光の立体角
RS2 :反射光の立体角
Claims (4)
- 検査対象に検査光を照射する検査用照明装置であって、前記検査対象において反射又は透過または散乱する光を撮像する撮像装置とからなる検査システムに適用され、前記検査用照明装置において、検査光を射出する面光源と、前記面光源と前記検査対象との間に設けられ、前記面光源から放射された光を前記検査対象に照射する検査光として、前記検査対象に対する照射立体角を形成するためのレンズと、前記面光源と前記レンズとの間であって、前記レンズの焦点位置を中心としてその前後に設けられ、前記検査対象の各点に照射される検査光の照射立体角を遮光形成する第1の遮光マスクと、を備えており、前記撮像装置で前記検査対象からの光を撮像するとき形成される前記検査対象の各点に対する観察立体角に対して、各点の明暗に所望の変化が得られるように、照射立体角の形状又は大きさや傾きが設定可能なことを特徴とする検査用照明装置。
- 前記第1の遮光マスクと前記面光源との間であって、前記レンズによって前記検査対象に対して結像される近傍の位置に第2の遮光マスクをさらに備え、前記第2の遮光マスクによって、前記検査対象に対する検査光の照射領域又は照射形状や照射パターンを任意に生成可能なことを特徴とする請求項1記載の検査用照明装置。
- 前記検査用照明装置において、前記レンズと前記検査対象との間に、前記検査光の照射方向を変え、なおかつ前記検査対象からの光を透過して前記撮像装置で撮像できるようにするためのハーフミラーを備え、前記検査光の前記検査対象の各点に対する照射立体角と前記撮像装置の前記検査対象の各点に対する観察立体角の光軸を略一致させたことを特徴とする請求項1又は請求項2記載の検査用照明装置。
- 請求項1又は2又は3記載の検査用照明装置を使用し、前記検査対象において反射又は透過または散乱する光を撮像する撮像装置とからなる検査システムであって、前記検査用照明装置で前記検査対象に照射される検査光において、前記撮像装置の前記検査対象の各点における観察立体角の形状又は大きさや傾きに基づいて、前記検査対象の各点における照射立体角の形状又は大きさや傾きが設定、若しくは相対的に前記照射立体角と前記観察立体角の形状又は大きさや傾きが設定されていることを特徴とする検査システム。
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