KR101961229B1 - 누설 검사 장치 및 누설 검사 방법 - Google Patents

누설 검사 장치 및 누설 검사 방법 Download PDF

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Abstract

[과제] 고정밀도로 누설을 검출할 수 있고, 시일 부재를 반복 사용 가능한 누설 검사 장치 및 누설 검사 방법을 제공한다.
[해결수단] 누설 검사 장치는 워크를 수용 가능한 검사 챔버와, 그 검사 챔버 내의 상기 워크의 개구부에 시일 부재를 접촉시켜서 압박함으로써 그 개구부를 폐색하여 상기 검사 챔버 내를 상기 워크의 내부측과 외부측의 각각 다른 밀폐 공간부로서 격리하는 압박 수단과, 상기 워크의 상기 내부측 또는 상기 외부측 중 한쪽의 밀폐 공간부에 트레이스 가스를 공급하는 가스 공급 수단과, 상기 한쪽의 밀폐 공간부로부터 다른쪽의 밀폐 공간부로 누출되는 상기 트레이스 가스를 검출하는 누설 검출 수단과, 상기 개구부를 폐색한 상태의 상기 시일 부재의 이동을 막는 록 수단을 구비한다.

Description

누설 검사 장치 및 누설 검사 방법{LEAK INSPECTION APPARATUS AND LEAK INSPECTION METHOD}
본 발명은 트레이스 가스를 이용하여 워크에 있어서의 누설을 검출하는 누설 검사 장치 및 누설 검사 방법에 관한 것이다.
예를 들면, 자동차에서 사용되는 타이어를 지지하는 휠은 타이어 내부의 공기를 밀폐한 상태에서 지지하기 위해서 기밀성이 요구된다. 휠은 일반적으로 알루미늄 다이캐스트에 의한 주조나 단조, 또한 멀티피스의 휠에서는 휠 림과 디스크를 용접이나 시일을 사이에 두고 나사 고정시키는 등에 의해 접합하여 형성된다. 그런데, 휠에는 주조시에 발생되는 미소한 구멍이나 균열, 용접 불량에 기인하는 에어 누설이 발생되는 경우가 있다. 그래서, 휠과 같이 기밀성이 요구되는 워크(드럼통, 에어컨 실외기, 콤프레서, 자동차용 연료 탱크 등의 각종 워크)에 있어서는 기밀성을 확실하게 유지하기 위해서 트레이스 가스(검사용 가스)를 이용한 누설 검사(리크 테스트)가 행해지고 있다.
이 트레이스 가스를 이용한 누설 검사를 실시하기 위한 누설 검사 장치로서는, 예를 들면 특허문헌 1에 개시되는 것이 알려져 있다.
특허문헌 1에 기재되는 누설 검사 장치(리크 테스트 장치)는 워크인 알루미늄 휠의 축 방향 단부를 폐색하는 시일 지그와, 알루미늄 휠 및 시일 지그를 덮는 컨테이너와, 진공 챔버를 구비하고 있다. 또한, 특허문헌 1에는 시일 지그는 수지 또는 고무로 이루어지는 시일 링을 갖고 있으며, 시일 링에 의해 알루미늄 휠의 축 방향 양끝을 시일하는 것이 기재되어 있다. 그리고, 이 누설 검사 장치에서는 시일 지그에 의해 알루미늄 휠의 축 방향 양끝을 폐색한 상태에서 알루미늄 휠 내 공간에 헬륨, 에어 혼합 가스를 공급하여 알루미늄 휠 내로부터 진공 챔버로 누출된 가스를 검출함으로써 가스 누설의 유무를 판정하고 있다.
일본 특허 공개 2000-74777호 공보
이와 같이, 특허문헌 1에 기재되는 누설 검사 장치에서는 워크(알루미늄 휠)의 개구부(개구)를 수지나 고무로 형성된 유연성을 갖는 시일 부재(시일 링)에 의해서 폐색함으로써 워크의 내부측의 밀폐 공간부와 외부측의 밀폐 공간부를 밀폐한 상태를 유지하고 있다. 또한, 이러한 구성의 누설 검사 장치에서는, 도 6에 나타내는 바와 같이 워크(20)의 내부측의 밀폐 공간부(11) 또는 외부측의 밀폐 공간부(12)(도 6에서는 외부측의 밀폐 공간부(12))에 헬륨 가스 등의 트레이스 가스가 공급됨으로써 시일 부재(31A)에 트레이스 가스에 의해서 시일 부재(31A)를 되미는 반력(f3)이 가해진다. 이 때문에, 시일 부재(31A, 31B)를 워크(20)의 개구부(21a, 21b)에 밀착시킨 상태를 유지하기 위해서 워크(20) 및 시일 부재(31A)에는 트레이스 가스에 의한 반력(f3)을 고려하여 트레이스 가스의 공급 전에 있어서의 워크(20)의 개구부(21a, 21b)의 폐색에 필요한 압박력, 즉 워크(20)가 시일 부재(31A)를 되미는 힘(f2)과, 트레이스 가스에 의한 반력(f3)을 합한 힘보다 큰 압박력(f1)을 부가할 필요가 있다.
그런데, 이 압박력(f1)을 작용시키면 트레이스 가스의 공급 초기에 있어서는 트레이스 가스에 의한 반력(f3)이 발생되고 있지 않기 때문에 워크에 과잉의 압박력이 부가되어, 검사해야 할 미소한 구멍이나 균열 등이 변형되어 막힘으로써 누설을 적정하게 검출할 수 없게 되는 것이 문제가 되고 있다. 또한, 시일 부재에도 과잉의 압박력이 부가됨으로써 시일 부재가 단기간에 마모되는 것도 문제가 되고 있다.
본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것이며, 고정밀도로 누설을 검출할 수 있고, 시일 부재를 반복 사용 가능한 누설 검사 장치 및 누설 검사 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 누설 검사 장치는 워크를 수용 가능한 검사 챔버와, 그 검사 챔버 내의 상기 워크의 개구부에 시일 부재를 접촉시켜서 압박함으로써 그 개구부를 폐색하여 상기 검사 챔버 내를 상기 워크의 내부측과 외부측의 각각 다른 밀폐 공간부로서 격리하는 압박 수단과, 상기 워크의 상기 내부측 또는 상기 외부측 중 한쪽의 밀폐 공간부에 트레이스 가스를 공급하는 가스 공급 수단과, 상기 한쪽의 밀폐 공간부로부터 다른쪽의 밀폐 공간부로 누출되는 상기 트레이스 가스를 검출하는 누설 검출 수단과, 상기 개구부를 폐색한 상태의 상기 시일 부재의 상기 워크로부터 이간하는 방향으로의 이동을 정지하는 록 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.
