JP2020085104A - シリンダ装置のシール状態検出装置およびシール状態検出方法 - Google Patents

Abstract

【課題】メンテナンスの頻度を減らすことができるシリンダ装置のシール状態検出装置およびシール状態検出方法を提供する。【解決手段】シリンダ１１の開口部３２側とピストンロッド２２との間に設けられるシール部材２６のシール状態の異常を検出するものであって、シリンダ装置１０に密着可能なシール本体部５１１を有しシリンダ１１の開口部３２側を覆って密閉するチャンバと、シール本体部５１１をシール本体部５１１の外周側から径方向内方に膨出させる膨出手段５２５と、チャンバ内の状態からシール部材２６のシール状態の異常を検出するシール状態検出手段と、を有する。【選択図】図４

Description

本発明は、シリンダ装置のシール状態検出装置およびシール状態検出方法に関する。

シリンダ装置のシール部材の異常を検出するため、リザーバ室に加圧したヘリウムを封入し、漏れ出たヘリウムのリーク量をヘリウムリークテスタで測定する技術がある（例えば、特許文献１参照）。

特開平１１−２６４７８０号公報

ところで、シリンダ装置のシール部材の異常を検出する装置のメンテナンスの頻度を減らすことが求められている。

したがって、本発明は、メンテナンスの頻度を減らすことができるシリンダ装置のシール状態検出装置およびシール状態検出方法の提供を目的とする。

上記目的を達成するために、本発明に係るシリンダ装置のシール状態検出装置は、シリンダ装置に密着可能なシール本体部を有しシリンダの開口部側を覆って密閉するチャンバと、前記シール本体部を該シール本体部の外周側から径方向内方に膨出させる膨出手段と、前記チャンバ内の状態からシール部材のシール状態の異常を検出するシール状態検出手段と、を有する構成とした。

本発明に係るシリンダ装置のシール状態検出方法は、チャンバでシリンダの開口部側を覆って密閉する密閉工程が、前記チャンバの内周部を拡径状態として前記シリンダの前記開口部側を前記チャンバの内側に配置する配置工程と、前記チャンバの内周部を膨出状態として、シリンダ装置に密着させる膨出工程と、を含む構成とした。

本発明によれば、メンテナンスの頻度を減らすことができる。

本発明に係る実施形態のシール状態検出装置およびシール状態検出方法の検査対象となるシリンダ装置を含むシリンダ装置組立体を示す断面図である。 本発明に係る実施形態のシール状態検出装置およびシール状態検出方法の検査対象となるシリンダ装置を示す要部の拡大断面図である。 本発明に係る第１実施形態のシール状態検出装置を示す構成図である。 本発明に係る第１実施形態のシール状態検出装置のチャンバシール部を示す断面図であって、（ａ）は膨出工程前の状態、（ｂ）は膨出工程後の状態をを、それぞれ示すものである。 本発明に係る第１実施形態の減圧工程、安定化工程および第１，第２圧力測定工程でのチャンバ内の圧力状態を示す線図である。 本発明に係る第１実施形態による異常判定の例を示す図表である。 本発明に係る第２実施形態のシール状態検出装置を示す構成図である。

本発明に係る実施形態のシール状態検出装置およびシール状態検出方法の検査対象となるシリンダ装置を図１および図２を参照して以下に説明する。

図１は、シリンダ装置１０を含むシリンダ装置組立体１を示すものである。シリンダ装置組立体１は、自動車や鉄道車両のサスペンション装置に用いられる緩衝器である。図１に示すように、シリンダ装置組立体１は、作動流体が封入されるシリンダ１１を有している。シリンダ１１は、内筒１２と、内筒１２よりも大径で内筒１２の外側に設けられる外筒１３とから構成される複筒式である。内筒１２と外筒１３とは同軸状に配置されており、これら内筒１２および外筒１３の間にリザーバ室１４が形成されている。

シリンダ１１の内筒１２内には、ピストン１７が摺動可能に挿入されている。このピストン１７は、内筒１２内つまりシリンダ１１内に上室１８と下室１９とを画成している。シリンダ１１内には、具体的に、上室１８および下室１９内に流体としての作動液Ｌが封入され、リザーバ室１４内に流体としての作動液ＬおよびガスＧが封入される。ガスＧは具体的には窒素ガスである。よって、シリンダ１１には、窒素ガスを含む流体が封入されている。

ピストン１７にはピストンロッド２２が連結されている。ピストンロッド２２は、軸方向一側がシリンダ１１内に挿入されてピストン１７に連結されており、軸方向他側がシリンダ１１の軸方向（図１の上下方向、以下、シリンダ軸方向という）の一端つまり内筒１２および外筒１３の一端から外部へと延出している。ピストン１７は、このピストンロッド２２の内筒１２内の端部にナット２３によって締結されており、ピストン１７と一体的に移動する。

シリンダ１１の内側には、ピストンロッド２２が突出するシリンダ軸方向の一端側に、環状のロッドガイド２５と、環状のシール部材２６とが同軸状に配置されている。シール部材２６はシリンダ軸方向における内外方向（図１の上下方向で、以下、シリンダ内外方向という）のロッドガイド２５よりも外側（図１の上下方向上側）に設けられている。言い換えれば、ロッドガイド２５はシール部材２６のシリンダ内外方向の内側（図１の上下方向下側）に設けられている。シリンダ１１の内側には、シリンダ軸方向のロッドガイド２５およびシール部材２６とは反対側にベースバルブ２８が設けられている。

ロッドガイド２５およびシール部材２６は、それぞれの内側にピストンロッド２２が摺動可能に挿通されている。ピストンロッド２２は、シリンダ１１内に配置される一端部が内筒１２内に配置されるピストン１７によってシリンダ１１の中心軸上に配置されている。また、ピストンロッド２２は、軸方向の中間部がシリンダ１１に嵌合されるロッドガイド２５によってシリンダ１１の中心軸上に配置されている。

ロッドガイド２５は、ピストンロッド２２を、その径方向移動を規制しつつ軸方向移動可能に支持する。シール部材２６は、その外周部がシリンダ１１の外筒１３の内側に密着嵌合される。シール部材２６は、その内周部にピストンロッド２２が密着状態となるように挿入される。これにより、シール部材２６は、シリンダ１１の一端側を閉塞して、内筒１２内の作動液Ｌおよびリザーバ室１４内のガスＧおよび作動液Ｌが外部に漏出するのを規制する。

シリンダ１１の外筒１３は、円筒状の胴部３０と、この胴部３０におけるピストンロッド２２の突出側とは反対の端部を閉塞する底部３１と、胴部３０におけるピストンロッド２２の突出側の開口部３２の位置から径方向内方に突出する係止部３３とを有する略有底円筒状をなしている。ここで、内筒１２は全体が外筒１３内に配置されており、よって、外筒１３の底部３１とは反対側の開口部３２がシリンダ１１の開口部３２にもなっている。ピストンロッド２２は、このシリンダ１１の開口部３２からシリンダ１１の外部に延出している。

シリンダ１１の内筒１２は、円筒状をなしており、軸方向の一端側が外筒１３の底部３１の内側に配置されるベースバルブ２８のベースボディ３４に嵌合状態で支持され、軸方向の他端側が外筒１３の開口部３２の内側に嵌合されるロッドガイド２５に嵌合状態で支持されている。

ベースバルブ２８のベースボディ３４には、軸方向に貫通する液通路３６および液通路３７が形成されている。液通路３６および液通路３７は、内筒１２内の下室１９と、外筒１３と内筒１２との間のリザーバ室１４とを連通可能となっている。ベースボディ３４には、底部３１側にディスクバルブ３８が配置され、底部３１とは反対側にディスクバルブ３９が配置されている。ディスクバルブ３８は、ベースボディ３４の径方向における内側の液通路３６を開閉可能となっている。ディスクバルブ３９は、ベースボディ３４の径方向における液通路３６よりも外側の液通路３７を開閉可能となっている。これらのディスクバルブ３８，３９は、ベースボディ３４の中央に挿入されて加締められたリベット４２によってベースボディ３４に取り付けられている。

ディスクバルブ３８は、ディスクバルブ３９に形成された図示略の通路穴および液通路３６を介して下室１９からリザーバ室１４側への作動液Ｌの流れを許容するものであり、この作動液Ｌの流れを制御して減衰力を発生させる。ディスクバルブ３８は、これとは逆方向の作動液Ｌの流れを規制する。つまり、ディスクバルブ３８は、ピストンロッド２２がシリンダ１１からの突出量を減らす縮み側に移動し、ピストン１７が下室１９側に移動して下室１９の圧力が上昇すると液通路３６を開くことになり、その際に減衰力を発生させる減衰バルブである。

ディスクバルブ３９は、液通路３７を介してリザーバ室１４から下室１９側への作動液Ｌの流れを抵抗無く許容する。ディスクバルブ３９は、これとは逆方向の作動液Ｌの流れを規制する。ディスクバルブ３９は、ピストンロッド２２がシリンダ１１からの突出量を増やす伸び側に移動し、ピストン１７が上室１８側に移動して下室１９の圧力が下降すると液通路３７を開くことになるが、その際にリザーバ室１４から下室１９内に実質的に減衰力を発生させずに作動液Ｌを流すサクションバルブである。

ピストンロッド２２は、一定径の主軸部４５と、内筒１２内に挿入される側の端部の内端軸部４６とを有している。内端軸部４６は、主軸部４５よりも小径となっており、その主軸部４５とは反対側にオネジ４７が形成されている。このオネジ４７にナット２３が螺合されることになり、このナット２３によってピストン１７およびその両側のディスクバルブ５１，５２がピストンロッド２２に取り付けられている。

ピストン１７には、その径方向の中央に軸方向に貫通する貫通孔５３が形成されており、貫通孔５３の周囲に、軸方向に貫通する液通路５４および液通路５５が形成されている。貫通孔５３にはピストンロッド２２の内端軸部４６が挿入されることになる。液通路５４および液通路５５は、内筒１２内のピストン１７よりも底部３１側の下室１９と、内筒１２内のピストン１７よりも底部３１とは反対側の上室１８とを連通可能となっている。

また、ピストン１７には、ディスクバルブ５１が底部３１とは反対側に配置されるとともに、ディスクバルブ５２が底部３１側に配置されている。ディスクバルブ５１は、液通路５４を開閉可能な減衰バルブであり、ディスクバルブ５２は、液通路５５を開閉可能な減衰バルブである。

