KR101981394B1 - Apparatus for Testing Combination Real Time High Speed Using Color Image - Google Patents

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Abstract

컬러 영상을 이용한 고속 실시간 COF 필름 복합 검사장치는 COF 필름의 검사 영역을 색상 R(Red) 성분, 색상 G(Green) 성분, 색상 B(Blue) 성분을 이용하여 각각 컬러 성분을 추출하며, 상기 추출한 컬러 성분을 이용하여 양호 또는 불량 여부를 자동으로 검사함으로써 불량 유형 검출에 대한 신속성과 정확성을 높여 제품의 생산량을 증대하는 효과가 있다.The high-speed real-time COF film composite inspection system using color images extracts color components from the inspection region of the COF film by using a color R (red) component, a color G (green) component, and a color B (blue) component, It is possible to increase the production speed of the product by increasing the promptness and accuracy of the defect type detection by automatically checking the goodness or the badness using the color component.

Description

컬러 영상을 이용한 고속 실시간 ＣＯＦ 필름 복합 검사장치{Apparatus for Testing Combination Real Time High Speed Using Color Image}[0001] The present invention relates to a high speed real time COF film composite inspection apparatus using color images,

본 발명은 디스플레이 패널의 검사장치에 관한 것으로서, 특히 COF(Chip On Film) 필름의 양면을 카메라에 의해 각각 촬영하고, COF 필름의 검사 영역을 색상 R(Red) 성분, 색상 G(Green) 성분, 색상 B(Blue) 성분을 이용하여 각각 컬러 성분을 추출하며, 상기 추출한 컬러 성분을 이용하여 양호 또는 불량 여부를 자동으로 검사하는 컬러 영상을 이용한 고속 실시간 COF 필름 복합 검사장치에 관한 것이다.More particularly, the present invention relates to an inspection apparatus for a display panel. More particularly, the present invention relates to an inspection apparatus for a display panel, Speed real-time COF film composite inspection apparatus using a color image that extracts color components using a color B component and automatically checks whether the color components are good or bad using the extracted color components.

최근 디스플레이 시장은 스마트폰, 테블릿 PC, 대형 LCD 패널, 3D TV 등 성장이 폭발적이라 할 수 있으며, 디스플레이 패널의 경우 국가의 전략적 성장 사업이다. 하지만 디스플레이 시장은 국가 간의 기술 경쟁력의 격차가 줄어들며 가격 경쟁력이 심화되고 있는 상황으로 디스플레이 패널에 사용되는 부품들의 가격 경쟁을 초래하고 있다. In the display market, the growth of smartphones, tablet PCs, large-size LCD panels, and 3D TVs is explosive. In the case of display panels, the country is a strategic growth business. However, as the price competitiveness of the display market is worsening due to the narrowing gap in technology competitiveness among countries, the price competition for components used in display panels is causing competition.

하지만 부품의 단가를 낮추는 것은 부품의 원자재 비용의 경우를 생각하면 한계점에 도달한 상태이다. 따라서, 디스플레이 패널을 검사하여 불량을 검출하는 것이 공정 과정에서 제조 비용을 줄이고 제품 신뢰성을 높이게 된다. However, lowering the cost of a component has reached its limit when considering the cost of raw materials for the part. Therefore, by inspecting the display panel and detecting defects, it is possible to reduce the manufacturing cost and the product reliability in the process.

이러한 디스플레이 패널은 리드 배선을 형성하는 테이프 모양의 절연필름에 대규모 직접 회로의 베어칩을 실장하여 리드와 접속하는 반도체의 표면 실장형 패키지인 COF(Chip On Film) 기술을 사용한다.Such a display panel uses COF (Chip On Film) technology, which is a surface mounting package of a semiconductor, which mounts a bare chip of a large-scale integrated circuit on a tape-like insulating film forming a lead wiring and connects to a lead.

COF 필름의 불량 검출은 대부분 육안 검사에 의해 이루어지므로 전문가의 부족과 장시간 검사에 따른 피로 누적 등의 이유로 불량 검출에 대한 오차율이 증가하며, 이로 인해 생산성 및 경제성의 저하뿐만 아니라 제품 신뢰성이 저하되는 문제점이 있다.Since the defect detection of the COF film is mostly performed by visual inspection, the error rate for the defect detection increases due to the lack of experts and the fatigue accumulation due to the long-time inspection, resulting in deterioration of product reliability and economical efficiency as well as degradation of product reliability .

COF 필름은 기판이 인쇄되어 있는 SR(Solder Resist)면과 PI(Polyimide)면으로 구성되어 있다.The COF film is composed of a solder resist (SR) surface and a polyimide (PI) surface on which the substrate is printed.

COF 필름의 검사 항목은 SR 면에서 칩 검사, 마킹 검사, 패턴 검사를 하고, PI 면에서 손상 검사를 수행한다.Inspection items of COF film are chip inspection, marking inspection, pattern inspection on SR surface and damage inspection on PI surface.

기존의 COF 필름의 불량 검사는 검출 항목의 다양성과 검사 대상 제품의 특성으로 인하여 작업자들의 수작업에 의한 목시 검사로 진행되었다.The defect inspection of the existing COF film was carried out by manual inspection of the workers due to the diversity of the detection items and the characteristics of the product to be inspected.