이 누설 검사 장치에 있어서는, 워크의 개구부에 시일 부재를 접촉시켜서 압박함으로써 워크의 내부측과 외부측을 다른 밀폐 공간부로서 분리할 때에, 시일 부재 및 워크에 가해지는 압박력은 트레이스 가스를 한쪽의 밀폐 공간부에 공급함으로써 발생되는 반력(내압)을 고려하지 않고 개구부를 폐색한 상태로 유지하는데 필요한 크기로 된다. 그리고, 한쪽의 밀폐 공간부에 트레이스 가스를 공급하기 전에 록 수단에 의해 시일 부재의 워크로부터 이간하는 방향으로의 이동을 정지시켜 둠으로써, 한쪽의 밀폐 공간부에 트레이스 가스를 공급함으로써 트레이스 가스에 의한 반력이 서서히 상승해도 시일 부재에 의해 개구부를 폐색한 상태를 유지할 수있다.
이와 같이, 이 누설 검사 장치에서는 트레이스 가스의 공급 전에 있어서 워크의 개구부를 폐색한 상태로 유지하기 때문에, 트레이스 가스에 의한 반력을 고려한 과잉의 압박력이 워크에 가해지는 일이 없으므로 검사해야 할 미소한 구멍이나 균열 등이 변형되어 막히는 일이 없이 고정밀도로 누설을 검출할 수 있다. 또한, 시일 부재에도 과잉의 압박력이 부가되는 일이 없으므로, 시일 부재의 마모를 방지할 수 있어 시일 부재를 장기적으로 계속해서 사용할 수 있다.
본 발명의 누설 검사 장치에 있어서, 상기 압박 수단은 유압 실린더에 의해 구성되고, 상기 록 수단은 상기 유압 실린더의 유체의 흐름을 정지시키는 밸브에 의해 구성되어 있으면 된다.
유압 실린더는 비압축성의 오일을 유체로 하고 있기 때문에 유압 실린더에 의해 시일 부재를 워크의 개구부에 접촉시켜서 압박한 상태에서 밸브를 폐전(閉栓)하여 유압 실린더의 유체의 흐름을 차단함으로써 그 상태를 유지할 수 있다. 이 때문에, 트레이스 가스에 의한 반력이 생겨도 시일 부재가 되밀려지는 일이 없어 워크의 개구부를 폐색한 상태를 유지할 수 있다.
또한, 압박 수단으로서 에어 실린더를 이용했다고 하면, 에어 실린더는 압축성을 갖는 기체(에어)를 유체로 하고 있기 때문에 스프링을 개재하여 압박하고 있는 것과 같게 되어, 트레이스 가스에 의한 반력이 가해지면 시일 부재가 되밀릴 우려가 있다. 이 때문에, 트레이스 가스의 공급 전에 있어서도 트레이스 가스에 의한 반력을 고려하여, 워크에는 워크의 개구부의 폐색에 필요한 압박력보다 큰 압박력을 가하는 것이 필요해진다. 이 경우, 워크에 과잉의 압박력이 부가됨으로써 검사해야 할 미소한 구멍이나 균열 등이 변형되어 막힐 우려가 있다.
본 발명의 누설 검사 장치에 있어서, 상기 압박 수단은 상기 시일 부재에 접촉하여 압박하는 압박판부를 구비하고, 상기 록 수단은 상기 압박판부에 접촉하여 상기 시일 부재의 상기 워크로부터 이간하는 방향으로의 이동을 정지하는 스토퍼 부재를 갖고 있으면 된다.
예를 들면, 압박 수단으로서 에어 실린더를 이용한 경우에서도, 스토퍼 부재에 의해 시일 부재가 워크로부터 이간하는 방향으로 이동하는 것을 정지하고 있으므로 트레이스 가스에 의한 반력이 생겨도 시일 부재가 되밀리는 일 없이 워크의 개구부를 폐색한 상태를 유지할 수 있다.
본 발명의 누설 검사 방법은 워크를 수용 가능한 검사 챔버 내에서, 상기 워크의 개구부에 시일 부재를 접촉시켜서 압박함으로써 그 개구부를 폐색하여 상기 검사 챔버 내를 상기 워크의 내부측과 외부측의 각각 다른 밀폐 공간부로서 격리한 상태로 하고, 상기 워크의 내부측 또는 외부측 중 한쪽의 밀폐 공간부에 트레이스 가스를 공급하고, 상기 한쪽의 밀폐 공간부로부터 다른쪽의 밀폐 공간부로의 상기 트레이스 가스의 누설을 검출하는 누설 검사 방법으로서, 상기 개구부를 폐색한 상태의 상기 시일 부재의 상기 워크로부터 이간하는 방향으로의 이동을 정지한 상태에서 상기 한쪽의 밀폐 공간부에 상기 트레이스 가스를 공급하는 것을 특징으로 한다.
(발명의 효과)
본 발명에 의하면, 고정밀도로 워크의 누설을 검출할 수 있어 시일 부재를 장기적으로 반복 사용할 수 있다.
도 1은 본 발명에 의한 누설 검사 장치의 제 1 실시형태를 나타내는 모식도이다.
도 2는 제 1 실시형태의 변형예를 나타내는 모식도이다.
도 3은 본 발명에 의한 누설 검사 장치의 제 2 실시형태를 나타내는 모식도이다.
도 4는 본 발명에 의한 누설 검사 장치의 제 3 실시형태를 나타내는 모식도이다.
도 5는 본 발명에 의한 누설 검사 장치의 제 4 실시형태를 나타내는 모식도이다.
도 6은 종래의 누설 검사 장치를 나타내는 모식도이다.
이하, 본 발명의 실시형태를 도면을 참조하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시형태의 누설 검사 장치(101)를 나타내고 있다. 이 누설 검사 장치(101)는 도 1에 나타내는 바와 같이 양측(도 1에서는 상하)에 개구부를 갖는 통 형상의 워크(20)의 개구부(21a, 21b)를, 시일 부재(31A, 31B)에 의해 폐색한 상태에서 이 워크(20)를 검사 챔버(10) 내에 배치하고, 트레이스 가스를 이용하여 워크(20)의 내부측의 밀폐 공간부(11)와 외부측의 밀폐 공간부(12)의 사이의 누설을 검출하는 것이다. 또한, 트레이스 가스로서는 구체적으로는 헬륨 가스가 사용된다.