ディスクバルブ５１は下室１９から上室１８側への作動液Ｌの流れを許容する一方でこれとは逆方向の作動液Ｌの流れを規制する。ディスクバルブ５１は、ピストンロッド２２が縮み側に移動しピストン１７が下室１９側に移動して下室１９の圧力が上昇すると液通路５４を開くことになり、その際に減衰力を発生させる。つまり、ディスクバルブ５１は縮み側の減衰バルブである。

ディスクバルブ５２は上室１８側から下室１９への作動液Ｌの流れを許容する一方でこれとは逆方向の作動液Ｌの流れを規制する。ディスクバルブ５２は、ピストンロッド２２が伸び側に移動しピストン１７が上室１８側に移動して上室１８の圧力が上昇すると液通路５５を開くことになり、その際に減衰力を発生させる。つまり、ディスクバルブ５２は伸び側の減衰バルブである。

ここで、ピストンロッド２２が伸び側に移動してシリンダ１１からの突出量が増大すると、その分の作動液Ｌがリザーバ室１４からベースバルブ２８のディスクバルブ３９を開きつつ液通路３７を介して下室１９に流れることになる。逆にピストンロッド２２が縮み側に移動してシリンダ１１への挿入量が増大すると、その分の作動液Ｌが下室１９からディスクバルブ３８を開きつつ液通路３６を介してリザーバ室１４に流れることになる。

図２に示すように、ロッドガイド２５は、略段付き円環状をなすロッドガイド本体６０と、ロッドガイド本体６０の内周部に嵌合固定される円筒状のカラー６１とからなっている。ロッドガイド本体６０は、外周側が、シリンダ内外方向の外側に円形の大径外周部６４が形成され、シリンダ内外方向の内側に大径外周部６４よりも小径の円形の小径外周部６５が形成された形状をなしている。大径外周部６４および小径外周部６５は同軸状に形成されており、ロッドガイド本体６０は、大径外周部６４が、シリンダ１１の外筒１３の胴部３０の内周部に嵌合している。また、ロッドガイド本体６０は、小径外周部６５が、シリンダ１１の内筒１２の内周部に嵌合している。

ロッドガイド本体６０は、内周側が、シリンダ内外方向の外側に円形の大径内周部７２が、シリンダ内外方向の内側に大径内周部７２よりも小径の円形の小径内周部７３が形成された形状をなしている。

ロッドガイド本体６０のシリンダ内外方向の外側には、シリンダ内外方向の外側に突出する円環状の環状凸部７５が形成されている。環状凸部７５は、大径外周部６４、小径外周部６５、大径内周部７２および小径内周部７３と同軸状に配置されており、その外周部が突出先端側ほど小径となるテーパ状をなし、その内周部が突出先端側ほど大径となるテーパ状をなしている。

ロッドガイド本体６０には、環状凸部７５の径方向内側位置に、軸方向に沿って貫通する連通穴８１が形成されている。連通穴８１は、外筒１３と内筒１２との間のリザーバ室１４に連通している。カラー６１は、ロッドガイド本体６０の小径内周部７３内に嵌合固定されており、このカラー６１内に、ピストンロッド２２の主軸部４５が摺接するように挿入されている。

シール部材２６は、その外周部が外筒１３の内周部に接触して外筒１３との隙間をシールする。また、シール部材２６は、その内周部がピストンロッド２２の主軸部４５の外周部に接触して主軸部４５の外周部との隙間をシールする。これにより、シール部材２６は、シリンダ１１の外筒１３の開口部３２側とピストンロッド２２の主軸部４５との間に設けられて、これらの間を閉塞する。

シール部材２６は、弾性部材８５に円環部材８６が埋設された一体成形品である。弾性部材８５は、ニトリルゴムやフッ素ゴムなどの摺動性のよいゴム材からなっており、円環部材８６に接触する部分が全面的に円環部材８６に接着されている。円環部材８６は、金属製であり、円環状をなしている。円環部材８６は、シール部材２６の形状を維持するためのものであり、対象部位に固定するための強度をシール部材２６に生じさせるものである。

弾性部材８５は、環状のシールリング８９と、環状のチェックリップ９０と、環状のダストリップ９１と、環状のオイルリップ９２と、環状の内周被覆部９３と、環状の外周シール９４と、環状の内端面被覆部９５と、環状の外端面被覆部９６とを有している。

ダストリップ９１は、円環部材８６の内周側からシリンダ内外方向の外側に円環筒状をなして延出している。ダストリップ９１は、その内周部が、シリンダ内外方向の外側に位置するほど小径となっている。オイルリップ９２は、円環部材８６の内周側からシリンダ内外方向の内側に円環筒状をなして延出している。オイルリップ９２は、その内周部が、シリンダ内外方向の内側に位置するほど小径となっている。内周被覆部９３は、円筒状をなしており、円環部材８６の内周面を覆いつつダストリップ９１の基端側とオイルリップ９２の基端側とを連結している。

外周シール９４は、円筒状をなしており、円環部材８６の外周面を覆っている。内端面被覆部９５は、オイルリップ９２の基端側と外周シール９４とを繋いでおり、円環部材８６のシリンダ内外方向内側の端面全体を覆っている。外端面被覆部９６は、ダストリップ９１の基端側から径方向に広がっており、円環部材８６のシリンダ内外方向外側の端面の内径側を部分的に覆っている。円環部材８６は、外端面被覆部９６と外周シール９４との間が、弾性部材８５で被覆されていない露出部９７となっている。

シールリング８９は、円環状をなしており、内端面被覆部９５の外周縁部からシリンダ内外方向の内側に突出している。チェックリップ９０は、円環状をなしており、内端面被覆部９５の径方向中間部分から、シリンダ内外方向の内側に、拡径しながら突出している。ダストリップ９１の外周部には環状の金属製のスプリング９８が装着されており、オイルリップ９２の外周部には環状の金属製のスプリング９９が装着されている。

シール部材２６には、ダストリップ９１、内周被覆部９３およびオイルリップ９２の内側にピストンロッド２２の主軸部４５が挿通されている。ダストリップ９１およびオイルリップ９２がピストンロッド２２の主軸部４５に全周にわたって密着する。

シール部材２６をシリンダ１１に取り付ける場合、外筒１３の開口部３２側に係止部３３を形成する前の状態で、シール部材２６を外筒１３の胴部３０に開口部３２側から挿入し、ロッドガイド２５の環状凸部７５に当接させる。この状態で、胴部３０の開口部３２側を径方向内側に折り曲げて係止部３３を形成することで、係止部３３がシール部材２６の円環部材８６の露出部９７に当接して、円環部材８６および内端面被覆部９５を環状凸部７５とで挟持する。このようにして、シール部材２６がシリンダ１１に取り付けられる。

シリンダ１１に取り付けられた状態のシール部材２６は、その外周シール９４がシリンダ１１の外筒１３の内周部に接触し、そのシールリング８９が、ロッドガイド２５の環状凸部７５の外周部と、外筒１３の内周部とに接触する。これにより、シール部材２６は、外筒１３の内周部に全周にわたって密着して外筒１３との間を密封する。

また、シリンダ１１に取り付けられた状態のシール部材２６には、ダストリップ９１、内周被覆部９３およびオイルリップ９２の内側にピストンロッド２２の主軸部４５が挿通されることになる。この状態で、ピストンロッド２２はその一端がシール部材２６から外部に突出することになる。ダストリップ９１およびオイルリップ９２は、ピストンロッド２２の主軸部４５の外周に全周にわたって密着して主軸部４５との間を密封する。よって、シール部材２６は、シリンダ１１とピストンロッド２２との間に設けられて、これらの間をシールする。

シリンダ１１に取り付けられた状態のシール部材２６は、チェックリップ９０が、ロッドガイド２５の環状凸部７５よりも径方向の内側部分に所定の締め代を持って全周にわたって密封接触可能となっている。ここで、ロッドガイド２５とピストンロッド２２との隙間から漏れ出た作動液Ｌは、チェックリップ９０よりもこの隙間側の室１００に溜まることになり、チェックリップ９０は、この室１００の圧力が、リザーバ室１４の圧力よりも所定量高くなった時に開いて室１００に溜まった作動液Ｌを連通穴８１を介してリザーバ室１４に流す。つまり、チェックリップ９０は、室１００からリザーバ室１４への方向にのみ作動液ＬおよびガスＧの流通を許容し逆方向の流通を規制する逆止弁として機能する。

図１に示すように、ピストンロッド２２の主軸部４５には、ロッドガイド２５への挿入部分よりも内端軸部４６側に、リテーナ１１１が、径方向外側に広がるように固定されている。リテーナ１１１の内端軸部４６とは反対には、円環状の弾性材料からなる緩衝体１１２が、内側に主軸部４５を挿通させて設けられている。ピストンロッド２２は、伸び方向の移動時に、緩衝体１１２をロッドガイド２５に当接させて変形させることで、それ以上の伸び方向の移動が規制される。

ピストンロッド２２のシリンダ１１とは反対側の一端部には、カバー部材１１５が取り付けられている。カバー部材１１５は、ピストンロッド２２に固定されてピストンロッド２２から径方向に広がる円板状の蓋部１１８と、蓋部１１８の外周縁部からシリンダ１１の方向に延出する円筒状の筒状部１１９とを有している。筒状部１１９は、シリンダ１１の開口部３２よりも底部３１側まで延出しており、シリンダ１１の外周部を、この外周部との間に径方向に隙間を有しつつ覆っている。ピストンロッド２２および蓋部１１８の底部３１とは反対側には取付アイ１１６が溶接により固定されている。シリンダ１１の胴部３０の底部３１側の外周面には、ガード部材１２１が取り付けられており、底部３１のピストンロッド２２とは反対側に取付アイ１２２が溶接により固定されている。

ここで、外筒１３内に、ベースバルブ２８と、内筒１２と、ピストンロッド２２の一端側に取り付けられた状態のピストン１７、ナット２３、ディスクバルブ５１，５２、リテーナ１１１および緩衝体１１２と、ロッドガイド２５と、シール部材２６とを配置するとともに、リザーバ室１４、上室１８および下室１９に流体を注入した状態で、外筒１３の開口部３２に係止部３３を形成することで、シリンダ装置１０が形成されることになる。そして、その後、このシリンダ装置１０のピストンロッド２２のシール部材２６よりも突出する部分に、カバー部材１１５および取付アイ１１６が取り付けられ、シリンダ１１の底部３１に取付アイ１２２が取り付けられてシリンダ装置組立体１となる。言い換えれば、シリンダ装置１０は、シリンダ装置組立体１の、カバー部材１１５および取付アイ１１６，１２２が取り付けられる前の状態のものである。