이러한 수작업에 의한 불량 검사는 작업자의 작업 속도는 느리고 작업 숙련도 등의 영향, 작업 에러가 증가하게 되고 고객사들의 제품 품질에 대한 전체적인 불신을 초래하는 상황이 발생하였다.Such manual inspections have resulted in a slowdown in the worker's work speed, an increase in work proficiency, an increase in work errors, and a general distrust of the product quality of the clients.

수작업의 불량 검사 방법은 무엇보다 작업자 개개인의 능력 차이로 인하여 작업 표준이 검사 시 동일하게 적용될 수 없는 문제점이 있다.However, there is a problem in that the work standard can not be equally applied to the inspection due to the difference in capability of the individual workers.

이와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 COF(Chip On Film) 필름의 양면을 카메라에 의해 각각 촬영하고, COF 필름의 검사 영역을 색상 R(Red) 성분, 색상 G(Green) 성분, 색상 B(Blue) 성분을 이용하여 각각 컬러 성분을 추출하며, 상기 추출한 컬러 성분을 이용하여 양호 또는 불량 여부를 자동으로 검사하는 컬러 영상을 이용한 고속 실시간 COF 필름 복합 검사장치를 제공하는데 그 목적이 있다.In order to solve such a problem, the present invention is characterized in that both sides of a COF (Chip On Film) film are respectively photographed by a camera, and a check region of a COF film is defined as a color R component, a color G component, The present invention provides a high speed real time COF film composite inspection apparatus using a color image for extracting color components using blue components and automatically checking whether the color components are good or bad using the extracted color components.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따른 컬러 영상을 이용한 고속 실시간 COF 필름 복합 검사장치는,
진동흡수부재 상의 스테이지 위에 지지대로 지지되고, 에어 배출을 위한 배출홀과 에어 흡입을 위한 흡입홀이 주기적으로 형성되어 있는 플레이트에 COF 필름을 에어 부상시키는 공기 슬라이더 유니트;
상기 공기 슬라이더 유니트의 한쪽 또는 양쪽에서 상기 공기 슬라이더 유니트 상에 에어 부상된 상기 COF 필름을 고정하며 좌우로 슬라이드 이송시키는 이송부재;
COF 필름의 SR면을 촬영하여 영상을 획득하는 상부카메라;
COF 필름의 PI면을 촬영하여 영상을 획득하는 하부카메라;
공기 슬라이더 유니트의 한쪽 또는 양측에 설치된 이송부재의 이동을 제어하는 PLC;
상부카메라 및 하부카메라의 촬영과 영상 획득의 수집을 제어하는 영상 취득부;
획득한 상부카메라, 하부카메라(132)의 컬러 이미지의 RGB 값에서 색상 R(Red)값, 색상 G(Green)값, 색상 B(Blue)값을 추출하는 영상 처리부;
COF 필름에 부착된 PCB에 기판 동작을 위한 신호를 인가하기 위해 신호 패턴을 발생하는 패턴 발생부;
SR(Solder Resist)면이나 PI(Polyimide)면에서 검사 영역을 구분하고, 각각의 검사 영역을 색상 R(Red) 성분, 색상 G(Green) 성분, 색상 B(Blue) 성분을 이용하여 각각 컬러 성분을 추출하고, 상기 추출한 컬러 성분에 대한 이진화 과정을 수행하고, 각각의 검사 영역에서 추출한 컬러 성분 중 가장 해상도가 높은 컬러 성분을 선택하여 불량 유형을 판단하는 는 제어부;를 포함하고,
상기 제어부는 PI(Polyimide)면에서 InnerLead부에서 리드가 인식되면, 리드의 위치를 3개의 관심영역(Region of Interest, ROI)을 걸쳐서 설정되고, 각각의 리드에서 리드폭의 센터의 x,y 좌표를 저장하고, 이를 레퍼런스 영상으로 등록하고, 등록된 레퍼런스 영상을 기준으로 입력된 영상의 리드폭과 센터의 x,y 좌표를 비교하여 리드의 이동량(Shift)를 생성하여 양품 또는 불량품 여부를 판단하고,
상기 진동흡수부재는 스테이지와 지지대의 미세 회전과 충격을 흡수하는 장치로 내부의 공간부를 형성한 일정 형상의 하우징;
상기 하우징의 개구부를 형성하는 곡면부;
상기 곡면부의 개구부에 삽입되고, 받침대의 상부에 결합되는 기둥부재;
상기 기둥부재의 상부에 연결된 구 형상의 원형구;
상기 원형구의 일정 부분을 수용하여 회전되는 안착부;
상기 안착부에 연장되어 직선 형태로 형성된 지지체;
상기 지지체의 상부 끝단에 결합된 스프링부재;According to an aspect of the present invention, there is provided an apparatus for inspecting a high-speed real-time COF film using color images,
An air slider unit supported on a support on a stage on the vibration absorbing member and for raising a COF film on a plate on which a discharge hole for air discharge and a suction hole for air suction are periodically formed;
A transfer member for fixing the COF film that is air floating on the air slider unit at one or both sides of the air slider unit and slidably transferring the COF film horizontally;
An upper camera for capturing images of the SR surface of the COF film;
A lower camera for photographing the PI surface of the COF film to acquire an image;
A PLC for controlling the movement of the transfer member installed on one or both sides of the air slider unit;
An image capturing unit for capturing an image of an upper camera and a lower camera and collecting the captured image;
An image processor for extracting a color R (Red) value, a color G (Green) value, and a color B (Blue) value from RGB values of a color image of the acquired upper camera and the lower camera 132;
A pattern generating unit for generating a signal pattern for applying a signal for operation of a substrate to a PCB attached to the COF film;
The inspection area is divided on the SR (Solder Resist) surface or the PI (Polyimide) surface and each inspection area is divided into color components R (red), G (green) And a control unit for performing a binarization process on the extracted color components and selecting a color component having the highest resolution among color components extracted from the respective inspection areas to determine a defect type,
When the lead is recognized in the InnerLead portion on the PI (Polyimide) plane, the control unit sets the position of the lead over three regions of interest (ROI), and the x and y coordinates of the center of the lead width Registers the reference image as a reference image, compares the read width of the input image with the x and y coordinates of the reference image based on the registered reference image, generates a shift amount of the lead to determine whether the product is good or defective ,
The vibration absorbing member is a device for absorbing the minute rotation and impact of the stage and the support,
A curved surface portion forming an opening of the housing;
A pillar member inserted into the opening of the curved surface portion and coupled to an upper portion of the pedestal;
A spherical circular sphere connected to an upper portion of the column member;
A seating part which receives and rotates a certain part of the circular sphere;
A support extending in the seating portion and formed in a straight line shape;
A spring member coupled to an upper end of the support;