누설 검사 장치(101)는 워크(20)를 수용 가능한 검사 챔버(10)와, 이 검사 챔버(10) 내의 워크(20)의 상하의 개구부(21a, 21b)에 시일 부재(31A, 31B)를 접촉시켜서 압박함으로써 개구부(21a, 21b)를 폐색하여 검사 챔버(10) 내를 워크(20)의 내부측과 외부측의 각각 다른 밀폐 공간부(11, 12)로서 격리하는 압박 수단(40)과, 워크(20)의 외부측의 밀폐 공간부(12)(본 발명에 있어서의 한쪽의 밀폐 공간부)에 트레이스 가스를 공급하는 가스 공급 수단(51)과, 외부측의 밀폐 공간부(12)로부터 내부측의 밀폐 공간부(11)(본 발명에 있어서의 다른쪽의 밀폐 공간부)로 누출되는 트레이스 가스를 검출하는 누설 검출 수단(52)과, 워크(20)의 개구부(21a, 21b)를 폐색한 상태의 시일 부재(31A, 31B)의 워크(20)로부터 이간하는 방향으로의 이동을 정지하는 록 수단(60)을 구비하고 있다.
그리고, 본 실시형태의 누설 검사 장치(101)에서는 압박 수단(40)은 유압 실린더(41)와 그 축부(42)에 장착된 압박판부(43)에 의해 구성된다. 또한, 록 수단(60)은 압박 수단(40)을 구성하는 유압 실린더(41)와 유압원(44A, 44B) 사이에 설치된 스톱 밸브(61A, 61B)(본 발명에 있어서의 밸브)에 의해 구성된다. 스톱 밸브(61A, 61B)는 개전(開栓)과 폐전의 2포지션을 스위칭함으로써 유압 실린더(41)와 유압원(44A, 44B)의 사이에서 오일(유체)의 유로의 개방과 차단을 스위칭하는 것이며, 스톱 밸브(61A, 61B)를 개전 포지션(p12)으로 했을 때에 유압 실린더(41)를 구동할 수 있고, 압박판부(43)를 상하 이동시킬 수 있다. 한편, 스톱 밸브(61A, 61B)를 폐전 포지션(p11)으로 했을 때에는 유압 실린더(41)와 유압원(44A, 44B) 사이의 오일의 유통이 차단됨으로써 압박판부(43)의 상하 이동이 정지되어 압박판부(43)는 그대로의 상태로 유지된다.
검사 챔버(10)는 원판 형상의 베이스부(13)와, 이 베이스부(13) 상에 적재되는 돔 형상의 본체부(14)로 구성된다. 또한, 검사 챔버(10)의 본체부(14)는 원판 형상의 천정부(15)와, 이 천정부(15)의 둘레 가장자리로부터 아래쪽으로 연장되는 원통 형상의 원통부(16)로 구성된다. 또한, 도시는 생략하지만, 베이스부(13)와 본체부(14)의 사이에는 시일 부재가 장착되어 있고, 검사 챔버(10)의 내부는 밀폐되어 외부와 차단되어 있다.
그리고, 검사 챔버(10)의 베이스부(13)의 상면에는 워크(20)의 하측의 개구부(21b)를 폐색하기 위한 하측의 시일 부재(31B)가 장착되어 있다. 또한, 이들 베이스부(13) 및 하측의 시일 부재(31B)에는 통기 구멍(도시생략)이 형성되어 있고, 이 통기 구멍을 통해서 누설 검출 수단(52)이 접속되어 있다.
검사 챔버(10)의 본체부(14)에는 유압 실린더(41)의 축부(42)가 상하 이동 가능하게 삽통하는 삽통 구멍(17)이 형성되어 있고, 이 삽통 구멍(17)을 통해서 검사 챔버(10)의 내부에 축부(42)의 하단이 돌출되어 압박판부(43)에 연결되어 있다. 또한, 도시는 생략하지만 삽통 구멍(17)에는 베어링이 설치되어 있고, 베어링에 축부(42)가 슬라이딩 가능하게 감합되어 있음으로써 축부(42)가 원활하게 상하 이동 가능하게 되어 있다. 그리고, 유압 실린더(41)의 구동에 의해서 축부(42)가 상하 이동함으로써 압박판부(43)를 상하 이동시킬 수 있다.
압박판부(43)의 하면에는 상측의 시일 부재(31A)가 장착되어 있으며, 압박판부(43)의 상하 이동에 수반하여 상측의 시일 부재(31A)가 상하 이동 가능하게 설치되어 있다. 또한, 이 상측의 시일 부재(31A)는 검사 챔버(10)의 원통부(16)와의 사이에 공기 누설을 발생시키는 일 없이 상하 이동 가능하게 설치되어 있다. 따라서, 하측의 시일 부재(31B) 상에 워크(20)의 하측의 개구부(21b)를 향하여 적재하고, 그 상태에서 유압 실린더(41)를 구동하여 상측의 시일 부재(31A)를 하강시킴으로써 상측의 시일 부재(31A)를 워크(20)의 상측의 개구부(21a)에 접촉시켜서 압박할 수 있고, 워크(20)의 상하의 개구부(21a, 21b)를 하측의 시일 부재(31B)와 상측의 시일 부재(31A)의 사이에서 협지하여 워크(20)의 상측의 개구부(21a)와 시일 부재(31A), 하측의 개구부(21b)와 시일 부재(31B)를 밀착시킬 수 있다. 그리고, 이 밀착에 의해서 워크(20)의 개구부(21a, 21b)가 시일 부재(31A, 31B)에 의해 폐색됨으로써 워크(20)의 내부측과 외부측이 격리되어 검사 챔버(10)의 내부에 밀폐 공간부(11, 12)가 형성된다.
또한, 외부측의 밀폐 공간부(12)를 구성하는 검사 챔버(10)의 원통부(16)에는 공기 구멍(도시생략)이 형성되어 있으며, 이 공기 구멍에는 검사용 트레이스 가스를 공급하는 가스 공급 수단(51)이 접속되어 있다.
이어서, 이와 같이 구성된 누설 검사 장치(101)를 이용하여 원통 형상의 워크(20)의 누설 검사를 행하는 방법에 대해서 설명한다.
우선, 하측의 시일 부재(31B) 상에 워크(20)의 하측의 개구부(21b)를 향하여 적재한다. 그리고, 유압 실린더(41)를 구동하여 압박판부(43) 및 상측의 시일 부재(31A)를 하강 이동시키고, 워크(20)의 상측의 개구부(21a)에 상측의 시일 부재(31A)를 접촉시켜서 압박한다. 이것에 의해, 하측의 시일 부재(31B)와 상측의 시일 부재(31A)의 사이에 워크(20)가 협지되어 워크(20)의 상하의 개구부(21a, 21b)가 폐색됨으로써, 워크(20)의 내부측과 외부측이 격리되어 밀폐 공간부(11, 12)가 형성된다. 이 때, 시일 부재(31A, 31B) 및 워크(20)에 가해지는 압박력은 트레이스 가스를 외부측의 밀폐 공간부(12)에 공급함으로써 발생되는 반력(내압)을 고려하지 않고 워크(20)의 상하의 개구부(21a, 21b)를 폐색한 상태로 유지하는데 필요한 크기로 된다.