シリンダ装置組立体１は、車両に取り付けられる際に、取付アイ１１６が上側に配置されて車体側に連結され、取付アイ１２２が下側に配置されて車輪側に連結される。

シリンダ装置組立体１は、外力が加わらない自然状態にあるとき、上室１８、下室１９およびリザーバ室１４の圧力がほぼ同等になっており、いずれも大気圧より高圧となっている。言い換えれば、シリンダ装置組立体１が自然状態にあるとき、シリンダ１１内の作動液ＬおよびガスＧの圧力がいずれも大気圧より高圧となっている。このとき、シリンダ装置組立体１は、ピストン１７およびピストンロッド２２がシリンダ１１に対し所定の位置で停止することになる。このときのシリンダ装置組立体１の長さが自然長である。なお、自然状態にあるとき、上室１８、下室１９およびリザーバ室１４の圧力がほぼ同等で大気圧となるものもある。

［第１実施形態］
実施形態は、シリンダ装置組立体１のカバー部材１１５および取付アイ１１６，１２２が取り付けられる前の状態のシリンダ装置１０の検査に関するもので、シリンダ装置１０に設けられている、シリンダ１１の開口部３２とピストンロッド２２との間を密閉しているシール部材２６のシール状態の異常を検出するシール状態検出装置およびシール状態検出方法である。

以下、第１実施形態を主に図２〜図６に基づいて説明する。図３に示すように、第１実施形態のシール状態検出装置１３１は、シリンダ装置１０のシリンダ１１の開口部３２側を覆って密閉するチャンバ１３２と、チャンバ１３２内の状態からシール部材２６のシール状態の異常を検出する検出装置本体部１３３（シール状態検出手段）と、を備えている。

チャンバ１３２は、シリンダ１１の開口部３２側およびシール部材２６と、ピストンロッド２２のシール部材２６よりもシリンダ１１の外部側に延出する部分とを覆って密閉する。

チャンバ１３２は、有蓋筒状のチャンバ本体４０１と、チャンバ本体４０１の開口部４０２側に設けられる円環状のチャンバシール部４０３と、を有している。チャンバ本体４０１は、シリンダ１１の開口部３２側およびシール部材２６とピストンロッド２２のシール部材２６よりもシリンダ１１の外部側に延出する部分とをこれらに接触することなく覆う。チャンバシール部４０３は、外筒１３の開口部３２側の所定のシール部位４０５の外周面に密着する。ここで、チャンバ１３２は、その内側にシリンダ装置１０を、自然長の状態のまま、すなわちピストンロッド２２をシリンダ１１に対し移動させない状態のまま、シリンダ１１の開口部３２側のシール部位４０５がチャンバシール部４０３に密着可能となるまで、挿入可能となっている。

チャンバ本体４０１は、円筒状の円筒体４１１と、円筒体４１１の軸方向の一端側に円筒体４１１の一端開口部を閉塞するように取り付けられる円板状の蓋体４１２と、蓋体４１２を円筒体４１１に固定する取付ボルト４１３と、円筒体４１１と蓋体４１２との隙間を取付ボルト４１３よりも径方向内側で閉塞するＯリング４１４と、を有している。

円筒体４１１には、軸方向一端側に、ネジ穴４２１が周方向に間隔をあけて複数形成されており、軸方向他端側にも、ネジ穴４２２が周方向に間隔をあけて複数形成されている。

蓋体４１２は、軸方向一端の外周部に形成された小径外径部４３１と、軸方向中間部から他端にかけての外周部に形成された、小径外径部４３１よりも大径の大径外径部４３２と、これらの間で軸直交方向に広がる段部４３３とを有している。小径外径部４３１の外径は、円筒体４１１の内径と略同径となっており、蓋体４１２は、小径外径部４３１において円筒体４１１の内周部に嵌合する。

蓋体４１２は、段部４３３にＯリング４１４が配置される円環状のシール溝４３５が形成されており、このシール溝４３５よりも径方向外側に取付ボルト４１３を挿通させる挿通穴４３６が周方向に間隔をあけて複数形成されている。蓋体４１２には、中央に軸方向に貫通する貫通孔４３７が形成されている。

蓋体４１２は、シール溝４３５にＯリング４１４を保持した状態で、小径外径部４３１において円筒体４１１の内周部に嵌合され、段部４３３において円筒体４１１に当接させられる。そして、この状態で、複数の取付ボルト４１３が、それぞれ、蓋体４１２の対応する挿通穴４３６に挿入され、円筒体４１１の対応するネジ穴４２１に螺合されることで、蓋体４１２が円筒体４１１に固定される。

チャンバ本体４０１は、円筒体４１１の軸方向の蓋体４１２とは反対側に取り付けられる円環状の第１シール支持体４５１と、第１シール支持体４５１の軸方向の円筒体４１１とは反対側に取り付けられる円環状の第２シール支持体４５２と、第２シール支持体４５２を第１シール支持体４５１に固定しつつ第１シール支持体４５１を円筒体４１１に固定する取付ボルト４５３と、円筒体４１１と第１シール支持体４５１との隙間を取付ボルト４５３よりも径方向内側で閉塞するＯリング４５４と、第１シール支持体４５１と第２シール支持体４５２との隙間を取付ボルト４５３よりも径方向内側で閉塞するＯリング４５５と、を有している。

第１シール支持体４５１は、軸方向一端の内周部に形成された小径内径部４６１と、軸方向中間部から他端にかけての内周部に形成された、小径内径部４６１よりも大径の大径内径部４６２と、これらの間で軸直交方向に広がる段部４６３とを有している。小径内径部４６１の内径は、円筒体４１１の内径よりも若干小径となっている。第１シール支持体４５１は、小径内径部４６１が軸方向の円筒体４１１側に、大径内径部４６２が軸方向の円筒体４１１とは反対側に配置されて、円筒体４１１に固定される。

第１シール支持体４５１は、軸方向の小径内径部４６１側の端面にＯリング４５４が配置される円環状のシール溝４６５が形成されており、シール溝４６５よりも径方向外側に、取付ボルト４５３を挿通させる挿通穴４６６が周方向に間隔をあけて複数形成されている。

第２シール支持体４５２は、その内径が、第１シール支持体４５１の小径内径部４６１の内径と同径となっている。第２シール支持体４５２は、軸方向の一端側の端面にＯリング４５５が配置される円環状のシール溝４７１が形成されており、シール溝４７１よりも径方向外側に、取付ボルト４５３を挿通させる挿通穴４７２が周方向に間隔をあけて複数形成されている。

第１シール支持体４５１は、シール溝４６５にＯリング４５４を保持した状態で、シール溝４６５が軸方向の円筒体４１１側に配置される向きで円筒体４１１に当接させられることになり、第２シール支持体４５２は、シール溝４７１にＯリング４５５を保持した状態で、シール溝４７１が軸方向の第１シール支持体４５１側に配置される向きで、第１シール支持体４５１に当接させられることになる。そして、この状態で、複数の取付ボルト４５３が、それぞれ、第２シール支持体４５２の対応する挿通穴４７２および第１シール支持体４５１の対応する挿通穴４６６に挿入されて円筒体４１１の対応するネジ穴４２２に螺合されることで、第１シール支持体４５１および第２シール支持体４５２が円筒体４１１に固定される。このように円筒体４１１に固定された状態で、円筒体４１１の内周面と、第１シール支持体４５１の小径内径部４６１の内周面および大径内径部４６２の内周面と、第２シール支持体４５２の内周面とが同軸状に配置されることになる。

第２シール支持体４５２の内周部が、チャンバ本体４０１の開口部４０２となっている。チャンバシール部４０３は、円環状であり、チャンバ本体４０１の開口部４０２側となる、第１シール支持体４５１の段部４６３および大径内径部４６２と、第２シール支持体４５２とで囲まれた部分に配置される。その際に、第２シール支持体４５２が取り付けられる前の第１シール支持体４５１の大径内径部４６２の径方向内側にチャンバシール部４０３が配置された後、第２シール支持体４５２が第１シール支持体４５１に取り付けられる。

図４に示すように、チャンバシール部４０３は、円筒状のベース部材５０１と、ベース部材５０１の内周面と軸方向の両端面と外周面の軸方向の両端部とを覆う膜状のシール体５０２と、シール体５０２をベース部材５０１の外周部に密閉固定する円環状の一対の固定部材５０３と、を有している。

ベース部材５０１は、シール体５０２よりも剛性が高く変形しにくい、例えば金属材料からなっており、その軸方向の中間位置に径方向に貫通する貫通穴５０６が形成されている。

シール体５０２は、弾性変形容易でシール性を有するゴム材料等からなっている。シール体５０２は、ベース部材５０１の内周面を覆う円筒状のシール本体部５１１と、ベース部材５０１の両端面を覆う一対の円板状の端面被覆部５１２と、ベース部材５０１の外周面の軸方向両端側を覆う一対の円筒状の外周面被覆部５１３とを有している。シール体５０２は、一対の外周面被覆部５１３が、それぞれ、円筒状のベース部材５０１と円環状の固定部材５０３とで挟持されており、これにより、ベース部材５０１と固定部材５０３との間をシールしている。ベース部材５０１には、一対の外周面被覆部５１３の間に貫通穴５０６が形成されている。

チャンバシール部４０３は、図３に示すようにチャンバ本体４０１の第１シール支持体４５１と第２シール支持体４５２との間に配置される際に、一方の端面被覆部５１２が第１シール支持体４５１の段部４６３に密着して段部４６３との隙間をシールし、他方の端面被覆部５１２が第２シール支持体４５２に密着して第２シール支持体４５２との隙間をシールする。