상기 스프링부재의 탄성에 의해 상기 지지체가 직선 왕복하여 가이드되고, 상기 지지체와 상기 스프링부재를 수용하는 가이드부재;를 포함하는 것을 특징으로 한다.And a guide member guiding the support member linearly reciprocated by the elasticity of the spring member and receiving the support member and the spring member.

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전술한 구성에 의하여, 본 발명은 COF 필름의 검사 영역에 대하여 컬러 영상을 획득하고, 컬러 영상을 이용하여 검사 영역의 양호 또는 불량 여부를 판단하며, 이로 인하여 불량 유형 검출에 대한 신속성과 정확성을 높여 제품의 생산량을 증대하는 효과가 있다.According to the present invention, the color image is acquired with respect to the inspection region of the COF film, and the color image is used to determine whether the inspection region is good or bad, thereby improving the promptness and accuracy of the defect type detection The production amount of the product is increased.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 컬러 영상을 이용한 고속 실시간 COF 필름 복합 검사장치의 구성을 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 COF 필름 복합 검사장치에서 카메라를 중심으로 개념적으로 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 제어장치의 구성을 간략하게 나타낸 블록도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 검사 영역을 구분한 일례를 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 검사 영역 중 도금부의 Red 성분을 이용한 검사의 일례를 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 검사 영역 중 패턴부의 Green 성분을 이용한 검사의 일례를 나타낸 도면이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 그레이 화상과 컬러 화상을 비교한 결과를 나타낸 도면이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 레퍼런스 영상의 일례를 나타낸 도면이다.
도 9는 본 발명의 제1 실시예에 따른 진동흡수부재의 구성을 나타낸 단면도이다.
도 10은 본 발명의 제2 실시예에 따른 진동흡수부재의 구성을 나타낸 단면도이다.FIG. 1 is a block diagram of a high-speed real-time COF film composite inspection apparatus using a color image according to an embodiment of the present invention.
2 is a conceptual view of a COF film composite inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a block diagram briefly showing a configuration of a control apparatus according to an embodiment of the present invention.
4 is a view showing an example of distinguishing inspection regions according to an embodiment of the present invention.
5 is a view showing an example of inspection using a red component of a plating portion among inspection regions according to an embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a diagram showing an example of a test using a green component of a pattern portion among inspection regions according to an embodiment of the present invention.
7 is a diagram showing a result of comparison between a gray image and a color image according to an embodiment of the present invention.
8 is a diagram illustrating an example of a reference image according to an embodiment of the present invention.
9 is a cross-sectional view showing a configuration of a vibration-absorbing member according to the first embodiment of the present invention.
10 is a cross-sectional view showing a configuration of a vibration absorbing member according to a second embodiment of the present invention.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.Throughout the specification, when an element is referred to as " comprising ", it means that it can include other elements as well, without excluding other elements unless specifically stated otherwise.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 컬러 영상을 이용한 고속 실시간 COF 필름 복합 검사장치의 구성을 나타낸 도면이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 COF 필름 복합 검사장치에서 카메라를 중심으로 개념적으로 나타낸 도면이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 제어장치의 구성을 간략하게 나타낸 블록도이고, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 검사 영역을 구분한 일례를 나타낸 도면이고, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 검사 영역 중 도금부의 Red 성분을 이용한 검사의 일례를 나타낸 도면이고, 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 검사 영역 중 패턴부의 Green 성분을 이용한 검사의 일례를 나타낸 도면이다.FIG. 1 is a view showing a configuration of a high-speed real-time COF film composite inspection apparatus using color images according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a schematic view of a COF film composite inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a block diagram briefly showing the configuration of a control apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 4 is a diagram showing an example of distinguishing inspection areas according to an embodiment of the present invention, FIG. 6 is a view showing an example of inspection using a red component of a pattern portion among inspection regions according to an embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a view showing an example of inspection using a green component of a pattern portion among inspection regions according to an embodiment of the present invention .

본 발명의 실시예에 따른 컬러 영상을 이용한 고속 실시간 COF 필름 복합 검사장치(100)는 공기 슬라이더 유니트(110), 이송부재(120), 상부카메라(130), 하부카메라(132), 제어장치(300) 및 진동흡수부재(200, 400)를 포함한다.A high speed real time COF film composite inspection apparatus 100 using color images according to an embodiment of the present invention includes an air slider unit 110, a transfer member 120, an upper camera 130, a lower camera 132, 300 and a vibration-absorbing member 200, 400, respectively.