그리고, 외부측의 밀폐 공간부(12)에 트레이스 가스를 공급하기 전에 스톱 밸브(61A, 61B)를 폐전하여 압박판부(43)의 상하 이동을 정지하고, 워크(20)의 개구부(21a, 21b)를 폐색한 상태의 시일 부재(31A, 31B)의 상하 이동을 정지하여, 시일 부재(31A)의 워크(20)로부터 이간하는 방향으로의 이동을 정지한다. 또한, 유압 실린더(41)는 비압축성의 오일을 유체로 하고 있기 때문에 압박판부(43)에 의해 시일 부재(31A, 31B)를 워크(20)의 개구부(21a, 21b)에 접촉시켜서 압박한 상태에서 유압 실린더(41)의 오일(유체)의 흐름을 차단함으로써, 워크(20)의 개구부(21a, 21b)를 폐색한 상태가 유지된다.
이어서, 밀폐 공간부(11, 12) 내를 배기하여 감압하고, 워크(20)의 개구부(21a, 21b)의 폐색을 유지한 상태에서 가스 공급 수단(51)으로부터 외부측의 밀폐 공간부(12) 내에 트레이스 가스를 공급함과 아울러 누설 검사 수단(52)에 의해 내부측의 밀폐 공간부(11) 내의 트레이스 가스를 검출한다. 이것에 의해, 내부측의 밀폐 공간부(11) 내에서 트레이스 가스가 검출되면 워크(20)에 균열이나 구멍 등의 결함이 있어 누설이 발생한 것으로 판단되고, 트레이스 가스가 검출되지 않으면 워크(20)에는 균열이나 구멍 등의 결함은 없어 누설은 없는 것으로 판단된다.
또한, 외부측의 밀폐 공간부(12) 내로의 트레이스 가스의 공급 후에 있어서는, 트레이스 가스가 외부측의 밀폐 공간부(12) 내에 충진됨으로써 내압이 상승하여 트레이스 가스에 의한 반력이 발생되지만, 트레이스 가스의 공급 전에 스톱 밸브(61A, 61B)를 폐전하여 유압 실린더(41)의 오일의 흐름을 차단하고 있으므로 상측의 시일 부재(31A) 및 압박판부(43)가 트레이스 가스의 반력에 의해서 되밀리는 일이 없어 안정적으로 검사를 행할 수 있다.
누설 검사 종료 후에는 검사 챔버(10) 내를 상압으로 되돌려서 트레이스 가스를 배기한다. 그리고, 스톱 밸브(61A, 61B)를 개전하여 유압 실린더(41)를 구동시켜서 압박판부(43)을 상승 이동시키고, 검사 완료된 워크(20)를 검사 챔버(10) 내로부터 인출하고, 다른 미검사의 워크(20)와 교환함으로써 복수의 워크(20)에 대해서 반복 누설 검사를 행할 수 있다.
이와 같이, 본 실시형태의 누설 검사 장치(101)에서는 스톱 밸브(61A, 61B)를 폐전하여 시일 부재(31A)의 워크(20)로부터 이간하는 방향으로의 이동을 정지해 둠으로써, 외부측의 밀폐 공간부(12)에 트레이스 가스를 공급함으로써 트레이스 가스에 의한 반력이 서서히 상승해도 시일 부재(31A, 31B)에 의해 워크(20)의 개구부(21a, 21b)를 폐색한 상태를 유지할 수 있다.
따라서, 이 누설 검사 장치(101)에서는 트레이스 가스의 공급 전에 있어서, 시일 부재(31A, 31B)에 의해 워크(20)의 개구부(21a, 21b)를 폐색한 상태로 유지하기 때문에, 트레이스 가스에 의한 반력을 고려한 과잉의 압박력이 워크(20)에 가해지는 일이 없으므로 검사해야 할 미소한 구멍이나 균열 등이 변형되어 막히는 일이 없어 고정밀도로 누설을 검출할 수 있다. 또한, 시일 부재(31A, 31B)에도 과잉의 압박력이 부가되는 일이 없으므로 시일 부재(31A, 31B)의 마모를 방지할 수 있고, 시일 부재(31A, 31B)를 장기적으로 계속해서 사용할 수 있다.
또한, 도 1에 나타내는 누설 검사 장치(101)에서는 워크(20)의 양끝의 개구부(21a, 21b)를 각각 다른 시일 부재(31A, 31B)를 밀착시켜서 폐색하도록 하고 있었지만, 도 2에 나타내는 누설 검사 장치(101S)와 같이 한쪽의 개구부가 폐색된 바닥이 있는 워크(23)의 검사를 행하는 경우에는 워크(23)의 1개소의 개구부(24)를 폐색하는 시일 부재(31A)를 설치해 두면 되어 하측의 시일 부재를 생략할 수 있다.
도 3은 본 발명의 제 2 실시형태의 누설 검사 장치(102)를 나타내고 있다. 이 누설 검사 장치(102)는 제 1 실시형태의 누설 검사 장치(101)와 마찬가지로, 양측(도 3에서는 상하)에 개구부를 갖는 통 형상의 워크(20)의 개구부(21a, 21b)를 시일 부재(31A, 31B)에 의해 폐색한 상태에서 이 워크(20)를 검사 챔버(10) 내에 배치하고, 트레이스 가스를 이용하여 워크(20)의 내부측의 밀폐 공간부(11)와 외부 측의 밀폐 공간부(12)의 사이의 누설을 검출하는 것이다. 또한, 제 2 실시형태의 누설 검사 장치(102)에 있어서 제 1 실시형태의 누설 검사 장치(101)와 공통 요소에는 동일 부호를 붙여서 설명을 생략하고, 이후의 제 3 실시형태의 누설 검사 장치(103), 제 4 실시형태의 누설 검사 장치(104)에 있어서도 마찬가지로 한다.
