KR101118210B1 - Visual inspection system of printed circuit board and method of the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 인쇄회로기판 유닛의 외관 검사 방법에 관한 것으로, 본 발명의 외관 검사 방법은 검사 대상물의 전체 검사 영역을 제1영역과 제2영역으로 구분하는 단계; 서로 다른 조명을 사용하는 제1카메라와 제2카메라로 검사 대상물의 전체 검사 영역을 촬상하는 단계; 및 상기 제1카메라로부터 획득된 제1이미지를 가지고 제1영역의 불량 유무를 판단하고, 상기 제2카메라로 획득된 제2이미지를 가지고 제2영역의 불량 유무를 판단하는 판별 단계를 포함한다. The present invention relates to a method for inspecting the appearance of a printed circuit board unit, the method for inspecting the appearance of the present invention comprising: dividing the entire inspection area of the inspection object into a first area and a second area; Imaging the entire inspection area of the inspection object with the first camera and the second camera using different illumination; And determining whether the first area is defective using the first image acquired from the first camera, and determining whether the second area is defective using the second image acquired by the second camera.

인쇄회로기판, 그린조명, 적색조명,외관검사 Printed Circuit Board, Green Lighting, Red Lighting, Visual Inspection

Description

인쇄회로기판의 외관 검사 시스템 및 방법{VISUAL INSPECTION SYSTEM OF PRINTED CIRCUIT BOARD AND METHOD OF THE SAME}VISUAL INSPECTION SYSTEM OF PRINTED CIRCUIT BOARD AND METHOD OF THE SAME

본 발명은 인쇄회로기판의 외관 검사 시스템 및 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a system and method for inspecting the appearance of a printed circuit board.

액정표시장치의 드라이버 집적회로, 메모리 등의 각종 반도체 디바이스들의 제조에 사용되는 주요 재료의 하나인 인쇄회로기판은 반도체 디바이스의 소형화, 경량화 추세에 따라 필름(film), 테이프(tape) 타입 등의 플렉시블 인쇄회로 기판(Flexible Printed Circuit Board)을 많이 사용하고 있다. 플렉시블 형태의 인쇄회로기판 중에서는 예를 들어, TAB(Tape Automatic Bonding), COF(Chip On Film) 기판 등이 있으며, 노광, 현상, 에칭 공정 등을 통하여 기판에 미세 회로 패턴이 형성된다. Printed circuit boards, which are one of the main materials used in the manufacture of various semiconductor devices such as driver integrated circuits and memories of liquid crystal displays, are flexible such as film and tape types according to the trend of miniaturization and light weight of semiconductor devices. Flexible printed circuit boards are used a lot. Among flexible printed circuit boards, for example, a tape automatic bonding (TAB), a chip on film (COF) substrate, and the like are formed, and a fine circuit pattern is formed on the substrate through an exposure, development, and etching process.

이러한 플렉시블 인쇄회로기판의 생산업체에서는 최종 출하 전 전체 외관을 검사하기 위한 외관 검사기(AVI)를 이용한 검사 공정을 실시하고 있으며, 플렉시블 인쇄회로기판의 생산업체에서는 외관 검사를 보다 효율적이면서 신속하게 검사할 수 있는 검사 장비를 요구하고 있다. Manufacturers of such flexible printed circuit boards are conducting inspection processes using the AVI to inspect the entire appearance before final shipment. Manufacturers of flexible printed circuit boards can inspect the exterior inspection more efficiently and quickly. Require inspection equipment.

본 발명은 검사 속도를 향상시킬 수 있는 인쇄회로기판의 외관 검사 시스템 및 그 방법을 제공하는데 있다.The present invention provides a system and method for inspecting the appearance of a printed circuit board capable of improving an inspection speed.

본 발명은 최적화된 검사 영역별 검사가 가능한 인쇄회로기판의 외관 검사 시스템 및 그 방법을 제공하는데 있다.The present invention provides a system and method for inspecting the appearance of a printed circuit board capable of inspecting optimized inspection areas.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다. The problem to be solved by the present invention is not limited thereto, and other problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명의 외관 검사 시스템은 검사 대상물이 놓여지는 스테이지; 상기 스테이지에 놓여진 검사 대상물을 검사하는 검사부를 포함하되; 상기 검사부는 제1조명을 이용하여 검사 대상물을 촬상하는 제1촬영부재; 제2조명을 이용하여 검사 대상물을 촬상하는 제2촬영부재; 및 상기 제1촬영부재로부터 제공받은 제1이미지에서는 제1영역을 검사하고, 상기 제2촬영부재로부터 제공받은 제2이미지에서는 제2영역을 검사하되; 2개의 검사 결과를 통합하여 최종 불량 유무를 판별하는 영상처리부를 포함하되; 상기 제1영역과 상기 제2영역은 상기 검사대상물에서 서로 상이한 영역이다. The appearance inspection system of the present invention includes a stage on which an inspection object is placed; Including an inspection unit for inspecting an inspection object placed on the stage; The inspection unit may include a first photographing member configured to photograph an inspection object using first illumination; A second photographing member which photographs an object to be inspected using a second light; And inspecting a first region in a first image provided from the first photographing member, and inspecting a second region in a second image provided from the second photographing member; Including an image processing unit for integrating the two test results to determine whether there is a final failure; The first area and the second area are areas different from each other in the inspection object.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 제1조명과 상기 제2조명은 서로 상이한 종류의 조명이며, 상기 제1조명은 동축낙사 조명이고, 상기 제2조명은 집광 조명이다.According to an embodiment of the present invention, the first light and the second light are different kinds of lights, the first light is coaxial fall light, and the second light is condensed light.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 제1조명은 적색 파장을 갖는 조명이고, 상기 제2조명은 그린 파장을 갖는 조명이며, 상기 제1,2조명은 LED 조명이다.According to an embodiment of the present invention, the first light is a light having a red wavelength, the second light is a light having a green wavelength, and the first and second lights are LED lights.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 제1촬영부재와 상기 제2촬영부재가 검사 대상물을 라인단위로 연속 촬영할 수 있도록 상기 제1촬영부재와 상기 제2촬영부재를 함께 이동시키는 이동부재를 더 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the first photographing member and the second photographing member further include a moving member for moving the first photographing member and the second photographing member together so that the photographing object can be continuously photographed in line units. Include.