공기 슬라이더 유니트(110)는 진동흡수부재(200, 400) 상의 스테이지(101) 위에 소정의 지지대(102)로 지지되며, 에어 배출을 위한 배출홀(111)과 에어 흡입을 위한 흡입홀(112)이 주기적으로 형성되어 있는 플레이트(Flate)를 포함하고, 상기 플레이트 상에 COF 필름(103)을 에어 부상시킨다. 배출홀(111)로의 에어 공급은 소정 공압 발생 장치(미도시)를 이용할 수 있으며, 흡입홀(112)로부터 에어의 흡입은 소정 공기 펌프(미도시)를 이용할 수 있다.The air slider unit 110 is supported by a predetermined support 102 on a stage 101 on the vibration absorbing members 200 and 400 and includes a discharge hole 111 for air discharge and a suction hole 112 for air suction. And a COF film 103 is air-floated on the plate. A predetermined air pressure generating device (not shown) may be used to supply the air to the discharge hole 111, and a predetermined air pump (not shown) may be used to suck air from the suction hole 112.

이송부재(120)는 공기 슬라이더 유니트(110)의 한쪽 또는 양쪽에서 상기 공기 슬라이더 유니트(110) 상에 에어 부상된 COF 필름(103)을 고정하며 좌우로 슬라이드 이송시킨다.The conveying member 120 fixes the COF film 103 that is air-floated on the air slider unit 110 at one or both sides of the air slider unit 110 and slidably feeds the COF film 103 to the left and right.

상부카메라(130)는 COF 필름(103)의 SR(Solder Resist)면을 촬영하여 영상을 획득하며, 하부카메라(132)는 COF 필름(103)의 PI(Polyimide)면을 촬영하여 영상을 획득한다.The upper camera 130 captures an SR (Solder Resist) surface of the COF film 103 to acquire an image, and the lower camera 132 captures an image of a polyimide (PI) surface of the COF film 103 .

제어장치(300)는 PLC(Programmable Logic Controller)(310), 영상 취득부(320), 영상 처리부(330), 패턴 발생부(340), 디스플레이부(350) 및 제어부(360)를 포함한다.The control device 300 includes a PLC (Programmable Logic Controller) 310, an image acquisition unit 320, an image processing unit 330, a pattern generation unit 340, a display unit 350, and a control unit 360.

PLC(310)는 공기 슬라이더 유니트(110)의 한쪽 또는 양측에 설치된 이송부재(120)의 이동을 제어한다.The PLC 310 controls the movement of the transfer member 120 installed on one or both sides of the air slider unit 110.

영상 취득부(320)는 상부카메라(130), 하부카메라(132)의 촬영과 영상 획득의 수집을 제어한다.The image acquisition unit 320 controls the shooting of the upper camera 130 and the lower camera 132 and the collection of the image acquisition.

영상 처리부(330)는 획득한 상부카메라(130), 하부카메라(132)의 컬러 이미지의 RGB 값에서 색상 R(Red)값, 색상 G(Green)값, 색상 B(Blue)값을 추출한다.The image processing unit 330 extracts a color R value, a color G value, and a color B value from the RGB values of the color images of the upper camera 130 and the lower camera 132.

패턴 발생부(340)는 COF 필름(103)에 부착된 PCB(Printed Circuit Board)(미도시)에 기판 동작을 위한 신호를 인가하기 위해 신호 패턴을 발생한다.The pattern generating unit 340 generates a signal pattern to apply a signal for operating the substrate to a PCB (Printed Circuit Board) (not shown) attached to the COF film 103.

디스플레이부(350)는 제어에 필요한 메뉴나 상부카메라(130), 하부카메라(132)가 획득한 영상을 표시하는 LCD(Liquid CrystalDisplay)이다.The display unit 350 is a liquid crystal display (LCD) displaying a menu required for the control, or an image obtained by the upper camera 130 and the lower camera 132.

제어부(360)는 도 4에 도시된 바와 같이, SR(Solder Resist)면이나 PI(Polyimide)면에서 검사 영역을 구분하고, 예를 들어, SR면에서 도금+Base 영역과 같이, 각각의 검사 영역을 색상 R(Red) 성분, 색상 G(Green) 성분, 색상 B(Blue) 성분을 이용하여 각각 컬러 성분을 추출하며, 상기 추출한 컬러 성분에 대한 이진화 과정을 수행한다.As shown in FIG. 4, the controller 360 divides the inspection area on the SR (Solder Resist) surface or the PI (Polyimide) surface. For example, in the SR surface, Extracts each color component using a color R (Red) component, a color G (Green) component, and a color B (Blue) component, and performs a binarization process on the extracted color component.

제어부(360)는 각각의 검사 영역에서 추출한 컬러 성분 중 가장 해상도가 높은 컬러 성분을 선택하여 불량 유형을 판단하게 된다.The control unit 360 selects a color component having the highest resolution among the color components extracted from the respective inspection regions to determine the defect type.

예를 들면, 도 5에 도시된 바와 같이, 도금부의 컬러 성분 중 색상 R(Red) 성분이 가장 해상도가 높아서 불량 유형의 판단이 용이하므로 색상 R(Red) 성분을 이용하여 이진화 과정을 수행하여 양품 또는 불량품 유형을 판단한다.For example, as shown in FIG. 5, since the color R (Red) component of the color component of the plating unit has the highest resolution and it is easy to determine the defect type, the binarization process is performed using the color R (Red) Or the defective type.