이 누설 검사 장치(102)에 있어서는 검사 챔버(10), 압박 수단(40), 가스 공급 수단(51), 누설 검출 수단(52)의 구성은 제 1 실시형태의 누설 검사 장치(101)와 마찬가지이지만, 록 수단(70)이 압박 수단(40)을 구성하는 유압 실린더(41)와 유압원(44) 사이에 설치된 클로즈드 센터 밸브(71)(본 발명에 있어서의 밸브)에 의해 구성되어 있는 점이 다르다. 클로즈드 센터 밸브(71)는 1포지션의 폐전과 2포지션의 개전의 총 3포지션의 스위칭을 행하는 것이며, 도 3에 나타내는 바와 같이 중앙의 폐전 포지션(p22)에서는 유압 실린더(41)와 유압원(44)의 사이의 오일의 유통이 차단되어 압박판부(43)의 상하 이동이 정지됨으로써 시일 부재(31A)의 워크(20)로부터 이간하는 방향으로의 이동을 정지할 수 있다. 또한, 클로즈드 센터 밸브(71)가 도 3의 좌측의 개전 포지션(p21)에 있을 때에는, 유압 실린더(41)의 상부 공간에 유압원(44)으로부터 오일이 흘러 하부 공간으로부터 유압원(44)으로 오일이 되돌아감으로써, 축부(42)가 하강 이동하여 압박판부(43) 및 시일 부재(31A)를 워크(20)를 향하여 전진시킬 수 있다. 한편, 클로즈드 센터 밸브(71)가 도 3의 우측의 개전 포지션(p23)에 있을 때에는, 유압 실린더(41)의 하부 공간에 유압원(44)으로부터 오일이 흘러 상부 공간으로부터 유압원(44)으로 오일이 되돌아감으로써, 축부(42)가 상승 이동하여 압박판부(43) 및 시일 부재(31A)를 워크(20)로부터 퇴피시킬 수 있다.
이 제 2 실시형태의 누설 검사 장치(102)에 있어서, 유압 실린더(41)를 구동하여 시일 부재(31A, 31B)에 의해 워크(20)의 개구부(21a, 21b)를 폐색할 때에는, 클로즈드 센터 밸브(71)를 개전 포지션(p21)으로 하고, 압박판부(32) 및 상측의 시일 부재(31A)를 하강 이동시킨다. 그리고, 시일 부재(31A, 31B)를 워크(20)의 개구부(21a, 21b)에 접촉시켜서 압박하여 개구부(21a, 21b)를 폐색시킨 후, 클로즈드 센터 밸브(71)를 폐전 포지션(p22)으로 하여 압박판부(43) 및 상측의 시일 부재(31A)의 하강 이동을 정지하고, 개구부(21a, 21b)를 시일 부재(31A, 31B)에 의해 폐색한 상태를 유지한다. 이 때, 시일 부재(31A, 31B) 및 워크(20)에 가해지는 압박력은 트레이스 가스를 외부측의 밀폐 공간부(12)에 공급함으로써 발생되는 반력(내압)을 고려하는 일 없이 워크(20)의 상하의 개구부(21a, 21b)를 폐색한 상태로 유지하는데 필요한 크기로 된다.
제 2 실시형태의 누설 검사 장치(102)에 있어서도, 외부측의 밀폐 공간부(12)에 트레이스 가스를 공급함으로써 트레이스 가스에 의한 반력이 서서히 상승해도, 클로즈드 센터 밸브(71)를 폐전 포지션(p22)으로 함으로써 압박판부(43)의 상하 이동을 정지하여 시일 부재(31A)의 이동을 멈출 수 있으므로 시일 부재(31A, 31B)에 의해 워크(20)의 개구부(21a, 21b)를 폐색한 상태를 유지할 수 있다.
따라서, 이 누설 검사 장치(102)에 있어서도 제 1 실시형태의 누설 검사 장치(101)와 마찬가지로, 트레이스 가스의 공급 전에 있어서 시일 부재(31A, 31B)에 의해 워크(20)의 개구부(21a, 21b)를 폐색한 상태로 유지하기 때문에, 트레이스 가스에 의한 반력을 고려한 과잉의 압박력이 워크(20)에 가해지는 일이 없으므로 검사해야 할 미소한 구멍이나 균열 등이 변형되어 막히는 일이 없어 고정밀도로 누설을 검출할 수 있다. 또한, 시일 부재(31A, 31B)에도 과잉의 압박력이 부가되는 일이 없으므로 시일 부재(31A, 31B)의 마모를 방지할 수 있고, 시일 부재(31A, 31B)를 장기적으로 계속해서 사용할 수 있다.
도 4는 본 발명의 제 3 실시형태의 누설 검사 장치(103)를 나타내고 있다. 이 누설 검사 장치(103)는 제 1 실시형태의 누설 검사 장치(101) 및 제 2 실시형태의 누설 검사 장치(102)와 마찬가지로, 양측(도 4에서는 상하)에 개구부를 갖는 통형상의 워크(20)의 개구부(21a, 21b)를, 시일 부재(31A, 31B)에 의해 폐색한 상태에서 이 워크(20)를 검사 챔버(10) 내에 배치하고, 트레이스 가스를 이용하여 워크(20)의 내부측의 밀폐 공간부(11)와 외부측의 밀폐 공간부(12)의 사이의 누설을 검출하는 것이다. 또한, 제 3 실시형태의 누설 검사 장치(103)는 검사 챔버(10), 가스 공급 수단(51), 누설 검출 수단(52)의 구성은 제 1 실시형태의 누설 검사 장치(101)와 마찬가지이지만, 압박 수단(45)이 에어 실린더(46)와 축부(47)에 장착된 압박판부(48)에 의해 구성되고, 또한 시일 부재(31A)의 워크(20)로부터 이간하는 방향으로의 이동을 정지하는 록 수단(80)이 압박판부(48)에 형성된 맞물림 구멍(48a, 48b)과, 검사 챔버(10)의 본체부(14)에 장착된 에어 실린더(81A, 81B)의 축부(82A, 82B)(본 발명에 있어서의 스토퍼 부재)의 맞물림에 의한 쐐기 기구(83A, 83B)에 의해 구성되어 있다. 즉, 제 3 실시형태의 누설 검사 장치(103)에 있어서는 록 수단(80)이 기계적 수단에 의해 구성되어 있는 점이 제 1 실시형태 및 제 2 실시형태와 크게 다르다.