シール状態検出装置１３１は、貫通穴５０６に連結されるエアレギュレータバルブユニット５２０と、エアレギュレータバルブユニット５２０に加圧エアを供給する空気圧縮機等の加圧エア供給源５２２とを有している。加圧エア供給源５２２で生成された加圧エアをエアレギュレータバルブユニット５２０が調圧しながら貫通穴５０６に供給すると、シール体５０２とベース部材５０１との間に加圧エアが導入されることになり、その結果、図４（ｂ）に示すようにシール本体部５１１が径方向内方に膨出して縮径することになる。その後、エアレギュレータバルブユニット５２０がチャンバシール部４０３側を遮断状態とすることで、シール本体部５１１は、この状態を維持する。

また、この状態からエアレギュレータバルブユニット５２０がチャンバシール部４０３側を大気開放してシール体５０２とベース部材５０１との間の加圧エアを抜くと、図４（ａ）に示すようにシール本体部５１１が自身の弾性により径方向外方に凹んで拡径することになる。

よって、貫通穴５０６を有するベース部材５０１、エアレギュレータバルブユニット５２０および加圧エア供給源５２２が、シール本体部５１１をシール本体部５１１の外周側から径方向内方に膨出させる膨出機構５２５（膨出手段）を構成する。シール状態検出装置１３１は、この膨出機構５２５を含んでいる。

図３に示すように、チャンバ１３２内に、チャンバ本体４０１の開口部４０２側から、シリンダ装置１０のピストンロッド２２およびシリンダ１１の開口部３２側が、シリンダ１１の開口部３２側のシール部位４０５がチャンバシール部４０３と軸方向に位置を重ね合わせるまで、挿入される。ここで、図４（ａ）に示すように、シール体５０２とベース部材５０１との間に加圧エアが導入されず、非膨出状態、すなわち拡径状態にあるシール本体部５１１の内径は、シリンダ１１のシール部位４０５の外径よりも大径となっており、よって、シリンダ装置１０は、シール本体部５１１の内側に、移動の全範囲で径方向に隙間をもって挿入される。

この状態から、膨出機構５２５がシール体５０２とベース部材５０１との間に加圧エアを導入してシール本体部５１１を径方向内方に膨出する膨出状態とすると、図４（ｂ）に示すように、シール本体部５１１がシリンダ１１の開口部３２側のシール部位４０５に押圧されて密着する。これにより、図３に示すチャンバ１３２とシリンダ１１のシール部位４０５との隙間が密閉される。また、このとき、加圧エアの圧力でシール体５０２は、一方の端面被覆部５１２の第１シール支持体４５１の段部４６３への密着度が高まり、他方の端面被覆部５１２の第２シール支持体４５２への密着度が高まる。

この状態で、チャンバ１３２は、シリンダ１１の開口部３２側を覆って密閉する。よって、チャンバ１３２は、シリンダ装置１０に密着可能なシール本体部５１１を有してシリンダ１１の開口部３２側を覆って密閉する。シール状態検出装置１３１は、チャンバ１３２と、シール本体部５１１をシール本体部５１１の外周側から膨出させる膨出機構５２５と、を有している。

チャンバ１３２がシリンダ１１の開口部３２側を覆って密閉した状態で、チャンバ１３２内には、内部空間５３１が形成されることになる。シリンダ装置１０のピストンロッド２２、シリンダ１１の開口部３２およびシール部材２６は、この内部空間５３１に臨んで配置される。チャンバ１３２は、貫通孔４３７のみが内部空間５３１を外部に連通させることになり、この貫通孔４３７が検出装置本体部１３３に連通する。

検出装置本体部１３３は、密閉状態のチャンバ１３２内の内部空間５３１を所定の真空引き時間真空引きして減圧状態にする減圧部１４１（減圧手段）を有している。減圧部１４１は、ロータリポンプからなる真空ポンプ１４２と、貫通孔４３７に接続され、真空ポンプ１４２とチャンバ１３２の貫通孔４３７とを繋いで連通させる連通路１４３と、連通路１４３に設けられ、開閉することで真空ポンプ１４２とチャンバ１３２内の内部空間５３１との連通および遮断を切り替える開閉弁１４４とを有している。

真空ポンプ１４２は、密閉状態のチャンバ１３２内の内部空間５３１を開閉弁１４４が開かれた状態で真空引きすることになる。開閉弁１４４は、閉じられることで、チャンバ１３２内の内部空間５３１と真空ポンプ１４２との連通を遮断することになり、チャンバ１３２内の内部空間５３１を上記した減圧状態に維持する。真空ポンプ１４２として、ロータリポンプに限らず、メカニカルブースタポンプやディフュージョンポンプを用いても良い。

検出装置本体部１３３は、チャンバ１３２内の内部空間５３１に大気を導入する大気導入部１５１を有している。大気導入部１５１は、連通路１４３のチャンバ１３２と開閉弁１４４との間に接続されて、チャンバ１３２内の内部空間５３１を連通路１４３を介して外気に開放する大気開放通路１５２と、大気開放通路１５２に設けられ、開閉することでチャンバ１３２内の内部空間５３１の外気への開放および外気との遮断を切り替える大気開放弁１５３とを有している。大気開放弁１５３は、開かれることでチャンバ１３２内の内部空間５３１を外気に連通させ、閉じられることでチャンバ１３２内の内部空間５３１を外気から遮断する。

検出装置本体部１３３は、連通路１４３を介してチャンバ１３２内の内部空間５３１の圧力を測定するピラニ真空計からなる真空計１５５（圧力測定手段）と、真空計１５５の検出データを記憶するデータロガー１５６とを有している。検出装置本体部１３３は、真空ポンプ１４２、開閉弁１４４および大気開放弁１５３の作動を制御するとともに、減圧部１４１によって減圧状態とされたチャンバ１３２内の内部空間５３１の圧力の真空計１５５による測定結果に基づいてシリンダ装置１０におけるシール部材２６のシール状態の異常を検出する制御部１５８（異常検出手段）を有している。制御部１５８は、真空ポンプ１４２、開閉弁１４４、大気開放弁１５３、真空計１５５およびデータロガー１５６と通信可能であり、真空ポンプ１４２、開閉弁１４４および大気開放弁１５３の作動を制御する。制御部１５８は、膨出機構５２５のエアレギュレータバルブユニット５２０および加圧エア供給源５２２も制御する。

シール状態検出装置１３１を用いて、シール部材２６のシール状態を検出する場合、まず、作業者が、手作業で、シール状態検出装置１３１の図示略の所定のセット台のセット位置に、計測対象であるシリンダ装置１０をセットするセット工程を行う。セット工程において、作業者は、シリンダ装置１０を、シール部材２６を上向きにしてセットする。

セット工程の後、シール状態検出装置１３１の図示略のスタートボタンが操作されると、制御部１５８は、チャンバ１３２の内周部であるシール本体部５１１を拡径状態としたまま、チャンバ１３２内にシリンダ１１の開口部３２側を配置する配置工程を行う。すなわち、配置工程では、膨出機構５２５でシール体５０２とベース部材５０１との間に加圧エアを導入することなく、チャンバ１３２内にシリンダ１１の開口部３２側を配置する。このとき、シリンダ装置１０は、チャンバ１３２内でシール部材２６を上向きにして、シール本体部５１１の内側に径方向に隙間をもって配置される。また、このとき、シリンダ装置１０は、自然長の状態のまま、チャンバ１３２内にピストンロッド２２およびシリンダ１１の開口部３２側を配置する。

なお、配置工程を行うとき、制御部１５８は、シール状態検出装置１３１によって、セット位置にあるシリンダ装置１０に対しチャンバ１３２を自動的に移動させて所定量被せる、あるいは、セット位置にあったシリンダ装置１０をチャンバ１３２に対し自動的に移動させて所定量挿入する等して、チャンバ１３２に対しシリンダ装置１０を所定の検査位置に配置する。このようにして、チャンバ１３２に対し所定の検査位置に配置されたシリンダ装置１０は、シリンダ１１の開口部３２側のシール部位４０５がチャンバシール部４０３と軸方向の位置を重ね合わせることになる。

配置工程の後、制御部１５８は、チャンバ１３２のシール本体部５１１の内周部を膨出状態として、シリンダ１１の開口部３２側のシール部位４０５に密着させる膨出工程を行う。すなわち、膨出工程では、膨出機構５２５のエアレギュレータバルブユニット５２０で供給圧を調整しつつ加圧エア供給源５２２からシール体５０２とベース部材５０１との間に加圧エアを導入する。すると、シール本体部５１１が径方向内方に膨出して縮径することになり、シール本体部５１１がシリンダ１１のシール部位４０５に密着する。また、このとき、一方の端面被覆部５１２が第１シール支持体４５１の段部４６３への密着度を高め、他方の端面被覆部５１２が第２シール支持体４５２への密着度を高める。そして、エアレギュレータバルブユニット５２０でチャンバシール部４０３側を閉弁状態として、シール本体部５１１のシリンダ１１への密着状態を維持する。これにより、チャンバ１３２とシリンダ１１のシール部位４０５との隙間が密閉される。以上に述べた、配置工程およびその後の膨出工程が、チャンバ１３２で、シリンダ１１の開口部３２側を覆って密閉する密閉工程となる。

膨出工程の後、制御部１５８は、大気導入部１５１の大気開放弁１５３を閉じた状態で、減圧部１４１によってチャンバ１３２内の内部空間５３１を所定の真空引き時間真空引きして減圧状態にする減圧工程を行う。すなわち、制御部１５８は、減圧部１４１の開閉弁１４４を開いた状態で、真空ポンプ１４２を所定の真空引き時間駆動して、それまで大気圧であったチャンバ１３２内の内部空間５３１を減圧する。

制御部１５８は、真空ポンプ１４２を所定の真空引き時間駆動すると、開閉弁１４４を閉じるとともに真空ポンプ１４２を停止させる。これにより、チャンバ１３２内の内部空間５３１の圧力が減圧された減圧状態になる。ここで、図５は、シール部材２６のシール状態を検出する際のチャンバ１３２内の圧力の状態を示しており、時点ｔ０から開始される減圧工程で、実線Ｘ１で示すように減圧を開始し、その後、所定の真空引き時間経過した時点ｔ１で開閉弁１４４を閉じるとともに真空ポンプ１４２を停止させる。

減圧工程の後、制御部１５８は、所定の安定化時間の経過を待つ安定化工程後、チャンバ１３２内の圧力を真空計１５５で測定する第１圧力測定工程を行う。この第１圧力測定工程では、安定化工程による所定の安定化時間の経過を待った後の第１の時点で、真空計１５５でチャンバ１３２内の第１の圧力値を測定する。例えば、図５に示す減圧工程終了時点ｔ１から安定化工程を開始し、安定化工程を終了した第１の時点ｔ２で、真空計１５５でチャンバ１３２内の第１の圧力値Ｐ１を測定する第１圧力測定工程を行う。