예를 들면, 도 6에 도시된 바와 같이, 패턴부의 컬러 성분 중 색상 G(Green) 성분이 가장 해상도가 높아서 불량 유형의 판단이 용이하므로 색상 G(Green) 성분을 이용하여 이진화 과정을 수행하여 불량 유형을 판단한다.For example, as shown in FIG. 6, since the color G (Green) component of the color component of the pattern portion has the highest resolution and it is easy to determine the defect type, the binarization process is performed using the color G (Green) Determine the type.

이와 같이, 본 발명은 검사 영역 중에서 각 컬러 성분 중 적절한 컬러를 선택하여 불량 검사의 신뢰성 및 정확도를 높일 수 있다.As described above, the present invention can increase the reliability and accuracy of the defect inspection by selecting an appropriate color among the color components in the inspection region.

도 7에 도시된 바와 같이, 그레이 화상의 경우, 불량의 유형을 쉽게 작업자가 판단하기 어렵기 때문에 불량 판정에 많은 시간이 소요되며, 정확성이 낮아질 수 있는데 반해, 컬러 화상의 경우, 특히 각각의 검사 영역에서 선명한 색상이 있으며 해당 색상을 이용하여 불량 판정을 수행하므로 불량 유형을 신속, 정확하게 검출할 수 있다.As shown in Fig. 7, in the case of the gray image, since it is difficult for the operator to easily determine the type of defect, it takes much time to determine the failure and the accuracy may be lowered. In contrast, Since there is a vivid color in the area and the defect determination is performed using the corresponding color, the defect type can be detected quickly and accurately.

본 발명의 COF 필름(103)의 불량 검사 항목은 이물질(Lead부), 이물질(칩이면), 이물질(이면PI), M/K 기타 불량, SLIT 굽음, 수지 미충진(표면), 수지 미충진(이면), 수지 유출(표면), 수지 유출(이면), 수지 날림, 수지 눌림, 수지 기포, NO potting, 기타 공정 불량, S/R 기타 불량, 도금 변색(Lead), 도금변색( A/M), 이면 Flex 불량, Flex damage, Film 기타 불량, Lead 결손, Lead 돌기, 동박 들뜸, SR핀홀, S/R 날림, S/R 번짐, S/R 이물질(도전성), S/R이물질(비도전성)이다.The defect inspection items of the COF film 103 according to the present invention include a foreign matter (lead portion), a foreign substance (chip backside), a foreign substance (backside PI), M / K other defects, SLIT bending, (A / M), resin bleed (resin), resin bleed, resin bubble, resin bubble, NO potting, other process failure, S / R other defect, plating discoloration S / R smearing, S / R foreign matter (conductive), S / R foreign matter (non-conductive) )to be.

이러한 불량 유형 중 색상을 보고 판단해야 하는 불량이 존재하며, 도금 변색 등 색상을 구분해야 하는 부분들은 Mono 카메라로 구분이 매우 어렵다.Among these defect types, there are defects that must be judged by the color, and it is very difficult to distinguish the parts that need to distinguish colors such as plating discoloration by the Mono camera.

상기 PI(Polyimide)면에서의 칩의 부착상태를 검사하는 Inner Lead Bonding 불량을 체크한다.And the inner lead bonding defect for checking the attachment state of the chip on the PI (Polyimide) surface is checked.

제어부(360)는 상기 PI(Polyimide)면에서 InnerLead부에서 리드가 인식되면, 리드의 위치를 3개의 관심영역(Region of Interest, ROI)을 걸쳐서 설정되고, 각각의 리드에서 리드폭의 센터의 x,y 좌표를 저장하며, 도 8에 도시된 바와 같이, 이를 레퍼런스 영상으로 등록한다.When the lead is recognized in the InnerLead portion on the PI (Polyimide) plane, the controller 360 sets the position of the lead over three regions of interest (ROI), and the center of the lead width in each lead , and y coordinates, and registers it as a reference image as shown in FIG.

제어부(360)는 등록된 레퍼런스 영상을 기준으로 입력된 영상의 리드폭과 센터의 x,y 좌표를 비교하여 리드의 이동량(Shift)를 생성하여 양품 또는 불량품 여부를 판단한다.The control unit 360 compares the read width of the input image with the x and y coordinates of the center based on the registered reference image to generate a shift amount of the lead to determine whether it is a good product or a defective product.

본 발명의 COF 필름 복합 검사장치(100)는 SR(Solder Resist)면과 InnerLead부의 동시 검사가 가능한 장점이 있다.The COF film composite testing apparatus 100 of the present invention has an advantage that simultaneous inspection of the SR (solder resist) surface and the inner reader portion can be performed.

본 발명은 COF 필름(103)의 평탄도 100㎛ 이하의 제품을 이송하는 기술로 비접촉식 공기 부양 방식을 채택한다.The present invention adopts a non-contact type air lifting system as a technology for transporting a product having a flatness of 100 占 퐉 or less of the COF film 103. [

그러나 COF 필름(103)은 연성 제품이므로 진동이나 위치 이탈이 발생할 수 있으므로 진동을 최소화하는 것이 불량 검사를 위하여 유리하다.However, since the COF film 103 is a soft product, vibration or dislocation may occur, so that it is advantageous for defect inspection to minimize vibration.

이하의 도 9 및 도 10은 본 발명의 진동흡수부재(200, 400)의 구성을 상세하게 설명한다.9 and 10 below explain the structure of the vibration absorbing member 200, 400 of the present invention in detail.