압박 수단(45)을 구성하는 에어 실린더(46)는 클로즈드 센터 밸브(75)를 통해서 공기압원(49)에 접속되어 있으며, 도 4에 나타내는 바와 같이 중앙의 폐전 포지션(p32)에서는 에어 실린더(46)와 공기압원(49) 사이의 에어의 유통이 차단되어 압박판부(48)의 상하 이동을 정지할 수 있다. 또한, 클로즈드 센터 밸브(75)가 도 4의 좌측의 개전 포지션(p31)에 있을 때에는, 에어 실린더(46)의 상부 공간에 공기압원(49)으로부터 에어가 흘러 하부 공간으로부터 공기압원(49)으로 에어가 되돌아감으로써 축부(47)가 하강 이동하고, 압박판부(48)를 워크(20)를 향하여 전진시킬 수 있다. 그리고, 클로즈드 센터 밸브(75)가 도 4의 우측의 개전 포지션(p33)에 있을 때에는, 에어 실린더(46)의 하부 공간에 공기압원(49)으로부터 에어가 흘러 상부 공간으로부터 공기압원(49)으로 에어가 되돌아감으로써 축부(47)가 상승 이동하여 압박판부(48)를 워크(20)로부터 퇴피시킬 수 있다.
또한, 록 수단(80)을 구성하는 쐐기 기구(83A, 83B)는 상술한 바와 같이 압박판부(48)에 형성한 맞물림 구멍(48a, 48b)과 에어 실린더(81A, 81B)의 축부(82A, 82B)에 의해 구성되고, 축부(82A, 82B)를 각각 맞물림 구멍(48a, 48b)에 맞물리게 함으로써 압박판부(48)를 고정하여 그 상하 이동을 정지한다. 한편, 에어 실린더(81A, 81B)의 축부(82A, 82B)를 맞물림 구멍(48a, 48b)으로부터 인출한 상태에서는, 압박판부(48) 및 시일 부재(31A)는 압박 수단(45)을 구성하는 에어 실린더(46)의 구동에 수반하여 상하 이동 가능하게 된다.
또한, 쐐기 기구(83A, 83B)를 구성하는 에어 실린더(81A, 81B)는 더블 밸브(85)를 개재하여 공기압원(84)과 접속되어 있으며, 도 4에 나타내는 바와 같이 좌측의 개전 포지션(p41)에 있을 때에는 에어 실린더(81A, 81B)의 외주측 공간에 공기압원(84)으로부터 에어가 흘러 내주측 공간으로부터 공기압원(84)으로 에어가 되돌아감으로써 축부(82A, 82B)가 내주측을 향하여 이동하고, 압박판부(48)의 맞물림 구멍(48a, 48b)과 맞물린 상태가 유지됨으로써 압박판부(48)의 상하 이동이 정지되고, 시일 부재(31A)의 워크(20)로부터 이간하는 방향으로의 이동을 정지할 수 있다. 한편, 더블 밸브(85)가 도 4의 우측의 개전 포지션(p42)에 있을 때에는, 에어 실린더(81A, 81B)의 내주측 공간에 공기압원(84)으로부터 에어가 흘러 외주 측 공간으로부터 공기압원(84)으로 에어가 되돌아감으로써 축부(82A, 82B)가 외주측을 향하여 이동하고, 압박판부(48)의 맞물림 구멍(48a, 48b)으로부터 축부(82A, 82B)의 선단이 인발됨으로써 축부(82A, 82B)에 의한 구속이 풀어져서 압박판부(48)와 함께 시일 부재(31A)를 상하 이동시킬 수 있다.
이 제 3 실시형태의 누설 검사 장치(103)에 있어서, 시일 부재(31A, 31B)에 의해 워크(20)의 개구부(21a, 21b)를 폐색할 때에는 더블 밸브(85)를 개전 포지션(p42)으로 하여 쐐기 기구(83A, 83B)의 축부(82A, 82B)를 외주측으로 퇴피시킨 상태로 해둔다. 그리고, 클로즈드 센터 밸브(75)를 개전 포지션(p31)으로 하여 압박판부(48) 및 상측의 시일 부재(31A)를 하강 이동시킨다. 그리고, 시일 부재(31A, 31B)를 워크(20)의 개구부(21a, 21b)에 접촉시켜서 압박하여 개구부(21a, 21b)를 폐색시킨 후, 클로즈드 센터 밸브(75)를 폐전 포지션(p32)으로 하여 압박판부(48) 및 상측의 시일 부재(31A)의 상하 이동을 정지하고, 개구부(21a, 21b)를 시일 부재(31A, 31B)에 의해 폐색한 상태를 유지한다. 이 때, 시일 부재(31A, 31B) 및 워크(20)에 가해지는 압박력은 트레이스 가스를 외부측의 밀폐 공간부(12)에 공급함으로써 발생되는 반력(내압)을 고려하지 않고 워크(20)의 상하의 개구부(21a, 21b)를 폐색한 상태로 유지하는데 필요한 크기로 된다.
또한, 외부측의 밀폐 공간부(12)에 트레이스 가스를 공급하기 전에, 더블 밸브(85)를 개전 포지션(p41)으로 하여 쐐기 기구(83A, 83B)의 축부(82A, 82B)를 내주측으로 이동시킴으로써 압박판부(48)의 맞물림 구멍(48a, 48b)과 축부(82A, 82B)를 맞물리게 하여 압박판부(48) 및 시일 부재(31A)의 상하 이동을 정지한다.
이 누설 검사 장치(103)에서는 압박 수단(45)으로서 에어 실린더(46)를 이용하고 있지만, 에어 실린더(46)는 압축성을 갖는 기체(에어)를 유체로 하고 있기 때문에 스프링을 개재해서 시일 부재(31A, 31B)를 압박하고 있는 것과 같게 된다. 이 때문에, 트레이스 가스에 의한 반력을 받은 경우에는 에어 실린더(46)의 상부 공간의 에어가 압축되어서 압박판부(48) 및 상측의 시일 부재(31A)가 워크(20)로부터 이간하는 방향으로 되밀릴 우려가 있다. 그러나, 제 3 실시형태의 누설 검사 장치(103)에서는 록 수단(80)으로서 쐐기 기구(83A, 83B)를 설치하고, 기계적 수단에 의해 압박판부(48)의 상하 이동을 정지하는 것으로 하고 있다. 이와 같이, 트레이스 가스의 공급 전에 쐐기 기구(83A, 83B)를 구성하는 축부(82A)와 맞물림 구멍(48a), 축부(82B)와 맞물림 구멍(48b)을 맞물리게 해둠으로써 트레이스 가스가 외부측의 밀폐 공간부(12) 내에 충진됨으로써 내압이 상승하여 트레이스 가스에 의한 반력이 발생된 경우에도, 축부(82A, 82B)가 맞물림 구멍(48a, 48b)에 접촉하여 압박판부(48)가 워크(20)로부터 이간하는 방향으로의 이동을 정지할 수 있다. 따라서, 상측의 시일 부재(31A) 및 압박판부(48)가 트레이스 가스의 반력에 의해서 되밀리는 일이 없으므로 안정적으로 검사를 행할 수 있다.