본 발명의 다른 실시예에 의하면, 본 발명의 검사대상물의 외관 검사 방법은 제1조명을 제공하여 검사대상물의 제1이미지를 획득하는 단계; 제2조명을 제공하여 상기 검사대상물의 제2이미지를 획득하는 단계; 상기 제1이미지에서는 제1영역에 대한 불량 유무를 판단하고, 상기 제2이미지에서는 제2영역에 대한 불량 유무를 판단하는 단계를 포함하되; 상기 제1영역과 상기 제2영역은 상기 검사대상물에서 서로 상이한 영역이다.According to another embodiment of the present invention, the method for inspecting the appearance of the inspection object of the present invention comprises the steps of: obtaining a first image of the inspection object by providing a first illumination; Providing a second light to obtain a second image of the inspection object; Determining whether the first image is defective or not in the first image, and determining whether the second image is defective or not in the second image; The first area and the second area are areas different from each other in the inspection object.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 제1영역과 상기 제2영역은 서로 중첩되는 영역이 존재할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the first region and the second region may have a region overlapping each other.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 제1영역과 상기 제2영역은 서로 중첩되는 영역이 존재하지 않는다. According to an embodiment of the present invention, there is no region where the first region and the second region overlap each other.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 제1이미지와 상기 제2이미지를 획득하는 카메라는 상이하다. According to an embodiment of the present invention, the camera for acquiring the first image and the second image are different.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 제1,2이미지는 동일한 상기 검사대상물의 촬상영역에 대한 이미지이며, 상기 제1이미지와 상기 제2이미지는 서로 다른 해상도의 이미지이다.According to an embodiment of the present invention, the first and second images are images of the same imaging area of the inspection object, and the first image and the second image are images of different resolutions.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 제1영역과 상기 제2영역은 상기 검사대 상물의 항목별 검사영역들로 구분된다. According to an embodiment of the present invention, the first area and the second area are divided into inspection areas for each item of the inspection object.

본 발명의 다른 실시예에 의하면, 본 발명의 외관 검사 방법은 검사 대상물의 전체 검사 영역을 제1영역과 제2영역으로 구분하는 단계; 서로 다른 조명을 사용하는 제1카메라와 제2카메라로 검사 대상물의 전체 검사 영역을 촬상하는 단계; 및 상기 제1카메라로부터 획득된 제1이미지를 가지고 제1영역의 불량 유무를 판단하고, 상기 제2카메라로 획득된 제2이미지를 가지고 제2영역의 불량 유무를 판단하는 판별 단계를 포함한다.According to another embodiment of the present invention, the appearance inspection method of the present invention comprises the steps of: dividing the entire inspection area of the inspection object into a first area and a second area; Imaging the entire inspection area of the inspection object with the first camera and the second camera using different illumination; And determining whether the first area is defective using the first image acquired from the first camera, and determining whether the second area is defective using the second image acquired by the second camera.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 제1영역과 상기 제2영역은 검사 대상물의 항목별 검사영역들로 구분된다.According to an embodiment of the present invention, the first area and the second area are divided into inspection areas for each item of an inspection object.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 제1카메라는 동축낙사 조명을 이용하여 촬영하고, 상기 제2카메라는 집광 조명을 이용하여 촬영한다.According to an embodiment of the present invention, the first camera is photographed using coaxial falling illumination, and the second camera is photographed using condensed illumination.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 제1카메라는 적색 파장을 갖는 LED 조명을 이용하여 촬영하고, 상기 제2카메라는 그린 파장을 갖는 LED 조명을 이용하여 촬영한다.According to an embodiment of the present invention, the first camera photographs using the LED light having a red wavelength, and the second camera photographs using the LED light having a green wavelength.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 판별 단계에서는 상기 제1영역의 불량 유무와 상기 제2영역의 불량 유무 중 어느 하나라도 불량인 경우에는 최종 검사 결과가 불량으로 판별된다.According to one embodiment of the present invention, in the determining step, if any one of the defects in the first region and the defect in the second region is defective, the final inspection result is determined as defective.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 제1영역은 검사대상물의 항목별 검사영역들 중에서 커버레이(cover layer)영역을 포함하고, 상기 제2영역은 검사대상물의 항목별 검사영역들 중에서 도금영역과 솔더레지스트(SR) 영역을 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the first region includes a cover layer region among the inspection regions for each item of the inspection object, and the second region is a plating region among the inspection areas for each item of the inspection object. And a solder resist (SR) region.

본 발명에 의하면, 조명 타입에 따라 최적화된 영역별 검사가 가능하다. According to the present invention, the inspection for each region optimized according to the illumination type is possible.