도 9는 본 발명의 제1 실시예에 따른 진동흡수부재의 구성을 나타낸 단면도이다.9 is a cross-sectional view showing a configuration of a vibration-absorbing member according to the first embodiment of the present invention.

본 발명의 제1 실시예에 따른 진동흡수부재(200)는 스테이지(101)와 지지대(102)의 미세 회전과 충격을 흡수하는 장치로 내부의 공간부(202)를 형성한 일정 형상의 하우징(201)과, 상기 하우징(201)의 개구부를 형성하는 곡면부(203)와, 상기 곡면부(203)의 개구부에 삽입되고, 받침대(20)의 상부에 결합되어 일정 길이의 기둥부재(216)와, 상기 기둥부재(216)의 상부에 연결된 구 형상의 원형구(215)와, 상기 원형구(215)의 일정 부분을 수용하여 회전되는 안착부(214)와, 상기 안착부(214)에 연장되어 직선 형태로 형성된 지지체(213)와, 상기 지지체(213)의 상부 끝단에 결합된 스프링부재(212)와, 상기 스프링부재(212)의 탄성에 의해 상기 지지체(213)가 직선 왕복하여 가이드되고, 상기 지지체(213)와 상기 스프링부재(212)를 수용하는 가이드부재(210)를 포함한다.The vibration absorbing member 200 according to the first embodiment of the present invention is a device for absorbing the fine rotation and impact of the stage 101 and the support table 102, A curved surface portion 203 forming an opening of the housing 201 and a pillar member 216 inserted into an opening of the curved surface portion 203 and coupled to an upper portion of the pedestal 20, A spherical circular hole 215 connected to the upper portion of the column member 216 and a seating portion 214 receiving and rotating a predetermined portion of the circular hole 215; A spring member 212 coupled to an upper end of the support body 213 and a support member 213 which is linearly reciprocated by the elasticity of the spring member 212, And a guide member 210 for receiving the support member 213 and the spring member 212.

상기 안착부(214)는 구체를 감싸는 오목한 반구체 형상으로 형성될 수 있다.The seating part 214 may be formed in a concave hemispherical shape to enclose the sphere.

상기 안착부(214)와 상기 지지체(213)는 상기 스프링부재(212)를 압축하는 방향으로 밀리며, 상기 스프링부재(212)의 반발력에 의해 다시 원위치로 되돌아온다.The seat 214 and the support 213 are pushed in the direction of compressing the spring member 212 and returned to their original positions by the repulsive force of the spring member 212.

상기 안착부(214)는 상기 원형구(215)를 내측면에 잡아 유지시키고, 내측 테두리를 따라 원형진동흡수부재(200)는구(215)가 서로 맞대어결합하여 회전된다.The seat portion 214 holds the circular sphere 215 on the inner side, and the circular vibration absorbing member 200 along the inner rim is rotated by engaging the balls 215 against each other.

진동흡수부재(200)는 원형구(215)의 미세 회전에 따라 하우징(201)이 회전되고, 상기 스프링부재(212)의 반발력에 상기 하우징(201)의 압축되었다가 원위치로 돌아가면서 충격을 흡수한다.The housing 201 is rotated in accordance with the fine rotation of the circular hole 215 and the housing 201 is compressed to the repulsive force of the spring member 212. Then, do.

도 10은 본 발명의 제2 실시예에 따른 진동흡수부재의 구성을 나타낸 단면도이다.10 is a cross-sectional view showing a configuration of a vibration absorbing member according to a second embodiment of the present invention.

본 발명의 제2 실시예는 스테이지(101)의 하부면에는 외부 충격을 흡수하는 충격흡수부재(400)를 복수개 형성한다.In the second embodiment of the present invention, a plurality of shock absorbing members 400 are formed on the lower surface of the stage 101 to absorb an external impact.

본 발명의 실시예에 따른 충격흡수부재(400)는 상기 스테이지(101)의 하부면에 결합된 캡부(401)와, 상기 캡부(401)의 하부에 결합된 제1 충격조절부재(410)와, 상기 제1 충격조절부재(410)의 하부에 결합되어 상기 제1 충격조절부재(410)보다 직경이 작은 제2 충격조절부재(420)와, 상기 제2 충격조절부재(420)의 하부에 결합되어 상기 제2 충격조절부재(420)보다 직경이 작은 제3 충격조절부재(430)를 포함한다.The impact absorbing member 400 according to the embodiment of the present invention includes a cap portion 401 coupled to a lower surface of the stage 101 and a first impact control member 410 coupled to a lower portion of the cap portion 401 A second shock control member 420 coupled to a lower portion of the first shock control member 410 and having a smaller diameter than the first shock control member 410, And a third impact control member 430 coupled to the second impact control member 420 and having a smaller diameter than the second impact control member 420.

상기 제1 충격조절부재(410)는 내부에 일정 공간부가 형성된 직사각형 형태의 제1 몸체(411)와, 상기 제1 몸체(411)의 내측면 테두리를 따라 제1 기어부(413)가 형성되며, 상기 제1 몸체(411)의 하부 끝단이 내측 방향으로 돌출되어 있는 돌출부(412)를 포함한다.The first shock control member 410 includes a first body 411 having a rectangular shape with a predetermined space formed therein and a first gear portion 413 along the inner edge of the first body 411 And a protrusion 412 protruding inward from the lower end of the first body 411.