또한, 도 4에서는 2개의 쐐기 기구(83A, 83B)가 도시되어 있지만, 3개 이상의 쐐기 기구에 의해 록 수단을 구성할 수도 있다. 이 경우, 각 쐐기 기구에 트레이스 가스에 의한 반력을 분산시켜서 담당시키기 위해 각 쐐기 기구는 압박판부(48)의 둘레 방향에 등간격으로 배치해 두는 것이 바람직하다.
또한, 누설 검사 종료 후에는 더블 밸브(85)를 개전 포지션(p42)으로 하고, 축부(82A, 82B)를 외주측을 향하여 이동시켜 축부(82A, 82B)와 맞물림 구멍(48a, 48b)의 맞물림을 해제한다. 그리고, 클로즈드 센터 밸브(75)를 개전 포지션(p33) 으로 하고, 에어 실린더(46)를 구동시켜서 압박판부(48)를 상승 이동시킨다.
이와 같이, 제 3 실시형태의 누설 검사 장치(103)에 있어서도 외부측의 밀폐 공간부(12)에 트레이스 가스를 공급함으로써 트레이스 가스에 의한 반력이 서서히 상승해도 쐐기 기구(83A, 83B)에 의해 압박판부(48)의 상하 이동을 정지하고, 시일 부재(31A)의 워크(20)로부터 이간하는 방향으로의 이동을 정지하고 있으므로, 시일 부재(31A, 31B)에 의해 워크(20)의 개구부(21a, 21b)를 폐색한 상태를 유지할 수 있다.
따라서, 이 누설 검사 장치(103)에 있어서도 제 1 실시형태의 누설 검사 장치(101) 및 제 2 실시형태의 누설 검사 장치(102)와 마찬가지로, 트레이스 가스의 공급 전에 있어서 시일 부재(31A, 31B)에 의해 워크(20)의 개구부(21a, 21b)를 폐색할 때에 트레이스 가스에 의한 반력을 고려한 과잉의 압박력이 워크(20)에 가해지는 일이 없으므로, 검사해야 할 미소한 구멍이나 균열 등이 변형되어 막히는 일이 없어 고정밀도로 누설을 검출할 수 있다. 또한, 시일 부재(31A, 31B)에 과잉의 압박력이 부가되는 일이 없으므로 시일 부재(31A, 31B)의 마모를 방지할 수 있어 시일 부재(31A, 31B)를 장기적으로 계속해서 사용할 수 있다.
또한, 제 3 실시형태에서는 스토퍼 부재의 축부(82A, 82B)를 압박판부(48)의 맞물림 구멍(48a, 48b)에 맞물리게 하여 시일 부재(31A)의 상하 이동을 정지하는 것으로 하고 있었지만, 축부(82A, 82B)를 압박판부(48)의 배면(시일 부재(31A)의 부착면과는 반대측의 면)에 접촉시킴으로써, 압박판부(48) 및 시일 부재(31A)의 워크(20)로부터 이간하는 방향으로의 이동을 정지하는 것으로 해도 좋다.
또한, 제 3 실시형태에서는 록 수단(80)의 쐐기 기구(83A, 83B)를 구동하는 수단으로서 에어 실린더(81A, 81B)를 사용하고 있었지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 모터 등의 다른 동력원에 의해서 축부(82A, 82B)를 이동하는 구성으로 하는 것도 가능하다. 또한, 쐐기 기구의 다른 기계적 수단에 의해 록 수단을 구성하는 것도 가능하다.
도 5는 제 4 실시형태의 누설 검사 장치(104)를 나타내고 있다. 제 1 실시형태~제 3 실시형태의 누설 검사 장치(101~103)에 있어서는 양측에 개구부(21a, 21b)를 갖는 통 형상의 워크(20)를 검사 대상으로 하고 있었지만, 워크는 이것에 한정되는 것은 아니고, 도 5에 나타내는 바와 같이 가스봄베 등의 1개소의 개구부(26)를 갖는 워크(25)의 누설 검사를 행할 수도 있다.
제 4 실시형태의 누설 검사 장치(104)에서는, 압박 수단(40)은 유압 실린더(41)와 그 축부(42)에 장착된 압박판부(35)에 의해 구성된다. 또한, 록 수단(90)은 압박 수단(40)을 구성하는 유압 실린더(41)와 유압원(44) 사이에 설치된 클로즈드 센터 밸브(91)(본 발명에 있어서의 밸브)에 의해 구성된다. 이 경우, 클로즈드 센터 밸브(91)는 도 5에 나타내는 바와 같이 중앙의 폐전 포지션(p52)에서는 유압 실린더(41)와 유압원(44)의 사이의 오일의 유통이 차단되어 압박판부(35)의 진퇴 이동이 정지된다. 또한, 클로즈드 센터 밸브(91)가 도 5의 좌측의 개전 포지션(p51)에 있을 때에는, 유압 실린더(41)의 좌측 공간에 유압원(44)으로부터 오일이 흘러 우측 공간으로부터 유압원(44)으로 오일이 되돌아감으로써 축부(42)가 우측으로 이동하고, 압박판부(35)를 워크(25)를 향하여 전진시킬 수 있다. 그리고, 클로즈드 센터 밸브(91)가 도 5의 우측의 개전 포지션(p53)에 있을 때에는, 유압 실린더(41)의 우측 공간에 유압원(44)으로부터 오일이 흘러 좌측 공간으로부터 유압원(44)으로 오일이 되돌아감으로써 축부(42)가 좌측으로 이동하여 압박판부(35)를 워크(25)로부터 퇴피시킬 수 있다.
이 제 4 실시형태의 누설 검사 장치(104)에 있어서, 유압 실린더(41)를 구동하여 시일 부재(32)에 의해 워크(25)의 개구부(26)를 폐색할 때에는 클로즈드 센터 밸브(91)를 개전 포지션(p51)으로 하여 압박판부(35) 및 시일 부재(32)를 진행 이동시킨다. 그리고, 시일 부재(32)를 워크(25)의 개구부(26)에 접촉시켜서 압박하여 개구부(26)를 폐색시킨 후, 클로즈드 센터 밸브(91)를 폐전 포지션(p52)으로 하여 압박판부(35) 및 시일 부재(32)의 진퇴 이동을 정지하여 개구부(26)를 시일 부재(32)에 의해 폐색한 상태를 유지한다. 이 때, 시일 부재(32) 및 워크(25)에 가해지는 압박력은 트레이스 가스를 외부측의 밀폐 공간부(12)에 공급함으로써 발생되는 반력(내압)을 고려하지 않고 워크(25)의 개구부(26)를 폐색한 상태로 유지하는데 필요한 크기로 된다.