第１圧力測定工程の後、制御部１５８は、チャンバ１３２内の内部空間５３１の圧力に基づいて、シール部材２６のシール状態の異常の有無を検出する第１圧力異常検出工程（異常検出工程）を行う。この第１圧力異常検出工程では、第１圧力測定工程で測定された第１の圧力値に基づいて、シール部材２６のシール状態の異常の有無を検出する。具体的に、制御部１５８は、第１の圧力値が、所定の閾値以上であれば、シール部材２６にシール状態異常があって真空引き自体が正常に行えない真空引き異常であることを検出し、この閾値未満であれば、後述する第２圧力測定工程を行う。

すなわち、シール部材２６のシール状態に大きな異常があると、減圧工程中からシリンダ装置１０内の所定量以上のガスＧが負圧状態のチャンバ１３２内に吸い出され、チャンバ１３２内の内部空間５３１の圧力が十分に減圧されない状態になって、図５に一点鎖線Ｘ２で示すように、第１の時点ｔ２での第１の圧力値Ｐ１が高くなって、所定の閾値以上になる真空引き異常状態となる。他方、シール部材２６のシール状態に異常がない、あるいは、あっても小さな異常であれば、減圧工程中にシリンダ装置１０内の所定量以上のガスＧがチャンバ１３２内に吸い出されることはなく、図５に実線Ｘ１および破線Ｘ３で示すように、第１の時点ｔ２での第１の圧力値Ｐ１が低くなって、所定の閾値未満となる真空引き正常状態になる。制御部１５８は、まず、第１段階として、これら真空引き異常状態および真空引き正常状態の違いにより、シール部材２６のシール状態の異常の有無を検出する。

第１圧力異常検出工程で、第１の圧力値が所定の閾値未満であれば、制御部１５８は、第１の時点から所定時間経過後の第２の時点でのチャンバ１３２内の第２の圧力値を測定する第２圧力測定工程を行う。例えば、図５に示す第１の圧力値Ｐ１の測定時点ｔ２から所定の検査時間経過後の第２の時点ｔ３の第２の圧力値Ｐ２を測定する。

第２圧力測定工程の後、制御部１５８は、チャンバ１３２内の内部空間５３１の圧力に基づいて、シール部材２６のシール状態の異常の有無を検出する第２圧力異常検出工程（異常検出工程）を行う。この第２圧力異常検出工程では、第１の圧力値と第２の圧力値との圧力差に基づいて、シール部材２６のシール状態の異常の有無を検出する。具体的に、制御部１５８は、第２の圧力値Ｐ２から第１の圧力値Ｐ１を減算した圧力差Ｐ２−Ｐ１を所定の検査時間Ｔで除算した値、つまり図５に示す時点ｔ２から時点ｔ３までの検査時間Ｔにおける単位時間あたりの圧力上昇率が、所定の閾値以上であれば、シール部材２６のシール状態に異常があることを検出し、この閾値未満であれば、シール部材２６のシール状態に異常がないことを検出する。

すなわち、シール部材２６のシール状態に異常があれば、所定時間の間にシリンダ装置１０内の所定量以上のガスＧが負圧状態のチャンバ１３２内に吸い出され、チャンバ１３２内の圧力が図５に破線Ｘ３で示すように時間の経過とともに上昇して、圧力差Ｐ２−Ｐ１を所定の検査時間Ｔで除算した値が閾値以上になる差圧異常状態になる。他方、シール部材２６のシール状態に異常がなければ、所定時間の間にシリンダ装置１０内の所定量以上のガスＧが負圧状態のチャンバ１３２内に吸い出されることはなく、図５にＸ１で示すようにチャンバ１３２内の圧力の上昇が抑えられ、圧力差Ｐ２−Ｐ１を所定の検査時間Ｔで除算した値が閾値以上にならない差圧正常状態になる。制御部１５８は、第２段階として、これら差圧異常状態および差圧正常状態の違いにより、シール部材２６のシール状態の異常の有無を検出する。

以上の減圧工程と、安定化工程と、第１圧力測定工程と、第１圧力異常検出工程と、第２圧力測定工程と、第２圧力異常検出工程とが、チャンバ１３２内の内部空間５３１の状態からシール部材２６のシール状態の異常を検出するシール状態検出工程となる。

以上により、第１実施形態のシール状態検出方法は、チャンバ１３２でシリンダ１１の開口部３２側を覆って密閉する密閉工程と、チャンバ１３２内の状態からシール部材２６のシール状態の異常を検出するシール状態検出工程と、を含み、シール状態検出工程は、チャンバ１３２内を減圧状態にする減圧工程と、チャンバ１３２内の圧力を測定する第１，第２圧力測定工程と、チャンバ１３２内の圧力に基づいて異常を検出する第１，第２圧力異常検出工程と、を含む。

第２圧力異常検出工程で、シール部材２６のシール状態に異常がないことを検出すると、制御部１５８は、大気導入部１５１の大気開放弁１５３を開いてチャンバ１３２内の内部空間５３１を大気開放する大気開放工程を行う。真空計１５５による測定結果から、この大気開放工程でチャンバ１３２内の内部空間５３１が大気圧になると、制御部１５８は、エアレギュレータバルブユニット５２０でシール体５０２とベース部材５０１との間の加圧エアを抜く膨出解除工程を行う。すると、シール本体部５１１が自身の弾性により径方向外方に拡径することになる。なお、大気開放工程と膨出解除工程とを並行して行うことも可能である。

第２圧力異常検出工程で、シール部材２６のシール状態に異常がないことを検出すると、大気開放工程および膨出解除工程の後、制御部１５８は、チャンバ１３２からシリンダ１１の開口部３２側を軸方向に離間させる離間工程を行う。なお、離間工程を行うときも、制御部１５８は、シール状態検出装置１３１によって、検査位置にあるシリンダ装置１０に対しチャンバ１３２を自動的に移動させて所定量離間させる、あるいは、チャンバ１３２に対しシリンダ装置１０を自動的に移動させて所定量抜き出させる。この離間工程でも、拡径状態にあるシール本体部５１１の内径は、シリンダ１１の開口部３２側のシール部位４０５よりも大径となっており、よって、シリンダ装置１０は、シール本体部５１１の内側から、移動の全範囲で径方向に隙間をもった状態で軸方向に離間する。

第２圧力異常検出工程で、シール部材２６のシール状態に異常がないことを検出すると、離間工程の後、制御部１５８は、図示略の報知装置により、シール部材２６のシール状態に異常がなく良品であることを報知させるとともにシール状態検出装置１３１からのシリンダ装置１０の取り出しを促す旨を報知させる正常報知工程を行う。

すると、作業者が、手作業で、シール状態検出装置１３１からのシリンダ装置１０を取り出す取出工程を行う。

ここで、第１圧力異常検出工程でシール部材２６のシール状態に異常があった場合、すなわち真空引き自体が正常に行えない真空引き異常状態と判定した場合と、第２圧力異常検出工程でシール部材２６のシール状態に異常があった場合、すなわち単位時間当たりの圧力上昇率が異常となる差圧異常状態と判定した場合と、のいずれにおいても、制御部１５８は、上記した、大気開放工程、膨出解除工程、膨出工程、減圧工程、安定化工程、第１圧力測定工程、第１圧力異常検出工程、第２圧力測定工程および第２圧力異常検出工程の再検査フローを行うことになる。

この再検査フローにおいて、第１圧力異常検出工程でシール部材２６のシール状態の異常が検出された場合と、第２圧力異常検出工程でシール部材２６のシール状態の異常が検出された場合との両方において、制御部１５８は、大気開放工程、膨出解除工程および離間工程を行った後、図示略の報知装置により、シール部材２６のシール状態に異常があったことを報知させるとともにシール状態検出装置１３１からのシリンダ装置１０の取り出しを促す旨を報知させる異常報知工程を行う。その際に、第１圧力異常検出工程および第２圧力異常検出工程のいずれでシール部材２６のシール状態の異常を検出したかを含めて報知を行う。

すると、作業者が、手作業で、シール状態検出装置１３１からのシリンダ装置１０を取り出す取出工程を行う。

ここで、シール部材２６のシール状態に異常があった場合に行う再検査フローに、膨出解除工程および膨出工程を行う理由は、シール本体部５１１をシリンダ１１のシール部位４０５から径方向に離間させることにより、これらの間に挟まっているコンタミネーションを取り除く目的と、ワークであるシリンダ装置１０と、チャンバ１３２内とに残留していた水分が検査中（減圧中）に蒸発したものを大気中に逃がし、誤判定を防ぐ目的とがある。水分付着の影響が小さい場合や、検査全体に要する時間の短縮を狙う場合は、再検査フローから膨出解除工程および膨出工程を省いても良い。

なお、第１圧力異常検出工程でシール部材２６のシール状態に異常があった場合および第２圧力異常検出工程でシール部材２６のシール状態に異常があった場合のいずれにおいても、第２圧力異常検出工程でシール部材２６のシール状態に異常がないと判定されるまで、再検査フローを適宜の複数回繰り返すようにしても良い。

図６は、シール状態検出装置１３１によるシリンダ装置１０の検査結果の例を示す図表である。Ｎｏ．１のシリンダ装置１０は、１回目の第１，第２圧力異常検出工程の結果、シール部材２６のシール状態に異常がない（ＯＫ）と判定されたものであり、この場合、正常報知工程においてシリンダ装置１０が良品であることを報知する。

Ｎｏ．２のシリンダ装置１０は、１回目の第１圧力異常検出工程では異常なしと判定されたものの、１回目の第２圧力異常検出工程の結果、シール部材２６のシール状態に異常がある（差圧ＮＧ）と判定されたものであって、２回目の第２圧力異常検出工程の結果も、シール部材２６のシール状態に異常がある（差圧ＮＧ）と判定されたものであり、この場合、異常報知工程においてシリンダ装置１０が差圧ＮＧの不良品であることを報知する。