또한, 본 발명에 의하면, 검사 속도 및 검사 신뢰성을 향상시킬 수 있다.Moreover, according to this invention, an inspection speed and inspection reliability can be improved.

또한, 본 발명에 의하면 필요에 따라 각각의 검사 영역에 최적화된 색상의 파장대를 갖는 조명을 이용하여 얻은 양질의 이미지로 검사가 가능함으로 검사가 매우 효율적이다.In addition, according to the present invention, inspection can be performed with high-quality images obtained by using illumination having a wavelength band of color optimized for each inspection region as necessary, so inspection is very efficient.

또한, 본 발명에 의하면 검사 영역에 따라 일부 이미지는 저화질로 제공될 수 있으므로 영상 데이터의 크기를 줄일 수 있고 따라서 양불을 판별하는 처리 속도가 증대될 수 있다. In addition, according to the present invention, since some images may be provided with a low quality according to the inspection area, the size of the image data may be reduced, and thus, the processing speed for discriminating between two or more non-payments may be increased.

이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 4를 참조하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다. 상기 도면들에서 동일한 기능을 수행하는 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 병기한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to FIGS. 1 to 4. The embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the following embodiments. This embodiment is provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art. Therefore, the shape of the elements in the drawings are exaggerated to emphasize a more clear description. In the drawings, components which perform the same function are denoted by the same reference numerals.

도 1은 플렉시블 인쇄회로기판인 검사대상물의 일 예를 항목별 검사영역들로 구분한 도면이다. 도 1를 참조하면, 검사대상물은 도금영역(1), 솔더레지스트(SR) 영역(2), 커버레이(CL;cover Layer) 영역(3), 오버코팅(O/C;Over Coating) 영역(4) 과 같은 항목별 검사영역들로 구분될 수 있다. 이러한 각 항목별 검사영역들은 서로 중첩되는 영역이 존재하거나 또는 중첩되지 않을 수 있다. 1 is a diagram illustrating an example of an inspection object, which is a flexible printed circuit board, divided into inspection areas for each item. Referring to FIG. 1, the inspection object may include a plating region 1, a solder resist (SR) region 2, a cover layer (CL) region 3, an overcoating (O / C) region ( It can be divided into inspection areas for each item such as 4). The inspection areas for each item may exist or may not overlap each other.

본 발명의 외관 검사 시스템에서는 도금영역(1), 솔더레지스트(SR) 영역(2), 커버레이(CL;cover Layer) 영역(3), 오버코팅(O/C;Over Coating) 영역(4)을 포함하는 검사영역들에 대해 외관 검사를 하게 된다. In the visual inspection system of the present invention, the plating area 1, the solder resist (SR) area 2, the cover layer (CL) area 3, the overcoating (O / C) area 4 Appearance inspection for the inspection areas including the.

참고로, 플렉시블 인쇄회로기판(FPCB)은 주로 컨텍(contact)을 위한 목적으로 사용되기 때문에 제품 위에 각종 전자 디바이스의 표면 실장이 가능해야 하고 또 굴곡성을 가져야 한다. 플렉시블 인쇄회로기판의 사용과정에서 도체회로가 외부로 노출되면 반복/장기 사용시 제품에 불가피한 손상이 가해지게 되고 이를 방지하기 위하여 도체 보호용 필름 혹은 고분자 절연체(INK)를 도포하기도 한다. For reference, since the flexible printed circuit board (FPCB) is mainly used for contact (contact), it must be possible to surface mount various electronic devices on the product and have flexibility. If the conductor circuit is exposed to the outside during the use of the flexible printed circuit board, the product is inevitably damaged during repeated / long-term use and a conductor protective film or polymer insulator (INK) may be applied to prevent this.

여기서, 오버코팅(O/C) 영역은 도체 회로를 절연성 및 굴곡에 뛰어난 성능을 지닌 고분자 절연체로 도포한 영역이다. 일반적으로 커버 레이(C/L)와 같이 도체 회로의 많은 부분을 보호하기 위한 용도로는 사용되지 않고 실버 페스트(Ag Paste)가 도포된 부분의 보호용 등의 제한적인 소규모 면적의 보호용으로 많이 사용된다. 그리고, 커버 레이(C/L) 영역은 제품 표면에 형성된 도체 회로를 외부 요인으로 인한 손상에 대비하기 위한 보호 역할로 절연성 및 굴곡성을 가진 필름을 이용하여 코팅된 영역이다. 물론, 본 발명은 플렉시블한 기판 외에 다른 종류의 기판 외관 검사에도 적용 가능하다. Here, the overcoating (O / C) region is a region in which the conductor circuit is coated with a polymer insulator having excellent performance in insulation and bending. In general, it is not used to protect a large part of a conductor circuit such as a cover lay (C / L), but is used to protect a limited small area such as protecting silver paste (Ag Paste). . In addition, the cover lay (C / L) region is a region coated with a film having insulation and bendability as a protective role to protect the conductor circuit formed on the product surface against damage caused by external factors. Of course, the present invention can also be applied to other types of substrate appearance inspection in addition to the flexible substrate.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 외관 검사 시스템의 주요 구성을 보여주는 개략도이다. Figure 2 is a schematic diagram showing the main configuration of the appearance inspection system according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 외관 검사 시스템(1)은 서로 다른 조명을 이용한 제1,2촬영부재(300,400)를 이용하여 플렉시블 인쇄회로기판인 검사대상물(10)의 항목별 검사영역들을 검사할 수 있는 시스템이다. 2, the appearance inspection system 1 according to an embodiment of the present invention by item of the inspection object 10, which is a flexible printed circuit board using the first and second photographing members 300, 400 using different illumination. It is a system that can inspect inspection areas.