상기 제2 충격조절부재(420)는 상기 제1 충격조절부재(410)의 직경보다 작게 형성되어 상기 제1 충격조절부재(410)의 하단 개구부를 통해 슬라이딩 삽입되는 제2 몸체(421)와, 상기 제2 몸체(421)의 내측면 테두리를 따라 제2 기어부(422)가 형성되며, 상기 제1 충격조절부재(410)의 돌출부(412)에 걸려 고정되는 걸림부재(423)를 포함한다.The second impact control member 420 includes a second body 421 formed to be smaller than the diameter of the first impact control member 410 and slidably inserted through the lower end opening of the first impact control member 410, A second gear portion 422 is formed along an inner side edge of the second body 421 and an engaging member 423 is fixed to the protrusion 412 of the first impact control member 410 .

상기 걸림부재(423)는 외측면 테두리를 따라 기어부재(423a)가 형성되어 상기 기어부재가 상기 제1 기어부(413)에 맞물려 기어 결합되고 상기 기어부재(423a)가 상기 제1 기어부(413)를 따라 이동하게 된다.The gear member 423a is formed along the outer edge of the engaging member 423 so that the gear member is meshed with the first gear portion 413 and is engaged with the gear member 423a, 413, respectively.

상기 제3 충격조절부재(430)는 상기 제2 충격조절부재(420)의 직경보다 작게 형성되어 상기 제2 충격조절부재(420)의 하단 개구부를 통해 슬라이딩 삽입되는 제3 몸체(431)와, 상기 제3 몸체(431)의 내측면 테두리를 따라 형성된 제3 내측 기어부(423)와, 외측면 테두리를 따라 제3 외측 기어부(433)가 형성되어 있다.The third impact control member 430 has a third body 431 formed to be smaller than the diameter of the second impact control member 420 and slidably inserted through the lower end opening of the second impact control member 420, A third inner gear portion 423 formed along the inner side edge of the third body 431 and a third outer gear portion 433 along the outer side edge.

상기 제3 충격조절부재(430)의 제3 외측 기어부(433)는 상기 제2 기어부(422)에 맞물려 기어 결합되고, 상기 제3 외측 기어부(433)가 상기 제2 기어부(422)를 따라 이동하게 된다.The third outer gear portion 433 of the third impact control member 430 is engaged with the second gear portion 422 and the third outer gear portion 433 is engaged with the second gear portion 422 .

상기 제3 충격조절부재(430)의 하부에는 제3 충격조절부재(430)에 접촉하여 외력을 가하는 프레스부재(440)가 결합된다.A press member 440 is attached to the lower portion of the third impact control member 430 to apply an external force to the third impact control member 430.

프레스부재(440)는 상기 제3 충격조절부재(430)의 제3 내측 기어부(433)에 피니언기어(433, 434)가 서로 맞물려 있으며, 상기 피니언기어(433, 434)를 양쪽으로 결합하는 원통하우징(441)과, 상기 원통하우징(441)의 상부 중심부에 일정 깊이로 파져 있는 홈부(442)와, 상기 원통하우징(441)의 하단면에 수평 방향으로 형성된 받침대(443)와, 상기 받침대(443)의 상부 중심부가 상부 방향으로 돌출된 돌기부(444)를 포함한다.The press member 440 is engaged with the pinion gears 433 and 434 on the third inner gear portion 433 of the third impact adjusting member 430 and is engaged with the pinion gears 433 and 434 on both sides A groove 442 formed at a predetermined depth in the upper center of the cylindrical housing 441; a pedestal 443 formed in a horizontal direction on the lower end surface of the cylindrical housing 441; And an upper central portion of the protrusion 443 protrudes upward.

상기 원통하우징(441)는 하부면이 개구되어 있고, 상기 돌기부(444)가 상기 원통하우징(441)의 하부면의 개구로 삽입되고 상기 원통하우징(441)의 하단면이 상기 받침대(443)에 의해 밀폐되어 있는 구조이다.The cylindrical housing 441 has a lower surface opened and the protruding portion 444 is inserted into the opening of the lower surface of the cylindrical housing 441 and the lower end surface of the cylindrical housing 441 is inserted into the pedestal 443 Which is sealed.

상기 원통하우징(441)의 내부 공간부에는 상기 홈부(442)와 상기 돌기부(444)의 상면 사이에 스프링부재(445)가 결합되어 있다.A spring member 445 is coupled to the inner space of the cylindrical housing 441 between the groove 442 and the upper surface of the protrusion 444.

이상에서 설명한 본 발명의 실시예는 장치 및/또는 방법을 통해서만 구현이 되는 것은 아니며, 본 발명의 실시예의 구성에 대응하는 기능을 실현하기 위한 프로그램, 그 프로그램이 기록된 기록 매체 등을 통해 구현될 수도 있으며, 이러한 구현은 앞서 설명한 실시예의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야의 전문가라면 쉽게 구현할 수 있는 것이다.The embodiments of the present invention described above are not implemented only by the apparatus and / or method, but may be implemented through a program for realizing functions corresponding to the configuration of the embodiment of the present invention, a recording medium on which the program is recorded And such an embodiment can be easily implemented by those skilled in the art from the description of the embodiments described above.

이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, It belongs to the scope of right.