Ｎｏ．３のシリンダ装置１０は、１回目の第１圧力異常検出工程では異常なしと判定されたものの、１回目の第２圧力異常検出工程の結果、シール部材２６のシール状態に異常がある（差圧ＮＧ）と判定されたものであって、２回目の第２圧力異常検出工程の結果も、シール部材２６のシール状態に異常がある（差圧ＮＧ）と判定されたものであるが、次に検査したシリンダ装置１０も同様の結果が得られた場合である。この場合、２本連続で不良品が生じる確率は極めて低いことから、チャンバシール部４０３のシール不良が原因と考えられるため、次に検査したシリンダ装置１０の異常報知工程において、次に検査したシリンダ装置１０と、その１本前のシリンダ装置１０とは良品の可能性があることと、チャンバシール部４０３を点検し、確認および必要により交換する旨の喚起を報知する。

Ｎｏ．４のシリンダ装置１０は、１回目の第１圧力異常検出工程では異常なしと判定され、１回目の第２圧力異常検出工程の結果、シール部材２６のシール状態に異常がある（差圧ＮＧ）と判定されたものの、２回目の第１，第２圧力異常検出工程の結果でシール状態に異常がないと判定されたものであり、この場合、正常報知工程においてシリンダ装置１０が良品であることを報知する。このとき、１回目の第２圧力異常検出工程で水分付着によるガス化を検出した場合、正常報知工程においてはその旨も報知する。

Ｎｏ．５のシリンダ装置１０は、１回目の第１圧力異常検出工程では異常なしと判定され、１回目の第２圧力異常検出工程の結果、シール部材２６のシール状態に異常がある（差圧ＮＧ）と判定されたものの、２回目の第１，第２圧力異常検出工程の結果でシール状態に異常がないと判定されたものであり、この場合、正常報知工程においてシリンダ装置１０が良品であることを報知する。このとき、１回目の第２圧力異常検出工程で水分付着によるガス化を検出しなかった場合、チャンバシール部４０３のコンタミネーション等の可能性が考えられることから、正常報知工程においてはその旨も報知する。

Ｎｏ．６のシリンダ装置１０は、１回目の第１圧力異常検出工程の結果、シール部材２６のシール状態に異常がある（真空引きＮＧ）と判定されたものであって、２回目の第１圧力異常検出工程の結果も、シール部材２６のシール状態に異常がある（真空引きＮＧ）と判定されたものであり、この場合、異常報知工程においてシリンダ装置１０が真空引きＮＧの漏れ量大の不良品であることを報知する。

Ｎｏ．７のシリンダ装置１０は、１回目の第１圧力異常検出工程の結果、シール部材２６のシール状態に異常がある（真空引きＮＧ）と判定されたものであって、２回目の第１圧力異常検出工程の結果も、シール部材２６のシール状態に異常がある（真空引きＮＧ）と判定されたものであるが、次に検査したシリンダ装置１０も同様の結果が得られた場合である。この場合も、２本連続で不良品である確率は極めて低いことから、チャンバシール部４０３のシール不良が原因と考えられるため、次に検査したシリンダ装置１０の異常報知工程において、次に検査したシリンダ装置１０と、その１本前のシリンダ装置１０とは良品の可能性があることと、チャンバシール部４０３を点検し、確認および必要により交換する旨の喚起を報知する。

Ｎｏ．８のシリンダ装置１０は、１回目の第１圧力異常検出工程の結果、シール部材２６のシール状態に異常がある（真空引きＮＧ）と判定されたものの、２回目では、第１圧力異常検出工程の結果に加えて第２圧力異常検出工程の結果でもシール状態に異常がないと判定されたものであり、この場合、正常報知工程においてシリンダ装置１０が良品であることを報知する。このとき、１回目の第１圧力異常検出工程で水分付着によるガス化を検出した場合、正常報知工程においてはその旨も報知する。

Ｎｏ．９のシリンダ装置１０は、１回目の第１圧力異常検出工程の結果、シール部材２６のシール状態に異常がある（真空引きＮＧ）と判定されたものの、２回目では、第１圧力異常検出工程の結果に加えて第２圧力異常検出工程の結果でもシール状態に異常がないと判定されたものであり、この場合、正常報知工程においてシリンダ装置１０が良品であることを報知する。このとき、１回目の第１圧力異常検出工程で水分付着によるガス化を検出しなかった場合、チャンバシール部４０３のコンタミネーション等の可能性が考えられることから、正常報知工程においてはその旨も報知する。

なお、チャンバシール部４０３の不具合以外で、連続してシリンダ装置１０がＮＧ判定となる場合は、漏れ検査前の組立工程で連続して不良品を作成していることや、ワークへの水分付着が発生していることなどが考えられるため、前工程の不具合や想定外の不具合を早期に発見することも可能である。

上記した特許文献１のダンパ装置のシール異常検出方法および装置は、バキュームヘッドがロッドシール部にピストンロッドを嵌合させるとともにチューブシール部にアウタチューブを嵌合させるようになっている。ここで、ロッドシール部およびチューブシール部は、ダンパ装置との間の気密を保つ必要があることから、締め代を大きくとる必要がある。このため、ロッドシール部およびチューブシール部は、ダンパ装置を差し込む際に損傷しやすく、また、ダンパ装置の繰り返しの抜き差しで劣化しやすい。

また、上記した特許文献１のダンパ装置のシール異常検出方法および装置において、バキュームヘッドを、ピストンロッドの径やアウタチューブの径が異なるダンパ装置に対して共用で使用することは、締め代が変化しシール性が変化してしまうため、基本的にできない。

また、上記した特許文献１のダンパ装置のシール異常検出方法および装置は、ダンパ装置のリザーバ室に加圧したヘリウムを封入し、ダンパ装置のシリンダの開口側にバキュームヘッドを取り付け、バキュームヘッドに漏れ出たヘリウムのリーク量をヘリウムリークテスタで測定するようになっている。しかしながら、ヘリウムは高価であり、製品コストが増大してしまう。また、ヘリウムリークテスタも高価であり、設備コストが増大してしまう。また、ヘリウムを用いると、空気や窒素ガスを用いる場合に対してシリンダ装置の特性が異なってしまう。

これに対し、第１実施形態によれば、シリンダ装置１０に密着可能なシール本体部５１１を有しシリンダ装置１０の開口部３２側を覆って密閉するチャンバ１３２と、シール本体部５１１をシール本体部５１１の外周側から膨出させる膨出機構５２５とを有し、チャンバ１３２でシリンダ装置１０の開口部３２側を覆って密閉する密閉工程が、チャンバ１３２の内周部であるシール本体部５１１を拡径状態としてシリンダ装置１０の開口部３２側をチャンバ１３２の内側に配置する配置工程と、チャンバ１３２の内周部であるシール本体部５１１を膨出状態として、シリンダ装置１０に密着させる膨出工程と、を含んでいる。

よって、シール本体部５１１の締め代を小さくした状態で、シリンダ装置１０をチャンバ１３２内に挿入したり、チャンバ１３２から抜き出したりすることができるため、シール本体部５１１は、シリンダ装置１０を差し込む際にを損傷しにくく、また、シリンダ装置１０の繰り返しの抜き差しでも劣化しにくい。言い換えれば、シール本体部５１１の耐久性が向上する。したがって、チャンバシール部４０３を交換するメンテナンスの頻度を減らすことができる。加えて、損傷防止のためにシリンダ装置１０のチャンバ１３２への出し入れの速度を遅くする必要がなく、時間の短縮が可能となる。なお、シール本体部５１１の締め代を膨出状態よりも小さくした状態で、シリンダ装置１０をチャンバ１３２内に挿入したり、チャンバ１３２から抜き出したりすることができれば、損傷および劣化を抑制できるため、拡径状態にあるシール本体部５１１とシリンダ装置１０との間に径方向に隙間がなくてもよい。

また、シール本体部５１１の内径を任意に拡大および縮小できるため、外径の異なるシリンダ装置１０に対してチャンバシール部４０３を共用できるため、段取り替えの必要を減らすことが可能となる。

また、チャンバ１３２がシリンダ装置１０との間をシールする部位として１カ所のみのチャンバシール部４０３を有するため、チャンバ１３２とシリンダ装置１０との間のシール部位を交換するメンテナンスの頻度をさらに減らすことができ、シール部分の信頼性を向上させることができる。なお、特許文献１と同様に、チャンバ１３２にピストンロッド２２との隙間をシールする部分を設ける場合には、このシール部分にチャンバシール部４０３および膨出機構５２５と同様の構成を適用することが可能である。

また、第１実施形態によれば、密閉可能なチャンバ１３２内にシリンダ装置１０の開口部３２側を配置する配置工程と、減圧部１４１によってチャンバ１３２内を真空引きして減圧状態にする減圧工程と、真空計１５５によってチャンバ１３２内の圧力を測定する第１，第２圧力測定工程と、チャンバ１３２内の圧力に基づいて、制御部１５８がシール部材２６のシール状態の異常を検出する第１，第２圧力異常検出工程と、を含んでシール部材２６のシール状態の異常を検出する。すなわち、制御部１５８は、シリンダ装置１０の開口部３２側を収容して密閉され減圧部１４１によって減圧状態とされたチャンバ１３２内の圧力の真空計１５５による測定結果に基づいてシール部材２６のシール状態の異常を検出する。したがって、シリンダ装置１０に高価なヘリウムを封入しなくても済むため、製品コストの増大を抑制することができる。また、高価なヘリウムリークテスタが不要となり、設備コストの増大を抑制することができる。

ここで、シリンダ装置１０の製造時に、シール部材２６と外筒１３と間に、例えば毛髪等の微小な異物を噛み込んでしまった場合や、シール部材２６の外周面あるいは外筒１３の内周面に微小な傷があった場合等に、シール部材２６と外筒１３と間に微小な隙間を生じることがある。すると、シリンダ装置１０は、この微小な隙間からガスＧが微小流量で漏れることになって、ガスＧの漏れを確認可能な状態となるまでに時間がかかってしまう。この微小流量での漏れを検出するためには、製造後にシリンダ装置組立体１をある程度の長時間（例えば２４時間以上）保管し、その後、手でピストンロッド２２をシリンダ１１に対して動かして、その感触からガスＧの漏れの有無を検出するといった検査を行う必要がある。よって、このような検査を行うための検査工数分の人件費と、シリンダ装置組立体１を長時間保管するためのスペースの費用とが嵩んでしまう。