외관 검사 시스템(1)은 검사대상물(10)이 놓여지는 스테이지(100)와 스테이지(100)에 놓여진 검사대상물(10)을 검사하는 검사부(200)를 포함한다. The appearance inspection system 1 includes a stage 100 on which the inspection object 10 is placed and an inspection unit 200 for inspecting the inspection object 10 placed on the stage 100.

검사부(200)는 제1촬영부재(300)와 제2촬영부재(400), 이동부재(500) 그리고 영상처리부(600)를 포함할 수 있다. The inspection unit 200 may include a first photographing member 300, a second photographing member 400, a moving member 500, and an image processor 600.

제1촬영부재(300)는 제1카메라(310)와 제1조명(320)을 포함한다. 제1조명(320)은 동축낙사 조명으로 적색 파장을 갖는 LED 또는 적색 필터를 장착한 메탈할라이드 조명으로 이루어진다. 적색 파장을 갖는 동축낙사 방식의 제1조명(320)을 사용한 제1촬영부재(300)는 검사대상물의 항목별 검사영역들인 도금영역, 솔더레지스트(SR) 영역, 커버레이(C/L;cover Layer) 영역, 오버코팅(O/C;Over Coating) 영역 중에서 도금 영역과 커버레이(C/L) 영역을 검사하는데 가장 적합하다. The first photographing member 300 includes a first camera 310 and a first illumination 320. The first light 320 is a coaxial fall-off illumination and consists of a metal halide illumination equipped with an LED having a red wavelength or a red filter. The first photographing member 300 using the first illumination 320 of the coaxial drop method having a red wavelength includes a plating area, a solder resist (SR) area, and a coverlay (C / L; It is most suitable for inspecting the plating area and the coverlay (C / L) area among the layer area and the over coating area.

적색의 파장대를 갖는 동축낙사 방식의 제1조명(320)은 도금 영역 및 커버레이 영역에 대해서 다른 파장대의 조명보다 선명한 영상 획득이 가능하다. 도금 영역의 검사를 위해서는 표면에 노출된 부분의 영역에 대해서 표면의 요철 및 오염 변색 등의 검사를 수행해야 하는데 이것에는 표면에 수직으로 조사되는 동축낙사 방식이 매우 유리하다. 또한, 커버레이 영역 밑에 존재하는 도체 회로를 검사하기 위해서는 커버레이를 투과하여 영상을 획득해야 하며, 이를 위해 반투명의 오렌지 색상의 커버레이와 비슷한 적색파장대의 조명을 사용함으로써 기타 파장대의 조명 보다 선명한 촬상이 가능하다. 또한, 커버레이와 비슷한 색상의 적색 파장대의 조명을 사용하면 커버레이 표면의 영상도 선명하게 촬상이 가능할 수 있다. The first illumination 320 of the coaxial fall-off method having a red wavelength band can acquire a clearer image than the illumination of other wavelength bands in the plating region and the coverlay region. In order to inspect the plating area, inspection of the surface unevenness and stain discoloration should be performed on the area of the part exposed to the surface, and the coaxial falloff method irradiated perpendicularly to the surface is very advantageous. In addition, in order to inspect the conductor circuit existing under the coverlay region, an image must be obtained by penetrating the coverlay. For this purpose, by using a red wavelength light similar to a translucent orange coverlay, the image is more clearly captured than other wavelengths. This is possible. In addition, when the red wavelength band of light similar to the coverlay is used, images of the coverlay surface may be clearly captured.

제2촬영부재(400)는 제2카메라(410)와 제2조명(420)을 포함한다. 제2조명(420)은 제1조명(320)과 서로 상이한 조명을 사용하게 된다. 제2조명(420)은 집광 조명으로 그린 파장을 갖는 LED 또는 그린 필터를 장착한 메탈할라이드 조명으로 이루어진다. 그린 파장을 갖는 집광 방식의 제2조명(420)을 사용한 제2촬영부재(400)는 검사대상물의 항목별 검사영역들인 도금영역, 솔더레지스트(SR) 영역, 커버레이(C/L;cover Layer) 영역, 오버코팅(O/C;Over Coating) 영역 중에서 솔더레지스트(SR) 영역과 오버코팅(O/C) 영역을 검사하는데 가장 적합하다. The second photographing member 400 includes a second camera 410 and a second illumination 420. The second lighting 420 uses different lighting from the first lighting 320. The second light 420 is a condensed light and consists of a metal halide light equipped with an LED or a green filter having a green wavelength. The second photographing member 400 using the second light 420 of the condensing method having the green wavelength includes a plating area, a solder resist (SR) area, and a cover layer (C / L), which are inspection areas for each item of the inspection object. It is most suitable for inspecting solder resist (SR) region and overcoating (O / C) region among)) and over coating (O / C) regions.