또한, 외부측의 밀폐 공간부(12) 내로의 트레이스 가스의 공급 후에 있어서는, 트레이스 가스가 외부측의 밀폐 공간부(12) 내에 충진됨으로써 내압이 상승하여 트레이스 가스에 의한 반력이 발생되지만, 트레이스 가스의 공급 전에 클로즈드 센터 밸브(91)를 폐전하여 유압 실린더(41)의 오일의 흐름을 차단하고 있으므로 시일 부재(32) 및 압박판부(35)가 트레이스 가스의 반력에 의해서 되밀리는 일이 없어 안정적으로 검사를 행할 수 있다.
이와 같이, 제 4 실시형태의 누설 검사 장치(104)에 있어서도 클로즈드 센터 밸브(91)를 폐전 포지션(p52)으로 해 둠으로써, 외부측의 밀폐 공간부(12)에 트레이스 가스를 공급함으로써 트레이스 가스에 의한 반력이 서서히 상승해도 압박판부(35)의 진퇴 이동을 정지하여 시일 부재(32)의 워크(25)로부터 이간하는 방향으로의 이동을 정지할 수 있고, 시일 부재(32)에 의해 워크(25)의 개구부(26)를 폐색한 상태를 유지할 수 있다.
따라서, 이 누설 검사 장치(104)에 있어서도 제 1 실시형태~제 3 실시형태의 누설 검사 장치(101~103)와 마찬가지로, 트레이스 가스의 공급 전에 있어서 시일 부재(32)에 의해 워크(25)의 개구부(26)를 폐색한 상태로 유지하기 때문에, 트레이스 가스에 의한 반력을 고려한 과잉의 압박력이 워크(26)에 가해지는 일이 없으므로, 검사해야 할 미소한 구멍이나 균열 등이 변형되어 막히는 일이 없이 고정밀도로 누설을 검출할 수 있다. 또한, 시일 부재(32)에 과잉의 압박력이 부가되는 일이 없으므로 시일 부재(32)의 마모를 방지할 수 있어 시일 부재(32)를 장기적으로 계속해서 사용할 수 있다.
또한, 상술한 누설 검사 장치(101~104)에서는 외부측의 밀폐 공간부에 트레이스 가스를 공급하고, 외부측의 밀폐 공간부로부터 내부측의 밀폐 공간부로 누출되는 트레이스 가스를 검출하는 구성으로 하고 있었지만, 내부측의 밀폐 공간부에 트레이스 가스를 공급하여 내부측의 밀폐 공간부로부터 외부측의 밀폐 공간부로 누출되는 트레이스 가스를 검출하는 구성으로 할 수도 있다.
또한, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 각종 변경을 추가하는 것이 가능하다.
10…검사 챔버
11…내부측의 밀폐 공간부(다른쪽의 밀폐 공간부)
12…외부측의 밀폐 공간부(한쪽의 밀폐 공간부)
13…베이스부
14…본체부
15…천정부
16…원통부
17…삽통 구멍
20, 23, 25…워크
21a, 21b, 24, 26…개구부
31A, 31B, 32…시일 부재
40, 45…압박 수단
41…유압 실린더
42, 47…축부
35, 43, 48…압박판부
46, 81A, 81B…에어 실린더
48a, 48b…맞물림 구멍
44, 44A, 44B…유압원
49, 84…공기압원
51…가스 공급 수단
52…누설 검출 수단
60, 70, 80, 90…록 수단
61A, 61B…스톱 밸브,
71, 75, 91…클로즈드 센터 밸브,
82A, 82B…축부(스토퍼 부재)
83A, 83B…쐐기 기구
85…더블 밸브
101, 101S, 102, 103, 104…누설 검사 장치

Claims (4)

  1. 워크를 수용 가능한 검사 챔버와,
    그 검사 챔버 내의 상기 워크의 개구부에 시일 부재를 접촉시켜서 압박함으로써 그 개구부를 폐색하여 상기 검사 챔버 내를 상기 워크의 내부측과 외부측의 각각 다른 밀폐 공간부로서 격리하고, 트레이스 가스를 한쪽의 밀폐 공간부에 공급함으로써 발생되는 반력을 고려하지 않고 개구부를 폐색한 상태로 유지하는데 필요한 크기의 압박력을 상기 시일 부재 및 워크에 가하는 압박 수단과,
    상기 워크의 상기 내부측 또는 상기 외부측 중 한쪽의 밀폐 공간부에 트레이스 가스를 공급하는 가스 공급 수단과,
    상기 한쪽의 밀폐 공간부로부터 다른쪽의 밀폐 공간부로 누출되는 상기 트레이스 가스를 검출하는 누설 검출 수단과,
    상기 개구부를 폐색한 상태의 상기 시일 부재의 상기 워크로부터 이간하는 방향으로의 이동을 정지하는 록 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 누설 검사 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 압박 수단은 유압 실린더에 의해 구성되고, 상기 록 수단은 상기 유압 실린더의 유체의 흐름을 막는 밸브에 의해 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 누설 검사 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 압박 수단은 상기 시일 부재에 접촉하여 압박하는 압박판부를 구비하고,
    상기 록 수단은 상기 압박판부에 접촉하여 상기 시일 부재의 상기 워크로부터 이간하는 방향으로의 이동을 정지하는 스토퍼 부재를 갖는 것을 특징으로 하는 누설 검사 장치.
  4. 워크를 수용 가능한 검사 챔버 내에서,
    상기 워크의 개구부에 시일 부재를 접촉시키고, 트레이스 가스를 한쪽의 밀폐 공간부에 공급함으로써 발생되는 반력을 고려하지 않고 개구부를 폐색한 상태로 유지하는데 필요한 크기의 압박력을 상기 시일 부재 및 워크에 가하여 압박함으로써 그 개구부를 폐색하여 상기 검사 챔버 내를 상기 워크의 내부측과 외부측의 각각 다른 밀폐 공간부로서 격리한 상태로 하고,
    상기 워크의 내부측 또는 외부측 중 한쪽의 밀폐 공간부에 트레이스 가스를 공급하고,
    상기 한쪽의 밀폐 공간부로부터 다른쪽의 밀폐 공간부로의 상기 트레이스 가스의 누설을 검출하는 누설 검사 방법으로서,
    상기 개구부를 폐색한 상태의 상기 시일 부재의 상기 워크로부터 이간하는 방향으로의 이동을 정지한 상태에서 상기 한쪽의 밀폐 공간부에 상기 트레이스 가스를 공급하는 것을 특징으로 하는 누설 검사 방법.
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