これに対し、第１実施形態では、チャンバ１３２内にシリンダ装置１０の開口部３２側を配置し、減圧部１４１によってチャンバ１３２内を減圧状態にして、真空計１５５によりチャンバ１３２内の圧力を測定するため、シール部材２６と外筒１３と間の隙間が微小であっても、この微小な隙間から短時間でガスＧを漏れ出させることができ、短時間でシール部材２６のシール状態の異常を検出することができる。よって、ガス漏れを早期発見できて、早期の対策が可能となるため、同種の不良品の発生リスクを低減することが可能となる。しかも、手でピストンロッド２２をシリンダ１１に対して動かして、その感触からガスＧの漏れを検出する場合等に生じ得る人的検査ミスを抑制することができ、品質向上を図ることができる。

また、第１実施形態では、第１，第２圧力測定工程において、減圧工程以降の時点でのチャンバ１３２内の第１の圧力値と、この時点から所定時間経過後のチャンバ１３２内の第２の圧力値とを測定し、圧力異常検出工程において、第１の圧力値と第２の圧力値との圧力差に基づいて、シール部材２６のシール状態の異常を検出する。したがって、正確にシール部材２６のシール状態の異常を検出することができる。

また、第１実施形態では、配置工程においてチャンバ１３２内にシリンダ装置１０を自然長の状態、すなわちピストンロッド２２をシリンダ１１に対し移動させずに配置することができる。よって、シリンダ装置１０内の作動液Ｌがシール部材２６と外筒１３との間の微小な隙間を塞いでしまうことを抑制できる。すなわち、ピストンロッド２２をシリンダ１１に対し移動させると、作動液Ｌが移動して、シール部材２６と外筒１３との間の微小な隙間を塞いでしまう可能性があるが、このような状態になることを抑制することができる。したがって、シール部材２６と外筒１３との間の微小な隙間から短時間でガスＧを漏れ出させることが良好にでき、短時間でシール部材２６のシール状態の異常を検出することが良好にできる。

また、第１実施形態では、配置工程においてチャンバ１３２内にシリンダ装置１０を、シール部材２６を上向きにして収容する。よって、シリンダ装置１０内の作動液Ｌが自重によりシール部材２６と外筒１３と間の微小な隙間を塞いでしまうことを抑制できる。したがって、シール部材２６と外筒１３との間の微小な隙間から短時間でガスＧを漏れ出させることが良好にでき、短時間でシール部材２６のシール状態の異常を検出することが良好にできる。

また、第１実施形態では、シリンダ１１が、内筒１２と内筒１２の外側に設けられる外筒１３とから構成される複筒式であるため、シール部材２６が直接ガスＧに触れることになる。したがって、構造的に、シール部材２６と外筒１３と間の隙間からガスＧが漏れ出す可能性が高く、上記のようにシール部材２６のシール状態の異常を検出することによる効果が高い。

なお、シール部材２６のシール状態の異常を検出する前に、シリンダ装置１０に洗浄工程が行われている場合等には、水分がシリンダ装置１０に付着している可能性がある。このような場合には、減圧時に水分が揮発して圧力を上昇させるため、ガスＧの漏れとして誤って検出してしまう可能性がある。よって、減圧工程の前に、シリンダ装置１０を乾燥させる乾燥工程を行うようにする。その場合、乾燥専用の装置を用いなくても、検査用の減圧工程の開始時点ｔ０の前に、チャンバ１３２内の減圧および大気開放を交互に適宜の回数繰り返す水分除去用減圧・大気開放サイクルを行うことによってシリンダ装置１０を乾燥させることができる。

すなわち、この場合、制御部１５８は、配置工程と減圧工程との間に乾燥工程を行うことになる。乾燥工程では、制御部１５８が、大気開放弁１５３を閉じた状態で、減圧部１４１の開閉弁１４４を開き、真空ポンプ１４２を駆動して、それまで大気圧であったチャンバ１３２内を大気圧よりも減圧する。そして、真空ポンプ１４２を所定時間駆動すると、開閉弁１４４を閉じ真空ポンプ１４２を停止させるとともに、大気開放弁１５３を開いてチャンバ１３２内を大気開放する。真空計１５５による測定結果から、チャンバ１３２内が大気圧になると、制御部１５８は、大気開放弁１５３を閉じ、減圧部１４１の開閉弁１４４を開き、真空ポンプ１４２を駆動して、チャンバ１３２内を減圧する。そして、真空ポンプ１４２を所定時間駆動すると、開閉弁１４４を閉じ真空ポンプ１４２を停止させるとともに、大気開放弁１５３を開いてチャンバ１３２内を大気開放する。このようなチャンバ１３２内の減圧および大気開放を交互に適宜の回数繰り返すことによってシリンダ装置１０を乾燥させる。その後、減圧工程を開始する（図５の時点ｔ０以降）。

このように、減圧工程の開始前に、シリンダ装置１０を乾燥させる乾燥工程を含むことで、減圧時に水分が揮発して圧力を上昇させてしまってガスＧの漏れとして誤って検出してしまうことを抑制できる。

また、配置工程と減圧工程との間に、チャンバ１３２内の減圧および大気開放を交互に繰り返す乾燥工程を行うことで、乾燥専用の装置を用いなくても、シリンダ装置１０を乾燥させることができる。

また、シール本体部５１１の劣化を予測し、シール本体部５１１の確認、交換要否を確認するように警告を出せる。すなわち、不良判定が連続発生した際に、コンタミネーションの挟み込みによる誤判定である可能性が低下し、シール本体部５１１の劣化である可能性が高くなるため、シール本体部５１１を含むチャンバシール部４０３の確認および交換を促すことができる。

なお、チャンバシール部４０３とシリンダ装置１０との間のコンタミネーション付着による誤判定（差圧異常および真空引き異常）は、検査実施前にエアをチャンバシール部４０３に吹付けてコンタミネーションを飛ばすことで予防することができる。これにより、シール部材２６のシール状態の異常の検出精度の向上と信頼性を向上させることができる。

［第２実施形態］
次に、第２実施形態を主に図７に基づいて第１実施形態との相違部分を中心に説明する。なお、第１実施形態と共通する部位については、同一称呼、同一の符号で表す。

図７に示すように、第２実施形態のシール状態検出装置１３１Ａは、第１実施形態の検出装置本体部１３３の構成に加えて、チャンバ１３２内の内部空間５３１の窒素ガス量を測定する窒素ガス量測定部５８１（窒素ガス量測定手段）を備える検出装置本体部１３３Ａ（シール状態検出手段）を有している。チャンバ本体４０１には、窒素ガス量測定部５８１に連通する連通孔５８０が形成されている。

窒素ガス量測定部５８１は、四重極型質量分析計５８２と、連通孔５８０に接続され、四重極型質量分析計５８２とチャンバ１３２内の内部空間５３１とを繋いで連通させる連通路５８３と、連通路５８３に設けられ、開閉することで四重極型質量分析計５８２とチャンバ１３２との連通および遮断を切り替える開閉弁５８４とを有している。

また、窒素ガス量測定部５８１は、連通路５８３における開閉弁５８４と四重極型質量分析計５８２との間に設けられる差動排気ユニット５８６と、連通路５８３における差動排気ユニット５８６と四重極型質量分析計５８２との間から分岐する分岐通路５８７と、分岐通路５８７の連通路５８３とは反対側に設けられたロータリポンプからなる真空ポンプ５８８と、分岐通路５８７の連通路５８３と真空ポンプ５８８との間に設けられた温度計５８９とを有している。開閉弁５８４は、開状態でチャンバ１３２と差動排気ユニット５８６とを連通させ、閉状態でチャンバ１３２と差動排気ユニット５８６との連通を遮断する。制御部１５８は、四重極型質量分析計５８２、開閉弁５８４、真空ポンプ５８８および温度計５８９と通信可能であり、開閉弁５８４および真空ポンプ５８８の作動を制御する。

差動排気ユニット５８６は、連通路５８３の流路断面積を絞るオリフィスである。四重極型質量分析計５８２で窒素ガス量を測定する場合には、チャンバ１３２内を低真空に、四重極型質量分析計５８２側を高真空にする必要がある。差動排気ユニット５８６は、四重極型質量分析計５８２側の高真空を維持するためのものである。差動排気ユニット５８６が設けられているため、四重極型質量分析計５８２側を高真空にするための真空ポンプ５８８の駆動時間を短くすることができる。

第２実施形態では、開閉弁５８４を閉じた状態で、チャンバ１３２内を減圧状態にする減圧工程を含む第１実施形態と同様の工程を行い、そのうちの第１，第２圧力異常検出工程でシール部材２６のシール状態の異常（真空引き異常および差圧異常）の有無を検出することになり、その結果、シール部材２６のシール状態に異常がないことを検出した場合、第２圧力異常検出工程の後、さらに、窒素ガス量測定部５８１で、チャンバ１３２内の窒素ガス量を測定する窒素ガス量測定工程を行う。

窒素ガス量測定工程において、制御部１５８は、まず、大気導入部１５１の大気開放弁１５３を開いて、真空計１５５で測定されるチャンバ１３２内の内部空間５３１の圧力を所定値まで上昇させた後、大気開放弁１５３を閉じて、チャンバ１３２内の内部空間５３１を所定の低真空状態にするとともに、真空ポンプ５８８を所定時間駆動して、連通路５８３の差動排気ユニット５８６と四重極型質量分析計５８２との間を高真空状態にする。次に、制御部１５８は、開閉弁５８４を開く。すると、チャンバ１３２内の内部空間５３１のガスが連通路５８３内に導入されることになり、このガスの窒素ガス量を四重極型質量分析計５８２で測定する。

窒素ガス量測定工程の後、制御部１５８は、四重極型質量分析計５８２で測定した窒素ガス量に基づいて、シール部材２６のシール状態の異常の有無を検出する窒素ガス量異常検出工程（異常検出工程）を行う。この窒素ガス量異常検出工程では、四重極型質量分析計５８２で測定した窒素ガス量が所定の閾値以上であれば、シール部材２６のシール状態に異常があることを検出し、この閾値未満であれば、シール部材２６のシール状態に異常がないことを検出する。第２実施形態では、以上の減圧工程と、窒素ガス量測定工程と、窒素ガス量異常検出工程とが、チャンバ１３２内の内部空間５３１の状態からシール部材２６のシール状態の異常を検出するシール状態検出工程となる。窒素ガス量異常検出工程の後、制御部１５８は、第１実施形態と同様の大気開放工程、膨出解除工程および離間工程を行うことになる。