예컨대, 솔더레지스트(SR) 영역을 검사하는데 그린색의 LED 조명을 사용하는 이유는 보다 정확한(선명한) 이미지를 얻기 위함이다. 예컨대, 검사대상물(20)은 패턴 성분 위로 절연성분인 그린색의 솔더 레지스트(SR)가 덮고 있는데, 만약 흰색 또는 적색의 조명을 사용하게 되면 솔더 레지스트 때문에 패턴이 선명하게 촬상되지 않는다. 하지만, 솔더 레지스트의 색상과 동일하거나 유사한 파장의 그린색 LED 조명을 조사하여 촬영하면 동일한 파장의 LED 조명이 솔더 레지스트층을 통과해서 안쪽의 패턴면을 밝게 비추게 된다. 따라서, 그린의 LED 조명을 사용하면 솔더 레지스트 내부에 있는 패턴이 깨끗하게(SR이 없는 것처럼) 촬상된다. 본 발명에서 사용하는 조명들은 LED, 메탈할라이드 이외에도 칼라 필터를 장착한 다양한 조명이 사용될 수 있다.For example, the reason for using green LED lighting to inspect solder resist (SR) areas is to get a more accurate (sharp) image. For example, the inspection object 20 is covered with a green solder resist SR which is an insulating component over the pattern component. If the white or red illumination is used, the pattern is not clearly captured due to the solder resist. However, when irradiated with green LED light having the same or similar wavelength as the color of the solder resist, the LED light of the same wavelength passes through the solder resist layer to brighten the inner surface of the pattern. Thus, with green LED lighting, the pattern inside the solder resist is imaged cleanly (as if there is no SR). As the lights used in the present invention, various lights equipped with color filters in addition to LEDs and metal halides may be used.

이처럼, 제2촬상부재(400)는 솔더 레지스트와 비슷한 파장의 조명을 사용하 여 SR 영역의 솔더 레지스트 내의 이물뿐만 아니라 내부에 있는 패턴까지 깨끗하게 이미지를 얻을 수 있다. As described above, the second image pickup member 400 may use the illumination having a wavelength similar to that of the solder resist to cleanly obtain images not only in the foreign material in the solder resist of the SR region but also in the patterns therein.

그리고, 오버코팅(O/C) 영역에서도 솔더 레지스트와 비슷한 고분자 절연체를 이용하기 때문에 비슷한 효과를 얻을 수 있습니다.And similar effects can be obtained in the overcoating (O / C) area because of the use of polymer insulators similar to solder resists.

본 발명에서 제1촬영부재(300)와 제2촬영부재(400)가 서로 다른 파장의 조명을 사용하는 이유는 검사 영역에서 각 파장별로 깨끗한(선명한) 이미지를 얻을 수 있기 때문이다. 예컨대, 본 발명에서는 필요에 따라 각각의 검사 영역의 특성에 따라 최적화된 색상(유사한 색상)의 파장대를 갖는 조명을 이용하여 양질의 이미지를 얻을 수 있다. The reason why the first photographing member 300 and the second photographing member 400 use illumination of different wavelengths in the present invention is that a clear (clear) image can be obtained for each wavelength in the inspection region. For example, according to the present invention, a high quality image can be obtained by using an illumination having a wavelength band of color (similar color) optimized according to the characteristics of each inspection area as needed.

이동부재(500)는 제1촬영부재(300)와 제2촬영부재(400)가 검사대상물(10)을 라인단위로 촬영할 수 있도록 제1촬영부재(300)와 제2촬영부재(400)를 이동시키기 위한 직선이동장치이다. 이동부재(500)는 검사대상물(10)을 검사할 때 제1촬영부재(300)와 제2촬영부재(400)를 검사대상물(10)의 일측에서 타측까지 편도 이동시키거나 또는 왕복 이동시킬 수 있다. 여기서, 이동부재(500)는 유압을 이용한 실린더 방식 또는 모터, 볼스크류 그리고 이송너트를 이용한 다양한 직선 이동 방식이 사용될 수 있다. The moving member 500 moves the first photographing member 300 and the second photographing member 400 so that the first photographing member 300 and the second photographing member 400 photograph the inspection object 10 in line units. It is a linear movement device for moving. The moving member 500 may move the first photographing member 300 and the second photographing member 400 one-way from one side to the other side of the inspection object 10 or reciprocally when inspecting the inspection object 10. have. Here, the moving member 500 may be a cylinder type using a hydraulic pressure or a variety of linear movement method using a motor, a ball screw and a transfer nut.

본 발명에서 제1촬상부재(300)의 제1카메라(310)와 제2촬상부재(400)의 제2카메라(410) 모두 검사대상물(10)의 전체 영역을 동일하게 촬영하게 된다. 영상 처리부(600)에서는 제1,2카메라(310,410)로부터 제공받은 검사대상물의 전체 영역에 대한 제1,2이미지로부터 제1,2조명(320,420)에 의해 최적화되어 있는 영역의 이미 지만을 사용하여 기준이 되는 영상과 비교를 하게 된다. 예컨대, 제1이미지와 제2이미지에 대해 획득된 검사 대상물의 촬상영역은 서로 상이할 수 도 있고, 제1이미지와 제2이미지는 하나의 카메라에 의해 획득될 수 있다. 그리고, 제1이미지와 제2이미지는 동일 조명에 의해 획득될 수 있다. In the present invention, the first camera 310 of the first imaging member 300 and the second camera 410 of the second imaging member 400 both photograph the entire area of the inspection object 10 in the same manner. The image processing unit 600 uses only the image of the area optimized by the first and second illuminations 320 and 420 from the first and second images of the entire area of the inspection object provided from the first and second cameras 310 and 410. It will be compared with the reference image. For example, the imaging regions of the inspection object obtained for the first image and the second image may be different from each other, and the first image and the second image may be obtained by one camera. In addition, the first image and the second image may be obtained by the same illumination.