100: COF 필름 복합 검사장치
110: 공기 슬라이더 유니트
120: 이송부재
130: 상부카메라
132: 하부카메라
200, 400: 진동흡수부재
300: 제어장치100: COF film composite inspection system
110: air slider unit
120:
130: upper camera
132: Lower camera
200, 400: vibration absorbing member
300: Control device

Claims (5)

진동흡수부재 상의 스테이지 위에 지지대로 지지되고, 에어 배출을 위한 배출홀과 에어 흡입을 위한 흡입홀이 주기적으로 형성되어 있는 플레이트에 COF 필름을 에어 부상시키는 공기 슬라이더 유니트;
상기 공기 슬라이더 유니트의 한쪽 또는 양쪽에서 상기 공기 슬라이더 유니트 상에 에어 부상된 상기 COF 필름을 고정하며 좌우로 슬라이드 이송시키는 이송부재;
COF 필름의 SR면을 촬영하여 영상을 획득하는 상부카메라;
COF 필름의 PI면을 촬영하여 영상을 획득하는 하부카메라;
공기 슬라이더 유니트의 한쪽 또는 양측에 설치된 이송부재의 이동을 제어하는 PLC;
상부카메라 및 하부카메라의 촬영과 영상 획득의 수집을 제어하는 영상 취득부;
획득한 상부카메라, 하부카메라(132)의 컬러 이미지의 RGB 값에서 색상 R(Red)값, 색상 G(Green)값, 색상 B(Blue)값을 추출하는 영상 처리부;
COF 필름에 부착된 PCB에 기판 동작을 위한 신호를 인가하기 위해 신호 패턴을 발생하는 패턴 발생부;
SR(Solder Resist)면이나 PI(Polyimide)면에서 검사 영역을 구분하고, 각각의 검사 영역을 색상 R(Red) 성분, 색상 G(Green) 성분, 색상 B(Blue) 성분을 이용하여 각각 컬러 성분을 추출하고, 상기 추출한 컬러 성분에 대한 이진화 과정을 수행하고, 각각의 검사 영역에서 추출한 컬러 성분 중 가장 해상도가 높은 컬러 성분을 선택하여 불량 유형을 판단하는 는 제어부;를 포함하고,
상기 제어부는 PI(Polyimide)면에서 InnerLead부에서 리드가 인식되면, 리드의 위치를 3개의 관심영역(Region of Interest, ROI)을 걸쳐서 설정되고, 각각의 리드에서 리드폭의 센터의 x,y 좌표를 저장하고, 이를 레퍼런스 영상으로 등록하고, 등록된 레퍼런스 영상을 기준으로 입력된 영상의 리드폭과 센터의 x,y 좌표를 비교하여 리드의 이동량(Shift)를 생성하여 양품 또는 불량품 여부를 판단하고,
상기 진동흡수부재는 스테이지와 지지대의 미세 회전과 충격을 흡수하는 장치로 내부의 공간부를 형성한 일정 형상의 하우징;
상기 하우징의 개구부를 형성하는 곡면부;
상기 곡면부의 개구부에 삽입되고, 받침대의 상부에 결합되는 기둥부재;
상기 기둥부재의 상부에 연결된 구 형상의 원형구;
상기 원형구의 일정 부분을 수용하여 회전되는 안착부;
상기 안착부에 연장되어 직선 형태로 형성된 지지체;
상기 지지체의 상부 끝단에 결합된 스프링부재;
상기 스프링부재의 탄성에 의해 상기 지지체가 직선 왕복하여 가이드되고, 상기 지지체와 상기 스프링부재를 수용하는 가이드부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러 영상을 이용한 고속 실시간 COF 필름 복합 검사장치.An air slider unit supported on a support on a stage on the vibration absorbing member and for raising a COF film on a plate on which a discharge hole for air discharge and a suction hole for air suction are periodically formed;
A transfer member for fixing the COF film that is air floating on the air slider unit at one or both sides of the air slider unit and slidably transferring the COF film horizontally;
An upper camera for capturing images of the SR surface of the COF film;
A lower camera for photographing the PI surface of the COF film to acquire an image;
A PLC for controlling the movement of the transfer member installed on one or both sides of the air slider unit;
An image capturing unit for capturing an image of an upper camera and a lower camera and collecting the captured image;
An image processor for extracting a color R (Red) value, a color G (Green) value, and a color B (Blue) value from RGB values of a color image of the acquired upper camera and the lower camera 132;
A pattern generating unit for generating a signal pattern for applying a signal for operation of a substrate to a PCB attached to the COF film;
The inspection area is divided on the SR (Solder Resist) surface or the PI (Polyimide) surface and each inspection area is divided into color components R (red), G (green) And a control unit for performing a binarization process on the extracted color components and selecting a color component having the highest resolution among color components extracted from the respective inspection areas to determine a defect type,
When the lead is recognized in the InnerLead portion on the PI (Polyimide) plane, the control unit sets the position of the lead over three regions of interest (ROI), and the x and y coordinates of the center of the lead width Registers the reference image as a reference image, compares the read width of the input image with the x and y coordinates of the reference image based on the registered reference image, generates a shift amount of the lead to determine whether the product is good or defective ,
The vibration absorbing member is a device for absorbing the minute rotation and impact of the stage and the support,
A curved surface portion forming an opening of the housing;
A pillar member inserted into the opening of the curved surface portion and coupled to an upper portion of the pedestal;
A spherical circular sphere connected to an upper portion of the column member;
A seating part which receives and rotates a certain part of the circular sphere;
A support extending in the seating portion and formed in a straight line shape;
A spring member coupled to an upper end of the support;
And a guide member guiding the support member linearly reciprocated by the elasticity of the spring member and receiving the support member and the spring member. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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