以上により、制御部１５８は、シリンダ装置１０の開口部３２側を収容して密閉され減圧部１４１によって減圧状態とされたチャンバ１３２内の窒素ガス量の窒素ガス量測定部５８１による測定結果に基づいて、シール部材２６のシール状態の異常を検出することになる。

そして、制御部１５８は、第１実施形態と同様の密閉工程およびシール状態検出工程を行った結果、シール部材２６のシール状態に異常がなく、第２実施形態のシール状態検出工程を行った結果、シール部材２６のシール状態に異常がなければ、図示略の報知装置により、その旨を報知させる正常報知工程を行うことになる。また、第１実施形態と同様の密閉工程およびシール状態検出工程を行った結果、シール部材２６のシール状態に異常があった場合と、第１実施形態と同様の密閉工程およびシール状態検出工程を行った結果、シール部材２６のシール状態に異常がなく、第２実施形態のシール状態検出工程を行った結果、シール部材２６のシール状態に異常があった場合とについては、図示略の報知装置により、その旨を報知させる異常報知工程を行うことになる。

第２実施形態によれば、第１実施形態と同様の効果を奏することができる。加えて、チャンバ１３２でシリンダ１１の開口部３２側を覆って密閉する密閉工程と、減圧部１４１によってチャンバ１３２内を大気圧よりも減圧した減圧状態にする減圧工程と、窒素ガス量測定部５８１によってチャンバ１３２内の窒素ガス量を測定する窒素ガス量測定工程と、チャンバ１３２内の窒素ガス量に基づいて、制御部１５８がシール部材２６のシール状態の異常を検出する窒素ガス量異常検出工程と、を含んでシール部材２６のシール状態の異常を検出する。したがって、シール部材２６のシール状態の異常をより良好に検出することができる。

また、第２実施形態によれば、チャンバ１３２内の窒素ガス量に基づいてシール部材２６のシール状態の異常を検出するため、水分がシリンダ装置１０に付着していても、シリンダ装置１０を乾燥させる乾燥工程を行わずに、シール部材２６のシール状態の異常を検出することができる。加えて、水分以外の乾燥が困難な成分（油分等）が付着した場合にも有効である。

なお、第２実施形態において、第１実施形態の第１，第２圧力測定工程および第１，第２圧力異常検出工程を行わずに、減圧工程の後、窒素ガス量測定工程と窒素ガス量異常検出工程とを行うようにしても良い。すなわち、チャンバ１３２内に漏れ出した窒素ガス量のみでシール部材２６のシール状態の異常を検出するようにしても良い。

以上の実施形態では検査対象のシリンダ装置が複筒式の油圧緩衝器である場合を例にとり説明したが、本発明は、単筒式の油圧緩衝器、アクティブサスペンション等のシリンダ装置にも適用可能である。さらにはガス圧緩衝器等のシリンダ装置にも適用可能である。加えて、シリンダの軸方向両側からロッドが突出するタイプのシリンダ装置にも適用可能である。つまり、シリンダの少なくとも一端からロッドが突出するタイプのシリンダ装置に適用可能である。

以上に述べた実施形態の第１の態様は、流体が封入されるシリンダと、前記シリンダ内に摺動可能に挿入されるピストンと、前記ピストンに連結されて前記シリンダの開口部から前記シリンダの外部に延出するピストンロッドと、前記シリンダの前記開口部側と前記ピストンロッドとの間に設けられるシール部材と、を有するシリンダ装置の前記シール部材のシール状態の異常を検出するシール状態検出装置であって、前記シリンダ装置に密着可能なシール本体部を有し前記シリンダの前記開口部側を覆って密閉するチャンバと、前記シール本体部を該シール本体部の外周側から径方向内方に膨出させる膨出手段と、前記チャンバ内の状態から前記シール部材のシール状態の異常を検出するシール状態検出手段と、を有する。これにより、メンテナンスの頻度を減らすことができる。

第２の態様は、第１の態様において、前記シール状態検出手段は、前記チャンバ内を減圧状態にする減圧手段と、前記チャンバ内の圧力を測定する圧力測定手段と、前記減圧手段によって前記減圧状態とされた前記チャンバ内の圧力の前記圧力測定手段による測定結果に基づいて前記異常を検出する異常検出手段と、を有する。

第３の態様は、第１の態様において、前記シリンダには、窒素ガスを含む流体が封入されており、前記シール状態検出手段は、前記チャンバ内を減圧状態にする減圧手段と、前記チャンバ内の窒素ガス量を測定する窒素ガス量測定手段と、前記減圧手段によって前記減圧状態とされた前記チャンバ内の窒素ガス量の前記窒素ガス量測定手段による測定結果に基づいて前記異常を検出する異常検出手段と、を有する。

第４の態様は、流体が封入されるシリンダと、前記シリンダ内に摺動可能に挿入されるピストンと、前記ピストンに連結されて前記シリンダの開口部から前記シリンダの外部に延出するピストンロッドと、前記シリンダの前記開口部側と前記ピストンロッドとの間に設けられるシール部材と、を有するシリンダ装置の前記シール部材のシール状態の異常を検出するシール状態検出方法であって、チャンバで前記シリンダの前記開口部側を覆って密閉する密閉工程と、前記チャンバ内の状態から前記シール部材のシール状態の異常を検出するシール状態検出工程と、を含み、前記密閉工程は、前記チャンバの内周部を拡径状態として前記シリンダの前記開口部側を前記チャンバの内側に配置する配置工程と、前記チャンバの内周部を膨出状態として、前記シリンダ装置に密着させる膨出工程と、を含む。これにより、メンテナンスの頻度を減らすことができる。

第５の態様は、第４の態様において、前記シール状態検出工程は、前記チャンバ内を減圧状態にする減圧工程と、前記チャンバ内の圧力を測定する圧力測定工程と、前記チャンバ内の圧力に基づいて前記異常を検出する異常検出工程と、を含む。

第６の態様は、第４の態様において、前記シリンダには、窒素ガスを含む流体が封入されており、前記シール状態検出工程は、前記チャンバ内を減圧状態にする減圧工程と、前記チャンバ内の窒素ガス量を測定する窒素ガス量測定工程と、前記チャンバ内の窒素ガス量に基づいて前記異常を検出する異常検出工程と、を含む。

１０ シリンダ装置
１１ シリンダ
１２ 内筒
１３ 外筒
１７ ピストン
２２ ピストンロッド
２６ シール部材
３２ 開口部
１３１，１３１Ａ シール状態検出装置
１３２ チャンバ
１３３，１３３Ａ 検出装置本体部（シール状態検出手段）
１４１ 減圧部（減圧手段）
１５５ 真空計（圧力測定手段）
１５８ 制御部（異常検出手段）
１８１ 窒素ガス量測定部（窒素ガス量測定手段）
５１１ シール本体部
５２５ 膨出機構（膨出手段）

Claims (6)

1. 流体が封入されるシリンダと、
   前記シリンダ内に摺動可能に挿入されるピストンと、
   前記ピストンに連結されて前記シリンダの開口部から前記シリンダの外部に延出するピストンロッドと、
   前記シリンダの前記開口部側と前記ピストンロッドとの間に設けられるシール部材と、
   を有するシリンダ装置の前記シール部材のシール状態の異常を検出するシール状態検出装置であって、
   前記シリンダ装置に密着可能なシール本体部を有し前記シリンダの前記開口部側を覆って密閉するチャンバと、
   前記シール本体部を該シール本体部の外周側から径方向内方に膨出させる膨出手段と、
   前記チャンバ内の状態から前記シール部材のシール状態の異常を検出するシール状態検出手段と、
   を有することを特徴とするシリンダ装置のシール状態検出装置。
2. 前記シール状態検出手段は、
   前記チャンバ内を減圧状態にする減圧手段と、
   前記チャンバ内の圧力を測定する圧力測定手段と、
   前記減圧手段によって前記減圧状態とされた前記チャンバ内の圧力の前記圧力測定手段による測定結果に基づいて前記異常を検出する異常検出手段と、
   を有することを特徴とする請求項１記載のシリンダ装置のシール状態検出装置。
3. 前記シリンダには、窒素ガスを含む流体が封入されており、
   前記シール状態検出手段は、
   前記チャンバ内を減圧状態にする減圧手段と、
   前記チャンバ内の窒素ガス量を測定する窒素ガス量測定手段と、
   前記減圧手段によって前記減圧状態とされた前記チャンバ内の窒素ガス量の前記窒素ガス量測定手段による測定結果に基づいて前記異常を検出する異常検出手段と、
   を有することを特徴とする請求項１記載のシリンダ装置のシール状態検出装置。
4. 流体が封入されるシリンダと、
   前記シリンダ内に摺動可能に挿入されるピストンと、
   前記ピストンに連結されて前記シリンダの開口部から前記シリンダの外部に延出するピストンロッドと、
   前記シリンダの前記開口部側と前記ピストンロッドとの間に設けられるシール部材と、
   を有するシリンダ装置の前記シール部材のシール状態の異常を検出するシール状態検出方法であって、
   チャンバで前記シリンダの前記開口部側を覆って密閉する密閉工程と、
   前記チャンバ内の状態から前記シール部材のシール状態の異常を検出するシール状態検出工程と、を含み、
   前記密閉工程は、
   前記チャンバの内周部を拡径状態として前記シリンダの前記開口部側を前記チャンバの内側に配置する配置工程と、
   前記チャンバの内周部を膨出状態として、前記シリンダ装置に密着させる膨出工程と、
   を含むことを特徴とするシリンダ装置のシール状態検出方法。
5. 前記シール状態検出工程は、
   前記チャンバ内を減圧状態にする減圧工程と、
   前記チャンバ内の圧力を測定する圧力測定工程と、
   前記チャンバ内の圧力に基づいて前記異常を検出する異常検出工程と、
   を含むことを特徴とする請求項４記載のシリンダ装置のシール状態検出方法。
6. 前記シリンダには、窒素ガスを含む流体が封入されており、
   前記シール状態検出工程は、
   前記チャンバ内を減圧状態にする減圧工程と、
   前記チャンバ内の窒素ガス量を測定する窒素ガス量測定工程と、
   前記チャンバ内の窒素ガス量に基づいて前記異常を検出する異常検出工程と、
   を含むことを特徴とする請求項４記載のシリンダ装置のシール状態検出方法。

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