영상처리부(600)는 전형적인 컴퓨터 시스템(일명 마이컴)으로써, 영상처리부(600)는 제1촬영부재(300)로부터 제1이미지를 제공받고, 제2촬영부재(400)로부터 제2이미지를 제공받아 이를 기준데이터와 비교하여 불량 여부를 판별하게 된다. 여기서, 영상처리부(600)는 검사대상물의 전체 검사 영역(제1카메라와 제2카메라에 의해 촬상되는 영역)을 영역별로 구분한다. 본 실시예에서는 도금 영역과 커버레이(C/L) 영역을 포함하는 제1영역과 솔더레지스트(SR) 영역과 오버코팅(O/C) 영역을 포함하는 제2영역으로 구분한다. 예컨대, 제1영역과 제2영역은 검사대상물의 항목별 검사영역 이외에 다른 기준(영역의 색상이나 재질 등)에 의해 구분될 수 있다. The image processing unit 600 is a typical computer system (aka micom), and the image processing unit 600 receives a first image from the first photographing member 300, and receives a second image from the second photographing member 400. This is compared with the reference data to determine whether the failure. Here, the image processing unit 600 divides the entire inspection area (the area photographed by the first camera and the second camera) of the inspection object for each area. In the present embodiment, a first region including a plating region and a coverlay (C / L) region, and a second region including a solder resist (SR) region and an overcoating (O / C) region are divided. For example, the first region and the second region may be distinguished by other criteria (such as color or material of the region) in addition to the inspection region for each item of the inspection object.

그리고, 영상처리부(600)는 제1카메라가 촬상한 제1이미지에서 제1영역에 해당되는 이미지를 선별하여 검사하고, 제2카메라가 촬상한 제2이미지에서 제2영역에 해당되는 이미지만을 선별하여 검사한다. 이때 비교의 대상이 되는 기준데이터는 설계 기준을 사용하는 방식과 양품 기판의 데이터를 사용하는 2가지 방식이 있다. The image processor 600 selects and inspects an image corresponding to the first region from the first image captured by the first camera, and selects only an image corresponding to the second region from the second image captured by the second camera. Inspect At this time, there are two types of reference data to be compared using a design standard and a good substrate data.

도 3은 외관 검사 방법을 설명하기 위한 플로우챠트이고, 도 4는 항목별 검사영역들의 제1,2이미지를 비교하기 위한 도면이다. 3 is a flowchart for explaining an appearance inspection method, and FIG. 4 is a diagram for comparing first and second images of inspection areas for each item.

도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 외관 검사 방법은 영상처리 부(600)가 검사대상물의 전체 검사 영역(제1카메라와 제2카메라에 의해 촬상되는 영역)을 제1영역과 제2영역으로 구분한다(S10). 3 and 4, in the appearance inspection method according to the present invention, the image processing unit 600 includes the first region and the first inspection region (the region photographed by the first camera and the second camera) of the inspection object. It is divided into two areas (S10).

제1촬상부재(300)의 제1카메라(310)는 제1조명을 이용하여 검사대상물(10)의 전체 영역을 촬영하고, 제2촬상부재(400)의 제2카메라(410)는 제2조명을 이용하여 검사대상물(10)의 전체 영역을 촬영한다(S20). 제1카메라(310)에서 획득한 제1이미지와 제2카메라(410)에서 획득한 제2이미지는 동일한 검사대상물의 촬상영역에 대한 이미지이다. The first camera 310 of the first imaging member 300 photographs the entire area of the inspection object 10 using the first illumination, and the second camera 410 of the second imaging member 400 is the second camera. The entire area of the inspection object 10 is photographed using the illumination (S20). The first image acquired by the first camera 310 and the second image acquired by the second camera 410 are images of the imaging region of the same inspection object.

제1카메라(310)에서 획득한 제1이미지와 제2카메라(410)에서 획득한 제2이미지는 영상처리부(600)로 제공되고, 영상처리부(600)는 제1이미지에서 제1영역에 해당되는 도금 영역과 커버레이(C/L) 영역에 해당되는 이미지를 가지고 불량 유무를 판단하고, 제2이미지에서 제2영역에 해당되는 솔더레지스트(SR) 영역과 오버코팅(O/C) 영역에 해당되는 이미지를 가지고 불량 유무를 판단하게 된다(S30). The first image acquired by the first camera 310 and the second image acquired by the second camera 410 are provided to the image processor 600, and the image processor 600 corresponds to the first area in the first image. Determining whether there is a defect by using the image corresponding to the plating area and the coverlay (C / L) area, and in the solder resist (SR) area and the overcoating (O / C) area corresponding to the second area in the second image. It is determined whether there is a defect with the corresponding image (S30).

도 3에서와 같이, 커버레이 영역과 도금 영역에 대한 검사는 제1카메라(310)로 얻은 제1이미지가 제2카메라(410)로 얻은 제2이미지보다 선명하기 때문에 제1이미지를 가지고 검사를 하고, 솔더레지스트 영역에 대한 검사는 제2카메라(410)로 얻은 제2이미지가 제1카메라(310)로 얻은 제1이미지보다 선명하기 때문에 제2이미지를 가지고 검사를 한다. 그리고, 최종적으로 영상처리부(600)는 두 개의 검사 결과를 통합하여 양불 여부를 판단하게 된다(S40).As shown in FIG. 3, the inspection of the coverlay area and the plating area is performed with the first image because the first image obtained by the first camera 310 is clearer than the second image obtained by the second camera 410. In addition, the inspection of the solder resist area is performed with the second image because the second image obtained by the second camera 410 is clearer than the first image obtained by the first camera 310. Finally, the image processing unit 600 integrates the two test results to determine whether or not the payment (S40).

이처럼, 본 발명의 외관 검사 방법은 각각의 영역에 특화된 조명들을 사용하여 이미지를 얻고, 이렇게 얻은 이미지들에서 최적화되어 있는 영역의 이미지만을 사용하여 불량 유무를 검사함으로써, 검사 속도뿐만 아니라 검사 신뢰성을 향상시킬 수 있다.As such, the appearance inspection method of the present invention obtains an image using illuminations specialized for each region, and inspects for defects using only the image of the region optimized in the obtained images, thereby improving inspection reliability as well as inspection speed. You can.

본 실시예에서는 2대의 카메라를 기본 구성으로 하고 있으나, 필요에 따라서는 칼라 카메라가 추가로 적용될 수 있다. In this embodiment, two cameras are used as a basic configuration, but a color camera may be additionally applied as necessary.

본 발명은 검사대상물에 대한 최종 외관 검사를 실시하는 장비로써, 이러한 최종 외관 검사 장비의 특성은 기본적으로 기존의 목시 검사를 대체하기 위한 것으로 저렴하면서도 빠른 검사 속도가 매우 중요하다. 따라서, 본 발명에서는 제1카메라(310)와 제2카메라(410)에 사용되는 조명 파장을 달리하여 검사 대상물을 촬상하고, 제1카메라(310)가 촬상한 제1이미지에서는 검사대상물의 제1영역을 검사하고, 제2카메라(410)가 촬상한 제2이미지에서는 검사대상물의 제2영역을 검사하여 검사 속도뿐만 아니라 검사 신뢰성을 향상시킬 수 있다.The present invention is a device for performing the final appearance inspection on the inspection object, the characteristics of this final appearance inspection equipment is basically to replace the existing visual inspection is inexpensive but fast inspection speed is very important. Therefore, in the present invention, the inspection object is photographed by varying the illumination wavelength used in the first camera 310 and the second camera 410, and the first image captured by the first camera 310 is the first image of the inspection object. The area may be inspected, and the second image captured by the second camera 410 may inspect the second area of the inspection object, thereby improving inspection reliability as well as inspection speed.

한편, 본 발명은 상기의 구성으로 이루어진 외관 검사 장치 및 방법에 있어 다양하게 변형될 수 있고 여러 가지 형태를 취할 수 있다. 하지만, 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 특별한 형태로 한정되는 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 오히려 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. On the other hand, the present invention can be variously modified and take various forms in the appearance inspection apparatus and method consisting of the above configuration. It is to be understood, however, that the present invention is not limited to the specific forms referred to in the above description, but rather includes all modifications, equivalents and substitutions within the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. It should be understood to do.

도 1은 플렉시블 인쇄회로기판인 검사대상물의 일 예를 항목별 검사영역들로 구분한 도면이다. 1 is a diagram illustrating an example of an inspection object, which is a flexible printed circuit board, divided into inspection areas for each item.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 외관 검사 시스템의 주요 구성을 보여주는 개략도이다. Figure 2 is a schematic diagram showing the main configuration of the appearance inspection system according to an embodiment of the present invention.

도 3은 외관 검사 방법을 설명하기 위한 플로우챠트이다.3 is a flowchart for explaining the appearance inspection method.

도 4는 항목별 검사영역들의 제1,2이미지를 비교하기 위한 도면이다. 4 is a diagram for comparing first and second images of inspection areas for each item.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

100 : 스테이지100: stage

200 : 검사부200: inspection unit

300 : 제1촬영부재300: first photographing member

400 : 제2촬영부재400: second recording member

600 : 영상처리부 600: image processing unit

Claims (19)

외관 검사 시스템에 있어서: In the visual inspection system: 검사 대상물이 놓여지는 스테이지;A stage on which the test object is placed; 상기 스테이지에 놓여진 검사 대상물을 검사하는 검사부를 포함하되;Including an inspection unit for inspecting an inspection object placed on the stage; 상기 검사부는 The inspection unit 제1조명 및 상기 제1조명을 이용하여 검사 대상물을 촬상하는 제1카메라를 가지는 제1촬영부재;A first photographing member having a first camera to photograph an object to be inspected by using a first light and the first light; 제2조명 및 상기 제2조명을 이용하여 검사 대상물을 촬상하는 제2카메라를 가지는 제2촬영부재; A second photographing member having a second camera for photographing an object to be inspected using a second light and the second light; 상기 제1카메라와 상기 제2카메라가 검사 대상물을 라인단위로 연속 촬영할 수 있도록 상기 제1촬영부재와 상기 제2촬영부재를 함께 이동시키는 이동부재; 및A moving member which moves the first photographing member and the second photographing member together such that the first camera and the second camera continuously photograph the inspection object in line units; And 상기 제1카메라로부터 제공받은 제1이미지에서는 제1영역을 검사하고, 상기 제2카메라로부터 제공받은 제2이미지에서는 제2영역을 검사하여 불량 유무를 판별하는 영상처리부를 포함하되;An image processor for inspecting a first region in a first image provided from the first camera and a second region in a second image provided from the second camera to determine whether there is a defect; 상기 제1이미지와 상기 제2이미지는 동일한 상기 검사대상물의 전체 검사 영역에 대한 이미지이고, 상기 제1영역과 상기 제2영역은 상기 검사대상물에서 서로 상이한 영역인 것을 특징으로 하는 외관 검사 시스템. The first image and the second image is an image of the entire inspection area of the same inspection object, wherein the first region and the second region is a visual inspection system, characterized in that different from each other on the inspection object. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1조명과 상기 제2조명은 서로 상이한 종류의 조명인 것을 특징으로 하는 외관 검사 시스템.The first lighting and the second lighting is a visual inspection system, characterized in that different types of lighting. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1조명은 동축낙사 조명이고,The first lighting is coaxial fall lighting, 상기 제2조명은 집광 조명인 것을 특징으로 하는 외관 검사 시스템.The second illumination is a visual inspection system, characterized in that the focusing light. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1조명은 The first lighting 적색 파장을 갖는 조명이고,Is a light with a red wavelength, 상기 제2조명은 The second lighting 그린 파장을 갖는 조명인 것을 특징으로 하는 외관 검사 시스템.Appearance inspection system, characterized in that the illumination having a green wavelength. 제4항에 있어서,5. The method of claim 4, 상기 제1,2조명은 LED 조명 또는 칼라필터가 장착된 메탈할라이드 조명인 것을 특징으로 하는 외관 검사 시스템.The first and second lighting is a visual inspection system, characterized in that the LED light or a metal halide light equipped with a color filter. 삭제delete 검사대상물의 외관 검사 방법에 있어서: In the external inspection method of the inspection object: 제1조명 및 제1카메라를 가지는 제1촬영부재와 제2조명 및 제2카메라를 가지는 제2촬영부재를 동시에 이동하고, 상기 제1촬영부재를 이용하여 상기 검사대상물의 제1이미지를 획득하고, 상기 제2촬영부재를 이용하여 상기 검사 대상물의 제2이미지를 획득하는 단계와; Simultaneously moving a first photographing member having a first illumination and a first camera and a second photographing member having a second illumination and a second camera, and acquiring a first image of the inspection object using the first photographing member; Obtaining a second image of the inspection object by using the second photographing member; 상기 제1이미지에서는 상기 검사대상물의 제1영역에 대한 불량 유무를 판단하고, 상기 제2이미지에서는 상기 검사대상물의 제2영역에 대한 불량 유무를 판단하는 단계를 포함하되;Determining whether the first image is defective in the first region of the inspection object, and determining whether the second region is defective in the second image of the inspection object; 상기 제1이미지와 상기 제2이미지는 동일한 상기 검사대상물의 전체 검사 영역에 대한 이미지이고, 상기 제1영역과 상기 제2영역은 상기 검사대상물에서 서로 상이한 영역이며,The first image and the second image is an image of the entire inspection region of the same inspection object, the first region and the second region is a different region from the inspection object, 상기 제1카메라와 상기 제2카메라는 상기 검사대상물을 라인단위로 연속촬영함으로써 상기 제1이미지와 상기 제2이미지를 획득하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 방법.And the first camera and the second camera acquire the first image and the second image by continuously photographing the inspection object in line units. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 제1영역과 상기 제2영역은 서로 중첩되는 영역이 존재하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 방법.Appearance inspection method, characterized in that the first region and the second region overlap with each other. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 제1영역과 상기 제2영역은 서로 중첩되는 영역이 없는 것을 특징으로 하는 외관 검사 방법.And the first region and the second region do not overlap with each other. 삭제delete 삭제delete 제7항 내지 제9항 중 어느 하나의 항에 있어서,The method according to any one of claims 7 to 9, 상기 제1이미지와 상기 제2이미지는 서로 다른 해상도의 이미지인 것을 특징으로 하는 외관 검사 방법.The first image and the second image is a visual inspection method, characterized in that the image of different resolution. 제7항 내지 제9항 중 어느 하나의 항에 있어서,The method according to any one of claims 7 to 9, 상기 제1영역과 상기 제2영역은 상기 검사대상물의 항목별 검사영역들로 구분되는 것을 특징으로 하는 외관 검사 방법.And the first area and the second area are divided into inspection areas for each item of the inspection object. 삭제delete 삭제delete 제7항 내지 제9항 중 어느 하나의 항에 있어서,The method according to any one of claims 7 to 9, 상기 제1카메라는 동축낙사 조명을 이용하여 촬영하고, 상기 제2카메라는 집광 조명을 이용하여 촬영하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 방법.The first camera is photographed using coaxial fall light, and the second camera is photographed using condensed light. 제7항 내지 제9항 중 어느 하나의 항에 있어서,The method according to any one of claims 7 to 9, 상기 제1카메라는 적색 파장을 갖는 LED 조명을 이용하여 촬영하고,The first camera is photographed using the LED light having a red wavelength, 상기 제2카메라는 그린 파장을 갖는 LED 조명을 이용하여 촬영하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 방법.The second camera is a visual inspection method characterized in that the image is taken using the LED light having a green wavelength. 삭제delete 제7항 내지 제9항 중 어느 하나의 항에 있어서,The method according to any one of claims 7 to 9, 상기 제1영역은 검사대상물의 항목별 검사영역들 중에서 커버레이(cover layer)영역을 포함하고,The first area includes a cover layer area among inspection areas for each item of the inspection object. 상기 제2영역은 검사대상물의 항목별 검사영역들 중에서 도금영역과 솔더레지스트(SR) 영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 방법. And the second region includes a plating region and a solder resist (SR) region among inspection regions for each item of the inspection object.
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